KR20150144139A - Connector assembly, susbtrate supporting unit, and susbtrate processing apparatus having the same - Google Patents

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Abstract

The present invention relates to a substrate processing apparatus and, more specifically, to a connector assembly, a substrate support base, and a substrate processing apparatus having the connector assembly and the substrate support base. The connector assembly of the substrate processing apparatus according to the present invention comprises: a first connection member which has one end connected to a first electrode terminal to move in a longitudinal direction and from which a part of the outer circumferential face of the first electrode terminal is exposed; a second connection member which has the other end connected to an external electrode terminal and is coupled to the first connection member to cover the outer circumferential face of the first electrode terminal exposed from the first connection member; a coupling member which is inserted into a first coupling hole and a second coupling hole formed at the other end of the first connection member and the other end of the second connection member, respectively, and couples the first connection member to the second connection member; and a separation preventing portion which keeps the coupled state of the first connection member and the second connection member with the first electrode terminal interposed therebetween.

Description

커넥터 조립체, 기판지지대 및 그를 가지는 기판처리장치 {Connector assembly, susbtrate supporting unit, and susbtrate processing apparatus having the same}The present invention relates to a connector assembly, a substrate support, and a substrate processing apparatus having the same.

본 발명은 기판처리장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 커넥터 조립체, 기판지지대 및 그를 가지는 기판처리장치에 관한 것이다.The present invention relates to a substrate processing apparatus, and more particularly, to a connector assembly, a substrate support, and a substrate processing apparatus having the same.

기판처리장치는, 밀폐된 처리공간을 가지는 공정챔버와, 공정챔버 내에 설치된 기판지지대에 기판을 안착시킨 상태에서 증착, 에칭 등의 기판처리를 수행하는 장치이다.The substrate processing apparatus is a device for performing substrate processing such as deposition and etching in a state where a substrate is placed on a process chamber having a closed processing space and a substrate support provided in the process chamber.

한편 공정챔버 내에 설치되는 기판지지대는, 기판의 가열을 위한 히터, 온도센서, 플라즈마 형성을 위한 하부전극 등의 내부부재가 설치될 수 있으며, 이러한 내부부재는, 전원공급, 제어 등을 위하여 외부에 설치된 장치들과 연결될 필요가 있다.Meanwhile, an inner member such as a heater for heating the substrate, a temperature sensor, and a lower electrode for plasma formation may be provided on the substrate support installed in the process chamber. The inner member may be provided on the outside It needs to be connected with installed devices.

따라서 기판지지대는, 하측으로 연장되는 중공형 샤프트 내부에서 하단으로 연장시켜 공정챔버의 외부로 제1전극단자를 노출시켜 커넥터 조립체에 의하여 외부전극단자와 전기적으로 연결한다.Accordingly, the substrate support extends from the hollow shaft extending downward to the lower end to expose the first electrode terminal to the outside of the process chamber and electrically connect to the external electrode terminal by the connector assembly.

한편 공정챔버 내에서 기판처리가 수행될 때 고온환경으로 인하여 제1전극단자 등이 열변형이 발생될 수 있으며 제1전극단자 및 외부전극단자의 연결시 열변형을 고려하여 연결될 필요가 있다.On the other hand, when the substrate processing is performed in the process chamber, the first electrode terminal or the like may be thermally deformed due to the high temperature environment, and the first electrode terminal and the external electrode terminal need to be connected in consideration of thermal deformation during connection.

또한 제1전극단자는 중공형 샤프트 등에 브레이징을 통하여 고정되는데 외부전극단자와의 결합시 충격에 의하여 브레이징이 파손되는 문제점이 있다. Also, the first electrode terminal is fixed to the hollow shaft through brazing, and the brazing is broken due to an impact when the electrode terminal is coupled with the external electrode terminal.

본 발명의 목적은 상기와 같은 문제점들을 해결하기 위하여, 기판처리장치의 내부에 설치된 제1전극단자와 외부장치와 연결된 외부전극단자를 연결하는 커넥터 조립체를 간소화하여 그 연결작업이 용이하며 외부충격을 최소화할 수 있는 커넥터 조립체, 기판지지대 및 그를 가지는 기판처리장치를 제공하는 데 있다.It is an object of the present invention to provide a connector assembly for connecting a first electrode terminal provided inside a substrate processing apparatus and an external electrode terminal connected to an external device, A substrate support, and a substrate processing apparatus having the same.

본 발명은 상기와 같은 본 발명의 목적을 달성하기 위하여 창출된 것으로서, 본 발명은, 기판처리장치의 내부에 설치된 내부부재와 전기적으로 연결되는 하나 이상의 제1전극단자와, 외부전원과의 전기적으로 연결되는 상기 외부전극단자를 전기적으로 연결하는 커넥터 조립체로서, 일단에 상기 제1전극단자가 길이방향으로 이동가능하게 결합되며 상기 제1전극단자의 외주면의 일부분이 노출되는 제1연결부재와; 타단에 상기 외부전극단자가 결합되며 상기 제1연결부재에서 노출된 제1전극단자의 외주면을 커버하도록 상기 제1연결부재와 결합되는 제2연결부재와; 상기 제1연결부재의 타단 및 상기 제2연결부재의 타단에 각각 형성된 제1결합공 및 제2결합공에 삽입되어 상기 제1연결부재 및 상기 제2연결부재를 체결하는 체결부재와; 상기 제1연결부재 및 상기 제2연결부재의 일단에서 상기 제1전극단자를 사이에 두고 상기 제1연결부재 및 상기 제2연결부재를 결합된 상태를 유지시키는 이격방지부를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판처리장치의 커넥터 조립체를 개시한다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in order to achieve the above-mentioned object of the present invention, and it is an object of the present invention to provide an apparatus and a method for manufacturing a substrate processing apparatus, which comprises at least one first electrode terminal electrically connected to an internal member provided inside a substrate processing apparatus, A connector assembly for electrically connecting the external electrode terminal to be connected, the connector assembly comprising: a first connection member having a first electrode terminal at one end movably coupled to the first electrode terminal in a longitudinal direction and a portion of an outer circumferential surface of the first electrode terminal being exposed; A second connection member coupled to the first connection member so as to cover an outer circumferential surface of the first electrode terminal exposed at the first connection member; A coupling member inserted into the first coupling hole and the second coupling hole respectively formed at the other end of the first coupling member and the other end of the second coupling member to fasten the first coupling member and the second coupling member; And a separation preventing portion for holding the first connection member and the second connection member in a coupled state with one end of the first connection member and the second connection member sandwiching the first electrode terminal therebetween A connector assembly for a substrate processing apparatus is disclosed.

상기 이격방지부는, 상기 제1연결부재의 일단에 형성되는 고정홈부와, 상기 제2연결부재의 일단에 형성되며 상기 고정홈부에 삽입되는 고정단차부를 포함할 수 있다.The separation preventing portion may include a fixing groove portion formed at one end of the first connection member and a fixing step portion formed at one end of the second connection member and inserted into the fixing groove portion.

상기 이격방지부는, 상기 제1연결부재 및 상기 제2연결부재의 일단에서 상기 제1연결부재 및 상기 제2연결부재의 외주면에 결합되어 상기 제1연결부재 및 상기 제2연결부재를 결합시키는 결합부재를 포함할 수 있다.The separation preventing portion may include a first coupling member and a second coupling member coupled to an outer circumferential surface of the first coupling member and the second coupling member at one end of the first coupling member and the second coupling member, Member.

상기 제1연결부재 및 상기 제2연결부재는, 서로 결합된 상태에서 원기둥, 측면 일부가 길이방향으로 절개된 원기둥, 타원기둥 및 다각기둥 중 어느 하나를 형성할 수 있다.The first linking member and the second linking member may form a cylinder, an ellipse column, and a polygonal column in which a part of the side surface is cut in the longitudinal direction in a state where the first linking member and the second linking member are coupled to each other.

상기 커넥터 조립체는, 상기 제1연결부재 및 제2연결부재의 결합면에 상기 제1전극단자가 면접촉되도록 상기 제1연결부재 및 제2연결부재 중 적어도 하나에 상기 제1전극단자가 삽입되는 홈부가 형성될 수 있다.The connector assembly includes a first electrode terminal inserted into at least one of the first connection member and the second connection member such that the first electrode terminal is in surface contact with a mating surface of the first connection member and the second connection member A groove portion can be formed.

본 발명은 또한 밀폐된 처리공간을 형성하는 공정챔버 내에 설치되어 기판이 안착되는 기판처리장치의 기판지지대로서, 기판이 안착되는 안착플레이트와; 상기 안착플레이트 내부에 구비된 적어도 하나 이상의 내부부재와; 상기 안착플레이트 하부에 연장 형성되는 중공형 샤프트와; 상기 내부부재와 전기적으로 연결되며 상기 중공형 샤프트 하부에 노출되는 적어도 하나 이상의 제1전극단자와; 상기 제1전극단자와 외부전원과 전기적으로 연결하는 적어도 하나 이상의 커넥터 조립체를 포함하며; 상기 커넥터 조립체는, 일단에 상기 제1전극단자가 길이방향으로 이동가능하게 결합되며 상기 제1전극단자의 외주면의 일부분이 노출되는 제1연결부재와, 타단에 상기 외부전극단자가 결합되며 상기 제1연결부재에서 노출된 제1전극단자의 외주면을 커버하도록 상기 제1연결부재와 결합되는 제2연결부재와, 상기 제1연결부재의 타단 및 상기 제2연결부재의 타단에 각각 형성된 제1결합공 및 제2결합공에 삽입되어 상기 제1연결부재 및 상기 제2연결부재를 체결하는 체결부재와, 상기 제1연결부재 및 상기 제2연결부재의 일단에서 상기 제1전극단자를 사이에 두고 상기 제1연결부재 및 상기 제2연결부재를 결합된 상태를 유지시키는 이격방지부를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판처리장치의 기판지지대를 개시한다.The present invention also relates to a substrate support of a substrate processing apparatus which is installed in a process chamber forming a closed processing space and on which a substrate is mounted, comprising: a seating plate on which a substrate is seated; At least one inner member disposed within the seating plate; A hollow shaft extending from the bottom of the seating plate; At least one first electrode terminal electrically connected to the inner member and exposed under the hollow shaft; And at least one connector assembly electrically connected to the first electrode terminal and an external power source; The connector assembly includes a first connector unit having a first electrode terminal coupled to the first electrode terminal in a longitudinal direction and exposed at a portion of an outer circumferential surface of the first electrode terminal, A second connection member which is coupled to the first connection member so as to cover an outer circumferential surface of the first electrode terminal exposed at the first connection member, and a second connection member which is formed at the other end of the first connection member and at the other end of the second connection member, A coupling member inserted into the first coupling member and the second coupling hole to fasten the first coupling member and the second coupling member, and a coupling member inserted between the first coupling member and the second coupling member, And a separation preventing portion that maintains the first connection member and the second connection member in a coupled state.

