KR101904026B1 - Module for supplying liquid - Google Patents

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Abstract

본 발명에 따른 약액 공급 모듈은 약액 공급단, 약액 공급 배관, 노즐부 및 노즐 팁을 포함한다. 상기 약액 공급단은 약액을 공급한다. 상기 약액 공급 배관은 기판의 상부에서 수평 방향으로 연장되며, 상기 약액의 유로를 제공한다. 상기 노즐부는 원통형 및 구형 중 어느 하나로 형성된 노즐 몸체 및 상기 노즐 몸체로부터 연장되는 노즐 관을 포함하며, 상기 기판을 향하여 상기 약액을 분사한다. 상기 노즐 팁은 상기 약액 공급 배관으로부터 돌출되어 형성되고, 상기 노즐 몸체가 탑재되어 상기 약액의 압력에 의해 요동 운동하도록 내부 공간이 형성된다. 이에 의하여, 노즐부가 약액의 압력에 의해 스스로 요동 운동하는 구조를 가짐으로써, 구동부를 구비하지 않도록 구조를 단순화할 수 있다.The chemical solution supply module according to the present invention includes a chemical solution supply end, a chemical solution supply pipe, a nozzle part, and a nozzle tip. The chemical liquid supply end supplies the chemical liquid. The chemical liquid supply pipe extends horizontally at an upper portion of the substrate, and provides the chemical liquid flow path. The nozzle unit includes a nozzle body formed of any one of a cylindrical shape and a spherical shape, and a nozzle tube extending from the nozzle body, and injects the chemical liquid toward the substrate. The nozzle tip is formed by protruding from the chemical liquid supply pipe, and the inner space is formed such that the nozzle body is mounted and swung by the pressure of the chemical liquid. Thereby, the structure of the nozzle portion can be simplified so as not to include the driving portion by having the structure of swinging itself by the pressure of the chemical liquid.

Description

약액 공급 모듈{MODULE FOR SUPPLYING LIQUID}[0001] MODULE FOR SUPPLYING LIQUID [0002]

본 발명은 약액 공급 모듈에 관한 것으로, 보다 상세하게는 약액을 이용하여 공정을 수행하는 기판 처리 장치의 약액 공급 모듈에 관한 것이다.The present invention relates to a chemical liquid supply module, and more particularly, to a chemical liquid supply module of a substrate processing apparatus that performs a process using a chemical liquid.

평판 디스플레이 장치의 제조에서 실리콘 또는 유리로 이루어진 기판 상에는 전기적인 회로 패턴들이 형성될 수 있다. 상기 회로 패턴들은 증착 공정, 포토리소그래피 공정, 식각 공정, 스트립 공정 및 세정 공정 등과 같은 일련의 단위 공정들을 수행함으로써 형성될 수 있다.In the manufacture of flat panel display devices, electrical circuit patterns may be formed on a substrate made of silicon or glass. The circuit patterns may be formed by performing a series of unit processes such as a deposition process, a photolithography process, an etching process, a strip process, and a cleaning process.

특히, 상기 식각, 스트립, 세정 등과 같은 단위 공정들은 식각액, 스트립 용액, 세정액, 린스액 등과 같은 약액을 이용하여 습식 방법으로 진행될 수 있다.In particular, the unit processes such as etching, strip, cleaning, etc. may be performed by a wet process using a chemical solution such as an etching solution, a strip solution, a cleaning solution, a rinsing solution, or the like.

상기와 같이 약액을 이용하는 기판 처리 장치는 상기 처리 공정이 수행되는 처리조와 상기 처리조 내에서 다수의 이송 롤러들을 이용하여 수평 방향으로 기판을 이송하는 기판 이송 모듈과 상기 기판 이송 모듈에 의해 이송되는 기판 상으로 상기 약액을 공급하는 약액 공급 모듈을 포함할 수 있다.As described above, the substrate processing apparatus using the chemical liquid includes a processing vessel in which the processing process is performed, a substrate transfer module for horizontally transferring the substrate using a plurality of transfer rollers in the processing vessel, and a substrate transfer unit And a chemical solution supply module for supplying the chemical solution onto the substrate.

