KR101958222B1 - 탑형 배전반의 모듈형 커버 구조 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 탑형 배전반의 모듈형 커버 구조에 관한 것이다. 본 발명에서는, 챔버 등의 장비의 상측 내부에 설치된 배전반의 상부에 형성된 적어도 하나의 오픈된 개구부와; 상기 개구부의 4 변에 상측으로 돌출 형성된 소정 높이의 지지부와, 상기 지지부의 상단부에서 상기 개구부의 외측으로 절곡 형성되고 적어도 2곳에 나사가 통과할 수 있는 통공 또는 절개부를 갖는 소정 폭의 제1 날개부와, 상기 제1 날개부에 형성된 적어도 하나의 통공 또는 절개부와 대응하는 위치의 상기 지지부에 고정 설치되어 나사를 고정시키기 위한 너트부를 갖는 커버고정부와; 상기 개구부의 4 변에 형성된 상기 날개부를 포함하는 폭과 길이보다 큰 폭과 길이를 갖고 상기 제1 날개부에 형성된 통공 또는 절개부의 위치에 대응하는 위치에 나사가 통과할 수 있는 통공이 형성된 커버상판과, 상기 커버상판의 전단부와 후단부로부터 하방으로 절곡되어 형성된 소정 높이의 제1 벽체부와, 상기 커버상판의 양측변으로부터 하방 절곡되어 형성된 소정 높이의 제2 벽체부를 포함하는 커버부를 포함하는 탑형 배전반의 모듈형 커버 구조가 개시된다.

Description

탑형 배전반의 모듈형 커버 구조{Module type cover structure of tower type switchboard}
본 발명은 탑형 배전반의 모듈형 커버 구조에 관한 것이다. 더 상세하게는 전자제품 등의 큐어 챔버와 같이 주로 옥내에 설치되는 챔버의 배전반의 커버 구조로서, 챔버의 설치 스페이스를 줄이기 위해서 챔버의 전기공급에 필요한 배전반을 챔버의 상측에 위치시키고 상부를 오픈시킨 구성에 있어서, 배전반의 오픈된 상부로의 침수 등을 방지하기 위한 탑형 배전반의 모듈형 커버 구조에 관한 것이다.
반도체 제조 공정에서 필요한 반도체 패키지 제조용 경화 오븐 또는 클린 챔버 장비 등에 전원을 공급하기 위한 배전반은 장비의 측변에 설치되어 있는 것이 일반적이다.
대한민국 등록특허 제10-1475506호(등록일 2014년12월16일)의 반도체 패키지 제조용 오븐의 발명이 특허등록되어 있다.
상기 특허발명은 반도체 패키지 제조용 오븐 장비에 전원을 공급하기 위한 배전반이 장비의 측면에 설치된 발명이다.
그러나 상기 장비 등은 반도체 제조 공장의 클린룸 등의 실내에 설치되기 때문에 배전반이 장비의 측면에 설치되면 스페이스를 많이 차지하게 되어 있다. 그러므로, 상기 장비 등의 설치 스페이스를 줄이기 위해서 배전반을 장비의 상부에 설치하는 장비가 연구되고 있다. 배전반을 상기 장비의 상부에 설치하는 경우, 배전반의 온도 상승을 감소시키기 위해서 통풍이 되도록 배전반 상부를 오픈시키는 구조로 개발되고 있다.
상기 장비의 상측에 설치된 배전반의 상부가 오픈된 경우, 장비가 설치되는 장소가 반도제 제조 공정에 필요한 실내이고, 그 실내의 천정에는 화재 진화를 위한 스프링쿨러가 필수적으로 설치되어 있다. 따라서, 화재 발생시 또는 화재 발생의 감지 오류시, 또는 스프링쿨러의 오작동시에 상기 스프링쿨러에서 물이 뿌려지면서 상기 장비의 배전반에 침수가 발생하여 전기적 쇼트 또는 감전사고 등이 발생할 수 있다.
따라서, 상기 장비의 배전반 상부의 오픈된 부분을 폐쇄시키면서, 통풍이 보장되고 침수가 발생하지 않고, 배전반의 관리가 용이한 탑형 배전반의 모듈형 커버 구조에 관한 발명이 요망된다.
