KR101844749B1 - 복수기능의 기액접촉수단을 이용한 폐가스 처리용 수평식 스크러버 - Google Patents

복수기능의 기액접촉수단을 이용한 폐가스 처리용 수평식 스크러버 Download PDF

Info

Publication number
KR101844749B1
KR101844749B1 KR1020160096024A KR20160096024A KR101844749B1 KR 101844749 B1 KR101844749 B1 KR 101844749B1 KR 1020160096024 A KR1020160096024 A KR 1020160096024A KR 20160096024 A KR20160096024 A KR 20160096024A KR 101844749 B1 KR101844749 B1 KR 101844749B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
gas
liquid contact
unit
contact means
liquid
Prior art date
Application number
KR1020160096024A
Other languages
English (en)
Other versions
KR20180013001A (ko
Inventor
서익환
김명복
박대연
Original Assignee
(주)효진아이디에스
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by (주)효진아이디에스 filed Critical (주)효진아이디에스
Priority to KR1020160096024A priority Critical patent/KR101844749B1/ko
Publication of KR20180013001A publication Critical patent/KR20180013001A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR101844749B1 publication Critical patent/KR101844749B1/ko

Links

Images

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D46/00—Filters or filtering processes specially modified for separating dispersed particles from gases or vapours
    • B01D46/0027—Filters or filtering processes specially modified for separating dispersed particles from gases or vapours with additional separating or treating functions
    • B01D46/0035—Filters or filtering processes specially modified for separating dispersed particles from gases or vapours with additional separating or treating functions by wetting, e.g. using surfaces covered with oil
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D47/00—Separating dispersed particles from gases, air or vapours by liquid as separating agent
    • B01D47/06—Spray cleaning
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D47/00—Separating dispersed particles from gases, air or vapours by liquid as separating agent
    • B01D47/12—Washers with plural different washing sections
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D47/00—Separating dispersed particles from gases, air or vapours by liquid as separating agent
    • B01D47/14—Packed scrubbers
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D53/00—Separation of gases or vapours; Recovering vapours of volatile solvents from gases; Chemical or biological purification of waste gases, e.g. engine exhaust gases, smoke, fumes, flue gases, aerosols
    • B01D53/34—Chemical or biological purification of waste gases
    • B01D53/74—General processes for purification of waste gases; Apparatus or devices specially adapted therefor
    • B01D53/77—Liquid phase processes
    • B01D53/78—Liquid phase processes with gas-liquid contact
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
    • H01L21/02041—Cleaning
    • H01L21/02096—Cleaning only mechanical cleaning
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
    • H01L21/67017—Apparatus for fluid treatment
    • H01L21/67028—Apparatus for fluid treatment for cleaning followed by drying, rinsing, stripping, blasting or the like
    • H01L21/6704—Apparatus for fluid treatment for cleaning followed by drying, rinsing, stripping, blasting or the like for wet cleaning or washing
    • H01L21/67046—Apparatus for fluid treatment for cleaning followed by drying, rinsing, stripping, blasting or the like for wet cleaning or washing using mainly scrubbing means, e.g. brushes
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D2258/00—Sources of waste gases
    • B01D2258/02—Other waste gases
    • B01D2258/0216—Other waste gases from CVD treatment or semi-conductor manufacturing

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Oil, Petroleum & Natural Gas (AREA)
  • Environmental & Geological Engineering (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Biomedical Technology (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • General Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Gas Separation By Absorption (AREA)
  • Treating Waste Gases (AREA)

Abstract

본 발명은 반도체 제조공정에서 배출하는 폐가스 처리에 적합하도록 기액접촉 기능이 상이한 단위 기액접촉수단을 복수개 조합한 다층의 기액접촉수단 조합체에 의해 폐가스를 처리하는 스크러버에 관한 것이다.
상기한 본 발명은 반도체 제조공정에서 배출하는 저농도(50ppm 미만)의 폐가스(G) 처리에 적합하도록 최적화된 기액접촉수단 조합체를 적용함으로써 스크러버의 가스처리 효율을 향상시키는 작용효과를 나타내며, 기액접촉수단 조합체를 간편하게 장착 및 교체할 수 있는 장점이 있으므로 기액접촉수단 조합체을 재생하여 재사용하는 것이 간편하여 스크러버의 유지 및 관리에 따른 소요경비도 감소되는 장점이 있다.

