KR101901212B1 - Heat-driving switch structure and method for manufacturing the same - Google Patents

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KR101901212B1
KR101901212B1 KR1020170067923A KR20170067923A KR101901212B1 KR 101901212 B1 KR101901212 B1 KR 101901212B1 KR 1020170067923 A KR1020170067923 A KR 1020170067923A KR 20170067923 A KR20170067923 A KR 20170067923A KR 101901212 B1 KR101901212 B1 KR 101901212B1
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조일주
채의규
임혜인
우지완
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한국과학기술연구원
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Abstract

A switch structure comprises: an anchor unit including a first anchor structure connected to a contact control electrode installed on a substrate, and a second anchor structure connected to a separation control electrode installed on the substrate; a body unit including a first driving body connected to the first anchor structure and modified to access the substrate in heating, a second driving body connected to the second anchor structure and modified to be separated from the substrate in heating, and a connector connecting the first and second driving bodies to be insulated while modifying the first and second driving bodies by modifications of the first and second driving bodies; and a contact unit with a conductive material provided in the contactor, and forming an electric connection by being in contact with a signal electrode installed on the substrate. The contact unit is in contact with or is separated from the signal electrode by modifying any one of either the first driving body or the second driving body through heating.

Description

열구동 스위치 구조체 및 그 제조 방법{HEAT-DRIVING SWITCH STRUCTURE AND METHOD FOR MANUFACTURING THE SAME}TECHNICAL FIELD [0001] The present invention relates to a heat-driven switch structure and a method of manufacturing the same,

본 발명은 열구동 스위치 구조체 및 그 제조 방법에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 열에 의해 변형되도록 형성되어 회로를 스위칭하도록 제어되는 스위치 구조체 및 그 제조 방법에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a heat-driven switch structure and a method of manufacturing the same, and more particularly, to a switch structure formed to be deformed by heat and controlled to switch a circuit and a method of manufacturing the same.

최근 각광받는 사물 인터넷(internet of things) 분야에서, 각종 전자 제품에 고주파수의 다중 대역 통신칩이 필요함에 따라, 고주파수에서 신호 손실이 매우 높은 전자적인 스위치를 대신할 수 있는 기계적인 스위치에 대한 요구가 증가하고 있다.BACKGROUND ART In recent years, in the field of internet of things, a demand for a mechanical switch capable of replacing an electronic switch with a high signal loss at a high frequency is required because various electronic products require a high frequency multi-band communication chip .

기계적인 스위치의 경우, 스위칭을 위한 스위치와 전극 간의 접촉에 있어서, 강성이 높은 스위치와 전극 간에 접촉이 이루어질 경우, 면적이 좁은 점의 형태로 접촉이 이루어짐에 따라 접촉 저항이 높아지는 문제점이 있다. 접촉 저항이 높아질 경우 발생열에 의해 스위치와 전극이 서로 달라붙을 수 있으며, 상대적으로 전류의 세기가 큰 신호를 처리하기 곤란하다.In the case of a mechanical switch, when a contact between a switch and an electrode for switching is made between a switch having a high rigidity and an electrode, the contact resistance is increased as the contact is made in the form of a narrow area. When the contact resistance is high, the switch and the electrode may stick to each other due to heat generated, and it is difficult to process a signal having a relatively high current intensity.

한편, 열 방식으로 구동하는 스위치가 개발되었다. 서로 다른 열팽창계수를 가지는 두 재료가 일체로 결합된 상태에서 열이 전달되면, 상대적으로 열팽창계수가 높은 부분이 더 많이 변형되어 열팽창계수가 낮은 부분쪽으로 휘어지게 된다. 이러한 현상을 이용하여 스위치에 전류를 흘려 발생하는 열에 의해 스위치를 변형시킴으로써 스위치를 구동시킬 수 있다.On the other hand, a switch driven by a thermal method has been developed. When heat is transferred in a state where two materials having different thermal expansion coefficients are integrally bonded, a portion having a relatively high thermal expansion coefficient is further deformed and bent toward a portion having a low thermal expansion coefficient. Using this phenomenon, the switch can be driven by deforming the switch by heat generated by flowing a current to the switch.

이러한 열구동 스위치를 이용하면서 스위치와 전극의 접촉 및 분리를 더욱 용이하게 구현할 수 있는 스위치 구조체가 요구된다.There is a need for a switch structure which can more easily realize contact and separation between a switch and an electrode while using such a heat-driven switch.

미국 등록 특허 공보 제6504118호 (2003. 3. 4)US Patent Publication No. 6504118 (March 4, 2003)

본 발명은 전술한 스위치 구조체의 문제점을 해결하고자 안출된 것으로, 가열되어 전극을 향하여 변형되는 구동체와, 가열되어 전극으로부터 이격되도록 변형되는 구동체가 결합된 몸체부를 포함하여 열구동에 의해 스위치의 온오프 동작을 모두 수행하며, 접촉 시 구동체와 전극 간의 정전력을 이용하여 접촉 상태를 유지할 수 있는 스위치 구조체 및 그 제조 방법을 제공함에 그 목적이 있다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been conceived to solve the problems of the above-described switch structure. The present invention provides a switch structure including a body that is combined with a driving body that is heated and deformed toward an electrode and a driving body that is heated and deformed to be separated from the electrode, Off operation of the switch body, and can maintain the contact state by using the electrostatic force between the driving body and the electrode at the time of contact, and a manufacturing method thereof.

본 발명의 과제는 이상에서 언급한 과제로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 과제들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.The problems of the present invention are not limited to the above-mentioned problems, and other problems not mentioned can be clearly understood by those skilled in the art from the following description.

