KR101903026B1 - Water treatment low-temperature plasma generation device - Google Patents

Water treatment low-temperature plasma generation device Download PDF

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KR101903026B1
KR101903026B1 KR1020180017795A KR20180017795A KR101903026B1 KR 101903026 B1 KR101903026 B1 KR 101903026B1 KR 1020180017795 A KR1020180017795 A KR 1020180017795A KR 20180017795 A KR20180017795 A KR 20180017795A KR 101903026 B1 KR101903026 B1 KR 101903026B1
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flexible electrode
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water
plasma
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홍용철
마숙활
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한국기초과학지원연구원
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Abstract

Provided is a water treatment low-temperature plasma generation device, which purifies water to be rotated stably for a long time while contacting plasma to the water to be rotated; and which improves the yield of the water treatment low-temperature plasma generation device. The water treatment low-temperature plasma generation device according to an embodiment of the present invention comprises the following: an external dielectric having a through-hole on the outer surface, injected with source gas, and located in water to be treated; an internal dielectric located inside the external dielectric; a first flexible electrode located inside the internal dielectric and having flexibility; and a power supply unit applying power to the first flexible electrode. The plasma is generated in the direction from the external dielectric toward the water to be treated by the source gas passed through the through-hole, and the plasma can purify the water to be treated.

Description

수처리 저온 플라즈마 발생 장치{WATER TREATMENT LOW-TEMPERATURE PLASMA GENERATION DEVICE}[0001] WATER TREATMENT LOW-TEMPERATURE PLASMA GENERATION DEVICE [0002]

수처리 저온 플라즈마 발생 장치가 제공된다.A water treatment low temperature plasma generator is provided.

플라즈마(Plasma) 장치는 표면 처리, 오염수의 정화, 토양의 복원, 식품 살균 등의 분야에서 이용되고 있다. 일반적으로 수중 플라즈마 장치는 플라즈마에 의해 수중에 존재하는 각종 유해물질과 반응하여 산화 및 분해시킴으로써 오폐수를 정화할 수 있다.Plasma devices are used in the fields of surface treatment, purification of polluted water, restoration of soil, and food sterilization. In general, an underwater plasma apparatus is capable of purifying wastewater by oxidizing and decomposing various harmful substances present in the water by plasma.

한국공개특허 2017-0121425는 "플라즈마 수처리 장치"에 대한 것으로, 수처리를 위한 수중 플라즈마를 개시한다. 그러나, 플라즈마 수처리 장치는 내부 전극이 유연성을 가지지 못하는 비유연전극(Non-flexible Electrode) 구조이기 때문에 내부 전극을 직경이 작은 유전체에 삽입할 때 부러질 수 있으므로 공정 수율이 낮다.Korean Patent Laid-Open Publication No. 2017-0121425 discloses a " plasma water treatment apparatus "in which an underwater plasma for water treatment is started. However, since the plasma water treatment apparatus is a non-flexible electrode structure in which the internal electrode is not flexible, the internal electrode can be broken when inserting the electrode into a small-diameter dielectric, resulting in a low process yield.

본 발명의 한 실시예는 플라즈마를 피처리수에 직접 접촉할 수 있으며 전원 공급이 중단되더라도 비상발전기를 통해 안정적으로 장시간 피처리수를 정화하기 위한 것이다.An embodiment of the present invention is for directly contacting the plasma with the water to be treated and purifying the water to be treated stably for a long time through the emergency generator even if the power supply is interrupted.

본 발명의 한 실시예는 수처리 플라즈마 발생 장치의 수율을 높이기 위한 것이다.One embodiment of the present invention is to increase the yield of the water treatment plasma generating apparatus.

상기 과제 이외에도 구체적으로 언급되지 않은 다른 과제를 달성하는 데 본 발명에 따른 실시예가 사용될 수 있다.Embodiments according to the present invention can be used to accomplish other tasks not specifically mentioned other than the above-described tasks.

본 발명의 실시예에 따른 수처리 플라즈마 발생 장치는 외면에 관통홀이 형성되고 소스 가스가 주입되고 피처리수에 위치하는 외부유전체, 외부유전체의 내부에 위치하는 내부유전체, 내부유전체의 내부에 위치하고 유연성을 가지는 제1 유연전극, 그리고 제1 유연전극에 전원을 인가하는 전원공급부를 포함하고 관통홀을 통과한 소스 가스에 의해 외부유전체에서 피처리수를 향한 방향으로 플라즈마가 발생되고, 플라즈마는 피처리수를 정화할 수 있다.An apparatus for generating a water treatment plasma according to an embodiment of the present invention includes an outer dielectric formed with a through hole on an outer surface thereof, a source gas injected thereinto and positioned in the water to be treated, an inner dielectric disposed inside the outer dielectric, And a power supply for applying power to the first flexible electrode. The plasma is generated in a direction from the outer dielectric to the for-treatment water by the source gas passing through the through-hole. The water can be purified.

제1 유연전극은 외부유전체 내부에서 외부유전체와 동축에 배치되거나 편심으로 배치될 수 있다. 내부유전체 내부에 위치하고 제1 유연전극과 대향하며 위치하는 제2 유연전극을 더 포함할 수 있다. 내부유전체 내부에 위치하고 제1 유연전극과 교차하며 위치하는 제3 유연전극, 내부 유전체 내부에 위치하고 제3 유연전극과 대향하며 위치하는 제4 유연전극을 더 포함할 수 있다. 내부유전체는 일측 단부가 막힌 형상을 가지고, 외부유전체는 내부유전체를 감싸며 일측 단부가 막힌 형상을 가질 수 있다. 전원공급부의 전원이 오프 될 경우, 제1 유연전극에 전원을 인가하는 비상발전기를 더 포함할 수 있다.The first flexible electrode may be coaxially disposed or eccentrically disposed with the outer dielectric within the outer dielectric. And a second flexible electrode positioned inside the inner dielectric and facing the first flexible electrode. A third flexible electrode located inside the inner dielectric and intersecting the first flexible electrode, and a fourth flexible electrode located inside the inner dielectric and facing the third flexible electrode. The inner dielectric has a closed end shape, the outer dielectric surrounds the inner dielectric, and one end may have a clogged shape. And an emergency generator for applying power to the first flexible electrode when the power supply is turned off.

제1 유연전극은 피처리수와 접지될 수 있다. 제1 유연전극은 외부유전체 내부에서 외부유전체와 동축에 배치되거나 편심으로 배치될 수 있다. 외부유전체 내부에 위치하고 제1 유연전극과 대향하며 위치하는 제2 유연전극을 더 포함할 수 있다. 외부유전체 내부에 위치하고 제1 유연전극과 교차하며 위치하는 제3 유연전극, 내부 유전체 내부에 위치하고 제3 유연전극과 대향하며 위치하는 제4 유연전극을 더 포함할 수 있다. 전원공급부의 전원이 오프 될 경우, 제1 유연전극에 전원을 인가하는 비상발전기를 더 포함할 수 있다.The first flexible electrode can be grounded with the water to be treated. The first flexible electrode may be coaxially disposed or eccentrically disposed with the outer dielectric within the outer dielectric. And a second flexible electrode located inside the outer dielectric and facing the first flexible electrode. A third flexible electrode located inside the outer dielectric and crossing the first flexible electrode, and a fourth flexible electrode located inside the inner dielectric and facing the third flexible electrode. And an emergency generator for applying power to the first flexible electrode when the power supply is turned off.

