KR101888762B1 - Equipment for vibration isolation - Google Patents

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KR101888762B1
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강성복
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한국생산기술연구원
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Abstract

본 발명은 설치공간이 감소되는 동시에 장치가 간소화되고 장치의 원가절감들 도모하는 동시에 외부로부터의 자기장 영향을 차단하여 설비의 정밀한 진동제어가 가능하게 하는 방진장치를 제공하는 것을 기술적 과제로 한다.
이를 달성하기 위해 본 발명은 테이블에 설치된 설비의 진동을 제어하기 위한 방진장치로서, 베이스와, 상기 베이스에 설치되는 공기 스프링과, 상기 공기 스프링의 내부에 설치되는 댐퍼와, 상기 댐퍼의 상단이 힌지운동가능하게 하측에 설치되며 상측이 상기 테이블에 고정되는 지지대로 이루어지며, 상기 댐퍼는 상기 지지대에 상방으로 경사지게 설치되는 것을 특징으로 한다.
본 발명은 전술한 구성에 의해 수직 및 수평 진동을 방지하는 방진장치를 설치하는 공간이 대폭적으로 감소되며, 4개의 지지대 및 8개의 댐퍼 구성이 불요하게 되므로 이를 설치하기 위한 공간이 절약되는 효과를 가지게 된다.
또한, 본 발명은 전술한 바와 같은 4개의 지지대 및 8개의 댐퍼 구성이 불요하게 되므로 방진장치의 원가가 절감되는 효과도 동시에 가지게 된다.
더욱이, 본 발명에서는 자기장 차단부가 설치됨으로써 설비나 외부의 주변장치에 의해 발생하는 자장이 자기 유체 댐퍼의 MR 유체에 영향을 주어 정밀한 진동제어가 확보되어 제품의 신뢰성이 향상되는 장점도 가진다.The object of the present invention is to provide a vibration damping device capable of reducing installation space, simplifying the device, reducing the cost of the device, and preventing the influence of a magnetic field from the outside, thereby precisely controlling the vibration of the equipment.
In order to accomplish this, the present invention provides an anti-vibration device for controlling vibration of a facility installed on a table, comprising: a base; an air spring installed on the base; a damper installed inside the air spring; The damper is installed on the lower side to be able to move and the upper side is fixed to the table, and the damper is installed to be inclined upward on the support base.
According to the present invention, the space for installing the dustproof device for preventing the vertical and horizontal vibrations is greatly reduced, and the four support rods and the eight damper rods are unnecessary. Therefore, do.
In addition, since the four support members and the eight damper members are not required, the present invention also has the effect of reducing the cost of the dustproof device.
Further, in the present invention, since the magnetic field shielding portion is provided, the magnetic field generated by the facility or the external peripheral device affects the MR fluid of the magnetic fluid damper, thereby ensuring precise vibration control, thereby improving the reliability of the product.

Description

방진 장치{EQUIPMENT FOR VIBRATION ISOLATION}{EQUIPMENT FOR VIBRATION ISOLATION}

본 발명은 방진장치에 대한 것으로서, TFT LCD 나 반도체를 생산하는 생산 설비나 정밀측정설비와 같은 장치에서 정밀한 진동제어를 가능하게 하는 방진장치에 대한 것이다.The present invention relates to an anti-vibration device, and more particularly, to an anti-vibration device capable of precise vibration control in an apparatus such as a production facility for producing TFT LCD or semiconductor or an apparatus for precision measurement.

방진장치란 스프링 또는 스프링과 댐퍼를 조합하고 부착 구조물을 구비한 것으로서, 방진대상 장비를 바닥에 지지할 수 있도록 구성한 기구를 의미한다.An anti-vibration device means a device that has a spring or a combination of a spring and a damper and has an attachment structure, and is configured to support the anti-vibration device on the floor.

최근 반도체 공장, LCD 공장 등 자동화된 정밀 생산시설에서는 엄격한 진동 환경에서 운용되는 방진장치들이 많이 사용되고 있다. Recently, in automation precision production facilities such as semiconductor factory and LCD factory, dustproof devices operated in severe vibration environments are widely used.

이들 방진장치들은 주변에서 전달되는 미세한 진동을 차단하기 위하여 금속코일스프링, 공기 스프링 등과 같이 스프링 상수가 아주 낮은 스프링을 사용하여 제작한 방진마운트를 이용하여 주변으로부터 전달되는 진동을 차단하고 있다.These anti-vibration devices block the vibration transmitted from the surroundings by using anti-vibration mounts manufactured by using springs with very low spring constant such as metal coil springs, air springs, etc. in order to block minute vibrations transmitted from the surroundings.

정밀장비의 방진에 사용되는 스프링으로는 공기 스프링이 많이 사용된다. 공기 스프링은 3Hz 이하의 낮은 고유진동수를 가지는 방진장치를 구성할 수 있어 금속스프링보다도 더 높은 방진효과를 얻을 수 있다. Air springs are widely used as springs for vibration prevention of precision equipment. The air spring can constitute a dustproof device having a low natural frequency of 3 Hz or less, so that a dustproof effect higher than that of the metal spring can be obtained.

그러나, 공기 스프링도 금속스프링처럼 내부 감쇠가 거의 없어 과도응답 시간이 길고 공진 영역에서 진동을 아주 크게 증폭시키는 문제점이 있다. However, there is a problem in that the air spring has almost no internal damping like a metal spring, and the transient response time is long and the vibration is greatly amplified in the resonance region.

따라서, 공기 스프링을 사용하여 구성한 방진장치는 동적 안정성이 낮아 자체에서 발생하는 진동 또는 주변에서 전달되는 비정상적인 진동 가진력에 의하여 크게 진동하고, 또한 과도진동 응답 시간이 길어 한번 진동이 발생하면 진동의 지속 시간이 길어서 정상적인 장비의 운용에 문제가 발생한다.Therefore, the anti-vibration device constructed using the air spring vibrates largely due to the vibration generated by itself or the abnormal vibration force transmitted from the surroundings due to its low dynamic stability, and when the vibration response occurs for a long time, This causes a problem in normal operation of the equipment.

