KR101874302B1 - Packing insertion tool for sealing chamber - Google Patents

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KR101874302B1
KR101874302B1 KR1020160059905A KR20160059905A KR101874302B1 KR 101874302 B1 KR101874302 B1 KR 101874302B1 KR 1020160059905 A KR1020160059905 A KR 1020160059905A KR 20160059905 A KR20160059905 A KR 20160059905A KR 101874302 B1 KR101874302 B1 KR 101874302B1
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김희재
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Abstract

본 발명은 고정지그에 연결 고정된 상태에서 패킹을 가압하여 챔버를 구성하는 플레이트에 형성된 그루브에 삽입시키기 위한 챔버 밀폐용 패킹 삽입툴에 관한 것으로, 설치홈이 형성된 고정대가 구비되고, 고정대의 하부에 고정부재가 형성되어 고정지그에 연결 설치되는 고정부; "┌┐" 형상으로 이루어지고, 상기 고정부의 전방에 회전 가능하게 축에 의해 연결 설치되며, 그립부에 가해지는 힘을 전달받아 하측을 향하여 가압력을 작용시키는 가압부; 상기 고정부의 상측에 이격되도록 구비되고, 상기 가압부의 후방에 회전 가능하게 축에 의해 연결 설치되며, 사용자가 파지하여 하측으로 힘을 가하여 움직일 수 있도록 있도록 구비된 그립부; 상기 고정부와 그립부의 사이를 연결하고 소정의 각도로 비스듬히 설치되고, 양단이 회전 가능하게 축에 의해 연결되는 연결부; 및 상기 가압부의 전단에 연결되고, 가압부의 가압력에 의하여 패킹을 눌러서 그루브에 삽입시키는 누름부를 포함하는 챔버 밀폐용 패킹 삽입툴을 제공한다.The present invention relates to a chamber sealing packing insert tool for inserting a packing into a groove formed in a plate constituting a chamber by pressing the packing in a state of being fixedly connected to a fixing jig, A fixing part formed with a fixing member and connected to the fixing jig; A pressing portion which is formed in a shape of "?" And which is rotatably connected to the front of the fixing portion by a shaft and which receives a force applied to the grip portion and applies a pressing force toward the lower portion; A grip portion provided to be spaced apart from the upper portion of the fixing portion and connected to the rear portion of the pressing portion by a shaft so as to be rotatable, A connecting portion connecting the fixing portion and the grip portion at an angle to each other at an angle and having both ends rotatably connected by a shaft; And a pressing part connected to the front end of the pressing part and pressing the packing by a pressing force of the pressing part to insert the packing into the groove.

Description

챔버 밀폐용 패킹 삽입툴{PACKING INSERTION TOOL FOR SEALING CHAMBER}[0001] PACKING INSERTION TOOL FOR SEALING CHAMBER [0002]

본 발명은 패킹 삽입툴에 관한 것으로, 보다 상세하게는 챔버를 밀폐시키기 위해 패킹을 가압하여 챔버의 플레이트에 형성된 그루브에 삽입시켜 설치하기 위한 챔버 밀폐용 패킹 삽입툴에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a packing inserting tool, and more particularly, to a chamber inserting packing inserting tool for inserting a packing into a groove formed in a plate of a chamber by pressing the packing to seal the chamber.

일반적으로, 반도체, 평판 디스플레이 등의 제품을 제조하기 위해서는 매우 정밀한 제어와 복잡한 공정을 수행하는 여러 제조 설비를 필요로 하는 바, 이를 위하여 다양한 형태와 목적을 갖는 챔버가 사용된다. 이러한 챔버는 내부에 수납되어 공정에 투입되는 웨이퍼나 유리기판 등을 외부 환경과 격리시키고, 공정 환경에만 노출시킨다.In general, in order to manufacture a product such as a semiconductor or a flat panel display, various manufacturing facilities for performing highly precise control and complicated processes are required, and chambers having various shapes and purposes are used for this purpose. These chambers are housed inside to isolate wafers, glass substrates, etc., which are put into the process, from the external environment and expose them only to the process environment.

예컨대, 반도체 제품의 제조 공정에 있어서 웨이퍼의 특정 부분 물질을 화학 반응을 통해 제거해 내는 식각(etching) 공정, 화학 반응을 이용하여 웨이퍼 상에 박막을 형성하는 화학기상증착(CVD) 공정, 실리콘 단결정으로 된 웨이퍼의 특정한 영역에 전기전도특성을 부여하기 위하여 불순물을 첨가하는 이온주입공정 등이 모두 챔버 내부에서 진행된다.For example, in the manufacturing process of a semiconductor product, an etching process for removing a specific partial material of a wafer through a chemical reaction, a chemical vapor deposition (CVD) process for forming a thin film on the wafer using a chemical reaction, And an ion implantation process in which impurities are added to impart electrical conductivity to a specific region of the wafer.

