KR101940687B1 - 디스플레이 기판 클리닝용 세정수 공급장치 - Google Patents
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Abstract
본 발명은 내부 공간부를 갖는 박스형 캐비닛; 상기 캐비닛의 공간부에 배치되는 세정수 인렛라인 및 아웃렛라인; 상기 캐비닛의 공간부에 배치되고 상기 인렛라인의 출구와 상기 아웃렛라인의 입구 각각이 연결되는 워터펌프; 상기 캐비닛의 공간부 내외로 상기 워터펌프의 출입을 안내하는 가이드수단; 및 상기 가이드수단에 의해 상기 캐비닛의 공간부 내에 위치한 상기 워터펌프의 움직임을 제한하기 위한 장착수단;으로 이루어지도록 구현함으로써, 가이드수단에 의해 캐비닛 내로의 워터펌프 입출입이 가능하고, 장착수단을 통해 워터펌프의 움직임을 제한하거나 이를 해제할 수 있어 캐비닛으로부터 워터펌프를 쉽게 탈착하여 워터펌프에 대한 수리 및 교체 등의 유지보수가 가능한 디스플레이 기판 클리닝용 세정수 공급장치에 관한 것이다.
Description
본 발명은 세정수를 이용해 디스플레이 기판을 클리닝하기 위한 세정장치로 이산화탄소 버블을 포함한 세정수를 공급하기 위한 세정수 공급장치에 관한 것으로, 특히 세정수 강제 급수를 위한 워터펌프가 내장된 캐비닛 내로 워터펌프의 입출입이 자유롭게 이루어질 수 있도록 하여 워터펌프에 대한 수리 및 교체 등의 유지보수가 용이한 디스플레이 기판 클리닝용 세정수 공급장치에 관한 기술이다.
각종 평판디스플레이(FPD : Flat Panel Display)의 제조공정에서 패턴을 형성할 때에는 포토레지스트 코팅(photoresist coating)을 행하는데, 포토레지스트 코팅을 하기 전에 기판의 표면에 존재하는 유기물이나 무기물 등의 파티클을 제거하는 세정공정이 요구된다.
세정공정 중 특히 습식세정공정에서는 일반적으로 프리웨팅(pre-wetting)과 노즐 샤워(nozzle shower)를 실시하게 된다. 프리웨팅은 아쿠아 나이프로 불리우는 프리웨팅용 세정장치를 이용하여 기판의 표면을 탈이온수(deionized water)와 같은 세정수로 고르게 적셔주는 과정으로서, 아쿠아 나이프는 물방울의 불균일한 낙하에 의한 기판 표면의 불량 웨팅을 사전에 막아주게 된다.
그리고 노즐 샤워 과정에서는 이렇게 프리웨팅된 기판의 표면에 묻어 있는 파티클을 고압으로 분사되는 세정액으로 제거하게 된다.
기판 클리닝을 위한 세정수를 세정장치 측으로 공급하기 위한 기술로는,
대한민국 특허등록 제10-1219029호 (2012.12.31.등록, 이하에서는 '문헌 1'이라고 함) 『기판세정장치 및 세정수 공급방법』이 제시되어 있는바,
문헌 1은 기판이송경로를 따라 이송되는 기판에 대하여 세정수를 최초 분사하는 최초 분사부와 세정수를 최종 분사하는 최종 분사부를 포함하는 분사부와, 상기 최종 분사부에서 기판에 분사된 세정수를 회수하여 그 후방의 상기 최초 분사부까지 순환라인을 통해 순환공급하는 저장부와, 상기 최초 분사부에서 기판에 분사된 세정수를 회수 및 재생하여 상기 최종 분사부로 공급하는 주재생부를 포함함으로써, 세정수 사용량을 최소화시켜 기판 제조비용을 절감할 수 있을 뿐만 아니라 환경오염 감소 측면에서도 유리한 기판세정장치 및 세정수 공급방법에 관한 기술이다.
다른 기술로는, 대한민국 특허공개 제10-2008-0021227호 (2008.03.07.공개, 이하에서는 '문헌 2'라고 함) 『세정수 공급장치』가 제시되어 있는바,
문헌 2는 세정수를 공급하는 세정수 공급원과, 상기 세정수 공급원에서 세정수를 공급받아 기판이송경로를 따라 이송되는 기판에 순차적으로 습식 세정 처리하는 복수의 베쓰와, 상기 베쓰의 저면에 형성되어 기판 세정에 사용된 세정수를 저장하는 저장부와, 상기 저장부에 저장된 세정수를 선순위 베쓰에 재공급하는 순환부를 포함하는 세정수 공급장치를 제공한다. 본 발명에 의하면, 세정수를 회수 및 순환 공급하는 탱크를 생략 가능하므로 경제적일 뿐만 아니라 공간점유율을 최소화하고 장비크기를 소형화할 수 있는 세정수 공급장치에 관한 기술이다.