소스 가스가 주입되는 외부유전체, 외면에 관통홀이 형성되고 외부유전체의 내부에 위치하고 피처리수가 유입되는 내부유전체, 외부유전체의 내부에 위치하고 유연성을 가지는 제1 유연전극, 그리고 제1 유연전극에 전원을 인가하는 전원공급부를 포함하고 제1 유연전극은 피처리수와 접지되어 소스 가스에 의해 외부유전체에서 내부유전체를 향한 방향으로 플라즈마가 발생되고, 플라즈마는 피처리수를 정화할 수 있다.A first flexible electrode disposed inside the outer dielectric body and having flexibility, and a second flexible electrode disposed inside the outer dielectric and having a power source for supplying power to the first flexible electrode, And the first flexible electrode is grounded with the water to be treated so that plasma is generated in a direction from the outer dielectric to the inner dielectric by the source gas, and the plasma can purify the water to be treated.

내부유전체는 외부유전체의 내부에서 외부유전체와 동축에 배치되거나 편심으로 배치될 수 있다. 외부유전체 내부에 위치하고 제1 유연전극과 대향하며 위치하는 제2 유연전극을 더 포함할 수 있다. 제1 유연전극은 내부유전체를 감싸며 원통형 형상을 가질 수 있다. 전원공급부의 전원이 오프 될 경우, 제1 유연전극에 전원을 인가하는 비상발전기를 더 포함할 수 있다.The inner dielectric may be disposed coaxially or eccentrically with the outer dielectric within the outer dielectric. And a second flexible electrode located inside the outer dielectric and facing the first flexible electrode. The first flexible electrode surrounds the inner dielectric and may have a cylindrical shape. And an emergency generator for applying power to the first flexible electrode when the power supply is turned off.

본 발명의 한 실시예에 따르면, 유연성을 가지는 유연전극을 이용하여 유전체에 전극을 삽입할 때 전극이 깨지는 현상을 미연에 방지할 수 있으며, 전원 공급이 중단되더라도 비상발전기가 가동되어 장시간 안정적으로 플라즈마를 발생시켜 피처리수의 정화를 수행할 수 있다.According to an embodiment of the present invention, when a flexible electrode having flexibility is used, an electrode can be prevented from being broken when an electrode is inserted into a dielectric, and even when the power supply is interrupted, the emergency generator is activated, Thereby purifying the water to be treated.

도 1은 본 발명의 한 실시예에 따른 수처리 플라즈마 발생 장치를 나타내는 단면도이다.
도 2 내지 도 4는 본 발명의 한 실시예에 따른 수처리 플라즈마 발생 장치를 나타내는 단면도이다.
도 5는 본 발명의 한 실시예에 따른 수처리 플라즈마 발생 장치를 나타내는 단면도이다.
도 6은 본 발명의 한 실시예에 따른 수처리 플라즈마 발생 장치를 나타내는 단면도이다.
도 7은 본 발명의 한 실시예에 따른 수처리 플라즈마 발생 장치를 나타내는 사시도이다.
도 8은 본 발명의 한 실시예에 따른 수처리 플라즈마 발생 장치를 나타내는 단면도이다.
도 9는 본 발명의 한 실시예에 따른 수처리 플라즈마 발생 장치의 사진이다.
도 10은 본 발명의 실험예에 따른 항복 전압의 실험 그래프이다.1 is a cross-sectional view illustrating a water treatment plasma generating apparatus according to an embodiment of the present invention.
2 to 4 are cross-sectional views illustrating a water treatment plasma generating apparatus according to an embodiment of the present invention.
5 is a cross-sectional view illustrating a water treatment plasma generating apparatus according to an embodiment of the present invention.
6 is a cross-sectional view illustrating a water treatment plasma generating apparatus according to an embodiment of the present invention.
7 is a perspective view showing a water treatment plasma generating apparatus according to an embodiment of the present invention.
8 is a cross-sectional view of a water treatment plasma generating apparatus according to an embodiment of the present invention.
9 is a photograph of a water treatment plasma generating apparatus according to an embodiment of the present invention.
10 is an experimental graph of breakdown voltage according to an experimental example of the present invention.

여기서 사용되는 전문용어는 단지 특정 실시예를 언급하기 위한 것이며, 본 발명을 한정하는 것을 의도하지 않는다. 여기서 사용되는 단수 형태들은 문구들이 이와 명백히 반대의 의미를 나타내지 않는 한 복수 형태들도 포함한다. 명세서에서 사용되는 "포함하는"의 의미는 특정 특성, 영역, 정수, 단계, 동작, 요소 및/또는 성분을 구체화하며, 다른 특정 특성, 영역, 정수, 단계, 동작, 요소, 성분 및/또는 군의 존재나 부가를 제외시키는 것은 아니다.The terminology used herein is for the purpose of describing particular embodiments only and is not intended to limit the invention. The singular forms as used herein include plural forms as long as the phrases do not expressly express the opposite meaning thereto. Means that a particular feature, region, integer, step, operation, element and / or component is specified, and that other specific features, regions, integers, steps, operations, elements, components, and / And the like.

다르게 정의하지는 않았지만, 여기에 사용되는 기술용어 및 과학용어를 포함하는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 일반적으로 이해하는 의미와 동일한 의미를 가진다. 보통 사용되는 사전에 정의된 용어들은 관련기술문헌과 현재 개시된 내용에 부합하는 의미를 가지는 것으로 추가 해석되고, 정의되지 않는 한 이상적이거나 매우 공식적인 의미로 해석되지 않는다.Unless otherwise defined, all terms including technical and scientific terms used herein have the same meaning as commonly understood by one of ordinary skill in the art to which this invention belongs. Commonly used predefined terms are further interpreted as having a meaning consistent with the relevant technical literature and the present disclosure, and are not to be construed as ideal or very formal meanings unless defined otherwise.

이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 실시예에 대하여 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다. 그러나 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예에 한정되지 않는다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings so that those skilled in the art can easily carry out the present invention. The present invention may, however, be embodied in many different forms and should not be construed as limited to the embodiments set forth herein.

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 수처리 플라즈마 발생 장치(1)의 yz단면도를 나타낸다. 도 1의 수처리 플라즈마 발생 장치(1)의 구조는 단지 본 발명을 예시하기 위한 것이며, 본 발명이 여기에 한정되는 것은 아니다. 따라서 수처리 플라즈마 발생 장치(1)의 구조를 다른 형태로도 변형할 수 있다.1 is a cross-sectional view taken along line yz of a water treatment plasma generating apparatus 1 according to an embodiment of the present invention. The structure of the water treatment plasma generating apparatus 1 of FIG. 1 is merely for illustrating the present invention, and the present invention is not limited thereto. Therefore, the structure of the water treatment plasma generator 1 can be modified in other forms.

도 1에 도시한 바와 같이, 수처리 플라즈마 발생 장치(1)는 피처리수(W)가 담긴 수조(T)에 설치되어 피처리수(W)와 직접적으로 접촉할 수 있다. 수처리 플라즈마 발생 장치(1)는 외부유전체(10), 내부유전체(20), 전원공급부(30), 비상발전기(40) 그리고 제1 유연전극(21)을 포함할 수 있다.As shown in Fig. 1, the water treatment plasma generating apparatus 1 is installed in the water tank T containing the for-treatment water W and can directly contact the water W to be treated. The water treatment plasma generator 1 may include an external dielectric 10, an internal dielectric 20, a power supply 30, an emergency generator 40, and a first flexible electrode 21.

외부유전체(10)는 관통홀(11), 가스공급부(12)을 포함할 수 있다. 외부유전체(10)는 원통형 형상을 가질 수 있다. 외부유전체(10)는 유연성을 가질 수 있다. 외부유전체(10)는 외부전원(50)과 연결될 수 있다. 외부유전체(10)는 폴리에스테르, 폴리에테르와 이소시아네이트와의 반응에 의해 제조된 탄성체로 제조될 수 있다. 외부유전체(10)는 양측 단부는 수조(T)에 안착하여 설치될 수 있다.The outer dielectric 10 may include a through hole 11 and a gas supply 12. The outer dielectric 10 may have a cylindrical shape. The outer dielectric 10 may have flexibility. The outer dielectric 10 may be connected to an external power source 50. The outer dielectric 10 can be made of an elastomer produced by the reaction of polyester, polyether and isocyanate. Both ends of the outer dielectric 10 can be mounted on the water tub T. [

관통홀(11)은 관통홀(11)의 외면을 관통한 홀 형상을 가질 수 있다. 관통홀(11)은 외부유전체(10)의 외면 일측에 형성될 수 있다. 관통홀(11)은 외부유전체(10)의 외면을 둘러싸며 형성될 수 있다.The through hole (11) may have a hole shape penetrating the outer surface of the through hole (11). The through-hole 11 may be formed on one side of the outer surface of the outer dielectric 10. The through-hole 11 may be formed to surround the outer surface of the outer dielectric 10.

