KR101986333B1 - 하이브리드 방식의 선인장 후가공 텐션 oled 마스크 제조방법 - Google Patents
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Abstract
본 발명은 하이브리드 방식의 선인장 후가공 텐션 OLED 마스크 제조방법에 관한 것이다.
이에 본 발명의 기술적 요지는 에칭 가공에 의해 패턴 셀이 이미 성형된 마스크 시트를 선인장하도록 하되, 상기 선인장시에는 마스크 시트의 평면상 최외곽 4군데 모서리부 패턴 셀들로 하여금 외곽 코너 지점으로부터 각각 상하향 대칭되는 위치로 지시되는 가상의 교차선을 그린 후 상기 교차선에 의해 형성된 중심점을 기준으로 모서리부 패턴 셀 중 어느 하나를 다시 선택하여 측정된 얼라인 키가 세팅포인트로 설정될 수 있도록 하는 바, 이는 종전 대비 인장단계에서의 기준 얼라인 키의 변형이 없어 패턴 셀의 스펙을 정밀하게 설정할 수 있도록 형성되어 OLED 마스크의 품질이 크게 향상되는 것을 특징으로 한다.
이에 본 발명의 기술적 요지는 에칭 가공에 의해 패턴 셀이 이미 성형된 마스크 시트를 선인장하도록 하되, 상기 선인장시에는 마스크 시트의 평면상 최외곽 4군데 모서리부 패턴 셀들로 하여금 외곽 코너 지점으로부터 각각 상하향 대칭되는 위치로 지시되는 가상의 교차선을 그린 후 상기 교차선에 의해 형성된 중심점을 기준으로 모서리부 패턴 셀 중 어느 하나를 다시 선택하여 측정된 얼라인 키가 세팅포인트로 설정될 수 있도록 하는 바, 이는 종전 대비 인장단계에서의 기준 얼라인 키의 변형이 없어 패턴 셀의 스펙을 정밀하게 설정할 수 있도록 형성되어 OLED 마스크의 품질이 크게 향상되는 것을 특징으로 한다.
Description
본 발명은 에칭 가공에 의해 패턴 셀이 이미 성형된 마스크 시트를 선인장하도록 하되, 상기 선인장시에는 마스크 시트의 평면상 최외곽 4군데 모서리부 패턴 셀들로 하여금 외곽 코너 지점으로부터 각각 상하향 대칭되는 위치로 지시되는 가상의 교차선을 그린 후 상기 교차선에 의해 형성된 중심점을 기준으로 모서리부 패턴 셀 중 어느 하나를 다시 선택하여 측정된 얼라인 키가 세팅포인트로 설정될 수 있도록 하는 바, 이는 종전 대비 인장단계에서의 기준 얼라인 키의 변형이 없어 패턴 셀의 스펙을 정밀하게 설정할 수 있도록 형성되어 OLED 마스크의 품질이 크게 향상되는 것을 특징으로 하는 하이브리드 방식의 선인장 후가공 텐션 OLED 마스크 제조방법에 관한 것이다.
최근 OLED 제품의 다양화 및 고해상도화에 따른 공통층 마스크(Open mask)의 정밀화가 중요해 지고 있다.
또한, 양산을 위해서 유리 기판 사이즈도 대형화 추세에 따라 점점 큰 사이즈의 유리기판이 제작되고 있고, 이에 OLED 공정에서 메탈 마스크(Metal mask)의 중요도가 점점 높아지고 있는 추세이다.
이러한 마스크 제조방법은 여러가지 형태로 제작되는데 그 중 하나로서, 선인장 후가공 형태가 제안되고 있다.
이러한 선인장 후가공 형태의 종전 방식은 마스크 시트를 인장기로 늘려 패턴 셀을 가공하는 방법으로 기존 얼라인 키를 잡기 위한 측정의 어려움을 해소한 것이다.
그러나, 이러한 선인장 후가공 형태의 제조방법은 인장된 상태에서 패턴 셀을 가공하다 보니 레이저나 식각액의 사용에 따라 마스크 시트에 열 변형을 일으켜 오히려 정밀도가 저하되는 단점이 발생된다.
