KR101904852B1 - Light-emitting device - Google Patents

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Abstract

발광 소자는 m-면인 제1 및 제2 상면 및 c-면인 측면을 포함하는 기판과, 제1 및 제2 상면 상에 형성된 성장 억제층과, 측면으로부터 수평 방향을 따라 형성된 발광 구조물을 포함한다.
제1 및 제2 상면은 기판의 배면으로부터 서로 상이한 높이를 갖는다.
측면은 상기 제1 및 제2 상면이 접하는 영역에서 기판의 배면에 수직으로 형성된다.
발광 구조물의 상면은 m-면이다.
The light emitting device includes a substrate including first and second upper surfaces and c-plane side surfaces which are m-planes, a growth inhibiting layer formed on the first and second upper surfaces, and a light emitting structure formed along the horizontal direction from the side surface.
The first and second upper surfaces have different heights from the back surface of the substrate.
The side surface is formed perpendicular to the back surface of the substrate in the region where the first and second upper surfaces are in contact with each other.
The upper surface of the light emitting structure is an m-plane.

Description

발광 소자{Light-emitting device}Light-emitting device

실시예는 발광 소자에 관한 것이다.An embodiment relates to a light emitting element.

발광 다이오드(Light-Emitting Diode: LED)는 전류를 빛으로 변환시키는 반도체 발광 소자이다. Light-emitting diodes (LEDs) are semiconductor light-emitting devices that convert current into light.

반도체 발광 소자는 고 휘도를 갖는 광을 얻을 수 있어, 디스플레이용 광원, 자동차용 광원 및 조명용 광원으로 폭넓게 사용되고 있으며, 형광 물질을 이용하거나 다양한 색의 발광 다이오드를 조합함으로써 효율이 우수한 백색 광을 발광하는 발광 다이오드도 구현이 가능하다.Semiconductor light emitting devices are widely used as light sources for displays, light sources for automobiles, and light sources for illumination because they can obtain light having a high luminance. By using fluorescent materials or combining light emitting diodes of various colors, Light emitting diodes can also be implemented.

통상적으로 기판의 c-축을 따라 다수의 화합물 반도체층들로 이루어진 발광 구조물이 형성된다. 이러한 경우, 스택킹 폴트(stacking fault)나 쓰레딩 디스로케이션(threading dislocation)과 같은 성장 불량과 더불어 활성층에 내부 전기장(internal electric field)이 자연적으로 생성되어 내부 발광 효율이 저하되는 문제가 발생된다. 즉, 내부 전기장은 활성층의 에너지 밴드를 휘게 하여 전자 및 홀들을 공간적으로 분리하며, 이에 따라 재결합 효율(recombination efficiency)을 제한하고, 진동자 강도를 감소시킬 수 있으며, 또한 적색 편이(red shift) 발광을 야기한다.A light emitting structure composed of a plurality of compound semiconductor layers is typically formed along the c-axis of the substrate. In this case, an internal electric field is naturally generated in the active layer together with a growth failure such as a stacking fault or a threading dislocation, and the internal luminous efficiency is lowered. That is, the internal electric field bends the energy band of the active layer to spatially separate electrons and holes, thereby restricting the recombination efficiency, reducing the intensity of the oscillator, and reducing the red shift emission. It causes.

아울러, c-축을 따라 성장된 발광 구조물의 물리적 및 전기적 특성이 저하되는 문제가 있다. In addition, there is a problem that the physical and electrical characteristics of the light emitting structure grown along the c-axis are degraded.

실시예는 안정적으로 발광 구조물을 성장할 수 있는 발광 소자를 제공한다.The embodiment provides a light emitting device capable of stably growing a light emitting structure.

실시예는 물리적 및 전기적 특성이 향상된 발광 소자를 제공한다.Embodiments provide a light emitting device having improved physical and electrical characteristics.

실시예는 내부 발광 효율이 향상된 발광 소자를 제공한다.The embodiment provides a light emitting device having improved internal light emitting efficiency.

실시예에 따르면, 발광 소자는 m-면인 제1 및 제2 상면 및 c-면인 측면을 포함하는 기판; 상기 제1 및 제2 상면 상에 형성된 성장 억제층; 및 상기 측면으로부터 수평 방향을 따라 형성된 발광 구조물을 포함하고, 상기 제1 및 제2 상면은 상기 기판의 배면으로부터 서로 상이한 높이를 갖고, 상기 측면은 상기 제1 및 제2 상면이 접하는 영역에서 상기 기판의 배면에 수직으로 형성되며, 상기 발광 구조물의 상면은 m-면이다.According to an embodiment, a light emitting device includes a substrate comprising first and second top surfaces that are m-planes and a c-plane side; A growth inhibiting layer formed on the first and second upper surfaces; And a light emitting structure formed along the horizontal direction from the side surface, wherein the first and second upper surfaces have different heights from the back surface of the substrate, and the side surfaces are in contact with the first and second upper surfaces, And the upper surface of the light emitting structure is an m-plane.

실시예는 기판의 m-면 상에 비분극 특성을 갖는 m-면을 포함하는 제1 도전형 반도체층을 안정적으로 형성함으로써, 발광 구조물의 활성층에 내부 전기장(internal electric field)이 생성되지 않게 되어 내부 양자 효율의 향상으로 이어질 수 있다. In the embodiment, the first conductive semiconductor layer including the m-plane having the non-polarization property on the m-plane of the substrate is stably formed, so that an internal electric field is not generated in the active layer of the light emitting structure Leading to an improvement in internal quantum efficiency.

도 1 내지 도 4는 제1 실시예에 따른 발광 소자의 제조 공정을 설명하는 도면이다.
도 5는 도 1의 기판을 도시한 평면도이다.
도 6은 실시예에 따른 수평형 발광 소자를 도시한 단면도이다.
도 7은 실시예에 따른 플립형 발광 소자를 도시한 단면도이다.
도 8은 실시예에 따른 수직형 발광 소자를 도시한 단면도이다.
도 9는 제2 실시예에 따른 발광 소자를 도시한 단면도이다.
도 10은 도 1의 기판의 결정 구조를 설명하기 위한 도면이다.
도 11는 실시 예에 따른 표시 장치의 분해 사시도이다.
도 12은 실시 예에 따른 발광 소자를 갖는 표시 장치를 나타낸 도면이다.
도 13은 실시 예에 따른 조명 장치의 사시도이다.
1 to 4 are views for explaining a manufacturing process of the light emitting device according to the first embodiment.
5 is a plan view showing the substrate of FIG.
6 is a cross-sectional view illustrating a horizontal light emitting device according to an embodiment.
7 is a cross-sectional view illustrating a flip-type light emitting device according to an embodiment.
8 is a cross-sectional view illustrating a vertical light emitting device according to an embodiment.
9 is a cross-sectional view illustrating a light emitting device according to the second embodiment.
FIG. 10 is a view for explaining the crystal structure of the substrate of FIG. 1; FIG.
11 is an exploded perspective view of a display device according to an embodiment.
12 is a view showing a display device having a light emitting element according to an embodiment.
13 is a perspective view of a lighting apparatus according to an embodiment.

발명에 따른 실시 예의 설명에 있어서, 각 구성 요소의 " 상(위) 또는 하(아래)"에 형성되는 것으로 기재되는 경우에 있어, 상(위) 또는 하(아래)는 두개의 구성 요소들이 서로 직접 접촉되거나 하나 이상의 또 다른 구성 요소가 두 개의 구성 요소들 사이에 배치되어 형성되는 것을 모두 포함한다. 또한 "상(위) 또는 하(아래)"으로 표현되는 경우 하나의 구성 요소를 기준으로 위쪽 방향 뿐만 아니라 아래쪽 방향의 의미도 포함할 수 있다.In describing an embodiment according to the invention, in the case of being described as being formed "above" or "below" each element, the upper (upper) or lower (lower) Directly contacted or formed such that one or more other components are disposed between the two components. Also, in the case of "upper (upper) or lower (lower)", it may include not only an upward direction but also a downward direction based on one component.

도 1 내지 도 4는 제1 실시예에 따른 발광 소자의 제조 공정을 설명하는 도면이다.1 to 4 are views for explaining a manufacturing process of the light emitting device according to the first embodiment.

도 1을 참조하면, 기판(11)이 마련될 수 있다. Referring to FIG. 1, a substrate 11 may be provided.

제1 실시예의 기판(11)은 사파이어 기판일 수 있지만, 이에 대해서는 한정하지 않는다. 즉, 상기 기판(11)으로서는 SiC, Si, GaAs, GaN, ZnO, Si, GaP, InP 및 Ge로 이루어지는 그룹으로부터 선택된 적어도 하나가 사용될 수 있다. Although the substrate 11 of the first embodiment may be a sapphire substrate, it is not limited thereto. That is, at least one selected from the group consisting of SiC, Si, GaAs, GaN, ZnO, Si, GaP, InP, and Ge can be used as the substrate 11.

상기 사파이어 기판(11)은 도 10에 도시한 바와 같이, 육방정계 우르차이트(hexagonal wurtzite) 결정 구조에서 가장 안정적이다. 이러한 결정 구조는 서로에 대하여 120° 회전 대칭을 가지고, 수직 방향인 c-축에 대하여 모두 수직인 세 개의 동동한 기저면 축들(base plane axes: a1, a2, a3)을 가진다.The sapphire substrate 11 is most stable in a hexagonal wurtzite crystal structure as shown in FIG. This crystal structure has three coherent base plane axes (a1, a2, a3) that are 120 degrees rotationally symmetrical with respect to each other and are all perpendicular to the vertical c-axis.

c-축을 따라 c-면이 형성될 수 있다. 또한, c-면에 수직으로 a-면과 m-면이 형성될 수 있다. The c-plane may be formed along the c-axis. Further, an a-plane and an m-plane may be formed perpendicular to the c-plane.

통상적으로 사파이어 기판의 c-축을 따라 성장된 발광 구조물(27)은 벌크 자발 분극(bulk spontaneous polarization)과 압전 분극(piezoelectric polarization)이 형성되는 분극 면(polar plane)을 갖는다. 이때 c-축을 따라 성장된 발광 구조물(27)의 상면은 c-면을 가질 수 있다.The light emitting structure 27, which is typically grown along the c-axis of the sapphire substrate, has a polar plane in which bulk spontaneous polarization and piezoelectric polarization are formed. At this time, the upper surface of the light emitting structure 27 grown along the c-axis may have a c-plane.

