KR101976458B1 - Liquid Dispensing Apparatus and Nozzle Replacement Method - Google Patents

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KR101976458B1
KR101976458B1 KR1020170081915A KR20170081915A KR101976458B1 KR 101976458 B1 KR101976458 B1 KR 101976458B1 KR 1020170081915 A KR1020170081915 A KR 1020170081915A KR 20170081915 A KR20170081915 A KR 20170081915A KR 101976458 B1 KR101976458 B1 KR 101976458B1
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설봉호
신철진
윤진현
장재영
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참엔지니어링(주)
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Abstract

본 발명은 기판이 안착될 수 있는 스테이지; 내부에 저장된 액상물질을 외부로 토출할 수 있는 노즐; 노즐을 이동 가능하게 지지하고, 노즐과 분리 가능하게 결합되는 이송부; 및 상기 이송부에 결합된 노즐과 교체될 수 있는 다른 노즐을 지지하고, 이송부가 이동할 수 있는 영역 내에 위치하는 저장부;를 포함하고, 액상물질을 토출하는 노즐을 용이하게 교체할 수 있다.The present invention relates to a stage, on which a substrate can be placed; A nozzle capable of discharging the liquid material stored therein; A transporting part movably supporting the nozzle and detachably coupled to the nozzle; And a reservoir for supporting another nozzle which can be replaced with the nozzle coupled to the transfer part, the reservoir being located in a region where the transfer part can move, and the nozzle for discharging the liquid material can be easily replaced.

Description

토출장치 및 노즐 교체방법{Liquid Dispensing Apparatus and Nozzle Replacement Method}BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention [0001] The present invention relates to a liquid dispensing apparatus,

본 발명은 토출장치 및 노즐 교체방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 액상물질을 토출하는 노즐을 용이하게 교체할 수 있는 토출장치 및 노즐 교체방법에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention [0001] The present invention relates to a discharge device and a nozzle replacement method, and more particularly, to a discharge device and a nozzle replacement method which can easily replace a nozzle for discharging a liquid material.

최근 FPD(Flat Panel Display)로 통칭되는 LCD(Liquid Crystal Display), OLED(Organic Light Emitting Diodes) 등의 평면 패널 디스플레이들은 고세정화 경향에 따라 단위면적당 더 많은 픽셀을 구현하기 위해 각 픽셀을 구동하는 회로소자들뿐만 아니라 회로소자들을 연결하는 배선의 폭도 더욱 작아지고 있다. 또한, 최근 스마트폰, TV, 모니터, 노트북 등 각종 디스플레이기기들의 경량화 및 소형화되는 추세에 따라 회로들이 집적된 PCB(Printed Circuit Board) 기판에 형성되는 도선들도 복잡하고 미세하게 형성되고 있다.Flat panel displays such as LCD (Liquid Crystal Display) and OLED (Organic Light Emitting Diodes), commonly referred to as flat panel displays (FPDs), have been developed in order to implement more pixels per unit area The width of the wiring connecting the circuit elements as well as the elements becomes smaller. In recent years, various display devices such as smart phones, TVs, monitors, and notebooks have become lightweight and miniaturized, so that the conductors formed on printed circuit board (PCB) substrates on which circuits are integrated are complicated and finely formed.

이처럼 FPD, PCB 등에서 기판에 형성된 회로소자가 작아지고, 회로소자들을 연결하는 패턴라인의 폭이 좁아지고 있기 때문에, 이러한 기판들에 패턴라인을 형성하는 장치나 형성된 패턴라인에 발생한 결함을 수리하기가 어려워지고 있다. 이에, 최근에는 극미세한 패턴라인을 형성할 수 있고, 균일한 선폭을 구현할 수 있는 전기수력학을 이용한 리페어 장치가 사용되고 있다. 전기수력학을 이용한 리페어 장치는, 노즐과 기판 사이에 전기장을 발생시켜 결함이 발생한 부위로 잉크를 토출한다. 노즐 내부에는 잉크가 저장되고, 저장된 잉크를 모두 사용하면 노즐을 교체해야 한다. Since the circuit elements formed on the substrate in the FPD, the PCB, and the like become smaller and the width of the pattern line connecting the circuit elements becomes narrower, it is difficult to repair the defects occurring in the apparatus It is getting harder. In recent years, a repair apparatus using an electrohydraulics capable of forming a very fine pattern line and realizing a uniform line width has been used. In the repairing apparatus using electrohydraulics, an electric field is generated between the nozzle and the substrate to eject ink to a defect occurrence site. The ink is stored inside the nozzle, and if the stored ink is used, the nozzle must be replaced.

종래에는 작업자가 직접 리페어 장치의 노즐을 교체하였다. 즉, 리페어 장치의 작동을 중단시킨 후 작업자가 직접 리페어 장치 내부로 진입하고, 노즐과 노즐이 결합되는 연결부를 분리한 후, 새로운 노즐을 연결부에 결합시켰다. 그러나 작업자가 교체 작업을 수행하기 때문에 교체 작업을 수행하는데 많은 시간이 소요되어 리페어 공정을 수행하는 시간이 지연될 수 있다. 또한, 불량률이 높아 노즐을 다시 교체하거나 수리해야 하는 문제가 발생할 수 있다.Conventionally, the operator directly replaces the nozzle of the repair apparatus. That is, after stopping the operation of the repair device, the operator directly enters the inside of the repair device, separates the connection portion between the nozzle and the nozzle, and then connects the new nozzle to the connection portion. However, because the operator performs the replacement operation, it takes a long time to perform the replacement operation, which may delay the time required for the repair process. Also, since the defect rate is high, there is a problem that the nozzle needs to be replaced or repaired.

KRKR 2015-00499922015-0049992 AA

본 발명은 액상물질을 토출할 수 있는 노즐을 용이하게 교체할 수 있는 토출장치 및 노즐 교체방법을 제공한다.The present invention provides a discharge device and a nozzle replacement method that can easily replace a nozzle capable of discharging a liquid material.

본 발명은 노즐을 이용한 공정의 효율을 향상시킬 수 있는 토출장치 및 노즐 교체방법을 제공한다.The present invention provides a discharge device and a nozzle replacement method capable of improving the efficiency of a process using a nozzle.

본 발명은 기판이 안착될 수 있는 스테이지; 내부에 저장된 액상물질을 외부로 토출할 수 있는 노즐; 노즐을 이동 가능하게 지지하고, 노즐과 분리 가능하게 결합되는 이송부; 및 상기 이송부에 결합된 노즐과 교체될 수 있는 다른 노즐을 지지하고, 이송부가 이동할 수 있는 영역 내에 위치하는 저장부;를 포함한다.The present invention relates to a stage, on which a substrate can be placed; A nozzle capable of discharging the liquid material stored therein; A transporting part movably supporting the nozzle and detachably coupled to the nozzle; And a reservoir for supporting another nozzle that can be replaced with a nozzle coupled to the transfer unit, the reservoir being located in a region where the transfer unit can move.

상기 저장부는, 노즐이 삽입될 수 있는 삽입구가 형성되는 플레이트; 및 상기 플레이트를 지지해주는 지지대;를 포함한다.The storage unit may include: a plate having an insertion port into which a nozzle can be inserted; And a support for supporting the plate.

상기 이송부는, 제1 부재; 및 적어도 일부분이 상기 제1 부재와 이격되는 제2 부재;를 포함하고, 노즐이 상기 제1 부재와 상기 제2 부재의 이격되는 공간 내로 삽입될 수 있고, 노즐에 밀착되도록 상기 제1 부재와 상기 제2 부재의 이격되는 정도가 조절 가능하다.The transfer unit may include: a first member; And a second member at least a portion of which is spaced apart from the first member, wherein the nozzle can be inserted into a space where the first member and the second member are spaced apart from each other, The degree of separation of the second member is adjustable.

상기 제1 부재 및 상기 제2 부재는 노즐과 결합될 수 있는 일측의 적어도 일부분이 기울어지게 형성되고, 상기 저장부에 상기 노즐이 기울어져 지지된다.The first member and the second member are formed so that at least a part of one side that can be engaged with the nozzle is inclined, and the nozzle is supported by being inclined to the storing part.

상기 제1 부재 및 상기 제2 부재는 노즐과 결합될 수 있는 일측이 기울어진 각도가 조절 가능하다.The first member and the second member are adjustable in inclination angle of one side that can be engaged with the nozzle.

노즐에 제1 전기 전도부재가 구비되고, 노즐에 전원을 인가할 수 있도록 상기 제1 부재 및 상기 제2 부재 중 적어도 어느 하나에 상기 제1 전기 전도부재와 접촉할 수 있는 제2 전기 전도부재가 설치된다.The nozzle includes a first electrically conductive member and a second electrically conductive member capable of contacting the first electrically conductive member at least one of the first member and the second member so as to apply power to the nozzle, Respectively.

상기 이송부에 결합된 노즐의 상태를 감지할 수 있는 감지부; 및 상기 감지부와 연결되어 상기 이송부의 작동을 제어하는 제어부;를 더 포함한다.A sensing unit for sensing a state of a nozzle coupled to the conveyance unit; And a control unit connected to the sensing unit and controlling operation of the conveyance unit.

상기 이송부에서 분리되는 노즐을 회수하도록, 상기 이송부가 이동할 수 있는 영역 내에 위치하는 회수부를 더 포함한다.And a recovery unit positioned in a movable area of the conveyance unit to recover the nozzle separated from the conveyance unit.

본 발명은 토출장치에 구비되는 노즐을 교체하는 방법으로서, 액상물질이 저장된 노즐을 지지하는 저장부를 마련하는 과정; 이송부와 결합된 노즐 내부의 액상물질이 부족한지 판단하는 과정; 상기 이송부와 결합된 노즐 내부의 액상물질이 부족하다고 판단하면, 상기 이송부와 결합된 노즐을 상기 이송부에서 분리시키고, 상기 이송부를 상기 저장부 측으로 이동시키는 과정; 및 상기 저장부에 지지된 노즐과 상기 이송부를 결합하는 과정;을 포함한다.The present invention provides a method of replacing a nozzle provided in a discharge device, comprising the steps of: providing a reservoir for supporting a nozzle in which liquid material is stored; Determining whether the liquid material in the nozzle coupled to the transfer unit is insufficient; Separating the nozzle coupled with the conveyance unit from the conveyance unit and moving the conveyance unit toward the storage unit when it is determined that the liquid material in the nozzle coupled to the conveyance unit is insufficient; And a step of coupling the nozzle supported on the storage part and the transfer part.

상기 이송부와 결합된 노즐 내부의 액상물질이 부족한지 판단하는 과정은, 상기 노즐을 사용한 시간이 미리 설정된 시간 이상인지 비교하는 과정을 포함한다.The process of determining whether the liquid material inside the nozzle coupled to the transfer unit is insufficient includes comparing the time using the nozzle with a predetermined time or longer.