Description

복수기능의 기액접촉수단을 이용한 폐가스 처리용 수평식 스크러버 {Horizontal Type Scrubber to remove waste gases by combination of gas-liquid contact device with multi function}
본 발명은 폐가스를 처리하는 스크러버에 관한 것이며, 보다 구체적으로는 반도체 제조공정에서 배출하는 유독성 배기가스의 농도에 따라 처리에 적합하도록 복수기능의 기액접촉수단을 이용하는 수평식 폐가스 처리 스크러버에 관한 것이다.
일반적으로, 반도체 제조공정의 웨이퍼 상에 박막을 형성 또는 식각하는 등의 공정으로부터 배출되는 배기가스(폐가스)에는 불화수소, 황산화물, 질소산화물, 황화수소, 아황산가스 등의 산성가스 및 암모니아 등의 알칼리성 가스들을 포함하고 있으므로 인체에 유해할 뿐만 아니라 환경오염을 유발시키기 때문에 반도체 제조공정에서 배출되는 배기가스는 정화시킨 후에 대기 중에 배출하여야 한다.
상기 반도체 제조공정에서 배출되는 불화수소, 황산화물, 질소산화물, 황화수소, 아황산가스 암모니아 등과 같은 유독성 가스성분을 제거하기 위한 방법으로 습식 방법인 배기가스(폐가스)에 세정용액을 분무하여 기액접촉을 이용하는 스크러버 방식이 널리 알려져 있으며, 이와 관련된 선행기술로 예를 들면, 국내 등록특허공보 제10-0816822호에 하우징에 가스유로장치와 기액반응장치 및 제습장치를 설치하여서 된 것에 있어서, 가스유로장치를 굴곡 유로판(21)과 사선 유로판(22)으로 구성시키고, 기액반응장치를 충전재층을 가진 반응기(31)와 분사장치로 형성시키되 분사장치를 기액반응장치의 상부와 입측에 설치하여 구성시켜서 된 것을 특징으로 하는 복합오염물질을 동시에 처리하는 멀티스크러버를 개시하고 있으며, 국내 등록특허공보 제10-1020000호에 일측으로 가스유입구(111)가 형성되고 타측으로 가스배출구(113)가 형성된 중공의 본체(110)와, 상기 본체(110)의 내측으로 가스유입구(111)와 가스배출구(113) 사이에 설치되어 오존공급부(173)에서 공급되는 오존과 가스유입구(111)를 통하여 유입되는 배출 가스가 혼합되는 혼합부(171)와, 본체(110)의 내측에 상기 혼합부(171)의 후방으로 설치되어 배출 가스 중에 포함된 질소 화합물이 제거되는 제거부(179)와, 상기 본체(110) 내로 오존을 공급하는 오존공급부(173)를 포함하며; 상기 혼합부(171)로 유입되는 유입부의 면적보다 혼합부(171)로부터 유출되는 유출부의 면적이 작게 형성되며, 상기 제거부(179)는 구리구조체로 이루어져 혼합부(171)에서 혼합된 질소 화합물이 구리구조체와 접촉하면서 제거되는 것을 특징으로 하는 질소 화합물 제거용 가스 스크러버(100)를 개시하고 있으며, 국내 등록실용신안공보 등록번호20-0440502호에 유해 가스를 습식 혹은 건식으로 처리할 수 있는 멀티 스크러버에 있어서, 유입되는 가스를 이온화시켜 집진하기 위한 이오나이저 시스템을 내부에 포함하고, 양단부가 분리가능한 구조로 된 에프알피 재질의 제1 구성부; 상기 제1 구성부의 후단에 위치하여 상기 제1 구성부와 분리가능하게 결합되고, 상기 이오나이저 시스템을 통과한 가스를 후처리하기 위한 후처리 필터를 내부에 포함하는 에프알피 재질의 제2 구성부; 및 상기 제1 구성부의 전단에 위치하여 상기 제1 구성부와 분리가능하게 결합되고, 상기 유입되는 가스를 전처리하기 위한 전처리 필터를 내부에 포함하는 에프알피 재질의 제3 구성부를 포함하는 멀티 스크러버을 개시하고 있다.
