KR101921854B1 - Vacuum chuck and vacuum chuck apparatus - Google Patents

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Abstract

The present invention relates to a vacuum chuck capable of fixing a workpiece regardless of a size, minimizing a pressure loss and noise generation, and improving safety during operation, and a vacuum chuck apparatus. According to the present invention, the vacuum chuck comprises: an operating plate (200) having a vacuum chamber (201) formed in an upper inner part to be evacuated; a plurality of vacuum absorption units (210) formed in a lattice shape on the upper part of the operating plate (200) to communicate with the vacuum chamber (201) so as to open a vacuum flow path (215) and absorb a workpiece by a negative pressure when the workpiece is mounted on the upper part of the working plate (200); one or more vacuum hose connectors (230) installed on a side surface of the operating plate (200) to be connected to a vacuum hose (410) so as to form vacuum inside the vacuum chamber (201); and opening/closing valves (460) coupled to the vacuum connectors (230) to automatically or manually open/close a flow path of the vacuum hose connectors (230).

Description

진공척 및 진공척 장치{VACUUM CHUCK AND VACUUM CHUCK APPARATUS}BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention [0001] The present invention relates to a vacuum chuck and a vacuum chuck,

본 발명은 진공척에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는, 작업 대상물의 크기에 무관한 고정을 수행하며, 압력 손실과 소음 발생을 최소화하고, 작업 안전성을 향상시킬 수 있도록 하는 진공척 및 진공척 장치에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a vacuum chuck and, more particularly, to a vacuum chuck and a vacuum chuck apparatus which perform fixing regardless of the size of a workpiece, minimize pressure loss and noise generation, .

반도체 생산을 위한 웨이퍼의 가공 또는 이송, 머시닝 센터 툴(MCT: machining center tool)을 이용한 공작물의 가공 등을 위해 공작기계 또는 이송 기계에서 작업 대상물을 고정하기 위한 공구로서 진공척이 널리 이용되고 있다.BACKGROUND ART A vacuum chuck is widely used as a tool for fixing a workpiece in a machine tool or a transfer machine for machining or transferring wafers for semiconductor production or machining a workpiece using a machining center tool (MCT).

상술한 진공척은 작업 대상물이 안착된 상태에서 진공펌프에서 부압을 인가하는 것에 의해 진공척에 작업 대상물을 견고히 고정하여 이송 또는 가동을 수행할 수 있도록 한다.The vacuum chuck described above can securely fix the workpiece to the vacuum chuck by applying a negative pressure in the vacuum pump in a state where the workpiece is seated, so that the workpiece can be transported or operated.

이러한 진공척의 일예로는 대한민국 공개실용신한 제1998-067777호의 웨이퍼의 가공 시 부산물에 의한 오염을 방지하기 위해 퍼지가스를 분사하도록 구성되는 진공척과, 대한민국 공개실용신안 제2009-0000808호의 가변 크기의 웨이퍼를 고정하기 위한 진공척 및 대한민국 등록실용신안 제20-0456863호의 작업 대상물에 대한 다방향 가공, 천공 및 회전 가공을 용이하게 하는 공작 머신용 진공척 등이 있다.An example of such a vacuum chuck is disclosed in Korean Utility Model Publication No. 1998-067777, which is a vacuum chuck configured to inject purge gas in order to prevent contamination by by-products during processing of wafers, and a vacuum chuck And a vacuum chuck for a machine tool which facilitates multi-directional machining, perforation and rotary machining of a workpiece of Korean Registered Utility Model No. 20-0456863.

그러나 상술한 종래기술들의 진공척의 경우 가변 크기의 공작물에 대한 작업을 수행할 수 있도록 하기 위해서 진공을 제공하는 유로 경로가 복잡하고 다수의 밸브를 적용하게 되어 제작이 용이하지 않으며 제작비용이 크게 발생하며, 또한, 진공을 위한 에너지 소모가 많은 문제점을 가진다.However, in the case of the above-described vacuum chucks of the prior art, in order to perform a work on a variable size workpiece, the flow path for providing a vacuum is complicated and a large number of valves are applied, Furthermore, the energy consumption for vacuum has many problems.

또한, 가변 크기의 작업 대상물을 고정하는 경우에도 진공척의 면에서 정확하게 크기에 맞는 위치에 작업 대상물을 위치시켜야 하며, 가변되는 작업 대상물의 크기가 정해져 있어 다양한 크기 및 형상의 작업 대상물에 적용하는 데 제약이 있는 문제점을 가진다.In addition, even when fixing a variable-size workpiece, it is necessary to position the workpiece in a position corresponding to the exact size on the surface of the vacuum chuck. Since the variable size of the workpiece is fixed, .

또한, 종래기술의 진공척들의 경우에는 하나의 작업 대상물을 고정하도록 설계되어 있어, 다양한 크기 및 형상을 가지는 다수의 작업 대상물을 고정하여 가공 작업을 수행하지 못하는 문제점을 가진다.In addition, in the case of the vacuum chucks of the related art, there is a problem that one workpiece is designed to be fixed, and a plurality of workpieces having various sizes and shapes are fixed and the work can not be performed.

대한민국 공개실용신한 제1998-067777호Korea Public Practice Shinhan Han 1998-067777 대한민국 공개실용신안 제2009-0000808호Korean public utility model 2009-0000808 대한민국 등록실용신안 제20-0456863호Korean Utility Model Registration No. 20-0456863

따라서 본 발명은 상술한 종래기술의 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 진공척의 작업 대상물이 안착되지 않은 영역에 대한 별도의 밀봉 작업을 수행함이 없이, 다양한 크기 및 형상의 작업 대상물을 다수를 장착하여 동시에 가공작업을 수행할 수 있도록 하는 것에 의해, 작업 대상물에 대한 가공 작업 효율을 향상시키는 진공척 및 진공척 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.Accordingly, it is an object of the present invention to provide a vacuum chuck capable of simultaneously mounting a plurality of workpieces of various sizes and shapes on a plurality of workpieces without performing a separate sealing operation on a non- And to provide a vacuum chuck and a vacuum chuck apparatus which improve the efficiency of machining work on an object to be worked.

또한, 본 발명은 작업 대상물이 위치되는 진공영역만을 진공화하는 것에 의해 진공 작업 시간을 단축시키고. 진공화 작업에 소요되는 에너지를 절감시킬 수 있도록 하는 진공척 및 진공척 장치를 제공하는 것을 또 다른 목적으로 한다. Further, the present invention shortens the vacuum working time by vacuuming only the vacuum region where the workpiece is located. Another object of the present invention is to provide a vacuum chuck and a vacuum chuck apparatus which can reduce the energy required for a vacuuming operation.

또한, 본 발명은 진공척의 조립을 손쉽게 하는 것에 의해, 진공척 및 진공척 장치의 제작이 용이한 진공척 및 진공척 장치를 제공하는 것을 다른 목적으로 한다. Another object of the present invention is to provide a vacuum chuck and a vacuum chuck apparatus by which the vacuum chuck and the vacuum chuck apparatus can be easily fabricated by facilitating the assembly of the vacuum chuck.

또한, 본 발명은 작업 대상물이 안착되지 않은 위치에 형성된 진공흡착부들이 항상 진공챔버를 외부와 차폐하도록 구성하는 것에 의해, 압력 손실과 소음 발생을 최소화하는 진공척 및 진공척 장치를 제공하는 것을 또 다른 목적으로 한다.It is another object of the present invention to provide a vacuum chuck and a vacuum chuck apparatus which minimizes pressure loss and noise generation by constituting the vacuum chucks formed at positions where the workpiece is not seated, For other purposes.

또한, 본 발명은 진공 압력을 감지하는 것에 의해 작업 대상물의 고정 안정성을 향상시켜 작업 안전성을 현저히 향상시키는 진공척 및 진공척 장치를 제공하는 것을 또 다른 목적으로 한다.It is still another object of the present invention to provide a vacuum chuck and a vacuum chuck apparatus which can improve the stability of work of a workpiece by sensing a vacuum pressure, thereby remarkably improving work safety.

