KR101991676B1 - Conductive ink composition for forming transparent electrode - Google Patents

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Abstract

본 발명은 투명 전극 형성용 전도성 잉크 조성물에 관한 것이다. 구체적으로, 본 발명에 따른 투명 전극 형성용 전도성 잉크 조성물은 금속 나노와이어로 전도성 네트워크를 형성하고 금속 졸로 네트워크의 단선을 보완하고 빈 공간을 채우므로, 우수한 전기전도성 및 가시광 투과도를 나타내며, 금속 졸이 금속 나노와이어의 부식 및 산화를 방지하는 보호층으로 작용하므로 별도의 산화방지제 또는 보호층이 필요하지 않고, 제조되는 투명 전극의 내환경성을 보장할 수 있다.The present invention relates to a conductive ink composition for forming a transparent electrode. Specifically, the conductive ink composition for forming a transparent electrode according to the present invention has excellent electrical conductivity and visible light transmittance since it forms a conductive network with metal nanowires and complements disconnection of a metal sol, Since it acts as a protective layer for preventing corrosion and oxidation of the metal nanowire, it is not necessary to use a separate antioxidant or a protective layer and it is possible to ensure the environmental resistance of the transparent electrode to be manufactured.

Description

투명 전극 형성용 전도성 잉크 조성물 {CONDUCTIVE INK COMPOSITION FOR FORMING TRANSPARENT ELECTRODE}TECHNICAL FIELD [0001] The present invention relates to a conductive ink composition for forming a transparent electrode,

본 발명은 투명 전극 형성용 전도성 잉크 조성물에 관한 것이다.
The present invention relates to a conductive ink composition for forming a transparent electrode.

투명 전극은 투명한 유리 기판 또는 얇은 고분자 기판 위에 물리화학적인 방법으로 원자, 분자 또는 이온을 응축시킨 것으로, 가시광 영역(380-780 ㎚ 파장)에서 투명하고, 전기전도도가 큰 전극을 의미한다. 보다 구체적으로, 투명 전극은 광투과도가 약 80% 이상이고, 면저항이 500 Ω/□ 이하인 박막을 의미한다.The transparent electrode means an electrode which is transparent to a visible light region (wavelength of 380-780 nm) and has a high electric conductivity, which is obtained by condensing atoms, molecules or ions on a transparent glass substrate or a thin polymer substrate by a physicochemical method. More specifically, the transparent electrode means a thin film having a light transmittance of about 80% or more and a sheet resistance of 500 Ω / □ or less.

투명 전극의 재료로 사용되기 위해서는 전기적, 광학적 특성 및 에칭 특성이 우수한 재료가 필요하다. 현재까지 개발된 재료로는 가장 우수한 물성을 나타내고 있는 ITO(Indium tin oxide)가 널리 사용되고 있다. 하지만 ITO는 고가의 희소금속인 인듐을 주성분으로 하고 있기 때문에 이를 대체할만한 투명 전극 재료가 요구되고 있다. In order to be used as a transparent electrode material, a material having excellent electrical and optical characteristics and etching properties is required. Indium tin oxide (ITO) has been widely used as a material developed to date. However, since ITO is mainly composed of indium, which is an expensive rare metal, a transparent electrode material that can replace the ITO is required.

이에 금, 은, 구리 등의 금속을 스퍼터링하여 얇은 박막으로 만들어 투명 전극으로 사용한 시도가 있었으나, 이는 전기전도도는 우수하지만 가시광 영역의 광투과도가 떨어지며, 하부 기판과의 접착력이 좋지 않다는 문제점이 있다.There is an attempt to use a thin film of gold, silver or copper as a transparent electrode by sputtering a metal such as gold, silver or copper. However, this has a problem that the electrical conductivity is excellent, but the light transmittance in the visible light region is low and the adhesion with the lower substrate is poor.

또한 ZnO 박막은 저가의 재료이나 전기전도성이 ITO에 비해 낮고, SnO2에 Sb를 소량 첨가한 ATO 박막은 에칭이 되지 않고 소성 온도가 높다는 문제점이 있다.In addition, the ZnO thin film is a low-cost material, but its electrical conductivity is lower than that of ITO, and the ATO thin film containing a small amount of Sb added to SnO 2 is not etched and has a problem of high sintering temperature.

또한 졸-겔(Sol-Gel) 합성을 이용하여 산화막을 만드는 방법도 사용되고 있으나 여전히 전기전도성이 낮고, 소성 온도가 350 ℃를 넘는 고온 공정을 필요로 한다는 문제점이 있다.In addition, although a method of forming an oxide film using sol-gel synthesis is also used, there is still a problem that a high-temperature process with a low electrical conductivity and a firing temperature exceeding 350 ° C. is required.

또한 ZnO, ITO, IZO 등의 산화물을 나노 크기의 입자로 제조하고 이를 이용하여 잉크나 페이스트를 제조하여 투명 전극을 제조하는 방법도 있으나, 나노 크기의 산화물 제조가 어렵고 250 ℃ 이상의 비교적 고온 공정이 필요하다는 문제점이 있다.In addition, there is a method of manufacturing transparent electrode by preparing oxide of ZnO, ITO, IZO or the like as nano-sized particles and using it to prepare ink or paste, but it is difficult to manufacture nano-sized oxide and relatively high temperature process There is a problem.

이에 최근에는 금속 나노와이어를 투명 전극에 적용하는 시도가 이루어지고 있다.In recent years, attempts have been made to apply metal nanowires to transparent electrodes.