사파이어 기판의 m-면에 수직인 m-축을 따라 성장된 발광 구조물(27)은 벌크 자발 분극이나 압전 분극이 형성되지 않은 비분극 면(nonpolar plane)게 된다. 이때 m-축을 따라 성장된 발광 구조물(27)의 상면 또한 m-면을 가질 수 있다. 따라서, 발광 구조물(27)의 활성층(23)에 내부 전기장(internal electric field)이 생성되지 않게 되므로, 대칭적인 에너지 밴드를 유지하여 재결합 효율(recombination efficiency)이 증가되고 이는 곧 내부 양자 효율의 향상으로 이어질 수 있다. The light-emitting structure 27 grown along the m-axis perpendicular to the m-plane of the sapphire substrate becomes a nonpolar plane without bulk spontaneous polarization or piezoelectric polarization. At this time, the upper surface of the light emitting structure 27 grown along the m-axis may also have an m-plane. Therefore, since the internal electric field is not generated in the active layer 23 of the light emitting structure 27, the recombination efficiency is increased by maintaining the symmetrical energy band, which is an improvement of the internal quantum efficiency .

하지만, 사파이어 기판의 m-축을 따라 발광 구조물(27)을 성장시키기는 어렵고, 발광 구조물(27)을 성장시키더라도, 발광 구조물(27)과 사파이어 기판의 격자 구조가 유사하여 발광 구조물(27)의 상면이 비분극면을 갖든지 반분극 면(semipolar plane)을 가질 수 있다. 반분극면의 발광 구조물(27) 또한 벌크 자발 분극(bulk spontaneous polarization)이 형성되므로 발광 소자의 내부 양자 효율을 저하시킬 수 있다. However, it is difficult to grow the light emitting structure 27 along the m-axis of the sapphire substrate. Even if the light emitting structure 27 is grown, the lattice structure of the light emitting structure 27 is similar to that of the sapphire substrate, The top surface may have a non-polarized surface or a semi-polarized surface. Since the semi-polarized light emitting structure 27 also has bulk spontaneous polarization, the internal quantum efficiency of the light emitting device can be lowered.

따라서, 상기 마련된 기판(11)의 상면은 m-면이고 측면(17)은 c-면일 수 있다.Accordingly, the upper surface of the substrate 11 may be an m-plane and the side surface 17 may be a c-plane.

상기 기판(11)의 상면은 국부적 또는 선택적으로 식각되어 서로 상이한 높이를 갖는 제1 및 제2 상면(15a, 15b)을 갖는 패턴(15)들이 형성될 수 있다. The upper surface of the substrate 11 may be locally or selectively etched to form patterns 15 having first and second upper surfaces 15a and 15b having different heights.

상기 기판(11)이 식각됨으로써, 상기 기판(11)의 제1 상면(15a)이 부분적으로 제거되어 그 높이가 감소된 제2 상면(15b)이 형성될 수 있다. 상기 제1 상면(15a)뿐만 아니라 상기 제2 상면(15b) 또한 m-축 방향을 따라 형성된 m-면일 수 있다. The first upper surface 15a of the substrate 11 may be partially removed by etching the substrate 11 to form a second upper surface 15b having a reduced height. The first upper surface 15a as well as the second upper surface 15b may be m-planes formed along the m-axis direction.

상기 기판(11)의 배면에 대해 수직인 측면(17)이 상기 제1 및 제2 상면(15a, 15b)이 접하는 영역에 형성될 수 있다. 상기 측면(17)은 상기 기판(11)의 배면에 수직인 면을 가지지만, 이에 대해서는 한정하지 않는다. A side surface 17 perpendicular to the back surface of the substrate 11 may be formed in a region where the first and second top surfaces 15a and 15b are in contact with each other. The side surface 17 has a surface perpendicular to the back surface of the substrate 11, but the present invention is not limited thereto.

상기 제1 상면(15a)에 수직인 상기 측면(17)은 c-축 방향을 따라 형성된 c-면일 수 있다. The side surface (17) perpendicular to the first top surface (15a) may be a c-plane formed along the c-axis direction.

상기 기판(11)의 배면은 직선 면 또는 평행 면을 가질 수 있다. The back surface of the substrate 11 may have a straight surface or a parallel surface.

상기 제1 상면(15a)은 상기 기판(11)의 배면으로부터 상기 제2 상면(15b)보다 너 높은 높이를 가질 수 있다. The first upper surface 15a may have a height higher than the second upper surface 15b from the back surface of the substrate 11. [

따라서, 상기 제1 및 제2 상면(15a, 15b) 사이의 높이차만큼 상기 측면(17)이 형성될 수 있다. Accordingly, the side surface 17 may be formed by a height difference between the first and second top surfaces 15a and 15b.

상기 제1 상면(15a) 사이의 상기 제2 상면(15b)과 상기 제2 상면(15b)과 접하는 양 측면(17)에 의해 그루브(13)(groove)가 형성될 수 있다. Grooves 13 may be formed by the second upper surface 15b between the first upper surfaces 15a and both side surfaces 17 contacting the second upper surfaces 15b.

상기 그루브(13)는 도 5에 도시한 바와 같이, 일 방향을 따라 길게 형성된 바 형상을 가질 수 있지만, 이에 대해서는 한정하지 않는다. As shown in FIG. 5, the groove 13 may have a bar shape elongated along one direction, but the present invention is not limited thereto.

상기 측면(17)의 높이, 상기 제1 상면(15a)의 폭 및 상기 제1 상면(15a) 사이의 간격은 변경 가능하므로, 이에 대해서는 한정하지 않는다. The height of the side surface 17, the width of the first upper surface 15a, and the interval between the first upper surfaces 15a can be changed, so the present invention is not limited thereto.

다만, 상기 기판(11) 상에 발광 구조물(27), 구체적으로 제1 도전형 반도체층(21)의 상면이 충분히 m-면을 갖고 성장될 수 있도록 상기 측면(17)의 높이, 상기 제1 상면(15a)의 폭 및 상기 제1 상면(15a) 사이의 간격이 설계되어야 한다.The height of the side surface 17 so that the upper surface of the light emitting structure 27, specifically, the first conductivity type semiconductor layer 21 can be grown with a sufficient m-plane on the substrate 11, The width of the upper surface 15a and the distance between the first upper surfaces 15a should be designed.

도 2를 참조하면, 상기 기판(11)의 측면(17)이 노출되고 상기 기판(11)의 제1 및 제2 상면(15b)은 노출되지 않도록 상기 기판(11) 상에 성장 억제층(19)이 형성될 수 있다. Referring to FIG. 2, a growth inhibiting layer 19 (not shown) is formed on the substrate 11 such that the side surface 17 of the substrate 11 is exposed and the first and second upper surfaces 15b of the substrate 11 are not exposed. May be formed.

상기 성장 억제층(19)은 상기 기판(11) 상에 수직 방향, 즉 m-축 방향으로 발광 구조물(27)이 성장되지 않도록 억제하는 역할을 할 수 있다. The growth inhibiting layer 19 may act to prevent the light emitting structure 27 from growing in the vertical direction, that is, the m-axis direction, on the substrate 11.

상기 성장 억제층(19)은 비반도체 재료, 예컨대 실리콘 산화물(SiO2)나 실리콘 질화물(SiN2)와 같은 절연 재료일 수 있지만, 이에 대해서는 한정하지 않는다. The growth inhibiting layer 19 may be a non-semiconductor material, for example, an insulating material such as silicon oxide (SiO 2 ) or silicon nitride (SiN 2 ), but is not limited thereto.

상기 성장 억제층(19)은 상기 기판(11)의 제1 및 제2 상면(15a, 15b) 상에 형성되는데 반해, 상기 기판(11)의 측면(17)에는 형성되지 않는다.The growth inhibiting layer 19 is formed on the first and second upper surfaces 15a and 15b of the substrate 11 but not on the side surface 17 of the substrate 11. [

이를 위해, 먼저 성장 억제막이 상기 기판(11)의 전면, 즉 상기 기판(11)의 제1 및 제2 상면(15a, 15b) 및 측면(17) 상에 형성되고, 회석된 BOE(Buffer Oxide Etchant)에 의한 습식 식각을 이용하여 성장 억제막이 국부적 또는 선택적으로 제거됨으로써, 상기 성장 억제층(19)이 형성될 수 있다. 즉, 상기 기판(11)의 제1 및 제2 상면(15a, 15b) 상의 성장 억제막은 제거되지 않고 그대로 유지되고, 상기 측면(17) 상의 성장 억제막은 제거될 수 있다. A growth inhibiting film is first formed on the entire surface of the substrate 11, that is, on the first and second upper surfaces 15a and 15b and the side surface 17 of the substrate 11, and a BOE (Buffer Oxide Etchant) ), The growth inhibiting layer 19 can be formed by locally or selectively removing the growth inhibiting film. That is, the growth inhibiting films on the first and second top faces 15a and 15b of the substrate 11 are not removed and the growth inhibiting film on the side faces 17 can be removed.

실시예는 성장 억제층(19)을 형성하기 위해 습식 식각을 이용하고 있지만, 이에 대해서는 한정하지 않는다.Although the embodiment uses wet etching to form the growth inhibiting layer 19, it is not limited thereto.

도 3을 참조하면, 상기 기판(11) 상에 발광 구조물(27)의 제1 도전형 반도체층(21)이 형성될 수 있다. Referring to FIG. 3, the first conductive semiconductor layer 21 of the light emitting structure 27 may be formed on the substrate 11.

상기 제1 도전형 반도체층(21)은 예를 들어, n형 도펀트를 포함하는 n형 반도체층일 수 있다. 상기 n형 반도체층은 InxAlyGa1-x-yN(0≤x≤1, 0 ≤y≤1, 0≤x+y≤1)의 조성식을 갖는 반도체 재료, 예를 들어 InAlGaN, GaN, AlGaN, InGaN, AlN, InN 및 AlInN로 이루어지는 그룹으로부터 선택된 적어도 하나를 포함할 수 있으며, Si, Ge, Sn 등의 n형 도펀트가 도핑될 수 있다. The first conductive semiconductor layer 21 may be, for example, an n-type semiconductor layer including an n-type dopant. The n-type semiconductor layer may be formed of a semiconductor material having a composition formula of In x Al y Ga 1-xy N (0? X? 1, 0? Y? 1, 0? X + y? 1), for example, InAlGaN, GaN, AlGaN, InGaN, AlN, InN and AlInN, and may be doped with an n-type dopant such as Si, Ge or Sn.

