KR101902260B1 - Roll-To-Roll ALD System using Air Conditioner - Google Patents

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Abstract

본 발명의 일 측면에 따른 공조장치를 활용한 롤투롤 원자층 증착 시스템은 유동성을 확보하는 소재를 다수의 롤로 형성된 이송장치에 의하여 공급시키는 공급부와, 상기 공급부에서 공급되는 상기 소재를 이송시키는 이송롤과, 상기 이송부에 의하여 이송되는 상기 소재의 상부 및 하부 중 적어도 하나 이상에 원료가 증착되도록 상기 소재가 관통되는 증착부와, 상기 증착부의 내부에서 이송되는 상기 소재에 불순물이 부착되는 것을 방지하기 위하여 상기 증착부 내부로 공기가 순환되도록 유도하는 공조부와, 상기 증착부에서 원료가 증착된 상기 소재를 권취시키는 마감부와, 상기 소재의 공정 속도 및 상기 소재의 위치를 제어하기 위한 제어부를 포함할 수 있다.A roll-to-roll atomic layer deposition system utilizing an air conditioning apparatus according to one aspect of the present invention includes a supply unit for supplying a material for securing fluidity by a transfer device formed of a plurality of rolls, a transfer roll for transferring the material supplied from the supply unit, An evaporation unit through which the raw material is passed so that the raw material is deposited on at least one of upper and lower parts of the raw material conveyed by the conveyance unit; And a controller for controlling the process speed of the workpiece and the position of the workpiece, and a control unit for controlling the process speed of the workpiece and the position of the workpiece .

Description

공조장치를 활용한 롤투롤 원자층 증착 시스템{Roll-To-Roll ALD System using Air Conditioner}[0001] The present invention relates to a roll-to-roll ALD system using an air conditioner,

본 발명은 공조장치를 활용한 롤투롤 원자층 증착 시스템에 관한 것으로, 보다 상세하게는 케이스 내부에서 이중 구조로 형성된 롤을 활용하여 이송시키며 다양한 원자층 원료를 소재의 상부에 증착시킬 수 있는 공조장치를 활용한 롤투롤 원자층 증착 시스템에 관한 것이다.The present invention relates to a roll-to-roll atomic layer deposition system utilizing an air-conditioning apparatus, and more particularly, to an air-conditioning apparatus capable of transferring a plurality of atomic layer materials To a roll-to-roll atomic layer deposition system.

반도체 기술의 출현 이후, 반도체는 더욱더 작은 크기, 더욱더 빠른 속도, 낮은 전력 소모량, 소자 당 낮은 가격을 목표로 개발되어져 왔으며, 최근에는 여러 가지 기능을 하나의 반도체 소자에서 수행을 할 수 있도록 개발되어지고 있다.Since the advent of semiconductor technology, semiconductors have been developed with the goal of increasingly smaller sizes, faster speeds, lower power consumption, lower cost per device, and more recently, many functions have been developed to perform on a single semiconductor device have.

그 결과, 반도체 소자에 사용되는 박막은 원자 단위로 제어되면서, 단차 피복성이 우수한 특성을 가져야 하며, 또한 계면에서 확산과 산화가 일어나지 않게 하기 위해서 증착 온도가 낮아야 한다. 기존의 기술로서는 이러한 요구 조건을 충족시킬 수 없게 되어져 한계에 도달하게 되었다. 그러나 원자층 단위로 박막을 증착하는 기술이 개발되어져, 기존의 반도체 기술의 한계를 극복할 수 있게 되었다. 이러한 새로운 기술을 “원자층 증착(ALD: Atomic Layer Deposition)”라 불리게 된다.As a result, the thin film used for a semiconductor device should be controlled at an atomic unit, and should have excellent step coverage, and the deposition temperature should be low to prevent diffusion and oxidation at the interface. With the existing technology, this requirement can not be satisfied and the limit is reached. However, the technology of depositing thin films on the atomic layer basis has been developed, and it is possible to overcome the limitation of the conventional semiconductor technology. This new technology is called "Atomic Layer Deposition" (ALD).

원자층 증착 기술은 1980년에 Tuomo Suntola에 의해서 “Atomic Layer Epitaxy(ALE)”이라는 기술로 개발되어졌다. ALE는 매우 정밀하게 조성을 제어하면서, 매우 얇은 막(100 Å)을 증착시킬 수 있다는 장점을 가지고 있었다. 그러나 그 당시에 반도체 산업에서 사용하는 가장 얇은 막은 1000 Å 두께로서, ALE 기술은 반도체 시장을 위한 기술로서 보여지지 않았다.Atomic layer deposition technology was developed by Tuomo Suntola in 1980 with the technology "Atomic Layer Epitaxy (ALE)". ALE had the advantage of depositing a very thin film (100 A) while controlling the composition very precisely. At that time, however, the thinnest film used in the semiconductor industry was 1000 Å thick, and ALE technology was not seen as a technology for the semiconductor market.

그러나 30년이 지난 현재의 상황은 변했다. 반도체의 칩사이즈의 감소는 수 나노시대를 열게 되었으며, 반도체에서 사용하는 가장 얇은 막은 원자 단위로 필요하게 되었다. 예를 들어, 게이트 유전막의 경우, 약 10 Å(약 4개의 원자층과 동일한 두께)의 두께가 필요하게 되었다. 그 결과, Suntola의 발명은 반도체의 디자인 룰이 감소함에 따라서 반도체에 적용되기 시작하였으며, 현재 “Atomic Layer Epitaxy(ALE)” 기술은 “원자층 증착(ALD: Atomic Layer Deposition)”라는 기술로 이름이 변경되어져, 상용화되기 시작하였다.But 30 years later, the present situation has changed. The decline in the chip size of semiconductors has opened the era of nanotechnology, and the thinnest film used in semiconductors has become necessary on an atomic scale. For example, in the case of a gate dielectric layer, a thickness of about 10 A (equivalent to about 4 atomic layers) is required. As a result, Suntola's invention began to be applied to semiconductors as the design rule of semiconductors decreased, and now the "Atomic Layer Epitaxy (ALE)" technology is named "Atomic Layer Deposition" And it began to be commercialized.

그러나, 원자층 증착 기술은 기존의 증착법에 비하여 많은 장점을 지니고 있으나, 원료를 한 가지씩 주기적으로 공급하고 여분을 제거하는 과정을 계속 반복하여야 하기 때문에 증착속도가 느려 양산라인에 광범위하게 적용하기 힘든 문제점이 있다.However, although the atomic layer deposition technique has many advantages over the conventional vapor deposition method, since the process of supplying the raw material one by one periodically and removing the excess is repeated repeatedly, the deposition rate is slow, .

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로, 본 발명의 목적은 다수의 원료가 혼합되지 않고 소재의 상부에 적층할 수 있는 공조장치를 활용한 롤투롤 원자층 증착 시스템을 제공하는 것이다.SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to provide a roll-to-roll atomic layer deposition system utilizing an air-conditioning apparatus capable of stacking a plurality of raw materials without being mixed .

본 발명의 또 다른 목적은 소재의 이송과 원료의 흡입을 동시에 실행하는 이중 구조로 형성된 롤투롤에 의하여 소재에 원자층의 원료를 증착하는 공조장치를 활용한 롤투롤 원자층 증착 시스템을 제공하는 것이다.It is still another object of the present invention to provide a roll-to-roll atomic layer deposition system utilizing an air-conditioning apparatus for depositing a raw material of an atomic layer on a substrate by a roll-to-roll structure formed of a dual structure that simultaneously transports the material and sucks the raw material .

상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 일 측면에 따른 공조장치를 활용한 롤투롤 원자층 증착 시스템은 유동성을 확보하는 소재를 다수의 롤로 형성된 이송장치에 의하여 공급시키는 공급부와, 상기 공급부에서 공급되는 상기 소재를 이송시키는 이송롤과, 상기 이송롤에 의하여 이송되는 상기 소재의 상부 및 하부 중 적어도 하나 이상에 원료가 증착되도록 상기 소재가 관통되는 증착부와, 상기 증착부의 내부에서 이송되는 상기 소재에 불순물이 부착되는 것을 방지하기 위하여 상기 증착부 내부로 공기가 순환되도록 유도하는 공조부와, 상기 증착부에서 원료가 증착된 상기 소재를 권취시키는 마감부와, 상기 소재의 공정 속도 및 상기 소재의 위치를 제어하기 위한 제어부를 포함할 수 있다.According to an aspect of the present invention, there is provided a roll-to-roll atomic layer deposition system using an air conditioning apparatus, including a supply unit for supplying a material for securing fluidity by a transfer device formed of a plurality of rolls, A transfer unit for transferring the material to be transferred to the transfer roll, and a deposition unit for passing the material through at least one of upper and lower parts of the material transferred by the transfer roll, An air conditioning unit for guiding air into the deposition unit so as to prevent impurities from adhering to the deposition unit, a finishing unit for winding the material on which the material is deposited by the deposition unit, And a control unit for controlling the position.