상기 이송부와 결합된 노즐 내부의 액상물질이 부족한지 판단하는 과정은, 상기 이송부와 결합된 노즐 내부에 저장된 액상물질의 양, 및 상기 이송부와 결합된 노즐에서 토출되는 액상물질의 양 중 적어도 어느 하나를 감지하는 과정을 포함한다.Wherein the step of determining whether the liquid material inside the nozzle coupled to the transfer unit is insufficient includes the step of determining at least one of the amount of the liquid material stored in the nozzle coupled with the transfer unit and the amount of the liquid material discharged from the nozzle coupled with the transfer unit For example.

상기 이송부와 결합된 노즐은 상기 이송부에서 분리시키는 과정은, 분리된 노즐을 회수하는 과정을 포함한다.The process of separating the nozzle coupled with the transfer unit from the transfer unit includes a process of collecting the separated nozzles.

상기 이송부와 상기 저장부에 지지된 노즐을 결합하는 과정은, 상기 이송부와 상기 노즐은 전기적으로 연결하는 과정을 포함한다.The process of coupling the transfer unit and the nozzle supported by the storage unit may include electrically connecting the transfer unit and the nozzle.

본 발명의 실시 예들에 따르면, 용이하고 신속하게 토출장치의 노즐을 교체할 수 있다. 이에, 노즐을 교체하는 작업의 시간을 단축하여, 노즐을 이용한 공정이 지연되는 것을 방지할 수 있다. 따라서, 노즐을 이용한 공정의 효율을 향상시킬 수 있다.According to the embodiments of the present invention, it is possible to replace the nozzles of the ejection apparatus easily and quickly. Thus, it is possible to shorten the time required for replacing the nozzle, and to prevent the process using the nozzle from being delayed. Therefore, the efficiency of the process using the nozzles can be improved.

또한, 작업자가 직접 노즐을 교체하지 않고, 장치가 노즐을 교체하는 작업을 수행하기 때문에, 노즐 교체작업의 정확성과 신뢰성을 향상시킬 수 있다. 이에, 노즐 교체작업의 불량률이 감소하여 설비의 유지보수가 용이해질 수 있다.In addition, since the operator performs the operation of replacing the nozzle without directly replacing the nozzle, the accuracy and reliability of the nozzle replacement operation can be improved. Therefore, the defective rate of the nozzle replacement operation is reduced, and maintenance of the equipment can be facilitated.

도 1은 본 발명의 실시 예에 따른 토출장치의 구조를 나타내는 도면.
도 2는 본 발명의 실시 예에 따른 이송부와 노즐의 결합구조를 나타내는 도면.
도 3는 본 발명의 실시 예에 따른 저장부의 구조를 나타내는 도면.
도 4는 본 발명의 실시 예에 따른 이송부가 회수부에서 노즐과 분리되고, 저장부에서 다른 노즐과 결합되는 것을 나타내는 도면.
도 5는 본 발명의 실시 예에 따른 토출장치의 노즐 교체방법을 나타내는 플로우 차트.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS Fig. 1 is a view showing a structure of a discharge device according to an embodiment of the present invention; Fig.
2 is a view showing a coupling structure of a transfer part and a nozzle according to an embodiment of the present invention;
3 is a view showing a structure of a storage unit according to an embodiment of the present invention;
Fig. 4 is a view showing that the transporting part according to the embodiment of the present invention is separated from the nozzle in the recovery part and is coupled with another nozzle in the storage part. Fig.
5 is a flowchart illustrating a nozzle replacement method of the ejection apparatus according to the embodiment of the present invention.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시 예를 더욱 상세히 설명하기로 한다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시 예에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 것이며, 단지 본 실시 예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이다. 발명을 상세하게 설명하기 위해 도면은 과장될 수 있고, 도면상에서 동일 부호는 동일한 요소를 지칭한다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. It will be apparent to those skilled in the art that the present invention may be embodied in many different forms and should not be construed as limited to the embodiments set forth herein. Rather, these embodiments are provided so that this disclosure will be thorough and complete, It is provided to let you know. To illustrate the invention in detail, the drawings may be exaggerated and the same reference numbers refer to the same elements in the figures.

도 1은 본 발명의 실시 예에 따른 토출장치의 구조를 나타내는 도면이고, 도 2는 본 발명의 실시 예에 따른 이송부와 노즐의 결합구조를 나타내는 도면이고, 도 3는 본 발명의 실시 예에 따른 저장부의 구조를 나타내는 도면이다.FIG. 1 is a view showing the structure of a discharging apparatus according to an embodiment of the present invention, FIG. 2 is a view showing a coupling structure of a conveying unit and a nozzle according to an embodiment of the present invention, FIG. And Fig.

도 1을 참조하면, 본 발명의 실시 예에 따른 토출장치(100)는, 스테이지(110), 노즐(120), 이송부(130), 및 저장부(140)를 포함한다. 또한, 토출장치(100)는, 감지부(미도시), 제어부(미도시)를 더 포함할 수 있다.Referring to FIG. 1, a discharge apparatus 100 according to an embodiment of the present invention includes a stage 110, a nozzle 120, a transfer unit 130, and a storage unit 140. The discharging device 100 may further include a sensing unit (not shown) and a control unit (not shown).

스테이지(110)는 기판(50)을 지지하는 역할을 한다. 스테이지(110)는 사각판 모양으로 형성될 수 있다. 스테이지(110)의 면적은 기판(50)의 면적 이상의 크기로 형성될 수 있다. 이에, 스테이지(110)의 상부면에 기판(50)이 안착될 수 있다. 그러나 스테이지(110)의 형상은 이에 한정되지 않고 다양할 수 있다.The stage 110 serves to support the substrate 50. The stage 110 may be formed in a rectangular plate shape. The area of the stage 110 may be larger than the area of the substrate 50. Accordingly, the substrate 50 can be seated on the upper surface of the stage 110. However, the shape of the stage 110 is not limited to this, and may vary.

기판(S)은 일면에 전자 소자 및 도전성 패턴라인이 제조되는 공정이 진행 중이거나 공정이 종료된 각종 기판을 포함할 수 있다. 예를 들어, 기판(S)은 일면에 소정의 패턴라인이 형성된 유리나 실리콘 또는 플라스틱 재질의 기판일 수 있다.The substrate S may include various substrates on which a process of manufacturing an electronic device and a conductive pattern line is ongoing or a process is completed. For example, the substrate S may be a glass or silicon or plastic substrate having a predetermined pattern line formed on one surface thereof.

노즐(120)은 내부에 저장된 액상물질을 외부로 토출할 수 있다. 노즐(120)은 이송부(130)에 의해 지지되어 스테이지(110)의 상측에 배치하고, 기판(S)을 향하도록 위치할 수 있다. 노즐(120)은 길이방향으로 연장되고, 내부에 액상물질이 저장되는 공간이 형성된다. 노즐(120)은 가늘게 형성된 중공의 원통체(예를 들어, 모세관)를 포함할 수 있고, 단부에 콘 팁이 형성될 수 있다. 콘 팁은 끝부분으로 갈수록 외경과 내경이 작아지는 테일러 콘 형상으로 형성될 수 있다.The nozzle 120 can discharge the liquid material stored therein to the outside. The nozzle 120 may be supported by the transfer unit 130 and disposed on the upper side of the stage 110 and positioned to face the substrate S. [ The nozzle 120 extends in the longitudinal direction, and a space in which the liquid material is stored is formed. The nozzle 120 may include a hollow cylindrical body (e.g., a capillary tube) formed in a narrow shape, and a cone tip may be formed at an end thereof. The cone tip may be formed into a tail cone shape having an outer diameter and an inner diameter smaller toward the end portion.

이때, 전기수력학적 현상에 의해 액상물질이 토출되도록, 콘 팁의 내부를 노즐(120)의 연장방향으로 관통하여 형성되는 경로는 수 ㎛ 이하로 내경이 형성될 수 있다. 즉, 콘 팁은 도전성 잉크가 전기수력학적 압력에 의해 토출 가능하도록 내부에 경로가 소정의 내주면 형상과 너비로 형성될 수 있다.At this time, a path formed by penetrating the interior of the cone tip in the direction of extension of the nozzle 120 may be formed to have an inner diameter of several micrometers or less so that the liquid material is discharged by the electrohydraulic phenomenon. That is, the cone tip can be formed in a predetermined inner circumferential surface shape and width so that the conductive ink can be discharged by electrohydraulic pressure.

또한, 노즐(120)은 원하는 형상과 크기로 제작하기 용이하도록, 유리나 플라스틱 재질로 제작될 수 있다. 이에, 콘 팁 끝단에 형성된 액상물질의 토출구를 원하는 수 ㎛ 이하의 작은 크기로 형성할 수 있다. In addition, the nozzle 120 may be made of glass or plastic so as to be easily manufactured in a desired shape and size. Thus, the discharge port of the liquid material formed at the tip of the cone tip can be formed in a small size of a few μm or less.

노즐(120)의 토출구가 형성되지 않은 다른 일단부에는 제1 전기 전도부재(125)가 구비될 수 있다. 제1 전기 전도부재(125)는 노즐(120) 본체의 일단부의 외부면의 적어도 일부분을 감싸도록 형성될 수 있다. 제1 전기 전도부재(125)는 핀 부재(미도시)의 일단과 연결되고, 핀 부재의 타단은 노즐(120)의 내부에 위치할 수 있다. 따라서, 제1 전기 전도부재(125)는 핀 부재로 외부의 전원을 전달할 수 있다.The first electrically conductive member 125 may be provided at the other end of the nozzle 120 where the discharge port is not formed. The first electrically conductive member 125 may be formed to surround at least a part of the outer surface of one end of the nozzle body 120. The first electrically conductive member 125 may be connected to one end of a pin member (not shown), and the other end of the pin member may be located inside the nozzle 120. Therefore, the first electrically conductive member 125 can transmit external power to the pin member.

핀 부재는 노즐(120) 본체의 내주면 너비보다 작은 직경을 가지고, 노즐(120)의 연장방향으로 길이가 연장되는 핀 형상의 부재일 수 있다. 핀 부재는 노즐(120)의 길이방향 중심축에 정렬되며, 노즐(120) 본체의 내주면과 이격될 수 있다. 외부에서 제1 전기 전도부재(125)를 통해 핀 부재에 전원을 인가하면, 핀 부재에 의해 노즐(120)과 기판(S) 사이에 전기장이 형성될 수 있고, 전기장에 의하여 노즐(120) 내부에 저장된 용액이 극소량씩 정밀하게 토출될 수 있다. 그러나 노즐(120)의 구조와 재질 및 액상물질을 토출하는 방식은 이에 한정되지 않고 다양할 수 있다.The pin member may be a pin-shaped member having a diameter smaller than the inner circumferential width of the main body of the nozzle 120 and extending in the extending direction of the nozzle 120. The pin member is aligned with the longitudinal center axis of the nozzle 120 and can be spaced apart from the inner circumferential surface of the nozzle body 120. An electric field can be formed between the nozzle 120 and the substrate S by the pin member when power is applied to the pin member from the outside through the first electrically conductive member 125, The solution stored in the reservoir can be discharged precisely by a very small amount. However, the structure and material of the nozzle 120 and the method of discharging the liquid material are not limited to this and may vary.

