KR102009761B1 - 크린룸용 미세먼지 여과용 필터룸 - Google Patents

Abstract

본 발명은 반도체 공장을 비롯하여 미세먼지의 유입을 고도로 차단 해야할 크린룸에 청정공기를 공급하기 위해 설치하는 미세먼지 여과용 필터룸에 관한 것으로 보다 구체적인 것은, 일정 체적을 가지는 필터룸을 조립체로 구성하여 분해 조립이 가능한 필터룸을 구성하고 필터룸의 통기실 외벽을 필터벽으로 형성하여 필터벽에 다중여과부를 구비하는 미세먼지 여과필터를 착탈가능케 장치할 수 있게 필터장치홈을 형성함으로써, 필터벽을 통해 필터룸의 통기실에 흡입되는 공기를 미세 여과하고, 필터룸의 통기실에 유입된 여과된 공기를 통기실 배출구를 통해 크린룸으로 공급할 수 있게 구성한 크린룸용 미세먼지 여과용 필터룸이다.

Description

크린룸용 미세먼지 여과용 필터룸 {Fine dust filter for the clean room}

본 발명은 반도체 공장을 비롯하여 미세먼지의 유입을 고도로 차단 해야할 크린룸에 청정공기를 공급하기 위해 설치하는 미세먼지 여과용 필터룸에 관한 것으로 보다 구체적인 것은, 일정 체적을 가지는 필터룸을 조립체로 구성하여 분해 조립이 가능한 필터룸을 구성하고 필터룸의 통기실 외벽을 필터벽으로 형성하여 필터벽에 다중여과부를 구비하는 미세먼지 여과필터를 착탈가능케 장치할 수 있게 필터장치홈을 형성함으로써, 필터벽을 통해 필터룸에 흡입되는 공기를 미세 여과하고, 필터룸의 배출구를 통해 크린룸으로 공급할 수 있게 구성한 것이다.

반도체 제조공장의 실내를 비롯하여 청정공기를 유지해야 하는 크린룸에는 각종 오염물질을 비롯하여 미세먼지가 유입되지 않아야 하므로 크린룸으로 들어오는 입구와 출구에는 미세먼지 여과필터를 장치하게 된다.

그러나 일반적인 필터장치는 출입구에 들어오는 공기를 일부 여과할 수 있으나, 크린룸에 수용된 공기를 신속하게 환기시키거나 청정공기를 대량으로 공급할 수 없는 문제가 있고, 이를 해소하기 위해 필터룸을 현장에 축조해야 하므로 공사비용이 많이 드는 불편이 있고, 환기장치가 가동될 때까지 크린룸을 사용할 수 없는 불편이 있다.

선행기술 특허등록 제10-0806633호

본 발명은 상기 불편을 해소하기 위하여 조립식으로 된 필터룸을 제작하고, 필터룸의 주벽을 필터벽으로 구성하여 상기 문제를 해결할 수 있게 개발한 것이다.

본 발명은 직육면체로 구성되어 일정크기를 가지는 필터룸을 조립식으로 제작하여 분해조립이 가능케 구성하고, 필터룸의 양측벽에 다중여과부를 가지는 미세먼지여과필터를 착탈시킬 수 있게 형성함으로써, 외부공기를 여과하여 필터룸에 수용하고 필터룸에 수용된 여과된 공기를 크린룸에 공급할 수 있게 구성된다.

이를 위해 본 발명을 스테인레스스틸제 4각관체로 된 소재를 가로부재와 세로부재로 선택하여 격자형으로 결합하여 골격을 형성하고, 골격 외면에 외피를 씌워 외벽을 형성함으로써, 필터룸을 제작하되, 필터룸을 일정규격의 조립체로 만들어 적층조립할 수 있게 구성한 다음, 필터룸의 외벽을 필터벽으로 형성하여 필터벽에 통기실과 연통하는 필터장치홈을 만들고 필터장치홈에 다중여과부를 가지는 미세먼지 여과필터를 장치함으로써, 필터룸의 통기실에 들어오는 미세먼지를 여과필터로 여과하여 필터룸에 수용하고 필터룸의 일측 주벽에 배출구를 형성하여 배출구와 크린룸 사이에 통기관을 연결하여 공조장치를 통해 크린룸에 여과된 공기를 공급할 수 있게 함으로써, 크린룸의 공기관리가 편리하고, 필터룸의 설치와 이동이 편리하여 경제적인 관리가 가능케 한 것이다.

이와 같이 된 본 발명은 스테인레스스틸제 4각관체를 가로부재와 세로부재로 선택하여 격자형으로 결합시켜 골격을 구성하고, 골격 외면에 외피를 씌워 외벽을 형성함으로써, 필터룸을 만들어 필터룸 벽에 통기실을 형성하고, 통기실에 일정크기의 필터장치홈을 만들어 각 필터장치홈에 다중여과부를 가지는 미세먼지 여과필터를 장치하였기 때문에 필터룸의 양측벽을 미세먼지 여과에 필요한 필터벽으로 구성할 수 있고, 또, 필터룸은 상중하로 구분되게 다중체로 제작되어 적층되는 조립형 구성이므로 공장에서 제작하여 크린룸이 있는 현장에 이동하여 조립설치가 편리하게 되므로, 넓은 면적의 필터벽을 가지는 필터룸을 외부에서 제조하여 현장에 빨리 설치할 수 있게 되는 장점이 있고, 필터룸의 통기실 외벽에 배출구가 형성되어 크린룸과 통기관이 연결되어 공조장치를 통해 강제 배출되므로 공조장치가 가동하면 필터벽으로 외부공기가 흡인되어 통기실로 흡인되면서 여과되므로 통기실에 여과된 공기를 수용할 수 있고, 여과된 공기는 크린룸에 공급할 수 있어서 크린룸에 공기를 주입하거나 환기하는 작업이 신속 편리하게 달성될 수 있어 크린룸의 공기관리를 간편 신속하게 할 수 있는 이점이 있다.