상기 공급부는 상기 소재가 권취된 권취롤의 일측면에서 회전함에 따라 상기 권취롤을 회전시키며 상기 소재를 공급하는 풀림롤과, 상기 풀림롤에서 공급되는 상기 소재의 공정 속도를 조절하여 상기 소재에 발생하는 장력을 제어하는 구동롤과, 상기 구동롤에서 이송되는 상기 소재의 높이를 조절하여 상기 소재의 상부 및 하부에 원료가 원활하게 증착되도록 조절하기 위한 제어롤을 구비할 수 있다.Wherein the supply unit includes a release roll for rotating the take-up roll and supplying the material as the substrate is rotated on one side of the take-up roll on which the material is wound, and a controller for controlling the process speed of the material supplied from the release roll And a control roll for controlling the height of the workpiece fed from the driving roll to control the deposition of the raw materials smoothly on the upper and lower portions of the workpiece.

상기 증착부는 상기 공급부에서 이송되는 상기 소재를 내부에 수용하여 원료를 증착하기 위한 케이스와, 상기 케이스의 내측에 구비되어 상기 소재를 관통시키며 원료를 증착시키는 몸체와, 상기 몸체 내부에 구비되어 상기 소재가 상기 몸체 내부로 유입되는 유입부와, 상기 유입부를 관통하여 이송되는 상기 소재의 상부 및 하부 중 적어도 하나 이상에 원료를 분사하는 분사장치에 의하여 다수의 원료를 증착시키는 다수의 적층부와, 다수의 상기 적층부 사이에 구비되어 원료를 흡입하는 흡입부와, 다수의 상기 적층부에 의하여 원료가 증착되는 상기 소재가 상기 몸체에서 배출되는 배출부를 구비할 수 있다.The deposition unit may include a case for containing the material transferred from the supply unit and for depositing the material, a body provided inside the case for passing the material through which the material is deposited, A plurality of stacking units for depositing a plurality of raw materials by an injector for injecting a raw material into at least one of an upper portion and a lower portion of the raw material to be transported through the inflow portion; And a discharge unit for discharging the material from which the raw material is deposited by the plurality of stacked units.

상기 분사장치는 상기 적층부에 구비되어 원료를 압력으로 분사하여 상기 소재에 원료를 증착시키는 분사부와, 상기 적층부에서 상기 분사부와 소정의 거리에 구비되어 상기 분사부를 통해 분사되어 상기 소재에 증착되지 않는 원료를 흡입하여 수거하는 수거부와, 상기 분사부 및 상기 수거부의 높이를 조절하여 상기 소재와의 거리를 조절하는 높이조절장치를 구비할 수 있다.The spraying device includes a spraying part provided in the stacking part and spraying the raw material with pressure to deposit a raw material on the material, and a spraying part provided at a predetermined distance from the spraying part in the stacking part and sprayed through the spraying part, And a height adjusting device for adjusting the height of the jetting part and the height of the receiving part to adjust the distance between the raw material and the raw material.

상기 증착부는 상기 몸체 내부에서 다수의 상기 적층부를 구획하기 위하여 상기 적층부 양측면에 각각 구비되는 측판과, 상기 몸체와 상기 측판의 하단 사이에 상기 소재가 관통되는 관통홀과, 상기 관통홀의 상단에 구비된 상기 측판의 일 단부에 구비되어 원료가 관통홀을 관통하는 것을 방지하기 위하여 공기를 흡입 및 배기하는 흡입장치를 더 구비할 수 있다.The deposition unit may include a side plate provided on both side surfaces of the lamination unit to partition a plurality of the lamination units in the body, a through hole through which the material passes between the body and a lower end of the side plate, And a suction device provided at one end of the side plate for sucking and exhausting air to prevent the raw material from passing through the through hole.

상기 증착부는 상기 소재의 상부에만 원료를 상기 분사장치에 의하여 분사할 때는 상기 소재를 이송시키며, 상기 원료를 흡입하기 위하여 상기 몸체 하단에 구비하는 흡입롤을 더 구비하고, 상기 흡입롤은 상기 증착부 내부에 적어도 하나 이상 구비되어 상기 소재를 이송시키기 위하여 회전하는 본체와, 상기 본체 내측에 구비되어 상기 소재의 하단 및 상기 증착부 내부의 불순물을 흡입하여 제거하는 제거장치와, 상기 본체 외측에 다수 구비되어 상기 제거장치에서 흡입하는 불순물이 상기 본체가 회전할 때 상기 본체를 관통하도록 구비되는 수거홀을 구비할 수 있다.Wherein the deposition unit further comprises a suction roll provided at a lower end of the body for transferring the material when the material is injected only to the upper portion of the material by the injector and for sucking the material, A removing device provided inside the main body for sucking and removing impurities at a lower end of the work and the inside of the deposition part; And a collection hole provided so as to penetrate the main body when the main body rotates, the impurities sucked by the removal device.

상기 공조부는 상기 몸체 내부의 불순물을 제거하기 위하여 상기 몸체 상부에 적어도 하나 이상 구비되어 상기 몸체 내부의 불순물을 제거하는 제 1공기순환장치와, 상기 적층부의 공기를 상기 제 1공기순환장치를 통해 상기 케이스로 순환시키기 위하여 상기 적층부의 측판에 구비되는 순환구와, 상기 몸체의 하부에 적어도 하나 이상 구비되어 상기 몸체 하부의 공기를 순환시키기 위한 제 2공기순환장치와, 상기 제 1공기순환장치와 상기 제 2공기순환장치에 의하여 상기 몸체에서 배출되는 공기 및 이물질을 상기 케이스에서 외부로 배출하기 위한 적어도 하나 이상의 제 3공기순환장치와, 상기 제 3공기순환장치를 통과하여 외부로 배출되는 공기 및 이물질을 정화하기 위한 에어필터를 구비할 수 있다.Wherein the air conditioning unit includes a first air circulation device provided at an upper portion of the body to remove impurities in the body to remove impurities from the interior of the body, A second air circulation device for circulating the air in the lower portion of the body, at least one of which is provided at a lower portion of the body, and a second air circulation device for circulating the air in the lower portion of the body, 2 at least one third air circulating device for discharging air and foreign matter discharged from the body by the air circulating device from the case to the outside, and air and foreign matter discharged through the third air circulating device to the outside, And an air filter for purification.

상기 공조부는 상기 몸체 내부의 공기가 순환되도록 다수의 상기 측판의 일면에 송풍기가 더 구비할 수 있다.The air conditioning unit may further include a blower on one side of the plurality of side plates so that the air inside the body is circulated.

상기 마감부는 상기 증착부에서 원료가 증착되어 이송되는 상기 소재의 높이 및 장력을 조절하는 마감제어롤과, 상기 마감제어롤에서 이송되는 상기 소재의 공정 속도를 조절하며 권취하는 마감권취롤을 구비할 수 있다.The finishing portion may include a finishing control roll for adjusting a height and a tension of the material to be fed and deposited in the deposition portion, and a finishing winding roll for regulating a process speed of the material conveyed in the finishing control roll .

본 발명에 따른 공조장치를 활용한 롤투롤 원자층 증착 시스템에 의하면, 흡입장치에 의하여 소재가 이송되면서 상부에 원료가 혼합되지 않고 증착되어 상온과 상압에서 원료를 증착시킬 수 있으며, 원료 및 소재를 절약할 수 있는 것이다.According to the roll-to-roll atomic layer deposition system using the air conditioner according to the present invention, the raw material can be deposited at room temperature and atmospheric pressure without being mixed with the raw material while the raw material is being transferred by the suction device. You can save money.

그리고, 공조부에 의하여 적층부 내부의 공기를 순환시켜 불순물을 제거할 수 있는 것이다.The air in the lamination part is circulated by the air conditioning part to remove the impurities.

도 1은 본 발명의 일 실시 예에 따른 공조장치를 활용한 롤투롤 원자층 증착 시스템을 나타낸 개념도.
도 2는 도 1에 도시된 공조장치를 활용한 롤투롤 원자층 증착 시스템을 나타낸 블록도.
도 3은 본 발명의 일 실시 예에 따른 공급부를 나타낸 개념도.
도 4는 본 발명의 일 실시 예에 따른 증착부를 나타낸 개념도.
도 5는 본 발명의 일 실시 예에 따른 흡입롤을 나타낸 사시도.
도 6은 본 발명의 일 실시 예에 따른 공조장치를 활용하여 증착부 내부의 공기 흐름을 나타낸 흐름도.
도 7은 본 발명의 일 실시 예에 따른 마감부를 나타낸 개념도.
도 8은 본 발명의 다른 실시 예에 따른 비접촉 이중 증착부를 나타낸 개념도.1 is a conceptual view showing a roll-to-roll atomic layer deposition system utilizing an air conditioning apparatus according to an embodiment of the present invention;
Fig. 2 is a block diagram showing a roll-to-roll atomic layer deposition system utilizing the air conditioning apparatus shown in Fig. 1. Fig.
3 is a conceptual diagram showing a supply unit according to an embodiment of the present invention;
4 is a conceptual view illustrating a deposition unit according to an embodiment of the present invention;
5 is a perspective view illustrating a suction roll according to an embodiment of the present invention;
FIG. 6 is a flowchart showing an air flow inside a deposition unit using an air conditioning apparatus according to an embodiment of the present invention. FIG.
7 is a conceptual view showing a finishing portion according to an embodiment of the present invention;
FIG. 8 is a conceptual view illustrating a contactless double evaporator according to another embodiment of the present invention. FIG.

