KR101868849B1 - Apparatus for Transferring Substrate and Method for Controlling the same - Google Patents

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Abstract

본 발명은 기판을 지지하기 위한 지지기구, 상기 지지기구를 동작시키기 위한 동력을 발생시키는 동력원, 및 상기 동력원을 제어하기 위한 구동부를 포함하고, 상기 기판을 이송하기 위한 이송로봇; 상기 동력원을 구동시키기 위한 구동전원에 대해 정전이 발생하는지 여부를 감지하는 감지부; 및 상기 감지부가 정전이 발생한 것을 감지하면, 상기 동력원이 마찰에 의해 감속하도록 상기 동력원 및 상기 동력원에 기공급된 구동전원을 소진시키기 위한 소진유닛 간의 연결을 해제하는 제어부를 포함하는 기판 이송장치 및 그 제어방법에 관한 것으로,
본 발명에 따르면, 정전이 발생한 경우 이송로봇이 급정지하게 되는 것을 방지함으로써, 기판과 이송로봇이 파손 내지 손상되는 것을 방지할 수 있다. 또한, 본 발명에 따르면, 정전 문제가 해결되어 다시 전원이 공급되면 이송로봇을 정상적으로 동작시키기 위한 작업에 걸리는 시간을 줄임으로써, 이송로봇에 대한 가동성을 향상시킬 수 있다.The present invention provides a transfer robot for transferring a substrate, the transfer robot including a support mechanism for supporting the substrate, a power source for generating power for operating the support mechanism, and a drive unit for controlling the power source. A sensing unit for sensing whether a power failure occurs in a driving power source for driving the power source; And a control unit for releasing a connection between the power source and the exhausting unit for exhausting the driving power supplied to the power source so that the power source is decelerated by friction when the sensing unit senses occurrence of a power failure, As regards the control method,
According to the present invention, it is possible to prevent the transfer robot from suddenly stopping when a power failure occurs, thereby preventing the substrate and the transfer robot from being damaged or damaged. In addition, according to the present invention, when the power failure problem is solved and the power is supplied again, the time required for the normal operation of the transfer robot is reduced, thereby improving the operationality of the transfer robot.

Description

기판 이송장치 및 그 제어방법{Apparatus for Transferring Substrate and Method for Controlling the same}BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention [0001] The present invention relates to a substrate transfer apparatus,

본 발명은 기판을 이송하기 위한 기판 이송장치 및 그 제어방법에 관한 것이다.The present invention relates to a substrate transfer apparatus for transferring a substrate and a control method thereof.

반도체 소자, 디스플레이 장치, 태양전지 등(이하, '전자부품'이라 함)은 여러 가지 공정을 거쳐 제조된다. 이러한 제조 공정은 상기 전자부품을 제조하기 위한 기판(Substrate)을 이용하여 이루어진다. 예컨대, 상기 제조 공정은 기판 상에 도전체, 반도체, 유전체 등의 박막을 증착하기 위한 증착공정, 증착된 박막을 소정 패턴으로 형성하기 위한 식각공정 등을 포함할 수 있다. 이와 같은 제조 공정을 수행하는 장치들 간에 기판을 이송하기 위해 기판 이송장치가 이용된다.Semiconductor devices, display devices, solar cells, etc. (hereinafter, referred to as 'electronic components') are manufactured through various processes. Such a manufacturing process is performed using a substrate for manufacturing the electronic component. For example, the manufacturing process may include a deposition process for depositing a thin film of a conductor, a semiconductor, a dielectric material or the like on a substrate, an etching process for forming a deposited thin film in a predetermined pattern, and the like. A substrate transfer device is used to transfer substrates between devices that perform such a manufacturing process.

도 1은 종래 기술에 따른 기판 이송장치의 개략적인 블록도이다.1 is a schematic block diagram of a substrate transfer apparatus according to the prior art.

도 1을 참고하면, 종래 기술에 따른 기판 이송장치(10)는 기판을 이송하기 위한 이송로봇(11), 및 상기 이송로봇(11)이 동작하기 위한 전원을 공급하는 전원공급부(12)를 포함한다.1, a substrate transfer apparatus 10 according to the related art includes a transfer robot 11 for transferring a substrate and a power supply unit 12 for supplying power for operating the transfer robot 11 do.

상기 이송로봇(11)은 상기 전원공급부(12)로부터 공급된 전원을 이용하여 상기 기판을 이송하기 위해 동작한다. 상기 이송로봇(11)은 공정챔버(미도시)에 기판을 로딩하는 작업, 공정챔버로부터 기판을 언로딩하는 작업, 공정챔버들 간에 기판을 이송하는 작업 등을 수행할 수 있다. 공정챔버에서는 전자부품을 제조하기 위한 제조 공정이 이루어진다.The transfer robot 11 operates to transfer the substrate by using the power supplied from the power supply unit 12. The transfer robot 11 may perform operations such as loading a substrate into a process chamber (not shown), unloading the substrate from the process chamber, transferring the substrate between the process chambers, and the like. In the process chamber, a manufacturing process for manufacturing electronic components is performed.

상기 전원공급부(12)는 상기 이송로봇(11)에 전원을 공급한다. 상기 전원공급부(12)가 상기 이송로봇(11)에 전원을 공급함에 따라, 상기 이송로봇(11)은 상기 기판에 대한 제조 공정에 따라 상기 기판을 이송한다.The power supply unit 12 supplies power to the transfer robot 11. As the power supply unit 12 supplies power to the transfer robot 11, the transfer robot 11 transfers the substrate according to a manufacturing process for the substrate.

여기서, 상기 이송로봇(11)이 상기 기판을 이송하기 위해 동작하는 도중에 정전이 발생하면, 상기 이송로봇(11)은 급정지를 하게 된다. 예컨대, 상기 이송로봇(11)이 공정챔버 간에 기판을 이송하기 위해 이동하는 도중에 정전이 발생하면, 상기 이송로봇(11)은 이동하는 도중에 급정지를 하게 된다. Here, if the transfer robot 11 generates a power failure while the transfer robot 11 is operating to transfer the substrate, the transfer robot 11 makes a sudden stop. For example, when a power failure occurs while the transfer robot 11 moves to transfer substrates between process chambers, the transfer robot 11 makes a sudden stop during the movement.

이에 따라, 종래 기술에 따른 기판 이송장치(10)는 상기 이송로봇(11)이 급정지함에 따라 발생하는 관성력, 진동 등에 의해 상기 기판이 상기 이송로봇(11)으로부터 낙하되어 파손될 위험이 있는 문제가 있다. 또한, 종래 기술에 따른 기판 이송장치(10)는 상기 이송로봇(11)이 급정지함에 따라 상기 이송로봇(11)에 상당한 충격이 가해짐으로써 상기 이송로봇(11)이 손상 내지 파손될 위험이 있는 문제가 있다. 이와 같은 문제들로 인해, 종래 기술에 따른 기판 이송장치(10)는 정전 문제가 해결되어 다시 전원이 공급되더라도, 정상적으로 동작하기 위해 준비하는데 상당한 시간이 걸림으로써 가동성이 저하되는 문제가 있다.Accordingly, there is a problem that the substrate transfer apparatus 10 according to the related art has a risk that the substrate is dropped from the transfer robot 11 due to an inertial force, vibration, or the like caused by the sudden stop of the transfer robot 11, . The substrate transfer apparatus 10 according to the related art has a problem in that the transfer robot 11 is severely impacted by the transfer robot 11 so that the transfer robot 11 is damaged or broken . Due to these problems, the substrate transfer apparatus 10 according to the related art has a problem in that, even if power is supplied again after the problem of power failure is solved, a considerable amount of time is taken to prepare it for normal operation.

본 발명은 상술한 바와 같은 문제점을 해결하고자 안출된 것으로, 정전으로 인해 발생하는 피해를 줄일 수 있는 기판 이송장치 및 그 제어방법을 제공하는 것이다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the above problems, and it is an object of the present invention to provide a substrate transfer apparatus and a control method thereof capable of reducing damage caused by a power failure.

상술한 바와 같은 목적을 달성하기 위해서, 본 발명은 하기와 같은 구성을 포함할 수 있다.In order to achieve the above-mentioned object, the present invention can include the following configuration.

본 발명에 따른 기판 이송장치는 기판을 지지하기 위한 지지기구, 상기 지지기구를 동작시키기 위한 동력을 발생시키는 동력원, 및 상기 동력원을 제어하기 위한 구동부를 포함하고, 상기 기판을 이송하기 위한 이송로봇; 상기 동력원을 구동시키기 위한 구동전원에 대해 정전이 발생하는지 여부를 감지하는 감지부; 및 상기 감지부가 정전이 발생한 것을 감지하면, 상기 동력원이 마찰에 의해 감속하도록 상기 동력원 및 상기 동력원에 기공급된 구동전원을 소진시키기 위한 소진유닛 간의 연결을 해제하는 제어부를 포함할 수 있다.The substrate transfer apparatus according to the present invention includes a transfer robot for transferring the substrate, the transfer robot including a support mechanism for supporting the substrate, a power source for generating power for operating the support mechanism, and a drive unit for controlling the power source. A sensing unit for sensing whether a power failure occurs in a driving power source for driving the power source; And a control unit for releasing the connection between the power source and the exhaustion unit for exhausting the driving power supplied to the power source so that the power source is decelerated by friction when the sensing unit senses occurrence of a power failure.

본 발명에 따른 기판 이송장치 제어방법은 기판을 이송하기 위한 이송로봇을 구동시키는 구동전원에 대해 정전 발생 여부를 확인하는 단계; 및 상기 구동전원에 대해 정전이 발생하면, 상기 이송로봇을 정지시키는 단계를 포함할 수 있다. 상기 이송로봇을 정지시키는 단계는, 상기 이송로봇이 갖는 동력원 및 상기 동력원에 기공급된 구동전원을 소진시키기 위한 소진유닛 간의 연결을 해제하는 단계를 포함할 수 있다.A method of controlling a substrate transfer apparatus according to the present invention includes the steps of: confirming whether a power failure occurs in a driving power source for driving a transfer robot for transferring a substrate; And stopping the transfer robot when a power failure occurs in the drive power source. The step of stopping the transfer robot may include disconnecting the connection between the power source of the transfer robot and the exhaustion unit for exhausting the driving power supplied to the power source.

본 발명에 따르면, 다음과 같은 효과를 도모할 수 있다.According to the present invention, the following effects can be achieved.

본 발명은 정전이 발생한 경우, 이송로봇이 급정지하게 되는 것을 방지함으로써, 기판이 관성력, 진동 등에 의해 이송로봇으로부터 낙하되어 파손되는 것을 방지할 수 있다.According to the present invention, it is possible to prevent the transfer robot from suddenly stopping when a power failure occurs, thereby preventing the substrate from being dropped and damaged by the inertial force, vibration, or the like from the transfer robot.

본 발명은 정전이 발생한 경우, 이송로봇이 정지하는 과정에서 이송로봇에 가해지는 충격을 줄임으로써, 이송로봇이 파손 내지 손상되는 것을 방지할 수 있다.The present invention can prevent the transfer robot from being damaged or damaged by reducing the impact applied to the transfer robot in the process of stopping the transfer robot when a power failure occurs.

