KR101847713B1 - 정전척의 하부전극 샌딩 및 코팅 처리용 다축 로봇 시스템 - Google Patents

Abstract

본 발명은 정전척의 하부전극의 샌딩 및 코팅 처리가 로봇에 의해 자동화되어 하부전극의 제조 및 생산이 원활히 이루어지도록 하는 정전척의 하부전극 샌딩 및 코팅 처리용 다축 로봇 시스템에 관한 것으로, 본 로봇 시스템은 다축 로봇(10)과, 상기 다축 로봇(10)이 설치되는 수평대(20)와, 상기 수평대(20)의 하부에 설치되는 직교설치대(30)와, 상기 직교설치대(30)의 상부에 구비되는 이동본체(40)와, 상기 이동본체(40)에 설치되는 이동구동부(50)와, 상기 이동본체(40)의 상면에 설치되는 턴테이블(60)과, 상기 다축 로봇(10)의 단부에 설치되는 툴설치부(70)를 포함한다.

Description

정전척의 하부전극 샌딩 및 코팅 처리용 다축 로봇 시스템{MULTI-AXIAL ROBOT SYSTEM FOR SANDING AND COATING LOWER ELECTRODE OF AN ELECTROSTATIC CHUCK}

본 발명은 다축 로봇 시스템에 관한 것으로, 보다 상세하게는 정전척의 하부전극의 샌딩 및 코팅 처리가 로봇에 의해 자동화되어 하부전극의 제조 및 생산이 원활히 이루어지도록 하는 정전척의 하부전극 샌딩 및 코팅 처리용 다축 로봇 시스템에 관한 것이다.

일반적으로 정전척은 반도체 기판이나 LCD, OLED 기판 등을 흡착시키기 위하여 금속 기반(metal base)의 상면에 적층해서 형성된다. 그리고 정전척은 하부전극에 소정의 전압을 인가함으로써 정전척의 표면에 전하나 전계가 형성되어 이들 기판을 전기적인 힘으로 흡착한다.

이와 같은 정전척은 금속 기반 및 금속 기반의 상면측에 형성된 하부 절연층, 하부전극 및 상부 절연층을 구비한다. 금속 기반은 알루미늄, 구리, 스테인리스 등의 재질을 가진다.

하부 절연층 및 상부 절연층은 폴리이미드 등의 절연성 필름, 세라믹스 판 등 소정의 형상이나 막두께를 가진 것을 사용할 수 있다. 또한 하부 절연층 및 상부 절연층 알루미나 분말, 질화알루미늄 분말, 지르코니아 분말 등의 세라믹스 분말을 용사해서 형성해도 된다.

하부전극은 금속박 외에 스퍼터법, 이온 플레이팅법 등에 의해 성막한 금속을 소정의 형상으로 에칭하여 형성해도 되고, 도전성 금속의 용사나 페이스트상의 도전성 금속을 인쇄하거나 코팅하여 형성해도 된다.

이와 같은 정전척의 하부전극을 도전성 금속을 코팅하거나 이를 위해 표면을 샌딩하는 등의 가공 처리가 진행된다.

그런데, 상기와 같은 종래 기술에는 다음과 같은 문제점이 있었다.

종래의 정전척의 하부전극을 샌딩 및 코팅하기 위한 로봇화된 전자동 장비가 보급되지 않아 정전척의 하부전극 제조 및 생산에 많은 어려움이 있었다.

등록특허 제10-0960989호 "관내 용사 코팅 로봇"(2010.05.25)

이에 본 발명은 상기와 같은 종래의 제반 문제점을 해소하기 위해 안출된 것으로,

본 발명의 목적은, 정전척의 하부전극의 샌딩 및 코팅 처리가 로봇에 의해 자동화되어 하부전극의 제조 및 생산이 원활히 이루어지도록 하는 정전척의 하부전극 샌딩 및 코팅 처리용 다축 로봇 시스템을 제공함에 있다.