이하에서는 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 일 실시 예에 따른 공조장치를 활용한 롤투롤 원자층 증착 시스템에 대해 상세히 설명한다.Hereinafter, a roll-to-roll atomic layer deposition system utilizing an air conditioning apparatus according to an embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 1은 본 발명의 일 실시 예에 따른 공조장치를 활용한 롤투롤 원자층 증착 시스템을 나타낸 개념도이고, 도 2는 도 1에 도시된 공조장치를 활용한 롤투롤 원자층 증착 시스템을 나타낸 블록도이다.FIG. 1 is a conceptual view showing a roll-to-roll atomic layer deposition system utilizing an air conditioning apparatus according to an embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a block diagram showing a roll-to-roll atomic layer deposition system utilizing the air- to be.

도 1 내지 도 2에 도시된 바와 같이 본 발명의 일 실시 예에 따른 공조장치를 활용한 롤투롤 원자층 증착 시스템은 유동성을 확보하는 소재(10)를 다수의 롤로 형성된 이송장치에 의하여 공급시키는 공급부(100)와, 상기 공급부(100)에서 공급되는 상기 소재(10)를 이송시키는 이송롤(20)과, 상기 이송롤(20)에 의하여 이송되는 상기 소재(10)에 원료가 증착되도록 상기 소재(10)가 관통되는 증착부(200)와, 상기 증착부(200)의 내부에서 이송되는 상기 소재(10)에 불순물이 부착되는 것을 방지하기 위하여 상기 증착부(200) 내부로 공기가 순환되도록 유도하는 공조부(500)와, 상기 증착부(200)에서 원료가 증착된 상기 소재(10)를 권취시키는 마감부(600)와, 상기 소재(10)의 공정 속도 및 상기 소재(10)의 위치를 제어하기 위한 제어부(700)를 구비할 수 있다.As shown in FIGS. 1 and 2, a roll-to-roll atomic layer deposition system using an air conditioning apparatus according to an embodiment of the present invention includes a feeder for feeding a material 10, which secures fluidity, A feed roll 20 for feeding the raw material 10 fed from the feeder 100 and a feed roller 20 for feeding the raw material to the raw material 10 fed by the feed roll 20, (200) for preventing the impurities from adhering to the material (10) conveyed inside the deposition unit (200) so that the air is circulated into the deposition unit (200) A finishing part 600 for winding the material 10 on which the material is deposited in the deposition part 200 and a finishing part 600 for winding the material 10 on the material 10, And a control unit 700 for controlling the position.

상기 공급부(100)는 소재(10)가 권취된 권취롤(30)을 다수의 이송롤(20)에 의하여 공급하여 소재(10)에 원료를 증착하여 인쇄할 수 있다.The supply unit 100 can supply the material 10 to the material 10 by depositing the material 10 by supplying the material 10 with the material to be wound by the plurality of transfer rolls 20.

또한, 상기 공급부(100)는 도 3에 도시된 바와 같이 상기 소재(10)가 권취된 권취롤(30)의 일측면에서 회전함에 따라 상기 권취롤(30)을 회전시키며 상기 소재(10)를 공급하는 풀림롤(110)과, 상기 풀림롤(110)에서 공급되는 상기 소재(10)의 공정 속도를 조절하여 상기 소재(10)에 발생하는 장력을 제어하는 구동롤(120)과, 상기 구동롤(120)에서 이송되는 상기 소재(10)의 높이를 조절하여 상기 소재(10)에 원료가 원활하게 증착되도록 조절하기 위한 제어롤(130)을 구비할 수 있다.3, the supply unit 100 rotates the take-up roll 30 as the workpiece 10 rotates on one side of the take-up roll 30 on which the workpiece 10 is wound, A driving roll 120 for controlling a tension generated in the workpiece 10 by controlling a process speed of the workpiece 10 supplied from the unloading roll 110, And a control roll 130 for controlling the height of the material 10 fed from the roll 120 to adjust the material to be deposited smoothly on the material 10.

이러한 상기 권취롤(30)은 상기 풀림롤(110)에 의하여 회전하며 풀릴 수 있으며 회로 등을 인쇄할 수 있는 롤투롤 장치에서 이송될 수 있도록 유동성이 확보되어 유연하며 얇은 재질로 형성될 수 있다. 그리고 상기 소재(10)는 소정의 길이로 형성되거나 길게 형성되어 상기 롤투롤 장치에서 끊기지 않고 이동하며 형성될 수 있다.The winding roll 30 may be formed of a flexible and thin material so that the winding roll 30 can be rotated and unrolled by the unwinding roll 110 and the flowability of the winding roll 30 can be transferred from a roll-to-roll apparatus capable of printing a circuit or the like. The material 10 may be formed to have a predetermined length or be long and may be formed to move without interruption in the roll-to-roll apparatus.

상기 구동롤(120)은 상기 풀림롤(110)에 의하여 권취된 권취롤(30)의 단부가 이송롤(20)에 의하여 이송되면 상기 소재(10)의 상부에 구비되어 상기 소재(10)가 이송되며 발생하는 장력을 제어하기 위하여 상기 소재(10)의 공정 속도를 조절할 수 있다.When the end of the winding roll 30 wound up by the unwinding roll 110 is conveyed by the conveying roll 20, the driving roll 120 is provided on the upper side of the material 10 so that the material 10 The process speed of the workpiece 10 can be adjusted to control the tension generated and transferred.

이 때, 상기 구동롤(120)은 이송롤(20)과의 회전 속도를 조절할 수 있는데, 상기 이송롤(20)과 상기 구동롤(120)의 회전속도는 제어부(700)에 의하여 조절되어 상기 소재(10)의 상부에 증착되는 원료가 소재(10)에 원활히 증착되도록 공정 속도를 조절할 수 있다.The rotation speed of the transport roll 20 and the drive roll 120 may be controlled by the controller 700 so that the rotation speed of the drive roll 120 is controlled by the controller 700, The process speed can be adjusted so that the material to be deposited on the material 10 is deposited on the material 10 smoothly.

그리고 상기 이송롤(20)은 상기 공급부(100)에서 상기 마감부(600)로 진행되는 소재(10)를 이송시키기 위하여 상기 소재(10)의 하부에 다수가 구비될 수 있으며, 이송롤(20)은 레일로도 형성될 수 있다.A plurality of feed rolls 20 may be provided at a lower portion of the workpiece 10 to feed the workpiece 10 from the feeder 100 to the finisher 600, May also be formed by rails.

상기 제어롤(130)은 상기 소재(10)가 구동롤(120)에서 공정 속도가 조절되며 이송되면 소재(10)의 높이를 조절하여 증착부(200)에서 상기 소재(10)의 상부에 원료가 원활히 증착되도록 유도할 수 있다.The control roll 130 controls the height of the workpiece 10 when the workpiece 10 is adjusted in the speed of the drive roll 120 and is fed to the upper portion of the workpiece 10 in the deposition unit 200, Can be smoothly deposited.

이러한 상기 제어롤(130)은 자기베어링(ACR:Active Control Roll)으로써 소재(10)와 원료가 분사되는 증착부(200)의 갭조절을 위하여 소재(10)의 높이를 능동적으로 제어하여 조절할 수 있다.The control roll 130 may be actively controlled to adjust the height of the material 10 in order to adjust the gap between the material 10 and the deposition unit 200 to which the material is injected by an ACR have.

상기 제어롤(130)은 다수가 구비될 수 있으며, 상기 소재(10)가 권취되거나 풀리기 전에 소재(10)의 높이를 조절할 수 있다.A plurality of control rolls 130 may be provided and the height of the workpiece 10 may be adjusted before the workpiece 10 is wound or unwound.

상기 제어롤(130)을 제어하기 위하여 제어부(700)에서는 소재(10)의 좌표를 측정하여 소재(10)의 위치를 판단하고 증착부(200)의 위치와 갭을 줄이기 위하여 소재(10)의 높이를 조절할 수 있다.In order to control the control roll 130, the control unit 700 measures the coordinates of the workpiece 10 to determine the position of the workpiece 10 and controls the position of the workpiece 10 to reduce the position and the gap of the deposition unit 200. [ The height can be adjusted.

이러한 제어롤(130)에 의하여 레스터 에러를 조절하여 소재(10)의 상부에 증착되는 원료가 정확한 위치에 인쇄될 수 있으며 오차범위를 줄일 수 있다.By controlling the raster error by the control roll 130, the material deposited on the material 10 can be printed at the correct position and the error range can be reduced.

도 4를 참조하면, 상기 적층부(240)는 상기 공급부(100)에서 이송되는 상기 공급부(100)에서 이송되는 상기 소재(10)를 내부에 수용하여 원료를 증착하기 위한 케이스(210)와, 상기 케이스(210)의 내측에 구비되어 상기 소재(10)를 관통시키며 원료를 증착시키는 몸체(220)와, 상기 몸체(220) 내부에 구비되어 상기 소재(10)가 상기 몸체(220) 내부로 유입되는 유입부(230)와, 상기 유입부(230)를 관통하여 이송되는 상기 소재(10)의 상부에 원료를 분사하는 분사장치(300)에 의하여 다수의 원료를 증착시키는 다수의 적층부(240)와, 다수의 상기 적층부(240) 사이에 구비되어 원료를 흡입하는 흡입부(250)와, 다수의 상기 적층부(240)에 의하여 원료가 증착되는 상기 소재(10)가 상기 몸체(220)에서 배출되는 배출부(260)와, 상기 몸체(220) 하단에 구비되어 상기 원료를 흡입하며 이송시키는 적어도 하나 이상의 흡입롤(270)을 구비할 수 있다.4, the laminating unit 240 includes a case 210 for accommodating the raw material 10 transferred from the supplying unit 100 and supplying the raw material to the laminating unit 240, A body 220 provided inside the case 210 to penetrate the material 10 and to deposit a raw material thereon; and a body 220 provided inside the body 220 to allow the material 10 to pass through the body 220 A plurality of stacked portions (not shown) for depositing a plurality of raw materials by an injection device 300 for injecting a raw material to an upper portion of the raw material 10 to be fed through the inflow portion 230, A suction unit 250 installed between a plurality of the stacking units 240 to suck the raw material and a plurality of stacking units 240 for stacking the material 10 on which the raw materials are deposited by the plurality of stacking units 240, A discharge unit 260 disposed at a lower end of the body 220 to discharge the raw material, It may be provided with at least one suction roll (270).

