KR101851804B1 - Transfer robot structure for substrate - Google Patents
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Abstract
본 발명은 기판 반송용 로봇구조에 관한 것으로서, 지면에 배치되고 레일부(11)를 갖는 기대(10)와, 상기 기대(10)의 레일부(11)를 따라 슬라이딩되는 메인베이스(20)와, 상기 메인베이스(20)의 상부에 배치되고 복수의 링크(31)로 연결되어 상하로 승강되는 승강부(30) 및 상기 승강부(30)의 상부에 배치되어 선회되고 핸드부(41)가 마련된 선회부(40)를 포함하여 구성되는 기판 반송용 로봇구조에 있어서, 상기 승강부(30)가 상기 메인베이스(20)에 대해 축 회전되면서 방향 전환이 가능하게 되는 구조로 되어 있다.
따라서, 기본적으로 승강부의 링크들이 기대에 대한 메인베이스의 진행방향과 평행 또는 직각이 아닌 임의의 각도로 배치할 수 있게 되면서 핸드부의 좌우 방향으로의 위치 보정이 가능하게 되어 작업범위 확장을 도모할 수 있게 되면서 결과적으로 작업능률 향상으로 이어지게 되는 등의 효과를 얻는다. The present invention relates to a robot structure for transporting a substrate and includes a base 10 having a rail 11 disposed on the ground and a main base 20 sliding along the rail 11 of the base 10, A lifting unit 30 disposed at an upper portion of the main base 20 and connected to a plurality of links 31 so as to be vertically moved up and down and a hand unit 41 disposed at an upper portion of the lifting unit 30, And the swivel part 40 provided on the main base 20, the elevation part 30 is rotatable with respect to the main base 20 so as to be capable of changing directions.
Therefore, basically, the links of the lifting unit can be arranged at an arbitrary angle not parallel or perpendicular to the traveling direction of the main base with respect to the base, so that it is possible to correct the position of the hand unit in the left and right directions, And as a result, the work efficiency is improved.
Description
본 발명은 기판 반송용 로봇구조에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 메인베이스와, 상기 메인베이스의 상부에 배치되고 복수의 링크로 연결되어 상하로 승강되는 승강부 및 상기 승강부의 상부에 배치되어 선회되고 핸드부가 마련된 선회부를 포함하는 구조에서 상기 승강부가 상기 메인베이스에 대해 축 회전되면서 방향 전환이 가능하게 되도록 함으로써, 기본적으로 승강부의 링크들이 기대에 대한 메인베이스의 진행방향과 평행 또는 직각이 아닌 임의의 각도로 배치할 수 있게 되면서 핸드부의 좌우 방향으로의 위치 보정이 가능하게 되어 작업범위 확장을 도모할 수 있게 되면서 결과적으로 작업능률 향상으로 이어지게 되는 기판 반송용 로봇구조에 관한 것이다.
More particularly, the present invention relates to a robot arm for substrate transportation, and more particularly, to a robot arm for substrate transportation, which comprises a main base, an elevating portion connected to a plurality of links and vertically elevated and lowered, In the structure including the swivel portion provided with the hand portion, the elevation portion is rotatable with respect to the main base so that the direction can be changed. Basically, the links of the elevation portion are arbitrary So that it is possible to correct the position of the hand unit in the left and right directions, thereby expanding the working range. As a result, the robot structure for substrate transportation can be improved.
일반적으로 기판 반송용 로봇은 기판이 보관되어 있는 카세트에서 기판을 인출하여 다른 장소로 이동시키기 위한 로봇을 말한다.2. Description of the Related Art In general, a robot for transferring a substrate is a robot for transferring a substrate from a cassette storing a substrate to another place.
일례로 종래 기술의 기판 반송용 로봇은 레일 구조의 기대 상에서 승강부 및 선회부가 상기 기대의 레일부를 따라 이동되고 승강부의 핸드부가 카세트로부터 기판을 인출하여 반송하도록 하는 구조로 되어 있었다.For example, the prior art substrate carrying robot has a structure in which the elevating portion and the swing portion are moved along the rail portion of the base on the expectation of the rail structure, and the hand portion of the elevating portion pulls the substrate from the cassette and carries it.
