KR102008142B1 - Bearing holder - Google Patents

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KR102008142B1
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심재광
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Abstract

The present invention relates to a one-touch cap coupling bearing holder of a substrate transfer device, to which a plurality of rollers are fixedly coupled. The one-touch cap coupling bearing holder supports a bearing at a shaft transferring a substrate by each of the rollers when rotating while having the bearing on both ends. The present invention includes: a holding housing having an upper portion opened receiving part in which the bearing is inserted to be supported; a holding cap provided on the upper portion of the holding housing, preventing an opened area of the receiving part, and supporting the bearing; and a detaching and mounting means for relative coupling and decoupling between the holding housing and the holding cap, thereby being easy for assembly according as the holder housing for support of the bearing and the holding cap pressurizing and supporting the upper portion side of the bearing supported on the holder housing are coupled to and separated from the holder housing in an one-touch manner.

Description

기판 이송 장치의 원터치 캡 결합형 베어링 홀더{BEARING HOLDER}One-touch cap-coupled bearing holder for substrate transfer equipment {BEARING HOLDER}

본 발명은 다수의 롤러가 고정 결합된 샤프트 회전 시 각 롤러에 의해 기판을 이송시키는 기판 이송 장치에서 샤프트 양단에 결합된 베어링을 지지하는 베어링 홀더에 관한 것으로, 특히 베어링 안착지지 구조의 홀더하우징과 이의 상부에 결합되는 홀딩캡 간의 상호 결합이 원터치 결합 구조로 이루어진 베어링 홀더에 관한 기술이다.The present invention relates to a bearing holder for supporting a bearing coupled to both ends of a shaft in a substrate transporting device for transporting a substrate by each roller when the shaft is fixedly coupled shaft rotation, in particular a holder housing of a bearing seating support structure and its The mutual coupling between the holding caps coupled to the top is a technology related to a bearing holder consisting of a one-touch coupling structure.

일반적으로, 글라스(glass) 기판을 이송하는 기판 이송 장치는 예를 들어, 복수 개의 샤프트(shaft)와, 샤프트 각각에 복수 개의 롤러(roller)들이 균등한 간격으로 고정, 설치되어 기판을 이송한다.In general, a substrate transfer apparatus for transferring a glass substrate is, for example, a plurality of shafts (shaft), a plurality of rollers (rollers) are fixed and installed at equal intervals in each of the shaft to transfer the substrate.

샤프트는 모터 등과 같은 동력 발생 장치로부터 동력을 전달 받아서 회전되고, 이를 통해 롤러를 회전시킨다. 롤러들은 기판의 하부면과 직접 접촉하여 기판을 지지하고, 샤프트의 회전력을 전달받아서 회전되어 기판을 이송한다.The shaft is rotated by receiving power from a power generating device such as a motor and the like, thereby rotating the roller. The rollers directly contact the bottom surface of the substrate to support the substrate, and are rotated by the rotational force of the shaft to transfer the substrate.

이러한 기판 이송 장치는 샤프트를 따라 롤러들이 회전하여 기판을 이송할 때 정전기가 발생되어 기판이 손상되는 경우가 빈번하므로 생산성이 저하된다. 이러한 정전기는 기판에 형성된 회로 패턴 등에 가해져 기판을 손상시키는 문제를 야기한다.This substrate transfer device is reduced in productivity since the static electricity is generated when the rollers are rotated along the shaft to transfer the substrate and the substrate is frequently damaged. Such static electricity is applied to a circuit pattern or the like formed on the substrate, causing a problem of damaging the substrate.

이러한 문제를 해결하기 위한 기술로는,As a technique to solve this problem,

대한민국 특허공개 제10-2015-0077726호 (2015.07.08.공개, 이하에서는 '문헌 1'이라고 함) 『기판 처리 장치 및 방법』이 제시되어 있는바,Republic of Korea Patent Publication No. 10-2015-0077726 (2015.07.08. Publication, hereinafter referred to as 'Document 1') "substrate processing apparatus and method" is presented,

문헌 1은 기판이 이송되는 방향을 따라 나란하게 배열되며 기판의 하면과 접촉되는 다수의 롤러가 고정 결합된 회전 가능한 복수의 이송 샤프트와, 상기 이송 샤프트의 일단에 위치되는 프레임 상에 설치되어 내부에 상기 이송 샤프트의 일단이 결합되는 베어링이 삽입되는 베어링 홀더와, 상기 베어링 홀더 내부에 배치되고, 상부에 상기 베어링의 중심을 향하는 방향으로 볼록하게 제공되어 상기 베어링의 양 측면과 접지되는 접지부와, 하부는 병목 형상으로 제공되어 상기 베어링 홀더의 하부에 위치되는 접지라인을 갖는 접지 유닛과, 상기 베어링 홀더의 하단에서 상기 접지라인의 하단에 형성되는 통전홀을 포함함으로써, 기판 이송 시 발생하는 정전기를 효율적으로 방출시킬 수 있고, 별도 고가의 장비 설치 없이 정전기로 인한 기판의 불량 발생을 최소화할 수 있는 기판 처리 장치 및 방법에 관한 기술이다.Document 1 is arranged side by side along the direction in which the substrate is transported and a plurality of rotatable transport shaft fixedly coupled to a plurality of rollers in contact with the lower surface of the substrate, and installed on the frame located at one end of the transport shaft therein A bearing holder into which a bearing to which one end of the conveying shaft is coupled is inserted, a bearing part disposed inside the bearing holder and provided convexly in a direction toward the center of the bearing, and grounded to both sides of the bearing and grounded; The lower part includes a grounding unit having a ground line provided in a bottleneck shape and positioned below the bearing holder, and a conducting hole formed at the lower end of the ground line at the lower end of the bearing holder, thereby preventing static electricity generated during substrate transfer. Efficient discharge and failure of board due to static electricity without installing expensive equipment The present invention relates to a substrate processing apparatus and a method capable of minimizing the number.

