KR101902043B1 - 마이크로필러를 이용하는 센서 어셈블리 및 이용 방법 - Google Patents

마이크로필러를 이용하는 센서 어셈블리 및 이용 방법 Download PDF

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Abstract

센서 어셈블리는 광원, 변조층, 및 적어도 하나의 검출기를 포함한다. 변조층은 각각 고정 종단과 자유 종단을 갖춘 다수의 마이크로필러를 포함한다. 고정 종단은 광원에 각각 인접한다. 적어도 하나의 검출기는 다수의 마이크로필러의 자유 종단에 인접한다. 검출기는 광원으로부터 방출된 광을 검출하도록 구성된다.

Description

마이크로필러를 이용하는 센서 어셈블리 및 이용 방법{SENSOR ASSEMBLY USING MICROPILLARS AND METHOD OF USE}
본 발명의 분야는 일반적으로 센서 어셈블리에 관한 것으로, 특히 광 변조(light modulation)를 위해 마이크로필러를 이용하는 센서 어셈블리에 관한 것이다.
적어도 하나의 알려진 마이크로필러 센서(micropillar sensor)는 힘(force) 또는 외압(influence)을 감지하기 위해 그로스 모션(gross motion)을 이용한다. 그러나, 적어도 몇몇 알려진 센서와 함께 이용되는 관련된 마이크로필러에 대해 영향을 미치는 힘은 신호를 발생시킬 수 있도록 관찰될 수 있는 마이크로필러의 이동을 유도하기 위해 충분하게 커야만 한다. 다른 알려진 마이크로필러 센서는 마이크로필러를 에워싸는 액정 재료(liquid crystal material)를 포함한다. 광원(light source)은 액정 재료를 통해 마이크로필러 사이에서 광을 향하게 한다(directs). 힘이 센서에 영향을 미칠 때, 액정 재료는 압축(compressed) 또는 확장(expanded)된다. 액정 재료의 압축 또는 확장은 그를 통해 지나가는 광의 양을 변경시킨다. 광의 변경이 검출되어 신호를 발생시키는데 이용된다. 그러나, 센서의 이용에 따라, 액정 재료는 오염되는 것에 대해 민감하게 될 수 있고 이러한 센서는 부서지기 쉽게 될 수 있다. 한번 오염되면, 이러한 마이크로필러 센서는 작은 외부 변화에 대해 둔감하게 될 수 있고 및/또는 튼튼하지 않을 수 있다. 이와 같이, 이러한 센서의 이용은 제한될 수 있다.
본 발명은 상기한 점을 감안하여 발명된 것으로, 광 변조를 위해 마이크로필러를 이용하는 센서 어셈블리를 제공함에 그 목적이 있다.
센서 어셈블리는 광원, 변조층, 및 적어도 하나의 검출기를 포함한다. 변조층은 각각 고정 종단과 자유 종단을 갖춘 다수의 마이크로필러를 포함한다. 고정 종단은 광원에 각각 인접한다. 적어도 하나의 검출기는 다수의 마이크로필러의 자유 종단에 인접한다. 검출기는 광원으로부터 방출된 광을 검출하도록 구성된다.
다른 측면에 있어서, 센서 어셈블리에 인가된 힘을 결정하는 방법이 제공된다. 방법은 변조층으로 광원으로부터의 광을 방출하는 것을 포함한다. 변조층은 각각 고정 종단과 자유 종단을 갖춘 다수의 마이크로필러를 포함한다. 방법은 또한 마이크로필러의 고정 종단에서 방출된 광을 수용하는 것과 마이크로필러의 자유 종단으로부터 광을 방출하는 것을 포함한다. 방법은 다수의 마이크로필러의 자유 종단으로부터 방출된 광 에너지의 적어도 하나의 파라미터에서의 변경을 결정하는 것을 더 포함한다.
도 1은 센서 어셈블리 구현의 개요도이다.
도 2는 다양한 활성화의 정도(degrees of activation)에서 마이크로필러의 평면도이다.
도 3은 도 1에 도시된 센서 어셈블리의 대안적인 실시예를 나타낸다.
도 4는 도 1에 도시된 센서 어셈블리의 제2 대안적 실시예를 나타낸다.