상술한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 진공척(100)은,The vacuum chuck (100) of the present invention for achieving the above-

내부에 진공으로 되는 진공챔버(201)가 형성된 작업판(200);A working plate 200 having a vacuum chamber 201 formed therein to be vacuumed;

상기 작업판(200)의 상부에서 진공챔버(201)와 연통되도록 형성되어 작업 대상물이 상기 작업판(200)의 상부에 안착되는 경우 진공유로(215)가 개방되어 부압에 의해 작업 대상물을 흡착하도록 격자 상으로 다수가 형성되는 다수의 진공흡착부(210);When the workpiece 200 is connected to the vacuum chamber 201 at the upper part of the work plate 200 and the workpiece 200 is placed on the upper side of the work plate 200, the vacuum path 215 is opened to adsorb the workpiece A plurality of vacuum adsorption units 210 formed in a lattice shape;

상기 작업판(200)의 측면에 설치되어 상기 진공챔버(201)의 내부를 진공으로 형성하도록 진공호스(410)가 결합되는 하나 이상의 진공호스커넥터(230)들; 및At least one vacuum hose connector (230) installed on a side surface of the work plate (200) and coupled with the vacuum hose (410) to form the vacuum chamber (201) in a vacuum; And

상기 진공호스커넥터(230)들의 유로를 자동 또는 수동으로 개폐하도록 상기 진공호스커넥터(230)들에 결합되는 개폐밸브(460)들;을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.Closing valves 460 coupled to the vacuum hose connectors 230 to automatically or manually open and close the flow paths of the vacuum hose connectors 230.

상기 진공흡착부(210)는,The vacuum adsorbing portion 210 may be formed,

수직으로 요입 형성되는 진공핀 삽입부(211)와 상기 진공핀 삽입부(211)의 측 방향으로 연장되며 개방된 상부의 양측에서 진공핀(217)의 이탈을 방지하도록 돌출되는 한 쌍의 가이드(213)가 형성되는 가이드부(212)와, 상기 가이드부(212)의 측부 말단에서 단턱을 이루며 하부로 요입되어 형성되는 진공핀수용부(214)를 구비하는 진공채널(216);And a pair of guides (not shown) protruded to prevent the release of the vacuum pin 217 from both sides of the upper portion of the upper portion of the vacuum pin insertion portion 211 which extends in the lateral direction of the vacuum pin insertion portion 211 A vacuum channel 216 having a guide part 212 on which the guide part 212 is formed and a vacuum pin receiving part 214 formed on the lower end of the guide part 212 so as to be recessed downward;

상기 작업판(200)의 상부면에서 상기 진공핀 삽입부(211)와 가이드부(212) 및 상기 진공핀수용부(214)의 둘레를 따라 형성되는 다수의 밀봉탄성체(222);A plurality of sealing elastic members 222 formed on the upper surface of the working plate 200 along the circumference of the vacuum pin insertion portion 211, the guide portion 212 and the vacuum pin receiving portion 214;

상기 진공핀수용부(214)의 일측에서 상기 진공챔버(201)로 연통되도록 형성되는 진공유로(215);A vacuum passage 215 formed to communicate with the vacuum chamber 201 from one side of the vacuum pin receiving portion 214;

상기 진공핀수용부(214)에 장착되어 작업 대상물에 의해 눌리어지는 경우, 상기 진공유로(215)를 개방시켜 상기 진공흡착부(210)를 진공이 되도록 하는 진공핀(217); 및A vacuum pin 217 which is attached to the vacuum pin receiving part 214 and is pressed by an object to be processed, the vacuum pin 217 for opening the vacuum channel 215 to make the vacuum adsorption part 210 vacuum; And

상기 작업 대상물(500)이 제거되는 경우 상기 진공핀(217)를 위치 복원시켜 상기 진공유로(215)를 폐쇄하도록 하는 위치복원부재;를 포함하여 구성될 수 있다.And a position restoring member for restoring the vacuum pin 217 to close the vacuum flow path 215 when the workpiece 500 is removed.

상기 진공핀(217)은,The vacuum pin (217)

상기 한 쌍의 가이드(212) 사이의 간격보다 작은 폭을 가지는 기둥상의 진공핀 헤드(218);A columnar vacuum pin head 218 having a smaller width than the gap between the pair of guides 212;

상기 진공핀 헤드(218)에서 상기 진공핀 수용부(214)의 내경에 대응하는 단면을 가지는 기둥 상의 진공핀 몸체(219); 및A columnar vacuum pin body 219 having a cross section corresponding to the inner diameter of the vacuum pin receiving portion 214 in the vacuum pin head 218; And

상기 진공핀 몸체(219)를 감싸는 실링부재(220);를 포함하여 구성될 수 있다.And a sealing member 220 surrounding the vacuum pin body 219.

상기 진공척은,The vacuum chuck comprises:

상기 작업판(200)의 상부에 격자 상으로 배치되는 하나 이상의 감지센서(250)들; 및One or more sensing sensors (250) arranged in a lattice on top of the working plate (200); And

상기 진공챔버(201)를 구획하는 하나 이상의 격벽(240)들;을 더 포함하고,Further comprising at least one partition wall (240) defining the vacuum chamber (201)

상기 개폐밸브(460)들은 상기 감지센서(250)의 감지 신호에 따라 진공챔버(201)의 영역 중 작업 대상물(500)이 위치되는 영역만을 진공화하기 위해 상기 진공호스커넥터(230)들의 유로를 자동 또는 수동으로 개폐하도록 구성될 수 있다.The opening and closing valves 460 are connected to the vacuum hose connectors 230 in order to vacuum only the area of the vacuum chamber 201 where the workpiece 500 is located, And can be configured to open or close automatically or manually.

상술한 종래기술의 문제점을 해결하기 위한 본 발명의 진공척 장치(1)는,In order to solve the above-described problems of the prior art, the vacuum chucking apparatus 1 of the present invention includes:

내부에 진공으로 되는 진공챔버(201)가 형성된 작업판(200)과, 상기 작업판(200)의 상부에 격자 상으로 배치 형성되는 하나 이상의 감지센서(250)들과, 상기 진공챔버(201)의 내부를 구획하는 하나 이상의 격판(240)들과, 상기 작업판(200)의 상부에서 진공챔버(201)와 연통되도록 형성되어 작업 대상물이 상기 작업판(200)의 상부에 안착되는 경우 진공유로(215)가 개방되어 부압에 의해 작업 대상물을 흡착하도록 격자 상으로 다수가 형성되는 다수의 진공흡착부(210)와, 상기 작업판(200)의 측면에 설치되어 상기 진공챔버(201)의 내부를 진공으로 형성하도록 진공호스(410)가 결합되는 하나 이상의 진공호스커넥터(230)들과, 상기 진공호스커넥터(230)들에 결합되는 수동 또는 자동으로 개폐되는 개폐밸브(460)들을 포함하는 진공척(100);A work plate 200 in which a vacuum chamber 201 is formed in a vacuum state and one or more detection sensors 250 arranged in a lattice pattern on the work plate 200; And a vacuum chamber 201 formed at an upper portion of the work plate 200 so that the workpiece 200 is placed on the upper portion of the work plate 200, A plurality of vacuum adsorption units 210 formed in a lattice shape so as to adsorb an object to be processed by a negative pressure when the vacuum chamber 201 is opened, Which includes at least one vacuum hose connector 230 to which a vacuum hose 410 is coupled to form a vacuum in the vacuum hose connector 230 and a manual or automatic opening and closing valve 460 coupled to the vacuum hose connectors 230. [ Chuck 100;