또한, 상기 몸체(220)의 하단은 상기 흡입롤(270)이 다수 구비되도록 이송부(280)가 구비될 수 있다.In addition, the lower end of the body 220 may include a transfer unit 280 so as to include a plurality of the suction rolls 270.

상기 케이스(210)는 장변과 단변을 구비하는 직사각형 형상으로 형성되며 상기 공급부(100)에서 유입되는 상기 소재(10)의 상부에 원자층 원료를 증착시키기 위하여 상기 소재(10)를 관통시킬 수 있다.The case 210 is formed in a rectangular shape having a long side and a short side and can penetrate the material 10 to deposit an atomic layer material on the material 10 flowing in the supply part 100 .

상기 케이스(210) 내부에는 상기 몸체(220)가 구비되어 상기 케이스(210) 내부를 관통하는 상기 소재(10)의 상부에 원료를 증착시키는 분사장치(300) 및 흡입장치(400)가 구비될 수 있다. 이 때, 상기 케이스(210)는 상기 몸체(220)와 상기 케이스(210) 사이의 불순물을 흡입하는 별도의 흡기장치(251)가 구비될 수 있다.A spraying device 300 and a suction device 400 for depositing a raw material on the upper side of the material 10 through the inside of the case 210 are provided with the body 220 inside the case 210 . At this time, the case 210 may be provided with a separate intake device 251 for sucking impurities between the body 220 and the case 210.

상기 몸체(220)는 상기 케이스(210) 내측과 소정의 거리를 두고 구비될 수 있으며, 상기 내측에 상기 소재(10)의 상부에 원료를 증착시키는 분사장치(300) 및 흡입장치(400)가 구비될 수 있다.The body 220 may be provided at a predetermined distance from the inside of the case 210 and may include an injection device 300 and an inhalation device 400 for depositing a raw material on the inside of the raw material 10 .

상기 몸체(220) 내측에는 상기 적층부(240)를 구획하기 위하여 상기 적층부(240) 양측면에 각각 구비되는 측판(243)을 구비할 수 있다.The body 220 may include a side plate 243 disposed on both sides of the lamination unit 240 to partition the lamination unit 240.

이 때, 상기 측판(243)에는 상부와 하부의 상기 측판(243) 사이에 상기 소재(10)가 관통되는 관통홀(244)이 구비되어 상기 소재(10)의 상단이 상기 측벽에 접촉되지 않고 원료가 증착되도록 할 수 있다.In this case, the side plate 243 is provided with a through hole 244 through which the material 10 passes between the upper and lower side plates 243 so that the upper end of the material 10 does not contact the side wall The raw material can be deposited.

상기 측판(243)에 의하여 구획된 상기 몸체(220) 내부에는 유입부(230)와 적층부(240)와 흡입부(250)와 배출부(260)가 구비될 수 있으며 상기 적층부(240)는 상기 유입부(230)에서 이송되는 상기 소재(10)의 상부에 원료를 분사하기 위하여 상기 분사장치(300)가 상기 소재(10)의 상부에 구비되는 제 1적층부(241)와, 상기 제 1적층부(241)와 상기 흡입부(250)를 관통하여 이송되는 상기 소재(10)의 상부에 상기 제 1적층부(241)와 다른 원료를 분사하기 위하여 상기 분사장치(300)가 상기 소재(10)의 상부에 구비되는 제 2적층부(242)를 구비할 수 있다.The body 220 may include an inlet 230, a laminating unit 240, a suction unit 250, and a discharge unit 260. The laminating unit 240 may include a suction unit 250, Includes a first stacking part (241) provided at an upper part of the material (10) for spraying a raw material to an upper part of the material (10) to be delivered from the inflow part (230) The injection device 300 may inject the raw material to the upper portion of the first layered portion 241 and the upper portion of the raw material 10 to be transferred through the suction portion 250, And a second lamination part 242 provided on the upper side of the material 10.

또한, 상기 흡입부(250)는 상기 제 1적층부(241)와 상기 제 2적층부(242) 사이에 구비되어 상기 제 1적층부(241)와 상기 제 2적층부(242) 사이에 원료가 서로 혼합되는 것을 방지하도록 흡기장치(251)가 구비될 수 있다.The suction unit 250 is provided between the first stacking unit 241 and the second stacking unit 242 and is disposed between the first stacking unit 241 and the second stacking unit 242, An intake device 251 may be provided to prevent the exhaust gas from being mixed with each other.

상기 적층부(240)는 원료의 종류에 따라 적층부(240)의 수량이 늘어날 수 있다.The number of the lamination portions 240 may be increased in the lamination portion 240 depending on the kind of the raw material.

예를 들어, 원료의 종류가 3가지 사용되면 상기 적층부(240)를 제 1적층부(241) 및 제 2적층부(242) 및 제 3적층부(240)로 구비하고, 각각의 적층부(240) 사이에 흡입부(250)를 구비하여 각각의 원료가 혼합되지 않도록 할 수 있다.For example, when three kinds of raw materials are used, the lamination part 240 may include a first lamination part 241, a second lamination part 242 and a third lamination part 240, A suction unit 250 may be provided between the first and second suction units 240 to prevent mixing of the raw materials.

이러한 상기 적층부(240)의 양 측면에는 각각의 적층부(240)에서 분사되는 각각의 원료가 각각의 적층부(240)에서 이탈되거나 유입되지 않도록 상기 관통홀(244)의 상단에 구비된 상기 측판(243) 단부의 양 측면에 각각 흡입장치(400)를 결합시킬 수 있다.The through holes 244 may be formed on both sides of the lamination part 240 so that the respective materials injected from the respective lamination parts 240 are not separated or introduced into the respective lamination parts 240. [ The suction device 400 can be coupled to both sides of the end of the side plate 243, respectively.

상기 흡입장치(400)는 상기 측판(243) 단부의 양 측면에 각각 결합되는 결합부와, 상기 결합부에서 소정의 각도로 회전하는 회전부와, 상기 회전부에서 하단으로 연장되어 상기 측판(243)을 관통하는 상기 소재(10)의 불순물을 흡입하는 흡기부와, 상기 흡기부의 양 측면에 각각 구비되어 상기 관통홀(244)에 의하여 불순물이 관통되는 것을 방지하는 배기부를 구비할 수 있다.The suction unit 400 includes a coupling unit coupled to both sides of the end of the side plate 243, a rotation unit rotating at a predetermined angle in the coupling unit, and a rotation unit extending from the rotation unit to the bottom, And an exhaust unit provided on both sides of the intake unit to prevent impurities from penetrating through the through holes 244. The exhaust unit may include a suction unit for sucking impurities of the material 10 penetrating therethrough.

상기 결합부는 상기 측판(243)의 단부 양 측면에 각각 결합되어 상기 적층부(240)로 유입되거나 배출되는 원료 및 불순물이 유입 및 배출되지 않도록 이중으로 차단할 수 있다.The coupling portion is coupled to both side surfaces of the end portion of the side plate 243 so that the raw material and the impurities introduced into or discharged from the lamination portion 240 can be blocked from being inflowed and discharged.

상기 회전부는 상기 결합부에서 외측으로 연장되어 형성될 수 있으며, 상기 소재(10)의 속도 및 장력에 따라 방향을 조절하여 형성될 수 있다.The rotation part may extend outward from the coupling part and may be formed by adjusting the direction according to the speed and tension of the material.

예를 들어, 소재(10)의 속도가 빠르면 상기 흡입장치(400) 방향을 유입부(230) 방면으로 향하게 하여 소재(10)를 통해 전달되는 원료 및 불순물을 사전에 차단할 수 있다.For example, if the speed of the material 10 is high, the direction of the suction device 400 may be directed toward the inflow part 230 so that raw materials and impurities delivered through the material 10 may be blocked in advance.

이와 같이 상기 흡입장치(400)는 비접촉으로 상기 증착부(200) 외부에서 장력을 조절하여 이송시키는 소재(10)에 원료를 증착할 때 다른 원료 및 불순물이 증착되는 것을 방지할 수 있다.As described above, when the raw material is deposited on the workpiece 10, the suction device 400 does not contact the outside of the deposition part 200 while controlling the tension thereof, it is possible to prevent other raw materials and impurities from being deposited.

상기 흡기부는 양측면에 상기 배기부가 결합될 수 있으며, 상기 배기부에서 불순물 및 다른 원료가 유입되지 않도록 공기를 공급하여 불순물 및 다른 원료를 불어내면 흡기부에서 배기부에서 차단하지 못한 불순물 및 다른 원료를 흡입하여 유입되는 것을 차단할 수 있다.When the impurities and other raw materials are blown by supplying air so that impurities and other raw materials do not flow in the exhaust part, the impurities and other raw materials which can not be blocked by the exhaust part in the intake part It is possible to prevent suction and inflow.

