KR101877094B1 - Double-ended short arc flash lamp - Google Patents

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Abstract

[과제] 발광관의 내부에 양극과 음극을 구성하는 한 쌍의 주전극과, 한 쌍의 시동 보조 전극이 배치되고, 상기 발광관의 일단부의 실링관에, 실링용 유리관이 삽입 용착되어 이루어지는 더블 엔드형 쇼트 아크 플래시 램프에 있어서, 음극이 온도 상승하는 것에 의한 이미터의 조기 고갈을 억제하고, 장기에 걸쳐 안정된 점등이 얻어지는 구조를 제공하는 것이다.
[해결 수단] 상기 음극에는, 이미터가 함유됨과 더불어, 상기 음극의 체적이 상기 양극의 체적보다 큰 것을 특징으로 한다.[PROBLEMS] To provide a double-sided glass tube in which a pair of main electrodes constituting an anode and a cathode, and a pair of starting auxiliary electrodes are disposed in an arc tube, and a sealing glass tube is inserted and welded to a sealing tube at one end of the arc tube End type short arc flash lamp, it is possible to suppress the premature exhaustion of the emitter due to temperature rise of the cathode, and to provide a structure in which stable lighting can be obtained over a long period of time.
[MEANS FOR SOLVING PROBLEMS] The cathode includes an emitter, and the volume of the cathode is larger than the volume of the anode.

Description

더블 엔드형 쇼트 아크 플래시 램프{DOUBLE-ENDED SHORT ARC FLASH LAMP}BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention [0001] The present invention relates to a double-ended short arc flash lamp,

본 발명은 더블 엔드형 쇼트 아크 플래시 램프에 관한 것이며, 특히, 한쪽 실링관 부분이 이중관 구조로 된 더블 엔드형 쇼트 아크 플래시 램프에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a double-ended short arc flash lamp, and more particularly, to a double-ended short arc flash lamp having a double-tube structure at one sealing tube portion.

플래시 점등을 행하는 방전등은, 반도체 제조 공정에 있어서의 플래시 아닐링을 비롯한 산업 용도에 널리 이용되고 있고, 본 발명의 램프는, 특히 진공 자외광을 이용한 노광 공정에 사용되는 것이다.BACKGROUND ART [0002] A discharge lamp that performs flash lighting is widely used for industrial applications including flash annealing in a semiconductor manufacturing process. The lamp of the present invention is particularly used in an exposure process using vacuum ultraviolet light.

상기 노광 공정에 있어서는, 소영역에 고밀도인 광을 단시간에 조사할 수 있고, 광의 방향성이나 분포에 불균일이 비교적 적은, 평행광에 가까운 광을 사용하는 것이 요구된다.In the exposure step, it is required to use light with a wavelength close to the parallel light, which can irradiate light of high density to a small area in a short time and has a relatively small non-uniformity in the directionality and distribution of light.

지금까지, 동 노광 공정에 있어서는, 일본국 특허 공개 2012－43736호 공보(특허 문헌 1)에 개시되는, 진공관 형상의 플래시 램프가 주로 사용되어 왔다. 동 램프는, 주전극간 거리가 일반적인 플래시 점등을 행하는 램프에 비해 작고, 점광원에 가까운 광원으로서 취급할 수 있다.Up to now, in the copper exposure process, a bulb-shaped flash lamp disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open Publication No. 2012-43736 (Patent Document 1) has been mainly used. The copper lamp has a smaller distance between the main poles than a lamp which performs a general flash lighting, and can be handled as a light source close to a point light source.

그러나 진공관 구조를 가지기 때문에, 편측의 단부에 양 주전극 및 트리거 전극(시동용 보조 전극)을 봉할 필요가 있으며, 장치, 전원으로의 접속부(구금)를 원기둥형상의 구조로 하는 경우, 특히 외경 치수가 커져 버린다. 이로 인해, 리플렉터 등을 가지는 광학계 내부에 같은 램프를 이용하는 경우, 구금 구조 등에 기인하는 차광 영역이 커져, 결과적으로, 광학계로부터의 광출력이 저하하는 문제가 있었다.However, since it has a vacuum tube structure, it is necessary to seal the main electrode and the trigger electrode (starting auxiliary electrode) at the end of one side, and when the connecting portion (nip) . Therefore, when the same lamp is used in an optical system having a reflector or the like, there arises a problem that the light shielding area due to the retaining structure or the like becomes large, and consequently the light output from the optical system decreases.