처음에 상기 기판(11)의 제1 및 제2 상면(15a, 15b)에 성장 억제층(19)이 형성되어 있으므로, 상기 제1 도전형 반도체층(21)은 상기 기판(11)의 c-면이 노출된 상기 측면(17)으로부터 점진적으로 성장될 수 있다. 즉, 상기 기판(11)의 제2 상면(15b)에 접하는 상기 기판(11)의 양 측면(17)으로부터 수평 방향, 즉 c-축 방향으로 상기 제1 도전형 반도체층(21)이 성장될 수 있다. The growth inhibiting layer 19 is formed on the first and second upper surfaces 15a and 15b of the substrate 11 so that the first conductivity type semiconductor layer 21 is formed on the c- The surface can be gradually grown from the exposed side surface 17. That is, the first conductivity type semiconductor layer 21 is grown in the horizontal direction, that is, the c-axis direction, from both side surfaces 17 of the substrate 11 in contact with the second upper surface 15b of the substrate 11 .

상기 제2 상면(15b)에 접하는 한 측면(17)으로부터 성장된 상기 제1 도전형 반도체층(21)은 왼쪽에서 오른쪽으로의 c-축 방향으로 성장되고, 상기 제2 상면(15b)에 접하는 다른 측면(17)으로부터 성장된 제1 도전형 반도체층(21)은 오른쪽에서 왼쪽으로의 c-축 방향으로 성장될 수 있다. The first conductivity type semiconductor layer 21 grown from one side surface 17 contacting the second upper surface 15b is grown in the c-axis direction from left to right, The first conductivity type semiconductor layer 21 grown from the other side surface 17 can be grown in the c-axis direction from right to left.

따라서, 상기 한 측면(17)으로부터 성장된 제1 도전형 반도체층(21)과 상기 다른 측면(17)으로부터 성장된 제1 도전형 반도체층(21)은 상기 제2 상면(15b) 상에서 서로 접하게 되고, 상기 서로 접한 제1 도전형 반도체층(21)은 이후에는 상부 방향, 즉 m-축 방향을 따라 성장될 수 있다.The first conductivity type semiconductor layer 21 grown from the side face 17 and the first conductivity type semiconductor layer 21 grown from the other side face 17 are brought into contact with each other on the second top face 15b And the first conductivity type semiconductor layer 21 in contact with the first conductivity type semiconductor layer 21 may be grown along the upper direction, that is, the m-axis direction.

이와 같은 성장을 통해, 상기 제1 상면(15a) 사이의 상기 그루브(13)에 상기 제1 도전형 반도체층(21)이 채워진 후, 상기 제1 도전형 반도체층(21)은 인접하는 그루브(13) 사이의 상기 제1 상면(15a)으로 즉 c-축 방향을 따라 계속하여 성장될 수 있다. Through the growth, the first conductive semiconductor layer 21 is filled in the groove 13 between the first upper surfaces 15a, and then the first conductive semiconductor layer 21 is formed in the adjacent groove 13, that is, along the c-axis direction.

따라서, 상기 제1 상면(15a)과 상기 그루브(13)의 제2 상면(15b) 상에 상기 제1 도전형 반도체층(21)이 형성될 수 있다. Therefore, the first conductive type semiconductor layer 21 may be formed on the first upper surface 15a and the second upper surface 15b of the groove 13.

상기 제1 도전형 반도체층(21)이 상기 제1 상면(15a)에서 c-축 방향을 따라 성장되도록 하기 위해, 상기 제1 상면(15a)의 폭은 상기 제2 상면(15b)의 폭보다 현저하게 작도록 설계되는 것이 바람직하다. The width of the first upper surface 15a is greater than the width of the second upper surface 15b so that the first conductive semiconductor layer 21 is grown along the c-axis direction at the first upper surface 15a. It is preferable to be designed to be remarkably small.

예컨대, 상기 제1 상면(15a)은 상기 제2 상면(15b)의 1% 내지 30%의 폭을 갖도록 설계될 수 있지만, 이에 대해서는 한정하지 않는다. For example, the first upper surface 15a may be designed to have a width of 1% to 30% of the second upper surface 15b, but the present invention is not limited thereto.

이와 같이, 상기 기판(11) 상에 m-면은 노출되지 않도록 하고 c-면만 노추되도록 성장 억제층(19)을 형성하고, c-면을 바탕으로 제1 도전형 반도체층(21)을 형성함으로써, 상기 제1 도전형 반도체층(21)의 상면 또한 m-면으로 형성될 수 있다. As described above, the growth inhibiting layer 19 is formed on the substrate 11 so that the m-plane is not exposed, only the c-plane is obliquely formed, and the first conductivity type semiconductor layer 21 is formed on the basis of the c- The upper surface of the first conductivity type semiconductor layer 21 may also be formed as an m-plane.

실시예는 기판(11)의 m-면 상에 비분극 특성을 갖는 m-면을 포함하는 제1 도전형 반도체층(21)을 안정적으로 형성함으로써, 발광 구조물(27)의 활성층(23)에 내부 전기장(internal electric field)이 생성되지 않게 되어 내부 양자 효율의 향상으로 이어질 수 있다. The embodiment can stably form the first conductivity type semiconductor layer 21 including the m-plane having the non-polarization property on the m-plane of the substrate 11 to form the first conductivity type semiconductor layer 21 on the active layer 23 of the light emitting structure 27 An internal electric field is not generated, which may lead to an improvement in internal quantum efficiency.

도 4를 참조하면, 상기 제1 도전형 반도체층(21) 상에 활성층(23)과 제2 도전형 반도체층(25)이 순차적으로 형성될 수 있다.Referring to FIG. 4, the active layer 23 and the second conductive semiconductor layer 25 may be sequentially formed on the first conductive semiconductor layer 21.

상기 활성층(23)은 상기 제1 도전형 반도체층(21)을 통해서 주입되는 제1 캐리어, 예컨대 전자와 상기 제2 도전형 반도체층(25)을 통해서 주입되는 제2 캐리어, 예컨대 정공이 서로 결합되어, 상기 활성층(23)의 형성 물질에 따른 에너지 밴드(Energy Band)의 밴드갭(Band Gap) 차이에 상응하는 파장을 갖는 빛을 방출하는 층이다. The active layer 23 may include a first carrier injected through the first conductivity type semiconductor layer 21, for example, electrons and a second carrier injected through the second conductivity type semiconductor layer 25, And emits light having a wavelength corresponding to a band gap difference of an energy band according to a material of the active layer 23. [

상기 활성층(23)은 단일 양자 우물 구조, 다중 양자 우물 구조(MQW), 양자점 구조 또는 양자선 구조 중 어느 하나를 포함할 수 있다. 상기 활성층(23)은 3족 내지 5족 화합물 반도체들을 우물층과 장벽층의 주기로 반복 형성될 수 있다.The active layer 23 may include any one of a single quantum well structure, a multiple quantum well structure (MQW), a quantum dot structure, and a quantum wire structure. The active layer 23 may be repeatedly formed in the period of the well layer and the barrier layer by group III-V compound semiconductors.

예를 들면 InGaN 우물층/GaN 장벽층의 주기, InGaN 우물층/AlGaN 장벽층의 주기, InGaN우물층/InGaN 장벽층의 주기 등으로 형성될 수 있다. 상기 장벽층의 밴드 갭은 상기 우물층의 밴드 갭보다 크게 형성될 수 있다.For example, the period of the InGaN well layer / GaN barrier layer, the period of the InGaN well layer / AlGaN barrier layer, the period of the InGaN well layer / the InGaN barrier layer, and the like. The band gap of the barrier layer may be formed to be larger than the band gap of the well layer.

상기 제2 도전형 반도체층(25)은 예를 들어, p형 도펀트를 포함하는 p형 반도체층일 수 있다. 상기 p형 반도체층은 InxAlyGa1-x-yN(0≤x≤1, 0 ≤y≤1, 0≤x+y≤1)의 조성식을 갖는 반도체 재료, 예를 들어 InAlGaN, GaN, AlGaN, InGaN, AlN, InN 및 AlInN로 이루어지는 그룹으로부터 선택된 적어도 하나를 포함할 수 있으며, Mg, Zn, Ca, Sr, Ba 등의 p형 도펀트가 도핑될 수 있다.The second conductivity type semiconductor layer 25 may be, for example, a p-type semiconductor layer including a p-type dopant. The p-type semiconductor layer may be a semiconductor material having a composition formula of In x Al y Ga 1-xy N (0? X? 1, 0? Y? 1, 0? X + y? 1), for example, InAlGaN, GaN, AlGaN, InGaN, AlN, InN and AlInN, and may be doped with a p-type dopant such as Mg, Zn, Ca, Sr or Ba.

상기 제1 도전형 반도체층(21)의 상면이 m-면을 가지고, 이러한 제1 도전형 반도체층(21)의 m-면 상에 활성층(23) 및 제2 도전형 반도체층(25)을 형성함으로써, 상기 활성층(23)과 제2 도전형 반도체층(25) 각각 그 상면이 m-면으로 형성될 수 있다. The active layer 23 and the second conductivity type semiconductor layer 25 are formed on the m-plane of the first conductivity type semiconductor layer 21, The upper surface of each of the active layer 23 and the second conductivity type semiconductor layer 25 may be formed as an m-plane.

상기 제1 도전형 반도체층(21), 상기 활성층(23) 및 상기 제2 도전형 반도체층(25)에 의해 발광 구조물(27)이 형성될 수 있다.The light emitting structure 27 may be formed of the first conductive semiconductor layer 21, the active layer 23, and the second conductive semiconductor layer 25.