본 발명은 정전으로 인해 발생하는 피해를 줄일 수 있고, 이에 따라 정전 문제가 해결되어 다시 전원이 공급되면 이송로봇을 정상적으로 동작시키기 위한 작업에 걸리는 시간을 줄임으로써, 이송로봇에 대한 가동성을 향상시킬 수 있다.The present invention can reduce the damage caused by power failure, thereby solving the power failure problem and reducing the time taken for the normal operation of the transfer robot when the power is supplied again, thereby improving the operability of the transfer robot have.

도 1은 종래 기술에 따른 기판 이송장치의 개략적인 블록도
도 2는 본 발명에 따른 기판 이송장치의 개략적인 블록도
도 3은 본 발명에 따른 지지기구의 개략적인 사시도
도 4는 본 발명에 따른 동력원과 구동부의 연결관계를 나타낸 개념도
도 5는 본 발명에 따른 제어부, 동력원들 및 구동부들 간의 연결관계를 나타낸 개략적인 블록도
도 6 및 도 7은 본 발명에 따른 기판 이송장치 제어방법의 개략적인 순서도1 is a schematic block diagram of a prior art substrate transfer apparatus;
2 is a schematic block diagram of a substrate transfer apparatus according to the present invention;
Figure 3 is a schematic perspective view of a support mechanism according to the present invention;
4 is a conceptual diagram illustrating a connection relationship between a power source and a driving unit according to the present invention.
5 is a schematic block diagram showing a connection relationship between the control unit, the power sources, and the driving units according to the present invention.
6 and 7 are schematic flowcharts of a method of controlling a substrate transfer apparatus according to the present invention

이하에서는 본 발명에 따른 기판 이송장치의 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 상세히 살명한다.Hereinafter, preferred embodiments of the substrate transfer apparatus according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 2는 본 발명에 따른 기판 이송장치의 개략적인 블록도, 도 3은 본 발명에 따른 지지기구의 개략적인 사시도, 도 4는 본 발명에 따른 동력원과 구동부의 연결관계를 나타낸 개념도, 도 5는 본 발명에 따른 제어부, 동력원들 및 구동부들 간의 연결관계를 나타낸 개략적인 블록도이다.FIG. 2 is a schematic block diagram of a substrate transfer apparatus according to the present invention, FIG. 3 is a schematic perspective view of a supporting mechanism according to the present invention, FIG. 4 is a conceptual view showing a connection relationship between a power source and a driving unit according to the present invention, FIG. 2 is a schematic block diagram illustrating a connection relationship between a control unit, power sources, and driving units according to the present invention.

도 2 및 도 3을 참고하면, 본 발명에 따른 기판 이송장치(1)는 기판(100, 도 3에 도시됨)을 이송하기 위한 이송로봇(2), 구동전원에 대해 정전이 발생하는지 여부를 감지하는 감지부(3, 도 2에 도시됨), 및 상기 이송로봇(2)을 제어하기 위한 제어부(4, 도 2에 도시됨)를 포함한다. 상기 구동전원은 전원부(20, 도 2에 도시됨)로부터 공급되는 것이다. 상기 이송로봇(2)은 상기 구동전원을 이용하여 상기 기판(100)을 이송하기 위해 동작한다. 상기 이송로봇(2)은 상기 기판(100)을 지지하기 위한 지지기구(21), 상기 지지기구(21)를 동작시키기 위한 동력을 발생시키는 동력원(22, 도 2에 도시됨), 및 상기 동력원(22)을 제어하기 위한 구동부(23, 도 2에 도시됨)를 포함한다. 상기 동력원(22)은 상기 구동전원을 이용하여 동력을 발생시킨다.2 and 3, the substrate transfer apparatus 1 according to the present invention includes a transfer robot 2 for transferring a substrate 100 (shown in FIG. 3) And a control unit 4 (shown in Fig. 2) for controlling the transfer robot 2, as shown in Fig. The driving power is supplied from the power supply unit 20 (shown in FIG. 2). The transfer robot 2 operates to transfer the substrate 100 using the driving power source. The transfer robot 2 includes a support mechanism 21 for supporting the substrate 100, a power source 22 (shown in Fig. 2) for generating power for operating the support mechanism 21, And a driving unit 23 (shown in Fig. 2) for controlling the motor 22. The power source 22 generates power using the driving power.

상기 구동부(23)는 상기 동력원(22)에 선택적으로 연결되는 소진유닛(231, 도 2에 도시됨)을 포함한다. 상기 구동전원에 대해 정전이 발생한 경우, 상기 소진유닛(231)은 상기 동력원(22)에 연결될 수 있다. 이에 따라, 상기 소진유닛(231)은 상기 동력원(22)에 기공급된 구동전원을 열로 방출하여 소진시킬 수 있다. 이때, 상기 동력원(22)이 빠른 동작속도로 동작하고 있는 경우, 상기 동력원(22)은 기공급된 구동전원이 상기 소진유닛(231)에 의해 소진됨에 따라 급정지할 수 있다.The driving unit 23 includes a exhaust unit 231 (shown in FIG. 2) selectively connected to the power source 22. When a power failure occurs to the driving power source, the exhaustion unit 231 may be connected to the power source 22. Accordingly, the exhausting unit 231 can dissipate driving power supplied to the power source 22 to heat. At this time, when the power source 22 is operating at a high operating speed, the power source 22 can stop suddenly as the supplied driving power is exhausted by the exhaustion unit 231.

상기 동력원(22)이 급정지하게 되는 것을 방지하기 위해, 상기 제어부(4)는 상기 감지부(3)가 상기 구동전원에 대해 정전이 발생한 것을 감지하면, 상기 동력원(22)과 상기 소진유닛(231) 간의 연결을 해제한다. 이에 따라, 본 발명에 따른 기판 이송장치(1)는 상기 동력원(22)이 마찰에 의해 감속된 후에 정지하도록 함으로써, 상기 동력원(22)이 급정지하게 되는 것을 방지할 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 기판 이송장치(1)는 다음과 같은 작용효과를 도모할 수 있다.When the sensing unit 3 senses that a power failure has occurred with respect to the driving power source, the control unit 4 controls the power source 22 and the exhaust unit 231 to prevent the power source 22 from being suddenly stopped. ). Accordingly, the substrate transfer apparatus 1 according to the present invention can prevent the power source 22 from being suddenly stopped by stopping the power source 22 after it is decelerated by the friction. Therefore, the substrate transfer apparatus 1 according to the present invention can achieve the following operational effects.

첫째, 본 발명에 따른 기판 이송장치(1)는 상기 구동전원에 대해 정전이 발생한 경우, 상기 동력원(22)이 급정지하게 되는 것을 방지함으로써 상기 이송로봇(2)이 급정지하게 되는 것을 방지할 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 기판 이송장치(1)는 상기 구동전원에 대해 정전이 발생한 경우, 상기 기판(100)이 관성력, 진동 등에 의해 상기 이송로봇(2)으로부터 낙하되어 파손되는 것을 방지할 수 있다.First, the substrate transfer apparatus 1 according to the present invention can prevent the transfer source 2 from being suddenly stopped by preventing the power source 22 from being suddenly stopped when a power failure occurs to the drive source . Therefore, the substrate transfer apparatus 1 according to the present invention can prevent the substrate 100 from falling down from the transfer robot 2 due to inertial force, vibration, or the like and being damaged when a power failure occurs to the drive power source .

둘째, 본 발명에 따른 기판 이송장치(1)는 상기 구동전원에 대해 정전이 발생한 경우, 상기 이송로봇(2)이 정지하는 과정에서 상기 이송로봇(2)에 가해지는 충격을 줄일 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 기판 이송장치(1)는 상기 구동전원에 대해 정전이 발생함에 따라 상기 이송로봇(2)이 손상되는 것을 방지할 수 있다.Second, the substrate transfer apparatus 1 according to the present invention can reduce an impact applied to the transfer robot 2 in the process of stopping the transfer robot 2 when a power failure occurs to the drive power source. Therefore, the substrate transfer apparatus 1 according to the present invention can prevent the transfer robot 2 from being damaged as a result of a power failure occurring to the drive power source.

셋째, 본 발명에 따른 기판 이송장치(1)는 상기 구동전원에 대해 정전이 발생하더라도 상기 기판(100)과 상기 이송로봇(2)이 파손 내지 손상되는 것을 방지할 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 기판 이송장치(1)는 상기 구동전원에 대한 정전 문제가 해결되어 다시 전원이 공급되면, 상기 이송로봇(2)을 정상적으로 동작시키기 위한 작업에 걸리는 시간을 줄일 수 있다. 이에 따라, 본 발명에 따른 기판 이송장치(1)는 가동성을 향상시킬 수 있다.Third, the substrate transfer apparatus 1 according to the present invention can prevent the substrate 100 and the transfer robot 2 from being damaged or damaged even if a power failure occurs to the driving power source. Therefore, the substrate transfer apparatus 1 according to the present invention can reduce the time required for the operation for normally operating the transfer robot 2 when power supply to the drive power source is solved and power is supplied again. Thus, the substrate transfer apparatus 1 according to the present invention can improve the mobility.

이하에서는 상기 이송로봇(2), 상기 감지부(3), 및 상기 제어부(4)에 관해 첨부된 도면을 참조하여 구체적으로 설명한다.Hereinafter, the transfer robot 2, the sensing unit 3, and the control unit 4 will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 2 및 도 3을 참고하면, 상기 이송로봇(2)은 상기 기판(100, 도 3에 도시됨)을 이송한다. 상기 기판(100)은 반도체 소자, 디스플레이 장치, 태양전지 등의 전자부품을 제조하기 위한 것이다. 상기 기판(100)은 유리(Glass) 기판, 금속(Metal) 기판, 폴리이미드(Polyimide) 기판, 플라스틱(Plastic) 기판 등일 수 있다. 본 발명에 따른 기판 이송장치(1)가 전자부품을 제조하기 위한 공정챔버(미도시)들을 갖는 설비에 적용되는 경우, 상기 이송로봇(2)은 상기 공정챔버에 상기 기판(100)을 로딩하는 작업, 상기 공정챔버로부터 상기 기판(100)을 언로딩하는 작업, 및 상기 공정챔버들 간에 상기 기판(100)을 이송하는 작업 등을 수행할 수 있다.Referring to FIGS. 2 and 3, the transfer robot 2 transfers the substrate 100 (shown in FIG. 3). The substrate 100 is for manufacturing electronic components such as semiconductor devices, display devices, and solar cells. The substrate 100 may be a glass substrate, a metal substrate, a polyimide substrate, a plastic substrate, or the like. When the substrate transfer apparatus 1 according to the present invention is applied to a facility having process chambers (not shown) for manufacturing electronic components, the transfer robot 2 loads the substrate 100 into the process chamber An operation for unloading the substrate 100 from the process chamber, an operation for transferring the substrate 100 between the process chambers, and the like.

상기 이송로봇(2)은 상기 전원부(20, 도 2에 도시됨)로부터 공급된 구동전원을 이용하여 상기 기판(100)을 이송하기 위해 동작할 수 있다. 상기 전원부(20)는 구동전원을 공급하기 위한 구동전원부(30, 도 2에 도시됨), 및 제어전원을 공급하기 위한 제어전원부(40, 도 2에 도시됨)를 포함할 수 있다.The transfer robot 2 may operate to transfer the substrate 100 using the driving power supplied from the power supply unit 20 (shown in FIG. 2). The power supply unit 20 may include a driving power supply 30 (shown in FIG. 2) for supplying driving power and a control power supply 40 (shown in FIG. 2) for supplying the control power.