이와 같은 종래 기술의 기판 반송용 로봇구조를 개략적으로 살펴보면, 지면에 배치되고 레일부를 갖는 기대와, 상기 기대의 레일부를 따라 슬라이딩되는 메인베이스와, 상기 메인베이스의 상부에 배치되고 복수의 링크로 연결되어 상하로 승강되는 승강부 및 상기 승강부의 상부에 배치되어 선회되고 핸드부가 마련된 선회부를 포함하는 구성으로 되어 있다.A conventional substrate transfer robot structure includes a base having a rail portion disposed on the ground, a main base sliding along the rail portion of the base, and a plurality of links And a pivot portion provided on the upper portion of the elevation portion and provided with a hand portion.
이러한 구성을 갖는 종래 기술의 기판 반송용 로봇의 작동 과정을 살펴보면, 상기 메인베이스가 상기 기대의 레일부를 따라 좌우로 이동되고, 상기 선회부는 상기 승강부의 복수의 링크들에 의해 상하로 승강되며, 상기 핸드부가 카세트로부터 엘시디패널을 흡착 인출한 후 원하는 장소로 반송시킨다.The operation of the conventional substrate transfer robot having such a configuration will be described. The main base is moved to the left and right along the rail portion of the base, and the pivot portion is vertically moved up and down by a plurality of links of the elevating portion, The hand unit picks up the liquid crystal panel from the cassette, and returns the liquid crystal panel to a desired place.
한편, 상기 승강부는 상기 메인베이스와 일체형으로 고정된 상태에서 상기 기대의 레일부를 따라 단순 왕복 운동을 하면서 엘시디패널을 반송하게 된다.
Meanwhile, the elevating and lowering unit moves in a simple reciprocating motion along the rail portion of the base in a state where it is fixed integrally with the main base, and the LCD panel is transported.
그러나, 종래 기술의 기판 반송용 로봇구조는 승강부가 상기 메인베이스 상에서 고정된 상태로 있어 이에 따라 상기 링크들도 기대에 대한 메인베이스의 진행방향과 평행 또는 직각이 아닌 임의의 각도로 배치될 수 없어 그 결과 핸드부의 좌우 방향으로의 위치 보정이 불가능하게 되기 때문에, 결과적으로 작업범위에 제약이 따르게 되면서 작업능률 하락으로 이어지게 되는 등의 문제점을 갖고 있었다.However, in the prior art substrate transport robot structure, the lifting portion is fixed on the main base, so that the links can not be arranged at any angle that is not parallel or perpendicular to the traveling direction of the main base with respect to the base As a result, it is impossible to correct the position of the hand unit in the left and right directions, and consequently, there is a problem that the working range is limited and the work efficiency is lowered.
본 발명은 이러한 문제점을 해결하기 위해서 안출된 것으로서, 메인베이스와, 상기 메인베이스의 상부에 배치되고 복수의 링크로 연결되어 상하로 승강되는 승강부 및 상기 승강부의 상부에 배치되어 선회되고 핸드부가 마련된 선회부를 포함하는 구조에서 상기 승강부가 상기 메인베이스에 대해 축 회전되면서 방향 전환이 가능하게 되도록 함으로써, 기본적으로 승강부의 링크들이 기대에 대한 메인베이스의 진행방향과 평행 또는 직각이 아닌 임의의 각도로 배치할 수 있게 되면서 핸드부의 좌우 방향으로의 위치 보정이 가능하게 되어 작업범위 확장을 도모할 수 있게 되면서 결과적으로 작업능률 향상으로 이어지게 되는 기판 반송용 로봇구조를 제공하는데 그 목적이 있다.
SUMMARY OF THE INVENTION Accordingly, the present invention has been made to solve the above-mentioned problems occurring in the prior art, and it is an object of the present invention to provide a main base, In the structure including the swivel portion, the elevation portion is axially rotated with respect to the main base so that the direction can be switched so that the links of the elevation portion are basically arranged at an arbitrary angle that is not parallel or orthogonal to the traveling direction of the main base with respect to the base It is possible to correct the position of the hand unit in the left and right direction, thereby enlarging the working range. As a result, it is possible to provide a robotic structure for substrate transportation which leads to improvement of work efficiency.