상기 제1 도전형 반도체층(21), 상기 활성층(23) 및 상기 제2 도전형 반도체층(25) 모두는 예컨대, MOCVD(metal organic chmical vaphor depostion), HVPE(hybrid vapor phase epitaxy), CVD(chemical vapor deposition), PECVD(plasma-enhanced chemical vapor deposition), MBE(molecular beam epitaxy) 중 어느 하나을 이용하여 형성될 수 있으며, 이에 대해 한정하지는 않는다. The first conductivity type semiconductor layer 21, the active layer 23 and the second conductivity type semiconductor layer 25 may be formed by a combination of a metal organic chemical vapor deposition (MOCVD), a hybrid vapor phase epitaxy (HVPE) chemical vapor deposition (PECVD), plasma-enhanced chemical vapor deposition (PECVD), or molecular beam epitaxy (MBE), but the present invention is not limited thereto.

도시되지 않았지만, 상기 제2 도전형 반도체층(25) 상에는 투명전극층이 형성될 수 있다. 상기 투명전극층은 ITO, IZO(In-ZnO), GZO(Ga-ZnO), AZO(Al-ZnO), AGZO(Al-Ga ZnO), IGZO(In-Ga ZnO), IrOx, RuOx, RuOx/ITO, Ni/IrOx/Au 및 Ni/IrOx/Au/ITO로 이루어지는 그룹으로부터 선택된 적어도 하나를 포함할 수 있다. Although not shown, a transparent electrode layer may be formed on the second conductive semiconductor layer 25. The transparent electrode layer may be formed of ITO, IZO (In-ZnO), GZO (Ga-ZnO), AZO (Al- ZnO) , Ni / IrOx / Au, and Ni / IrOx / Au / ITO.

한편, 상기 투명전극층 대신 반사전극층(미도시)이 형성될 수도 있다. 상기 반사전극층은 반사 효율이 높은 은(Ag), 알루미늄(Al), 백금(Pt) 및 팔라딘(Pd)로 이루어지는 그룹으로부터 선택된 적어도 하나를 포함할 수 있다. A reflective electrode layer (not shown) may be formed instead of the transparent electrode layer. The reflective electrode layer may include at least one selected from the group consisting of silver (Ag), aluminum (Al), platinum (Pt), and palladium (Pd) having high reflection efficiency.

이하에서는 도 1 내지 도 4에 의해 제조된 발광 소자의 응용예로서, 수평형(lateral-type) 발광 소자, 플립형(flip-type) 발광 소자 및 수직형(vertical-type) 발광 소자를 제안한다.Hereinafter, a lateral-type light emitting device, a flip-type light emitting device, and a vertical-type light emitting device, which are examples of the light emitting device manufactured by FIGS. 1 to 4, are proposed.

이들 발광 소자는 모두 도 1 내지 도 4에 의해 제조된 발광 소자를 바탕으로 추가 공정을 이용하여 제조될 수 있다. All of these light emitting devices can be manufactured using an additional process based on the light emitting device manufactured by Figs. 1 to 4.

이하의 설명에서 도 1 내지 도 4와 관련한 앞선 설명과 중복되는 구성 요소에 대해서는 동일한 도면 부호를 부여하고 상세한 설명은 생략한다.In the following description, the same elements as those in the first embodiment will be denoted by the same reference numerals, and detailed description thereof will be omitted.

도 6은 실시예에 따른 수평형 발광 소자를 도시한 단면도이다.6 is a cross-sectional view illustrating a horizontal light emitting device according to an embodiment.

도 1 내지 도 4 및 도 6을 참조하면, 실시예에 따른 수평형 발광 소자(10A)는 기판(11), 상기 기판(11) 상에 성장 억제층(19), 상기 성장 억제층(19) 상에 제1 도전형 반도체층(21), 상기 제1 도전형 반도체층(21) 상에 활성층(23), 상기 활성층(23) 상에 제2 도전형 반도체층(25) 및 상기 제1 및 제2 도전형 반도체층(25) 상에 제1 및 제2 전극(31, 33)을 포함할 수 있다. 1 to 4 and 6, the horizontal light emitting device 10A according to the embodiment includes a substrate 11, a growth inhibiting layer 19 on the substrate 11, the growth inhibiting layer 19, A first conductive semiconductor layer 21 on the first conductive semiconductor layer 21, an active layer 23 on the first conductive semiconductor layer 21, a second conductive semiconductor layer 25 on the active layer 23, The first and second electrodes 31 and 33 may be formed on the second conductive semiconductor layer 25.

상기 제1 도전형 반도체층(21), 상기 활성층(23) 및 상기 제2 도전형 반도체층(25)에 의해 발광 구조물(27)이 형성될 수 있다. The light emitting structure 27 may be formed of the first conductive semiconductor layer 21, the active layer 23, and the second conductive semiconductor layer 25.

상기 기판(11)은 서로 상이한 높이를 갖는 제1 및 제2 상면(15a, 15b)을 갖는 다수의 패턴(15)들을 포함할 수 있다. 상기 기판(11)은 상기 제1 및 제2 상면(15a, 15b) 간의 높이 차에 해당하도록 측면(17)이 더 형성될 수 있다. The substrate 11 may include a plurality of patterns 15 having first and second top surfaces 15a and 15b having different heights. The substrate 11 may further include a side surface 17 corresponding to a height difference between the first and second top surfaces 15a and 15b.

상기 제1 및 제2 상면(15a, 15b)은 m-면이 되고, 상기 측면(17)은 c-면이 될 수 있다. The first and second top surfaces 15a and 15b may be m-planes and the side surface 17 may be c-planes.

상기 성장 억제층(19)은 상기 제1 도전형 반도체층(21)이 c-면에 수직인 c-축 방향을 따라 성장되도록 제어하는 역할을 할 수 있다. 이를 위해 상기 성장 억제층(19)은 상기 제1 및 제2 상면(15a, 15b) 상에 형성될 수 있다. The growth inhibiting layer 19 may control the growth of the first conductivity type semiconductor layer 21 along the c-axis direction perpendicular to the c-plane. For this, the growth inhibiting layer 19 may be formed on the first and second upper surfaces 15a and 15b.

따라서, 상기 제1 도전형 반도체층(21)은 상기 기판(11)의 c-면으로부터 c-축 방향을 따라 성장되어 상기 패턴(15) 사이의 그루브(13)에 채우진 후, 상기 기판(11)의 제1 상면(15a) 상에서 c-축 방향을 따라 성장되어, 상기 그루브(13) 뿐만 아니라 상기 기판(11)의 제1 상면(15a) 상에도 형성될 수 있다. Accordingly, the first conductive semiconductor layer 21 is grown along the c-axis direction from the c-plane of the substrate 11 and is filled in the groove 13 between the patterns 15, Axis direction on the first upper surface 15a of the substrate 11 and also on the first upper surface 15a of the substrate 11 as well as the grooves 13. [

이와 같이 성장된 상기 제1 도전형 반도체층(21)의 상면은 m-면일 수 있다. The upper surface of the first conductivity type semiconductor layer 21 thus grown may be an m-plane.

따라서, 기판(11)의 m-면 상에 상면이 m-면인 제1 도전형 반도체층(21)을 안정적으로 형성함으로써, 비분극 특성에 의해 내부 발광 효율이 향상될 수 있다. Therefore, by stably forming the first conductivity type semiconductor layer 21 whose upper surface is m-plane on the m-plane of the substrate 11, the internal light emission efficiency can be improved by the non-polarization property.

상기 제1 및 제2 전극(31, 33)은 예컨대, Al, Ti, Cr, Ni, Pt, Au, W, Cu 및 Mo으로 이루어지는 그룹으로부터 선택된 하나 또는 이들의 합금을 포함할 수 있지만, 이에 한정하지 않는다.The first and second electrodes 31 and 33 may include one or an alloy selected from the group consisting of Al, Ti, Cr, Ni, Pt, Au, W, Cu and Mo, I never do that.

도 7은 실시예에 따른 플립형 발광 소자를 도시한 단면도이다.7 is a cross-sectional view illustrating a flip-type light emitting device according to an embodiment.

실시예에 따른 플립형 발광 소자(10B)는 제2 도전형 반도체층(25) 상에 형성된 반사층(35)을 제외하고는 도 6의 도시된 수평형 발광 소자(10A)와 거의 동일하다.The flip-type light emitting device 10B according to the embodiment is substantially the same as the horizontal light emitting device 10A shown in Fig. 6 except for the reflection layer 35 formed on the second conductivity type semiconductor layer 25. Fig.

이하의 도 7의 플립형 발광 소자(10B)의 설명에서 생략된 설명은 도 1 내지 도 4에 의해 제조된 발광 소자 및 도 6의 수평형 발광 소자(10A)의 설명으로부터 용이하게 이해될 수 있다.The description omitted in the following description of the flip-type light emitting device 10B of FIG. 7 can be easily understood from the description of the light emitting device manufactured by FIGS. 1 to 4 and the horizontal light emitting device 10A of FIG.

도 1 내지 도 4 및 도 7을 참조하면, 실시예에 따른 플립형 발광 소자(10B)는 기판(11), 기판(11) 아래에 성장 억제층(19), 상기 성장 억제층(19) 아래에 제1 도전형 반도체층(21), 상기 제1 도전형 반도체층(21) 아래에 활성층(23), 상기 활성층(23) 아래에 제2 도전형 반도체층(25), 상기 제2 도전형 반도체층(25) 아래에 반사층(35) 및 상기 제1 도전형 반도체층(21) 및 상기 반사층(35) 각각 아래에 제1 및 제2 전극(31, 33)을 포함한다.1 to 4 and 7, the flip-type light emitting device 10B according to the embodiment includes a substrate 11, a growth suppressing layer 19 below the substrate 11, A first conductivity type semiconductor layer 21, an active layer 23 below the first conductivity type semiconductor layer 21, a second conductivity type semiconductor layer 25 below the active layer 23, A reflective layer 35 under the layer 25 and first and second electrodes 31 and 33 below the first conductive semiconductor layer 21 and the reflective layer 35, respectively.

상기 반사층(35)은 상기 활성층(23)에서 생성되어 하부 방향으로 진행된 광을 상부 방향으로 반사시키기 위한 역할을 할 수 있다. The reflective layer 35 may serve to reflect upward light generated in the active layer 23 and propagated downward.

상기 반사층(35)은 예컨대, Ag, Ni, Al, Rh, Pd, Ir, Ru, Mg, Zn, Pt, Au, Hf 및 이들의 합금 중 적어도 하나를 포함할 수 있다. The reflective layer 35 may include at least one of Ag, Ni, Al, Rh, Pd, Ir, Ru, Mg, Zn, Pt, Au, Hf and alloys thereof.