투명 전극용 전도성 잉크에서 금속 나노와이어는 투명 전극 형성시 네트워크를 형성하여 전기전도성을 확보하는 역할을 한다. 금속 나노와이어 네트워크가 촘촘히 형성될수록 투명 전극의 전기전도도는 향상되나 가시광 투과율이 떨어지고 과다한 비용이 소요되는 문제점이 있다. 또한 금속 나노와이어로 전도성 네트워크를 형성하더라도 네트워크의 단선이 필연적으로 발생하게 될 뿐 아니라 네트워크 사이의 빈공간은 전도성을 가지지 못하는 부도체 영역으로 남게 된다. 또한 금속 나노와이어는 나노 구조체로서 활성이 기존 물질보다 강해서 보호층 없이 대기에 노출될 경우 산화 및 부식 경향이 강하다. 특히 은 나노와이어는 고전도 특성을 가지며 가시광 영역에서 투명하지만, 대기 중에서 산화 및 부식에 의해 약 15-20% 정도 저항이 상승하는 것으로 알려져 있으며, 이를 방지하기 위해서는 별도의 산화방지제 또는 다수의 보호층을 사용해야 하는 문제점이 있었다.
In conductive ink for transparent electrode, metal nanowires serve to secure electrical conductivity by forming a network when transparent electrodes are formed. As the metal nanowire network is densely formed, the electrical conductivity of the transparent electrode is improved, but the visible light transmittance is lowered and an excessive cost is required. In addition, even if a conductive network is formed by a metal nanowire, a disconnection of a network is inevitably generated, and an empty space between the networks remains as a nonconductive region having no conductivity. In addition, metal nanowires are nanostructured, and their activity is stronger than that of conventional materials. Therefore, they tend to oxidize and corrode when exposed to air without a protective layer. In particular, silver nanowires have high conductivity and are transparent in the visible light region, but they are known to increase resistance by about 15-20% due to oxidation and corrosion in the atmosphere. To prevent this, a separate antioxidant or a plurality of protective layers There is a problem in that it is necessary to use.

상기와 같은 문제점을 해결하기 위해, 본 발명은 우수한 전기전도성 및 가시광 투과도를 나타내며, 금속 나노와이어의 부식 및 산화를 방지하는 별도의 산화방지제 또는 보호층이 필요하지 않고, 제조되는 투명 전극의 내환경성을 담보할 수 있는 투명 전극용 전도성 잉크 조성물을 제공하는 것을 목적으로 한다.In order to solve the above-described problems, the present invention provides an organic electroluminescent display device which exhibits excellent electrical conductivity and visible light transmittance, does not require a separate antioxidant or a protective layer for preventing corrosion and oxidation of metal nanowires, And a conductive ink composition for a transparent electrode.

또한 본 발명은 상기 조성물을 이용하는 투명전극의 형성방법 및 상기 방법에 의하여 제조된 투명 전극을 제공하는 것을 목적으로 한다.
It is another object of the present invention to provide a method of forming a transparent electrode using the composition and a transparent electrode manufactured by the method.

상기 목적을 달성하기 위해 본 발명은 In order to achieve the above object,

A)a) 금속 전구체; b) 용매를 포함하는 금속 졸; 및 A) a) a metal precursor; b) a metal sol comprising a solvent; And

B) 금속와이어B) metal wire

를 포함하는 것을 특징으로 하는 투명 전극 형성용 전도성 잉크 조성물을 제공한다.
And a conductive ink composition for forming a transparent electrode.

또한 본 발명은 상기 투명 전극 형성용 전도성 잉크 조성물을 기재에 도포하여 건조 및 소성하는 것을 특징으로 하는 전도성 투명 전극의 제조방법 및 상기 방법에 의하여 제조된 전도성 투명전극을 제공한다.
Also, the present invention provides a method for producing a conductive transparent electrode, which comprises applying the conductive ink composition for forming a transparent electrode to a substrate, followed by drying and firing, and a conductive transparent electrode produced by the method.

본 발명에 따라 상기 금속 졸 및 금속 나노와이어를 포함하는 투명 전극 형성용 전도성 잉크 조성물은 금속 나노와이어로 전도성 네트워크를 형성하고 금속 졸로 네트워크의 단선을 보완하고 빈 공간을 채우므로, 우수한 전기전도성 및 가시광 투과도를 나타낸다. 또한 금속 졸이 금속 나노와이어의 부식 및 산화를 방지하는 보호층으로 작용하므로 별도의 산화방지제 또는 보호층이 필요하지 않고, 제조되는 투명 전극의 내환경성을 보장할 수 있다.
According to the present invention, the conductive ink composition for forming a transparent electrode including the metal sol and the metal nanowire forms a conductive network with the metal nanowire, complements the disconnection of the metal sol-gel network and fills the void space, Respectively. In addition, since the metal sol functions as a protective layer for preventing corrosion and oxidation of the metal nanowire, a separate antioxidant or a protective layer is not required and the environmental resistance of the transparent electrode to be manufactured can be ensured.

도 1은 본 발명에 따라 형성된 투명 전극의 일 실시예를 나타내는 개념도이다.
도 2는 본 발명에 따라 형성된 투명 전극의 주사전자현미경 확대도이다.
도 3은 본 발명에 따라 형성된 투명 전극의 가시광 투과도이다.
[부호의 설명]
11 : 금속 나노와이어
12 : 금속 졸
1 is a conceptual view showing an embodiment of a transparent electrode formed according to the present invention.
2 is a scanning electron microscope enlarged view of a transparent electrode formed according to the present invention.
3 is a visible light transmittance of the transparent electrode formed according to the present invention.
[Description of Symbols]
11: metal nanowire
12: metal sol

본 발명의 투명 전극 형성용 전도성 잉크 조성물은 The conductive ink composition for forming a transparent electrode of the present invention

A)a) 금속 전구체; b) 용매를 포함하는 금속 졸; 및 A) a) a metal precursor; b) a metal sol comprising a solvent; And

B) 금속와이어B) metal wire

를 포함하는 것을 특징으로 한다.
And a control unit.

본 발명에 따른 상기 금속 졸은 상온 및 상압 조건에서 제조될 수 있고, 금속 졸의 금속 함량을 금속 전구체 용해도 범위 내에서 조절 가능하므로 금속 농도 조절이 가능할 뿐 아니라 점도 조절 및 소성 온도 조절도 가능하다. 또한 금속 나노와이어와 함께 혼합하여 투명 전극 형성용 전도성 잉크 조성물을 제조시 강산 또는 강염기를 사용하지 않으므로 금속 나노와이어에 손상을 주지 않는다.
The metal sol according to the present invention can be prepared at room temperature and atmospheric pressure. Since the metal content of the metal sol can be controlled within the range of the solubility of the metal precursor, it is possible to control the metal concentration as well as control the viscosity and the firing temperature. In addition, when a conductive ink composition for forming a transparent electrode is mixed with a metal nanowire, a strong acid or a strong base is not used, so that the metal nanowire is not damaged.