이와 같은 상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 기판 반송용 로봇구조는 지면에 배치되고 레일부를 갖는 기대; 상기 기대의 레일부를 따라 슬라이딩되는 메인베이스; 상기 메인베이스의 상부에 배치되고 복수의 링크로 연결되어 상하로 승강되는 승강부; 및 상기 승강부의 상부에 배치되어 선회되고 핸드부가 마련된 선회부를 포함하여 구성되는 기판 반송용 로봇구조에 있어서, 상기 승강부가 상기 메인베이스에 대해 축 회전되면서 방향 전환이 가능하게 되는 것을 특징으로 한다.To achieve these and other advantages and in accordance with the purpose of the present invention, as embodied and broadly described herein, there is provided a substrate carrying robot comprising: a base having a rail portion; A main base sliding along a rail portion of the base; A lifting unit disposed on the main base and connected to the plurality of links and lifted up and down; And a pivot portion disposed on the upper portion of the elevating portion and provided with a pivoting hand portion, wherein the elevation portion is rotatable with respect to the main base to change the direction.
또한, 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 반송용 로봇구조에 있어서, 상기 승강부의 하단부에 상기 메인베이스 상에 안착된 상태로 축 회전되는 보조베이스가 마련될 수 있다.Also, in the substrate transport robot structure according to an embodiment of the present invention, an auxiliary base may be provided at a lower end of the elevating portion, which is axially rotated while being mounted on the main base.
또한, 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 반송용 로봇구조에 있어서, 상기 메인베이스와 보조베이스에 각각 상기 보조베이스가 메인베이스에 대해 축 회전되어 소정의 회전각만큼 축 회전 방향이 전환되는 것을 조절하기 위한 방향조절부와, 상기 보조베이스가 상기 메인베이스에 대해 축 회전 방향이 조절된 상태에서 서로를 고정시키기 위한 고정부가 각각 마련될 수 있다.Further, in the substrate transport robot structure according to an embodiment of the present invention, the auxiliary base is axially rotated with respect to the main base on the main base and the auxiliary base, respectively, so that the axis rotation direction is switched by a predetermined rotation angle And a fixing portion for fixing the auxiliary base in a state where the axis rotation direction is adjusted with respect to the main base.
또한, 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 반송용 로봇구조에 있어서, 상기 방향조절부는, 상기 보조베이스가 상기 메인베이스의 중심축을 기준으로 축 회전되는 상기 보조베이스와 메인베이스 상의 원호 방향을 따라 각각 소정 간격 이격 형성된 복수의 방향조절홀 및 상기 보조베이스가 메인베이스 상에서 소정 각도 축 회전되어 상기 서로의 방향조절홀들이 상하로 일치된 상태에서 상기 방향조절홀들로 삽입시켜 축 회전 방향이 전환된 상태의 보조베이스가 상기 메인베이스에 대해 방향 전환이 완료되도록 하는 방향조절키를 포함하여 구성될 수 있다.In the substrate transport robot structure according to an embodiment of the present invention, the direction adjusting unit may be configured to move the auxiliary base along the arc direction on the main base, which is pivoted about the central axis of the main base, A plurality of direction adjusting holes formed at predetermined intervals and a state in which the auxiliary base is rotated by a predetermined angle on the main base to insert the direction adjusting holes into the direction adjusting holes so that the axis rotating direction is changed And a direction adjusting key for causing the auxiliary base of the main base to complete the directional change with respect to the main base.
또한, 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 반송용 로봇구조에 있어서, 상기 방향조절키는, 상기 상하로 일치된 메인베이스와 보조베이스의 방향조절홀들의 상부에서 하방으로 삽입 관통시켜 걸리도록 하는 볼트와, 상기 메인베이스의 방향조절홀 하방으로 돌출된 상기 볼트에 체결하여 고정되는 너트를 포함할 수 있다.In addition, in the robot for a substrate carrying robot according to an embodiment of the present invention, the direction adjusting key may include a bolt which is inserted through the upper and lower sides of the direction adjusting holes of the main base and the auxiliary base, And a nut fastened to the bolt protruded below the direction adjusting hole of the main base.
또한, 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 반송용 로봇구조에 있어서, 상기 고정부는, 상기 보조베이스의 소정 부위에 형성된 고정홀; 상기 보조베이스가 메인베이스의 중심축을 기준으로 축 회전되는 상기 고정홀 직하방의 상기 메인베이스 상에 원호 방향을 따라 형성된 호형슬릿; 및 상기 고정홀과 호형슬릿을 관통한 상태에서 보조베이스가 메인베이스 상에서 소정 각도 축 회전되는 것을 가이드 한 후 상기 보조베이스가 상기 메인베이스에 고정되도록 하는 고정키를 포함하여 구성될 수 있다.In the substrate transport robot structure according to an embodiment of the present invention, the fixing portion may include: a fixing hole formed in a predetermined portion of the auxiliary base; An arc-shaped slit formed along a circular arc on the main base directly below the stationary hole, the arc-shaped base being axially rotated about a center axis of the main base; And a fixing key for fixing the auxiliary base to the main base after guiding the auxiliary base through a predetermined angle on the main base in a state of passing through the fixing hole and the arc-shaped slit.