그런데, 반도체, 평판 디스플레이 등의 제품은 매우 정밀한 제품이므로, 제조 공정 중에 부가될 수 있는 외부 공기나 이물질에 의해서 제품의 성능과 동작에 큰 영향을 미칠 수 있고, 공정이 진행되는 챔버는 외부 공기나 이물질이 유입되지 않도록 밀폐되어야 하며, 공정가스를 비롯한 챔버 내부에서 사용되는 물질은 인체에 유해하므로 외부로 유출되는 것을 차단해야 한다.However, since products such as semiconductor and flat panel displays are very precise products, the performance and operation of the product may be greatly affected by external air or foreign matter that may be added during the manufacturing process, It should be sealed to prevent foreign matter from entering, and the substances used inside the chamber including the process gas are harmful to the human body and should be prevented from being leaked to the outside.

이를 위하여, 챔버를 구성하는 여러 플레이트들의 접합면에 패킹이 삽입 설치되어 기밀성을 유지하도록 하고 있는 바, 종래기술에 관한 특허문헌 1은 그 일례를 보여주고 있다.To this end, the packing is inserted into the joint surfaces of the plates constituting the chamber so as to maintain airtightness, and Patent Document 1 of the related art shows an example thereof.

더불어, 챔버는 기판의 투입과 배출 과정을 다수 반복하기 때문에 기밀 부위의 마모, 손상, 이물질로 인하여 기밀성을 잃는 경우가 발생할 수 있어 필요시 새로운 패킹으로 교체 작업을 해야 한다.In addition, since the chamber repeats the input and discharge processes of the substrate many times, it may cause the airtightness to be lost due to the abrasion, damage or foreign matter in the airtight portion.

예컨대, 종래기술에 따른 패킹의 교체를 위한 삽입 과정이 도시된 도 1a 및 도 1b를 참고하면, 챔버를 구성하는 플레이트(T)에 형성된 그루브(G)와 패킹(P) 간의 과밀 설계로 인하여 패킹의 삽입시 전체 폭의 대략 30%가 축소되어야 그루브에 삽입이 가능한 구조이므로 패킹 삽입시 과도한 힘이 필요하여 작업이 어렵고, 여러 명이 함께 투입되어 작업이 이루어지며, 작업 시간도 많이 소요되며, 작업 숙련도에 따른 작업 재현성이 떨어지고, 삽입 과정에서 공구의 과다 사용으로 패킹이 손상되거나 변형되어 기밀성이 저하될 수 있는 문제가 있다.For example, referring to FIGS. 1A and 1B showing the insertion process for replacement of a packing according to the prior art, due to the over-design between the groove G formed in the plate T constituting the chamber and the packing P, It is difficult to work because it requires excessive force when inserting the packing, the work is done by a plurality of people working together, the working time is also long, and the work proficiency And the packing may be damaged or deformed due to excessive use of the tool in the insertion process, thereby causing a problem that the airtightness may be deteriorated.

대한민국 등록특허공보 제10-1195125호(2012.10.29. 공개)Korean Registered Patent No. 10-1195125 (published on October 29, 2012)

본 발명은 상술한 문제들을 모두 해결하기 위하여 안출된 것으로, 지렛대의 원리를 이용하여 적은 힘을 사용하면서 작용점의 힘을 극대화하여 패킹을 강하게 가압함으로써 그루브에 삽입 설치할 수 있고, 1인이 혼자서 작업할 수 있으며, 작업 시간이 단축되고, 작업 숙련도에 관계없이 작업 재현성이 우수하고, 무리한 삽입 작업에 따른 패킹의 손상이나 변형을 방지하여 기밀성이 증대될 수 있는 것에 그 목적이 있다.The present invention has been conceived to solve all of the above problems, and it is an object of the present invention to maximize the force of a point of action while using less force by using the principle of a lever and to insert the packing into a groove by strongly pressing the packing, And it is an object of the present invention that the working time is shortened, the reproducibility of work is excellent regardless of the skill of the worker, and the packing is prevented from being damaged or deformed by unreasonable insertion work, thereby increasing the airtightness.

또한, 조절부를 이용해 가압력을 조절하여 편리하게 사용할 수 있고, 패킹의 튀어나온 모양에 맞는 다양한 누름부를 탈착 가능하게 연결하여 사용할 수 있는 것에도 그 목적이 있다.It is also an object of the present invention to enable convenient use by adjusting the pressing force by using the regulating portion, and to use various depressions suited to the protruding shape of the packing detachably.

