KR101851143B1

KR101851143B1 - Stage sweeping apparatus

Info

Publication number: KR101851143B1
Application number: KR1020100122630A
Authority: KR
Inventors: 박성모
Original assignee: 주식회사 탑 엔지니어링
Priority date: 2010-12-03
Filing date: 2010-12-03
Publication date: 2018-04-23
Also published as: KR20120061348A

Abstract

본 발명은 스테이지 청소장치에 관한 것으로서, 메시부재와, 상기 메시부재의 일측에 연결된 메시 연결부재를 포함하는 것을 특징으로 하므로, 한 번의 동작으로 스테이지에 부착된 이물질을 완벽하게 청소할 수 있을 뿐만 아니라, 스테이지에 접하는 메시부재의 단부가 뾰족하지 않아 스테이지를 손상시키는 경우가 없다는 이점이 있다. The present invention relates to a stage cleaning apparatus, which includes a mesh member and a mesh connecting member connected to one side of the mesh member, so that it is possible not only to completely clean the foreign substances attached to the stage in a single operation, There is an advantage that there is no case where the stage is damaged because the end portion of the mesh member contacting the stage is not sharp.

Description

[0001] STAGE SWEEPING APPARATUS [0002]

본 발명은 스테이지 청소장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 반도체 웨이퍼용 스테이지나 평판형 디스플레이 패널용 스테이지를 쓸어서 제거하기 위한 스테이지 청소장치에 관한 것이다.The present invention relates to a stage cleaning apparatus, and more particularly, to a stage cleaning apparatus for sweeping a stage for a semiconductor wafer or a stage for a flat panel display panel.

일반적으로, PDP, LCD, LED, 유기EL패널, 무기EL패널, 투과형 프로젝터 기판, 반사형 프로젝터 기판 등 평판형 디스플레이 패널은 유리와 같은 취성의 글래스 패널을 소정 크기로 절단함으로써 얻어지며, 상기 글래스 패널의 절단공정은 글래스 패널보다 경도가 높은 다이아몬드 등으로 이루어진 공구(이하, "스크라이빙 휠"이라 함)를 이용하여 기판의 표면에 스크라이빙 라인을 형성하는 스크라이빙(Scribing) 공정과, 상기 글래스 패널을 가압하여 휨 모멘트를 가하거나 스크라이빙 라인의 크랙(바람직하게는 '수직크랙'을 말한다) 주위를 가열 또는 냉각시켜 절단하는 브레이킹 공정을 포함한다.In general, a flat panel display panel such as a PDP, an LCD, an LED, an organic EL panel, an inorganic EL panel, a transmissive projector substrate, and a reflective projector substrate is obtained by cutting a brittle glass panel such as glass to a predetermined size, A scribing step of forming a scribing line on the surface of the substrate using a tool made of diamond or the like having a hardness higher than that of the glass panel (hereinafter, referred to as a "scribing wheel"), And a breaking process in which the glass panel is pressed to apply a bending moment or to heat or cool the periphery of a crack (preferably, referred to as a 'vertical crack') of the scribing line.

이와 같이 스크라이빙 공정과 브레이킹 공정을 거치면서 글래스 패널로부터 떨어져 나간 미세한 유리 조각이 스테이지에 부착될 수 있고, 이러한 유리조각이 후속하는 글래스 패널과 스테이지 사이에 개재될 경우 글래스 패널에 스크래치가 발생하는 등 불량율이 크게 증가하는 단점이 있었다.As described above, fine glass pieces falling off the glass panel can be adhered to the stage through the scribing process and the braking process, and scratches may occur on the glass panel when such glass pieces are interposed between the following glass panel and the stage And the like.

종래에는 상기 스테이지를 청소하기 위한 장치로서 브러시(brush)를 많이 사용했으며 그 대표적인 예를 도 1a와 도 1b에 도시하였다.Conventionally, a brush is often used as an apparatus for cleaning the stage, and representative examples thereof are shown in FIGS. 1A and 1B.

도 1a와 도 1b에 도시한 바와 같이, 종래의 스테이지 청소장치(10)는 브러시 고정부재(12)와, 상기 브러시 고정부재(12)에 결합된 브러시(11)로 구성되어 있어, 상기 스테이지 청소장치(10)를 웨이퍼나 글래스 패널의 이송방향으로 이동시킴으로써 브러시(11)가 스테이지(S)에 잔류하는 이물질을 쓸어내는 방식을 채택했다.1A and 1B, a conventional stage cleaning apparatus 10 includes a brush fixing member 12 and a brush 11 coupled to the brush fixing member 12, The apparatus 10 is moved in the direction of conveyance of the wafer or the glass panel so that the brush 11 sweeps away the foreign matter remaining on the stage S.

