KR101898477B1 - Cover holder for cleaning carrier cover - Google Patents

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KR101898477B1
KR101898477B1 KR1020170060339A KR20170060339A KR101898477B1 KR 101898477 B1 KR101898477 B1 KR 101898477B1 KR 1020170060339 A KR1020170060339 A KR 1020170060339A KR 20170060339 A KR20170060339 A KR 20170060339A KR 101898477 B1 KR101898477 B1 KR 101898477B1
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조창현
노길수
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주식회사 아이에스티이
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Abstract

Disclosed is a cover holder for cleaning a carrier cover in which the carrier cover is fixed to a precise location, and the cover holder is able to smoothly and efficiently clean the carrier cover by preventing elements triggering failures in a process such as trembling. The holder separates and cleans at least one carrier into a carrier main body and the carrier cover, comprising: the cover holder installed with the carrier cover; a cover support formed with a cover securing groove inserted with a lower portion of the carrier cover; a side wall guide supporting a side surface of the carrier cover; and a weight body fixing an upper portion of the carrier cover by a weight.

Description

캐리어 커버를 세정하기 위한 커버 홀더{Cover holder for cleaning carrier cover}BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention [0001] The present invention relates to a cover holder for cleaning a carrier cover,

본 발명은 캐리어 커버의 홀더에 관한 것으로, 보다 상세하게는 캐리어 본체 및 캐리어 커버를 탑재하고 동시에 세정하기 위하여, 캐리어 커버를 고정하는 커버 홀더에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a holder of a carrier cover, and more particularly to a cover holder for fixing a carrier cover for mounting and simultaneously cleaning a carrier main body and a carrier cover.

캐리어(carrier)는 기판나 미세전자소자를 운반 및 보관 용도로 사용되는 전면개방 운반용기(Front Opening Shipping Box: 이하 'FOSB')와 운반 및 보관뿐만 아니라 공정진행 용도로 사용되는 전면개방 일체식 포드(Front Open Unified Pod: 이하 'FOUP') 등이 있다. 통상적으로 캐리어는 FOUP가 많이 사용된다. 캐리어는 일반적으로 캐리어 본체와 상기 본체를 밀봉하여 기판을 보관 및 반송할 수 있도록 상기 본체에 초청정한 내부 환경을 제공하는 커버로 구성된다. 기판은 본체 내로 삽입될 수 있는 카세트나 캐리어의 내부에 설치된 선반에 의해 지지된다. The carrier is a front opening shipping box (FOSB) used for transportation and storage of substrates and microelectronic devices, as well as transportation and storage, as well as a front open unified pod (Front Open Unified Pod: FOUP). Usually, the FOUP is used for the carrier. The carrier generally comprises a carrier body and a cover that provides an internal environment to the body for sealing and sealing the body to allow the body to be stored and transported. The substrate is supported by a cassette that can be inserted into the body or a shelf installed inside the carrier.

캐리어는 불순물 즉 입자상 물질 및 공기 중의 분자 오염물과 같은 다수의 오염원에 노출되어 있다. 기판이 캐리어 내에 놓여 있을 때나 캐리어를 장기간 저장하게 되면, 이들 오염원은 캐리어 내로 침투될 수 있으므로, 이를 주기적으로 세정하여야 한다. 종래의 세정장치는 오프너(opener)에 의해 분리된 본체와 커버 각각을 하나의 챔버(chamber)의 상부 및 하부에 로딩(loading)하여, 세정을 마치면 언로딩(unloading)한다. 이러한 세정과정은 국내등록특허 제10-1244381호, 국내등록특허 제10-1551545호 등에 상세하게 개시되어 있다. 그런데, 종래의 세정장치는 캐리어 커버의 안착위치를 제대로 결정할 수 없고 흔들림과 같은 공정상 오류를 유발하는 요인을 제거할 수 없다. 캐리어 커버의 고정이 제대로 되지 않으면, 커버의 흔들림 등이 발생하여 커버의 세정이 원활하게 이루어지지 않는다.  The carrier is exposed to a number of contaminants such as impurities, particulate matter and molecular contaminants in the air. When the substrate is placed in the carrier or if it is stored for a long period of time, these sources can penetrate into the carrier and must be periodically cleaned. The conventional cleaning apparatus loads each of the body and the cover separated by an opener into the upper and lower portions of one chamber and unloads the cleaning body when the cleaning is finished. Such a washing process is disclosed in detail in Korean Patent No. 10-1244381 and Korean Patent No. 10-1551545. However, the conventional cleaning apparatus can not properly determine the seating position of the carrier cover, and can not eliminate a factor causing a process error such as shaking. If the carrier cover is not fixed properly, the cover may be shaken and the cover may not be cleaned smoothly.