가스공급부(12)는 외부유전체(10)의 일측과 연결될 수 있다. 가스공급부(12)는 외부유전체(10)의 내부로 소스 가스를 주입할 수 있다. 소스 가스는 이산화탄소, 질소, 산소, 공기, 불활성가스, 또는 이들을 하나 이상 혼합한 가스일 수 있다. 또한 가스공급부(12)는 액체 상태의 과산화수소수를 분사할 수 있다.The gas supply part 12 may be connected to one side of the outer dielectric 10. The gas supply part 12 can inject the source gas into the inside of the outer dielectric 10. The source gas may be carbon dioxide, nitrogen, oxygen, air, an inert gas, or a gas mixture of one or more thereof. Further, the gas supply unit 12 can inject the hydrogen peroxide solution in a liquid state.

내부유전체(20)는 원통형 형상을 가질 수 있다. 내부유전체(20)는 유연성을 가질 수 있다. 내부유전체(20)는 폴리에스테르, 폴리에테르와 이소시아네이트와의 반응에 의해 제조된 탄성체로 제조될 수 있다.The inner dielectric 20 may have a cylindrical shape. The inner dielectric 20 may have flexibility. The inner dielectric 20 may be made of an elastomer produced by the reaction of polyester, polyether and isocyanate.

내부유전체(20)는 제1 유연전극(21)을 포함할 수 있다. 내부유전체(20)의 내부에는 제1 유연전극(21)이 위치할 수 있다. 내부유전체(20)와 제1 유연전극(21)은 외부유전체(10)와 동축에 배치될 수 있다. 내부유전체(20)와 제1 유연전극(21)은 외부유전체(10)에서 편심으로 배치될 수 있다.The inner dielectric 20 may comprise a first flexible electrode 21. The first flexible electrode 21 may be located inside the inner dielectric 20. The inner dielectric 20 and the first flexible electrode 21 may be disposed coaxially with the outer dielectric 10. The inner dielectric 20 and the first flexible electrode 21 may be eccentrically disposed in the outer dielectric 10.

제1 유연전극(21)이 외부유전체(10)에서 편심으로 배치될 경우, 제1 유연전극(21)과 외부유전체(10)와의 이격 거리는 제1 유연전극(21)이 외부유전체(10)와 동축일 때의 제1 유연전극(21)과 외부유전체(10)와의 이격 거리는 보다 작다. 따라서, 같은 전압일 때, 제1 유연전극(21)이 외부유전체(10)에서 편심으로 배치될 경우가 동축으로 배치된 경우보다 큰 전기장을 형성할 수 있으므로 플라즈마(P)의 생성 효율을 높일 수 있다. 또한, 제1 유연전극(21)이 관통홀(11)과 가깝게 위치할 수 있으므로 외부유전체(10) 내부의 불용 방전을 감소시킬 수 있으며 전체 소비 전력을 감소시킬 수 있다. The distance between the first flexible electrode 21 and the outer dielectric 10 is set such that the distance between the first flexible electrode 21 and the outer dielectric 10 is less than the distance between the first flexible electrode 21 and the outer dielectric 10, The distance between the first flexible electrode 21 and the outer dielectric 10 when it is coaxial is smaller. Therefore, when the first flexible electrode 21 is disposed at the same voltage as the eccentricity at the outer dielectric 10, a larger electric field can be formed than when the first flexible electrode 21 is arranged coaxially, so that the generation efficiency of the plasma P can be increased have. In addition, since the first flexible electrode 21 can be located close to the through-hole 11, it is possible to reduce an insoluble discharge in the outer dielectric 10 and reduce the total power consumption.

제1 유연전극(21)은 유연성을 가질 수 있다. 제1 유연전극(21)은 고전압전극일 수 있다. 제1 유연전극(21)은 내부유전체(20)의 내부에 위치할 수 있다. 제1 유연전극(21)는 유연성을 가질 수 있으므로 외부유전체(10) 또는 내부유전체(20)에 제1 유연전극(21)을 삽입할 경우, 유전체들(10, 20)에 맞추어 휘어질 수 있으므로 전극이 부러지는 현상을 미연에 방지할 수 있다. The first flexible electrode 21 may have flexibility. The first flexible electrode 21 may be a high voltage electrode. The first flexible electrode 21 may be located inside the inner dielectric 20. The first flexible electrode 21 may have flexibility so that when the first flexible electrode 21 is inserted into the outer dielectric 10 or the inner dielectric 20, the first flexible electrode 21 may be bent to match the dielectric materials 10 and 20 It is possible to prevent the breakage of the electrode in advance.

반면, 종래의 플라즈마 장치는 비유연전극을 사용하여 유전체 내부에 전극을 삽입할 경우, 유전체의 직경이 약 5mm 내지 3mm 이므로 유전체와의 간섭이 발생될 수 있으며 전극이 부러질 수 있으므로 장치의 수율이 낮다.On the other hand, in the conventional plasma apparatus, when the electrode is inserted into the dielectric by using the non-flexible electrode, since the diameter of the dielectric is about 5 mm to 3 mm, interference with the dielectric may occur and the electrode may break, low.

제1 유연전극(21)은 전원공급부(30)로부터 전원을 인가 받을 수 있으며, 외부유전체(10)는 외부전원(50)으로부터 전원을 인가 받을 수 있다. 제1 유연전극(21)과 외부유전체(10)에 전원이 인가되면, 외부유전체(10)에 주입된 소스 가스와 제1 유연전극(21) 및 외부유전체(10) 사이 공간에서 방전이 되어 소스 가스의 이온화가 이루어져 플라즈마(P)가 형성될 수 있다. 플라즈마(P)는 저온(Low-Temperature) 플라즈마일 수 있다. 플라즈마(P)는 외부유전체(10)에서 피처리수(W)를 향한 방향으로 화살표를 따라 발생되어 관통홀(11)을 통과하고 피처리수(W)를 정화할 수 있다.The first flexible electrode 21 can receive power from the power supply unit 30 and the external dielectric 10 can receive power from the external power supply 50. [ When power is applied to the first flexible electrode 21 and the external dielectric 10, the source gas injected into the external dielectric 10 is discharged in a space between the first flexible electrode 21 and the external dielectric 10, Ionization of the gas can be performed to form the plasma (P). The plasma P may be a low-temperature plasma. The plasma P is generated along the direction of the arrow from the external dielectric 10 toward the WTBT W and passes through the through holes 11 to purify the WTBT WT.

플라즈마(P)는 피처리수(W)의 물 분자를 분해시켜 OH-, O, H, HCl 등의 활성종을 생성할 수 있으며 생성된 활성종들은 처리수의 유기화합물, 미생물 등의 오염물질 제거할 수 있다.The plasma P decomposes the water molecules of the water W to generate active species such as OH-, O, H, HCl and the like, and the generated active species are pollutants such as organic compounds and microorganisms Can be removed.