본 발명은 캐비닛 내로의 워터펌프 입출입이 가능하면서 워터펌프에 대한 고정 및 이의 해제가 용이하여 워터펌프의 수리 및 교체 등의 유지보수가 가능한 디스플레이 기판 클리닝용 세정수 공급장치를 제공하는데 그 목적이 있다.
상기와 같은 해결 과제를 해결하기 위하여 본 발명에 따른 디스플레이 기판 클리닝용 세정수 공급장치는,
내부 공간부를 갖는 박스형 캐비닛;
상기 캐비닛의 공간부에 배치되는 세정수 인렛라인 및 아웃렛라인;
상기 캐비닛의 공간부에 배치되고 상기 인렛라인의 출구와 상기 아웃렛라인의 입구 각각이 연결되는 워터펌프;
상기 캐비닛의 공간부 내외로 상기 워터펌프의 출입을 안내하는 가이드수단; 및
상기 가이드수단에 의해 상기 캐비닛의 공간부 내에 위치한 상기 워터펌프의 움직임을 제한하기 위한 장착수단;
으로 이루어진 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따른 디스플레이 기판 클리닝용 세정수 공급장치는,
가이드수단에 의해 캐비닛 내로의 워터펌프 입출입이 가능하고, 다양한 구현예의 장착수단을 통해 워터펌프의 움직임을 제한하거나 이를 해제할 수 있어 캐비닛으로부터 워터펌프를 쉽게 탈착하여 워터펌프에 대한 수리 및 교체 등의 유지보수가 가능한 가장 큰 효과가 있다.
도 1은 본 발명에 따른 디스플레이 기판 클리닝용 세정수 공급장치를 나타낸 입체 구성도,
도 2는 세정수 공급장치의 내부 구성을 나타낸 입체 구성도,
도 3은 워터펌프 및 가이드수단을 보여주기 위한 입체 구성도,
도 4는 세정수 공급장치의 내부 구성을 보여주기 위한 다른 방향에서 바라본 입체 구성도,
도 5는 세정수 공급장치의 측면 구성도,
도 6은 제2 구현예의 장착수단 일부를 보여주기 위한 입체 구성도,
도 7은 제2 구현예의 장착수단을 보여주기 위한 입체 구성도,
도 8은 도 7의 측단면 구성도,
도 9 및 도 10은 도 7의 요부 확대 측단면 구성도,
도 11은 제2 구현예의 장착수단에 대해 다른 방향에서 바라본 측면 구성도,
도 12는 개폐도어, 서브도어 및 바스켓 등을 보여주기 위한 입체 구성도.
도 2는 세정수 공급장치의 내부 구성을 나타낸 입체 구성도,
도 3은 워터펌프 및 가이드수단을 보여주기 위한 입체 구성도,
도 4는 세정수 공급장치의 내부 구성을 보여주기 위한 다른 방향에서 바라본 입체 구성도,
도 5는 세정수 공급장치의 측면 구성도,
도 6은 제2 구현예의 장착수단 일부를 보여주기 위한 입체 구성도,
도 7은 제2 구현예의 장착수단을 보여주기 위한 입체 구성도,
도 8은 도 7의 측단면 구성도,
도 9 및 도 10은 도 7의 요부 확대 측단면 구성도,
도 11은 제2 구현예의 장착수단에 대해 다른 방향에서 바라본 측면 구성도,
도 12는 개폐도어, 서브도어 및 바스켓 등을 보여주기 위한 입체 구성도.
이하 첨부된 도면들을 참조로 본 발명의 바람직한 실시예에 대해서 상세히 설명하기로 한다.
이에 앞서, 본 명세서 및 청구범위에 사용된 용어나 단어는 통상적이거나 사전적인 의미로 한정해서 해석되어서는 아니 되며, 발명자는 그 자신의 발명을 가장 최선의 방법으로 설명하기 위해 용어의 개념을 적절하게 정의할 수 있다는 원칙에 입각하여 본 발명의 기술적 사상에 부합하는 의미와 개념으로 해석되어야만 한다. 따라서 본 명세서에 기재된 실시예와 도면에 도시된 구성은 본 발명의 가장 바람직한 일 실시예에 불과할 뿐이고 본 발명의 기술적 사상을 모두 대변하는 것은 아니므로, 본 출원 시점에 있어서 이들을 대체할 수 있는 다양한 균등물과 변형예들이 있을 수 있음을 이해하여야 한다.