본 발명에서 사용가능한 금속 졸은 금속 나노와이어에 손상을 주지 않고 네트워크의 단선을 보완하고 네트워크 사이의 빈 공간을 전도성의 금속 도막으로 채워 도막 전체의 전기전도도를 향상시키는 역할을 한다. 또한 금속 나노와이어의 산화를 방지하며, 마모를 방지하는 보호층의 역할을 한다. 특히, 습기, 산소, 황 등과 같은 금속 나노와이어를 부식시킬 수 있는 물질의 투과를 방지할 뿐 아니라, 금속 나노와이어와 하부 기판과의 접착력도 향상시킨다.
The metal sol usable in the present invention serves to improve the electrical conductivity of the entire coating by complementing the disconnection of the network without damaging the metal nanowires and filling the void space between the networks with the conductive metal coating. It also prevents oxidation of the metal nanowires and serves as a protective layer to prevent wear. In particular, it prevents permeation of substances that can corrode metal nanowires such as moisture, oxygen, sulfur, etc., as well as improves the adhesion between the metal nanowires and the lower substrate.

상기 금속 졸에 사용 가능한 a) 금속 전구체의 금속은 특별히 한정되지 않으나, 바람직하게는 금, 은, 구리, 알루미늄, 니켈, 주석, 팔라듐, 백금, 아연, 철, 인듐, 마그네슘 등의 Ⅰ족, ⅡA족, ⅢA족, ⅣA족 및 Ⅷ B족의 금속으로 이루어진 군에서 선택되는 1종 이상의 금속을 사용하는 것이 좋으며, 더욱 바람직하게는 아연, 알루미늄, 주석, 철, 구리 및 은으로 이루어진 군에서 선택되는 1종 이상을 사용하는 것이 좋다.The metal of the metal precursor a) which can be used for the metal sol is not particularly limited, but is preferably a Group I element such as gold, silver, copper, aluminum, nickel, tin, palladium, platinum, zinc, iron, indium, magnesium, At least one metal selected from the group consisting of zinc, aluminum, tin, iron, copper and silver is preferably used. It is better to use at least one.

상기 금속 전구체는 질산염, 아세트산염, 아세틸아세톤산염, 규산염, 인산염 및 이들의 혼합물로 이루어진 군에서 선택되는 1종 이상의 무기염일 수 있으며, 바람직하게는 아세트산염, 아세틸아세톤염 또는 규산염을 사용하는 것이 좋다.The metal precursor may be at least one inorganic salt selected from the group consisting of nitrate, acetate, acetylacetonate, silicate, phosphate, and mixtures thereof, preferably acetic acid salt, acetylacetone salt or silicate .

상기 금속 전구체는 금속 졸 총중량을 기준으로 3 내지 20 중량%의 범위에서 사용하는 것이 좋다. 상기 금속 전구체를 3 중량% 미만으로 사용할 경우, 치밀한 금속 도막을 형성하지 못하여 금속 나노와이어의 보호층으로 작용할 수 없으며, 금속 나노와이어 네트워크의 단선 보완과 빈 공간을 채울 수 없게 된다. 또한 상기 함량이 20 중량%를 초과하는 경우, 금속 졸의 안정성이 떨어져 금속 전구체가 석출되거나, 300 ℃ 이상 고온의 소성 온도를 필요로 하고, 소성시간도 30분 이상 소요되어 금속 나노와이어의 산화를 유발하게 된다.The metal precursor is preferably used in an amount of 3 to 20% by weight based on the total weight of the metal sol. When the metal precursor is used in an amount of less than 3 wt%, it can not form a dense metal coating layer and can not act as a protective layer of metal nanowires. When the content is more than 20% by weight, the stability of the metal sol is lowered, and the metal precursor is precipitated, or the calcination temperature is required to be 300 ° C or more, and the calcination time is 30 minutes or more. .

본 발명에서 상기 금속 전구체를 용해시키기 위한 b) 용매로는 물, 메탄올, 에탄올, 프로판올, 이소프로판올, 이소프로필아세테이트, 부탄올, 2-부탄올, 옥탄올, 2-에틸헥사놀, 펜탄올, 벤질알콜, 헥산올, 2-헥산올, 사이클로헥산올, 테르피네올, 노나놀, 메틸렌 글리콜, 에틸렌 글리콜, 디에틸렌 글리콜, 트리에틸렌 글리콜, 테트라에틸렌 글리콜, 에틸렌 글리콜 모노메틸에테르, 에틸렌 글리콜 모노에틸에테르, 에틸렌 글리콜 모노부틸에테르, 디에틸렌 글리콜 모노메틸에테르, 디에틸렌 글리콜 모노에틸에테르, 디에틸렌 글리콜 모노부틸에테르, 트리에틸렌 글리콜 모노메틸에테르, 트리에틸렌 글리콜 모노에틸에테르, 트리에틸렌 글리콜 모노부틸에테르, 2-프로판온, 디아세틸, 아세틸아세톤, 1,2-디아세틸에탄, 디메틸카보네이트, 디에틸카보네이트, 프로필렌글리콜메틸에테르아세테이트, 2-메톡시에틸아세테이트, 프로필렌글리콜모노메틸에테르, N-메틸-2-피롤리돈, N-메틸아세트아마이드 및 이들의 혼합물로 이루어진 군에서 선택되는 1종 이상의 용매를 사용할 수 있고, 바람직하게는 아세틸아세톤 단독 또는 이를 포함하는 혼합용매를 사용할 수 있으며, 금속 전구체에 대한 용해력, 잉크의 점도 조절, 원활한 박막 형성, 금속 나노와이어와의 혼합성 등을 고려하여 선정하는 것이 바람직하며, 더욱 바람직하기로 본 발명의 금속 졸에서 용매의 함량은 80-97 중량%이다. The solvent used for dissolving the metal precursor in the present invention may be water, methanol, ethanol, propanol, isopropanol, isopropyl acetate, butanol, 2-butanol, octanol, 2-ethylhexanol, pentanol, Ethylene glycol monoethyl ether, ethylene glycol monoethyl ether, ethylene glycol monoethyl ether, ethylene glycol monoethyl ether, ethylene glycol monoethyl ether, ethylene glycol monoethyl ether, ethylene glycol monoethyl ether, ethylene glycol monoethyl ether, Glycol monobutyl ether, diethylene glycol monomethyl ether, diethylene glycol monoethyl ether, diethylene glycol monobutyl ether, triethylene glycol monomethyl ether, triethylene glycol monoethyl ether, triethylene glycol monobutyl ether, 2-propane Diacetyl, acetyl acetone, 1,2-diacetyl ethane, dimethyl carbonate, diethyl carbonate, pro At least one solvent selected from the group consisting of methanol, ethanol, propanol, isopropanol, isopropanol, n-butanol, isopropanol, n-butanol, Preferably, acetylacetone alone or a mixed solvent containing the same may be used. It is preferable to select the solvent in consideration of the dissolving power to the metal precursor, the viscosity control of the ink, the formation of a smooth thin film, and the mixing with the metal nanowire. And more preferably, the content of the solvent in the metal sol of the present invention is 80-97 wt%.

