KR101857357B1 - 바이오센서 및 이를 이용한 목표물질 검출방법 - Google Patents

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Abstract

바이오센서 및 이를 이용한 목표물질 검출방법이 개시된다. 일실시예에 따른 바이오센서는, 개구부가 형성되는 기판; 테두리부가 상기 개구부의 내측면에 고정되어 상기 개구부를 폐쇄하는 멤브레인; 상기 멤브레인의 상부에 적층되고, 목표물질과 결합되는 탐침물질을 포함하는 검출층; 및 상기 목표물질을 포함하는 시료가 상기 개구부의 상부로 유입되면 상기 멤브레인 및 상기 검출층을 진동시켜 상기 시료에 와류를 형성시키는 진동발생장치를 포함할 수 있다.

Description

바이오센서 및 이를 이용한 목표물질 검출방법{BIOSENSOR AND TARGET MATERIAL DETECTING METHOD USING THE SAME}
이하의 설명은 바이오센서 및 이를 이용한 목표물질 검출방법에 관한 것이다.
바이오센서란 특정 물질에 대한 인식기능을 갖는 생물학적 수용체를 전기, 광학적 변환기와 결합시켜 생물학적 상호작용 및 반응을 전기적 또는 광학적 신호로 바꾸어 주는 계측 센서를 의미할 수 있다.
더 구체적으로는, 검출하고자 하는 목표물질(target material)과 특이적 결합하는 탐침물질(probe material)을 마련하고, 목표물질과 탐침물질이 결합됨에 따라 변화되는 검출장치의 각종 특성(형태의 변형, 공진주파수의 변화, 정전용량의 변화 등)을 관찰하여 목표물질의 크기, 상태, 농도 등을 파악하는 것일 수 있다.
기존의 바이오센서 연구는 주로 임상, 의료, 연구 분야 등에 활용되는 광학적 바이오센서에 집중되었으나, 최근 식품, 환경, 군, health-care 분야에 사용될 수 있는 고민감도, 초소형, 휴대용 바이오센서의 필요성이 증가하면서 전기적 변환기를 갖는 바이오센서에 대한 연구도 활발히 진행되고 있다.
바이오센서의 활용도가 급격하게 높아지고 있고 의료 분야에서의 활용 비중이 상당한 관계로, 바이오센서를 이용한 목표물질의 검출에 있어서 검출의 신뢰도를 향상시키는 노력이 필요하다. 또한, 목표물질과 탐침물질 간의 특이적 결합에 소요되는 시간(반응 시간)이 검출 시간의 대부분을 차지하기 때문에, 반응 시간을 줄여 전체적인 검출 시간을 줄이는 방안에 대한 연구도 필요한 실정이다.
등록특허공보 제10-1004989호
여기에서 설명되는 실시예들은, 목표물질의 검출 시간을 단축시키고, 검출의 신뢰도를 향상시킬 수 있는 바이오센서 및 이를 이용한 목표물질 검출방법을 제공하기 위한 것이다.
일실시예에 따른 바이오센서는, 개구부가 형성되는 기판; 테두리부가 상기 개구부의 내측면에 고정되어 상기 개구부를 폐쇄하는 멤브레인; 상기 멤브레인의 상부에 적층되고, 목표물질과 결합되는 탐침물질을 포함하는 검출층; 및 상기 목표물질을 포함하는 시료가 상기 개구부의 상부로 유입되면 상기 멤브레인 및 상기 검출층을 진동시켜 상기 시료에 와류를 형성시키는 진동발생장치를 포함할 수 있다.
또한, 상기 멤브레인 및 상기 검출층은, 일지점을 기준으로 했을 때 상기 일지점이 상하로 진동할 수 있다.
또한, 상기 진동발생장치는, 상기 멤브레인 및 상기 검출층의 중앙 방향으로의 와류, 테두리부 방향으로의 와류, 대각선 방향으로의 와류가 순차 반복 형성되도록 상기 멤브레인 및 상기 검출층을 진동시킬 수 있다.