도 5는 도 1에 도시된 센서 어셈블리의 제3 대안적 실시예를 나타낸다.
도 6은 도 5에 도시된 센서 어셈블리를 이용해서 수행된 DNA 분석의 오버헤드 뷰(overhead view)이다.
이하 도면을 참조하는 바, 특히 도 1에서 센서 어셈블리는 일반적으로 100으로 도시된다. 예시적인 구현에 있어서, 센서 어셈블리(sensor assembly; 100)는 광원(light source; 102), 광 변조층(light modulation layer; 104), 및 적어도 하나의 광 검출기(light detector; 106)를 포함한다. 몇몇 구현에 있어서, 콘트롤러(108)가 광원(102) 및/또는 광 검출기(106)와의 통신에 있게 된다.
광원(102)은 광 에너지(light energy)를 공급하도록 구성된다. 특히, 광원(102)은 하나 이상의 파장으로 전자기 방사(electromagnetic radiation)를 방출하는 소스이다. 예컨대, 광원(102)은 LED(light emitting diode), 유기(organic) LED, 백열등(incandescent bulb), 형광 전구(fluorescent bulb), 네온 전구(neon bulb), 환경 광(ambient light), 태양 또는 전자기 방사를 방출할 수 있는 전자적 또는 화학적 장치 중 하나 이상을 포함할 수 있다. 몇몇 구현에 있어서, 광원(102)은 백색 광(white light), 광의 단일 색상(single color)(광의 파장(wavelength of light)), 광의 2 이상의 색상의 조합, 자외선 광(ultraviolet light), 적외선 광(infrared light) 등을 방출한다. 광원(102)은 또한 이러한 광의 소정의 조합을 방출할 수 있다. 더욱이, 광원(102)은 지향적으로(directionally) 또는 무지향적으로(omnidirectionally) 광을 방출할 수 있다.
광 변조층(104)은 베이스부(base portion; 110) 및 다수의 마이크로필러(micropillars; 112)를 포함한다. 각 마이크로필러(112)는 고정 종단(fixed end; 114) 및 자유 종단(free end; 116)을 포함한다. 고정 종단(114)은 베이스부(110)에 결합되거나, 함께 통합적으로 형성된다. 마이크로필러(112)는 불투명(opaque)하고, 그에 따라 광원(102)으로부터 방출된 광이 제1 강도(first intensity)로 고정 종단(114)으로 들어가고 제2 강도로 자유 종단(116)에서 나온다. 예시적인 구현에 있어서, 마이크로필러(112)는 서로에 대해 그리고 광원(102)으로부터 공급된 광 에너지의 방향에 대해 실질적으로 평행하게 위치된다. 하나의 구현에 있어서, 마이크로필러(112)는, PZT(lead zirconate titanate)와 같은, 피에조-전기 재질(piezo-electric material)로 제조된다. 그러나, 광 변조층(104)이 여기서 설명된 바와 같이 기능하도록 할 수 있는 다른 적절한 재질이 이용될 수 있다. 광 변조층(104)은, 수직 행 및 열을 갖춘 직사각형 격자 패턴(rectangular grid pattern)과 같은, 어레이로 배열된 다수의 마이크로필러(112)를 포함할 수 있다. 이러한 실시예에 있어서, 다수의 마이크로필러(112)는 각각이 거리 D 만큼 떨어져 공간지워질 수 있다. 인접하는 마이크로필러(112) 간의 공간은 모든 마이크로필러(112) 사이에서 동일할 수 있고, 또는 원하는 어플리케이션에 따라 변할 수 있다. 예시적인 구현에 있어서, 마이크로필러(112)는 전기력(electric force), 자기력(magnetic force), 및/또는 전자기력(electromagnetic force) 중 적어도 하나에 의해 활성화된다.