또한, 상기 선인장 후가공 형태의 제조방법은 추후 마스크 프레임에 접합하는 과정에서도 얼라인 키가 정확하게 맞지 않아 틀어짐이 발생하게 되고 이는 결국 공정 불량을 야기하는 문제가 발생된다.
본 발명은 상술한 문제점을 해결하기 위한 것으로, 그 기술적 요지는 에칭 가공에 의해 패턴 셀이 이미 성형된 마스크 시트를 선인장하도록 하되, 상기 선인장시에는 마스크 시트의 평면상 최외곽 4군데 모서리부 패턴 셀들로 하여금 외곽 코너 지점으로부터 각각 상하향 대칭되는 위치로 지시되는 가상의 교차선을 그린 후 상기 교차선에 의해 형성된 중심점을 기준으로 모서리부 패턴 셀 중 어느 하나를 다시 선택하여 측정된 얼라인 키가 세팅포인트로 설정될 수 있도록 하는 바, 이는 종전 대비 인장단계에서의 기준 얼라인 키의 변형이 없어 패턴 셀의 스펙을 정밀하게 설정할 수 있도록 형성되어 OLED 마스크의 품질이 크게 향상되는 것을 제공하고자 하는 것이다.
이에, 본 발명은 세팅포인트를 위한 세팅홈 커팅시 레이저를 이용하도록 하되, 레이저 커팅시에는 세팅홈의 직경 대비 소형 면적으로 조금씩 차등 구획하면서 절삭하도록 하는 바, 이는 순차적으로 조금씩 커팅된 조각편(절삭칩-스크래퍼 또는 이바리라고 함)들이 에어 석션 흡착기로 하여금 신속하게 즉시 회수 또는 제거 및 수거되도록 하는 바, 이는 커팅 정밀성이 확보되도록 하고 마스크 프레임에 형성된 얼라인 키홈 내부로 떨어져 막히는 것을 방지하여 얼라인 키의 높은 측정성을 보장함은 물론 절삭된 조각편 이물이 얼라인 키홈에 남겨져 측정 불량으로 인식되는 것을 방지하도록 하는 것을 제공함에 그 목적이 있다.
이러한 목적을 달성하기 위해 본 발명은 에칭 가공을 통해 다수개의 패턴 셀(11)이 가공된 마스크 시트(10)의 4면 선단에 대하여 인장기의 클램프가 결속되어 외측방향으로 인장하도록 하는 인장단계(S100)와; 마스크 시트(10)의 평면 상에 가공된 패턴 셀(11) 중 최외곽 4군데 모서리부 패턴 셀(11-1)들을 특정한 후 해당 모서리부 패턴 셀(11-1)들의 외곽 코너 지점(C)으로부터 서로 상하향 대칭되는 위치로 가상의 교차선을 그리도록 하되, 상기 교차선에 의해 중심점이 설정되면 이를 기준으로 모서리부 패턴 셀(11-1) 중 어느 하나를 기준 모서리부 패턴 셀(11-2)로 선택한 후 외곽 코너 지점(C)을 지난 마스크 시트의 테두리 면상(12)에 기준 얼라인 키(K-1) 위치를 측정하여 마스크 프레임(20)의 얼라인 키홈(K-2)과 대응되는 가공 위치를 설정하도록 하는 측정 및 설정단계(S200)와; 상기 마스크 프레임(20)의 얼라인 키홈(K-2)에 대하여 마스크 시트(10)의 기준 얼라인 키(K-1)가 대응되면 펨토초 레이저를 통해 기준 얼라인 키의 세팅홈(30)을 뚫어 얼라인 키홈(K-2)의 상면 개구부와 세팅포인트(P)를 일치시키도록 하는 얼라인 키 가공단계(S300)와; 상기 세팅 포인트(P) 설정이 완료되면 레이저를 통해 마스크 시트와 마스크 프레임을 서로 접합시키도록 하는 접합단계(S400)가; 구성되어 이루어진다.(여기서 후가공은 기준 얼라인 키의 세팅홈을 형성하는 것을 의미함)
이에, 상기 얼라인 키 가공단계(S300)에서 기준 얼라인 키(K-1)의 세팅홈(30)에 대한 레이저 커팅시에는 최종 목적하는 세팅홈(30)의 관통 직경(D) 대비 소형 직경의 조각편(S)을 다수회 나누어 절삭하면서 세팅홈(30)을 천공하도록 형성된다.(조각을 내지 않으면 아래쪽에 위치한 얼라인 키홈이 막혀 측정 불량을 야기함)
또한, 상기 얼라인 키 가공단계(S300)에서 조각편(S)을 절삭하는 레이저 커팅시에는 세팅홈(30)의 중앙 부분에 원형 또는 다각 형상의 메인조각편(S-1)을 커팅한 후 나머지 원주면 테두리조각편(S-2)에 대하여 구획을 나누어 순차적으로 커팅하도록 형성된다.