액상물질은 패턴라인의 형성을 위한 도전성 잉크를 포함할 수 있다. 도전성 잉크는 잉크 입자 및 용제를 포함할 수 있다. 도전성 잉크는 금, 은, 백금, 크롬 등의 금속 입자나 이들의 합금 또는 산화물을 함유할 수 있고, 이온들이 포함될 수 있다. 용제는 휘발성 물질이나 수용성 물질 또는 지용성 물질로 마련될 수 있다. 그러나 액상물질이 함유하는 물질은 이에 한정되지 않고, 도전성 패턴라인을 형성 가능한 다양한 물질을 포함할 수 있다.The liquid material may comprise a conductive ink for the formation of a pattern line. The conductive ink may include ink particles and a solvent. The conductive ink may contain metal particles such as gold, silver, platinum, chromium, alloys or oxides thereof, and may contain ions. The solvent may be provided as a volatile substance, a water-soluble substance or a lipid-soluble substance. However, the material contained in the liquid material is not limited thereto, and may include various materials capable of forming a conductive pattern line.

도 2를 참조하면, 이송부(130)는 노즐(120)을 이동 가능하게 지지한다. 이에, 노즐(120)은 이송부(130)에 의해 스테이지(110) 상측에서 원하는 위치로 이동할 수 있고, 스테이지(110)에서 저장부(140)나 회수부(150) 측으로 이동할 수도 있다. 이송부(130)는 노즐(120)과 분리 가능하게 결합되기 때문에, 이송부(130)와 결합되는 노즐(120)을 교체하기가 용이해질 수 있다.Referring to FIG. 2, the transfer unit 130 movably supports the nozzle 120. The nozzle 120 can be moved to a desired position from above the stage 110 by the transfer unit 130 and moved from the stage 110 to the storage unit 140 or the collecting unit 150 side. Since the transfer unit 130 is detachably coupled to the nozzle 120, the nozzle 120 coupled to the transfer unit 130 can be easily replaced.

또한, 이송부(130)는, 제1 부재(131), 및 적어도 일부분이 상기 제1 부재와 이격되는 제2 부재(132)를 포함한다. 이송부(130)는 제1 부재(131)와 제2 부재(132)를 이동 가능하게 지지해주는 겐트리(미도시)을 더 포함할 수 있다. 노즐(120)은 제1 부재(131)와 제2 부재(132)의 이격되는 공간 내로 삽입될 수 있고, 노즐(120)에 밀착되도록 제1 부재(131)와 제2 부재(132)의 이격되는 정도가 조절될 수 있다.The transfer unit 130 also includes a first member 131 and a second member 132 at least a portion of which is spaced apart from the first member. The transfer unit 130 may further include a gantry (not shown) for movably supporting the first member 131 and the second member 132. The nozzle 120 can be inserted into the space where the first member 131 and the second member 132 are separated from each other and can be separated from the first member 131 and the second member 132 Can be adjusted.

제1 부재(131)와 제2 부재(132)는 막대기 형태로 형성될 수 있다. 제1 부재(131)와 제2 부재(132)는 적어도 일부분이 이격되어 중간에 노즐(120)이 삽입될 수 있는 공간이 형성될 수 있다. 제1 부재(131)와 제2 부재(132)의 이격된 부분은 이격된 정도가 조절될 수 있다. 따라서, 제1 부재(131)와 제2 부재(132)는 일측이 집게처럼 작동할 수 있다.The first member 131 and the second member 132 may be formed in a rod shape. At least a portion of the first member 131 and the second member 132 may be spaced apart from each other and a space through which the nozzle 120 can be inserted may be formed. The distance between the first member 131 and the second member 132 can be adjusted. Thus, the first member 131 and the second member 132 can act as one side of the tongs.

이때, 제1 부재(131)와 제2 부재(132)가 최대로 이격될 수 있는 정도는, 노즐(120)의 일단부의 직경 이상일 수 있다. 제1 부재(131)와 제2 부재(132)가 최대로 이격되면, 노즐(120)이 제1 부재(131)와 제2 부재(132) 사이를 이동할 수 있다. 제1 부재(131)와 제2 부재(132)가 최소로 이격될 수 있는 정도는, 노즐(120)의 일단부의 직경 이하일 수 있다. 제1 부재(131)와 제2 부재(132)가 최대로 이격되면, 노즐(120)이 제1 부재(131)와 제2 부재(132) 사이에 밀착되어 끼워지고 결합될 수 있다. 따라서, 제1 부재(131)와 제2 부재(132)의 이격거리를 조절하여 노즐(120)과 결합하거나 분리시킬 수 있다.At this time, the degree to which the first member 131 and the second member 132 can be maximally separated may be more than the diameter of one end of the nozzle 120. The nozzle 120 can move between the first member 131 and the second member 132 when the first member 131 and the second member 132 are maximally spaced apart. The degree to which the first member 131 and the second member 132 can be minimally spaced may be less than or equal to the diameter of one end of the nozzle 120. [ When the first member 131 and the second member 132 are maximally separated from each other, the nozzle 120 can be closely fitted and fitted between the first member 131 and the second member 132. Accordingly, the distance between the first member 131 and the second member 132 can be adjusted to be engaged with or separated from the nozzle 120.

또한, 제1 부재(131) 및 제2 부재(132)는, 노즐(120)과 결합될 수 있는 일측의 적어도 일부분이 하향 경사지게 형성될 수 있다. 즉, 제1 부재(131)와 제2 부재(132)의 일부분이 굴절되어 형성될 수 있다. 예를 들어, 제1 부재(131)와 제2 부재(132)의 겐트리와 연결되는 부분은 바닥면(또는, 스테이지(110)의 상부면)과 평행한 방향으로 연장되고, 노즐(120)과 결합되는 부분은 굴절되어 바닥면(또는, 스테이지(110)의 상부면)에 대해 기울어진 각도(a)는 약 40 내지 90도일 수 있다. 이에, 노즐(120)도 이송부(130)에 의해 하측을 향하여 약 40 내지 90도의 각도로 기울어져 배치될 수 있다. 그러나 제1 부재(131) 및 제2 부재(132)의 구조와 형상은 이에 한정되지 않고 다양할 수 있다.The first member 131 and the second member 132 may be formed so that at least a part of one side that can be engaged with the nozzle 120 is inclined downward. That is, a part of the first member 131 and the second member 132 may be refracted. For example, a portion of the first member 131 and the second member 132, which is connected to the gantry, extends in a direction parallel to the bottom surface (or the upper surface of the stage 110) (Or the upper surface of the stage 110) may be about 40 to 90 degrees. Accordingly, the nozzles 120 may be inclined at an angle of about 40 to 90 degrees toward the lower side by the transfer unit 130. However, the structures and shapes of the first member 131 and the second member 132 are not limited to these, and may vary.

예를 들어, 노즐(120)이 45도 각도로 기울어져 지지되면, 카메라와 같은 관찰기(미도시)가 노즐(120)의 액상물질이 토출되는 부분의 상측에 배치되어 토출구에서 액상물질이 토출되는 것을 용이하게 촬영할 수 있다. 관찰기로 노즐(120)이 액상물질을 토출하는 것을 관찰하거나, 토출된 액상물질의 크기를 관찰할 수도 있다. 이에, 리페어 작업의 정밀성을 향상시킬 수 있다. For example, when the nozzle 120 is inclined at an angle of 45 degrees, an observer (not shown) such as a camera is disposed above the portion of the nozzle 120 where the liquid material is discharged, and the liquid material is discharged from the discharge port Can be easily photographed. It is also possible to observe that the nozzle 120 discharges the liquid material with the observer, or observe the size of the discharged liquid material. Thus, the precision of the repair work can be improved.

또는, 노즐(120)이 90도 각도로 기울어져 지지되면, 노즐(120)에서 토출되는 액상물질이 기판 상으로 수직되는 방향으로 낙하된다. 이에, 원하는 위치로 정확하게 액상물질을 토출할 수 있고, 리페어 공정의 정확성을 향상시킬 수 있다. 그러나 제1 부재(131)와 제2 부재(132)의 굴절된 부분의 기울어진 각도(a)와 노즐(120)이 기울어져 배치되는 각도는 이에 한정되지 않고 다양할 수 있다.Alternatively, when the nozzle 120 is tilted at an angle of 90 degrees, the liquid material discharged from the nozzle 120 drops in a direction perpendicular to the substrate. Thus, the liquid material can be accurately discharged to a desired position, and the accuracy of the repairing process can be improved. However, the inclined angle a of the refracted portion of the first member 131 and the second member 132 and the angle at which the nozzle 120 is inclined are not limited to this and may vary.

이때, 제1 부재(131) 및 제2 부재(132)는 노즐(120)과 결합될 수 있는 일측이 기울어진 각도가 조절 가능할 수도 있다. 이에, 저장부(140)에 지지된 노즐(120)의 각도에 맞춰 제1 부재(131)와 제2 부재(132)의 일측 각도가 조절되어 노즐(120)과 안정적으로 결합될 수 있고, 제1 부재(131)와 제2 부재(132)로 노즐(120)이 지지되는 각도를 조절하여 용이하게 리페어 작업을 수행할 수 있다.At this time, the first member 131 and the second member 132 may be adjustable in an inclined angle of one side that can be engaged with the nozzle 120. The angle of one side of the first member 131 and that of the second member 132 may be adjusted in accordance with the angle of the nozzle 120 supported on the storage unit 140 to be stably coupled with the nozzle 120, It is possible to easily perform the repair work by adjusting the angle at which the nozzle 120 is supported by the first member 131 and the second member 132.

제2 전기 전도부재(133)는, 노즐(120)에 전원을 인가할 수 있도록 제1 부재(131) 및 제2 부재(132) 중 적어도 어느 하나에 설치되고, 제2 전기 전도부재(133)는 제1 전기 전도부재(125)와 접촉할 수 있다. 즉, 제2 전기 전도부재(133)는 제1 부재(131) 및 제2 부재(132) 중 적어도 어느 하나의, 노즐(120)과 접촉하는 부분에 설치될 수 있다. 이에, 제1 부재(131)와 제2 부재(132)를 노즐(120)에 밀착시킬 때, 제2 전기 전도부재(133)가 노즐(120)과 접촉할 수 있다. 제2 전기 전도부재(133)가 제1 전기 전도부재(125)와 접촉할 수 있도록, 이송부(130)와 노즐(120)은 결합할 때 제1 전기 전도부재(125)와 제2 전기 전도부재(133)의 위치를 맞추면서 둘을 결합해줄 수 있다.The second electrically conductive member 133 is provided on at least one of the first member 131 and the second member 132 so that power can be applied to the nozzle 120, May contact the first electrically conductive member 125. That is, the second electrically conductive member 133 may be installed at a portion of the first member 131 and / or the second member 132, which is in contact with the nozzle 120. Thus, when the first member 131 and the second member 132 are brought into close contact with the nozzle 120, the second electrically conductive member 133 can contact the nozzle 120. When the transfer part 130 and the nozzle 120 are coupled to each other so that the second electrically conductive member 133 can contact the first electrically conductive member 125, the first electrically conductive member 125 and the second electrically conductive member 125 (133).