또한, 상기 진동발생장치는, 상기 멤브레인의 일면에 배치되는 제 1 전극; 상기 멤브레인으로부터 하방 이격되는 제 2 전극; 및 상기 제 1 전극 및 상기 제 2 전극에 전압을 인가하는 전원을 포함할 수 있다.
또한, 상기 멤브레인으로부터 하방 이격되고, 상기 멤브레인의 일면, 상기 제 1 전극 및 상기 제 2 전극을 외부와 단절시키는 하우징을 더 포함하고, 상기 제 2 전극에는 복수의 통공이 형성되어, 상기 제 1 전극 및 상기 제 2 전극 사이의 공간과 상기 제 2 전극 및 상기 하우징 사이의 공간은 연통될 수 있다.
상기와 같은 바이오센서를 이용한 일실시예에 따른 목표물질 검출방법은, 상기 목표물질을 포함하는 시료를 상기 개구부의 상부로 유입시키는 단계; 상기 멤브레인 및 상기 검출층을 진동시켜 상기 시료에 와류를 형성시키는 단계; 및 상기 탐침물질과 상기 목표물질이 결합하는 단계를 포함할 수 있다.
또한, 상기 멤브레인 및 상기 검출층은, 일지점을 기준으로 했을 때 상기 일지점이 상하로 진동할 수 있다.
또한, 상기 와류를 형성시키는 단계는, 상기 멤브레인 및 상기 검출층의 중앙 방향으로의 와류를 형성시키는 단계; 상기 멤브레인 및 상기 검출층의 테두리부 방향으로의 와류를 형성시키는 단계; 및 상기 멤브레인 및 상기 검출층의 대각선 방향으로의 와류를 형성시키는 단계를 포함할 수 있다.
여기에서 설명되는 실시예에 따르면, 목표물질의 검출 시간을 단축시키고, 검출의 신뢰도를 향상시킬 수 있는 바이오센서 및 이를 이용한 목표물질 검출방법을 제공할 수 있다.
도 1은 일실시예에 따른 바이오센서의 측단면도이다.
도 2는 도 1을 간략화하여 시료에 와류가 형성되는 모습을 설명하기 위한 도면이다.
도 3a 및 도 3b는 도 1의 바이오센서를 이용해 형성한 와류에 따라 파티클이 이동하는 모습을 설명하기 위한 도면이다.
도 4는 도 1의 바이오센서를 이용해 잉크 확산 실험을 한 결과를 보여주는 도면이다.
도 5 및 도 6은 도 1의 바이오센서를 이용해 형광 검출 실험을 한 결과를 보여주는 도면이다.
도 7은 일실시예에 따른 목표물질 검출방법의 순서도이다.
이하에서는 본 기술 사상을 구현하기 위한 구체적인 실시예들에 대하여 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명하도록 한다. 아울러, 관련된 공지 구성 또는 기능에 대한 구체적인 설명이 본 기술 사상의 요지를 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명을 생략한다.
도 1은 일실시예에 따른 바이오센서(100)의 측단면도이다. 본 실시예에 따른 바이오센서(100)는 기판(110), 멤브레인(120), 검출층(130), 진동발생장치(140), 하우징(150) 등을 포함할 수 있다.
기판(110)은 실리콘 재질로 형성될 수 있고, 도시된 바와 같이 소정의 두께를 가질 수 있다. 기판(110)에는 기판(110)을 상하로 관통하는 개구부(115)가 형성될 수 있다. 뒤에서 다시 설명하겠지만, 목표물질을 포함하는 시료(기체 또는 액체)는 개구부(115)의 상부로 유입될 수 있다.
멤브레인(120)은 실리콘질화막(silicon nitride)으로 예시될 수 있고, 얇은 두께로 인하여 가요성(flexibility)을 가질 수 있다. 그리고 멤브레인(120)의 테두리부(125)는 개구부(115)의 내측면(116)에 고정되면서 개구부(115)를 폐쇄할 수 있다. 따라서 개구부(115)의 상부로 유입되는 시료는 멤브레인(120)의 상부에만 머무를 수 있다.
