KR101900182B1 - 접합 패드 및 이를 포함하는 기판 접합 장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 곡면을 갖는 기판을 접합할 때 기판 곡면부의 기포 발생을 방지할 수 있는 접합 패드와 이를 포함하는 기판 접합 장치에 관한 것이다.

Description

접합 패드 및 이를 포함하는 기판 접합 장치{Bonding Pad and Substrate Bonding Apparatus Including the Same}

본 발명은 접합 패드 및 이를 포함하는 기판 접합 장치에 관한 것으로, 구체적으로 곡면을 갖는 기판과 유연성 기판을 접합하는 장치에서 사용하는 접합 패드와 이를 포함하는 기판 접합 장치에 관한 것이다.

휴대형 전자기기의 경우, 휴대성을 위한 소형 및 경량화와 최대한 많은 양의 정보를 표시하기 위한 디스플레이의 대면적화라는 상반된 두 가지 요구를 만족하여야 한다.

이를 위하여 특성의 손실 없이 휘거나 구부리거나 말 수 있는 유연성 디스플레이가 개발되고 있다.

특히, 주어진 장치의 크기 내에서 최대한의 디스플레이를 확보하기 위하여 대한민국 공개특허 제10-2015-0044870호에서는, 플렉서블 표시부를 갖는 휴대단말에서 플렉서블 표시부를 전면의 메인 표시영역과 측면의 보조 표시영역으로 구분하여, 측면을 표시 영역의 일부로 활용하고 있다.

이와 같이 곡면을 갖는 기판을 접합하기 위해서는 기존의 평면형 기판 접합 장치와는 다른 곡면형 기판 접합 장치가 요구된다.

예를 들어, 대한민국 공개특허 제10-2014-0139361호에서는, 적어도 일부분이 굴곡지게 형성되는 커버 윈도우를 안착하기 위하여 굴곡지게 형성되는 지그를 사용하는 방법을 개시하고 있으며, 대한민국 공개특허 제10-2015-0038449호에서는 오목면을 갖는 오목형 기판의 오목면에 대하여 가요성을 갖는 박형 기판을 압박할 때 박형 기판을 오목형 기판의 오목면을 모방하여 압착시키도록 변위하는 방법을 개시하고 있다.

그러나, 이와 같이 곡면을 갖는 기판과 유연성 기판을 접합하는 경우, 곡면을 갖는 기판의 구조로 인하여 곡면부에서 기포가 발생하기 쉽고, 이에 따라 생산성이 저하되는 문제점이 있다.

대한민국 공개특허 제10-2015-0044870호 대한민국 공개특허 제10-2014-0139361호 대한민국 공개특허 제10-2015-0038449호

본 발명은 이와 같은 종래 기술의 기판 접합 장치의 문제를 해결하기 위한 것으로, 곡면을 갖는 기판을 접합할 때 기판 곡면부의 기포 발생을 방지할 수 있는 접합 패드 및 이를 포함하는 기판 접합 장치를 제공하는 것을 그 과제로 한다.

본 발명의 다른 과제는 기판 곡면부의 품질 불량을 방지하여 생산성을 향상할 수 있는 접합 패드 및 이를 포함하는 기판 접합 장치를 제공하는 것이다.

이와 같은 과제를 해결하기 위하여 본 발명에서는, 곡면을 갖는 제1 기판과 접합될 유연성의 제2 기판을 안착하는 접합 패드에 있어서, 상기 접합 패드는 제1 경도를 갖는 접합 패드 본체와 상기 제1 경도보다 높은 제2 경도를 갖는 코너부 강화편을 포함하며, 상기 접합 패드 본체에는 상기 제2 기판이 안착되는 측과 반대측의 코너부에 상기 코너부 강화편을 삽입하기 위한 삽입 홈이 구비되어 상기 코너부 강화편이 삽입되는, 접합 패드를 제공한다.

여기에서, 상기 제1 경도는 쇼어 경도 30 내지 90인 것이 바람직하다.

상기 접합 패드 본체의 상기 삽입 홈이 형성된 부분의 제1 두께와 상기 접합 패드 본체의 상기 삽입 홈이 형성된 부분을 제외한 부분의 제2 두께는 상기 제1 및 제2 기판을 접합할 때 가해지는 코너부와 중앙부의 응력의 차이가 상기 제1 및 제2 기판을 접합한 후의 탈포 공정에 의해 제거될 수 있는 기포의 최대 크기에 대응하는 응력의 차이 이하가 되도록 정해질 수 있으며, 상기 제1 두께는 3 내지 7mm, 상기 제2 두께는 5 내지 15mm인 것이 바람직하다.