또한, 본 발명은 크린룸의 골조가 스테인레스스틸관체로 선택되어 가로부재와 세로부재로 결합되므로 골격이 튼튼하고, 부식되지 않으므로 내구성을 담보할 수 있는 외벽이 만들어지고, 필터벽에 가로세로 방향으로 4각형상으로 된 필터장치홈을 형성하여 필터를 장치하기 때문에 필터면적을 벽체 전면에 확보할 수 있는 필터벽을 만들 수 있는 이점을 얻을 수 있고, 다중체로 조립되므로 가감이 편리하여 설치 면적에 대응할 수 있는 필터룸을 구축할 수 있으며, 미세먼지여과필터의 교환이 편리하여 필터벽의 관리가 편리하게 되는 장점을 얻을 수 있다.

또, 필터룸은 내부에 사람이 들어가서 청소를 할 수 있고, 이때 안전끈을 몸에 착용하고 지지대에 묶어서 작업을 할 수 있으므로 높이가 높아도 안전하게 작업할 수 있는 이점이 있다.

도 1은 본 발명의 사시도
도 2는 본 발명의 필터장치홈을 보이는 예시도
도 3은 본 발명의 필터룸 분해 사시도
도 4는 미세먼지 여과필터 부분 예시도
도 5는 도 1의 좌측면도
도 6은 도 1의 가-가'선단면도
도 7은 도 1의 사용상태 일예시도이다.

본 발명은 스테인레스스틸제 4각파이프에서 선택된 가로부재(2a)와, 세로부재(2b)를 격자상으로 결합하여 골격을 구성하고, 골격 외면에 외피를 씌워 외벽(2)을 설치함으로써, 내부가 구획되는 필터룸(1)과, 외벽(2)에 통기실(3)을 형성하여 통기실의 내벽에 필터장치홈(30b)을 형성하여 필터장치홈에 각각 제1,제2 필터(4a)(4b)가 중첩된 다중체의 미세먼지여과필터(4)를 착탈가능케 장치하여 필터벽(30)(30a)을 형성하고, 필터룸의 외벽일측에 배출구(2c)를 뚫어서 배출구 돌출단에 연결링(5)을 장치하고, 연결링에 통기관(5a)을 연결하여 통기실과 크린룸을 연결할 수 있게 한 구성으로 이루어진다.

또한, 본 발명은 필터룸(1)이 상체(1a) 하체(1b) 중간체(1c)로 분할되어 상하방향으로 적층되며, 적층연결부에는 연결판(10)이 부착되어 연결판의 연결구멍(10a)에 볼트와 너트로된 체결구(10b)를 체결하여 연결하고, 하체 바닥에 받침대(1d)를 설치하며, 배수구(1b')를 구비하고, 상체(1a)에 지지대(1e)가 장치되어 작업자의 안전끈을 걸어 지지시키고, 내부 작업을 할 수 있도록 구성된다.

1 : 필터룸 1a : 상체
1b : 하체 1c : 중간체
1d : 받침대 1e : 지지대
2 : 외벽 2a : 가로부재
2b : 세로부재 2c : 배출구
3 : 통기실 4 : 미세먼지여과필터
4a,4b : 제1,제2필터 5 : 연결링
5a : 통기관 10 : 연결판
10a : 연결구멍 10b : 체결구
30,30a : 필터벽 30b : 필터장치홈

Claims (2)

1. 스테인레스스틸제 4각파이프를 가로부재(2a)와, 세로부재(2b)로 선택하여 격자상으로 결합한 골격 외면에 외피를 씌워 외벽(2)을 형성하여 내부에 통기실(3)을 형성하되, 양측 외벽에는 내부와 연통하게 4각형으로 된 필터장치홈(30b)을 형성하여 제1,제2 필터(4a)(4b)가 중첩된 다중체의 미세먼지여과필터(4)를 착탈가능케 장치함으로써, 좌우측에 필터벽(30)(30a)이 형성되게 하고, 통기실(3)을 상체(1a) 하체(1b) 중간체(1c)로 분할되어 적층되는 필터룸(1)을 형성하되, 분할체의 적층연결부에 연결구멍(10a)이 있는 연결판(10)을 부착하여 연결구멍(10a)에 볼트와 너트로 구성된 체결구(10b)를 체결하며, 중간체(1c) 외벽에 배출구(2c)를 뚫어서 연결링(5)을 장치함으로써, 통기관(5a)을 설치할 수 있게 한 크린룸용 미세먼지 여과용 필터룸.
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