멤브레인(120)은 후술하는 진동발생장치(140)에 의해 진동할 수 있는데, 예를 들어 멤브레인(120)의 일지점을 기준으로 했을 때 상기 일지점은 상하로 진동할 수 있고, 멤브레인(120) 전체를 기준으로 했을 때는 멤브레인(120)은 측방에서 바라보았을 때 전체적으로 웨이브(wave)를 형성하도록 진동할 수 있다. 이에 대하여는 도 2와 관련하여 다시 설명하기로 한다.
검출층(130)은 멤브레인(120)의 상부에 적층될 수 있고, 멤브레인(120)에 접하는바 멤브레인(120)의 진동 시 멤브레인(120)과 함께 진동할 수 있다. 이하, 멤브레인(120)이 진동한다는 설명은 곧 멤브레인(120) 및 검출층(130)이 진동한다는 것과 같다. 그리고 검출층(130)은 탐침물질을 포함하는바, 시료에 포함된 목표물질은 상기 탐침물질과 특이적 결합을 할 수 있다. 단백질 간의 특이적 결합을 통해 목표 단백질을 검출하는 것을 예로 들면, 항체가 탐침물질로서 검출층(130)에 포함될 수 있고, 시료에 포함된 항원은 목표물질로서 상기 항체와 특이적 결합을 할 수 있다. 또한, 특정 단백질이 목표물질, 상기 특정 단백질과 특이적 결합하는 리간드가 탐침물질일 수도 있다. 아울러, 탐침물질이 단일 스트랜드 DNA이고, 목표물질이 상기 단일 스트랜드 DNA에 대하여 상보적인 서열을 갖는 또 다른 단일 스트랜드 DNA일 수도 있음은 물론이다.
상술한 검출층(130)은 금(Au) 재질일 수 있다. 금 재질의 검출층(130)은 단백질, DNA, RNA 등의 생물학적 물질이 고정되는데 유리할 수 있다. 또한, 후술하는 바와 같이 전기적인 방식으로 진동을 발생시키는 경우, 금 재질의 검출층(130)은 전극으로 이용될 수도 있다.
한편, 검출층(130)은 금을 포함하되, 금 이외의 이종 금속이 함유된 합금 형태일 수 있다. 즉, 검출층(130)은 금인 제 1 금속과 금이 아닌 제 2 금속을 포함할 수 있는데, 상기 제 2 금속은 알루미늄(Al), 은(Ag), 구리(Cu) 등으로 예시될 수 있다. 검출층(130)이 이종 금속의 합금 형태인 경우, 오염에 대한 저항성이 증가하여 내구성 및 수명이 증가할 수 있다.
진동발생장치(140)는 멤브레인(120) 및 검출층(130)을 진동시킬 수 있다면 그 형태나 종류에는 제한이 없을 수 있다. 예를 들어, 멤브레인(120) 및 검출층(130)을 진동시키기 위해 레이저가 이용될 수 있다. 본 실시예에서는 전기적인 방식으로 멤브레인(120) 및 검출층(130)을 진동시키는 것으로 예시한다. 구체적으로, 멤브레인(120)의 상면 또는 하면에는 제 1 전극(141)이 배치될 수 있고, 멤브레인(120)으로부터 하방 이격된 지점에는 제 2 전극(142)이 배치될 수 있다. 도시하지 않은 전원에 의해 상기 제 1 전극(141) 및 제 2 전극(142)에 전압이 인가되면, 멤브레인(120) 및 검출층(130)은 진동할 수 있다. 참고로, 각 구성 간을 전기적으로 연결하는 와이어 등의 전기적 연결수단은 이 분야의 통상의 기술자에게 자명하므로 도시를 생략하였다.