상기 구동전원부(30)는 상기 이송로봇(2)을 구동시키기 위한 구동전원을 공급한다. 상기 구동전원부(30)는 상기 구동전원을 상기 이송로봇(2)에 공급할 수 있다. 상기 구동전원부(30)는 정전이 발생하면, 상기 구동전원을 공급할 수 없게 된다.The driving power supply unit 30 supplies driving power for driving the transfer robot 2. The driving power supply unit 30 may supply the driving power to the transfer robot 2. When the power source unit 30 generates a power failure, the driving power source unit 30 can not supply the driving power source.

상기 제어전원부(40)는 상기 이송로봇(2)을 제어하기 위한 제어전원을 공급한다. 상기 제어전원부(40)는 상기 제어전원을 상기 제어부(4)에 공급할 수 있다. 상기 제어전원부(40)는 정전이 발생하더라도, 상기 제어전원을 공급할 수 있다. 이를 위해, 상기 제어전원부(40)는 UPS(Uninterruptible Power Supply)(미도시)에 연결될 수 있다. 상기 제어전원부(40)는 상기 제어전원을 상기 감지부(3)와 상기 이송로봇(2)에도 공급할 수 있다. The control power supply unit 40 supplies control power for controlling the transfer robot 2. The control power supply unit 40 may supply the control power to the control unit 4. [ The control power supply unit 40 can supply the control power even if a power failure occurs. For this, the control power unit 40 may be connected to an uninterruptible power supply (UPS) (not shown). The control power supply unit 40 may supply the control power to the sensing unit 3 and the transfer robot 2.

도 2 및 도 3을 참고하면, 상기 이송로봇(2)은 상기 지지기구(21), 상기 동력원(22, 도 2에 도시됨), 및 상기 구동부(23, 도 2에 도시됨)를 포함한다.2 and 3, the transfer robot 2 includes the support mechanism 21, the power source 22 (shown in FIG. 2), and the drive unit 23 (shown in FIG. 2) .

상기 지지기구(21)는 상기 기판(100, 도 3에 도시됨)을 지지한다. 상기 지지기구(21)는 상기 동력원(22)으로부터 제공된 동력을 이용하여 상기 기판(100)을 지지한 상태로 동작할 수 있다. 본 발명에 따른 기판 이송장치(1)가 전자부품을 제조하기 위한 공정챔버들을 갖는 설비에 적용되는 경우, 상기 지지기구(21)는 상기 공정챔버에 상기 기판(100)을 로딩하는 작업, 상기 공정챔버로부터 상기 기판(100)을 언로딩하는 작업, 및 상기 공정챔버들 간에 상기 기판(100)을 이송하는 작업 등을 수행하기 위해 동작할 수 있다. The support mechanism 21 supports the substrate 100 (shown in Fig. 3). The support mechanism 21 can operate in a state supporting the substrate 100 by using the power provided from the power source 22. When the substrate transfer apparatus 1 according to the present invention is applied to an apparatus having process chambers for manufacturing electronic components, the support mechanism 21 may include an operation for loading the substrate 100 into the process chamber, To unload the substrate 100 from the chamber, to transfer the substrate 100 between the process chambers, and the like.

도 3을 참고하면, 상기 지지기구(21)는 상기 기판(100)을 지지하기 위한 지지암(211), 상기 지지암(211)을 승강(昇降)시키기 위한 제1승강기구(212), 상기 제1승강기구(212)를 승강시키기 위한 제2승강기구(213), 상기 제2승강기구(213)를 회전시키기 위한 회전기구(214), 및 상기 회전기구(214)를 이동시키기 위한 주행기구(215)를 포함할 수 있다.3, the supporting mechanism 21 includes a supporting arm 211 for supporting the substrate 100, a first elevating mechanism 212 for elevating and lowering the supporting arm 211, A second elevating mechanism 213 for elevating and lowering the first elevating mechanism 212, a rotating mechanism 214 for rotating the second elevating mechanism 213, and a traveling mechanism 214 for moving the rotating mechanism 214. [ (Not shown).

상기 지지암(211)은 상기 제1승강기구(212)에 결합된다. 상기 지지암(211)은 상기 공정챔버에 상기 기판(100)을 로딩하는 작업 및 상기 공정챔버로부터 상기 기판(100)을 언로딩하는 작업을 수행하기 위해 동작할 수 있다. 상기 지지암(211)은 제1암(2111), 제2암(2112), 및 제3암(2113)을 포함할 수 있다.The support arm 211 is coupled to the first lift mechanism 212. The support arm 211 may be operable to perform operations of loading the substrate 100 into the process chamber and unloading the substrate 100 from the process chamber. The support arm 211 may include a first arm 2111, a second arm 2112, and a third arm 2113.

상기 제1암(2111)은 상기 기판(100)을 지지할 수 있다. 상기 제1암(2111)은 상기 제2암(2112)에 회전 가능하게 결합된다.The first arm 2111 may support the substrate 100. The first arm 2111 is rotatably coupled to the second arm 2112.

상기 제2암(2112)은 일측이 상기 제3암(2113)에 회전 가능하게 결합된다. 상기 제2암(2112)의 타측에는 상기 제1암(2111)이 회전 가능하게 결합된다.One side of the second arm 2112 is rotatably coupled to the third arm 2113. The first arm 2111 is rotatably coupled to the other side of the second arm 2112.

상기 제3암(2113)은 일측이 상기 제1승강기구(212)에 회전 가능하게 결합된다. 상기 제3암(2113)의 타측에는 상기 제2암(2112)이 회전 가능하게 결합된다. 상기 제3암(2113)과 상기 제2암(2112)은 서로 반대되는 방향으로 회전할 수 있다. 상기 제3암(2113), 상기 제2암(2112), 및 상기 제1암(2111)은 각각의 회전축을 중심으로 회전하면서 접혀지거나 펼쳐지게 동작할 수 있다. 상기 제3암(2113), 상기 제2암(2112), 및 상기 제1암(2111)이 펼쳐지게 동작한 경우, 상기 지지암(211)은 상기 공정챔버 내부로 진입할 수 있다. 상기 제3암(2113), 상기 제2암(2112), 및 상기 제1암(2111)이 접혀지게 동작한 경우, 상기 지지암(211)은 상기 공정챔버 외부에 위치될 수 있다. 이에 따라, 상기 지지암(211)은 상기 공정챔버에 상기 기판(100)을 로딩하는 작업 및 상기 공정챔버로부터 상기 기판(100)을 언로딩하는 작업을 수행하기 위해 동작할 수 있다.One side of the third arm 2113 is rotatably coupled to the first elevating mechanism 212. The second arm 2112 is rotatably coupled to the other side of the third arm 2113. The third arm 2113 and the second arm 2112 can rotate in directions opposite to each other. The third arm 2113, the second arm 2112, and the first arm 2111 may be operated to be folded or unfolded while being rotated about respective rotation axes. When the third arm 2113, the second arm 2112, and the first arm 2111 are operated to unfold, the support arm 211 can enter the process chamber. When the third arm 2113, the second arm 2112, and the first arm 2111 are operated to be folded, the support arm 211 may be positioned outside the process chamber. Accordingly, the support arm 211 may be operable to perform operations of loading the substrate 100 into the process chamber and unloading the substrate 100 from the process chamber.

상기 제1승강기구(212)는 상기 지지암(211)을 승강시킬 수 있다. 상기 지지암(211)은 상기 제1승강기구(212)에 승강 가능하게 결합된다. 상기 공정챔버에 복수개의 기판(100)이 상하로 적층되어 수용되는 경우, 상기 제1승강기구(212)는 상기 지지암(211)을 승강시킴으로써 상기 지지암(211)이 상기 공정챔버에 상기 기판(100)을 적층되게 로딩하는 작업 및 상기 공정챔버로부터 적층된 기판(100)들 중에서 어느 하나를 언로딩하는 작업을 수행하도록 할 수 있다.The first elevating mechanism 212 can move the support arm 211 up and down. The support arm 211 is movably coupled to the first elevator mechanism 212. When the plurality of substrates 100 are vertically stacked and accommodated in the process chamber, the first elevating mechanism 212 moves the support arm 211 up and down so that the support arm 211 moves the substrate (100) stacked in the process chamber, and an operation of unloading any one of the substrates (100) stacked from the process chamber.

상기 제2승강기구(213)는 상기 제1승강기구(212)를 승강시킬 수 있다. 상기 제1승강기구(212)는 상기 제2승강기구(213)에 승강 가능하게 결합된다. 상기 제2승강기구(213)가 상기 제1승강기구(212)를 승강시킴에 따라, 상기 지지암(211)이 승강할 수 있다. 따라서, 상기 지지기구(21)는 상기 제1승강기구(212)가 승강하는 수직방향으로 더 큰 높이를 갖도록 형성된 공정챔버에 대해 상기 기판(100)을 로딩하는 작업과 상기 기판(100)을 언로딩하는 작업을 수행할 수 있다.The second elevator mechanism 213 may elevate the first elevator mechanism 212. The first elevating mechanism 212 is coupled to the second elevating mechanism 213 so as to be movable up and down. As the second lift mechanism 213 moves up and down the first lift mechanism 212, the support arm 211 can move up and down. Accordingly, the support mechanism 21 may be configured to load the substrate 100 into a process chamber formed to have a greater height in the vertical direction in which the first elevator tool 212 ascends and descends, Loading operation can be performed.

상기 회전기구(214)는 상기 제2승강기구(213)를 회전시킬 수 있다. 상기 제2승강기구(213)는 상기 회전기구(214)에 회전 가능하게 결합된다. 상기 회전기구(214)가 상기 제2승강기구(213)를 회전시킴에 따라, 상기 제1승강기구(212)와 상기 지지암(211)이 회전할 수 있다. 이에 따라, 상기 지지암(211)은 상기 기판(100)을 로딩하는 작업과 상기 기판(100)을 언로딩하는 작업을 수행할 공정챔버를 향하도록 회전할 수 있다.The rotation mechanism 214 may rotate the second lift mechanism 213. [ The second elevating mechanism 213 is rotatably coupled to the rotating mechanism 214. The first elevating mechanism 212 and the supporting arm 211 can be rotated as the rotating mechanism 214 rotates the second elevating mechanism 213. [ Accordingly, the support arm 211 may be rotated to face the process chamber for performing the operation of loading the substrate 100 and the operation of unloading the substrate 100.