도 1 내지 도 12에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 디스플레이 기판 클리닝용 세정수 공급장치는,
크게 캐비닛(10), 인렛라인(20), 아웃렛라인(30), 워터펌프(40), 가이드수단(50), 장착수단(60A, 60B)으로 이루어진다.
각 구성에 대해 살펴보면,
캐비닛(10)은
도 1, 도 4 및 도 5에 도시된 바와 같이,
내부 공간부(11)
를 포함하고, 상호 연결되는 수평 및 수직 프레임들에 의해 육면체의 박스형 구조로 이루어진다.
이때 상기 캐비닛(10)의 하부면에는 이동을 위한 다수의 캐스터(12)가 더 구비된다.
그리고 도 4에서와 같이, 상기 캐비닛(10)의 공간부(11) 일측에는 상기 공간부(11) 및 후술할 출입구(51)를 개방하거나 차단하게 되도록 힌지 결합되는 개폐도어(14)가 구비되고, 이러한 개폐도어(14)가 상기 캐비닛(10)의 각 면을 따라 다수개가 배치될 수 있다.
이때 도 12에서와 같이, 상기 개폐도어(14)에는 상기 인렛라인(20)과 아웃렛라인(30)이 통과하면서 이들을 지지하게 되고, 상기 개폐도어(14)로부터 탈부착 가능하게 배치되는 서브도어(141)가 구비된다.
또한 도 12에서와 같이, 상기 캐비닛(10)의 하부 프레임 또는 상기 개폐도어(14)에 상기 각 라인(20, 30)과의 연결용 호스 분리 시 낙수를 받기 위한 바스켓(142)이 더 구비될 수 있다.
인렛라인(20)은
도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이,
상기 캐비닛(10)의 공간부(11)에 배치되고 입구가 외부의 순수(純水) 공급장치 등과 연결되는 관체 구조로 이루어진다.
이때 상기 인렛라인(20)은 상기 캐비닛(10)의 공간부(11) 바닥에 설치된 지지블록(13) 등에 의해 받쳐진 상태로 고정되는 것이 바람직하다.
그리고 상기 인렛라인(20)의 출구는 상기 워터펌프(40)에 연결되며, 상기 인렛라인(20)의 출구 측은 2개의 분체관으로 이루어져 커플러 등에 의해 상호 연결됨으로써, 이 커플러에 의한 2개 분체관 연결 해제가 가능하다.
아웃렛라인(30)은
도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이,
상기 캐비닛(10)의 공간부(11)에 배치되고 입구가 상기 워터펌프(40)에 연결되는 관체 구조로 이루어진다.
이때 상기 아웃렛라인(30)은 상기 캐비닛(10)의 공간부(11) 바닥에 설치된 지지블록(13) 등에 의해 받쳐진 상태로 고정되는 것이 바람직하다.
그리고 상기 아웃렛라인(30)의 입구는 상기 워터펌프(40)에 연결되며, 상기 아웃렛라인(30)의 입구 측은 2개의 분체관으로 이루어져 커플러 등에 의해 상호 연결됨으로써, 이 커플러에 의한 2개 분체관 연결 해제 시 이와 함께 상기 인렛라인(20)의 각 분체관 또한 연결 해제 시에 상기 워터펌프(40)의 움직임이 가능하다.
워터펌프(40)는
도 1 내지 도 5에 도시된 바와 같이,
상기 캐비닛(10)의 공간부(11)에 배치되고 상기 인렛라인(20)의 출구와 상기 아웃렛라인(30)의 입구 각각이 연결되어 상기 인렛라인(20)에서 상기 아웃렛라인(30)으로의 세정수 강제 이송을 위한 통상의 펌프 구조로 이루어진다.
이때 상기 워터펌프(40)의 하부면에는 상기 워터펌프(40)와 결합된 받침부재(41)가 구비되는 것이 바람직한데, 이는 후술할 가이드수단(50)의 지지체(52)에 안정적으로 지지되도록 하기 위함이다.
