KR101401025B1 - Apparatus for earthing a roller of conveyer for transferring a substrate - Google Patents

Apparatus for earthing a roller of conveyer for transferring a substrate Download PDF

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Abstract

A roller earthing device of a conveyor for transferring a substrate comprises a housing in which a rotary roll supporting the substrate is installed and which is fixed by being inserted into a side of a rotary shaft transferring the substrate while rotating, a carbon brush inserted into the housing to conduct static current of the rotary roll and the rotary shaft, a conductive shaft conducting static current by being in contact by sliding with the carbon brush and rotating relative to the housing, and a conducting part installed at a free terminal of the earthing shaft to conduct static current to the outside. Thus, damage to a glass substrate, caused by static electricity generated from the transferring of the glass substrate manufactured as a display part of various electronic devices, is prevented and with a simple and mechanical low cost structure, a current caused by static electricity can be earthed without installing a high cost ionizer or extra complex structure.

Description

기판 이송용 회전롤러의 접지장치 {APPARATUS FOR EARTHING A ROLLER OF CONVEYER FOR TRANSFERRING A SUBSTRATE}BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention [0001] The present invention relates to a grounding device for rotating a substrate,

본 발명은 기판을 이송하는 컨베이어의 회전롤러를 접지하는 장치에 관한 것으로서, 보다 구체적으로는 기판 이송시 정전기 등에 의한 기판회손을 최소화하기 위하여 회전롤러를 간단한 구조로 접지시킬 수 있는 기판 이송용 컨베이어의 회전롤러 접지장치에 관한 것이다. BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an apparatus for grounding a rotating roller of a conveyor for conveying a substrate, and more particularly, to a conveyor for conveying a substrate, which can ground a rotating roller with a simple structure in order to minimize substrate scratches due to static electricity, To a rotating roller grounding device.

통상적으로 각종 전자기기의 디스플레이로 사용되는 LCD나 LED 디스플레이재는 글래스 기판인 원판을 이송시키면서 제작되게 된다. An LCD or an LED display material, which is typically used as a display of various electronic devices, is manufactured while transferring an original plate as a glass substrate.

일반적으로 TV 등과 같은 대형 디스플레이 뿐만 아니라 핸드폰, 스마트폰 또는 태블릿 PC 등과 같은 소형 디스플레이는 원판을 절삭공정으로 이송시켜 적절한 크기로 절삭후 절삭된 글래스 기판의 절삭면을 가공한 후 세정공정으로 이송시켜 절삭된 글래스 기판을 세정시킨다. Generally, not only a large display such as a TV, but also a small display such as a mobile phone, a smart phone or a tablet PC, the original plate is transferred to the cutting process, the cutting surface of the cut glass substrate is processed after the proper size, Thereby cleaning the glass substrate.

도 1은 이와 같이 원판이 다양한 공정에 투입되어 해당 공정에서 처리가 진행될 때 원판을 이송시키는 이송장치가 도시된다. FIG. 1 shows a transfer device for transferring an original plate when the original plate is put into various processes and the process is performed in the process.

도 1을 참조하면, 이송장치(10)는 복수의 회전 샤프트(11)가 프레임(미도시)에 회전가능하게 설치되고, 회전 샤프트(11)에는 이송되는 기판을 지지하는 회전롤(13)이 설치된다. 1, the conveying apparatus 10 includes a plurality of rotating shafts 11 rotatably mounted on a frame (not shown), and a rotating roll 13 supporting a substrate to be conveyed to a rotating shaft 11 Respectively.

외부 구동원(미도시)에 의하여 회전 샤프트(11)가 회전하면 그와 연동되어 회전롤(13)이 회전하고 상부에 지지되는 원판 또는 기판(S)은 회전롤(13)과의 마찰력에 의하여 이송된다. When the rotary shaft 11 is rotated by an external driving source (not shown), the rotary plate 13 or the rotary disk 13 or the substrate S supported by the upper rotary member is rotated by the friction force with the rotary roll 13, do.