문헌 1. 대한민국 특허공개 제10-2015-0077726호 (2015.07.08.공개)Document 1. Republic of Korea Patent Publication No. 10-2015-0077726 (2015.07.08.Publication)

본 발명은 샤프트 양단의 베어링이 삽입 안착되는 홀더하우징 상부에 원터치 결합 구조의 홀딩캡을 장착 및 분리케 함으로써, 베어링 및 이와 결합된 각종 부품들을 손쉽게 교체 및 수리할 수 있는 기판 이송 장치의 원터치 캡 결합형 베어링 홀더를 제공하는데 그 목적이 있다.The present invention by mounting and detaching the holding cap of the one-touch coupling structure on the upper part of the holder housing in which the bearings of both ends of the shaft is inserted and seated, the one-touch cap coupling of the substrate transfer device that can easily replace and repair the bearing and various components The purpose is to provide a type bearing holder.

나아가 본 발명은 홀더하우징에서 베어링 안착 하부 측에 통전홀과 이에 삽입된 접지스프링을 통해 샤프트 회전 시 발생하는 정전기를 방출케 하는 기판 이송 장치의 원터치 캡 결합형 베어링 홀더를 제공하는데 그 목적이 있다.Furthermore, an object of the present invention is to provide a one-touch cap-coupled bearing holder of a substrate transfer device that discharges static electricity generated when a shaft rotates through a current carrying hole and a ground spring inserted into the bearing seating lower side of the holder housing.

상기와 같은 해결 과제를 해결하기 위하여 본 발명에 따른 기판 이송 장치의 원터치 캡 결합형 베어링 홀더는,In order to solve the above problems, the one-touch cap coupled bearing holder of the substrate transfer apparatus according to the present invention,

다수의 롤러가 고정 결합되며 양단에 베어링을 갖고 회전 시 상기 각 롤러에 의해 기판을 이송시키는 샤프트에서 상기 베어링을 지지하기 위해,A plurality of rollers are fixedly coupled and have bearings at both ends to support the bearings in a shaft that transports the substrate by the respective rollers when rotated,

상기 베어링이 삽입되어 지지되는 상방 개구(開口)형 수용부를 갖는 홀딩하우징;A holding housing having an upper opening-type receiving portion in which the bearing is inserted and supported;

상기 홀딩하우징의 상부에 배치되어 상기 수용부의 개구 영역을 차단하고 상기 베어링을 지지하는 홀딩캡; 및A holding cap disposed on an upper portion of the holding housing to block an opening area of the accommodation portion and support the bearing; And

상기 홀딩하우징과 상기 홀딩캡 간의 상호 결합 및 분리를 위한 탈장착수단;Removable means for mutual coupling and separation between the holding housing and the holding cap;

으로 이루어진 것을 특징으로 한다.Characterized in that consisting of.

본 발명에 따른 기판 이송 장치의 원터치 캡 결합형 베어링 홀더는,One-touch cap-coupled bearing holder of the substrate transfer device according to the present invention,

베어링 지지를 위한 홀더하우징과 상기 홀더하우징에 지지된 베어링 상부 측을 가압 지지하는 홀딩캡이 원터치 방식으로 상기 홀더하우징에 결합 및 분리됨에 따라 조립이 용이하고, 이를 통해 부품 교체 및 수리가 용이한 효과가 있다.The holder housing for bearing support and the holding cap for pressing and supporting the bearing upper side supported by the holder housing are easily assembled and detached from the holder housing in a one-touch manner, and thus easy to replace and repair parts. There is.

또 접지스프링을 통해 정전기 방출이 용이하고, 특히 고정너트와 이에 체결되는 고정볼트, 그리고 고정볼트 양단 각각에 풀림 방지형 구조의 접지스프링을 체결하여 정전기를 방출시킬 수 있도록 한 효과가 있다.In addition, it is easy to discharge static electricity through the grounding spring, and in particular, the fixing nut and the fixing bolt to be fastened to it, and fastening the grounding spring of the anti-loosening structure at each end of the fixing bolt to release the static electricity.

또 기판 이송 방향으로 배열된 다수의 홀딩하우징 간의 파티션커버를 배치하되, 파티션커버의 양단이 홀딩하우징 양단에 삽입 지지되도록 함으로써, 파티션커버의 설치가 용이한 효과가 있다.In addition, by arranging a partition cover between a plurality of holding housings arranged in the substrate transfer direction, by allowing both ends of the partition cover to be inserted and supported at both ends of the holding housing, the partition cover can be easily installed.

도 1은 본 발명에 따른 기판 이송 장치의 원터치 캡 결합형 베어링 홀더를 나타낸 분해 입체 구성도,
도 2는 본 발명에 따른 기판 이송 장치의 원터치 캡 결합형 베어링 홀더를 나타낸 저면 분해 입체 구성도,
도 3은 본 발명에 따른 기판 이송 장치의 원터치 캡 결합형 베어링 홀더를 나타낸 측면 분해 구성도,
도 4는 본 발명에 따른 기판 이송 장치의 원터치 캡 결합형 베어링 홀더가 프레임에 설치된 상태를 나타낸 결합 단면 구성도,
도 5는 도 4의 "A"에 대한 다른 예의 접지스프링 등의 구조를 나타낸 요부 확대 단면 구성도,
도 6은 다른 예에서 접지스프링의 구조를 나타낸 입체 구성도 및 평면 구성도,
도 7은 기판 이송 장치에 베어링 홀더가 설치되고 파티션커버가 배치된 상태를 보여주기 위한 평면 구성도.
1 is an exploded three-dimensional block diagram showing a one-touch cap combined bearing holder of the substrate transfer apparatus according to the present invention,
Figure 2 is a bottom exploded three-dimensional block diagram showing a one-touch cap combined bearing holder of the substrate transfer apparatus according to the present invention,
3 is a side exploded view showing a one-touch cap-coupled bearing holder of the substrate transfer device according to the present invention;
4 is a cross-sectional configuration diagram showing a state in which the one-touch cap coupled bearing holder of the substrate transfer apparatus according to the present invention is installed in the frame;
FIG. 5 is an enlarged cross-sectional configuration view of a main portion showing a structure of a ground spring of another example of “A” of FIG. 4;
Figure 6 is a three-dimensional configuration and plan view showing the structure of the ground spring in another example,
Figure 7 is a plan view showing a state in which the bearing holder is installed on the substrate transfer device and the partition cover is disposed.