가이드수단(50)은
도 3 내지 도 5에 도시된 바와 같이,
상기 캐비닛(10)의 공간부(11) 바닥에 일측으로 개구(開口)된 출입구(51),
상기 출입구(51) 내에 배치되고 양단에 상기 출입구(51) 상부 측 양 주변 영역에 안착되면서 상기 워터펌프(40)를 지지하게 되는 한 쌍의 플레이트(521)를 갖는 지지체(52),
상기 지지체(52)의 하부면에 구비되는 다수의 이동용 가이드캐스터(53),
상기 출입구(51)의 상부 측 양 주변 영역과 상기 지지체(52)의 각 플레이트(521) 사이에 개재(介在)되는 슬립(slip)방지부재(54), 그리고
상기 워터펌프(40)의 하부 측에 구비된 받침부재(41)에 끼워져 상기 지지체(52)의 각 플레이트(521)에 체결되는 다수의 고정볼트(55)
를 포함하여 이루어진다.
이때 상기 지지체(52)는 대략 U자형의 단면 구조를 갖고, 이의 각 상단에 외측 방향으로 수평 연장되는 형태로 상기 각 플레이트(521)가 형성된다.
그리고 상기 지지체(52)의 하부면에 구비된 상기 가이드캐스터(53)는 상기 캐비닛(10)의 캐스터(12)와 함께 설치 바닥면에 접하고, 각 캐스터에는 각 캐스터의 구름운동을 제한하거나 이를 해제하는 스토핑부재가 마련되는 것이 바람직하다.
그리고 도 5에서와 같이, 상기 슬립방지부재(54)는 상면과 하면 각각에 요철(凹凸)부가 형성되되, 상면의 요철부와 하면의 요철부가 상부에서 바라보았을 때 서로 교차되는 방향으로 형성되고, 또 상기 슬립방지부재(54)는 접착제 또는 볼트 등에 의해 상기 출입구(51) 상부 측 양 주변 영역에 고정 결합된다.
따라서 상기 워터펌프(40)는 상기 지지체(52)에 안착되어 상기 고정볼트(55)에 의해 상호 결합된 상태에서 상기 가이드캐스터(53)의 구름 운동을 통한 상기 지지체(52)의 출입 동작에 의해 상기 출입구(51)로의 출입이 가능하다.
장착수단(60A, 60B)은
상기 가이드수단(50)에 의해 상기 캐비닛(10)의 공간부(11) 내에 위치한 상기 워터펌프(40)의 움직임을 제한하기 위한 것으로,
크게 상기 장착수단은 제1 및 제2 구현예로 이루어질 수 있고, 제1 구현예의 장착수단에 대한 도면부호를 '60A', 제2 구현예의 장착수단에 대한 도면부호를 '60B'로 구분하기로 한다.
우선, 도 5에서와 같이 제1 구현예의 장착수단(60A)은
상기 지지체(52)의 각 플레이트(521) 중 하나 또는 모두에 장착되는 하우징(61), 그리고
단부가 상기 플레이트(521)를 관통한 후 상기 캐비닛(10)의 공간부(11) 바닥에 접한 상태에서 일방 회전 시 상기 하우징(61) 내에 고정되고 타방 회전 시 고정 해제되는 홀딩키(62)
를 포함하여 이루어진다.
이때 상기 하우징(61) 내에 수평경로(611)와 이의 단부에 연결되는 수직경로(612)가 형성되고, 상기 홀딩키(62)의 외주연에 상기 각 경로(611, 612)를 따라 움직이게 되는 돌기(621)가 형성됨으로써, 상기 돌기(621)가 상기 수직경로(612) 상에 위치 시 상기 워터펌프(40)의 움직임이 가능하고, 반대로 상기 돌기(621)가 상기 수평경로(611) 상에 위치 시 상기 홀딩키(62)의 단부가 상기 캐비닛(10)의 공간부(11) 바닥을 가압함에 따라 상기 워터펌프(40)의 움직임이 제한된다.
도 6 내지 도 11에서와 같이 제2 구현예의 장착수단(60B)은
상기 출입구(51)에서 상기 지지체(52)의 진입 측 단부와 서로 마주하는 내벽에 상기 지지체(52)의 출입 방향으로 배치되게 연결되는 샤프트(63),
상기 지지체(52)에 상기 샤프트(63)가 삽입되게 형성되는 중공부(64),
상기 중공부(64) 내주연 일부를 따라 내측으로 요입되게 형성되는 리세스(65),
상기 중공부(64) 일측과 타측에서 각각 연장되되 상기 리세스(65)와 서로 연통되는 한 쌍의 개구부(66),
상기 중공부(64) 및 상기 개구부(66)를 지나 상기 리세스(65)를 막는 형태로 배치되고 양단이 상기 각 개구부(66)에 고정되어 상기 샤프트(63)와의 사이공간부(S)를 형성하는 호형(弧形)의 브래킷(67), 그리고
상기 브래킷(67)에 장착되는 탄성부재(682)를 갖고 상기 탄성부재(682)를 통해 상기 샤프트(63)를 가압 고정하게 되는 홀딩모듈(68)
을 포함하여 이루어진다.