또한 2 종류 이상의 용매를 혼합하여 사용하는 경우, 용매의 혼합 비율은 주용매 1 중량부를 기준으로 부용매를 0.2 내지 0.8 중량부의 비율로 혼합하는 것이 바람직하다. 상기 주용매는 상기 열거된 용매 중 1종을 선택하여 사용할 수 있으며, 주용매로 사용한 용매를 제외한 1종 이상의 용매를 부용매로 사용할 수 있다. 용매 혼합 비율 상기 범위 내 있는 경우에는 점도 조절의 용이성, 금속 전구체의 용해도 상승, 전도성 잉크의 소성 온도 조절 등의 효과를 얻게 된다.When two or more kinds of solvents are mixed and used, the mixing ratio of the solvents is preferably 0.2 to 0.8 parts by weight based on 1 part by weight of the main solvent. The main solvent may be selected from one of the solvents listed above, and at least one solvent other than the solvent used as the main solvent may be used as an auxiliary solvent. Solvent Mixing Ratio When the mixing ratio is within the above range, effects such as ease of viscosity control, increase in solubility of the metal precursor, and control of the firing temperature of the conductive ink can be obtained.

예를 들면, 테르피네올 또는 노나놀은 점도가 높고 끓는점이 높아 전도성 잉크의 소성 온도가 높아지는 문제점이 존재한다. 이때 메탄올, 에탄올 등을 부용매로서 상기 범위 내에서 사용하면 점도를 떨어뜨리고 끓는점을 떨어뜨려 전도성 잉크의 소성 온도를 조절할 수 있게 된다. 하지만 메탄올, 에탄올의 함량이 상기 범위를 벗어나 부족하면 점도 및 소성 온도 하강 효과를 기대할 수 없고, 반대로 과다하게 첨가되면 전도성 잉크의 적정 점도를 유지할 수 없거나 도포 시 빠른 휘발로 인해 도막에 결점이 발생 할 수 있다. 또한 디아세틸, 아세틸아세톤, 디메틸 카보네이트 또는 에틸렌 글리콜은 금속 전구체에 대해 용해도가 비교적 좋은 용매인데, 여기에 메탄올, 에탄올, 이소프로판올 등을 부용매로 첨가하면 금속 전구체에 대한 용해도를 급격히 상승시키는 효과가 있어 고농도의 금속 졸을 만드는데 적합하지만 상기 범위를 벗어나면 그 효과는 줄어들게 된다.
For example, there is a problem that terpineol or nonanol has a high viscosity and a high boiling point, thereby increasing the firing temperature of the conductive ink. When methanol, ethanol or the like is used as an auxiliary solvent within the above range, the viscosity is lowered and the boiling point is lowered, so that the firing temperature of the conductive ink can be controlled. However, when the content of methanol and ethanol is out of the above range, the viscosity and the firing temperature lowering effect can not be expected. On the other hand, when the content of methanol and ethanol is excessively added, the proper viscosity of the conductive ink can not be maintained, . Further, diacetyl, acetylacetone, dimethyl carbonate or ethylene glycol is a solvent having a relatively good solubility with respect to a metal precursor, and addition of methanol, ethanol, isopropanol or the like as an additional solvent has an effect of drastically increasing solubility in a metal precursor It is suitable for making high-concentration metal sol, but if it is out of the range, the effect is reduced.

본 발명에 따른 상기 금속 졸은 상온 및 상압 조건에서 상기 금속 전구체를 상기 용매에 용해시켜 제조될 수 있다.The metal sol according to the present invention can be prepared by dissolving the metal precursor in the solvent under normal temperature and normal pressure conditions.

보다 구체적으로 상기 금속 졸의 제조방법은 금속 전구체로서 금속의 무기염, 바람직하게는 금속의 아세트산염, 아세틸아세톤염 또는 규산염을 사용하여 용매로서 아세틸아세톤 또는 이를 포함하는 혼합용매를 사용함으로써 상온 상압 조건에서 금속 졸을 제조할 수 있으며, 금속 전구체를 적절한 용매에 단순히 용해하여 제조하므로, 제조 방법이 간단하다. 또한 금속 졸의 금속 함량을 금속 전구체 용해도 범위 내에서 조절 가능하여 저농도는 물론 고농도의 금속 졸을 제조할 수 있으므로, 치밀한 금속 도막 형성이 가능할 뿐 아니라 금속 졸의 점도 및 소성 온도도 조절이 가능하다. 또한 강산 또는 강염기를 사용하지 않기 때문에 금속 나노와이어에 대한 손상도 없다.
More specifically, the metal sol can be prepared by using an inorganic salt of a metal as a metal precursor, preferably a metal acetate, an acetylacetone salt or a silicate, and using acetylacetone or a mixed solvent containing the same as a solvent, And the metal precursor is simply dissolved in an appropriate solvent, so that the production method is simple. In addition, since the metal content of the metal sol can be controlled within the range of the solubility of the metal precursor, a metal sol having a high concentration can be produced at a low concentration as well as a dense metal coat can be formed. Also, there is no damage to the metal nanowires because no strong acid or strong bases are used.

또한 본 발명에서 사용가능한 B) 금속 나노와이어의 금속은 특별히 한정되지 않으나, 바람직하게는 금, 은, 구리, 알루미늄, 니켈, 주석, 팔라듐, 백금, 아연, 철, 인듐, 마그네슘 등의 Ⅰ족, ⅡA족, ⅢA족, ⅣA족 및 Ⅷ B족 금속으로 이루어진 군에서 선택되는 1종 이상의 금속을 사용하는 것이 좋으며, 더욱 바람직하게는 아연, 알루미늄, 주석, 구리, 은 및 금으로 이루어진 군에서 선택되는 1종 이상의 금속을 사용하는 것이 좋다. 또한 상기 금속 나노와이어는 직경이 20 내지 120 nm, 길이가 5 내지 60 um인 것을 사용하는 것이 좋다.The metal of the metal nanowire B) which can be used in the present invention is not particularly limited, but is preferably a metal of Group I, such as gold, silver, copper, aluminum, nickel, tin, palladium, platinum, zinc, iron, indium, It is preferable to use at least one metal selected from the group consisting of Group IIA, Group IIIA, Group IIIA, Group IIIA, Group IIIA, Group IIIA, Group IIIA, Group IIIA, Group IIIA, Group IIIA, Group IIIA, Group IIIA, Group IIIA, It is better to use one or more metals. The metal nanowires preferably have a diameter of 20 to 120 nm and a length of 5 to 60 μm.