상기 이격방지부는, 상기 제1연결부재의 일단에 형성되는 고정홈부와, 상기 제2연결부재의 일단에 형성되며 상기 고정홈부에 삽입되는 고정단차부를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판처리장치의 커넥터 조립체.Wherein the spacing prevention portion includes a fixing groove portion formed at one end of the first connection member and a fixing step portion formed at one end of the second connection member and inserted into the fixing groove portion. .

상기 커넥터 조립체는 복수개 구비되며, 상기 복수의 커넥터 조립체를 상호 절연하기 위해 내측에 복수의 삽입공이 형성된 절연부재를 더 포함할 수 있다.The connector assembly may include a plurality of connector assemblies, and may further include an insulating member having a plurality of inserting holes formed therein to mutually insulate the plurality of connector assemblies.

상기 절연부재는 상기 삽입공에 삽입된 상기 체결부재에 대응되는 위치에 상기 체결부재가 외부로 노출되도록 관통부가 형성될 수 있다.The insulating member may be formed with a penetrating portion such that the fastening member is exposed to the outside at a position corresponding to the fastening member inserted into the insertion hole.

상기 커넥터 조립체가 상기 절연부재의 삽입공 내에서 회전되는 것을 방지하기 위한 회전방지수단을 추가로 포함할 수 있다.The connector assembly may further include rotation preventing means for preventing rotation of the connector assembly in the insertion hole of the insulating member.

상기 회전방지수단은, 상기 커넥터 조립체 또는 상기 절연부재의 삽입공 중 어느 하나가 회전방지돌기가 길이방향을 따라서 형성되고, 상기 커넥터 조립체 또는 상기 절연부재의 삽입공 중 나머지 하나가 상기 회전방지돌기가 삽입되는 돌기홈부가 형성될 수 있다.Wherein the rotation preventing means is formed such that either one of the connector assembly and the inserting hole of the insulating member has the rotation preventing protrusion formed along the longitudinal direction and the other one of the insertion holes of the connector assembly or the insulating member is the rotation preventing protrusion A protrusion groove portion to be inserted can be formed.

상기 회전방지수단은 상기 절연부재의 삽입공의 상기 길이방향에 대한 수직 단면이 이루는 다각형상 또는 타원형상과, 제1연결부재와 상기 제2연결부재가 결합된 상태에서 상기 커넥터 조립체의 길이방향에 대한 수직 단면이 상기 삽입공의 수직 단면에 대응되도록 형성된 형상을 포함 수 있다.Wherein the rotation preventing means includes a polygonal or elliptical shape formed by a vertical section of the insertion hole of the insulating member with respect to the longitudinal direction and a polygonal or elliptical shape formed in a longitudinal direction of the connector assembly in a state where the first and second connection members are engaged, And a vertical cross section for the insertion hole may correspond to a vertical cross section of the insertion hole.

본 발명은 또한 밀폐된 처리공간을 형성하는 공정챔버와; 상기 공정챔버에 설치되어 처리공간으로 가스를 분사하는 가스분사부와; 상기와 같은 구성을 가지는 기판지지대를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판처리장치를 개시한다.The present invention also relates to a process chamber for forming an enclosed process space; A gas injection unit installed in the process chamber and injecting gas into the process space; A substrate processing apparatus characterized by including a substrate support having the above-described configuration is disclosed.

본 발명에 따른 커넥터 조립체, 기판지지대 및 그를 가지는 기판처리장치는, 내부에 설치된 내부부재와 전기적으로 연결된 제1전극단자를 외부장치와 전기적으로 연결된 외부전극단자를 연결함에 있어서, 외부전극단자와 연결된 제1연결부재와 제2연결부재 사이에 제1전극단자를 두고 체결부재에 의하여 제1연결부재 및 제2연결부재를 결합시킴으로써 제1전극단자 및 제2자의 전기적 연결 및 분리구조가 간단하고 편리한 이점이 있다.The connector assembly, the substrate support, and the substrate processing apparatus having the connector assembly, the substrate support, and the first electrode terminal electrically connected to the internal member are connected to an external electrode terminal electrically connected to the external device. The first electrode terminal is provided between the first connection member and the second connection member and the first connection member and the second connection member are coupled by the fastening member so that the electrical connection and disconnection structure of the first electrode terminal and the second electrode is simple and convenient There is an advantage.

특히 본 발명에 따른 커넥터 조립체, 기판지지대 및 그를 가지는 기판처리장치는, 제1연결부재 및 제2연결부재가 제1전극단자의 길이방향을 따라서 설치됨으로써 횡방향 폭을 최소화함으로써, 다수의 커넥터 조립체들이 설치되는 등 협소한 공간 내에서도 사용이 가능한 이점이 있다.In particular, the connector assembly, the substrate support, and the substrate processing apparatus having the connector assembly, the substrate support, and the connector assembly according to the present invention are characterized in that the first connection member and the second connection member are provided along the longitudinal direction of the first electrode terminal, There is an advantage that it can be used even in a narrow space.

또한 본 발명에 따른 커넥터 조립체, 기판지지대 및 그를 가지는 기판처리장치는, 제1연결부재에 의하여 제1전극단자의 일부가 노출되도록 하고, 제1전극단자의 노출된 부분을 제2연결부재가 커버하면서 제1연결부재와 결합됨으로써 조립 및 분리가 편리한 이점이 있다.In addition, the connector assembly, the substrate support, and the substrate processing apparatus having the connector assembly, the substrate support, and the connector assembly according to the present invention are configured such that a portion of the first electrode terminal is exposed by the first connection member, So that it can be assembled and separated easily.

한편 종래에는 제1전극단자 및 외부전극단자는 굽어진 'U'자 구조의 결합부재에 의하여 전기적으로 연결되었는데 결합구조의 분리시 결합시 결합부재가 변형된 상태에서 복원되지 않아 집게 등을 사용하여 분리 작업이 번거로운 문제점이 있으나, 본 발명에 따른 커넥터 조립체, 기판지지대 및 그를 가지는 기판처리장치는, 체결부재의 분리를 통하여 제1연결부재 및 제2연결부재의 분리가 가능하여 분리작업이 용이한 이점이 있다.Conventionally, the first electrode terminal and the external electrode terminal are electrically connected by a bent U-shaped coupling member. However, when the coupling structure is separated, the coupling member is not restored in a deformed state, However, since the connector assembly, the substrate support, and the substrate processing apparatus having the same according to the present invention can separate the first connection member and the second connection member through separation of the fastening member, There is an advantage.

또한 본 발명에 따른 커넥터 조립체, 기판지지대 및 그를 가지는 기판처리장치는, 제1연결부재, 제2연결부재 및 체결부재로 구성되는 커넥터 조립체에 의하여 제1전극단자 및 외부전극단자를 연결함으로써 제1전극단자의 열변형의 흡수가 가능하여 보다 안정적으로 제1전극단자 및 외부전극단자를 전기적으로 연결할 수 있는 이점이 있다.Further, the connector assembly, the substrate support, and the substrate processing apparatus having the connector assembly, the substrate support, and the connector assembly according to the present invention can be manufactured by connecting the first electrode terminal and the external electrode terminal by the connector assembly composed of the first connection member, It is possible to absorb the thermal deformation of the electrode terminal and thus the first electrode terminal and the external electrode terminal can be electrically connected more stably.

또한 본 발명에 따른 커넥터 조립체, 기판지지대 및 그를 가지는 기판처리장치는, 제1연결부재, 제2연결부재 및 체결부재로 구성되는 커넥터 조립체에 의하여 제1전극단자 및 외부전극단자를 연결함으로써, 체결부재의 간단한 조작에 의하여 제1연결부재 및 제2연결부재의 결합 및 분리시 제1전극단자 및 외부전극단자의 전기적 연결작업이 용이한 이점이 있다.Further, the connector assembly, the substrate support, and the substrate processing apparatus having the connector assembly, the substrate support, and the connector assembly according to the present invention can be manufactured by connecting the first electrode terminal and the external electrode terminal by the connector assembly composed of the first connection member, It is easy to electrically connect the first electrode terminal and the external electrode terminal when the first connection member and the second connection member are joined and separated by a simple operation of the member.

또한 본 발명에 따른 커넥터 조립체, 기판지지대 및 그를 가지는 기판처리장치는, 제1연결부재, 제2연결부재 및 체결부재로 구성되는 커넥터 조립체에 의하여 제1전극단자 및 외부전극단자를 연결하고, 제2연결부재에 제1연결부재의 타단이 길이방향으로 삽입되는 삽입부를 형성하여 볼트와 같은 체결부재에 의하여 제1연결부재 및 제2연결부재를 연결할 때 제1연결부재가 제2연결부재의 삽입부에 삽입됨으로써 체결부재의 반대쪽에서 제1결합부재 및 제2결합부재가 서로 벌어지는 것을 방지하여 제1전극단자 및 외부전극단자의 견고한 결합이 가능한 이점이 있다.Further, the connector assembly, the substrate support, and the substrate processing apparatus having the connector assembly, the substrate support, and the connector assembly according to the present invention connect the first electrode terminal and the external electrode terminal by the connector assembly composed of the first connection member, the second connection member, 2 An insertion portion into which the other end of the first linking member is inserted is formed in the linking member so that when the first linking member and the second linking member are connected by a fastening member such as a bolt, The first coupling member and the second coupling member can be prevented from being widened from each other on the opposite side of the fastening member, so that the first electrode terminal and the external electrode terminal can be firmly coupled to each other.

도 1은, 본 발명에 따른 기판처리장치를 보여주는 단면도이다.
도 2는, 도 1의 기판처리장치 중 커넥터 조립체를 상세히 보여주는 일부단면도이다.
도 3은, 도 2의 커넥터 조립체를 보여주는 분해 사시도이다.
도 4는, 도 3의 커넥터 조립체의 변형예를 보여주는 분해 사시도이다.
도 5는, 도 1의 기판처리장치 중 기판지지대의 저면 일부를 보여주는 저면도이다.
도 6는, 도 5에서 Ⅴ-Ⅴ방향에서 본 단면도이다.
도 7은, 도 5에 도시된 커넥터 조립체를 보여주는 사시도이다.1 is a cross-sectional view showing a substrate processing apparatus according to the present invention.
2 is a partial cross-sectional view showing the connector assembly of the substrate processing apparatus of FIG. 1 in detail;
Figure 3 is an exploded perspective view showing the connector assembly of Figure 2;
Fig. 4 is an exploded perspective view showing a modification of the connector assembly of Fig. 3;
Fig. 5 is a bottom view showing a part of a bottom surface of the substrate support of the substrate processing apparatus of Fig. 1. Fig.
Fig. 6 is a sectional view taken along the line V-V in Fig.
Figure 7 is a perspective view showing the connector assembly shown in Figure 5;

이하 본 발명에 따른 커넥터 조립체, 기판지지대 및 그를 가지는 기판처리장치에 관하여 첨부된 도면을 참조하여 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, a connector assembly, a substrate support, and a substrate processing apparatus having the same according to the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.

