KR101843085B1

KR101843085B1 - optical lens module and method of manufacturing the optical lens module

Info

Publication number: KR101843085B1
Application number: KR1020170138503A
Authority: KR
Inventors: 이정엽; 최승태; 이승완
Original assignee: 삼성전자주식회사
Priority date: 2017-10-24
Filing date: 2017-10-24
Publication date: 2018-03-28
Also published as: KR20170120553A

Abstract

광학렌즈 모듈 및 그 제조방법가 개시된다. 개시된 가변초점 렌즈 구조체는, 제1 실리콘 엘라스토머로 이루어진 실리콘 멤브레인을 포함하는 액체렌즈 유닛과, 실리콘 멤브레인 상에 마련되는 폴리머 액츄에이터와, 실리콘 멤브레인과 폴리머 액츄에이터 사이에 마련되는 제2 실리콘 엘라스토머로 이루어진 접착성 실리콘층를 포함한다. 개시된 광학렌즈 모듈은 광학 유체를 이용하여 초점 거리를 변화시키는 가변초점 렌즈 구조체와, 상기 가변초점 렌즈 구조체와 이격되게 마련되는 광학 소자와, 상기 가변초점 렌즈 구조체와 상기 광학 소자 사이에 마련되는 것으로, 실리콘 엘라스토머로 이루어진 실리콘 스페이서(silicone spacer)를 구비한다.An optical lens module and a manufacturing method thereof are disclosed. The disclosed variable focus lens structure comprises a liquid lens unit including a silicon membrane made of a first silicone elastomer, a polymer actuator provided on the silicon membrane, and a second silicone elastomer provided between the silicon membrane and the polymer actuator Silicon layer. The optical lens module includes a variable focus lens structure for changing a focal distance using an optical fluid, an optical element provided so as to be spaced apart from the variable focus lens structure, and an optical element provided between the variable focus lens structure and the optical element, And a silicone spacer made of a silicone elastomer.

Description

TECHNICAL FIELD [0001] The present invention relates to an optical lens module,

광학렌즈 모듈 및 그 제조방법에 관한 것이다. An optical lens module and a manufacturing method thereof.

현대 휴대용 통신기기는 단순한 전화 및 메시지 전달 기능을 넘어서 카메라, 게임, 음악 재생, 방송 및 인터넷 등과 같은 다양한 기능을 포함하는 다목적 전자기기로 발전하고 있다. 그리고, 이와 더불어 휴대용 통신기기 내의 작은 공간에 더 많은 기능들을 집적하기 위한 시도가 이루어지고 있다. 이러한 휴대용 통신기기 내에 집적되는 모듈들 중 크기를 줄이기가 가장 어려운 것으로 카메라 모듈을 들 수 있다. 상기 카메라 모듈에서 결상 광학계의 크기를 줄이는 데에는 한계가 있다. 그리고, 보다 나은 영상을 얻기 위해서 자동초점 기능, 손 떨림 방지 기능 및 줌 기능 등이 필요하지만, 이러한 기능들을 카메라 모듈에 추가하기에는 크기의 제약 때문에 쉽지 않다. 한편, 카메라 모듈에서 자동초점 기능을 구현하기 위한 대표적인 방법으로는 스텝 모터를 사용하는 방법, VCM(voice coil motor)를 사용하는 방법 또는 액체 렌즈를 사용하는 방법 등이 있다. 그러나, 이러한 방법들은 액체 렌즈를 사용하는 방법을 제외하면 휴대용 통신기기에 사용하기에 크기의 제약이 있으며, 또한 일괄 공정으로 제작하기에도 많은 어려움이 있어 제조 단가를 낮추기가 쉽지 않다는 문제가 있다. Modern handheld communication devices are evolving beyond simple phone and message delivery functions to multi-purpose electronic devices that include various functions such as cameras, games, music playback, broadcasting, and the Internet. In addition, attempts have been made to integrate more functions in a small space within a portable communication device. Camera modules are among the most difficult to reduce the size of the modules integrated in such portable communication devices. There is a limit in reducing the size of the imaging optical system in the camera module. In order to obtain a better image, an auto focus function, an anti-shake function, and a zoom function are required. However, it is not easy to add such a function to a camera module because of size limitation. On the other hand, typical methods for implementing the auto focus function in the camera module include a method using a step motor, a method using a voice coil motor (VCM), or a method using a liquid lens. However, these methods are limited in size for use in portable communication devices except for the method using a liquid lens, and there is a problem in that it is not easy to lower the manufacturing cost because there are many difficulties to manufacture in a batch process.