이러한 문제에 대해, 일본국 특허 공개 2012－94362호 공보(특허 문헌 2)에서는, 램프 밸브의 양측에 실링부를 배치하는, 이른바 더블 실링형 구조를 이용함으로써, 상기 서술한 차광 영역을 작게 하는 기술이 개시되어 있다.In order to solve such a problem, Japanese Unexamined Patent Application Publication No. 2002-94362 (Patent Document 2) discloses a technique of reducing the above-mentioned shading area by using a so-called double sealing type structure in which sealing portions are arranged on both sides of the lamp valve Lt; / RTI &gt;

도 3에 도시하는 바와 같이, 더블 엔드형 쇼트 아크 플래시 램프에 있어서, 발광관(1)의 양단에 제1 실링관(2)과 제2 실링관(3)이 연달아 설치되어 있다. 그리고 상기 제2 실링관(3)에는 실링용 유리관(4)이 삽입되어 있으며, 양자는 용착되어 있다.As shown in Fig. 3, in the double-ended type short arc flash lamp, a first sealing pipe 2 and a second sealing pipe 3 are provided at both ends of the arc tube 1 in succession. A sealing glass tube (4) is inserted into the second sealing tube (3), and both are welded together.

발광관(1) 내에는 한 쌍의 제1 주전극(양극)(5)과 제2 주전극(음극)(6)이 대향 배치되어 있다. 상기 양극(5)은, 그 심선(7)이 제1 실링관(2)에 단계 유리 등의 수단에 의해 지지·실링되어 그 외방으로 도출되어 있으며, 한편, 상기 음극(6)은, 그 심선(8)이 상기 실링용 유리관(4)에 단계 유리 등의 수단에 의해 지지·실링되어 그 외방으로 도출되어 있다.A pair of first main electrodes (positive electrodes) 5 and a second main electrode (negative electrodes) 6 are disposed opposite to each other in the arc tube 1. The anode 5 is supported and sealed in the first sealing tube 2 by means of a step glass or the like and led out to the outside of the first sealing tube 2, (8) is supported and sealed to the sealing glass tube (4) by a step glass or the like, and led out to the outside.

발광관(1) 내의 양극(5)과 음극(6)의 사이에는, 한 쌍의 시동 보조 전극(10, 11)이 설치되어 있고, 각각의 내부 리드(12, 15)와 외부 리드(13, 16)가, 상기 제2 실링관(3)과 실링용 유리관(4) 사이의 용착 영역에 있어서, 금속박(14, 17)을 통해 전기적으로 접속되어 있다.A pair of starter auxiliary electrodes 10 and 11 are provided between the anode 5 and the cathode 6 in the arc tube 1. The inner leads 12 and 15 and the outer leads 13 and 13, 16 are electrically connected through the metal foils 14, 17 in the welded region between the second sealing pipe 3 and the sealing glass pipe 4.

이러한 더블 엔드형 쇼트 아크 플래시 램프에 의하면, 램프 밸브의 양단부에 실링부를 배치함으로써, 상기 서술한 차광 영역을 작게 할 수 있다고 되어 있다.According to such a double-ended type short arc flash lamp, it is possible to reduce the above-mentioned shading area by disposing a sealing portion at both ends of the lamp valve.

그런데 음극으로부터 양극을 향해 전자가 방출되고, 직류형의 연속 점등되는 쇼트 아크형의 램프에서는, 일반적으로는, 전자를 받는 양극의 온도가, 음극의 온도보다 상승하는 것이 일반적이다. 그로 인해, 음극보다 양극이 대형으로 형성되어 있다.In a short arc type lamp in which electrons are emitted from the cathode toward the anode and the DC type is continuously lit, it is general that the temperature of the anode that receives electrons generally rises above the temperature of the cathode. As a result, the positive electrode is formed larger than the negative electrode.