그러나 이와 같은 종래의 청소방식에 따르면, 브러시(11)가 다수의 가느다란 구성요소들로 이루어져 있기 때문에 한 번의 작용으로 이물질을 모두 쓸어내지 못하고 다수 회 이동해야 했으므로 작업시간이 연장되고 소요동력이 커지는 단점이 있었다.However, according to the conventional cleaning method, since the brush 11 is composed of a plurality of slender components, it is necessary to move the brush 11 a number of times without sweeping all the foreign substances by a single action. Therefore, the working time is prolonged, There were disadvantages.

또한 브러시(11) 선단이 뾰족하게 형성되어 있어 스테이지(S)에 스크래치 등 손상을 발생시키는 문제도 있었다.In addition, there is a problem that scratches or the like are generated on the stage S because the tips of the brushes 11 are sharp.

본 발명은 전술한 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로서, 발명의 목적은 한 번의 동작으로 스테이지에 부착된 이물질을 쓸어서 제거할 수 있고 스테이지에 손상을 주지 않는 스테이지 청소장치를 제공하는데 있다.SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to provide a stage cleaning apparatus capable of sweeping and removing foreign matter adhered to a stage in a single operation without damaging the stage.

전술한 목적을 달성하기 위해, 본 발명에 따른 스테이지 청소장치는 메시부재와, 상기 메시부재의 일측에 연결된 메시 연결부재를 포함하는 것을 특징으로 한다.
In order to achieve the above object, a stage cleaning apparatus according to the present invention is characterized by including a mesh member and a mesh connecting member connected to one side of the mesh member.

상기 메시부재는 수지로 이루어진 것을 특징으로 한다.
And the mesh member is made of a resin.

그리고, 상기 수지의 표면에는 카본 코팅이 적용된 것을 특징으로 한다.
A carbon coating is applied to the surface of the resin.

또한, 상기 메시 연결부재를 수용하는 이물질 수거함이 추가적으로 배치되는 것을 특징으로 한다.
Further, a foreign matter collecting box for receiving the mesh connecting member is additionally disposed.

또한, 상기 이물질 수거함에는 흡입장치가 연결된 것을 특징으로 한다.
Further, a suction device is connected to the foreign matter collection box.

또한, 상기 메시 연결부재를 관통하여 상기 스테이지를 향하는 공기분사공과, 상기 공기분사공과 연결된 공기분사장치를 포함하는 것을 특징으로 한다.
The apparatus further includes an air injection hole passing through the mesh connecting member toward the stage and an air injection device connected to the air injection hole.

또한, 상기 메시부재와 메시 연결부재는 상기 스테이지의 폭방향을 따라 연장 형성되어 있는 것을 특징으로 한다.
Further, the mesh member and the mesh connecting member are formed to extend along the width direction of the stage.

또한, 상기 이물질 수거함에는 수평이송장치가 연결되어 있는 것을 특징으로 한다.
In addition, a horizontal transport device is connected to the foreign matter collection box.

또한, 상기 수평이송장치는 상기 이물질 수거함의 이동을 안내하는 가이드와, 상기 이물질 수거함을 이동시키는 구동부로 이루어진 것을 특징으로 한다.
In addition, the horizontal transfer device may include a guide for guiding movement of the foreign matter collection box, and a driving unit for moving the foreign matter collection box.

또한, 상기 구동장치는 압력실린더 또는 모터를 포함하는 것을 특징으로 한다.
Further, the driving device may include a pressure cylinder or a motor.

또한, 상기 이물질 수거함을 상기 스테이지를 향해 이동시키는 승강장치가 추가로 설치되어 있는 것을 특징으로 한다.
Further, a lift device for moving the foreign material collection box toward the stage is additionally provided.

또한, 상기 메시부재는 상기 메시 연결부재에 대하여 수평회전이 가능하게 구성된 것을 특징으로 한다.
Further, the mesh member is configured to be horizontally rotatable with respect to the mesh connecting member.

또한, 상기 메시부재의 단면형상은 중공형으로 형성될 수 있다.
In addition, the cross-sectional shape of the mesh member may be formed in a hollow shape.