그러나, 이때 회전롤(13)과 기판(S)의 마찰 또는 다른 외부 요인에 의하여 정전기가 발생할 수 있어 기판 또는 원판(S)이 미세하게 훼손될 수 있으며, 정전기에 의한 스파크가 발생하여 기판 또는 원판(S)이 훼손될 수 있다. However, at this time, static electricity may be generated due to friction between the rotary roll 13 and the substrate S or other external factors, so that the substrate or the circular plate S may be finely damaged, sparks due to static electricity may be generated, (S) may be damaged.

이러한 훼손에 의하여 최종적으로 하자있는 디스플레이가 제조될 수 있을 뿐만 아니라, 그에 따른 불량품을 검수하는데 시간이 많이 소요되므로 전체 디스플레이 제조비용이 증가하는 문제가 있다. Such defects may result in a final defective display. In addition, it takes a long time to inspect the defective product, thereby increasing the manufacturing cost of the entire display.

이를 해결하기 위하여 종래에는 이송공정 라인에 다수의 이오나이저(미도시)나 제전기를 설치하여 정전기 발생을 방지하는 시도가 되고 있다. In order to solve this problem, many ionizers (not shown) or electricity generators are installed in the transfer process line to prevent the generation of static electricity.

그러나, 다수의 이오나이저를 설치하는 경우 전체 라인 설치비용이 증가할 뿐만 아니라 그에 따라 디스플레이의 제조비용도 증가할 수 밖에 없는 문제가 있다. However, when a plurality of ionizers are installed, not only the total line installation cost increases but also the manufacturing cost of the display is increased.

또한, 의도된 기판의 제조를 위한 공정의 유지 및 관리 뿐만 아니라 이오나이저를 유지 및 관리하는데도 시간 및 비용이 증가하는 문제가 발생한다.
In addition, maintenance and management of the process for manufacturing the intended substrate, as well as maintenance and management of the ionizer, increase the time and cost.

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 도출된 것으로서, 고비용의 이오나이저나 제전기를 이송공정에 마련하지 않고도 저비용의 간단한 구조로써 정전기에 의한 기판 훼손을 획기적으로 방지할 수 있는 기판 이송용 회전롤러의 접지장치를 제공하는데 목적이 있다.
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in order to solve the above-mentioned problems, and it is an object of the present invention to provide a method and apparatus for transferring a substrate, which is capable of preventing substrate destruction due to static electricity, It is an object of the present invention to provide a grounding device for a roller.

상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 바람직한 실시예에 의한 기판 이송용 롤러 접지장치는, 기판을 지지하는 회전롤이 설치되며, 회전하면서 상기 기판을 이송하는 회전 샤프트의 일측에 삽입되어 고정되는 하우징; 상기 하우징 내부에 삽입 안착되어, 상기 회전롤 및 회전 샤프트의 정전기 전류를 도전시키는 도전부; 상기 도전부와 미끄럼 접촉되어 상기 정전기 전류를 도전시키며, 상기 하우징과 상대적인 회전을 하는 도전 샤프트; 및 상기 도전 샤프트의 자유단측에 설치되어 정전기 전류를 외부로 도전시키는 연결부;를 포함한다. According to another aspect of the present invention, there is provided a roller grounding apparatus for transferring a substrate, comprising: a rotary roll for supporting a substrate; a rotary shaft rotatably supporting the substrate; housing; A conductive part inserted and seated in the housing to conduct the electrostatic current of the rotary roll and the rotary shaft; A conductive shaft in sliding contact with the conductive portion to conduct the electrostatic current, and to rotate relative to the housing; And a connection part provided on a free end side of the conductive shaft for conducting an electrostatic current to the outside.

이로써, 각종 전자기기의 디스플레이부로 제조되는 글래스 기판이 이송되면서 발생되는 정전기에 의한 글래스 기판의 파손이 별도의 복잡한 구조나 고가의 이오나이저 설치없이 간단하면서 저비용의 기구적 구조로써 정전기에 의한 전류를 접지시킬 수 있게 된다.
As a result, damage to the glass substrate due to the static electricity generated when the glass substrate manufactured by the display unit of various electronic apparatuses is transferred is prevented by a simple and low-cost mechanical structure without installing a complicated structure or expensive ionizer, .