본 발명에 따른 기판처리장치는, 도 1에 도시된 바와 같이, 밀폐된 처리공간(S)을 형성하는 공정챔버(100)와, 공정챔버(100) 내에 설치되어 기판(10)이 안착되는 기판지지대(200)와, 기판지지대(200)의 상부에 설치되어 처리공간(S)으로 가스를 분사하는 가스분사부(130)를 포함할 수 있다.1, a substrate processing apparatus according to the present invention includes a process chamber 100 forming a closed process space S, a substrate 100 installed in the process chamber 100 and on which the substrate 10 is mounted, And a gas spraying unit 130 installed at an upper portion of the substrate support 200 for spraying the gas into the process space S. [

상기 공정챔버(100)는, 밀폐된 처리공간(S)을 형성하는 구성으로 다양한 구성이 가능하며, 일예로서, 상부가 개구된 챔버본체(110)와, 챔버본체(110)의 개구를 복개하는 상부리드(120)를 포함할 수 있다.The process chamber 100 may be configured to form a closed process space S, and may have various configurations. For example, the process chamber 100 may include a chamber body 110 having an opened upper part, And may include an upper lead 120.

상기 챔버본체(110)는, 기판(10)의 도입 및 배출을 위한 하나 이상의 게이트(111)가 형성될 수 있다.The chamber body 110 may be formed with one or more gates 111 for introducing and discharging the substrate 10.

상기 가스분사부(130)는, 기판지지대(200)의 상부에 설치되어 처리공간(S)으로 가스를 분사하는 구성으로 샤워헤드 등 다양한 구성이 가능하다.The gas injecting unit 130 is installed on the upper part of the substrate supporting table 200 to inject gas into the process space S, and may have various configurations such as a shower head.

상기 기판지지대(200)는, 공정챔버(100) 내에 설치되어 기판(10)을 지지하는 구성으로서 다양한 구성이 가능하다.The substrate support 200 may be provided in the process chamber 100 to support the substrate 10, and may have various configurations.

일예로서, 상기 기판지지대(200)는, 도 1에 도시된 바와 같이, 기판(10)이 안착되는 안착플레이트(210)와, 안착플레이트(210)의 하부에 연장되는 중공형 샤프트(220)를 포함할 수 있다.1, the substrate support 200 includes a mounting plate 210 on which the substrate 10 is mounted and a hollow shaft 220 extending downward from the mounting plate 210 .

상기 안착플레이트(210)는, 기판(10)이 안착되는 구성으로 기판(10)의 도입 및 배출이 가능하도록 관통되어 설치되어 상하로 이동되는 리프트핀(미도시)이 설치될 수 있다.The seating plate 210 may be provided with a lift pin (not shown) through which the substrate 10 can be introduced and discharged, and is moved up and down in a configuration in which the substrate 10 is seated.

또한 상기 안착플레이트(210)는, 플라즈마 형성을 위하여 접지 또는 RF전원을 인가하기 위한 하부전극, 가열을 위한 히터, 온도센서 등 하나 이상의 내부부재가 설치될 수 있다.In addition, the seating plate 210 may be provided with at least one internal member such as a lower electrode for applying ground or RF power, a heater for heating, and a temperature sensor for plasma formation.

상기 중공형 샤프트(220)는, 안착플레이트(210)의 하부에 연장되어 공정챔버(100)에 설치되는 구성으로, 기판지지대(200)의 구성에 따라서 다양한 구성이 가능하다.The hollow shaft 220 is extended to a lower portion of the seating plate 210 and installed in the process chamber 100. The hollow shaft 220 may have various configurations according to the configuration of the substrate support 200.

구체적으로, 상기 중공형 샤프트(220)는, 공정챔버(100)에 고정되어 설치되거나, 도 1에 도시된 바와 같이, 공정챔버(100)에 대하여 상하방향으로 이동되도록 설치될 수 있다.Specifically, the hollow shaft 220 may be fixed to the process chamber 100, or may be installed to move up and down with respect to the process chamber 100, as shown in FIG.

이때 상기 중공형 샤프트(220)는, 공정챔버(100)의 처리공간(S)의 밀폐를 위하여 벨로우즈(252) 등에 의하여 연결되어 처리공간(S)이 밀폐된 상태에서 공정챔버(100)에 대하여 상하방향으로 이동될 수 있다.The hollow shaft 220 is connected to the process chamber 100 by a bellows 252 or the like to seal the process space S of the process chamber 100, And can be moved up and down.

그리고 상기 벨로우즈(252)의 설치를 위하여, 벨로우즈(252)의 일단이 결합되는 중공형 샤프트(220)에 플렌지(253)가 결합되고, 벨로우즈(252)의 타단이 결합되는 지지부재(251) 등이 설치될 수 있다.A flange 253 is coupled to a hollow shaft 220 to which one end of the bellows 252 is coupled and a support member 251 and the like for coupling the other end of the bellows 252 Can be installed.

한편 상기 중공형 샤프트(220)는, 안착플레이트(210)에 설치된 하부전극, 히터, 온도센서 등의 내부부재가 외부장치와 전기적으로 연결될 수 있도록, 내부부재와 전기적으로 연결되는 하나 이상의 제1전극단자(310)가 하부에 노출되며, 제1전극단자(310)는 커넥터 조립체(400)에 의하여 외부전극단자(320)와 연결된다.The hollow shaft 220 may include at least one first electrode electrically connected to the inner member such that the inner member such as a lower electrode, a heater, a temperature sensor, and the like installed on the seating plate 210 may be electrically connected to an external device. The terminal 310 is exposed at the bottom and the first electrode terminal 310 is connected to the external electrode terminal 320 by the connector assembly 400.

또한 상기 중공형 샤프트(220)는, 제1전극단자(310)의 안정적인 설치를 위하여 그 하단에 제1전극단자(310)가 고정되는 고정플렌지(230)가 설치될 수 있다.The hollow shaft 220 may be provided with a fixing flange 230 to which the first electrode terminal 310 is fixed at a lower end thereof for stable installation of the first electrode terminal 310.

그리고 상기 고정플렌지(230)는, 제1전극단자(310)의 안정적인 설치를 위하여 중공형 샤프트(220)의 하단에 제1전극단자(310)가 고정되는 구성으로, 플렌지(253)과 결합되고, 기판지지대(200) 전체를 공정챔버(100)에 대하여 상하방향으로 승강이 가능하도록 승강장치(미도시)와 연결될 수 있다.The fixing flange 230 has a first electrode terminal 310 fixed to the lower end of the hollow shaft 220 for stable installation of the first electrode terminal 310 and is coupled to the flange 253 (Not shown) so that the entire substrate support 200 can be vertically moved with respect to the process chamber 100.

상기 고정플렌지(230)는, 중공형 샤프트(220)의 하단으로 연장되어 승강장치와 연결됨으로써 중공형 샤프트(220)를 승하강시켜 기판지지대(200) 전체를 공정챔버(100)에 대하여 상하방향으로 승강되도록 한다.The fixed flange 230 extends to the lower end of the hollow shaft 220 and is connected to the elevating device so that the hollow shaft 220 is moved up and down to move the entire substrate support 200 in the up and down direction with respect to the process chamber 100 .

그리고 중공형 샤프트(220)는, 제1전극단자(310), 외부전극단자(320), 커넥터 조립체(400), 절연부재(540) 등의 설치가 가능하도록 실린더 형상을 가지며 커넥터 조립체(400)의 체결부재(430) 등의 설치 또는 고정을 위하여 측면의 일부가 개방되도록 브리지(231)에 의하여 복수의 개구(232)들이 형성될 수 있다.The hollow shaft 220 has a cylindrical shape so that the first electrode terminal 310, the external electrode terminal 320, the connector assembly 400, the insulating member 540, A plurality of openings 232 may be formed by the bridge 231 such that a part of the side surface thereof is opened for the installation or fixing of the fastening member 430 and the like.

이하 본 발명에 따른 기판처리장치의 커넥터 조립체에 관하여 설명한다.Hereinafter, a connector assembly of a substrate processing apparatus according to the present invention will be described.

본 발명에 따른 기판처리장치의 커넥터 조립체(400)는, 도 2에 도시된 바와 같이, 기판처리장치의 기판지지대(200)의 커넥터 조립체(400)로서, 기판처리장치 내에, 특히 기판지지대(200)에 설치된 내부부재와 전기적으로 연결되는 하나 이상의 제1전극단자(310)와, 외부장치(미도시)와 전기적으로 외부전극단자(320)를 전기적으로 연결함을 특징으로 한다.The connector assembly 400 of the substrate processing apparatus according to the present invention is a connector assembly 400 of a substrate support 200 of a substrate processing apparatus as shown in Figure 2, The first electrode terminal 310 and the second electrode terminal 310 are electrically connected to each other. The first electrode terminal 310 and the external electrode terminal 320 are electrically connected to each other.

상기 제1전극단자(310)는, 기판처리장치 내에, 특히 기판지지대(200)에 설치된 내부부재와 전기적으로 연결되는 구성으로 기판지지대(200)의 중공형 샤프트(220)의 길이방향으로 돌출된 로드 형상을 가진다.The first electrode terminal 310 is electrically connected to an internal member provided in the substrate processing apparatus 200 and in particular to a first electrode terminal 310 protruding in the longitudinal direction of the hollow shaft 220 of the substrate support 200 Rod shape.

그리고 상기 제1전극단자(310)는, 도 2 내지 도 5 및 도 7에 도시된 바와 같이, 원기둥, 다각기둥 등의 형상을 가질 수 있으며 후술하는 커넥터 조립체(400)에 삽입되는 부분에서 외경이 감소된 단차(315)가 형성될 수 있다.The first electrode terminal 310 may have a cylindrical shape or a polygonal shape as shown in FIGS. 2 to 5 and 7, and may have an outer diameter at a portion to be inserted into a connector assembly 400, A reduced step 315 can be formed.

이때 상기 단차(315)는, 제1전극단자(310)의 열변형을 고려하여 커넥터 조립체(400)에 삽입된 부분과 간격을 두고 설치됨이 바람직하다.In this case, the step 315 is preferably spaced apart from the portion inserted into the connector assembly 400 in consideration of thermal deformation of the first electrode terminal 310.

상기 외부전극단자(320)는, 커넥터 조립체(400)에 의하여 외부장치와 전기적으로 연결되는 구성으로서 전기케이블 등의 끝단이 될 수 있다.The external electrode terminal 320 is electrically connected to an external device by the connector assembly 400 and may be an end of an electric cable or the like.

한편 상기 제1전극단자(310)가 복수 개로 설치될 수 있으며, 복수 개의 제1전극단자(310)들에 대응되어 외부전극단자(320) 또한 복수개로 설치될 수 있다.A plurality of the first electrode terminals 310 may be provided, and a plurality of external electrode terminals 320 may be provided corresponding to the plurality of first electrode terminals 310.