본 발명이 해결하고자 하는 과제는 캐리어 커버가 정확한 위치에 고정되고, 흔들림 등과 같은 공정상 오류의 유발을 방지하여 세정을 원활하고 효율적으로 수행하도록 하는 캐리어 커버를 세정하기 위한 커버 홀더를 제공하는 데 있다. A problem to be solved by the present invention is to provide a cover holder for cleaning a carrier cover which fixes the carrier cover at an accurate position and prevents the occurrence of process errors such as wobbling so as to perform cleaning smoothly and efficiently .

본 발명의 과제를 해결하기 위한 캐리어 커버를 세정하기 위한 커버 홀더는 적어도 하나의 캐리어를 캐리어 본체 및 캐리어 커버로 분리하여 세정하는 장치에 있어서, 상기 캐리어 커버를 탑재하는 커버 홀더는, 상기 캐리어 커버의 하부가 삽입되는 커버 안착홈이 형성된 커버 받침대와, 상기 캐리어 커버의 측면을 지지하는 측벽 가이드 및 상기 캐리어 커버의 상부를 중량에 의해 고정하는 중량체를 포함한다. A cover holder for cleaning a carrier cover for cleaning a carrier cover for separating and cleaning at least one carrier by a carrier body and a carrier cover, wherein the cover holder for mounting the carrier cover includes: A side wall guide for supporting a side surface of the carrier cover, and a weight for fixing the upper portion of the carrier cover by weight.

본 발명의 장치에 있어서, 상기 캐리어 커버는 상기 캐리어 본체의 측면 방향, 상부 및 하부 중의 어느 한 곳에 탑재될 수 있다. 상기 캐리어 커버는 상기 캐리어 본체와 본체 사이에 탑재될 수 있다. 상기 캐리어 커버 및 상기 커버 받침대 사이에는 공간이 존재한다. 상기 캐리어 받침대에는 상기 캐리어 커버의 하면을 세정하기 위한 세정홀을 포함할 수 있다. 상기 측벽 가이드는 상기 캐리어 커버와 직접 접촉하지 않고 상기 캐리어 커버와 공간을 확보하기 위한 완충부를 포함할 수 있다. In the apparatus of the present invention, the carrier cover may be mounted in any one of the lateral direction, upper and lower sides of the carrier body. The carrier cover may be mounted between the carrier body and the main body. There is a space between the carrier cover and the cover pedestal. The carrier base may include a cleaning hole for cleaning the lower surface of the carrier cover. The side wall guide may include a buffer for securing a space with the carrier cover without contacting the carrier cover directly.

본 발명의 바람직한 장치에 있어서, 상기 중량체는 중량체 헤드, 중량체 몸체 및 커버 삽입부를 포함하고, 상기 중량체 몸체는 중량체 지지대의 중량체 삽입홀에 삽입될 수 있다. 상기 중량체 몸체에는 부분적으로 돌출된 위치정의부를 포함하고, 상기 위치정의부는 상기 중량체 삽입홀에 존재하는 홈에 끼워진다. 상기 중량체 지지대는 상기 본체 홀더에 고정될 수 있다. 상기 커버 삽입부는 상기 캐리어 커버의 상부에 삽입된다.In the preferred apparatus of the present invention, the weight includes a weight head, a weight body, and a cover insertion portion, and the weight body may be inserted into the weight insertion hole of the weight support. The weight body includes a partially protruding position defining portion, and the position defining portion is fitted in the groove existing in the weight insertion hole. The weight support may be secured to the body holder. The cover insertion portion is inserted into an upper portion of the carrier cover.

본 발명의 캐리어를 세정하기 위한 캐리어 커버 홀더에 의하면, 중량체의 중량으로 캐리어 커버를 고정함으로써, 캐리어를 세정할 때 캐리어 커버가 정확한 위치에 고정되고, 흔들림 등과 같은 공정상 오류의 유발을 방지하여 세정을 원활하고 효율적으로 수행할 수 있다.According to the carrier cover holder for cleaning the carrier of the present invention, by fixing the carrier cover by the weight of the weight, the carrier cover is fixed at the correct position when the carrier is cleaned, and the occurrence of a process error such as rocking is prevented The cleaning can be performed smoothly and efficiently.