상기 금속 나노와이어는 상기 금속 졸에 포함된 금속 전구체 1 중량부를 기준으로 금속 나노와이어 0.25 내지 4 중량부로 포함되는 것이 바람직하다. 상기 금속 나노와이어를 0.25 중량부 미만으로 사용하면, 금속 나노와이어가 네트워크를 제대로 형성하기 어려워 전도성을 가질 수 없게 되며, 상기 함량이 4 중량부를 초과하면, 금속 나노와이어가 너무 치밀하게 네트워크를 형성하여 기판이 흐려지게 되며, 이는 가시광 투과율 저하를 야기하므로 바람직하지 않다.The metal nanowires are preferably contained in an amount of 0.25 to 4 parts by weight based on 1 part by weight of the metal precursor contained in the metal sol. When the metal nanowire is used in an amount of less than 0.25 parts by weight, the metal nanowire is difficult to form a network due to difficulty in forming a network, and when the content exceeds 4 parts by weight, the metal nanowire forms a network The substrate is blurred, which is undesirable because it causes a decrease in visible light transmittance.

상기 금속 나노와이어는 통상적으로 분산액에 분산시켜 사용하는 것이 바람직하며, 상기 분산액으로는 상기 금속 졸을 제조할 때 사용한 용매를 사용할 수 있다. 일예로 금속전구체와 용매를 혼합하여 금속졸의 제조시 용매의 일부를 금속 나노와이어의 분산매로 사용하여 분산매에 분산된 분산매-금속 나노와이어를 상기 금속졸과 혼합하여 최종 투명 전극 형성용 전도성 잉크 조성물을 제조할 수 있으며, 최종 투명 전극 형성용 전도성 잉크 조성물에서 각 성분의 함량은 상기 기재한 범위 내로 조절할 수 있다.
The metal nanowires are preferably dispersed in a dispersion, and the dispersion may be a solvent used for preparing the metal sol. For example, a dispersion medium-metal nanowire dispersed in a dispersion medium is mixed with the metal sol by mixing a metal precursor and a solvent to produce a metal sol, wherein a part of the solvent is used as a dispersion medium of the metal nanowire to form a conductive ink composition And the content of each component in the conductive ink composition for forming the final transparent electrode can be controlled within the range described above.

본 발명에 따른 투명 전극 형성용 전도성 잉크 조성물은 상기 금속 졸, 금속 나노와이어 이외에 필요에 따라 당업계에서 통상적으로 사용되는 첨가제를 포함할 수 있다.
The conductive ink composition for forming a transparent electrode according to the present invention may contain, in addition to the metal sol and the metal nanowire, additives commonly used in the art if necessary.

본 발명에 따른 투명 전극 형성용 전도성 잉크 조성물은 pH 범위가 6 내지 9 범위 내인 것이 좋다. 상기 pH가 6 미만 일 경우, 산 분위기에 의해 금속 나노와이어가 용액 내에서 산화될 수 있으며, 또한 pH가 9를 초과 할 경우에도 금속 나노와이어의 산화, 절단 또는 용해 현상이 발생할 수 있다.
The conductive ink composition for forming a transparent electrode according to the present invention preferably has a pH range of 6 to 9. When the pH is less than 6, the metal nanowires can be oxidized in the solution by an acid atmosphere, and even when the pH is more than 9, the metal nanowires may oxidize, cut or dissolve.

또한 본 발명은 상기 투명 전극 형성용 전도성 잉크 조성물을 기재에 도포하고 소성하는 것을 특징으로 하는 전도성 투명 전극의 제조방법 및 상기 방법에 의하여 제조된 투명 전극을 제공한다.The present invention also provides a method of manufacturing a conductive transparent electrode, which comprises applying the conductive ink composition for forming a transparent electrode to a substrate and firing the conductive ink composition, and a transparent electrode produced by the method.

본 발명에 따른 투명 전극 형성용 전도성 잉크 조성물은 당분야에서 통상적으로 사용하는 다양한 인쇄공정, 예를 들어, 그라비아 옵-셋 (Gravure off-set) 인쇄, 그라비아 다이렉스(Gravure direct) 인쇄, 스크린 (Screen)인쇄, 스핀코팅(spin coating), 슬릿 코팅(slit coating), 슬롯 다이 코팅(slot die coating), 또는 임프린팅 방법 등을 이용하여 통상적으로 사용되는 투명 기판, 예를 들어, 유리 기판, 폴리이미드(PI) 기판, 폴리에틸렌테레프탈레이트(PET) 기판 등에 인쇄될 수 있으며, 두께는 용도에 따라 적절히 조절되는 것이 바람직하다.The conductive ink composition for forming a transparent electrode according to the present invention may be applied to various printing processes commonly used in the art, for example, gravure off-set printing, gravure direct printing, For example, a glass substrate, a polyimide film, a polyimide film, a polyimide film, a polyimide film, a polyimide film, a polyimide film, a polyimide film, (PI) substrate, a polyethylene terephthalate (PET) substrate, and the like, and the thickness is preferably adjusted appropriately according to the application.

상기와 같이 제조된 전극은 당분야에서 통상적으로 사용되는 소성 방법에 따라 소성될 수 있으며, 상기 소성 조건은 기판 및 조성물의 특성에 따라 적절히 조절될 수 있으며, 300 ℃ 미만에서의 소성이 가능하여 필름을 포함한 유기물질 기재에도 적용이 가능하며, 바람직하게는 80℃ 내지 250℃에서 소성하는 것이 좋다.
The electrode thus prepared can be fired according to a firing method commonly used in the art, and the firing conditions can be appropriately controlled according to the characteristics of the substrate and the composition, , And is preferably baked at 80 ° C to 250 ° C.