그러나 도 3에 도시되는 더블 엔드형 쇼트 아크 플래시 램프에서는, 매우 짧은 시간으로 펄스 점등을 행하는 것이므로, 점등 시험을 행하면 음극의 온도가 양극의 온도보다 상승한다고 하는, 지금까지와는 반대의 결과가 얻어졌다. 그 이유는, 이하와 같이 추측된다.However, in the double-ended type short arc flash lamp shown in Fig. 3, the pulse lighting is performed in a very short time, and therefore, the result of the lighting test is opposite to that of the conventional example in which the temperature of the cathode rises above the temperature of the anode. The reason is presumed as follows.

더블 엔드형 쇼트 아크 플래시 램프에서는, 전자는 음극의 선단의 매우 좁은 영역으로부터 방출되기 때문에, 선단 부분의 전류 밀도가 극단적으로 높아져, 선단 부분이 현저하게 온도가 상승한다.In a double end type short arc flash lamp, electrons are emitted from a very narrow region at the tip of a cathode, so that the current density at the tip portion becomes extremely high and the temperature at the tip portion remarkably rises.

음극에는 전자 방사 기능을 주관하는 이미터가 함유되어 있는데, 상기와 같이, 음극 선단 부분의 온도가 너무 높아지면 이미터가 단시간에 고갈되어 버려, 램프가 점등하지 않게 된다고 하는 문제가 있었다.As described above, when the temperature of the tip of the cathode becomes too high, the emitter is depleted in a short time, and the lamp is not turned on.

한편, 양극은 전자를 받는 면적이 선단에 한정되지 않고 전체적으로 받게 되어, 그만큼 선단 부분의 전류 밀도가 낮아지고, 통상의 연속 점등하는 램프와 달리, 간헐 점등하는 플래시 램프에서는, 양극이 방출 전자를 계속 받는 것은 아니기 때문에, 온도 상승도 그 정도는 아니다.On the other hand, the area of the anode receiving the electrons is not limited to the tip, but is entirely received, so that the current density at the tip portion is lowered. As a result, unlike a lamp which is normally continuously lit, Because it is not received, temperature rise is not that much.

즉, 플래시 램프에서는 양극이 열적 영향을 받는 것이 작아, 음극의 열적 영향을 고려할 필요가 있게 된다.That is, in a flash lamp, since the anode is not thermally affected, it is necessary to consider the thermal influence of the cathode.

일본국 특허 공개 2012-43736호 공보Japanese Patent Application Laid-Open No. 04-43736 일본국 특허 공개 2012-94362호 공보Japanese Patent Application Laid-Open No. H09-94362

이 발명이 해결하고자 하는 과제는, 상기 종래 기술의 문제점을 감안하여, 유리제의 발광관의 내부에, 양극과 음극으로 이루어지는 한 쌍의 주전극과, 한 쌍의 시동 보조 전극이 배치되고, 상기 발광관의 양단에 제1 실링관과 제2 실링관을 구비하며, 상기 제1 실링관에는, 상기 주전극 중 한쪽 주전극의 심선이 실링되어 발광관 밖으로 도출되고, 상기 제2 실링관에는, 그 내부에 삽입된 실링용 유리관이 용착되며, 상기 실링용 유리관에는, 상기 주전극 중 다른 쪽 주전극의 심선이 실링되어 발광관 밖으로 도출되어 이루어지는 더블 엔드형 쇼트 아크 플래시 램프에 있어서, 음극의 극도의 온도 상승을 억제하고, 상기 음극에 함유된 이미터의 조기 고갈을 방지하며, 음극이 장시간에 걸쳐 적정하게 기능하고, 지속적으로 발광 회수가 많은 구조를 제공하는 것이다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above problems of the prior art, and it is an object of the present invention to provide a light emitting tube having a pair of main electrodes and a pair of auxiliary electrodes, each comprising a positive electrode and a negative electrode, Wherein a first sealing pipe and a second sealing pipe are provided at both ends of the tube, the core wire of one of the main electrodes of the main electrode is sealed and led out of the light-emitting tube, and in the second sealing pipe, Arc type flash arc lamp in which a sealing glass tube inserted into a sealing glass tube is sealed and a core wire of the other main electrode of the main electrode is sealed and led out of the arc tube, It is possible to suppress the temperature rise, prevent premature depletion of the emitter contained in the negative electrode, provide a structure in which the negative electrode functions properly over a long period of time, will be.