상기 과제를 해결하기 위한 본 발명의 일 실시예에 따른 스위치 구조체는 기판 상에 설치된 접촉 제어 전극과 연결되는 제1 앵커 구조체와, 상기 기판 상에 설치된 분리 제어 전극과 연결되는 제2 앵커 구조체를 포함하는 앵커부; 상기 제1 앵커 구조체와 연결되며, 가열 시 상기 기판에 접근하도록 변형되는 제1 구동체와, 상기 제2 앵커 구조체와 연결되며, 가열 시 상기 기판으로부터 이격되도록 변형되는 제2 구동체와, 상기 제1 구동체와 상기 제2 구동체가 각각 서로의 변형에 의해 변형 가능하되 절연되도록 상기 제1 구동체와 상기 제2 구동체를 연결시키는 연결체를 포함하는 몸체부; 및 상기 연결체에 구비되고, 전도성 재질로 이루어져 상기 기판 상에 설치된 신호 전극과 접촉하여 전기적인 연결을 형성하는 접촉부를 포함하며, 상기 제1 구동체 및 상기 제2 구동체 중 어느 하나가 가열되어 변형됨에 따라 상기 접촉부가 상기 신호 전극과 접촉되거나 분리된다.According to an aspect of the present invention, there is provided a switch structure including a first anchor structure connected to a contact control electrode provided on a substrate, and a second anchor structure connected to a separation control electrode provided on the substrate Anchor portion; A first driving body connected to the first anchor structure and deformed to approach the substrate upon heating, a second driving body connected to the second anchor structure and deformed to be spaced apart from the substrate upon heating, And a connecting body for connecting the first driving body and the second driving body such that the first driving body and the second driving body are deformable by mutual deformation and are insulated from each other; And a contact portion which is provided on the connection member and is made of a conductive material and contacts the signal electrode provided on the substrate to form an electrical connection, wherein one of the first driver and the second driver is heated The contact portion is brought into contact with or separated from the signal electrode.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 제1 구동체는 상기 제1 앵커 구조체로부터 연장 형성되는 제1 변형부재와, 상기 제1 변형부재의 자유 단부에 구비되는 제1 연결부재를 포함하고, 상기 제2 구동체는 상기 제2 앵커 구조체로부터 연장 형성되는 제2 변형부재와, 상기 제2 변형부재의 자유 단부에 구비되는 제2 연결부재를 포함할 수 있다.According to an embodiment of the present invention, the first actuator includes a first deformable member extending from the first anchor structure, and a first connecting member provided at a free end of the first deformable member, The second driving body may include a second deformable member extending from the second anchor structure and a second connecting member provided at a free end of the second deformable member.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 제1 구동체는 서로 평행하게 배치되는 두 개의 상기 제1 변형부재를 포함하고, 상기 제1 연결부재는 두 개의 상기 제1 변형부재 각각의 자유 단부를 연결시키며, 상기 제2 구동체는 서로 평행하게 배치되는 두 개의 상기 제2 변형부재를 포함하고, 상기 제2 연결부재는 두 개의 상기 제2 변형부재 각각의 자유 단부를 연결시키며, 상기 제1 변형부재와 상기 제2 변형부재는 서로 평행하게 배치될 수 있다.According to an embodiment of the present invention, the first driving body includes two first deformable members disposed in parallel with each other, and the first connecting member connects the free ends of each of the two first deformable members Wherein the second actuating member includes two second deformable members arranged in parallel to each other and the second connecting member connects the free ends of the two second deformable members, And the second deformable member may be disposed parallel to each other.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 두 개의 상기 제2 변형부재는 두 개의 상기 제1 변형부재의 사이에 배치되며, 상기 제1 연결부재는 상기 제2 연결부재보다 자유단 측에 더 가까이 배치될 수 있다.According to an embodiment of the present invention, two of the second deformable members are disposed between the two first deformable members, and the first connecting member is disposed closer to the free end side than the second connecting member .

본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 연결체는 상기 제1 구동체와 상기 제2 구동체 간의 열전달을 차단할 수 있다.According to an embodiment of the present invention, the connecting body may block heat transfer between the first driving body and the second driving body.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 접촉부는 상기 기판을 향하여 돌출 형성된 돌출부를 포함할 수 있다.According to an embodiment of the present invention, the contact portion may include a protrusion protruding toward the substrate.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 제1 연결부재는, 기판 상에 설치된 접지 전극의 상측에 배치될 수 있다.According to an embodiment of the present invention, the first connection member may be disposed above the ground electrode provided on the substrate.

상기 과제를 해결하기 위한 본 발명의 다른 실시예에 따른 스위치 구조체 제조방법은 기판 상에 설치된 접촉 제어 전극, 분리 제어 전극 및 신호 전극을 덮도록 희생층을 형성하는 단계; 상기 신호 전극 상방의 상기 희생층 상에 전도성 재료를 증착시켜 접촉부를 형성하는 단계; 상기 접촉 제어 전극 및 상기 분리 제어 전극 상방의 상기 희생층을 제거하고 상기 접촉 제어 전극과 상기 분리 제어 전극 상에 각각 제1 앵커 구조체 및 제2 앵커 구조체를 형성하는 단계; 상기 제2 앵커 구조체와 연결되며, 가열 시 상기 기판에 접근하도록 변형되는 제2 구동체를 상기 희생층 상에 형성하는 단계; 상기 제2 구동체, 상기 접촉부 및 상기 희생층 상에 연결체를 형성하는 단계; 상기 연결체 상에 상기 제1 앵커 구조체와 연결되며 가열 시 상기 기판으로부터 이격되도록 변형되는 제1 구동체를 형성하는 단계; 및 상기 희생층을 제거하는 단계를 포함하며, 상기 연결체는 상기 제1 구동체와 상기 제2 구동체가 각각 서로의 변형에 의해 변형 가능하되 절연되도록 상기 제1 구동체와 상기 제2 구동체를 연결시키며, 상기 제1 구동체 및 상기 제2 구동체 중 어느 하나가 가열되어 변형됨에 따라 상기 접촉부가 상기 신호 전극과 접촉되거나 분리된다.According to another aspect of the present invention, there is provided a method of fabricating a switch structure, including: forming a sacrificial layer covering a contact control electrode, a separation control electrode, and a signal electrode on a substrate; Depositing a conductive material on the sacrificial layer above the signal electrode to form a contact portion; Removing the sacrificial layer above the contact control electrode and the isolation control electrode and forming a first anchor structure and a second anchor structure on the contact control electrode and the isolation control electrode, respectively; Forming a second actuator on the sacrificial layer, the second actuator being connected to the second anchor structure and deforming to approach the substrate upon heating; Forming a connecting body on the second driving body, the contact portion, and the sacrificial layer; Forming a first driving body connected to the first anchor structure on the connection body and deformed to be spaced apart from the substrate upon heating; And removing the sacrificial layer, wherein the first driving body and the second driving body are deformable by mutual deformation of the first driving body and the second driving body so as to be insulated from each other, And the contact portion is brought into contact with or separated from the signal electrode as one of the first driver and the second driver is heated and deformed.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 스위치 구조체의 개략적인 사시도이다.
도 2는 A-A선에 따른 도 1의 스위치 구조체의 개략적인 측단면도이다.
도 3은 본 발명의 다른 실시예에 따른 스위치 구조체 제조 방법의 각 단계를 나타내는 흐름도이다.
도 4a 내지 도 4h는 A-A선 및 B-B선에 따른 도 1의 스위치 구조체의 각 제조 단계에서의 상태를 도시하는 개략적인 측단면도이다.1 is a schematic perspective view of a switch structure according to an embodiment of the present invention.
2 is a schematic side cross-sectional view of the switch structure of FIG. 1 taken along line AA.
3 is a flow chart showing each step of a method of manufacturing a switch structure according to another embodiment of the present invention.
4A to 4H are schematic side cross-sectional views showing states of the switch structure of FIG. 1 at each manufacturing step according to the AA line and the BB line.