이하 첨부된 도면들을 참조로 본 발명의 바람직한 실시예에 대해서 상세히 설명하기로 한다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

이에 앞서, 본 명세서 및 청구범위에 사용된 용어나 단어는 통상적이거나 사전적인 의미로 한정해서 해석되어서는 아니 되며, 발명자는 그 자신의 발명을 가장 최선의 방법으로 설명하기 위해 용어의 개념을 적절하게 정의할 수 있다는 원칙에 입각하여 본 발명의 기술적 사상에 부합하는 의미와 개념으로 해석되어야만 한다. 따라서 본 명세서에 기재된 실시예와 도면에 도시된 구성은 본 발명의 가장 바람직한 일 실시예에 불과할 뿐이고 본 발명의 기술적 사상을 모두 대변하는 것은 아니므로, 본 출원 시점에 있어서 이들을 대체할 수 있는 다양한 균등물과 변형예들이 있을 수 있음을 이해하여야 한다.Prior to this, terms or words used in the present specification and claims should not be construed as being limited to the common or dictionary meanings, and the inventors should properly explain the concept of terms in order to best explain their own invention. Based on the principle that can be defined, it should be interpreted as meaning and concept corresponding to the technical idea of the present invention. Therefore, the embodiments described in the specification and the configuration shown in the drawings are only the most preferred embodiment of the present invention and do not represent all of the technical idea of the present invention, various equivalents that may be substituted for them at the time of the present application It should be understood that there may be water and variations.

도 1을 기준으로 홀딩캡 측을 상부 또는 상방, 홀딩하우징 측을 하부 또는 하방이라고 방향을 특정하기로 한다.The direction of the holding cap side to the upper or upper, the holding housing side to the lower or lower side will be specified based on FIG.

도 1 내지 도 7에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 기판 이송 장치의 원터치 캡 결합형 베어링 홀더는,As shown in Figures 1 to 7, the one-touch cap coupled bearing holder of the substrate transfer apparatus according to the present invention,

다수의 롤러(1)가 고정 결합되며 양단에 베어링(2)을 갖고 회전 시 상기 각 롤러(1)에 의해 기판을 이송시키는 샤프트(S)에서 상기 베어링(2)을 지지하기 위해,In order to support the bearing (2) in the shaft (S) to which a plurality of rollers (1) is fixedly coupled and has bearings (2) at both ends and to transport the substrate by the respective rollers (1) in rotation,

크게 홀딩하우징(10), 홀딩캡(20) 및 탈장착수단(30)으로 이루어진다.It consists of a holding housing 10, holding cap 20 and the mounting means 30.

각 구성에 대해 살펴보면,Looking at each configuration,

홀딩하우징(10)은The holding housing 10

도 1 내지 도 4에 도시된 바와 같이,As shown in Figures 1 to 4,

상기 베어링(2)이 삽입되어 지지되는 상방 개구(開口)형 수용부(11)Upper opening type receiving portion 11 into which the bearing 2 is inserted and supported

를 포함하는 사각의 하우징 구조로 이루어진다.It consists of a rectangular housing structure comprising a.

이때 도 1 내지 도 3에서와 같이, 상기 홀딩하우징(10)의 수용부(11)는 하부에 U자형의 바텀수용공간(111)과, 상기 바텀수용공간(111)의 양 내벽에서 상방으로 수직 연장되는 탑수용공간(112)과, 상기 바텀수용공간(111)과 상기 탑수용공간(112)의 각 내벽을 따라 요입되게 형성되어 서로 이어지고 상기 베어링(2)의 하부 측이 안착되는 리세스(recess)(113)로 이루어진다.1 to 3, the receiving portion 11 of the holding housing 10 is vertically upward from both inner walls of the U-shaped bottom accommodating space 111 and the bottom accommodating space 111. Recesses are formed to extend along the inner wall of the top receiving space 112, the bottom receiving space 111 and the top receiving space 112 and are connected to each other and the lower side of the bearing (2) ( recess 113).

결국 상기 리세스(113)에서 상기 탑수용공간부(112) 측에 위치한 영역은 원형의 상기 베어링(2)의 진입하기 위한 공간으로서, 상기 베어링(2)의 직경과 상응한 폭을 갖고, 상기 리세스(113)에서 상기 바텀수용공간(111) 측에 위치한 영역은 원형의 상기 베어링(2)이 안착되기 위한 공간으로서, 상기 베어링(2)의 직경과 상응한 직경을 갖는다.As a result, the region located at the top receiving space portion 112 side in the recess 113 is a space for entering the circular bearing 2, and has a width corresponding to the diameter of the bearing 2. The region located at the bottom accommodating space 111 side in the recess 113 is a space for seating the circular bearing 2, and has a diameter corresponding to the diameter of the bearing 2.

아울러 상기 리세스(113)는 상기 바텀수용공간(111)과 상기 탑수용공간(112)의 내벽에서 중앙 영역을 따라 형성됨에 따라 상기 리세스(113)를 이루는 양 내벽에 상기 베어링(2)의 양면 둘레 영역 중 하부 측 둘레 영역이 지지된다.In addition, the recess 113 is formed along the central region in the inner wall of the bottom accommodating space 111 and the top accommodating space 112, so that both of the bearings 2 are formed on both inner walls of the recess 113. The lower side circumferential region of the double-sided circumferential region is supported.

그리고 도 3 및 도 4에서와 같이, 상기 홀딩하우징(10)에는 상기 수용부(11)의 바닥 측, 즉 상기 바텀수용공간(111)의 바닥 측에 상하로 관통되는 통전홀(12)과, 상기 통전홀(12)에 삽입되어 일단이 상기 베어링(2)에 접촉되고 타단이 상기 홀딩하우징(10) 설치용 프레임(F)에 접촉되는 정전기 방출용 접지스프링(13)이 더 구비된다.3 and 4, the holding housing 10 has a conducting hole 12 penetrating up and down on the bottom side of the receiving portion 11, that is, the bottom side of the bottom accommodating space 111; It is further provided with an electrostatic discharge ground spring (13) inserted into the conduction hole (12), one end of which is in contact with the bearing (2) and the other end of which is in contact with the holding housing (10) installation frame (F).