상기 과제를 해결하기 위하여 본 발명은 고정지그에 연결 고정된 상태에서 패킹을 가압하여 챔버를 구성하는 플레이트에 형성된 그루브에 삽입시키기 위한 챔버 밀폐용 패킹 삽입툴에 있어서, 설치홈이 형성된 고정대가 구비되고, 고정대의 하부에 고정부재가 형성되어 고정지그에 연결 설치되는 고정부; "┌┐" 형상으로 이루어지고, 상기 고정부의 전방에 회전 가능하게 축에 의해 연결 설치되며, 그립부에 가해지는 힘을 전달받아 하측을 향하여 가압력을 작용시키는 가압부; 상기 고정부의 상측에 이격되도록 구비되고, 상기 가압부의 후방에 회전 가능하게 축에 의해 연결 설치되며, 사용자가 파지하여 하측으로 힘을 가하여 움직일 수 있도록 있도록 구비된 그립부; 상기 고정부와 그립부의 사이를 연결하고 소정의 각도로 비스듬히 설치되고, 양단이 회전 가능하게 축에 의해 연결되는 연결부; 및 상기 가압부의 전단에 연결되고, 가압부의 가압력에 의하여 패킹을 눌러서 그루브에 삽입시키는 누름부를 포함하는 챔버 밀폐용 패킹 삽입툴을 제공한다.In order to solve the above problems, the present invention provides a chamber sealing packing insert tool for inserting a packing into a groove formed in a plate constituting a chamber by pressing the packing in a state of being fixedly connected to a fixing jig, A fixing unit having a fixing member formed at a lower portion of the fixing table and connected to the fixing jig; A pressing portion which is formed in a shape of "?" And which is rotatably connected to the front of the fixing portion by a shaft and which receives a force applied to the grip portion and applies a pressing force toward the lower portion; A grip portion provided to be spaced apart from the upper portion of the fixing portion and connected to the rear portion of the pressing portion by a shaft so as to be rotatable, A connecting portion connecting the fixing portion and the grip portion at an angle to each other at an angle and having both ends rotatably connected by a shaft; And a pressing part connected to the front end of the pressing part and pressing the packing by a pressing force of the pressing part to insert the packing into the groove.

게다가, 상기 고정부는 스프링이 설치되고, 상기 스프링은 상기 가압부와 연결되어 상기 가압부의 회전에 따라 신축될 수 있다.In addition, the fixing portion is provided with a spring, and the spring is connected to the pressing portion and can be expanded and contracted in accordance with the rotation of the pressing portion.

또한, 상기 고정부는 상기 고정대의 하부에 체결편이 형성되고, 상기 체결편에 볼트로 이루어진 상기 고정부재가 나사 체결되어 상기 고정부재가 하측으로 노출된 길이를 조절 가능할 수 있다.In addition, the fixing portion may have a fastening piece formed at a lower portion of the fixing block, and the length of the fixing member exposed downward can be adjusted by screwing the fixing member made of bolts into the fastening piece.

더불어, 상기 가압부는, 전·후방에 각각 세로 방향으로 구비된 전방편과 후방편, 및 상기 전방편과 후방편의 상부를 수평방향으로 서로 연결하는 상부편을 포함하고, 상기 후방편은, 하단이 상기 고정부의 전방에 회전 가능하게 축에 의해 연결 설치되고, 중간에 상기 그립부의 전단이 회전 가능하게 축에 의해 연결 설치될 수 있다.In addition, the pressing portion includes a front piece and a rear piece provided in the longitudinal direction in the front and rear, respectively, and an upper piece connecting the upper piece in the horizontal direction and the upper piece in the horizontal direction, And a front end of the grip portion may be rotatably connected to the front end of the grip portion by a shaft.

이때, 상기 가압부는, 상기 전방편의 하단에 가압판이 구비되고, 상기 가압판은 축에 의해 연결 설치되어 각도가 조절될 수 있다.At this time, the pressing portion includes a pressing plate at a lower end of the front piece, and the pressing plate is connected by a shaft to adjust the angle.

그리고, 상기 연결부는, 전방부에 바홈이 형성되고, 후방부에 바돌기가 형성될 수 있다.The connecting portion may have a bar groove formed at a front portion thereof and a bar protrusion formed at a rear portion thereof.

하부에 하부홈이 형성되고, 상부에 상부돌기가 형성될 수 있다.A lower groove may be formed in the lower portion, and an upper projection may be formed in the upper portion.

나아가, 상기 누름부는, 상기 가압부에 탈착 가능하게 연결되고, 바닥 부분은 패킹의 상부 형상과 대응되는 형상을 갖는 누름홈이 형성될 수 있다.Further, the pressing portion may be detachably connected to the pressing portion, and the bottom portion may be formed with a pressing groove having a shape corresponding to the upper shape of the packing.

아울러, 상기 고정부의 설치홈의 후방부에 삽입 설치되고 상기 연결부의 하단과 접촉되며 조절핸들의 회전에 따라 내외로 출몰되는 조절나사와, 상기 조절나사를 회전시켜 조절나사와 접촉된 연결부의 기울어진 각도를 조정하여 가압력을 가감하는 조절핸들로 이루어진 조절부를 더 포함할 수 있다.The adjusting screw is inserted into a rear portion of the fixing groove of the fixing portion and is in contact with the lower end of the connecting portion. The adjusting screw is projected inward and outward as the adjusting handle rotates. And an adjustment unit configured to adjust the angle of rotation to adjust the pressing force.