본 발명에 따른 상기 투명 전극은 액정 표시장치, 플라즈마 표시장치, 터치패널, 전계발광 장치, 박막태양전지, 염료감응태양전지, 무기물 결정질 태양전지 등의 전극에 유용하게 활용될 수 있다.
The transparent electrode according to the present invention can be advantageously applied to electrodes such as a liquid crystal display, a plasma display, a touch panel, an electroluminescent device, a thin film solar cell, a dye sensitized solar cell, and an inorganic crystalline solar cell.

이하, 본 발명의 이해를 돕기 위하여 바람직한 실시예를 제시하나, 하기 실시예는 본 발명을 예시하는 것일 뿐 본 발명의 범위가 하기 실시예에 한정되는 것은 아니다.
Hereinafter, the present invention will be described in more detail with reference to the following examples. However, the scope of the present invention is not limited to the following examples.

실시예 1 내지 14: 투명 전극용 전도성 잉크 제조Examples 1 to 14: Preparation of conductive ink for transparent electrode

하기 표 1에 기재된 성분과 함량에 따라 금속 전구체와 용매를 상온상압 조건에서 혼합하여 금속 졸을 제조한 다음, 나노와이어 분산액을 혼합하여 투명 전극용 전도성 잉크를 제조하였다. 이 때, 금속 나노와이어 분산액으로는 은 나노와이어가 이소프판올에 0.8 중량% 농도로 분산된 은 나노와이어 분산액을 사용하였다.Metal precursors and solvents were mixed at room temperature and normal pressure according to the ingredients and contents shown in Table 1 below to prepare metal sols, and nanowire dispersions were mixed to prepare conductive inks for transparent electrodes. At this time, as the metal nanowire dispersion, a silver nanowire dispersion in which silver nanowires were dispersed in isoppanol at a concentration of 0.8 wt% was used.

단위(g) Unit (g) 금속전구체 1Metal precursor 1 금속전구체 2Metal precursor 2 금속전구체 3Metal precursor 3 주 용매Main solvent 부 용매 1Minor solvent 1 부 용매 2Minor solvent 2 실시예 1Example 1 Zn AcAcZn AcAc 0.30.3         AcAcAcAc 66         실시예 2Example 2 Zn AcAcZn AcAc 22         AcAcAcAc 66 EtOHEtOH 33     실시예 3Example 3 Zn AcAcZn AcAc 1.51.5         AcAcAcAc 55 MtOHMtOH 22     실시예 4Example 4 Zn AcAcZn AcAc 0.80.8         EtOHEtOH 55 AcAcAcAc 22     실시예 5Example 5 Zn AcAcZn AcAc 0.80.8         EtOHEtOH 55 AcAcAcAc 1One IPACIPAC 1One 실시예 6Example 6 Zn AcAcZn AcAc 0.80.8 Fe AcAcFe AcAc 0.010.01     EtOHEtOH 55 AcAcAcAc 1One IPACIPAC 1One 실시예 7Example 7 Zn AcAcZn AcAc 0.80.8 Cu AcAcCu AcAc 0.050.05     EtOHEtOH 55 AcAcAcAc 1One IPACIPAC 1One 실시예 8Example 8 Zn AcAcZn AcAc 0.80.8 Cu AcAcCu AcAc 0.050.05 Fe AcAcFe AcAc 0.010.01 EtOHEtOH 55 AcAcAcAc 1One IPACIPAC 1One 실시예 9Example 9 Zn AcAcZn AcAc 0.80.8         EtOHEtOH 55 AcAcAcAc 1One IPAIPA 1One 실시예 10Example 10 Zn AcAcZn AcAc 0.80.8 Fe AcAcFe AcAc 0.010.01     EtOHEtOH 55 AcAcAcAc 1One IPAIPA 1One 실시예 11Example 11 Zn AcAcZn AcAc 0.80.8 Cu AcAcCu AcAc 0.050.05     EtOHEtOH 55 AcAcAcAc 1One IPAIPA 1One 실시예 12Example 12 Zn AcAcZn AcAc 0.80.8 Cu AcAcCu AcAc 0.050.05 Fe AcAcFe AcAc 0.010.01 EtOHEtOH 55 AcAcAcAc 1One IPAIPA 1One 실시예 13Example 13 Zn AcAcZn AcAc 1.81.8         AcAcAcAc 66 IPAIPA 22     실시예 14Example 14 Zn AcZn Ac 0.50.5         AcAcAcAc 66         실시예 15Example 15 Zn AcZn Ac 0.50.5         MtOHMtOH 66         실시예 16Example 16 Zn AcZn Ac 1.51.5         MtOHMtOH 1212 AcAcAcAc 44     실시예 17Example 17 Zn AcZn Ac 1One         EtOHEtOH 1010 IPAIPA 22 MtOHMtOH 1One 실시예 18Example 18 Zn AcAcZn AcAc 1.51.5 Cu AcAcCu AcAc 0.050.05     AcAcAcAc 66 EtOHEtOH 44     실시예 19Example 19 Zn AcAcZn AcAc 1.51.5 Cu AcAcCu AcAc 0.050.05 Sn AcAcSn AcAc 0.050.05 AcAcAcAc 66 EtOHEtOH 44     실시예 20Example 20 Zn AcAcZn AcAc 1.51.5 Cu AcAcCu AcAc 0.050.05 Fe AcAcFe AcAc 0.010.01 AcAcAcAc 66 EtOHEtOH 44     실시예 21Example 21 Zn AcAcZn AcAc 1.51.5 Cu AcAcCu AcAc 0.050.05     AcAcAcAc 66 MtOHMtOH 33     실시예 22Example 22 Zn AcAcZn AcAc 1.51.5 Cu AcAcCu AcAc 0.050.05     AcAcAcAc 1515 IPAIPA 44     실시예 23Example 23 Zn AcAcZn AcAc 1One Sn AcAcSn AcAc 0.10.1     EtOHEtOH 1212 AcAcAcAc 44     실시예 24Example 24 Zn AcAcZn AcAc 1One Al AcAcAl AcAc 0.010.01     AcAcAcAc 1111 IPAIPA 2.42.4     실시예 25Example 25 Zn AcAcZn AcAc 1.51.5 Fe AcAcFe AcAc 0.020.02     AcAcAcAc 55 MtOHMtOH 33     실시예 26Example 26 Zn AcAcZn AcAc 1One Zn AcZn Ac 0.10.1     AcAcAcAc 55 MtOHMtOH 33     실시예 27Example 27 Zn AcAcZn AcAc 1One Zn AcZn Ac 0.10.1     AcAcAcAc 55 EtOHEtOH 33     실시예 28Example 28 Zn AcAcZn AcAc 1.51.5 Ag AcAg Ac 0.010.01     AcAcAcAc 1515 MtOHMtOH 1010     실시예 29Example 29 Zn AcAcZn AcAc 1.51.5 Ag AcAcAg AcAc 0.010.01     AcAcAcAc 55 EtOHEtOH 3.53.5    

