KR101877887B1 - Polishing apparatus - Google Patents

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Abstract

본 발명은 구성이 단순하면서도 정밀하게 피가공물의 표면을 연마할 수 있는 연마장치를 위하여, (i) 피가공물이 배치될 스테이지와, (ii) 상기 스테이지의 일측에 위치하며 제1방향으로 연장된 제1스크루와, (iii) 상기 제1스크루를 시계방향 또는 반시계방향으로 회전시킬 수 있는 제1모터와, (iv) 상기 스테이지 외측에 위치하며, 상기 제1방향으로 연장된 제1봉과, 상기 제1봉에 착탈 가능하도록 고정된 제1-1위치고정부와, 상기 제1봉에 착탈 가능하도록 고정된 제1-2위치고정부를 포함하는, 제1방향 위치제한부와, (v) 상기 제1스크루가 관통하며 내면에 상기 제1스크루에 대응하는 나사산과 나사골을 갖는 제1관통홀을 갖고, 상기 제1방향과 교차하는 제2방향으로 연장되며, 상기 제1스크루의 회전에 따라 상기 제1방향 또는 그 반대 방향으로 이동할 수 있는, 제1프레임과, (vi) 상기 제1프레임에 고정되며, 상기 제1프레임이 상기 제1방향 또는 그 반대 방향으로 이동함에 따라 상기 제1-1위치고정부 또는 상기 제1-2위치고정부와 컨택할 시 컨택신호를 생성할 수 있는, 제1위치센서와, (vii) 상기 제1프레임 상에 위치하며 상기 제2방향으로 연장된 제2스크루와, (viii) 상기 제2스크루를 시계방향 또는 반시계방향으로 회전시킬 수 있는 제2모터와, (ix) 상기 제1프레임에 고정되며, 상기 제2방향으로 연장된 제2봉과, 상기 제2봉에 착탈 가능하도록 고정된 제2-1위치고정부와, 상기 제2봉에 착탈 가능하도록 고정된 제2-2위치고정부를 포함하는, 제2방향 위치제한부와, (x) 상기 제2스크루가 관통하며 내면에 상기 제2스크루에 대응하는 나사산과 나사골을 갖는 제2관통홀을 가져 상기 제2스크루의 회전에 따라 상기 제2방향 또는 그 반대 방향으로 이동할 수 있는, 제2프레임과, (xi) 상기 제2프레임에 고정되며, 상기 제2프레임이 상기 제2방향 또는 그 반대 방향으로 이동함에 따라 상기 제2-1위치고정부 또는 상기 제2-2위치고정부와 컨택할 시 컨택신호를 생성할 수 있는, 제2위치센서와, (xii) 상기 제2프레임에 연결되며, 상기 스테이지 상에 배치된 피가공물에 접촉할 수 있는 연마부를 구비하는, 연마장치를 제공한다.The present invention relates to a polishing apparatus capable of polishing a surface of a workpiece in a simple and precise configuration, comprising: (i) a stage on which a workpiece is placed; (ii) (Iii) a first motor capable of rotating the first screw clockwise or counterclockwise; (iv) a first rod located outside the stage and extending in the first direction, A first direction position restricting part including a first position fixing part fixed so as to be detachable to the first rod and a first position fixing part detachably fixed to the first rod; ) Having a first through hole passing through the first screw and having a first through hole having a thread and a thread corresponding to the first screw on the inner surface and extending in a second direction intersecting with the first direction, Which is movable in the first direction or in the opposite direction, (Ii) the first frame is fixed to the first frame, and as the first frame moves in the first direction or the opposite direction, the first-first position fixing portion or the first- (Vii) a second screw located on the first frame and extending in the second direction; and (viii) a second screw positioned on the first frame and capable of generating a contact signal (Ix) a second rod fixed to the first frame and extending in the second direction; and a second motor fixed to the second rod so as to be detachable from the second rod, (X) a second direction position restricting portion including a first position fixing portion and a second position fixing portion detachably fixed to the second rod, (x) And a second through-hole having a thread corresponding to the screw and a threaded hole, so that the second through- (Xi) is fixed to the second frame, and as the second frame moves in the second direction or the opposite direction, the second frame is movable in the opposite direction, (Xii) a second position sensor coupled to the second frame and capable of contacting a workpiece disposed on the stage, the second position sensor being capable of generating a contact signal when the second position sensor And a polishing unit having a polishing surface.

Figure R1020160159427
Figure R1020160159427

Description

연마장치{Polishing apparatus}[0001]

본 발명의 실시예들은 연마장치에 관한 것으로서, 더 상세하게는 구성이 단순하면서도 정밀하게 피가공물의 표면을 연마할 수 있는 연마장치에 관한 것이다.Embodiments of the present invention relate to a polishing apparatus, and more particularly, to a polishing apparatus capable of polishing a surface of a workpiece in a simple and precise configuration.

일반적으로 연마장치는 다양한 피가공물의 표면 연마에 사용될 수 있다. 예컨대 기판 등을 이용하여 제품을 제조하기에 앞서 해당 기판의 표면을 균일하게 연마하는 단계를 거칠 필요가 있을 수 있다.Generally, a polishing apparatus can be used for surface polishing of various workpieces. It may be necessary to uniformly polish the surface of the substrate before manufacturing the product using, for example, a substrate.

그러나 이러한 종래의 연마장치에는 그 구성이 복잡하고 다양한 사이즈의 피가공물에 대해 사용하기 어렵다는 문제점이 있었다.However, such a conventional polishing apparatus has a problem in that it is complicated in construction and difficult to use for a workpiece of various sizes.

본 발명은 상기와 같은 문제점을 포함하여 여러 문제점들을 해결하기 위한 것으로서, 구성이 단순하면서도 정밀하게 피가공물의 표면을 연마할 수 있는 연마장치를 제공하는 것을 목적으로 한다. 그러나 이러한 과제는 예시적인 것으로, 이에 의해 본 발명의 범위가 한정되는 것은 아니다.SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to provide a polishing apparatus capable of polishing a surface of a workpiece with a simple and precise structure. However, these problems are exemplary and do not limit the scope of the present invention.

본 발명의 일 관점에 따르면, (i) 피가공물이 배치될 스테이지와, (ii) 상기 스테이지의 일측에 위치하며 제1방향으로 연장된 제1스크루와, (iii) 상기 제1스크루를 시계방향 또는 반시계방향으로 회전시킬 수 있는 제1모터와, (iv) 상기 스테이지 외측에 위치하며, 상기 제1방향으로 연장된 제1봉과, 상기 제1봉에 착탈가능하도록 고정된 제1-1위치고정부와, 상기 제1봉에 착탈가능하도록 고정된 제1-2위치고정부를 포함하는, 제1방향 위치제한부와, (v) 상기 제1스크루가 관통하며 내면에 상기 제1스크루에 대응하는 나사산과 나사골을 갖는 제1관통홀을 갖고, 상기 제1방향과 교차하는 제2방향으로 연장되며, 상기 제1스크루의 회전에 따라 상기 제1방향 또는 그 반대 방향으로 이동할 수 있는, 제1프레임과, (vi) 상기 제1프레임에 고정되며, 상기 제1프레임이 상기 제1방향 또는 그 반대 방향으로 이동함에 따라 상기 제1-1위치고정부 또는 상기 제1-2위치고정부와 컨택할 시 컨택신호를 생성할 수 있는, 제1위치센서와, (vii) 상기 제1프레임 상에 위치하며 상기 제2방향으로 연장된 제2스크루와, (viii) 상기 제2스크루를 시계방향 또는 반시계방향으로 회전시킬 수 있는 제2모터와, (ix) 상기 제1프레임에 고정되며, 상기 제2방향으로 연장된 제2봉과, 상기 제2봉에 착탈가능하도록 고정된 제2-1위치고정부와, 상기 제2봉에 착탈가능하도록 고정된 제2-2위치고정부를 포함하는, 제2방향 위치제한부와, (x) 상기 제2스크루가 관통하며 내면에 상기 제2스크루에 대응하는 나사산과 나사골을 갖는 제2관통홀을 가져 상기 제2스크루의 회전에 따라 상기 제2방향 또는 그 반대 방향으로 이동할 수 있는, 제2프레임과, (xi) 상기 제2프레임에 고정되며, 상기 제2프레임이 상기 제2방향 또는 그 반대 방향으로 이동함에 따라 상기 제2-1위치고정부 또는 상기 제2-2위치고정부와 컨택할 시 컨택신호를 생성할 수 있는, 제2위치센서와, (xii) 상기 제2프레임에 연결되며, 상기 스테이지 상에 배치된 피가공물에 접촉할 수 있는 연마부를 구비하는, 연마장치가 제공된다.According to an aspect of the present invention, there is provided a method of manufacturing a semiconductor device, including: (i) a stage on which a workpiece is to be placed; (ii) a first screw located on one side of the stage and extending in a first direction; (iii) (Iv) a first rod positioned outside the stage and extending in the first direction, and a second position, which is detachably attached to the first rod, A first direction position restricting portion including a fixing portion and a first position fixing portion detachably fixed to the first rod, (v) a second position fixing portion which penetrates the first screw, Wherein the first screw has a first through hole with a corresponding thread and a threaded portion and extends in a second direction intersecting the first direction and is movable in the first direction or in the opposite direction in accordance with rotation of the first screw, (Vi) a second frame fixed to the first frame, (Iii) a first position sensor capable of generating a contact signal when it is in contact with the first-first position fixing portion or the first-second position fixing portion as it moves in one direction or the opposite direction; and (vii) (Viii) a second motor positioned on the first frame and extending in the second direction, (viii) a second motor capable of rotating the second screw clockwise or counterclockwise, and (ix) A second-1 position fixing part fixed to the second rod so as to be detachable, and a second 2-2 position fixing part fixed to the second rod so as to be detachable, (X) a second through-hole passing through the second screw and having a thread and a thread corresponding to the second screw on the inner surface thereof, the second through-hole corresponding to the rotation of the second screw A second frame movable in the second direction or in the opposite direction; (xi) And is capable of generating a contact signal when making contact with the second-1 position fixing portion or the second 2-position fixing portion as the second frame moves in the second direction or the opposite direction, 2 position sensor; and (xii) a polishing unit connected to the second frame, the polishing unit being capable of contacting a workpiece disposed on the stage.

