KR101969569B1 - 액정표시 장치용 어레이 기판 - Google Patents

Abstract

본 발명의 일 실시예는 비표시 영역에 집적회로 칩이 구비되며, 상기 집적회로 칩에 이웃해서 점등 검사시 사용되는 패드부를 포함하는 액정표시 장치용 어레이 기판에 관한 것으로, 상기 비표시 영역에서 게이트 라인과 상기 집적회로 칩 사이를 연결하는 연결선과, 제1 접촉구를 통해 상기 연결선에 연결된 채 상기 연결선에서 분기된 연장선과, 상기 연장선의 일 단에 마련된 게이트용 패드를 포함해 구성된다.

Description

액정표시 장치용 어레이 기판{Array substrate for liquid crystal display}

본 발명은 액정표시 장치용 어레이 기판에 관한 것으로, 특히 점등 검사에서 사용되는 패드부의 구조를 개선한 기술에 관한 것이다.

일반적으로 액정표시장치(Liquid Crystal Display)는 매트릭스(Matrix) 형태로 배열된 액정 셀들의 광투과율을 화상신호 정보에 따라 조절하여 원하는 화상을 표시하는 장치로서, 백라이트 유닛에서 공급되는 빛을 이용해서 액정표시 패널이 영상을 표시한다.

액정표시 패널(75)은 도 1에서 예시하는 바처럼 복수의 TFT(thin film transistor, 박막 트랜지스터)가 집적화된 어레이 기판(73), 이 어레이 기판(73) 위에 합착돼 컬러를 구현하는 컬러필터기판(71)과 이 기판들(71, 73) 사이에 주입되는 액정(미도시)을 포함한다. 집적회로 칩(77)은 컬러필터기판(71)과 어레이 기판(73)이 엇갈려 배치돼서 어레이 기판(73)의 일부가 노출된 가장자리에 실장되어 액정표시 패널(75)을 제어한다.

어레이 기판(73)은 매트릭스상의 박막 트랜지스터가 형성되어 있는 투명한 유리 기판이며, 각 액정셀에 형성된 TFT의 소스 단자에는 데이터 라인이 연결되고, 게이트 단자에는 게이트 라인이 연결된다. 데이터 라인과 게이트 라인은 집적회로 칩(77)에 연결되어 있다. 그리고, 집적회로 칩(77)의 한쪽에는 가요성 인쇄회로기판(미도시)이 연결되어 가요성 인쇄회로기판(미도시)으로부터 전기적인 신호가 입력되면, 집적회로 칩(77)을 통해서 각 데이터 라인과 게이트 라인에 전기적인 신호가 입력되고, 각 화소에 배치된 TFT를 턴 온 또는 턴 오프해 각 화소로 구동전압을 인가하거나 차단하도록 동작된다.

어레이 기판(73) 위에는 컬러필터기판(71)이 합착된다. 컬러필터기판(71)은 광이 통과하면서 소정의 색이 발현되는 색화소인 RGB 화소가 박막 공정에 의해 형성된 기판이다. 컬러필터기판(71) 및 어레이 기판(73)의 표면에는 편광판(미도시)이 부착되어 광을 편광시킨다.

한편, 이처럼 구성되는 액정표시 패널(75)이 완성된 후에는 점등 검사를 실시해서 액정표시 패널(75)이 제대로 동작하는지를 검사한다. 일반적으로 오토 프로브 검사라고 일컫는 이 검사는 탐침을 액정표시 패널(75)에 마련된 검사용 패드부(79)에 접촉시켜 검사에 필요한 신호를 데이터 라인과 게이트 라인에 인가해 각 액정셀을 구동시킨다.

검사용 패드부(79)는 집적회로 칩(79)의 양쪽에 이웃하게 마련돼 있다.

이 검사용 패드부(79)는 집적회로 칩(79)과 데이터 라인 사이에 마련된 데이터용 패드(79a)와 집적회로 칩(79)과 게이트 라인 사이에 마련된 게이트용 패드(79b)를 포함한다.

데이트용 패드(79a)는 집적회로 칩(79)과 데이터 라인 사이에 형성되지 않고 별도의 테스트 라인(791)을 통해서 한쪽으로는 집적회로 칩(79)과 연결되고, 다른 한쪽으로는 데이터 라인에 연결된다. 따라서, 점등 검사를 실시하고, 검사가 끝난 후에는 이 테스트 라인을 인위적으로 절단하기만 하면, 데이트용 패드(79a)로 인한 문제는 발생하지 않는다.