이때, 상기 얼라인 키 가공단계(S300)에서 레이저 커팅시에는 일측에 에어 석션 흡착기(40)가 구비되어 메인조각편(S-1), 테두리조각편(S-2)들로 이루어진 조각편(S)들이 커팅과 동시에 흡입 및 회수 제거되도록 형성되어 마스크 프레임의 얼라인 키홈(K-2) 내부로 떨어지지 않도록 형성된다.
이와 같이, 본 발명은 에칭 가공에 의해 패턴 셀이 이미 성형된 마스크 시트를 선인장하도록 하되, 상기 선인장시에는 마스크 시트의 평면상 최외곽 4군데 모서리부 패턴 셀들로 하여금 외곽 코너 지점으로부터 각각 상하향 대칭되는 위치로 지시되는 가상의 교차선을 그린 후 상기 교차선에 의해 형성된 중심점을 기준으로 모서리부 패턴 셀 중 어느 하나를 다시 선택하여 측정된 얼라인 키가 세팅포인트로 설정될 수 있도록 하는 바, 이는 종전 대비 인장단계에서의 기준 얼라인 키의 변형이 없어 패턴 셀의 스펙을 정밀하게 설정할 수 있도록 형성되어 OLED 마스크의 품질이 크게 향상되는 효과가 있다.
이에, 본 발명은 세팅포인트를 위한 세팅홈 커팅시 레이저를 이용하도록 하되, 레이저 커팅시에는 세팅홈의 직경 대비 소형 면적으로 조금씩 차등 구획하면서 절삭하도록 하는 바, 이는 순차적으로 조금씩 커팅된 조각편(절삭칩-스크래퍼 또는 이바리라고 함)들이 에어 석션 흡착기로 하여금 신속하게 즉시 회수 또는 제거 및 수거되도록 하는 바, 이는 커팅 정밀성이 확보되도록 하고 마스크 프레임에 형성된 얼라인 키홈 내부로 떨어져 막히는 것을 방지하여 얼라인 키의 높은 측정성을 보장함은 물론 절삭된 조각편 이물이 얼라인 키홈에 남겨져 측정 불량으로 인식되는 것을 방지하도록 하는 효과가 있다.
도 1은 본 발명에 따른 공정 블럭도,
도 2는 본 발명에 따른 측정 및 설정단계를 나타낸 예시도,
도 3은 본 발명에 따른 얼라인 키 가공단계를 나타낸 예시도,
도 4는 본 발명에 따른 얼라인 키 가공단계에서 레이저 커팅 과정을 나타낸 일 예시도,
도 5는 본 발명에 다른 에어 석션 흡착기를 나타낸 예시도이다.
도 2는 본 발명에 따른 측정 및 설정단계를 나타낸 예시도,
도 3은 본 발명에 따른 얼라인 키 가공단계를 나타낸 예시도,
도 4는 본 발명에 따른 얼라인 키 가공단계에서 레이저 커팅 과정을 나타낸 일 예시도,
도 5는 본 발명에 다른 에어 석션 흡착기를 나타낸 예시도이다.
다음은 첨부된 도면을 참조하며 본 발명을 보다 상세히 설명하겠다.