상기 약액 공급 모듈은 수평 방향으로 연장하는 다수의 약액 공급 배관들을 포함할 수 있으며, 상기 배관들을 일정한 각도로 요동시키기 위한 구동부를 포함할 수 있다. 상기 구동부와 상기 약액 공급 배관들 사이에는 구동력을 전달하기 위한 동력 전달부가 구비될 수 있다. 상기 동력 전달부는 다수의 구동축들을 포함할 수 있으며, 상기 구동축들과 상기 약액 공급 배관들에는 각각 자기력을 이용하여 구동력을 전달하기 위한 마그네틱 풀리들이 장착될 수 있다.The chemical solution supply module may include a plurality of chemical solution supply pipes extending in the horizontal direction, and may include a driving part for swinging the pipes at a predetermined angle. And a power transmission unit for transmitting a driving force may be provided between the driving unit and the chemical liquid supply pipes. The power transmission unit may include a plurality of drive shafts, and the drive pulleys and the chemical liquid supply pipes may be equipped with magnetic pulleys for transmitting a driving force using magnetic force, respectively.

특히, 상기 마그네틱 풀리들에는 상기 수평 방향에 대하여 수직하는 다른 수평 방향으로 연장하는 구동 바(bar)가 연결될 수 있으며, 상기 구동부에 의해 상기 구동 바가 상기 다른 수평 방향으로 왕복 운동됨으로써 상기 요동을 위한 구동력이 상기 마그네틱 풀리들을 통해 상기 약액 공급 배관들로 전달될 수 있다.In particular, the magnetic pulleys may be connected to a driving bar extending in another horizontal direction perpendicular to the horizontal direction, and the driving bar is reciprocated in the other horizontal direction by the driving unit, Can be transmitted to the chemical liquid supply pipes through the magnetic pulleys.

그러나, 구동 바의 왕복 운동에 의해 상기 구동 바와 상기 마그네틱 풀리들의 연결 부위들 또는 상기 구동 바와 상기 구동부 사이의 연결 부위 등에서 잦은 손상이 발생될 수 있다. 결과적으로, 상기 약액 공급 배관들의 요동 운동을 위한 구동부 및 동력 전달부의 손상에 의해 상기 기판 처리 장치의 유지보수에 많은 시간과 비용이 소요되는 문제점이 있다.However, due to the reciprocating movement of the driving bar, frequent damage may occur in the connecting portions of the driving bar and the magnetic pulleys, or in the connecting portion between the driving bar and the driving portion. As a result, there is a problem that maintenance and repair of the substrate processing apparatus take much time and cost due to damage of the driving unit and the power transmitting unit for the rocking motion of the chemical liquid supply pipes.

본 발명의 목적은 구조가 단순화된 약액 공급 모듈을 제공하는 것이다.An object of the present invention is to provide a chemical solution supply module in which the structure is simplified.

상기한 본 발명의 목적을 실현하기 위한 일 실시예에 따른 약액 공급 모듈은 약액 공급단, 약액 공급 배관, 노즐부 및 노즐 팁을 포함한다. 상기 약액 공급단은 약액을 공급한다. 상기 약액 공급 배관은 기판의 상부에서 수평 방향으로 연장되며, 상기 약액의 유로를 제공한다. 상기 노즐부는 원통형 및 구형 중 어느 하나로 형성된 노즐 몸체 및 상기 노즐 몸체로부터 연장되는 노즐 관을 포함하며, 상기 기판을 향하여 상기 약액을 분사한다. 상기 노즐 팁은 상기 약액 공급 배관으로부터 돌출되어 형성되고, 상기 노즐 몸체가 탑재되어 상기 약액의 압력에 의해 요동 운동하도록 내부 공간이 형성된다.The above and other objects, features and advantages of the present invention will become more apparent from the following detailed description when read in conjunction with the accompanying drawings, in which: FIG. The chemical liquid supply end supplies the chemical liquid. The chemical liquid supply pipe extends horizontally at an upper portion of the substrate, and provides the chemical liquid flow path. The nozzle unit includes a nozzle body formed of any one of a cylindrical shape and a spherical shape, and a nozzle tube extending from the nozzle body, and injects the chemical liquid toward the substrate. The nozzle tip is formed by protruding from the chemical liquid supply pipe, and the inner space is formed such that the nozzle body is mounted and swung by the pressure of the chemical liquid.