상기와 같은 목적을 달성하기 위해 본 발명에 따른 "정전척의 하부전극 샌딩 및 코팅 처리용 다축 로봇 시스템"은, 본체에 다수의 관절과 아암이 연결되어 상기 다수의 관절의 구동에 의해 상기 다수의 아암이 자동으로 각이동 및 회전되는 다축 로봇과; 상기 본체의 하면에 장착되는 받침대가 상면에 설치되고, 상기 받침대를 지면에서 상부측으로 이격시키도록 양단에 각각 장착되는 수직대가 설치되는 수평대와; 상기 수평대의 하부 중앙으로 지면에 직교되게 설치되고, 상면에 상호 대칭되면서 이격되는 한 쌍의 레일이 상기 수평대에 직교되게 길이방향으로 설치되는 직교설치대와; 상기 직교설치대의 상부에 구비되고, 상기 레일을 따라 이동되도록 하면 양측에 다수의 바퀴가 설치되는 수직 입방체 형태의 이동본체와; 상기 직교설치대와 이동본체의 사이에 설치되고, 상기 레일을 따라 상기 이동본체를 수평으로 이동시키는 이동구동부와; 상기 이동본체의 상면에 회전 가능하게 설치되고, 상면에 가공할 소재가 배치되는 턴테이블과; 상기 다축 로봇의 아암의 단부에 장착되고, 샌딩기 또는 코팅기가 장착되는 툴설치부를; 포함하는 것을 특징으로 한다.

또한, 본 발명에 따른 "정전척의 하부전극 샌딩 및 코팅 처리용 다축 로봇 시스템"의 상기 이동구동부는, 상기 직교설치대의 상면에 따라 길이방향으로 설치되고 일측면에 치형이 형성되는 레크와, 상기 레크에 맞물리고 수직으로 설치되는 피니언과, 상기 피니언이 회전 가능하게 장착되고 상기 이동본체에 설치되며 상기 피니언을 감속한 상태로 회전시키는 감속기와, 상기 감속기에 연결되고 상기 이동본체에 장착되는 구동모터를, 포함하는 것을 특징으로 한다.

또한, 본 발명에 따른 "정전척의 하부전극 샌딩 및 코팅 처리용 다축 로봇 시스템"의 상기 턴테이블은, 그 하면에 스핀들의 상단이 장착되고 하단이 상기 이동본체에 장착되는 회전모터와, 상기 회전모터의 양측으로 상기 턴테이블의 하면과 상기 이동본체의 상면 사이에 대칭되게 설치되는 다수의 회전베어링과, 상기 회전베어링의 양측으로 상기 턴테이블의 하면과 상기 이동본체의 상면 사이에 대칭되게 설치되는 다수의 구름베어링을, 포함하는 것을 특징으로 한다.

또한, 본 발명에 따른 "정전척의 하부전극 샌딩 및 코팅 처리용 다축 로봇 시스템"의 상기 툴설치부는, 상기 아암의 단부에 상단이 장착되고 수직으로 구비되는 수직부재와, 상기 수직부재의 하단에 수평으로 장착되는 수평부재와, 상기 수평부재의 단부 상면에서 직교되게 장착되고 각회전 가능하게 구비되는 각회전부재와, 상기 각회전부재의 단부에 수직으로 장착되고 외면에 샌딩기 또는 코팅기가 장착되는 툴설치부재를, 포함하는 것을 특징으로 한다.

또한, 본 발명에 따른 "정전척의 하부전극 샌딩 및 코팅 처리용 다축 로봇 시스템"의 상기 각회전부재는, 상기 수평부재의 상면에 직교되게 장착되고 일단에서 타단을 관통하여 중앙에 관통공이 형성되며 상기 관통공과 연통되면서 직교되게 외면에 90도의 각도로 가이드공이 형성되는 장착체와, 상기 관통공에 회전 가능하게 끼워지고 선단의 외주면에 나사산이 형성되는 외측 나선부를 가지며 선단 중앙에 수평으로 관통되어 내측에 나사산이 형성되는 내측 나선공을 가지고 상기 장착체의 단부에 걸리도록 후단에 디귿자형의 설치턱이 형성되는 회전로드와, 상기 외측 나선부에 나사 결합되는 고정너트와, 상기 고정너트의 외면에 걸리도록 상기 내측 나선공에 나사 결합되는 고정볼트와, 상기 가이드공을 통해 상기 회전로드에 하단이 장착되고 상기 장착체의 외면에 노출되는 손잡이와, 상기 설치턱에 일단이 장착되고 타단에 상기 툴설치부재가 장착되는 사각링 형태의 장착링을, 포함하는 것을 특징으로 한다.