상기 접지스프링(13)은 직경이 동일한 코일형 스프링 구조로 이루어질 수 있는데, 이러한 상기 접지스프링(13)은 상기 베어링(2)과 프레임(F) 측으로 각각 탄성 발휘하게 됨으로써, 접지 상태를 일정하게 유지할 수 있다.The ground spring 13 may have a coil spring structure having the same diameter, and the ground spring 13 is elastically exerted toward the bearing 2 and the frame F, respectively, to maintain a constant ground state. Can be.

다른 예로, 도 5 및 도 6에서와 같이, 상기 통전홀(12)의 중단 영역에 고정 배치되는 고정너트(17)와, 상기 고정너트(17)에 체결되되 상단과 하단이 각각 외부로 노출되는 고정볼트(18)가 구비된 상태에서 상기 고정볼트(18)의 상단과 하단 각각에 상기 접지스프링(13)이 끼워짐에 따라 한 쌍의 접지스프링(13)이 구비된다. 결국 상부 측 접지스프링(13)의 상단이 상기 베어링(2)에 접촉되고 하부 측 접지스프링(13)의 하단이 상기 홀딩하우징(10) 설치용 프레임(F)에 접촉된다. 이때 상기 고정볼트(18)는 상기 베어링(2)과 프레임(F) 각각이 비(非)접촉되는 정도의 상하 길이를 갖는 것이 바람직하다.As another example, as shown in FIGS. 5 and 6, the fixing nut 17 fixed to the stop region of the energizing hole 12 and the fixing nut 17 are fastened to each other, and upper and lower ends thereof are exposed to the outside, respectively. A pair of ground springs 13 are provided as the ground springs 13 are fitted to the upper and lower ends of the fixing bolts 18 while the fixing bolts 18 are provided. As a result, the upper end of the upper side ground spring 13 is in contact with the bearing 2 and the lower end of the lower side ground spring 13 is in contact with the frame F for installing the holding housing 10. At this time, the fixing bolt 18 preferably has an upper and lower length such that each of the bearing (2) and the frame (F) is non-contact.

여기서 상기 고정볼트(18)에 끼워지는 접지스프링(13)은 상기 고정볼트(18)의 나사산과 대응되는 환형부(131a)가 나선 형태로 서로 이어져 복수 개의 층을 이루는 스프링분체(131)와, 상기 스프링분체(131)의 양단으로부터 각각 연장 형성되되 상기 환형부(131a)의 외측으로 권취 되는 가압부(132)로 이루어진다.Wherein the ground spring 13 is fitted to the fixing bolt 18 is a spring powder 131 and the annular portion 131a corresponding to the screw thread of the fixing bolt 18 is connected to each other in a spiral form to form a plurality of layers, The spring powder 131 extends from both ends, respectively, and includes a pressing part 132 wound around the outer side of the annular portion 131a.

아울러 상기 가압부(132)는 상기 환형부(131a)의 외측으로 권취 되되 대돌출부(132a) 3개와 소돌출부(132b) 3개가 서로 번갈아가며 형성되어 전체적인 형상이 삼각형상을 이룬다.In addition, the pressing portion 132 is wound to the outside of the annular portion (131a) three large protrusions (132a) and three small protrusions (132b) are formed alternately with each other to form a triangular shape overall.

즉, 상기 가압부(132)는 대돌출부(132a)가 형성됨으로써, 작업자가 용이하게 파지가 가능하여 상기 고정볼트(18)에 체결한 뒤 상기 고정볼트(18)의 나사산 위치로 쉽게 회전시켜 이동시킬 수 있는 효과를 실현케 한다.That is, the pressing portion 132 is formed by a large protrusion (132a), the operator can be easily gripped and fastened to the fixing bolt 18 and then easily rotated to the screw thread position of the fixing bolt 18 to move To realize the effect that can be made.

부가하여 설명하면, 사각 또는 다각의 형상 중 가장 안정적인 형상은 삼각형상인데, 이는 사각 이상의 형상은 작업자가 파지하여 회전시킬 경우 쉽게 미끄러질 수 있으나, 본 발명의 상기 가압부(132)의 형상인 삼각 형상은 파지되는 면이 3개로 형성됨에 따라 파지되는 면적이 넓어 미끄러져도 작업자의 손가락이 쉽게 이탈되지 않아 더욱더 용이하게 파지 및 체결이 용이한 효과를 얻을 수 있다.In addition, the most stable shape of the rectangular or polygonal shape is a triangular shape, which is a shape of the square or more can easily slip when the operator grips and rotates, the triangular shape of the pressing portion 132 of the present invention As the gripping surface is formed in three, the gripping area is wide, so that the operator's fingers are not easily separated, so that gripping and fastening can be easily performed.

또한, 상기 가압부(132)는 소돌출부(132b)에 의해 형성되는 추가적인 면 즉, 대돌출부(132a)의 사이에 형성되는 면을 두개의 면으로 구분시키되, 상기 소돌출부(132b)에 의해 작업자가 파지하고 있는 손가락이 미끄러지는 것을 방지할 수 있는 효과를 실현케 한다.In addition, the pressing unit 132 is divided by the additional surface formed by the small protrusion 132b, that is, the surface formed between the large protrusion 132a into two surfaces, the operator by the small protrusion 132b It is possible to realize the effect of preventing the gripping fingers to slide.

따라서 상기 환형부(131a)에 의해 상기 고정볼트(18)의 상단과 하단에 상기 접지스프링(13)이 고정 결합되고 이 상태에서 상기 고정볼트(18)의 상단과 하단에 각각 고정 결합된 상기 접지스프링(13)의 가압부(132)가 상기 베어링(2)과 프레임(F)에 접지된다.Therefore, the ground spring 13 is fixedly coupled to the upper and lower ends of the fixing bolt 18 by the annular portion 131a, and in this state, the ground fixedly coupled to the upper and lower ends of the fixing bolt 18, respectively. The pressing portion 132 of the spring 13 is grounded to the bearing 2 and the frame F.