이때 상기 외부전극단자(320)를 이루는 복수의 케이블들은, 결합테이프 등의 결속부재(미도시)에 의하여 하나로 묶인 상태로 설치될 수 있다.At this time, the plurality of cables constituting the external electrode terminal 320 may be bundled together by a binding member (not shown) such as a binding tape.

상기 커넥터 조립체(400)는, 도 3 내지 도 7에 도시된 바와 같이, 제1전극단자(310) 및 외부전극단자(320)를 전기적으로 연결하는 구성으로, 제1연결부재(410)와, 제2연결부재(420)와, 및 제1연결부재(410) 및 제2연결부재(420)를 결합시키는 체결부재(430)와, 제1연결부재(410) 및 제2연결부재(420)가 이격되는 것을 방지하는 이격방지부를 포함한다.3 to 7, the connector assembly 400 is configured to electrically connect the first electrode terminal 310 and the external electrode terminal 320, and includes a first connection member 410, A coupling member 430 coupling the first coupling member 410 and the second coupling member 420 and the second coupling member 420 and the coupling member 430 coupling the first coupling member 410 and the second coupling member 420, And a separation preventing portion for preventing the separation portion from being separated.

상기 제1연결부재(410)는, 일단에 제1전극단자(310)가 길이방향으로 이동가능하게 결합되며 제1전극단자(310)의 외주면의 일부분이 노출되는 구성으로 다양한 구성이 가능하다.The first connection member 410 may be configured to have a structure in which a first electrode terminal 310 is coupled to one end of the first electrode terminal 310 so as to be longitudinally movable and a portion of an outer circumferential surface of the first electrode terminal 310 is exposed.

특히 상기 제1연결부재(410)는, 제1전극단자(310)를 사이에 두고 제2연결부재(420)과 결합됨으로써 제1전극단자(310)의 길이방향의 이동이 가능한 상태로 제1전극단자(310) 및 외부전극단자(320)를 전기적으로 연결하게 된다.Particularly, the first connection member 410 is coupled to the second connection member 420 with the first electrode terminal 310 therebetween, so that the first electrode terminal 310 can be moved in the longitudinal direction, The electrode terminal 310 and the external electrode terminal 320 are electrically connected to each other.

구체적으로 상기 제1연결부재(410)는, 일단에서 제1전극단자(310)가 다양한 구조에 의하여 결합될 수 있다.Specifically, the first connection terminal 410 may be coupled to the first electrode terminal 310 at one end by various structures.

일예로서, 상기 제1연결부재(410)는, 도 3 및 도 7에 도시된 바와 같이, 제1전극단자(310)와의 결합을 위하여 일단에서 제1전극단자(310)가 삽입되어 반대쪽으로 제1전극단자(310)의 외주면의 일부분이 노출되도록 길이방향으로 관통공(417)이 형성됨으로써, 제1전극단자(310)가 길이방향으로 삽입된 상태로 제1전극단자(310)가 결합될 수 있다.For example, as shown in FIGS. 3 and 7, the first connection member 410 may have a first electrode terminal 310 inserted at one end thereof for coupling with the first electrode terminal 310, A through hole 417 is formed in the longitudinal direction so that a part of the outer circumferential surface of the one electrode terminal 310 is exposed so that the first electrode terminal 310 is coupled with the first electrode terminal 310 inserted in the longitudinal direction .

상기 관통공(417)은, 제1연결부재(410)의 일단에서 제1전극단자(310)가 길이방향으로 삽입되어 반대쪽으로 제1전극단자(310)의 외주면의 일부분이 노출되도록 하는 구조이면 어떠한 구조도 가능하다.The through hole 417 may have a structure in which the first electrode terminal 310 is inserted in the longitudinal direction at one end of the first connection member 410 and a part of the outer circumferential surface of the first electrode terminal 310 is exposed in the opposite direction Any structure is possible.

다른 예로서, 상기 제1연결부재(410)는, 도 4에 도시된 바와 같이, 일단에서 제1연결부재(410) 및 제2연결부재(420)의 외주면에 결합되어 제1연결부재(410) 및 제2연결부재(420)를 결합시키는 결합부재(418)가 설치됨으로써, 제1전극단자(310)가 길이방향으로 삽입된 상태로 제1전극단자(310)가 결합될 수 있다.4, the first connecting member 410 may be coupled to the outer circumferential surfaces of the first connecting member 410 and the second connecting member 420 at one end thereof, The first electrode terminal 310 can be coupled with the first electrode terminal 310 inserted in the longitudinal direction by providing the coupling member 418 for coupling the first electrode terminal 310 and the second connection member 420.

상기 결합부재(418)는, 제1전극단자(310)를 사이에 두고 제1연결부재(410) 및 제2연결부재(420)를 결합시킴으로써 제1전극단자(310)의 길이방향의 이동이 가능한 상태로 제1연결부재(410) 및 제2연결부재(420) 사이에 결합되는 구성으로 클램프, 이클립(E-Clip), 서클립(Circlip) 등 다양한 부재가 사용될 수 있다.The coupling member 418 is formed by joining the first connection member 410 and the second connection member 420 with the first electrode terminal 310 interposed therebetween so that the longitudinal movement of the first electrode terminal 310 Various members such as a clamp, an E-clip, a circlip, and the like may be used in a configuration that is coupled between the first connection member 410 and the second connection member 420 as much as possible.

상기 결합부재(418)가 클램프, 이클립(E-Clip), 서클립(Circlip) 등인 경우 도 4에 도시된 바와 같이, 제1연결부재(410) 및 제2연결부재(420)는 결합부재(418)가 삽입될 수 있는 요홈(419, 429)들이 형성됨이 바람직하다.4, when the engaging member 418 is a clamp, an e-clip, a circlip, or the like, the first connecting member 410 and the second connecting member 420 are engaged with each other, It is preferable that grooves 419 and 429 are formed in which the grooves 418 can be inserted.

또한 상기 결합부재(418)는, 후술하는 이격방지부와의 구성을 고려하여 제1연결부재(410)와 일체로 형성되고 제2연결부재(420)의 일단이 삽입되는 구조로 형성될 수도 있음은 물론이다.The coupling member 418 may be formed integrally with the first coupling member 410 and may have a structure in which one end of the second coupling member 420 is inserted in consideration of the configuration of the separation preventing portion to be described later Of course.

한편 상기 제1연결부재(410)는, 후술하는 체결부재(430)와의 결합을 위하여 타단에서 제1결합공(411)이 형성된다.On the other hand, the first coupling member 410 has a first coupling hole 411 formed at the other end thereof for coupling with a coupling member 430 to be described later.

상기 제1결합공(411)은, 내주면에 암나사부(미도시)가 형성되는 등 체결부재(430)와의 결합구조에 따라서 다양한 구조가 가능하며, 제1전극단자(310)의 길이방향과 수직을 이루는 방향으로 형성된다.The first coupling hole 411 may have various structures according to the coupling structure with the coupling member 430, such as a female screw portion (not shown) formed on the inner peripheral surface thereof. As shown in FIG.

그리고 상기 제1결합공(411)이 형성된 주변 일부는, 볼트와 같은 체결부재(430)의 원활한 결합을 위하여 평평한 면으로 형성됨이 바람직하다.A portion of the periphery where the first coupling hole 411 is formed may be formed as a flat surface for smooth coupling of the fastening member 430 such as a bolt.

상기 제2연결부재(420)는, 타단에 외부전극단자(320)가 결합되며 제1연결부재(410)에서 노출된 제1전극단자(310)의 외주면을 커버하도록 제1연결부재(410)와 결합되는 구성으로서 다양한 구성이 가능하다.The second connection member 420 includes a first connection member 410 and a second connection member 420. The first connection member 410 is formed to cover the outer circumferential surface of the first electrode terminal 310 exposed from the first connection member 410, So that various configurations are possible.

상기 제2연결부재(420)는, 외부전극단자(320)와 타단에서 다양한 구조에 의하여 결합될 수 있다.The second connection member 420 may be coupled to the external electrode terminal 320 at other ends by various structures.

일예로서, 상기 제2연결부재(420)는, 타단에서 외부전극단자(320)와의 결합을 위한 외부전극단자연결부(424)가 형성될 수 있다.For example, the second connection member 420 may have an external electrode terminal connection portion 424 for coupling with the external electrode terminal 320 at the other end.

그리고 상기 외부전극단자연결부(424)는, 외부전극단자(320)의 끝단부분이 삽입되는 단자삽입공(424a)으로 구성될 수 있다.The external electrode terminal connection portion 424 may include a terminal insertion hole 424a into which an end of the external electrode terminal 320 is inserted.

이때 상기 단자삽입공(424a)은, 외부전극단자(320)가 삽입된 후 펜치 등에 의하여 납작하게 변형되어 외부전극단자(320)와 견고하게 결합될 수 있다.At this time, the terminal insertion hole 424a may be deformed flat by a pliers or the like after the external electrode terminal 320 is inserted, and may be firmly coupled to the external electrode terminal 320.

또한 상기 외부전극단자연결부(424)는, 후술하는 절연부재(540)와의 결합구조를 고려하여 횡단면적의 크기가 제2연결부재(420)보다 작게, 즉, 제2연결부재(420)와 연결되는 부분에서 단차(425)가 형성됨이 바람직하다.The outer electrode terminal connection portion 424 may be formed to have a smaller cross sectional area than the second connection member 420 in view of the connection structure with the insulating member 540 described later, It is preferable that the step 425 is formed.

한편 상기 제2연결부재(420)는, 후술하는 체결부재(430)와의 결합을 위하여 타단에서 제1결합공(411)에 대응되는 위치에 제2결합공(421)이 형성된다.The second coupling member 420 is formed with a second coupling hole 421 at a position corresponding to the first coupling hole 411 at the other end for coupling with the coupling member 430 to be described later.

상기 제2결합공(421)은, 내주면에 암나사부(미도시)가 형성되는 등 체결부재(430)와의 결합구조에 따라서 다양한 구조가 가능하며, 제1결합공(411)와 같이 제1전극단자(310)의 길이방향과 수직을 이루는 방향으로 형성된다.The second coupling hole 421 may have various structures according to a coupling structure with the coupling member 430, such as a female threaded portion (not shown) formed on an inner peripheral surface thereof. Is formed in a direction perpendicular to the longitudinal direction of the terminal (310).

그리고 상기 제2결합공(421)이 형성된 주변 일부는, 볼트와 같은 체결부재(430)의 원활한 결합을 위하여 평평한 면으로 형성됨이 바람직하다.A portion of the periphery where the second engagement hole 421 is formed is preferably formed as a flat surface for smooth engagement of the fastening member 430 such as a bolt.