본 발명의 일 실시예에서, 상기 노즐 팁은 상기 노즐 몸체의 둘레보다 작고 상기 노즐 관의 둘레보다 큰 둘레를 갖는 개구부가 형성될 수 있다.In an embodiment of the present invention, the nozzle tip may be formed with an opening that is smaller than the circumference of the nozzle body and has a circumference larger than the circumference of the nozzle tube.

이러한 약액 공급 모듈에 의하면, 노즐부가 약액의 압력에 의해 스스로 요동 운동하는 구조를 가짐으로써, 구동부를 구비하지 않도록 구조를 단순화할 수 있다. According to such a chemical liquid supply module, since the nozzle portion swings itself by the pressure of the chemical liquid, the structure can be simplified so as not to include the driving portion.

또한, 구동부 및 동력 전달부의 손상과 유지보수에 따른 비용을 절감할 수 있다.Further, it is possible to reduce the cost of the damage and maintenance of the driving unit and the power transmission unit.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 처리 장치를 설명하기 위한 개략적인 구성도이다.
도 2는 도 1의 노즐 유닛의 단면도이다. 1 is a schematic block diagram for explaining a substrate processing apparatus according to an embodiment of the present invention.
2 is a cross-sectional view of the nozzle unit of Fig.

본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 실시예들을 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 각 도면을 설명하면서 유사한 참조부호를 유사한 구성요소에 대해 사용하였다. 제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "이루어진다" 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다. While the present invention has been described in connection with what is presently considered to be the most practical and preferred embodiment, it is to be understood that the invention is not limited to the disclosed embodiments. It is to be understood, however, that the invention is not intended to be limited to the particular forms disclosed, but on the contrary, is intended to cover all modifications, equivalents, and alternatives falling within the spirit and scope of the invention. Like reference numerals are used for like elements in describing each drawing. The terms first, second, etc. may be used to describe various components, but the components should not be limited by the terms. The terms are used only for the purpose of distinguishing one component from another. The terminology used in this application is used only to describe a specific embodiment and is not intended to limit the invention. The singular expressions include plural expressions unless the context clearly dictates otherwise. In the present application, the term "comprises" or "comprising ", etc. is intended to specify that there is a stated feature, figure, step, operation, component, But do not preclude the presence or addition of one or more other features, integers, steps, operations, components, parts, or combinations thereof.

다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.Unless defined otherwise, all terms used herein, including technical or scientific terms, have the same meaning as commonly understood by one of ordinary skill in the art to which this invention belongs. Terms such as those defined in commonly used dictionaries are to be interpreted as having a meaning consistent with the contextual meaning of the related art and are to be interpreted as either ideal or overly formal in the sense of the present application Do not.

이하, 첨부한 도면들을 참조하여, 본 발명의 바람직한 실시예를 보다 상세하게 설명하고자 한다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 처리 장치를 설명하기 위한 개략적인 구성도이다. 1 is a schematic block diagram for explaining a substrate processing apparatus according to an embodiment of the present invention.

도 1을 참조하면, 본 실시예에 따른 기판 처리 장치(100)는 평판 디스플레이 장치의 제조에서 유리 기판과 같은 처리 대상 기판(10)에 대하여 식각, 스트립, 세정, 린스 등과 같이 약액을 이용하는 단위 처리 공정을 수행하기 위하여 사용될 수 있다.Referring to FIG. 1, the substrate processing apparatus 100 according to the present embodiment is a substrate processing apparatus for performing a unit process using a chemical liquid such as etching, stripping, cleaning, or rinsing, Can be used to carry out the process.