대한민국 등록특허 제10-1475506호(등록일 2014년12월16일)
본 발명은 상기 종래기술의 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 본 발명의 목적은 반도체 제조 공정에 사용되는 오븐 또는 챔버 등의 장비(이하 "장비"라 함)에 전원을 공급하기 위한 배전반이 상측에 설치된 장비에서 배전반 상부의 오픈된 부분을 폐쇄시키면서, 통풍이 보장되고 침수가 발생하지 않고, 배전반의 관리가 용이한 탑형 배전반의 모듈형 커버 구조를 제공함에 있다.
상기 본 발명의 목적을 달성하기 위한 기술적 해결 수단으로서, 본 발명의 제1 관점으로, 장비의 상측 내부에 설치된 배전반의 상부에 형성된 적어도 하나의 오픈된 개구부와; 상기 개구부의 4 변에 상측으로 돌출 형성된 소정 높이의 지지부와, 상기 지지부의 상단부에서 상기 개구부의 외측으로 직각으로 절곡 형성되고 적어도 2곳에 나사가 통과할 수 있는 통공 또는 절개부를 갖는 소정 폭의 제1 날개부와, 상기 제1 날개부에 형성된 적어도 하나의 통공 또는 절개부와 대응하는 위치의 상기 지지부에 고정 설치되어 나사를 고정시키기 위한 너트부를 갖는 커버고정부와; 상기 개구부의 4 변에 형성된 상기 제1 날개부를 포함하는 폭과 길이보다 큰 폭과 길이를 갖고 상기 제1 날개부에 형성된 통공 또는 절개부의 위치에 대응하는 위치에 나사가 통과할 수 있는 통공이 형성된 커버상판과, 상기 커버상판의 전면과 후면에 직각으로 절곡되어 형성된 소정 높이의 제1 벽체부와, 상기 커버상판의 양측면에 직각으로 절곡되어 형성되고 상기 제1 벽체부의 높이보다 작은 높이를 갖는 제2 벽체부를 포함하는 커버부를 포함하는 탑형 배전반의 모듈형 커버 구조가 제시된다.
또한, 본 발명의 제2 관점으로, 상기 본 발명의 제1 관점의 발명에서, 상기 커버몸체부의 배면에 길이 방향으로 고정 설치된 소정의 폭과 길이를 갖는 보강부를 더 포함하는 탑형 배전반의 모듈형 커버 구조가 제시된다.
또한, 본 발명의 제3 관점으로, 상기 본 발명의 제1 관점의 발명에서, 상기 제1 벽체부 및 제2 벽체부는 각각 하단부에서 내측으로 직각 절곡된 소정 폭의 제2 날개부를 더 포함하는 탑형 배전반의 모듈형 커버 구조가 제시된다.
본 발명에 의하면, 반도체 제조 공정에 사용되는 오븐 또는 챔버 등의 장비에 전원을 공급하기 위한 탑형 배전반의 오픈된 상부를 폐쇄시키면서, 통풍이 보장되고 침수가 발생하지 않고, 배전반 상부 전체를 덮는 하나의 커버가 아닌 적어도 하나의 모듈형 커버로써 배전반의 관리면에 있어서도 유리한 효과가 있다.
도 1은 본 발명의 탑형 배전반의 모듈형 커버 구조가 설치된 반도체 제조 공정용 오븐 또는 챔버의 실시예에 관한 개략적인 구성도이다.
도 2는 본 발명의 탑형 배전반의 모듈형 커버 구조가 설치된 반도체 제조 공정용 오븐 또는 챔버의 개략적인 평면도이다.
도 3은 본 발명의 탑형 배전반의 모듈형 커버 구조의 실시예 중 주요부인 커버고정부의 실시예에 관한 개략적인 구성도이다.
도 4는 도 3의 커버고정부의 실시예에 관한 개략적인 분해사시도이다.
도 5는 도 4의 커버고정부의 실시예의 개략적인 일부 조립도이다.
도 6은 본 발명의 탑형 배전반의 모듈형 커버 구조의 실시예에 관한 커버고정부와 커버의 분리 사시도이다.
도 7은 본 발명의 탑형 배전반의 모듈형 커버 구조의 실시예 중 커버부의 상부 구조에 관한 실시예의 개략적인 구성도이다.