또한, 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 반송용 로봇구조에 있어서, 상기 고정키는, 상기 상하로 일치된 보조베이스와 메인베이스의 고정홀과 호형슬릿의 상부에서 하방으로 삽입 관통시켜 걸리도록 하는 볼트와, 상기 메인베이스의 호형슬릿 하방으로 돌출된 상기 볼트에 체결하여 고정되는 너트를 포함할 수 있다.
Further, in the robot for a substrate transport robot according to an embodiment of the present invention, the fixed key may be inserted downward through an upper portion of the arc-shaped slit and a fixing hole of the main base, And a nut fastened to the bolt protruded below the arc-shaped slit of the main base.
이상에서와 같이, 본 발명의 기판 반송용 로봇구조는 메인베이스와, 상기 메인베이스의 상부에 배치되고 복수의 링크로 연결되어 상하로 승강되는 승강부 및 상기 승강부의 상부에 배치되어 선회되고 핸드부가 마련된 선회부를 포함하는 구조에서 상기 승강부가 상기 메인베이스에 대해 축 회전되면서 방향 전환이 가능하게 되도록 함으로써, 기본적으로 승강부의 링크들이 기대에 대한 메인베이스의 진행방향과 평행 또는 직각이 아닌 임의의 각도로 배치할 수 있게 되면서 핸드부의 좌우 방향으로의 위치 보정이 가능하게 되어 작업범위 확장을 도모할 수 있게 되면서 결과적으로 작업능률 향상으로 이어지게 되는 등의 효과를 얻는다.
As described above, the robot arm for substrate transportation according to the present invention comprises a main base, an elevation portion disposed above the main base and connected by a plurality of links and vertically elevated and lowered, In the structure including the swivel portion, the elevation portion is rotatable with respect to the main base so that the direction can be changed. Basically, the links of the elevation portion are arranged at an arbitrary angle that is not parallel or perpendicular to the traveling direction of the main base with respect to the base It is possible to correct the position of the hand unit in the left and right direction, and the work range can be expanded. As a result, the work efficiency can be improved.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 반송용 로봇구조를 나타낸 사시도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 반송용 로봇구조를 나타낸 평면도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 반송용 로봇구조의 베이스 구조를 나타낸 요부 사시도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 반송용 로봇구조의 베이스 구조를 나타낸 요부 평면도이다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 반송용 로봇구조의 베이스 구조를 통해 축 회전 방향이 전환된 상태를 나타낸 요부 평면도이다.1 is a perspective view showing a structure of a robot for transporting a substrate according to an embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a plan view showing a robot for transferring a substrate according to an embodiment of the present invention.
FIG. 3 is a perspective view showing the base structure of the substrate transport robot structure according to one embodiment of the present invention.
FIG. 4 is a plan view of a principal part of a base structure of a robot for substrate transport according to an embodiment of the present invention.
FIG. 5 is a plan view showing a state where a shaft rotation direction is switched through a base structure of a substrate transfer robot structure according to an embodiment of the present invention. FIG.