상기 기판 처리 장치(100)는 상기 처리 공정을 수행하기 위한 공간을 제공하는 처리조(110)를 포함할 수 있다. 상기 처리조(110)는 서로 마주하는 측벽들에 각각 입구(112)와 출구(114)를 가질 수 있으며, 상기 기판 처리 장치(100)는 상기 입구(112)와 출구(114)를 연결하는 수평 이송 방향으로 기판(10)을 이송하면서 상기 기판(10) 상에 약액을 공급하여 목적하는 처리 공정을 수행할 수 있다.The substrate processing apparatus 100 may include a processing bath 110 for providing a space for performing the processing. The processing vessel 110 may have an inlet 112 and an outlet 114 at opposite side walls thereof and the substrate processing apparatus 100 may have a horizontal The desired processing can be performed by supplying the chemical solution onto the substrate 10 while transferring the substrate 10 in the transfer direction.

상술한 바와 같은 기판 처리 장치(100)는 인-라인 방식으로 상기 기판(10)에 대한 단위 처리 공정을 수행할 수 있다. 예를 들면, 상기 기판 처리 장치(100)가 상기 기판(10)에 대한 세정 공정을 수행하는 경우 상기 처리조(110)의 상류측과 하류측에는 식각 장치와 건조 장치가 각각 연결될 수 있다.The substrate processing apparatus 100 as described above can perform a unit processing process on the substrate 10 in an in-line manner. For example, when the substrate processing apparatus 100 performs a cleaning process on the substrate 10, the etching apparatus and the drying apparatus may be connected to the upstream side and the downstream side of the processing tank 110, respectively.

상기 처리조(110)의 내부에는 상기 기판(10)을 이송하기 위한 기판 이송 유닛(120)이 배치될 수 있다. 상세히 도시되지는 않았으나, 상기 기판 이송 유닛(120)은 상기 기판 이송 방향으로 배열되며 상기 기판 이송 방향에 대하여 수직하는 다른 수평 방향으로 연장하는 다수의 회전축들과, 상기 회전축들에 장착되어 상기 기판(10)을 지지하며 상기 회전축들과 함께 회전하여 상기 기판(10)을 이송하기 위한 다수의 이송 롤러들(122)과, 상기 처리조(110)의 외부에 배치되어 상기 회전축들을 회전시키기 위한 구동부를 포함할 수 있다. 특히, 상기 구동부는 회전력을 발생시키는 모터와 상기 회전력을 전달하기 위한 벨트 전동 기구 및 자기력을 이용하여 상기 벨트 전동 기구로부터 상기 회전력을 상기 회전축들에 전달하기 위한 다수의 마그네틱 풀리들을 포함할 수 있다.A substrate transfer unit 120 for transferring the substrate 10 may be disposed in the processing bath 110. Although not shown in detail, the substrate transfer unit 120 includes a plurality of rotation shafts arranged in the substrate transfer direction and extending in another horizontal direction perpendicular to the substrate transfer direction, A plurality of transfer rollers 122 for supporting the substrate 10 and rotating with the rotation shafts to transfer the substrate 10 and a driving unit disposed outside the processing tank 110 for rotating the rotation shafts . In particular, the driving unit may include a motor for generating a rotational force, a belt transmission mechanism for transmitting the rotational force, and a plurality of magnetic pulleys for transmitting the rotational force from the belt transmission mechanism to the rotational shafts using magnetic force.

상기 기판 처리 장치(100)는 상기 기판 이송 유닛(120)에 의해 이송되는 기판(10) 상으로 약액을 공급하기 위한 약액 공급 모듈(200)을 포함할 수 있다.The substrate processing apparatus 100 may include a chemical solution supply module 200 for supplying a chemical solution onto the substrate 10 transferred by the substrate transfer unit 120.

상기 약액 공급 모듈(200)은 약액 공급단(210), 약액 공급 배관들(220) 및 노즐 유닛들(230)을 포함한다.The chemical liquid supply module 200 includes a chemical liquid supply end 210, chemical liquid supply lines 220, and nozzle units 230.