상기 코너부 강화편은 상기 접합 패드의 상부에서 볼 때 20mm*20mm 이하의 단면 크기를 가질 수 있다.

본 발명의 다른 양상에 따르면, 곡면을 갖는 제1 기판과 접합될 유연성의 제2 기판을 안착하는 접합 패드에 있어서, 상기 접합 패드는 연성 재질로 이루어지고, 상기 접합 패드의 상기 제2 기판이 안착되는 면은 중심부로부터 주변부를 향해 경사진 형태를 가지며, 상기 경사진 형태의 경사각은 0.5° 이상 2°이하인, 접합 패드가 제공된다.

상기 접합 패드의 크기는 상기 곡면을 갖는 제1 기판의 내측 크기에 비하여 작은 것이 바람직하다.

본 발명의 또 다른 양상에 따르면, 곡면을 갖는 제1 기판을 안착하는 지그; 상기 지그와 대향하여 배치되는 상기의 접합 패드; 및 상기 제1 및 제2 기판을 접합하도록 상기 지그 및 상기 접합 패드 중 적어도 하나를 이동시키는 구동부를 포함하는 기판 접합 장치가 제공된다.

이와 같은 본 발명의 접합 패드 및 이를 포함하는 기판 접합 장치에 의하면, 접합 패드의 면내 응력분포를 균일하게 유도하여 곡면을 갖는 기판을 접합할 때 곡면부의 기포 등의 품질 문제를 대폭 개선하여 생산성을 향상할 수 있다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 접합 장치의 단면도이다.
도 2는 본 발명의 제1 실시예에 따른 접합 패드의 사시도이다.
도 3은 접합 패드의 두께와 응력의 관계를 나타내는 그래프이다.
도 4a 및 도 4b는 각각 접합 패드의 중앙부와 코너부에서의 응력의 차이 및 응력의 차이와 곡면부 기포의 크기 사이의 관계를 나타내는 그래프이다.
도 5는 본 발명의 제1 실시예에 따른 접합 패드에서 중앙부와 코너부의 두께 선정 기준을 나타내는 그래프이다.
도 6은 본 발명의 제2 실시예에 따른 접합 패드의 단면도이다.
도 7 및 도 8은 각각 접합 패드의 경사각(θ)과 응력 및 응력 차이의 관계를 나타내는 그래프이다.
도 9는 접합 패드의 경사각(θ)과 코너부에서 발생하는 기포의 크기의 관계를 나타내는 그래프이다.
도 10은 종래 기술에서 발생할 수 있는 기판 접합 불량을 나타내는 도면이다.
도 11은 본 발명의 제3 실시예에 따른 접합 패드를 곡면을 갖는 상부 기판과 함께 도시한 것이다.
도 12 내지 도 14는 각각 접합 패드의 축소폭과 응력, 응력 차이 및 곡면부에서 발생하는 기포 크기의 관계를 나타내는 그래프이다.

이하, 도면을 참조하여 본 발명에 따른 접합 패드 및 이를 포함하는 기판 접합 장치의 바람직한 실시예에 관하여 상세히 설명한다. 다만 본 명세서에 첨부된 도면들은 본 발명을 설명하기 위한 예시일 뿐, 본 발명이 도면에 의해 한정되는 것은 아니다. 또한, 설명 상의 편의를 위해 일부 구성요소들은 도면 상에서 과장되게 표현되거나, 축소 또는 생략되어 있을 수 있다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 접합 장치의 단면도로서, 기판 접합 장치와 접합하고자 하는 제1 및 제2 기판을 함께 도시하고 있다.

도 1을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 접합 장치는 지그(100) 및 이와 대향하여 배치되는 접합 패드(200)를 포함하며, 지그(100)와 접합 패드(200) 중 적어도 하나를 이동시킬 수 있는 구동부(도시하지 않음)를 포함하여 구성된다.