상기 주행기구(215)는 상기 회전기구(214)를 이동시킬 수 있다. 상기 주행기구(215)는 주행레일(216)을 따라 주행 방향(X축 방향)으로 이동할 수 있다. 이 경우, 상기 공정챔버들은 상기 주행 방향(X축 방향)에 수직한 양측에서 상기 주행 방향(X축 방향)을 따라 배치될 수 있다. 상기 주행기구(215)가 상기 주행레일(216)을 따라 이동함에 따라, 상기 회전기구(214), 상기 제2승강기구(213), 상기 제1승강기구(212), 및 상기 지지암(211)이 상기 주행 방향(X축 방향)으로 이동할 수 있다. 이에 따라, 상기 지지암(211)은 상기 공정챔버들 중에서 상기 기판(100)을 로딩하는 작업과 상기 기판(100)을 언로딩하는 작업을 수행할 공정챔버로 이동할 수 있다. 상기 주행레일(216)은 상기 주행기구(215)가 상기 주행 방향(X축 방향)으로 직선 이동하도록 안내할 수 있다. 상기 주행레일(216)은 LM 가이드일 수 있다.The traveling mechanism 215 can move the rotating mechanism 214. The traveling mechanism 215 can move along the traveling rail 216 in the traveling direction (X-axis direction). In this case, the process chambers may be arranged along the traveling direction (X-axis direction) on both sides perpendicular to the traveling direction (X-axis direction). As the traveling mechanism 215 moves along the traveling rail 216, the rotation mechanism 214, the second elevator mechanism 213, the first elevator mechanism 212, and the supporting arm 211 Can be moved in the traveling direction (X-axis direction). Accordingly, the support arm 211 can be moved to a process chamber for loading the substrate 100 and unloading the substrate 100 among the process chambers. The traveling rail 216 can guide the traveling mechanism 215 to linearly move in the traveling direction (X-axis direction). The running rail 216 may be an LM guide.

도시되지 않았지만, 상기 지지기구(21)는 상기 지지암(211)을 복수개 포함할 수도 있다. 상기 지지암(211)들은 서로 소정 거리 이격되게 상기 제1승강기구(212)에 결합될 수 있다. 상기 제1승강기구(212)에 2개의 지지암(211)들이 설치된 경우, 상기 지지암(211)들 중에서 어느 하나의 지지암(211)이 상기 공정챔버로부터 상기 기판(100)을 언로딩하는 작업을 수행하고, 나머지 하나의 지지암(211)이 언로딩 작업이 이루어진 공정챔버에 상기 기판(100)을 로딩하는 작업을 수행할 수 있다.Although not shown, the support mechanism 21 may include a plurality of the support arms 211. The support arms 211 may be coupled to the first elevator mechanism 212 at a predetermined distance from each other. When two support arms 211 are installed in the first elevating mechanism 212, any one of the support arms 211 may unload the substrate 100 from the process chamber And the other support arm 211 can perform the operation of loading the substrate 100 into the process chamber where the unloading operation has been performed.

도 2 내지 도 4를 참고하면, 상기 동력원(22, 도 2에 도시됨)은 상기 지지기구(21)를 동작시키기 위한 동력을 발생시킨다. 상기 지지기구(21)는 상기 동력원(22)으로부터 제공된 동력을 이용하여 상기 공정챔버에 상기 기판(100)을 로딩하는 작업, 상기 공정챔버로부터 상기 기판(100)을 언로딩하는 작업, 상기 공정챔버들 간에 상기 기판(100)을 이송하는 작업을 수행하기 위해 동작할 수 있다. 상기 동력원(22)은 서보모터(Servo Motor)일 수 있다. 도시되지 않았지만, 상기 동력원(22)은 상기 지지기구(21)가 갖는 구성들 내부에 위치되게 설치될 수 있다. 본 발명에 따른 기판 이송장치(1)는 상기 동력원(22)을 복수개 포함할 수도 있다.Referring to Figs. 2 to 4, the power source 22 (shown in Fig. 2) generates power for operating the support mechanism 21. Fig. The supporting mechanism 21 is configured to load the substrate 100 into the process chamber using the power supplied from the power source 22, unload the substrate 100 from the process chamber, And transferring the substrate 100 between the first and second substrates. The power source 22 may be a servo motor. Although not shown, the power source 22 may be installed inside the structures of the support mechanism 21. [ The substrate transfer apparatus 1 according to the present invention may include a plurality of the power sources 22.

도 2 내지 도 4를 참고하면, 상기 구동부(23, 도 4에 도시됨)는 상기 동력원(22, 도 4에 도시됨)을 제어한다. 상기 구동전원에 대해 정전이 발생하면, 상기 구동부(23)는 상기 동력원(22)과 상기 소진유닛(231, 도 4에 도시됨) 간의 연결을 해제한다. 이에 따라, 상기 동력원(22)은 정전이 발생하기 전에 기공급된 구동전원을 이용하여 동력을 발생시키기 위해 회전하는 과정에서, 자력(磁力), 기계적인 접촉 등에 의해 발생하는 마찰에 의해 서서히 감속하게 된다. 따라서, 상기 구동부(23)는 상기 동력원(22)이 마찰에 의해 감속된 후에 정지하도록 제어함으로써, 상기 동력원(22)이 급정지하게 되는 것을 방지할 수 있다. 이에 따라, 본 발명에 따른 기판 이송장치(1)는 상기 구동전원에 대해 정전이 발생한 경우, 상기 지지기구(21, 도 3에 도시됨)가 급정지하게 되는 것을 방지함으로써 상기 기판(100)과 상기 지지기구(21)가 손상 내지 파손되는 것을 방지할 수 있다. 상기 구동전원에 대해 정전이 발생한 경우, 상기 소진유닛(231)이 상기 동력원(22)에 연결된 상태이면, 상기 소진유닛(231)은 상기 동력원(22)에 기공급된 구동전원을 열로 방출하여 순간적으로 소진시킴으로써, 상기 동력원(22)을 정지시킬 수 있다. 상기 소진유닛(231)은 저항(抵抗)일 수 있다. 상기 구동부(23)는 상기 제어전원부(40, 도 2에 도시됨)로부터 공급된 제어전원을 이용하여 상기 동력원(22)과 상기 소진유닛(231) 간의 연결을 해제하거나 상기 동력원(22)과 상기 소진유닛(231)을 연결할 수 있다.2 to 4, the driving unit 23 (shown in FIG. 4) controls the power source 22 (shown in FIG. 4). When a power failure occurs to the driving power source, the driving unit 23 releases the connection between the power source 22 and the exhaustion unit 231 (shown in FIG. 4). Accordingly, in the process of rotating the power source 22 to generate power by using the driving power supplied before the generation of the power failure, the power source 22 is gradually decelerated by the friction generated by the magnetic force, mechanical contact, do. Therefore, the driving unit 23 can prevent the power source 22 from suddenly stopping by controlling the power source 22 to stop after it is decelerated by the friction. Accordingly, the substrate transfer apparatus 1 according to the present invention can prevent the support mechanism 21 (shown in FIG. 3) from being suddenly stopped when a power failure occurs to the driving power source, It is possible to prevent the support mechanism 21 from being damaged or broken. When the exhaustion unit 231 is connected to the power source 22 in the case where a power failure occurs in the driving power source, the exhaustion unit 231 releases the driving power source supplied to the power source 22 as heat, The power source 22 can be stopped. The exhausting unit 231 may be a resistor. The driving unit 23 may disconnect the connection between the power source 22 and the exhausting unit 231 using the control power supplied from the control power source unit 40 The exhaustion unit 231 can be connected.

상기 구동부(23)는 상기 동력원(22)과 상기 소진유닛(231)을 선택적으로 연결시키는 스위치(232, 도 4에 도시됨)를 포함할 수 있다. 상기 스위치(232)는 상기 동력원(22)과 상기 소진유닛(231) 사이에 연결된 전선을 오픈시키거나 단락시킴으로써, 상기 동력원(22)과 상기 소진유닛(231)을 선택적으로 연결시킬 수 있다. 상기 스위치(232)는 상기 동력원(22)과 상기 소진유닛(231) 사이에 연결된 전선을 오픈시킴으로써, 상기 동력원(22)과 상기 소진유닛(231) 간의 연결을 해제할 수 있다. 상기 스위치(232)는 상기 동력원(22)과 상기 소진유닛(231) 사이에 연결된 전선을 단락시킴으로써, 상기 동력원(22)과 상기 소진유닛(231)을 연결할 수 있다. 도 4에는 상기 스위치(232)가 상기 소진유닛(231) 옆에 설치된 것으로 도시되어 있으나, 이에 한정되지 않으며 상기 동력원(22)과 상기 소진유닛(231)을 선택적으로 연결할 수 있는 위치이면 상기 스위치(232)는 상기 구동부(23)와 상기 동력원(22) 사이에 위치된 전선에 설치될 수도 있다. 상기 구동부(23)는 상기 제어전원부(40)로부터 공급된 제어전원을 이용하여 상기 스위치(232)를 동작시킬 수 있다.The driving unit 23 may include a switch 232 (shown in FIG. 4) for selectively connecting the power source 22 and the exhausting unit 231. The switch 232 may selectively connect the power source 22 and the exhausting unit 231 by opening or shorting a wire connected between the power source 22 and the exhausting unit 231. The switch 232 may disconnect the connection between the power source 22 and the exhausting unit 231 by opening a wire connected between the power source 22 and the exhausting unit 231. The switch 232 can connect the power source 22 and the exhausting unit 231 by shorting the electric line connected between the power source 22 and the exhausting unit 231. [ 4, the switch 232 is disposed adjacent to the exhausting unit 231. However, the present invention is not limited thereto. If the switch 232 is selectively connected to the power source 22 and the exhausting unit 231, 232 may be installed on a wire located between the driving unit 23 and the power source 22. The driving unit 23 may operate the switch 232 using the control power supplied from the control power unit 40. [

도 2 내지 도 4를 참고하면, 상기 감지부(3, 도 2에 도시됨)는 상기 구동전원에 대해 정전이 발생하는지 여부를 감지한다. 상기 감지부(3)는 상기 구동전원에 대해 정전이 발생한 것을 감지하면, 정전발생신호를 생성하고, 생성한 정전발생신호를 상기 제어부(4, 도 2에 도시됨)에 제공할 수 있다. 상기 제어부(4)는 정전발생신호를 수신하면, 상기 지지기구(21)가 급정지하지 않도록 상기 구동부(22)을 제어할 수 있다. 상기 감지부(3)는 상기 전원부(20, 도 2에 도시됨)와 상기 이송로봇(2) 사이에 위치되게 설치될 수 있다. Referring to FIGS. 2 to 4, the sensing unit 3 (shown in FIG. 2) senses whether or not a power failure occurs with respect to the driving power. When the sensing unit 3 senses that a power failure has occurred in the driving power source, the sensing unit 3 generates a power failure signal and provides the generated power failure signal to the controller 4 (shown in FIG. 2). The control unit 4 can control the driving unit 22 so that the support mechanism 21 does not suddenly stop when receiving the blackout signal. The sensing unit 3 may be installed between the power supply unit 20 (shown in FIG. 2) and the transfer robot 2.

상기 감지부(3)는 상기 구동전원에 대한 전압을 측정하는 측정유닛(31, 도 2에 도시됨), 및 측정된 전압에 대한 전압강하가 설정된 강하범위 이상이면 정전발생신호를 생성하는 신호생성유닛(32, 도 2에 도시됨)을 포함할 수 있다.The sensing unit 3 includes a measuring unit 31 (shown in FIG. 2) for measuring a voltage with respect to the driving power source, and a signal generating unit 30 for generating a signal for generating a blackout signal if the voltage drop for the measured voltage is equal to or higher than a predetermined falling range. Unit 32 (shown in Figure 2).