이러한 문제점을 해결하기 위해 댐퍼가 사용되며 댐퍼란 여러 가지 의미로 사용되나, 진동제어 분야에서는 진동하는 물체의 운동에너지를 열로 변환시켜 주변으로 소산시킴으로서 진동을 억제하는 기능을 하는 요소를 의미한다. In order to solve this problem, a damper is used and a damper is used for various purposes. In the vibration control field, the vibration energy is suppressed by converting the kinetic energy of the vibrating object into heat and dissipating it to the surroundings.

방진장치에서 스프링과 댐퍼를 함께 사용하면, 스프링만을 사용했을 때에 비하여 과도진동시간이 크게 단축되어 일시적인 진동이 빨리 소멸되고, 공진영역에서 진동의 증폭이 크지 않아 유리하다. When the spring and the damper are used together in the vibration damping device, the transient vibration time is greatly shortened as compared with the case where only the spring is used, so that the temporary vibration quickly disappears and amplification of the vibration in the resonance area is not large.

최근에는 댐퍼의 실린더에 충진되는 유체로 자기유변유체(Magneto-Rheological Fluid)를 사용한 자기유체댐퍼(Magneto-Rheological Damper, 통상 "MR댐퍼"로 약칭)가 개발되어 사용되고 있다. In recent years, a magneto-rheological damper (commonly referred to as "MR damper") using a magnetorheological fluid has been developed and used as a fluid to be filled in a cylinder of a damper.

MR댐퍼는 상용품(미국 LOAD사, 모델번호 : RD-1005-3 등)으로 시판되고 있는데, 그 내부 구조는 대략적으로 실린더, 오리피스가 있는 피스톤, 그리고 피스톤에 감긴 코일로 구성되고, 실린더의 내부에는 자기유변유체(Magneto-Rheological Fluid, MR유체, 이하 본 명세서에서도 "MR유체"라 칭한다.)가 충진된다.The MR damper is commercially available as a commercial product (LOAD, USA, model number: RD-1005-3, etc.), and its internal structure is roughly composed of a cylinder, a piston with orifice and a coil wound on the piston, Is filled with a magnetorheological fluid (MR fluid, hereinafter also referred to as "MR fluid").

MR댐퍼의 내부에 충진되는 자기유변유체는 주변 자기장의 세기에 따라 유체의 점성이 변하는 유체인데, 코일에 전기가 흘러 자기장이 형성되면 유체의 점성이 증가하여 오리피스를 통과할 때 큰 저항력을 유발하여 댐핑계수가 큰 댐퍼가 되고, 전기가 흐르지 않으면 유체의 점성이 낮아 댐핑계수가 작은 댐퍼가 된다. The magnetorheological fluid filled in the MR damper is a fluid whose viscosity changes according to the intensity of the surrounding magnetic field. When the magnetic field is generated due to the flow of electricity to the coil, the viscosity of the fluid increases, causing a large resistance force when passing through the orifice If the electric power does not flow, the viscosity of the fluid is low and the damping coefficient becomes small.

따라서, MR댐퍼는 코일에 흐르는 전류의 세기에 따라 댐핑계수를 조절할 수 있는 가변댐퍼이다.Therefore, the MR damper is a variable damper capable of adjusting the damping coefficient according to the intensity of the current flowing through the coil.

자기 유체 댐퍼를 공기 스프링과 함께 이용하여 생산설비의 진동을 제어하는 방진장치가 한국특허공개 제10-2003-66027호에 개시되어 있다.Japanese Unexamined Patent Application Publication No. 10-2003-66027 discloses a vibration damper for controlling vibration of a production facility by using a magnetic fluid damper together with an air spring.

도 1 및 도 2 에 도시된 바와 같이 테이블(1)의 상부에는 생산설비 등의 설비(2)가 설치되고, 테이블(1)의 하부에는 공기스프링(3) 및 댐퍼(4)의 상단이 병렬로 고정되고 테이블(10)의 하부에 설치된 베이스부(1-1)에는 공기스프링(3) 및 댐퍼(4)의 하단이 고정된다.As shown in Figs. 1 and 2, a facility 2 such as a production facility is installed on the upper part of the table 1, and the upper ends of the air spring 3 and the damper 4 are arranged in parallel And the lower ends of the air spring 3 and the damper 4 are fixed to the base portion 1-1 provided at the lower portion of the table 10. [

평면에서 볼 때 공기스프링(3)과 댐퍼(4)가 병렬로 설치된 부분이 테이블(1)의 4개 각 모서리마다 한 세트씩 설치되어 수직방향의 진동을 흡수하는 작용을 하게 된다.The air spring 3 and the damper 4 are installed in parallel on the four corners of the table 1 in a plan view so as to absorb vibration in the vertical direction.

이러한 장치에 의한 경우 수직방향 진동에 대해서는 흡수하여 제진하는 작용을 하지만 수평방향 진동에 대해서는 제진작용을 하지 못하게 된다.With such a device, it absorbs and vibrates in the vertical direction vibration, but does not perform the vibration damping action in the horizontal direction vibration.

수평방향의 진동을 제진하기 위해 테이블(1)의 둘레도 각각 지지대(5)를 설치하고 각 지지대(5)에 댐퍼(4)의 일단이 고정되고 타단이 테이블(1)의 측면을 지지하는 구성이 공지되어 있다.In order to damp vibration in the horizontal direction, a support 5 is provided around the table 1, one end of the damper 4 is fixed to each support 5, and the other end supports the side of the table 1 Is known.

그러나, 이러한 경우 수평방향 진동을 제진하기 위해 적어도 4개의 지지대(5)가 추가로 설치되어야 하고, 각 지지대 별로 2개, 즉 전체적으로 8개의 댐퍼(4)가 추가로 설치되어야 한다.In this case, however, at least four support rods 5 should be additionally installed in order to dampen the horizontal vibration, and two rods, that is, eight rods should be additionally provided for each support rope.

종래기술에서는 기본적으로 공기 스프링(3) 및 자기 유체 댐퍼(4)가 병렬로 4 개소에 설치되어야 하므로 설치공간이 커지는 문제점이 존재한다. 또한, 수평방향의 제진작용을 위해 4개의 지지대(5) 및 8개의 댐퍼(4)가 추가로 설치되어야 하는 바, 이로 인해 설치공간이 더욱 더 커져야 하며 제조원가도 상승하게 되는 단점을 가지게 된다.In the prior art, since the air spring 3 and the magnetic fluid damper 4 are basically installed in parallel at four places, there is a problem that the installation space is increased. In addition, four support rods 5 and eight dampers 4 must be additionally provided for the vibration damping operation in the horizontal direction, thereby increasing the installation space and increasing the manufacturing cost.