상기 제1-1위치고정부와 상기 제1-2위치고정부 각각은 집게부 및 상기 집게부에 결합된 돌출부를 가져, 상기 집게부가 상기 제1봉에 착탈가능하도록 고정되고, 상기 제1위치센서는 상기 제1-1위치고정부 또는 상기 제1-2위치고정부의 상기 돌출부에 컨택할 시 컨택신호를 생성할 수 있다. 이때, 상기 제1위치센서는, 상기 제1프레임에 고정되며 컨택신호를 발생시킬 수 있는 신호발생부와, 상기 신호발생부에 회동가능하게 결합되며 상기 제1-1위치고정부 또는 상기 제1-2위치고정부의 상기 돌출부에 컨택할 시 회동하는 회동부와, 상기 회동부가 상기 제1-1위치고정부 또는 상기 제1-2위치고정부의 상기 돌출부로부터 이격될 시 상기 신호발생부에 대한 상기 회동부의 위치를 복원시키는 복원부를 구비할 수 있다.Wherein the first position fixing unit and the first position fixing unit each have a clamping unit and a protrusion coupled to the clamping unit so that the clamping unit is detachably fixed to the first rod, The sensor may generate a contact signal when making contact with the projecting portion of the 1-1 position fixing portion or the 1-2 position fixing portion. The first position sensor may include: a signal generator fixed to the first frame and capable of generating a contact signal; and a second position sensor connected rotatably to the signal generator, -2 position fixing portion, and a signal generating portion when the pivoting portion is separated from the protruding portion of the 1-1 position fixing portion or the 1-2 position fixing portion And a restoring unit for restoring the position of the rotary unit with respect to the rotation axis.

한편, 상기 스테이지는 석정반을 포함할 수 있다.On the other hand, the stage may include a stone crystal quartz.

상기 제2프레임은 상기 제2봉이 관통하는 제2보조관통홀을 더 포함할 수 있다.The second frame may further include a second auxiliary through hole through which the second bar passes.

상기 제1방향을 따라 연장된 제1가이드를 더 구비하고, 상기 제1프레임은 상기 제1가이드 상에서 상기 제1방향 또는 그 반대 방향으로 이동할 수 있다. 나아가 상기 제1프레임 상에 위치하며 상기 제2방향을 따라 연장된 제2가이드를 더 구비하고, 상기 제2프레임은 상기 제2가이드 상에서 상기 제2방향 또는 그 반대 방향으로 이동할 수 있다.The apparatus may further include a first guide extending along the first direction, and the first frame may move on the first guide in the first direction or the opposite direction. And a second guide which is located on the first frame and extends along the second direction, and the second frame can move on the second guide in the second direction or the opposite direction.

전술한 것 외의 다른 측면, 특징, 이점은 이하의 발명을 실시하기 위한 구체적인 내용, 청구범위 및 도면으로부터 명확해질 것이다.Other aspects, features and advantages of the present invention will become apparent from the following detailed description, claims, and drawings.

상기한 바와 같이 이루어진 본 발명의 일 실시예에 따르면, 구성이 단순하면서도 정밀하게 피가공물의 표면을 연마할 수 있는 연마장치를 구현할 수 있다. 물론 이러한 효과에 의해 본 발명의 범위가 한정되는 것은 아니다.According to an embodiment of the present invention as described above, a polishing apparatus that can polish the surface of a workpiece with a simple and precise configuration can be realized. Of course, the scope of the present invention is not limited by these effects.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 연마장치를 개략적으로 도시하는 사시도이다.
도 2는 도 1의 연마장치의 연마부를 개략적으로 도시하는 사시도이다.
도 3 및 도 4는 도 1의 연마장치에 있어서 연마영역이 설정되는 것을 개략적으로 도시하는 사시도들이다.1 is a perspective view schematically showing a polishing apparatus according to an embodiment of the present invention.
Fig. 2 is a perspective view schematically showing the polishing unit of the polishing apparatus of Fig. 1; Fig.
Figs. 3 and 4 are perspective views schematically showing the setting of the polishing area in the polishing apparatus of Fig.

본 발명은 다양한 변환을 가할 수 있고 여러 가지 실시예를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 상세한 설명에 상세하게 설명하고자 한다. 본 발명의 효과 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 다양한 형태로 구현될 수 있다.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS The present invention is capable of various modifications and various embodiments, and specific embodiments are illustrated in the drawings and described in detail in the detailed description. The effects and features of the present invention and methods of achieving them will be apparent with reference to the embodiments described in detail below with reference to the drawings. However, the present invention is not limited to the embodiments described below, but may be implemented in various forms.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예들을 상세히 설명하기로 하며, 도면을 참조하여 설명할 때 동일하거나 대응하는 구성 요소는 동일한 도면부호를 부여하고 이에 대한 중복되는 설명은 생략하기로 한다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings, wherein like reference numerals refer to like or corresponding components throughout the drawings, and a duplicate description thereof will be omitted .

이하의 실시예에서 층, 막, 영역, 판 등의 각종 구성요소가 다른 구성요소 "상에" 있다고 할 때, 이는 다른 구성요소 "바로 상에" 있는 경우뿐 아니라 그 사이에 다른 구성요소가 개재된 경우도 포함한다. 또한 설명의 편의를 위하여 도면에서는 구성 요소들이 그 크기가 과장 또는 축소될 수 있다. 예컨대, 도면에서 나타난 각 구성의 크기 및 두께는 설명의 편의를 위해 임의로 나타내었으므로, 본 발명이 반드시 도시된 바에 한정되지 않는다.In the following embodiments, when various components such as layers, films, regions, plates, and the like are referred to as being " on " other components, . Also, for convenience of explanation, the components may be exaggerated or reduced in size. For example, the size and thickness of each component shown in the drawings are arbitrarily shown for convenience of explanation, and thus the present invention is not necessarily limited to those shown in the drawings.

이하의 실시예에서, x축, y축 및 z축은 직교 좌표계 상의 세 축으로 한정되지 않고, 이를 포함하는 넓은 의미로 해석될 수 있다. 예를 들어, x축, y축 및 z축은 서로 직교할 수도 있지만, 서로 직교하지 않는 서로 다른 방향을 지칭할 수도 있다.In the following embodiments, the x-axis, the y-axis, and the z-axis are not limited to three axes on the orthogonal coordinate system, and can be interpreted in a broad sense including the three axes. For example, the x-axis, y-axis, and z-axis may be orthogonal to each other, but may refer to different directions that are not orthogonal to each other.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 연마장치를 개략적으로 도시하는 사시도이다. 도 1에 도시된 것과 같이, 본 실시예에 따른 연마장치는 스테이지(100)를 구비한다. 이 스테이지(100) 상에는 피가공물이 위치할 수 있다. 피가공물의 표면을 균일하게 연마하기 위해서는 스테이지(100)의 상면이 평탄해야 한다. 이를 위해 스테이지(100)는 석정반을 포함할 수 있다. 석정반은 표면의 평탄도가 50um 이내로서, 그 상면이 매우 평탄하기 때문이다.1 is a perspective view schematically showing a polishing apparatus according to an embodiment of the present invention. As shown in FIG. 1, the polishing apparatus according to the present embodiment includes a stage 100. A workpiece may be positioned on the stage 100. In order to uniformly polish the surface of the workpiece, the upper surface of the stage 100 must be flat. For this, the stage 100 may include a stone quartz. The stone quartz has a surface flatness of less than 50 μm, and its top surface is very flat.