상기 과제를 해결하기 위해, 이 발명에 따른 더블 엔드형 쇼트 아크 플래시 램프는, 상기 실링관 내에 배치된 상기 음극에는, 이미터가 함유됨과 더불어, 상기 음극의 체적이 상기 양극의 체적보다 큰 것을 특징으로 한다.In order to solve the above problem, the double-ended short arc flash lamp according to the present invention is characterized in that the cathode disposed in the sealing tube contains an emitter and the volume of the cathode is larger than the volume of the anode .

또, 상기 음극의 최대 외경이, 상기 양극의 최대 외경보다 큰 것을 특징으로 한다.Further, the maximum outer diameter of the cathode is larger than the maximum outer diameter of the anode.

또, 상기 음극과 상기 양극은, 원기둥형상의 본체부와, 원뿔형상의 선단부로 구성되어 있는 것을 특징으로 한다.The negative electrode and the positive electrode are characterized by comprising a cylindrical main body portion and a conical tip end portion.

또, 상기 시동용 보조 전극은, 선단이 상기 양극과 상기 음극의 사이에 위치하고, 상기 시동 보조 전극에 접속되어 상기 음극측으로 연장되는 내부 리드가, 상기 음극의 둘레 측면에 있어서, 상기 발광관측으로 팽출 변위되어 있는 것을 특징으로 한다.It is preferable that the starting auxiliary electrode has an inner lead located at the tip between the positive electrode and the negative electrode and connected to the starting auxiliary electrode and extending toward the negative electrode side in the circumferential side of the negative electrode, And is displaced.

이 발명의 더블 엔드형 쇼트 아크 플래시 램프에 의하면, 음극의 체적을 양극의 체적보다 크게 함으로써, 상기 음극의 온도, 특히, 그 선단 부분의 온도가 너무 높아지는 일이 없고, 함유된 이미터가 조기에 고갈하는 일이 없으며, 장기적으로 안정적인 점등이 초래된다고 하는 효과를 가진다.According to the double-ended short arc flash lamp of the present invention, by making the volume of the negative electrode larger than the volume of the positive electrode, the temperature of the negative electrode, in particular, the temperature of the tip portion thereof does not become too high, There is no exhaustion, and there is an effect that stable lighting is caused in the long term.

또, 음극의 최대 외경을 양극의 최대 외경보다 크게 함으로써, 음극의 체적을 양극의 체적보다 크게 했으므로, 음극 선단 부분으로부터의 열이 후방측으로 전달되기 쉽고, 열확산이 활발해져, 그 온도 상승이 억제된다.Further, by making the maximum outer diameter of the cathode larger than the maximum outer diameter of the anode, the volume of the cathode is made larger than the volume of the anode, heat from the cathode tip is easily transmitted to the rear side, thermal diffusion becomes active, and the temperature rise is suppressed.

또, 시동 보조 전극의 내부 리드를 음극의 둘레 측면에 있어서, 발광관측으로 팽출 변위시키는 형상으로 했으므로, 대형화된 음극과의 간섭을 피하면서, 제2 실링부의 대경화를 회피할 수 있어, 차광 영역을 감소시킬 수 있다.In addition, since the inner lead of the starting auxiliary electrode is formed so as to displace outwardly on the side of the light emitting tube on the side surface of the cathode, the second sealing portion can be avoided from being enlarged while avoiding interference with the enlarged cathode, Can be reduced.

도 1은 본 발명의 더블 엔드형 쇼트 아크 플래시 램프의 단면도.
도 2는 다른 실시예의 단면도.
도 3은 종래의 더블 엔드형 쇼트 아크 플래시 램프의 단면도.1 is a sectional view of a double-ended type short arc flash lamp of the present invention.
2 is a sectional view of another embodiment;
3 is a cross-sectional view of a conventional double-ended type short arc flash lamp.