비상발전기(40)는 가스공급부(12)와 연결될 수 있다. 비상발전기(40)는 전원공급부(30)와 연결될 수도 있다. 비상발전기(40)는 가스공급부(12) 또는 전원공급부(30)의 메인 전원이 오프(OFF) 되어 가스 공급이나 플라즈마(P) 생성이 중단될 경우, 가스공급부(12)와 전원공급부(30)에 전원을 공급할 수 있다.The emergency generator (40) can be connected to the gas supply part (12). The emergency generator (40) may be connected to the power supply unit (30). The emergency generator 40 is controlled by the gas supply unit 12 and the power supply unit 30 when the main power of the gas supply unit 12 or the power supply unit 30 is turned off so that gas supply or generation of plasma P is interrupted, As shown in FIG.

비상발전기(40)는 메인 전원이 오프 되더라도 전원공급부(30)와 가스공급부(12)에 전원을 공급할 수 있으므로 안정적으로 수처리 공정을 진행할 수 있다. 또한 플라즈마(P) 생성이 중단될 시 피처리수(W)가 관통홀(11)을 통해 제1 유연전극(21)에 유입되어 전기적 문제점을 발생시키는 것을 미연에 방지할 수 있다.The emergency generator 40 can supply power to the power supply unit 30 and the gas supply unit 12 even when the main power is turned off so that the water treatment process can be performed stably. In addition, it is possible to prevent the for-treatment water W from flowing into the first flexible electrode 21 through the through-hole 11 when the generation of the plasma P is stopped, thereby causing an electrical problem in advance.

반면, 종래의 플라즈마 장치는 수처리 공정이 진행되다가 전원이 오프 될 경우 플라즈마 생성이 중단될 경우 전극 내부로 물이 들어갈 수 있으며 다시 고전압이 인가되면 수분을 가진 전극이 파손되거나 누전될 수 있다.On the other hand, in the conventional plasma apparatus, if the plasma generation is stopped when the power is turned off after the water treatment process is performed, water may enter into the electrode, and if the high voltage is applied again, the electrode having moisture may be broken or shorted.

도 2 및 도 3은 본 발명의 실시예에 따른 수처리 플라즈마 발생 장치(1)의 xz단면도를 나타낸다. 도 2에 도시한 바와 같이, 수처리 플라즈마 발생 장치(1)는 외부유전체(10), 내부유전체(20), 제1 유연전극(21) 그리고 제2 유연전극(22)을 포함할 수 있다. 2 and 3 are cross-sectional views of the water treatment plasma generating apparatus 1 according to the embodiment of the present invention. 2, the water treatment plasma generating apparatus 1 may include an outer dielectric 10, an inner dielectric 20, a first flexible electrode 21, and a second flexible electrode 22. [

외부유전체(10)와 내부유전체(20)는 원통형 형상을 가질 수 있다. 내부유전체(20)는 외부유전체(10)의 일측부와 가까운 편심에 위치할 수 있다. 제1 유연전극(21)과 제2 유연전극(22)은 내부유전체(20)는 내부에 위치할 수 있다. 제1 유연전극(21)은 제2 유연전극(22)과 대향하며 위치할 수 있다. 제1 유연전극(21)과 제2 유연전극(22)은 서로 같은 극 또는 다른 극을 가질 수 있다.The outer dielectric 10 and the inner dielectric 20 may have a cylindrical shape. The inner dielectric 20 may be located eccentrically close to one side of the outer dielectric 10. The first flexible electrode 21 and the second flexible electrode 22 may be located inside the inner dielectric 20. The first flexible electrodes 21 may be positioned opposite to the second flexible electrodes 22. The first flexible electrodes 21 and the second flexible electrodes 22 may have the same polarity or different polarities.

제1 유연전극(21)과 제2 유연전극(22)이 상호 대향하면서 관통홀(11)과 근접 위치할 수 있으므로, 외부유전체(10) 내부에서 생성된 플라즈마(P)가 바로 관통홀(11)을 통과하여 피처리수(W)와 반응할 수 있으므로 피처리수(W)의 정화 효율이 높아질 수 있다.The first flexible electrode 21 and the second flexible electrode 22 can be positioned close to the through hole 11 while facing each other so that the plasma P generated inside the outer dielectric 10 is directly passed through the through hole 11 And can react with the for-treatment water W, so that the purification efficiency of the for-treatment water W can be enhanced.

도 3에 도시한 바와 같이, 수처리 플라즈마 발생 장치(1)는 외부유전체(10), 내부유전체(20), 제1 유연전극(21) 그리고 제2 유연전극(22), 제3 유연전극(23) 그리고 제4 유연전극(24)을 포함할 수 있다.3, the water treatment plasma generating apparatus 1 includes an outer dielectric 10, an inner dielectric 20, a first flexible electrode 21, a second flexible electrode 22, a third flexible electrode 23 And a fourth flexible electrode 24. The fourth flexible electrode 24 may include a first flexible electrode 24,

제3 유연전극(23)과 제4 유연전극(24)은 내부유전체(20)는 내부에 위치할 수 있다. 제3 유연전극(23)은 제1 유연전극(21)과 직교하며 위치할 수 있다. 제4 유연전극(24)은 제2 전극과 직교하며 위치할 수 있다. 제3 유연전극(23)과 제4 유연전극(24)은 대향하며 위치할 수 있다.The third flexible electrode 23 and the fourth flexible electrode 24 may be located inside the inner dielectric 20. The third flexible electrode 23 may be positioned orthogonal to the first flexible electrode 21. The fourth flexible electrode 24 may be positioned orthogonal to the second electrode. The third flexible electrode 23 and the fourth flexible electrode 24 can be opposed to each other.

유연전극들(21, 22, 23, 24)이 내부유전체(20)의 내부에 위치할 경우, 플라즈마(P)의 발생량이 커질 수 있으므로 피처리수(W)가 대량일 경우에도 정화 시간을 단축하여 피처리수(W)의 정화 효율을 높일 수 있다.When the flexible electrodes 21, 22, 23 and 24 are positioned inside the inner dielectric 20, the generation amount of the plasma P can be increased. Therefore, even when the for-treatment water W is large, So that the purification efficiency of the for-treatment water W can be enhanced.

도 4는 본 발명의 실시예에 따른 수처리 플라즈마 발생 장치(1)의 단면도를 나타낸다. 도 4에 도시한 바와 같이 수처리 플라즈마 발생 장치(1)는 외부유전체(10), 내부유전체(20) 그리고 제1 유연전극(21)을 포함할 수 있다. 제1 유연전극(21)은 외부유전체(10)의와 동축에 배치되거나 편심으로 배치될 수 있다.4 is a cross-sectional view of the water treatment plasma generating apparatus 1 according to the embodiment of the present invention. 4, the water treatment plasma generator 1 may include an outer dielectric 10, an inner dielectric 20, and a first flexible electrode 21. [ The first flexible electrode 21 may be disposed coaxially with or concentrically with the outer dielectric 10.

외부유전체(10)의 일측 단부(13)는 기울기를 가지며 막힌 형상을 가질 수 있다. 내부유전체(20)의 일측 단부(25)는 기울기를 가지며 막힌 형상을 가질 수 있다. 수처리 플라즈마 발생 장치(1)가 수조(T)에 고정될 경우, 외부유전체(10)와 내부유전체(20)의 일측만 수조(T)에 고정한 상태에서 제1 유연전극(21)을 교체할 수 있으므로 교체의 용이성을 높일 수 있다.One end 13 of the outer dielectric 10 has a slope and may have a clogged shape. One end 25 of the inner dielectric 20 has a slope and may have a clogged shape. When the water treatment plasma generating apparatus 1 is fixed to the water tank T, only the one side of the outer dielectric 10 and the inner dielectric 20 can be replaced with the first flexible electrode 21 Therefore, the ease of replacement can be increased.