이와 비교해서, 게이트용 패드(79b)는 집적회로 칩(79)과 게이트 라인을 바로 연결하는 라인에 형성돼 있어, 점등 검사가 끝난 후에도 게이트용 패드(79b)를 회로적으로 분리할 수가 없고, 따라서 이 게이트용 패드(79b)에 문제가 생기면 액정표시 패널(75)이 제대로 동작하지 않는 문제가 있다.

도 2는 종래 기술에 따른 게이트용 패드(79b)의 단면 모습을 보여준다. 도 2에서, 게이트용 패드(79b)는 게이트 라인 형성할 때 같은 게이트 금속으로 이뤄진 제1 전극(110)이 기판(100) 위에 형성되고, 그 위를 게이트 절연막(120), 화소전극층(130), 그리고 층간절연막(140)이 순차적으로 적층 형성돼 있다. 제1 전극(110)은 게이트 절연막(120), 제1 투명전극층(130), 층간절연막(140)을 관통하는 접촉구(CH)에 의해 노출되고, 접촉구(CH)의 경사면과 노출된 제1 전극(110))위로 제2 전극(150)이 형성돼 제1 배선(110)이 대기 중에 노출되는 것을 방지하도록 구성돼 있다. 제2 전극(150)은 투명전극으로 공통전극 형성할 때 같이 형성된다.

이처럼 구성되는 게이트용 패드(79b)는 점등 검사시, 탐침(1)과 빈번히 접촉하게 되는데, 탐침(1)이 뾰족해 이 과정에서 제2 전극(150)이 깨지거나 벗겨지는 등의 문제가 발생한다. 이처럼 제2 전극(150)에 문제가 발생하면, 제2 전극(150)에 생긴 크랙(crack) 또는 벗겨진 부분으로 수분이나 나트륨(Na)이 침투해 제1 전극(110)을 부식시켜, 게이트 라인에 인가되는 신호가 왜곡된다.

본 발명은 이 같은 배경에서 창안된 것으로, 게이트 패드의 구조를 개선해서 게이트 패드가 손상되는 것을 방지하는데 있다.

본 발명의 일 실시예는 비표시 영역에 집적회로 칩이 구비되며, 상기 집적회로 칩에 이웃해서 점등 검사시 사용되는 패드부를 포함하는 액정표시 장치용 어레이 기판에 관한 것으로, 상기 비표시 영역에서 게이트 라인과 상기 집적회로 칩 사이를 연결하는 연결선과, 제1 접촉구를 통해 상기 연결선에 연결된 채 상기 연결선에서 분기된 연장선과, 상기 연장선의 일 단에 마련된 게이트용 패드를 포함해 구성된다.

이 액정표시 장치용 어레이 기판은 상기 연결선을 덮고 있는 게이트 절연막과, 상기 게이트 절연막을 관통해서 상기 연결선을 노출시키는 상기 제1 접촉구와, 일단이 상기 제1 접촉구를 통해서 상기 연결선에 연결된 채 상기 게이트 절연막 위에 형성되는 상기 연장선과, 상기 접촉구와 상기 연장선을 덮고 있는 보호막과, 상기 보호막을 관통해 상기 연장선의 타단을 노출시켜 상기 게이트용 패드의 패드 전극을 형성하는 제2 접촉구를 포함해 구성될 수 있다.

또한, 액정표시 장치용 어레이 기판은 상기 연결선을 덮고 있는 게이트 절연막과, 상기 게이트 절연막을 덮고 있는 보호막과, 상기 보호막과 상기 게이트 절연막을 관통해서 상기 연결선을 노출시키는 상기 제1 접촉구와, 상기 제1 접촉구를 통해서 일단이 상기 연결선에 연결된 채 상기 보호막 위에 형성되는 상기 연장선과, 상기 연장선의 타단으로 이뤄진 게이트용 패드의 패드 전극을 포함해 구성될 수 있다.