도 1은 본 발명의 더블 엔드형 쇼트 아크 플래시 램프의 전체 단면도이다.1 is an overall sectional view of a double-ended type short arc flash lamp of the present invention.

도 1에 도시되는 바와 같이, 발광관(1) 내에 배치된 한 쌍의 주전극을 구성하는 양극(5)과 음극(6) 중, 음극(6)의 체적이 양극(5)의 체적보다 크게 형성되어 있다.The volume of the cathode 6 is larger than the volume of the anode 5 among the anode 5 and the cathode 6 constituting the pair of main electrodes disposed in the arc tube 1, Respectively.

그 구체적인 일 수치예를 기재하면 이하와 같다.Specific examples of numerical values are as follows.

음극(6)：직경φ6mm 체적 100.8 mm3,Cathode (6): Diameter? 6 mm Volume 100.8 mm 3 ,

양극(5)：직경φ5mm 체적 90.4mm3 Anode (5): diameter φ 5 mm volume 90.4 mm 3

이 음극(6)에는, 이미터로서, 예를 들어 산화토륨이 함유되어 있다.In this cathode 6, for example, thorium oxide is contained as an emitter.

또한, 그 외의 구성은, 도 3에 기재한 종래예의 것과 같다.The rest of the configuration is the same as that of the conventional example shown in Fig.

그리고 이 예에서는, 시동 보조 전극(10, 11)의 내부 리드(12, 15)는, 음극(6)측으로 연장되고, 이중관 구조로 된 제2 실링관(3)과 실링용 유리관(4)의 사이로 인도되며, 그 사이에서 실링되어 있는 것으로서 설명되고 있다.In this example, the inner leads 12 and 15 of the starter auxiliary electrodes 10 and 11 extend to the cathode 6 side, and the second sealing tube 3 and the sealing glass tube 4 And is described as being sealed therebetween.

그러나 시동 보조 전극(10, 11)의 내부 리드(12, 15)는 음극(6)측으로 연장되는 것에 한정되지 않고, 반대측의 양극(5)측으로 인도되는 것이어도 되고, 그 경우는, 제1 실링관측에서 실링용 유리관과의 이중관 구조가 된다.However, the inner leads 12 and 15 of the starter auxiliary electrodes 10 and 11 are not limited to those extending toward the cathode 6, but may be led to the anode 5 on the opposite side. In this case, In the observation, it becomes a double pipe structure with a sealing glass tube.

또, 양극(5) 및 음극(6)은, 각각 원기둥형상의 본체부와 원뿔형상의 선단부로 구성되어 있다.The anode 5 and the cathode 6 are each formed of a cylindrical main body portion and a conical tip portion.

점등시의 음극으로부터의 전자 방출은, 열전자 방출에 의한 것이다. 단위 면적 당으로 음극으로부터 방출 가능한 열전자의 방출량은, 그 상한값이 음극의 동작 온도 및 일함수의 대소에 의해 정해지는데, 이 밖에, 쇼트키 효과도 그 양을 지배하는 요인이다.The electron emission from the cathode at the time of lighting is due to thermionic emission. The amount of thermoelectrons that can be emitted from the cathode per unit area is determined by the magnitude of the work function and the operating temperature of the cathode, and the Schottky effect is also a factor controlling the amount.

쇼트키 효과란, 음극 표면에 작용하는 전기장에 의해, 음극으로부터의 열전자 방출에 필요한 에너지량이 변화하는 현상이며, 본 발명의 음극과 같이 선단을 뾰족하게 한 형상으로 하는 경우, 동 선단부에 전계 집중이 일어나, 음극 선단 부근으로부터의 열전자 방출 가능량을 그 외의 부분보다 크게 할 수 있어, 결과적으로, 음극 선단으로부터 대부분의 열전자 방출이 일어나기 때문에, 점등시의 방전 위치를 안정시킬 수 있다.The Schottky effect is a phenomenon in which the amount of energy required for releasing thermions from the cathode changes due to an electric field acting on the surface of the cathode. In the case where the tip has a sharp point like the cathode of the present invention, It is possible to increase the amount of thermoelectrons emitted from the vicinity of the tip of the cathode to be larger than that of the other portion. As a result, since most of the thermions are emitted from the tip of the cathode, the discharge position at the time of lighting can be stabilized.