도 5는 본 발명의 실시예에 따른 수처리 플라즈마 발생 장치(1)의 yz단면도를 나타낸다. 도 5에서는 외부유전체(10), 제1 유연전극(21) 그리고 제2 유연전극(22)을 제외하고는 도 1의 수처리 플라즈마 발생 장치(1)와 유사하므로, 동일한 부분에는 동일한 도면 부호를 사용하며, 그 상세한 설명을 생략한다.5 is a cross-sectional view taken along the line yz of the water treatment plasma generating apparatus 1 according to the embodiment of the present invention. 5 is similar to the water treatment plasma generating apparatus 1 shown in Fig. 1 except for the outer dielectric 10, the first flexible electrode 21 and the second flexible electrode 22, And a detailed description thereof will be omitted.

도 5에 도시한 바와 같이, 외부유전체(10)는 관통홀(11a, 11b)을 포함할 수 있다. 관통홀(11a, 11b)은 외부유전체(10)의 외면에 형성될 수 있다. 관통홀(11a, 11b)은 외부유전체(10)의 일측 외면과 타측 외면에 형성될 수 있다.As shown in Fig. 5, the outer dielectric 10 may include through holes 11a and 11b. The through holes (11a, 11b) can be formed on the outer surface of the outer dielectric (10). The through holes (11a, 11b) may be formed on one outer surface and the other outer surface of the outer dielectric (10).

제1 유연전극(21)은 외부유전체(10)에서 편심으로 배치될 수 있다. 제1 유연전극(21)은 일측의 관통홀(11a)과 근접하며 위치할 수 있다. 제1 유연전극(21)은 피처리수(W)와 접지하여 회로를 구성할 수 있다. 이 경우, 피처리수(W)는 전극의 역할을 수행할 수 있다. 제1 유연전극(21)은 고전압 전극일 수 있으며, 피처리수(W)는 접지 전극일 수 있다.The first flexible electrode 21 may be disposed eccentrically in the outer dielectric 10. The first flexible electrode 21 may be positioned adjacent to the one through hole 11a. The first flexible electrode 21 can be grounded with the WTB W to constitute a circuit. In this case, the for-treatment water W can serve as an electrode. The first flexible electrode 21 may be a high voltage electrode, and the W water W may be a ground electrode.

제2 유연전극(22)은 외부유전체(10)에서 편심으로 배치될 수 있다. 제2 유연전극(22)은 제1 유연전극(21)과 대향하며 위치할 수 있다. 제2 유연전극(22)은 타측의 관통홀(11b)과 근접하며 위치할 수 있다. 제2 유연전극(22)은 피처리수(W)와 접지하여 회로를 구성할 수 있다.The second flexible electrode 22 may be disposed eccentrically in the outer dielectric 10. The second flexible electrode 22 may be located opposite to the first flexible electrode 21. And the second flexible electrode 22 can be positioned close to the other through hole 11b. The second flexible electrode 22 can be grounded with the WTB W to constitute a circuit.

전원공급부(30)가 제1 유연전극(21)과 제2 유연전극(22)에 전원을 인가하면 각각 피처리수(W)와 접지할 수 있으므로 외부유전체(10)에 공급된 가스를 통해 플라즈마(P)를 발생시킬 수 있다. 플라즈마(P)는 외부유전체(10)에서 피처리수(W)를 향한 방향으로 화살표를 따라 발생되어 관통홀(11a, 11b)을 통과하고 피처리수(W)를 정화할 수 있다.When the power supply unit 30 applies power to the first flexible electrode 21 and the second flexible electrode 22, the power supply unit 30 can be grounded with the WTBT. Therefore, (P) can be generated. The plasma P is generated along the direction of the arrow from the external dielectric 10 toward the WTBT to pass through the through holes 11a and 11b and purify the WTBT.

또한 제1 유연전극(21)과 제2 유연전극(22)이 피처리수(W)와 직접 접지하여 회로를 구성하여 플라즈마(P)의 발생 영역과 피처리수(W)의 접촉 영역이 커질 수 있으므로 플라즈마 처리가 지속적으로 이루어지면서 처리효율을 향상시킬 수 있다.The first flexible electrodes 21 and the second flexible electrodes 22 are directly grounded with the WTB W to form a circuit so that the contact area between the generation region of the plasma P and the WTB So that the plasma treatment can be continuously performed and the treatment efficiency can be improved.

도 6은 본 발명의 실시예에 따른 수처리 플라즈마 발생 장치(1)의 xz단면도를 나타낸다. 도 6에 도시한 바와 같이, 수처리 플라즈마 발생 장치(1)는 외부유전체(10), 내부유전체(20), 제1 유연전극(21) 그리고 제2 유연전극(22), 제3 유연전극(23) 그리고 제4 유연전극(24)을 포함할 수 있다.6 is a cross-sectional view taken along line xz of the water treatment plasma generating apparatus 1 according to the embodiment of the present invention. 6, the water treatment plasma generating apparatus 1 includes an outer dielectric 10, an inner dielectric 20, a first flexible electrode 21, a second flexible electrode 22, a third flexible electrode 23 And a fourth flexible electrode 24. The fourth flexible electrode 24 may include a first flexible electrode 24,

도 6에 도시한 바와 같이, 유연전극들(21, 22, 23, 24)은 외부유전체(10)의 편심에 위치할 수 있다. 유연전극들(21, 22, 23, 24)은 각각 내부유전체(20)의 내부에 위치할 수 있다.As shown in FIG. 6, the flexible electrodes 21, 22, 23, and 24 may be located at the eccentricity of the outer dielectric 10. The flexible electrodes 21, 22, 23, 24 may be located inside the inner dielectric 20, respectively.

제1 유연전극(21)은 외부유전체(10)의 일측부와 가까운 편심에 위치할 수 있다. 제2 유연전극(22)은 외부유전체(10)의 타측부와 가까운 편심에 위치할 수 있다. 제1 유연전극(21)과 제2 유연전극(22)은 상호 대향하며 위치할 수 있다. 제1 유연전극(21)과 제2 유연전극(22)은 서로 같은 극 또는 다른 극을 가질 수 있다.The first flexible electrode 21 may be positioned eccentrically to one side of the outer dielectric 10. The second flexible electrode 22 may be positioned eccentrically close to the other side of the outer dielectric 10. The first flexible electrode 21 and the second flexible electrode 22 may be positioned opposite to each other. The first flexible electrodes 21 and the second flexible electrodes 22 may have the same polarity or different polarities.

제3 유연전극(23)은 제1 유연전극(21)과 직교하며 위치할 수 있다. 제4 유연전극(24)은 제2 전극과 직교하며 위치할 수 있다. 제3 유연전극(23)과 제4 유연전극(24)은 대향하며 위치할 수 있다. 제3 유연전극(23)과 제4 유연전극(24)은 서로 같은 극 또는 다른 극을 가질 수 있다.The third flexible electrode 23 may be positioned orthogonal to the first flexible electrode 21. The fourth flexible electrode 24 may be positioned orthogonal to the second electrode. The third flexible electrode 23 and the fourth flexible electrode 24 can be opposed to each other. The third flexible electrodes 23 and the fourth flexible electrodes 24 may have the same polarity or different polarities.

외부유전체(10)에 공급된 가스는 유연전극들(21, 22, 23, 24) 사이에서 방전되어 플라즈마(P)를 형성할 수 있다. 유연전극들(21, 22, 23, 24)에서 형성된 플라즈마(P)는 각각 관통홀(11a, 11b, 11c, 11d)을 통해 배출되어 피처리수(W)를 직접 정화시킬 수 있으므로, 플라즈마(P)와 피처리수(W)가 접촉하는 면적이 커져 피처리수(W)의 정화 효율을 높일 수 있다.The gas supplied to the external dielectric 10 may be discharged between the flexible electrodes 21, 22, 23, 24 to form the plasma P. The plasma P formed by the flexible electrodes 21, 22, 23 and 24 can be discharged through the through holes 11a, 11b, 11c and 11d respectively and can directly purify the WTBT, P and the to-be-treated water W are brought into contact with each other, the purification efficiency of the for-treatment water W can be increased.