상기 측정유닛(31)은 상기 전원부(20)와 상기 이송로봇(2) 사이에 위치되게 설치된다. 상기 측정유닛(31)은 상기 전원부(20)로부터 공급되는 구동전원에 대한 전압을 측정한다. 상기 측정유닛(31)은 측정한 전압을 상기 신호생성유닛(32)에 제공한다.The measuring unit 31 is installed between the power supply unit 20 and the transfer robot 2. The measuring unit 31 measures the voltage of the driving power supplied from the power supply unit 20. [ The measurement unit 31 provides the measured voltage to the signal generation unit 32.

상기 신호생성유닛(32)은 상기 구동전원에 대해 측정된 전압을 수신한다. 상기 신호생성유닛(32)은 수신된 전압과 그 전에 수신된 전압을 비교하여 상기 구동전원에 대한 전압강하(Voltage Drop)가 설정된 강하범위 이상이면, 상기 구동전원에 대해 정전이 발생한 것으로 판단하고 정전발생신호를 생성한다. 상기 신호생성유닛(32)은 생성한 정전발생신호를 상기 제어부(4)에 제공할 수 있다. 설정된 강하범위는 사용자에 의해 설정될 수 있다. 예컨대, 상기 신호생성유닛(32)은 측정된 전압에 대한 전압강하가 30% 이상이면, 상기 구동전원에 대해 정전이 발생한 것으로 판단하여 상기 정전발생신호를 생성할 수 있다. 상기 신호생성유닛(32)은 상기 구동전원에 대해 정전이 발생하는지 여부를 판단함에 있어서, 측정된 전압에 대한 전압강하가 유지되는 시간을 고려할 수도 있다. 예컨대, 상기 신호생성유닛(32)은 측정된 전압에 대한 전압강하가 30% 이상이고, 이 상태가 0.15 sec 이상 유지되면, 상기 구동전원에 대해 정전이 발생한 것으로 판단하여 상기 정전발생신호를 생성할 수 있다.The signal generating unit 32 receives the measured voltage for the driving power source. The signal generating unit 32 compares the received voltage with the voltage received before and determines that a power failure has occurred in the driving power source when the voltage drop to the driving power source is equal to or greater than the set falling range, Generated signal. The signal generating unit 32 can provide the generated power failure signal to the control unit 4. [ The set descent range can be set by the user. For example, if the voltage drop with respect to the measured voltage is 30% or more, the signal generating unit 32 may generate the power failure signal by determining that a power failure has occurred in the driving power source. The signal generating unit 32 may consider the time during which the voltage drop with respect to the measured voltage is maintained in determining whether a power failure occurs with respect to the driving power source. For example, when the voltage drop with respect to the measured voltage is 30% or more and the state is maintained for 0.15 sec or longer, the signal generation unit 32 determines that a power failure has occurred in the driving power source, and generates the power failure occurrence signal .

도 2 내지 도 4를 참고하면, 상기 제어부(4, 도 2에 도시됨)는 상기 감지부(3, 도 2에 도시됨)가 정전이 발생한 것을 감지하면, 상기 동력원(22)이 급정지하는 것이 방지되도록 상기 구동부(23)를 제어한다. 상기 제어부(4)는 상기 신호생성유닛(32)이 생성한 정전발생신호를 수신하면, 상기 동력원(22)과 상기 소진유닛(231) 간의 연결을 해제할 수 있다. 이에 따라, 본 발명에 따른 기판 이송장치(1)는 상기 구동전원에 대해 정전이 발생한 경우, 상기 지지기구(21)가 급정지하게 되는 것을 방지함으로써 상기 기판(100)과 상기 지지기구(21)가 손상 내지 파손되는 것을 방지할 수 있다. 상기 제어부(4)는 유선 통신과 무선 통신 중에서 적어도 하나를 이용하여 상기 정전발생신호를 수신할 수 있다.2 to 4, when the control unit 4 (shown in FIG. 2) senses that a power failure has occurred in the sensing unit 3 (shown in FIG. 2), the power source 22 stops suddenly And controls the driving unit 23 so as to be prevented. The control unit 4 can release the connection between the power source 22 and the exhaustion unit 231 upon receiving the power generation signal generated by the signal generation unit 32. The substrate transfer apparatus 1 according to the present invention can prevent the support mechanism 21 from being suddenly stopped when a power failure occurs with respect to the driving power source so that the substrate 100 and the support mechanism 21 It is possible to prevent damage or breakage. The controller 4 may receive the blackout signal using at least one of wire communication and wireless communication.

도 2 내지 도 4를 참고하면, 상기 제어부(4, 도 2에 도시됨)는 상기 구동부(23)를 제어하기 위한 구동제어유닛(41, 도 2에 도시됨)을 포함한다. 상기 구동제어유닛(41)은 상기 감지부(3)가 정전이 발생한 것을 감지하면, 상기 동력원(22) 및 상기 소진유닛(231) 간의 연결이 해제되도록 상기 구동부(23)를 제어할 수 있다. 상기 구동제어유닛(41)은 상기 스위치(232)가 상기 동력원(22)과 상기 소진유닛(231) 사이에 연결된 전선을 오픈시키도록 상기 구동부(23)를 제어함으로써, 상기 동력원(22)과 상기 소진유닛(231) 간의 연결을 해제할 수 있다.2 to 4, the control unit 4 (shown in FIG. 2) includes a drive control unit 41 (shown in FIG. 2) for controlling the drive unit 23. The drive control unit 41 may control the driving unit 23 to release the connection between the power source 22 and the exhaustion unit 231 when the sensing unit 3 detects that a power failure has occurred. The drive control unit 41 controls the drive unit 23 so that the switch 232 opens the electric wire connected between the power source 22 and the exhaustion unit 231, The connection between the exhausting units 231 can be released.

도 2 내지 도 4를 참고하면, 상기 제어부(4, 도 2에 도시됨)는 상기 동력원(22)을 정지시키기 위한 브레이크(24, 도 2에 도시됨)를 제어하는 브레이크제어유닛(42, 도 2에 도시됨)을 포함할 수 있다. 상기 브레이크(24)는 마그네틱 브레이크(Magnetic Brake)일 수 있다. 상기 브레이크제어유닛(42)은 상기 구동전원에 대해 정전이 발생한 시점으로부터 설정된 시간이 경과하면, 상기 브레이크(24)가 상기 동력원(22)을 정지시키도록 상기 브레이크(24)를 제어한다. 설정된 시간은 사용자에 의해 설정될 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 기판 이송장치(1)는 상기 구동전원에 대해 정전이 발생한 이후에 상기 동력원(22)이 마찰에 의해 감속되는 과정에서 상기 지지기구(21)가 계속하여 동작함에 따라 다른 기구물과 충돌할 위험을 줄일 수 있다. 이를 구체적으로 살펴보면, 다음과 같다.2, the control unit 4 (shown in Fig. 2) includes a brake control unit 42 (Fig. 2) for controlling a brake 24 (shown in Fig. 2) for stopping the power source 22 2). ≪ / RTI > The brake 24 may be a magnetic brake. The brake control unit 42 controls the brake 24 so that the brake 24 stops the power source 22 after a predetermined time has elapsed from the time when a power failure has occurred with respect to the driving power source. The set time can be set by the user. Therefore, the substrate transfer device 1 according to the present invention can be operated in the same manner as the support mechanism 21 continues to operate in the process of deceleration of the power source 22 by friction after a power failure occurs in the driving power source, And the risk of collision with the user. Specifically, it is as follows.

상기 감지부(3)가 상기 구동전원에 대해 정전이 발생한 것을 감지하면, 상기 구동제어유닛(41)은 상기 동력원(22)과 상기 소진유닛(231) 간의 연결을 해제한다. 이에 따라, 상기 동력원(22)이 마찰에 의해 서서히 감속하게 됨으로써, 상기 동력원(22)에 의해 동작하는 지지기구(21)가 서서히 동작을 정지하게 된다. 여기서, 상기 지지기구(21)가 상당한 속도로 동작하고 있던 경우, 상기 동력원(22)이 마찰에 의해 감속되는 과정에서 상기 지지기구(21)가 상당한 거리를 이동함으로써 다른 기구물과 충돌할 위험이 있다.The drive control unit 41 releases the connection between the power source 22 and the exhaustion unit 231 when the sensing unit 3 detects that a power failure has occurred with respect to the driving power. As a result, the power source 22 is gradually decelerated by the friction, so that the support mechanism 21 operated by the power source 22 is gradually stopped. Here, when the support mechanism 21 is operating at a considerable speed, there is a risk that the support mechanism 21 moves by a considerable distance in the course of deceleration of the power source 22 by friction, .

이 경우, 상기 브레이크제어유닛(42)은 상기 구동전원에 대해 정전이 발생한 시점으로부터 설정된 시간이 경과하면, 상기 브레이크(24)가 상기 동력원(22)을 정지시키도록 상기 브레이크(24)를 제어할 수 있다. 이에 따라, 상기 브레이크제어유닛(42)은 상기 지지기구(21)를 정지시킴으로써, 상기 지지기구(21)가 다른 기구물과 충돌하는 것을 방지할 수 있다.In this case, the brake control unit 42 controls the brake 24 so that the brake 24 stops the power source 22 when a predetermined time elapses from the point of time when a power failure has occurred with respect to the driving power source . Thus, by stopping the support mechanism 21, the brake control unit 42 can prevent the support mechanism 21 from colliding with other components.

도 2 내지 도 4를 참고하면, 상기 제어부(4, 도 2에 도시됨)는 상기 구동전원에 대한 정전이 발생한 시점에 상기 동력원(22)의 동작속도가 설정된 동작속도 이상인지 여부를 판단하는 판단유닛(43, 도 2에 도시됨)을 포함할 수 있다.2 to 4, the control unit 4 (shown in FIG. 2) determines whether or not the operation speed of the power source 22 is equal to or higher than a set operation speed at the time of occurrence of a power failure with respect to the driving power source Unit 43 (shown in Figure 2).

상기 판단유닛(43)은 상기 정전발생신호가 수신되면, 상기 동력원(22)의 동작속도를 확인한다. 상기 동작속도는 상기 동력원(22)으로부터 제공될 수 있다. 상기 판단유닛(43)은 상기 동력원(22)의 동작속도 및 설정된 동작속도를 비교한 후, 비교 결과를 상기 구동제어유닛(41, 도 2에 도시됨)에 제공할 수 있다. 상기 설정된 동작속도는 상기 구동전원에 대해 정전이 발생한 시점에 상기 동력원(22)을 정지시키더라도, 상기 기판(100, 도 3에 도시됨)과 상기 지지기구(21)가 파손 내지 손상되지 않는 정도로 느린 동작속도일 수 있다. 상기 설정된 동작속도는 사용자에 의해 설정될 수 있다.The determination unit 43 confirms the operation speed of the power source 22 when the power generation signal is received. The operating speed may be provided from the power source 22. The determination unit 43 may compare the operation speed of the power source 22 and the set operation speed, and then provide the comparison result to the drive control unit 41 (shown in FIG. 2). 3) and the support mechanism 21 are not damaged or damaged even when the power source 22 is stopped at the time when a power failure occurs with respect to the drive power source It may be a slow operating speed. The set operation speed can be set by the user.