지그(100)는 곡면을 갖는 제1 기판(150)을 안착하는 장치로서, 통상 접합하고자 하는 제1 기판과 동일한 곡면 형상을 갖도록 구성된다. 구체적으로 제1 기판(150)의 평평한 부분이 안착하도록 지그(100)의 일부가 평평하고, 제1 기판(150)의 곡면 부분이 안착하도록 지그(100)의 일부가 곡면 형상을 갖도록 형성될 수 있다.

지그(100)는, 예를 들면, 공기 흡입을 통해 제1 기판(150)을 고정하고 해제할 수 있다.

지그(100)의 재질은 알루미늄 등의 금속이나 플라스틱과 같은 강성 재질로 이루어질 수 있다.

제1 기판(150)은, 예를 들면, 디스플레이 장치의 외면을 보호하는 커버 윈도우일 수 있으며, 특히 곡면형 디스플레이를 채용하는 스마트폰과 같은 개인 휴대용 스마트 기기의 커버 윈도우일 수 있다. 제1 기판(150)의 재질은 통상 플라스틱, 유리 등의 강성 재질이다.

접합 패드(200)는 통상 유연성의 제2 기판(250)이 안착되는 장치로서, 지그(100)와 대향하여 배치된다.

접합 패드(200)는 실리콘, 우레탄, NBR(Nitrile butadiene rubber) 등의 연성 재질로 이루어질 수 있다.

제2 기판(250)은 디스플레이 장치의 커버 윈도우 아래에 위치하는 임의의 장치일 수 있으며, 필름 위에 포토리소그래피, 스크린 인쇄 등을 사용하여 베젤 패턴을 형성한 데코레이션 필름, 필름형 터치패널, 필름형 디스플레이 패널, 편광판 등을 포함한다. 그 재질로는 PET, TAC, COP, PI 등의 연성 재질을 포함하여 굴곡에 대한 내구성을 가지는 모든 재질이 적용될 수 있다. 또한, 제2 기판(250)은 제1 기판(150)과의 접합을 위하여 점착제층을 포함할 수 있다.

한편, 곡면을 갖는 기판을 접합할 때 곡면부에서 기포가 발생하는 원인은 평면인 중앙부에 비해 곡면인 코너부의 응력이 낮기 때문인 것으로 확인되었다.

이에 따라, 본 발명에서는 중앙부와 코너부의 응력 차이를 완화할 수 있는 방식으로 기판 접합 장치의 접합 패드를 형성한다.

도 2는 본 발명의 제1 실시예에 따른 접합 패드의 사시도로서, 접합 패드의 코너부의 분해사시도를 함께 도시하였다.

본 발명의 제1 실시예에 따르면, 도 2에 나타난 바와 같이, 접합 패드(210)는 연성 재질로 이루어진 접합 패드 본체(212)와 강성 재질로 이루어진 코너부 강화편(214)을 포함하여 구성된다. 코너부 강화편(214)은 곡면을 이루는 코너부의 하단 부분에 위치한다.

즉, 접합 패드 본체(212)는 제2 기판이 안착되는 측과 반대측의 코너부에 코너부 강화편(214)을 삽입하기 위한 삽입 홈을 가지며, 코너부 강화편(214)이 삽입 홈에 삽입되어 접합 패드 본체(212)와 결합된다.

접합 패드 본체(212)는 쇼어경도 30 내지 90을 갖는 재질로 이루어지며, 도 1을 참조하여 설명한 바와 같이, 실리콘, 우레탄, NBR 등으로 이루어질 수 있다. 코너부 강화편(214)은 접합 패드 본체(212)보다 높은 경도를 갖는, 예를 들면, 금속과 같은 재질로 이루어진다.

이는 접합 패드의 중앙부와 코너부의 응력이 동일하게 구현되도록 연성 재질로 된 접합 패드의 두께를 다르게 설계하고, 이에 따라 비는 부분을 금속이나 플라스틱 등과 같이 더 높은 경도를 갖는 재질로 보강한 것이다.

구체적으로 중앙부에서 접합 패드 본체(212)의 두께는 5 내지 15mm로 형성하고, 코너부에서 접합 패드 본체(212)의 두께는 3 내지 7mm로 형성한다.

중앙부의 두께가 15mm를 초과할 경우 전체적인 응력 저하로 접합 품질이 악화되며, 5mm 이하일 경우 충분한 내구성을 보장할 수 없는 문제가 있다.