상기 개폐밸브(460)들에 결합되는 다수의 진공호스(410)들을 포함하는 진공관로(400);A vacuum tube 400 including a plurality of vacuum hoses 410 coupled to the open / close valves 460;

상기 진공관로(400)를 통해 상기 진공챔버(201)를 진공으로 하는 진공펌프(440);A vacuum pump 440 for evacuating the vacuum chamber 201 through the vacuum tube 400;

상기 진공관로(400)와 상기 진공펌프(440)의 사이에 결합되는 개폐조절되는 체크밸브(430);A check valve 430 opened and closed to be connected between the vacuum tube 400 and the vacuum pump 440;

상기 체크밸브(430)와 상기 진공관로(400)의 사이에 결합되는 압력게이지(420); 및A pressure gauge 420 coupled between the check valve 430 and the vacuum pipe 400; And

진공척 장치(1, 2)의 구동을 제어하는 제어부(450);를 포함하여 구성되고,And a control unit 450 for controlling the driving of the vacuum chuck apparatuses 1 and 2,

상기 제어부(450)는,The control unit 450,

상기 감지센서(250)들의 감지 신호에 따라 상기 개폐밸브(460)들을 선택적으로 개폐하는 것에 의해, 상기 진공챔버(201)의 내부를 격벽(240)들이 분할하는 영역 중 작업 대상물(500)이 위치되는 영역만을 진공화시키며,The opening and closing valves 460 are selectively opened and closed in accordance with the detection signals of the detection sensors 250 so that the area of the interior of the vacuum chamber 201 where the partitions 240 are divided, Only the area to be vacuumed is vacuumed,

상기 압력게이지(420)의 압력 신호를 인가 받아 진공 압력이 기설정된 압력 이하인 경우 경고신호를 출력하고 진공압력을 높이도록 상기 진공펌프(440)의 구동을 제어하도록 구성되는 것을 특징으로 한다.And controls the driving of the vacuum pump 440 to output a warning signal and increase the vacuum pressure when the vacuum pressure is equal to or lower than a preset pressure by receiving the pressure signal from the pressure gauge 420.

상술한 구성의 본 발명의 진공척(100) 및 진공척 장치(1)는 진공척의 작업 대상물이 안착되지 않은 영역에 대한 별도의 밀봉 작업을 수행함이 없이, 다양한 크기 및 형상의 작업 대상물을 다수를 장착하여 동시에 가공작업을 수행할 수 있도록 하는 것에 의해, 작업 대상물에 대한 가공 작업 효율을 향상시키는 효과를 제공한다.The vacuum chuck 100 and the vacuum chuck apparatus 1 of the present invention having the above-described configuration can be used for a large number of workpieces of various sizes and shapes without performing a separate sealing operation for a region where the workpiece of the vacuum chuck is not seated So that the machining operation can be performed at the same time, thereby providing an effect of improving the machining operation efficiency of the workpiece.

또한, 본 발명은 작업 대상물이 위치되는 진공영역만을 진공화하는 것에 의해 진공 작업 시간을 단축시키고. 진공화 작업에 소요되는 에너지를 절감시킬 수 있도록 하는 효과를 제공한다. Further, the present invention shortens the vacuum working time by vacuuming only the vacuum region where the workpiece is located. It is possible to reduce the energy required for the vacuuming operation.

또한, 본 발명은 진공척의 조립을 손쉽게 하는 것에 의해, 진공척 및 진공척 장치의 제작을 용이하게 하는 효과를 제공한다. Further, the present invention facilitates the fabrication of the vacuum chuck and the vacuum chuck device by facilitating the assembly of the vacuum chuck.

또한, 본 발명은 작업 대상물이 안착되지 않은 위치에 형성된 진공흡착부들이 항상 진공챔버를 외부와 차폐하도록 구성하는 것에 의해, 압력 손실과 소음 발생을 최소화하는 효과를 제공한다.Further, the present invention provides an effect of minimizing pressure loss and noise generation by configuring the vacuum adsorption portions formed at positions where the workpiece is not placed to always shield the vacuum chamber from the outside.

또한, 본 발명은 진공 압력을 감지하는 것에 의해 작업 대상물의 고정 안정성을 향상시켜 작업 안전성을 현저히 향상시키는 효과를 제공한다.Further, the present invention provides an effect of improving work stability by improving the fixing stability of a workpiece by detecting a vacuum pressure.

도 1은 본 발명의 실시예에 따르는 진공척(100)의 사시도.
도 2는 도 1의 진공척(100)의 단면도 및 부분 단면 확대도.
도 3은 밀봉탄성체(222)가 적용된 진공척(100)의 사시도 및 부분 단면 확대도.
도 4는 본 발명의 실시예에 따르는 진공척 장치(100)의 사시도.
도 5는 도 4의 진공척 장치(100)의 사용 상태도.
도 6은 진공챔버(201)의 구획 분할 상태를 나타내는 제2 진공척 장치(2)의 사시도.1 is a perspective view of a vacuum chuck 100 according to an embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a cross-sectional view and partial cross-sectional enlarged view of the vacuum chuck 100 of FIG. 1;
3 is a perspective view and a partial cross-sectional enlarged view of a vacuum chuck 100 to which a sealing elastic body 222 is applied.
4 is a perspective view of a vacuum chuck apparatus 100 according to an embodiment of the present invention.
5 is a use state view of the vacuum chuck apparatus 100 of FIG.
6 is a perspective view of a second vacuum chuck apparatus 2 showing a divided state of the vacuum chamber 201. Fig.

하기에서 본 발명을 설명함에 있어서, 관련된 공지 기능 또는 구성에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명을 생략할 것이다.In the following description of the present invention, detailed description of known functions and configurations incorporated herein will be omitted when it may make the subject matter of the present invention rather unclear.

본 발명의 개념에 따른 실시 예는 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있으므로, 특정 실시 예들을 도면에 예시하고 본 명세서 또는 출원서에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나 이는 본 발명의 개념에 따른 실시 예를 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명은 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다.The embodiments according to the concept of the present invention can make various changes and have various forms, so that specific embodiments are illustrated in the drawings and described in detail in this specification or the application. It is to be understood, however, that the intention is not to limit the embodiments according to the concepts of the invention to the specific forms of disclosure, and that the invention includes all modifications, equivalents and alternatives falling within the spirit and scope of the invention.

어떤 구성요소가 다른 구성요소에 "연결되어" 있다거나 "접속되어" 있다고 언급된 때에는, 그 다른 구성요소에 직접적으로 연결되어 있거나 또는 접속되어 있을 수도 있지만, 중간에 다른 구성요소가 존재할 수도 있다고 이해되어야 할 것이다. 반면에, 어떤 구성요소가 다른 구성요소에 "직접 연결되어" 있다거나 "직접 접속되어" 있다고 언급된 때에는, 중간에 다른 구성요소가 존재하지 않는 것으로 이해되어야 할 것이다. 구성요소들 간의 관계를 설명하는 다른 표현들, 즉 "~사이에"와 "바로 ~사이에" 또는 "~에 이웃하는"과 "~에 직접 이웃하는" 등도 마찬가지로 해석되어야 한다.It is to be understood that when an element is referred to as being "connected" or "connected" to another element, it may be directly connected or connected to the other element, . On the other hand, when an element is referred to as being "directly connected" or "directly connected" to another element, it should be understood that there are no other elements in between. Other expressions that describe the relationship between components, such as "between" and "between" or "neighboring to" and "directly adjacent to" should be interpreted as well.

본 명세서에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 명세서에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 설시된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.The terminology used herein is for the purpose of describing particular embodiments only and is not intended to be limiting of the invention. The singular expressions include plural expressions unless the context clearly dictates otherwise. In this specification, the terms " comprises ", or " having ", or the like, specify that there is a stated feature, number, step, operation, , Steps, operations, components, parts, or combinations thereof, as a matter of principle.