상기 약액 공급단(210)은 약액을 공급하는 메인 배관으로서, 상기 약액 공급 배관들(220)과 연결되며, 상기 약액 공급 배관들(220)과 교차하는 방향으로 연장된다. The chemical solution supply end 210 is a main pipe for supplying a chemical solution and is connected to the chemical solution supply pipes 220 and extends in a direction crossing the chemical solution supply pipes 220.

상기 약액 공급 배관(220)은 기판(10)의 상부에서 수평 방향으로 연장되며, 상기 약액의 유로를 제공한다. 예를 들면, 상기 처리조(110)의 내부의 상부 공간 즉 상기 기판(10)의 상부에는 상기 기판 이송 방향과 평행하게 연장하며 상기 기판 이송 방향에 대항 수직하는 다른 수평 방향으로 배열되는 다수의 약액 공급 배관들(220)이 배치될 수 있다.The chemical liquid supply pipe 220 extends horizontally at an upper portion of the substrate 10 and provides the chemical liquid flow path. For example, an upper space inside the processing bath 110, that is, an upper portion of the substrate 10, is provided with a plurality of chemical liquids (hereinafter referred to as " liquids ") arranged in the other horizontal direction extending in parallel with the substrate transfer direction The supply lines 220 can be disposed.

상기 필터 변환 유닛(100)에 관한 구체적인 사항은 도 2와 관련하여 설명하기로 한다.The details of the filter conversion unit 100 will be described with reference to FIG.

도 2는 도 1의 노즐 유닛의 단면도이다. 2 is a cross-sectional view of the nozzle unit of Fig.

상기 노즐 유닛들(230)은 각각 노즐 팁(240) 및 노즐부(250)를 포함한다.The nozzle units 230 include a nozzle tip 240 and a nozzle unit 250, respectively.

각각의 약액 공급 배관들(220)은 상기 기판(10) 상으로 상기 약액을 공급하기 위하여 상기 기판(10)의 이송 방향으로 배치된 다수의 노즐 유닛들(230)을 가질 수 있으며, 상기 노즐 팁(240)에 탑재된 상기 노즐부(250)는 상기 약액이 상기 기판(10) 상으로 공급되도록 요동 운동될 수 있다.Each of the chemical liquid supply lines 220 may have a plurality of nozzle units 230 arranged in the direction of transport of the substrate 10 to supply the chemical liquid onto the substrate 10, The nozzle unit 250 mounted on the substrate 240 may be swung so that the chemical liquid is supplied onto the substrate 10.

상기 노즐 팁(240)은 상기 약액 공급 배관(220)으로부터 돌출되어 형성되고, 내부에 상기 약액이 흐르기 위한 제1 유로(241)가 형성된다. 상기 제1 유로(241)는 상기 약액 공급 배관(220)의 내부로부터 수직방향으로 연장될 수 있다.The nozzle tip 240 protrudes from the chemical liquid supply pipe 220 and has a first flow path 241 through which the chemical liquid flows. The first flow path 241 may extend in the vertical direction from the inside of the chemical liquid supply pipe 220.

상기 노즐 팁(240)은 상기 노즐 몸체(251)가 탑재되어 상기 약액의 압력에 의해 스스로 요동 운동하도록 내부 공간(243)이 형성된다. 즉, 상기 노즐 몸체(251)는 상기 약액이 강한 압력으로 분사되면, 상기 내부 공간(243)에서 별도의 동력없이 스스로 흔들리게 된다. 상기 내부 공간(243)은 상기 노즐 팁(240)의 하단에 형성되며, 상기 노즐 몸체(251)의 외주면에 대응하여 동일한 형상으로 형성될 수 있다.The nozzle tip 240 is mounted on the nozzle body 251, and the inner space 243 is formed to pivot itself by the pressure of the chemical liquid. That is, when the chemical liquid is sprayed with a strong pressure, the nozzle body 251 swings itself in the inner space 243 without any additional power. The inner space 243 may be formed at the lower end of the nozzle tip 240 and may have the same shape corresponding to the outer circumferential surface of the nozzle body 251.