이때 도 7 및 도 11에서와 같이, 상기 리세스(65)는 측면에서 바라보았을 때 대략 상단 및 하단이 호형(弧形)을 이루는 공간 구조를 이룬다.
그리고 상기 개구부(66)는 측면에서 바라보았을 때 대략 상단이 호형을 이루는 공간 구조를 이루며, 후술할 브래킷(67)의 포스트(674)가 삽입될 수 있는 정도의 공간 크기를 갖는다.
아울러 상기 각 개구부(66)의 내주연에는 볼트홈(661)이 더 형성된다.
그리고 도 7 및 도 11에서와 같이, 상기 브래킷(67)은 측면에서 바라보았을 때 호형의 단면 구조를 갖는 대략 기와 형상으로 이루어진다.
이때 상기 브래킷(67)의 양단이 상기 각 개구부(66)에 안착된 상태에서 상기 브래킷(67)의 양단에는 상기 각 개구부(66)의 볼트홈(661)과 서로 대응되는 대응볼트홈(671)과, 상기 대응볼트홈(671)을 지나 상기 볼트홈(661)에 체결되는 브래킷고정볼트(672)가 구비된다.
여기서 상기 대응볼트홈(671)에는 상기 브래킷고정볼트(672)의 헤드가 은닉될 수 있는 정도의 깊이를 갖는 헤드안착홈(673)이 더 형성되는 것이 바람직하다.
그리고 도 7에서와 같이, 상기 홀딩모듈(68)은
상기 브래킷(67)에 장착되는 탄성부재(682)를 갖고 상기 탄성부재(682)를 통해 샤프트(63)를 가압 고정하여 샤프트(63)에 상기 지지체(52)를 고정시키기 위한 것으로,
상기 브래킷(67)에 상하 관통되게 형성되어 좌우로 배치되는 한 쌍의 끼움홀(681),
상기 각 끼움홀(681)에 양단이 삽입되어 상방으로 노출되고 중단이 상기 사이공간부(S) 측에 배치되는 U자형의 탄성부재(682), 그리고
상기 탄성부재(682)의 개구(開口)된 양단에 체결되어 조임이나 풀림 동작 시 상기 탄성부재(682)의 중단에 대한 탄성력을 조절하게 되는 조절볼트(683)
으로 이루어진다.
여기서 상기 조절볼트(683)의 헤드에는 육각렌치 등의 공구가 삽입될 수 있도록 육각홈이 형성되는 것이 바람직하다.
따라서 도 10에서와 같이, 상기 조절볼트(683)를 조이게 되면 상기 탄성부재(682)의 양단이 서로 마주하는 방향으로 가까워지면서 상기 탄성부재(682)의 중단이 하강하게 되어 샤프트(63)를 가압하게 됨으로써, 상기 샤프트(63)에 상기 지지체(52)를 고정시킬 수 있게 되고,
반대로 도 9에서와 같이, 상기 조절볼트(683)를 풀게 되면 상기 탄성부재(682)의 양단이 서로 마주하는 반대 방향으로 멀어지게 되면서 상기 탄성부재(682)의 중단이 상승하게 되어 샤프트(63)에 대한 가압이 해제됨으로써, 상기 샤프트(63)로부터 상기 지지체(52)를 손쉽게 분리할 수 있게 된다.
한편, 이상의 구성으로 이루어진 상기 홀딩모듈(68)을 이용해 샤프트(63)에 상기 지지체(52)를 손쉽게 장착하거나 분리할 수 있는데, 이때 샤프트(63)에서 상기 지지체(52)가 고정된 상태에서 상기 탄성부재(682)의 중단을 기준으로 상기 지지체(52)의 좌우 흔들림을 방지하기 위하여,
도 9에서와 같이, 본 발명에서는 상기 홀딩모듈(68)이 한 쌍이 구비되어 상기 브래킷(67)의 좌우 각각에 배치되도록 구현하였다.
이때 상기 각 홀딩모듈(68)의 조절볼트(683)가 중계부(683a)에 의해 일체로 연결된다.