이하, 본 발명의 실시예를 나타내는 첨부 도면을 참조하여 본 발명을 더욱 상세히 설명한다.Hereinafter, the present invention will be described in more detail with reference to the accompanying drawings showing embodiments of the present invention.

도 1은 본 발명의 실시예에 따르는 진공척(100)의 사시도이고, 도 2는 도 1의 진공척(100)의 단면도 및 부분 단면 확대도이며, 도 3은 밀봉탄성체(222)가 적용된 진공척(100)의 사시도 및 부분 단면 확대도이다.FIG. 1 is a perspective view of a vacuum chuck 100 according to an embodiment of the present invention. FIG. 2 is a cross-sectional view and a partial sectional enlarged view of the vacuum chuck 100 of FIG. 1, Fig. 2 is a perspective view and partial sectional enlarged view of the chuck 100; Fig.

도 1 및 도 2와 같이, 상기 진공척(100)은 내부에 진공챔버(201)가 형성된 작업판(200), 작업판(200)의 상부에 격자 상으로 배치 형성되는 다수의 진공흡착부(210)들, 상기 작업판(200)의 측면에 설치되는 다수의 진공호스커넥터(230)들을 포함하여 구성된다.1 and 2, the vacuum chuck 100 includes a work plate 200 having a vacuum chamber 201 formed therein, a plurality of vacuum adsorption units 210, and a plurality of vacuum hose connectors 230 mounted on the side of the work plate 200.

상기 작업판(200)은 작업 대상물(500, 도 5 및 도 6 참조)이 안착되어 진공 흡착에 의해 고정하는 판 상의 구조로서, 내부에 진공챔버(201)가 형성되며, 상부 면에는 안착되는 작업 대상물(500)을 진공 흡착에 의해 고정하기 위한 다수의 진공흡착부(210)들이 격자 상으로 배치 형성된다.The working plate 200 is a plate-like structure in which the workpiece 500 (see Figs. 5 and 6) is seated and fixed by vacuum adsorption, in which a vacuum chamber 201 is formed, A plurality of vacuum adsorption portions 210 for fixing the object 500 by vacuum adsorption are arranged in a lattice pattern.

상술한 구성의 작업판(200)은 다수의 진공흡착부(210)들이 형성됨과 아울러 내부에 진공챔버(201)를 형성하도록 저면은 상부로 오목한 상부 오목홈이 형성되는 상부 케이스(202)와, 상기 상부 오목홈과 함께 상기 진공챔버(201)를 형성하도록 하부로 오목한 하부 오목홈이 형성되어 상기 상부 케이스(202)와 결합되는 하부 케이스(203)로 구성될 수 있다. 이때, 상기 상부 케이스(202)와 하부 케이스(203)는 선반 가공, CNC 가공 또는 주물 등의 다양한 방법에 의해 제작될 수 있다.The work plate 200 having the above-described structure includes an upper case 202 having a plurality of vacuum adsorbing portions 210 formed therein and having a bottom concave upper concave groove formed therein to form a vacuum chamber 201 therein, And a lower case 203 having a lower concave groove formed therein and coupled with the upper case 202 to form the vacuum chamber 201 together with the upper concave groove. At this time, the upper case 202 and the lower case 203 may be manufactured by various methods such as turning, CNC machining, or casting.

상기 진공흡착부(210)는 작업 대상물(500)이 작업판(200)에 안착되는 경우, 작업 대상물(500)에 의해 진공유로(215)가 개방되어 진공흡착부(500)가 부압을 작업 대상물(500)에 인가하는 것에 의해 흡착력을 가지도록 되어 작업 대상물(500)을 작업판(200) 상에 견고히 고정하도록 하는 기능을 수행한다.When the workpiece 500 is placed on the work plate 200, the vacuum adsorption unit 210 opens the vacuum flow path 215 by the workpiece 500 so that the vacuum adsorption unit 500 applies a negative pressure to the workpiece 200, (500) so that the workpiece (500) is firmly fixed on the work plate (200).

이를 위해, 상기 진공흡착부(210)는 진공 흡착력을 제공하는 진공유로(215)와, 진공채널(216)과, 진공유로(215) 및 진공채널(216) 사이의 유로를 작업 대상물(500)에 의해 눌려져 개방시키고 작업 대상물(500)의 제거되는 경우 폐쇄하는 진공핀(217)과, 진공핀(217)의 위치를 복원시키는 위치복원력을 제공하는 위치복원부재를 포함하여 구성된다.The vacuum adsorption unit 210 is provided with a vacuum channel 215 for providing a vacuum adsorption force and a channel between the vacuum channel 216 and the vacuum channel 215 and the vacuum channel 216, And a position restoring member for providing a position restoring force for restoring the position of the vacuum pin 217. The vacuum fins 217 and the vacuum fins 217,

상기 진공채널(216)은 진공챔버(201)의 부압을 작업 대상물(500)로 전달하는 유로의 기능과 진공핀(217)과 위치복원부재를 장착시키기 위한 장착 경로의 기능을 수행한다. 이를 위해, 상기 진공채널(216)은 작업판(200)의 상부면에서 수직 하방으로 요입 형성되는 진공핀 삽입부(211)와, 진공핀 삽입부(211)의 측 방향으로 연장되며 개방된 상부의 양측에서 진공핀(217)의 이탈을 방지하도록 돌출되는 한 쌍의 가이드(213)가 형성되는 가이드부(212)와, 상기 가이드부(212)의 측부 말단에서 단턱을 이루며 하부로 요입되어 형성되는 진공핀수용부(214)를 포함하여 구성된다.The vacuum channel 216 functions as a flow path for transmitting a negative pressure of the vacuum chamber 201 to the workpiece 500 and a mounting path for mounting the vacuum pin 217 and the position restoring member. The vacuum channel 216 includes a vacuum pin insertion portion 211 which is vertically downwardly protruded from the upper surface of the work plate 200, A pair of guides 213 protruding from both sides of the vacuum pin 217 to prevent the vacuum pin 217 from being separated from the vacuum guide 217; And a vacuum pin receiving portion 214 for receiving the vacuum pin.

상기 진공핀(217)은 상기 진공핀수용부(214)에 장착된 후 작업 대상물에 의해 눌려지는 경우, 진공유로(215)를 개방시켜 진공흡착부(210)를 통해 부압이 작업 대상물(500)로 전달되도록 하는 것으로서, 도 1 및 도 2와 같이, 상기 한 쌍의 가이드(212) 사이의 간격보다 작은 폭을 가지는 기둥상의 진공핀 헤드(218)와, 상기 진공핀 수용부(214)의 내경에 대응하는 단면을 가지며 상기 진공핀 헤드(218)의 하부에 형성되는 기둥 상의 진공핀 몸체(219) 및 진공유로(215)를 기밀하게 차폐하기 위해 진공핀 몸체(219)를 감싸는 실링부재(220)를 포함하여 구성될 수 있다. 이 경우 상기 실링부재(220)는 윤활 특성을 가지는 물질로 제작되는 것에 의해 진공핀(217)의 외측면과 진공핀 수용부(214)의 내측면 사이의 마찰을 최소화시키도록 한다.When the vacuum pin 217 is mounted on the vacuum pin receiving part 214 and then pressed by the object to be processed, the vacuum path 215 is opened and a negative pressure is applied to the workpiece 500 through the vacuum adsorption part 210. [ 1 and 2, a columnar vacuum pin head 218 having a smaller width than the gap between the pair of guides 212, and an inner diameter of the vacuum pin receiving portion 214 A vacuum pin body 219 having a cylindrical cross section corresponding to the vacuum pin head 218 and formed on the lower portion of the vacuum pin head 218 and a sealing member 220 for enclosing the vacuum pin body 219 to hermetically seal the vacuum channel 215 ). ≪ / RTI > In this case, the sealing member 220 is made of a material having lubrication characteristics, thereby minimizing the friction between the outer surface of the vacuum pin 217 and the inner surface of the vacuum pin receiving portion 214.