또한, 댐퍼(4)를 자기 유체 댐퍼를 사용하는 경우 설비(2) 또는 주변장치에서 발생하는 전자기력 또는 자기력에 의해 자기 유체 댐퍼(4)의 내부에 포함된 MR 자기유변유체에 영향을 미치게 되어 자기 유체 댐퍼(4)의 댐핑계수가 외부영향을 받아 정밀한 설비의 진동제어에 오작동을 초래하게 되는 문제점을 가지게 된다.When the damper 4 uses a magnetic fluid damper, it affects the MR magnetorheological fluid contained in the magnetorheological damper 4 by the electromagnetic force or magnetic force generated in the facility 2 or the peripheral device, There is a problem that the damping coefficient of the fluid damper 4 is affected by external influences and causes a malfunction in the vibration control of the precise equipment.

본 발명은 전술한 과제를 해결하기 위한 것으로서, 보다 구체적으로는 설치공간이 감소되는 동시에 장치가 간소화되고 장치의 원가절감들 도모하는 동시에 외부로부터의 자기장 영향을 차단하여 설비의 정밀한 진동제어가 가능하게 하는 방진장치를 제공하는 것을 기술적 과제로 한다.The present invention has been made to solve the above-mentioned problems, and it is an object of the present invention to reduce the installation space, simplify the apparatus, reduce the cost of the apparatus and block the influence of the external magnetic field, And an object of the present invention is to provide a vibration damping device for a vehicle.

본 발명은 전술한 과제를 해결하기 위해, 테이블에 설치된 설비의 진동을 제어하기 위한 방진장치로서, 베이스와, 상기 베이스에 설치되는 공기 스프링과, 상기 공기 스프링의 내부에 설치되는 댐퍼와, 상기 댐퍼의 상단이 연결되고 상기 테이블에 고정되는 지지대로 이루어지며, 상기 댐퍼의 하단은 상기 베이스에 힌지운동가능하게 설치되고, 상기 댐퍼의 상단은 상기 지지대에 상방으로 경사지도록 힌지운동가능하게 설치되는 것을 특징으로 한다.In order to solve the above-mentioned problems, the present invention provides a vibration isolating device for controlling vibration of a facility installed on a table, comprising: a base; an air spring provided on the base; a damper provided inside the air spring; And a lower end of the damper is hinge-mounted on the base, and an upper end of the damper is hinge-mounted so as to be inclined upwardly on the support base .

본 발명의 방진장치에서, 상기 지지대는 상기 댐퍼가 연결되는 슬라이더와,상기 슬라이더를 수용하기 위한 슬라이더 삽입홈이 형성된 하부 지지대와, 상기 슬라이더 삽입홈을 덮도록 상기 하부 지지대가 고정되는 상부 지지대로 이루어지는 것을 특징으로 한다.In the vibration damping device of the present invention, the support base includes a slider to which the damper is connected, a lower support having a slider insertion slot for receiving the slider, and an upper support to which the lower support is fixed to cover the slider insertion slot .

본 발명의 방진장치에서, 상기 슬라이더 삽입홈은 상기 하부지지대의 상면에서 하방으로 깊이를 가지며 평면방향으로 일정한 폭을 가지도록 연장되어 형성되는 슬라이더 홈과, 상기 슬라이더 홈의 폭보다 좁은 폭으로 하방으로 연장되며 상기 하부 지지대의 저면을 관통하여 형성되는 연결부 홈으로 이루어지는 것을 특징으로 한다.In the vibration damping device of the present invention, the slider insertion groove may include a slider groove formed to extend downward from the upper surface of the lower support so as to have a predetermined width in a planar direction, and a slider groove extending downward And a connection groove formed to extend through the bottom surface of the lower support.

본 발명의 방진장치에서, 상기 슬라이더부는, 상기 슬라이더 홈에 삽입되도록 이에 대응하는 형상을 가지는 슬라이더와, 상기 슬라이더의 하방으로 연장되어 형성되며 상기 댐퍼의 로드부와 연결되는 연결홈을 구비하며 상기 연결부 홈에 삽입될 수 있도록 이에 대응하는 형상을 가지는 연결부로 이루어지는 것을 특징으로 한다.In the vibration damping device of the present invention, the slider portion may include a slider having a shape corresponding to the slider groove to be inserted into the slider groove, and a connection groove extending downwardly of the slider and connected to the rod portion of the damper, And a connecting portion having a shape corresponding thereto so as to be inserted into the groove.

본 발명의 방진장치에서, 상기 슬라이더 홈의 상면 및 상기 슬라이더부의 하면의 어느 일방에는 돌출부가 형성되고 타방에는 이에 대응하는 형상을 가지는 수용홈이 형성되어 있는 것을 특징으로 한다.In the vibration damping device of the present invention, protrusions are formed on either one of the upper surface of the slider groove and the lower surface of the slider, and the other has a receiving groove having a shape corresponding thereto.

본 발명의 방진장치에서, 상기 하부 지지대에서 상기 슬라이더 홈의 둘레에는 반원 단면의 실링 홈이 형성되고, 상기 상부 지지대에도 동일한 크기의 반원 단면의 실링 홈이 형성되어, 양 실링 홈 사이에 실링부재가 삽입되는 것을 특징으로 한다.In the vibration damping device of the present invention, a sealing groove having a semicircular cross section is formed on the periphery of the slider groove on the lower support base, and a sealing groove having a semicircular cross section having the same size is formed on the upper support base, Is inserted.

본 발명의 방진장치에서, 상기 공기 스프링과 상기 댐퍼를 상기 테이블의 각 모서리마다 형성되는 것을 특징으로 한다.In the vibration damping device of the present invention, the air spring and the damper are formed at each corner of the table.

본 발명의 방진장치에서, 상기 댐퍼가 상방으로 경사지는 방향은 상기 테이블의 중심을 향하도록 배치되는 것을 특징으로 한다.In the vibration damping device of the present invention, the direction in which the damper is inclined upward is disposed to face the center of the table.