접합 패드 본체(212)의 코너부의 두께는 평면부(중앙부)의 두께에 따라 결정될 수 있으며, 이의 결정 방법은 이하에서 더 자세히 설명한다. 또한, 코너부에서 접합 패드 본체(212)의 두께가 3 내지 7mm로 형성됨에 따라, 코너부 강화편(214)은 2 내지 8mm의 두께로 형성할 수 있다.

도 3은 접합 패드의 두께와 응력의 관계를 나타내는 그래프로서, 중앙부에 비하여 코너부에서 응력이 낮은 것을 확인할 수 있다.

한편, 응력의 편차가 클수록 곡면부의 기포 발생은 늘어나며, 중앙부와 코너부에서의 응력의 차이 및 응력의 차이와 곡면부 기포의 크기 사이의 관계가 도 4a 및 도 4b에 각각 나타나 있다.

통상 기판 접합 공정 이후에는 접합 과정에서 발생한 기포를 제거하기 위한 탈포 처리 과정이 수행된다. 그러나, 이러한 탈포 처리를 통해서 모든 기포가 다 제거될 수 있는 것은 아니며 제거될 수 있는 기포의 크기에 제한이 있다. 현재의 접합 공정상 탈포 처리, 예를 들면 오토클레이브(autoclave) 처리를 통해 제거할 수 있는 기포의 최대 크기는 2,000μm 이다. 따라서, 중앙부와 코너부의 응력 편차를 이에 대응하는 0.02MPa 이하로 유지할 수 있다면, 곡면부의 기포를 충분히 제거할 수 있다.

도 5는 본 발명의 제1 실시예에 따른 접합 패드에서 중앙부와 코너부의 두께 선정 기준을 나타내는 그래프이다.

도 5에 나타난 접합 패드의 두께와 응력의 관계로부터 중앙부와 코너부의 응력의 편차가 없어지는 중앙부와 코너부의 두께의 관계를 도출할 수 있으며, 이는 다음의 수학식 1과 같이 나타낼 수 있다.

[수학식 1]

y = 3.528ln(x) - 2.7963

여기에서, x는 중앙부 두께이고, y는 코너부 두께이다.

위의 수학식 1 및 도 5를 참조하여, 예를 들어 중앙부 두께가 10mm인 경우, 코너부의 두께를 약 5.3mm로 할 수 있다.

코너부의 삽입 홈에 삽입되는 코너부 강화편(214)의 형태에는 제한이 없다. 도 2에서는 코너부 강화편(214)을 그 평면이 사각형과 유사한 형태(사각형 중 코너부의 곡면부에 해당하는 부분이 곡선으로 형성됨)로 형성한 것을 도시하였으나, 예를 들면, 평면이 삼각형과 유사한 형태(삼각형 중 직각을 이루는 꼭지점 부분이 코너부의 곡면부에 해당하는 곡선으로 형성됨)이거나 부채꼴과 유사한 형태(중심각에 해당하는 부분이 코너부의 곡면부에 해당하는 곡선으로 형성됨) 등의 형태를 가질 수도 있다.

코너부 강화편(214)을 접합 패드의 상부에서 볼 때 그 단면의 크기는 20mm*20mm 이내에서 적절한 치수로 형성할 수 있다. 이는 확인된 최대 기포의 크기와 접합 패드의 내구성을 기준으로 한 수치로서, 코너부 강화편(214)의 크기가 지나치게 클 경우, 평면부에 과도한 응력이 발생하여 재료가 파열될 우려가 있으며, 반대로 코너부 강화편(214)의 크기가 지나치게 작을 경우, 코너부의 기포 제거 효과가 떨어지게 된다.

기포 제거 효과를 향상시키기 위하여, 본 발명의 제2 실시예에 따르면 접합 패드 단면의 경사를 조절할 수 있다.

도 6은 본 발명의 제2 실시예에 따른 접합 패드의 단면도이다.

도 6에 나타난 바와 같이, 본 발명의 제2 실시예에 따른 접합 패드(220)는 그 단면을 볼 때 중앙부를 최고점으로 하고 양단으로 경사를 부여한 형태로 형성된다.