상술한 바와 같은 본 발명은, 정전척의 하부전극의 샌딩 및 코팅 처리가 로봇에 의해 자동화되어 하부전극의 제조 및 생산이 원활히 이루어지고, 그에 따라 정전척의 생산성이 현저히 향상되는 효과를 갖는다.

도 1은 본 발명에 따른 로봇 시스템의 개략적인 전체 측단면도,
도 2는 도 1의 요부 확대도,
도 3은 본 발명에 따른 로봇 시스템의 개략적인 전체 종단면도,
도 4는 도 3의 요부 확대도,
도 5는 본 발명에 따른 로봇 시스템의 개략적인 전체 평면도,
도 6은 본 발명에 따른 로봇 시스템의 개략적인 요부 확대 사시도,
도 7은 본 발명에 따른 로봇 시스템의 툴설치부를 보인 개략적인 사시도,
도 8은 도 7의 요부 확대도,
도 9는 도 8의 측면도,
도 10은 도 9의 개략적인 확대 정단면도,
도 11은 도 10의 각회전 상태를 보인 작동상태도.

이하 본 발명의 바람직한 실시예가 도시된 첨부 도면을 참조하여 보다 상세하게 설명하면 다음과 같다. 그러나 본 발명은 다수의 상이한 형태로 구현될 수 있고, 기술된 실시예에 제한되지 않음을 이해하여야 한다.

도 1 내지 도 11은 본 발명에 따른 로봇 시스템의 개략적인 도면들이다. 이에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 정전척의 하부전극 샌딩 및 코팅 처리용 다축 로봇 시스템은 다축 로봇(10)과, 상기 다축 로봇(10)이 설치되는 수평대(20)와, 상기 수평대(20)의 하부에 설치되는 직교설치대(30)와, 상기 직교설치대(30)의 상부에 구비되는 이동본체(40)와, 상기 이동본체(40)에 설치되는 이동구동부(50)와, 상기 이동본체(40)의 상면에 설치되는 턴테이블(60)과, 상기 다축 로봇(10)의 단부에 설치되는 툴설치부(70)를 포함한다.

상기 다축 로봇(10)은 본체(11)에 다수의 관절(12)과 아암(13)이 연결되어 상기 다수의 관절(12)의 구동에 의해 상기 다수의 아암(13)이 자동으로 각이동 및 회전되는 공지의 것으로, 상기 다수의 관절(12)의 구동에 의해 상기 다수의 아암(13)이 자동으로 각이동 및 회전되면서 상기 툴설치부(70)를 상하 좌우 수직 수평 이동 및 회전시켜 상기 턴테이블(60)에 올려진 소재(A)의 상면과 측면에 대응하여 상기 툴설치부(70)에 설치된 샌딩 또는 코팅용 툴(T)을 자동으로 이동시키는 역할을 한다.

상기 수평대(20)는 상기 본체(11)의 하면에 장착되는 받침대(21)가 상면에 설치되고 상기 받침대(21)를 지면에서 상부측으로 이격시키도록 양단에 각각 장착되는 수직대(22)가 설치되는 것으로, 상기 수직대(22)를 통해 상기 다축 로봇(10)을 지면에서 상부측으로 이격시킨 상태로 설치될 수 있도록 하는 것이다.