도 1은 본 발명에 의한 세정장치에 로딩 및 언로딩되는 캐리어를 간략하게 설명하기 위한 사시도이다.
도 2는 본 발명에 의한 캐리어를 세정하는 과정을 설명하기 위한 블록도이다.
도 3은 본 발명에 의한 캐리어 세정장치를 개략적으로 설명하기 위한 블록도이다.
도 4는 본 발명에 의한 캐리어를 세정하기 위한 캐리어 커버 홀더를 설명하기 위한 사시도이다.
도 5는 도 4를 측면에서 바라본 도면이다.
도 6은 도 4를 상부에서 바라본 도면이다.
도 7은 본 발명에 의한 커버 홀더에 커버가 장착된 상태를 나타내는 사시도이다.
도 8은 본 발명에 의한 캐리어 커버 홀더가 장착된 세정장치의 하나의 사례를 나타내는 사시도이다.1 is a perspective view briefly explaining a carrier to be loaded and unloaded into a cleaning apparatus according to the present invention.
2 is a block diagram illustrating a process of cleaning a carrier according to the present invention.
3 is a block diagram schematically illustrating a carrier cleaning apparatus according to the present invention.
4 is a perspective view for explaining a carrier cover holder for cleaning a carrier according to the present invention.
Fig. 5 is a side view of Fig. 4. Fig.
Fig. 6 is a top view of Fig. 4; Fig.
7 is a perspective view showing a state in which a cover is mounted on a cover holder according to the present invention.
Fig. 8 is a perspective view showing one example of a cleaning apparatus equipped with a carrier cover holder according to the present invention.

이하 첨부된 도면을 참조하면서 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명한다. 다음에서 설명되는 실시예는 여러 가지 다른 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 아래에서 상술되는 실시예에 한정되는 것은 아니다. 본 발명의 실시예는 당 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 본 발명을 보다 완전하게 설명하기 위하여 제공되는 것이다. 한편, 상부, 하부, 정면 등과 같이 위치를 지적하는 용어들은 도면에 나타낸 것과 관련될 뿐이다. 실제로, 홀더는 임의의 선택적인 방향으로 사용될 수 있으며, 실제 사용할 때 공간적인 방향은 홀더의 방향 및 회전에 따라 변한다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. The embodiments described below can be modified into various other forms, and the scope of the present invention is not limited to the embodiments described below. The embodiments of the present invention are provided to enable those skilled in the art to more fully understand the present invention. On the other hand, terms pointing to positions such as top, bottom, front, and the like only relate to those shown in the drawings. In practice, the holder can be used in any optional orientation, and the spatial orientation in actual use varies with the orientation and rotation of the holder.

본 발명의 실시예는 중량체의 중량으로 캐리어 커버를 고정함으로써, 캐리어를 세정할 때, 캐리어 커버가 정확한 위치에 고정되고, 흔들림 등과 같은 공정상 오류의 유발을 방지하여 세정을 원활하고 효율적으로 수행하는 커버 홀더를 제시한다. 이를 위해, 중량체에 의해 캐리어 커버를 고정하는 방법을 상세하게 설명하고, 상기 홀더가 장착된 상태에서 세정이 수행되는 과정을 구체적으로 살펴보기로 한다. 한편, 캐리어는 기판이나 미세전자소자를 운반, 보관뿐만 아니라 공정진행 용도로 사용되는 전면개방 일체식 포드(Front Open Unified Pod: 이하 'FOUP')를 예로 들겠으나, 본 발명의 범주 내에서 다른 형태의 캐리어도 가능하다. In the embodiment of the present invention, the carrier cover is fixed by the weight of the weight so that the carrier cover is fixed at the correct position when the carrier is cleaned, and the occurrence of errors in the process such as wobbling is prevented, A cover holder is proposed. To this end, a method of fixing the carrier cover by the weight will be described in detail, and a process of performing cleaning in the state that the holder is mounted will be described in detail. Meanwhile, the carrier will be exemplified as a front open unified pod (FOUP), which is used not only for transporting and storing substrates and microelectronic devices but also for carrying out a process. However, in the scope of the present invention, Of carriers are also possible.

도 1은 본 발명의 실시예에 적용되는 사례인 FOUP를 나타내는 사시도이다. 도시된 바와 같이, FOUP은 기판을 약 25매 단위로 보관하는 캐리어로서, 기판의 가공할 때 로드 포트(lord port)에 장착되어 기판을 꺼내거나 보관하는 데 사용된다. FOUP 본체 내부에 기판이 수납될 수 있는 다수의 슬롯이 설치되어 있다. 가공을 위하여 FOUP 커버를 열어 기판을 꺼내고, 공정이 완료되면 기판을 슬롯에 수납한 후에 커버를 닫아서 보관한다. 여기서, FOUP 본체는 캐리어 본체(CR1), FOUP 커버는 캐리어 커버(CR2)라고 할 수 있다. 1 is a perspective view showing a FOUP, which is an example applied to an embodiment of the present invention. As shown, the FOUP is a carrier that holds a substrate on a unit of about 25 sheets, and is mounted on a load port at the time of processing the substrate to be used to take out or store the substrate. A plurality of slots are formed in the FOUP main body to accommodate the substrates. For processing, open the FOUP cover to remove the substrate. When the process is completed, store the substrate in the slot and then close the cover. Here, the FOUP main body may be referred to as the carrier main body CR1, and the FOUP cover may be referred to as the carrier cover CR2.