상기 노즐 팁(240)은 상기 노즐 몸체(251)의 둘레보다 작고 상기 노즐 관(253)의 둘레보다 큰 둘레를 갖는 개구부(245)가 형성될 수 있다. 즉, 상기 개구부(245)의 둘레는 노즐 몸체(251)의 둘레보다 작게 형성되어, 상기 노즐 몸체(251)가 외부로 빠져나가지 않도록 지지하며, 상기 노즐 관(253)의 둘레보다 크게 형성되어 상기 노즐 관(253)의 외주면과 상기 개구부(245)의 측벽이 소정 간격 이격되도록 함으로써, 상기 노즐 팁(240)의 외부로 노출된 상기 노즐 관(253)이 자유롭게 흔들릴 수 있도록 한다. The nozzle tip 240 may have an opening 245 that is smaller than the circumference of the nozzle body 251 and has a circumference larger than the circumference of the nozzle tube 253. That is, the periphery of the opening 245 is formed to be smaller than the circumference of the nozzle body 251 to support the nozzle body 251 so that the nozzle body 251 does not escape to the outside, and is formed larger than the circumference of the nozzle tube 253, The outer circumferential surface of the nozzle tube 253 and the side wall of the opening 245 are spaced apart from each other by a predetermined distance so that the nozzle tube 253 exposed to the outside of the nozzle tip 240 can freely swing.

상기 노즐부(250)는 원통형 및 구형 중 어느 하나로 형성된 노즐 몸체(251) 및 상기 노즐 몸체(251)로부터 연장되는 노즐 관(253)을 포함한다. 즉, 상기 노즐 몸체(251)는 원형의 둘레를 가지는 원통형 및 구형 중 어느 하나로 형성되어 상기 내부 공간(243)에서 회전할 수 있도록 한다. 상기 노즐 관(253)은 상기 노즐 몸체(251)로부터 수직방향으로 연장되며, 상기 노즐 관(253)의 하단에는 노즐 구멍이 형성되어 상기 기판(10)을 향하여 상기 약액을 분사한다. 상기 노즐부(250)는 내부에 상기 약액이 흐르기 위한 제2 유로(255)가 형성되고, 상기 제2 유로(255)는 상기 노즐 몸체(251)로부터 상기 노즐 관(253)을 따라 연장되어 상기 노즐 구멍에 연결된다.The nozzle unit 250 includes a nozzle body 251 formed of either a cylindrical or a spherical shape and a nozzle tube 253 extending from the nozzle body 251. That is, the nozzle body 251 may be formed in any one of a cylindrical shape and a spherical shape having a circular perimeter so as to be rotatable in the inner space 243. The nozzle tube 253 extends in the vertical direction from the nozzle body 251 and a nozzle hole is formed in the lower end of the nozzle tube 253 to spray the chemical liquid toward the substrate 10. A second flow path 255 for flowing the chemical solution is formed in the nozzle unit 250 and the second flow path 255 extends from the nozzle body 251 along the nozzle pipe 253, And is connected to the nozzle hole.

이에 의하여, 상기 노즐부(250)가 약액의 압력에 의해 스스로 요동 운동하는 구조를 가짐으로써, 상기 노즐부(250)에 동력을 전달하는 구동부 및 동력 전달부를 구비하지 않도록 구조를 단순화할 수 있다. 또한, 상기 구동부 및 동력 전달부의 손상과 유지보수에 따른 비용을 절감할 수 있다.Thus, the structure of the nozzle unit 250 can be simplified so as not to include the driving unit and the power transmission unit for transmitting the power to the nozzle unit 250, by having the structure in which the nozzle unit 250 swings itself by the pressure of the chemical liquid. In addition, it is possible to reduce the cost of the drive unit and the power transmission unit due to damage and maintenance.

이상에서는 실시예들을 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구의 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.It will be apparent to those skilled in the art that various modifications and variations can be made in the present invention without departing from the spirit or scope of the present invention as defined by the following claims. You will understand.