도 8은 본 발명의 탑형 배전반의 모듈형 커버 구조의 실시예 중 커버부의 하부 구조에 관한 실시예의 개략적인 구성도이다.
도 9는 도 8의 A-A의 개략적인 단면 구성도이다.
도 10은 도 8의 B-B의 개략적인 단면 구성도이다.
도 11은 본 발명의 탑형 배전반의 모듈형 커버 구조의 실시예의 커버고정부와 커버부의 개략적인 결합 구성도이다.
도 12는 도 11의 A-A의 개략적인 단면 구성도이다.
도 13은 도 11의 B-B의 개략적인 단면 구성도이다.
이하에서 본 발명의 실시예를 첨부한 도면을 참조하면서 상세히 설명하기로 한다.
도 1은 본 발명의 탑형 배전반의 모듈형 커버 구조가 설치된 반도체 제조 공정용 오븐 또는 챔버의 실시예에 관한 개략적인 구성도이다. 도 1에 도시한 바와 같이, 반도체 제조 공정용 오븐 또는 챔버(이하 "챔버"라 함)(10)는, 상기 챔버(10)의 정면에 설치된 도어(20)와; 상기 챔버(10)의 상측에 설치되어 상기 챔버(20)의 구동에 필요한 전원을 공급하기 위한 탑형 배전반(30)과; 상기 탑형 배전반(30)의 오픈된 상부를 덮는 적어도 하나의 모듈형 배전반 커버 구조(100~130)를 포함하는 구성이다.
도 2는 본 발명의 탑형 배전반의 모듈형 커버 구조가 설치된 반도체 제조 공정용 오븐 또는 챔버의 개략적인 평면도이다. 도 2에 도시한 바와 같이 본 발명의 탑형 배전반의 모듈형 커버 구조(100)는, 탑형 배전반이 설치된 상부에 다수의 개구부가 형성되고 이들 개구부를 덮는 커버 구조가 모듈형으로 형성된 구성이다.
도 3은 본 발명의 탑형 배전반의 모듈형 커버 구조의 실시예 중 주요부인 커버고정부의 실시예에 관한 개략적인 구성도이다. 도 3에 도시한 바와 같이 본 발명의 커버고정부(200)는, 챔버의 상부에 설치된 탑형 배전반(30)의 상부에 형성된 적어도 하나의 오픈된 개구부를 갖고 상기 개구부의 4 변에 상측으로 돌출 형성된 소정 높이의 지지부(211a)(211b)(231)(233)와; 상기 지지부(211a)(211b)(231)(233)의 상단부에서 상기 개구부의 외측으로 직각으로 절곡 형성되고 적어도 2곳에 나사가 통과할 수 있는 통공 또는 절개부(213a)(213b)(213c)(213d)를 갖는 소정 폭의 제1 날개부(212a)(212b)(232)(234)와, 상기 날개부(212a)(212b)(232)(234)에 형성된 적어도 하나의 통공 또는 절개부(213a)(213b)(213c)(213d)와 대응하는 위치의 상기 지지부(211a)(211b)(231)(233)에 고정 설치되어 나사를 고정시키기 위한 너트부(240a)(240b)(240c)(240d)를 포함하는 구성이다.