본 발명의 방진장치에서, 상기 댐퍼는 자기 유체 댐퍼인 것을 특징으로 한다.In the vibration damping device of the present invention, the damper is a magnetic fluid damper.

본 발명의 방진장치에서, 상기 공기 스프링의 외측 또는 내측에는 외부로부터 자기장이 상기 자기 유체 댐퍼에 영향을 미치는 것을 방지하기 위해 상기 자기 유체 댐퍼를 둘러싸도록 자기장 차단부가 형성되어 있는 것을 특징으로 한다.In the vibration damping device of the present invention, a magnetic field shielding portion is formed on the outside or inside of the air spring so as to surround the magnetic fluid damper so as to prevent a magnetic field from externally affecting the magnetic fluid damper.

본 발명은 전술한 구성에 의해 수직방향 진동은 물론 수평방향 진동도 동시에 방지하는 장치를 적은 설치공간내에 설치가 가능하게 되는 바, 설치공간이 감소하는 효과를 가지게 된다. According to the present invention, it is possible to install a device for preventing vibration in the vertical direction as well as in the horizontal direction at the same time in a small installation space, thereby reducing the installation space.

특히, 종래기술에서 필요하였던 4개의 지지대 및 8개의 댐퍼 구성이 불요하게 되므로 이를 설치하기 위한 공간이 더욱 대폭적으로 절약되며 이로 인해 제조원가도 대폭적으로 절감되는 효과를 가지게 된다.Particularly, since the four support members and the eight damper members, which are required in the prior art, are not required, the space for installing the four support members and the eight damper members can be significantly reduced, and the manufacturing cost can be greatly reduced.

또한, 본 발명에서는 자기장 차단부가 설치됨으로써 설비나 외부의 주변장치에 의해 발생하는 자장이 자기 유체 댐퍼의 MR 유체에 영향을 주는 것을 방지하게 됨으로써 설비의 정밀한 진동제어가 확보되어 제품의 신뢰성이 향상되는 장점도 가진다.Further, in the present invention, since the magnetic field shielding portion is provided, it is possible to prevent the magnetic field generated by the facility or the external peripheral device from affecting the MR fluid of the magnetic fluid damper, thereby ensuring precise vibration control of the equipment and improving the reliability of the product It also has an advantage.

도 1 은 종래 기술의 방진 장치의 측면을 도시하는 도면이다.
도 2 는 종래 기술의 방진 장치의 평면을 도시하는 도면이다.
도 3 는 본 발명의 방진장치의 분해 사시도이다.
도 4 은 본 발명의 방진장치를 도시하는 단면도이다.
도 5 는 본 발명의 방진장치의 자기 유체 댐퍼를 도시하는 도면이다.
도 6 는 본 발명의 방진장치의 하부 지지대를 도시하는 단면도이다.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS Fig. 1 is a view showing a side view of a vibration preventing device of the prior art; Fig.
Fig. 2 is a view showing a plane of the vibration preventing device of the prior art.
3 is an exploded perspective view of the dustproof device of the present invention.
Fig. 4 is a cross-sectional view showing an anti-vibration device of the present invention. Fig.
5 is a view showing a magnetic fluid damper of the vibration isolation device of the present invention.
6 is a cross-sectional view showing a lower support of an anti-vibration device of the present invention.

이하, 도면을 참조하여 본 발명의 일 실시예에 대해 설명한다.Hereinafter, an embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings.

도 3 는 본 발명의 방진장치의 분해 사시도이다. 도 4 은 본 발명의 방진장치를 도시하는 단면도이다.3 is an exploded perspective view of the dustproof device of the present invention. Fig. 4 is a cross-sectional view showing an anti-vibration device of the present invention. Fig.

본 발명의 방진장치는 베이스(100)와, 상기 베이스(100)의 상부에 설치되는 공기 스프링(200)과, 상기 공기 스프링(200)의 내부에 설치되는 댐퍼(300)와, 상기 댐퍼(300)의 상단부가 설치되는 지지대(400)로 이루어진다.The vibration damping device of the present invention includes a base 100, an air spring 200 installed on the upper portion of the base 100, a damper 300 installed inside the air spring 200, And a support base 400 on which an upper end of the support base 400 is installed.

베이스(100)는 평판형상으로 공지된 방진장치의 베이스와 동일하게 형성되며 상부에는 댐퍼(300)의 하단을 힌지운동가능하게 고정하기 위한 고리 형상의 고정부(110)가 형성된다.The base 100 is formed in the same shape as the base of the anti-vibration device known in the form of a flat plate, and an annular fixing part 110 for fixing the lower end of the damper 300 so as to be hinged is formed on the upper part.

베이스(100)의 상부에는 공지된 구성의 공기 스프링(200)이 설치된다. 공기 스프링(200)의 상부 및 하부가 각각 고정부(210)에 베이스(100) 및 의해 고정되며, 공기 스프링(200)의 상부 역시 고정부(210)에 의해 지지대(400)의 하부 지지대(410)에 고정되도록 구성된다.An air spring 200 having a known structure is installed on the upper portion of the base 100. The upper portion and the lower portion of the air spring 200 are respectively fixed to the fixing portion 210 by the base 100 and the upper portion of the air spring 200 is also fixed by the fixing portion 210 to the lower supports 410 As shown in Fig.

도 5 는 본 발명의 방진장치의 자기 유체 댐퍼를 도시하는 도면이다.5 is a view showing a magnetic fluid damper of the vibration isolation device of the present invention.

댐퍼(300)는 하단부(310)와, 상기 하단부(310)에 형성되는 실린더(320)와, 상기 실린더(320)에 설치되는 로드(330)로 형성된다.The damper 300 includes a lower end 310, a cylinder 320 formed at the lower end 310, and a rod 330 installed at the cylinder 320.

댐퍼(300)의 하단부(310)는 고리형상으로 형성되며 공기 스프링(200)의 내부에서 베이스(100)의 상면에 설치된 고정부(110)에 힌지운동가능하게 고정된다.The lower end 310 of the damper 300 is formed in an annular shape and is fixed to the fixing portion 110 provided on the upper surface of the base 100 in the air spring 200 so as to be hinged.