스테이지(100)의 일측, 예컨대 +y 방향에는 제1방향(+x 방향)으로 연장된 제1스크루(210)가 배치되어 있다. 제1스크루(210)는 그 표면에 나사산과 나사골을 갖는다. 이 제1스크루(210)는 그 일단이 제1모터(211)에 연결되는데, 제1모터(211)는 제1스크루(210)를 시계방향 또는 반시계방향으로 회전시킬 수 있다.A first screw 210 extending in a first direction (+ x direction) is disposed on one side of the stage 100, for example, the + y direction. The first screw 210 has threads and threads on its surface. One end of the first screw 210 is connected to the first motor 211 and the first motor 211 can rotate the first screw 210 clockwise or counterclockwise.

제1프레임(300)은 이러한 제1스크루(210)가 관통하는 제1관통홀을 갖는다. 이 제1관통홀은 내면에 제1스크루(210)에 대응하는 나사산과 나사골을 갖는다. 따라서 제1모터(211)가 제1스크루(210)를 시계방향 또는 반시계방향으로 회전시킬 시, 제1프레임(300)은 제1방향(+x 방향) 또는 그 반대 방향(-x 방향)으로 이동하게 된다. 이러한 제1프레임(300)은 도 1에 도시된 것과 같이 제1방향(+x 방향)과 교차하는 제2방향(+y 방향)으로 연장된 형상을 가질 수 있다.The first frame 300 has a first through hole through which the first screw 210 passes. The first through hole has a thread and a thread corresponding to the first screw 210 on the inner surface. Accordingly, when the first motor 211 rotates the first screw 210 clockwise or counterclockwise, the first frame 300 is rotated in the first direction (+ x direction) or the opposite direction (-x direction) . The first frame 300 may have a shape extending in a second direction (+ y direction) intersecting the first direction (+ x direction) as shown in FIG.

제1모터(211)가 제1스크루(210)를 회전시킴에 따라 제1프레임(300)이 제1방향(+x 방향) 또는 그 반대 방향(-x 방향)으로 이동하는데, 이 이동이 원활하게 이루어지도록 하기 위해 제1방향(+x 방향)으로 연장된 제1가이드(220)가 스테이지(100) 외측에 위치할 수 있다. 그리고 제1프레임(300)은 이 제1가이드(220)에 대응하여 제1가이드(220)를 수용하는 그루브를 가져, 제1프레임(300)은 제1가이드(220)를 따라 제1가이드(220) 상에서 제1방향(+x 방향) 또는 그 반대 방향(-x 방향)으로 이동할 수 있다. 이러한 제1가이드(220)는 도 1에 도시된 것과 같이 스테이지(100)의 +y 방향 일측과 -y 방향 타측에 각각 위치할 수 있다.As the first motor 211 rotates the first screw 210, the first frame 300 moves in the first direction (+ x direction) or the opposite direction (-x direction) The first guide 220 extending in the first direction (+ x direction) may be located outside the stage 100 so that the first guide 220 is formed. The first frame 300 has grooves corresponding to the first guides 220 to accommodate the first guides 220. The first frame 300 has grooves along the first guides 220, X direction) or in the opposite direction (-x direction). 1, the first guide 220 may be positioned at one side in the + y direction and at the other side in the -y direction of the stage 100, respectively.

제1프레임(300) 상에는 제2방향(+y 방향)으로 연장된 제2스크루(310)가 배치되어 있다. 제2스크루(310)는 그 표면에 나사산과 나사골을 갖는다. 이 제2스크루(310)는 그 일단이 제2모터(311)에 연결되는데, 제2모터(311)는 제2스크루(310)를 시계방향 또는 반시계방향으로 회전시킬 수 있다.On the first frame 300, a second screw 310 extending in a second direction (+ y direction) is disposed. The second screw 310 has threads and threads on its surface. One end of the second screw 310 is connected to the second motor 311 and the second motor 311 can rotate the second screw 310 clockwise or counterclockwise.

제2프레임(400)은 이러한 제2스크루(310)가 관통하는 제2관통홀을 갖는다. 구체적으로, 제2프레임(400)은 제1블럭(410)과 제2블럭(420)을 포함하며, 제1블럭(410)은 제2스크루(310)가 관통하는 제2관통홀을 갖는다. 이 제2관통홀은 내면에 제2스크루(310)에 대응하는 나사산과 나사골을 갖는다. 따라서 제2모터(311)가 제2스크루(310)를 시계방향 또는 반시계방향으로 회전시킬 시, 제2프레임(400)은 제2방향(+y 방향) 또는 그 반대 방향(-y 방향)으로 이동하게 된다. 즉, 제2프레임(400)은 제1프레임(300) 상에서 제2방향(+y 방향) 또는 그 반대 방향(-y 방향)으로 이동할 수 있다.The second frame 400 has a second through hole through which the second screw 310 passes. Specifically, the second frame 400 includes a first block 410 and a second block 420, and the first block 410 has a second through hole through which the second screw 310 passes. The second through-hole has a thread and a thread corresponding to the second screw 310 on the inner surface. Therefore, when the second motor 311 rotates the second screw 310 clockwise or counterclockwise, the second frame 400 moves in the second direction (+ y direction) or the opposite direction (-y direction) . That is, the second frame 400 can move in the second direction (+ y direction) or the opposite direction (-y direction) on the first frame 300.

제2모터(311)가 제2스크루(310)를 회전시킴에 따라 제2프레임(400)이 제2방향(+y 방향) 또는 그 반대 방향(-y 방향)으로 이동하는데, 이 이동이 원활하게 이루어지도록 하기 위해 제2방향(+y 방향)으로 연장된 제2가이드(320)가 제1프레임(300) 상에 위치할 수 있다. 그리고 제2프레임(400)은 이 제2가이드(320)에 대응하여 제2가이드(320)를 수용하는 그루브를 가져, 제2프레임(400)이 제2가이드(320)를 따라 제2가이드(320) 상에서 제2방향(+y 방향) 또는 그 반대 방향(-y 방향)으로 이동할 수 있다. 이러한 제2가이드(320)는 도 1에 도시된 것과 같이 제1프레임(300) 상에 복수개 위치할 수 있다.As the second motor 311 rotates the second screw 310, the second frame 400 moves in the second direction (+ y direction) or the opposite direction (-y direction) A second guide 320 extending in a second direction (+ y direction) may be positioned on the first frame 300. [ The second frame 400 has a groove for accommodating the second guide 320 in correspondence with the second guide 320 so that the second frame 400 is moved along the second guide 320 to the second guide 320 320) in the second direction (+ y direction) or in the opposite direction (-y direction). The second guide 320 may be positioned on the first frame 300 as shown in FIG.

제2프레임(400)에는 연마부(500)가 연결된다. 구체적으로 제2프레임(400)의 제1블럭(410)과 제2블럭(420) 중 제2블럭(420)에는 연마부(500)가 연결된다. 이 연마부(500)는 스테이지(100) 상에 배치된 피가공물에 접촉하여 피가공물의 표면을 연마할 수 있다. 연마부(500)는 도 2에 도시된 것과 같이, 제2프레임(400)의 내부 또는 외부에 장착된 연마모터와, 연마모터의 축에 연결된 상부원판(501), 상부원판(501)의 하부에 위치하며 상부원판(501)으로부터 이격된 하부원판(502), 상부원판(501)과 하부원판(502) 사이에 개재되어 상부원판(501)과 하부원판(502)을 연결하되 스프링 등과 같은 탄성부재를 포함하는 연결부재(504), 그리고 하부원판(502) 하부에 부착된 패드지지부(505)를 포함한다. 이 패드지지부(505) 하면에는 패드(506)가 착탈 가능하게 부착될 수 있다. 패드(506)는 소모성이기에, 피가공물을 연마하는 과정에서 또는 연마한 후에 새로이 교체될 수 있다.The second frame 400 is connected to the polishing unit 500. More specifically, the polishing unit 500 is connected to the first block 410 of the second frame 400 and the second block 420 of the second block 420. The polishing section 500 can abrade the surface of the workpiece in contact with the workpiece placed on the stage 100. As shown in FIG. 2, the polishing unit 500 includes a polishing motor mounted inside or outside the second frame 400, an upper disk 501 connected to the shaft of the polishing motor, A lower circular plate 502 spaced from the upper circular plate 501 and a lower circular plate 502 interposed between the upper circular plate 501 and the lower circular plate 502 to connect the upper circular plate 501 and the lower circular plate 502, A connecting member 504 including a member, and a pad supporter 505 attached to the lower portion of the lower disk 502. A pad 506 may be detachably attached to a lower surface of the pad supporting portion 505. Since the pad 506 is consumable, it can be replaced in the process of polishing the workpiece or after polishing.