이러한 구조의 접지스프링(13)은 사용양태, 진동크기, 충격에 관계없이 다양한 조건에서 체결의 풀림이 임의로 해제되는 것이 방지된다.The ground spring 13 of this structure prevents the release of the fastening arbitrarily under various conditions irrespective of the use mode, vibration size and impact.

상기와 같은 구조를 통해 정전기는 다음과 같이 통과된다. 상기 샤프트(S)와 롤러(1)를 통해 이송되는 기판에서 발생하는 정전기는 상기 샤프트(S)를 통해 베어링(2)으로 전달된다. 이후 정전기는 상기 베어링(2)에 접지되는 상기 접지스프링(13)으로 전달되고, 상기 접지스프링(13)이 접지되어 있는 상기 프레임(F)을 통해 외부로 방출된다.Through the structure as described above, the static electricity is passed as follows. Static electricity generated in the substrate transferred through the shaft S and the roller 1 is transferred to the bearing 2 through the shaft S. After that, the static electricity is transferred to the ground spring 13 which is grounded to the bearing 2, and is discharged to the outside through the frame F in which the ground spring 13 is grounded.

다른 예로 설명된 접지스프링(13) 구조에서 정전기는 상부 측 접지스프링(13)을 거쳐 통전 가능한 재질의 고정너트(13)를 지나 하부 측 접지스프링(13)으로 전달된다.In the structure of the ground spring 13 described as another example, the static electricity is transferred to the lower side ground spring 13 via the fixing nut 13 of a conductive material through the upper side ground spring 13.

그리고 도 1 내지 도 3에서와 같이, 상기 홀딩하우징(10)에는 상기 수용부(11) 양측에 배치되어 상기 베어링(1)의 양면 둘레 중 일부를 가리게 되는 커버부재(14)가 형성되고, 이때 상기 커버부재(14)의 양 상단에는 서로 마주보는 방향으로 경사진 구조의 슬로프(141)가 형성되는데, 이는 상기 홀딩하우징(10)에 상기 홀딩캡(20) 장착 시 후술할 스냅돌기(34)가 후술할 바텀공간부(32)로 진입하여 삽입 안착되도록 안내할 뿐만 아니라 상기 대응커버부재(23)가 상기 수용부(11)로 진입하여 상기 커버부재(14)와 상호 맞닿게 되도록 안내하는 기능을 갖는다.1 to 3, the holding housing 10 is provided with a cover member 14 disposed on both sides of the receiving portion 11 to cover a part of both sides of the bearing 1. On both upper ends of the cover member 14, a slope 141 having a structure inclined in a direction facing each other is formed, which is a snap protrusion 34 to be described later when the holding cap 20 is mounted to the holding housing 10. A guide to enter the bottom space portion 32 to be described later to be inserted and seated, as well as to guide the corresponding cover member 23 to enter the receiving portion 11 to be in contact with the cover member (14). Has

또한 상기 커버부재(14)와 상기 대응커버부재(23)를 통해 상기 베어링(2)을 외부로부터 보호함은 물론, 작업자의 안전에 기여할 수 있다.In addition, the cover member 14 and the corresponding cover member 23 may not only protect the bearing 2 from the outside but also contribute to the safety of the operator.

그리고 도 1 및 도 4에서와 같이, 상기 홀딩하우징(10)에는 양 외벽에서 내측으로 움푹 들어가면서 상하로 개구된 형상의 안착공간부(15)가 형성된다. 기판 이송 장치에서 상기 샤프트(S)는 기판의 이송 방향을 따라 다수개가 배치됨에 따라 각 샤프트(S)에 결합된 베어링(2) 각각에 상기 홀딩하우징(10)이 배치되고, 이때 도 7에서와 같이 인접한 홀딩하우징(10)들 사이에 파티션커버(P)가 배치된다. 상기 파티션커버(P)는 인접한 홀딩하우징(10) 간의 간격 유지 및 상기 샤프트(S)측으로의 이물질 유입과 안전사고를 방지하기 위해 설치되는 것으로, 이러한 상기 파티션커버(P)의 단부가 상기 안착공간부(15)에 삽입되고, 삽입된 상기 파티션커버(P)는 별도의 고정수단에 의해 상기 홀딩하우징(10)에 고정될 수도 있다.1 and 4, the holding housing 10 is provided with a seating space 15 having a shape that is vertically opened while being recessed inward from both outer walls. In the substrate transfer apparatus, the plurality of shafts S is disposed along the transfer direction of the substrate, and thus the holding housings 10 are disposed in each of the bearings 2 coupled to each shaft S. In this case, as shown in FIG. The partition cover P is disposed between the adjacent holding housings 10. The partition cover (P) is installed to maintain the gap between the adjacent holding housing 10 and to prevent foreign matters from entering the shaft (S) and safety accidents, the end of the partition cover (P) is the seating space The partition cover P inserted into the unit 15 may be fixed to the holding housing 10 by a separate fixing means.

그리고 상기 홀딩하우징(10)의 양 측면에는 컨베이어 구동의 측면 커버(미도시)에 상기 홀딩하우징(10)을 설치하기 위해 둘 이상의 인서트탭(16)이 구비되는 것이 바람직하다.At least two insert tabs 16 may be provided at both sides of the holding housing 10 to install the holding housing 10 at a side cover (not shown) of a conveyor drive.

홀딩캡(20)은Holding cap 20 is

도 1 내지 도 4에 도시된 바와 같이,As shown in Figures 1 to 4,

상기 홀딩하우징(10)의 상부에 배치되어 상기 수용부(11)의 개구 영역을 차단하고 상기 베어링(2)을 지지하기 위한 것으로,Is disposed on the holding housing 10 to block the opening area of the receiving portion 11 and to support the bearing (2),

하부에 상기 베어링(2)의 상부 측이 안착되는 ∩자형의 대응리세스(21)U-shaped corresponding recess 21 in which the upper side of the bearing 2 is seated in the lower part.