도 1에 도시된 구현에 있어서, 센서 어셈블리(100)는 또한 적어도 하나의 광 검출기(106)를 포함한다. 광 검출기(106)는 마이크로필러(112)의 자유 종단(116)에 인접하여 위치되어, 마이크로필러(112)가 활성화되지 않을 때, 광원(102)에 의해 방출된 광이 마이크로필러(112)를 통해 이동하고 광 강도에서 변경 없이 또는 실질적으로 변경 없이 광 검출기(106)에 의해 검출된다. 광 검출기(106)는 기술이 알려진 소정 형태의 광 센서일 수 있다. 예시적인 구현에 있어서, 광 검출기(106)는 마이크로필러(112)의 자유 종단(116)에서 나오고 광 검출기(106)의 FOV(field-of-view; 118) 내에 있게 되는 광원(102)으로부터 공급된 광 에너지의 강도 및/또는 강도의 변경을 검출 및 측정하도록 구성된다. 마이크로필러(112)가 활성화되고 굽혀질 때, 마이크로필러(112)를 통해 이동하는 광의 적어도 일부는 광 검출기(106)로부터 떨어져 향하게 된다. 몇몇의 광이 떨어져 향하게 됨에 따라, 광 검출기(106)에 의해 측정된 광의 강도는 시간이 경과함에 따라 변경된다. 몇몇 실시예에 있어서, 광 검출기(106)는 측정된 광 강도 및/또는 광 강도의 변경을 센서 어셈블리(100)에 인가되는 외부 힘(external force)을 나타내는 전기 신호로 변환시키도록 구성된다. 신호는 콘트롤러(108)로 전달될 수 있다. 광 강도를 검출하는 것과 같이 여기서 설명되는 동안, 광 검출기(106)는 이러한 특성을 검출하는 것으로 제한되지 않는다. 다른 구현에 있어서, 광 검출기(106)는, 이에 제한 되지는 않지만, 위상(phase), 극성(polarization), 파장(wavelength), 및 스펙트럼 분포(spectral distribution)를 포함하는 특성을 검출한다. 도 1에 도시된 구현에 있어서, 센서 어셈블리(100)는 각각의 마이크로필러(112)와 관련된 광 검출기(106)를 포함한다. 그러나, 몇몇 구현에 있어서, 단일 마이크로필러(112)가 2 이상의 광 검출기(106)와 관련될 수 있다.
도 2를 참조하면, 마이크로필러(112)의 평면도가 4가지 다른 활성화 상태로 도시된다. 제1 상태(200)에 있어서, 마이크로필러(112)는 중립, 또는 비활성화된 상태에 있다. 이와 같이, 제1 상태(200)에서는, 충분한 활성화 에너지가 전체적으로 또는 부분적으로 마이크로필러(112)를 활성화하기 위해 외부 소스에 의해 마이크로필러(112)로 전달되지 않고 있다. 이러한 상태에 있어서, 마이크로필러(112)의 자유 종단(116)은 실질적으로 광 검출기(106)의 FOV(118)와 정렬된다. 예컨대, 마이크로필러(112)의 자유 종단(116)의 축 중심(202)은 FOV(118)의 중심(204)과 정렬된다. 중립 상태(200)에서, 실질적으로 마이크로필러(112)의 고정 종단(114)으로 들어가는 모든 광은 마이크로필러(112)를 통해 전달되고 자유 종단(116)으로 나온다. 이어 광은 FOV(118)를 통해 전달되고, 광 검출기(106)는 광의 강도를 측정한다.
부분적으로 활성화된 상태(210)에 있어서, 외부 소스는 마이크로필러(112)의 부분적인 활성화를 야기시키도록 마이크로필러(112)로 충분한 양의 활성화 에너지를 전달한다. 이와 같이, 부분적으로 활성화된 상태(210)에서, 자유 종단(116)이 굽혀지고, 또는 고정되어, 자유 종단(116)의 축 중심(202)이 FOV(118)의 중심(204)과 정렬되지 않는다. 이와 같이, 마이크로필러(112)의 자유 종단(116)을 나오는 광의 일부 만이 FOV(118)를 통해 전달된다(예컨대, FOV(118)의 일측 내의 자유 종단(116)의 일부로부터의 광). FOV(118)의 외부측의 자유 종단(116)으로부터 전달된 광은 FOV(118)를 통해 전달되지 않고, 따라서 FOV(118)로부터 방출된 광의 강도를 변조(modulating)(예컨대, 감소)시킨다. 마찬가지로, 부분적으로 활성화된 상태(220)에서, 외부 소스는 상태(210)에 비해 마이크로필러(112)의 활성화를 더욱 야기시키기 위해 마이크로필러(112)로 충분한 양의 활성화 에너지를 전달하고 있다. 따라서, 더 작은 양의 광이 반투명 영역(semi-transparent area; 120)을 통해 자유 종단(116)으로부터 전달되고, 광의 강도를 더 감소시킨다.