상기 구동제어유닛(41)은 상기 동력원(22)의 동작속도가 상기 설정된 동작속도 미만이면, 상기 동력원(22)과 상기 소진유닛(231)이 연결되도록 상기 구동부(23)를 제어한다. 이에 따라, 상기 동력원(22)은 상기 소진유닛(231)이 상기 동력원(22)에 기공급된 구동전원을 열로 방출하여 소진시킴에 따라 정지할 수 있다. 상기 구동제어유닛(41)은 상기 동력원(22)의 동작속도가 상기 설정된 동작속도 이상이면, 상기 동력원(22)과 상기 소진유닛(231) 간의 연결이 해제되도록 상기 구동부(23)를 제어한다. 이에 따라, 상기 동력원(22)은 마찰에 의해 감속된 후 정지할 수 있다.The drive control unit 41 controls the drive unit 23 to connect the power source 22 and the exhaustion unit 231 when the operation speed of the power source 22 is less than the set operation speed. Accordingly, the power source 22 can stop as the exhausting unit 231 exhausts the driving power supplied to the power source 22 to exhaust the exhaust power. The drive control unit 41 controls the drive unit 23 to release the connection between the power source 22 and the exhaustion unit 231 when the operation speed of the power source 22 is equal to or higher than the set operation speed. Accordingly, the power source 22 can be stopped after being decelerated by friction.

도 2 내지 도 5를 참고하면, 본 발명에 따른 기판 이송장치(1)는 상기 동력원(22) 및 상기 구동부(23)를 각각 복수개 포함할 수 있다. 상기 구동부(23)들은 각각 상기 소진유닛(231, 도 2에 도시됨)과 상기 스위치(232, 도 2에 도시됨)를 적어도 하나씩 포함할 수 있다. 상기 구동제어유닛(41, 도 2에 도시됨)은 상기 감지부(3)가 정전이 발생한 것을 감지하면, 상기 구동부(23)들을 제어함으로써 상기 동력원(22)들을 정지시킬 수 있다. 상기 구동제어유닛(41)은 상기 감지부(3)가 정전이 발생한 것을 감지하면, 상기 소진유닛(231)들과 상기 동력원(22)들 각각의 연결이 해제되도록 상기 구동부(23)들을 제어할 수 있다. 이에 따라, 상기 동력원(22)들은 마찰에 의해 감속된 후 정지될 수 있다. 도시되지 않았지만, 상기 동력원(22)들과 상기 구동부(23)들은 각각 상기 지지기구(21) 내부에 위치되게 설치될 수 있다.2 to 5, the substrate transfer apparatus 1 according to the present invention may include a plurality of the power source 22 and the driving unit 23, respectively. The drive units 23 may include at least one of the exhaust unit 231 (shown in FIG. 2) and the switch 232 (shown in FIG. 2). The drive control unit 41 (shown in FIG. 2) may stop the power sources 22 by controlling the drive units 23 when the sensing unit 3 detects that a power failure has occurred. The drive control unit 41 controls the drive units 23 to release the connection between the exhaustion units 231 and the power sources 22 when the sensing unit 3 detects that a power failure has occurred . Accordingly, the power sources 22 can be stopped after being reduced by friction. Although not shown, the power sources 22 and the driving units 23 may be installed inside the support mechanism 21, respectively.

상기 구동제어유닛(41)은 상기 구동전원에 정전이 발생한 시점에 상기 동력원(22)들 각각의 동작속도에 따라 상기 구동부(23)들을 개별적으로 제어할 수도 있다. 상기 동력원(22)들 중에서 상기 구동전원에 정전이 발생한 시점의 동작속도가 상기 설정된 동작속도 미만인 동력원(22)의 경우, 상기 구동제어유닛(41)은 해당 동력원(22)이 상기 소진유닛(231)과 연결되도록 상기 구동부(23)를 제어할 수 있다. 이에 따라, 해당 동력원(22)은 상기 소진유닛(231)이 기공급된 구동전원을 열로 방출하여 소진시킴에 따라 정지할 수 있다. 상기 동력원(22)들 중에서 상기 구동전원에 정전이 발생한 시점의 동작속도가 상기 설정된 동작속도 이상인 동력원(22)의 경우, 상기 구동제어유닛(41)은 해당 동력원(22)과 상기 소진유닛(231) 간의 연결이 해제되도록 상기 구동부(23)를 제어할 수 있다. 이에 따라, 해당 동력원(22)은 마찰에 의해 감속된 후 정지할 수 있다.The drive control unit 41 may separately control the drive units 23 according to the operation speed of each of the power sources 22 when a power failure occurs in the drive power source. The drive control unit 41 determines that the corresponding power source 22 is connected to the exhausting unit 231 or the exhausting unit 231 when the power source 22 having the operation speed at the point of time when the power source of the driving power source 22 is below the set operating speed, The driving unit 23 can be controlled to be connected to the driving unit 23. Accordingly, the power source 22 can stop as the exhaustion unit 231 discharges and exhausts the supplied driving power. The drive control unit 41 controls the drive power source 22 and the exhaustion unit 231 in the case of the power source 22 having the operation speed at the time of occurrence of the power failure at the drive power source among the power sources 22, ) Can be released by controlling the driving unit (23). Accordingly, the power source 22 can be stopped after being reduced by friction.

도 5를 참고하면, 본 발명에 따른 기판 이송장치(1)는 상기 지지암(211)을 동작시키기 위한 제1동력원(221), 상기 제1승강기구(212)를 동작시키기 위한 제2동력원(222), 상기 제2승강기구(213)를 동작시키기 위한 제3동력원(223), 상기 회전기구(214)를 동작시키기 위한 제4동력원(224), 및 상기 주행기구(215)를 동작시키기 위한 제5동력원(225)을 포함할 수 있다. 본 발명에 따른 기판 이송장치(1)는 상기 제1동력원(221)을 제어하기 위한 제1구동부(23a), 상기 제2동력원(222)을 제어하기 위한 제2구동부(23b), 상기 제3동력원(223)을 제어하기 위한 제3구동부(23c), 상기 제4동력원(224)을 제어하기 위한 제4구동부(23d), 및 상기 제5동력원(225)을 제어하기 위한 제5구동부(23e)를 포함할 수 있다. 상기 제어부(4)는 상기 구동전원에 대해 정전이 발생하면, 상기 제1구동부(23a), 상기 제2구동부(23b), 상기 제3구동부(23c), 상기 제4구동부(24d), 및 상기 제5구동부(24e)를 각각 개별적으로 제어할 수 있다.5, the substrate transfer apparatus 1 according to the present invention includes a first power source 221 for operating the support arm 211, a second power source for operating the first elevator mechanism 212 A third power source 223 for operating the second elevator mechanism 213, a fourth power source 224 for operating the rotation mechanism 214, And a fifth power source 225 may be included. The substrate transfer apparatus 1 according to the present invention includes a first driving unit 23a for controlling the first power source 221, a second driving unit 23b for controlling the second power source 222, A third driving unit 23c for controlling the power source 223, a fourth driving unit 23d for controlling the fourth power source 224, and a fifth driving unit 23e for controlling the fifth power source 225 ). The control unit 4 controls the first driving unit 23a, the second driving unit 23b, the third driving unit 23c, the fourth driving unit 24d, And the fifth driver 24e can be individually controlled.

이하에서는 본 발명에 따른 기판 이송장치 제어방법의 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다.Hereinafter, preferred embodiments of a method of controlling a substrate transfer apparatus according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 6 및 도 7은 본 발명에 따른 기판 이송장치 제어방법의 개략적인 순서도이다.6 and 7 are schematic flow charts of a method of controlling a substrate transfer apparatus according to the present invention.

도 2 내지 도 6을 참고하면, 본 발명에 따른 기판 이송장치 제어방법은 상술한 본 발명에 따른 기판 이송장치(1)를 이용할 수 있다. 본 발명에 따른 기판 이송장치 제어방법은 다음과 같은 구성을 포함할 수 있다.2 to 6, the substrate transfer apparatus control method according to the present invention can use the above-described substrate transfer apparatus 1 according to the present invention. The substrate transfer apparatus control method according to the present invention may include the following configuration.

우선, 상기 이송로봇(2)을 구동시키는 구동전원에 대해 정전 발생 여부를 확인한다(S10). 이러한 공정(S10)은, 상기 감지부(3)가 상기 구동전원에 대해 정전이 발생하는지 여부를 감지함으로써 이루어질 수 있다. 상기 구동전원에 대해 정전이 발생하면, 상기 감지부(3)는 상기 정전발생신호를 생성한 후 생성한 정전발생신호를 상기 제어부(4)에 제공할 수 있다.First, it is checked whether a power failure has occurred in the driving power source for driving the transfer robot 2 (S10). This step S10 may be performed by detecting whether the sensing unit 3 generates a power failure to the driving power. When a power failure occurs in the driving power source, the sensing unit 3 may provide the control unit 4 with a power generation signal generated after the generation of the power generation signal.

다음, 상기 구동전원에 대해 정전이 발생하면, 상기 이송로봇(2)을 정지시킨다(S20). 이러한 공정(S20)은 상기 제어부(4)가 상기 감지부(3)로부터 상기 정전발생신호를 수신하면, 상기 이송로봇(2)이 정지하도록 상기 구동부(23)를 제어함으로써 이루어질 수 있다.Next, when a power failure occurs to the driving power source, the transfer robot 2 is stopped (S20). The process S20 may be performed by controlling the driving unit 23 to stop the transfer robot 2 when the control unit 4 receives the electrostatic generation signal from the sensing unit 3. [

도 2 내지 도 6을 참고하면, 상기 이송로봇(2)을 정지시키는 공정(S20)은, 상기 동력원(22)과 상기 소진유닛(231) 간의 연결을 해제하는 공정(S21)을 포함할 수 있다. 상기 동력원(22)과 상기 소진유닛(231) 간의 연결을 해제하는 공정(S21)은, 상기 구동제어유닛(41)이 상기 동력원(22)과 상기 소진유닛(231) 간의 연결이 해제되도록 상기 구동부(23)를 제어함으로써 이루어질 수 있다. 상기 구동제어유닛(41)은 상기 스위치(232, 도 2에 도시됨)가 상기 동력원(22)과 상기 소진유닛(231) 사이에 연결된 전선을 오픈하도록 상기 구동부(23)를 제어함으로써, 상기 동력원(22)과 상기 소진유닛(231) 간의 연결을 해제할 수도 있다. 상기 동력원(22)과 상기 소진유닛(231) 간의 연결이 해제됨에 따라, 상기 동력원(22)은 마찰에 의해 감속된 후 정지할 수 있다.2 to 6, the step S20 of stopping the transfer robot 2 may include a step S21 of releasing the connection between the power source 22 and the exhaustion unit 231 . The step S21 of releasing the connection between the power source 22 and the exhaustion unit 231 is performed by the drive control unit 41 so that the connection between the power source 22 and the exhaustion unit 231 is released, (23). The drive control unit 41 controls the drive unit 23 so that the switch 232 (shown in FIG. 2) opens a wire connected between the power source 22 and the exhaustion unit 231, (22) and the exhaustion unit (231). As the connection between the power source 22 and the exhausting unit 231 is released, the power source 22 may be decelerated by friction and then stopped.