본 실시예에서 댐퍼(300)로는 자기 유체 댐퍼(MR damper,Magneto-Rheological Damper)가 사용되며 현재 판매중인 상용품으로 미국 LOAD사, 모델번호 : RD-1005-3 등이 사용가능하다.In this embodiment, a damper (MR damper, Magneto-Rheological Damper) is used as the damper 300, and model LOAD, Model No. RD-1005-3 is available as a commercially available product.

일반적인 댐퍼 경우 실린더(320)의 내부에 유압용 유체가 충진되나, 자기 유체 댐퍼의 경우에는 내부에 자기 유체가 충진된다.In the case of a general damper, the hydraulic fluid is filled in the cylinder 320, but in the case of the magnetic fluid damper, the magnetic fluid is filled inside.

즉, 자기 유체 댐퍼(300)에서는 실린더(320)와 막(321)의 사이에 자기 유체 (322)가 충진되어 있다.That is, in the magnetic fluid damper 300, the magnetic fluid 322 is filled between the cylinder 320 and the membrane 321.

실린더(320)의 내부에서 자기 유체(322)에는 피스톤으로 작용하는 코어(323)가 설치되며 코어(323)의 외부에는 코일(324)가 감겨져 있고 코어(323)에는 이 코어(323)를 길이방향으로 관통하는 오리피스(323a)가 형성되어 있다. A core 323 acting as a piston is provided in the magnetic fluid 322 inside the cylinder 320. A coil 324 is wound around the core 323 and the core 323 is wound around the core 323 Orifices 323a penetrating in the direction indicated by the arrows.

한편, 코어의 중앙에는 전자석(325)이 설치되며 배선(325a)에 의해 외부로 연결된다.On the other hand, an electromagnet 325 is provided at the center of the core, and is connected to the outside by a wiring 325a.

로드(330)는 코어(323)에 설치되며 실린더(320)의 전방 단부에 형성된 개구(320a)와 로드(330)사이에는 실링부(326)가 형성되어 자기 유체(322)가 외부로 누유되는 것을 방지하는 작용을 한다.The rod 330 is installed in the core 323 and a sealing portion 326 is formed between the opening 320a formed at the front end of the cylinder 320 and the rod 330 so that the magnetic fluid 322 is leaked to the outside .

자기 유체 댐퍼의 댐핑계수를 변경시키고자 하는 경우에는 코일(323)에 인가되는 전류량을 변화시키면 코어(323)에서 발생하는 자기장의 크기가 변하게 되고, 이로 인해 오리피스(323a)를 통과하는 자기 유체(322)의 물성이 변화하여 댐핑계수가 변화하는 작용을 하게 된다.In the case of changing the damping coefficient of the magnetic fluid damper, if the amount of current applied to the coil 323 is changed, the magnitude of the magnetic field generated in the core 323 is changed. As a result, the magnitude of the magnetic fluid passing through the orifice 323a 322) changes so that the damping coefficient changes.

댐퍼(300)로서 본 실시예에서는 자기 유체 댐퍼가 사용되고 있으나, 반드시 이에 한정되는 것은 아니며 공지된 구성의 다른 댐퍼를 적용하는 것도 가능하다.In this embodiment, the damper 300 is a magnetic fluid damper. However, the present invention is not limited to this, and it is also possible to apply another damper of known construction.

댐퍼(300)의 상단부인 로드(330)는 슬라이더부(420)의 연결부(422)에 형성된 연결홈(422a)에 상방으로 경사(θ)지게 힌지운동가능하게 연결된다.The rod 330 which is the upper end of the damper 300 is connected to the coupling groove 422a formed in the coupling portion 422 of the slider portion 420 so as to be hinged upward.

본 실시예에서는 도 4 에 도시된 바와 같이 테이블(T)의 각 모서리마다 방진장치가 형성되는데, 이 때 댐퍼(300)는 방진장치의 측면에서 볼때 상방으로 경사지며 방진장치의 평면에서 볼 때 상부 단부가 테이블(T)의 중심측을 향하도록 배치된다.In this embodiment, as shown in FIG. 4, a vibration damper is formed at each corner of the table T. At this time, the damper 300 is inclined upward when viewed from the side of the vibration damper, And the end portion is disposed so as to face the center side of the table (T).

도 6 는 본 발명의 방진장치의 하부 지지대를 도시하는 단면도이다.6 is a cross-sectional view showing a lower support of an anti-vibration device of the present invention.

지지대(400)는 댐퍼(300)의 상단이 연결되는 하부 지지대(410)와, 상기 하부 지지대(410)의 내부에 설치되는 슬라이더부(420)와, 상기 하부지지대(410)가 고정되는 상부 지지대(430)로 이루어진다.The support base 400 includes a lower support 410 to which the upper end of the damper 300 is connected, a slider 420 installed inside the lower support 410, (430).

하부 지지대(410)는 대략 평판 형상으로 형성되며 중앙에 길이방향으로 연장되는 슬라이더 삽입홈(411)이 형성되어 있다.The lower support 410 is formed in a substantially flat plate shape and has a slider insertion groove 411 extending in the longitudinal direction at the center thereof.

슬라이더 삽입홈(411)은 하부지지대(410)의 상면에서 하방으로 깊이를 가지며 평면방향으로 일정한 폭을 가지면서 연장되어 형성되는 슬라이더 홈(411a)과, 상기 슬라이더 홈(411a)의 폭보다 좁은 폭으로 더 큰 깊이를 가지도록 하방으로 연장되며 하부 지지대(410)의 저면을 관통하여 형성되는 연결부 홈(411b)으로 이루어진다.The slider insertion groove 411 has a slider groove 411a having a depth downward from the upper surface of the lower support 410 and extending with a predetermined width in a planar direction and a slider groove 411b having a narrower width than the width of the slider groove 411a And a connection groove 411b extending downwardly to have a greater depth and being formed through a bottom surface of the lower support 410.

슬라이더 홈(411a)의 상방에는 일정간격으로 상방으로 돌출되는 돌출부(412)가 형성되어 있다. 돌출부(412)의 단면은 본 실시예에서는 삼각형 산 형상이나 이에 한정되는 것은 아니며 사각 형상 또는 사다리 형상 등 다른 형태로 형성하는 것도 가능하다.Above the slider grooves 411a, protrusions 412 protruding upward at regular intervals are formed. The cross section of the protruding portion 412 may be formed in a different shape such as a triangular shape in this embodiment, but not limited thereto, such as a square shape or a ladder shape.