완전하게 활성화된 상태가 일반적으로 230으로 표현된다. 완전하게 활성화된 상태(230)에서는, 외부 힘이 FOV(118)의 완전하게 외부측에서(예컨대, 완전하게 정렬을 벗어나) 자유 종단(116)을 굽히도록 충분한 에너지를 전달하고 있다. 이와 같이, 완전하게 활성화된 상태에서는 마이크로필러(112)의 자유 종단(116)에서 나오는 어떠한 광도 FOV(118)를 통해 전달되지 않는다.
몇몇 실시예에 있어서, 광 검출기(106)는 콘트롤러(108)로 광 강도 측정 데이터(light intensity measurement data)를 전달하도록 구성된다. 콘트롤러(108)는 광 검출기(106)에서 수신된 광 강도의 변경을 기초로 센서 어셈블리(100)에 인가된 힘을 결정한다. 힘을 결정함에 있어서, 콘트롤러(108)는 광원(102)의 광 강도를 위한 알려진 값과, 광 강도에서의 변경과 마이크로필러(112)의 하나에 대해 인가된 힘의 양 간의 관계를 이용한다.
도 3은 도 1에 도시된 센서 어셈블리(100)의 대안적 실시예(300)를 나타낸다. 센서 어셈블리(100)의 구성요소와 동일한, 센서 어셈블리(300)의 구성요소는 도 1에서 이용된 동일한 참조부호를 이용해서 도 3에서 식별된다.
예시적인 구현에 있어서, 센서 어셈블리(300)는 수직의 행 및 열을 갖춘 직사각형 격자 패턴(rectangular grid pattern)으로 배열된 다수의 마이크로필러(112)를 포함한다. 마이크로필러(112)는 다중 방향으로 광원(102)에 관하여 배열된다. 센서 어셈블리(300)는 또한 각 마이크로필러(112)의 자유 종단(116)에 인접하는 적어도 하나의 광 검출기(106)를 포함한다. 앞에서 설명한 바와 같이, 광 검출기(106)는 마이크로필러(112)가 외부 소스에 의해 활성화됨에 따라 광원(102)에 의해 방출된 광 에너지의 강도에서의 변경을 측정한다. 광 검출기(106)는 측정된 강도의 변경을 전기적 신호로 변환시키고 콘트롤러(108)로 신호를 전달한다. 도 3에 도시된 어레이로 마이크로필러(112) 및 관련된 광 검출기(106)를 위치시키는 것은 센서 어셈블리로 하여금 외부 소스로부터의 힘의 크기 및 방향 양쪽을 결정할 수 있도록 한다. 외부 소스로부터의 요란(disturbance)이 센서 어셈블리(300)를 통해 움직임에 따라, 그들의 위치결정(positioning) 때문에 여러 마이크로필러(112)의 움직임에서 지연이 존재한다. 각 마이크로필러(112)의 알려진 위치와의 조합에 있어서, 이러한 지연은 요란의 방향을 결정하기 위해 콘트롤러(108)에 의해 이용된다. 마이크로필러(112)의 양 및 그들이 채택된 방향이 증가함에 따라, 더욱 정밀하게 센서 어셈블리(300)가 감지 어레이(sensing array)와 관련하여 외부 소스의 방향을 위치시킬 수 있다.
도 4는 도 1에 도시된 센서 어셈블리(100)의 제2 대안적 실시예(400)를 나타낸다. 센서 어셈블리(100)의 구성요소와 동일한, 센서 어셈블리(400)의 구성요소는 도 1에서 이용된 것과 동일한 참조부호를 이용해서 도 4에서 식별된다. 예시적인 구현에 있어서, 센서 어셈블리(400)는 다른 길이들(L)을 갖춘 다수의 마이크로필러(112)를 포함한다. 마이크로필러(112)는 광 변조층(104)의 베이스부(110)의 고정 종단(114)으로부터 연장된다.