이하, 첨부된 도면에 의거 본 발명을 상세히 설명하면 다음과 같다.DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
도 1 내지 도 5에서 나타낸 것과 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 반송용 로봇구조는 지면에 배치되고 레일부(11)를 갖는 기대(10)와, 상기 기대(10)의 레일부(11)를 따라 슬라이딩되는 메인베이스(20)와, 상기 메인베이스(20)의 상부에 배치되고 복수의 링크(31)로 연결되어 상하로 승강되는 승강부(30) 및 상기 승강부(30)의 상부에 배치되어 선회되고 핸드부(41)가 마련된 선회부(40)를 포함하여 구성되는 기판 반송용 로봇구조에 있어서, 상기 승강부(30)가 상기 메인베이스(20)에 대해 축 회전되면서 방향 전환이 가능하게 되는 구조로 되어 있다.1 to 5, the substrate transfer robot structure according to an embodiment of the present invention includes a
여기서, 상기 승강부(30)의 하단부에는 상기 메인베이스(20) 상에 안착된 상태로 축 회전되는 보조베이스(50)가 마련되어 있다.Here, an
그리고, 상기 메인베이스(20)와 보조베이스(50)에 각각 상기 보조베이스(50)가 메인베이스(20)에 대해 축 회전되어 소정의 회전각만큼 축 회전 방향이 전환되는 것을 조절하기 위한 방향조절부와, 상기 보조베이스(50)가 상기 메인베이스(20)에 대해 축 회전 방향이 조절된 상태에서 서로를 고정시키기 위한 고정부가 각각 마련되어 있다.The
그리고, 상기 방향조절부는, 상기 보조베이스(50)가 상기 메인베이스(20)의 중심축을 기준으로 축 회전되는 상기 보조베이스(50)와 메인베이스(20) 상의 동심 원호 방향을 따라 각각 소정 간격 이격 형성된 복수의 방향조절홀(51,21) 및 상기 보조베이스(50)가 메인베이스(20) 상에서 소정 각도 축 회전되어 상기 서로의 방향조절홀(51,21)들이 상하로 일치된 상태에서 상기 방향조절홀(51,21)들로 삽입시켜 축 회전 방향이 전환된 상태의 보조베이스(50)가 상기 메인베이스(20)에 대해 방향 전환이 완료되도록 하는 방향조절키(60)를 포함하여 구성된다. The direction adjusting unit is disposed at a predetermined interval along the concentric arcuate direction on the
그리고, 상기 각각의 방향조절홀(51,21)들은 미리 설정된 각도만큼 이격 배치될 수 있다. The
여기서, 상기 방향조절키(60)는, 상기 상하로 일치된 메인베이스(20)와 보조베이스(50)의 방향조절홀(21,51)들의 상부에서 하방으로 삽입 관통시켜 걸리도록 하는 볼트(61)와, 상기 메인베이스(20)의 방향조절홀(21) 하방으로 돌출된 상기 볼트(61)에 체결하여 고정되는 너트(62)를 포함하여 구성된다.The
그리고, 상기 고정부는, 상기 보조베이스(50)의 소정 부위에 형성된 고정홀(52)과, 상기 보조베이스(50)가 메인베이스(20)의 중심축을 기준으로 축 회전되는 상기 고정홀(52) 직하방의 상기 메인베이스(20) 상에 원호 방향을 따라 형성된 호형슬릿(22) 및 상기 고정홀(52)과 호형슬릿(22)을 관통한 상태에서 보조베이스(50)가 메인베이스(20) 상에서 소정 각도 축 회전되는 것을 가이드 한 후 상기 보조베이스(50)가 상기 메인베이스(20)에 고정되도록 하는 고정키(70)를 포함하여 구성된다.The fixing portion includes a
여기서, 상기 고정키(70)는, 상기 상하로 일치된 보조베이스(50)와 메인베이스(20)의 고정홀(52)과 호형슬릿(22)의 상부에서 하방으로 삽입 관통시켜 걸리도록 하는 볼트(71)와, 상기 메인베이스(20)의 호형슬릿(22) 하방으로 돌출된 상기 볼트(71)에 체결하여 고정되는 너트(72)를 포함한다.The
이러한 구성에 따른 본 발명의 일 실시예인 기판 반송용 로봇구조의 핸드부의 위치 보정 과정을 살펴보면, 우선 핸드부(41)의 보정하고자 하는 위치에 대응해서 상기 승강부(30) 하단의 보조베이스(50)를 원하는 방향으로 축 회전시킨다.The position of the
이때, 상기 보조베이스(50)의 고정홀(52)과 그 직하방의 메인베이스(20)의 호형슬릿(22)에는 고정키(70)가 관통된 상태로 배치되어 상기 메인베이스(20)에 대한 보조베이스(50)의 축 회전시 상기 고정키(70)가 상기 호형슬릿(22)을 따라 이동되면서 상기 보조베이스(50)의 축 회전을 가이드하게 된다. At this time, the
그러고 나서, 상기 원하는 방향으로 이동한 후 상기 보조베이스(50)와 메인베이스(20)의 방향조절홀(51,21)이 상하 동일선상에서 일치하게 되면 상기 방향조절키(60)를 삽입 체결하여 방향 조절을 완성한다.Then, when the
그런 다음, 상기 고정키(70)의 너트(72)를 체결하여 상기 보조베이스(50)가 상기 메인베이스(20)에 고정되도록 함으로써 전체적인 핸드부(41)의 위치 보정 작업을 완료할 수 있게 된다. Then, the
위와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 반송용 로봇구조는 메인베이스와, 상기 메인베이스의 상부에 배치되고 복수의 링크로 연결되어 상하로 승강되는 승강부 및 상기 승강부의 상부에 배치되어 선회되고 핸드부가 마련된 선회부를 포함하는 구조에서 상기 승강부가 상기 메인베이스에 대해 축 회전되면서 방향 전환이 가능하게 되도록 함으로써, 기본적으로 승강부의 링크들이 기대에 대한 메인베이스의 진행방향과 평행 또는 직각이 아닌 임의의 각도로 배치할 수 있게 되면서 핸드부의 좌우 방향으로의 위치 보정이 가능하게 되어 작업범위 확장을 도모할 수 있게 되면서 결과적으로 작업능률 향상으로 이어지게 되는 것이다.As described above, the substrate transport robot structure according to an embodiment of the present invention includes