또 스크러버에 이용되는 기액접촉장치와 관련하여 국내 등록특허공보 등록번호 제10-1320638호에 소정의 형상으로 이루어진 판상체(10)와; 상기 판상체(10)의 가운데를 접어서 일정한 곡률을 갖는 절곡부(20)로 구성되고, 상기 판상체(10)는 폴리에틸렌, 폴리프로필렌 등의 폴리올레핀(polyolefin)이나, 염화비닐리덴, 폴리에스테르, 나일론, 아라미드, 탄소섬유 등의 유기섬유나, 무기섬유, 금속섬유로 구성되며, 상기 판상체(10)에는 내부에 소정의 형상으로 이루어진 격자망(12)이 형성되며, 상기 격자망(12)은 가로 2∼10㎜, 세로 2∼10㎜로 형성되며, 상기 절곡부(20)는 단면형상이 U형 또는 V형으로 형성됨을 특징으로 하는 다공성 필터 및 이를 이용한 기액접촉장치를 개시하고 있다.
본 발명은 본 발명의 발명자(출원인)가 발명하여 출원 중에 있는 특허출원번호 제10-2015-0172161호(발명의 명칭; 복합기능의 기액접촉수단으로 조합된 수평식 폐가스 처리 스크러버)에서 채용하고 있는 복합기능의 기액접촉수단을 보다 개량하여 폐가스와 세정액의 접촉을 향상시킨 복합기능의 기액접촉수단의 기능 및 효과를 확인하고 본 발명을 완성하였다.
본 발명은 반도체 제조공정에서 배출하는 유해한 배기가스의 농도에 따라 처리에 적합하도록 기액접촉기능이 상이한 단위 기액접촉수단을 복수개 조합한 기액접촉수단 조합체에 의해 배기가스를 처리하는 수평식 스크러버의 제공을 목적으로 하는 것이다.
보다 구체적으로는 본 발명의 발명자(출원인)가 발명하여 출원 중에 있는 특허출원번호 제10-2015-0172161호(발명의 명칭; 복합기능의 기액접촉수단으로 조합된 수평식 폐가스 처리 스크러버)에서 채용하고 있는 기액접촉수단 조합체에서 기액접촉기능이 상이한 단위기액접촉수단을 개량하여 낮은 농도로 배출되는 폐가스와 세정액의 접촉을 보다 향상시킨 수평식 스크러버의 제공을 목적으로 하는 것이다.
일반적으로 반도체 제조공정에서는 NF3, CF4, C2F6, C3F8, F2, OF2, SiO2, SiF4, NH3, HF 등을 함유하는 과불화탄소(PFC: Per-Fluorocompounds) 배기가스, HF, HCl, Cl2 등을 함유하는 산성 배기가스, NH3 등을 함유하는 알칼리성 배기가스 및 SiF4, HF 등을 함유하는 가연 배기가스인 유독성 폐가스가 배출되고 있으며, 상기 과불화탄소(PFC) 배기가스, 산성 배기가스, 알칼리성 배기가스, 가연 배기가스 등의 폐가스는 반도체 제조공정의 조건, 가동시간, 생산제품에 따라 유형을 달리하여 배출되고 있을 뿐 아니라 고농도(50~500ppm) 내지 저농도(50ppm 미만)로 배출되고 있다.
본 발명은 폐가스와 세정액의 접촉을 최적화하여 저농도(50ppm 미만)로 배출되는 상기 폐가스(G) 처리에 특히 적합하도록 기액접촉의 기능이 상이한 기액접촉수단 단위체(U)가 2이상 조합된 기액접촉수단 중간 조합체(MU)를 사방 연속으로 다수개 집결한 하이브리드 필터체(HBF)가 스크러버 내부에 일정간격으로 다수개가 수직으로 평행하게 설치된 폐가스 처리 스크러버(S)로 이루어진다.
구체적으로는 본 발명의 목적을 달성하기 위한 해결수단으로서, 저농도(50ppm 미만)로 배출되는 폐가스의 배출농도에 적합하도록 복수기능의 기액접촉수단으로 조합한 수평식 폐가스 처리 스크러버(S)는 일측에 폐가스(G)의 유입구(IP)와 타측에 정화가스 배출구(OP)를 가지는 수평으로 배치된 하우징(H)과, 상기 하우징(H) 내측으로 상기 유입구(IP)와 배출구(OP) 사이에 일정 간격을 두고 수직으로 다수개가 평행하게 장착되어 기액접촉을 유도하는 하이브리드 필터체(HBF)와, 상기 하이브리드 필터체(HBF) 각각의 전, 후면에 설치되어 세정액을 분사하는 세정액 공급관(T) 및 세정액 분사노즐(N)과, 배출구(0P) 측으로 설치되어 연무를 제거하는 더미스터(Demister; TH) 및 상기 하우징(H) 외부 하측에 설치되어 세정액을 공급 및 회수하는 세정액 저장조(L)를 포함하며; 상기 하이브리드 필터체(HBF)는 기하학적 구조의 상이성에 의해 기액접촉의 기능이 상이한 기액접촉수단 단위체(U)가 2이상 조합된 기액접촉수단 중간 조합체(MU)를 상,하,좌,우의 사방연속으로 다수개 집결되는 것으로 이루어진다.