도 2는 본 발명의 실시예에 의한 캐리어를 세정하는 과정을 설명하기 위한 블록도이다. 이때, 캐리어의 사례인 FOUP의 구조에 대해서는 도 1을 참조하기로 한다. 2 is a block diagram illustrating a process of cleaning a carrier according to an embodiment of the present invention. The structure of the FOUP, which is an example of a carrier, will be described with reference to FIG.

도 2에 의하면, 본 발명의 캐리어를 세정하기 위하여, 캐리어의 본체(CR1)와 커버(CR2)를 분리하는 분리부(102), 분리된 본체(CR1)와 커버(CR2)를 각각 별도의 셀에 로딩(loading)하거나 언로딩(unloading)하기 위한 로딩/언로딩부(104) 및 로딩된 본체(CR1)와 커버(CR2)를 세정하기 위한 세정장치(100)를 포함한다. 로딩/언로딩부(104)는 통상적으로 로봇을 이용하여 실시한다. 상기 세정 과정은 간략하게 개념적으로 설명한 것에 불과하므로, 실제 사용할 때에는 각각의 구성요소의 동작을 최적화하기 위하여 다양한 구조물을 부가할 수 있다. Referring to FIG. 2, in order to clean the carrier of the present invention, a separation unit 102 for separating the main body CR1 and the cover CR2 of the carrier, a separate main body CR1 and a cover CR2, A loading / unloading unit 104 for loading or unloading the loaded body CR1 and a cleaning apparatus 100 for cleaning the loaded body CR1 and the cover CR2. The loading / unloading unit 104 is typically carried out using a robot. Since the cleaning process is merely a conceptual description, various structures can be added in order to optimize the operation of each component in actual use.

도 3은 본 발명의 실시예에 의한 캐리어 세정장치(100)를 개략적으로 설명하기 위한 블록도이다. 이때, 캐리어를 세정하는 과정은 도 2를 참조하기로 한다.3 is a block diagram schematically illustrating a carrier cleaning apparatus 100 according to an embodiment of the present invention. At this time, the process of cleaning the carrier will be described with reference to FIG.

도 3에 의하면, 본 발명의 세정장치(100)는 케이스(10)의 내부에 본체 홀더(20) 및 커버 홀더(30)가 장착된다. 도면에서는 개략적인 사례를 제시하는 것으로, 커버(CR2)를 홀딩하는 기술적 사상이 서로 같으면 다른 형태의 세정장치에도 적용할 수 있다. 다시 말해, 본 발명의 세정장치는 하나의 캐리어 또는 복수개의 캐리어를 세정하는 장치에 모두 포함한다. 하나의 캐리어를 세정하는 장치의 경우, 커버(CR2)는 본체(CR1)의 측면, 상부 및 하부 중의 어느 한 곳에 탑재될 수 있고, 복수개의 캐리어를 세정하는 장치의 경우, 커버(CR2)는 본체(CR1) 사이 또는 본체(CR1)의 측면, 상부 및 하부 중의 어느 한 곳에 탑재될 수 있다. 이와 같은 캐리어 본체(CR1) 및 커버(CR2)의 탑재 방법은 본 발명의 실시예에 의한 캐리어 세정장치(100)의 종류 및 크기 등을 고려하여 설정된다.3, the cleaning apparatus 100 of the present invention is equipped with a main body holder 20 and a cover holder 30 inside a case 10. As shown in FIG. In the drawings, a schematic example is given. If the technical ideas of holding the cover CR2 are the same, the present invention can be applied to other types of cleaning devices. In other words, the cleaning apparatus of the present invention is included in a single carrier or an apparatus for cleaning a plurality of carriers. In the case of a device for cleaning one carrier, the cover CR2 can be mounted on one of the side, upper and lower sides of the main body CR1, and in the case of a device for cleaning a plurality of carriers, (CR1), or on the side, upper and lower sides of the main body (CR1). The mounting method of the carrier main body CR1 and the cover CR2 is set in consideration of the type and size of the carrier cleaning apparatus 100 according to the embodiment of the present invention.