접합 패드 단면에 경사를 부여하는 것은 제1 및 제2 기판(도 1; 150, 250)을 접합할 때 제2 기판(250)의 중앙부가 제1 기판(150)의 중앙부와 먼저 접합되고 이어서 중앙부로부터 바깥쪽으로 순차적으로 접합되도록 하여 중앙부에 기포가 갇히는 것을 방지하기 위한 것이다.

그러나, 경사각이 너무 클 경우 바깥쪽, 특히 코너부의 응력이 낮아지며 이에 따라 기포가 발생할 수 있다.

도 7 및 도 8은 각각 접합 패드의 경사각(θ)과 응력 및 응력 차이의 관계를 나타내는 그래프이다. 도 7 및 도 8에 나타난 바와 같이 경사각(θ)이 커질수록 중앙부와 코너부 사이의 응력 차이가 커지는 것을 알 수 있다. 따라서 적절한 수준의 각도를 유지하는 것이 필요하다.

도 9는 접합 패드의 경사각(θ)과 코너부에서 발생하는 기포의 크기의 관계를 나타내는 그래프이다.

도 9에 나타난 바와 같이, 접합 패드의 경사각(θ)이 커질수록 코너부의 기포는 커지며 2°의 경우 2,000μm 크기의 기포가 생성될 수 있다.

반대로, 경사각이 작을수록 코너부에서의 기포는 완화되지만 0.5°보다 경사각이 작을 경우 중앙부에서 기포가 발생하는 것이 관찰되었다.

따라서, 접합 패드를 경사지게 형성하여 중앙부의 기포 발생을 억제하되 코너부의 기포를 최소화할 수 있도록 하는 것이 바람직하다. 즉, 본 발명의 제2 실시예에서는 도 6의 경사각 θ가 0.5° 내지 2°가 되도록 접합 패드(200)를 형성한다. 경사각 θ가 2°일 경우 코너부에서 2,000μm 크기의 기포가 발생할 수 있지만, 이는 상술한 오토클레이브 처리에 의해 완전히 제거할 수 있는 수준의 기포에 해당한다.

한편, 곡면을 갖는 상부 기판과 유연성의 하부 기판을 접합할 때 하부 기판에 가해지는 응력의 측면에서는 접합 패드의 크기가 상부 기판의 내부 크기와 일치하는 것이 바람직하지만, 이 경우 도 10에 나타난 바와 같이, 곡면을 갖는 기판의 양단부가 유연성 기판과 먼저 접촉하여 쓸림 불량이나 파열이 발생할 수 있다(도 10의 원 부분 참조).

이에 따라 본 발명의 제3 실시예에서는 접합 패드를 상부 기판에 비해 축소된 크기로 형성한다.

도 11은 본 발명의 제3 실시예에 따른 접합 패드를 곡면을 갖는 상부 기판과 함께 도시한 것이다.

도 11에 나타난 바와 같이, 본 발명의 제3 실시예에 따른 접합 패드(230)는 그 폭이 상부 기판(150)의 내부 폭에 비하여 한쪽에서 d만큼 작게 형성된다.

d의 값은 접합 패드 크기의 축소에 따라 감소되는 응력과 발생하는 기포의 크기 및 양을 고려하여 결정된다.

도 12 내지 도 14는 각각 접합 패드의 축소 폭과 응력, 응력 차이 및 곡면부에 발생하는 기포의 크기의 관계를 나타내는 그래프이다.

도 12 내지 도 14의 가로축은 접합 패드의 축소 폭을 나타내며, 특히 양측의 축소 폭을 합한 전체 축소 폭을 나타낸다. 도 12 내지 도 14의 세로축은 각각 중앙부과 코너부의 응력, 중앙부와 코너부의 응력 차이 및 코너부에서 발생하는 기포의 크기를 나타낸다.

도 12 내지 도 14를 참조하면, 중앙부와 코너부의 응력 차이의 증가가 완만하고 오토클레이브 처리 후 기포가 완전히 제거되는 2,000μm 크기 이내의 기포가 발생하도록, 즉 도 8의 d가 2.0mm 이하가 되도록 접합 패드(230)의 폭을 축소하는 것이 바람직하다.

한편, 도 11에서는 접합 패드(230)의 일 방향 단면만을 도시하였지만 이와 수직하는 방향의 폭 또한 축소하여 형성하는 것이 바람직하다.

이상에서 설명한 본 발명의 다양한 실시예에 따른 접합 패드의 형태는 각 실시예가 별개로 구현되거나 또는 임의의 실시예의 조합으로 구현될 수 있다.