제1 실시예에 따르면, 연결선에 형성된 접촉구를 보호막이 덮고 있어 연결선이 안정적으로 보호될 수 있으며, 게이트용 패드가 연장선으로 인해 연결선과 분리돼 있으므로, 게이트용 패드가 손상되더라도 게이트 라인으로 입력되는 구동 전압을 왜곡시키는 문제는 발생하지 않는다.

제2 실시예에 따르면, 게이트용 패드가 연장선으로 인해 연결선과 분리돼 있으므로, 게이트용 패드가 손상되더라도 게이트 라인으로 입력되는 구동 전압을 왜곡시키는 문제는 발생하지 않는다. 그리고, 제1 접촉구는 투명전극이 노출된 상태이지만, 점등 검사시 탐침과 접촉하지 않으므로 종래기술에서 설명한 문제는 발생하지 않는다.

도 1은 종래기술에 따른 액정표시 패널을 보여주는 도면이다.
도 2는 도 1중 게이트용 패드의 단면 모습을 보여주는 도면이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 액정표시 패널을 보여주는 도면이다.
도 4는 도 3에 도시한 액정표시 패널의 평면 모습을 보여주는 도면이다.
도 5는 제1 실시예에 따른 게이트용 패드의 레이아웃을 보여주는 평면도이다.
도 6은 도 5의 VI-VI’선을 따른 단면도이다.
도 7은 제2 실시예에 따른 게이트용 패드의 레이아웃을 보여주는 평면도이다.
도 8은 도 7의 VIII-VIII’선을 따른 단면도이다.
도 9는 제1 실시예에 따른 게이트용 패드에 얼라인 마크가 형성된 레이아웃을 보여주는 평면도이다.

이하 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 바람직한 실시예들을 상세히 설명한다. 명세서 전체에 걸쳐서 동일한 참조번호들은 실질적으로 동일한 구성요소들을 의미한다. 이하의 설명에서, 본 발명과 관련된 공지 기능 혹은 구성에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우, 그 상세한 설명을 생략한다.

도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 액정표시 패널을 보여주는 도면이고, 도 4는 도 3에 도시한 액정표시 패널의 평면 모습을 보여주는 도면이다.

일 실시예의 액정표시 패널(20)은 각 화소마다 TFT(thin film transistor, 박막 트랜지스터)가 집적화된 어레이 기판(23), 이 어레이 기판(73) 위에 합착돼 컬러를 구현하는 컬러필터기판(21)과 이 기판들(21, 23) 사이에 주입되는 액정(미도시)을 포함한다.

집적회로 칩(31)은 컬러필터기판(21)과 어레이 기판(23)이 엇갈려 배치돼서 어레이 기판(23)의 일부가 노출된 비표시 영역(NA)에 실장되어 각 화소에 배치된 TFT를 제어한다.

어레이 기판(23)은 메트릭스로 배열된 화소마다 TFT를 포함하고, 또한 각 화소에서 교차하게 배열된 데이터 라인과 게이트 라인을 포함한다. 각 화소마다 형성된 TFT의 소스 단자에는 데이터 라인이 연결되고, 게이트 단자에는 게이트 라인이 연결된다. 데이터 라인과 게이트 라인은 집적회로 칩(31)에 연결되어 있다. 이 중 게이트 라인은 비표시 영역(NA)에 형성된 연결선(311)을 통해서 집적회로 칩(31)에 직/간접적으로 연결된다.

집적회로 칩(31)은 가요성 인쇄회로 기판을 통해 외부로부터 전기적 신호를 입력 받아, 이를 신호 처리해서 각 데이터 라인과 게이트 라인에 구동 신호를 입력해, 각 화소에 배치된 TFT를 턴 온 또는 턴 오프해 각 화소로 구동전압을 인가하거나 차단하도록 동작된다.

어레이 기판(23)은 비표시 영역(NA)에서 집적회로 칩(31)에 이웃하게 양쪽에 형성된 패드부(33)를 포함한다. 이 패드부(33)는 데이터용 패드부(33b)와 게이트용 패드부(33a)가 함께 형성돼 있다. 데이터용 패드부(33b)는 데이터 라인과 집적회로 칩(31) 사이에 연결돼, 데이터용 패드부(33b)를 통해서 표시 영역(AA)의 각 화소로 테스트 신호가 인가될 수 있도록 구성돼 있다. 그리고, 게이트용 패드부(33a)는 게이트 라인과 집적회로 칩(31) 사이에 연결돼 게이트용 패드부(33a)를 통해서 표시 영역(AA)의 각 화소로 테스트 신호가 인가될 수 있도록 구성돼 있다.