이와 같이 상기 흡기부 및 상기 배기부에서 공기를 공급하거나 흡입하여 불순물 및 원료가 유입되는 것을 차단하는 것은 원료가 나노 단위의 원자층으로 형성되기 때문에 공기에 의하여 유입되는 것을 차단할 수 있다.As described above, since the raw material is formed of the atomic layer of nano unit, it is possible to block the inflow of the air by supplying air or sucking air from the intake unit and the exhaust unit to block the introduction of impurities and raw materials.

상기 적층부(240)는 상기 흡입장치(400)에 의하여 외부에서 유입되는 불순물 및 다른 원료가 혼합되는 것이 차단된 상태에서 분사장치(300)에 의하여 상기 소재(10)의 상부에 원료를 증착시킬 수 있다.The laminating unit 240 is configured to deposit the raw material on the upper side of the workpiece 10 by the injector 300 in a state where the mixing of the impurities and other raw materials introduced from the outside by the suction device 400 is blocked .

상기 분사장치(300)는 상기 적층부(240)에 구비되어 원료를 압력으로 분사하여 상기 소재(10)에 원료를 증착시키는 분사부(310)와, 상기 적층부(240)에서 상기 분사부(310)와 소정의 거리에 구비되어 상기 분사부(310)를 통해 분사되어 상기 소재(10)에 증착되지 않는 원료를 흡입하여 수거하는 수거부(320)와, 상기 분사부(310) 및 상기 수거부(320)의 높이를 조절하여 상기 소재(10)와의 거리를 조절하는 높이조절장치(330)를 구비할 수 있다.The spraying device 300 includes a spraying part 310 provided in the stacking part 240 and spraying a raw material under pressure to deposit a raw material on the raw material 10, (320) which is provided at a predetermined distance from the spraying part (310) and sucked through the spraying part (310) to suck and collect the raw material that is not deposited on the raw material (10) And a height adjustment device 330 for adjusting the height of the rejection 320 to adjust the distance to the material 10.

상기 분사부(310)는 상기 소재(10)의 상부에 근접하게 구비되어 원자층의 원료를 상기 소재(10)를 향하여 분사하여 원료를 상기 소재(10)의 상부에 원료를 증착시킬 수 있다.The spraying unit 310 may be disposed adjacent to an upper portion of the workpiece 10 to spray the raw material of the atomic layer toward the workpiece 10 to deposit the raw material on the workpiece 10.

이 때, 상기 분사부(310)에 의하여 상기 소재(10)에 증착되지 않은 원료는 상기 적층부(240) 내부 허공에 떠다닐 수 있으며, 이러한 원료를 상기 수거부(320)에서 흡입하여 수거할 수 있다.At this time, the raw material that is not deposited on the raw material 10 by the jetting unit 310 can float on the air in the laminated part 240, and the raw material is sucked and collected by the rejection unit 320 .

이와 같이, 수거부(320)에서 상기 원료를 수거하는 것은 상기 소재(10)에 원활하게 증착되지 않고 겹치도록 증착되는 것을 방지하기 위하여 분사부(310)에 의하여 분사되고 허공에 떠다니는 원료를 분사부(310)와 소정의 거리에 위치한 수거부(320)에서 흡입할 수 있다.As described above, in order to prevent the material to be deposited on the material 10 in a superimposed manner without being smoothly deposited on the material 10, the raw material is sprayed by the spraying unit 310, And can be sucked in the rejection part 320 located at a predetermined distance from the calf part 310.

상기 높이조절장치(330)는 상기 수거부(320)와 상기 분사부(310)의 높이를 조절하여 상기 소재(10)와 상기 분사부(310)의 거리를 조절하여 원료의 종류에 따라 분사 압력을 조절할 수 있다.The height adjusting device 330 adjusts the height of the receiving part 320 and the jetting part 310 to adjust the distance between the material 10 and the jetting part 310 to adjust the jetting pressure Can be adjusted.

상기 이송부(280)는 상기 몸체(220) 및 상기 소재(10)의 하단에 구비되어 적어도 하나 이상의 흡입롤(270)이 구비되어 상기 소재(10)를 상기 증착모듈 내부에서 이송되도록 할 수 있다.The transfer unit 280 may be provided at the lower end of the body 220 and the workpiece 10 so as to be provided with at least one suction roll 270 to transfer the workpiece 10 from the deposition module.

이 때, 상기 이송부(280)는 다수의 흡입롤(270)에 의하여 불순물 및 상기 소재(10) 하단으로 유입되는 원료를 흡입하여 상부로 원료 및 불순물이 다시 올라가 증착되지 않도록 할 수 있다.At this time, the transfer unit 280 sucks the impurities and the raw material flowing into the lower end of the raw material 10 by the plurality of suction rolls 270 to prevent the raw materials and the impurities from being raised and deposited on the upper part.

상기 흡입롤(270)은 상기 몸체(220) 및 상기 소재(10)의 하단에 구비되어 적어도 하나 이상 구비되어 상기 소재(10)를 상기 증착부(200) 내부에서 이송되도록 할 수 있다.The suction rolls 270 are provided at the bottom of the body 220 and the workpiece 10 so that at least one suction roll 270 may be provided to transfer the workpiece 10 from the inside of the deposition unit 200.

이 때, 상기 흡입롤(270)은 불순물 및 상기 소재(10) 하단으로 유입되는 원료를 흡입하여 상부로 원료 및 불순물이 다시 올라가 증착되지 않도록 할 수 있다.At this time, the suction roll 270 sucks the impurities and the raw material flowing into the lower end of the raw material 10 to prevent the raw materials and the impurities from rising again and being deposited on the upper part.

이러한, 상기 흡입롤(270)은 도 5에 도시된 바와 같이 상기 증착부(200) 내부에 적어도 하나 이상 구비되어 상기 소재(10)를 이송시키기 위하여 회전하는 본체(271)와, 상기 본체(271) 내측에 구비되어 상기 소재(10)의 하단 및 상기 이송부(280)의 불순물을 흡입하여 제거하는 제거장치(272)와, 상기 본체(271) 외측에 다수 구비되어 상기 제거장치(272)에서 흡입하는 불순물이 상기 본체(271)가 회전할 때 상기 본체(271)를 관통하도록 구비되는 수거홀(273)을 구비할 수 있다.As shown in FIG. 5, the suction roll 270 includes at least one main body 271 that is provided inside the deposition unit 200 and rotates to transport the material 10, A removing device 272 provided inside the main body 271 for sucking and removing impurities from the lower end of the material 10 and the transferring part 280; The body 271 may be provided with a collection hole 273 through which the impurities may penetrate the body 271 when the body 271 rotates.

상기 본체(271)는 원형의 롤로 형성되어 상기 소재(10)를 상기 증착부(200) 내부에서 원활히 이송시킬 수 있으며, 외측에는 다수의 수거홀(273)을 구비할 수 있다.The main body 271 may be formed as a circular roll so that the material 10 can be smoothly conveyed in the deposition unit 200 and a plurality of collection holes 273 may be provided on the outer side.

상기 제거장치(272)는 상기 본체(271) 내부에 구비되어 상기 본체(271)에 의하여 이송되는 상기 소재(10)의 하단에 부착되는 불순물 및 원료를 흡입할 수 있다.The removing device 272 is provided inside the main body 271 and is capable of sucking impurities and raw materials attached to the lower end of the raw material 10 conveyed by the main body 271.

이와 같은 상기 제거장치(272)는 상기 본체(271) 내부에 구비되므로 상기 제거장치(272)에서 흡입하는 불순물 및 원료는 상기 수거홀(273)에 의하여 상기 제거장치(272)로 흡입되어 제거될 수 있으며, 상기 제거장치(272)는 상기 소재(10) 및 상기 증착부(200) 내부의 불순물 및 원료를 흡입할 수 있다.Since the removing device 272 is provided inside the main body 271, the impurities and the raw material sucked by the removing device 272 are sucked into the removing device 272 by the collecting hole 273 and removed And the removal device 272 can suck impurities and raw materials in the material 10 and the deposition unit 200.

도 6을 참조하면, 상기 공조부(500)는 상기 몸체(220) 내부의 불순물을 제거하기 위하여 상기 몸체(220) 상부에 적어도 하나 이상 구비되어 상기 몸체(220) 내부의 불순물을 제거하는 제 1공기순환장치(510)와, 상기 적층부(240)의 공기를 상기 제 1공기순환장치(510)를 통해 상기 케이스(210)로 순환시키기 위하여 상기 적층부(240)의 측판(243)에 구비되는 순환구(520)와, 상기 몸체(220)의 하부에 적어도 하나 이상 구비되어 상기 몸체(220) 하부의 공기를 순환시키기 위한 제 2공기순환장치(530)와, 상기 제 1공기순환장치(510)와 상기 제 2공기순환장치(530)에 의하여 상기 몸체(220)에서 배출되는 공기 및 이물질을 상기 케이스(210)에서 외부로 배출시키기 위한 적어도 하나 이상의 제 3공기순환장치(540)와, 상기 제 3공기순환장치(540)를 통과하여 외부로 배출되는 공기 및 이물질을 정화하기 위한 에어필터(550)를 구비할 수 있다.6, the air conditioner 500 may include at least one or more at least one or more air conditioners (not shown) disposed on the body 220 to remove impurities in the body 220, And an air circulation device 510 installed in the side plate 243 of the lamination part 240 to circulate the air of the lamination part 240 to the case 210 through the first air circulation device 510 A second air circulation unit 530 installed at a lower portion of the body 220 to circulate the air beneath the body 220, At least one third air circulation unit 540 for discharging the air and foreign substances discharged from the body 220 by the second air circulation unit 530 from the case 210 to the outside, The air and the foreign matter which are discharged to the outside through the third air circulation apparatus (540) A may be provided with an air filter (550) for purification.