본 발명에 따른 약액 공급 모듈은 노즐부가 약액의 압력에 의해 스스로 요동 운동하는 구조를 가짐으로써, 구동부를 구비하지 않도록 구조를 단순화할 수 있다. 또한, 구동부 및 동력 전달부의 손상과 유지보수에 따른 비용을 절감할 수 있다.The chemical solution supply module according to the present invention has a structure in which the nozzle portion swings by itself by the pressure of the chemical liquid, so that the structure can be simplified so as not to include the driving portion. Further, it is possible to reduce the cost of the damage and maintenance of the driving unit and the power transmission unit.

100: 기판 처리 장치 110: 처리조
120: 기판 이송 유닛 122: 이송 롤러들
200: 약액 공급 모듈 210: 약액 공급단
220: 약액 공급 배관들 230: 노즐 유닛들
240: 노즐 팁 241: 제1 유로
243: 내부 공간 245: 개구부
250: 노즐부 251: 노즐 몸체
253: 노즐 관 255: 제2 유로100: substrate processing apparatus 110: treating tank
120: substrate transfer unit 122: transfer rollers
200: chemical liquid supply module 210: chemical liquid supply module
220: chemical liquid supply pipes 230: nozzle units
240: nozzle tip 241: first flow path
243: inner space 245: opening
250: nozzle unit 251: nozzle body
253: nozzle tube 255: second flow path

Claims (3)

약액을 공급하는 약액 공급단;
기판의 상부에서 수평 방향으로 연장되며, 상기 약액의 유로를 제공하는 약액 공급 배관;
원통형 및 구형 중 어느 하나로 형성된 노즐 몸체 및 상기 노즐 몸체로부터 연장되는 노즐 관을 포함하며, 상기 기판을 향하여 상기 약액을 분사하는 노즐부; 및
상기 약액 공급 배관으로부터 돌출되어 형성되고, 상기 노즐 몸체가 탑재되어 상기 약액의 압력에 의해 요동 운동하도록 내부 공간이 형성된 노즐 팁을 포함하고,
상기 노즐 팁에는 상기 노즐 몸체의 둘레보다 작고 상기 노즐 관의 둘레보다 큰 둘레를 갖는 개구부가 형성되어 상기 노즐 관의 외주면과 상기 개구부의 측벽이 소정 간격 이격되도록 함으로써 상기 노즐 팁의 외부로 노출된 상기 노즐 관이 자유롭게 흔들릴 수 있는 것을 특징으로 하는 약액 공급 모듈.A chemical liquid supply end for supplying a chemical liquid;
A chemical liquid supply pipe extending horizontally at an upper portion of the substrate and providing the chemical liquid flow path;
A nozzle body including a nozzle body formed of any one of a cylindrical shape and a spherical shape, and a nozzle tube extending from the nozzle body, the nozzle portion injecting the chemical liquid toward the substrate; And
And a nozzle tip formed to protrude from the chemical liquid supply pipe and having an inner space formed therein to allow the nozzle body to swing by the pressure of the chemical liquid,
Wherein the nozzle tip is provided with an opening having a circumference larger than the circumference of the nozzle body and larger than the circumference of the nozzle tube so that the outer circumference of the nozzle tube is spaced from the sidewall of the opening by a predetermined distance, And the nozzle tube is freely oscillated. 삭제delete 제1항에 있어서,
상기 노즐 팁의 내부에는 상기 약액이 흐르도록 상기 약액 공급 배관의 내부로부터 수직방향으로 연장되는 제1 유로가 구비되고, 상기 노즐부의 내부에는 상기 약액이 흐르도록 상기 제1 유로와 연결됨과 아울러 상기 노즐 몸체로부터 상기 노즐 관을 따라 연장되는 제2 유로가 형성되는 것을 특징으로 하는 약액 공급 모듈.The method according to claim 1,
The nozzle tip is provided with a first flow path extending vertically from the inside of the chemical solution supply pipe so that the chemical solution flows through the nozzle tip. The nozzle is connected to the first flow path so that the chemical solution flows therein, And a second flow path extending from the body along the nozzle tube is formed.
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