게이트용 패드부(33a)는 연장선(35)에 연결돼 있고, 연장선(35)의 일단은 접촉구(331)를 통해서 연결선(311)에 연결돼 있다. 연결선(311)은 집적회로 칩(31)과 게이트 라인 사이를 비표시 영역(NA)에서 연결한다. 이에 따라, 게이트용 패드(33a)는 연장선(35)과 접촉구(331)를 통해서 연장선(311)에 연결돼 표시 영역(AA)의 게이트 라인과 연결된다.

이처럼 본 실시예에서 게이트용 패드(33a)는 종전과 다르게 연결선(311) 상에 형성되지 않고 연장선(35)을 통해 별도로 구비되므로, 게이트용 패드(33a)가 손상되더라도 게이트 라인쪽으로 왜곡된 신호가 전달되는 것을 방지할 수 있다.

이처럼 구성되는 패드부(33)는 데이터용 패드부(33b)와 게이트용 패드부(33a)가 같이 형성되는 것이 바람직하다. 만일, 데이터용 패드부(33b)나 게이트용 패드부(33a)만 형성되는 경우, 패드부(33)를 통해서 테스트 신호를 인가할 때, 동일한 신호가 패드부(33)를 통해 동시에 인가돼 커플링이 발생할 수 있고, 따라서 신호 왜곡이 발생할 수 있다.

어레이 기판(23) 위에는 컬러필터기판(21)이 합착된다. 컬러필터기판(221)은 광이 통과하면서 소정의 색이 발현되는 색화소인 RGB 화소가 박막 공정에 의해 형성된 기판이다. 이 컬러필터기판(21)은 액정을 사이에 두고 어레이 기판(23)과 협지돼 액정표시 패널(20)이 된다.

도 5는 제1 실시예의 게이트 패드의 레이아웃을 보여주는 평면도이고, 도 6은 도 5의 VI- VI’선을 절단한 단면도이다.

도 5 및 도 6에서, 기판(231) 위에 집적회로칩(31)과 게이트 라인을 연결하는 연결선(311)이 형성돼 있다. 이 연결선(311)은 게이트 금속 패턴을 형성하는 과정에서 동일한 마스크에 의해 같이 형성될 수 있으며, 이 연결선(311)은 단일층이거나, 제1 및 제2 층이 적층된 구조를 가질 수 있다. 적층된 구조인 경우에, 제1 층은 ITO, TO, IZO, ITZO 등과 같은 투명 도전 물질로 이뤄지고, 제2 층은 Mo, Ti, Cu, AlNd, Al, Cr, Mo 합금, Cu 합금, Al 합금 등과 같은 금속 물질이 단일층으로 이뤄지거나, Al/Cr, Al/Mo, Al(Nd)/Al, Al(Nd)/Cr, Mo/Al(Nd)/Mo, Cu/Mo, Ti/Al(Nd)/Ti, Mo/Al, Mo/Ti/Al(Nd), Cu 합금/Mo, Cu 합금/Al, Cu 합금/Mo 합금, Cu 합금/Al 합금, Al/Mo 합금, Mo 합금/Al, Al 합금/Mo 합금, Mo 합금/Al 합금, Mo/Al 합금과 같이 금속물질이 2층 이상 적층된 구조로 이뤄진다.

도면에서는 연결선(311)이 Mo, Ti, Cu, AlNd, Al, Cr, Mo 합금, Cu 합금, Al 합금 등과 같은 금속 물질이 단일층으로 구성된 경우를 예시한다.

연결선(311) 위에는 PECVD, 스퍼터링 등의 증착 방법을 이용해서 형성된 게이트 절연막(233)이 위치한다. 이 게이트 절연막(136)은 산화 실리콘(SiOx) 또는 질화 실리콘(SiNx) 등의 무기물로 구성될 수 있다

이 게이트 절연막(233) 위로, 연결선(311)을 노출시키는 접촉구(CH1)가 형성돼, 연결선(311)의 상부가 노출된다.