또한, 제2 전기 전도부재(133)는 전원공급기(미도시)와 연결될 수 있다. 따라서, 전원공급기에서 발생시킨 전원이 제2 전기 전도부재(133)를 통해 제1 전기 전도부재(125)로 전달되고, 제1 전기 전도부재(125)에서 다시 핀 부재로 전원을 전달하여 노즐(120)에 전원을 인가할 수 있다. Further, the second electrically conductive member 133 may be connected to a power supply (not shown). Accordingly, the power generated by the power supply is transmitted to the first electrically conductive member 125 through the second electrically conductive member 133, and the power is transmitted from the first electrically conductive member 125 to the pin member again, 120 may be powered.

겐트리(미도시)는 제1 부재(131) 및 제2 부재(132)와 연결될 수 있다. 이에, 제1 부재(131)와 제2 부재(132)는 겐트리에 의해 상하, 전후, 및 좌우로 이동할 수 있고, 사선으로 이동할 수도 있다. 또한, 제1 부재(131)와 제2 부재(132)는 회동 가능하게 지지될 수도 있다.The gantry (not shown) may be connected to the first member 131 and the second member 132. Accordingly, the first member 131 and the second member 132 can move up and down, back and forth, left and right by gantry, and can move obliquely. Also, the first member 131 and the second member 132 may be rotatably supported.

따라서, 제1 부재(131)와 제2 부재(132)가 노즐(120)을 지지한 상태에서 이동시키면, 기판(S) 상 원하는 곳으로 노즐(120)을 이동시켜 액상물질을 토출할 수 있다. 또한, 제1 부재(131)와 제2 부재(132)를 스테이지(110)에서 저장부(140) 측으로 이동시켜 노즐(120)을 용이하게 교체할 수도 있다.Accordingly, when the first member 131 and the second member 132 move while supporting the nozzle 120, the liquid material can be discharged by moving the nozzle 120 to a desired position on the substrate S . The nozzle 120 may be easily replaced by moving the first member 131 and the second member 132 from the stage 110 to the storage unit 140 side.

도 3을 참조하면, 저장부(140)는 이송부(130)에 결합된 노즐(120)과 교체될 수 있는 다른 노즐(120)을 지지하고, 이송부(130)가 이동할 수 있는 영역 내에 위치할 수 있다. 이때, 저장부(140)에 지지되는 노즐(120)은 내부에 액상물질이 채워진 상태일 수 있다. 저장부(140)는 스테이지(110)와 이격되어 배치될 수 있다. 저장부(140)는, 노즐(120)이 삽입될 수 있는 삽입구(141a)가 형성되는 제1 플레이트(141), 및 제1 플레이트(141)를 지지해주는 제1 지지대(142)를 포함한다. 그러나 저장부(140)가 노즐(120)을 지지해주는 구조는 이에 한정되지 않고 다양할 수 있다.3, the storage unit 140 supports the nozzle 120 coupled to the transfer unit 130 and another nozzle 120 that can be replaced with the nozzle 120. The storage unit 140 can be located within an area where the transfer unit 130 can move have. At this time, the nozzle 120 supported in the storage unit 140 may be filled with a liquid material. The storage unit 140 may be disposed apart from the stage 110. The storage unit 140 includes a first plate 141 on which an insertion port 141a into which the nozzle 120 can be inserted and a first support 142 for supporting the first plate 141. However, the structure in which the storage unit 140 supports the nozzle 120 is not limited to this, and may vary.

제1 플레이트(141)는 사각판 형태로 형성될 수 있다. 제1 플레이트(141)의 일면(또는, 상부면)에는 노즐(120)이 삽입되어 지지될 수 있는 하나 또는 복수개의 삽입구(141a)가 형성될 수 있다. 이에, 노즐(120)이 삽입구(141a)에 끼워져 제1 플레이트(141)를 상하방향으로 관통하고, 제1 플레이트(141)에 저장된 상태를 유지할 수 있다.The first plate 141 may be formed in a rectangular plate shape. One or a plurality of insertion openings 141a may be formed on one surface (or the upper surface) of the first plate 141 so that the nozzles 120 can be inserted and supported. Thus, the nozzle 120 is inserted into the insertion port 141a, and the first plate 141 passes through the first plate 141 in the up and down direction.

삽입구(141a)가 복수개 구비되는 경우, 삽입구(141a)들은 제1 플레이트(141)의 연장방향을 따라 일렬로 배치될 수 있다. 삽입구(141a)들은 서로 이격되기 때문에, 이송부(130)가 저장부(140)에 지지된 복수개의 노즐(120) 중 어느 하나와 결합될 때 다른 노즐(120)과 충돌하는 것을 방지할 수 있다. When a plurality of insertion openings 141a are provided, the insertion openings 141a may be arranged in a line along the extending direction of the first plate 141. Since the insertion ports 141a are spaced apart from each other, it is possible to prevent the transferring unit 130 from colliding with any one of the plurality of nozzles 120 supported on the storage unit 140 when the transferring unit 130 is coupled with the other nozzles 120.

또한, 삽입구(141a)는 노즐(120)의 둘레 형상을 따라 형성된다. 삽입구(141a)의 직경은 노즐(120)의 외경보다 크거나 같게 형성된다. 이에, 삽입구(141a) 내로 노즐(120)이 용이하게 삽입되어 지지되거나, 삽입구(141a) 외측으로 이동할 수 있다.In addition, the insertion port 141a is formed along the circumference of the nozzle 120. The diameter of the insertion port 141a is formed to be equal to or larger than the outer diameter of the nozzle 120. [ Accordingly, the nozzle 120 can be easily inserted or supported into the insertion port 141a or moved outside the insertion port 141a.

이때, 제1 부재(131) 및 제2 부재(132)의 일측이 경사진 방향으로 플레이트(141)의 노즐(120)이 지지될 수 있다. 즉, 이송부(130)가 결합된 노즐(120)을 지지하는 각도(a)와 동일한 각도(b)로, 제1 플레이트(141)도 삽입구(141a)에 삽입된 노즐(120)을 지지할 수 있다. 따라서, 이송부(130)가 제1 플레이트(141)에 지지되는 노즐(120)과 결합될 때, 둘 사이의 각도가 동일하게 맞춰져 있기 때문에 이송부(130)의 각도나 노즐(120)의 각도를 조절하지 않고 둘을 결합시킬 수 있다. At this time, the nozzle 120 of the plate 141 may be supported in a direction in which one side of the first member 131 and the second member 132 are inclined. That is, the first plate 141 can support the nozzle 120 inserted into the insertion port 141a at the same angle b as the angle a supporting the nozzle 120 coupled to the transfer unit 130 have. Therefore, when the transfer unit 130 is coupled with the nozzle 120 supported by the first plate 141, the angle between the transfer unit 130 and the nozzle 120 can be adjusted You can combine the two without.

예를 들어, 노즐(120)이 기울어져 지지되도록 삽입구(141a)가 경사진 방향으로 제1 플레이트(141)에 형성될 수 있다. 즉, 삽입구(141a)에 노즐(120)이 지지되는 각도(b)가, 이송부(130)가 노즐(120)을 지지하는 각도(a)와 동일하게 형성될 수 있다. 이에, 노즐(120)이 삽입구(141a)에 삽입될 때, 기울어진 상태로 삽입되어 지지될 수 있다. For example, the insertion port 141a may be formed in the first plate 141 in an inclined direction so that the nozzle 120 is supported at an angle. That is, the angle b at which the nozzle 120 is supported by the insertion port 141a may be the same as the angle a at which the transfer unit 130 supports the nozzle 120. Accordingly, when the nozzle 120 is inserted into the insertion port 141a, it can be inserted and supported in a tilted state.

한편, 노즐(120)과 결합되는 이송부(130)의 제1 부재(131)와 제2 부재(132)의 일측의 기울어진 각도가 조절 가능한 경우, 이송부(130)가 노즐(120)을 지지하는 각도가 가변하기 때문에, 삽입구(141a)에 노즐(120)이 지지되는 각도(b)가, 이송부(130)가 노즐(120)을 지지하는 각도(a)와 달라질 수도 있다. 그러나 제1 플레이트(141)의 구조와 형상은 이에 한정되지 않고 다양할 수 있다.When the inclined angle of one side of the first member 131 and the second member 132 of the conveyance unit 130 coupled to the nozzle 120 is adjustable, the conveyance unit 130 supports the nozzle 120 The angle b at which the nozzle 120 is supported by the insertion opening 141a may be different from the angle a at which the transferring portion 130 supports the nozzle 120 because the angle is variable. However, the structure and the shape of the first plate 141 are not limited to this and may vary.

제1 지지대(142)는 제1 플레이트(141)와 연결되어 제1 플레이트(141)를 지지해줄 수 있다. 제1 지지대(142)는, 제1 플레이트(141)의 하부에 연결되는 복수개의 측벽, 및 측벽들과 연결되는 받침을 포함할 수 있다.The first support 142 may be connected to the first plate 141 to support the first plate 141. The first support 142 may include a plurality of sidewalls connected to a lower portion of the first plate 141, and a support connected to the sidewalls.

측벽은 사각판 모양으로 형성될 수 있다. 측벽은 상하방향으로 연장될 수 있으며, 상부가 제1 플레이트(141)의 하부면과 연결되고, 하부가 제1 플레이트(141)의 하측을 향할 수 있다. 예를 들어, 측벽은 한 쌍이 구비될 수 있고, 노즐(120)이 삽입구(141a)에 삽입되는 방향으로 서로 이격될 수 있다. 측벽 중 어느 하나는 삽입구(141a)에 삽입된 노즐(120)과 접촉할 수 있다. 노즐(120)과 접촉하는 측벽은 노즐(120)의 이동을 제한하고, 삽입구(141a)로 삽입된 노즐(120)이 외측으로 빠져나가는 것을 방지할 수 있다. 이에, 노즐(120)들이 제1 플레이트(141)에 지지된 상태를 유지할 수 있다.The side walls may be formed in a rectangular plate shape. The side wall may extend in the vertical direction, and the upper portion may be connected to the lower surface of the first plate 141, and the lower portion may be directed to the lower side of the first plate 141. For example, the pair of side walls may be provided, and the nozzles 120 may be spaced from each other in a direction in which the nozzle 120 is inserted into the insertion port 141a. Any one of the side walls may contact the nozzle 120 inserted into the insertion port 141a. The sidewalls contacting the nozzle 120 restrict movement of the nozzle 120 and prevent the nozzle 120 inserted into the insertion port 141a from escaping outward. Thus, the nozzles 120 can be maintained on the first plate 141.