상기 표 1에서 Zn AcAc는 아세틸아세톤산 아연, Cu AcAc는 아세틸아세톤산 구리, Sn AcAc는 아세틸아세톤산 주석, Al AcAc는 아세틸아세톤산 알루미늄, Fe AcAc는 아세틸아세톤산 철, Zn Ac는 아세트산 아연, Ag Ac는 아세트산 은, Ag AcAc는 아세틸아세톤산 은, AcAc는 아세틸아세톤, IPA는 이소프로판올을 나타낸다.
In the above Table 1, Zn AcAc is zinc acetylacetonate, Cu AcAc is copper acetylacetonate, Sn AcAc is acetylacetonate tin, Al AcAc is aluminum acetylacetonate, Fe AcAc is acetylacetonate iron, Zn Ac is zinc acetate, Ag Ac represents acetic acid, Ag AcAc represents acetylacetonic acid, AcAc represents acetylacetone, and IPA represents isopropanol.

시험예 1Test Example 1

상기 실시예 1 내지 14에서 제조한 투명 전극용 전도성 잉크의 가시광 투과도와 전도성을 측정하여 내환경성 평가를 실시하였다.The visible light transmittance and conductivity of the conductive ink for transparent electrode prepared in Examples 1 to 14 were measured to evaluate the environmental resistance.

구체적으로, 유리 기판을 유기물 등 이물질을 제거하기 위하여 세정한 후, 상기 실시예 1 내지 14의 투명 전극용 전도성 잉크를 유리 기판에 각각 도포하였다. 도포 후, 200 ℃에서 10분간 열처리하였다.Specifically, after cleaning the glass substrate to remove foreign matter such as organic matters, the conductive inks for transparent electrodes of Examples 1 to 14 were applied to the glass substrate, respectively. After the application, heat treatment was performed at 200 占 폚 for 10 minutes.

400 nm 내지 800 nm 파장 영역에서 Agilent사의 Cary 4000 UV-Visible Spectrophotometer를 이용하여 가시광 투과도를 측정하고, 전도성 4-point 측정 기기로 면저항을 측정함으로써 전도성을 측정하였으며, 온도 85 ℃ 및 습도 85% 조건에서 면저항이 변하지 않는 시간을 측정함으로써 내환경성을 평가하였다. 그 결과를 하기 표 2 및 도 3에 나타내었다.The visible light transmittance was measured using a Agilent Cary 4000 UV-Visible Spectrophotometer in a wavelength range of 400 nm to 800 nm, and the conductivity was measured by measuring the sheet resistance with a conductive 4-point measuring instrument. At a temperature of 85 ° C and a humidity of 85% The environmental resistance was evaluated by measuring the time during which the sheet resistance did not change. The results are shown in Table 2 and FIG.

  광투과도(%)Light transmittance (%) 면저항(Ω/□)Sheet resistance (Ω / □) 내환경성 평가(hr)Environmental evaluation (hr) 실시예 1Example 1 97.5197.51 187187 240240 실시예 2Example 2 98.8598.85 255255 360360 실시예 3Example 3 97.3797.37 242242 360360 실시예 4Example 4 98.5498.54 210210 360360 실시예 5Example 5 98.0798.07 195195 320320 실시예 6Example 6 97.1597.15 182182 296296 실시예 7Example 7 97.5997.59 157157 344344 실시예 8Example 8 97.3797.37 175175 344344 실시예 9Example 9 98.7298.72 207207 380380 실시예 10Example 10 96.4296.42 215215 296296 실시예 11Example 11 97.4797.47 190190 320320 실시예 12Example 12 98.0298.02 205205 320320 실시예 13Example 13 98.4698.46 250250 360360 실시예 14Example 14 97.9197.91 196196 264264 실시예 15Example 15 98.1198.11 198198 216216 실시예 16Example 16 97.6797.67 220220 216216 실시예 17Example 17 97.8897.88 205205 320320 실시예 18Example 18 96.7996.79 237237 192192 실시예 19Example 19 97.6397.63 245245 264264 실시예 20Example 20 96.2796.27 200200 288288 실시예 21Example 21 96.2596.25 225225 192192 실시예 22Example 22 97.1497.14 230230 192192 실시예 23Example 23 96.2496.24 478478 240240 실시예 24Example 24 96.7996.79 493493 240240 실시예 25Example 25 96.3396.33 250250 144144 실시예 26Example 26 96.5396.53 395395 192192 실시예 27Example 27 97.2697.26 403403 192192 실시예 28Example 28 94.3494.34 207207 216216 실시예 29Example 29 93.7793.77 264264 216216

상기 표 2 및 도 3에 나타난 바와 같이, 본 발명에 따라 금속 나노와이어 및 금속 졸을 포함하는 잉크 조성물을 이용하여 제조된 투명 전극은 광투과도가 93% 이상으로 매우 우수하고, 면저항이 500 Ω/□ 이하로 전도성이 매우 우수함을 알 수 있다.As shown in Table 2 and FIG. 3, according to the present invention, a transparent electrode manufactured using an ink composition containing metal nanowires and a metal sol has excellent light transmittance of 93% or more and a sheet resistance of 500 Ω / □ or less.

또한 금속 졸이 금속 나노와이어의 보호층으로 작용하여 우수한 내환경성을 나타내므로, 별도의 산화방지제 또는 보호층이 필요하지 않다.Further, since the metal sol acts as a protective layer of the metal nanowire and exhibits excellent environmental resistance, no separate antioxidant or protective layer is required.