또한, 상기 도전부를 상기 도전 샤프트측으로 탄성바이어스 시키는 탄성부;를 더 포함하는 것이 바람직하다. It is also preferable that the elastic part further comprises an elastic part for elastically biasing the conductive part toward the conductive shaft.

이로써, 회전 사프트의 회전과 연동되어 하우징이 회전되고 하우징과 상대적 회전되는 도전 샤프트가 마모되어도 탄성부에 의하여 카본브러시와 도전 샤프트가 밀접하여 미끄럼 접촉될 수 있게 되어 접지력을 장시간 유지할 수 있게 된다.
Thus, even if the housing rotates in conjunction with rotation of the rotary shaft and the conductive shaft, which is relatively rotated with the housing, is worn, the elasticity of the elastic brush makes it possible for the carbon brush and the conductive shaft to come into sliding contact with each other, so that the grounding force can be maintained for a long time.

또한, 연결부는, 인접한 타 접지장치의 도전부와 각각 암수결합되는 것이 바람직하다. It is also preferable that the connecting portions are connected to the conductive portions of adjacent other grounding devices by male and female, respectively.

이로써, 복수개의 회전 샤프트의 일측에 삽입되는 접지장치마다 지면과 접지선으로 연결할 필요없이 복수개의 회전 샤프트에 삽입되는 접지장치를 상호 암수결합시켜 일측 또는 양측의 접지장치에만 접지선으로 지면에 최종적으로 접지시킬 수 있게 되어 설치, 유지 및 관리비용을 절감시킬 수 있게 된다.
As a result, the grounding apparatuses inserted into one side of the plurality of rotating shafts are not necessarily connected to the ground and the grounding line, and the grounding apparatuses inserted in the plurality of rotating shafts are mutually male and female so that only one or both grounding apparatuses are grounded Thereby reducing installation, maintenance and management costs.

또한, 상기 하우징의 외주면에 설치되어 상기 하우징의 상기 회전 샤프트로의 고정력을 증가시키는 탄성편;을 더 포함하는 것이 바람직하다. The elastic piece may be provided on the outer circumferential surface of the housing to increase the fixing force of the housing to the rotary shaft.

이로써, 하우징이 장시간 회전 샤프트에 삽입 고정된 상태에서 그 고정력을 유지하여 전체 접지장치의 신뢰성을 유지시킬 수 있게 된다.
This makes it possible to maintain the reliability of the entire grounding apparatus by maintaining the fixing force while the housing is inserted and fixed in the rotary shaft for a long time.

상기와 같은 본 발명에 의한 기판 이송용 컨베이어의 롤러 접지장치에 의하면, 각종 전자기기의 디스플레이부로 제조되는 글래스 기판이 이송되면서 발생되는 정전기에 의한 글래스 기판의 파손이 별도의 복잡한 구조나 고가의 이오나이저 설치없이 간단하면서 저비용의 기구적 구조로써 정전기에 의한 전류를 접지시킬 수 있게 된다.
According to the roller grounding apparatus of the conveyor for conveying a substrate according to the present invention as described above, the damage of the glass substrate due to the static electricity generated when the glass substrate manufactured by the display unit of various electronic apparatuses is conveyed is prevented by a complicated structure, It is possible to ground the electric current by the static electricity with a simple and low-cost mechanical structure without installation.

또한, 회전 사프트의 회전과 연동되어 하우징이 회전되고 하우징과 상대적 회전되는 도전 샤프트가 마모되어도 탄성부에 의하여 카본브러시와 도전 샤프트가 밀접하여 미끄럼 접촉될 수 있게 되어 접지력을 장시간 유지할 수 있게 된다.
Also, even if the housing rotates in conjunction with the rotation of the rotary shaft and the conductive shaft, which rotates relative to the housing, is worn, the elasticity of the elastic brush makes it possible for the carbon brush and the conductive shaft to come into sliding contact with each other, so that the grounding force can be maintained for a long time.