도 4에 도시된 구현은 인공 귀(artificial ear)로서 구현될 수 있다. 센서 어셈블리(400)는 생물학적 귀(biological ear)에서 생모(hairs)를 흉내낸다. 내이(inner ear)는, 중공(hollow)의, 측두골(temporal bone)에 매립된, 신체의 조밀한 뼈(densest bone)이다. 내이의 중공 채널(hollow channels)은 액체(liquid)로 채워지고, 생모 세포(hair cells)가 산재된 감각 상피(sensory epithelium)를 포함한다. 이들 세포의 현미경적인 "생모(hairs)"는 유체(fluid)로 돌출되는 구조적 단백질 필라멘트(structural protein filaments)이다. 생모 세포는 자극될 때 화학적 신경전달물질(chemical neurotransmitter)을 발산(release)하는 물리적자극 수용기(mechanoreceptors)이다. 유체를 통해 움직이는 음파는 필라멘트를 민다. 필라멘트가 충분히 굽혀지면, 생모 세포는 자극된다. 이러한 방법에 있어서, 음파는 신경 충격(nerve impulse)으로 변환된다.
현대 사회에서의 커다란 음(loud sounds), 예컨대 민간 생활에서의 음악 또는 군 복무에서의 폭발 때문에, 너무 많은 자극 후 이들 생모는 죽게 된다. 쇠약해진 귀를 대체하기 위한 알려진 설계는 오디오 입력에 대해 응답하는 겨우 64 엘리먼트만을 갖는 저 해상도(low resolution)이다, 센서 어셈블리(400)의 마이크로필러(112)는 다른 주파수에 대해 각각 응답하도록 다른 길이로 잘려지고 자연적으로 발생되는 내이 생모가 가능한 한 많이 굽혀진다. 광 검출기(106)에 의해 측정된 광의 변화는 음에 대해 전용되는 대뇌 피질(cerebral cortex)의 부분에 대해 유도되는 뇌 신경(cranial nerve)으로 공급되는 신호로 전환된다. 센서 어셈블리(400)는, 대략 8000으로 예상되는, 사람 귀의 생모 보다 가능한 한 많은 또는 더 많은 마이크로필러(112)를 채택할 수 있다. 포함된 더 많은 마이크로필러(112)는, 센서 어셈블리(400)에 의해 검출가능한 주파수 범위가 더 커지게 되면 인공 귀의 더 좋은 음질을 초래한다.
도 5는 도 1에 도시된 센서 어셈블리(100)의 제3 대안적 실시예(500)를 나타낸다. 센서 어셈블리(100)의 구성요소와 동일한, 센서 어셈블리(500)의 구성요소는 도 1에서 이용된 것과 동일한 구성요소를 이용해서 도 5에서 식별된다. 도 6은 센서 어셈블리(500)를 이용해서 수행된 DNA 분석의 오버헤드 뷰(600)이다.
예시적인 구현에 있어서, 코팅(코팅: 502)이 마이크로필러(112)에 적용된다. 코팅(502)은 마이크로필러(112)에 적용된 외부 샘플(602)과 반응하도록 구성된다. 샘플(602)은 다수의 물질(601, 603, 605, 607)을 포함한다. 다른 코팅(502)은 특정 적용을 기초로 다른 마이크로필러(112)에 적용될 수 있다. 몇몇 구현에 있어서, 반응(reaction)이 샘플(602) 및 코팅(502) 사이에서 유도된 전계 및/또는 자계에 의해 유도될 수 있다. 예컨대, 하나의 구현에 있어서, 물질(601, 603, 605, 607)은 포지티브 또는 네가티브 전하를 갖고 코팅(502)은 물질(601, 603, 605, 607)과는 반대 전하를 갖는다. 이와 같이, 샘플(602) 및 코팅(502)의 계(fields)는 물질(601, 603, 605, 607)에 대해 마이크로필러(112)를 끌어당기는 것을 용이하게 하여 마이크로필러(112)는 물질(601, 603, 605, 607)을 향해 굽혀진다. 코팅(502)과 물질(601, 603, 605, 607) 간의 끌어 당김의 강도는 얼마나 많은 마이크로필러(112)가 굽여지는가를 결정한다. 마이크로필러(112)를 통해 이동하는 광원(102)으로부터의 광의 적어도 일부가 광 검출기(106)로부터 떨어져 향한다. 몇몇의 광이 떨어져 향함에 따라, 광 검출기(106)에 의해 측정된 광의 강도가 시간 경과에 따라 변한다. 예시적인 구현에 있어서, 광 검출기(106)는 측정된 광 강도 및/또는 광 강도의 변화를 센서 어셈블리(100)에 인가되는 외부 힘을 나타내는 전기 신호로 변환시키도록 구성된다. 신호는 콘트롤러(108)로 전달될 수 있다.