본 발명에 따른 상기 다수개의 기액접촉수단 단위체(U)는 상호 기하학적 구조를 달리하고 있기 때문에 기액접촉의 기능이 상이하게 나타나며, 본 발명에 따른 기액접촉수단 단위체(U)의 종류로는 (a). 프레임(F) 내부에 단면이 대략‘
Figure 112016073481127-pat00001
’형상이고, 망상의 격벽(1)이 일정간격으로 다수개 평행하게 배치된 구조를 갖는 기액접촉수단 단위체(U1), (b). 프레임(F) 내부에 막대형상의 원형봉(2)이 간격을 두고 다수개 평행되게 배치되면서 다수의 층으로 설치되고, 층간에는 간격과 원형봉(2)이 교대로 배치된 구조를 갖는 기액접촉수단 단위체(U2) 및 (c). 프레임(F) 내부에 격벽(3)에 의해 4각형 통공(4)이 사방연속으로 형성되고, 인접하는 4개의 사각형 통공(4)이 중앙에서 유통되는 구조를 갖는 기액접촉수단 단위체(U3)로 이루어진다.
상기 기액접촉수단 단위체(U1)에서 단면이 대략‘
Figure 112017085513228-pat00002
’형상인 망상의 격벽(1)은 가로지지대(a) 및 세로지지대(b)가 일정간격으로 배치되어 사각틀 형상으로 결합되고, 세로 지지대(b)에 돌출부(c) 및 돌출부(c) 길이보다 1/2 미만 크기의 돌출부(d)가 일정간격으로 돌설된 격벽부분품(2a, 2b)이 서로 마주보면서 결합되는 구조로 이루어지며, 망상의 격벽(1)은 제작 및 세척 등의 편의를 위하여 격벽부분품(2a, 2b)이 서로 분리 가능한 구조인 것이 바람직하다.
그리고 상기 기액접촉수단 단위체(U1)는 유입하는 폐가스를 미세하게 분산시키는 것에 의해 폐가스의 유속을 지체시켜 폐가스에 함유된 오염입자물질이 세정액에 흡수되는 효율을 향상시키는 기능을 가지며, 상기 기액접촉수단 단위체(U2)는 기체의 유속에 따라 재비산과 조대화가 반복되어 기체의 흡수를 촉진시키는 기능을 가지며, 기액접촉수단 단위체(U3)는 세정액의 균등한 분배기능을 지니고 있다.
본 발명에 따른 상기 기액접촉수단 단위체(U)가 2이상 조합되는 기액접촉수단 중간 조합체(MU)는 상기 기액접촉수단 단위체(U3)/기액접촉수단 단위체(U1)/기액접촉수단 단위체(U2)/기액접촉수단 단위체(U1)/기액접촉수단 단위체(U3)가 순차 결합되는 것으로 이루어진다.
또 본 발명에 따른 상기 하이브리드 필터체(HBF)는 상기 기액접촉수단 중간 조합체(MU)가 사방 연속으로 다수개 집결되어 하나의 하이브리드 필터체(HBF)를 구성하며, 기액접촉수단 중간 조합체(MU)가 복수개로 조합되어 이루어진 하이브리드 필터체(HBF)는 본 발명에 따른 스크러버(S)의 폐가스(G) 처리를 위한 설계용량 내지 스크러버(S)의 크기에 따라 다를 수 있으며, 상기 유입구(IP)와 배출구(OP) 사이에 2 ~ 3개가 일정 간격을 두고 수직으로 나란히 장착된다.
또 상기 하이브리드 필터체(HBF)를 구성하는 기액접촉수단 중간 조합체(MU)가 상,하,좌,우의 사방연속으로 집결되는 갯수도 본 발명에 따른 스크러브(S)의 폐가스(G)의 처리를 위한 설계용량 내지 스크러브(S)의 크기에 따라 다를 수 있으며, 하이브리드 필터체(HBF)의 가로×세로를 기준으로 12×12 ~ 24×25개로 집결된다.
상기한 본 발명에 따른 복수기능의 기액접촉수단으로 조합한 폐가스 처리 스크러버는 반도체 제조공정에서 배출되는 저농도(50ppm 미만)의 폐가스(G) 처리에 적합하도록 최적화된 기액접촉수단 조합체를 적용함으로써 스크러버의 가스처리 효율을 향상시키는 작용효과를 나타낸다.