또한, 상기 메시부재의 단면형상은 스테이지에 접촉하는 부분이 볼록한 선형으로 형성될 수 있다.In addition, the cross-sectional shape of the mesh member may be formed in a convex linear shape at a portion contacting the stage.

전술한 바와 같은 구성의 본 발명에 따르면, 한 번의 동작으로 스테이지에 부착된 이물질을 완벽하게 청소할 수 있다는 이점이 있다.According to the present invention having the above-described constitution, there is an advantage that the foreign substance adhered to the stage can be cleaned completely in a single operation.

또한, 본 발명에 따르면 스테이지에 접하는 메시부재의 단부가 뾰족하지 않아 스테이지를 손상시키는 경우가 없다. Further, according to the present invention, there is no case where the edge of the mesh member in contact with the stage is not sharp, and the stage is not damaged.

또한, 본 발명에 따르면 메시부재가 수지로 구성되면 외력이 작용하지 않는 경우 스스로 변형하는 것을 방지할 수 있다.Further, according to the present invention, when the mesh member is made of resin, it can be prevented from being deformed by itself when an external force does not act.

또한, 상기 메시부재의 표면에 카본 코팅이 적용되면 스테이지와의 접촉부에서 정전기가 방지됨으로써 이물질의 제거가 한층 용이하다는 이점이 있다.In addition, when the carbon coating is applied to the surface of the mesh member, static electricity is prevented at the contact portion with the stage, thereby facilitating the removal of foreign matter.

또한, 상기 메시 연결부재를 수용하는 이물질 수거함이 추가적으로 배치되면 이물질을 수용한 후 한번에 제거할 수도 있고 이물질이 주위로 비산하는 것도 방지할 수 있다.In addition, if the foreign object collection box for receiving the mesh connection member is additionally disposed, the foreign object can be removed at one time after the foreign object is received, and foreign matter can be prevented from scattering around.

또한, 상기 이물질 수거함에 흡입장치가 연결되는 경우 고속으로 이물질을 완벽하게 제거할 수 있는 이점도 있다.In addition, when the suction device is connected to the foreign matter collection box, there is an advantage that the foreign matter can be completely removed at high speed.

또한, 상기 메시 연결부재를 관통하여 상기 스테이지를 향하는 공기분사공과, 상기 공기분사공과 연결된 공기분사장치를 포함하는 경우, 메시부재에 의해 이물질을 쓸어내는 동시에 공기분사에 의해 이물질이 탈락되는 것을 도우므로 이물질 제거효과가 한층 확실하게 된다.In addition, in the case of including the air injection hole penetrating the mesh connecting member toward the stage and the air injection device connected to the air injection hole, foreign matter is swept away by the mesh member, and at the same time foreign matter is removed by air injection So that the effect of removing the foreign matter is further enhanced.

또한, 상기 이물질 수거함을 수평으로 이송하는 수평이송장치가 설치되어 있는 경우 균일한 속도로 이물질을 제거함으로써 한층 완벽한 청소이 가능하다는 이점도 있다.In addition, when the horizontal conveying device for horizontally conveying the foreign matter collection box is installed, there is an advantage that more thorough cleaning can be performed by removing foreign matter at a uniform speed.

또한, 이물질 수거함을 스테이지를 향해 이동시키는 승강장치가 설치되어 있는 경우 메시부재의 스테이지에 대한 최적의 가압력을 설정하여 이물질 제거를 한층 완벽하게 수행할 수 있다.In addition, when the lifting device for moving the foreign matter collection box toward the stage is provided, it is possible to set the optimal pressing force for the stage of the mesh member to perform the foreign matter removal more completely.