본 발명에 의하면, 지렛대의 원리를 이용하여 적은 힘을 사용하면서 작용점의 힘을 극대화하여 패킹을 강하게 가압함으로써 그루브에 삽입 설치할 수 있고, 1인이 혼자서 작업할 수 있으며, 작업 시간이 단축되고, 작업 숙련도에 관계없이 작업 재현성이 우수하고, 무리한 삽입 작업에 따른 패킹의 손상이나 변형을 방지하여 기밀성이 증대되는 효과가 있다.According to the present invention, it is possible to maximize the force of the action point while using less force by using the principle of the lever, and to strongly insert the packing into the groove by inserting the packing into the groove. Regardless of proficiency, it is excellent in work reproducibility, and damage or deformation of the packing due to unreasonable insertion work is prevented, thereby increasing airtightness.

또한, 조절부를 이용해 가압력을 조절하여 편리하게 사용할 수 있고, 패킹의 튀어나온 모양에 맞는 다양한 누름부를 탈착 가능하게 연결하여 사용할 수 있는 효과가 있다.Further, the pressing force can be adjusted by using the adjusting part, so that the pressing part can be conveniently used, and various pressing parts corresponding to the protruding shape of the packing can be detachably connected and used.

도 1a는 챔버를 구성하는 플레이트와 그루브를 도시한 도면이고, 도 1b는 종래기술에 따른 패킹의 교체를 위한 삽입 과정을 도시한 도면이다.
도 2a 및 도 2b는 본 발명의 실시예에 따른 챔버 밀폐용 패킹 삽입툴의 사시도이다.
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 챔버 밀폐용 패킹 삽입툴의 정면도이다.
도 4는 본 발명의 실시예에 따른 챔버 밀폐용 패킹 삽입툴의 일측면도이다.
도 5a는 일반적인 지렛대의 원리를 보여주는 개략도이고, 도 5b는 본 발명의 실시예에 따른 챔버 밀폐용 패킹 삽입툴에 지렛대의 원리가 적용된 것을 보여주는 도면이다.
도 6은 본 발명의 실시예에 따른 그립부에 힘을 가했을 때의 챔버 밀폐용 패킹 삽입툴을 도시한 사시도이다.
도 7은 본 발명의 실시예에 따른 조절부를 회전시켜 가압력을 조절한 챔버 밀폐용 패킹 삽입툴을 도시한 사시도이다.
도 8은 본 발명의 실시예에 따른 챔버 밀폐용 패킹 삽입툴의 작업시 사용 상태도이다.FIG. 1A is a view showing a plate and a groove constituting a chamber, and FIG. 1B is a view showing a process of inserting a packing according to the related art.
2A and 2B are perspective views of a chamber sealing packing insert tool according to an embodiment of the present invention.
3 is a front view of a chamber sealing packing insert tool according to an embodiment of the present invention.
4 is a side view of a chamber sealing packing insert tool according to an embodiment of the present invention.
FIG. 5A is a schematic view showing a principle of a general leverage, and FIG. 5B is a view showing a principle of leverage applied to a chamber sealing packing insertion tool according to an embodiment of the present invention.
6 is a perspective view showing a chamber sealing packing insertion tool when a force is applied to the grip portion according to the embodiment of the present invention.
FIG. 7 is a perspective view illustrating a chamber sealing packing insertion tool in which a pressing force is adjusted by rotating an adjusting part according to an embodiment of the present invention. FIG.
FIG. 8 is a state view showing a state of use of the chamber sealing packing insert tool according to the embodiment of the present invention.

이하에서, 도면을 참조하여 본 발명에 따른 챔버 밀폐용 패킹 삽입툴을 실시하기 위한 구체적인 내용에 대하여 실시예를 중심으로 상세하게 설명하도록 하겠다.Hereinafter, with reference to the drawings, specific details for implementing a chamber sealing packing insert tool according to the present invention will be described in detail with reference to embodiments.

도 2a 내지 도 4를 참고하면, 본 발명에 따른 챔버 밀폐용 패킹 삽입툴(1)은 챔버를 밀폐시키기 위해 고정지그(2)에 연결되어 고정된 상태에서 패킹을 가압하여 챔버를 구성하는 플레이트에 형성된 그루브에 패킹을 삽입시켜 설치하기 위한 것으로, 고정부(100), 가압부(200), 그립부(300), 연결부(400), 누름부(500) 및 조절부(600)를 포함하여 이루어진다.2A to 4, a chamber sealing packing insert tool 1 according to the present invention is connected to a fixing jig 2 to seal a chamber, and presses the packing in a fixed state, And includes a fixing portion 100, a pressing portion 200, a grip portion 300, a connecting portion 400, a pressing portion 500, and an adjusting portion 600 for inserting a packing into a formed groove.

상기 고정부(100)는, 금속 재질로 이루어진 고정대(110)가 구비되고, 상기 고정대(110)는 상부가 개방된 설치홈(120)이 형성되며, 상기 고정대(110)의 하부에는 체결편(130)이 형성된다. 더불어, 상기 고정대(110)의 외부에는 외피(111)가 감싸져 형성되고, 상기 외피(111)는 상부가 개방된 개방홈이 형성되며, 개방홈을 통하여 연결부(400)가 상측을 향해 비스듬히 상기 그립부(300)와 연결된다.The fixing unit 100 includes a fixing table 110 made of a metal material and the fixing table 110 is provided with a mounting groove 120 having an open upper part. 130 are formed. In addition, an outer shell 111 is formed on the outer surface of the fixing table 110, and the outer shell 111 is formed with an open groove having an open top, and the connecting portion 400 is inclined upward And is connected to the grip portion 300.