이하, 첨부된 도면을 참고로 하여 본 발명의 일 실시예에 따른 스위치 구조체에 대해 설명하기로 한다.Hereinafter, a switch structure according to an embodiment of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.

스위치 구조체(100)는 분리된 신호 전극(21)을 전기적으로 연결하거나 차단되도록 구성된다. 즉, 스위치 구조체(100)의 개폐 동작에 의해 신호 전극(21)으로의 전류 흐름을 제어할 수 있다.The switch structure 100 is configured to electrically connect or disconnect the separated signal electrodes 21. That is, the current flow to the signal electrode 21 can be controlled by opening / closing operation of the switch structure 100.

신호 전극(21) 및 접지 전극(22a, 22b)은 기판(40) 상에 설치된다. 스위치 구조체(100)에 제어 신호를 전달하는 접촉 제어 전극(11a, 11b)　및 분리 제어 전극(12a, 12b) 또한 기판(40) 상에 설치된다.The signal electrode 21 and the ground electrodes 22a and 22b are provided on the substrate 40. [ Contact control electrodes 11a and 11b and separation control electrodes 12a and 12b for transferring a control signal to the switch structure 100 are also provided on the substrate 40. [

이러한 전극들은 고주파수 회로 상에 배치되는 전극일 수 있다. 본 실시예에서, 스위치 구조체(100)는 이러한 고주파수 회로를 스위칭하는 미세 전자 기계 시스템(microelectromechanical system, MEMS) 스위치일 수 있다.These electrodes may be electrodes disposed on the high frequency circuit. In this embodiment, the switch fabric 100 may be a microelectromechanical system (MEMS) switch that switches these high frequency circuits.

기판(40)은 절연층(50)으로 코팅될 수 있다. 이로써, 전극들은 절연층(50) 상에 서로 분리된 상태로 설치될 수 있다. 절연층(50)은 실리콘 산화물로 이루어질 수 있다.The substrate 40 may be coated with an insulating layer 50. As a result, the electrodes can be installed on the insulating layer 50 separately from each other. The insulating layer 50 may be made of silicon oxide.

스위치 구조체(100)는 앵커부(110)와, 몸체부(120)와, 접촉부(130)를 포함한다.The switch structure 100 includes an anchor portion 110, a body portion 120, and a contact portion 130.

앵커부(110)는 제1 앵커 구조체(111)와, 제2 앵커 구조체(112)를 포함한다.The anchor portion 110 includes a first anchor structure 111 and a second anchor structure 112.

제1 앵커 구조체(111)는 접촉 제어 전극(11a, 11b)과 연결된다. 제1 앵커 구조체(111)는 접촉 제어 전극(11a, 11b) 상에 형성되어, 접촉 제어 전극(11a, 11b)과 전기적으로도 연결될 수 있다.The first anchor structure 111 is connected to the contact control electrodes 11a and 11b. The first anchor structure 111 is formed on the contact control electrodes 11a and 11b and can be electrically connected to the contact control electrodes 11a and 11b.

제2 앵커 구조체(112)는 분리 제어 전극(12a, 12b)과 연결된다. 제2 앵커 구조체(112)는 분리 제어 전극(12a, 12b) 상에 형성되어, 분리 제어 전극(12a, 12b)과 전기적으로도 연결될 수 있다.The second anchor structure 112 is connected to the separation control electrodes 12a and 12b. The second anchor structure 112 is formed on the separation control electrodes 12a and 12b and can be electrically connected to the separation control electrodes 12a and 12b.

제1 앵커 구조체(111)와 제2 앵커 구조체(112)는 일렬로 배치될 수 있다. 도시된 바와 같이, 접촉 제어 전극(11a, 11b)과 분리 제어 전극(12a, 12b)이 일렬로 배열되고, 각각의 전극 위에 제1 앵커 구조체(111)와 제2 앵커 구조체(112)가 형성될 수 있다.The first anchor structure 111 and the second anchor structure 112 may be arranged in a line. As shown in the figure, the contact control electrodes 11a and 11b and the separation control electrodes 12a and 12b are arranged in a line, and the first anchor structure 111 and the second anchor structure 112 are formed on the respective electrodes .

제2 앵커 구조체(112)는 제1 앵커 구조체들(111) 사이에 배치될 수 있다. 접촉 제어 전극(11a, 11b)의 양극과 음극 사이에 분리 제어 전극(12a, 12b)의 양극과 음극이 배치될 수 있다.The second anchor structure 112 may be disposed between the first anchor structures 111. The positive and negative electrodes of the separation control electrodes 12a and 12b may be disposed between the positive and negative electrodes of the contact control electrodes 11a and 11b.

일렬로 배치되도록 형성된 앵커부(110)에 몸체부(120)에 연결됨으로써 몸체부(120)에 의한 스위칭 동작이 단순하고 정확해질 수 있다. 특히, 이하에서 설명되는 바와 같이, 서로 다른 방향으로 변형되는 제1 구동체(121)와 제2 구동체(122)가 서로의 변형에 의하여 함께 변형될 수 있다.The switching operation by the body part 120 can be simple and accurate by being connected to the body part 120 by the anchor part 110 formed to be arranged in a row. In particular, as described below, the first driving body 121 and the second driving body 122, which are deformed in different directions, can be deformed together by deformation of each other.

몸체부(120)는 제1 구동체(121)와, 제2 구동체(122)와, 연결체(123)를 포함한다.The body 120 includes a first driving body 121, a second driving body 122, and a connecting body 123.

제1 구동체(121)는 제1 앵커 구조체(111)로부터 연장 형성되는 제1 변형부재(121a)와, 제1 변형부재(121a)의 자유 단부에 구비되는 제1 연결부재(121b)를 포함한다.The first driving body 121 includes a first deforming member 121a extending from the first anchor structure 111 and a first connecting member 121b provided at a free end of the first deforming member 121a do.