상기 실링부재(220)는 비접착성이고, 비연마소재인 것이 바람직하다. 상기 실링부재(220)는 폴리디메틸실록산(PDMS) 또는 중합유기 실리콘 화합물과 같은 Si-기반의 폴리머일 수 있다. 상기 실링부재(220)의 두깨는 0.5mm 내지 0.1mm 인 것이 바람직하며, 더욱 바람직하게는 0.2mm 일 수 있다. 상기 실링부재(220)의 두께가 0.1mm 보다 적은 경우 상기 실링부재(220)의 절단이 일어날 수 있으며, 상기 실링부재(220)의 두께가 0.5mm 보다 큰 경우 상기 진공핀 몸체(219)가 수직 하방으로 이동하는 것이 원활하지 않게 되며, 진공핀 몸체(219)와 진공유로(215)사이의 공극이 발생되어 차폐 성능이 저하될 수 있다.The sealing member 220 is preferably non-adhesive and non-abrasive. The sealing member 220 may be a Si-based polymer such as polydimethylsiloxane (PDMS) or a polymeric organosilicon compound. The thickness of the sealing member 220 is preferably 0.5 mm to 0.1 mm, and more preferably 0.2 mm. When the thickness of the sealing member 220 is less than 0.1 mm, the sealing member 220 may be cut. When the thickness of the sealing member 220 is greater than 0.5 mm, the vacuum pin body 219 may be vertically The gap between the vacuum pin body 219 and the vacuum passage 215 may be generated and the shielding performance may be deteriorated.

상기 위치복원부재는 작업 대상물(500)이 제거되는 경우 진공핀(217)을 진공유로(215)를 차폐하는 위치로 위치복원시키는 구성으로서, 도 2 및 도 3의 경우 스프링 등의 탄성체(221)로 구성되는 것으로 도시하였으나, 상기 위치복원부재는 탄성체(221)를 구비함이 없이 가이드(213)와 진공핀 몸체(219)를 자성체 하거나, 가이드(213)와 진공핀 몸체(219)에 장착되는 자성체로 구성될 수 있다. 이 경우, 진공핀 몸체(219)가 가이드(213)와 항상 인력이 작용하게 되므로, 작업 대상물(500)에 의해 눌려지지 않는 때에는 항상 진공유로(215)를 차폐하게 된다.2 and 3, the position restoring member is configured to restrain the vacuum pin 217 to a position for shielding the vacuum path 215 when the workpiece 500 is removed, The position restoring member may include a guide 213 and a vacuum pin body 219 or a guide 213 and a vacuum pin body 219 without having an elastic body 221, Magnetic material. In this case, since the attraction force always acts on the guide 213 with the vacuum pin body 219, the vacuum flow path 215 is always shielded when it is not pressed by the workpiece 500.

상술한 구성의 진공채널(216)과 진공핀(217)을 결합하여 진공흡착부(210)를 형성하기 위해서는, 먼저 진공핀(217)을 진공핀 삽입부(211)로 삽입한다. 이 후, 가이드부(212)를 따라 진공핀 수용부(214)로 진공핀(217)을 이동시킨 후 진공핀 수용부(214)에 안착시킨다. 이 경우, 위치복원부재가 탄성체(221)인 경우에는 진공핀(217)을 진공핀 수용부(214)에 안착시키기 이전에 탄성체(221)를 진공핀 수용부(214)에 먼저 안착시킨 후 진공핀(217)을 안착시킨다. 이와 같은 결합 구성에 의해 진공흡착부(210)에서 진공핀(217)의 장착을 용이하게 수행할 수 있게 된다.In order to form the vacuum adsorption unit 210 by combining the vacuum channel 216 and the vacuum pin 217 having the above-described structure, the vacuum pin 217 is first inserted into the vacuum pin insertion unit 211. Thereafter, the vacuum pin 217 is moved to the vacuum pin receiving portion 214 along the guide portion 212, and is then placed in the vacuum pin receiving portion 214. In this case, when the position restoring member is the elastic body 221, the elastic body 221 is first placed in the vacuum pin receiving portion 214 before the vacuum pin 217 is seated in the vacuum pin receiving portion 214, And the pin 217 is seated. With such a coupling structure, it is possible to easily mount the vacuum pin 217 in the vacuum adsorption unit 210.

이때, 상기 진공핀(217)은 진공핀 수용부(214)에 안착된 후에는 진공핀 수용부(214)에서 가이드부(212)로 이탈되는 것이 방지되어야 한다. 이를 위해, 진공핀 몸체(219)는 자유 상태에서 신장되는 구조를 가지도록 내부에 탄성부재를 개재하여 결합되는 분리된 구조로 구성될 수 있다. 이에 의해, 진공핀(217)이 진공핀 수용부(214)에 안착된 후에는 진공핀 몸체(219)가 신장되는 것에 의해 진공핀 몸체(219)의 측면이 진공핀 수용부(214)의 내 측벽에 걸려 진공핀 수용부(214)로부터 진공핀(217)이 이탈하는 것이 방지된다.At this time, after the vacuum pin 217 is seated in the vacuum pin receiving portion 214, it should be prevented from being separated from the vacuum pin receiving portion 214 to the guide portion 212. To this end, the vacuum pin body 219 may have a separate structure that is coupled through an elastic member to have a structure that is stretched in a free state. Thus, after the vacuum pin 217 is seated in the vacuum pin receiving portion 214, the vacuum pin body 219 is stretched so that the side surface of the vacuum pin body 219 is positioned inside the vacuum pin receiving portion 214 The vacuum pin 217 is prevented from separating from the vacuum pin receiving portion 214 by being caught by the side wall.

또한, 상기 진공척(100)은 도 3과 같이, 진공흡착부(210)에 의한 작업 대상물(500)의 흡착 고정력을 높이고, 진공흡착부(210) 내의 압력 누설을 최소화하기 위해 진공흡착부(210)의 둘레를 따라 실링부재로서의 밀봉탄성체(222)가 형성될 수 있다. 이 경우, 밀봉탄성체(222)들은 작업 대상물(500)이 작업판(200)의 상부면에 안착되는 경우 작업판(200)의 상부면의 높이와 같거나 유사한 높이로 작업 대상물(500)에 의해 압착되는 탄성 강도를 가지는 재질 및 높이를 가지도록 구성될 수 있다. 상기 밀봉탄성체(222)는 작업 대상물(500)과 작업판(200)의 밀봉압착력이 증대시킬 수 있는 폴리디메틸실록산(PDMS) 또는 중합유기 실리콘 화합물과 같은 Si-기반의 폴리머가 바람직하다. 상기 밀봉탄성체(222)는 작업 대상물(500)의 표면과 잘 접촉하도록 원형 단면 또는 다각형 단면 등으로 구성될 수 있다. 상기 밀봉탄성체(222)의 높이는 0.5 내지 2 mm 일 수 있으며, 바람직하게는 1 mm 일 수 있다.3, the vacuum chuck 100 may include a vacuum adsorbing part (not shown) to increase the adsorption fixing force of the workpiece 500 by the vacuum adsorbing part 210 and to minimize the pressure leakage in the vacuum adsorbing part 210 210 may be formed as a sealing elastic member 222 as a sealing member. In this case, the sealing elastic bodies 222 are arranged at a height equal to or similar to the height of the upper surface of the work plate 200 when the workpiece 500 is seated on the upper surface of the work plate 200 And may have a material having a resilient strength to be pressed and a height. The sealing elastic body 222 is preferably a Si-based polymer such as polydimethylsiloxane (PDMS) or a polymeric organosilicon compound that can increase the sealing force of the workpiece 500 and the work plate 200. The sealing elastic body 222 may have a circular cross section or a polygonal cross section so as to be in contact with the surface of the workpiece 500 well. The height of the sealing elastic body 222 may be 0.5 to 2 mm, and preferably 1 mm.