도 1a는 종래기술에 따른 스테이지 청소장치의 일 예를 나타내는 사시도이다.
도 1b는 도 1a의 스테이지 청소장치에 의해 스테이지가 청소되는 구성을 나타내는 측면도이다.
도 2a는 본 발명에 따른 스테이지 청소장치로서 메시 연결부재와 메시부재가 연결된 구성을 나타내는 일 예를 나타내는 사시도이다.
도 2b는 본 발명에 따른 스테이지 청소장치로서 메시 연결부재와 메시부재가 연결된 구성을 나타내는 다른 예를 나타내는 사시도이다.
도 3은 본 발명에 따른 스테이지 청소장치의 다른 예를 나타내는 사시도이다.
도 4는 본 발명에 따른 스테이지 청소장치의 또 다른 예를 나타내는 사시도이다.
도 5는 본 발명에 따른 스테이지 청소장치의 또 다른 예를 나타내는 사시도이다.1A is a perspective view showing an example of a stage cleaning apparatus according to the prior art.
Fig. 1B is a side view showing a configuration in which the stage is cleaned by the stage cleaning apparatus of Fig. 1A.
2A is a perspective view showing an example of a structure in which a mesh connecting member and a mesh member are connected to each other as a stage cleaning apparatus according to the present invention.
FIG. 2B is a perspective view showing another example of a structure for connecting a mesh connecting member and a mesh member as a stage cleaning apparatus according to the present invention. FIG.
3 is a perspective view showing another example of the stage cleaning apparatus according to the present invention.
4 is a perspective view showing still another example of the stage cleaning apparatus according to the present invention.
5 is a perspective view showing still another example of the stage cleaning apparatus according to the present invention.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명한다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 2a 내지 도 5에는 본 발명의 실시예에 따른 스테이지 청소장치의 구성이 상세히 개시되어 있다.FIGS. 2A to 5 show the structure of a stage cleaning apparatus according to an embodiment of the present invention in detail.

도 2a와 도 2b에 도시한 바와 같이, 본 발명에 따른 스테이지 청소장치(100)는, 메시부재(110)와, 상기 메시부재(110)의 일측에 연결된 메시 연결부재(120)를 포함한다.2A and 2B, a stage cleaning apparatus 100 according to the present invention includes a mesh member 110 and a mesh connecting member 120 connected to one side of the mesh member 110. As shown in FIG.

상기 메시부재(110)는 스테이지(S, 도 3 참조)의 표면이나 이면에 접촉하여 이동하면서 이물질을 제거하는 구성요소로서 외력이 작용하지 않을 경우 소정의 단면형상을 가지게 된다.The mesh member 110 is a component for removing foreign substances while moving in contact with the surface or back surface of the stage S (see FIG. 3), and has a predetermined cross-sectional shape when no external force acts.

상기 메시부재(110)의 단면형상은, 도 2a에 도시한 바이 같은 메시 연결부재(120)에 양측 테두리가 연결되어 중공형으로 이루어지거나, 도 2b에 도시한 바와 같이 일측 테두리만이 연결되어 선형으로 이루어질 수 있다.The cross-sectional shape of the mesh member 110 may be a hollow shape in which both side edges are connected to a mesh connecting member 120 such as the one shown in FIG. 2A, or only one side edge is connected as shown in FIG. &Lt; / RTI >

특히 도 2b에 도시한 바와 같이, 상기 메시부재(110)의 단면형상이 선형인 경우에는 상기 스테이지(S)에 접촉하는 부분이 볼록하게 절곡되어 스테이지(S)에 손상을 주는 경우가 없도록 하는 것이 좋다.In particular, as shown in FIG. 2B, when the cross-sectional shape of the mesh member 110 is linear, the portion contacting the stage S is convexly bent so as not to damage the stage S good.

구체적으로, 상기 메시부재(100)는 외력이 작용하지 않을 경우 원래의 형상을 유지하며, 실제 스테이지(S)에 접한 상태에서 이동할 경우 스테이지(S)에 의한 반력이 작용하므로 접촉하는 부분에서 변형이 이루어지도록 유연성을 함께 구비하는 것이 바람직하다.Specifically, the mesh member 100 maintains its original shape when no external force is applied. Since the reaction force of the stage S acts when the mesh member 100 actually moves in contact with the stage S, It is preferable to have flexibility so as to be realized.

상기 메시부재(110)의 소재로는 수지(플라스틱)이 바람직하며, 보다 바람직하게는 상기 수지의 표면에 카본 코팅이 적용된 것이 좋다.As the material of the mesh member 110, a resin (plastic) is preferable, and more preferably, a carbon coating is applied to the surface of the resin.

상기 카본 코팅에 의해 스테이지(S)와의 접촉부에서 정전기를 제거할 수 있으므로 유착된 이물질을 한층 용이하게 제거할 수 있다.Since the static electricity can be removed at the contact portion with the stage S by the carbon coating, the foreign substances adhered can be removed more easily.