도 8은 실시예에 따른 수직형 발광 소자를 도시한 단면도이다.8 is a cross-sectional view illustrating a vertical light emitting device according to an embodiment.

도 1 내지 도 4 및 도 8을 참조하면, 실시예에 따른 수직형 발광 소자(10C)는 제1 도전형 반도체층(21), 상기 제1 도전형 반도체층(21) 아래에 활성층(23), 상기 활성층(23) 아래에 제2 도전형 반도체층(25)을 포함할 수 있다. 1 to 4 and 8, a vertical light emitting device 10C according to an embodiment includes a first conductive semiconductor layer 21, an active layer 23 under the first conductive semiconductor layer 21, And a second conductivity type semiconductor layer 25 below the active layer 23.

상기 제1 도전형 반도체층(21)의 상면은 서로 상이한 높이를 갖는 제1 및 제2 상면(61a, 61b)을 갖는 다수의 패턴(61)들을 포함할 수 있다. The upper surface of the first conductive type semiconductor layer 21 may include a plurality of patterns 61 having first and second upper surfaces 61a and 61b having different heights.

실시예에에 따른 수직형 발광 소자(10C)에서, 상기 제1 도전형 반도체층(21)의 제1 상면(61a)은 도 1의 기판(11)의 제2 상면(15b)에 대응되고, 상기 제1 도전형 반도체층(21)의 제2 상면(61b)은 도 1의 기판(11)의 제1 상면(15a)에 대응될 수 있다. In the vertical type light emitting device 10C according to the embodiment, the first upper surface 61a of the first conductivity type semiconductor layer 21 corresponds to the second upper surface 15b of the substrate 11 of FIG. 1, The second upper surface 61b of the first conductive type semiconductor layer 21 may correspond to the first upper surface 15a of the substrate 11 of FIG.

실시예는 상기 제1 도전형 반도체층(21) 상면에 다수의 패턴(15)을 형성함으로써, 활성층(23)에서 생성된 광이 상기 제1 도전형 반도체층(21)의 다수의 패턴(61)을 통해 보다 많이 외부로 출사되도록 하여 광 추출 효율을 향상시킬 수 있다. A plurality of patterns 15 are formed on the upper surface of the first conductivity type semiconductor layer 21 so that light generated in the active layer 23 is incident on the plurality of patterns 61 of the first conductivity type semiconductor layer 21 So that the light extraction efficiency can be improved.

상기 제1 상면(61a) 각각에 전극(37)이 형성될 수 있지만, 이에 대해서는 한정하지 않는다.The electrodes 37 may be formed on each of the first upper surfaces 61a, but the present invention is not limited thereto.

상기 전극(37)은 예컨대, Al, Ti, Cr, Ni, Pt, Au, W, Cu 및 Mo으로 이루어지는 그룹으로부터 선택된 하나 또는 이들의 합금을 포함할 수 있지만, 이에 한정하지 않는다.The electrode 37 may include, but is not limited to, one selected from the group consisting of Al, Ti, Cr, Ni, Pt, Au, W, Cu and Mo or an alloy thereof.

상기 제2 도전형 반도체층(25) 아래에 수직 방향으로 상기 전극(37)과 중첩되도록 전류 차단층(41)이 형성될 수 있다. A current blocking layer 41 may be formed under the second conductive semiconductor layer 25 to overlap with the electrode 37 in a vertical direction.

상기 전류 차단층(41)은 상기 전극(37)에 수직 방향을 따라 전류가 집중되는 것을 방지하기 위해 형성될 수 있다.The current blocking layer 41 may be formed to prevent current from concentrating along the direction perpendicular to the electrode 37.

상기 전류 차단층(41)은 절연성 재료이나 제2 도전형 반도체층(25)과 쇼트키 콘택을 형성하는 재료을 포함할 수 있다. The current blocking layer 41 may include an insulating material or a material that forms a Schottky contact with the second conductive type semiconductor layer 25.

상기 전류 차단층(41)은 예컨대, 예를 들어, ITO, IZO, IZTO, IAZO, IGZO, IGTO, AZO, ATO, ZnO, SiO2, SiOx, SiOxNy, Si3N4, Al2O3, TiOx, Ti, Al, Cr중 적어도 하나를 포함할 수 있다.The current blocking layer 41 is, for example, for example, ITO, IZO, IZTO, IAZO, IGZO, IGTO, AZO, ATO, ZnO, SiO 2, SiO x, SiO x N y, Si 3 N 4, Al 2 O 3, TiO x , Ti, Al, and Cr.

상기 제2 도전형 반도체층(25)의 둘레 영역을 따라 채널층(43)이 형성될 수 있다. A channel layer 43 may be formed along the peripheral region of the second conductive type semiconductor layer 25.

상기 채널층(43)은 전기 절연성을 갖는 재료 또는 발광 구조물(27)에 비해 낮은 전기 전도성을 갖는 재료로 형성될 수 있다. 상기 채널층(43)은 예컨대, Si02, SixOy, Si3N4, SixNy, SiOxNy, Al2O3, TiO2등으로 이루어진 군에서 적어도 하나가 선택될 수 있다. The channel layer 43 may be formed of an electrically insulating material or a material having a lower electrical conductivity than the light emitting structure 27. The channel layer 43 may be at least one selected from the group consisting of, for example, SiO 2 , Si x O y , Si 3 N 4 , Si x N y , SiO x N y , Al 2 O 3 , TiO 2 , have.

상기 전류 차단층(41) 및 상기 제2 도전형 반도체층(25) 아래에 전극층(45)이 형성될 수 있다.An electrode layer 45 may be formed under the current blocking layer 41 and the second conductive semiconductor layer 25.

상기 전극층(45)은 반사 기능과 오믹 기능 중 적어도 하나를 가질 수 있다. The electrode layer 45 may have at least one of a reflection function and an ohmic function.

상기 전극층(45)은 반사 기능을 가질 때, 예컨대 Ag, Ni, Al, Rh, Pd, Ir, Ru, Mg, Zn, Pt, Au, Hf 중 적어도 하나 또는 둘 이상의 합금을 포함하지만, 이에 대해서는 한정하지 않는다. 또한, 상기 전극층(45)은 예컨대 금속과 함께 IZO(In-ZnO), GZO(Ga-ZnO), AZO(Al-ZnO), AGZO(Al-Ga-ZnO), IGZO(In-Ga-ZnO), IZTO(indium zinc tin oxide), IAZO(indium aluminum zinc oxide), IGTO(indium gallium tin oxide), ATO(aluminum tin oxide) 등의 투명한 전도성 물질을 이용하여 다층(multi-layer)으로 형성할 수 있다. 즉 상기 전극층(45)은 예를 들어, IZO/Ni, AZO/Ag, IZO/Ag/Ni, AZO/Ag/Ni과 같은 다층으로 구성될 수 있다. The electrode layer 45 includes at least one or two or more alloys of Ag, Ni, Al, Rh, Pd, Ir, Ru, Mg, Zn, Pt, I never do that. The electrode layer 45 may be formed of, for example, IZO (In-ZnO), GZO (Ga-ZnO), AZO (Al-ZnO), AGZO (Al- (IZTO), indium aluminum zinc oxide (IZO), indium gallium tin oxide (IGTO), aluminum tin oxide (ATO), or the like can be used to form a multi-layer . That is, the electrode layer 45 may be composed of multiple layers such as, for example, IZO / Ni, AZO / Ag, IZO / Ag / Ni, and AZO / Ag / Ni.

상기 전극층(45)은 상기 채널층(43)의 아래면 전체와 중첩되도록 형성되거나 상기 채널층(43)의 아래면의 일부 영역과 중첩되도록 형성될 수 있다. The electrode layer 45 may be formed to overlap the entire lower surface of the channel layer 43 or may overlap with a portion of the lower surface of the channel layer 43.

상기 전극층(45) 아래에 전도성 지지 부재(49)가 형성될 수 있다. 상기 전도성 지지 부재(49)는 상기 발광 구조물(27)을 지지하는 한편, 상기 전극층(45)에 전원을 공급하는 역할을 할 수 있다.A conductive support member 49 may be formed under the electrode layer 45. The conductive support member 49 may support the light emitting structure 27 and supply power to the electrode layer 45.

상기 전도성 지지 부재(49)는 예컨대, 티탄(Ti), 크롬(Cr), 니켈(Ni), 알루미늄(Al), 백금(Pt), 금(Au), 텅스텐(W), 구리(Cu), 몰리브덴(Mo) 및 구리-텅스텐(Cu-W)로 이루어지는 그룹으로부터 선택된 적어도 하나를 포함할 수 있다. The conductive supporting member 49 may be formed of a material such as titanium, chromium (Cr), nickel (Ni), aluminum (Al), platinum (Pt), gold (Au), tungsten (W) Molybdenum (Mo), and copper-tungsten (Cu-W).

상기 전도성 지지 부재(49)를 상기 전극층(45)에 부착하기 위해 상기 전극층(45)과 상기 전도성 지지 부재(49) 사이에 접합층(47)이 형성될 수도 있다.A bonding layer 47 may be formed between the electrode layer 45 and the conductive supporting member 49 to attach the conductive supporting member 49 to the electrode layer 45. [

상기 접합층(47)은 예컨대, Ti, Au, Sn, Ni, Cr, Ga, In, Bi, Cu, Ag 및 Ta로 이루어지는 그룹으로부터 선택된 적어도 하나를 포함할 수 있다.The bonding layer 47 may include at least one selected from the group consisting of Ti, Au, Sn, Ni, Cr, Ga, In, Bi, Cu, Ag and Ta.

이상의 도 6 내지 도 8에 도시한 발광 소자들(10A, 10B, 10C)은 도 1 내지 도 4에 의한 공정에 의해 기판(11)의 m-면 상에 m-면을 갖는 발광 구조물(27)이 형성됨으로써, 비분극 특성으로 인한 내부 양자 효율이 향상될 수 있다. The light emitting devices 10A, 10B, and 10C shown in FIGS. 6 to 8 are formed by the steps of FIGS. 1 to 4 to form the light emitting structure 27 having the m-plane on the m- The internal quantum efficiency due to the non-polarization property can be improved.

도 9는 제2 실시예에 따른 발광 소자를 도시한 단면도이다.9 is a cross-sectional view illustrating a light emitting device according to the second embodiment.