상기 진공호스커넥터(230)들은 외부의 진공호스 또는 진공을 위한 관들을 연결하기 위한 커넥터로서, 진공챔버(201)와 연통되도록 작업판(200)의 측면 둘레를 따라 다수가 형성된다. 만일, 하기에 설명될 도 6과 같이. 진공챔버(201)의 내부가 격벽(240)들에 의해 다수의 영역으로 구획되는 경우에는 상기 진공호스커넥터(230)들은 진공챔버(201)의 구획된 영역들에 대한 진공을 개별적으로 수행하도록 진공챔버(201)의 구획된 영역들 각각 형성될 수 있다. 이때, 진공호스 또는 관들은 결합밸브(460)를 매개로 진공호스커넥터(230)와 연결될 수 있다. 상기 결합밸브(460)는 수동 개폐되는 수동 개폐 밸브 또는 전자적으로 개폐가 제어되는 전자밸브일 수 있다. The vacuum hose connectors 230 are connectors for connecting external vacuum hoses or tubes for vacuum, and are formed along the side surface of the work plate 200 so as to communicate with the vacuum chamber 201. 6, which will be described later. When the inside of the vacuum chamber 201 is partitioned into a plurality of areas by the partition walls 240, the vacuum hose connectors 230 are connected to the vacuum chamber 201 by a vacuum so as to separately perform vacuum for the divided areas of the vacuum chamber 201. [ Each of the divided regions of the chamber 201 can be formed. At this time, the vacuum hose or pipes can be connected to the vacuum hose connector 230 through the coupling valve 460. The coupling valve 460 may be a manual opening / closing valve that is manually opened or closed or a solenoid valve that is controlled to be opened / closed electronically.

도 4는 본 발명의 실시예에 따르는 진공척 장치(100)의 사시도이고, 도 5는 진공척 장치(100)의 사용 상태도이다.FIG. 4 is a perspective view of a vacuum chuck apparatus 100 according to an embodiment of the present invention, and FIG. 5 is a state of use of the vacuum chuck apparatus 100. FIG.

도 4 및 도 5와 같이, 상기 진공척 장치(100)는 상술한 도 1 내지 도 3의 진공척(200)과, 진공관로(400). 진공펌프(440). 체크밸브(430), 압력게이지(420) 및 제어부(450)를 포함하여 구성된다. 4 and 5, the vacuum chuck apparatus 100 includes the vacuum chuck 200 and the vacuum tube 400 of FIGS. 1 to 3 described above. Vacuum pump 440. A check valve 430, a pressure gauge 420, and a control unit 450.

상기 진공척(200)의 설명은 도 1 내지 도 3에서 상세히 기술되었으므로 그 상세한 설명은 생략한다.Since the description of the vacuum chuck 200 has been described in detail with reference to FIGS. 1 to 3, a detailed description thereof will be omitted.

상기 진공관로(400)는, 일단은 개폐밸브(460)들에 결합되고 타단은 진공펌프(440)에 결합되어 진공챔버(201)로 부압을 인가하는 다수의 진공호스(410)들을 포함하여 구성된다. 도 4 및 도 5의 경우 진공호스(410)들은 하나의 진공펌프(440)에 결합되는 다수의 분기관형의 호스들로 형성되는 것으로 도시되었으나, 상기 진공호스(410)들은 각각 분기되지 않는 독립적인 진공호스들로 구성되고, 진공호스들 각각이 하나의 제어부(450)에 의해 공통 제어되는 각각의 독립적인 진공펌프(440)들에 직접 연결되도록 구성될 수도 있다. 이 경우, 상기 압력게이지(420)와 체크밸브(430)는 각각의 독립적인 진공호스들에 각각 구성된다. 이러한 구성은 하기에 설명될 도 6과 같이 격벽(240)들에 의해 진공챔버(201)가 다수의 영역으로 구획되는 경우, 구획된 진공영역들에 대한 개별적인 진공화를 수행하는데 독립적인 진공펌프(440)를 구동하도록 하여 에너지를 절감시킬 수 있도록 하고, 진공화 속도를 높여 진공 효율을 높이는데 유용하다.The vacuum tube 400 includes a plurality of vacuum hoses 410 that are coupled to the on-off valves 460 at one end and coupled to the vacuum pump 440 to apply a negative pressure to the vacuum chamber 201. [ do. 4 and 5, the vacuum hoses 410 are shown as being formed of a plurality of branched tubular hoses coupled to one vacuum pump 440. However, the vacuum hoses 410 are independent of each other, Vacuum hoses, and each of the vacuum hoses may be configured to be connected directly to a respective independent vacuum pump 440 that is commonly controlled by a single controller 450. In this case, the pressure gauge 420 and the check valve 430 are each constituted by respective independent vacuum hoses. This configuration is independent of performing separate evacuation for the divided vacuum areas when the vacuum chamber 201 is partitioned into multiple areas by the partition walls 240 as shown in FIG. 440 in order to reduce energy consumption and to improve vacuum efficiency by increasing vacuum evacuation speed.

상기 진공펌프(440)는 진공관로(400)를 통해 상기 진공챔버(201)의 공기를 흡입 배출하는 것에 의해 진공챔버(201)의 내부를 진공 상태로 만들도록 구성된다. 이때 상기 진공펌프(440)는 진공챔버(201)로부터 공기를 흡입하는 정구동과, 진공챔버(201)로 공기를 주입하는 역구동을 수행하도록 구성될 수 있으며, 이에 의해, 진공챔버(201) 내부의 진공화 및 대기합화를 신속히 수행할 수 있도록 한다.The vacuum pump 440 is configured to vacuum the inside of the vacuum chamber 201 by sucking and discharging the air in the vacuum chamber 201 through the vacuum tube 400. At this time, the vacuum pump 440 may be configured to perform a forward motion for sucking air from the vacuum chamber 201 and reverse driving for injecting air into the vacuum chamber 201, So that the evacuation and the atmospheric concentration can be performed quickly.

상기 체크밸브(430)는 진공관로(400)와 상기 진공펌프(440)의 사이에 설치되어 진공펌프(440)로부터 진공관로(400)로의 공기의 역류를 방지하는 기능을 수행한다. 상기 체크밸브(430)는 진공펌프(440)가 역구동을 수행하는 경우에는 개방된 상태로 유지되도록 제어부(450)에 의해 제어될 수 있도록 하는 전자밸브로 형성될 수도 있다.The check valve 430 is installed between the vacuum pipe 400 and the vacuum pump 440 and functions to prevent backflow of air from the vacuum pump 440 to the vacuum pipe 400. The check valve 430 may be formed of a solenoid valve that can be controlled by the controller 450 to be kept open when the vacuum pump 440 performs reverse driving.

상기 압력게이지(420)는 체크밸브(430)와 상기 진공관로(400)의 사이에 설치되어 진공관로(400)의 내부 압력을 검출하는 것에 의해 진공챔버(201)의 내부의 압력을 간접적으로 검출하도록 구성된다. 이와 달리, 진공챔버(201) 내부의 압력을 검출하여 제어부(450)로 출력하는 압력센서(270)들이 진공챔버(201)의 내부 또는 외부의 관로에 직접 설치될 수도 있다.The pressure gauge 420 is installed between the check valve 430 and the vacuum pipe 400 and detects the internal pressure of the vacuum pipe 400 to indirectly detect the pressure inside the vacuum chamber 201 . Alternatively, the pressure sensors 270 for detecting the pressure inside the vacuum chamber 201 and outputting the detected pressure to the control unit 450 may be directly installed in the inside or outside of the vacuum chamber 201.

상기 제어부(450)는 내부에 진공척 장치(1)의 구동을 제어하기 위한 프로그램이 탑재되며, 제어 값들을 입력할 수 있도록 구성되는 제어반 등으로 구성되는 것으로서, 작업자의 입력 명령에 따라 진공척 장치(1)의 구동을 제어한다.The control unit 450 includes a program for controlling the operation of the vacuum chuck apparatus 1, and a control panel configured to input control values. The control unit 450 controls the operation of the vacuum chuck unit 1, (1).