도 3에 도시한 바와 같이, 상기 메시부재(110)와 메시 연결부재(120)는 상기 스테이지(S)의 폭방향을 따라 연장 형성되어 있어 한번의 동작에 이물질이 다량 제거될 수 있도록 하는 것이 좋다. 물론, 메시부재(110)의 길이를 충분히 크게 할 수 없는 경우에는 스테이지(S)의 폭방향으로 이동한 상태에서 추가적인 작동이 이루어지도록 할 수 있다.3, the mesh member 110 and the mesh connecting member 120 are formed to extend along the width direction of the stage S so that a large amount of foreign matter can be removed in a single operation . Of course, when the length of the mesh member 110 can not be made sufficiently large, additional operation can be performed in a state of moving in the width direction of the stage S.

한편, 상기 메시 연결부재(120)를 수용하고, 메시부재(110)쪽에 개구(131)가 형성된 이물질 수거함(130)이 추가적으로 배치되는 것이 바람직하다. 이 경우 상기 개구(131)와 스테이지(S) 사이의 간격을 최소화하여 스테이지(S)로부터 탈락된 이물질이 주위로 비산하는 것을 방지하도록 하는 것이 좋다.It is preferable that a foreign matter collection box 130 accommodating the mesh connecting member 120 and having an opening 131 on the side of the mesh member 110 is additionally disposed. In this case, the distance between the opening 131 and the stage S may be minimized to prevent the foreign substances separated from the stage S from scattering around.

상기 이물질 수거함(130)에 의해, 스테이지(S)로부터 제거된 이물질이 주변으로 비산하는 경우를 방지할 수 있고 이물질 수거함(130)의 바닥에 떨어진 이물질을 한꺼번에 제거할 수 있다.Foreign matter removed from the stage S can be prevented from scattering to the periphery by the foreign matter collecting box 130 and the foreign substances dropped on the bottom of the foreign matter collecting box 130 can be removed at once.

특히, 상기 이물질 수거함(130)에는 흡입구멍(132)을 형성하고 상기 흡입구멍(132)에는 흡입장치(150)를 연결함으로써 이물질 수거함(130)의 바닥에 떨어지거나 부유하는 이물질을 별도의 배출공간(미도시)으로 흡입하는 것이 좋다.Particularly, the suction hole 132 is formed in the foreign matter collecting box 130 and the suction device 150 is connected to the suction hole 132, so that the foreign matter falling or floating on the bottom of the foreign matter collecting box 130 is separated into a separate discharge space (Not shown).

또 다른 실시예로서, 상기 이물질 수거함(130)의 내부에 물 등 액체를 수용하여 이물질이 부유하는 것 자체를 방지하고, 추후 이물질이 포함된 물을 바닥에서 배출시키는 방식을 채택할 수도 있다.As another embodiment, it is also possible to adopt a method of preventing foreign matter from being floated by receiving a liquid such as water in the foreign matter collection box 130, and discharging water containing foreign matter later from the floor.

이 경우, 상기 이물질 수거함(130)에는 펌프(미도시)를 연결하여 물과 이물질이 함께 배출되도록 하는 것이 좋다.In this case, it is preferable that a pump (not shown) is connected to the foreign matter collection box 130 so that water and foreign matter are discharged together.

또한 도 4에 도시한 바와 같이, 상기 메시 연결부재(120)에는 상기 메시부재(110)를 관통하며 분사구가 상기 스테이지(S)를 향하는 공기분사공(122)이 형성될 수 있다. 상기 공기분사공(122)을 통해 공기를 스테이지(S)를 향해 분사하면 스테이지(S)에 부착된 이물질을 한층 용이하게 분리할 수 있다.4, the mesh connecting member 120 may be provided with an air injection hole 122 passing through the mesh member 110 and having an injection port directed toward the stage S. As shown in FIG. When the air is injected toward the stage S through the air injection hole 122, the foreign matter adhered to the stage S can be more easily separated.

한편 도 3과 도 5에 도시한 바와 같이, 상기 이물질 수거함(130)에는 수평이송장치(140)가 연결되어 있어 청소을 위한 이송이 이루어지게 되어 있다.3 and 5, the horizontal transfer unit 140 is connected to the foreign material collection box 130 so as to be transferred for cleaning.

상기 수평이송장치(140)는 상기 이물질 수거함(130)의 이동을 안내하는 가이드(141)와, 상기 이물질 수거함(130)을 이동시키는 구동장치(142)로 이루어져 있다.The horizontal transfer device 140 includes a guide 141 for guiding the movement of the foreign object collection box 130 and a driving device 142 for moving the foreign object collection box 130.