또, 음극으로부터 양극에 이르는 아크 방전은, 전위 구배가 가장 높은 경로의 주위에 발생하는 것이 일반적으로 알려져 있다. 전위 구배는, 생각하고 있는 경로의 양단 전위차를 경로 길이로 나눈 것으로 나타내며, 이 양은 양단 전기장 값의 차에 상당한다.It is generally known that the arc discharge from the cathode to the anode occurs around the path having the highest potential gradient. The potential gradient is represented by the potential difference at both ends of the path under consideration divided by the path length, which corresponds to the difference between the electric field values at both ends.

본 발명의 램프에서 이 현상을 생각하면, 음극의 설명에서 기술한 바와 같이, 선단을 뾰족하게 한 전극은, 음극, 양극 모두 선단 부근에 전계 집중이 발생한다. 따라서, 양 전극 선단간의 전기장의 차가 주위보다 커지고, 양극과 음극 선단의 주위에 방전로가 형성된다. 본 발명의 램프는 플래시 점등에 의해 동작하므로, 방전 형상이 불안정하게 되기 쉽고, 방전로를 통상의 방전 램프보다 안정시킬 필요가 있다. 따라서, 양극 선단을 뾰족하게 하여 방전로를 안정시키는 방법을 고안하고 있는 것이다.Considering this phenomenon in the lamp of the present invention, as described in the description of the negative electrode, electric field concentration occurs in the vicinity of the tips of both the negative electrode and the positive electrode in the case of the electrode whose tip is sharp. Therefore, the difference in the electric field between the both electrode tips becomes larger than the ambient, and a discharge path is formed around the anode and cathode tips. Since the lamp of the present invention operates by the flash lighting, the discharge shape tends to become unstable, and it is necessary to stabilize the discharge path more than a normal discharge lamp. Therefore, a method of stabilizing the discharge path by pointing the tip of the positive electrode is devised.

도 2에 다른 실시예가 개시되어 있고, 시동 보조 전극(10, 11)에 접속된 내부 리드(12, 15)가, 음극(6)측으로 연장되는 것으로서, 그 음극(6)의 둘레 측면에 있어서, 발광관(1)측으로 부풀도록 변위한 팽출 변형부(12a, 15a)가 형성되어 있다. 그리고 그 후단은 관축 중심측으로 오므리고 있다.2 shows another embodiment in which the inner leads 12 and 15 connected to the starting auxiliary electrodes 10 and 11 extend toward the negative electrode 6 side and on the peripheral side of the negative electrode 6, (12a, 15a) displaced to bulge toward the arc tube (1) are formed. And the rear end thereof is pushed toward the center of the tube axis.

이 구성에 의해, 내부 리드(12, 15)는, 팽출 변형부(12a, 15a) 때문에 체적이 커진 음극(6)에 간섭하는 일 없이, 또, 제2 실링관(3)으로 인도되고 나서 오므리고 있기 때문에, 제2 실링관(3)의 반경을 작게 할 수 있다. 이에 의해, 차광 영역을 작게 하고, 조도를 향상시킬 수 있다.With this configuration, the inner leads 12 and 15 are prevented from interfering with the negative electrode 6 whose volume has increased due to the bulge portions 12a and 15a, and further, after being led to the second sealing pipe 3, The radius of the second sealing pipe 3 can be reduced. This makes it possible to reduce the shielding area and improve the illuminance.

이 실시예에 있어서는, 시동 보조 전극(10, 11)은 고융점으로 고열에 견딜 수 있는 텅스텐을 이용하고, 내부 리드(12, 15)에는, 실온에서 소성 변형하기 쉽도록 가공성이 뛰어난 몰리브덴을 이용함으로써, 내구성과 가공성을 양립시킬 수 있다.In this embodiment, the starting auxiliary electrodes 10 and 11 are made of tungsten capable of withstanding a high temperature at a high melting point and the inner leads 12 and 15 are made of molybdenum having excellent processability so as to easily plastic deformation at room temperature Whereby durability and processability can be achieved at the same time.