이러한 연마부(500)는 그 하부의 스테이지(100) 상에 놓인 피가공물에 접촉한 상태에서 피가공물의 표면을 연마할 수 있다. 구체적으로 연마모터가 결과적으로 패드(506)를 고속으로 회전시킴으로써, 패드(506)의 하면이 접촉하고 있는 피가공물의 표면을 연마할 수 있다. 이때 상부원판(501)과 하부원판(502) 사이에 개재된 탄성부재를 포함하는 연결부재(504)의 작용에 의해 하부원판(502) 하부의 패드(506)가 피가공물의 상면에 적절한 압력으로 면접촉하도록 할 수 있다.The polishing section 500 can polish the surface of the workpiece in contact with the workpiece placed on the stage 100 under the polishing section 500. Specifically, the polishing motor can consequently rotate the pad 506 at a high speed, so that the surface of the workpiece in contact with the lower surface of the pad 506 can be polished. The pad 506 under the lower circular plate 502 is pressed against the upper surface of the workpiece at an appropriate pressure by the action of the connecting member 504 including the elastic member interposed between the upper circular plate 501 and the lower circular plate 502 It is possible to make surface contact.

물론 연마 작업에 앞서 연마부(500) 하부에 피가공물을 로딩하거나 연마 작업 후 연마부(500) 하부의 피가공물을 언로딩하기 위해, 연마부(500)의 (z축 방향) 상하 위치를 변경할 필요가 있다. 이를 위해 유압 실린더(430)가 제1블럭(410)에 장착되고, 이 유압 실린더(430)의 작용에 의해 제1블럭(410)에 장착된 레일을 따라 제2블럭(420)의 (z축 방향) 상하 위치를 변경할 수 있다.Of course, the upper and lower positions of the polishing unit 500 (in the z-axis direction) may be changed in order to load the workpiece under the polishing unit 500 prior to the polishing operation or to unload the workpiece under the polishing unit 500 after the polishing operation There is a need. The hydraulic cylinder 430 is mounted on the first block 410 and the hydraulic cylinder 430 is moved along the rail mounted on the first block 410 by the action of the hydraulic cylinder 430 Direction) can be changed.

그리고 연마 작업 중 연마가 원활히 이루어지도록 하기 위해, 슬러리 공급부(610)에서 슬러리가 공급되도록 할 수 있다. 즉, 슬러리 공급부(610)에서 공급되는 슬러리가 패드(506)와 스테이지(100) 상의 피가공물 상으로 흘러들도록 하는 상태에서, 패드(506)의 회전에 의해 피가공물의 표면이 연마되도록 할 수 있다. 이 슬러리는 연마제를 포함할 수 있다.In order to smoothly perform polishing during the polishing operation, the slurry may be supplied to the slurry supply unit 610. That is, the surface of the workpiece can be polished by the rotation of the pad 506 in a state where the slurry supplied from the slurry supply unit 610 flows onto the pad 506 and the workpiece on the stage 100 . The slurry may comprise an abrasive.

슬러리는 재사용이 가능한데, 구체적으로 스테이지(100) 또는 스테이지(100) 외측의 슬러리 회수구(630)를 통해 이 슬러리 회수구(630)에 연결된 회수호스(640)로 슬러리가 이동하여 슬러리 회수함(650)으로 회수된다. 그리고 슬러리 회수함(650)에 장착된 펌프(660)에 의해 다시 슬러리를 공급하는 공급호스(670)를 통해 슬러리 공급부(610)로 슬러리가 공급된다.Specifically, the slurry moves to the recovery hose 640 connected to the slurry recovery port 630 through the slurry recovery port 630 outside the stage 100 or the stage 100 to recover the slurry 650). The slurry is supplied to the slurry supply unit 610 through the supply hose 670 that supplies the slurry again by the pump 660 mounted on the slurry collection box 650.

한편, 전술한 것과 같이 제2프레임(400)은 제1프레임(300) 상에서 제2방향(+y 방향) 또는 그 반대 방향(-y 방향)으로 이동할 수 있다. 따라서 제2프레임(400)에 연결된 연마부(500) 역시 제2방향(+y 방향) 또는 그 반대 방향(-y 방향)으로 이동할 수 있다. 그리고 전술한 것과 같이 제1프레임(300)은 제1방향(+x 방향) 또는 그 반대 방향(-x 방향)으로 이동할 수 있다. 따라서 결과적으로 제1프레임(300) 상에 위치하는 제2프레임(400) 및 이에 연결된 연마부(500) 역시 제1방향(+x 방향) 또는 그 반대 방향(-x 방향)으로 이동할 수 있다. 결국 제1스크루(210)를 회전시키는 제1모터(211)와 제2스크루(310)를 회전시키는 제2모터(311)의 작용에 의해, 연마부(500)는 제1방향(+x 방향) 또는 그 반대 방향(-x 방향)으로 이동하거나 제2방향(+y 방향) 또는 그 반대 방향(-y 방향)으로 이동할 수 있다. 물론 제1모터(211)와 제2모터(311)가 동시에 작동할 경우, 제1모터(211)의 회전속도와 제2모터(311)의 회전속도에 따라 연마부(500)는 다양한 경로로 이동할 수 있다.On the other hand, as described above, the second frame 400 can move in the second direction (+ y direction) or the opposite direction (-y direction) on the first frame 300. Therefore, the polishing unit 500 connected to the second frame 400 can also move in the second direction (+ y direction) or the opposite direction (-y direction). As described above, the first frame 300 can move in the first direction (+ x direction) or in the opposite direction (-x direction). As a result, the second frame 400 and the polishing unit 500 connected to the first frame 300 can move in the first direction (+ x direction) or the opposite direction (-x direction). As a result, by the action of the first motor 211 rotating the first screw 210 and the second motor 311 rotating the second screw 310, the polishing unit 500 is moved in the first direction (+ x direction Or in the opposite direction (-x direction) or in the second direction (+ y direction) or in the opposite direction (-y direction). Of course, when the first motor 211 and the second motor 311 operate simultaneously, the polishing unit 500 may be rotated by various paths according to the rotational speed of the first motor 211 and the rotational speed of the second motor 311 Can be moved.

본 실시예에 따른 연마장치는 제1방향 위치제한부(240)와 제1위치센서(301, 302)를 구비한다.The polishing apparatus according to the present embodiment includes a first direction position restricting unit 240 and first position sensors 301 and 302.

제1방향 위치제한부(240)는 스테이지(100) 외측에 위치하는데, 제1봉(241), 제1-1위치고정부(242) 및 제1-2위치고정부(243)를 포함한다. 제1봉(241)은 제1스크루(210)가 연장된 방향인 제1방향(+x 방향)으로 연장된 형상을 갖는다. 그리고 제1-1위치고정부(242)와 제1-2위치고정부(243)는 이러한 제1봉(241)에 착탈 가능하도록 고정된다. 이를 위해 제1-1위치고정부(242)와 제1-2위치고정부(243)는 스프링과 같은 탄성체가 포함된 집게와 같은 형상을 가질 수 있다. 즉, 제1-1위치고정부(242)와 제1-2위치고정부(243)는 스프링과 같은 탄성체가 포함된 집게부 및 이 집게부에 결합된 돌출부를 가질 수 있다. 물론 제1-1위치고정부(242)와 제1-2위치고정부(243)가 탄성체를 포함하지 않아, 나사 등을 이용해 집게가 벌어지지 않도록 하여 제1봉(241) 상에서 그 위치가 고정되도록 할 수도 있다. 어떤 경우이든 사용자는 제1봉(241) 상에서의 제1-1위치고정부(242) 및/또는 제1-2위치고정부(243)의 위치를 손쉽게 변경할 수 있다.The first direction position restricting portion 240 is located outside the stage 100 and includes a first rod 241, a first position fixing portion 242 and a 1-2 position fixing portion 243 . The first rod 241 has a shape extending in a first direction (+ x direction) in which the first screw 210 extends. The first-first position fixing portion 242 and the first-first position fixing portion 243 are detachably fixed to the first rod 241. For this purpose, the first-first position fixing portion 242 and the first-second position fixing portion 243 may have a shape like a grip including an elastic body such as a spring. In other words, the 1-1 position fixing portion 242 and the 1-2 position fixing portion 243 may have a grip portion including an elastic body such as a spring and a protrusion coupled to the grip portion. Of course, since the 1-1 position fixing portion 242 and the 1-2 position fixing portion 243 do not include an elastic body, their positions are fixed on the first rod 241 so that the tongs are not opened using a screw or the like . In any case, the user can easily change the position of the 1-1 position fixing portion 242 and / or the 1-2 position fixing portion 243 on the first rod 241.