상기 동력원(22)과 상기 소진유닛(231) 간의 연결을 해제하는 공정(S21)은, 상기 동력원(22)과 상기 소진유닛(231) 간의 연결이 이미 해제된 상태인 경우, 상기 동력원(22)과 상기 소진유닛(231) 간의 연결이 해제된 상태로 유지되도록 상기 구동부(23)를 제어함으로써 이루어질 수 있다. 상기 동력원(22)과 상기 소진유닛(231) 간의 연결을 해제하는 공정(S21)은, 상기 동력원(22)과 상기 소진유닛(231)이 연결된 상태인 경우, 상기 동력원(22)과 상기 소진유닛(231) 간의 연결이 해제되도록 상기 구동부(23)를 제어함으로써 이루어질 수도 있다.The step S21 of releasing the connection between the power source 22 and the exhausting unit 231 is performed when the connection between the power source 22 and the exhausting unit 231 is already released, And the exhausting unit 231 is released from the connection between the exhausting unit 231 and the exhausting unit 231. The step S21 of releasing the connection between the power source 22 and the exhausting unit 231 is performed when the power source 22 and the exhausting unit 231 are connected to each other, (23) so that the connection between the driving unit (231) is released.

도 2 내지 도 6을 참고하면, 상기 이송로봇(2)을 정지시키는 공정(S20)은, 상기 구동전원에 대해 정전이 발생한 시점으로부터 설정된 시간이 경과하였는지 여부를 판단하고(S22), 설정된 시간이 경과한 경우 상기 동력원(22)을 정지시키기 위한 브레이크(24, 도 2에 도시됨)를 작동시키는 공정(S23)을 포함할 수 있다. 이러한 공정들(S22, S23)은 상기 브레이크제어유닛(42)에 의해 수행될 수 있다. 상기 브레이크제어유닛(42)은 상기 구동전원에 대해 정전이 발생한 시점으로부터 설정된 시간이 경과하였는지 여부를 판단하고(S22), 설정된 시간이 경과한 경우 상기 브레이크(24)가 상기 동력원(22)을 정지시키도록 상기 브레이크(24)를 제어할 수 있다. 상기 공정들(S22, S23)은, 상기 동력원(22)과 상기 소진유닛(231) 간의 연결을 해제하는 공정(S21)이 이루어진 후에 수행될 수 있다. 한편, 상기 구동전원에 대해 정전이 발생한 시점으로부터 설정된 시간이 경과하지 않은 경우, 상기 구동제어유닛(41)은 상기 동력원(22)과 상기 소진유닛(231) 간의 연결을 해제한 상태로 유지할 수 있다(S24).Referring to FIGS. 2 to 6, the step S20 of stopping the transfer robot 2 determines whether or not a predetermined time has elapsed from the time when a power failure has occurred in the driving power source (S22) (Step S23) of operating a brake 24 (shown in Fig. 2) for stopping the power source 22 when the power source 22 has elapsed. These processes (S22, S23) may be performed by the brake control unit 42. [ The brake control unit 42 determines whether or not a predetermined time has elapsed from the time when a power failure has occurred with respect to the driving power source at step S22. If the predetermined time has elapsed, the brake control unit 42 stops the power source 22 The brake 24 can be controlled. The processes S22 and S23 may be performed after the step S21 of disconnecting the power source 22 and the exhausting unit 231 is performed. The drive control unit 41 may maintain the disconnected state between the power source 22 and the exhaustion unit 231 when a predetermined time has not elapsed from the time when a power failure has occurred with respect to the drive power source (S24).

도 2 내지 도 6을 참고하면, 상기 정전 발생 여부를 확인하는 공정(S10)은, 다음과 같은 구성을 포함할 수 있다.Referring to FIGS. 2 to 6, the step S10 for checking whether or not the power failure has occurred may include the following configuration.

우선, 상기 구동전원에 대한 전압을 측정한다(S11). 이러한 공정(S11)은, 상기 측정유닛(31, 도 2에 도시됨)이 상기 구동전원에 대한 전압을 측정함으로써 이루어질 수 있다. 상기 측정유닛(31)은 측정한 전압을 상기 신호생성유닛(32, 도 2에 도시됨)에 제공할 수 있다.First, the voltage for the driving power source is measured (S11). This step S11 may be performed by measuring the voltage with respect to the driving power source by the measuring unit 31 (shown in Fig. 2). The measurement unit 31 may provide the measured voltage to the signal generation unit 32 (shown in FIG. 2).

다음, 측정된 전압에 대한 전압강하가 설정된 강하범위 이상인지 여부를 판단하고(S12), 전압강하가 설정된 강하범위 이상이면 상기 정전발생신호를 생성한다(S13). 이러한 공정들(S12, S13)은 상기 신호생성유닛(32)에 의해 수행될 수 있다. 상기 신호생성유닛(32)은 상기 측정유닛(31)으로부터 상기 구동전원에 대해 측정된 전압을 수신하고, 수신된 전압과 그 전에 수신된 전압을 비교한다(S12). 상기 신호생성유닛(32)은 비교 결과 상기 구동전원에 대한 전압강하가 설정된 강하범위 이상이면, 상기 구동전원에 대해 정전이 발생한 것으로 판단하고 상기 정전발생신호를 생성한다(S13). 상기 신호생성유닛(32)은 생성한 정전발생신호를 상기 제어부(4)에 제공할 수 있다. 상기 제어부(4)는 상기 정전발생신호가 수신되면, 상기 동력원(22)과 상기 소진유닛(231) 간의 연결을 해제한다(S21). 상기 신호생성유닛(32)은 상기 구동전원에 대해 정전이 발생하는지 여부를 판단함에 있어서, 측정된 전압에 대한 전압강하가 유지되는 시간을 추가로 고려할 수도 있다. 한편, 상기 신호생성유닛(32)은 상기 구동전원에 대한 전압강하가 설정된 강하범위 미만이면, 상기 이송로봇(2)이 정상모드로 동작하도록 상기 정전발생신호를 생성하지 않는다(S100). 이 경우, 상기 이송로봇(2)은 상기 구동전원을 이용하여 상기 공정챔버에 상기 기판(100)을 로딩하는 작업, 상기 공정챔버로부터 상기 기판(100)을 언로딩하는 작업, 및 상기 공정챔버들 간에 상기 기판(100)을 이송하는 작업 등을 수행할 수 있다.Next, it is determined whether or not the voltage drop with respect to the measured voltage is equal to or greater than the set falling range (S12). If the voltage drop is equal to or greater than the set falling range, the power generation generating signal is generated (S13). These processes (S12, S13) may be performed by the signal generating unit 32. [ The signal generating unit 32 receives the measured voltage for the driving power source from the measuring unit 31, and compares the received voltage with the previously received voltage (S12). The signal generating unit 32 determines that a power failure has occurred in the driving power source and generates the power failure occurrence signal if the voltage drop for the driving power source is equal to or greater than the set falling range in operation S13. The signal generating unit 32 can provide the generated power failure signal to the control unit 4. [ The control unit 4 releases the connection between the power source 22 and the exhaustion unit 231 when the power generation signal is received (S21). The signal generating unit 32 may further consider the time during which the voltage drop with respect to the measured voltage is maintained in determining whether a power failure occurs with respect to the driving power source. If the voltage drop to the driving power source is less than the set falling range, the signal generating unit 32 does not generate the power failure occurrence signal so that the transfer robot 2 operates in the normal mode (S100). In this case, the transfer robot 2 may be configured to load the substrate 100 into the process chamber using the driving power source, unload the substrate 100 from the process chamber, And transferring the substrate 100 between the first and second substrates.

도 2 내지 도 5, 및 도 7을 참고하면, 상기 이송로봇(2)을 정지시키는 공정(S20)은, 상기 구동전원에 대해 정전이 발생하면, 상기 동력원(22) 및 상기 소진유닛(231)을 연결하는 공정(S25)을 포함할 수 있다. 이러한 공정(S25)은, 상기 구동제어유닛(41)이 상기 정전발생신호를 수신하면, 상기 동력원(22)과 상기 소진유닛(231)이 연결되도록 상기 구동부(23)를 제어함으로써 이루어질 수 있다. 상기 구동제어유닛(41)은 상기 스위치(232, 도 2에 도시됨)가 상기 동력원(22)과 상기 소진유닛(231) 사이에 연결된 전선을 단락하도록 상기 구동부(23)를 제어함으로써, 상기 동력원(22)과 상기 소진유닛(231)을 연결할 수 있다. 상기 동력원(22)과 상기 소진유닛(231) 간의 연결을 해제하는 공정(S21)은, 상기 동력원(22) 및 상기 소진유닛(231)을 연결하는 공정(S25)이 수행된 후에 수행될 수 있다. 2 to 5 and 7, the step S20 of stopping the transfer robot 2 is performed when the power source 22 and the exhausting unit 231 are turned on, (Step S25). The process S25 may be performed by controlling the driving unit 23 to connect the power source 22 and the exhaustion unit 231 when the drive control unit 41 receives the power generation signal. The drive control unit 41 controls the drive unit 23 such that the switch 232 (shown in Fig. 2) short-circuits the electric wire connected between the power source 22 and the exhausting unit 231, (22) and the exhaustion unit (231). The step S21 of releasing the connection between the power source 22 and the exhausting unit 231 may be performed after the step S25 of connecting the power source 22 and the exhausting unit 231 is performed .

도 2 내지 도 5, 및 도 7을 참고하면, 상기 이송로봇(2)을 정지시키는 공정(S20)은, 상기 구동전원에 대한 정전이 발생한 시점에 상기 동력원(22)의 동작속도가 설정된 동작속도 이상인지 여부를 판단하는 공정(S26)을 더 포함할 수 있다. 이러한 공정(S26)은 상기 판단유닛(43, 도 2에 도시됨)에 의해 이루어질 수 있다. 상기 판단유닛(43)은 상기 정전발생신호가 수신되면, 상기 동력원(22)의 동작속도를 확인하고, 상기 동력원(22)의 동작속도 및 설정된 동작속도를 비교할 수 있다. 상기 판단유닛(43)은 상기 동력원(22)의 동작속도 및 설정된 동작속도를 비교할 결과를 상기 구동제어유닛(41, 도 2에 도시됨)에 제공할 수 있다.2 to 5 and 7, the step S20 of stopping the transfer robot 2 is performed at a time when a power failure of the power source 22 occurs at a set operation speed (S26) of judging whether the abnormality is present or not. This process (S26) may be performed by the determination unit 43 (shown in FIG. 2). The determination unit 43 can check the operation speed of the power source 22 and compare the operation speed of the power source 22 and the set operation speed when the power generation signal is received. The determination unit 43 may provide the drive control unit 41 (shown in FIG. 2) with a result of comparing the operation speed of the power source 22 and the set operation speed.

상기 구동제어유닛(41)은 상기 동력원(22)의 동작속도가 상기 설정된 동작속도 이상이면, 상기 동력원(22)과 상기 소진유닛(231) 간의 연결이 해제되도록 상기 구동부(23)를 제어한다(S21). 이에 따라, 상기 동력원(22)은 마찰에 의해 감속된 후 정지할 수 있다.The drive control unit 41 controls the drive unit 23 to release the connection between the power source 22 and the exhaustion unit 231 when the operation speed of the power source 22 is equal to or higher than the set operation speed S21). Accordingly, the power source 22 can be stopped after being decelerated by friction.