를 포함하여 이루어진다.It is made, including.

이때 상기 대응리세스(21)는 상기 홀딩캡(20)의 하부면 중앙 영역에 하방으로 돌출되어 있는 포스트(22)의 하부면에 형성되는데, 이는 일예이고 상기 포스트(22)의 구성없이 상기 홀딩캡(20)의 하부면에 ∩자 형상이 되도록 상방으로 요입되게 일체로 형성될 수도 있다.At this time, the corresponding recess 21 is formed on the lower surface of the post 22 protruding downward in the central region of the lower surface of the holding cap 20, which is an example and the holding without the configuration of the post 22. The lower surface of the cap 20 may be integrally formed to be concave upward to have a U-shape.

아울러 상기 대응리세스(21)는 상기 홀딩하우징(10)에 상기 홀딩캡(20)이 장착된 상태에서 상기 베어링(2)의 상부 측 외주면을 지지하게 된다. 결국 상기 대응리세스(21)는 상기 베어링(2)의 직경과 상응한 직경을 갖는다.In addition, the corresponding recess 21 supports the outer circumferential surface of the upper side of the bearing 2 in a state in which the holding cap 20 is mounted on the holding housing 10. As a result, the corresponding recess 21 has a diameter corresponding to the diameter of the bearing 2.

그리고 도 3에서와 같이, 상기 홀딩캡(20)에는 상기 커버부재(14)와 상호 맞닿아 상기 베어링(2)의 양면 둘레 중 나머지 일부를 가리게 되는 대응커버부재(23)가 형성되고, 이때 상기 대응커버부재(23)의 양단은 서로 마주보는 방향으로 경사져 상기 커버부재(14)의 슬로프(141)와 상호 맞닿게 되는 대응슬로프(231)가 형성된다.And, as shown in Figure 3, the holding cap 20 is formed with a corresponding cover member 23 in contact with the cover member 14 to cover the remaining part of the circumference of both sides of the bearing (2), wherein the Both ends of the corresponding cover member 23 are inclined in a direction facing each other to form a corresponding slope 231 which is in contact with the slope 141 of the cover member 14.

그리고 상기 홀딩캡(20)의 상부면에는 컨베이어 구동부의 상부 커버(미도시)에 상기 홀딩캡(20)을 설치하기 위해 둘 이상의 인서트탭(24)이 구비되는 것이 바람직하다.In addition, the upper surface of the holding cap 20 is preferably provided with two or more insert tabs 24 to install the holding cap 20 on the upper cover (not shown) of the conveyor drive unit.

탈장착수단(30)은Desorption means 30

도 1 내지 도 3에 도시된 바와 같이,As shown in Figures 1 to 3,

상기 홀딩하우징(10)과 상기 홀딩캡(20) 간의 상호 결합 및 분리를 위한 것으로,For mutual coupling and separation between the holding housing 10 and the holding cap 20,

상기 홀딩하우징(10)의 상부 측 양단에 내측으로 움푹 들어간 탑공간부(31),The top space portion 31 recessed inwardly at both ends of the upper side of the holding housing 10,

상기 탑공간부(31)의 하단에 내측으로 움푹 들어간 바텀공간부(32),Bottom space portion 32 recessed inward to the lower end of the top space portion 31,

상기 홀딩캡(20)의 하부 측 양단에 하방으로 돌출되어 상기 탑공간부(31)에 배치되는 서포트(33), 그리고A support 33 protruding downward from both ends of the lower side of the holding cap 20 and disposed in the top space part 31; and

상기 서포트(33)의 단부에서 내측으로 돌출되어 상기 바텀공간부(32)에 끼워지는 스냅돌기(34)A snap protrusion 34 protruding inward from an end of the support 33 and fitted into the bottom space portion 32.

를 포함하여 이루어진다.It is made, including.

이때 상기 탑공간부(31)와 상기 바텀공간부(32) 각각은 사각의 공간 구조로 이루어지고, 상기 서포트(33)와 상기 스냅돌기(34) 또한 상기 각 공간부(31, 32)에 대응되게 사각의 단면 구조로 이루어진다.In this case, each of the top space portion 31 and the bottom space portion 32 has a rectangular space structure, and the support 33 and the snap protrusion 34 also correspond to the respective space portions 31 and 32. It consists of a rectangular cross-sectional structure.

특히 도 1 및 도 2에서와 같이, 상기 스냅돌기(34)는 대략 역삼각형의 구조로 이루어져, 상기 홀딩하우징(10)에 상기 홀딩캡(20) 장착 시 상기 스냅돌기(34)가 상기 탑공간부(31)를 지나면서 상기 서포트(33)가 외측으로 벌어지게 되고, 상기 스냅돌기(34)가 상기 바텀공간부(32)에 끼워져 안착될 때에 벌어졌던 상기 서포트(33)가 상기 탑공간부(31)에 안착됨으로써, 상기 홀딩하우징(10)과 상기 홀딩캡(20) 간의 상호 결합이 이루어진다. 상기 스냅돌기(34)를 단부에 갖는 상기 서포트(33)는 벌어졌다가 다시 원위치 될 수 있도록 복원력을 갖는 재질로 이루어지는 것이 바람직하다.In particular, as shown in FIGS. 1 and 2, the snap protrusion 34 has an approximately inverted triangle structure, and when the holding cap 20 is mounted on the holding housing 10, the snap protrusion 34 is in the top space. The support 33 is opened to the outside while passing through the part 31, and the support 33, which was opened when the snap protrusion 34 is fitted into the bottom space part 32, is seated in the top space part ( By being seated at 31, mutual coupling between the holding housing 10 and the holding cap 20 is achieved. The support 33 having the snap protrusion 34 at the end is preferably made of a material having a restoring force so that it can be opened and then returned to its original position.