제1위치센서(301, 302)는 제1프레임(300)에 고정된다. 이에 따라 제1프레임(300)과 함께 제1방향(+x 방향) 또는 그 반대 방향(-x 방향)으로 이동할 수 있다. 제1위치센서(301, 302)가 제1방향(+x 방향) 또는 그 반대 방향(-x 방향)으로 이동하게 되면, 제1-1위치고정부(242) 또는 제1-2위치고정부(243)와 컨택할 수 있다. 전술한 것과 같이 제1-1위치고정부(242)와 제1-2위치고정부(243)가 집게부 및 이 집게부에 결합된 돌출부를 가질 경우, 제1위치센서(301, 302)는 돌출부에 컨택할 수 있다. 제1위치센서(301, 302)는 제1-1위치고정부(242) 또는 제1-2위치고정부(243)와 컨택하게 되면, 컨택신호를 생성한다.The first position sensor (301, 302) is fixed to the first frame (300). It can move in the first direction (+ x direction) or in the opposite direction (-x direction) together with the first frame 300. When the first position sensors 301 and 302 move in the first direction (+ x direction) or the opposite direction (-x direction), the first-first position fixing section 242 or the 1-2- (Not shown). As described above, when the 1-1 position fixing portion 242 and the 1-2 position fixing portion 243 have a claw portion and a protrusion coupled to the claw portion, the first position sensor 301, It is possible to make contact with the projecting portion. When the first position sensors 301 and 302 are brought into contact with the 1-1 position fixing portion 242 or the 1-2 position fixing portion 243, a contact signal is generated.

예컨대 도 3의 경우 제1프레임(300)이 제1가이드(220)를 따라 제1스크루(210)의 회전에 의해 제1방향(+x 방향)의 반대 방향(-x 방향)으로 이동하는 것을 도시하고 있다. 제1프레임(300)이 제1방향(+x 방향)의 반대 방향(-x 방향)으로 계속 이동하게 되면, 도 4에 도시된 것과 같이 제1위치센서(301)가 제1-1위치고정부(242)와 컨택하게 되어 컨택신호를 생성한다. 이 컨택신호는 연마장치의 제어부로 전달되며, 컨택신호를 받은 제어부는 제1스크루(210)를 회전시키는 제1모터(211)의 회전 방향을 반대 방향으로 바꾸는 신호를 생성하여 제1모터(211)가 회전방향을 바꾸도록 한다. 그 결과 제1스크루(210)의 회전 방향이 바뀌어, 제1프레임(300)이 제1가이드(220)를 따라 제1방향(+x 방향)으로 이동하게 된다. 이처럼 제1위치센서(301)와 제1-1위치고정부(242)는 제1프레임(300)의 제1방향(+x 방향)의 반대방향(-x 방향)으로의 이동 범위를 제한하는 역할을 한다.3, the first frame 300 moves along the first guide 220 in the direction opposite to the first direction (+ x direction) (-x direction) by the rotation of the first screw 210 Respectively. When the first frame 300 continues to move in the opposite direction (-x direction) to the first direction (+ x direction), the first position sensor 301 is moved to the 1-1 position And is in contact with the gate 242 to generate a contact signal. The controller receives the contact signal and generates a signal for reversing the rotation direction of the first motor 211 for rotating the first screw 210 and outputs the signal to the first motor 211 To change the direction of rotation. As a result, the rotation direction of the first screw 210 is changed, and the first frame 300 moves in the first direction (+ x direction) along the first guide 220. The first position sensor 301 and the first position fixing portion 242 limit the range of movement of the first frame 300 in the direction opposite to the first direction (+ x direction) (-x direction) It plays a role.

물론 도 3에 도시된 것과 반대로, 제1프레임(300)이 제1가이드(220)를 따라 제1스크루(210)의 회전에 의해 제1방향(+x 방향)으로 이동할 시에도 유사한 이동 제어가 적용될 수 있다. 즉, 제1프레임(300)이 제1방향(+x 방향)으로 계속 이동하게 되면, 도 4에 도시된 것과 유사하게 제1위치센서(302)가 제1-2위치고정부(243)와 컨택하게 되어 컨택신호를 생성한다. 이 컨택신호는 연마장치의 제어부로 전달되며, 컨택신호를 받은 제어부는 제1스크루(210)를 회전시키는 제1모터(211)의 회전 방향을 반대 방향으로 바꾸는 신호를 생성하여 제1모터(211)가 회전방향을 바꾸도록 한다. 그 결과 제1스크루(210)의 회전 방향이 바뀌어, 제1프레임(300)이 제1가이드(220)를 따라 제1방향(+x 방향)의 반대 방향(-x 방향)으로 이동하게 된다. 이처럼 제1위치센서(302)와 제1-2위치고정부(243)는 제1프레임(300)의 제1방향(+x 방향)으로의 이동 범위를 제한하는 역할을 한다.3, when the first frame 300 moves along the first guide 220 in the first direction (+ x direction) by the rotation of the first screw 210, similar movement control Can be applied. That is, when the first frame 300 is continuously moved in the first direction (+ x direction), the first position sensor 302 is moved to the first position fixing portion 243 And generates a contact signal. The controller receives the contact signal and generates a signal for reversing the rotation direction of the first motor 211 for rotating the first screw 210 and outputs the signal to the first motor 211 To change the direction of rotation. As a result, the rotation direction of the first screw 210 is changed, and the first frame 300 moves in the opposite direction (-x direction) to the first direction (+ x direction) along the first guide 220. As such, the first position sensor 302 and the 1-2 position fixing unit 243 serve to limit the range of movement of the first frame 300 in the first direction (+ x direction).

결과적으로, 제1위치센서(301, 302), 제1-1위치고정부(242) 및 제1-2위치고정부(243)는 제1프레임(300)의 제1방향(+x 방향)과 그 반대 방향(-x 방향)으로의 이동 범위를 제한하는 역할을 하며, 이는 연마부(500)의 제1방향(+x 방향)과 그 반대 방향(-x 방향)으로의 이동 범위를 제한하는 역할을 하게 되어, 연마부(500)의 연마 범위를 정의하는 역할을 하게 된다. 그러한 연마 범위, 즉 피가공물의 크기가 제1방향(+x 방향)에 있어서 변하게 되면, 단순히 제1봉(241) 상에서의 제1-1위치고정부(242)의 위치 및/또는 제1-2위치고정부(243)의 위치만 변경시킴으로써, 용이하게 연마부(500)의 연마 범위를 재설정할 수 있다.As a result, the first position sensor 301, the first position sensor 302, the first position fixing portion 242 and the first position fixing portion 243 are moved in the first direction (+ x direction) And restricts the range of movement of the polishing unit 500 in the first direction (+ x direction) and the opposite direction (-x direction) of the polishing unit 500 And serves to define the polishing range of the polishing unit 500. [0064] When the polishing range, that is, the size of the workpiece is changed in the first direction (+ x direction), the position of the 1-1 position fixing portion 242 on the first rod 241 and / By changing only the position of the two-position fixing portion 243, the polishing range of the polishing portion 500 can be easily reset.

이와 같은 연마 범위를 설정함에 있어서 제1-1위치고정부(242) 및/또는 제1-2위치고정부(243)와 컨택할 시 컨택신호를 발생시키는 제1위치센서(301, 302)의 역할 역시 중요하다. 제1위치센서(301, 302)는 다양한 형태의 구성을 취할 수 있는데, 예컨대 신호발생부(301a, 302a), 회동부(301b, 302b) 및 복원부를 구비할 수 있다.The first position sensors 301 and 302 for generating a contact signal when making contact with the 1-1 position fixing portion 242 and / or the 1-2 position fixing portion 243 in setting the polishing range Role is also important. The first position sensors 301 and 302 may take various configurations, for example, the signal generating units 301a and 302a, the turning units 301b and 302b, and the restoring unit.