제1 구동체(121)의 일단부는 제1 앵커 구조체(111)에 연결되어 지지되며, 제1 구동체(121)의 타단부는 제1 구동체(121)의 변형에 의해 상하로 이동할 수 있다.One end of the first driving body 121 is connected to and supported by the first anchor structure 111 and the other end of the first driving body 121 can move up and down by the deformation of the first driving body 121 .

제1 변형부재(121a)는 기판(40)과 평행하게 연장될 수 있다. 또한, 제1 변형부재(121a)는 앵커 구조체들(111, 112)의 배열 방향에 대해 수직한 방향으로 연장될 수 있다.The first deformable member 121a may extend parallel to the substrate 40. [ In addition, the first deformable member 121a may extend in a direction perpendicular to the direction in which the anchor structures 111 and 112 are arranged.

한편, 두 개의 제1 변형부재(121a)는 서로 평행하게 배치될 수 있다. 두 개의 제1 앵커 구조체(111)로부터 각각 연장된 제1 변형부재들(121a)에 의해 변형 방향에 대하여 수직한 방향으로 대칭적으로 지지될 수 있다.On the other hand, the two first deformable members 121a may be arranged parallel to each other. And can be symmetrically supported by the first deformable members 121a extending from the two first anchor structures 111 in a direction perpendicular to the direction of deformation.

제1 연결부재(121b)는 두 개의 제1 변형부재(121a) 각각의 자유 단부를 연결시킬 수 있다. 제1 변형부재(121a)가 제1 연결부재(121b)에 의해 연결됨에 따라 접촉 제어 전극(11a, 11b)으로부터 제1 구동체(121)를 통해 전류가 흐를 수 있다.The first connecting member 121b may connect the free ends of the two first deformable members 121a. A current can flow from the contact control electrodes 11a and 11b through the first driving body 121 as the first deformable member 121a is connected by the first connecting member 121b.

제1 구동체(121)는 가열 시 기판(40)에 접근하도록 변형된다. 제1 변형부재(121a)의 상부는 열팽창계수가 상대적으로 높은 재질로 이루어지고, 제1 변형부재(121a)의 하부는 열팽창계수가 상대적으로 낮은 재질로 이루어짐으로써, 가열됨에 따라 제1 구동체(121)는 제1 연결부재(121b)가 기판(40)을 향하여 이동하도록 변형될 수 있다.The first driving body 121 is deformed to approach the substrate 40 when heated. The upper portion of the first deformable member 121a is made of a material having a relatively high thermal expansion coefficient and the lower portion of the first deformable member 121a is made of a material having a relatively low thermal expansion coefficient, 121 may be deformed so that the first connecting member 121b moves toward the substrate 40. [

제2 구동체(122)는 제2 앵커 구조체(112)로부터 연장 형성되는 제2 변형부재(122a)와, 제2 변형부재(122a)의 자유 단부에 구비되는 제2 연결부재(122b)를 포함한다.The second driving body 122 includes a second deforming member 122a extended from the second anchor structure 112 and a second connecting member 122b provided at the free end of the second deforming member 122a do.

제2 구동체(122)의 일단부는 제2 앵커 구조체(112)에 연결되어 지지되며, 제2 구동체(122)의 타단부는 제2 구동체(122)의 변형에 의해 상하로 이동할 수 있다.One end of the second driving body 122 is connected to and supported by the second anchor structure 112 and the other end of the second driving body 122 can move up and down by the deformation of the second driving body 122 .

제2 변형부재(122a)는 기판(40)과 평행하게 연장될 수 있다. 또한, 제2 변형부재(122a)는 앵커 구조체들(111, 112)의 배열 방향에 대해 수직한 방향으로 연장될 수 있다.The second deformable member 122a may extend parallel to the substrate 40. [ In addition, the second deformable member 122a may extend in a direction perpendicular to the direction in which the anchor structures 111 and 112 are arranged.

한편, 두 개의 제2 변형부재(122a)는 서로 평행하게 배치될 수 있다. 두 개의 제2 앵커 구조체(112)로부터 각각 연장된 제2 변형부재들(122a)에 의해 변형 방향에 대하여 수직한 방향으로 대칭적으로 지지될 수 있다.On the other hand, the two second deformable members 122a may be arranged parallel to each other. And can be symmetrically supported in the direction perpendicular to the direction of deformation by the second deformable members 122a extending from the two second anchor structures 112, respectively.

제2 연결부재(122b)는 두 개의 제2 변형부재(122a) 각각의 자유 단부를 연결시킬 수 있다. 제2 변형부재(122a)가 제2 연결부재(122b)에 의해 연결됨에 따라 분리 제어 전극(12a, 12b)으로부터 제2 구동체(122)를 통해 전류가 흐를 수 있다.The second connecting member 122b may connect the free ends of the two second deformable members 122a. Current can flow from the separation control electrodes 12a and 12b through the second driving body 122 as the second deformable member 122a is connected by the second connection member 122b.

제2 구동체(122)는 가열 시 기판(40)으로부터 이격되도록 변형된다. 제2 변형부재(122a)의 상부는 열팽창계수가 상대적으로 낮은 재질로 이루어지고, 제2 변형부재(122a)의 하부는 열팽창계수가 상대적으로 높은 재질로 이루어짐으로써, 가열됨에 따라 제2 구동체(122)는 제2 연결부재(122b)가 기판(40)으로부터 이격되도록 변형될 수 있다.The second driving body 122 is deformed to be spaced apart from the substrate 40 during heating. The upper portion of the second deformable member 122a is made of a material having a relatively low coefficient of thermal expansion and the lower portion of the second deformable member 122a is made of a material having a relatively high thermal expansion coefficient, 122 may be deformed such that the second connecting member 122b is spaced from the substrate 40. [

제1 변형부재(121a)와 제2 변형부재(122b)는 서로 평행하게 배치될 수 있다. 이로써, 변형부재들(121a, 122a) 중 어느 하나가 가열되어 변형될 때, 다른 하나가 함께 동일한 방향으로 변형됨과 동시에, 앵커 구조체들(111, 112)에 의해 지지될 수 있다.The first deformable member 121a and the second deformable member 122b may be disposed parallel to each other. As a result, when one of the deformable members 121a and 122a is heated and deformed, the other deformed in the same direction together and can be supported by the anchor structures 111 and 112. [

두 개의 제2 변형부재(122a)는 두 개의 제1 변형부재(121a) 사이에 배치될 수 있다. 즉, 제2 변형부재(122a)와 제2 연결부재(122b)가 이루는 U자 형상의 구조는 제1 변형부재(121a)와 제1 연결부재(121b)가 이루는 U자 형상의 구조 내측에 배치될 수 있다. 이때, 제1 연결부재(121b)는 제2 연결부재(122b)보다 자유단 측에 더 가까이 배치될 수 있다.The two second deformable members 122a may be disposed between the two first deformable members 121a. That is, the U-shaped structure formed by the second deformable member 122a and the second connecting member 122b is disposed inside the U-shaped structure formed by the first deformable member 121a and the first connecting member 121b . At this time, the first linking member 121b may be disposed closer to the free end side than the second linking member 122b.