도 7은 본 발명의 실시예에 따른 수처리 플라즈마 발생 장치(1)의 yz단면도를 나타낸다. 도 7에 도시한 바와 같이, 수처리 플라즈마 발생 장치(1)는 외부유전체(10), 가스공급부(12), 내부유전체(14), 제1 유연전극(21) 그리고 제2 유연전극(22)을 포함할 수 있다.Fig. 7 is a sectional view of the water treatment plasma generating apparatus 1 according to the embodiment of the present invention in the yz cross section. 7, the water treatment plasma generating apparatus 1 includes an outer dielectric 10, a gas supply unit 12, an inner dielectric 14, a first flexible electrode 21, and a second flexible electrode 22, .

외부유전체(10)는 원통형 형상을 가질 수 있다. 외부유전체(10)는 유연성을 가질 수 있다. 외부유전체(10)는 전도성 물질로 제조될 수 있다. 외부유전체(10)는 폴리에스테르, 폴리에테르와 이소시아네이트와의 반응에 의해 제조된 탄성체로 제조될 수 있다.The outer dielectric 10 may have a cylindrical shape. The outer dielectric 10 may have flexibility. The outer dielectric 10 may be made of a conductive material. The outer dielectric 10 can be made of an elastomer produced by the reaction of polyester, polyether and isocyanate.

외부유전체(10)는 가스공급부(12)를 포함할 수 있다. 가스공급부(12)는 외부유전체(10)의 일측과 연결될 수 있다. 가스공급부(12)는 외부유전체(10)의 내부로 소스 가스를 주입할 수 있다. 소스 가스는 이산화탄소, 질소, 산소, 공기, 불활성가스, 또는 이들을 하나 이상 혼합한 가스일 수 있다. 또한 가스공급부(12)는 액체 상태의 과산화수소수를 분사할 수 있다. 비상발전기(40)는 가스공급부(12)와 연결되어 가스 공급이 중단될 경우, 가스공급부(12)에 전원을 공급할 수 있다. 갑작스럽게 메인 전원이 오프 되면 비상발전기(40)가 가동되어 소스 가스를 외부유전체(10)에 계속해서 공급할 수 있으므로 관통홀(15)로 피처리수(W)가 역류하는 것을 미연에 방지할 수 있다.The outer dielectric 10 may comprise a gas supply 12. The gas supply part 12 may be connected to one side of the outer dielectric 10. The gas supply part 12 can inject the source gas into the inside of the outer dielectric 10. The source gas may be carbon dioxide, nitrogen, oxygen, air, an inert gas, or a gas mixture of one or more thereof. Further, the gas supply unit 12 can inject the hydrogen peroxide solution in a liquid state. The emergency generator (40) is connected to the gas supply part (12) and can supply power to the gas supply part (12) when the gas supply is interrupted. The emergency generator 40 is operated to continuously supply the source gas to the external dielectric 10 when the main power is suddenly turned off so that the water W can be prevented from flowing back to the through hole 15 have.

내부유전체(14)는 외부유전체(10)의 내부에 위치할 수 있다. 내부유전체(14)는 원통형 형상을 가질 수 있다. 내부유전체(14)는 유연성을 가질 수 있다. 내부유전체(14)는 폴리에스테르, 폴리에테르와 이소시아네이트와의 반응에 의해 제조된 탄성체로 제조될 수 있다.The inner dielectric 14 may be located inside the outer dielectric 10. The inner dielectric 14 may have a cylindrical shape. The inner dielectric 14 may have flexibility. The inner dielectric 14 can be made of an elastomer made by the reaction of polyester, polyether and isocyanate.

내부유전체(14)에는 피처리수(W)가 유입될 수 있다. 피처리수(W)는 내부유전체(14)에 수용될 수 있다. 내부유전체(14)에 유입된 피처리수(W)는 일정한 유량을 가지며 내부유전체(14)의 단부로 빠져나갈 수 있다.The to-be-treated water W may be introduced into the internal dielectric 14. The water to be treated W can be accommodated in the internal dielectric 14. [ The water W to be introduced into the internal dielectric 14 has a constant flow rate and can escape to the end of the internal dielectric 14.

관통홀(15)은 내부유전체(14)의 외면을 관통한 홀 형상을 가질 수 있다. 관통홀(15)은 내부유전체(14)의 외면 일측에 형성될 수 있다. 관통홀(11)은 내부유전체(14)의 외면을 둘러싸며 형성될 수 있다. 내부유전체(14)는 외부유전체(10)와 동축에 배치될 수 있다. 내부유전체(14)는 외부유전체(10)에서 편심으로 배치될 수 있다.The through hole (15) may have a hole shape penetrating the outer surface of the inner dielectric (14). The through hole (15) may be formed on one side of the outer surface of the inner dielectric (14). The through-hole 11 may be formed to surround the outer surface of the inner dielectric 14. The inner dielectric 14 may be disposed coaxially with the outer dielectric 10. The inner dielectric 14 may be disposed eccentrically in the outer dielectric 10.

제1 유연전극(21)은 외부유전체(10)의 내부에 위치할 수 있다. 제1 유연전극(21)은 유연성을 가질 수 있다. 제2 유연전극(22)은 외부유전체(10)의 내부에서 제1 유연전극(21)과 대향하며 위치할 수 있다. 제1 유연전극(21)은 제2 유연전극(22)외에도 복수개의 또 다른 유연전극들을 포함할 수 있다.The first flexible electrode 21 may be located inside the outer dielectric 10. The first flexible electrode 21 may have flexibility. The second flexible electrode 22 may be located opposite to the first flexible electrode 21 inside the outer dielectric 10. The first flexible electrode 21 may include a plurality of further flexible electrodes in addition to the second flexible electrode 22.

제1 유연전극(21)은 외부유전체(10)에서 편심으로 배치될 수 있다. 제1 유연전극(21)은 내부유전체(14)를 통과하는 피처리수(W)와 접지하여 회로를 구성할 수 있다. 이 경우, 피처리수(W)는 전극의 역할을 수행할 수 있다.The first flexible electrode 21 may be disposed eccentrically in the outer dielectric 10. The first flexible electrode 21 can be grounded with the W water passing through the inner dielectric 14 to constitute a circuit. In this case, the for-treatment water W can serve as an electrode.

제2 유연전극(22)은 외부유전체(10)에서 편심으로 배치될 수 있다. 제2 유연전극(22)은 제1 유연전극(21)과 대향하며 위치할 수 있다. 제2 유연전극(22)은 피처리수(W)와 접지하여 회로를 구성할 수 있다. 전원이 제1 유연전극(21)과 제2 유연전극(22)에 인가되면 각각 피처리수(W)와 접지하고 외부유전체(10)에 공급된 가스를 통해 플라즈마(P)를 발생시킬 수 있다. 플라즈마(P)는 외부유전체(10)에서 피처리수(W)를 향한 방향으로 화살표를 따라 발생되어 관통홀(15)을 통과하고 피처리수(W)를 정화할 수 있다.The second flexible electrode 22 may be disposed eccentrically in the outer dielectric 10. The second flexible electrode 22 may be located opposite to the first flexible electrode 21. The second flexible electrode 22 can be grounded with the WTB W to constitute a circuit. When a power source is applied to the first flexible electrode 21 and the second flexible electrode 22, the plasma P can be generated through the gas supplied to the outer dielectric 10 by grounding the WTB . The plasma P is generated along the direction of the arrow from the external dielectric 10 toward the WTBT W and passes through the through hole 15 to purify the WTBT WT.

외부유전체(10)에서 내부유전체(14)를 향한 방향으로 플라즈마(P)가 발생될 경우, 사용자는 오염농도가 높은 피처리수(W)를 집중적으로 정화 처리를 수행할 수 있다.When the plasma P is generated in the direction from the outer dielectric 10 toward the inner dielectric 14, the user can concentrate the to-be-treated water W having a high contamination concentration intensively.