도 4는 본 발명의 실시예에 의한 캐리어 커버를 세정하기 위한 커버 홀더(30)를 설명하기 위한 사시도이고, 도 5는 도 4를 측면에서 바라본 도면이며, 도 6은 도 4를 상부에서 바라본 도면이다. 도 7은 본 발명의 실시예에 의한 커버 홀더(30)에 커버(CR2)가 장착된 상태를 나타내는 사시도이다. 도면에 제시된 커버(CR2)는 도 1에서의 커버(CR2)와는 형상이 다르나, 실질적으로 동일한 기능 및 역할을 한다.4 is a perspective view for explaining a cover holder 30 for cleaning a carrier cover according to an embodiment of the present invention, FIG. 5 is a view as seen from a side view of FIG. 4, and FIG. 6 is a view to be. 7 is a perspective view showing a state in which the cover CR2 is mounted on the cover holder 30 according to the embodiment of the present invention. The cover CR2 shown in the figure is different in shape from the cover CR2 in Fig. 1, but has substantially the same function and role.

도 4 내지 도 7을 참조하면, 커버 홀더(30)는 커버 받침대(31), 측벽 가이드(37) 및 중량체(32)를 포함하여 구성된다. 커버 받침대(31)는 커버(CR2)의 하단이 삽입되는 커버 안착홈(a)이 존재한다. 즉, 커버 안착홈(a)은 커버(CR2)가 안정되게 커버 홀더(30)에 안착되도록 한다. 커버 안착홈(a)의 폭은 커버(CR2)의 하단을 수용할 수 있을 정도이면 충분하다. 커버(CR2)가 커버 안착홈(a)에 안착되더라도, 커버(CR2)와 커버 안착홈(a) 사이에는 공간이 존재하며, 커버 안착홈(a)에는 커버(CR2)의 하면을 세정하기 위하여 하면 세정홀(31a)이 배치된다. 4 to 7, the cover holder 30 includes a cover pedestal 31, a side wall guide 37, and a weight 32. As shown in Fig. The cover pedestal 31 has a cover seat groove a in which the lower end of the cover CR2 is inserted. That is, the cover seating groove (a) allows the cover CR2 to be stably seated on the cover holder 30. It suffices that the width of the cover seating groove (a) can accommodate the lower end of the cover CR2. There is a space between the cover CR2 and the cover mounting groove a even if the cover CR2 is seated in the cover mounting groove a and the cover mounting groove A cleaning hole 31a is disposed.

측벽 가이드(37)는 지면에 대하여 세워져 있는 형태이다. 이에 따라, 커버 안착홈(a)에 탑재되는 커버(CR2)는 세워진 상태를 유지한다. 여기서, 세워진 상태란 커버(CR2)의 넓은 측면을 기준으로 정해진다. 측벽 가이드(37)에는 커버(CR2)가 측벽 가이드(37)에 직접 접촉하지 않고, 소정의 공간을 확보하도록 완충부(38)가 설치되어 있다. 또한, 상기 공간은 커버(CR2) 측면의 세정 및 건조를 수행할 수 있도록 한다. 왜냐하면, 커버(CR2)가 측벽 가이드(37)에 직접 접촉하면, 접촉된 부위의 세정 및 건조 공정을 수행할 수 없기 때문이다. 완충부(38)는 측벽 가이드(37)의 코너 및 중심부에 배치되는 것이 좋으며, 완충부(38)에 의해 커버(CR2)의 안착 및 세정이 효율적으로 이루어지게 한다. 완충부(38)는 바람직하게는 유연성 및 탄성이 있는 고분자가 좋다.The sidewall guide 37 is shaped to stand on the ground. As a result, the cover CR2 mounted on the cover seating groove a remains in a raised state. Here, the erected state is determined based on the wide side of the cover CR2. The side wall guide 37 is provided with a buffer portion 38 so as to secure a predetermined space without the cover CR2 contacting the side wall guide 37 directly. Further, the space makes it possible to perform cleaning and drying of the side of the cover CR2. This is because, if the cover CR2 is in direct contact with the side wall guide 37, the cleaning and drying process of the contacted portion can not be performed. The cushioning portion 38 is preferably disposed at the corner and the center portion of the side wall guide 37 and enables the cushioning portion 38 to efficiently seat and clean the cover CR2. The buffer portion 38 is preferably a flexible and elastic polymer.