또한, 복수개의 회전 샤프트의 일측에 삽입되는 접지장치마다 지면과 접지선으로 연결할 필요없이 복수개의 회전 샤프트에 삽입되는 접지장치를 상호 암수결합시켜 일측 또는 양측의 접지장치에만 접지선으로 지면에 최종적으로 접지시킬 수 있게 되어 설치, 유지 및 관리비용을 절감시킬 수 있게 된다.
In addition, the grounding apparatus inserted into one side of the plurality of rotating shafts may be connected to each other by male and / or female coupling so that the grounding apparatuses inserted into the plurality of rotating shafts are grounded to ground on only one side or both sides of the grounding apparatus Thereby reducing installation, maintenance and management costs.

또한, 하우징이 장시간 회전 샤프트에 삽입 고정된 상태에서 그 고정력을 유지하여 전체 접지장치의 신뢰성을 유지시킬 수 있게 된다.
Further, it is possible to maintain the reliability of the entire grounding apparatus by maintaining the fixing force in a state where the housing is inserted and fixed in the rotary shaft for a long time.

도 1은 글래스 기판 이송 장치를 설명하기 위한 도면,
도 2는 본 발명의 바람직한 실시예에 의한 기판 이송용 회전롤러의 접지장치를 나타낸 사시도,
도 3은 도 2에 도시된 기판 이송용 회전롤러의 접지 장치의 분해 사시도,
도 4는 도 2에서 A-A선을 따라 절개한 단면도,
도 5는 도 2에 도시된 기판 이송용 회전롤러의 접지장치가 기판 이송 장치에 설치된 상태를 설명하기 위한 도면, 1 is a view for explaining a glass substrate transfer device,
FIG. 2 is a perspective view illustrating a grounding device of a rotating roller for transferring a substrate according to a preferred embodiment of the present invention. FIG.
Fig. 3 is an exploded perspective view of the grounding device of the substrate transfer rotary roller shown in Fig. 2,
FIG. 4 is a cross-sectional view taken along line AA in FIG. 2,
FIG. 5 is a view for explaining a state in which the grounding device of the substrate transfer rotary roller shown in FIG. 2 is installed in the substrate transfer apparatus;

이하, 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예에 의한 기판 이송용 회전롤러의 접지장치를 설명한다. Hereinafter, a grounding apparatus for rotating a substrate for transferring a substrate according to a preferred embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings.

도 2는 본 발명의 바람직한 실시예에 의한 기판 이송용 회전롤러의 접지장치를 나타낸 도면, 도 3은 도 2에 도시된 기판 이송용 회전롤러의 접지장치의 분해 사시도, 및 도 4는 도 2에서 A-A선을 따라 절개한 단면도이다. FIG. 2 is an exploded perspective view of the grounding device of the rotating roller for transferring a substrate shown in FIG. 2, and FIG. 4 is an exploded perspective view of the grounding device of the rotating roller for transferring a substrate according to a preferred embodiment of the present invention. Sectional view taken along the AA line.

도 2 내지 도 4를 참조하면, 본 발명의 바람직한 실시예에 의한 기판 이송용 회전롤러의 접지장치(100)는, 하우징(110), 도전부(120), 도전 샤프트(130) 및 연결부(160)를 포함한다. 2 to 4, a grounding apparatus 100 for a substrate rotating rotary roller according to a preferred embodiment of the present invention includes a housing 110, a conductive portion 120, a conductive shaft 130, and a connection portion 160 ).

하우징(110)은, 기판(S)을 지지하는 회전롤(13)이 설치되며 회전하면서 기판(S)을 이송하는 회전 샤프트(11)의 일측에 삽입되어 고정되는 외형을 가지도록 형성된다. 회전 샤프트(11)는 내부가 빈 공동의 원통형 형상으로 형성되어 있으므로, 기설치된 회전 샤프트(11)의 형상의 변경이나 교체없이도 본 발명의 바람직한 실시예에 의한 기판 이송용 회전롤러의 접지장치(100)가 공정시스템에 바로 적용할 수 있다. The housing 110 is formed so as to have an outer shape which is provided with a rotary roll 13 for supporting the substrate S and is inserted and fixed to one side of the rotary shaft 11 for transferring the substrate S while rotating. Since the rotary shaft 11 is formed in the hollow cylindrical hollow shape, the grounding device 100 of the rotating roller for transferring a substrate according to the preferred embodiment of the present invention, without changing or replacing the shape of the previously installed rotary shaft 11 ) Can be applied directly to the process system.