한편, 하부 지지대(410)의 상면에서 슬라이더 삽입홈(411)의 둘레에는 반원 단면의 실링홈(413)이 마련되어 이에 대응하는 형상을 가지는 실링부재(600)가 삽입될 수 있도록 형성되어 있다.A sealing member 600 having a shape corresponding to the semi-circular sealing groove 413 is formed around the slider insertion groove 411 on the upper surface of the lower support 410.

하부 지지대(410)의 상면에서 상기 실링홈(413)의 둘레에는 체결부재 삽입공(414)이 형성되어 체결부재(700)가 삽입공(414)을 관통하여 상부 지지대(430)에 고정됨으로서 하부 지지대(410)가 체결되는 작용을 하게 된다.A fastening member insertion hole 414 is formed around the sealing groove 413 on the upper surface of the lower support table 410 so that the fastening member 700 passes through the insertion hole 414 and is fixed to the upper support table 430, So that the supporter 410 is fastened.

슬라이더부(420)는 대략 평판 형상의 슬라이더(421)와, 상기 슬라이더(421)의 하방으로 연장되어 형성되는 연결부(422)로 이루어진다.The slider portion 420 includes a substantially flat slider 421 and a connecting portion 422 extending downward from the slider 421.

슬라이더(421)의 폭은 상기 슬라이더 홈(411a)에서 길이방향으로 이동가능하도록 슬라이더 홈(411a)의 폭과 동일하거나 약간 작은 폭을 가지도록 형성된다.The width of the slider 421 is formed to be equal to or slightly smaller than the width of the slider groove 411a so as to be movable in the longitudinal direction in the slider groove 411a.

또한, 슬라이더(421)의 저면에는 하부 지지대(410)에 형성된 돌출부(412)가 삽입될 수 있도록 이에 대응하는 형상을 가지는 수용홈(421a)이 형성된다.A receiving groove 421a having a shape corresponding to the protrusion 412 formed on the lower supporter 410 is formed on the bottom surface of the slider 421.

본 실시예에서는 슬라이더(421)의 저면에 수용홈(421a)이 형성되며 슬라이더 홈(411a)의 저면에 돌출부(412)가 형성되도록 구성되나 이에 한정되는 것은 아니며 슬라이더(421)의 저면에 돌출부를 형성하고 슬라이더 홈(411a)의 내부에 수용홈을 형성하는 것도 가능하다.The slider 421 may have a receiving groove 421a formed on the bottom surface of the slider 421 and a protrusion 412 formed on the bottom surface of the slider groove 411a. However, the present invention is not limited thereto, It is also possible to form the receiving groove in the slider groove 411a.

연결부(422)는 하방으로 연장되도록 형성되며 하부 지지대(410)의 연결부 홈(411b)에 삽입될 수 있도록 이에 대응하는 폭을 가지며 댐퍼(300)의 로드부(330)와 연결되는 홈(422a)을 구비하도록 형성된다.The connection part 422 is formed to extend downward and has a width corresponding to the connection part groove 411b of the lower support 410 and has a groove 422a connected to the rod part 330 of the damper 300, Respectively.

상부 지지대(430)는 대략 평판형상으로 형성되며 상기 하부 지지대(410)의 환형홈(413)과 동일한 반원 단면의 실링홈(431)이 하면에 형성되고, 상기 하부 지지대(410)의 환형홈(413)과 상기 상부 지지대(430)의 실링홈(431)의 사이에 O - RING 과 같은 실링부재(600)가 삽입된다.The upper support member 430 is formed in a substantially flat plate shape and a sealing groove 431 having the same semicircular cross section as that of the annular groove 413 of the lower support member 410 is formed on the lower surface, A sealing member 600 such as an O-RING is inserted between the upper supporting member 430 and the upper supporting member 430 and the sealing groove 431 of the upper supporting member 430.

상부 지지대(430)에는 체결부재(700)에 의해 하부 지지대(410)가 체결되기 위한 제1체결홈(432)와, 상부 지지대(430)를 테이블(T)로 체결부재(700)를 통해 고정하기 위한 제2체결홈(433)이 형성되어 있다.The upper supporter 430 is provided with a first coupling groove 432 for coupling the lower supporter 410 with the coupling member 700 and a second coupling groove 432 through which the upper supporter 430 is fixed to the table T via the coupling member 700 The second fastening groove 433 is formed.

상부 지지대(430)의 상방으로 테이블(T)이 설치되며 테이블(T)의 상방에 장치나 설비가 설치된다.A table T is provided above the upper support 430 and an apparatus or equipment is installed above the table T. [

한편, 외부로부터 발생한 자기장이 댐퍼(300)에 영향을 미치지 않도록 댐퍼(300)를 둘러싸도록 자기장 차단부(500)를 설치할 수 있다.On the other hand, the magnetic field shielding part 500 may be provided so as to surround the damper 300 so that a magnetic field generated from the outside does not affect the damper 300.

자기장 차단부(500)는 투자율이 높은 연철을 소재로 하고 공기 스프링(200)의 내측 또는 외측에 설치가능하며 하부는 베이스(100)에 설치되며 상부는 상부 지지대(430)에 설치된다.The magnetic field shielding part 500 can be installed inside or outside of the air spring 200 with soft iron having a high magnetic permeability and the lower part is installed on the base 100 and the upper part is installed on the upper support part 430.

본 실시예에서는 자기장 차단부(500)는 하부가 베이스(100)에 설치되고 상부가 상부 지지대(430)에 설치되나, 이에 한정되는 것은 아니며 자기 유체 댐퍼(300)를 둘러싸서 외부로부터의 자장의 영향을 방지하는 형태라면 다른 어떤 형태로 설치되어도 무방하다.The magnetic field shielding part 500 is installed at the lower part of the base 100 and the upper part of the magnetic shielding part 500 is installed at the upper support part 430. The magnetic field shielding part 500 surrounds the magnetic fluid damper 300, It may be installed in any other form as long as it prevents the influence.