도 8은 본 발명의 실시예에 따른 수처리 플라즈마 발생 장치(1)의 xz단면도를 나타낸다. 도 8에 도시한 바와 같이, 수처리 플라즈마 발생 장치(1)는 외부유전체(10), 내부유전체(14), 관통홀(15) 그리고 제1 유연전극(21)을 포함할 수 있다.8 is a cross-sectional view taken along the line xz of the water treatment plasma generator 1 according to the embodiment of the present invention. 8, the water treatment plasma generating apparatus 1 may include an outer dielectric 10, an inner dielectric 14, a through hole 15, and a first flexible electrode 21.

도 8에 도시한 바와 같이, 외부유전체(10)와 내부유전체(14)는 원통형 형상을 가질 수 있다. 외부유전체(10)에는 소스 가스가 공급될 수 있다. 내부유전체(14)는 외부유전체(10)의 내부에 위치할 수 있다. 내부유전체(14)에는 피처리수(W)가 유입될 수 있다.As shown in Fig. 8, the outer dielectric 10 and the inner dielectric 14 may have a cylindrical shape. A source gas may be supplied to the outer dielectric 10. The inner dielectric 14 may be located inside the outer dielectric 10. The to-be-treated water W may be introduced into the internal dielectric 14.

제1 유연전극(21)은 내부유전체(14)를 감싸며 원통형 형상을 가질 수 있다. 전원이 제1 유연전극(21)에 인가되면 피처리수(W)와 접지하고 외부유전체(10)에 공급된 가스를 통해 플라즈마(P)를 발생시킬 수 있다. 플라즈마(P)는 외부유전체(10)에서 내부유전체(14)를 향한 방향으로 화살표를 따라 발생되어 관통홀(15)을 통과하고 피처리수(W)를 정화할 수 있다. 제1 유연전극(21)이 내부유전체(14)를 외면을 덮으며 위치할 수 있으므로, 플라즈마(P)의 발생량이 커질 수 있으며 피처리수(W)와 플라즈마(P)의 접촉면적이 증가할 수 있으므로 수처리 효율을 높일 수 있다.The first flexible electrode 21 surrounds the inner dielectric 14 and can have a cylindrical shape. When the power source is applied to the first flexible electrode 21, the plasma P can be generated through the gas supplied to the outer dielectric 10 by grounding the W water to be treated. The plasma P is generated along the arrow from the outer dielectric 10 toward the inner dielectric 14 and passes through the through hole 15 to purify the WTBT. Since the first flexible electrode 21 can be positioned to cover the outer surface of the inner dielectric 14, the amount of plasma P generated can be increased and the contact area between the WTB and the plasma P increases Water treatment efficiency can be increased.

이하에서는 실험예를 사용하여 본 발명을 좀더 상세하게 설명한다. 이러한 실험예는 단지 본 발명을 예시하기 위한 것이며, 본 발명이 여기에 한정되는 것은 아니다.Hereinafter, the present invention will be described in more detail using experimental examples. These experimental examples are only for illustrating the present invention, and the present invention is not limited thereto.

항복 전압 실험예 1Breakdown voltage test example 1

도 9는 피처리수를 수용하는 수조에 수처리 플라즈마 발생 장치를 설치한 사진이다. 먼저 도 1과 동일한 구조의 수처리 플라즈마 발생 장치를 제조한다. 수처리 플라즈마 발생 장치에 소스 가스를 유입하고, 유연 전극에 전원을 연결하면 플라즈마가 수조 내에서 발생한다.Fig. 9 is a photograph of a water treatment plasma generating apparatus provided in a water tank for containing water to be treated. Fig. First, a water treatment plasma generator having the same structure as in Fig. 1 is manufactured. When a source gas is introduced into the water treatment plasma generator and power is connected to the flexible electrode, plasma is generated in the water tank.

항복 전압 실험 1 결과Breakdown voltage experiment 1 results

도 10은 본 발명의 항복 전압 실험에 따른 결과의 그래프를 나타낸다. 도 10의 (a)는 도 9의 편심 유연 전극을 가지는 수처리 플라즈마 발생 장치의 항복 전압을 실험한 그래프이고, 도 10의 (b)는 동축 유연 전극을 가지는 플라즈마 발생 장치의 항복 전압을 실험한 그래프이다.10 shows a graph of the results according to the breakdown voltage test of the present invention. FIG. 10A is a graph showing the breakdown voltage of the water treatment plasma generator having the eccentric flexible electrode shown in FIG. 9, and FIG. 10B is a graph showing the breakdown voltage of the plasma generator having the coaxial flexible electrode to be.

도 10의 (a)에 도시한 바와 같이, 편심 유연 전극을 가지는 수처리 플라즈마 발생 장치의 항복 전압은 8.5kV임을 확인 할 수 있다. 도 10의 (b)에 도시한 바와 같이, 동축 유연 전극을 가지는 플라즈마 발생 장치의 항복 전압은 11kV임을 확인할 수 있다. 편심 유연 전극을 가지는 수처리 플라즈마 발생 장치의 항복 전압이 동축 유연 전극을 가지는 플라즈마 발생 장치의 항복 전압보다 작다는 것을 알 수 있다. 따라서 편심 유연 전극을 가지는 수처리 플라즈마 발생 장치의 수처리 장치의 효율성이 동축 유연 전극을 가지는 수처리 플라즈마 발생 장치보다 더 높다는 것을 확인할 수 있다.As shown in Fig. 10 (a), it can be confirmed that the breakdown voltage of the water treatment plasma generator having the eccentric flexible electrode is 8.5 kV. As shown in Fig. 10 (b), it can be seen that the breakdown voltage of the plasma generator having coaxial flexible electrodes is 11 kV. It can be seen that the breakdown voltage of the water treatment plasma generator having the eccentric flexible electrode is smaller than the breakdown voltage of the plasma generator having the coaxial flexible electrode. Therefore, it can be confirmed that the efficiency of the water treatment apparatus of the water treatment plasma generator having the eccentric flexible electrode is higher than that of the water treatment plasma generator having the coaxial flexible electrode.

이상에서 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 상세하게 설명하였지만 본 발명의 권리범위는 이에 한정되는 것은 아니고 다음의 청구범위에서 정의하고 있는 본 발명의 기본 개념을 이용한 당업자의 여러 변형 및 개량 형태 또한 본 발명의 권리범위에 속하는 것이다.While the present invention has been particularly shown and described with reference to exemplary embodiments thereof, it is to be understood that the invention is not limited to the disclosed exemplary embodiments, Of the right.

10. 외부유전체
11. 관통홀
12. 가스공급부
13. 단부
14. 내부유전체
15. 관통홀
20. 내부유전체
21. 제1 유연전극
22. 제2 유연전극
23. 제3 유연전극
24. 제4 유연전극
25. 단부
30. 전원공급부
40. 비상발전기
50. 외부전원
W. 피처리수10. External dielectric
11. Through hole
12. Gas supply
13. End
14. Internal dielectric
15. Through hole
20. Internal dielectric
21. First flexible electrode
22. Second flexible electrode
23. Third flexible electrode
24. Fourth flexible electrode
25. End
30. Power supply
40. Emergency generator
50. External Power
W. treated water

Claims (16)