상기 제 1공기순환장치(510)는 상기 몸체(220)의 상부에 적어도 하나 이상 구비되어 상기 몸체(220) 내부의 공기를 순환시켜 불순물을 제거할 수 있다. 이러한 상기 제 1공기순환장치(510)는 상기 몸체(220)의 외벽을 관통하도록 구비될 수 있다.The first air circulation device 510 may include at least one or more at least one upper portion of the body 220 to circulate air inside the body 220 to remove impurities. The first air circulation unit 510 may be installed to penetrate the outer wall of the body 220.

상기 제 1공기순환장치(510)는 상기 유입부(230)와 상기 흡입부(250)와 상기 배출부(260)와 같이 상기 소재(10)의 상부에 원료를 분사하지 않는 위치에 구비되어 상기 적층부(240)로 불순물이 유입되지 않도록 할 수 있다.The first air circulation unit 510 is provided at a position where the raw material is not sprayed on the upper portion of the material 10 such as the inlet 230, the suction unit 250 and the discharge unit 260, Impurities can be prevented from flowing into the lamination portion 240.

상기 순환구(520)는 상기 유입부(230)와 상기 적층부(240)와 상기 흡입부(250)와 상기 배출부(260)를 구획하는 상기 측판(243)에 각각 구비되어 상기 적층부(240) 내부의 불순물이 공기 흐름에 의하여 외부로 배출될 수 있도록 할 수 있으며, 상기 순환구(520)는 도면에는 도시하지 않았지만 상기 적층부(240)로 상기 불순물이 유입되지 않도록 별도의 필터가 구비될 수 있다.The circulation port 520 is provided in each of the side plates 243 that partition the inlet 230, the lamination unit 240, the suction unit 250 and the discharge unit 260, 240 can be discharged to the outside through the air flow. Although not shown in the drawing, the circulation opening 520 is provided with a separate filter so that the impurities do not flow into the lamination portion 240 .

상기 제 2공기순환장치(530)는 상기 몸체(220)의 하부에 적어도 하나 이상 구비되어 상기 소재(10) 하부의 공간의 공기 흐름을 케이스(210)로 배출시켜 상기 소재(10)에 불순물이 부착되는 것을 방지할 수 있다.The second air circulation unit 530 is provided at least one below the body 220 to discharge the air flow in the space below the material 10 to the case 210 so that impurities Can be prevented from being adhered.

이 때, 상기 제 2공기순환장치(530)도 상기 제 1공기순환장치(510)와 동일하게 상기 몸체(220)를 관통하도록 형성될 수 있다.At this time, the second air circulating apparatus 530 may be formed to pass through the body 220 like the first air circulating apparatus 510.

상기 제 3공기순환장치(540)는 상기 제 1공기순환장치(510)와 상기 제 2공기순환장치(530)를 통해 상기 몸체(220)에서 상기 케이스(210)로 배출되는 불순물 및 공기를 외부로 배출시키기 위하여 상기 케이스(210) 외측에 구비될 수 있다.The third air circulation device 540 is configured to discharge impurities and air discharged from the body 220 to the case 210 through the first air circulation device 510 and the second air circulation device 530, And may be provided outside the case 210 for discharging it to the case 210.

이 때, 상기 제 3공기순환장치(540)의 내측에는 에어필터(550)가 구비되어 상기 몸체(220) 내부의 불순물이 외부로 배출되지 않고 모일 수 있도록 할 수 있다. 이로 인해, 공기 오염을 방지할 수 있다.At this time, an air filter 550 is provided inside the third air circulation unit 540 so that impurities in the body 220 can be collected without being discharged to the outside. As a result, air contamination can be prevented.

또한, 상기 공조부(500)는 상기 몸체(220) 내부의 공기가 원활히 순환되도록 다수의 상기 측판(243)의 일면에 송풍기(560)가 구비되어 상기 적층부(240)의 공기 흐름이 외부로 배출되도록 할 수 있다.The air conditioning unit 500 is provided with a blower 560 on one side of a plurality of the side plates 243 so as to smoothly circulate the air inside the body 220, To be discharged.

도 7을 참조하면, 상기 마감부(600)는 상기 증착부(200)에서 원료가 증착되어 이송되는 상기 소재(10)의 높이 및 장력을 조절하는 마감제어롤(610)과, 상기 마감제어롤(610)에서 이송되는 상기 소재(10)의 공정 속도를 조절하며 권취하는 마감권취롤(620)을 구비할 수 있다.Referring to FIG. 7, the finishing unit 600 includes a finishing control roll 610 for adjusting the height and tension of the material 10 to which the material is deposited in the deposition unit 200, Up roll 620 that adjusts the process speed of the workpiece 10 fed from the workpiece 610 and winds the workpiece.

상기 마감제어롤(610)은 상기 공급부(100)에서 사용된 것과 동일하게 상기 소재(10)의 상부에 원료가 견고히 증착될 수 있도록 마감제어롤(610)에 의하여 높이 및 장력을 조절하여 마감권취롤(620)로 이송될 수 있다.The finishing control roll 610 adjusts the height and tension by a finishing control roll 610 so that the raw material can be firmly deposited on the top of the material 10, Roll 620. < / RTI >

또한, 상기 마감제어롤(610)은 상기 공급부(100)에 구비된 마감제어롤(610)과의 장력제어에 의하여 상기 증착부(200) 내부에서 이송되는 상기 소재(10)의 이송 속도 및 장력을 제어할 수 있다.The finishing control roll 610 is controlled by the tension control with the finishing control roll 610 provided in the supplying unit 100 so that the conveying speed and tension of the material 10 conveyed inside the deposition unit 200 Can be controlled.

그리고 상기 소재(10)는 마감권취롤(620)에 권취되기 전에 상기 소재(10)가 원활히 권취될 수 있도록 소재(10)의 공정 속도를 제어하며 권취될 수 있다.The material 10 can be wound by controlling the process speed of the material 10 so that the material 10 can be smoothly wound before being wound on the finishing winding roll 620.

이하에서 본 발명의 다른 실시 예에 따른 공조장치를 활용한 롤투롤 원자층 증착 시스템을 설명함에 있어 상술한 실시 예에 따른 공조장치를 활용한 롤투롤 원자층 증착 시스템과 동일한 구성에 대해서는 동일한 참조번호를 사용하며, 그에 대한 상세한 설명은 생략한다.Hereinafter, a roll-to-roll atomic layer deposition system utilizing an air-conditioning apparatus according to another embodiment of the present invention will be described with reference to the same reference numerals as those of the roll-to-roll atomic layer deposition system utilizing the air- And a detailed description thereof will be omitted.

도 8은 본 발명의 다른 실시 예에 따른 비접촉 이중 증착부를 나타낸 개념도이다.8 is a conceptual view illustrating a contactless double-layer deposition unit according to another embodiment of the present invention.

도 8에 도시된 바와 같이 본 발명의 일 실시 예에 따른 비접촉 이중 증착부(200)는 상기 증착부(200)는 상기 공급부(100)에서 이송되는 상기 소재(10)를 내부에 수용하며 내부의 불순물을 흡기하는 케이스(210)와, 상기 케이스(210)의 내측에 구비되어 상기 소재(10)를 관통시키며 원료를 증착시키는 몸체(220)와, 상기 몸체(220) 내부에 구비되어 상기 소재(10)가 상기 몸체(220) 내부로 유입되는 유입부(230)와, 상기 유입부(230)를 관통하여 이송되는 상기 소재(10)의 양면에 상기 분사장치(300)에 의하여 다수의 원료를 이중으로 증착시키는 다수의 적층부(240)와, 다수의 상기 적층부(240) 사이에 구비되어 원료를 흡입하는 흡입부(250)와, 다수의 상기 적층부(240)에 의하여 원료가 이중 증착되는 상기 소재(10)가 상기 몸체(220)에서 배출되는 배출부(260)를 구비할 수 있다.As shown in FIG. 8, the non-contact double deposition unit 200 according to an embodiment of the present invention is configured such that the deposition unit 200 receives the material 10 transferred from the supply unit 100 therein, A body 220 installed inside the case 210 to penetrate the material 10 and to deposit a material thereon; a body 220 installed in the body 220 to receive the impurities, And a plurality of raw materials are supplied to the both sides of the raw material 10 through the inflow part 230 by the injecting device 300. [ A suction unit 250 provided between the plurality of stacking units 240 to suck the raw material and a plurality of stacking units 240 for stacking the raw materials by double deposition And a discharge unit 260 through which the material 10 is discharged from the body 220.