각각의 변형부재들(121a, 122a)의 각각의 쌍의 중심선에 대해 제1 구동체(121) 및 제2 구동체(122)가 대칭적으로 배치됨으로써, 제1 구동체(121)에 의한 변형과 제2 구동체(122)에 의한 변형이 동일한 평면 상에서 이루어질 수 있다. The first driving body 121 and the second driving body 122 are symmetrically arranged with respect to the center line of each pair of the respective deformable members 121a and 122a so that the deformation by the first driving body 121 And the deformation caused by the second driving body 122 can be made on the same plane.

또한, 제2 구동체(122)가 제1 구동체(121) 내측에 배치됨으로써, 어느 하나의 구동체에 의한 변형이 다른 구동체에 효과적으로 전달될 수 있으며, 특히, 변형에 더 큰 힘이 요구되는 기판(40)을 향해 접근하는 방향으로의 변형이 이격 방향으로의 변형에 의해 더 크게 생성될 수 있다.Further, since the second driving body 122 is disposed inside the first driving body 121, the deformation caused by one of the driving bodies can be effectively transmitted to the other driving body, and in particular, The deformation in the direction of approaching toward the substrate 40 can be made larger by the deformation in the spacing direction.

이와 같이, 스위치 온오프 방향 각각에 대한 구동이 제1 구동체(121) 및 제2 구동체(122) 각각에 의해 이루어짐으로써, 스위칭 및 복원에 대한 신뢰성을 증대시킬 수 있다.As described above, since the driving for each of the switch on and off directions is performed by the first driving body 121 and the second driving body 122, the reliability for switching and restoration can be increased.

제1 구동체(121)와 제2 구동체(122)는 연결체(123)에 의해 연결된다. 연결체(123)는 제1 구동체(121)와 제2 구동체(122)가 각각 서로의 변형에 의해 변형 가능하되 절연되도록 제1 구동체(121) 및 제2 구동체(122)를 연결시킨다.The first driving body 121 and the second driving body 122 are connected by a connecting body 123. The connecting body 123 connects the first driving body 121 and the second driving body 122 so that the first driving body 121 and the second driving body 122 can be deformed by mutual deformation, .

연결체(123)는 도시된 바와 같이 제2 구동체(122)의 상면과, 제1 구동체(121)의 하면과, 제1 구동체(121) 및 제2 구동체(122) 사이에 배치되도록 형성될 수 있다. 연결체(123)는 제2 연결부재(122b)의 상면과, 제1 연결부재(121b)의 하면에 결합되도록 제1 연결부재(121b)와 제2 연결부재(122b) 사이에서 절곡된 형태로 형성될 수 있다.The connecting body 123 is disposed between the upper surface of the second driving body 122 and the lower surface of the first driving body 121 and between the first driving body 121 and the second driving body 122 . The connecting member 123 is bent in an upper surface of the second connecting member 122b and between the first connecting member 121b and the second connecting member 122b so as to be coupled to the lower surface of the first connecting member 121b .

연결체(123)는 제1 구동체(121)와 제2 구동체(122) 간의 열전달을 차단함으로써, 제1 구동체(121) 및 제2 구동체(122) 중 어느 하나가 가열되어 변형될 때, 다른 하나 또한 가열됨으로써 서로 다른 방향으로의 변형이 동시에 발생하는 것을 방지하는 것이 바람직하다.The connecting body 123 blocks heat transfer between the first driving body 121 and the second driving body 122 so that any one of the first driving body 121 and the second driving body 122 is heated and deformed It is desirable to prevent the other one from being simultaneously deformed in different directions by being heated.

이와 같이, 연결체(123)는 제1 구동체(121)와 제2 구동체(122)가 각각 서로의 변형에 의해 변형 가능하되, 제1 구동체(121)와 제2 구동체(122) 각각에 흐르는 전류가 분리되기 위하여 서로 절연되도록 제1 구동체(121)와 제2 구동체(122)를 연결시킨다.The first driving body 121 and the second driving body 122 can be deformed by mutual deformation of each other and the first driving body 121 and the second driving body 122 can be deformed, The first driving body 121 and the second driving body 122 are connected to each other so that currents flowing in the first and second driving bodies 121 and 122 are isolated from each other.

접촉부(130)는 연결체(123)에 구비된다. 접촉부(130)는 연결체(123)의 자유 단부의 말단에 배치될 수 있다. 접촉부(130)는 연결체(123)의 하면에 구비되어, 제1 구동체(121) 및 제2 구동체(122)의 변형에 의한 연결체(123) 자유단의 이동에 의해 신호 전극(21)과 접촉하거나 신호 전극(21)으로부터 이격될 수 있다.The contact portion 130 is provided on the connector 123. The contact portion 130 may be disposed at the end of the free end of the connector 123. The contact portion 130 is provided on the lower surface of the connector 123 so that the free end of the connector 123 is deformed by the deformation of the first and second actuators 121 and 122, Or may be spaced apart from the signal electrode 21. [

접촉부(130)는 신호 전극(21)과 접촉하여 전기적인 연결을 형성한다. 신호 전극(21)은 다양한 구조로 기판(40) 상에 설치되며, 접촉부(130)의 접촉 또는 분리에 의해 전기적인 연결이 형성되거나 차단되도록 설치될 수 있다.The contact portion 130 contacts the signal electrode 21 to form an electrical connection. The signal electrodes 21 may be provided on the substrate 40 in various structures and may be provided to electrically connect or disconnect the contacts 130 by contact or separation.