상기 체결편(130)에 볼트로 이루어진 고정부재(140)가 나사 체결되고, 상기 고정부재(140)는 고정지그(2)의 삽입홈(2a)에 삽입 연결되어 챔버 밀폐용 패킹 삽입툴(1)이 고정 설치된다. 이때, 챔버 밀폐용 패킹 삽입툴(1)을 고정지그(2)에 삽입하기 전에, 상기 고정부재(140)를 회전시켜 상기 고정부재(140)가 상기 체결편(130)의 하측으로 노출된 길이를 조절할 수 있고, 이로써 챔버 밀폐용 패킹 삽입툴(1)을 고정지그(2)에 견고하게 고정할 수 있다.A fixing member 140 made of bolts is screwed to the fastening piece 130 and the fixing member 140 is inserted into and connected to the insertion groove 2a of the fixing jig 2 to form a chamber sealing packing insertion tool 1 Is fixedly installed. At this time, before inserting the chamber sealing packing insert tool 1 into the fixing jig 2, the fixing member 140 is rotated so that the length of the fixing member 140 exposed to the lower side of the clamping piece 130 So that the chamber sealing packing insert tool 1 can be firmly fixed to the fixing jig 2. [

또한, 상기 고정부(100)는 설치홈(120)의 내측에 스프링(150)이 설치되고, 상기 스프링(150)은 상기 가압부(200)와 연결되어 상기 가압부(200)의 회전에 따라 신축되며, 상기 설치홈(120)의 바닥면에 연결고리(미도시)가 형성되어 스프링(150)의 일단부가 연결되고, 상기 가압부(200)의 후방편(220)에 형성된 연결공(221)에 스프링(150)의 타단부가 연결된어 상기 스프링(150)은 상기 가압부(200)를 탄성 지지한다.The fixing part 100 is provided with a spring 150 inside the installation groove 120 and the spring 150 is connected to the pressing part 200 and is rotated in accordance with the rotation of the pressing part 200 And a connecting ring (not shown) is formed on the bottom surface of the mounting groove 120 to connect one end of the spring 150 and a connection hole 221 formed in the rearward portion 220 of the pressing portion 200 The spring 150 is connected to the other end of the spring 150 to elastically support the pressing portion 200. [

이로써, 도 6과 같이, 상기 그립부(300)에 힘을 가하여 상기 가압부(200)가 하측을 향하여 가압력을 작용시키면 상기 스프링(150)은 신장되고, 상기 그립부(300)에 가한 힘을 해제하면 상기 스프링(150)이 축소되어 복원되면서 상기 가압부(200)가 상측을 향하여 복귀하고, 이에 따라 그립부(100)도 상측으로 회전 이동하게 된다.6, when the force is applied to the grip portion 300 and the push portion 200 is urged downward, the spring 150 is extended and when the force applied to the grip portion 300 is released As the spring 150 is reduced and restored, the pressing portion 200 is returned upward, and the grip portion 100 also rotates upward.

상기 가압부(200)는 "┌┐" 형상을 갖는 금속으로 이루어지고, 상기 고정부(100)의 전방부에 회전 가능하게 축에 의해 연결 설치되며, 상기 그립부(300)에 가해지는 힘을 전달받아 하측을 향하여 가압력을 작용시킨다.The pressing part 200 is made of a metal having a shape of "?", Is rotatably connected to the front part of the fixing part 100 by a shaft, and transmits a force applied to the grip part 300 And applies a pressing force toward the lower side.

이를 위하여, 상기 가압부(200)는, 전·후방에 각각 세로 방향으로 구비된 전방편(210)과 후방편(220), 및 상기 전방편(210)과 후방편(220)의 상부를 수평방향으로 서로 연결하는 상부편(230)을 포함하여 이루어진다.For this, the pressing part 200 includes a front piece 210 and a rear piece 220, which are provided in the longitudinal direction in the front and rear, respectively, and an upper part of the front piece 210 and the rear piece 220, And a top piece 230 connected to each other.

이때, 상기 후방편(220)은, 하단부가 상기 고정부(100)의 전방부에 회전 가능하게 축에 의해 연결 설치되고, 중간에 상기 그립부(300)의 전단부가 회전 가능하게 축에 의해 연결 설치된다.At this time, the rearward movement member 220 has a lower end connected rotatably to a front portion of the fixed portion 100 by a shaft, and a front end portion of the grip portion 300 is rotatably connected by a shaft do.

또한, 상기 가압부(200)는, 상기 전방편(210)의 하단에 가압판(240)이 구비되고, 상기 가압판(240)은 축에 의해 연결 설치되어 각도가 조절될 수 있다.The pressing part 200 may include a pressing plate 240 at the lower end of the front piece 210 and the pressing plate 240 may be connected by a shaft to adjust the angle.