도 6을 참조하면, DNA 서열(DNA strand; 604)은 샘플(602)을 포함하고 센서 어셈블리(500)를 이용해서 분석된다. 예시적인 구현에 있어서, DNA 서열(604)은 4개의 핵염기: 시토신(cytosine), 구아닌(guanine), 아데닌(adenine), 및 티민(thymine)을 포함한다. 몇몇 마이크로필러(112)는 아데닌으로 코팅되고 다른 마이크로필러(112)는 시토닌으로 코팅된다.
동작에 있어서, DNA 서열(604)은 베이스부(110) 상에서 마이크로필러(112)의 정렬에 대해 실질적으로 수직인 방향으로 움직여진 과거 마이크로필러(112)이다. 코팅(502)이 특정 핵염기와 상호작용함에 따라, 마이크로필러(112)가 활성화되어 코팅(502)과 DNA 서열(604) 사이에서 끌어당김/반발(attraction/repulsion)의 레벨에 비례하여 굽혀진다. 마이크로필러(112)의 (도 2에 도시된) 축 중심(202)이 광 검출기(106)의 (도 2에 도시된) FOV(118)의 중심(204)에 관하여 움직임에 따라 광 검출기(106)는 광원(102)으로부터의 광 에너지의 강도의 변화를 측정한다.
여기서 이용된 바와 같이, 용어 콘트롤러는, 컴퓨터 프로세서 또는 처리 장치(도시되지 않았음)를 포함할 수 있는, 전자 콘트롤러로 언급될 수 있다. 프로세서는 일반적으로, 예컨대 데이터, 컴퓨터-판독가능 프로그램 코드, 명령 등(일반적으로 "컴퓨터 프로그램", 예컨대 소프트웨어, 펌웨어 등), 및/또는 다른 적절한 전자적 정보와 같은 정보를 처리할 수 있는 소정 개의 하드웨어이다. 예컨대, 프로세서는, 프로세서에 탑재되어 저장되거나 그렇지 않으면 관련된 메모리(도시되지 않았음)에 저장될 수 있는, 컴퓨터 프로그램 또는 명령을 실행하도록 구성될 수 있다. 또 다른 예에 있어서, 프로세서는 하나 이상의 ASIC(application-specific integrated circuits), FPGA(field-programmable gate arrays) 등으로 매립되거나 그렇지 않으면 포함할 수 있다. 따라서, 프로세서가 하나 이상의 기능을 수행하도록 컴퓨터 프로그램을 실행할 수 있음에도 불구하고, 다양한 예의 프로세서가 컴퓨터 프로그램의 도움 없이 하나 이상의 기능을 수행할 수 있다. 여기서 이용된 바와 같이, 전자장치 또는 컴퓨터 메모리는 일반적으로 데이터, 컴퓨터 프로그램 및/또는 잠재적 기반 또는 영구적 기반 상의 다른 적절한 정보와 같은 정보를 저장할 수 있는 소정 개의 하드웨어이다. 하나의 예에 있어서, 메모리는 하나 이상의 데이터베이스에 다양한 정보를 저장하도록 구성될 수 있다. 메모리는 휘발성 및/또는 비휘발성 메모리를 포함할 수 있고, 고정 또는 제거가능할 수 있다. 적절한 메모리의 예는 RAM(random access memory), ROM(read-only memory), 하드 드라이브(hard drive), 플래시 메모리(flash memory), 썸 드라이브(thumb drive), 제거가능 컴퓨터 디스켓(removable computer diskette), 광학 디스크(optical disk), 자기 테이프(magnetic tape) 또는 상기의 몇몇 조합을 포함한다. 광학 디스크는 CD-ROM(compact disk read-only-memory), CD-R/W(compact disk read/write memory), DVD(digital video disk memory) 등을 포함할 수 있다. 다양한 예에 있어서, 메모리는, 정보를 저장할 수 있는 비-일시적 장치(non-transitory device)로서, 컴퓨터-판독가능 저장 매체로 언급될 수 있고, 하나의 위치에서 다른 위치로 정보를 운반할 수 있는 전자적인 일시적 신호와 같은 컴퓨터-판독가능 전달 매체와는 구별될 수 있다. 여기서 개시된 바와 같이, 컴퓨터-판독가능 매체는 일반적으로 컴퓨터-판독가능 저장 매체 또는 컴퓨터-판독가능 전달 매체로 언급될 수 있다.