제2 실시예는 버퍼층(53)이 더 추가된 것을 제외하고는 제1 실시예와 거의 유사하다.The second embodiment is similar to the first embodiment except that a buffer layer 53 is further added.

제2 실시예에서 제1 실시예와 동일한 구성 요소에 대해서는 동일한 도면 부호를 부여하고 상세한 설명은 생략한다.In the second embodiment, the same reference numerals are assigned to the same components as those in the first embodiment, and a detailed description thereof will be omitted.

도 1 내지 도 4 및 도 9를 참조하면, 제2 실시예에 따른 발광 소자는 제1 및 제2 상면(15a, 15b)을 갖는 다수의 패턴(15)을 포함하는 기판(11), 상기 기판(11)의 제1 및 제2 상면(15a, 15b) 상에 버퍼층(53), 상기 제1 및 제2 상면(15a, 15b)에 대응하는 상기 버퍼층(53) 상에 성작 억제층, 상기 버퍼층(53) 상에 제1 도전형 반도체층(21), 상기 제1 도전형 반도체층(21) 상에 활성층(23) 및 상기 활성층(23) 상에 제2 도전형 반도체층(25)을 포함할 수 있다.1 to 4 and 9, the light emitting device according to the second embodiment includes a substrate 11 including a plurality of patterns 15 having first and second top surfaces 15a and 15b, A buffer layer 53 is formed on the first and second upper surfaces 15a and 15b of the buffer layer 11 and a suppression layer is formed on the buffer layer 53 corresponding to the first and second upper surfaces 15a and 15b, A first conductive semiconductor layer 21 on the first conductive semiconductor layer 21, an active layer 23 on the first conductive semiconductor layer 21, and a second conductive semiconductor layer 25 on the active layer 23 can do.

상기 제1 및 제2 상면(15a, 15b)은 상기 기판(11)의 배면으로부터 서로 상이한 높이를 가질 수 있다. 예컨대, 상기 제1 상면(15a)은 상기 제2 상면(15b)보다 더 높게 위치될 수 있다. The first and second top surfaces 15a and 15b may have different heights from the back surface of the substrate 11. For example, the first upper surface 15a may be positioned higher than the second upper surface 15b.

상기 기판(11)의 배면에 수직인 상기 제1 및 제2 상면(15a, 15b) 사이에 측면(17)이 형성될 수 있다.A side surface 17 may be formed between the first and second upper surfaces 15a and 15b perpendicular to the back surface of the substrate 11. [

상기 제1 및 제2 상면(15a,15b)은 m-면일 수 있고, 상기 측면(17)은 c-면일 수 있다.The first and second top surfaces 15a and 15b may be m-planes and the side 17 may be c-planes.

상기 제1 및 제2 상면(15a, 15b) 및 상기 측면(17) 상에 버퍼층(53)이 형성될 수 있다.A buffer layer 53 may be formed on the first and second upper surfaces 15a and 15b and the side surface 17.

상기 버퍼층(53)은 상기 기판(11)과 이후에 형성될 발광 구조물(27) 사이의 격자 상수 차이를 완화하여 주는 역할을 할 수 있다. The buffer layer 53 may reduce the lattice constant difference between the substrate 11 and the light emitting structure 27 to be formed later.

상기 버퍼층(53)은 III-V족 화합물 반도체 재료로 형성될 수 있다. 상기 반도체 재료는 예를 들어 Al, In, Ga, N를 포함할 수 있다. 예컨대, 사파이어 기판(11)인 경우, 상기 버퍼층(53)은 사파이어 기판(11)과의 격자 상수 차이가 비교적 작은 AlN로 형성될 수 있지만, 이에 대해서는 한정하지 않는다.The buffer layer 53 may be formed of a Group III-V compound semiconductor material. The semiconductor material may include Al, In, Ga, N, for example. For example, in the case of the sapphire substrate 11, the buffer layer 53 may be formed of AlN having a relatively small difference in lattice constant from the sapphire substrate 11, but the present invention is not limited thereto.

상기 버퍼층(53) 상에 국부적 또는 선택적으로 성장 억제층(19)이 형성될 수 있다.The growth inhibiting layer 19 may be formed locally or selectively on the buffer layer 53.

상기 성장 억제층(19)은 상기 기판(11)의 제1 및 제2 상면(15a, 15b)에 대응하는 상기 버퍼층(53) 상에 형성되지만, 상기 기판(11)의 측면(17)에 대응하는 버퍼층(53) 상에 형성될 수 있다. The growth inhibiting layer 19 is formed on the buffer layer 53 corresponding to the first and second upper surfaces 15a and 15b of the substrate 11 but is formed on the side surface 17 of the substrate 11 The buffer layer 53 may be formed on the buffer layer 53.

상기 제1 도전형 반도체층(21)은 상기 기판(11)의 측면(17)으로부터 c-축 방향을 따라 성장되어, 상기 제1 상면(15a) 사이의 그루브(13)에 채워진 다음, 상기 상기 제1 상면(15a)보다 더 높은 위치까지 성장될 수 있다. The first conductive semiconductor layer 21 is grown along the c-axis direction from the side surface 17 of the substrate 11 and is filled in the groove 13 between the first upper surfaces 15a, And may be grown to a position higher than the first upper surface 15a.

이와 같이 성장된 제1 도전형 반도체층(21)의 상면 또한 상기 기판(11)의 상면과 마찬가지로 m-면이 될 수 있다.The upper surface of the first conductivity type semiconductor layer 21 thus grown may be an m-plane as in the upper surface of the substrate 11.

실시예는 기판(11)과 발광 구조물(27) 사이에 버퍼층(53)이 형성됨으로써, 기판(11) 상에 발광 구조물(27)이 격자 부정합(lattice mismatch)로 인한 불량 발생 없이 안정적으로 형성될 수 있다.The embodiment is characterized in that the buffer layer 53 is formed between the substrate 11 and the light emitting structure 27 so that the light emitting structure 27 is stably formed on the substrate 11 without causing defects due to lattice mismatch .

실시예는 기판(11)의 m-면 상에 상면이 m-면인 발광 구조물(27)을 형성함으로써, 발광 구조물(27)의 내부 전기장을 제거하여 내부 발광 효율을 향상시킬 수 있다. The embodiment can improve the internal light emitting efficiency by removing the internal electric field of the light emitting structure 27 by forming the light emitting structure 27 whose m-plane is m-plane on the m-plane of the substrate 11.

실시예에 따른 발광 소자는 라이트 유닛에 적용될 수 있다. 상기 라이트 유닛은 복수의 발광 소자(10)가 어레이된 구조를 포함하며, 도 11 및 도 12에 도시된 표시 장치와, 도 13에 도시된 조명 장치를 포함하고, 조명등, 신호등, 차량 전조등, 전광판, 지시등과 같은 유닛에 적용될 수 있다.The light emitting device according to the embodiment can be applied to a light unit. The light unit includes a structure in which a plurality of light emitting elements 10 are arrayed. The light unit includes the display apparatus shown in Figs. 11 and 12 and the illumination apparatus shown in Fig. 13, and includes a lighting lamp, a traffic light, a vehicle headlight, , And an indicator light.

도 11은 실시 예에 따른 표시 장치의 분해 사시도이다. 11 is an exploded perspective view of the display device according to the embodiment.

도 12를 참조하면, 표시 장치(1000)는 도광판(1041)과, 상기 도광판(1041)에 빛을 제공하는 발광 모듈(1031)과, 상기 도광판(1041) 아래에 반사 부재(1022)와, 상기 도광판(1041) 위에 광학 시트(1051)와, 상기 광학 시트(1051) 위에 표시 패널(1061)과, 상기 도광판(1041), 발광 모듈(1031) 및 반사 부재(1022)를 수납하는 바텀 커버(1011)를 포함할 수 있으나, 이에 한정되지 않는다.12, a display device 1000 includes a light guide plate 1041, a light emitting module 1031 for providing light to the light guide plate 1041, a reflection member 1022 under the light guide plate 1041, An optical sheet 1051 on the light guide plate 1041, a display panel 1061 on the optical sheet 1051, and a bottom cover 1011 for storing the light guide plate 1041, the light emitting module 1031 and the reflecting member 1022 , But is not limited thereto.

상기 바텀 커버(1011), 반사시트(1022), 도광판(1041), 광학 시트(1051)는 라이트 유닛(1050)으로 정의될 수 있다.The bottom cover 1011, the reflective sheet 1022, the light guide plate 1041, and the optical sheet 1051 can be defined as a light unit 1050.

상기 도광판(1041)은 상기 발광 모듈(1031)로부터 제공된 빛을 확산시켜 면광원화 시키는 역할을 한다. 상기 도광판(1041)은 투명한 재료로 이루어지며, 예를 들어, PMMA(polymethyl metaacrylate)와 같은 아크릴 수지 계열, PET(polyethylene terephthlate), PC(poly carbonate), COC(cycloolefin copolymer) 및 PEN(polyethylene naphthalate) 수지 중 하나를 포함할 수 있다. The light guide plate 1041 diffuses the light from the light emitting module 1031 to convert the light into a surface light source. The light guide plate 1041 is made of a transparent material and is made of a material such as acrylic resin such as PMMA (polymethyl methacrylate), polyethylene terephthalate (PET), polycarbonate (PC), cycloolefin copolymer (COC) and polyethylene naphthalate Resin. ≪ / RTI >

상기 발광모듈(1031)은 상기 도광판(1041)의 적어도 일 측면에 배치되어 상기 도광판(1041)의 적어도 일 측면에 빛을 제공하며, 궁극적으로는 표시 장치의 광원으로써 작용하게 된다.The light emitting module 1031 is disposed on at least one side of the light guide plate 1041 to provide light to at least one side of the light guide plate 1041 and ultimately to serve as a light source of the display device.