접촉부(130)는 제1 구동체(121)가 가열되어 변형되면 신호 전극(21)을 향하여 접근하며 신호 전극(21)과 접촉하여 전기적인 연결을 형성한다. 접촉부(130)는 제2 구동체(122)가 가열되어 변형되면 신호 전극(21)으로부터 이격되며 신호 전극(21)에서의 전기적인 연결을 차단시킨다.The contact portion 130 approaches the signal electrode 21 when the first driving body 121 is heated and deformed, and contacts the signal electrode 21 to form an electrical connection. When the second driving body 122 is heated and deformed, the contact portion 130 is spaced apart from the signal electrode 21 and cuts off the electrical connection at the signal electrode 21.

접촉부(130)는 기판(40)을 향하여 돌출 형성된 돌출부(131)를 포함할 수 있다.The contact portion 130 may include a protrusion 131 protruding toward the substrate 40.

한편, 제1 연결부재(121b)는 기판(40) 상에 설치되며 접지되는 접지 전극(22a)의 상측에 배치될 수 있다. 제1 구동체(121)의 변형에 의해 제1 연결부재(121b)가 접지 전극(22a)에 접근하고 접촉부(130)가 신호 전극(21)과 접촉하여 전기적인 연결을 형성한 경우, 접지 전극(22a)에 대해 제1 연결부재(121b)에 전위차를 발생시킴으로써 접지 전극(22a)과 제1 연결부재(121b) 사이에 정전기력을 발생시킬 수 있다. 이로써, 몸체부(120)는 접지 전극(22a)과 제1 연결부재(121b) 간의 정전기력에 의해 기판(40)에 접근한 상태로 유지되어, 스위칭 상태 유지를 위한 전력 소모를 최소화할 수 있다.On the other hand, the first connection member 121b may be disposed on the substrate 40 and above the ground electrode 22a that is grounded. When the first connecting member 121b approaches the ground electrode 22a by the deformation of the first driving body 121 and the contact portion 130 contacts the signal electrode 21 to form an electrical connection, An electrostatic force can be generated between the ground electrode 22a and the first connection member 121b by generating a potential difference in the first connection member 121b with respect to the ground electrode 22a. Thus, the body portion 120 is maintained in an approach state to the substrate 40 by the electrostatic force between the ground electrode 22a and the first connection member 121b, so that power consumption for maintaining the switching state can be minimized.

이하에서는, 상술한 도 1의 스위치 구조체(100)의 제조 방법에 대하여 설명하도록 한다.Hereinafter, a manufacturing method of the switch fabric 100 of FIG. 1 will be described.

도 3 및 도 4a 내지 도 4h를 참조하면, 본 발명의 다른 실시예에 따른 스위치 구조체 제조 방법은, 희생층을 형성하는 단계(S110), 접촉부를 형성하는 단계(S120), 앵커부를 형성하는 단계(S130), 제2 구동체를 형성하는 단계(S140), 연결체를 형성하는 단계(S150), 제1 구동체를 형성하는 단계(S160), 및 희생층을 제거하는 단계(S170)를 포함한다.3 and 4A to 4H, a method of manufacturing a switch structure according to another embodiment of the present invention includes forming a sacrificial layer (S110), forming a contact portion (S120), forming an anchor portion (S130) forming a second driving body, forming a connecting body (S150), forming a first driving body (S160), and removing a sacrificial layer (S170) do.

먼저, 기판 상에 설치된 제어 전극(11), 접지 전극(22) 및 신호 전극(21)을 덮도록 희생층(60)을 형성한다(S110).First, a sacrificial layer 60 is formed to cover the control electrode 11, the ground electrode 22, and the signal electrode 21 provided on the substrate (S110).

도 4a를 참조하면, 기판(40)은 실리콘 산화막으로 이루어진 절연층(50)에 의해 코팅될 수 있으며, 전도성 재질로 이루어진 전극들이 절연층(50) 상에 구비될 수 있다.Referring to FIG. 4A, the substrate 40 may be coated with an insulating layer 50 made of a silicon oxide film, and electrodes made of a conductive material may be provided on the insulating layer 50.

도 4b를 참조하면, 희생층(60)은 전극들과 절연층(50)을 전체적으로 덮도록 코팅된다. 희생층(60)은 폴리이미드(polyimide, PI)로 이루어질 수 있다. 희생층(60)의 두께는 접촉부(130)와 전극 간의 거리를 고려하여 적절하게 선정될 수 있다.Referring to FIG. 4B, the sacrificial layer 60 is coated to cover the electrodes and the insulating layer 50 as a whole. The sacrificial layer 60 may be made of polyimide (PI). The thickness of the sacrificial layer 60 can be appropriately selected in consideration of the distance between the contact portion 130 and the electrode.

그 다음으로, 신호 전극(21) 상방의 희생층(60) 상에 전도성 재료를 증착시켜 접촉부(130)를 형성한다(S120).Next, a conductive material is deposited on the sacrificial layer 60 above the signal electrode 21 to form a contact portion 130 (S120).

도 4c를 참조하면, 접촉부(130)의 돌출부(131)를 형성하기 위한 홈을 형성하도록 신호 전극(21) 상측의 희생층(60)의 상부 일부분을 식각한다. 식각된 홈과 주변의 희생층(60) 상면에 전도성 재료를 증착시켜 도 4d에 도시된 바와 같이 접촉부(130)를 형성할 수 있다.Referring to FIG. 4C, an upper portion of the sacrificial layer 60 above the signal electrode 21 is etched to form a groove for forming the protrusion 131 of the contact portion 130. A contact portion 130 may be formed as shown in FIG. 4D by depositing a conductive material on the etched groove and the sacrificial layer 60 in the vicinity thereof.

그 다음으로, 제어 전극(11) 상방의 희생층(60)을 제거하고 제어 전극(11) 상에 앵커부(110)를 형성한다(S130).Next, the sacrificial layer 60 above the control electrode 11 is removed and an anchor 110 is formed on the control electrode 11 (S130).

도 4e 및 도 4f를 참조하면, 앵커부(110)가 형성될 제어 전극(11) 상의 희생층(60)을 식각하고, 전기 도금을 통해 앵커부(110)를 형성할 수 있다. 전술한 바와 같이, 접촉 제어 전극과 분리 제어 전극 상에 각각의 앵커 구조체를 형성할 수 있다.4E and 4F, the sacrificial layer 60 on the control electrode 11 on which the anchor 110 is to be formed may be etched and the anchor 110 may be formed by electroplating. As described above, the respective anchor structures can be formed on the contact control electrode and the separation control electrode.