또한 본 발명은 기액접촉수단 조합체를 간편하게 장착 및 교체할 수 있는 장점이 있을 뿐 아니라 기액접촉수단 조합체를 분해시켜 세척 등으로 재생하여, 재사용할 때 장착 및 교체가 간단하여 스크러버의 유지 및 관리에 따른 소요경비도 감소되는 장점이 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예의 스크러버를 개략적으로 나타낸 도면.
도 2는 본 발명의 하이브리드 필터체(HBF)를 개략적으로 나타낸 사시도.
도 3은 본 발명의 기액접촉수단 단위체(U1)를 개략적으로 나타낸 도면.
도 4는 본 발명의 기액접촉수단 단위체(U2) 및 기액접촉수단 단위체(U3)를 개략적으로 나타낸 도면.
도 5는 본 발명의 기액접촉수단 중간 조합체(MU)의 조합상태를 개략적으로 나타낸 전개도.
이하에서는 본 발명을 첨부한 도면에 의해 구체적으로 설명하기로 하겠으나, 본 발명은 하기의 설명에 의하여 제한되는 것은 아니다.
도 1은 본 발명에 따른 일 실시예로 폐가스(G)를 처리하기 위한 스크러버를 개략적으로 나타낸 도면이고, 도 2는 본 발명에 따른 하이브리드 필터체(HBF)를 개략적으로 나타낸 사시도로써 도 1 및 도 2를 참조하여, 본 발명에 따른 스크러버를 설명한다.
본 발명의 스크러버(S)는 폐가스(G)의 유입구(IP)와 정화가스 배출구(OP)를 가지는 수평으로 배치된 하우징(H) 내측으로 유입구(IP)와 배출구(OP) 사이에 일정 간격을 두고 하이브리드 필터체(HBF) 다수개가 평행하게 장착되고, 하이브리드 필터체(HBF) 각각의 전, 후면에 세정액 공급관(T) 및 세정액 분사노즐(N)이 설치되어 있으며, 배출구(0P) 측으로 연무를 제거하는 더미스터(Demister; TH)가 설치되고, 상기 하우징(H) 외부 하측으로 세정액을 공급 및 회수하는 세정액 저장조(L)가 설치되어 있으며, 세정액 저장조(L)에는 일측에 세정액 공급관(L1) 및 타측에 세정액 배출관(L2)이 설치되며, 상기 하이브리드 필터체(HBF)는 도 2에 나타낸 바와 같이 기액접촉수단 중간 조합체(MU)가 상,하,좌,우의 사방 연속적으로 다수개 집결되어 있다.
그리고 도 3 및 도 4는 본 발명에 따른 기액접촉수단 단위체(U1) 내지 기액접촉수단 단위체(U3)를 나타낸 도면이며, 도 5는 본 발명에 따른 기액접촉수단 중간 조합체(MU)의 조합상태를 개략적으로 나타낸 전개도로써 도 3 내지 도 5를 참조하여 본 발명에 따른 기액접촉수단 단위체(U1) 내지 기액접촉수단 단위체(U3)와 기액접촉수단 중간 조합체(MU) 및 하이브리드 필터체(HBF)를 구체적으로 설명한다.
도 3에 나타낸 바와 같이 기액접촉수단 단위체(U1)는 프레임(F) 내부에 단면이 대략‘
Figure 112017085513228-pat00003
’형상인 망상의 격벽(1)이 일정간격으로 다수개 평행하게 배치된 구조로 이루어져 있으며, 망상의 격벽(1)은 가로지지대(a) 및 세로지지대(b)가 일정간격으로 배치되어 사각틀 형상으로 결합되고, 세로 지지대(b)에 돌출부(c) 및 돌출부(c) 길이보다 1/2 미만 크기의 돌출부(d)가 일정간격으로 돌설된 격벽부분품(2a, 2b)이 서로 마주보면서 결합되는 구조이며, 상기 격벽부분품(2a, 2b)은 서로 분리 가능하게 결합되어 있다.
상기한 기액접촉수단 단위체(U1)는 유입하는 폐가스(G)를 미세하게 분산시키는 것에 의해 폐가스의 유속을 지체시켜 폐가스에 함유된 오염입자물질이 세정액에 흡수되는 효율을 향상시키는 기능을 나타낸다.
도 4에 나타낸 바와 같이 기액접촉수단 단위체(U2)는 프레임(F) 내부에 막대형상의 원형봉(2)이 일정간격을 두고 다수개 평행되게 배치되면서 다수의 층으로 설치되고, 층과 층간에는 간격과 원형봉(2)이 교대로 배치된 구조로 이루어져 있고, 기체의 유속에 따라 재비산과 조대화가 반복되어 기체의 흡수를 촉진시키는 기능을 가지고 있으며, 기액접촉수단 단위체(U3)는 프레임(F) 내에 격벽(3)으로 이루어진 사각형 통공(4)이 사방연속으로 형성되고, 인접하는 4개의 사각형 통공(4)이 중앙에서 유통되는 구조이며, 세정액의 균등한 분배기능을 갖기 때문에 세정액과 폐가스가 균일하게 접촉하는 효과를 나타낸다.