그리고 상기 탈장착수단(30)은And the mounting means 30 is

상기 탑공간부(31)와 상기 바텀공간부(32)에서 상기 수용부(11)와 인접한 단부 영역에 막혀 있는 형태로 형성되어 상기 스냅돌기(34)의 움직임을 제한하는 스토퍼(35)와,A stopper 35 formed in the top space portion 31 and the bottom space portion 32 so as to be blocked in an end region adjacent to the accommodation portion 11 to limit the movement of the snap protrusion 34;

상기 바텀공간부(32)의 하단에서 하방으로 연장되고 외측으로 개구되게 형성되는 탈착공간부(36)Detachable space portion 36 is formed to extend downward from the bottom of the bottom space portion 32 and open to the outside

를 더 포함한다.It further includes.

결국 상기 바텀공간부(32)에 상기 스냅돌기(34)가 끼워져 안착된 상태에서 상기 스냅돌기(34)는 상기 스토퍼(35)에 의해 상기 수용부(11) 측으로의 움직임이 제한되고, 또 상기 서포트(33)는 상기 탑공간부(31)에 안착된 상태에서 상기 스토퍼(35)에 의해 상기 수용부(11) 측으로의 움직임이 제한된다.As a result, in the state where the snap protrusion 34 is fitted and seated in the bottom space portion 32, the movement of the snap protrusion 34 to the receiving portion 11 side by the stopper 35 is limited. Support 33 is limited to the movement to the receiving portion 11 side by the stopper 35 in a state seated in the top space portion 31.

상기 탈착공간부(36)는 상기 바텀공간부(32)의 하단 중앙 영역에서 하방으로 연장되는 공간 구조로 이루어지는데, 이는 상기 홀딩캡(20) 분리 시 작업자가 손가락을 넣거나 별도의 공구를 삽입하여 상기 바텀공간부(32)로부터 상기 스냅돌기(34)를 이탈시키기 위함이다.The detachable space portion 36 has a space structure extending downward from the bottom center area of the bottom space portion 32, which is inserted into a separate tool by a worker or a separate tool when the holding cap 20 is removed. This is to separate the snap protrusion 34 from the bottom space portion 32.

이상에서 본 발명을 설명함에 있어 첨부된 도면을 참조하여 특정 형상과 구조를 갖는 "기판 이송 장치의 원터치 캡 결합형 베어링 홀더"를 위주로 설명하였으나 본 발명은 당업자에 의하여 다양한 변형 및 변경이 가능하고, 이러한 변형 및 변경은 본 발명의 보호범위에 속하는 것으로 해석되어야 한다.In the above description of the present invention with reference to the accompanying drawings, a "one-touch cap-coupled bearing holder of the substrate transfer device" having a specific shape and structure have been described mainly, the present invention can be variously modified and changed by those skilled in the art, Such modifications and variations are to be interpreted as falling within the protection scope of the present invention.

S : 샤프트
1 : 롤러
2 : 베어링
F : 프레임
P : 파티션커버
10 : 홀딩하우징
11 : 수용부
111 : 바텀수용공간
112 : 탑수용공간
113 : 리세스
12 : 통전홀
13 : 접지스프링
131 : 스프링분체
131a : 환형부
132 : 가압부
132a : 대돌출부
132b : 소돌출부
14 : 커버부재
141 : 슬로프
15 : 안착공간부
16 : 인서트탭
17 : 고정너트
18 : 고정볼트
20 : 홀딩캡
21 : 대응리세스
22 : 포스트
23 : 대응커버부재
231 : 대응슬로프
24 : 인서트탭
30 : 탈장착수단
31 : 탑공간부
32 : 바텀공간부
33 : 서포트
34 : 스냅돌기
35 : 스토퍼
36 : 탈착공간부
S: shaft
1: roller
2: bearing
F: frame
P: Partition Cover
10: holding housing
11: receiving part
111: Bottom accommodation space
112: tower accommodation space
113: recess
12: energizing hall
13: ground spring
131: spring powder
131a: annular portion
132: pressure unit
132a: large protrusion
132b: small protrusion
14: cover member
141: slope
15: seating space
16: Insert tab
17: fixing nut
18: Fixing bolt
20: holding cap
21: corresponding recess
22: post
23: corresponding cover member
231: corresponding slope
24: Insert tab
30: detachment means
31: tower space part
32: bottom space part
33: Support
34: snap projection
35: stopper
36: removable space

Claims (7)