한편 상기 제2연결부재(420)는, 일단부터 일정 길이까지 제1연결부재(410)와 함께 그 사이에 제1전극단자(310)가 길이방향으로 삽입되도록 이격방지부에 의하여 제1연결부재(410)와 결합된다.Meanwhile, the second connection member 420 may include a first connection member 410 and a second connection member 420. The first connection member 410 may include a first connection member 410, Gt; 410 < / RTI >

여기서 상기 이격방지부는, 제1연결부재(410) 및 제2연결부재(420)의 일단에서 제1전극단자(310)를 사이에 두고 제1연결부재(410) 및 제2연결부재(420)를 결합된 상태를 유지시키는 구성으로 제1연결부재(410) 및 제2연결부재(420)의 결합구조에 따라서 다양한 구조가 가능하다.The first and second connection members 410 and 420 may include a first connection member 410 and a second connection member 420 at one end of the first connection member 410 and the second connection member 420, Various structures are possible depending on the coupling structure of the first connection member 410 and the second connection member 420.

일예로서, 상기 이격방지부는, 도 3 및 도 7에 도시된 바와 같이, 제1연결부재(410)의 일단에 형성되어 제1전극단자(310)가 길이방향으로 삽입되는 앞서 설명한 관통공(417)과, 제2연결부재(420)의 일단에 형성되는 고정단차부(422)와, 제1연결부재(410)의 일단에 형성되어 고정단차부(422)가 길이방향으로 삽입되는 고정홈부(412)를 포함할 수 있다.As shown in FIGS. 3 and 7, the spacing preventing portion may include a through hole 417 formed at one end of the first connection member 410 and having the first electrode terminal 310 inserted in the longitudinal direction, A fixing step portion 422 formed at one end of the second linking member 420 and a fixing groove portion 422 formed at one end of the first linking member 410 and into which the fixing step portion 422 is inserted in the longitudinal direction 412).

상기 고정단차부(422)는, 제2연결부재(420)의 일단에 형성되어 제1연결부재(420)에 형성된 고정홈부(412)에 삽입되는 구조로 다양한 구조가 가능하다.The fixing step portion 422 may be formed in one end of the second connecting member 420 and inserted into the fixing groove portion 412 formed in the first connecting member 420. The fixing step portion 422 may have various structures.

특히 상기 고정단차부(422)는, 제1결합부재(410) 및 제2결합부재(420)가 결합된 상태에서 기둥형상임을 고려하여, 외주면 일부가 절개된 형상을 이룰 수 있다.Particularly, the fixing step portion 422 may have a shape in which a part of the outer circumferential surface is cut, considering that the first engaging member 410 and the second engaging member 420 are coupled with each other in a columnar shape.

이때 고정홈부(412)는, 고정단차부(422)의 형성을 위하여 절개된 부분에 대응되는 형상을 가지는 부분에 대응되어 형성됨으로써 고정단차부(422)가 원활하게 삽입될 수 있다.At this time, the fixing groove portion 412 is formed corresponding to the portion having the shape corresponding to the incised portion for the formation of the fixing step portion 422, so that the fixing step portion 422 can be inserted smoothly.

상기 고정홈부(412)는, 고정단차부(422)에 대하여 길이방향으로 삽입될 수 있는 구성이면 어떠한 구조도 가능하다.The fixing groove portion 412 may have any structure as long as it can be inserted in the longitudinal direction with respect to the fixing step portion 422.

일예로서, 상기 고정홈부(412)는, 앞서 설명한 관통공(417)이 형성된 부분에서 고정단차부(422)가 삽입되는 구조로 형성될 수 있다.For example, the fixing groove portion 412 may have a structure in which the fixing step portion 422 is inserted in a portion where the through hole 417 is formed as described above.

또 다른 예로서, 도시되지는 않았지만, 상기 고정홈부(412)는, 제1결합부재(410)에서 돌출되어 고정단차부(422)가 끼워질 수 있는 구조로도 형성될 수 있다.As another example, although not shown, the fixing groove portion 412 may be formed so as to protrude from the first engaging member 410 so that the fixing step portion 422 can be fitted.

다른 예로서, 상기 이격방지부는, 앞서 설명한 제1연결부재(410) 및 제2연결부재(420)의 결합예로서 도 4에 도시된 바와 같이, 일단에서 제1연결부재(410) 및 제2연결부재(420)의 외주면에 결합되어 제1연결부재(410) 및 제2연결부재(420)를 결합시키는 결합부재(418)가 설치됨으로써, 제1전극단자(310)가 길이방향으로 삽입된 상태로 제1전극단자(310)가 결합될 수 있다.As another example, as shown in Fig. 4 as an example of coupling of the first connecting member 410 and the second connecting member 420 described above, the spacing preventing portion may include a first connecting member 410 and a second connecting member 410 at one end, Since the first electrode terminal 310 is inserted in the longitudinal direction by the coupling member 418 coupled to the outer circumferential surface of the coupling member 420 and coupling the first coupling member 410 and the second coupling member 420, The first electrode terminal 310 may be coupled to the first electrode terminal 310. [

상기 결합부재(418)는, 제1전극단자(310)를 사이에 두고 제1연결부재(410) 및 제2연결부재(420)를 결합시킴으로써 제1전극단자(310)의 길이방향의 이동이 가능한 상태로 제1연결부재(410) 및 제2연결부재(420) 사이에 결합되는 구성으로 클램프, 이클릭(E-Clip), 서클립(Circlip) 등 다양한 부재가 사용될 수 있다.The coupling member 418 is formed by joining the first connection member 410 and the second connection member 420 with the first electrode terminal 310 interposed therebetween so that the longitudinal movement of the first electrode terminal 310 Various members such as a clamp, an E-clip, a circlip and the like may be used in a configuration that is coupled between the first connection member 410 and the second connection member 420 as much as possible.

상기와 같은 이격방지부의 구성에 의하여, 후술하는 체결부재(430)에 의하여 타단에서 제1결합부재(410) 및 제2결합부재(420)가 서로 결합될 때 체결부재(430)의 반대쪽에서 제1결합부재(410) 및 제2결합부재(420)가 서로 벌어지는 것을 방지하게 된다.When the first engaging member 410 and the second engaging member 420 are coupled to each other at the other end by a fastening member 430 described later, 1 coupling member 410 and the second coupling member 420 are prevented from spreading.

한편 상기 제1결합부재(410) 및 제2결합부재(420)는, 서로 결합된 상태에서, 원기둥, 타원기둥, 다각기둥 등의 기둥형상을 가진다.On the other hand, the first engaging member 410 and the second engaging member 420 have a columnar shape such as a cylinder, an ellipse column, and a polygonal column in a state where they are coupled to each other.

즉, 상기 제1결합부재(410) 및 제2결합부재(420)는, 각각 기둥형상에서 길이방향으로 절개된 일부의 형상을 가진다.That is, the first engaging member 410 and the second engaging member 420 each have a shape partially cut in a columnar shape in the longitudinal direction.

이러한 구조와 관련하여, 상기 제1연결부재(410) 및 제2연결부재(420)는, 서로 결합된 상태에서 원기둥, 측면 일부가 길이방향으로 절개된 원기둥, 타원기둥 및 다각기둥 중 어느 하나를 형성할 수 있다.With respect to this structure, the first linking member 410 and the second linking member 420 may be any one of a cylinder, an ellipse column, and a polygonal column in which a part of the side surface is cut in the longitudinal direction, .

그리고 상기 커넥터 조립체(400)는, 제1연결부재(410) 및 제2연결부재(420)의 결합면에 제1전극단자(310)가 면접촉되도록 제1연결부재(410) 및 제2연결부재(420) 중 적어도 어느 하나에 제1전극단자(310)가 삽입되는 홈부(413, 423)가 형성될 수 있다.The connector assembly 400 includes a first connection member 410 and a second connection member 420 so that the first electrode terminal 310 is in surface contact with the mating surfaces of the first connection member 410 and the second connection member 420, The grooves 413 and 423 into which the first electrode terminal 310 is inserted may be formed on at least one of the members 420 and 420.

구체적으로, 상기 제1결합부재(410) 및 제2결합부재(420) 중 적어도 어느 하나는, 제1전극단자(310)의 끝단부분의 일부가 삽입될 수 있도록 제1전극단자(310)의 길이방향 형상의 일부에 대응되는 제1홈부(413) 및 제2홈부(423)가 형성될 수 있다.At least one of the first coupling member 410 and the second coupling member 420 may include at least one of the first electrode terminal 310 and the second electrode terminal 310 so that a part of the end of the first electrode terminal 310 may be inserted. A first groove portion 413 and a second groove portion 423 corresponding to a part of the longitudinal shape may be formed.

즉, 상기 제1전극단자(310)와 삽입되며 제1전극단자(310)와 면접촉하도록 제1연결부재(410)에 형성된 제1홈부(413)와, 제1전극단자(310)와 삽입되며 제1전극단자(310)와 면접촉하도록 제2연결부재(420)에 형성된 제2홈부(423) 중 적어도 어느 하나가 형성될 수 있다.That is, a first groove 413 formed in the first connection member 410 inserted into the first electrode terminal 310 and in surface contact with the first electrode terminal 310, And a second groove portion 423 formed in the second connection member 420 so as to be in surface contact with the first electrode terminal 310 may be formed.

상기 제1홈부(413) 및 제2홈부(423)는, 제1전극단자(310)의 길이방향 형상의 일부에 대응되어 형성됨으로써 제1전극단자(310)가 삽입되는 공간을 형성한다.The first groove portion 413 and the second groove portion 423 are formed corresponding to a part of the longitudinal direction of the first electrode terminal 310 to form a space into which the first electrode terminal 310 is inserted.

이때 상기 제1홈부(413) 및 제2홈부(423)에 의하여 형성되는 삽입공간은, 제1전극단자(310)가 삽입된 상태에서 제1연결부재(410) 및 제2연결부재(420가 서로 마주보는 면이 간격을 두고 설치될 수 있을 정도로 형성됨이 바람직하다.The insertion space formed by the first groove 413 and the second groove 423 may be formed by inserting the first connection member 410 and the second connection member 420 in a state where the first electrode terminal 310 is inserted, It is preferable that the surfaces facing each other are formed so as to be spaced apart from each other.

한편 상기 제1결합부재(410) 및 제2결합부재(420)는, 체결부재(430)에 의하여 결합될 때 제1전극단자(310)를 견고하게 고정할 수 있도록 체결부재(430)에 의하여 결합되기 전에 서로 마주보는 면들이 간격을 두고 설치되는 것이 바람직하다.The first and second coupling members 410 and 420 are coupled to each other by a fastening member 430 so as to firmly fix the first electrode terminal 310 when the fastening member 430 is fastened. Preferably, the facing surfaces are spaced apart before being joined.