상기 발광모듈(1031)은 상기 바텀 커버 내에 적어도 하나가 배치되며, 상기 도광판(1041)의 일 측면에서 직접 또는 간접적으로 광을 제공할 수 있다. 상기 발광 모듈(1031)은 기판(1033)과 상기에 개시된 실시 예에 따른 발광 소자(10)를 포함하며, 상기 발광 소자(10)는 상기 기판(1033) 상에 소정 간격으로 어레이될 수 있다. 상기 기판(1033)은 인쇄회로기판(printed circuit board)일 수 있지만, 이에 한정하지 않는다. 또한 상기 기판(1033)은 메탈 코어 PCB(MCPCB, Metal Core PCB), 연성 PCB(FPCB, Flexible PCB) 등을 포함할 수도 있으며, 이에 대해 한정하지는 않는다. 상기 발광 소자(10)는 상기 바텀 커버(1011)의 측면 또는 방열 플레이트 상에 탑재될 경우, 상기 기판(1033)은 제거될 수 있다. 상기 방열 플레이트의 일부는 상기 바텀 커버(1011)의 상면에 접촉될 수 있다. 따라서, 발광 소자(10)에서 발생된 열은 방열 플레이트를 경유하여 바텀 커버(1011)로 방출될 수 있다.At least one light emitting module 1031 is disposed in the bottom cover, and may directly or indirectly provide light from one side of the light guide plate 1041. The light emitting module 1031 includes a substrate 1033 and a light emitting device 10 according to the embodiment described above and the light emitting devices 10 may be arrayed on the substrate 1033 at predetermined intervals. The substrate 1033 may be a printed circuit board, but is not limited thereto. The substrate 1033 may include a metal core PCB (MCPCB), a flexible PCB (FPCB), or the like, but is not limited thereto. When the light emitting device 10 is mounted on the side surface of the bottom cover 1011 or on the heat radiation plate, the substrate 1033 can be removed. A part of the heat radiation plate may be in contact with the upper surface of the bottom cover 1011. Accordingly, the heat generated in the light emitting element 10 can be emitted to the bottom cover 1011 via the heat dissipation plate.

상기 복수의 발광 소자(10)는 상기 기판(1033) 상에 빛이 방출되는 출사면이 상기 도광판(1041)과 소정 거리 이격되도록 탑재될 수 있으며, 이에 대해 한정하지는 않는다. 상기 발광 소자(10)는 상기 도광판(1041)의 일측면인 입광부에 광을 직접 또는 간접적으로 제공할 수 있으며, 이에 대해 한정하지는 않는다.The plurality of light emitting devices 10 may be mounted on the substrate 1033 such that the light emitting surface of the plurality of light emitting devices 10 is spaced apart from the light guiding plate 1041 by a predetermined distance. The light emitting device 10 may directly or indirectly provide light to the light-incident portion, which is one side of the light guide plate 1041, but is not limited thereto.

상기 도광판(1041) 아래에는 상기 반사 부재(1022)가 배치될 수 있다. 상기 반사 부재(1022)는 상기 도광판(1041)의 하면으로 입사된 빛을 반사시켜 상기 표시 패널(1061)로 공급함으로써, 상기 표시 패널(1061)의 휘도를 향상시킬 수 있다. 상기 반사 부재(1022)는 예를 들어, PET, PC, PVC 레진 등으로 형성될 수 있으나, 이에 대해 한정하지는 않는다. 상기 반사 부재(1022)는 상기 바텀 커버(1011)의 상면일 수 있으며, 이에 대해 한정하지는 않는다.The reflective member 1022 may be disposed under the light guide plate 1041. The reflective member 1022 reflects the light incident on the lower surface of the light guide plate 1041 and supplies the reflected light to the display panel 1061 to improve the brightness of the display panel 1061. The reflective member 1022 may be formed of, for example, PET, PC, or PVC resin, but is not limited thereto. The reflective member 1022 may be an upper surface of the bottom cover 1011, but is not limited thereto.

상기 바텀 커버(1011)는 상기 도광판(1041), 발광모듈(1031) 및 반사 부재(1022) 등을 수납할 수 있다. 이를 위해, 상기 바텀 커버(1011)는 상면이 개구된 박스(box) 형상을 갖는 수납부(1012)가 구비될 수 있으며, 이에 대해 한정하지는 않는다. 상기 바텀 커버(1011)는 탑 커버(미도시)와 결합될 수 있으며, 이에 대해 한정하지는 않는다.The bottom cover 1011 may house the light guide plate 1041, the light emitting module 1031, the reflective member 1022, and the like. To this end, the bottom cover 1011 may be provided with a housing portion 1012 having a box-like shape with an opened upper surface, but the present invention is not limited thereto. The bottom cover 1011 may be coupled to a top cover (not shown), but is not limited thereto.

상기 바텀 커버(1011)는 금속 재료 또는 수지 재료로 형성될 수 있으며, 프레스 성형 또는 압출 성형 등의 공정을 이용하여 제조될 수 있다. 또한 상기 바텀 커버(1011)는 열 전도성이 좋은 금속 또는 비 금속 재료를 포함할 수 있으며, 이에 대해 한정하지는 않는다.The bottom cover 1011 may be formed of a metal material or a resin material, and may be manufactured using a process such as press molding or extrusion molding. In addition, the bottom cover 1011 may include a metal or a non-metal material having good thermal conductivity, but the present invention is not limited thereto.

상기 표시 패널(1061)은 예컨대, LCD 패널로서, 서로 대향되는 투명한 재료의 제 1 및 제 2기판, 그리고 제 1 및 제 2기판 사이에 개재된 액정층을 포함한다. 상기 표시 패널(1061)의 적어도 일면에는 편광판이 부착될 수 있으며, 이러한 편광판의 부착 구조로 한정하지는 않는다. 상기 표시 패널(1061)은 상기 발광 모듈(1031)로부터 제공된 광을 투과 또는 차단시켜 정보를 표시하게 된다. 이러한 표시 장치(1000)는 각 종 휴대 단말기, 노트북 컴퓨터의 모니터, 랩탑 컴퓨터의 모니터, 텔레비전과 같은 영상 표시 장치에 적용될 수 있다. The display panel 1061 is, for example, an LCD panel including first and second substrates of transparent materials opposed to each other, and a liquid crystal layer interposed between the first and second substrates. A polarizing plate may be attached to at least one surface of the display panel 1061, but the present invention is not limited thereto. The display panel 1061 transmits or blocks light provided from the light emitting module 1031 to display information. The display device 1000 can be applied to video display devices such as portable terminals, monitors of notebook computers, monitors of laptop computers, and televisions.

상기 광학 시트(1051)는 상기 표시 패널(1061)과 상기 도광판(1041) 사이에 배치되며, 적어도 한 장 이상의 투광성 시트를 포함한다. 상기 광학 시트(1051)는 예컨대 확산 시트(diffusion sheet), 수평 및 수직 프리즘 시트(horizontal/vertical prism sheet), 및 휘도 강화 시트(brightness enhanced sheet) 등과 같은 시트 중에서 적어도 하나를 포함할 수 있다. 상기 확산 시트는 입사되는 광을 확산시켜 주고, 상기 수평 또는/및 수직 프리즘 시트는 입사되는 광을 상기 표시 패널(1061)로 집광시켜 주며, 상기 휘도 강화 시트는 손실되는 광을 재사용하여 휘도를 향상시켜 준다. 또한 상기 표시 패널(1061) 위에는 보호 시트가 배치될 수 있으며, 이에 대해 한정하지는 않는다.The optical sheet 1051 is disposed between the display panel 1061 and the light guide plate 1041 and includes at least one light-transmitting sheet. The optical sheet 1051 may include at least one of a sheet such as a diffusion sheet, a horizontal / vertical prism sheet, a brightness enhanced sheet, and the like. The diffusion sheet diffuses incident light, and the horizontal and / or vertical prism sheet concentrates incident light on the display panel 1061. The brightness enhancing sheet reuses the lost light to improve the brightness I will. A protective sheet may be disposed on the display panel 1061, but the present invention is not limited thereto.

상기 발광 모듈(1031)의 광 경로 상에는 광학 부재로서, 상기 도광판(1041), 및 광학 시트(1051)를 포함할 수 있으며, 이에 대해 한정하지는 않는다.The optical path of the light emitting module 1031 may include the light guide plate 1041 and the optical sheet 1051 as an optical member, but the present invention is not limited thereto.

도 12는 실시 예에 따른 발광 소자를 갖는 표시 장치를 나타낸 도면이다. 12 is a view showing a display device having a light emitting device according to an embodiment.

도 12를 참조하면, 표시 장치(1100)는 바텀 커버(1152), 상기에 개시된 발광 소자(10)가 어레이된 기판(1120), 광학 부재(1154), 및 표시 패널(1155)을 포함한다. 12, the display device 1100 includes a bottom cover 1152, a substrate 1120 on which the above-described light emitting device 10 is arrayed, an optical member 1154, and a display panel 1155.

상기 기판(1120)과 상기 발광 소자(10)는 발광 모듈(1160)로 정의될 수 있다. 상기 바텀 커버(1152), 적어도 하나의 발광 모듈(1160), 광학 부재(1154)는 라이트 유닛(미도시)으로 정의될 수 있다. The substrate 1120 and the light emitting device 10 may be defined as a light emitting module 1160. The bottom cover 1152, at least one light emitting module 1160, and the optical member 1154 may be defined as a light unit (not shown).

상기 바텀 커버(1152)에는 수납부(1153)를 구비할 수 있으며, 이에 대해 한정하지는 않는다.The bottom cover 1152 may include a receiving portion 1153, but the present invention is not limited thereto.

상기 광학 부재(1154)는 렌즈, 도광판, 확산 시트, 수평 및 수직 프리즘 시트, 및 휘도 강화 시트 등에서 적어도 하나를 포함할 수 있다. 상기 도광판은 PC 재료 또는 PMMA(Poly methy methacrylate) 재료로 이루어질 수 있으며, 이러한 도광판은 제거될 수 있다. 상기 확산 시트는 입사되는 광을 확산시켜 주고, 상기 수평 및 수직 프리즘 시트는 입사되는 광을 상기 표시 패널(1155)으로 집광시켜 주며, 상기 휘도 강화 시트는 손실되는 광을 재사용하여 휘도를 향상시켜 준다. The optical member 1154 may include at least one of a lens, a light guide plate, a diffusion sheet, a horizontal and vertical prism sheet, and a brightness enhancement sheet. The light guide plate may be made of a PC material or a PMMA (poly methy methacrylate) material, and such a light guide plate may be removed. The diffusion sheet diffuses the incident light, and the horizontal and vertical prism sheets condense the incident light onto the display panel 1155. The brightness enhancing sheet reuses the lost light to improve the brightness .