a main base, a lift unit disposed above the main base and connected by a plurality of links and vertically lifted and lowered, In the structure including the swivel portion provided with the hand portion, the elevation portion is rotatable with respect to the main base so that the direction can be changed. Basically, the links of the elevation portion are arbitrary So that it is possible to correct the position of the hand unit in the left and right direction, and the work range can be expanded. As a result, the work efficiency can be improved.
이상에서와 같이, 본 발명은 상기의 바람직한 실시예를 들어 설명하였으나, 이러한 실시예를 종래의 공지 기술과 단순히 조합 적용한 변형예는 물론 본 발명의 특허청구범위와 상세한 설명에서 본 발명이 속하는 기술 분야의 당업자가 용이하게 변경하여 이용할 수 있는 모든 기술들은 본 발명의 기술범위에 당연히 포함된다고 보아야 할 것이다.
While the present invention has been particularly shown and described with reference to exemplary embodiments thereof, it is clearly understood that the same is by way of illustration and example only and is not to be taken by way of limitation, It should be understood that all of the techniques that can be easily changed and used by those skilled in the art are included in the technical scope of the present invention.
**도면의 주요부분에 대한 부호의 설명**
10 : 기대 11 : 레일부
20 : 메인베이스 21 : 방향조절홀
22 : 호형슬릿 30 : 승강부
31 : 링크 40 : 선회부
41 : 핸드부 50 : 보조베이스
51 : 방향조절홀 52 : 고정홀
60 : 방향조절키 61 : 볼트
62 : 너트 70 : 고정키
71 : 볼트 72 : 너트DESCRIPTION OF REFERENCE NUMERALS
10: Expectation 11: Le Mans
20: main base 21: direction adjusting hole
22: arc-shaped slit 30:
31: Link 40:
41: hand unit 50: auxiliary base
51: Direction adjusting hole 52: Fixing hole
60: Direction control key 61: Bolt
62: nut 70: fixed key
71: bolt 72: nut
Claims (7)
상기 기대의 레일부를 따라 슬라이딩되는 메인베이스;
상기 메인베이스의 상부에 배치되고 복수의 링크로 연결되어 상하로 승강되는 승강부; 및
상기 승강부의 상부에 배치되어 선회되고 핸드부가 마련된 선회부;
를 포함하여 구성되는 기판 반송용 로봇구조에 있어서,
상기 승강부가 상기 메인베이스에 대해 축 회전되면서 방향 전환이 가능하게 되고,
상기 승강부의 하단부에 상기 메인베이스 상에 안착된 상태로 축 회전되는 보조베이스가 마련되며,
상기 메인베이스와 보조베이스에 각각 상기 보조베이스가 메인베이스에 대해 축 회전되어 소정의 회전각만큼 축 회전 방향이 전환되는 것을 조절하기 위한 방향조절부와, 상기 보조베이스가 상기 메인베이스에 대해 축 회전 방향이 조절된 상태에서 서로를 고정시키기 위한 고정부가 각각 마련된 것을 특징으로 하는 기판 반송용 로봇구조. A base disposed on the ground and having a rail portion;
A main base sliding along a rail portion of the base;
A lifting unit disposed on the main base and connected to the plurality of links and lifted up and down; And
A swivel portion disposed at an upper portion of the elevating portion and provided with a swiveled hand portion;
Wherein the substrate transfer robot structure comprises:
The elevation portion is axially rotated with respect to the main base,
An auxiliary base which is axially rotated in a state of being mounted on the main base is provided at a lower end portion of the elevating portion,
A direction adjusting unit for adjusting the axis rotation direction of the main base and the auxiliary base so that the auxiliary base is axially rotated with respect to the main base so as to change the shaft rotational direction by a predetermined rotational angle; And a fixing portion for fixing the mutually fixed portions in a state in which the direction is adjusted.