도 5에 나타낸 바와 같이 기액접촉수단 중간 조합체(MU)는 기액접촉수단 단위체(U3)/기액접촉수단 단위체(U1)/기액접촉수단 단위체(U2)/기액접촉수단 단위체(U1)/기액접촉수단 단위체(U3)가 순차 결합된 구조로 이루어져 있다.
그리고 본 발명에 따른 상기 하이브리드 필터체(HBF)는 상기 기액접촉수단 중간 조합체(MU) 각각이 상,하,좌,우의 사방연속으로 다수개 집결되어 이루어져 있다.
<실시예>
상기 도 1 및 도 3 내지 도 5를 참조하여, 상기한 본 발명에 따른 복수기능의 기액접촉수단으로 이루어진 하이브리드 필터체(HBF), 구체적으로는 기액접촉수단 중간 조합체(MU)이 상,하,좌,우의 사방연속으로 다수개 집결되어 이루어진 하이브리드 필터체(HBF)를 이용하여 반도체 제조공정에서 배출되는 저농도(50ppm 미만)의 폐가스(G)를 처리하는 과정을 설명하면,
폐가스(G)가 유입구(IP)를 통하여 하우징(H) 내부로 유입되면, 폐가스(G)는 펌프(P)에 의해 세정액 저장조(L)로부터 세정액 공급관(T) 및 세정액 분사노즐(N)을 통하여 공급 및 분사되는 세정액과 1차적으로 접촉하고, 이후 하이브리드 필터체(HBF)를 통과하는 과정에서 기액접촉수단 단위체(U3)에 의해 세정액이 균등하게 분산되면서 폐가스와 접촉하고, 기액접촉수단 단위체(U1)에 의해 폐가스(G)가 격벽(1)에 의해 미세하게 분산되어 통과하면서 세정액과 접촉이 연장되어 폐가스에 함유된 오염입자물질 및 기액 접촉시 발생하는 입자물질, 미스트 등이 흡수되고, 기액접촉수단 단위체(U2)에 의해 기체(폐가스)의 유속에 따라 재비산과 조대화가 반복되어 기체의 흡수를 촉진시키는 과정을 거치고, 이후 반복하여 기액접촉반응이 이루어지면서 세정액에 폐가스 성분이 흡수 제거되어 정화된 가스는 더미스터(Demister; TH)에서 연무가 제거된 후 하우징(H) 외부로 유출되는 것으로 이루어진다.
그외 폐가스 성분을 흡수한 세정액은 스크러버 하부에 설치된 세정액 저장조(L)로 유입되면서 순환하는 것으로 이루어지며, 세정액은 적절하게 공급된다.
상기한 기액접촉수단 단위체(U1) 내지 (U3)는 일체로 조립되기 위하여 동일한 규격으로 제작되는 것이 바람직하며, 각각의 기액접촉수단 단위체의 재질은 합성수지 재질이 바람직하다.
또 상기 각각의 기액접촉수단 단위체의 가로, 세로 및 높이에 따른 규격은 스크러버(S)에서 폐가스가 처리되는 용량에 따라 정하여지므로 한정되는 것은 아니며, 본 발명이 속하는 기술분야의 숙련가이면 폐가스 처리용량에 따라 어려움 없이 제작할 수가 있다고 하겠다.
상기에서 설명한 본 발명에 따른 복수기능의 기액접촉수단을 이용한 폐가스 처리 스크러버는 반도체 제조공정에서 배출되는 유독성 폐가스(G)의 농도에 따라 특히, 저농도(50ppm 미만)의 폐가스 처리에 적합하도록 최적화된 기액접촉수단 조합체를 적용함으로써 스크러버의 가스처리 효율을 향상시키는 작용효과를 나타내며, 본 발명의 스크러버는 기액접촉수단 단위체가 조합되는 구조에 의해 간편하게 장착 및 교체할 수 있는 장점이 있으므로 재생하여 재사용하는 것이 간편하여 스크러버의 유지 및 관리에 따른 소요경비도 감소되는 장점이 있다.
S : 스크러버 H : 하우징
IP : 폐가스유입구 OP : 정화가스 배출구
T : 세정액 공급관 N : 세정액 분사노즐
U1, U2, U3 : 기액접촉수단 단위체 MU : 기액접촉수단 중간 중간 조합체
HBF : 하이브리드 필터체 TH : 더미스터
L : 세정액 저장조 L1, L2 : 세정액 공급관 및 배출관
P1 : 세정액 유입펌프