상기 그립부(300)는 금속 재질로 이루어지고, 중간이 하측으로 오목하게 들어간 형상을 하고 있으며, 상기 고정부(100)의 상측에 상기 고정부(100)로부터 이격되도록 구비된다. 상기 가압부(200)의 후방편(220)에 회전 가능하게 축에 의해 연결 설치되며, 사용자가 그립부(300)를 파지하여 힘을 가하면 하측으로 움직이고, 가한 힘을 해제하면 상측으로 다시 복귀된다.The grip portion 300 is made of a metal material and has an intermediate shape recessed downward and is provided on the upper side of the fixing portion 100 so as to be spaced apart from the fixing portion 100. When the user grips the grip portion 300 and applies a force, the user moves the grip portion 300 downward. When the grip portion 300 is released, the grip portion 300 is returned to the upper side.

이때, 상기 그립부(300)는, 하부가 개방된 그립홈(310)이 형성되고, 후방부에 파지를 위하여 합성수지 재질의 외피(311)가 감싸져 형성된다.At this time, the grip portion 300 is formed with a grip groove 310 having an opened bottom, and a synthetic resin-made outer cover 311 is wrapped around the grip portion 300 for gripping the grip portion 300.

상기 연결부(400)는 상기 고정부(100)와 그립부(300)의 사이를 연결하는 연결바(410)가 구비되고, 상기 연결바(410)는 소정의 각도로 비스듬히 설치되며, 양단부가 회전 가능하게 상단축(411)과 하단축(412)에 의해 각각 연결 설치된다. 이때, 비스듬히 설치된 연결바(410)는 상기 그립부(300)에 힘이 가하여질 때 중심축이 되어 지렛대의 원리에 의하여 작용점에 가해지는 가압력이 극대화되도록 한다.The connecting part 400 is provided with a connecting bar 410 connecting between the fixing part 100 and the grip part 300. The connecting bar 410 is installed at an angle to a predetermined angle, And connected by a lower short axis 411 and a lower short axis 412, respectively. At this time, the connecting bar 410, which is installed at an angle, becomes a central axis when a force is applied to the grip portion 300, thereby maximizing the pressing force applied to the action point by the principle of the lever.

즉, 도 5a 및 도 5b에 도시된 바와 같이 상기 그립부(300)에 힘을 가하게 되면 지렛대의 원리에 의하여 비스듬히 설치된 연결바(410)를 중심으로 상기 그립부(300)의 후방부는 하측으로 이동하고, 이때 상기 그립부(300)의 전방부는 이동하여 연결바(410)의 상측에 위치하게 되면서 상기 가압부(200)가 앞으로 이동하게 되고, 상기 전방편(210)이 작용점의 방향인 하측으로 가압력이 작용하게 된다. 이로써 지렛대의 원리를 이용하여 적은 힘을 사용하면서 작용점의 힘을 극대화하여 패킹을 강하게 가압함으로써 그루브에 삽입 설치할 수 있다.5A and 5B, when a force is applied to the grip portion 300, the rear portion of the grip portion 300 moves downward about the connecting bar 410 installed obliquely by the principle of the lever, At this time, the front part of the grip part 300 moves to be positioned on the upper side of the connection bar 410, so that the pressing part 200 moves forward, and a pressing force acts on the lower part of the front part 210, . This makes it possible to maximize the force of the action point while using less force by using the principle of the lever, and to strongly insert the packing so as to be inserted into the groove.

더불어, 상기 연결부(400)는, 연결바(410)의 전방부에 바홈(420)이 형성되고, 연결바(410)의 후방부에 바돌기(430)가 형성될 수 있다. 따라서, 상기 그립부(300)에 힘을 가할 때 연결바(410)가 하측으로 이동하면서 외피(111)와 접촉시 외피(111)의 파손을 방지할 수 있고, 이와 함께 하측으로 회전 이동한 그립부(300)의 후방부가 연결바(410)의 바돌기(430)에 접촉되어 스토퍼 기능을 하게 된다.In addition, the connection unit 400 may include a bar groove 420 formed at a front portion of the connection bar 410 and a bar protrusion 430 formed at a rear portion of the connection bar 410. Therefore, when a force is applied to the grip portion 300, the connection bar 410 moves downward to prevent damage to the outer skin 111 when the grip portion 300 is in contact with the skin 111, 300 are brought into contact with the bar protrusion 430 of the connecting bar 410 to function as a stopper.

상기 누름부(500)는 합성수지로 이루어지고, 상기 가압부(200)의 전단부, 즉 가압판(240)에 탈착 가능하게 연결되며, 상기 가압부(200)의 가압력에 의하여 패킹(P)을 눌러서 패킹(P)에 손상을 가하지 않고 그루브(G)에 삽입시킨다. 이때, 누름부(500)의 바닥 부분에는 패킹(P)의 상부 형상과 대응되는 형상을 갖는 누름홈(미도시)이 형성된다.The pressing part 500 is made of a synthetic resin and detachably connected to the front end of the pressing part 200, that is, the pressing plate 240. The pressing part 200 presses the packing P by a pressing force of the pressing part 200 The packing P is inserted into the groove G without being damaged. At this time, a pressing groove (not shown) having a shape corresponding to the upper shape of the packing P is formed at the bottom of the pressing part 500.