하우징(150)은 멤브레인(120)으로부터 하방 이격될 수 있고, 바이오센서(100)의 내부를 외부로부터 단절시킬 수 있다. 구체적으로, 하우징(150)은 멤브레인(120)의 일면, 제 1 전극(141) 및 제 2 전극(142)을 외부로부터 단절시킬 수 있다. 이에 의해 멤브레인(120)과 하우징(150) 사이의 공간에는 공기층이 형성될 수 있다. 그리고, 상술한 바와 같이 멤브레인(120)이 개구부(115)를 폐쇄하기 때문에 시료는 멤브레인(120)의 상부에서만 머무를 뿐 멤브레인(120)과 하우징(150) 사이의 공간으로는 유입되지 않을 수 있다.
한편, 본 실시예에서 예시한 제 1 전극(141) 및 제 2 전극(142)을 포함하는 진동발생장치(140)의 경우, 멤브레인(120) 및 검출층(130)의 원활한 진동을 위해 제 1 전극(141) 및 제 2 전극(142) 사이의 공간(160)과 제 2 전극(142) 및 하우징(150) 사이의 공간(170)은 서로 연통될 수 있다. 이를 위해 제 2 전극(142)에는 복수의 통공(149)이 형성될 수 있다. 만약 제 2 전극(142)에 통공(149)이 형성되지 않아서 제 1 전극(141) 및 제 2 전극(142) 사이의 공간(160)이 밀폐공간이라면, 양 전극(141, 142)에 의해 전기력이 생성됨에도 불구하고 제 1 전극(141) 및 제 2 전극(142) 사이의 공간(160)에서 공기가 댐핑 요소로 작용하여 멤브레인(120) 및 검출층(130)의 진동이 원활하게 발생되지 않을 수 있다.
다음으로 도 2를 도 1과 함께 참조하여 본 실시예에 따른 바이오센서(100)의 작동모습을 설명하기로 한다. 도 2는 도 1을 간략화하여 시료에 와류가 형성되는 모습을 설명하기 위한 도면이다.
목표물질을 포함하는 시료가 개구부(115)의 상부로 유입되면, 진동발생장치(140)는 멤브레인(120) 및 검출층(130)을 진동시킬 수 있다. 도 2에서는 편의상 멤브레인(120)만을 도시하였으나, 검출층(130)은 멤브레인(120)의 일면에 접하므로 멤브레인(120)과 함께 진동할 수 있다.
앞서도 설명한 바와 같이, 멤브레인(120)은 일지점을 기준으로 했을 때 상기 일지점은 상하(y축 방향)로 진동할 수 있다. 예를 들어, 멤브레인(120)은 도 2의 실선의 모습을 하다가 진동 발생에 의해 도 2의 점선의 모습을 할 수 있다. 따라서 멤브레인(120)은 측방(z축 방향)에서 바라보았을 때 전체적으로 웨이브(wave)를 형성하도록 진동할 수 있다. 더 나아가, 멤브레인(120)에서 z축 방향을 따라 연속 배열되는 지점들은 도 2에 도시된 것처럼 항상 같은 고도(vertical position)를 가지는 것이 아니라, 서로 다른 고도를 가질 수도 있다. 즉, 멤브레인(120)은 도 2를 기준으로 앞쪽 혹은 뒤쪽으로 기울어질 수도 있다. 이와 같은 멤브레인(120)의 다양한 진동 양상은 인가되는 전압의 조절, 진동주파수의 조절 등으로 얻어질 수 있다.
한편, 시료가 유입되었을 때의 위와 같은 진동은 검출 시간의 감소와 검출의 신뢰도 향상을 위한 것일 수 있다. 구체적으로, 멤브레인(120)이 상하로 진동하는 것에 의해 멤브레인(120) 상부에 위치하는 시료에 와류가 형성될 수 있다. 이러한 와류의 일예를 도 2에서 화살표로 표시하였다. 와류의 방향, 세기 등은 앞서 설명한 다양한 진동 양상에 따라 변화될 수 있다. 예를 들어, 멤브레인(120)의 중앙 방향으로 와류가 형성되다가 멤브레인(120)의 테두리부(125) 방향으로 와류가 형성될 수 있고, 이후 멤브레인(120)의 대각선 방향으로의 와류가 형성될 수 있다. 그리고 위와 같은 와류의 방향 변화는 순차적으로 반복될 수 있다.