그리고 도 9에서와 같이, 우측에 위치한 홀딩모듈(68)에서 탄성부재(682)의 양단 중 좌측 단부에 배치된 상기 조절볼트(683)의 해당 영역에 비(非)나선부(683b)가 형성되는데, 상기 '비나선부'라 함은 나선부가 형성되어 있지 않은 영역을 의미한다. 결국 상기 조절볼트(683)의 비나선부(683b)는 상기 탄성부재(682)의 좌측 단부에 끼워져 배치된 상태에서 상기 조절볼트(683)에 대한 정 또는 역회전 조작 시 상기 탄성부재(682)의 좌측 단부에서 헛돌게 되는 것이다.
아울러 상기 탄성부재(682)의 좌측 단부에서 상기 조절볼트(683)의 비나선부(683b)에 대한 좌우 움직임을 제한하기 위해 상기 조절볼트(683)의 비나선부(683b)에서 상기 탄성부재(682)의 좌측 단부 양면에 각각 배치되는 스토퍼(683c)가 구비된다.
상기 스토퍼(683c)는 용접 등에 의해 상기 조절볼트(683)에 일체로 결합될 수 있다.
따라서 중계부(683a)에 의해 일체로 연결된 하나의 조절볼트(683)에 대한 조임 동작 시 상기 각 홀딩모듈(68)에서 탄성부재(682)의 중단이 동시에 하강하게 되어 샤프트(63)를 가압하게 된다.
한편, 도 9에서와 같이 상기 리세스(65)의 바닥에 상방으로 요입되게 안착홈(651)이 형성되고, 상기 브래킷(67)의 상면에 상방으로 돌출되어 단부가 상기 안착홈(651)에 삽입 안착되는 포스트(674)가 더 형성됨으로써, 상기 탄성부재(682)에 의한 샤프트(63) 가압 시 상기 브래킷(67) 및 이에 장착된 상기 탄성부재(682)에 가해지는 피로도를 줄여 파손 등의 손상을 방지함은 물론, 샤프트(63)에 가해지는 상기 탄성부재(682)의 탄성력이 일정하게 유지될 수 있도록 도와주게 된다.
그리고 도 9에서와 같이, 상기 포스트(674)에는 상기 조절볼트(683)의 중계부(683a)가 삽입 배치되게 좌우 관통되는 중계홀(675)이 더 형성되며, 상기 중계홀(675)은 상기 조절볼트(683)의 회전 동작 시 간섭되지 않도록 상기 조절볼트(683) 보다 큰 직경을 갖는 것이 바람직하다.
그리고 도 10에서와 같이, 상기 탄성부재(682)는 이의 중단 또는 전부(全部)를 감싸는 피복 형태의 슬립(slip) 방지용 패드(682a)가 더 구비됨으로써, 상기 탄성부재(682)의 중단에 의한 샤프트(63) 가압 시 샤프트(63)로부터 가압 부위가 미끄러지는 것을 방지하여 샤프트(63)와 지지체(52) 간의 견고한 고정을 도와주게 된다.
그리고 도 9 및 도 11에서와 같이, 상기 지지체(52)의 일측면에는 상기 조절볼트(683)의 헤드와 동일 중심선 상에 배치되면서 상기 리세스(65)와 상호 연통되는 공구삽입홀(522)이 더 형성됨으로써, 육각렌치 등의 공구가 상기 공구삽입홀(522)로 삽입되어 상기 조절볼트(683)의 헤드에 형성된 육각홈에 삽입된다.
한편, 본 발명에 따른 세정수 공급장치는 상기 인렛라인(20) 상에 연결되어 상기 캐비닛(10)의 공간부 상부 측에 마련된 별도의 박스형 케이스에 내장되거나 또는 볼팅에 의해 공간부(11)에 장착되는 버블생성유닛(70)을 더 포함한다.
도 1 및 도 5에서와 같이, 상기 버블생성유닛(70)은 상기 인렛라인(20)으로 유입된 순수(純水)인 세정수에 이산화탄소 버블을 생성시킴으로써, 이산화탄소 버블을 포함한 세정수가 상기 아웃렛라인(30)으로 공급된다.
이상에서 본 발명을 설명함에 있어 첨부된 도면을 참조하여 특정 형상과 구조를 갖는 "디스플레이 기판 클리닝용 세정수 공급장치"를 위주로 설명하였으나 본 발명은 당업자에 의하여 다양한 변형 및 변경이 가능하고, 이러한 변형 및 변경은 본 발명의 보호범위에 속하는 것으로 해석되어야 한다.