상기와 같이, 상기 제1결합부재(410) 및 제2결합부재(420)가 체결부재(430)에 의하여 결합되기 전에 서로 마주보는 면들이 간격을 두고 설치되게 되면 체결부재(430)의 결합에 의하여 제2결합부(426) 및 제1결합부(426) 사이의 간격이 좁아지는 쪽으로 힘을 가하여 제1전극단자(310)를 견고하게 고정할 수 있게 된다.As described above, when the first and second engaging members 410 and 420 are provided with the surfaces facing each other with an interval before the engaging member 430 is engaged by the engaging member 430, The first electrode terminal 310 can be firmly fixed by applying a force to the narrowing gap between the second coupling portion 426 and the first coupling portion 426.

상기 체결부재(430)는, 제1연결부재(410)의 타단 및 제2연결부재(420)의 타단에 각각 형성된 제1결합공(411) 및 제2결합공(421)에 삽입되어 제1연결부재(410) 및 제2연결부재(420)를 체결하는 구성으로서 다양한 구성이 가능하다.The coupling member 430 is inserted into the first coupling hole 411 and the second coupling hole 421 formed at the other end of the first coupling member 410 and the other end of the second coupling member 420, The connection member 410 and the second connection member 420 may be fastened in various configurations.

상기 체결부재(430)는, 제1연결부재(410) 및 제2연결부재(420)의 결합방식에 따라서 다양한 구성이 가능하다.The fastening member 430 may have a variety of configurations according to the coupling method of the first coupling member 410 and the second coupling member 420.

구체적으로, 상기 체결부재(430)는, 제1연결부재(410)의 제1결합부(416) 및 제2연결부재(420)의 제2결합부(426) 각각에 제1전극단자(310)의 끝단과 간격을 두고 관통형성된 형성된 제1결합공(411) 및 제2결합공(421)에 삽입되어 제1전극단자(310)를 사이에 두고 제1연결부재(410) 및 제2연결부재(420)를 결합시킬 수 있다.Specifically, the fastening member 430 is fastened to the first electrode terminal 310 (see FIG. 5) on the first coupling portion 416 of the first coupling member 410 and the second coupling portion 426 of the second coupling member 420, And a first connection member 410 inserted through the second connection hole 421 and sandwiching the first electrode terminal 310 between the first connection member 410 and the second connection hole 421. [ The member 420 can be engaged.

이때 상기 체결부재(430)는, 도 3 내지 도 7에 도시된 바와 같이, 제1결합공(411) 및 제2결합공(421) 중 적어도 어느 하나에 형성된 암나사부(미도시)와 나사결합되는 볼트를 포함할 수 있다.3 to 7, the fastening member 430 is screwed with a female threaded portion (not shown) formed on at least one of the first coupling hole 411 and the second coupling hole 421, Lt; / RTI > bolts.

또한 상기 체결부재(430)는, 제1결합공(411) 및 제2결합공(421)에 삽입되는 핀부재(미도시) 및 제1결합공(411) 및 제2결합공(421)에 삽입된 상태에서 핀부재를 고정하는 핀고정부재(미도시)를 포함할 수 있다.The fastening member 430 has a pin member (not shown) and a first engaging hole 411 and a second engaging hole 421 inserted into the first engaging hole 411 and the second engaging hole 421 And a pin fixing member (not shown) for fixing the pin member in the inserted state.

또한 상기 체결부재(430)는, 제1결합공(411) 및 제2결합공(421)에 삽입되는 볼트(미도시) 및 제1결합공(411) 및 제2결합공(421)에 삽입된 상태에서 볼트와 나사결합되는 너트(미도시)를 포함할 수 있다.The fastening member 430 is inserted into the bolts (not shown) and the first engaging holes 411 and the second engaging holes 421 inserted into the first engaging holes 411 and the second engaging holes 421, And a nut (not shown) screwed to the bolt in a state where the bolt is engaged.

한편 상기 체결부재(430)는, 볼트 또는 핀을 포함하는 경우를 들어 설명하였으나 제1연결부재(410) 및 제2연결부재(420)의 외주면을 둘러싸는 클램프, 이클릭(E-Clip), 서클립(Circlip) 등 다양한 체결부재가 사용될 수 있음은 물론이다.The clamping member 430 may include a bolt or a pin. However, the clamping member 430 may be a clamp, an e-clip, or a clip that surrounds the outer circumferential surface of the first connecting member 410 and the second connecting member 420, It is needless to say that various fastening members such as a circular clip can be used.

한편 상기 제1결합부재(410), 제2결합부재(420) 및 체결부재(430)는, 그 재질이 니켈, 니켈합금 등의 도전성 재질이 사용될 수 있다.The first coupling member 410, the second coupling member 420, and the coupling member 430 may be made of a conductive material such as nickel, nickel alloy, or the like.

한편 상기 기판지지대(200)에는 복수 개의 제1전극단자(310)들 및 외부전극단자(320)들 각각에 대응되는 외부전극단자(320)들이 설치될 수 있으며, 복수의 제1전극단자(310)들 및 외부전극단자들(320)들의 결합을 위한 복수의 커넥터 조립체(400)들이 설치될 수 있다.The substrate support 200 may include a plurality of first electrode terminals 310 and a plurality of first electrode terminals 310 corresponding to the plurality of first electrode terminals 310, A plurality of connector assemblies 400 may be provided for coupling the external electrode terminals 320 and the external electrode terminals 320.

그리고 상기 복수 개의 제1전극단자(310)들 및 외부전극단자(320)들을 각각 결합하는 복수개의 커넥터 조립체(400)들은, 상호 전기적 절연 및 외부충격으로부터의 보호를 위하여 절연부재(540)에 끼워진 상태로 기판지지대(200)의 중공 샤프트(220)에 결합될 수 있다.The plurality of connector assemblies 400 coupling the plurality of first electrode terminals 310 and the plurality of outer electrode terminals 320 are electrically connected to each other through the insulating member 540 To the hollow shaft 220 of the substrate support 200.

상기 절연부재(540)는, 제1전극단자(310) 및 외부전극단자(320)를 연결하는 커넥터 조립체(400)들의 상호 전기적 절연 을 위하여 제1전극단자(310)의 적어도 일부, 외부전극단자(320)의 적어도 일부, 제1전극단자(310) 및 외부전극단자(320)를 연결하는 커넥터 조립체(400)가 삽입될 수 있는 구성이면 어떠한 구성도 가능하다.The insulating member 540 may be formed to cover at least a portion of the first electrode terminal 310 and the external electrode terminal 310 to electrically insulate the connector assemblies 400 connecting the first electrode terminal 310 and the external electrode terminal 320. [ The connector assembly 400 connecting the first electrode terminal 310 and the external electrode terminal 320 to at least a part of the first electrode terminal 320 may be inserted.

상기 절연부재(540)는, 커넥터 조립체(400)에 의하여 결합된 제1전극단자(310) 및 외부전극단자(320)의 수 및 위치에 대응되어 제1전극단자(310)의 적어도 일부, 외부전극단자(320)의 적어도 일부, 제1전극단자(310) 및 외부전극단자(320)를 연결하는 커넥터 조립체(400)가 삽입되는 복수의 삽입공(541)들이 내측에 형성된다.The insulating member 540 may be formed to correspond to the number and positions of the first electrode terminal 310 and the external electrode terminal 320 coupled by the connector assembly 400 and may include at least a portion of the first electrode terminal 310, A plurality of insertion holes 541 through which the connector assembly 400 connecting the electrode terminal 320 and the first electrode terminal 310 and the external electrode terminal 320 are inserted are formed on the inner side.

상기 삽입공(541)은, 제1전극단자(310)의 적어도 일부, 외부전극단자(320)의 적어도 일부, 제1전극단자(310) 및 외부전극단자(320)를 연결하는 커넥터 조립체(400)가 삽입되도록 관통형성되며, 외부전극단자(320)에 결합된 제1연결부재(410)가 외부로 이동되는 것을 방지하기 위하여 외부전극단자연결부(424)에 형성된 단차(425)에 걸림되는 걸림단차(545)가 형성됨이 바람직하다.The insertion hole 541 is formed in the connector assembly 400 for connecting at least a part of the first electrode terminal 310, at least a part of the external electrode terminal 320, the first electrode terminal 310 and the external electrode terminal 320 The first connection member 410 coupled to the external electrode terminal 320 is inserted through the step 425 formed in the external electrode terminal connection portion 424 in order to prevent the first connection member 410 from moving to the outside, It is preferable that the step 545 is formed.

상기와 같이, 상기 삽입공(541)에 외부전극단자연결부(424)에 형성된 단차(425)에 걸림되는 걸림단차(545)가 형성되면 절연부재(540)의 삽입공(541)에 커넥터 조립체(400)가 삽입된 상태에서 절연부재(540)가 중공형 샤프트(220)에 결합됨으로써 커넥터 조립체(400)는 절연부재(540)의 삽입공(541) 내에 위치되게 된다.When the engaging step 545 is formed in the insertion hole 541 to engage with the stepped portion 425 formed in the external electrode terminal connection portion 424, the insertion hole 541 of the insulation member 540 is inserted into the connector assembly The connector assembly 400 is positioned in the insertion hole 541 of the insulating member 540 by inserting the insulating member 540 into the hollow shaft 220 in a state where the insulating member 540 is inserted.

또한 상기 절연부재(540)는, 제1전극단자(310) 및 외부전극단자(320)를 연결하는 커넥터 조립체(400)가 삽입된 후 제1연결부재(410) 및 제2연결부재(420)에 대하여 체결부재(430)를 결합시킬 수 있도록 측면에 체결부재(430)가 노출될 수 있도록 복수의 관통부(543)들이 형성된다.The insulating member 540 may include a first connection member 410 and a second connection member 420 after the connector assembly 400 connecting the first electrode terminal 310 and the external electrode terminal 320 is inserted, A plurality of through-holes 543 are formed in the side surface of the fastening member 430 so that the fastening member 430 can be exposed.

그리고 상기 절연부재(540)는, 전기적 절연을 위하여 PTFE 등의 엔지니어링 플라스틱 재질이 사용될 수 있다.The insulating member 540 may be made of an engineering plastic material such as PTFE for electrical insulation.

그리고 상기 절연부재(540)가 중공형 샤프트(220)의 설치시 그를 가이드하기 위하여 하나 이상의 가이드부재(510)가 설치될 수 있다.One or more guide members 510 may be installed to guide the insulating member 540 when the hollow shaft 220 is installed.

또한 상기 절연부재(540)는, 중공형 샤프트(220)의 하단부분에 볼트 등에 의하려 결합될 수 있도록 복수의 볼트결합공(542)들이 형성된다.A plurality of bolt coupling holes 542 are formed in the insulating member 540 so as to be coupled to the lower end portion of the hollow shaft 220 by bolts or the like.