상기 조절부(600)는 상기 고정부(100)의 설치홈(120)의 후방부에 삽입 설치되어 일부가 후방을 향해 노출되고, 전단부가 상기 연결부(400)의 하단부와 접촉되며 조절핸들(620)의 회전에 따라 내외로 출몰되는 조절나사(610)와, 도 7과 같이 상기 조절나사(610)를 회전시켜 조절나사(610)와 접촉된 연결바(410)의 기울어진 각도를 조정하여 가압력을 가감하는 조절핸들(620)로 이루어진다. 상기 조절핸들(620)을 회전시켜 조절나사(610)를 전방측으로 밀어 넣을 때에 챔버 밀폐용 패킹 삽입툴(1)의 가압력이 증가하게 된다.The adjusting part 600 is inserted into the rear portion of the mounting groove 120 of the fixing part 100 and partially exposed rearward. The front end of the adjusting part 600 is in contact with the lower end of the connecting part 400, 7, the adjustment screw 610 is rotated to adjust the tilting angle of the connection bar 410 in contact with the adjustment screw 610, And an adjusting handle 620 for increasing / decreasing the angle. The pressing force of the chamber sealing packing insertion tool 1 is increased when the adjustment handle 620 is rotated and the adjustment screw 610 is pushed forward.

결국, 도 8에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 챔버 밀폐용 패킹 삽입툴(1)은 지렛대의 원리를 이용하여 적은 힘을 사용하면서 작용점의 힘을 극대화하여 패킹을 강하게 가압함으로써 그루브에 삽입 설치할 수 있고, 1인이 혼자서 작업할 수 있으며, 작업 시간이 단축되고, 작업 숙련도에 관계없이 작업 재현성이 우수하고, 무리한 삽입 작업에 따른 패킹의 손상이나 변형을 방지하여 기밀성이 증대되며, 또한 조절부를 이용해 가압력을 조절하여 편리하게 사용할 수 있고, 패킹의 튀어나온 모양에 맞는 다양한 누름부를 탈착 가능하게 연결하여 사용할 수 있는 효과가 있는 것이다.8, the chamber sealing packing insert tool 1 according to the present invention maximizes the force of the action point while using a small force by using the principle of the lever, so that the packing is strongly pressed and inserted into the groove It is possible to work alone, work time is shortened, work reproducibility is excellent irrespective of the skill of the worker, the packing is prevented from being damaged or deformed due to unreasonable insertion work, It is possible to use it conveniently by adjusting the pressing force and to use various depressions corresponding to the protruding shape of the packing so as to be detachably connected.

본 발명에서 상기 실시 형태는 하나의 예시로서 본 발명이 여기에 한정되는 것은 아니다. 본 발명의 특허청구범위에 기재된 기술적 사상과 실질적으로 동일한 구성을 갖고 동일한 작용효과를 이루는 것은 어떠한 것이라도 본 발명의 기술적 범위에 포함된다.The present invention is not limited to the above-described embodiments. Anything having substantially the same constitution as the technical idea described in the claims of the present invention and achieving the same operational effect is included in the technical scope of the present invention.

1. 챔버 밀폐용 패킹 삽입툴 2. 고정지그
2a. 삽입홈 100. 고정부
110. 고정대 111. 외피
120. 설치홈 130. 체결편
140. 고정부재 150. 스프링
200. 가압부 210. 전방편
220. 후방편 221. 연결공
230. 상부편 240. 가압판
300. 그립부 310. 그립홈
311. 외피 400. 연결부
410. 연결바 411. 상단축
412. 하단축 420. 바홈
430. 바돌기 500. 누름부
600. 조절부 610. 조절나사
620. 조절핸들 G. 그루브
P. 패킹 T. 플레이트1. Chamber sealing packing insertion tool 2. Fixing jig
2a. Insertion groove 100. Fixing portion
110. Fixture 111. Sheath
120. Installation groove 130. Fastening piece
140. Fixing member 150. Spring
200. Pressure section 210. Front section
220. Afterward 221. Connecting ball
230. Top section 240. Platen
300. grip portion 310. grip groove
311. Envelope 400. Connection
410. Connection bar 411. Phase shortening
412. Lower Axis 420. Bar Home
430. Bar protrusion 500. Press section
600. Adjusting part 610. Adjusting screw
620. Adjustment handle G. Groove
P. Packing T. Plate

Claims (8)