그 다음으로, 분리 제어 전극 상의 앵커 구조체와 연결되며, 가열 시 기판(40)으로부터 이격되도록 변형되는 제2 구동체(122)를 희생층(60) 상에 형성한다(S140).Next, a second driving body 122 is formed on the sacrificial layer 60, which is connected to the anchor structure on the separation control electrode and is deformed to separate from the substrate 40 during heating (S140).

도 4f를 다시 참조하면, 제2 구동체(122)는 제어 전극 상에 형성된 앵커부(110) 중에서 분리 제어 전극 상의 앵커 구조체와 연결되도록 희생층(60) 상에 형성된다. 분리 제어 전극 상의 앵커 구조체와 제2 구동체(122)는 동시에 형성될 수도 있다.Referring again to FIG. 4F, the second actuator 122 is formed on the sacrificial layer 60 to be connected to the anchor structure on the separation control electrode among the anchor portions 110 formed on the control electrode. The anchor structure on the separation control electrode and the second driving body 122 may be formed at the same time.

그 다음으로, 제2 구동체(122), 접촉부(130) 및 희생층(60) 상에 연결체(123)를 형성한다(S150).Next, a connecting body 123 is formed on the second driving body 122, the contact portion 130, and the sacrifice layer 60 (S150).

도 4g를 참조하면, 전술한 단계들에서 형성된 제2 구동체(122), 접촉부(130) 및 나머지 부분의 희생층(60) 상측에 절연 재료를 증착하여 연결체(123)를 형성한다.Referring to FIG. 4G, an insulating material is deposited on the sacrificial layer 60 of the second driving body 122, the contact portion 130, and the remaining portion formed in the above-described steps to form a connecting body 123.

연결체(123)는 제2 구동체(122) 및 접촉부(130)와 결합하여, 희생층(60) 제거 후에도 각각이 서로에 대해 고정되도록 할 수 있다.The coupling body 123 can be engaged with the second driving body 122 and the contact portion 130 so that they are fixed to each other even after the sacrificial layer 60 is removed.

그 다음으로, 연결체(123) 상에 접촉 제어 전극 상의 앵커 구조체와 연결되며 가열 시 기판(40)에 접근하도록 변형되는 제1 구동체(121)를 형성한다(S160).Next, a first driving body 121 connected to the anchor structure on the contact control electrode on the connection body 123 and deformed to approach the substrate 40 during heating is formed (S160).

도 4h를 참조하면, 제1 구동체(121)는 제어 전극 상에 형성된 앵커부(110) 중에서 접촉 제어 전극 상의 앵커 구조체와 연결되도록 연결체(123) 상에 형성된다. 이로써, 제1 구동체(121)와 제2 구동체(122)는 연결체(123)에 의해 결합될 수 있다.Referring to FIG. 4H, the first driving body 121 is formed on the coupling body 123 to be connected to the anchor structure on the contact control electrode among the anchor portions 110 formed on the control electrode. Accordingly, the first driving body 121 and the second driving body 122 can be coupled by the connecting body 123.

한편, 제1 구동체(121)가 접지 전극(22)의 상방에 배치됨으로써, 제1 구동체(121)가 기판(40) 측으로 접근하였을 경우, 접지 전극(22)과 제1 구동체(121) 간의 정전력을 이용하여 스위치 구조체의 상태를 유지할 수 있다.When the first driving body 121 is disposed above the ground electrode 22 and the first driving body 121 approaches the substrate 40 side, the ground electrode 22 and the first driving body 121 ) Can be used to maintain the state of the switch structure.

마지막으로, 기판(40)과 몸체부(120) 사이의 희생층(60)을 제거한다(S170).Finally, the sacrificial layer 60 between the substrate 40 and the body 120 is removed (S170).

이로써, 도 2에 도시된 바와 같이, 기판(40) 상에서 동작 가능한 스위치 구조체(100)가 제조된다.Thereby, as shown in Fig. 2, a switch structure 100 operable on the substrate 40 is manufactured.

한편, 상술한 스위치 구조체 제조 방법을 이루는 각 단계들 간의 순서는 예시적인 것으로 상술한 바와 상이한 순서로 수행될 수도 있음에 유의해야 한다. 또한, 각 단계에서 각각의 구성요소를 형성하게 제거하는 공정은 공지의 상이한 공정을 통해 수행될 수도 있다.It should be noted that the order of steps between the steps constituting the above-described switch fabricating method is exemplary and may be performed in a different order from that described above. In addition, the process of forming each component in each step to remove it may be performed through a known different process.

110 : 앵커부
111 : 제1 앵커 구조체
112 : 제2 앵커 구조체
120 : 몸체부
121 : 제1 구동체
121a : 제1 변형부재
121b : 제1 연결부재
122 : 제2 구동체
122a : 제2 변형부재
122b : 제2 연결부재
123 : 연결체
130 : 접촉부
131 : 돌출부
11 : 제어 전극
11a, 11b : 접촉 제어 전극
12a, 12b : 분리 제어 전극
21 : 신호 전극
22, 22a, 22b : 접지 전극
40 : 기판
50 : 절연층
60 : 희생층
100 : 스위치 구조체110: anchor portion
111: First anchor structure
112: second anchor structure
120:
121: first driving body
121a: first deformable member
121b: first connecting member
122: second driving body
122a: a second deformable member
122b: second connecting member
123: connector
130:
131: protrusion
11: Control electrode
11a, 11b: contact control electrode
12a, 12b: separation control electrode
21: Signal electrode
22, 22a, 22b: ground electrode
40: substrate
50: insulating layer
60: sacrificial layer
100: switch structure

Claims (8)