도전부(120)는, 하우징(110)과 상대적으로 회전하는 도전 샤프트(130)로의 정전기 전류를 도전시키는 매체이며, 도전 샤프트(130)와 하우징(110)의 상대적 회전에도 도전성을 유지시킬 수 있도록 전기적 접촉저항은 작게하고 도전 샤프트(130)와의 기계적 마찰을 최소화하기 위해서 카본으로 형성되는 것이 바람직하다. The conductive part 120 is a medium that conducts an electrostatic current to the conductive shaft 130 that rotates relative to the housing 110. The conductive part 130 may be formed of a conductive material, It is preferable to be formed of carbon in order to reduce the electrical contact resistance and to minimize the mechanical friction with the conductive shaft 130.

도전 샤프트(130)는, 하우징(110)이 회전 샤프트(11)의 회전에 의하여 회전운동하는 상태에서 베어링(150)에 의하여 상대적 회전운동하면서 카본으로 형성되는 도전부(120)에 의하여 전기적으로 연결되어 정전기 전류가 통하도록 그 일단이 도전부(120)와 미끄럼 접촉되는 상태로 설치된다. The conductive shaft 130 is electrically connected to the conductive part 120 by the conductive part 120 formed of carbon while relatively rotating by the bearing 150 in a state where the housing 110 is rotated by the rotation of the rotary shaft 11, So that one end thereof is in sliding contact with the conductive part 120 so that the electrostatic current can pass.

이때 도전 샤프트(130)가 하우징(110)으로부터 빠져 나오지 않도록 도전 샤프트(130)에 홈부(131)가 형성되고, 홈부(131)에 링부(180)가 걸리게 설치되는 것이 바람직하다. It is preferable that the groove 130 is formed in the conductive shaft 130 so that the conductive shaft 130 does not protrude from the housing 110 and the ring 180 is hooked to the groove 131.

이러한 구성요소간 견련관계에 의하여, 회전롤(13) 및 기판(S)간 마찰 또는 외부의 영향에 의하여 정전기에 의한 전류가 발생되는 경우, 회전샤프트(11)를 통하여 하우징(110)으로 도전되고, 하우징(110)과 도전 샤프트(130)간 상대적 회전운동에 의한 단절은 도전부(120)에 의하여 도전 샤프트(130)까지 도전되어 최종적으로 외부로 전류가 흐르게 하여 접지될 수 있는 구조를 가질 수 있다. When a current is generated by static electricity due to friction or external influence between the rotating roll 13 and the substrate S due to the mutual relationship between these components, the current is conducted to the housing 110 through the rotating shaft 11 , The disconnection due to the relative rotational movement between the housing 110 and the conductive shaft 130 is conducted to the conductive shaft 130 by the conductive part 120 and finally the electric current flows to the outside, have.

연결부(160)는, 도전 샤프트(130)로 통한 전류를 최종적으로 외부로 도전시키는 것으로서 바람직하게는 인접한 회전 샤프트(11)에 설치되는 타 접지장치(100)와 전기적으로 연결시킬 수 있도록 상호 암수결합될 수 있도록 숫결합부(161)와 암결합부(163)를 포함한다. 숫결합부(161)가 암결합부(163)로 강제삽입되면서 상호간 전기적 연결된다. The connection unit 160 is a conductive member that conducts the current through the conductive shaft 130 to the outside and is preferably connected to the other grounding apparatus 100 installed on the adjacent rotary shaft 11, And includes a male coupling portion 161 and an female coupling portion 163 so that the male coupling portion 161 and the female coupling portion 163 can be formed. Male engaging portions 161 are forcedly inserted into the female engaging portions 163 to be electrically connected to each other.