Claims (12)

A)a) 금속 전구체; 및 b) 용매를 포함하는 금속 졸; 및
B) 금속 나노와이어;를 포함하고,
pH가 6 내지 9인 것을 특징으로 하는 투명 전극 형성용 전도성 잉크 조성물.
A) a) a metal precursor; And b) a metal sol comprising a solvent; And
B) a metal nanowire;
wherein the pH of the conductive ink composition is from 6 to 9.
제1항에 있어서,
A)a) 금속 전구체 3 내지 20 중량%; 및 b) 용매 80 내지 97 중량%를 포함하는 금속 졸; 및
B) 상기 금속 졸에 포함된 금속 전구체 1 중량부에 대하여 기준으로 금속 나노와이어 0.25 내지 4 중량부;
를 포함하는 것을 특징으로 하는 투명 전극 형성용 전도성 잉크 조성물.
The method according to claim 1,
A) a) 3 to 20% by weight of a metal precursor; And b) from 80 to 97% by weight of a solvent; And
B) 0.25 to 4 parts by weight of metal nanowires based on 1 part by weight of the metal precursor contained in the metal sol;
Wherein the conductive ink composition for forming a transparent electrode is a conductive ink composition for forming a transparent electrode.
제1항에 있어서,
상기 금속 전구체의 금속이 Ⅰ족, ⅡA족, ⅢA족, ⅣA족 및 Ⅷ B족 금속으로 이루어진 군에서 선택되는 1종 이상의 금속임을 특징으로 하는 투명 전극 형성용 전도성 잉크 조성물.
The method according to claim 1,
Wherein the metal of the metal precursor is at least one metal selected from the group consisting of Group I, IIA, IIIA, IVA, and VIII B metals.
제3항에 있어서,
상기 금속이 아연, 알루미늄, 주석, 철, 구리 및 은으로 이루어진 군에서 선택되는 1종 이상의 금속임을 특징으로 하는 투명 전극 형성용 전도성 잉크 조성물.
The method of claim 3,
Wherein the metal is at least one metal selected from the group consisting of zinc, aluminum, tin, iron, copper and silver.
제1항에 있어서,
상기 금속 전구체가 질산염, 아세트산염, 아세틸아세톤산염, 규산염, 인산염 및 이들의 혼합물로 이루어진 군에서 선택되는 1종 이상의 무기염임을 특징으로 하는 투명 전극 형성용 전도성 잉크 조성물.
The method according to claim 1,
Wherein the metal precursor is at least one inorganic salt selected from the group consisting of nitrate, acetate, acetylacetonate, silicate, phosphate, and mixtures thereof.
제5항에 있어서,
상기 금속 전구체가 아세트산염, 아세틸아세톤염 또는 규산염임을 특징으로 하는 투명 전극 형성용 전도성 잉크 조성물.
6. The method of claim 5,
Wherein the metal precursor is an acetate salt, an acetylacetone salt, or a silicate.
제1항에 있어서,
상기 용매가 물, 메탄올, 에탄올, 프로판올, 이소프로판올, 이소프로필아세테이트, 부탄올, 2-부탄올, 옥탄올, 2-에틸헥사놀, 펜탄올, 벤질알콜, 헥산올, 2-헥산올, 사이클로헥산올, 테르피네올, 노나놀, 메틸렌 글리콜, 에틸렌 글리콜, 디에틸렌 글리콜, 트리에틸렌 글리콜, 테트라에틸렌 글리콜, 에틸렌 글리콜 모노메틸에테르, 에틸렌 글리콜 모노에틸에테르, 에틸렌 글리콜 모노부틸에테르, 디에틸렌 글리콜 모노메틸에테르, 디에틸렌 글리콜 모노에틸에테르, 디에틸렌 글리콜 모노부틸에테르, 트리에틸렌 글리콜 모노메틸에테르, 트리에틸렌 글리콜 모노에틸에테르, 트리에틸렌 글리콜 모노부틸에테르, 2-프로판온, 디아세틸, 아세틸아세톤, 1,2-디아세틸에탄, 디메틸카보네이트, 디에틸카보네이트, 프로필렌글리콜메틸에테르아세테이트, 2-메톡시에틸아세테이트, 프로필렌글리콜모노메틸에테르, N-메틸-2-피롤리돈, N-메틸아세트아마이드 및 이들의 혼합물로 이루어진 군에서 선택되는 1종 이상의 용매임을 특징으로 하는 투명 전극 형성용 전도성 잉크 조성물.
The method according to claim 1,
Wherein the solvent is selected from the group consisting of water, methanol, ethanol, propanol, isopropanol, isopropyl acetate, butanol, 2-butanol, octanol, 2-ethylhexanol, pentanol, benzyl alcohol, hexanol, Ethylene glycol monoethyl ether, ethylene glycol monobutyl ether, diethylene glycol monomethyl ether, diethylene glycol monomethyl ether, diethylene glycol monomethyl ether, diethylene glycol monomethyl ether, diethylene glycol monomethyl ether, diethylene glycol monomethyl ether, Diethylene glycol monoethyl ether, diethylene glycol monobutyl ether, triethylene glycol monomethyl ether, triethylene glycol monoethyl ether, triethylene glycol monobutyl ether, 2-propanone, diacetyl, acetylacetone, Diacetyl ethane, dimethyl carbonate, diethyl carbonate, propylene glycol methyl ether acetate, 2-methoxyethyl Wherein the solvent is at least one solvent selected from the group consisting of citrate, propylene glycol monomethyl ether, N-methyl-2-pyrrolidone, N-methylacetamide and mixtures thereof.
제7항에 있어서,
상기 용매가 2종 이상의 혼합용매이고, 주용매 1 중량부를 기준으로 0.2 내지 0.8 중량부의 부용매를 혼합되어 있는 것을 특징으로 하는 투명 전극 형성용 전도성 잉크 조성물.
8. The method of claim 7,
Wherein the solvent is a mixed solvent of two or more kinds, and 0.2 to 0.8 parts by weight of a minor solvent is mixed based on 1 part by weight of the main solvent.
삭제delete 제1항 내지 제8항 중 어느 한 항 기재의 투명 전극 형성용 전도성 잉크 조성물을 기재에 도포하여 건조 및 소성하는 것을 특징으로 하는 전도성 투명전극의 제조방법.9. A method for producing a conductive transparent electrode, comprising applying a conductive ink composition for forming a transparent electrode according to any one of claims 1 to 8 on a substrate, followed by drying and firing. 제10항에 있어서,
상기 소성은 80 내지 250 ℃에서 이루어지는 것을 특징으로 하는 전도성 투명전극의 제조방법.
11. The method of claim 10,
Wherein the firing is performed at 80 to 250 ° C.
제10항 기재의 제조방법에 의하여 제조된 전도성 투명전극.A conductive transparent electrode produced by the manufacturing method according to claim 10.
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