이상 설명한 바와 같이, 본 발명에 따른 더블 엔드형 쇼트 아크 플래시 램프에서는, 플래시 점등할 때에 온도 상승하기 쉬운 음극의 체적을, 양극의 체적보다 크게 함으로써, 음극의 온도 상승을 억제하고, 함유된 이미터의 조기 고갈을 방지할 수 있으며, 장기에 걸쳐 안정된 점등을 유지할 수 있다.As described above, in the double-ended type short arc flash lamp according to the present invention, by increasing the volume of the cathode which is liable to rise in temperature when the flash is turned on to be larger than the volume of the anode, the temperature rise of the cathode is suppressed, It is possible to prevent premature depletion of the lamp and to maintain stable lighting for a long period of time.

1: 발광관 2: 제1 실링관
3: 제2 실링관 4: 실링용 유리관
5: 주전극(양극) 6: 주전극(음극)
7: 양극의 심선 8: 음극의 심선
10, 11: 시동 보조 전극 12, 15: 내부 리드
13, 17: 외부 리드 14, 15: 금속박
12a: 팽출 변형부 15a: 팽출 변형부1: luminous tube 2: first sealing tube
3: second sealing tube 4: sealing glass tube
5: main electrode (positive electrode) 6: main electrode (negative electrode)
7: Core of positive electrode 8: Core of negative electrode
10, 11: starting auxiliary electrode 12, 15: inner lead
13, 17: outer lead 14, 15: metal foil
12a: bulge deforming portion 15a: bulge deforming portion

Claims (4)

유리제의 발광관의 내부에, 양극과 음극으로 이루어지는 한 쌍의 주전극과, 한 쌍의 시동 보조 전극이 배치되고, 상기 발광관의 양단에 제1 실링관과 제2 실링관을 구비하며,
상기 제1 실링관에는, 상기 주전극 중 한쪽 주전극의 심선이 실링되어 발광관 밖으로 도출되고,
상기 제2 실링관에는, 그 내부에 삽입된 실링용 유리관이 용착되며, 상기 실링용 유리관에는, 상기 주전극 중 다른 쪽 주전극의 심선이 실링되어 발광관 밖으로 도출되어 이루어지는 더블 엔드형 쇼트 아크 플래시 램프에 있어서,
상기 음극에는, 이미터가 함유됨과 더불어, 상기 음극의 체적이 상기 양극의 체적보다 크고,
상기 음극의 최대 외경이, 상기 양극의 최대 외경보다 크며,
상기 시동용 보조 전극은, 선단이 상기 양극과 상기 음극의 사이에 위치하고, 상기 시동 보조 전극에 접속되어 상기 음극측으로 연장되는 내부 리드가, 상기 음극의 둘레 측면에 있어서, 상기 발광관측으로 팽출 변위되어 있는 것을 특징으로 하는 더블 엔드형 쇼트 아크 플래시 램프.A pair of main electrodes made of an anode and a cathode and a pair of starter auxiliary electrodes are arranged inside a glass arc tube, a first sealing tube and a second sealing tube are provided at both ends of the arc tube,
Wherein a core wire of one of the main electrodes is sealed in the first sealing tube and led out of the light emitting tube,
End type short arc flash in which the sealing glass tube inserted into the second sealing tube is welded and the core wire of the other main electrode of the main electrode is sealed and led out of the light emitting tube, In the lamp,
Wherein the negative electrode contains an emitter, the volume of the negative electrode is larger than the volume of the positive electrode,
The maximum outer diameter of the cathode is larger than the maximum outer diameter of the anode,
Wherein the starting auxiliary electrode is located between the positive electrode and the negative electrode and the inner lead connected to the starting auxiliary electrode and extending toward the negative electrode is bulge-displaced toward the luminous bulb side on the side of the cathode Wherein the short arc flash lamp is a double end type short arc flash lamp. 청구항 1에 있어서,
상기 음극과 상기 양극은, 원기둥형상의 본체부와, 원뿔형상의 선단부로 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 더블 엔드형 쇼트 아크 플래시 램프.The method according to claim 1,
Wherein the cathode and the anode are constituted by a cylindrical main portion and a conical tip portion. 삭제delete 삭제delete
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