이처럼 시료에 와류를 형성시키면 다음과 같은 이점이 있을 수 있다. 첫째, 시료에 포함되어 있는 목표물질이 빠르게 확산되어 탐침물질과 결합하므로 검출 시간이 단축될 수 있다. 둘째, 목표물질과 탐침물질 간의 특이적 결합을 물리적으로 촉진하여 역시 검출 시간이 단축될 수 있다. 셋째, 멤브레인(120)의 다양한 진동 양상에 의해 와류 역시 다양한 방향으로 발생될 수 있는바 목표물질이 검출층(130) 곳곳에 고르게 분포될 수 있어 검출의 신뢰도가 향상될 수 있다. 넷째, 액상 시료의 경우 시료 주입 시 기포가 발생될 수 있는데, 와류에 의해 그러한 기포가 제거되어 검출 시간이 단축되며 검출의 신뢰도가 향상될 수 있다. 다섯째, 시료 중에 포함되어 있는 기타 물질이 물리적 구조 자체에 의해 탐침물질과 비특이적 결합하는 것을 방지하여 검출의 신뢰도를 향상시킬 수 있다. 와류의 흐름에 의해 상기 비특이적 결합은 제거될 수 있는 것이다.
도 3a 및 도 3b는 와류에 따라 파티클이 이동하는 모습을 설명하기 위한 도면이다. 도 1의 바이오센서(100)를 이용해 형성되는 와류의 흐름을 살펴보기 위해 PIV(particle image velocimetry, 입자 영상 유속계)를 사용하였다. 도 3a는 시간의 흐름에 따라 파티클의 위치를 촬영한 것이고, 도 3b는 도 3a를 이용하여 파티클의 이동 모습을 벡터화한 것이다. 멤브레인(120)에 1차모드의 진동(예를 들어, 중앙 방향으로의 와류를 형성하기 위한 진동모드)을 가한 결과, 파티클은 대체로 멤브레인(120)의 중앙 방향을 향해 이동하였고(도 3b 참조), 5초가 경과한 후에는 상당수의 파티클이 멤브레인(120)의 중앙에 모여 있음을 확인할 수 있었다(도 3a 참조).
도 4는 도 1의 바이오센서(100)를 이용해 잉크 확산 실험을 한 결과를 보여주는 도면이다. 용매에 붉은색 잉크를 떨어뜨려 확산 모습을 살펴보되, 관찰의 편의성 및 혈액 점도 모사를 위해 잉크에 글리세롤을 첨가하여 점성을 부여하였다. 멤브레인(120)에 진동을 가하지 않은 (a)에서는 약 180초가 경과하여야 잉크가 모두 확산되는 것을 관찰하였고, 멤브레인(120)에 다양한 양상의 진동을 가한 (b)에서는 약 2초만에 잉크가 모두 확산됨을 확인하였다.
도 5는 도 1의 바이오센서(100)와 형광현미경(fluorescent microscope)를 이용해 형광 검출 실험(fluorescence sensing)을 한 결과를 보여주는 도면이다. 멤브레인(120)에 진동을 가하지 않은 (a)에서는 약 60분이 지나야 전체적으로 형광이 검출되었으나, 멤브레인(120)에 진동을 가한 (b)의 경우에는 약 10분 경과 시부터 전체적으로 형광이 검출되었다. 도 4와 마찬가지로 멤브레인(120)에 진동을 가하였을 때 목표물질의 확산이 빠르게 일어난다는 점을 확인하였고, 목표물질과 탐침물질 간의 특이적 결합이 촉진됨을 알 수 있었다.