신호발생부(301a, 302a)는 제1프레임(300)에 고정되며 컨택신호를 발생시킬 수 있다. 회동부(301b, 302b)는 신호발생부(301a, 302a)에 회동가능하게 결합되며, 제1-1위치고정부(242) 또는 제1-2위치고정부(243)의 돌출부에 컨택할 시 신호발생부(301a, 302a)에 대해 회동할 수 있다. 물론 회동부(301b, 302b)가 제1-1위치고정부(242) 또는 제1-2위치고정부(243)의 돌출부에 컨택한 후 제1-1위치고정부(242) 또는 제1-2위치고정부(243)의 돌출부로부터 이격되면, 복원부(미도시)에 의해 신호발생부(301a, 302a)에 대한 회동부(301b, 302b)의 위치가 복원된다. 예컨대 복원부는 신호발생부(301a, 302a)의 케이스 내에 위치하며 회동부(301b, 302b)의 일단에 연결된 스프링 등일 수 있다.The signal generators 301a and 302a are fixed to the first frame 300 and can generate a contact signal. The rotation units 301b and 302b are rotatably coupled to the signal generators 301a and 302a and are connected to the protrusions of the first-first position fixing unit 242 or the first- And can rotate about the signal generators 301a and 302a. Of course, after the rotation parts 301b and 302b are brought into contact with the protrusion of the 1-1 position fixing part 242 or the 1-2 position fixing part 243, the 1-1 position fixing part 242 or the 1- The position of the rotary parts 301b and 302b relative to the signal generators 301a and 302a is restored by the restoring part (not shown) when the protruding part of the two-position fixing part 243 is separated. For example, the restoration part may be a spring or the like which is located in the case of the signal generating part 301a or 302a and connected to one end of the rotation part 301b or 302b.

한편, 본 실시예에 따른 연마장치는 도 1에 도시된 것과 같이, 제2방향 위치제한부(340)와 제2위치센서(401, 402)도 구비한다. 제2방향 위치제한부(340)는 제1프레임(300) 상에 고정되는데, 제2봉(341), 제2-1위치고정부(342) 및 제2-2위치고정부(343)를 포함한다.1, the polishing apparatus according to the present embodiment also includes a second direction position restricting portion 340 and second position sensors 401 and 402. As shown in FIG. The second direction position restricting portion 340 is fixed on the first frame 300 and includes a second rod 341, a second-1 position fixing portion 342 and a second-2 position fixing portion 343 .

제2봉(341)은 제2스크루(310)가 연장된 방향인 제2방향(+y 방향)으로 연장된 형상을 갖는다. 제2프레임(400)은 전술한 것과 같이 제2스크루(310)가 관통하는 제2관통홀을 갖는 것 외에, 제2봉(341)이 관통하는 제2보조관통홀 역시 가질 수 있다. 제2보조관통홀의 단면적은 제2봉(341)의 단면적보다 커서, 제2프레임(400)이 제2봉(341)과 컨택하지 않도록 할 수도 있다.The second rod 341 has a shape extending in the second direction (+ y direction) in which the second screw 310 extends. The second frame 400 may have a second through hole through which the second screw 341 penetrates, as well as a second auxiliary through hole through which the second rod 341 passes, as described above. Sectional area of the second auxiliary through hole is larger than the sectional area of the second rod 341 so that the second frame 400 does not contact the second rod 341. [

물론 본 발명은 이에 한정되지 않으며 다양한 변형이 가능하다. 예컨대 전술한 바와 같이 제2프레임(400)이 제2가이드(320)에 대응하여 제2가이드(320)를 수용하는 그루브를 가져, 제2모터(311)가 제2스크루(310)를 회전시킬 시 제2프레임(400)이 제2가이드(320)를 따라 제2가이드(320) 상에서 제2방향(+y 방향) 또는 그 반대 방향(-y 방향)으로 이동할 수 있다. 또는 이와 달리, 연마장치는 제2가이드(320)를 별도로 갖지 않고 제2봉(341)이 제2가이드(320)의 역할을 하도록 할 수도 있다. 이 경우 제2보조관통홀의 단면적은 제2봉(341)의 단면적에 대응하여, 제2모터(311)가 제2스크루(310)를 회전시킬 시 제2프레임(400)이 제2봉(341)을 따라 제2방향(+y 방향) 또는 그 반대 방향(-y 방향)으로 이동하도록 할 수도 있다.Of course, the present invention is not limited thereto, and various modifications are possible. The second frame 400 has a groove for accommodating the second guide 320 corresponding to the second guide 320 so that the second motor 311 rotates the second screw 310 The second frame 400 may move along the second guide 320 in the second direction (+ y direction) or the opposite direction (-y direction) on the second guide 320. Alternatively, the polishing apparatus may have no separate second guide 320 and the second rod 341 may serve as the second guide 320. In this case, the cross-sectional area of the second auxiliary through hole corresponds to the cross-sectional area of the second rod 341, and when the second motor 311 rotates the second screw 310, the second frame 400 rotates the second rod 341 (+ Y direction) or in the opposite direction (-y direction) along the second direction (Y direction).

제2봉(341)은 제2스크루(310)가 연장된 방향인 제2방향(+y 방향)으로 연장된 형상을 갖는다. 제2프레임(400)은 전술한 것과 같이 제2스크루(310)가 관통하는 제2관통홀을 갖는 것 외에, 제2봉(341)이 관통하는 제2보조관통홀 역시 가질 수 있다. 제2보조관통홀의 단면적은 제2봉(341)의 단면적보다 커서, 제2프레임(400)이 제2봉(341)과 컨택하지 않도록 할 수도 있다.The second rod 341 has a shape extending in the second direction (+ y direction) in which the second screw 310 extends. The second frame 400 may have a second through hole through which the second screw 341 penetrates, as well as a second auxiliary through hole through which the second rod 341 passes, as described above. Sectional area of the second auxiliary through hole is larger than the sectional area of the second rod 341 so that the second frame 400 does not contact the second rod 341. [

그리고 제2-1위치고정부(342)와 제2-2위치고정부(343)는 이러한 제2봉(341)에 착탈 가능하도록 고정된다. 이를 위해 제2-1위치고정부(342)와 제2-2위치고정부(343)는 스프링과 같은 탄성체가 포함된 집게와 같은 형상을 가질 수 있다. 즉, 제2-1위치고정부(342)와 제2-2위치고정부(343)는 스프링과 같은 탄성체가 포함된 집게부 및 이 집게부에 결합된 돌출부를 가질 수 있다. 물론 제2-1위치고정부(342)와 제2-2위치고정부(343)가 탄성체를 포함하지 않아, 나사 등을 이용해 집게가 벌어지지 않도록 하여 제2봉(341) 상에서 그 위치가 고정되도록 할 수도 있다. 어떤 경우이든 사용자는 제2봉(341) 상에서의 제2-1위치고정부(342) 및/또는 제2-2위치고정부(343)의 위치를 손쉽게 변경할 수 있다.The second-1 position fixing portion 342 and the second-2 position fixing portion 343 are detachably attached to the second rod 341. For this, the second-1 position fixing portion 342 and the second-2 position fixing portion 343 may have a shape like a grip including an elastic body such as a spring. That is, the 2-1 position fixing portion 342 and the 2-2 position fixing portion 343 may have a grip portion including an elastic body such as a spring and a protrusion coupled to the grip portion. Of course, since the second-1 position fixing portion 342 and the second-2 position fixing portion 343 do not include an elastic body, their positions are fixed on the second rod 341 . In either case, the user can easily change the position of the second-1 position fixing portion 342 and / or the second-2 position fixing portion 343 on the second rod 341.

제2위치센서(401, 402)는 제2프레임(400)에 고정된다. 이에 따라 제2프레임(400)과 함께 제2방향(+y 방향) 또는 그 반대 방향(-y 방향)으로 이동할 수 있다. 제2위치센서(401, 402)가 제2방향(+y 방향) 또는 그 반대 방향(-y 방향)으로 이동하게 되면, 제2-1위치고정부(342) 또는 제2-2위치고정부(343)와 컨택할 수 있다. 전술한 것과 같이 제2-1위치고정부(342)와 제2-2위치고정부(343)가 집게부 및 이 집게부에 결합된 돌출부를 가질 경우, 제2위치센서(401, 402)는 돌출부에 컨택할 수 있다. 제2위치센서(401, 402)는 제2-1위치고정부(342) 또는 제2-2위치고정부(343)와 컨택하게 되면, 컨택신호를 생성한다.The second position sensors 401 and 402 are fixed to the second frame 400. [ The second frame 400 can be moved in the second direction (+ y direction) or the opposite direction (-y direction). When the second position sensor 401 or 402 moves in the second direction (+ y direction) or the opposite direction (-y direction), the second-1 position fixing part 342 or the second- Lt; RTI ID = 0.0 > 343 < / RTI > As described above, when the second-1 position fixing portion 342 and the second-2 position fixing portion 343 have a claw portion and a protrusion coupled to the claw portion, the second position sensor 401, 402 It is possible to make contact with the projecting portion. When the second position sensors 401 and 402 are brought into contact with the second-1 position fixing portion 342 or the second-2 position fixing portion 343, a contact signal is generated.