도 4는 도 3의 커버고정부의 실시예에 관한 개략적인 분해 사시도이다. 도 4에 도시한 바와 같이 본 발명의 커버고정부(200)는, 챔버(10)의 상측에 설치된 탑형 배전반(30)이 설치된 오픈된 상부에 일정 간격을 두고 전후에 횡방향으로 돌출 형성된 소정 높이의 전후의 지지부(211a)(211b)와; 상기 전후의 지지부(211a)(211b)에 소정의 간격을 두고 소정의 폭과 깊이로 절개 형성된 고정부재재치부(214a)(214b)(214c)(214d)와; 상기 고정부재재치부(214a)(214b)(214c)(214d)의 사이이고 상기 전후의 지지부(211a)(211b)의 상단부에서 외측으로 직각 절곡되어 있고 상기 고정부재재치부(214a)(214b)(214c)(214d)에 근접한 위치에 나사가 통과할 수 있는 통공 또는 절개부(213a)(213b)(213c)(213d)가 각각 형성된 전후의 날개부(212a)(212b)와; 상기 전후의 지지부(211a)(211b)의 간격의 길이에 대응하는 길이와 상기 고정부재재치부(214a)(214b)(214c)(214d)의 폭에 대응하는 폭을 갖는 몸체부(221)와, 상기 몸체부(221)의 전후 단부에서 하방으로 직각 절곡되어 있고 상기 고정부재재치부(214a)(214b)(214c)(214d)의 아래 부분의 지지부(211a)(211b)에 결합 고정시키기 위한 결합부(224)(225)와, 상기 몸체부(221)의 양측변에서 상방으로 직각 절곡된 소정의 높이를 갖는 측부커버고정부재결합부(222)(223)를 포함하는 고정부재(220a)(220b)와; 소정의 높이와 상기 고정부재(220a)(220b)의 길이에 대응하는 길이를 갖고 상기 고정부재(220a)(220b)의 양측 측부커버고정부재결합부(222)(223)에 각각 결합 고정되는 좌우의 지지부(231)(233)와, 상기 좌우의 지지부(231)(233)의 상단부에서 외측으로 직각 절곡 형성된 소정 폭의 좌우의 날개부(232)(234)를 포함하는 측부커버고정부재(230a)(230b)(230c)(230d)와; 상기 전후의 날개부(212a)(212b)의 통공 또는 절개부((213a)(213b)(213c)(213d)에 대응하는 위치의 상기 전후의 지지부(211a)(211b)에 고정 설치되고 나사가 상기 통공 또는 절개부(213a)(213b)(213c)(213d)를 통과하여 삽입될 수 있는 나사홈이 형성된 너트부재(240a)(240b)(240c)(240d)를 포함하는 구성이다.
도 5는 도 4의 커버고정부의 실시예의 개략적인 일부 조립도이다. 도 5에 도시한 바와 같이 본 발명의 커버고정부는, 좌우의 고정부재(220a)(220b)와 측부커버고정부재(230a)(230b)(230c)(230d)가 결합된 좌우의 좌우커버고정부(250a)(250b)와, 전후의 날개부(212a)(212b)의 통공 또는 절개부(213a)(213b)(213c)(213d)의 하부 지지부(211a)(211b)에 각각 너트부재(240a)(240b)(240c)(240d)가 결합된 전후커버고정부를 포함하는 구성이다.
도 6은 본 발명의 탑형 배전반의 모듈형 커버 구조의 실시예에 관한 커버고정부와 커버의 분리 사시도이다. 도 6에 도시한 바와 같이 본 발명의 탑형 배전반의 모듈형 커버 구조는 챔버의 상측에 설치된 배전반의 오픈된 상부에 설치한 커버고정부(200)와; 상기 커버고정부의 4 변의 제1 날개부를 덮고 상기 지지부에 설치된 너트부재에 나사 등으로 고정시키기 위한 커버부(100)를 포함하는 구성이다.
도 7은 본 발명의 탑형 배전반의 모듈형 커버 구조의 실시예 중 커버부의 상부 구조에 관한 실시예의 개략적인 구성도이다. 도 7에 도시한 바외 같이 본 발명의 커버부(100)는, 소정의 폭과 길이를 갖는 커버상판(110)과; 상기 커버상판(110)의 4 모서리 부분에 형성된 나사홈(120a)(120b)(120c)(120d)과; 상기 커버상판(110)의 전단부와 후단부에 거의 하방 직각으로 절곡된 소정 높이의 제1 벽체부(130)와, 상기 커버상판(110)의 양측면에 거의 하방 직각으로 절곡되어 형성되고 상기 제1 벽체부(130)의 높이보다 작은 높이를 갖는 제2 벽체부(140)를 포함하는 구성이다.
도 8은 본 발명의 탑형 배전반의 모듈형 커버 구조의 실시예 중 커버부의 하부 구조에 관한 실시예의 개략적인 구성도이다. 도 8에 도시한 바와 같이 본 발명의 커버부(100)는, 상기 커버상판(110)의 저면 중앙에 길이 방향으로 고정 설치된 소정의 폭과 길이를 갖는 보강부(150)를 포함하고, 상기 제1 벽체부(130)는 커버상판(110)의 전단부 및 후단부로부터 하방으로 절곡 형성된 소정 높이의 제1 벽체(131)와; 상기 제1 벽체(131)의 하단부로부터 내측으로 절곡 형성된 소정 폭의 제2 날개부(132)를 포함하고, 상기 제2 벽체부(140)는 커버상판(110)의 좌변 및 우변으로부터 하방으로 절곡 형성된 소정 높이의 제2 벽체(141)와; 상기 제2 벽체(141)의 하단부로부터 내측으로 절곡 형성된 소정 폭의 제3 날개부(142)를 포함하는 구성이다.