먼저, 도 1 내지 도 5에 도시된 바와 같이, 본 발명은 인장단계(S100), 측정 및 설정단계(S200), 얼라인 키 가공단계(S300) 및 접합단계(S400)로 크게 구성된다.
이에, 상기 인장단계(S100)는 에칭 가공을 통해 다수개의 패턴 셀(11)이 가공된 마스크 시트(10)의 4면 선단에 대하여 인장기의 클램프가 결속되어 외측방향으로 인장하도록 형성된다.
또한, 상기 측정 및 설정단계(S200)는 마스크 시트(10)의 평면 상에 가공된 패턴 셀(11) 중 최외곽 4군데 모서리부 패턴 셀(11-1)들을 특정하도록 형성된다.
이때, 상기 해당 모서리부 패턴 셀(11-1)들의 외곽 코너 지점(C)으로부터 서로 상하향 대칭되는 위치로 가상의 교차선을 그리도록 형성된다.
이에, 상기 교차선에 의해 중심점이 설정되면 이를 기준으로 모서리부 패턴 셀(11-1) 중 어느 하나를 기준 모서리부 패턴 셀(11-2)로 선택한 후 외곽 코너 지점(C)을 지난 마스크 시트의 테두리 면상(12)에 기준 얼라인 키(K-1) 위치를 측정하여 마스크 프레임(20)의 얼라인 키홈(K-2)과 대응되는 가공 위치를 설정하도록 형성된다.
즉, 모서리부 패턴 셀들 간의 교차점은 중심점으로서 해당 중심점은 얼라인 기준점으로서 변하지 않는다.
이때, 측정된 마스크 시트의 실제 중심점과 도면(발주자 또는 설계 스펙)상의 얼라인 키를 반드시 일치시킨 후 모서리부 패턴 셀 중 어느 하나를 선택하여 기준 얼라인 키를 설정한다. 여기서 얼라인 키 가공이 바로 후가공에 속하게 된다.
이후 마스크 시트의 처짐량을 CCD카메라로 하여금 3차원 측정한 후 확인하는 것이 바람직하고, 정밀도를 맞춰가며 인장하고 키를 가공해야 한다.
한편, 상기 얼라인 키 가공단계(S300)는 상기 마스크 프레임(20)의 얼라인 키홈(K-2)에 대하여 마스크 시트(10)의 기준 얼라인 키(K-1)가 대응되면 펨토초 레이저를 통해 기준 얼라인 키의 세팅홈(30)을 뚫어 얼라인 키홈(K-2)의 상면 개구부와 세팅포인트(P)를 일치시키도록 형성된다.
이에, 상기 얼라인 키 가공단계(S300)에서 기준 얼라인 키(K-1)의 세팅홈(30)에 대한 레이저 커팅시에는 최종 목적하는 세팅홈(30)의 관통 직경(D) 대비 소형 직경의 조각편(S)을 다수회 나누어 절삭하면서 세팅홈(30)을 천공하도록 형성된다.(조각을 내지 않으면 아래쪽에 위치한 얼라인 키홈이 막혀 측정 불량을 야기함)
또한, 상기 얼라인 키 가공단계(S300)에서 조각편(S)을 절삭하는 레이저 커팅시에는 세팅홈(30)의 중앙 부분에 원형 또는 다각 형상의 메인조각편(S-1)을 커팅한 후 나머지 원주면 테두리조각편(S-2)에 대하여 구획을 나누어 순차적으로 커팅하도록 형성된다.
이때, 상기 얼라인 키 가공단계(S300)에서 레이저 커팅시에는 일측에 에어 석션 흡착기(40)가 구비되어 메인조각편(S-1), 테두리조각편(S-2)들로 이루어진 조각편(S)들이 커팅과 동시에 흡입 및 회수 제거되도록 형성되어 마스크 프레임의 얼라인 키홈(K-2) 내부로 떨어지지 않도록 형성된다.
즉, 상기 에어 석션 흡착기는 조각편들을 즉시 흡입하여 얼라인 키홈으로 조각편들이 떨어지지 않도록 형성된다.