또한, 노즐(120)과 접촉하는 측벽에 노즐(120)의 끝단이 삽입될 수 있는 홈이 형성될 수도 있다. 이에, 노즐(120)의 끝단이 홈에 삽입되어 노즐(120)이 흔들리는 것을 방지할 수 있다. 따라서, 제1 지지대(142)에 충격이 가해져도 노즐(120)이 안정적으로 지지될 수 있다.In addition, a groove may be formed in the side wall contacting with the nozzle 120 to allow the end of the nozzle 120 to be inserted. Thus, it is possible to prevent the nozzle 120 from being shaken by inserting the end of the nozzle 120 into the groove. Therefore, even if the first support member 142 is impacted, the nozzle 120 can be stably supported.

받침은 제1 플레이트(141)의 형상을 따라 형성될 수 있고, 제1 플레이트(141)의 하측에 이격될 수 있다. 받침은 측벽들의 하부와 연결될 수 있다. 이에, 받침에 측벽들이 지지되고, 측벽들에 의해 제1 플레이트(141)가 지지될 수 있다. 따라서, 제1 플레이트(141)가 노즐(120)들을 안정적으로 지지해줄 수 있다. 그러나 제1 지지대(142)와 구성요소들의 구조 및 형상은 이에 한정되지 않고 다양할 수 있다.The pedestal may be formed along the shape of the first plate 141 and may be spaced apart from the lower side of the first plate 141. The pedestal can be connected to the bottom of the side walls. Thus, the sidewalls are supported on the base, and the first plate 141 can be supported by the sidewalls. Accordingly, the first plate 141 can stably support the nozzles 120. However, the structure and shape of the first support member 142 and the constituent elements are not limited thereto and may vary.

감지부(미도시)는 이송부(130)에 결합된 노즐(120)의 상태를 감지할 수 있다. 즉, 감지부는 이송부와 결합된 노즐(120) 내부의 액상물질이 부족한지 감지할 수 있다. The sensing unit (not shown) may sense the state of the nozzle 120 coupled to the transfer unit 130. That is, the sensing unit can detect whether the liquid material in the nozzle 120 coupled to the transfer unit is deficient.

예를 들어, 감지부는 이송부(130)와 결합된 노즐(120) 내부에 저장된 액상물질의 양을 감지할 수 있다. 감지부는 노즐(120)의 무게를 감지하는 센서를 포함할 수 있다. 이에, 노즐(120)에 저장된 액상물질이 양이 감소할수록 노즐(120)의 무게가 변화되는 것을 감지하여 노즐(120) 내부의 액상물질이 저장된 양을 감지할 수 있다. 따라서, 측정되는 노즐(120)의 무게가 미리 설정된 무게값과 비교해 작으면, 이송부(130)와 결합된 노즐(120)을 다른 노즐(120)로 교체해야 한다고 판단할 수 있다.For example, the sensing unit may sense the amount of the liquid material stored in the nozzle 120 coupled to the transfer unit 130. The sensing unit may include a sensor for sensing the weight of the nozzle 120. Accordingly, the amount of the liquid material stored in the nozzle 120 can be sensed by detecting the change in the weight of the nozzle 120 as the amount of the liquid material stored in the nozzle 120 decreases. Therefore, if the measured weight of the nozzle 120 is small compared to the predetermined weight value, it can be determined that the nozzle 120 coupled to the transfer unit 130 should be replaced with another nozzle 120.

또는, 감지부가 이송부(130)와 결합된 노즐(120)에서 토출되는 액상물질의 양을 감지할 수도 있다. 감지부는 노즐(120)에서 토출되는 액상물질의 양을 관찰하는 카메라를 포함할 수 있다. 이에, 노즐(120)에 전원을 인가하였는데도, 노즐(120)에서 액상물질이 토출되지 않는 것이 관찰되면, 노즐(120) 내부의 액상물질이 모두 사용되었다고 판단할 수 있다. 따라서, 노즐(120) 내부에 사용할 수 있는 액상물질이 남아있지 않다는 것을 알 수 있고, 이송부(130)와 결합된 노즐(120)을 다른 노즐(120)로 교체해야 한다고 판단할 수 있다. 그러나 감지부가 이송부(130)와 결합된 노즐(120)의 상태를 감지하는 방법은 이에 한정되지 않고 다양할 수 있다.Alternatively, the sensing unit may sense the amount of the liquid material discharged from the nozzle 120 coupled with the transfer unit 130. The sensing unit may include a camera for observing the amount of the liquid material discharged from the nozzle 120. If it is observed that the liquid material is not discharged from the nozzle 120 even when power is applied to the nozzle 120, it can be determined that the liquid material inside the nozzle 120 has been used. Accordingly, it can be seen that no usable liquid material remains in the nozzle 120, and it can be determined that the nozzle 120 coupled to the transfer unit 130 should be replaced with another nozzle 120. However, the method of detecting the state of the nozzle 120 coupled to the sensing unit transfer unit 130 is not limited thereto and may vary.

한편, 노즐(120)을 사용한 시간을 감지할 수도 있다. 이에, 노즐(120)을 사용한 시간을 미리 설정된 시간과 비교할 수 있다. 노즐(120)을 사용한 시간이 설정값 이상이면, 노즐(120)에 액상물질이 부족하다고 판단할 수 있다. 그러나 감지부가 이송부(130)와 결합된 노즐(120)의 상태를 감지하는 방법은 이에 한정되지 않고 다양할 수 있다.Meanwhile, it is also possible to detect the time when the nozzle 120 is used. Thus, the time when the nozzle 120 is used can be compared with a predetermined time. If the time for which the nozzle 120 is used is more than the set value, it can be determined that the liquid material is insufficient in the nozzle 120. However, the method of detecting the state of the nozzle 120 coupled to the sensing unit transfer unit 130 is not limited thereto and may vary.

제어부(미도시)는 감지부와 연결되어 이송부(130)의 작동을 제어할 수 있다. 즉, 감지부를 통해 이송부(130)와 결합된 노즐(120)이 교체되어야 한다고 판단되면, 제어부는 노즐(120)을 교체하는 작업을 자동으로 수행할 수 있다. 즉, 제어부는 이송부(130)의 작동을 제어하여 결합되었던 노즐(120)과 이송부(130)를 분리시키고, 이송부(130)를 저장부(140) 측으로 이동시킬 수 있다. A control unit (not shown) may be connected to the sensing unit to control the operation of the transfer unit 130. That is, if it is determined that the nozzle 120 coupled to the transfer unit 130 should be replaced through the sensing unit, the control unit can automatically perform the operation of replacing the nozzle 120. That is, the control unit controls the operation of the transfer unit 130 to separate the nozzle 120 and the transfer unit 130 from each other and move the transfer unit 130 to the storage unit 140 side.

그 다음, 제어부는 이송부(130)의 제1 부재(131)와 제2 부재(132)를 상하좌우로 이동시키면서 저장부(140)에 지지된 새로운 노즐(120)과 위치를 맞출 수 있고, 이송부(130)와 새로운 노즐(120)이 결합되도록 제1 부재(131)와 제2 부재(132)의 작동을 제어할 수 있다. 즉, 노즐(120)이 저장부(140)에 기울어진 상태로 지지되어 있기 때문에, 제어부는 이송부(130)가 노즐(120)을 향해 사선으로 이동하도록 제어할 수 있다. 따라서, 제1 부재(131)와 제2 부재(132) 사이에 노즐(120)이 위치하게 되고, 둘 사이를 밀착시켜 노즐(120)과 이송부(130)를 결합할 수 있다.The control unit can move the first member 131 and the second member 132 of the transfer unit 130 up and down and right and left while aligning the nozzle unit 120 with the new nozzle 120 supported by the storage unit 140, The operation of the first member 131 and the second member 132 can be controlled so that the new nozzle 130 and the new nozzle 120 are coupled. That is, since the nozzle 120 is supported in a state tilted to the storage unit 140, the control unit can control the transport unit 130 to move obliquely toward the nozzle 120. Accordingly, the nozzle 120 is positioned between the first member 131 and the second member 132, and the nozzle 120 and the transfer unit 130 can be coupled to each other.

이때, 저장부(140)에 저장된 노즐(120)들은 위치가 고정되어 있다. 따라서, 제어부에는 노즐(120)들의 위치 정보가 미리 저장될 수 있고, 이송부(130)를 노즐(120)의 위치로 용이하게 이동시킬 수 있다. 이에, 복수개의 삽입구(141a) 중 어느 하나에 노즐(120)이 없다면 제어부는 이송부(130)를 노즐(120)이 삽입된 삽입구(141a) 측으로 이송부(130)의 위치를 조절할 수 있다. At this time, the positions of the nozzles 120 stored in the storage unit 140 are fixed. Therefore, the position information of the nozzles 120 can be stored in advance in the control unit, and the transfer unit 130 can be easily moved to the position of the nozzle 120. If the nozzle 120 is not present in any one of the plurality of insertion ports 141a, the control unit can adjust the position of the transfer unit 130 to the insertion port 141a where the nozzle 120 is inserted.

이송부(130)와 결합된 노즐(120)을 교체할 때, 이송부(130)를 저장부(140) 측으로 이동시키고, 저장부(140)에 형성된 복수개의 삽입구(141a) 중 노즐(120)이 끼워져 있지 않은 삽입구(141a)에 이송부(130)에 결합되었던 노즐(120)을 분리시킬 수 있다. 이송부(130)는 다른 삽입구(141a)에 끼워져 있는 새로운 노즐(120)과 결합될 수 있다.When the nozzle 120 coupled to the transfer unit 130 is replaced, the transfer unit 130 is moved to the storage unit 140, and the nozzle 120 is inserted in the plurality of insertion holes 141a formed in the storage unit 140 The nozzle 120, which has been coupled to the transfer unit 130, can be separated from the insertion port 141a. The transfer unit 130 can be coupled with the new nozzle 120 fitted in the other insertion port 141a.

예를 들어, 저장부(140)에 10개의 삽입구(141a)가 형성되고, 그 중 8개의 삽입구(141a)에만 노즐(120)이 지지되는 경우, 이송부(130)는 결합되었던 노즐(120)을 삽입구(141a) 중 노즐(120)이 지지되지 않는 삽입구(141a)에 끼워넣고 분리될 수 있다. 그 다음, 이송부(130)는 다른 삽입구(141a)에 지지된 새로운 노즐(120) 측으로 이동하여 새로운 노즐(120)과 결합될 수 있다. 즉, 저장부(140)에서 다 쓴 노즐(120)을 회수하고, 이송부(130)에 새로운 노즐(120)을 공급하는 역할을 수행할 수도 있다. 그러나 토출장치가 노즐(120)을 회수하기 위한 별도의 회수부를 더 구비할 수 있다.For example, in the case where ten insertion ports 141a are formed in the storage unit 140, and the nozzle 120 is supported only in the eight insertion ports 141a among the eight insertion ports 141a, the transfer unit 130 is connected to the nozzle 120 The nozzle 120 can be inserted into and removed from the insertion port 141a of the insertion port 141a. Next, the transfer unit 130 may move to the new nozzle 120 side supported by the other insertion port 141a and be coupled with the new nozzle 120. That is, the nozzle 120 may be recovered in the storage unit 140 and the new nozzle 120 may be supplied to the transfer unit 130. However, the ejection apparatus may further include a separate recovery unit for recovering the nozzle 120.