한편, 본원 발명에서는 수평방향으로 발생하는 진동폭을 고려하여 댐퍼(300)의 경사각(θ)을 필요에 따라 조절하여 설치하는 것이 가능하다.Meanwhile, in the present invention, it is possible to adjust the inclination angle? Of the damper 300 according to necessity in consideration of the vibration width generated in the horizontal direction.

수평방향 진동폭을 변경하고자 하는 경우 상부 지지대(430)를 탈거한 다음, 슬라이더부(400)를 슬라이더 홈(411a)의 내부에서 변위시킨다.When the horizontal vibration width is to be changed, the upper support 430 is removed, and then the slider 400 is displaced in the slider groove 411a.

이때, 슬라이더(400)가 변위되는 위치는 슬라이더(421)의 저면에 형성된 복수의 수용홈(421a)과 하부 지지대(410)의 슬라이더 삽입홈(411)의 저면에 형성되어 상기 수용홈(421a)에 삽입되는 복수의 돌출부(412)와의 상호위치에 의해 결정된다.At this time, the position where the slider 400 is displaced is formed on the bottom surface of the slider insertion groove 411 of the lower support table 410 and the plurality of receiving grooves 421a formed on the bottom surface of the slider 421, And a plurality of protrusions 412 inserted in the recesses 412. [

슬라이더부(420)의 위치가 결정된 다음에는 상부 지지대(430)의 저면을 하부 지지대(410)의 상면에 체결부재(700)를 통해 체결한다.After the position of the slider part 420 is determined, the bottom surface of the upper support table 430 is fastened to the upper surface of the lower support table 410 through the fastening member 700.

이러한 체결로 인하여 상부 지지대(430)의 평평한 하면이 슬라이더(421)의 평평한 상면을 가압하게 되어 이미 위치가 결정된 슬라이더(421)가 하부 지지대(410)의 슬라이더 삽입홈(411)에서 변위되어 위치가 변동되는 것이 방지하는 작용을 하게 된다.Due to this fastening, the flat lower surface of the upper support member 430 presses the flat upper surface of the slider 421, so that the already positioned slider 421 is displaced in the slider insertion groove 411 of the lower support table 410, So as to prevent fluctuations.

특히, 슬라이더(421)의 저면에 형성된 수용홈(421a)으로 슬라이더 홈(411a)의 돌출부(412)가 삽입되므로 상부 지지재(430)에 의한 체결 후에도 슬라이더(421)의 수평방향 변위가 방지되는 작용을 한다.Particularly, since the projecting portion 412 of the slider groove 411a is inserted into the receiving groove 421a formed on the bottom surface of the slider 421, the horizontal displacement of the slider 421 is prevented even after the upper supporting member 430 is fastened .

게다가, 상부 지지대(430)를 하부 지지대(410)에 체결하는 경우 하부 지지대(410)의 상면에 형성된 반원 형태의 실링홈(413)과 상부 지지대(430)의 하면에 형성된 반원 형태의 실링홈(431)의 사이로 실링부재(600)가 삽입된 상태로 체결된다.When the upper support 430 is fastened to the lower support 410, the semi-circular sealing groove 413 formed on the upper surface of the lower support 410 and the semi-circular sealing groove 413 formed on the lower surface of the upper support 430 431 in the state where the sealing member 600 is inserted.

따라서, 공기 스프링(200)의 내부에 설치된 댐퍼(300)의 경사각도(θ)를 변경하는 경우에도 공기 스프링(200)의 실링이 다시 확보되는 작용을 하게 된다.Therefore, even when the inclination angle &thetas; of the damper 300 installed inside the air spring 200 is changed, the air spring 200 can be sealed again.

다음으로 본원 발명의 작용효과에 대해 설명한다.Next, the operation and effect of the present invention will be described.

본원 발명에서 테이블(T)의 상단에 설치된 설비에 의해 작용하는 수직하중은 기본적으로 공기 스프링(200)에 의해 지지되는 작용을 하게 된다.In the present invention, the vertical load acting by the equipment installed at the upper end of the table T basically acts to be supported by the air spring 200.

설비에 의해 작용하는 하중이 수직방향외에 수평방향으로도 작용하는 경우 경사지게 형성된 댐퍼(300)에 의해 수평방향으로의 진동이 방지되는 작용을 하게 된다.In the case where the load acting by the equipment also acts in the horizontal direction besides the vertical direction, the vibration in the horizontal direction is prevented by the damper 300 formed with the inclination.

특히, 본 발명에서는 댐퍼(300)의 경사각도(θ)를 조절하는 것이 가능하므로 수평방향 하중의 크기나 진동폭을 고려하여 수평방향 진동방지효과를 조절하는 것이 가능하게 되는 장점을 가진다.In particular, since the inclination angle? Of the damper 300 can be adjusted in the present invention, it is possible to control the horizontal vibration prevention effect in consideration of the magnitude of the horizontal direction load and the vibration width.

또한, 본 발명에서는 댐퍼(300)가 공기 스프링(200)과 병렬로 나란히 설치되는 것이 아니라 공기 스프링(200)의 내부에 설치되는 바, 종래기술 대비 댐퍼 설치공간이 불요하게 되어 설치공간이 감소하는 작용을 하게 된다.In addition, in the present invention, the damper 300 is not installed in parallel with the air spring 200 but is installed inside the air spring 200, so that the space for installing the damper is unnecessary compared to the conventional art, .

특히, 종래기술에서와 같은 수평방향 진동을 제어하기 위한 8개의 수평방향 댐퍼(4) 및 이를 지지하기 위한 4개의 지지대(5)가 불요하게 되므로 장치가 간단하여 설치공간이 감소되며 부품점수가 감소되어 제조원가가 절감되는 효과를 가지게 된다.Particularly, since eight horizontal dampers 4 for controlling the horizontal direction vibration as in the prior art and four supporting members 5 for supporting the horizontal dampers 4 are unnecessary, the device is simple, the installation space is reduced, So that the manufacturing cost is reduced.

게다가, 본원 발명에서는 댐퍼(300)의 둘레를 둘러싸도록 자기장 차단부(500)를 형성함으로써 외부로부터의 자기장이 특히 자기 유체 댐퍼(300)인 경우 실린더(320)의 내부 자기 유체(322)에 영향을 미치지 않게 함으로써 외부영향에 의한 수평 및 수직방향에 대한 제진효과의 신뢰성을 확보하는 작용을 하게 된다.In addition, in the present invention, the magnetic field shielding part 500 is formed so as to surround the periphery of the damper 300, so that the magnetic field from the outside can be influenced by the internal magnetic fluid 322 of the cylinder 320 particularly when the magnetic fluid damper 300 is used. So as to ensure the reliability of the vibration damping effect in the horizontal and vertical directions due to external influences.