중량체(32)는 중량체 지지대(33)에 있는 중량체 삽입홀(34)에 삽입된다. 중량체(32)는 중량체 헤드(32a), 중량체 몸체(32b) 및 커버 삽입부(32c)로 이루어진다. 중량체 헤드(32a)는 중량체(32)의 핸들링을 용이하게 하기 위한 것이고, 커버 삽입부(32c)는 커버(CR2)의 상부에 삽입되어 커버(CR2)의 위치를 결정한다. 중량체 몸체(32b)는 부분적으로 돌출되어 중량체(32)가 삽입되는 위치를 정의하는 위치정의부(35)가 있다. 도시되지는 않았지만, 중량체 삽입홀(34)에는 위치정의부(35)에 부합하는 홈이 존재한다. 위치정의부(35)가 상기 홈에 끼워지면, 중량체(32)는 항상 동일한 위치를 놓일 수 있다. 도시되지는 않았지만, 중량체 지지대(33)는 중량체 고정홀(36)에 나사 등을 이용하여 본체 홀더(20)에 고정된다.The weight 32 is inserted into the weight insertion hole 34 in the weight support 33. The weight 32 includes a weight head 32a, a weight body 32b, and a cover insertion portion 32c. The weight head 32a is for facilitating the handling of the weight 32 and the cover insertion portion 32c is inserted into the upper portion of the cover CR2 to determine the position of the cover CR2. The weight body 32b has a position defining portion 35 that partially protrudes to define a position where the weight 32 is inserted. Although not shown, a groove corresponding to the position defining portion 35 is present in the weight insertion hole 34. When the position defining portion 35 is fitted in the groove, the weight 32 can always be placed at the same position. Although not shown, the weight support 33 is fixed to the body holder 20 by means of a screw or the like in the weight fixing hole 36.

중량체(32)의 소정의 무게를 가지는 물질이다. 만일, 중량체(32)가 없으면, 커버(CR2)는 커버 안착홈(a) 및 완충부(38)가 있는 측벽 가이드(37)에 탑재된다. 이렇게 되면, 커버(CR2)가 정확한 위치에 제대로 안착되지 않을 수 있고, 세정, 건조 및 이동하는 과정에서 흔들림 등과 같은 공정상의 오류가 발생할 수 있다. 하지만, 본 발명의 중량체(32)는 커버 삽입부(32c)가 커버(CR2)에 삽입되어 탑재되는 커버(CR2)의 위치를 결정하고, 중량체(32)의 중량으로 커버(CR2)를 누르기 때문에 흔들림과 같은 공정상의 오류를 제거할 수 있다. 중량체(32)를 상부방향으로 올린 후에 커버(CR2)를 커버 안착홈(a)에 탑재하고, 중량체(32)를 하부방향으로 이동하면서 커버 삽입부(32c)를 커버(CR2)에 결합시킨다. 이렇게 되면, 커버(CR2)의 위치가 결정되고, 중량체(32)의 중량으로 커버(CR2)는 안정되게 유지된다.The weight 32 is a material having a predetermined weight. If the weight 32 is not provided, the cover CR2 is mounted on the side wall guide 37 having the cover seating groove a and the buffer part 38. [ In this case, the cover CR2 may not be properly seated in the correct position, and a process error such as shaking in washing, drying and moving may occur. However, the weight 32 of the present invention determines the position of the cover CR2 in which the cover insertion portion 32c is inserted into the cover CR2, Pressing can eliminate process errors such as shaking. The cover CR2 is mounted on the cover mounting groove a and the cover insertion portion 32c is coupled to the cover CR2 while the weight 32 is moved downward . Then, the position of the cover CR2 is determined, and the weight of the weight 32 keeps the cover CR2 stable.

도 8은 본 발명의 실시예에 의한 캐리어 커버 홀더가 장착된 세정장치의 하나의 사례를 나타내는 사시도이다. 설명의 편의를 위하여, 도 3의 케이스(10)를 제거한 상태를 표현하였다. 또한, 세정장치(100)는 본체(CR1) 및 커버(CR2)가 모두 탑재된 상태를 나타내었다. 도면에 제시된 본체(CR1)와 커버(CR2)는 도 1에서의 본체(CR1)와 커버(CR2)와는 형상이 다르나, 실질적으로 동일한 기능 및 역할을 한다.FIG. 8 is a perspective view showing one example of a cleaning apparatus equipped with a carrier cover holder according to an embodiment of the present invention. FIG. For convenience of explanation, the case 10 of Fig. 3 is removed. Further, the cleaning apparatus 100 has a state in which both the main body CR1 and the cover CR2 are mounted. The main body CR1 and the cover CR2 shown in the figure have substantially the same functions and functions although they are different in shape from the main body CR1 and the cover CR2 in FIG.