한편 상기 제1전극단자(310) 및 외부전극단자(320)를 연결하는 커넥터 조립체(400)가 절연부재(540)의 삽입공(541)에 삽입된 후 중공형 샤프트(220)의 하단부분에 결합되는 과정에서 커넥터 조립체(400)에 의하여 결합된 커넥터 조립체(400)의 위치가 틀어져 중공형 샤프트(220)에 대한 제1전극단자(310)의 결합부분을 파손하거나 체결부재(430)가 삽입되는 제1결합공(411) 및 제2결합공(421)의 위치가 변경되어 체결부재(430)의 체결이 어려워지는 문제점이 있다.The connector assembly 400 connecting the first electrode terminal 310 and the external electrode terminal 320 is inserted into the insertion hole 541 of the insulating member 540 and then inserted into the lower end portion of the hollow shaft 220 The position of the connector assembly 400 coupled by the connector assembly 400 may be shifted to break the joint portion of the first electrode terminal 310 with respect to the hollow shaft 220, The position of the first engaging hole 411 and the second engaging hole 421 may be changed, which may make it difficult to fasten the engaging member 430.

따라서 상기 커넥터 조립체(400)가 절연부재(540)의 삽입공(541)에 삽입될 때 삽입위치의 변경을 방지하기 위하여, 커넥터 조립체(400)는 절연부재(540)의 삽입공(541) 내에서 회전되지 않도록 설치, 즉 회전방지구조가 구비됨이 바람직하다.The connector assembly 400 is inserted into the insertion hole 541 of the insulating member 540 in order to prevent the insertion position of the connector assembly 400 from being changed when the connector assembly 400 is inserted into the insertion hole 541 of the insulating member 540. [ It is preferable to provide an anti-rotation structure.

상기 회전방지구조는, 삽입공(541)의 길이방향에 대한 수직방향의 단면형상에 형성된 제1각진 부분과, 제1연결부재(410) 및 제2연결부재(420) 중 적어도 하나의 외주면에 형성되며 삽입공(541)의 각진 부분에 대응되는 제2각진 부분을 포함하거나, 삽입공(541)에 대한 제1연결부재(410) 및 제2연결부재(420)의 삽입구조가 키홈을 가질 수 있다.The rotation preventing structure has a first angled portion formed in a cross-sectional shape perpendicular to the longitudinal direction of the insertion hole 541 and a second angled portion formed on an outer peripheral surface of at least one of the first connecting member 410 and the second connecting member 420 And the insertion structure of the first connection member 410 and the second connection member 420 with respect to the insertion hole 541 includes a key groove .

구체적인 예로서, 상기 회전방지구조는, 제1결합부재(410) 및 제2결합부재(420)가 결합된 상태에서 횡단면이 원형일 때 키 및 키홈에 의하여 절연부재(540)의 삽입공(541) 내에서의 커넥터 조립체(400)의 회전을 방지할 수 있다.As a specific example, the anti-rotation structure may be formed by inserting the insertion hole 541 of the insulating member 540 by the key and the key groove when the cross section is circular in a state where the first engagement member 410 and the second engagement member 420 are engaged, The rotation of the connector assembly 400 within the connector assembly 400 can be prevented.

즉, 상기 제1결합부재(410) 및 제2결합부재(420)가 결합된 상태에서 길이방향을 따라서 키 또는 키홈이 형성되고, 절연부재(540)의 삽입공(541) 내에 키 또는 키홈에 대응되는 키홈 또는 키가 형성될 수 있다.That is, a key or a key groove is formed along the longitudinal direction in a state where the first and second engagement members 410 and 420 are engaged, and a key or a key groove is formed in the insertion hole 541 of the insulation member 540 Corresponding keyways or keys can be formed.

다른 예로서, 상기 회전방지구조는, 커넥터 조립체(400) 또는 절연부재(540)의 삽입공(541) 중 어느 하나가 회전방지돌기가 길이방향을 따라서 형성되고, 커넥터 조립체(400) 또는 절연부재(540)의 삽입공(541) 중 나머지 하나가 회전방지돌기가 삽입되는 돌기홈부가 형성될 수 있다.As another example, the anti-rotation structure may be configured such that any one of the connector assembly 400 or the insertion hole 541 of the insulating member 540 is formed along the longitudinal direction and the connector assembly 400 or the insulating member 540, The other one of the insertion holes 541 of the protrusion 540 may be formed with a protrusion groove into which the rotation preventing protrusion is inserted.

또 다른 방법으로, 제1결합부재(410) 및 제2결합부재(420)가 결합된 상태에서 횡단면의 형상 및 이에 대응되는 절연부재(540)의 삽입공(541)의 횡단면 형상을 타원형, 다각형 등과 같이 회전될 수 없는 형상으로 형성함으로써 절연부재(540)의 삽입공(541) 내에서의 커넥터 조립체(400)의 회전을 방지할 수 있다.Alternatively, the shape of the cross section and the cross-sectional shape of the insertion hole 541 of the insulating member 540 corresponding to the first and second engagement members 410 and 420 may be an ellipse, a polygon The rotation of the connector assembly 400 in the insertion hole 541 of the insulating member 540 can be prevented.

즉, 상기 회전방지구조는, 절연부재(540)의 삽입공(541)의 길이방향에 대한 수직 단면이 이루는 다각형상 또는 타원형상과, 제1연결부재(410)와 제2연결부재(420)가 결합된 상태에서 커넥터 조립체(400)의 길이방향에 대한 수직 단면이 삽입공(541)의 수직 단면에 대응되도록 형성된 형상을 포함할 수 있다.That is, the anti-rotation structure has a polygonal or elliptical shape formed by a vertical section of the insertion hole 541 of the insulating member 540 with respect to the longitudinal direction, and a first connecting member 410 and a second connecting member 420, The vertical cross section with respect to the longitudinal direction of the connector assembly 400 may correspond to the vertical cross section of the insertion hole 541. [

한편 상기와 같은 커넥터 조립체는 다음과 같은 순서에 의하여 커넥터 조립체(400) 및 절연부재(540)가 설치될 수 있다.Meanwhile, the connector assembly 400 and the insulating member 540 may be installed according to the following procedure.

상기 외부전극단자(420)가 연결된 제1연결부재(410) 및 제2연결부재(420)를 체결부재(430)에 의하여 느슨하게 결합된 상태에서 커넥터 조립체(400)는, 절연부재(540)의 삽입공(541)에 삽입된다.The connector assembly 400 is loosely coupled with the first connection member 410 and the second connection member 420 to which the external electrode terminal 420 is connected by the fastening member 430, And inserted into the insertion hole 541.

그리고 상기 커넥터 조립체(400)가 삽입된 절연부재(540)는, 중공형 샤프트(220)에 볼트 등에 의하여 결합되며, 절연부재(540)의 결합 후에 느슨하게 결합된 체결부재(430)는 관통부(543)을 통하여 드라이버 등과 같은 도구에 의하여 회전됨으로써 제1연결부재(410) 및 제2연결부재(420)에 대하여 견고하게 결합된다.The insulating member 540 inserted into the connector assembly 400 is coupled to the hollow shaft 220 by bolts or the like and the fastening member 430 loosely coupled after the connection of the insulating member 540 is inserted into the through hole 543 by a tool such as a screwdriver so as to be firmly coupled to the first connecting member 410 and the second connecting member 420.

한편 본 발명의 실시예는, 기판지지대에 설치된 내부부재에 연결된 제1전극단자 및 외부전극단자의 연결에 관하여 설명하고 있으나, 본 발명에 따른 커넥터 조립체는, 기판처리장치 내부에 설치된 내부부재에 연결되는 제1전극단자 및 외부전극단자를 연결에 모두 적용될 수 있음은 물론이다.Although the embodiments of the present invention are described in connection with the first electrode terminal and the external electrode terminal connected to the inner member provided on the substrate support, the connector assembly according to the present invention is connected to the inner member provided inside the substrate processing apparatus The first electrode terminal and the external electrode terminal may be connected to each other.

더 나아가, 본 발명에 따른 커넥터 조립체는, 길이방향으로 연결될 필요가 있는 제1전극단자 및 외부전극단자의 연결에도 적용가능함은 물론이다.
Furthermore, the connector assembly according to the present invention is also applicable to the connection of the first electrode terminal and the external electrode terminal which need to be connected in the longitudinal direction.

이상은 본 발명에 의해 구현될 수 있는 바람직한 실시예의 일부에 관하여 설명한 것에 불과하므로, 주지된 바와 같이 본 발명의 범위는 위의 실시예에 한정되어 해석되어서는 안 될 것이며, 위에서 설명된 본 발명의 기술적 사상과 그 근본을 함께 하는 기술적 사상은 모두 본 발명의 범위에 포함된다고 할 것이다.It will be apparent to those skilled in the art that various modifications and variations can be made in the present invention without departing from the spirit or scope of the invention as defined in the appended claims. It is to be understood that both the technical idea and the technical spirit of the invention are included in the scope of the present invention.

310 : 제1전극단자 320 : 외부전극단자
400 : 커넥터 조립체
410 : 제1연결부재 420 : 제2연결부재
430 : 체결부재310: first electrode terminal 320: external electrode terminal
400: connector assembly
410: first connecting member 420: second connecting member
430: fastening member

Claims (16)