고정지그에 연결 고정된 상태에서 패킹을 가압하여 챔버를 구성하는 플레이트에 형성된 그루브에 삽입시키기 위한 챔버 밀폐용 패킹 삽입툴에 있어서,
설치홈이 형성된 고정대가 구비되고, 고정대의 하부에 고정부재가 형성되어 고정지그에 연결 설치되며, 고정대의 하부에 체결편이 형성되고, 체결편에 볼트로 이루어진 고정부재가 나사 체결되어 하측으로 노출된 길이를 조절 가능한 고정부;
"┌┐" 형상으로 이루어지고, 상기 고정부의 전방에 회전 가능하게 축에 의해 연결 설치되며, 그립부에 가해지는 힘을 전달받아 하측을 향하여 가압력을 작용시키고, 전·후방에 각각 세로 방향으로 구비된 전방편과 후방편, 전방편과 후방편의 상부를 수평방향으로 서로 연결하는 상부편을 포함하며, 전방편의 하단에 가압판이 구비되고, 가압판은 축에 의해 연결 설치되어 각도가 조절되며, 후방편은 하단이 고정부의 전방에 회전 가능하게 축에 의해 연결 설치되고 중간에 그립부의 전단이 회전 가능하게 축에 의해 연결 설치된 가압부;
상기 고정부의 상측에 이격되도록 구비되고, 상기 가압부의 후방에 회전 가능하게 축에 의해 연결 설치되며, 사용자가 파지하여 하측으로 힘을 가하여 움직일 수 있도록 있도록 구비된 그립부;
상기 고정부와 그립부의 사이를 연결하고 소정의 각도로 비스듬히 설치되고, 양단이 회전 가능하게 축에 의해 연결되며, 전방부에 바홈이 형성되고, 후방부에 바돌기가 형성된 연결부;
상기 가압부의 전단에 연결되고, 가압부의 가압력에 의하여 패킹을 눌러서 그루브에 삽입시키는 누름부; 및
상기 고정부의 설치홈의 후방부에 삽입 설치되고 상기 연결부의 하단과 접촉되며 조절핸들의 회전에 따라 내외로 출몰되는 조절나사와, 상기 조절나사를 회전시켜 조절나사와 접촉된 연결부의 기울어진 각도를 조정하여 가압력을 가감하는 조절핸들로 이루어진 조절부를 포함하는 챔버 밀폐용 패킹 삽입툴.
A chamber sealing packing insertion tool for pressing a packing in a state of being fixedly connected to a fixing jig and inserting the packing into a groove formed in a plate constituting a chamber,
A fixing member having a mounting groove formed therein, a fixing member formed at a lower portion of the fixing base and connected to the fixing jig, a fastening piece formed at a lower portion of the fixing base, and a fastening member made of bolts fastened to the fastening piece, Adjustable length;
And is configured such that it is rotatably connected to the front of the fixed portion by a shaft and receives a force applied to the grip portion so as to apply a pressing force toward the downward direction, And an upper piece connecting the upper part of the front piece and the upper part of the rear piece in the horizontal direction, and a pressure plate is provided at the lower end of the front piece, the pressure plate is connected by a shaft to adjust the angle, A pressing portion having a lower end connected to the front of the fixing portion by a shaft so as to be rotatable, and a front end of the grip portion being rotatably connected by a shaft;
A grip portion provided to be spaced apart from the upper portion of the fixing portion and connected to the rear portion of the pressing portion by a shaft so as to be rotatable,
A connection portion which is connected to the fixed portion and the grip portion at an angle and is inclined at a predetermined angle and has both ends rotatably connected by a shaft, a bar groove is formed in a front portion, and a bar protrusion is formed in a rear portion;
A pressing part connected to the front end of the pressing part and pressing the packing by the pressing force of the pressing part to insert the packing into the groove; And
An adjusting screw inserted into a rear portion of the fixing groove of the fixing portion and brought into contact with the lower end of the connecting portion and projecting in and out in accordance with the rotation of the adjusting handle and a tilted angle And an adjuster including a control handle for adjusting the pressing force to increase or decrease the pressing force.
제 1항에 있어서
상기 고정부는 스프링이 설치되고,
상기 스프링은 상기 가압부와 연결되어 상기 가압부의 회전에 따라 신축되는 것을 특징으로 하는 챔버 밀폐용 패킹 삽입툴.
The method of claim 1, wherein
Wherein the fixing portion is provided with a spring,
Wherein the spring is connected to the pressing portion and is expanded and contracted in accordance with rotation of the pressing portion.
제 1항에 있어서,
상기 누름부는, 상기 가압부에 탈착 가능하게 연결되고, 바닥 부분은 패킹의 상부 형상과 대응되는 형상을 갖는 누름홈이 형성된 것을 특징으로 하는 챔버 밀폐용 패킹 삽입툴.
The method according to claim 1,
Wherein the pressing portion is detachably connected to the pressing portion and the bottom portion is formed with a pressing groove having a shape corresponding to an upper shape of the packing.
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Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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JP2010098841A (en) * 2008-10-16 2010-04-30 Mitsubishi Cable Ind Ltd Packing mounting tool

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR200286558Y1 (en) * 2002-05-22 2002-08-21 한영수 Clamp for setting mold
JP2010098841A (en) * 2008-10-16 2010-04-30 Mitsubishi Cable Ind Ltd Packing mounting tool

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