접촉구(CH1)에 의해 노출된 연결선(311)과 게이트 절연막(233) 위로 투명전극으로 이뤄진 연장선(35)이 형성돼 있다. 연장선(35)은 ITO, TO, IZO, ITZO 등과 같은 투명 도전 물질로 이뤄지며, 화소전극을 형성하면서 동일한 마스크에

연장선(35) 위로, 유기물로 이뤄진 보호막(235)이 전면적으로 형성돼 있다. 이 보호막(235)은 유전상수가 작은 아크릴(acryl)계 유기 화합물, BCB 또는 PFCB 등과 같은 유기 절연물로 이뤄진다. 또한 이 보호막(235)은 게이트 절연막(233)과 동일하게 형성될 수도 있다.

이 보호막(235)은 투명전극(35)의 일부를 노출시키는 제2 접촉구(CH2)를 포함한다. 이 제2 접촉구(CH2)는 비표시 영역에서 투명전극(35)을 노출시켜 게이트용 패드 전극(351)를 형성한다.

제1 실시예에 따르면, 연결선(311)에 형성된 접촉구(CH1)를 보호막(235)이 덮고 있어 연결선(311)이 안정적으로 보호될 수 있으며, 게이트용 패드(32a)가 연장선(35)으로 인해 연결선(35)과 분리돼 있으므로, 게이트용 패드(32a)가 손상되더라도 게이트 라인으로 입력되는 구동 전압을 왜곡시키는 문제는 발생하지 않는다.

도 7은 제2 실시예의 게이트 패드의 레이아웃을 보여주는 평면도이고, 도 8은 도 5의 VIII- VIII’선을 절단한 단면도이다.

도 5 및 도 6에서, 기판(231) 위에 집적회로칩(31)과 게이트 라인을 연결하는 연결선(311)이 형성돼 있다. 이 연결선(311)은 게이트 금속 패턴을 형성하는 과정에서 동일한 마스크에 의해 같이 형성될 수 있으며, 이 연결선(311)은 단일층이거나, 제1 및 제2 층이 적층된 구조를 가질 수 있다. 적층된 구조인 경우에, 제1 층은 ITO, TO, IZO, ITZO 등과 같은 투명 도전 물질로 이뤄지고, 제2 층은 Mo, Ti, Cu, AlNd, Al, Cr, Mo 합금, Cu 합금, Al 합금 등과 같은 금속 물질이 단일층으로 이뤄지거나, Al/Cr, Al/Mo, Al(Nd)/Al, Al(Nd)/Cr, Mo/Al(Nd)/Mo, Cu/Mo, Ti/Al(Nd)/Ti, Mo/Al, Mo/Ti/Al(Nd), Cu 합금/Mo, Cu 합금/Al, Cu 합금/Mo 합금, Cu 합금/Al 합금, Al/Mo 합금, Mo 합금/Al, Al 합금/Mo 합금, Mo 합금/Al 합금, Mo/Al 합금과 같이 금속물질이 2층 이상 적층된 구조로 이뤄진다.

도면에서는 연결선(311)이 Mo, Ti, Cu, AlNd, Al, Cr, Mo 합금, Cu 합금, Al 합금 등과 같은 금속 물질이 단일층으로 구성된 경우를 예시한다.

연결선(311) 위에는 PECVD, 스퍼터링 등의 증착 방법을 이용해서 형성된 게이트 절연막(233)이 위치한다. 이 게이트 절연막(136)은 산화 실리콘(SiOx) 또는 질화 실리콘(SiNx) 등의 무기물로 구성될 수 있다

이 게이트 절연막(233) 위로, 유기물로 이뤄진 보호막(235)이 전면적으로 형성돼 있다. 이 보호막(235)은 유전상수가 작은 아크릴(acryl)계 유기 화합물, BCB 또는 PFCB 등과 같은 유기 절연물로 이뤄진다. 또한 이 보호막(235)은 게이트 절연막(233)과 동일하게 형성될 수도 있다.

보호막(235)은 제1 접촉구(CH1)를 포함한다. 이 제1 접촉구(CH1)는 보호막(235)과 게이트 절연막(233)을 관통해 연결선(311)의 상부를 노출시킨다.