기판처리장치의 내부에 설치된 내부부재와 전기적으로 연결되는 하나 이상의 제1전극단자와, 외부전원과의 전기적으로 연결되는 상기 외부전극단자를 전기적으로 연결하는 커넥터 조립체로서,
일단에 상기 제1전극단자가 길이방향으로 이동가능하게 결합되며 상기 제1전극단자의 외주면의 일부분이 노출되는 제1연결부재와;
타단에 상기 외부전극단자가 결합되며 상기 제1연결부재에서 노출된 제1전극단자의 외주면을 커버하도록 상기 제1연결부재와 결합되는 제2연결부재와;
상기 제1연결부재의 타단 및 상기 제2연결부재의 타단에 각각 형성된 제1결합공 및 제2결합공에 삽입되어 상기 제1연결부재 및 상기 제2연결부재를 체결하는 체결부재와;
상기 제1연결부재 및 상기 제2연결부재의 일단에서 상기 제1전극단자를 사이에 두고 상기 제1연결부재 및 상기 제2연결부재를 결합된 상태를 유지시키는 이격방지부를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판처리장치의 커넥터 조립체.At least one first electrode terminal electrically connected to an internal member provided in the substrate processing apparatus and a connector assembly electrically connecting the external electrode terminal electrically connected to the external power source,
A first connection member having a first electrode terminal coupled to the first electrode terminal in a longitudinal direction and exposed at a portion of an outer circumferential surface of the first electrode terminal;
A second connection member coupled to the first connection member so as to cover an outer circumferential surface of the first electrode terminal exposed at the first connection member;
A coupling member inserted into the first coupling hole and the second coupling hole respectively formed at the other end of the first coupling member and the other end of the second coupling member to fasten the first coupling member and the second coupling member;
And a separation preventing portion for holding the first connection member and the second connection member in a coupled state with one end of the first connection member and the second connection member sandwiching the first electrode terminal therebetween A connector assembly of a substrate processing apparatus. 청구항 1에 있어서,
상기 이격방지부는,
상기 제1연결부재의 일단에 형성되는 고정홈부와, 상기 제2연결부재의 일단에 형성되며 상기 고정홈부에 삽입되는 고정단차부를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판처리장치의 커넥터 조립체.The method according to claim 1,
[0027]
A fixing groove formed at one end of the first connection member and a fixing step formed at one end of the second connection member and inserted into the fixing groove. 청구항 1에 있어서,
상기 이격방지부는,
상기 제1연결부재 및 상기 제2연결부재의 일단에서 상기 제1연결부재 및 상기 제2연결부재의 외주면에 결합되어 상기 제1연결부재 및 상기 제2연결부재를 결합시키는 결합부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판처리장치의 커넥터 조립체.The method according to claim 1,
[0027]
And an engaging member coupled to an outer peripheral surface of the first linking member and the second linking member at one end of the first linking member and the second linking member to engage the first linking member and the second linking member Wherein the substrate processing apparatus further comprises: 청구항 1에 있어서,
상기 제1연결부재 및 상기 제2연결부재는, 서로 결합된 상태에서 원기둥, 측면 일부가 길이방향으로 절개된 원기둥, 타원기둥 및 다각기둥 중 어느 하나를 형성하는 것을 특징으로 하는 기판처리장치의 커넥터 조립체.The method according to claim 1,
Wherein the first connection member and the second connection member form one of a cylinder, an elongated cylinder, an elliptical cylinder, and a polygonal column, the cylinder being partially cut along the longitudinal direction in a state where the first and second connection members are coupled to each other. Assembly. 청구항 1에 있어서,
상기 제1연결부재 및 제2연결부재의 결합면에 상기 제1전극단자가 면접촉되도록 상기 제1연결부재 및 제2연결부재 중 적어도 하나에 상기 제1전극단자가 삽입되는 홈부가 형성된 것을 특징으로 하는 기판처리장치의 커넥터 조립체.The method according to claim 1,
And a groove portion into which the first electrode terminal is inserted is formed in at least one of the first connection member and the second connection member so that the first electrode terminal is in surface contact with the mating surface of the first connection member and the second connection member To the substrate processing apparatus. 밀폐된 처리공간을 형성하는 공정챔버 내에 설치되어 기판이 안착되는 기판처리장치의 기판지지대로서,
기판이 안착되는 안착플레이트와;
상기 안착플레이트 내부에 구비된 적어도 하나 이상의 내부부재와;
상기 안착플레이트 하부에 연장 형성되는 중공형 샤프트와;
상기 내부부재와 전기적으로 연결되며 상기 중공형 샤프트 하부에 노출되는 적어도 하나 이상의 제1전극단자와;
상기 제1전극단자와 외부전원과 전기적으로 연결하는 적어도 하나 이상의 커넥터 조립체를 포함하며;
상기 커넥터 조립체는,
일단에 상기 제1전극단자가 길이방향으로 이동가능하게 결합되며 상기 제1전극단자의 외주면의 일부분이 노출되는 제1연결부재와,
타단에 상기 외부전극단자가 결합되며 상기 제1연결부재에서 노출된 제1전극단자의 외주면을 커버하도록 상기 제1연결부재와 결합되는 제2연결부재와,
상기 제1연결부재의 타단 및 상기 제2연결부재의 타단에 각각 형성된 제1결합공 및 제2결합공에 삽입되어 상기 제1연결부재 및 상기 제2연결부재를 체결하는 체결부재와,
상기 제1연결부재 및 상기 제2연결부재의 일단에서 상기 제1전극단자를 사이에 두고 상기 제1연결부재 및 상기 제2연결부재를 결합된 상태를 유지시키는 이격방지부를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판처리장치의 기판지지대.1. A substrate support for a substrate processing apparatus, the substrate support being installed in a process chamber forming a closed process space,
A seating plate on which the substrate is seated;
At least one inner member disposed within the seating plate;
A hollow shaft extending from the bottom of the seating plate;
At least one first electrode terminal electrically connected to the inner member and exposed under the hollow shaft;
And at least one connector assembly electrically connected to the first electrode terminal and an external power source;
The connector assembly comprising:
A first connection member having a first electrode terminal movably coupled to the first electrode terminal in the longitudinal direction and a portion of an outer circumferential surface of the first electrode terminal exposed,
A second connection member coupled to the first connection member so as to cover an outer circumferential surface of the first electrode terminal exposed at the first connection member,
A coupling member inserted into the first coupling hole and the second coupling hole respectively formed at the other end of the first coupling member and the other end of the second coupling member to fasten the first coupling member and the second coupling member,
And a separation preventing portion for holding the first connection member and the second connection member in a coupled state with one end of the first connection member and the second connection member sandwiching the first electrode terminal therebetween A substrate support for a substrate processing apparatus. 청구항 6에 있어서,
상기 이격방지부는,
상기 제1연결부재의 일단에 형성되는 고정홈부와, 상기 제2연결부재의 일단에 형성되며 상기 고정홈부에 삽입되는 고정단차부를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판처리장치의 커넥터 조립체.The method of claim 6,
[0027]
A fixing groove formed at one end of the first connection member and a fixing step formed at one end of the second connection member and inserted into the fixing groove. 청구항 6에 있어서,
상기 이격방지부는,
상기 제1연결부재 및 상기 제2연결부재의 일단에서 상기 제1연결부재 및 상기 제2연결부재의 외주면에 결합되어 상기 제1연결부재 및 상기 제2연결부재를 결합시키는 결합부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판처리장치의 커넥터 조립체.The method of claim 6,
[0027]
And an engaging member coupled to an outer peripheral surface of the first linking member and the second linking member at one end of the first linking member and the second linking member to engage the first linking member and the second linking member Wherein the substrate processing apparatus further comprises: 청구항 6에 있어서,
상기 제1연결부재 및 상기 제2연결부재는, 서로 결합된 상태에서 원기둥, 측면 일부가 길이방향으로 절개된 원기둥, 타원기둥 및 다각기둥 중 어느 하나를 형성하는 것을 특징으로 하는 기판처리장치의 기판지지대.The method of claim 6,
Wherein the first linking member and the second linking member form a cylinder, an ellipse column, and a polygonal column in which a cylinder, a side portion of which is partially cut in a longitudinal direction in a state where the first and second linking members are coupled to each other. support fixture. 청구항 6에 있어서,
상기 제1연결부재 및 제2연결부재의 결합면에 상기 제1전극단자가 면접촉되도록 상기 제1연결부재 및 제2연결부재 중 적어도 하나에 상기 제1전극단자가 삽입되는 홈부가 형성된 것을 특징으로 하는 기판처리장치의 기판지지대.The method of claim 6,
And a groove portion into which the first electrode terminal is inserted is formed in at least one of the first connection member and the second connection member so that the first electrode terminal is in surface contact with the mating surface of the first connection member and the second connection member Wherein the substrate processing apparatus is a substrate processing apparatus. 청구항 6에 있어서,
상기 커넥터 조립체는 복수개 구비되며,
상기 복수의 커넥터 조립체를 상호 절연하기 위해 내측에 복수의 삽입공이 형성된 절연부재를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판처리장치의 기판지지대.The method of claim 6,
A plurality of connector assemblies are provided,
Further comprising an insulating member having a plurality of insertion holes formed therein to mutually insulate the plurality of connector assemblies. 청구항 11에 있어서,
상기 절연부재는 상기 삽입공에 삽입된 상기 체결부재에 대응되는 위치에 상기 체결부재가 외부로 노출되도록 관통부가 형성된 것을 특징으로 하는 기판처리장치의 기판지지대.The method of claim 11,
Wherein the inserting member is formed with a penetrating portion such that the fastening member is exposed to the outside at a position corresponding to the fastening member inserted into the insertion hole. 청구항 11에 있어서,
상기 커넥터 조립체가 상기 절연부재의 삽입공 내에서 회전되는 것을 방지하기 위한 회전방지수단을 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 기판처리장치의 기판지지대.The method of claim 11,
Further comprising rotation preventing means for preventing rotation of the connector assembly in the insertion hole of the insulating member. 청구항 13에 있어서,
상기 회전방지수단은,
상기 커넥터 조립체 또는 상기 절연부재의 삽입공 중 어느 하나가 회전방지돌기가 길이방향을 따라서 형성되고,
상기 커넥터 조립체 또는 상기 절연부재의 삽입공 중 나머지 하나가 상기 회전방지돌기가 삽입되는 돌기홈부가 형성된 것을 특징으로 하는 기판처리장치의 기판지지대.14. The method of claim 13,
The rotation preventing means
Wherein either one of the connector assembly and the insertion hole of the insulating member has the rotation preventing protrusion formed along the longitudinal direction,
And the other one of the insertion holes of the connector assembly or the insulating member is formed with a protrusion groove into which the rotation preventing protrusion is inserted. 청구항 13에 있어서,
상기 회전방지수단은
상기 절연부재의 삽입공의 상기 길이방향에 대한 수직 단면이 이루는 다각형상 또는 타원형상과,
제1연결부재와 상기 제2연결부재가 결합된 상태에서 상기 커넥터 조립체의 길이방향에 대한 수직 단면이 상기 삽입공의 수직 단면에 대응되도록 형성된 형상을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판처리장치의 기판지지대.14. The method of claim 13,
The anti-
A polygonal or elliptical phase formed by a vertical section of the insertion hole of the insulating member with respect to the longitudinal direction,
Wherein a vertical cross section of the connector assembly in a longitudinal direction thereof corresponds to a vertical section of the insertion hole in a state where the first connection member and the second connection member are engaged with each other, . 밀폐된 처리공간을 형성하는 공정챔버와;
상기 공정챔버에 설치되어 처리공간으로 가스를 분사하는 가스분사부와;
청구항 6 내지 청구항 15 중 어느 하나의 항에 따른 기판지지대를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판처리장치.A process chamber for forming a closed process space;
A gas injection unit installed in the process chamber and injecting gas into the process space;
A substrate processing apparatus comprising a substrate support according to any one of claims 6 to 15.
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Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20010024966A (en) * 1998-03-27 2001-03-26 조셉 제이. 스위니 A high temperature ceramic heater assembly with rf capability
JP2010287354A (en) * 2009-06-10 2010-12-24 Chugoku Electric Power Co Inc:The Terminal connecting device
JP2011525719A (en) * 2008-06-24 2011-09-22 アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド Pedestal heater for low temperature PECVD applications

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20010024966A (en) * 1998-03-27 2001-03-26 조셉 제이. 스위니 A high temperature ceramic heater assembly with rf capability
JP2011525719A (en) * 2008-06-24 2011-09-22 アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド Pedestal heater for low temperature PECVD applications
JP2010287354A (en) * 2009-06-10 2010-12-24 Chugoku Electric Power Co Inc:The Terminal connecting device

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