도 8에 의하면, 세정장치(100)는 본체 홀더(20), 커버 홀더(30), 구동부(40) 및 세정부(50)를 포함하여 이루어진다. 본체 홀더(20)에는 본체(CR1)가 안착되며, 커버 홀더(30)에는 커버(CR2)가 안착된다. 상기 사례는 복수개의 캐리어를 세정하는 세정장치(100)로서, 본체(CR1) 및 커버(CR2)를 함께 탑재하고 동시에 세정한다. 여기서, 상기 복수는 적어도 2개를 말하는 것으로, 바람직하게는 4개 이상이 좋다. 도면에서는 4개의 캐리어, 즉 4개의 본체(CR1) 및 4개의 커버(CR2)를 예로 들었다. 이에 따라, 상기 세정장치에는 본체 홀더(20) 및 커버 홀더(30)가 번갈아 가면서 교대로 배치되는 4개의 본체 홀더(20) 및 커버 홀더(30)가 존재한다. 구동부(40)는 모터 구조체로부터 회전력을 전달받아, 시계 또는 반시계 방향 중의 하나의 방향으로 회전한다. 세정부(50)는 본체(CR1) 및 커버(CR2)를 세정하고 건조하기 위한 것으로, 본체 및 커버 홀더(20, 30)의 외측인 상부, 하부 및 측면에 위치한다. 8, the cleaning apparatus 100 includes a main body holder 20, a cover holder 30, a driving unit 40, and a cleaning unit 50. The main body CR1 is seated on the main body holder 20 and the cover CR2 is seated on the cover holder 30. [ The above example is a cleaning device 100 for cleaning a plurality of carriers, and the main body CR1 and the cover CR2 are mounted together and simultaneously cleaned. Here, the plurality is at least two, preferably four or more. In the drawing, four carriers, that is, four main bodies CR1 and four covers CR2 are exemplified. There are thus four main body holders 20 and a cover holder 30 in which the main body holder 20 and the cover holder 30 are alternately arranged alternately. The driving unit 40 receives the rotational force from the motor structure and rotates in a clockwise or counterclockwise direction. The cleaning section 50 is for cleaning and drying the main body CR1 and the cover CR2 and is located on the upper side, the lower side and the lateral side of the main body and the cover holders 20,

상기 세정장치에 의한 세정방법은 다음과 같다. 먼저, 분리된 본체(CR1) 및 커버(CR2)를 본체 홀더(20) 및 커버 홀더(30)에 순차적으로 안착시킨다. 이를 위해, 구동부(40)를 이용하여, 본체 홀더(20) 및 커버 홀더(30)를 회전시킨다. 본체(CR1)가 안착되면, 구동부(40)는 커버(CR2)를 측벽 가이드(37)에 안착시킨다. 이와 같은 과정을 반복하면, 본체(CR1) 및 커버(CR2)는 본체 홀더(20) 및 커버 홀더(30)에 교대로 안착된다. 본체(CR1) 및 커버(CR2)가 안착되면, 세정부(50)로 본체(CR1) 및 커버(CR2)를 세정하고 건조시킨다. 세정 및 건조가 완료되면, 상기 로딩과는 역순으로 본체(CR1) 및 커버(CR2)를 언로딩한다. 세정부(50)는 본체(CR1) 및 커버(CR2)의 상부, 하부 및 측면에 위치하므로, 특히 본체(CR1)의 내부 및 외부를 동시에 세정할 수 있다.The cleaning method by the above-described cleaning apparatus is as follows. First, the separated main body CR1 and the cover CR2 are sequentially placed on the main body holder 20 and the cover holder 30. To this end, the main body holder 20 and the cover holder 30 are rotated using the driving unit 40. [ When the main body CR1 is seated, the driving portion 40 seats the cover CR2 on the side wall guide 37. When this process is repeated, the main body CR1 and the cover CR2 are seated alternately in the main body holder 20 and the cover holder 30. [ When the main body CR1 and the cover CR2 are seated, the main body CR1 and the cover CR2 are cleaned and dried with the cleaning part 50. [ When cleaning and drying are completed, the main body CR1 and the cover CR2 are unloaded in the reverse order of the loading. Since the cleaning section 50 is located on the upper, lower and side surfaces of the main body CR1 and the cover CR2, it is possible to clean both the inside and the outside of the main body CR1 at the same time.

이상, 본 발명은 바람직한 실시예를 들어 상세하게 설명하였으나, 본 발명은 상기 실시예에 한정되지 않으며, 본 발명의 기술적 사상의 범위 내에서 당 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의하여 여러 가지 변형이 가능하다. While the present invention has been particularly shown and described with reference to exemplary embodiments thereof, it is to be understood that the invention is not limited to the disclosed exemplary embodiments, but many variations and modifications may be made without departing from the spirit and scope of the invention. It is possible.