상기 구동장치(142)는 압력실린더(도 5 참조) 또는 모터로 이루어질 수 있다. 상기 구동장치(142)로서 모터는 선형모터(도 3 참조)를 사용하든지, 회전모터(미도시)에 피니언을 연결하고 래크와 맞물리게 함으로써 구성할 수 있다.The driving device 142 may be a pressure cylinder (see FIG. 5) or a motor. The motor as the driving device 142 may be constituted by using a linear motor (see FIG. 3), or by connecting a pinion to a rotating motor (not shown) and engaging with the rack.

또한, 도 5에 도시한 바와 같이, 상기 이물질 수거함(130)을 스테이지(S)를 향해 상승 또는 하강 이동시키는 승강장치(160)가 추가로 설치되는 것이 바람직하다. 이와 같이 구성하면, 상기 메시부재(110)의 스테이지(S)에 대한 최적의 가압력을 설정하여 이물질 제거를 한층 완벽하게 수행할 수 있다.5, it is preferable that a lifting device 160 for moving the foreign object collecting box 130 toward or away from the stage S is further provided. With such a configuration, it is possible to set the optimal pressing force for the stage S of the mesh member 110 to perform the foreign matter removal more completely.

또한, 상기 메시부재(110)는 메시 연결부재(120)에 대하여 수평회전이 가능하게 구성된 것이 좋다. 이와 같이 구성하면, 메시부재(110)가 스테이지(S)에 대하여 가장 이송저항이 작고 청소효과가 좋은 자세에서 청소을 위한 이송이 이루어질 수 있다.The mesh member 110 may be configured to be horizontally rotatable with respect to the mesh connecting member 120. With this configuration, the mesh member 110 can be conveyed for cleaning in a posture having the smallest transfer resistance with respect to the stage S and having a good cleaning effect.

상기 메시 연결부재(120)에 대한 메시부재(110)의 수평 회전은, 수동으로 소정 각도 회전시킨 후 고정하는 방식이나 스텝모터 등에 의해 회전하는 방식을 채택할 수 있다.The horizontal rotation of the mesh member 110 with respect to the mesh connecting member 120 may be manually rotated by a predetermined angle and then fixed or may be rotated by a step motor or the like.

또한, 도면에서는 스테이지 청소장치가 스테이지(S)의 하부에 배치된 구성이 도시되어 있으나 스테이지(S)의 상부에 배치된 구성으로 하는 것도 물론 가능하다.Although the stage cleaning apparatus is shown as being disposed at the lower portion of the stage S in the drawing, it is also possible to arrange the stage cleaning apparatus at the upper portion of the stage S.

100... 스테이지 청소장치
110... 메시부재
120... 메시 연결부재
130... 이물질 수거함
140... 수평이송장치
141... 가이드
142... 구동장치
S... 스테이지100 ... stage cleaning device
110 ... mesh member
120 ... mesh connecting member
130 ... Dust Collector
140 ... horizontal conveying device
141 ... Guide
142 ... driving device
S ... stage

Claims

A mesh member;
A mesh connecting member connected to one side of the mesh member;
A foreign matter collection box for receiving the mesh connection member; And
A suction device connected to the foreign matter collection box;
/ RTI >
here,
Wherein the foreign matter collecting box includes an opening on the mesh member side, and a part of the mesh member is exposed through the opening,
Stage cleaning device.

The method according to claim 1,
Wherein the mesh member is made of resin.

3. The method of claim 2,
Wherein a carbon coating is applied to the surface of the resin.

delete

The method according to claim 1,
Wherein the stage cleaning device includes an air injection hole passing through the mesh connecting member toward the stage and an air injection device connected to the air injection hole.

The method according to claim 1,
Wherein the mesh member and the mesh connecting member extend along the width direction of the stage.

The method according to claim 1,
Wherein the foreign matter collection box is connected to a horizontal transfer device.

9. The method of claim 8,
Wherein the horizontal transfer device comprises: a guide for guiding movement of the foreign matter collection box; and a driving part for moving the foreign matter collection box.

10. The method of claim 9,
Wherein the driving unit is a pressure cylinder or a motor.

9. The method of claim 8,
And a lift device for moving the foreign material collection box toward the stage is additionally provided.

4. The method according to any one of claims 1 to 3,
Wherein the mesh member is configured to be horizontally rotatable with respect to the mesh connecting member.

4. The method according to any one of claims 1 to 3,
Wherein the cross-sectional shape of the mesh member is a hollow shape.

4. The method according to any one of claims 1 to 3,
Wherein the cross-sectional shape of the mesh member is convex linear at a portion contacting the stage.