도 9는 도 8의 A-A의 개략적인 단면 구성도이다. 도 9에 도시한 바와 같이 커버상판(110)의 저면에 고정 설치된 보강부(150)와; 좌우측에 상기 커버상판(110)으로부터 하방 절곡된 제2 벽체(141) 및 상기 제2 벽체(141)의 하단부에서 내측으로 절곡된 소정 폭의 제3 날개부(142)가 형성된 구성이다.
도 10은 도 8의 B-B의 개략적인 단면 구성도이다. 도 10에 도시한 바와 같이 커버상판(110)의 전단부 및 후단부에 상기 커버상판(110)으로부터 하방 절곡된 제1 벽체(131) 및 상기 제1 벽체(131)의 하단부에서 내측으로 절곡된 소정 폭의 제2 날개부(132)가 형성된 구성이다.
도 11은 본 발명의 탑형 배전반의 모듈형 커버 구조의 실시예의 커버고정부와 커버부의 개략적인 결합 평면 구성도이다. 도 11에 도시한 바와 같이 본 발명의 탑형 배전반의 모듈형 커버 구조는 커버고정부의 지지부에 설치된 너트부에 커버부의 커버상판에 형성된 나사홈을 일치시키고 나사를 이용하여 결합시킨 구성이다.
도 12는 도 11의 A-A의 개략적인 단면 구성도이다. 도 12에 도시한 바와 같이 커버부와 커버고정부의 전단부 및 후단부가 나사 등의 결합수단으로 결합된 구성이다.
도 13은 도 11의 B-B의 개략적인 단면 구성도이다. 도 13에 도시한 바와 같이 커버부와 커버고정부의 좌변과 우변이 결합된 구성이다.
10: 챔버본체
20: 챔버도어
30: 탑형 배전반
100: 커버부
200: 커버고정부

Claims (7)

  1. 챔버의 상측에 설치된 배전반의 케이스 상부에 형성된 오픈된 장방형의 개구부의 횡방향에서 전단부와 후단부를 따라 상방으로 돌출 설치된 전후커버고정부와, 상기 전후커버고정부 내에서 좌측 커버고정부와 상기 좌측 커버고정부와 소정 거리 이격된 위치의 우측 커버고정부 각각의 단부가 상기 전후커버고정부의 전방 커버고정부와 후방 커버고정부에 걸치는 형상으로 돌출 설치된 좌우커버고정부를 포함하는 커버고정부와; 상기 커버고정부를 상측에서 덮고 상기 커버고정부에 고정 설치되는 커버부를 포함하고;
    상기 커버고정부의 전후커버고정부는, 상기 케이스 상부 표면에 대해 상방으로 돌출 형성되고 소정의 높이를 갖는 전후의 지지부(211a)(211b)와; 상기 전후의 지지부(211a)(211b)의 각각의 상단부에서 서로 마주보는 면의 외측으로 절곡 형성된 소정 폭의 전후의 날개부(212a)(212b)와; 상기 전후커버고정부에 형성되고 상기 좌우커버고정부의 좌측커버고정부의 양단부 및 우측커버고정부의 양단부가 삽입되어 고정시키기 위해 상기 전후커버고정부의 상기 전후의 지지부(211a)(211b) 및 전후의 날개부(212a)(212b)를 하방으로 소정의 깊이 및 폭으로 절개 형성한 4개의 고정부재재치부(214a)(214b)(214c)(214d)와; 상기 고정부재재치부(214a)(214b)(214c)(214d)의 사이이고 상기 고정부재재치부(214a)(214b)(214c)(214d)에 근접한 위치의 상기 전후의 날개부(212a)(212b)에 나사가 통과할 수 있도록 형성된 4개의 통공 또는 절개부((213a)(213b)(213c)(213d)와; 상기 전후의 날개부(212a)(212b)의 통공 또는 절개부((213a)(213b)(213c)(213d)에 대응하는 하부 위치의 상기 전후의 지지부(211a)(211b)에 고정 설치되고 나사가 상기 통공 또는 절개부(213a)(213b)(213c)(213d)를 통과하여 삽입될 수 있는 나사홀이 형성된 "ㄱ" 형상의 소정 폭을 갖는 4개의 너트부재(240a)(240b)(240c)(240d)를 포함하고;