도 6은 도 1의 바이오센서(100)와 레이저 형광스캐너(laser fluorescent scanner)를 이용해 형광 검출 실험을 한 결과를 보여주는 도면이다. 멤브레인(120)에 진동을 가하지 않은 (a)의 경우에는 특이적 결합이 고르게 일어나지 않지만, 멤브레인(120)에 진동을 가한 (b)의 경우에는 목표물질이 잘 분산되어 특이적 결합이 고르게 일어나는 것을 알 수 있었다.
이상에서 설명한 바와 같이 목표물질과 탐침물질 간의 특이적 결합이 일어나면, 바이오센서(100)는 이를 인지할 수 있고, 나아가 목표물질의 양 내지는 농도를 직접 산출하거나 목표물질의 양 내지는 농도의 산출을 위해 외부기기에 관련 정보를 제공할 수 있다. 상기 특이적 결합이 일어났음을 인지하는 원리는 광학적인 방식, 정전용량의 변화를 탐지하는 방식 등 다양할 수 있다. 본 실시예의 경우 진동자, 즉 멤브레인(120) 및 검출층(130)의 공진주파수가 변하는 것을 탐지함으로써 상기 특이적 결합을 인지하는 것으로 예시한다.
구체적으로, 본 실시예의 바이오센서(100)에는 도시하지 않은 주파수 측정장치가 제공될 수 있고, 상기 주파수 측정장치는 우선 초기 상태에서의 진동자(120, 130)의 초기 공진주파수를 측정할 수 있다. 이후, 시료가 개구부(115)의 상부로 유입되어 목표물질이 검출층(130)의 탐침물질과 결합하여 진동자(120, 130)의 질량이 증가되면 공진주파수가 감소하는데, 주파수 측정장치는 이러한 공진주파수의 변화도 지속적으로 측정할 수 있다. 이 때의 진동자(120, 130)의 진동 역시 진동발생장치(140)에 의해 이뤄질 수 있다.
상기와 같은 공진주파수의 변화를 측정하는 것을 통해 목표물질의 양 내지는 농도 등을 산출해낼 수 있다. 이를 위해 바이오센서(100)의 내부 또는 외부에는 연산용 칩 등의 구성이 제공될 수 있다. 진동자의 공진주파수의 변화를 측정하여 목표물질의 양 내지는 농도 등을 산출하는 것 자체는 이미 공지된 것이므로 여기에서는 자세한 설명을 생략하기로 한다.
위와 같은 본 실시예에 따른 바이오센서(100)에 의할 경우, 시료가 유입될 때 멤브레인(120) 및 검출층(130)을 진동시켜 시료에 와류를 형성시킴으로써 검출 시간 단축 효과 및 검출 신뢰도 향상 효과를 얻는 동시에, 목표물질과 탐침물질 간의 특이적 결합에 따른 진동자(120, 130)의 공진주파수 변화를 측정하여 목표물질을 검출할 수 있으므로 효율적일 수 있다.
도 7은 일실시예에 따른 목표물질 검출방법(이하, '검출방법'이라고 함)의 순서도이다. 본 실시예에 따른 검출방법은 앞서 설명한 바이오센서(100)를 이용하는 방법일 수 있다.
예를 들어, 우선 목표물질을 포함하는 시료를 기판(110)에 형성된 개구부(115)의 상부로 유입시킬 수 있다(S100). 이어서, 진동발생장치(140)를 이용하여 멤브레인(120) 및 검출층(130)을 진동시킴으로써 시료에 와류를 형성할 수 있다(S200). 시료에 포함된 목표물질은 검출층(130)의 탐침물질과 특이적 결합을 할 수 있다(S300). 상기 와류에 의해 목표물질과 탐침물질 간의 특이적 결합이 빠르게 일어나고, 높은 신뢰도로 목표물질을 검출할 수 있음은 전술한 바와 같다.