기판 상에 설치된 접촉 제어 전극과 연결되는 제1 앵커 구조체와, 상기 기판 상에 설치된 분리 제어 전극과 연결되는 제2 앵커 구조체를 포함하는 앵커부;
상기 제1 앵커 구조체와 연결되며 가열 시 상기 기판에 접근하도록 변형되는 제1 구동체와, 상기 제2 앵커 구조체와 연결되며 가열 시 상기 기판으로부터 이격되도록 변형되는 제2 구동체와, 상기 제1 구동체 및 상기 제2 구동체가 각각 서로의 변형에 의해 변형 가능하되 절연되도록 상기 제1 구동체와 상기 제2 구동체를 연결시키는 연결체를 포함하는 몸체부; 및
상기 연결체에 구비되고, 전도성 재질로 이루어져 상기 기판 상에 설치된 신호 전극과 접촉하여 전기적인 연결을 형성하는 접촉부를 포함하며,
상기 제1 구동체 및 상기 제2 구동체 중 어느 하나가 가열되어 변형됨에 따라 상기 접촉부가 상기 신호 전극과 접촉되거나 분리되는 것을 특징으로 하는 스위치 구조체.An anchor unit including a first anchor structure connected to a contact control electrode provided on a substrate and a second anchor structure connected to a separation control electrode provided on the substrate;
A first driving body connected to the first anchor structure and deformed to approach the substrate upon heating, a second driving body connected to the second anchor structure and deformed to be spaced apart from the substrate upon heating, And a connecting body for connecting the first driving body and the second driving body such that the body and the second driving body are deformable by each other and are insulated from each other; And
And a contact portion which is provided on the connection member and is made of a conductive material and contacts the signal electrode provided on the substrate to form an electrical connection,
Wherein the contact portion is in contact with or separated from the signal electrode as one of the first driver and the second driver is heated and deformed. 제1 항에 있어서,
상기 제1 구동체는 상기 제1 앵커 구조체로부터 연장 형성되는 제1 변형부재와, 상기 제1 변형부재의 자유 단부에 구비되는 제1 연결부재를 포함하고,
상기 제2 구동체는 상기 제2 앵커 구조체로부터 연장 형성되는 제2 변형부재와, 상기 제2 변형부재의 자유 단부에 구비되는 제2 연결부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 스위치 구조체.The method according to claim 1,
Wherein the first actuating member includes a first deformable member extending from the first anchor structure and a first connecting member provided at a free end of the first deformable member,
Wherein the second actuating member comprises a second deforming member extending from the second anchor structure and a second connecting member provided at a free end of the second deforming member. 제2 항에 있어서,
상기 제1 구동체는 서로 평행하게 배치되는 두 개의 상기 제1 변형부재를 포함하고, 상기 제1 연결부재는 두 개의 상기 제1 변형부재 각각의 자유 단부를 연결시키며,
상기 제2 구동체는 서로 평행하게 배치되는 두 개의 상기 제2 변형부재를 포함하고, 상기 제2 연결부재는 두 개의 상기 제2 변형부재 각각의 자유 단부를 연결시키며,
상기 제1 변형부재와 상기 제2 변형부재는 서로 평행하게 배치되는 것을 특징으로 하는 스위치 구조체.3. The method of claim 2,
Wherein the first driving body includes two first deformable members arranged in parallel to each other, the first connecting member connecting free ends of each of the two first deformable members,
Wherein the second driving body includes two second deformable members arranged in parallel to each other, the second connecting member connecting the free ends of each of the two deformable members,
Wherein the first deformable member and the second deformable member are disposed parallel to each other. 제3 항에 있어서,
두 개의 상기 제2 변형부재는 두 개의 상기 제1 변형부재의 사이에 배치되며,
상기 제1 연결부재는 상기 제2 연결부재보다 자유단 측에 더 가까이 배치되는 것을 특징으로 하는 스위치 구조체.The method of claim 3,
Two of the second deformable members are disposed between the two first deformable members,
Wherein the first connection member is closer to the free end side than the second connection member. 제1 항에 있어서,
상기 연결체는 상기 제1 구동체와 상기 제2 구동체 간의 열전달을 차단하는 것을 특징으로 하는 스위치 구조체.The method according to claim 1,
Wherein the connecting body blocks heat transfer between the first driving body and the second driving body. 제1 항에 있어서,
상기 접촉부는 상기 기판을 향하여 돌출 형성된 돌출부를 포함하는 것을 특징으로 하는 스위치 구조체.The method according to claim 1,
Wherein the contact portion includes a protrusion protruding toward the substrate. 제2 항에 있어서,
상기 제1 연결부재는, 기판 상에 설치된 접지 전극의 상측에 배치되는 것을 특징으로 하는 스위치 구조체.3. The method of claim 2,
Wherein the first connection member is disposed on an upper side of a ground electrode provided on a substrate. 기판 상에 설치된 접촉 제어 전극, 분리 제어 전극 및 신호 전극을 덮도록 희생층을 형성하는 단계;
상기 신호 전극 상방의 상기 희생층 상에 전도성 재료를 증착시켜 접촉부를 형성하는 단계;
상기 접촉 제어 전극 및 상기 분리 제어 전극 상방의 상기 희생층을 제거하고 상기 접촉 제어 전극과 상기 분리 제어 전극 상에 각각 제1 앵커 구조체 및 제2 앵커 구조체를 형성하는 단계;
상기 제2 앵커 구조체와 연결되며, 가열 시 상기 기판에 접근하도록 변형되는 제2 구동체를 상기 희생층 상에 형성하는 단계;
상기 제2 구동체, 상기 접촉부 및 상기 희생층 상에 연결체를 형성하는 단계;
상기 연결체 상에 상기 제1 앵커 구조체와 연결되며 가열 시 상기 기판으로부터 이격되도록 변형되는 제1 구동체를 형성하는 단계; 및
상기 희생층을 제거하는 단계를 포함하며,
상기 연결체는 상기 제1 구동체와 상기 제2 구동체가 각각 서로의 변형에 의해 변형 가능하되 절연되도록 상기 제1 구동체와 상기 제2 구동체를 연결시키며,
상기 제1 구동체 및 상기 제2 구동체 중 어느 하나가 가열되어 변형됨에 따라 상기 접촉부가 상기 신호 전극과 접촉되거나 분리되는 것을 특징으로 하는 스위치 구조체 제조방법.
Forming a sacrificial layer to cover the contact control electrode, the separation control electrode, and the signal electrode provided on the substrate;
Depositing a conductive material on the sacrificial layer above the signal electrode to form a contact portion;
Removing the sacrificial layer above the contact control electrode and the isolation control electrode and forming a first anchor structure and a second anchor structure on the contact control electrode and the isolation control electrode, respectively;
Forming a second actuator on the sacrificial layer, the second actuator being connected to the second anchor structure and deforming to approach the substrate upon heating;
Forming a connecting body on the second driving body, the contact portion, and the sacrificial layer;
Forming a first driving body connected to the first anchor structure on the connection body and deformed to be spaced apart from the substrate upon heating; And
Removing the sacrificial layer,
Wherein the connecting body connects the first driving body and the second driving body such that the first driving body and the second driving body are deformable by mutual deformation,
Wherein the contact portion is brought into contact with or separated from the signal electrode as one of the first driver and the second driver is heated and deformed.
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