이러한 기록된 설명은, 최상의 모드를 포함하는, 구현을 개시하고, 또한 소정의 장치 및 시스템을 만드는 것 및 이용하는 것과, 또한 당업자가, 소정의 구체화된 방법을 수행하는 것을 포함하는, 구현을 실시하도록 할 수 있게 하기 위해 예들을 이용한다. 본 발명의 특허가능 범위는 청구항들에 의해 정의되고, 당업자에 대해 야기되는 다른 예를 포함할 수 있다. 이러한 다른 예는, 청구항들의 문자 언어와 다르지 않는 구조적 엘리먼트를 갖추면, 또는 청구항들의 문자 언어와 비현실적 차이를 갖는 균등 구조적 엘리먼트를 포함하면, 청구항의 범위 내에서 의도된다.

Claims (15)

  1. 센서 어셈블리(300)가:
    광원(102)과;
    고정 종단(114)과 자유 종단(116)을 각각 구비하는 다수의 마이크로필러를 포함하는, 상기 고정 종단의 각각이 상기 광원에 인접하는, 광 변조층(104);
    상기 다수의 자유 종단에 인접하는, 상기 광원으로부터 방출된 광을 검출하도록 구성된, 적어도 하나 광 검출기(106), 상기 광 변조층(104)이 제1 세트의 마이크로필러(112)와 제2 세트의 마이크로필러(112)를 구비하여 구성되고, 상기 제1 세트의 마이크로필러가 상기 제2 세트의 마이크로필러에 대해 실질적으로 수직으로 방향지워지고; 및
    콘트롤러(108);를 구비하여 구성되고,
    센서 어셈블리(300)가 각 마이크로필러(112)의 상기 자유 종단(116)에 인접하는 적어도 하나의 광 검출기(106)를 포함하고;
    상기 콘트롤러(108)가 상기 다수의 마이크로필러(112)의 각각에 인가된 외부 힘의 크기 및 방향을 결정하도록 구성되는 것을 특징으로 하는 센서 어셈블리.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 다수의 마이크로필러(112)가 상기 광원(102)으로부터 방출된 광의 방향에 대해 실질적으로 평행하게 방향지워지는 것을 특징으로 하는 센서 어셈블리.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 광원(102)이 상기 다수의 마이크로필러(112)의 각각을 통해 광 에너지를 향하게 하여 상기 적어도 하나 광 검출기(106)를 향하는 것을 특징으로 하는 센서 어셈블리.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 적어도 하나 광 검출기(106)가 상기 다수의 마이크로필러(112)를 통해 지나가는 상기 광 에너지의 특성을 검출하도록 구성되는 것을 특징으로 하는 센서 어셈블리.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 적어도 하나의 광 검출기(106)가 상기 적어도 하나의 광 검출기에서 광 강도의 변화를 기초로 상기 다수의 마이크로필러(112)의 움직임을 검출하도록 구성되는 것을 특징으로 하는 센서 어셈블리.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 적어도 하나의 광 검출기(106)가 상기 센서 어셈블리에 인가된 외부 힘을 나타내는 신호를 발생시키도록 구성되는 것을 특징으로 하는 센서 어셈블리.
  7. 제5항 또는 제6항에 있어서,
    상기 센서 어셈블리에 인가된 힘이 상기 적어도 하나의 광 검출기(106)에 의해 측정된 광 강도의 변화를 기초로 결정되는 것을 특징으로 하는 센서 어셈블리.
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