Claims (5)

  1. 일측에 폐가스(G)의 유입구(IP)와 타측에 정화가스 배출구(OP)를 가지는 수평으로 배치된 하우징(H)과, 상기 하우징(H) 내측으로 상기 유입구(IP)와 배출구(OP) 사이에 일정간격을 두고 수직으로 나란히 장착되어 기액접촉을 유도하는 다수개의 하이브리드 필터체(HBF)와, 상기 하이브리드 필터체(HBF) 각각의 전, 후면에 설치되어 세정액을 분사하는 세정액 공급관(T) 및 세정액 분사노즐(N)과, 상기 하우징(H) 외부 하측에 설치되어 세정제를 공급 및 회수하는 세정액 저장조(L)를 포함하는 스크러버(S)에 있어서,
    a)상기 하이브리드 필터체(HBF)는 기액접촉수단 중간 조합체(MU)가 상,하,좌,우의 사방연속으로 다수개 집결되어 이루어지고,
    b)상기 기액접촉수단 중간 조합체(MU)는 기액접촉수단 단위체(U3)/기액접촉수단 단위체(U1)/기액접촉수단 단위체(U2)/기액접 촉수단 단위체(U1)/기액접촉수단 단위체(U3)가 순차 결합되고, 가로×세로 기준으로 12×12 ~ 24×25개로 집결되며, 단면이 '
    Figure 112018010663368-pat00011
    '형상인 망 상의 격벽(1)이 가로지지대(a) 및 세로지지대(b)가 일정간격으로 배치되어 사각틀 형상으로 결합되고, 세로 지지대(b)에 돌출부(c) 및 돌출부(c) 길이보다 1/2 미만 크기의 돌출부(d)가 일정간격으로 돌설된 격벽부분품(2a, 2b)이 서로 마주보면서 결합되는 구조이고, 격벽부분품(2a, 2b)은 서로 분리 가능하게 결합되는 상기 단면이 '
    Figure 112018010663368-pat00012
    '형상인 망 상의 격벽(1)이 프레임(F) 내부에 일정간격으로 다수개 평행하게 배치된 구조를 갖는 기액접촉수단 단위체(U1)와, 프레임(F) 내부에 막대형상의 원형봉(2)이 간격을 두고 다수개 평행되게 배치되면서 다수의 층으로 설치되고, 층간에는 간격과 원형봉(2)이 교대로 배치된 구조를 갖는 기액접촉수단 단위체(U2) 및 프레임(F) 내부에 격벽(3)에 의해 4각형 통공(4)이 사방연속으로 형성되고, 인접하는 4개의 사각형 통공(4)이 중앙에서 유통되는 구조를 갖는 기액접촉수단 단위체(U3)으로 이루어진 것을 특징으로 하는 복수기능 의 기액접촉수단을 이용한 폐가스 처리용 수평식 스크러버.
  2. 청구항1에 있어서,
    배출구(0P) 측으로 연무를 제거하는 더미스터(Demister; TH)가 추가로 설치되는 것을 특징으로 하는 복수기능의 기액접촉수단을 이용한 폐가스 처리용 수평식 스크러버.
  3. 청구항 1에 있어서,
    폐가스(G)는 반도체 제조공정에서 배출되는 50ppm 미만의 농도를 갖는 폐가스인 것을 특징으로 하는 복수기능의 기액접촉수단을 이용한 폐가스 처리용 수평식 스크러버.
  4. 삭제
  5. 삭제
KR1020160096024A 2016-07-28 2016-07-28 복수기능의 기액접촉수단을 이용한 폐가스 처리용 수평식 스크러버 KR101844749B1 (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020160096024A KR101844749B1 (ko) 2016-07-28 2016-07-28 복수기능의 기액접촉수단을 이용한 폐가스 처리용 수평식 스크러버