이상에서 설명된 실시예들은 본 기술 사상의 일부 예를 설명한 것에 불과하고, 본 기술 사상의 범위는 설명된 실시예들에 한정되는 것은 아니며, 이 분야의 통상의 기술자에 의하여 본 기술 사상의 범위 내에서의 다양한 변경, 변형 또는 치환이 가능할 것이고, 그와 같은 실시는 모두 본 기술 사상의 범위에 속하는 것으로 보아야 한다.
100: 멤브레인형 공진 센서 110: 기판
115: 개구부 120: 멤브레인
130: 검출층 135: 탐침물질
140: 진동발생장치 141: 제 1 전극
142: 제 2 전극 150: 하우징

Claims (8)

  1. 개구부가 형성되는 기판;
    테두리부가 상기 개구부의 내측면에 고정되어 상기 개구부를 폐쇄하는 멤브레인;
    상기 멤브레인의 상부에 적층되고, 목표물질과 결합되는 탐침물질을 포함하는 검출층; 및
    상기 목표물질을 포함하는 시료가 상기 개구부의 상부로 유입되면 상기 멤브레인 및 상기 검출층을 진동시켜 상기 시료에 와류를 형성시키는 진동발생장치를 포함하는 바이오센서.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 멤브레인 및 상기 검출층은, 일지점을 기준으로 했을 때 상기 일지점이 상하로 진동하는 바이오센서.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 진동발생장치는, 상기 멤브레인 및 상기 검출층의 중앙 방향으로의 와류, 테두리부 방향으로의 와류, 대각선 방향으로의 와류가 순차 반복 형성되도록 상기 멤브레인 및 상기 검출층을 진동시키는 바이오센서.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 진동발생장치는,
    상기 멤브레인의 일면에 배치되는 제 1 전극;
    상기 멤브레인으로부터 하방 이격되는 제 2 전극; 및
    상기 제 1 전극 및 상기 제 2 전극에 전압을 인가하는 전원을 포함하는 바이오센서.
  5. 제 4 항에 있어서,
    상기 멤브레인으로부터 하방 이격되고, 상기 멤브레인의 일면, 상기 제 1 전극 및 상기 제 2 전극을 외부와 단절시키는 하우징을 더 포함하고,
    상기 제 2 전극에는 복수의 통공이 형성되어, 상기 제 1 전극 및 상기 제 2 전극 사이의 공간과 상기 제 2 전극 및 상기 하우징 사이의 공간은 연통되는 바이오센서.
  6. 개구부가 형성되는 기판과, 테두리부가 상기 개구부의 내측면에 고정되어 상기 개구부를 폐쇄하는 멤브레인과, 상기 멤브레인의 상부에 적층되고 목표물질과 결합되는 탐침물질을 포함하는 검출층과, 상기 멤브레인 및 상기 검출층을 진동시키는 진동발생장치를 포함하는 바이오센서를 이용한 목표물질 검출방법에 있어서,
    상기 목표물질을 포함하는 시료를 상기 개구부의 상부로 유입시키는 단계;
    상기 멤브레인 및 상기 검출층을 진동시켜 상기 시료에 와류를 형성시키는 단계; 및
    상기 탐침물질과 상기 목표물질이 결합하는 단계를 포함하는 목표물질 검출방법.
  7. 제 6 항에 있어서,
    상기 멤브레인 및 상기 검출층은, 일지점을 기준으로 했을 때 상기 일지점이 상하로 진동하는 목표물질 검출방법.
  8. 제 6 항에 있어서,
    상기 와류를 형성시키는 단계는,
    상기 멤브레인 및 상기 검출층의 중앙 방향으로의 와류를 형성시키는 단계;
    상기 멤브레인 및 상기 검출층의 테두리부 방향으로의 와류를 형성시키는 단계; 및
    상기 멤브레인 및 상기 검출층의 대각선 방향으로의 와류를 형성시키는 단계를 포함하는 목표물질 검출방법.
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