도 4는 본 발명의 실시 예에 따른 이송부가 회수부에서 노즐과 분리되고, 저장부에서 다른 노즐과 결합되는 것을 나타내는 도면이다. 하기에서는 본 발명의 다른 실시 예에 따른 토출장치에 대해 설명하기로 한다. 4 is a view showing that the transporting part according to the embodiment of the present invention is separated from the nozzle in the recovery part and coupled with another nozzle in the storage part. Hereinafter, a discharging apparatus according to another embodiment of the present invention will be described.

본 발명의 다른 실시 예에 따른 토출장치(100)는, 스테이지(110), 노즐(120), 이송부(130), 저장부(140), 및 회수부(150)를 포함한다. 또한, 토출장치(100)는, 감지부(미도시), 제어부(미도시)를 더 포함할 수 있다.A discharge unit 100 according to another embodiment of the present invention includes a stage 110, a nozzle 120, a transfer unit 130, a storage unit 140, and a recovery unit 150. The discharging device 100 may further include a sensing unit (not shown) and a control unit (not shown).

이때, 스테이지(110), 노즐(120), 이송부(130), 저장부(140), 감지부, 제어부는 본 발명의 실시 예에서 설명한 스테이지(110), 노즐(120), 이송부(130), 저장부(140), 감지부, 제어부와 동일한 구성요소이기 때문에 설명을 생략한다.In this case, the stage 110, the nozzle 120, the transfer unit 130, the sensing unit, and the control unit may include the stage 110, the nozzle 120, the transfer unit 130, the storage unit 140, The storage unit 140, the sensing unit, and the control unit, description thereof will be omitted.

회수부(150)는 이송부(130)에서 분리되는 노즐(120)을 회수하도록, 이송부(130)가 이동할 수 있는 영역 내에 위치한다. 회수부(150)는 스테이지(110)와 저장부(140) 사이에 위치할 수 있다. 이에, 이송부(130)는 스테이지(110)에서 회수부(150) 측으로 먼저 이동하여 노즐(120)을 분리시킨 후, 저장부(140) 측으로 이동하여 새로운 노즐(120)과 결합되기가 용이해질 수 있다. 또한, 회수부(150)는, 노즐(120)이 삽입될 수 있는 관통구(151a)가 형성되는 제2 플레이트(151), 및 제2 플레이트(151)를 지지해주는 제2 지지대(152)를 포함한다.The recovery unit 150 is located in an area where the transfer unit 130 can move so as to recover the nozzle 120 separated from the transfer unit 130. The recovery unit 150 may be positioned between the stage 110 and the storage unit 140. The transfer unit 130 first moves from the stage 110 to the collecting unit 150 side to separate the nozzle 120 and then moves toward the storage unit 140 to be easily coupled with the new nozzle 120 have. The collecting unit 150 includes a second plate 151 having a through hole 151a into which the nozzle 120 can be inserted and a second support 152 supporting the second plate 151 .

제2 플레이트(151)는 사각판 형태로 형성될 수 있다. 제2 플레이트(151)의 일면(또는, 상부면)에는 노즐(120)이 삽입되어 지지될 수 있는 하나 또는 복수개의 관통구(151a)가 형성될 수 있다. 이에, 노즐(120)이 관통구(151a)에 끼워져 제2 플레이트(151)를 상하방향으로 관통할 수 있다.The second plate 151 may be formed in a rectangular plate shape. One or a plurality of through holes 151a may be formed on one surface (or the top surface) of the second plate 151 to support the nozzles 120 therein. Thus, the nozzle 120 can be inserted into the through hole 151a and penetrate the second plate 151 in the vertical direction.

관통구(151a)가 복수개 구비되는 경우, 관통구(151a)들은 제2 플레이트(151)의 연장방향을 따라 일렬로 배치될 수 있다. 관통구(151a)들은 서로 이격되기 때문에, 이송부(130)가 회수부(150)로 노즐(120)을 분리시킬 때, 회수부(150)에 끼워진 다른 노즐(120)과 이송부(130)가 충돌하는 것을 방지할 수 있다. When a plurality of through-holes 151a are provided, the through-holes 151a may be arranged in a line along the extending direction of the second plate 151. [ Since the through holes 151a are spaced apart from each other, when the transfer unit 130 separates the nozzle 120 from the collecting unit 150, the nozzle 120 and the transfer unit 130, which are sandwiched by the collecting unit 150, Can be prevented.

또한, 관통구(151a)는 노즐(120)의 둘레 형상을 따라 형성된다. 관통구(151a)의 직경은 노즐(120)의 외경보다 크거나 같게 형성된다. 이에, 관통구(151a) 내로 노즐(120)이 용이하게 삽입되어 지지될 수 있다.In addition, the through-hole 151a is formed along the circumference of the nozzle 120. The diameter of the through-hole 151a is greater than or equal to the outer diameter of the nozzle 120. Accordingly, the nozzle 120 can be easily inserted into the through hole 151a and supported.

이때, 이송부(130)가 노즐(120)과 용이하게 분리되도록 관통구(151a)가 경사진 방향으로 제2 플레이트(151)에 형성될 수 있다. 즉, 관통구(151a)에 노즐(120)이 지지되는 각도가, 이송부(130)가 노즐(120)을 지지하는 각도와 동일하게 형성될 수 있다. 이에, 노즐(120)이 관통구(151a)에 삽입될 때, 기울어진 상태로 삽입되어 지지될 수 있다. 그러나 제2 플레이트(151)의 구조와 형상은 이에 한정되지 않고 다양할 수 있다.At this time, the through hole 151a may be formed in the second plate 151 in an inclined direction so that the transfer unit 130 is easily separated from the nozzle 120. That is, the angle at which the nozzle 120 is supported by the through-hole 151a may be the same as the angle at which the transfer unit 130 supports the nozzle 120. [ Accordingly, when the nozzle 120 is inserted into the through hole 151a, it can be inserted and supported in a tilted state. However, the structure and the shape of the second plate 151 are not limited to this and may vary.

제2 지지대(152)는 제2 플레이트(151)와 연결되어 제2 플레이트(151)를 지지해줄 수 있다. 제2 지지대(152)는, 저장부(140)의 제1 지지대(142)와 동일한 구조로 형성될 수 있다. 다 쓴 노즐(120)이 회수부(150)로 수거되기 때문에, 노즐(120)들을 처리하기가 용이해질 수 있다. The second support 152 may be connected to the second plate 151 to support the second plate 151. The second support member 152 may have the same structure as the first support member 142 of the storage member 140. Since the exhausted nozzles 120 are collected in the collecting part 150, the processing of the nozzles 120 can be facilitated.

회수부(150)가 스테이지(110)와 저장부(140) 사이의 이송부(130)가 이동하는 경로에 위치하기 때문에, 이송부(130)에 결합된 노즐(120)을 회수부(150)에 분리시킨 후, 저장부(140)에서 새로운 노즐(120)과 이송부(130)를 용이하게 결합시킬 수 있다. 즉, 이송부(130)는 저장부(140)에 지지되는 노즐(120) 측으로 이동하고, 이송부(130)의 제1 부재(131)와 제2 부재(132)의 작동을 제어하여 노즐(120)과 결합시킨 후, 저장부(140) 외측으로 이동시킬 수 있다.Since the recovery unit 150 is located in a path along which the transfer unit 130 between the stage 110 and the storage unit 140 moves, the nozzle 120 coupled to the transfer unit 130 is separated from the recovery unit 150 The new nozzle 120 and the transfer unit 130 can be easily coupled to each other in the storage unit 140. [ That is, the transfer unit 130 moves toward the nozzle 120 supported by the storage unit 140 and controls the operation of the first member 131 and the second member 132 of the transfer unit 130, And then moved to the outside of the storage unit 140.

이처럼 용이하고 신속하게 토출장치(100)의 노즐(120)을 교체할 수 있다. 이에, 노즐(120)을 교체하는 작업의 시간을 단축하여, 노즐(120)을 이용한 공정이 지연되는 것을 방지할 수 있다. 따라서, 노즐(120)을 이용한 공정의 효율을 향상시킬 수 있다.Thus, the nozzle 120 of the discharging device 100 can be replaced easily and quickly. Thus, the time for replacing the nozzle 120 can be shortened, and the process using the nozzle 120 can be prevented from being delayed. Therefore, the efficiency of the process using the nozzle 120 can be improved.

또한, 작업자가 직접 노즐(120)을 교체하지 않고, 장치가 노즐(120)을 교체하는 작업을 수행하기 때문에, 노즐(120) 교체작업의 정확성과 신뢰성을 향상시킬 수 있다. 이에, 노즐(120) 교체작업의 불량률이 감소하여 설비의 유지보수가 용이해질 수 있다.In addition, since the operator performs the operation of replacing the nozzle 120 without replacing the nozzle 120 directly, the accuracy and reliability of the replacement work of the nozzle 120 can be improved. Thus, the defective rate of the replacement work of the nozzle 120 is reduced, and the maintenance of the facility can be facilitated.

도 5는 본 발명의 실시 예에 따른 토출장치의 노즐 교체방법을 나타내는 플로우 차트이다. 하기에서는 본 발명의 실시 예에 따른 노즐 교체방법에 대해 설명하기로 한다.5 is a flowchart showing a nozzle replacement method of the ejection apparatus according to the embodiment of the present invention. Hereinafter, a nozzle replacement method according to an embodiment of the present invention will be described.

본 발명의 실시 예에 따른 노즐 교체방법은, 토출장치(100)에 구비되는 노즐을 교체하는 방법이다. 이때, 노즐(120)은 전기수력학을 이용하여 액상물질을 토출할 수 있는 노즐일 수 있고, 내부에 액상물질이 저장될 수 있다. 그러나 노즐(120)의 종류는 이에 한정되지 않고 다양할 수 있다.A method of replacing a nozzle according to an embodiment of the present invention is a method of replacing a nozzle included in the discharging device 100. [ At this time, the nozzle 120 may be a nozzle capable of discharging the liquid material using electrohydraulics, and the liquid material may be stored therein. However, the type of the nozzle 120 is not limited to this and may vary.

도 5를 참조하면, 우선 액상물질이 저장된 노즐을 지지하는 저장부를 마련할 수 있다.(S110) 저장부(140)는 하나 또는 복수개의 노즐(120)을 지지하고 있고, 이송부(130)가 이동할 수 있는 영역 내에 위치한다. 이때, 저장부(140)에 지지되는 노즐(120)은 내부에 액상물질이 채워진 상태일 수 있다.5, a storage unit for supporting a nozzle in which liquid material is stored may be provided. (S110) The storage unit 140 supports one or a plurality of nozzles 120, and the transfer unit 130 moves Lt; / RTI > At this time, the nozzle 120 supported in the storage unit 140 may be filled with a liquid material.