예컨대 제2프레임(400)이 제2가이드(320)를 따라 제2스크루(310)의 회전에 의해 제2방향(+y 방향)의 반대 방향(-y 방향)으로 이동할 시, 제2방향(+y 방향)의 반대 방향(-y 방향)으로 계속 이동하게 되면 제2위치센서(401)가 제2-1위치고정부(342)와 컨택하게 되어 컨택신호를 생성한다. 이 컨택신호는 연마장치의 제어부로 전달되며, 컨택신호를 받은 제어부는 제2스크루(310)를 회전시키는 제2모터(311)의 회전 방향을 반대 방향으로 바꾸는 신호를 생성하여 제2모터(311)가 회전방향을 바꾸도록 한다. 그 결과 제2스크루(310)의 회전 방향이 바뀌어, 제2프레임(400)이 제2가이드(320)를 따라 제2방향(+y 방향)으로 이동하게 된다. 이처럼 제2위치센서(401)와 제2-1위치고정부(342)는 제2프레임(400)의 제2방향(+y 방향)의 반대방향(-y 방향)으로의 이동 범위를 제한하는 역할을 한다.When the second frame 400 is moved in the opposite direction (-y direction) in the second direction (+ y direction) by the rotation of the second screw 310 along the second guide 320, + y direction), the second position sensor 401 is brought into contact with the second-1 position fixing portion 342 to generate a contact signal. The controller receives the contact signal and generates a signal for reversing the rotation direction of the second motor 311 that rotates the second screw 310 to rotate the second motor 311 To change the direction of rotation. As a result, the rotation direction of the second screw 310 is changed, and the second frame 400 moves along the second guide 320 in the second direction (+ y direction). Thus, the second position sensor 401 and the second-1 position fixing portion 342 limit the movement range of the second frame 400 in the direction opposite to the second direction (+ y direction) (-y direction) It plays a role.

물론 이와 반대로, 제2프레임(400)이 제2가이드(320)를 따라 제2스크루(310)의 회전에 의해 제2방향(+y 방향)으로 이동할 시에도 유사한 이동 제어가 적용될 수 있다. 즉, 제2프레임(400)이 제2방향(+y 방향)으로 계속 이동하게 되면, 제2위치센서(402)가 제2-2위치고정부(343)와 컨택하게 되어 컨택신호를 생성한다. 이 컨택신호는 연마장치의 제어부로 전달되며, 컨택신호를 받은 제어부는 제2스크루(310)를 회전시키는 제2모터(311)의 회전 방향을 반대 방향으로 바꾸는 신호를 생성하여 제2모터(311)가 회전방향을 바꾸도록 한다. 그 결과 제2스크루(310)의 회전 방향이 바뀌어, 제2프레임(400)이 제2가이드(320)를 따라 제2방향(+y 방향)의 반대 방향(-y 방향)으로 이동하게 된다. 이처럼 제2위치센서(402)와 제2-2위치고정부(343)는 제2프레임(400)의 제2방향(+y 방향)으로의 이동 범위를 제한하는 역할을 한다.Of course, a similar movement control can also be applied when the second frame 400 is moved in the second direction (+ y direction) by the rotation of the second screw 310 along the second guide 320. That is, when the second frame 400 continues to move in the second direction (+ y direction), the second position sensor 402 contacts the second position fixing unit 343 to generate a contact signal . The controller receives the contact signal and generates a signal for reversing the rotation direction of the second motor 311 that rotates the second screw 310 to rotate the second motor 311 To change the direction of rotation. As a result, the rotation direction of the second screw 310 is changed, and the second frame 400 is moved in the direction opposite to the second direction (+ y direction) (-y direction) along the second guide 320. As such, the second position sensor 402 and the second position fixing unit 343 serve to limit the movement range of the second frame 400 in the second direction (+ y direction).

결과적으로, 제2위치센서(401, 402), 제2-1위치고정부(342) 및 제2-2위치고정부(343)는 제2프레임(400)의 제2방향(+y 방향)과 그 반대 방향(-y 방향)으로의 이동 범위를 제한하는 역할을 하며, 이는 연마부(500)의 제2방향(+y 방향)과 그 반대 방향(-y 방향)으로의 이동 범위를 제한하는 역할을 하게 되어, 연마부(500)의 연마 범위를 정의하는 역할을 하게 된다. 그러한 연마 범위, 즉 피가공물의 크기가 제2방향(+y 방향)에 있어서 변하게 되면, 단순히 제2봉(341) 상에서의 제2-1위치고정부(342)의 위치 및/또는 제2-2위치고정부(343)의 위치만 변경시킴으로써, 용이하게 연마부(500)의 연마 범위를 재설정할 수 있다.As a result, the second position sensor 401, the second position sensor 402, the second position fixing position 342 and the second position fixing position 343 are moved in the second direction (+ y direction) Y direction) of the polishing unit 500 and limits the range of movement of the polishing unit 500 in the opposite direction (-y direction) And serves to define the polishing range of the polishing unit 500. [0064] When the polishing range, that is, the size of the workpiece is changed in the second direction (+ y direction), the position of the second-1 position fixing portion 342 on the second rod 341 and / By simply changing the position of the two-position fixing portion 343, the polishing range of the polishing portion 500 can be easily reset.

제2위치센서(401, 402)는 전술한 것과 같은 제1위치센서(301, 302)와 동일 또는 유사한 구성을 취할 수 있다.The second position sensors 401, 402 may have the same or similar configuration as the first position sensors 301, 302 as described above.

이와 같이 본 실시예에 따른 연마 장치는, 제1봉(241) 상에서의 제1-1위치고정부(242)의 위치 및/또는 제1-2위치고정부(243)의 위치만 변경하고 제2봉(341) 상에서의 제2-1위치고정부(342)의 위치 및/또는 제2-2위치고정부(343)의 위치만 변경함으로써 연마부(500)에 의한 연마 범위를 용이하게 설정할 수 있다. 따라서 다양한 사이즈의 피가공물들의 표면 연마에 정확하면서도 신속하게 대응할 수 있다.Thus, the polishing apparatus according to the present embodiment changes the position of the first-first position fixing portion 242 and / or the position of the first-second position fixing portion 243 on the first rod 241, The polishing range by the polishing section 500 can be easily set by changing only the position of the second-1 position fixing section 342 and / or the position of the second-2 position fixing section 343 on the two rods 341 . Therefore, it is possible to cope with the surface polishing of various sizes of workpieces accurately and quickly.

이와 같이 본 발명은 도면에 도시된 실시예를 참고로 설명되었으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 당해 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 다른 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 청구범위의 기술적 사상에 의하여 정해져야 할 것이다.While the present invention has been particularly shown and described with reference to exemplary embodiments thereof, it is evident that many alternatives, modifications and variations will be apparent to those skilled in the art . Therefore, the true scope of the present invention should be determined by the technical idea of the appended claims.