또한, 상기 제어부(450)는 압력게이지(420) 또는 진공챔버(201) 내부에 설치된 압력센서(270)들의 압력 신호를 인가 받아 진공 압력이 작업 대상물(500)의 이탈이 발생할 수 있는 기 설정된 압력 이하인 경우 경고신호를 출력하고 진공압력을 높이도록 상기 진공펌프(440)의 구동을 제어하도록 구성된다.The control unit 450 receives a pressure signal from the pressure gauge 420 or the pressure sensors 270 installed in the vacuum chamber 201 and determines whether the vacuum pressure is lower than a predetermined pressure A warning signal is outputted and the driving of the vacuum pump 440 is controlled to increase the vacuum pressure.

상술한 도 1 내지 도 5의 진공척(100) 및 진공척 장치(1)를 이용한 작업 대상물(500)에 대한 가공 작업을 설명하면 다음과 같다.A processing operation for the workpiece 500 using the vacuum chuck 100 and the vacuum chuck apparatus 1 of FIGS. 1 to 5 will be described below.

먼저, 작업 대상물이 작업자 또는 이송기계에 의해 진공척(100)에 안착되면, 작업 대상물(500)이 안착된 영역에 위치되는 진공흡착부(210)들의 진공핀(217)들만이 눌려져 진공유로(215)와 진공채널(216)이 연통되고, 진공흡착부(210)의 상부는 작업 대상물(500)에 의해 차폐되며, 밀봉탄성체(222) 또한 작업 대상물(500)에 의해 눌려져 압착되면서 진공흡착부(210)이 기밀성을 높인다. 작업 대상물(500)이 안착되지 않은 진공척(100)의 상부면에 위치된 진공흡착부(210)들은 진공핀(217)에 의해 진공유로(215)가 차폐된 상태를 유지하게 되어 진공챔버(201) 내부의 기밀이 유지된다. 이에 의해, 작업 대상물(500)이 안착되지 않은 진공척(100)의 상부 영역에 대하여 진공을 위한 별도의 밀봉 작업을 수행함이 없이 작업 대상물(500)을 고정하여 작업 대상물(500)에 대한 가공 작업을 수행할 수 있게 된다.When the workpiece is placed on the vacuum chuck 100 by the operator or the transfer machine, only the vacuum pins 217 of the vacuum suction units 210 located in the region where the workpiece 500 is placed are pressed, The upper part of the vacuum adsorption part 210 is shielded by the workpiece 500 and the sealing elastic body 222 is also pressed and pressed by the workpiece 500, (210) increases airtightness. The vacuum suction units 210 positioned on the upper surface of the vacuum chuck 100 on which the workpiece 500 is not mounted are maintained in a state in which the vacuum passage 215 is shielded by the vacuum fins 217, 201 are kept airtight. Thereby, the workpiece 500 is fixed to the upper region of the vacuum chuck 100 where the workpiece 500 is not seated, without performing a separate sealing work for vacuum, . ≪ / RTI >

또한, 본 발명은 상술한 기능에 의해 도 5와 같이, 하나의 진공척(100)의 상부에 다양한 형상과 크기의 작업 대상물을 안착시켜 작업을 수행할 수 있으므로, 작업 대상물(500)의 크기나 형상 및 개수에 제한됨이 없이 가공 작업을 수행할 수 있어 가공 작업의 효율을 현저히 향상시킬 수 있게 된다.5, since the work can be performed by placing various objects having various shapes and sizes on the upper surface of one vacuum chuck 100, the size of the work object 500 It is possible to perform the machining operation without being limited by the shape and the number, and the efficiency of the machining operation can be remarkably improved.

도 6은 진공챔버(201)의 구획 분할 상태를 나타내는 제2 진공척 장치(2)의 사시도이다.6 is a perspective view of the second vacuum chuck apparatus 2 showing the divided state of the vacuum chamber 201. As shown in Fig.

도 6과 같이 도 1 내지 도 3의 진공척(100)은 진공챔버(201)의 내부가 다수의 격벽(240)들에 의해 다수의 분할된 진공 영역으로 분할 구성되고, 작업 대상물(500)의 장착을 감지하는 다수의 감지센서(250)들과 작업판(200)의 온도를 감지하는 온도센서(260)들이 형성될 수 있다. 또한, 구획된 진공 영역들의 내부에는 각각의 진공 영역들의 진공 압력을 측정하기 위한 압력센서(270)들이 구성될 수 있다.As shown in FIG. 6, the vacuum chuck 100 shown in FIGS. 1 to 3 is configured such that the interior of the vacuum chamber 201 is partitioned into a plurality of divided vacuum regions by a plurality of barrier ribs 240, A plurality of sensing sensors 250 sensing the mounting and a temperature sensor 260 sensing the temperature of the work plate 200 may be formed. Further, pressure sensors 270 for measuring the vacuum pressures of the respective vacuum regions may be formed inside the divided vacuum regions.

그리고 상기 제어부(450)는 작업 대상물(500)을 감지한 감지센서(250)들이 위치된 진공영역의 결합밸브(460)들만을 개방하여 진공챔버(201)의 구획된 진공영역들 중 작업 대상물(500)이 위치된 진공영역들만 진공을 수행하도록 제어하도록 구성된다. 이에 따라, 불필요한 진공 작업을 수행하지 않게 되므로, 에너지 소모를 줄일 수 있게 된다.The control unit 450 opens only the coupling valves 460 in the vacuum region in which the sensing sensors 250 sensed the workpiece 500 are positioned and outputs the vacuum pressure in the vacuum chamber 201, 500 are positioned so as to perform only vacuum. As a result, unnecessary vacuum work is not performed, and energy consumption can be reduced.

또한, 상기 제어부(450)는 작업판(200)에 설치된 온도 센서(260)들로부터 온도 정보를 수신하여, 실링부재(220), 밀봉탄성체(222) 등의 열에 의한 파손이 발생하지 않도록 하는 경고 신호를 출력하며, 필요한 경우 작업을 중단 시키는 등의 안전 제어를 수행하도록 구성된다.The control unit 450 receives temperature information from the temperature sensors 260 provided on the work plate 200 and outputs a warning to prevent the seal member 220 and the seal elastic member 222 from being damaged by heat Outputting a signal, and, if necessary, stopping the operation.

또한, 상기 제어부(450)는 작업 대상물(500)에 대한 가공 작업이 종료되어 진공챔버(201)의 진공을 해소하기 위해 공기를 진공챔버(201) 내부로 주입하는 경우, 체크밸브(430)들과 결합밸브(460)들을 개방 상태로 제어한 후, 진공펌프(440)를 역구동 제어하여 진공챔버(201) 내부로 공기를 주입하는 것에 의해 진공챔버(201)의 진공 상태를 신속히 해소하여 작업 대상물(500)의 탈착 작업을 용이하게 수행할 수 있도록 구성될 수도 있다.When the processing of the workpiece 500 is completed and air is injected into the vacuum chamber 201 to dissipate the vacuum of the vacuum chamber 201, the control unit 450 controls the check valves 430 The vacuum pump 201 is controlled to operate in reverse by driving the vacuum pump 440 in the open state and then the vacuum chamber 201 is quickly injected into the vacuum chamber 201 to quickly release the vacuum state of the vacuum chamber 201 And may be configured to easily perform the detachment operation of the object 500.