    상기 커버고정부의 좌우커버고정부는, 상기 전후의 지지부(211a)(211b)의 간격의 길이에 대응하는 길이와 상기 고정부재재치부(214a)(214b)(214c)(214d)의 폭에 대응하는 폭을 갖는 몸체부(221)와, 상기 몸체부(221)의 전후 단부에서 하방으로 직각 절곡되어 있고 상기 고정부재재치부(214a)(214b)(214c)(214d)의 아래 부분의 지지부(211a)(211b)에 결합 고정시키기 위한 결합부(224)(225)와, 상기 몸체부(221)의 양측변에서 상방으로 직각 절곡된 소정의 높이를 갖는 측부커버고정부재결합부(222)(223)를 포함하는 "ㄷ" 형상의 좌우 2개의 고정부재(220a)(220b)와; 소정의 높이와 상기 고정부재(220a)(220b)의 길이에 대응하는 길이를 갖고 상기 고정부재(220a)(220b)의 양측 측부커버고정부재결합부(222)(223)에 각각 결합 고정되는 좌우의 지지부와, 상기 좌우의 지지부의 상단부에서 각각 내측으로 직각 절곡 형성된 소정 폭의 좌우의 날개부를 포함하는 2개의 측부커버고정부재(230a)(230d)를 포함하고;
    상기 커버부(100)는, 상기 커버고정부의 전후커버고정부 및 좌우커버고정부와 대응되는 소정의 폭과 길이를 갖는 커버상판(110)과; 상기 커버상판(110)의 4 모서리 부분의 상기 전후커버고정부의 너트부재(240a)(240b)(240c)(240d)의 나사홀과 대응하는 위치에에 형성된 나사홀(120a)(120b)(120c)(120d)과; 상기 커버상판(110)의 전단부와 후단부에 각각 하방 직각으로 절곡된 소정 높이의 제1 벽체(131)와 상기 제1 벽체(131)의 하단부로부터 내측으로 절곡 형성된 소정 폭의 제2 날개부(132)를 구비한 제1 벽체부(130)와, 상기 커버상판(110)의 양측단에 하방 직각으로 절곡되어 형성되고 상기 제1 벽체부(130)의 높이보다 낮은 높이를 갖는 제2 벽체(141) 및 상기 제2 벽체(141)의 하단부에서 내측으로 절곡 형성된 소정 폭의 제3 날개부(142)를 구비한 제2 벽체부(140)를 포함하고,
    상기 커버고정부에 상기 커버부를 결합했을 때, 상기 전후커버고정부의 날개부와 상기 커버부, 상기 커버부의 제2 날개부와 케이스 상면, 및 상기 커버부의 제3 날개부와 케이스 상면의 사이에 소정의 간격이 형성되어 있는 제1 커버모듈과;
    상기 전후커버고정부, 좌우커버고정부 및 커버부를 포함하는 커버모듈이 상기 전후커버고정부를 따라 일정 간격으로 복수개가 설치되되, 상기 제1 커버모듈의 좌측 고정부재(220a)의 몸체부(221)는 인접한 제2 커버모듈을 상기 제1 커버모듈과 이격시키고 상기 몸체부(221)의 좌측의 측부커버고정부재(230b)는 상기 제2 커버모듈의 커버부의 일측부의 측부커버고정부재로 되고, 상기 제1 커버모듈의 우측 고정부재(220b)의 몸체부는 인접한 제3 커버모듈을 상기 제1 커버모듈과 이격시키고 상기 몸체부의 우측의 측부커버고정부재(230c)는 상기 제3 커버모듈의 커버부의 일측부의 측부커버고정부재로 되는 것을 특징으로 탑형 배전반의 모듈형 커버 구조.
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