100: 스테이지 210: 제1스크루
211: 제1모터 220: 제1가이드
240: 제1방향 위치제한부 242: 제1-1위치고정부
243: 제1-2위치고정부 241: 제1봉
300: 제1프레임 301, 302: 제1위치센서
310: 제2스크루 311: 제2모터
320: 제2가이드 340: 제2방향 위치제한부
342: 제2-1위치고정부 343: 제2-2위치고정부
341: 제2봉 400: 제2프레임
401, 402: 제2위치센서 410: 제1블럭
420: 제2블럭 430: 유압 실린더
500: 연마부 501: 상부원판
502: 하부원판 504: 연결부재
505: 패드지지부 506: 패드
301, 302: 제1위치센서 301a, 302a: 신호발생부
301b, 302b: 회동부 610: 슬러리 공급부
630: 슬러리 회수구 640: 회수호스
650: 슬러리 회수함 660: 펌프
670: 공급호스100: stage 210: first screw
211: first motor 220: first guide
240: first direction position restricting portion 242:
243: 1-2 position fixing portion 241: 1st rod
300: first frame 301, 302: first position sensor
310: second screw 311: second motor
320: second guide 340: second direction position restricting portion
342: second-1 position fixing portion 343: second-2 position fixing portion
341: second rod 400: second frame
401, 402: second position sensor 410: first block
420: second block 430: hydraulic cylinder
500: polishing section 501: upper disk
502: lower original plate 504: connecting member
505: pad supporting portion 506: pad
301, 302: first position sensors 301a, 302a:
301b, 302b: Rotating section 610: Slurry supply section
630: Slurry collection port 640: Recycling hose
650: Slurry collection box 660: Pump
670: Supply hose

Claims (7)

피가공물이 배치될 스테이지;
상기 스테이지의 일측에 위치하며 제1방향으로 연장된 제1스크루;
상기 제1스크루를 시계방향 또는 반시계방향으로 회전시킬 수 있는 제1모터;
상기 스테이지 외측에 위치하며, 상기 제1방향으로 연장된 제1봉과, 상기 제1봉에 착탈 가능하도록 고정된 제1-1위치고정부와, 상기 제1봉에 착탈 가능하도록 고정된 제1-2위치고정부를 포함하는, 제1방향 위치제한부;
상기 제1스크루가 관통하며 내면에 상기 제1스크루에 대응하는 나사산과 나사골을 갖는 제1관통홀을 갖고, 상기 제1방향과 교차하는 제2방향으로 연장되며, 상기 제1스크루의 회전에 따라 상기 제1방향 또는 그 반대 방향으로 이동할 수 있는, 제1프레임;
상기 제1프레임에 고정되며, 상기 제1프레임이 상기 제1방향 또는 그 반대 방향으로 이동함에 따라 상기 제1-1위치고정부 또는 상기 제1-2위치고정부와 컨택할 시 컨택신호를 생성할 수 있는, 제1위치센서;
상기 제1프레임 상에 위치하며 상기 제2방향으로 연장된 제2스크루;
상기 제2스크루를 시계방향 또는 반시계방향으로 회전시킬 수 있는 제2모터;
상기 제1프레임에 고정되며, 상기 제2방향으로 연장된 제2봉과, 상기 제2봉에 착탈 가능하도록 고정된 제2-1위치고정부와, 상기 제2봉에 착탈 가능하도록 고정된 제2-2위치고정부를 포함하는, 제2방향 위치제한부;
상기 제2스크루가 관통하며 내면에 상기 제2스크루에 대응하는 나사산과 나사골을 갖는 제2관통홀을 가져 상기 제2스크루의 회전에 따라 상기 제2방향 또는 그 반대 방향으로 이동할 수 있는, 제2프레임;
상기 제2프레임에 고정되며, 상기 제2프레임이 상기 제2방향 또는 그 반대 방향으로 이동함에 따라 상기 제2-1위치고정부 또는 상기 제2-2위치고정부와 컨택할 시 컨택신호를 생성할 수 있는, 제2위치센서; 및
상기 제2프레임에 연결되며, 상기 스테이지 상에 배치된 피가공물에 접촉할 수 있는 연마부;
를 구비하며,
상기 제1-1위치고정부와 상기 제1-2위치고정부 각각은 집게부 및 상기 집게부에 결합된 돌출부를 가져, 상기 집게부가 상기 제1봉에 착탈 가능하도록 고정되고,
상기 제1위치센서는,
상기 제1프레임에 고정되며 컨택신호를 발생시킬 수 있는 신호발생부;
상기 신호발생부에 회동가능하게 결합되며, 상기 제1-1위치고정부 또는 상기 제1-2위치고정부의 상기 돌출부에 컨택할 시 회동하는 회동부; 및
상기 회동부가 상기 제1-1위치고정부 또는 상기 제1-2위치고정부의 상기 돌출부로부터 이격될 시, 상기 신호발생부에 대한 상기 회동부의 위치를 복원시키는 복원부;
를 구비하여, 상기 제1위치센서는 상기 제1-1위치고정부 또는 상기 제1-2위치고정부의 상기 돌출부에 컨택할 시 컨택신호를 생성하는, 연마장치.A stage on which the workpiece is placed;
A first screw located at one side of the stage and extending in a first direction;
A first motor capable of rotating the first screw clockwise or counterclockwise;
A first rod located outside the stage and extending in the first direction, a first position fixing part detachably fixed to the first rod, and a second position fixing part detachably attached to the first rod, A first position restricting portion including a two-position fixing portion;
A first through hole penetrating through the first screw and having a first through hole having a thread and a thread corresponding to the first screw on the inner surface thereof and extending in a second direction intersecting the first direction, The first frame being movable in the first direction or the opposite direction;
And generates a contact signal when the first frame is moved in the first direction or in the opposite direction and is in contact with the first-first position fixing portion or the first-second position fixing portion, A first position sensor,
A second screw positioned on the first frame and extending in the second direction;
A second motor capable of rotating the second screw clockwise or counterclockwise;
A second stick fixed to the first frame and extending in the second direction, a second-1 position fixing part detachably fixed to the second rod, and a second-1 position fixing part fixed to the second rod in a detachable manner, A second direction position restricting portion including a second position fixing portion;
And a second through hole passing through the second screw and having a threaded portion and a threaded portion corresponding to the second screw on an inner surface thereof and capable of moving in the second direction or the opposite direction according to the rotation of the second screw, frame;
And generates a contact signal when making contact with the second-1 position fixing portion or the second 2-position fixing portion as the second frame moves in the second direction or the opposite direction, A second position sensor, And
An abrasive portion connected to the second frame and capable of contacting a workpiece disposed on the stage;
And,
Wherein the first-first position fixing portion and the first position fixing portion each have a clamping portion and a protrusion coupled to the clamping portion, the clamping portion is detachably fixed to the first rod,
Wherein the first position sensor comprises:
A signal generator fixed to the first frame and capable of generating a contact signal;
A rotation unit rotatably coupled to the signal generating unit and rotating when contacting the protrusion of the 1-1 position fixing unit or the 1-2 position fixing unit; And
A restoring unit for restoring the position of the pivoting part with respect to the signal generating part when the pivoting part is spaced apart from the projecting part of the 1-1 position fixing part or the 1-2 position fixing part;
Wherein the first position sensor generates a contact signal when making contact with the protrusion of the first-first position fixing portion or the first-second position fixing portion. 삭제delete 삭제delete 제1항에 있어서,
상기 스테이지는 석정반을 포함하는, 연마장치.The method according to claim 1,
Wherein the stage comprises a stone quartz. 제1항에 있어서,
상기 제2프레임은 상기 제2봉이 관통하는 제2보조관통홀을 더 포함하는, 연마장치.The method according to claim 1,
And the second frame further includes a second auxiliary through-hole passing through the second rod. 제1항에 있어서,
상기 제1방향을 따라 연장된 제1가이드를 더 구비하고, 상기 제1프레임은 상기 제1가이드 상에서 상기 제1방향 또는 그 반대 방향으로 이동하는, 연마장치.The method according to claim 1,
Further comprising: a first guide extending along the first direction, the first frame moving on the first guide in the first direction or vice versa. 제6항에 있어서,
상기 제1프레임 상에 위치하며 상기 제2방향을 따라 연장된 제2가이드를 더 구비하고, 상기 제2프레임은 상기 제2가이드 상에서 상기 제2방향 또는 그 반대 방향으로 이동하는, 연마장치.The method according to claim 6,
Further comprising a second guide positioned on the first frame and extending along the second direction, the second frame moving on the second guide in the second direction or the opposite direction.
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KR102196695B1 (en) * 2019-09-30 2020-12-30 나윤성 The movable abrasive machine for machining chockes liner in a sheep's windlass

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0274227A (en) * 1988-09-10 1990-03-14 Kumaki Nobuyoshi Rotary brush device
KR200265386Y1 (en) * 2001-10-24 2002-02-21 주식회사 화인알텍 The processing board divided move device
KR100513689B1 (en) * 2004-06-25 2005-09-09 박영관 Device for cutting of marble slab
KR200406859Y1 (en) * 2005-11-14 2006-01-24 홍기수 Stone Grinding Machine
KR20130112095A (en) * 2012-04-03 2013-10-14 김종철 Device grinding for skid steer loader

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0274227A (en) * 1988-09-10 1990-03-14 Kumaki Nobuyoshi Rotary brush device
KR200265386Y1 (en) * 2001-10-24 2002-02-21 주식회사 화인알텍 The processing board divided move device
KR100513689B1 (en) * 2004-06-25 2005-09-09 박영관 Device for cutting of marble slab
KR200406859Y1 (en) * 2005-11-14 2006-01-24 홍기수 Stone Grinding Machine
KR20130112095A (en) * 2012-04-03 2013-10-14 김종철 Device grinding for skid steer loader

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