이상에서 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 도면을 참조하여 설명하였지만, 본 발명은 상술한 실시예에 한정되는 것은 아니며, 본 발명의 본질적인 특성에서 벗어나지 않는 범위에서 변형된 형태로 본 발명이 구현될 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.

그러므로 명시된 실시예들은 한정적인 관점이 아니라 설명적인 관점에서 고려되어야 하고, 본 발명의 범위는 전술한 설명이 아니라 특허청구 범위에 나타나 있으며, 그와 동등한 범위 내에 있는 모든 차이점은 본 발명에 포함된 것으로 해석되어야 할 것이다.

100: 지그 150: 제1 기판
200, 210, 220, 230: 접합 패드 250: 제2 기판

Claims (10)

1. 곡면을 갖는 제1 기판과 접합될 유연성의 제2 기판을 안착하는 접합 패드에 있어서,
   상기 접합 패드는 제1 경도를 갖는 접합 패드 본체와 상기 제1 경도보다 높은 제2 경도를 갖는 코너부 강화편을 포함하며,
   상기 접합 패드 본체에는 상기 제2 기판이 안착되는 측과 반대측의 코너부에 상기 코너부 강화편을 삽입하기 위한 삽입 홈이 구비되어 상기 코너부 강화편이 삽입되고,
   상기 접합 패드 본체의 상기 삽입 홈이 형성된 부분의 제1 두께(y)와 상기 접합 패드 본체의 상기 삽입 홈이 형성된 부분을 제외한 부분의 제2 두께(x)는 다음의 수학식 1을 만족하는 접합 패드.
   [수학식 1]
   y = 3.528ln(x) - 2.7963
2. 제 1 항에 있어서,
   상기 제1 경도는 쇼어 경도 30 내지 90인,
   접합 패드.
3. 제 1 항에 있어서,
   상기 제1 두께와 상기 제2 두께는 상기 제1 및 제2 기판을 접합할 때 가해지는 코너부와 중앙부의 응력의 차이가 상기 제1 및 제2 기판을 접합한 후의 탈포 공정에 의해 제거될 수 있는 기포의 최대 크기에 대응하는 응력의 차이 이하가 되도록 정해지는,
   접합 패드.
4. 제 1 항에 있어서,
   상기 제1 두께는 3 내지 7mm이며, 상기 제2 두께는 5 내지 15mm인,
   접합 패드.
5. 제 1 항에 있어서,
   상기 코너부 강화편은 상기 접합 패드의 상부에서 볼 때 20mm*20mm 이하의 단면 크기를 갖는,
   접합 패드.
6. 제1항에 있어서,
   상기 접합 패드는 연성 재질로 이루어지고,
   상기 접합 패드의 상기 제2 기판이 안착되는 면은 중심부로부터 주변부를 향해 경사진 형태를 가지며,
   상기 경사진 형태의 경사각은 0.5°이상 2°이하인,
   접합 패드.
7. 제 6 항에 있어서,
   상기 경사각은 상기 제1 및 제2 기판을 접합한 후 상기 제1 및 제2 기판의 코너부에서 탈포 공정에 의해 제거될 수 있는 기포의 최대 크기에 대응하는 경사각 이하가 되도록 정해지는,
   접합 패드.
8. 제 1 항 내지 제 7 항 중 어느 한 항에 있어서,
   상기 접합 패드의 크기는 상기 곡면을 갖는 제1 기판의 내측 크기에 비하여 작은,
   접합 패드.
9. 곡면을 갖는 제1 기판을 안착하는 지그;
   상기 지그와 대향하여 배치되는 제 1 항 내지 제 7 항 중 어느 한 항에 따른 접합 패드; 및
   상기 제1 및 제2 기판을 접합하도록 상기 지그 및 상기 접합 패드 중 적어도 하나를 이동시키는 구동부
   를 포함하는 기판 접합 장치.
10. 곡면을 갖는 제1 기판을 안착하는 지그;
    상기 지그와 대향하여 배치되는 제 8 항에 따른 접합 패드; 및
    상기 제1 및 제2 기판을 접합하도록 상기 지그 및 상기 접합 패드 중 적어도 하나를 이동시키는 구동부
    를 포함하는 기판 접합 장치.

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