그 다음, 이송부와 결합된 노즐 내부의 액상물질이 부족한지 판단할 수 있다.(S120) 즉, 이송부(130)와 결합된 노즐(120) 내부의 액상물질을 모두 사용하거나, 미리 설정된 양만큼 사용하면, 이송부(130)에 결합된 노즐(120)을 교체하는 작업을 수행할 수 있다.(S120). In other words, it is possible to use both the liquid material in the nozzle 120 coupled with the transfer unit 130 and the liquid material in the nozzle 120 combined with the transfer unit 130 The operation of replacing the nozzle 120 coupled to the transfer unit 130 can be performed.

예를 들어, 이송부(130)와 결합된 노즐(120) 내부의 액상물질이 부족한지 판단하기 위해, 이송부(130)와 결합된 노즐(120) 내부에 저장된 액상물질의 양, 및 이송부(130)와 결합된 노즐(120)에서 토출되는 액상물질의 양 중 적어도 어느 하나를 감지할 수 있다. The amount of the liquid material stored in the nozzle 120 combined with the transfer unit 130 and the amount of the liquid material stored in the transfer unit 130 may be determined in order to determine whether the liquid material in the nozzle 120 coupled to the transfer unit 130 is insufficient. And the amount of the liquid material discharged from the nozzle 120 combined with the liquid.

이송부(130)와 결합된 노즐(120) 내부에 저장된 액상물질의 양을 감지하기 위해서 노즐(120)의 무게를 감지할 수 있다. 노즐(120)에 저장된 액상물질이 양이 감소할수록 노즐(120)의 무게가 변화되는 것을 감지하여 노즐(120) 내부의 액상물질이 저장된 양을 감지할 수 있다. 따라서, 측정되는 노즐(120)의 무게가 미리 설정된 무게값과 비교해 작으면, 이송부(130)와 결합된 노즐(120)을 다른 노즐(120)로 교체해야 한다고 판단할 수 있다.The weight of the nozzle 120 may be sensed to sense the amount of the liquid material stored in the nozzle 120 coupled to the transfer unit 130. The amount of the liquid material stored in the nozzle 120 can be sensed by sensing the change in the weight of the nozzle 120 as the amount of the liquid material stored in the nozzle 120 decreases. Therefore, if the measured weight of the nozzle 120 is small compared to the predetermined weight value, it can be determined that the nozzle 120 coupled to the transfer unit 130 should be replaced with another nozzle 120.

감지부가 이송부(130)와 결합된 노즐(120)에서 토출되는 액상물질의 양을 감지하기 위해선 노즐(120)에서 토출되는 액상물질의 양을 관찰할 수 있다. 이에, 노즐(120)에 전원을 인가하였는데도, 노즐(120)에서 액상물질이 토출되지 않는 것이 관찰되면, 노즐(120) 내부의 액상물질이 모두 사용되었다고 판단할 수 있다. 따라서, 노즐(120) 내부에 사용할 수 있는 액상물질이 남아있지 않다는 것을 알 수 있고, 이송부(130)와 결합된 노즐(120)을 다른 노즐(120)로 교체해야 한다고 판단할 수 있다. The amount of the liquid material discharged from the nozzle 120 can be observed in order to sense the amount of the liquid material discharged from the nozzle 120 coupled with the sensing unit transfer unit 130. If it is observed that the liquid material is not discharged from the nozzle 120 even when power is applied to the nozzle 120, it can be determined that the liquid material inside the nozzle 120 has been used. Accordingly, it can be seen that no usable liquid material remains in the nozzle 120, and it can be determined that the nozzle 120 coupled to the transfer unit 130 should be replaced with another nozzle 120.

또는, 노즐(120)을 사용한 시간이 미리 설정된 시간 이상인지 비교할 수도 있다. 예를 들어, 설정 시간으로 4주를 설정할 수 있고, 노즐(120)을 사용한 시간이 설정 시간인 4주 이상이되면, 노즐(120)에 저장된 액상물질의 양이 부족하다고 판단할 수 있다. 이에, 노즐(120)을 너무 오랜 시간 사용하여 노즐(120)을 교체해야 한다고 판단할 수 있다. 따라서, 주기적으로 자동으로 노즐(120)을 교체하여 사용할 수 있고, 리페어 공정 중 노즐(120)에 액상물질이 부족해지는 사고가 발생하는 것을 방지할 수 있다. 그러나 이송부(130)와 결합된 노즐(120)의 상태를 감지하는 방법은 이에 한정되지 않고 다양할 수 있다.Alternatively, it is possible to compare whether the time when the nozzle 120 is used is longer than a preset time. For example, the set time may be set to 4 weeks. When the time for which the nozzle 120 is used is 4 weeks or more, which is the set time, it can be determined that the amount of the liquid material stored in the nozzle 120 is insufficient. Accordingly, it can be determined that the nozzle 120 should be replaced by using the nozzle 120 for too long. Therefore, it is possible to replace the nozzle 120 periodically and use it automatically, and it is possible to prevent an accident that the nozzle 120 is short of the liquid material during the repairing process. However, the method of detecting the state of the nozzle 120 coupled to the transfer unit 130 is not limited to this and may be various.

그 다음, 이송부와 결합된 노즐 내부의 액상물질이 부족하다고 판단하면, 이송부와 결합된 노즐을 이송부에서 분리시키고, 이송부를 저장부 측으로 이동시킬 수 있다.(S130) 예를 들어, 이송부(130)를 저장부(140) 측으로 이동시키기 전에, 회수부(150) 측으로 이동시킬 수 있다. 회수부(150) 측으로 이동한 이송부(130)는 결합된 노즐(120)을 회수부(150)의 관통구(151a)에 끼워 넣을 수 있다. 이송부(130)의 제1 부재(131)와 제2 부재(132) 사이의 이격거리를 증가시키면, 노즐(120)이 분리되어 회수부(150)에 지지된다. 노즐(120)과 분리된 이송부(130)를 회수부(150) 외측으로 이동시키면 회수부(150)에 노즐(120)이 완전히 회수될 수 있다.If it is determined that the liquid material inside the nozzle coupled to the transfer unit is insufficient, the nozzle coupled with the transfer unit may be separated from the transfer unit and the transfer unit may be moved to the storage unit. (S130) For example, To the storage unit 140 side before moving the storage unit 140 to the storage unit 140 side. The transfer unit 130 moved toward the recovery unit 150 may fit the nozzle 120 coupled to the through hole 151a of the recovery unit 150. [ When the distance between the first member 131 and the second member 132 of the transfer unit 130 is increased, the nozzle 120 is separated and supported by the collecting unit 150. The nozzle 120 can be completely recovered to the recovery unit 150 by moving the transfer unit 130 separated from the nozzle 120 to the outside of the recovery unit 150.

또는, 이송부(130)를 저장부(140) 측으로 이동시키고, 저장부(140) 중 노즐(120)이 끼워져 있지 않은 삽입구(141a)에 이송부(130)에 결합되었던 노즐(120)을 분리시킬 수 있다. 이송부(130)는 다른 삽입구(141a)에 끼워져 있는 새로운 노즐(120)과 결합될 수 있다. 즉, 저장부(140)에서 다 쓴 노즐(120)을 회수하고, 이송부(130)에 새로운 노즐(120)을 공급하는 역할을 수행할 수도 있다.Alternatively, the transfer unit 130 may be moved toward the storage unit 140, and the nozzle 120, which is coupled to the transfer unit 130, may be detached from the storage unit 140 through the insertion port 141a in which the nozzle 120 is not inserted. have. The transfer unit 130 can be coupled with the new nozzle 120 fitted in the other insertion port 141a. That is, the nozzle 120 may be recovered in the storage unit 140 and the new nozzle 120 may be supplied to the transfer unit 130.

그 다음, 이송부(130)를 저장부(140) 측으로 이동시킬 수 있다. 저장부에 지지된 노즐과 이송부를 결합할 수 있다.(S140) 이송부(130)의 제1 부재(131)와 제2 부재(132)를, 저장부(140)의 삽입구(141a)에 끼워진 노즐(120)을 향해 이동시킬 수 있다. 제1 부재(131)와 제2 부재(132) 사이의 이격공간에 노즐(120)의 일단부가 위치하면, 제1 부재(131)와 제2 부재(132)의 이격거리를 좁혀 노즐(120)과 접촉시킬 수 있다. 노즐(120)은 제1 부재(131)와 제2 부재(132) 사이에 끼워져 이송부(130)와 결합될 수 있다.Then, the transfer unit 130 can be moved to the storage unit 140 side. (S140) The first member 131 and the second member 132 of the transfer unit 130 may be connected to a nozzle (not shown) fitted into the insertion port 141a of the storage unit 140, (Not shown). The distance between the first member 131 and the second member 132 is narrowed and the distance between the first member 131 and the second member 132 is reduced, . The nozzle 120 may be inserted between the first member 131 and the second member 132 and coupled to the transfer unit 130.

이때, 제1 부재(131)와 제2 부재(132)를 노즐(120)과 접촉시키면서, 제1 부재(131) 및 제2 부재(132) 중 적어도 어느 하나에 구비되는 제2 전기 전도부재(133)와, 노즐(120)에 구비된 제1 전기 전도부재(125)와 접촉할 수 있다. 이에, 이송부(130)와 노즐(120)이 전기적으로 연결될 수 있고, 전원공급기에서 발생시킨 전원이 제2 전기 전도부재(133)를 통해 제1 전기 전도부재(125)로 전달되고, 제1 전기 전도부재(125)에서 다시 핀 부재로 전원을 전달하여 노즐(120)에 전원을 인가할 수 있다. 즉, 제1 전기 전도부재(125)와 제2 전기 전도부재(133)를 접촉시켜, 전원공급기가 노즐(120)로 전원을 공급할 수 있는 경로를 형성할 수 있다.The first member 131 and the second member 132 are brought into contact with the nozzle 120 while the second electrically conductive member (not shown) provided in at least one of the first member 131 and the second member 132 133 and the first electrically conductive member 125 provided on the nozzle 120. [ Thus, the power feeding unit 130 can be electrically connected to the nozzle 120, and the power generated by the power supply unit is transmitted to the first electrically conductive member 125 through the second electrically conductive member 133, Power may be supplied from the conductive member 125 to the pin member to apply power to the nozzle 120. [ That is, the first electrical conduction member 125 and the second electrical conduction member 133 may be in contact with each other to form a path through which the power supply can supply power to the nozzle 120.

그 다음, 이송부(130)를 저장부(140) 외측으로 이동시킬 수 있다. 이에, 이송부(130)와 새로 결합되는 노즐(120)이 저장부(140)에서 분리되고, 이송부(130)와 함께 이동할 수 있다. 이송부(130)는 다시 스테이지(110)의 상측으로 이동할 수 있고, 스테이지(110) 상에서 노즐(120)을 원하는 위치로 이동시켜 액상물질을 토출하는 작업을 수행할 수 있다.Then, the transfer unit 130 can be moved to the outside of the storage unit 140. [ Accordingly, the nozzle 120, which is newly coupled to the transfer unit 130, is separated from the storage unit 140 and can move together with the transfer unit 130. [ The transfer unit 130 can move to the upper side of the stage 110 and move the nozzle 120 to a desired position on the stage 110 to perform the operation of discharging the liquid material.