상기 직교설치대(30)는 상기 수평대(20)의 하부 중앙으로 지면에 직교되게 설치되고 상면에 상호 대칭되면서 이격되는 한 쌍의 레일(31)이 상기 수평대(20)에 직교되게 길이방향으로 설치되는 것으로, 상기 이동본체(40)와 이에 설치되는 상기 턴테이블(60)이 상기 다축 로봇(10)을 향해 상기 레일(31)을 따라 수평으로 이동되는 장소를 제공하는 역할을 한다.

상기 이동본체(40)는 상기 직교설치대(30)의 상부에 수직 입방체의 형태로 구비되고 상기 레일(31)을 따라 이동되도록 하면 양측에 다수의 바퀴(41)가 설치되는 것으로, 상기 턴테이블(60)이 설치되는 장소를 제공하면서 상기 턴테이블(60)이 상기 바퀴(41)를 통해 상기 레일(31)을 따라 이동될 수 있도록 하는 것이다.

상기 이동구동부(50)는 상기 직교설치대(30)와 이동본체(40)의 사이에 설치되는 것으로, 상기 레일(31)을 따라 상기 이동본체(40)를 수평으로 이동시키는 역할을 한다. 즉, 상기 이동구동부(50)는 상기 이동본체(40)와 함께 상기 턴테이블(60)을 수평으로 이동시켜 상기 다축 로봇(10)에 상기 소재(A)를 자동으로 수평이동시켜 상기 다축 로봇(10)에 의한 상기 소재(A)의 가공이 순차적으로 정밀하게 이루어지도록 하는 것이다.

이와 같은 역할을 하는 상기 이동구동부(50)는 상기 직교설치대(30)의 상면에 따라 길이방향으로 설치되고 일측면에 치형이 형성되는 레크(51)와, 상기 레크(51)에 맞물리고 수직으로 설치되는 피니언(52)과, 상기 피니언(52)이 회전 가능하게 장착되고 상기 이동본체(40)에 설치되며 상기 피니언(52)을 감속한 상태로 회전시키는 감속기(53)와, 상기 감속기(53)에 연결되고 상기 이동본체(40)에 장착되는 구동모터(54)를 포함한다.

상기 이동구동부(50)는 상기 구동모터(54)의 구동에 의해 발생된 회전력이 상기 감속기(53)에 의해 감속된 상태로 상기 피니언(52)에 전달되어 상기 피니언(52)이 회전되고, 이와 같이 상기 피니언(52)의 회전에 의해 이에 맞물린 상기 레크(51)를 따라 상기 이동본체(40)가 수평으로 이동되도록 하는 것이다.

이와 같이 상기 레크(51)와 피니언(52)에 의해 구동되는 구조를 가짐으로써, 샌딩이나 코팅 중에 비산되는 모래나 금속 분말 등의 경질의 이물질에 의한 상기 이동구동부(50)의 고장이나 작동 불능이 원활히 방지될 수 있게 된다. 이와 같은 상기 레크(51)와 피니언(52)은 평기어 형태로 도시되어 있지만, 이에 한정되지 않고 헬리컬 기어 등 다양한 형태의 치형을 가지는 기어가 적용될 수 있고, 특히 헬리컬 기어가 가장 바람직하다.

상기 턴테이블(60)은 상기 이동본체(40)의 상면에 회전 가능하게 설치되고 상면에 가공할 상기 소재(A)가 배치되는 것으로, 상기 소재(A)가 배치되는 장소를 제공하면서 상기 소재(A)를 자동으로 회전시킬 수 있도록 하는 것이다.

이와 같은 역할을 하는 상기 턴테이블(60)은 그 하면에 스핀들의 상단이 장착되고 하단이 상기 이동본체(40)에 장착되는 회전모터(61)와, 상기 회전모터(61)의 양측으로 상기 턴테이블(60)의 하면과 상기 이동본체(40)의 상면 사이에 대칭되게 설치되는 다수의 회전베어링(62)과, 상기 회전베어링(62)의 양측으로 상기 턴테이블(60)의 하면과 상기 이동본체(40)의 상면 사이에 대칭되게 설치되는 다수의 구름베어링(63)을 포함한다.