10; 케이스 20; 본체 홀더
30; 커버 홀더 31; 커버 받침대
32; 중량체 33; 중량체 지지대
34; 중량체 삽입홀 35; 위치정의부
36; 중량체 고정홀 37; 측벽 가이드
38; 완충부 40; 구동부
50; 세정부 100; 세정장치
102; 분리부 104; 로딩/언로딩부
CR1; 캐리어 본체 CR2; 캐리어 커버10; Case 20; Body holder
30; Cover holder 31; Cover base
32; Weight body 33; Weight support
34; A weight insertion hole 35; Position definition section
36; A weight fixing hole 37; Side wall guide
38; Buffer 40; The driving unit
50; 100 government; Cleaning device
102; Separator 104; Loading / unloading section
CR1; Carrier body CR2; Carrier Cover

Claims (10)

적어도 하나의 캐리어를 캐리어 본체 및 캐리어 커버로 분리하여 세정하는 장치에 있어서,
상기 캐리어 커버를 탑재하는 커버 홀더는,
상기 캐리어 커버의 하부가 삽입되는 커버 안착홈이 형성된 커버 받침대;
상기 캐리어 커버의 외측면을 지지하는 측벽 가이드; 및
상기 캐리어 커버의 상부를 중량에 의해 고정하는 중량체를 포함하고,
상기 중량체는 중량체 헤드, 중량체 몸체 및 커버 삽입부를 포함하고, 상기 중량체 몸체는 중량체 지지대의 중량체 삽입홀에 삽입되며, 상기 중량체 몸체에는 부분적으로 돌출된 위치정의부를 포함하고, 상기 위치정의부는 상기 중량체 삽입홀에 존재하는 홈에 끼워지는 것을 특징으로 하는 캐리어 커버를 세정하기 위한 커버 홀더.An apparatus for separating and cleaning at least one carrier by a carrier body and a carrier cover,
The cover holder, on which the carrier cover is mounted,
A cover support having a cover receiving groove into which a lower portion of the carrier cover is inserted;
A side wall guide for supporting an outer side surface of the carrier cover; And
And a weight for fixing the upper portion of the carrier cover by weight,
The weight body includes a weight head, a weight body, and a cover insertion portion. The weight body is inserted into a weight insertion hole of the weight support, and partially protrudes from the weight body, Wherein the position defining portion is fitted in a groove existing in the weight insertion hole. 제1항에 있어서, 상기 캐리어 커버는 상기 캐리어 본체의 측면 방향, 상부 및 하부 중의 어느 한 곳에 탑재되는 것을 특징으로 하는 캐리어 커버를 세정하기 위한 커버 홀더.The cover holder for cleaning a carrier cover according to claim 1, wherein the carrier cover is mounted in one of a lateral direction, an upper side, and a lower side of the carrier body. 제1항에 있어서, 상기 캐리어 커버는 인접하는 2개의 상기 캐리어 본체와 캐리어 본체 사이에 탑재되는 것을 특징으로 하는 캐리어 커버를 세정하기 위한 커버 홀더.The cover holder for cleaning a carrier cover according to claim 1, wherein the carrier cover is mounted between two adjacent carrier bodies and the carrier body. 제1항에 있어서, 상기 캐리어 커버 및 상기 커버 받침대 사이에는 공간이 존재하는 것을 특징으로 하는 캐리어 커버를 세정하기 위한 커버 홀더.The cover holder of claim 1, wherein a space is present between the carrier cover and the cover pedestal. 제1항에 있어서, 상기 커버 받침대에는 상기 캐리어 커버의 하면을 세정하기 위한 세정홀을 포함하는 것을 특징으로 하는 캐리어 커버를 세정하기 위한 커버 홀더.The cover holder for cleaning a carrier cover according to claim 1, wherein the cover base includes a cleaning hole for cleaning the lower surface of the carrier cover. 제1항에 있어서, 상기 측벽 가이드는 상기 캐리어 커버와 직접 접촉하지 않고 상기 캐리어 커버와 공간을 확보하기 위한 완충부를 포함하는 것을 특징으로 하는 캐리어 커버를 세정하기 위한 커버 홀더.The cover holder of claim 1, wherein the side wall guide includes a buffer for securing a space with the carrier cover without contacting the carrier cover directly. 삭제delete 삭제delete 제1항에 있어서, 상기 중량체 지지대는 본체 홀더에 고정되는 것을 특징으로 하는 캐리어 커버를 세정하기 위한 커버 홀더.The cover holder of claim 1, wherein the weight support is secured to the body holder. 제1항에 있어서, 상기 커버 삽입부는 상기 캐리어 커버의 상부에 삽입되어 상기 캐리어 커버가 상기 커버 홀더에 안착되는 위치를 결정하는 것을 특징으로 하는 캐리어 커버를 세정하기 위한 커버 홀더.The cover holder according to claim 1, wherein the cover insertion portion is inserted into an upper portion of the carrier cover to determine a position where the carrier cover is seated in the cover holder.
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