이러한 장점은 특히 설비가 정밀하게 제어하여야 하는 경우 더욱 효과를 발휘하게 된다.This advantage is particularly effective when the facility is to be precisely controlled.

전술한 실시예는 본 발명의 기술적 사상을 설명하기 위한 예시적으로 기재한 것인 바, 본 발명의 기술적 범위를 제한하는 것으로 해석되어서는 아니된다.The above-described embodiments are illustrative examples for explaining the technical idea of the present invention, and should not be construed as limiting the technical scope of the present invention.

100:베이스 200:공기 스프링
300:댐퍼 400:지지대
500:자기장 차단부 600:실링부재100: base 200: air spring
300: damper 400: support
500: magnetic field shielding part 600: sealing member

Claims (10)

테이블에 설치된 설비의 진동을 제어하기 위한 방진장치로서,
베이스와,
상기 베이스에 설치되는 공기 스프링과,
상기 공기 스프링의 내부에 설치되는 댐퍼와,
상기 댐퍼의 상부가 연결되고 상기 테이블에 고정되는 지지대를 포함하여 이루어지며,
상기 댐퍼의 하부는 상기 베이스에 힌지운동가능하게 설치되고,
상기 댐퍼의 상부는 상기 지지대에 상방으로 경사지도록 힌지운동가능하게 설치되며,
상기 지지대는,
상기 댐퍼가 연결되는 슬라이더부와,
상기 슬라이더부를 수용하기 위한 슬라이더 삽입홈이 형성된 하부 지지대와,
상기 슬라이더 삽입홈을 덮도록 상기 하부 지지대가 고정되는 상부 지지대로 이루어지는 것을 특징으로 하는 방진장치.An anti-vibration device for controlling vibration of a facility installed on a table,
A base,
An air spring installed on the base,
A damper installed inside the air spring,
And a support rod to which the upper portion of the damper is connected and fixed to the table,
A lower portion of the damper is hinge-mounted on the base,
The upper portion of the damper is hinge-mounted so as to be inclined upward to the support,
[0028]
A slider portion to which the damper is connected,
A lower support having a slider insertion groove for receiving the slider,
And an upper support member to which the lower support member is fixed to cover the slider insertion groove. 삭제delete 청구항 1 에 있어서,
상기 슬라이더 삽입홈은,
상기 하부 지지대의 상면에서 하방으로 깊이를 가지며 평면방향으로 일정한 폭을 가지도록 연장되어 형성되는 슬라이더 홈과,
상기 슬라이더 홈의 폭보다 좁은 폭으로 하방으로 연장되며 상기 하부 지지대의 저면을 관통하여 형성되는 연결부 홈으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 방진장치The method according to claim 1,
The slider insertion groove
A slider groove having a depth downward from an upper surface of the lower support and extending so as to have a constant width in a planar direction,
And a connection groove extending downwardly with a width narrower than the width of the slider groove and formed to penetrate the bottom surface of the lower support. 청구항 3 에 있어서,
상기 슬라이더부는,
상기 슬라이더 홈에 삽입되도록 이에 대응하는 형상을 가지는 슬라이더와,
상기 슬라이더의 하방으로 연장되어 형성되며 상기 댐퍼의 로드부와 연결되는 연결홈을 구비하는 연결부로 이루어지는 것을 특징으로 하는 방진장치.The method of claim 3,
The slider portion
A slider having a shape adapted to be inserted into the slider groove;
And a connecting portion extending downward from the slider and having a connecting groove connected to the rod portion of the damper. 청구항 4 에 있어서,
상기 슬라이더 홈의 상면 및 상기 슬라이더부의 하면의 어느 일방에는 돌출부가 형성되고 타방에는 이에 대응하는 형상을 가지는 수용홈이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 방진장치.The method of claim 4,
Wherein protrusions are formed on one of the upper surface of the slider groove and the lower surface of the slider portion and the other one of the receiving grooves has a shape corresponding thereto. 청구항 5 에 있어서,
상기 하부 지지대의 상면에는 상기 슬라이더 홈의 둘레에는 반원 단면의 실링 홈이 형성되고,
상기 상부 지지대의 하면에도 상기 실링홈과 동일한 크기 및 형상의 반원 단면의 실링 홈이 형성되며,
상기 양 실링 홈 사이에 실링부재가 삽입되는 것을 특징으로 하는 방진장치.The method of claim 5,
A sealing groove having a semicircular cross section is formed on an upper surface of the lower support to surround the slider groove,
A sealing groove having a semicircular cross section having the same size and shape as the sealing groove is formed on a lower surface of the upper support,
And a sealing member is inserted between the two sealing grooves. 청구항 1 에 있어서,
상기 공기 스프링과 상기 댐퍼를 상기 테이블의 각 모서리마다 형성되는 것을 특징으로 하는 방진장치.The method according to claim 1,
Wherein the air spring and the damper are formed at each corner of the table. 청구항 7 에 있어서,
상기 댐퍼가 상방으로 경사지는 방향은 상기 테이블의 중심을 향하도록 배치되는 것을 특징으로 하는 방진장치.The method of claim 7,
And the direction in which the damper is inclined upward is disposed to face the center of the table. 청구항 1 에 있어서,
상기 댐퍼는 자기 유체 댐퍼인 것을 특징으로 하는 방진장치.The method according to claim 1,
Wherein the damper is a magnetic fluid damper. 청구항 9 에 있어서,
상기 공기 스프링의 외측 또는 내측에는 외부로부터 자기장이 상기 자기 유체 댐퍼에 영향을 미치는 것을 방지하기 위해 상기 자기 유체 댐퍼를 둘러싸도록 자기장 차단부가 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 방진장치.The method of claim 9,
Wherein a magnetic field shielding portion is formed on the outside or inside of the air spring so as to surround the magnetic fluid damper so as to prevent a magnetic field from externally affecting the magnetic fluid damper.
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