상기 회전모터(61)는 전원의 공급에 의해 구동되면서 상기 턴테이블(60)을 회전시키는 역할을 하고, 상기 회전베어링(62)과 구름베어링(63)은 상기 이동본체(40)의 상면과 상기 턴테이블(60)의 하면 사이를 회전 가능하게 지지하는 역할을 한다.

상기 툴설치부(70)는 상기 다축 로봇(10)의 아암(13)의 단부에 장착되고 샌딩기 또는 코팅기가 장착되는 것으로, 샌딩기 또는 코팅기와 같은 툴(T)이 설치되는 장소를 제공하는 역할을 한다.

이와 같은 상기 툴설치부(70)는 도 7에 도시된 바와 같이 상기 아암(13)의 단부에 상단이 장착되고 수직으로 구비되는 수직부재(71)와, 상기 수직부재(71)의 하단에 수평으로 장착되는 수평부재(72)와, 상기 수평부재(72)의 단부 상면에서 직교되게 장착되고 각회전 가능하게 구비되는 각회전부재(73)와, 상기 각회전부재(73)의 단부에 수직으로 장착되고 외면에 샌딩기 또는 코팅기가 장착되는 툴설치부재(74)를 포함한다.

상기 수직부재(71)는 상기 아암(13)에 장착되는 부위를 제공하면서 상기 수평부재(72)가 설치되는 장소를 제공하는 역할을 하고, 상기 수평부재(72)는 상기 각회전부재(73)가 설치되는 장소를 제공한다.

상기 각회전부재(73)는 상기 툴설치부재(74)가 장착되는 장소를 제공하면서 상기 툴설치부재(74)를 90도로 각회전시키는 역할을 한다. 상기 툴설치부재(74)는 샌딩기 또는 코팅기와 같은 툴(T)이 장착되는 장소를 제공하는 역할을 한다.

이와 같은 상기 각회전부재(73)는 도 8 내지 도 11에 도시된 바와 같이 상기 수평부재(72)의 상면에 직교되게 장착되고 일단에서 타단을 관통하여 중앙에 관통공(731a)이 형성되며 상기 관통공(731a)과 연통되면서 직교되게 외면에 90도의 각도로 가이드공(731b)이 형성되는 장착체(731)와, 상기 관통공(731a)에 회전 가능하게 끼워지고 선단의 외주면에 나사산이 형성되는 외측 나선부(732a)를 가지며 선단 중앙에 수평으로 관통되어 내측에 나사산이 형성되는 내측 나선공(732b)을 가지고 상기 장착체(731)의 단부에 걸리도록 후단에 디귿자형의 설치턱(732c)이 형성되는 회전로드(732)와, 상기 외측 나선부(732a)에 나사 결합되는 고정너트(733)와, 상기 고정너트(733)의 외면에 걸리도록 상기 내측 나선공(732b)에 나사 결합되는 고정볼트(734)와, 상기 가이드공(731b)을 통해 상기 회전로드(732)에 하단이 장착되고 상기 장착체(731)의 외면에 노출되는 손잡이(735)와, 상기 설치턱(732c)에 일단이 장착되고 타단에 상기 툴설치부재(74)가 장착되는 사각링 형태의 장착링(736)을 포함한다.

상기 장착체(731)는 상기 수평부재(72)의 상면에 장착되는 것으로, 상기 회전로드(732)가 회전 가능하게 설치되는 장소를 제공하는 역할을 한다. 상기 관통공(731a)은 상기 회전로드(732)가 회전 가능하게 끼워지는 구멍이고, 상기 가이드공(731b)은 상기 회전로드(732)가 상기 손잡이(735)의 조작으로 90도로 각회전될 수 있도록 회전 각도를 안내하는 역할을 한다.

상기 회전로드(732)는 상기 툴설치부재(74)를 90도로 회전시킬 수 있도록 하는 것이고, 상기 외측 나선부(732a)는 상기 고정너트(733)가 나사 결합되는 장소를 제공하는 것이며, 상기 내측 나선공(732b)은 상기 고정볼트(734)가 나사 결합되는 장소를 제공하는 것이고, 상기 설치턱(732c)은 상기 장착링(736)이 끼워진 상태로 장착되는 장소를 제공하는 역할을 한다.