외면에 관통홀이 형성되고 소스 가스가 주입되고 피처리수에 위치하는 외부유전체,
상기 외부유전체의 내부에 위치하는 내부유전체,
상기 내부유전체의 내부에 위치하고 유연성을 가지는 제1 유연전극, 그리고
상기 제1 유연전극에 전원을 인가하는 전원공급부
를 포함하고
상기 관통홀을 통과한 상기 소스 가스에 의해 상기 외부유전체에서 상기 피처리수를 향한 방향으로 플라즈마가 발생되고, 상기 플라즈마는 상기 피처리수를 정화하고
상기 피처리수는 접지 전극이고 상기 제1 유연전극은 상기 피처리수와 회로를 구성하고, 상기 전원공급부가 상기 제1 유연전극에 전원을 인가하면 상기 제1 유연전극은 상기 피처리수와 접지되어 상기 외부유전체에 공급된 소스 가스에 의해 발생된 상기 플라즈마는 상기 관통홀을 통과하여 상기 피처리수를 정화하고
상기 내부유전체는 일측 단부가 막힌 형상을 가지고, 상기 외부유전체는 상기 내부유전체를 감싸며 일측 단부가 막힌 형상을 가지고 상기 내부유전체와 상기 외부유전체가 막힌 측면을 고정한 상태에서 상기 제1 유연전극을 삽입하는 수처리 플라즈마 발생 장치.An outer dielectric having a through-hole formed on the outer surface thereof, a source gas injected thereinto and located in the water to be treated,
An inner dielectric disposed inside the outer dielectric,
A first flexible electrode located inside the inner dielectric and having flexibility, and
A power supply unit for applying power to the first flexible electrode,
Including the
A plasma is generated in the direction from the external dielectric body toward the for-treatment water by the source gas that has passed through the through-hole, and the plasma purifies the for-treatment water
The first flexible electrode is connected to the ground water and the first flexible electrode is connected to the ground water, The plasma generated by the source gas supplied to the external dielectric passes through the through holes to purify the for-treatment water
Wherein the inner dielectric has a closed shape and the outer dielectric surrounds the inner dielectric and inserts the first flexible electrode in a state in which one end of the inner dielectric has a clogged shape and the side surface of the inner dielectric and the outer dielectric is fixed Water treatment plasma generator. 제1항에서,
상기 제1 유연전극은 상기 외부유전체 내부에서 상기 외부유전체와 동축에 배치되거나 편심으로 배치되는 수처리 플라즈마 발생 장치.The method of claim 1,
Wherein the first flexible electrode is disposed coaxially or eccentrically with the outer dielectric within the outer dielectric. 제2항에서,
상기 내부유전체 내부에 위치하고 상기 제1 유연전극과 대향하며 위치하는 제2 유연전극을 더 포함하는 수처리 플라즈마 발생 장치.3. The method of claim 2,
And a second flexible electrode located inside the inner dielectric and facing the first flexible electrode. 제3항에서,
상기 내부유전체 내부에 위치하고 상기 제1 유연전극과 교차하며 위치하는 제3 유연전극, 상기 내부 유전체 내부에 위치하고 상기 제3 유연전극과 대향하며 위치하는 제4 유연전극을 더 포함하는 수처리 플라즈마 발생 장치.4. The method of claim 3,
A third flexible electrode located within the inner dielectric and positioned to intersect the first flexible electrode; and a fourth flexible electrode positioned within the inner dielectric and facing the third flexible electrode. 삭제delete 제1항에서,
상기 전원공급부의 전원이 오프 될 경우, 상기 제1 유연전극에 전원을 인가하는 비상발전기를 더 포함하는 수처리 플라즈마 발생 장치.The method of claim 1,
And an emergency generator for applying power to the first flexible electrode when the power supply of the power supply unit is turned off. 삭제delete 제6항에서,
상기 제1 유연전극은 상기 외부유전체 내부에서 상기 외부유전체와 동축에 배치되거나 편심으로 배치되는 수처리 플라즈마 발생 장치.The method of claim 6,
Wherein the first flexible electrode is disposed coaxially or eccentrically with the outer dielectric within the outer dielectric. 제8항에서,
상기 외부유전체 내부에 위치하고 상기 제1 유연전극과 대향하며 위치하는 제2 유연전극을 더 포함하는 수처리 플라즈마 발생 장치.9. The method of claim 8,
And a second flexible electrode located inside the outer dielectric and facing the first flexible electrode. 제9항에서,
상기 외부유전체 내부에 위치하고 상기 제1 유연전극과 교차하며 위치하는 제3 유연전극, 상기 내부 유전체 내부에 위치하고 상기 제3 유연전극과 대향하며 위치하는 제4 유연전극을 더 포함하는 수처리 플라즈마 발생 장치.The method of claim 9,
A third flexible electrode located within the outer dielectric and positioned to intersect the first flexible electrode; and a fourth flexible electrode located within the inner dielectric and facing the third flexible electrode. 제10항에서,
상기 전원공급부의 전원이 오프 될 경우, 상기 제1 유연전극에 전원을 인가하는 비상발전기를 더 포함하는 수처리 플라즈마 발생 장치.11. The method of claim 10,
And an emergency generator for applying power to the first flexible electrode when the power supply of the power supply unit is turned off. 소스 가스가 주입되는 외부유전체,
외면에 관통홀이 형성되고 상기 외부유전체의 내부에 위치하고 피처리수가 유입되는 내부유전체,
상기 외부유전체의 내부에 위치하고 유연성을 가지는 제1 유연전극, 그리고
상기 제1 유연전극에 전원을 인가하는 전원공급부
를 포함하고
상기 제1 유연전극은 상기 피처리수와 접지되어 상기 소스 가스에 의해 상기 외부유전체에서 상기 내부유전체를 향한 방향으로 플라즈마가 발생되고, 상기 플라즈마는 피처리수를 정화하고
상기 피처리수는 접지 전극이고 상기 제1 유연전극은 상기 피처리수와 회로를 구성하고, 상기 제1 유연전극에 전원을 인가하면 상기 제1 유연전극은 상기 피처리수와 접지되어 상기 외부유전체에 공급된 소스 가스에 의해 발생된 상기 플라즈마는 상기 관통홀을 통과하여 상기 내부유전체의 상기 피처리수를 정화하고
상기 피처리수는 상기 내부유전체에 유입되어 수용되고, 상기 내부유전체에 유입된 상기 피처리수는 일정한 유량을 가지며 상기 내부유전체의 타측 단부로 정화되어 배출되는 수처리 플라즈마 발생 장치.An external dielectric to which a source gas is injected,
An inner dielectric formed on the outer surface of the outer dielectric body and having a through hole,
A first flexible electrode located inside the outer dielectric body and having flexibility, and
A power supply unit for applying power to the first flexible electrode,
Including the
The first flexible electrode is grounded with the for-treatment water so that a plasma is generated in the direction from the outer dielectric to the inner dielectric by the source gas, and the plasma purifies the water to be treated
The first flexible electrode is grounded with the for-treatment water so that the first flexible electrode and the first flexible electrode are electrically connected to each other, The plasma generated by the source gas supplied to the inner electrode passes through the through hole to purify the untreated water of the inner dielectric
Wherein the for-treatment water flows into and is received in the inner dielectric, and the to-be-treated water flowing into the inner dielectric has a constant flow rate and is purified and discharged to the other end of the inner dielectric. 제12항에서,
상기 내부유전체는 상기 외부유전체의 내부에서 상기 외부유전체와 동축에 배치되거나 편심으로 배치되는 수처리 플라즈마 발생 장치.The method of claim 12,
Wherein the inner dielectric is disposed coaxially or eccentrically with the outer dielectric within the outer dielectric. 제13항에서,
상기 외부유전체 내부에 위치하고 상기 제1 유연전극과 대향하며 위치하는 제2 유연전극을 더 포함하는 수처리 플라즈마 발생 장치.The method of claim 13,
And a second flexible electrode located inside the outer dielectric and facing the first flexible electrode. 제12항에서,
상기 제1 유연전극은 상기 내부유전체를 감싸며 원통형 형상을 가지는 수처리 플라즈마 발생 장치.The method of claim 12,
Wherein the first flexible electrode surrounds the inner dielectric and has a cylindrical shape. 제12항에서,
상기 전원공급부의 전원이 오프 될 경우, 상기 제1 유연전극에 전원을 인가하는 비상발전기를 더 포함하는 수처리 플라즈마 발생 장치.The method of claim 12,
And an emergency generator for applying power to the first flexible electrode when the power supply of the power supply unit is turned off.
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