다수의 롤러(1)가 고정 결합되며 양단에 베어링(2)을 갖고 회전 시 상기 각 롤러(1)에 의해 기판을 이송시키는 샤프트(S)에서 상기 베어링(2)을 지지하기 위해,
상기 베어링(2)이 삽입되어 지지되는 상방 개구(開口)형 수용부(11)를 갖는 홀딩하우징(10);
상기 홀딩하우징(10)의 상부에 배치되어 상기 수용부(11)의 개구 영역을 차단하고 상기 베어링(2)을 지지하는 홀딩캡(20); 및
상기 홀딩하우징(10)과 상기 홀딩캡(20) 간의 상호 결합 및 분리를 위한 탈장착수단(30);
으로 이루어지되,
상기 탈장착수단(30)은 상기 홀딩하우징(10) 상부 측 양단에 내측으로 움푹 들어간 탑공간부(31)와, 상기 탑공간부(31) 하단에 내측으로 움푹 들어간 바텀공간부(32)와, 상기 홀딩캡(20)의 하부 측 양단에 하방으로 돌출되어 상기 탑공간부(31)에 배치되는 서포트(33)와, 상기 서포트(33)의 단부에서 내측으로 돌출되어 상기 바텀공간부(32)에 끼워지는 스냅돌기(34)와, 상기 탑공간부(31)와 상기 바텀공간부(32)에서 상기 수용부(11)와 인접한 단부 영역에 막혀 있는 형태로 형성되어 상기 스냅돌기(34)의 움직임을 제한하는 스토퍼(35)와, 상기 바텀공간부(32) 하단에서 하방으로 연장되고 외측으로 개구되게 형성되는 탈착공간부(36)로 이루어지고,
상기 홀딩하우징(10)에는 상기 수용부(11) 바닥 측에 상하로 관통되는 통전홀(12)과, 상기 통전홀(12)의 중단 영역에 고정 배치되는 고정너트(17)와, 상기 고정너트(17)에 체결되되 상단과 하단이 각각 외부로 노출되는 고정볼트(18)와, 상기 고정볼트(18)의 상단과 하단 각각에 끼워지는 한 쌍의 정전기 방출용 접지스프링(13)이 구비되어 상부 측 접지스프링(13)의 상단이 상기 베어링(2)에 접촉되고 하부 측 접지스프링(13)의 하단이 상기 홀딩하우징(10) 설치용 프레임(F)에 접촉되고,
상기 접지스프링(13)은 상기 고정볼트(18)의 나사산과 대응되는 환형부(131a)가 나선 형태로 서로 이어져 복수 개의 층을 이루는 스프링분체(131)와, 상기 스프링분체(131)의 양단으로부터 각각 연장 형성되되 상기 환형부(131a)의 외측으로 권취 되는 가압부(132)로 이루어지며,
상기 가압부(132)는 상기 환형부(131a)의 외측으로 권취 되되 대돌출부(132a) 3개와 소돌출부(132b) 3개가 서로 번갈아가며 형성되어 전체적인 형상이 삼각형상을 이루고,
상기 홀딩하우징(10)에는 양 외벽에서 내측으로 움푹 들어가면서 상하로 개구된 형상의 안착공간부(15)가 형성되어 있어, 인접한 홀딩하우징(10)들 사이에 배치되는 파티션커버(F)의 단부가 상기 안착공간부(15)에 삽입되어 있는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치의 원터치 캡 결합형 베어링 홀더.
In order to support the bearing (2) in the shaft (S) to which a plurality of rollers (1) is fixedly coupled and has bearings (2) at both ends and to transport the substrate by each roller (1) when rotating
A holding housing (10) having an upper opening (11) receiving portion (11) into which the bearing (2) is inserted and supported;
A holding cap 20 disposed above the holding housing 10 to block an opening area of the accommodation portion 11 and to support the bearing 2; And
Removable means 30 for mutual coupling and separation between the holding housing 10 and the holding cap 20;
Consisting of
The detachable means 30 includes a top space portion 31 recessed inwardly at both ends of the upper side of the holding housing 10, a bottom space portion 32 recessed inwardly at a lower end of the top space portion 31, and A support 33 protruding downward from both ends of the lower side of the holding cap 20 and disposed in the top space part 31, and protruding inward from an end of the support 33 to the bottom space part 32. A snap protrusion 34 inserted into the top portion 31 and the top space portion 31 and the bottom space portion 32 so as to be blocked in an end region adjacent to the accommodation portion 11. A stopper 35 for limiting movement and a detachable space portion 36 extending downward from the bottom of the bottom space portion 32 and opening outwardly;
The holding housing 10 has an energizing hole 12 penetrating up and down on the bottom side of the receiving part 11, a fixing nut 17 fixedly disposed at an interruption area of the electricity supply hole 12, and the fixing nut. Is fastened to (17) is provided with a fixed bolt 18, the top and bottom are exposed to the outside, respectively, and a pair of electrostatic discharge ground spring 13 is fitted to each of the top and bottom of the fixing bolt 18 is provided The upper end of the upper side ground spring (13) is in contact with the bearing (2) and the lower end of the lower side ground spring (13) is in contact with the frame (F) for installing the holding housing 10,
The ground spring 13 is formed from a spring powder 131 having a plurality of layers of annular portions 131a corresponding to the threads of the fixing bolt 18 in a spiral form and forming a plurality of layers from both ends of the spring powder 131. Each extending portion is formed of a pressing portion 132 is wound to the outside of the annular portion (131a),
The pressing portion 132 is wound to the outside of the annular portion (131a) three large protrusions (132a) and three small protrusions (132b) are formed alternately with each other to form a triangular shape overall,
The holding housing 10 is formed with a seating space portion 15 having a shape that is recessed up and down while being inwardly inclined from both outer walls, and an end portion of a partition cover F disposed between adjacent holding housings 10 is formed. One-touch cap coupled bearing holder of the substrate transfer device, characterized in that inserted into the seating space (15).
삭제delete 삭제delete 삭제delete 제 1 항에 있어서,
상기 홀딩하우징(10)의 수용부(11)는 하부에 U자형의 바텀수용공간(111)과, 상기 바텀수용공간(111)의 양 내벽에서 상방으로 수직 연장되는 탑수용공간(112)과, 상기 바텀수용공간(111)과 상기 탑수용공간(112)의 각 내벽을 따라 요입되게 형성되어 서로 이어지고 상기 베어링(2)의 하부 측이 안착되는 리세스(recess)(113)로 이루어지고,
상기 홀딩캡(20)에는 하부에 상기 베어링(2)의 상부 측이 안착되는 ∩자형의 대응리세스(21)가 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치의 원터치 캡 결합형 베어링 홀더.
The method of claim 1,
Receiving portion 11 of the holding housing 10 is a U-shaped bottom receiving space 111 at the bottom, top receiving space 112 extending vertically upward from both inner walls of the bottom receiving space 111, It is formed to be recessed along each inner wall of the bottom receiving space 111 and the top receiving space 112 is connected to each other and consists of a recess (113) that the lower side of the bearing (2) is seated,
The holding cap 20 is a one-touch cap combined bearing holder of the substrate transfer device, characterized in that the lower portion is formed with a U-shaped corresponding recess (21) is seated on the upper side of the bearing (2).
제 5 항에 있어서,
상기 홀딩하우징(10)에는 상기 수용부(11) 양측에 배치되어 상기 베어링(2)의 양면 둘레 중 일부를 가리게 되는 커버부재(14)가 형성되고,
상기 홀딩캡(20)에는 상기 커버부재(14)와 상호 맞닿아 상기 베어링(2)의 양면 둘레 중 나머지 일부를 가리게 되는 대응커버부재(23)가 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치의 원터치 캡 결합형 베어링 홀더.
The method of claim 5,
The holding housing 10 is formed with a cover member 14 disposed on both sides of the accommodating part 11 to cover a part of both sides of the bearing 2.
The holding cap 20 is provided with a corresponding cover member 23 which is in contact with the cover member 14 and covers the remaining part of both sides of the bearing 2. Cap-coupled bearing holder.
삭제delete
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