상기 구동제어유닛(41)은 상기 동력원(22)의 동작속도가 상기 설정된 동작속도 미만이면, 상기 동력원(22)과 상기 소진유닛(231)이 연결된 상태로 유지되도록 상기 구동부(23)를 제어한다(S27). 이에 따라, 상기 동력원(22)은 상기 소진유닛(231)이 상기 동력원(22)에 기공급된 구동전원을 열로 방출하여 소진시킴에 따라 정지할 수 있다. 상기 브레이크제어유닛(42, 도 2에 도시됨)은, 상기 동력원(22)과 상기 소진유닛(231)이 연결되고 소정 시간이 경과한 후에, 상기 브레이크(24)를 작동시킬 수 있다.The drive control unit 41 controls the drive unit 23 so that the power source 22 and the exhaustion unit 231 are maintained in a connected state when the operation speed of the power source 22 is less than the set operation speed (S27). Accordingly, the power source 22 can stop as the exhausting unit 231 exhausts the driving power supplied to the power source 22 to exhaust the exhaust power. The brake control unit 42 (shown in FIG. 2) may operate the brake 24 after the power source 22 and the exhausting unit 231 are connected and a predetermined time has elapsed.

이상에서 설명한 본 발명은 전술한 실시예 및 첨부된 도면에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 여러 가지 치환, 변형 및 변경이 가능하다는 것이 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 있어 명백할 것이다.It will be apparent to those skilled in the art that various modifications and variations can be made in the present invention without departing from the spirit or scope of the invention. Will be clear to those who have knowledge of.

1 : 기판 이송장치 2 : 이송로봇 3 : 감지부 4 : 제어부
21 : 지지기구 22 : 동력원 23 : 구동부 24 : 브레이크
31 : 측정유닛 32 : 신호생성유닛 41 : 구동제어유닛
42 : 브레이크제어유닛 43 : 판단유닛 211 : 지지암
212 : 제1승강기구 213 : 제2승강기구 214 : 회전기구 215 : 주행기구
100 : 기판 2111 : 제1암 2112 : 제2암 2113 : 제3암1: substrate transfer device 2: transfer robot 3: sensing part 4:
21: support mechanism 22: power source 23: drive unit 24: brake
31: measurement unit 32: signal generation unit 41: drive control unit
42: Brake control unit 43: Judgment unit 211: Support arm
212: first elevating mechanism 213: second elevating mechanism 214: rotating mechanism 215: traveling mechanism
100: substrate 2111: first arm 2112: second arm 2113: third arm

Claims (10)

기판을 지지하기 위한 지지기구, 상기 지지기구를 동작시키기 위한 동력을 발생시키는 동력원, 및 상기 동력원을 제어하기 위한 구동부를 포함하고, 상기 기판을 이송하기 위한 이송로봇;
상기 동력원을 구동시키기 위한 구동전원에 대해 정전이 발생하는지 여부를 감지하는 감지부; 및
상기 감지부가 정전이 발생한 것을 감지하면, 상기 동력원 및 상기 동력원에 기공급된 구동전원을 소진시키기 위한 소진유닛 간의 연결을 해제하는 제어부를 포함하고,
상기 제어부는
상기 구동전원에 대한 정전이 발생한 시점에 상기 동력원의 동작속도가 설정된 동작속도 이상인지 여부를 판단하는 판단유닛; 및
상기 동력원의 동작속도가 설정된 동작속도 미만이면 상기 동력원 및 상기 소진유닛을 연결하고, 상기 동력원의 동작속도가 설정된 동작속도 이상이면 동력원이 마찰에 의해 감속하도록 상기 동력원과 상기 소진유닛 간의 연결을 해제하는 구동제어유닛을 포함하는 기판 이송장치.A transfer robot for transferring the substrate, the transfer robot including a support mechanism for supporting the substrate, a power source for generating power for operating the support mechanism, and a drive unit for controlling the power source.
A sensing unit for sensing whether a power failure occurs in a driving power source for driving the power source; And
And a control unit for releasing a connection between the power source and the exhaustion unit for exhausting the driving power supplied to the power source when the sensing unit senses that a power failure has occurred,
The control unit
A determining unit for determining whether an operation speed of the power source is equal to or higher than a set operation speed at the time of occurrence of a power failure with respect to the driving power source; And
And connects the power source and the exhaustion unit when the operation speed of the power source is less than the set operation speed and releases the connection between the power source and the exhaustion unit so that the power source decelerates by friction when the operation speed of the power source is equal to or higher than the set operation speed A substrate transfer apparatus comprising a drive control unit. 제1항에 있어서,
상기 이송로봇은 상기 동력원을 정지시키기 위한 브레이크를 포함하고,
상기 제어부는 상기 브레이크를 제어하기 위한 브레이크제어유닛을 포함하고,
상기 브레이크제어유닛은 상기 구동전원에 대해 정전이 발생한 시점으로부터 설정된 시간이 경과하면, 상기 브레이크가 상기 동력원을 정지시키도록 상기 브레이크를 제어하는 기판 이송장치.The method according to claim 1,
Wherein the transfer robot includes a brake for stopping the power source,
Wherein the control unit includes a brake control unit for controlling the brake,
Wherein the brake control unit controls the brake such that the brake stops the power source when a predetermined time has elapsed after a power failure has occurred with respect to the driving power source. 제1항에 있어서,
상기 이송로봇은 상기 동력원 및 상기 구동부를 각각 복수개 포함하고,
상기 구동제어유닛은 상기 구동부들 각각에 연결되되, 상기 감지부가 정전이 발생한 것을 감지하고 상기 동력원의 동작속도가 설정된 동작속도 이상이면, 상기 동력원들 및 상기 구동부들이 갖는 소진유닛들 간의 연결이 해제되도록 상기 구동부들을 제어하는 기판 이송장치.The method according to claim 1,
Wherein the transfer robot includes a plurality of power sources and a plurality of driving units,
The driving control unit is connected to each of the driving units so that when the sensing unit senses a power failure and the operation speed of the power source is equal to or higher than a set operating speed, the connection between the exhausting units of the power sources and the driving units is released And controls the driving units. 제1항에 있어서,
상기 감지부는 상기 구동전원에 대한 전압을 측정하는 측정유닛, 및 측정된 전압에 대한 전압강하가 설정된 강하범위 이상이면 정전발생신호를 생성하는 신호생성유닛을 포함하고,
상기 구동제어유닛은 상기 정전발생신호가 수신되고 상기 동력원의 동작속도가 설정된 동작속도 이상이면, 상기 동력원 및 상기 소진유닛 간의 연결이 해제되도록 상기 구동부를 제어하는 기판 이송장치.The method according to claim 1,
Wherein the sensing unit includes a measuring unit for measuring a voltage with respect to the driving power source and a signal generating unit for generating a blackout signal when the voltage drop for the measured voltage is equal to or higher than a predetermined falling range,
Wherein the driving control unit controls the driving unit such that the connection between the power source and the exhausting unit is released when the power generation source signal is received and the operation speed of the power source is equal to or higher than a set operation speed. 삭제delete 기판을 이송하기 위한 이송로봇을 구동시키는 구동전원에 대해 정전 발생 여부를 확인하는 단계; 및
상기 구동전원에 대해 정전이 발생하면, 상기 이송로봇을 정지시키는 단계를 포함하고,
상기 이송로봇을 정지시키는 단계는, 상기 구동전원에 대한 정전이 발생한 시점에 상기 이송로봇이 갖는 동력원의 동작속도가 설정된 동작속도 미만이면 상기 동력원에 기공급된 구동전원이 소진되도록 상기 동력원 및 상기 동력원에 기공급된 구동전원을 소진시키기 위한 소진유닛을 연결하는 단계, 및 상기 구동전원에 대한 정전이 발생한 시점에 상기 동력원의 동작속도가 설정된 동작속도 이상이면 상기 동력원이 마찰에 의해 감속하도록 상기 동력원 및 상기 소진유닛 간의 연결을 해제하는 단계를 포함하는 기판 이송장치 제어방법.Confirming whether or not a power failure has occurred in a driving power source for driving a transfer robot for transferring a substrate; And
And stopping the transfer robot when a power failure occurs in the drive power source,
The step of stopping the transfer robot may include stopping the transfer robot so that when the operation speed of the power source of the transfer robot is less than the set operation speed at the time of occurrence of the power failure to the drive power source, When the operation speed of the power source is equal to or higher than a set operation speed at the time of occurrence of a power failure with respect to the drive power source, the power source and the power source are controlled so that the power source is decelerated by friction. And releasing the connection between the exhausting units. 제6항에 있어서, 상기 이송로봇을 정지시키는 단계는
상기 구동전원에 대해 정전이 발생한 시점으로부터 설정된 시간이 경과하면, 상기 동력원을 정지시키기 위한 브레이크를 작동시키는 단계를 포함하는 기판 이송장치 제어방법.The method of claim 6, wherein stopping the transfer robot
And activating a brake for stopping the power source when a predetermined time has elapsed from the time when a power failure has occurred with respect to the driving power source. 제6항에 있어서,
상기 정전 발생 여부를 확인하는 단계는 상기 구동전원에 대한 전압을 측정하는 단계, 및 측정된 전압에 대한 전압강하가 설정된 강하범위 이상이면 정전발생신호를 생성하는 단계를 포함하고;
상기 동력원과 상기 소진유닛 간의 연결을 해제하는 단계는, 상기 정전발생신호가 수신되고 상기 동력원의 동작속도가 설정된 동작속도 이상이면 상기 동력원과 상기 소진유닛 간의 연결을 해제하는 기판 이송장치 제어방법.The method according to claim 6,
Wherein the step of determining whether or not the power failure has occurred includes the steps of measuring a voltage with respect to the driving power source and generating a power failure occurrence signal when the voltage drop with respect to the measured voltage is equal to or higher than the set falling range;
Wherein the step of releasing the connection between the power source and the exhausting unit releases the connection between the power source and the exhausting unit when the power generation signal is received and the operation speed of the power source is equal to or higher than a set operating speed. 제6항에 있어서,
상기 이송로봇을 정지시키는 단계는 상기 구동전원에 대해 정전이 발생하면, 상기 동력원 및 상기 소진유닛을 연결하는 단계를 포함하고;
상기 동력원과 상기 소진유닛 간의 연결을 해제하는 단계는 상기 동력원 및 상기 소진유닛을 연결하는 단계 후에 수행되되, 상기 구동전원에 대한 정전이 발생한 시점에 상기 동력원의 동작속도가 설정된 동작속도 이상이면 상기 동력원이 마찰에 의해 감속하도록 상기 동력원 및 상기 소진유닛 간의 연결을 해제하는 기판 이송장치 제어방법.The method according to claim 6,
The step of stopping the transfer robot includes connecting the power source and the exhausting unit when a power failure occurs to the driving power source;
Wherein the step of releasing the connection between the power source and the exhaustion unit is performed after the step of connecting the power source and the exhaustion unit, and when the operation speed of the power source is equal to or higher than the set operation speed at the time of occurrence of the power failure, And releases the connection between the power source and the exhausting unit to decelerate by the friction. 삭제delete
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