상기 케이스(210)는 장변과 단변을 구비하는 직사각형 형상으로 형성되며 상기 공급부(100)에서 유입되는 상기 소재(10)의 양면에 원료를 이중 증착시키기 위하여 상기 소재(10)를 관통시킬 수 있다.The case 210 is formed in a rectangular shape having a long side and a short side and can penetrate the material 10 to double-deposit the raw material on both sides of the material 10 flowing in the supply part 100.

상기 케이스(210) 내부에는 상기 몸체(220)가 구비되어 상기 케이스(210) 내부를 관통하는 상기 소재(10)의 양면에 원료를 이중 증착시키는 분사장치(300) 및 흡입장치(400)가 구비될 수 있다. 이 때, 상기 케이스(210)는 상기 몸체(220)와 상기 케이스(210) 사이의 불순물을 흡입하는 별도의 흡기장치(251)가 구비될 수 있다.A spray device 300 and a suction device 400 are provided in the case 210 to deposit the raw material on both sides of the material 10 passing through the inside of the case 210, . At this time, the case 210 may be provided with a separate intake device 251 for sucking impurities between the body 220 and the case 210.

상기 몸체(220)는 상기 케이스(210) 내측과 소정의 거리를 두고 구비될 수 있으며, 상기 내측에 상기 소재(10)의 양면에 원료를 이중 증착시키는 분사장치(300) 및 흡입장치(400)가 구비될 수 있다.The body 220 may be provided at a predetermined distance from the inside of the case 210 and may include an injection device 300 and a suction device 400 for doubly depositing a raw material on both sides of the raw material 10, May be provided.

상기 몸체(220)는 장변 양 단면에 상기 소재(10)가 유입되거나 배출되는 관통홀(244)이 구비될 수 있으며, 상기 몸체(220) 내측에는 상기 적층부(240)를 구획하기 위하여 상기 적층부(240) 양측면에 각각 구비되는 측판(243)을 구비할 수 있다.The body 220 may have a through hole 244 through which the material 10 is introduced or discharged from both sides of the long side of the body 220. Inside the body 220, And a side plate 243 provided on both side surfaces of the unit 240.

이 때, 상기 측판(243)에도 상기 소재(10)가 관통하는 관통홀(244)과 순환구(520)가 구비되어 상기 소재(10)가 접촉되지 않고 원료가 증착되도록 할 수 있으며, 상기 적층부(240)의 불순물을 제거하도록 공기를 순환시킬 수 있다.At this time, the side plate 243 may be provided with a through hole 244 and a circulation hole 520 through which the raw material 10 passes, so that the raw material can be deposited without contacting the raw material 10, Air can be circulated to remove the impurities of the portion 240.

상기 측판(243)에 의하여 구획된 상기 몸체(220) 내부에는 유입부(230)와 적층부(240)와 흡입부(250)와 배출부(260)가 구비될 수 있으며 상기 적층부(240)는 상기 유입부(230)에서 이송되는 상기 소재(10)의 양면에 원료를 각각 분사하기 위하여 상기 분사장치(300)가 상기 소재(10)의 양면에 각각 구비되는 제 1적층부(241)와, 상기 제 1적층부(241)와 상기 흡입부(250)를 관통하여 이송되는 상기 소재(10)의 양면에 상기 제 1적층부(241)와 다른 원료를 각각 분사하기 위하여 상기 분사장치(300)가 상기 소재(10)의 양면에 각각 구비되는 제 2적층부(242)를 구비할 수 있다.The body 220 may include an inlet 230, a laminating unit 240, a suction unit 250, and a discharge unit 260. The laminating unit 240 may include a suction unit 250, A first stacking unit 241 and a second stacking unit 242 are provided on both sides of the workpiece 10 so as to inject the raw material onto both surfaces of the workpiece 10 to be fed from the inlet 230, The injection unit 300 may be provided on both sides of the material 10 to be transported through the first stacking unit 241 and the suction unit 250 to spray the first stacking unit 241 and other materials. And a second lamination part 242 provided on both sides of the material 10.

또한, 상기 흡입부(250)는 상기 제 1적층부(241)와 상기 제 2적층부(242) 사이에 구비되어 상기 제 1적층부(241)와 상기 제 2적층부(242) 사이에 원료가 서로 혼합되는 것을 방지하도록 흡기장치(251)가 구비될 수 있다.The suction unit 250 is provided between the first stacking unit 241 and the second stacking unit 242 and is disposed between the first stacking unit 241 and the second stacking unit 242, An intake device 251 may be provided to prevent the exhaust gas from being mixed with each other.

상기 흡입장치(400)는 상기 측판(243) 단부의 양 측면에 각각 결합되는 결합부와, 상기 결합부에서 소정의 각도로 회전하는 회전부와, 상기 회전부에서 하단으로 연장되어 상기 측판(243)을 관통하는 상기 소재(10)의 불순물을 흡입하는 흡기부와, 상기 흡기부의 양 측면에 각각 구비되어 상기 관통홀(244)에 의하여 불순물이 관통되는 것을 방지하는 배기부를 구비할 수 있다.The suction unit 400 includes a coupling unit coupled to both sides of the end of the side plate 243, a rotation unit rotating at a predetermined angle in the coupling unit, and a rotation unit extending from the rotation unit to the bottom, And an exhaust unit provided on both side surfaces of the intake unit to prevent impurities from penetrating through the through holes 244. The exhaust unit may include an intake unit that sucks impurities of the material 10 passing through the intake unit,

상기 적층부(240)는 상기 흡입장치(400)에 의하여 외부에서 유입되는 불순물 및 다른 원료가 혼합되는 것이 차단된 상태에서 분사장치(300)에 의하여 상기 소재(10)의 양면에 원료를 증착시킬 수 있다.The laminating unit 240 may be configured to deposit the raw material on both sides of the workpiece 10 by the injector 300 in a state where the mixing of impurities and other raw materials introduced from the outside by the suction unit 400 is blocked .

상기 분사장치(300)는 상기 소재(10)의 상부에 원료를 분사하기 위하여 상기 적층부(240)의 상부에 구비되는 제 1분사장치와, 상기 소재(10)의 하부에 원료를 분사하기 위하여 상기 적층부(240)의 하부에 구비되는 제 2분사장치를 구비하므로 상기 소재(10)의 양면에 각각 원료를 증착시키는 이중 증착 구조를 가질 수 있다.The injection device 300 includes a first injection device provided on the upper part of the lamination part 240 for spraying a raw material on the material 10 and a second injection device provided on the upper part of the material 10 to spray the raw material And a second injection device provided at a lower portion of the lamination part 240. Thus, a double deposition structure for depositing a raw material on both sides of the material 10 can be provided.

상기 제 1분사장치와 상기 제 2분사장치는 상기 적층부(240)에 구비되어 원료를 압력으로 분사하여 상기 소재(10)에 원료를 증착시키는 분사부(310)와, 상기 적층부(240)에서 상기 분사부(310)와 소정의 거리에 구비되어 상기 분사부(310)를 통해 분사되어 상기 소재(10)에 증착되지 않는 원료를 흡입하여 수거하는 수거부(320)를 구비할 수 있다.The first injecting device and the second injecting device include a spraying part 310 provided in the stacking part 240 and spraying the raw material under pressure to deposit the raw material in the material 10, (320) disposed at a predetermined distance from the spraying unit (310) at the spraying unit (310) and sucking and collecting the raw material sprayed through the spraying unit (310) and not deposited on the raw material (10).

상기 분사부(310)는 상기 소재(10)의 양면에 근접하게 구비되어 원자층의 원료를 상기 소재(10)를 향하여 분사하여 원료를 상기 소재(10)의 양면에 이중으로 증착시킬 수 있다.The jetting unit 310 may be disposed adjacent to both sides of the workpiece 10 to spray the raw material of the atomic layer toward the workpiece 10 to double-deposit the raw material on both sides of the workpiece 10.

이 때, 상기 분사부(310)에 의하여 상기 소재(10)에 증착되지 않은 원료는 상기 적층부(240) 내부 허공에 떠다닐 수 있으며, 이러한 원료를 상기 수거부(320)에서 흡입하여 수거할 수 있다.At this time, the raw material that is not deposited on the raw material 10 by the jetting unit 310 can float on the air in the laminated part 240, and the raw material is sucked and collected by the rejection unit 320 .

이와 같이, 수거부(320)에서 상기 원료를 수거하는 것은 상기 소재(10)에 원활하게 증착되지 않고 겹치도록 증착되는 것을 방지하기 위하여 분사부(310)에 의하여 분사되고 허공에 떠다니는 원료를 분사부(310)와 소정의 거리에 위치한 수거부(320)에서 흡입할 수 있다.As described above, in order to prevent the material to be deposited on the material 10 in a superimposed manner without being smoothly deposited on the material 10, the raw material is sprayed by the spraying unit 310, And can be sucked in the rejection part 320 located at a predetermined distance from the calf part 310.

그리고 상기 비접촉으로 형성되는 적층부(240) 내부의 공기를 순환시키도록 공조부(500)가 더 구비될 수 있다.Further, the air conditioning unit 500 may be further provided to circulate the air inside the laminated portion 240 formed in the noncontact manner.