도 6은 복수의 접지장치(100)의 연결부(160)간 전기적 연결되는 것을 나타낸 이송장치를 나타낸 도면으로서, 연결부(160)에 의하여 복수의 회전 샤프트(11)에 설치되는 각각의 접지장치(100)마다 지면과 접지시키기 위한 개별적인 접지선을 설치하지 않고, 일측 또는 양측 끝의 회전 샤프트(11)에 설치된 접지장치(100)에서만 접지선을 설치함으로써 간단하게 전체 이송장치를 접지시킬 수 있게 된다. 6 is a diagram showing a transfer device showing electrical connection between connection portions 160 of a plurality of grounding apparatuses 100. Each of the grounding apparatuses 100 installed in the plurality of rotation shafts 11 by the connection portion 160 It is possible to easily ground the entire conveying apparatus by installing a grounding line only in the grounding apparatus 100 provided on the rotary shaft 11 on one side or both ends without providing a separate grounding line for grounding the ground.

또한, 도전 샤프트(130)가 하우징(110)과 상대적으로 회전되는 구조를 가지고 있어, 연결부(160)에 의하여 인접한 접지장치(100)가 전기적 연결된다하여도 연결부(160)에 의한 도전 샤프트(130) 또는 하우징(110)의 회전이 간섭되지 않는다. The conductive shaft 130 is relatively rotated with respect to the housing 110 so that the conductive shaft 130 is electrically connected to the adjacent grounding apparatus 100 by the connection unit 160, Or the rotation of the housing 110 is not interfered.

한편, 본 발명의 바람직한 실시예에 의하면 도전부(120)를 도전 샤트프(130)측으로 탄성바이어스 시키는 탄성부(140)를 포함한다. 이러한 탄성부(140)에 의하여 도전부(120)가 도전 샤프트(130)측에 밀착하게 됨에 따라 전기적 접촉저항을 작게 할 수 있게 된다. According to a preferred embodiment of the present invention, the elastic portion 140 for biasing the conductive portion 120 toward the conductive bridge 130 is included. As the conductive part 120 is brought into close contact with the conductive shaft 130 by the elastic part 140, the electrical contact resistance can be reduced.

또한, 장시간 도전 샤프트(130)가 하우징(110) 또는 도전부(120)에 대하여 상대적 회전하게 됨에 따라 도전 샤프트(130) 또는 도전부(120)가 마모될 수 있으나 탄성부(140)에 의하여 마모된 만큼 도전부(120)를 도전 샤프트(130)측으로 밀착시키게 되어 초기 도전성을 유지시킬 수 있게 된다. The conductive shaft 130 or the conductive portion 120 may be worn as the long time conductive shaft 130 is rotated relative to the housing 110 or the conductive portion 120. However, The conductive part 120 is brought into close contact with the conductive shaft 130 as much as possible, so that the initial conductivity can be maintained.

또한, 보다 바람직하게는 하우징(110)의 외주면에 탄성편(170)을 설치하여 하우징(110)의 회전 샤프트(11)로의 고정력을 증가시킨다. 이로써, 보다 견고하게 탄성편(170)이 회전 샤프트(11)의 내주면을 가압하게 되어 장시간 사용에도 하우징(110)이 회전 샤프트(11)와 연동되어 회전할 수 있게 된다. More preferably, the resilient piece 170 is provided on the outer circumferential surface of the housing 110 to increase the fixing force of the housing 110 to the rotating shaft 11. As a result, the resilient piece 170 presses the inner circumferential surface of the rotating shaft 11 more firmly, so that the housing 110 rotates in conjunction with the rotating shaft 11 for a long time.

또한, 도 3에 도시된 바와 같이, 각 구성요소는 나사에 의하여 체결됨으로써 어느 일 구성요소가 마모나 파손되는 경우 해당되는 구성요소만 교체하면 되므로, 전체 접지장치(100)를 버리지 않아도 되는 효과를 가지고 있다.
In addition, as shown in FIG. 3, when each component is fastened by a screw, any one component may be worn or broken, only the corresponding component may be replaced. Thus, there is no need to dispose of the entire grounding apparatus 100 Have.