이에, 상기 접합단계(S400)는 상기 세팅 포인트(P) 설정이 완료되면 레이저를 통해 마스크 시트와 마스크 프레임을 서로 접합시키도록 형성된다.
이때, 마스크 시트와 마스크 프레임은 5~20mm 간격을 두고 점 용접하는 것이 바람직하다. 이는 열변형에 따른 수축 팽창에 대비하기 위함이다.
본 발명은 상술한 특정의 바람직한 실시예에 한정되지 아니하며, 청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 고안이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 다양한 변형실시가 가능한 것은 물론이고, 그와 같은 변경은 청구범위 기재의 범위 내에 있게 된다.
10 ... 마스크 시트 11 ... 패턴 셀
11-1 ... 모서리부 패턴 셀 11-2 ... 기준 모서리부 패턴 셀
20 ... 마스크 프레임 30 ... 세팅홈
S100 ... 인장단계 S200 ... 측정 및 설정단계
S300 ... 얼라인 키 가공단계 S400 ... 접합단계
11-1 ... 모서리부 패턴 셀 11-2 ... 기준 모서리부 패턴 셀
20 ... 마스크 프레임 30 ... 세팅홈
S100 ... 인장단계 S200 ... 측정 및 설정단계
S300 ... 얼라인 키 가공단계 S400 ... 접합단계
Claims (3)
- 에칭 가공을 통해 다수개의 패턴 셀(11)이 가공된 마스크 시트(10)의 4면 선단에 대하여 인장기의 클램프가 결속되어 외측방향으로 인장하도록 하는 인장단계(S100)와; 마스크 시트(10)의 평면 상에 가공된 패턴 셀(11) 중 최외곽 4군데 모서리부 패턴 셀(11-1)들을 특정한 후 해당 모서리부 패턴 셀(11-1)들의 외곽 코너 지점(C)으로부터 서로 상하향 대칭되는 위치로 가상의 교차선을 그리도록 하되, 상기 교차선에 의해 중심점이 설정되면 이를 기준으로 모서리부 패턴 셀(11-1) 중 어느 하나를 기준 모서리부 패턴 셀(11-2)로 선택한 후 외곽 코너 지점(C)을 지난 마스크 시트의 테두리 면상(12)에 기준 얼라인 키(K-1) 위치를 측정하여 마스크 프레임(20)의 얼라인 키홈(K-2)과 대응되는 가공 위치를 설정하도록 하는 측정 및 설정단계(S200)와; 상기 마스크 프레임(20)의 얼라인 키홈(K-2)에 대하여 마스크 시트(10)의 기준 얼라인 키(K-1)가 대응되면 펨토초 레이저를 통해 기준 얼라인 키의 세팅홈(30)을 뚫어 얼라인 키홈(K-2)의 상면 개구부와 세팅포인트(P)를 일치시키도록 하는 얼라인 키 가공단계(S300)와; 상기 세팅 포인트(P) 설정이 완료되면 레이저를 통해 마스크 시트와 마스크 프레임을 서로 접합시키도록 하는 접합단계(S400)가; 구성되어 이루어진 하이브리드 방식의 선인장 후가공 텐션 OLED 마스크 제조방법에 있어서,
상기 얼라인 키 가공단계(S300)에서 기준 얼라인 키(K-1)의 세팅홈(30)에 대한 레이저 커팅시에는 최종 목적하는 세팅홈(30)의 관통 직경(D) 대비 소형 직경의 조각편(S)을 다수회 나누어 절삭하면서 세팅홈(30)을 천공하도록 형성되고,
상기 얼라인 키 가공단계(S300)에서 조각편(S)을 절삭하는 레이저 커팅시에는 세팅홈(30)의 중앙 부분에 원형 또는 다각 형상의 메인조각편(S-1)을 커팅한 후 나머지 원주면 테두리조각편(S-2)에 대하여 구획을 나누어 순차적으로 커팅하도록 하는 것을 특징으로 하는 하이브리드 방식의 선인장 후가공 텐션 OLED 마스크 제조방법.
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