상기 고정너트(733)는 상기 외측 나선부(732a)를 따라 회전되면서 상기 장착체(731)를 상기 설치턱(732c)을 향해 밀착시켜 상기 장착체(731)에 상기 회전로드(732)를 고정시키거나 반대로 회전되어 상기 장착체(731)에 대한 상기 회전로드(732)의 고정을 해제시키는 역할을 한다.

상기 고정볼트(734)는 상기 내측 나선공(732b)을 따라 상기 고정너트(733)의 선단에 밀착되게 나사 결합되면서 상기 고정너트(733)를 고정시키거나 반대로 회전되어 상기 고정너트(733)의 고정을 해제하는 역할을 한다.

상기 손잡이(735)는 작동자가 손으로 잡고서 상기 가이드공(731b)을 따라 상기 회전로드(732)를 90도로 각회전시켜 상기 툴설치부재(74)를 0도 혹은 90도의 각도로 배치된 상태가 될 수 있도록 하는 것이다.

이와 같이 상기 각회전부재(73)에 대한 수동 조작으로 상기 툴설치부재(74)가 0도 혹은 90도의 각도로 선택적으로 배치되고, 그에 따라 상기 툴설치부재(74)에 설치된 상기 툴(T)이 0도 혹은 90도의 각도로 배치될 수 있어 상기 소재(A)의 상면과 측면을 원활하게 가공할 수 있게 된다. 여기서, 도 10은 0도일 때의 상태이고, 도 11은 90도로 각회전된 상태의 단면도이다.

이상에서 본 발명의 바람직한 실시예를 설명하였으나, 본 발명은 다양한 변화와 변경 및 균등물을 사용할 수 있다. 본 발명은 상기 실시예를 적절히 변형하여 동일하게 응용할 수 있음이 명확하다. 따라서 상기 기재 내용은 하기 특허청구범위의 한계에 의해 정해지는 본 발명의 범위를 한정하는 것이 아니다.

한편, 본 발명의 상세한 설명에서는 구체적인 실시 예에 관해서 설명하였으나, 본 발명의 범위에서 벗어나지 않는 한도 내에서 여러 가지 변형이 가능함을 당해 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 있어서 자명하다할 것이다.

10 : 다축 로봇
11 : 본체 12 : 관절
13 : 아암
20 : 수평대
21 : 받침대 22 : 수직대
30 : 직교설치대
31 : 레일
40 : 이동본체
41 : 바퀴
50 : 이동구동부
51 : 레크 52 : 피니언
53 : 감속기 54 : 구동모터
60 : 턴테이블
61 : 회전모터 62 : 회전베어링
63 : 구름베어링
70 : 툴설치부
71 : 수직부재 72 : 수평부재
73 : 각회전부재
731 : 장착체
731a : 관통공 731b : 가이드공
732 : 회전로드
732a : 외측 나선부 732b : 내측 나선공
732c : 설치턱
733 : 고정너트 734 : 고정볼트
735 : 손잡이 736 : 장착링
74 : 툴설치부재
T : 툴
A : 소재

Claims (5)