10 : 캐비닛
11 : 공간부
12 : 캐스터
13 : 지지블록
14 : 개폐도어
141 : 서브도어
142 : 바스켓
20 : 인렛라인
30 : 아웃렛라인
40 : 워터펌프
41 : 받침부재
50 : 가이드수단
51 : 출입구
52 : 지지체
521 : 플레이트
522 : 공구삽입홀
53 : 가이드캐스터
54 : 슬립방지부재
55 : 고정볼트
60A, 60B : 장착수단
61 : 하우징
611 : 수평경로
612 : 수직경로
62 : 홀딩키
621 : 돌기
63 : 샤프트
64 : 중공부
65 : 리세스
651 : 안착홈
66 : 개구부
661 : 볼트홈
67 : 브래킷
671 : 대응볼트홈
672 : 브래킷고정볼트
673 : 헤드안착홈
674 : 포스트
675 : 중계홀
68 : 홀딩모듈
681 : 끼움홀
682 : 탄성부재
682a : 패드
683 : 조절볼트
683a : 중계부
683b : 비나선부
683c : 스토퍼
70 : 버블생성유닛
S : 사이공간부
11 : 공간부
12 : 캐스터
13 : 지지블록
14 : 개폐도어
141 : 서브도어
142 : 바스켓
20 : 인렛라인
30 : 아웃렛라인
40 : 워터펌프
41 : 받침부재
50 : 가이드수단
51 : 출입구
52 : 지지체
521 : 플레이트
522 : 공구삽입홀
53 : 가이드캐스터
54 : 슬립방지부재
55 : 고정볼트
60A, 60B : 장착수단
61 : 하우징
611 : 수평경로
612 : 수직경로
62 : 홀딩키
621 : 돌기
63 : 샤프트
64 : 중공부
65 : 리세스
651 : 안착홈
66 : 개구부
661 : 볼트홈
67 : 브래킷
671 : 대응볼트홈
672 : 브래킷고정볼트
673 : 헤드안착홈
674 : 포스트
675 : 중계홀
68 : 홀딩모듈
681 : 끼움홀
682 : 탄성부재
682a : 패드
683 : 조절볼트
683a : 중계부
683b : 비나선부
683c : 스토퍼
70 : 버블생성유닛
S : 사이공간부
Claims (7)
- 내부 공간부(11)를 갖는 박스형 캐비닛(10);
상기 캐비닛(10)의 공간부(11)에 배치되는 세정수 인렛라인(20) 및 아웃렛라인(30);
상기 캐비닛(10)의 공간부(11)에 배치되고 상기 인렛라인(20)의 출구와 상기 아웃렛라인(30)의 입구 각각이 연결되는 워터펌프(40);
상기 캐비닛(10)의 공간부(11) 내외로 상기 워터펌프(40)의 출입을 안내하는 가이드수단(50); 및
상기 가이드수단(50)에 의해 상기 캐비닛(10)의 공간부(11) 내에 위치한 상기 워터펌프(40)의 움직임을 제한하기 위한 장착수단(60A, 60B);
으로 이루어지되,
상기 가이드수단(50)은
상기 캐비닛(10)의 공간부(11) 바닥에 일측으로 개구(開口)된 출입구(51)와,
상기 출입구(51) 내에 배치되고 양단에 상기 출입구(51) 상부 측 양 주변 영역에 안착되면서 상기 워터펌프(40)를 지지하게 되는 한 쌍의 플레이트(521)를 갖는 지지체(52)와,
상기 지지체(52) 하부면에 구비되는 다수의 이동용 가이드캐스터(53)와,
상기 출입구(51) 상부 측 양 주변 영역과 상기 지지체(52)의 각 플레이트(521) 사이에 개재(介在)되는 슬립(slip)방지부재(54)와,
상기 워터펌프(40)의 하부 측에 구비된 받침부재(41)에 끼워져 상기 지지체(52)의 각 플레이트(521)에 체결되는 다수의 고정볼트(55)
로 이루어진 것을 특징으로 하는 디스플레이 기판 클리닝용 세정수 공급장치.
- 삭제
- 제 1 항에 있어서,
상기 장착수단(60A)은
상기 지지체(52)의 각 플레이트(521) 중 하나 또는 모두에 장착되는 하우징(61)과,
단부가 상기 플레이트(521)를 관통한 후 상기 캐비닛(10)의 공간부(11) 바닥에 접한 상태에서 일방 회전 시 상기 하우징(61) 내에 고정되고 타방 회전 시 고정 해제되는 홀딩키(62)
로 이루어진 것을 특징으로 하는 디스플레이 기판 클리닝용 세정수 공급장치.