상기에서 설명한 본 발명의 기술적 사상은 바람직한 실시예에서 구체적으로 기술되었으나, 상기한 실시예는 그 설명을 위한 것이며 그 제한을 위한 것이 아님을 주의하여야 한다. 또한, 본 발명의 기술적 분야의 통상의 지식을 가진자라면 본 발명의 기술적 사상의 범위 내에서 다양한 실시예가 가능함을 이해할 수 있을 것이다. 따라서 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의해 정해져야 할 것이다.While the present invention has been particularly shown and described with reference to exemplary embodiments thereof, it is to be understood that the invention is not limited to the disclosed exemplary embodiments. It will be apparent to those skilled in the art that various modifications may be made without departing from the scope of the present invention. Accordingly, the true scope of the present invention should be determined by the technical idea of the appended claims.

1,2: 진공척 장치, 100: 진공척, 200: 작업판, 201: 진공챔버, 202: 상부케이스, 203: 하부케이스, 210: 진공흡착부, 211: 진공핀 삽입부, 212: 가이드부, 213: 가이드, 214: 진공핀수용부 215: 진공유로, 216: 진공채널, 217: 진공핀, 218: 진공핀 헤드. 219: 진공핀 몸체, 220: (윤활)실링부재, 위치복원부재(221: 탄성체), 222: 밀봉탄성체, 230: 진공호스커넥터, 231: 배기공, 240: 격벽, 250: 감지센서, 260: 온도센서, 270: 압력센서, 300: 하부케이스부, 400: 진공관로, 410: 진공호스, 420: 압력게이지, 430: 체크밸브(개폐조절제어), 440: 진공펌프, 450: 제어부, 460: 결합밸브A vacuum chuck apparatus comprising a vacuum chuck and a vacuum chuck having a vacuum chuck attached to the vacuum chuck, the vacuum chuck having an upper case, a lower case, a vacuum case, , 213: Guide, 214: Vacuum pin receiving portion 215: Vacuum channel, 216: Vacuum channel, 217: Vacuum pin, 218: Vacuum pin head. The vacuum hose connector according to any one of claims 1 to 3, wherein the vacuum hose connector comprises: a vacuum pin body; 220: a sealing member; a position restoring member (221: elastic body); 222: a sealing elastic body; A temperature sensor, a pressure sensor, a lower case part, a vacuum tube, a vacuum hose, a pressure gauge, a check valve, Coupling valve

Claims (5)

내부에 진공으로 되는 진공챔버(201)가 형성된 작업판(200);
상기 작업판(200)의 상부에서 진공챔버(201)와 연통되도록 형성되어 작업 대상물(500)이 상기 작업판(200)의 상부에 안착되는 경우 진공유로(215)가 개방되어 부압에 의해 상기 작업 대상물(500)을 흡착하도록 격자 상으로 다수가 형성되는 다수의 진공흡착부(210)들;
상기 작업판(200)의 측면에 설치되어 상기 진공챔버(201)의 내부를 진공으로 형성하도록 진공호스(410)가 결합되는 하나 이상의 진공호스커넥터(230)들; 및
상기 진공호스커넥터(230)들의 유로를 자동 또는 수동으로 개폐하도록 상기 진공호스커넥터(230)들에 결합되는 개폐밸브(460)들;을 포함하고,
상기 진공흡착부(210)는,
수직으로 요입 형성되는 진공핀 삽입부(211)와 상기 진공핀 삽입부(211)의 측 방향으로 연장되며 개방된 상부의 양측에서 진공핀(217)의 이탈을 방지하도록 돌출되는 한 쌍의 가이드(213)가 형성되는 가이드부(212)와, 상기 가이드부(212)의 측부 말단에서 단턱을 이루며 하부로 요입되어 형성되는 진공핀수용부(214)를 구비하는 진공채널(216);
상기 작업판(200)의 상부면에서 상기 진공핀 삽입부(211)와 가이드부(212) 및 상기 진공핀수용부(214)의 둘레를 따라 형성되는 다수의 밀봉탄성체(222);
상기 진공핀수용부(214)의 일측에서 상기 진공챔버(201)로 연통되도록 형성되는 진공유로(215);
상기 진공핀수용부(214)에 장착되어 상기 작업 대상물(500)에 의해 눌리어지는 경우, 상기 진공유로(215)를 개방시켜 상기 진공흡착부(210)를 진공이 되도록 하는 진공핀(217); 및
상기 작업 대상물(500)이 제거되는 경우 상기 진공핀(217)를 위치 복원시켜 상기 진공유로(215)를 폐쇄하도록 하는 위치복원부재;를 포함하여 구성되는 진공척.A working plate 200 having a vacuum chamber 201 formed therein to be vacuumed;
When the workpiece 500 is mounted on the upper portion of the work plate 200 by being connected to the vacuum chamber 201 at the upper portion of the work plate 200, the vacuum flow path 215 is opened, A plurality of vacuum adsorption units 210 formed in a lattice shape to adsorb the object 500;
At least one vacuum hose connector (230) installed on a side surface of the work plate (200) and coupled with the vacuum hose (410) to form the vacuum chamber (201) in a vacuum; And
Closing valves 460 coupled to the vacuum hose connectors 230 to automatically or manually open and close the flow paths of the vacuum hose connectors 230,
The vacuum adsorbing portion 210 may be formed,
And a pair of guides (not shown) protruded to prevent the release of the vacuum pin 217 from both sides of the upper portion of the upper portion of the vacuum pin insertion portion 211 which extends in the lateral direction of the vacuum pin insertion portion 211 A vacuum channel 216 having a guide part 212 on which the guide part 212 is formed and a vacuum pin receiving part 214 formed on the lower end of the guide part 212 so as to be recessed downward;
A plurality of sealing elastic members 222 formed on the upper surface of the working plate 200 along the circumference of the vacuum pin insertion portion 211, the guide portion 212 and the vacuum pin receiving portion 214;
A vacuum passage 215 formed to communicate with the vacuum chamber 201 from one side of the vacuum pin receiving portion 214;
A vacuum pin 217 which is attached to the vacuum pin receiving portion 214 and is pressed by the workpiece 500 to open the vacuum channel 215 to make the vacuum adsorption portion 210 vacuum, ; And
And a position restoring member for restoring the vacuum pin (217) to close the vacuum passage (215) when the workpiece (500) is removed. 삭제delete 청구항 1에 있어서, 상기 진공핀(217)은,
상기 한 쌍의 가이드(212) 사이의 간격보다 작은 폭을 가지는 기둥상의 진공핀 헤드(218);
상기 진공핀 헤드(218)에서 상기 진공핀 수용부(214)의 내경에 대응하는 단면을 가지는 기둥 상의 진공핀 몸체(219); 및
상기 진공핀 몸체(219)를 감싸는 실링부재(220);를 포함하여 구성되는 진공척.The vacuum cleaner according to claim 1, wherein the vacuum pin (217)
A columnar vacuum pin head 218 having a smaller width than the gap between the pair of guides 212;
A columnar vacuum pin body 219 having a cross section corresponding to the inner diameter of the vacuum pin receiving portion 214 in the vacuum pin head 218; And
And a sealing member (220) surrounding the vacuum pin body (219). 청구항 1에 있어서,
상기 작업판(200)의 상부에 격자 상으로 배치되는 하나 이상의 감지센서(250)들; 및
상기 진공챔버(201)를 구획하는 하나 이상의 격벽(240)들;을 더 포함하고,
상기 개폐밸브(460)들은 상기 감지센서(250)의 감지 신호에 따라 진공챔버(201)의 영역 중 작업 대상물(500)이 위치되는 영역만을 진공화하기 위해 상기 진공호스커넥터(230)들의 유로를 자동 또는 수동으로 개폐하도록 구성되는 진공척.The method according to claim 1,
One or more sensing sensors (250) arranged in a lattice on top of the working plate (200); And
Further comprising at least one partition wall (240) defining the vacuum chamber (201)
The opening and closing valves 460 are connected to the vacuum hose connectors 230 in order to vacuum only the area of the vacuum chamber 201 where the workpiece 500 is located, A vacuum chuck configured to open or close automatically or manually. 삭제delete
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