삭제delete

이상에서는 본 발명의 일 실시 예에 따른 공조장치를 활용한 롤투롤 원자층 증착 시스템에 대해 설명하였으나, 본 발명의 사상은 본 명세서에 제시되는 실시 예에 제한되지 아니한다. 그리고, 본 발명의 사상을 이해하는 당업자는 동일한 사상의 범위 내에서, 구성요소의 부가, 변경, 삭제, 추가 등에 의해서 다른 실시 예를 용이하게 제안할 수 있을 것이나, 이 또한 본 발명의 사상범위 내에 든다고 할 것이다.Although the roll-to-roll atomic layer deposition system utilizing the air conditioner according to an embodiment of the present invention has been described above, the spirit of the present invention is not limited to the embodiments disclosed herein. Those skilled in the art, who understands the spirit of the present invention, can readily suggest other embodiments by adding, changing, deleting, adding, or the like of components within the scope of the same idea, I would say.

100: 공급부 110: 풀림롤
120: 구동롤 130: 제어롤
200: 증착부 210: 케이스
220: 몸체 230: 유입부
240: 적층부 250: 흡입부
260: 배출부 270: 흡입롤
280: 이송부 300: 분사장치
400: 흡입장치 500: 공조부
600: 마감부 700: 제어부100: Feeder 110: Release roll
120: driving roll 130: control roll
200: evaporation part 210: case
220: body 230: inlet
240: stacking section 250: suction section
260: discharge part 270: suction roll
280: Feeder 300: Injection device
400: Suction device 500: Air conditioning part
600: finish part 700: control part

Claims (9)

유동성을 확보하는 소재를 다수의 롤로 형성된 이송장치에 의하여 공급시키는 공급부와,
상기 공급부에서 공급되는 상기 소재를 이송시키는 이송롤과,
상기 이송롤에 의하여 이송되는 상기 소재의 상부에 원료가 증착되도록 상기 소재가 관통되는 증착부와,
상기 증착부의 내부에서 이송되는 상기 소재에 불순물이 부착되는 것을 방지하기 위하여 상기 증착부 내부로 공기가 순환되도록 유도하는 공조부와,
상기 증착부에서 원료가 증착된 상기 소재를 권취시키는 마감부와,
상기 소재의 공정 속도 및 상기 소재의 위치를 제어하기 위한 제어부를 구비하고,
상기 증착부는 상기 공급부에서 이송되는 상기 소재를 내부에 수용하여 원료를 증착하기 위한 케이스와,
상기 케이스의 내측에 구비되어 상기 소재를 관통시키며 원료를 증착시키는 몸체와,
상기 몸체 내부에 구비되어 상기 소재가 상기 몸체 내부로 유입되는 유입부와,
상기 유입부를 관통하여 이송되는 상기 소재의 상부에 원료를 분사하는 분사장치에 의하여 다수의 원료를 증착시키는 다수의 적층부와,
다수의 상기 적층부 사이에 구비되어 원료를 흡입하는 흡입부와,
다수의 상기 적층부에 의하여 원료가 증착되는 상기 소재가 상기 몸체에서 배출되는 배출부와,
상기 몸체 하단에 구비되어 상기 원료를 흡입하며 이송시키는 적어도 하나 이상의 흡입롤을 구비하고,
상기 분사장치는 상기 적층부에 구비되어 원료를 압력으로 분사하여 상기 소재에 원료를 증착시키는 분사부와,
상기 적층부에서 상기 분사부와 소정의 거리에 구비되어 상기 분사부를 통해 분사되어 상기 소재에 증착되지 않는 원료를 흡입하여 수거하는 수거부와,
상기 분사부 및 상기 수거부의 높이를 조절하여 상기 소재와의 거리를 조절하는 높이조절장치를 구비하고,
상기 흡입롤은 상기 증착부 내부에 적어도 하나 이상 구비되어 상기 소재를 이송시키기 위하여 회전하는 본체와,
상기 본체 내측에 구비되어 상기 소재의 하단 및 상기 증착부 내부의 불순물을 흡입하여 제거하는 제거장치와,
상기 본체 외측에 다수 구비되어 상기 제거장치에서 흡입하는 불순물이 상기 본체가 회전할 때 상기 본체를 관통하도록 구비되는 수거홀을 구비하는 것을 특징으로 하는 공조장치를 활용한 롤투롤 원자층 증착 시스템.
A supply part for supplying the material for ensuring fluidity by a transfer device formed of a plurality of rolls,
A feed roll for feeding the material fed from the feeder,
A deposition unit through which the material is passed to deposit the material on an upper part of the material conveyed by the conveying roll;
An air conditioning unit for guiding air into the deposition unit so as to prevent impurities from adhering to the material transferred inside the deposition unit;
A finishing unit for winding the material on which the material is deposited in the deposition unit,
And a control unit for controlling the process speed of the material and the position of the material,
The deposition unit may include a case for containing the material transferred from the supply unit and depositing the material,
A body provided on the inner side of the case to penetrate the material and to deposit the material,
An inflow portion provided in the body and allowing the material to flow into the body;
A plurality of stacking portions for depositing a plurality of raw materials by an injecting device for injecting a raw material onto an upper portion of the raw material to be passed through the inflow portion,
A suction unit provided between the plurality of stacked parts and sucking the raw material,
A discharge unit for discharging the material from which the raw material is deposited by the plurality of stacked units,
At least one suction roll provided at the lower end of the body for sucking and conveying the raw material,
The spraying device includes a spraying part provided in the stacking part and spraying the raw material under pressure to deposit the raw material in the raw material,
A plurality of nozzles which are provided at a predetermined distance from the jetting unit in the lamination unit and jetted through the jetting unit to suck and collect raw materials not deposited on the jetting unit,
And a height adjusting device for adjusting a height of the jetting part and the receiving /
Wherein the suction roll includes at least one or more at least one suction roll disposed inside the deposition unit,
A removing device provided inside the main body for sucking and removing impurities at a lower end of the material and inside the deposition part;
And a plurality of collection holes provided on the outside of the main body so as to pass through the main body when the main body rotates, the impurities sucked by the removing device.
삭제delete 삭제delete 삭제delete 제 1항에 있어서,
상기 증착부는 상기 몸체 내부에서 다수의 상기 적층부를 구획하기 위하여 상기 적층부 양측면에 각각 구비되는 측판과,
상기 몸체와 상기 측판의 하단 사이에 상기 소재가 관통되는 관통홀과,
상기 관통홀의 상단에 구비된 상기 측판의 일 단부에 구비되어 원료가 관통홀을 관통하는 것을 방지하기 위하여 공기를 흡입 및 배기하는 흡입장치를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 공조장치를 활용한 롤투롤 원자층 증착 시스템.
The method according to claim 1,
Wherein the evaporation unit comprises: a side plate provided on both side surfaces of the lamination unit to partition a plurality of the lamination units in the body;
A through hole through which the material passes, between the body and the lower end of the side plate,
And a suction device provided at one end of the side plate provided at the upper end of the through hole to suck and exhaust air to prevent the raw material from passing through the through hole. Layer deposition system.
삭제delete 제 1항에 있어서,
상기 공조부는 상기 몸체 내부의 불순물을 제거하기 위하여 상기 몸체 상부에 적어도 하나 이상 구비되어 상기 몸체 내부의 불순물을 제거하는 제 1공기순환장치와,
상기 적층부의 공기를 상기 제 1공기순환장치를 통해 상기 케이스로 순환시키기 위하여 상기 적층부의 측판에 구비되는 순환구와,
상기 몸체의 하부에 적어도 하나 이상 구비되어 상기 몸체 하부의 공기를 순환시키기 위한 제 2공기순환장치와,
상기 제 1공기순환장치와 상기 제 2공기순환장치에 의하여 상기 몸체에서 배출되는 공기 및 이물질을 상기 케이스에서 외부로 배출하기 위한 적어도 하나 이상의 제 3공기순환장치와,
상기 제 3공기순환장치를 통과하여 외부로 배출되는 공기 및 이물질을 정화하기 위한 에어필터를 구비하는 것을 특징으로 하는 공조장치를 활용한 롤투롤 원자층 증착 시스템.
The method according to claim 1,
The air conditioning unit includes a first air circulation device provided at an upper portion of the body to remove impurities in the body to remove impurities in the body,
A circulation port provided in the side plate of the lamination part for circulating air in the lamination part to the case through the first air circulation device,
A second air circulation device provided at the lower portion of the body for circulating air in the lower portion of the body,
At least one third air circulation device for discharging air and foreign matter discharged from the body by the first air circulation device and the second air circulation device from the case to the outside,
And an air filter for purifying air and foreign substances passing through the third air circulating device and discharged to the outside.
제 7항에 있어서,
상기 공조부는 상기 몸체 내부의 공기가 순환되도록 다수의 상기 측판의 일면에 송풍기가 더 구비되는 것을 특징으로 하는 공조장치를 활용한 롤투롤 원자층 증착 시스템.
8. The method of claim 7,
Wherein the air conditioning unit further includes a blower on one side of the plurality of side plates to circulate air inside the body.
제 1항에 있어서,
상기 마감부는 상기 증착부에서 원료가 증착되어 이송되는 상기 소재의 높이 및 장력을 조절하는 마감제어롤과,
상기 마감제어롤에서 이송되는 상기 소재의 공정 속도를 조절하며 권취하는 마감권취롤을 구비하는 것을 특징으로 하는 공조장치를 활용한 롤투롤 원자층 증착 시스템.

The method according to claim 1,
The finishing portion may include a finishing control roll for adjusting a height and a tension of the material to be transferred,
And a finishing winding roll for adjusting the process speed of the material fed from the finishing control roll and winding the finishing roll.

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