이처럼, 용이하고 신속하게 토출장치(100)의 노즐(120)을 교체할 수 있다. 이에, 노즐(120)을 교체하는 작업의 시간을 단축하여, 노즐(120)을 이용한 공정이 지연되는 것을 방지할 수 있다. 따라서, 노즐(120)을 이용한 공정의 효율을 향상시킬 수 있다.As described above, the nozzle 120 of the discharging device 100 can be replaced easily and quickly. Thus, the time for replacing the nozzle 120 can be shortened, and the process using the nozzle 120 can be prevented from being delayed. Therefore, the efficiency of the process using the nozzle 120 can be improved.

또한, 작업자가 직접 노즐(120)을 교체하지 않고, 장치가 노즐(120)을 교체하는 작업을 수행하기 때문에, 노즐(120) 교체작업의 정확성과 신뢰성을 향상시킬 수 있다. 이에, 노즐(120) 교체작업의 불량률이 감소하여 설비의 유지보수가 용이해질 수 있다.In addition, since the operator performs the operation of replacing the nozzle 120 without replacing the nozzle 120 directly, the accuracy and reliability of the replacement work of the nozzle 120 can be improved. Thus, the defective rate of the replacement work of the nozzle 120 is reduced, and the maintenance of the facility can be facilitated.

이와 같이, 본 발명의 상세한 설명에서는 구체적인 실시 예에 관해 설명하였으나, 본 발명의 범주에서 벗어나지 않는 한도 내에서 여러 가지 변형이 가능하다. 그러므로, 본 발명의 범위는 설명된 실시 예에 국한되어 정해져서는 안되며, 아래에 기재될 특허청구범위뿐만 아니라 이 청구범위와 균등한 것들에 의해 정해져야 한다.Although the present invention has been described in detail with reference to the specific embodiments thereof, it will be understood by those skilled in the art that various changes and modifications may be made without departing from the scope of the present invention. Therefore, the scope of the present invention should not be limited by the described embodiments, but should be defined by the appended claims, as well as the appended claims.

100: 토출장치 110: 스테이지
120: 노즐 130: 이송부
140: 저장부 150: 회수부100: Discharging device 110: Stage
120: nozzle 130:
140: storage unit 150:

Claims (13)

기판이 안착될 수 있는 스테이지;
내부에 액상물질이 저장되고, 전기수력학적 현상에 의해 상기 액상물질을 외부로 토출할 수 있는 노즐;
상기 노즐의 토출구가 형성되지 않은 일단부에 형성되는 제1 전기 전도부재;
상기 노즐을 기울어지게 지지할 수 있으며, 상기 노즐을 이동시킬 수 있고, 노즐과 분리 가능하게 결합되는 이송부; 및
상기 이송부에 결합된 노즐과 교체될 수 있는 다른 노즐을 지지하고, 이송부가 이동할 수 있는 영역 내에 위치하며, 상기 이송부에 노즐이 기울어지게 지지되는 각도와 동일한 각도로 노즐을 지지할 수 있도록, 경사진 방향으로 연장되어 노즐이 삽입될 수 있는 삽입구를 구비하는 저장부;를 포함하고,
상기 이송부는,
제1 부재; 및
적어도 일부분이 상기 제1 부재와 이격되는 제2 부재;를 포함하고,
노즐이 상기 제1 부재와 상기 제2 부재의 이격되는 공간 내로 삽입될 수 있고, 노즐에 밀착되도록 상기 제1 부재와 상기 제2 부재의 이격되는 정도가 조절 가능하고,
노즐과 상기 제1 부재 및 상기 제2 부재의 결합 시에 상기 제1 전기 전도부재와 결합하여 전원을 인가할 수 있도록, 노즐과 결합될 수 있는 상기 제1 부재의 일측 및 상기 제2 부재의 일측 중 적어도 어느 하나에 제2 전기 전도부재가 설치되고,
상기 저장부는,
상기 삽입구가 형성되는 플레이트;
상기 플레이트를 지지해주는 측벽들; 및
상기 측벽들 중 노즐과 접촉하는 측벽에 형성되고, 노즐의 끝단이 삽입될 수 있는 홈;을 포함하는 토출장치.A stage on which the substrate can be placed;
A nozzle for storing the liquid material therein and discharging the liquid material to the outside by an electrohydraulic phenomenon;
A first electrically conductive member formed at one end of the nozzle, the discharge port of which is not formed;
A conveying unit capable of supporting the nozzle in an inclined state, capable of moving the nozzle, and detachably coupled to the nozzle; And
A support member for supporting the nozzle coupled to the conveyance unit and configured to support another nozzle that can be replaced with the nozzle coupled to the conveyance unit and configured to support the nozzle at an angle equal to an angle at which the nozzle is inclined to the conveyance unit, And a storage unit having an insertion port extending in a direction to insert the nozzle,
The transfer unit
A first member; And
And a second member at least partially spaced from the first member,
The degree of separation between the first member and the second member is adjustable so that the nozzle can be inserted into the space in which the first member and the second member are spaced apart,
A first member which is engageable with the nozzle and a second member which can be engaged with one side of the second member and which can be engaged with the nozzle when the first member and the second member are engaged with the first electrically conductive member, A second electrically conductive member is provided on at least one of the first and second electrically conductive members,
Wherein,
A plate on which the insertion port is formed;
Side walls for supporting the plate; And
And a groove formed in a sidewall of the sidewalls that is in contact with the nozzle and into which the end of the nozzle can be inserted. 삭제delete 삭제delete 청구항 1에 있어서,
상기 제1 부재 및 상기 제2 부재는 노즐과 결합될 수 있는 일측의 적어도 일부분이 기울어지게 형성되는 토출장치.The method according to claim 1,
Wherein the first member and the second member are formed so that at least a part of one side that can be engaged with the nozzle is inclined. 청구항 1에 있어서,
상기 제1 부재 및 상기 제2 부재는 노즐과 결합될 수 있는 일측이 기울어진 각도가 조절 가능한 토출장치.The method according to claim 1,
Wherein the first member and the second member are adjustable in inclination angle of one side that can be engaged with the nozzle. 삭제delete 청구항 1에 있어서,
상기 이송부에 결합된 노즐의 상태를 감지할 수 있는 감지부; 및
상기 감지부와 연결되어 상기 이송부의 작동을 제어하는 제어부;를 더 포함하는 토출장치.The method according to claim 1,
A sensing unit for sensing a state of a nozzle coupled to the conveyance unit; And
And a control unit coupled to the sensing unit to control operation of the conveyance unit. 청구항 1에 있어서,
상기 이송부에서 분리되는 노즐을 회수하도록, 상기 이송부가 이동할 수 있는 영역 내에 위치하는 회수부를 더 포함하는 토출장치.The method according to claim 1,
Further comprising: a recovery unit located within a movable region of the conveyance unit to recover a nozzle separated from the conveyance unit. 토출장치에 구비되는 노즐을 교체하는 방법으로서,
액상물질이 저장된 노즐을 지지하는 저장부를 마련하는 과정;
기울어지게 노즐을 지지하는 이송부와 결합된 노즐 내부의 액상물질이 부족한지 판단하는 과정;
상기 이송부와 결합된 노즐 내부의 액상물질이 부족하다고 판단하면, 상기 이송부와 결합된 노즐을 상기 이송부에서 분리시키고, 상기 이송부를 상기 저장부 측으로 이동시키는 과정; 및
상기 이송부에 노즐이 기울어지게 지지되는 각도와 동일한 각도로 경사지게 연장되어 노즐이 삽입될 수 있는 삽입구를 구비하는 상기 저장부에 지지된 노즐과 상기 이송부를 결합하는 과정;을 포함하고,
상기 노즐과 이송부를 결합하는 과정은,
상기 저장부에 상기 노즐이 지지된 상태에서, 상기 저장부의 측벽에 형성되어 노즐의 끝단이 삽입되는 홈을 이용하여, 상기 노즐이 흔들리는 것을 방지하는 과정;
상기 노즐과 이송부를 결합할 때, 상기 노즐에 구비된 제1 전기 전도부재와 상기 이송부의 노즐과 결합될 수 있는 부분에 구비된 제2 전기 전도부재를 결합시켜 전기적으로 연결시키는 과정;을 포함하는 노즐 교체방법.A method of replacing a nozzle provided in a discharge device,
Providing a reservoir for supporting a nozzle in which a liquid material is stored;
A step of determining whether a liquid material inside the nozzle coupled with a transfer part supporting the nozzle is inclined;
Separating the nozzle coupled with the conveyance unit from the conveyance unit and moving the conveyance unit toward the storage unit when it is determined that the liquid material in the nozzle coupled to the conveyance unit is insufficient; And
And combining the nozzle with the conveyance unit, the nozzle being supported by the conveyance unit and having an insertion hole extending obliquely at an angle equal to an angle at which the nozzle is sloped and supported so that the nozzle can be inserted,
In the process of joining the nozzle and the transfer unit,
A step of preventing the nozzle from being shaken by using a groove formed in a side wall of the storage part and in which an end of the nozzle is inserted in a state where the nozzle is supported in the storage part;
And electrically coupling the first electrically conductive member provided on the nozzle and the second electrically conductive member provided on the portion that can be coupled to the nozzle of the transfer unit when the nozzle and the transfer unit are coupled to each other, How to replace the nozzle. 청구항 9에 있어서,
상기 이송부와 결합된 노즐 내부의 액상물질이 부족한지 판단하는 과정은,
상기 노즐을 사용한 시간이 미리 설정된 시간 이상인지 비교하는 과정을 포함하는 노즐 교체방법.The method of claim 9,
Wherein the step of determining whether the liquid material in the nozzle coupled to the transfer unit is insufficient,
And comparing the time of using the nozzle with a predetermined time or more. 청구항 9에 있어서,
상기 이송부와 결합된 노즐 내부의 액상물질이 부족한지 판단하는 과정은,
상기 이송부와 결합된 노즐 내부에 저장된 액상물질의 양, 및 상기 이송부와 결합된 노즐에서 토출되는 액상물질의 양 중 적어도 어느 하나를 감지하는 과정을 포함하는 노즐 교체방법.The method of claim 9,
Wherein the step of determining whether the liquid material in the nozzle coupled to the transfer unit is insufficient,
Detecting at least one of an amount of the liquid material stored in the nozzle coupled to the transfer unit and an amount of the liquid material discharged from the nozzle coupled to the transfer unit. 청구항 9에 있어서,
상기 이송부와 결합된 노즐은 상기 이송부에서 분리시키는 과정은,
분리된 노즐을 회수하는 과정을 포함하는 노즐 교체방법.The method of claim 9,
The process of separating the nozzle coupled with the transfer unit from the transfer unit comprises:
And recovering the separated nozzles. 삭제delete
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