상기 광학 부재(1154)는 상기 발광 모듈(1060) 위에 배치되며, 상기 발광 모듈(1060)로부터 방출된 광을 면 광원하거나, 확산, 집광 등을 수행하게 된다.The optical member 1154 is disposed on the light emitting module 1060, and performs surface light source, diffusion, and light condensation of the light emitted from the light emitting module 1060.

도 13은 실시 예에 따른 조명 장치의 사시도이다.13 is a perspective view of a lighting apparatus according to an embodiment.

도 13을 참조하면, 조명 장치(1500)는 케이스(1510)와, 상기 케이스(1510)에 설치된 발광모듈(1530)과, 상기 케이스(1510)에 설치되며 외부 전원으로부터 전원을 제공받는 연결 단자(1520)를 포함할 수 있다.13, the lighting apparatus 1500 includes a case 1510, a light emitting module 1530 installed in the case 1510, a connection terminal (not shown) installed in the case 1510 and supplied with power from an external power source 1520).

상기 케이스(1510)는 방열 특성이 양호한 재료로 형성되는 것이 바람직하며, 예를 들어 금속 재료 또는 수지 재료로 형성될 수 있다.The case 1510 is preferably formed of a material having a good heat dissipation property, and may be formed of, for example, a metal material or a resin material.

상기 발광 모듈(1530)은 기판(1532)과, 상기 기판(1532)에 탑재되는 실시 예에 따른 발광 소자(10)를 포함할 수 있다. 상기 발광 소자(10)는 복수개가 매트릭스 형태 또는 소정 간격으로 이격되어 어레이될 수 있다. The light emitting module 1530 may include a substrate 1532 and a light emitting device 10 mounted on the substrate 1532 according to an embodiment. A plurality of the light emitting devices 10 may be arrayed in a matrix or at a predetermined interval.

상기 기판(1532)은 절연체에 회로 패턴이 인쇄된 것일 수 있으며, 예를 들어, 일반 인쇄회로기판(PCB: Printed Circuit Board), 메탈 코아(Metal Core) PCB, 연성(Flexible) PCB, 세라믹 PCB, FR-4 기판 등을 포함할 수 있다. The substrate 1532 may be a circuit pattern printed on an insulator. For example, the substrate 1532 may be a printed circuit board (PCB), a metal core PCB, a flexible PCB, a ceramic PCB, FR-4 substrate, and the like.

또한, 상기 기판(1532)은 빛을 효율적으로 반사하는 재료로 형성되거나, 표면이 빛이 효율적으로 반사되는 컬러, 예를 들어 백색, 은색 등의 코팅층될 수 있다.In addition, the substrate 1532 may be formed of a material that efficiently reflects light, or may be a coating layer of a color such as white, silver, or the like whose surface is efficiently reflected.

상기 기판(1532) 상에는 적어도 하나의 발광 소자(10)가 탑재될 수 있다. 상기 발광 소자(10) 각각은 적어도 하나의 LED(LED: Light Emitting Diode) 칩을 포함할 수 있다. 상기 LED 칩은 적색, 녹색, 청색 또는 백색 등과 같은 가시 광선 대역의 발광 다이오드 또는 자외선(UV, Ultra Violet)을 발광하는 UV 발광 다이오드를 포함할 수 있다.At least one light emitting device 10 may be mounted on the substrate 1532. Each of the light emitting devices 10 may include at least one light emitting diode (LED) chip. The LED chip may include a light emitting diode in a visible light band such as red, green, blue or white, or a UV light emitting diode that emits ultraviolet (UV) light.

상기 발광모듈(1530)은 색감 및 휘도를 얻기 위해 다양한 발광 소자(10)의 조합을 가지도록 배치될 수 있다. 예를 들어, 고 연색성(CRI)을 확보하기 위해 백색 발광 다이오드, 적색 발광 다이오드 및 녹색 발광 다이오드를 조합하여 배치할 수 있다.The light emitting module 1530 may be arranged to have a combination of various light emitting devices 10 to obtain color and brightness. For example, a white light emitting diode, a red light emitting diode, and a green light emitting diode may be arranged in combination in order to secure a high color rendering index (CRI).

상기 연결 단자(1520)는 상기 발광모듈(1530)과 전기적으로 연결되어 전원을 공급할 수 있다. 상기 연결 단자(1520)는 소켓 방식으로 외부 전원에 돌려 끼워져 결합되지만, 이에 대해 한정하지는 않는다. 예를 들어, 상기 연결 단자(1520)는 핀(pin) 형태로 형성되어 외부 전원에 삽입되거나, 배선에 의해 외부 전원에 연결될 수도 있는 것이다.The connection terminal 1520 may be electrically connected to the light emitting module 1530 to supply power. The connection terminal 1520 is connected to the external power source by being inserted in a socket manner, but the present invention is not limited thereto. For example, the connection terminal 1520 may be formed in a pin shape and inserted into an external power source or may be connected to an external power source through wiring.

10A: 수평형 발광 소자 10B: 플립형 발광 소자
10C: 수직형 발광 소자 11: 기판
13: 그루브 15: 패턴
15a, 15b: 상면 17: 측면
19: 성장 억제층 21: 제1 도전형 반도체층
23: 활성층 25: 제2 도전형 반도체층
27: 발광 구조물 31: 제1 전극
33: 제2 전극 35: 반사층
37: 전극 41: 전류 차단층
43: 채널층 45: 전극층
47: 접합층 49: 전도성 지지 부재
53: 버퍼층 61: 패턴
61a, 61b: 상면
10A: Horizontal type light emitting element 10B: Flip type light emitting element
10C vertical type light emitting device 11:
13: groove 15: pattern
15a, 15b: upper surface 17: side surface
19: growth inhibiting layer 21: first conductivity type semiconductor layer
23: active layer 25: second conductivity type semiconductor layer
27: light emitting structure 31: first electrode
33: second electrode 35: reflective layer
37: electrode 41: current blocking layer
43: channel layer 45: electrode layer
47: bonding layer 49: conductive supporting member
53: buffer layer 61: pattern
61a, 61b: upper surface

Claims (12)

결정방향이 m면인 상면과 그루브 패턴을 포함하는 기판;
상기 기판의 상면에 배치되는 성장 억제층; 및
상기 성장 억제층 상에 배치되는 발광 구조물을 포함하고,
상기 기판의 상면은 제1상면, 상기 그루브 패턴 내에 배치되는 제2상면을 포함하고,
상기 기판은 상기 제1상면과 상기 제2상면이 접하는 영역에서 상기 기판의 배면에 대해 수직인 측면을 포함하며,
상기 제1상면은 상기 제2상면보다 높게 배치되며,
상기 그루브 패턴은 상기 제2상면과 상기 제2상면과 접하는 상기 측면에 의해 형성되며,
상기 측면은 결정 방향이 c면을 갖고,
상기 제1상면의 폭은 상기 제2상면 폭의 1% 내지 30%의 폭을 가지고,
상기 성장 억제층은 상기 기판의 제1상면 및 제2상면 상에 배치되고,
상기 기판의 제1상면 및 제2상면 사이에 배치되는 상기 측면은 상기 발광구조물과 접촉하고,
상기 발광 구조물의 상면은 m면인 발광 소자.
A substrate including a top surface and a groove pattern whose crystal direction is m plane;
A growth inhibiting layer disposed on an upper surface of the substrate; And
And a light emitting structure disposed on the growth inhibiting layer,
The upper surface of the substrate includes a first upper surface, a second upper surface disposed in the groove pattern,
Wherein the substrate includes a side surface perpendicular to a back surface of the substrate in a region where the first upper surface and the second upper surface are in contact with each other,
The first upper surface is disposed higher than the second upper surface,
Wherein the groove pattern is formed by the side surfaces that are in contact with the second upper surface and the second upper surface,
The side face has a c-plane in the crystal direction,
The width of the first upper surface has a width of 1% to 30% of the width of the second upper surface,
Wherein the growth inhibiting layer is disposed on the first upper surface and the second upper surface of the substrate,
Wherein the side surface disposed between the first upper surface and the second upper surface of the substrate is in contact with the light emitting structure,
Wherein the upper surface of the light emitting structure is m-plane.
제1항에 있어서,
상기 그루브 패턴은 제1방향으로 곧게 연장된 스트라이프 패턴인 발광 소자.
The method according to claim 1,
Wherein the groove pattern is a stripe pattern extending straight in the first direction.
제1항 또는 제2항에 있어서,
상기 발광 구조물은 제1도전형 반도체층, 제2도전형 반도체층, 상기 제1도전형 반도체층과 상기 제2도전형 반도체층 사이에 배치되는 활성층을 포함하고,
상기 제1도전형 반도체층과 전기적으로 연결되는 제1전극과 상기 제2도전형 반도체층과 전기적으로 연결되는 제2전극을 포함하며,
상기 제1전극 및 상기 제2전극은 Al, Ti, Cr, Ni, Pt, Au,W, Cu및 Mo으로 이루어지는 그룹으로부터 선택된 하나 또는 이들의 합금을 포함하는 발광 소자.
3. The method according to claim 1 or 2,
Wherein the light emitting structure includes a first conductive semiconductor layer, a second conductive semiconductor layer, and an active layer disposed between the first conductive semiconductor layer and the second conductive semiconductor layer,
A first electrode electrically connected to the first conductivity type semiconductor layer; and a second electrode electrically connected to the second conductivity type semiconductor layer,
Wherein the first electrode and the second electrode comprise one or an alloy selected from the group consisting of Al, Ti, Cr, Ni, Pt, Au, W, Cu and Mo.
제1항 또는 제2항에 있어서,
상기 성장 억제층은 절연 재료를 포함하는 발광 소자.
3. The method according to claim 1 or 2,
Wherein the growth inhibiting layer comprises an insulating material.
제4항에 있어서,
상기 성장 억제층은 SiO2 또는 SiN2로 구성되는 발광 소자.
5. The method of claim 4,
Wherein the growth inhibiting layer is made of SiO 2 or SiN 2 .
제1항에 있어서,
상기 발광 구조물의 측면은 상기 기판의 외측면과 동일 평면 상에 배치되는 발광 소자.
The method according to claim 1,
Wherein a side surface of the light emitting structure is disposed on the same plane as an outer surface of the substrate.
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