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020160096024A KR101844749B1 (ko) 2016-07-28 2016-07-28 복수기능의 기액접촉수단을 이용한 폐가스 처리용 수평식 스크러버

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20180013001A KR20180013001A (ko) 2018-02-07
KR101844749B1 true KR101844749B1 (ko) 2018-05-18

Family

ID=61203885

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020160096024A KR101844749B1 (ko) 2016-07-28 2016-07-28 복수기능의 기액접촉수단을 이용한 폐가스 처리용 수평식 스크러버

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR101844749B1 (ko)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20220049280A (ko) * 2020-10-14 2022-04-21 주식회사 효진엔지니어링 자화분사노즐이 장착된 폐가스 세정를 위한 스크러버 및 폐가스 세정를 위한 스크러버용 자화분사노즐
KR20220147230A (ko) 2021-04-27 2022-11-03 (주) 대성중공업 미세 버블을 이용한 수평식 스크러버

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101879769B1 (ko) * 2018-03-23 2018-07-18 (주) 세아그린텍 모듈형 폐가스 처리 장치
KR102128068B1 (ko) * 2018-10-26 2020-06-29 (주)명성씨.엠.아이 배기가스 내의 유해성분 저감을 위한 공기정화 시스템

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2004261781A (ja) * 2003-03-04 2004-09-24 Se Kogyo Kk 排気ガスの処理方法およびその処理装置
KR101564581B1 (ko) * 2015-06-26 2015-10-30 서익환 폐가스 성상에 따라 처리에 적합하도록 복수기능의 기액접촉수단으로 조합된 폐가스 처리 스크러버

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2004261781A (ja) * 2003-03-04 2004-09-24 Se Kogyo Kk 排気ガスの処理方法およびその処理装置
KR101564581B1 (ko) * 2015-06-26 2015-10-30 서익환 폐가스 성상에 따라 처리에 적합하도록 복수기능의 기액접촉수단으로 조합된 폐가스 처리 스크러버

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20220049280A (ko) * 2020-10-14 2022-04-21 주식회사 효진엔지니어링 자화분사노즐이 장착된 폐가스 세정를 위한 스크러버 및 폐가스 세정를 위한 스크러버용 자화분사노즐
KR102465182B1 (ko) * 2020-10-14 2022-11-09 주식회사 효진엔지니어링 자화분사노즐이 장착된 폐가스 세정를 위한 스크러버 및 폐가스 세정를 위한 스크러버용 자화분사노즐
KR20220147230A (ko) 2021-04-27 2022-11-03 (주) 대성중공업 미세 버블을 이용한 수평식 스크러버

Also Published As

Publication number Publication date
KR20180013001A (ko) 2018-02-07

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR101564580B1 (ko) 폐가스 성상에 따라 처리에 적합하도록 복수기능의 기액접촉수단으로 조합된 폐가스 처리 스크러버
KR101844749B1 (ko) 복수기능의 기액접촉수단을 이용한 폐가스 처리용 수평식 스크러버
KR101478973B1 (ko) 복수기능의 기액접촉수단을 이용한 산성 폐가스 처리 스크러버
KR101527175B1 (ko) 미세 액적 분사장치를 이용한 폐가스 처리 장치
KR101783373B1 (ko) 반도체공정에서 배출되는 유독성 폐가스를 처리하는 스크러버
KR101722232B1 (ko) 선박 엔진의 배기가스 정화장치
KR101947733B1 (ko) 복수기능의 기액접촉수단을 이용한 폐가스 처리용 수평식 스크러버
KR101420508B1 (ko) 이온화 습식 전기집진장치
CN107413179A (zh) 一种用于有机废气处理的净化系统
KR101564581B1 (ko) 폐가스 성상에 따라 처리에 적합하도록 복수기능의 기액접촉수단으로 조합된 폐가스 처리 스크러버
KR100717430B1 (ko) 고효율 멀티세정식 집진장치
KR102260160B1 (ko) 수평형 스크러버 장치
CN104128059A (zh) 撞击流气体净化系统
CN208097677U (zh) 一种组合型油烟净化装置
KR101190604B1 (ko) 유해가스 처리장치
KR102008880B1 (ko) 타이어 제조 공정의 복합 오염물질 처리 장치
KR101210931B1 (ko) 폐가스 처리 장치
KR101783376B1 (ko) 폐가스 처리 스크러버용 조립식 기액접촉수단 단위체
CN101342452B (zh) 立式废气洗涤设备及其废气处理方法
KR101652312B1 (ko) 복수기능의 기액접촉수단으로 조합된 수평식 폐가스 처리 스크러버
WO2016208979A1 (ko) 폐가스 성상에 따라 처리에 적합하도록 복수기능의 기액접촉수단으로 조합된 폐가스 처리 스크러버
JP2016533896A (ja) 流体の流れの化学化合物の収集、堆積及び分離についての方法及びシステム
KR101564578B1 (ko) 폐가스 성상에 따라 처리에 적합하도록 복수기능의 기액접촉수단으로 조합된 폐가스 처리 스크러버
KR102192344B1 (ko) 폐가스 처리 스크러버용 조립식 기액접촉수단 단위체 및 이를 이용한 폐가스 처리 스크러버
KR101902411B1 (ko) 자가 세정 폐가스 처리 장치

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
AMND Amendment
E601 Decision to refuse application
AMND Amendment
X701 Decision to grant (after re-examination)