1. 본체(11)에 다수의 관절(12)과 아암(13)이 연결되어 상기 다수의 관절(12)의 구동에 의해 상기 다수의 아암(13)이 자동으로 각이동 및 회전되는 다축 로봇(10)과;
   상기 본체(11)의 하면에 장착되는 받침대(21)가 상면에 설치되고, 상기 받침대(21)를 지면에서 상부측으로 이격시키도록 양단에 각각 장착되는 수직대(22)가 설치되는 수평대(20)와;
   상기 수평대(20)의 하부 중앙으로 지면에 직교되게 설치되고, 상면에 상호 대칭되면서 이격되는 한 쌍의 레일(31)이 상기 수평대(20)에 직교되게 길이방향으로 설치되는 직교설치대(30)와;
   상기 직교설치대(30)의 상부에 구비되고, 상기 레일(31)을 따라 이동되도록 하면 양측에 다수의 바퀴(41)가 설치되는 수직 입방체 형태의 이동본체(40)와;
   상기 직교설치대(30)와 이동본체(40)의 사이에 설치되고, 상기 레일(31)을 따라 상기 이동본체(40)를 수평으로 이동시키는 이동구동부(50)와;
   상기 이동본체(40)의 상면에 회전 가능하게 설치되고, 상면에 가공할 소재가 배치되는 턴테이블(60)과;
   상기 다축 로봇(10)의 아암(13)의 단부에 장착되고, 샌딩기 또는 코팅기가 장착되는 툴설치부(70)를; 포함하고,
   상기 툴설치부(70)는,
   상기 아암(13)의 단부에 상단이 장착되고 수직으로 구비되는 수직부재(71)와,
   상기 수직부재(71)의 하단에 수평으로 장착되는 수평부재(72)와,
   상기 수평부재(72)의 단부 상면에서 직교되게 장착되고 각회전 가능하게 구비되는 각회전부재(73)와,
   상기 각회전부재(73)의 단부에 수직으로 장착되고 외면에 샌딩기 또는 코팅기가 장착되는 툴설치부재(74)를, 포함하며,
   상기 각회전부재(73)는,
   상기 수평부재(72)의 상면에 직교되게 장착되고 일단에서 타단을 관통하여 중앙에 관통공(731a)이 형성되며 상기 관통공(731a)과 연통되면서 직교되게 외면에 90도의 각도로 가이드공(731b)이 형성되는 장착체(731)와,
   상기 관통공(731a)에 회전 가능하게 끼워지고 선단의 외주면에 나사산이 형성되는 외측 나선부(732a)를 가지며 선단 중앙에 수평으로 관통되어 내측에 나사산이 형성되는 내측 나선공(732b)을 가지고 상기 장착체(731)의 단부에 걸리도록 후단에 디귿자형의 설치턱(732c)이 형성되는 회전로드(732)와,
   상기 외측 나선부(732a)에 나사 결합되는 고정너트(733)와,
   상기 고정너트(733)의 외면에 걸리도록 상기 내측 나선공(732b)에 나사 결합되는 고정볼트(734)와,
   상기 가이드공(731b)을 통해 상기 회전로드(732)에 하단이 장착되고 상기 장착체(731)의 외면에 노출되는 손잡이(735)와,
   상기 설치턱(732c)에 일단이 장착되고 타단에 상기 툴설치부재(74)가 장착되는 사각링 형태의 장착링(736)을, 포함하며,
   상기 턴테이블(60)은,
   그 하면에 스핀들의 상단이 장착되고 하단이 상기 이동본체(40)에 장착되는 회전모터(61)와,
   상기 회전모터(61)의 양측으로 상기 턴테이블(60)의 하면과 상기 이동본체(40)의 상면 사이에 대칭되게 설치되는 다수의 회전베어링(62)과,
   상기 회전베어링(62)의 양측으로 상기 턴테이블(60)의 하면과 상기 이동본체(40)의 상면 사이에 대칭되게 설치되는 다수의 구름베어링(63)을, 포함하는 것을 특징으로 하는 정전척의 하부전극 샌딩 및 코팅 처리용 다축 로봇 시스템.
   
2. 제1항에 있어서,
   상기 이동구동부(50)는,
   상기 직교설치대(30)의 상면에 따라 길이방향으로 설치되고 일측면에 치형이 형성되는 레크(51)와,
   상기 레크(51)에 맞물리고 수직으로 설치되는 피니언(52)과,
   상기 피니언(52)이 회전 가능하게 장착되고 상기 이동본체(40)에 설치되며 상기 피니언(52)을 감속한 상태로 회전시키는 감속기(53)와,
   상기 감속기(53)에 연결되고 상기 이동본체(40)에 장착되는 구동모터(54)를,
   포함하는 것을 특징으로 하는 정전척의 하부전극 샌딩 및 코팅 처리용 다축 로봇 시스템.
   
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