- 제 1 항에 있어서,
상기 장착수단(60B)은
상기 출입구(51)에서 상기 지지체(52)의 진입 측 단부와 서로 마주하는 내벽에 상기 지지체(52)의 출입 방향으로 배치되게 연결되는 샤프트(63)와,
상기 지지체(52)에 상기 샤프트(63)가 삽입되게 형성되는 중공부(64)와,
상기 중공부(64) 내주연 일부를 따라 내측으로 요입되게 형성되는 리세스(65)와,
상기 중공부(64) 일측과 타측에서 각각 연장되되 상기 리세스(65)와 서로 연통되는 한 쌍의 개구부(66)와,
상기 중공부(64) 및 상기 개구부(66)를 지나 상기 리세스(65)를 막는 형태로 배치되고 양단이 상기 각 개구부(66)에 고정되어 상기 샤프트(63)와의 사이공간부(S)를 형성하는 호형(弧形)의 브래킷(67)과,
상기 브래킷(67)에 장착되는 탄성부재(682)를 갖고 상기 탄성부재(682)를 통해 상기 샤프트(63)를 가압 고정하게 되는 홀딩모듈(68)
로 이루어진 것을 특징으로 하는 디스플레이 기판 클리닝용 세정수 공급장치.
- 제 4 항에 있어서,
상기 홀딩모듈(68)은
상기 브래킷(67)에 상하 관통되고 좌우로 배치되는 한 쌍의 끼움홀(681)과,
상기 각 끼움홀(681)에 양단이 삽입되어 상방으로 노출되고 중단이 상기 사이공간부(S) 측에 배치되는 U자형의 탄성부재(682)와,
상기 탄성부재(682)의 개구된 양단에 체결되어 조임이나 풀림 동작 시 상기 탄성부재(682)의 중단에 대한 탄성력을 조절하게 되는 조절볼트(683)
로 이루어져, 상기 조절볼트(683)를 조이게 되면 상기 탄성부재(682)의 중단이 하강하면서 상기 샤프트(63)를 가압하게 되는 것을 특징으로 하는 디스플레이 기판 클리닝용 세정수 공급장치.
- 제 5 항에 있어서,
상기 홀딩모듈(68)이 한 쌍이 구비되어 상기 브래킷(67)의 좌우 각각에 배치되고,
상기 각 홀딩모듈(68)의 조절볼트(683)가 중계부(683a)에 의해 일체로 연결되며,
우측에 위치한 홀딩모듈(68)에서 탄성부재(682)의 양단 중 좌측 단부에 배치된 상기 조절볼트(683)의 해당 영역에 비(非)나선부(683b)가 형성되고,
상기 탄성부재(682)의 좌측 단부에서 상기 조절볼트(683)의 비나선부(683b)에 대한 좌우 움직임을 제한하는 스토퍼(683c)가 구비됨으로써, 상기 조절볼트(683)에 대한 조임 동작 시 상기 각 홀딩모듈(68)에서 탄성부재(682)의 중단이 동시에 하강하게 되는 것을 특징으로 하는 디스플레이 기판 클리닝용 세정수 공급장치.
- 제 1 항 또는 제 3 항 내지 제 6 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 캐비닛(10)의 공간부(11) 일측에는 상기 공간부(11) 및 상기 출입구(51)를 개방하거나 차단하게 되는 개폐도어(14)가 구비되고,
상기 인렛라인(20) 상에 연결되어 상기 캐비닛(10)의 공간부(11) 상부 측에 배치되고 상기 인렛라인(20)으로 유입된 세정수에 이산화탄소 버블이 포함되도록 생성시키는 버블생성유닛(70)을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 디스플레이 기판 클리닝용 세정수 공급장치.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1020180118751A KR101940687B1 (ko) | 2018-10-05 | 2018-10-05 | 디스플레이 기판 클리닝용 세정수 공급장치 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1020180118751A KR101940687B1 (ko) | 2018-10-05 | 2018-10-05 | 디스플레이 기판 클리닝용 세정수 공급장치 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR101940687B1 true KR101940687B1 (ko) | 2019-01-21 |
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ID=65277564
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| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1020180118751A KR101940687B1 (ko) | 2018-10-05 | 2018-10-05 | 디스플레이 기판 클리닝용 세정수 공급장치 |
Country Status (1)
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Citations (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| KR101068169B1 (ko) * | 2011-03-14 | 2011-09-27 | 김기식 | 회전체를 위한 베어링 지지구조 |
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-
2018
- 2018-10-05 KR KR1020180118751A patent/KR101940687B1/ko active IP Right Grant
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