이상, 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 도시하고 설명하였으나 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명이 그 기술적 사상이나 필수적 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적인 것이 아닌 것으로 이해되어야만 한다. 본 발명의 범위는 상기의 상세한 설명보다는 특허청구범위에 의하여 나타내어지며, 특허청구범위의 의미 및 범위 그리고 그 등가개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.
While the present invention has been particularly shown and described with reference to exemplary embodiments thereof, it will be understood by those skilled in the art that various changes in form and details may be made therein without departing from the spirit and scope of the invention as defined by the appended claims. It will be possible. It is therefore to be understood that the above-described embodiments are illustrative in all aspects and not restrictive. The scope of the present invention is defined by the appended claims rather than the above detailed description and all changes or modifications derived from the meaning and scope of the claims and their equivalents should be interpreted as being included in the scope of the present invention .

100 : 접지장치 110 : 하우징
120 : 도전부 130 : 도전 샤프트
140 : 탄성부 150 : 베어링
160 : 연결부 170 : 탄성편
S : 기판100: grounding device 110: housing
120: conductive part 130: conductive shaft
140: elastic part 150: bearing
160: connection part 170:
S: substrate

Claims (4)

기판을 지지하는 회전롤이 설치되며, 회전하면서 상기 기판을 이송하는 회전 샤프트의 일측에 삽입되어 고정되는 하우징;
상기 하우징 내부에 삽입 안착되어, 상기 회전롤 및 회전 샤프트측에서 발생된 정전기 전류를 도전시키는 도전부;
상기 도전부와 미끄럼 접촉되어 상기 정전기 전류를 도전시키며, 상기 하우징 내부로 진입되어 상기 하우징과 상대적인 회전을 하는 도전 샤프트;
상기 도전 샤프트의 자유단측에 설치되어 정전기 전류를 외부로 도전시키는 연결부;
상기 도전 샤프트와 상기 하우징 사이에 설치되어 상기 하우징의 상기 도전 샤프트에 대한 상대회전을 지지하는 베어링; 및
상기 도전 샤프트와 상기 하우징 사이에 배치되도록 상기 하우징 내부에 설치되어 상기 도전 샤프트가 상기 하우징으로부터 빠지는 것을 방지하는 링부;를 포함하며,
상기 도전 샤프트의 외주에는 상기 링부가 끼워지는 홈부가 형성되는 것을 특징으로 하는 기판 이송용 회전롤러의 접지 장치. A housing provided with a rotary roll for supporting a substrate and inserted and fixed to one side of a rotary shaft for transferring the substrate while rotating;
A conductive part inserted and seated in the housing to conduct the electrostatic current generated on the rotary roll and the rotary shaft side;
A conductive shaft that slidably contacts the conductive portion to conduct the static electricity and enters the housing to rotate relative to the housing;
A connection part provided on a free end side of the conductive shaft for conducting an electrostatic current to the outside;
A bearing installed between the conductive shaft and the housing and supporting a relative rotation of the housing with respect to the conductive shaft; And
And a ring portion installed inside the housing to be disposed between the conductive shaft and the housing to prevent the conductive shaft from being removed from the housing,
And a groove portion in which the ring portion is fitted is formed on an outer periphery of the conductive shaft. 제1항에 있어서,
상기 도전부를 상기 도전 샤프트측으로 탄성바이어스 시키는 탄성부;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송용 회전롤러의 접지 장치. The method according to claim 1,
And an elastic portion for elastically biasing the conductive portion toward the conductive shaft side. 제1항에 있어서, 연결부는,
인접한 타 접지장치의 연결부와 각각 암수결합되는 것을 특징으로 하는 기판 이송용 회전롤러의 접지 장치. The connector according to claim 1,
And the connection portions of adjacent grounding devices are connected to each other in a male and a female connection. 제1항에 있어서,
상기 하우징의 외주면에 설치되어 상기 하우징의 상기 회전 샤프트로의 고정력을 증가시키는 탄성편;을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 회전롤러의 접지 장치. The method according to claim 1,
And a resilient piece provided on an outer circumferential surface of the housing to increase a fixing force of the housing to the rotating shaft.
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