보호막(235) 위로는 접촉구(CH1)에 의해 노출된 연결선(311)과 보호막(235) 위로 투명전극으로 이뤄진 연장선(35)이 형성돼 있다. 이 투명전극(35)은 ITO, TO, IZO, ITZO 등과 같은 투명 도전 물질로 이뤄지며, 공통전극을 형성하면서 동일한 마스크에 의해 형성될 수 있다.

투명전극(35)의 일단은 비표시 영역에서 게이트용 패드 전극(351)을 이룬다.

제2 실시예에 따르면, 게이트용 패드(32a)가 연장선(35)으로 인해 연결선(35)과 분리돼 있으므로, 게이트용 패드(32a)가 손상되더라도 게이트 라인으로 입력되는 구동 전압을 왜곡시키는 문제는 발생하지 않는다.

그리고, 제1 접촉구(CH1)는 투명전극이 노출된 상태이지만, 점등 검사시 탐침과 접촉하지 않으므로 종래기술에서 설명한 문제는 발생하지 않는다.

한편, 상술한 제1 실시예 및 제2 실시예에서, 게이트용 패드 전극(351)이 모두 투명전극으로 이뤄져 있다. 따라서, 게이트용 패드 전극이 잘 보이지 않을 수 있으므로, 도 9에서 예시하는 얼라인 마크(AM)를 더 포함할 수 있다.

도 9는 제1 실시예에 따른 게이트용 패드에 얼라인 마크(AM)가 형성된 레이아웃을 보여주는 평면도이다.

도 9에서, 얼라인 마크(AM)는 연결선(311)과 같이 기판(231) 위에 형성되며, 연결선(311)과 얼라인 마크(AM)는 게이트 금속 패턴을 형성하는 과정에서 동일한 마스크에 의해 같이 형성되거나, 소스/드레인 메탈을 형성하는 과정에서 동일한 마스크에 의해 형성될 수도 있다.

이 얼라인 마크(AM)는 4각형 모양의 게이트용 패드 전극(351) 각 꼭지점에 대응하는 위치에 형성돼 있으며, 각 꼭지점을 감싸는 모양을 이뤄 'ㄱ'자 형상을 이룬다.

이 얼라인 마크(AM)는 게이트용 패드 전극(351)의 위치를 알려주는 구성이므로, 도 9에 도시한 모양에 국한되지 않고, 게이트용 패드 전극의 위치를 알려주는 형태라면 어떠한 것도 가능하고, 그 수 또한 제한은 없다.

예로, 도 9에서는 얼라인 마크(AM)가 4 꼭지점에 대응하게 4개로 구성된 것을 설명하나, 대각선상에 위치하는 2 꼭지점에만 형성되는 것도 가능하다.

이상 설명한 내용을 통해 당업자라면 본 발명의 기술사상을 일탈하지 아니하는 범위에서 다양한 변경 및 수정이 가능함을 알 수 있을 것이다. 따라서, 본 발명의 기술적 범위는 명세서의 상세한 설명에 기재된 내용으로 한정되는 것이 아니라 특허 청구의 범위에 의해 정하여져야만 할 것이다.

Claims (6)

1. 비표시 영역에서 게이트 라인과 집적회로 칩 사이를 연결하는 연결선;
   상기 연결선을 덮고 있는 게이트 절연막;
   상기 게이트 절연막을 관통해서 상기 연결선을 노출시키는 제1 접촉구;
   상기 게이트 절연막 상에 위치하고 상기 제1 접촉구를 통해 상기 연결선에 일단이 연결된 연장선;
   상기 제1 접촉구와 상기 연장선을 덮는 보호막; 및
   상기 연장선의 타단에 게이트용 패드의 패드 전극이 형성되도록 상기 보호막을 관통하여 상기 연장선의 타단을 노출하는 제2 접촉구;
   를 포함하는 액정표시 장치용 어레이 기판.
   
2. 삭제
3. 제1항에 있어서,
   상기 연장선은 투명전극으로 이뤄진 액정표시 장치용 어레이 기판.
4. 삭제
5. 삭제
6. 제1항에 있어서,
   상기 연결선과 동일한 게이트 메탈로 구성되거나 소스/드레인 메탈로 구성되며, 상기 패드 전극의 위치를 알려주는 얼라인 마크를 더 포함하는 액정표시 장치용 어레이 기판.

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