상기 방향조절부는,
상기 보조베이스가 상기 메인베이스의 중심축을 기준으로 축 회전되는 상기 보조베이스와 메인베이스 상의 동심 원호 방향을 따라 각각 소정 간격 이격 형성된 복수의 방향조절홀; 및
상기 보조베이스가 메인베이스 상에서 소정 각도 축 회전되어 상기 서로의 방향조절홀들이 상하로 일치된 상태에서 상기 방향조절홀들로 삽입시켜 축 회전 방향이 전환된 상태의 보조베이스가 상기 메인베이스에 대해 방향 전환이 완료되도록 하는 방향조절키;
를 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 기판 반송용 로봇구조.The method according to claim 1,
The direction-
A plurality of direction adjusting holes spaced apart from each other along the concentric arc direction on the main base, the auxiliary base being axially rotated about the central axis of the main base; And
The auxiliary base is rotated in a predetermined angle on the main base to insert the auxiliary base in the direction adjusting holes in a state where the direction adjusting holes are vertically aligned with each other, A direction control key for causing the switching to be completed;
Wherein the substrate transfer robot structure comprises:
상기 방향조절키는,
상기 상하로 일치된 메인베이스와 보조베이스의 방향조절홀들의 상부에서 하방으로 삽입 관통시켜 걸리도록 하는 볼트와,
상기 메인베이스의 방향조절홀 하방으로 돌출된 상기 볼트에 체결하여 고정되는 너트를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 반송용 로봇구조.5. The method of claim 4,
The direction-
A bolt inserted and threaded downward from an upper portion of the direction adjusting holes of the vertically aligned main base and the auxiliary base,
And a nut fastened to the bolt protruded below the direction adjusting hole of the main base to be fixed thereto.
상기 고정부는,
상기 보조베이스의 소정 부위에 형성된 고정홀;
상기 보조베이스가 메인베이스의 중심축을 기준으로 축 회전되는 상기 고정홀 직하방의 상기 메인베이스 상에 원호 방향을 따라 형성된 호형슬릿; 및
상기 고정홀과 호형슬릿을 관통한 상태에서 보조베이스가 메인베이스 상에서 소정 각도 축 회전되는 것을 가이드 한 후 상기 보조베이스가 상기 메인베이스에 고정되도록 하는 고정키;
를 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 기판 반송용 로봇구조.The method according to claim 1,
The fixing unit includes:
A fixing hole formed in a predetermined portion of the auxiliary base;
An arc-shaped slit formed along a circular arc on the main base directly below the stationary hole, the arc-shaped base being axially rotated about a center axis of the main base; And
A fixing key for fixing the auxiliary base to the main base after guiding the auxiliary base through a predetermined angle on the main base in a state of passing through the fixing hole and the arc-shaped slit;
Wherein the substrate transfer robot structure comprises:
상기 고정키는,
상기 상하로 일치된 보조베이스와 메인베이스의 고정홀과 호형슬릿의 상부에서 하방으로 삽입 관통시켜 걸리도록 하는 볼트와,
상기 메인베이스의 호형슬릿 하방으로 돌출된 상기 볼트에 체결하여 고정되는 너트를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 반송용 로봇구조.The method according to claim 6,
Wherein the fixed key comprises:
A bolt for passing through the fixing hole of the main base and the upper portion of the arcuate slit so as to be inserted downward through the vertically aligned auxiliary base and the main base,
And a nut fastened to the bolt protruded below the arcuate slit of the main base to be fixed thereto.
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|---|---|---|---|
| KR1020120121020A KR101851804B1 (en) | 2012-10-30 | 2012-10-30 | Transfer robot structure for substrate |
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