이러한 문제를 극복하기 위해서 최근에는 두께가 얇고 초점거리 조절이 가능하며, 웨이퍼 레벨(wafer-level)로 제작할 수 있는 미소 가변초점 렌즈 구조체가 개발되고 있다. 이러한 가변초점 렌즈 구조체에서는 광학 유체로 채워진 유체 챔버가 투명한 탄성 멤브레인에 의해 밀봉되어 있으며, 이 탄성 멤브레인 상에는 폴리머 액츄에이터가 마련되어 있다. 이와 같은 구조에서, 폴리머 액츄에이터가 구동하면 광학 유체에 작용하는 압력이 변화하게 되고, 이러한 압력 변화에 의해 탄성 멤브레인이 변형됨으로써 렌즈의 초점거리를 변화시키게 된다. 이러한 가변초점 렌즈 구조체는 예를 들면, 카메라 모듈 앞에 배치되어 자동 초점 기능을 수행하는데 사용될 수 있다.　 In order to overcome such a problem, a microvariable focus lens structure which is thin and can be adjusted in focal distance and can be manufactured at a wafer level is being developed. In this variable focus lens structure, a fluid chamber filled with an optical fluid is sealed by a transparent elastic membrane, on which a polymer actuator is provided. In such a structure, when the polymer actuator is driven, the pressure acting on the optical fluid changes, and the elastic membrane is deformed by the pressure change, thereby changing the focal length of the lens. This variable focus lens structure can be used, for example, in front of the camera module to perform the auto focus function.

이와 같은 가변초점 렌즈 구조체에서는 상기 탄성 멤브레인은 일반적으로 소수성(hydrophobic) 재질로 이루어진다. 따라서, 상기 탄성 멤브레인과 폴리머 액츄에이터의 결합을 위해 아크릴(acryl) 계열 또는 에폭시(epoxy) 계열의 접착체를 사용하는 경우에는 이러한 접착제와 탄성 멤브레인 사이의 접착력이 떨어지는 문제점이 있다. In such a varifocal lens structure, the elastic membrane is generally made of a hydrophobic material. Accordingly, when an acryl-based or epoxy-based adhesive is used for bonding the elastic membrane and the polymer actuator, the adhesive force between the adhesive and the elastic membrane is deteriorated.

본 발명의 실시예는 광학렌즈 모듈 및 그 제조방법을 제공한다. Embodiments of the present invention provide an optical lens module and a method of manufacturing the same.

본 발명의 일 측면에 있어서, In one aspect of the present invention,

제1 실리콘 엘라스토머(silicone elastomer)로 이루어진 실리콘 멤브레인(silicaone membrane)을 포함하는 액체렌즈 유닛; A liquid lens unit comprising a silica membrane made of a first silicone elastomer;

상기 실리콘 멤브레인 상에 마련되는 폴리머 액츄에이터; 및 A polymer actuator provided on the silicon membrane; And

상기 실리콘 멤브레인과 폴리머 액츄에이터 사이에 마련되는 것으로, 제2 실리콘 엘라스토머로 이루어진 접착성 실리콘층(adhesive silicone layer);를 구비하는 가변초점 렌즈 구조체가 제공된다. And an adhesive silicone layer provided between the silicon membrane and the polymer actuator, the adhesive silicone layer comprising a second silicone elastomer.

상기 제1 및 제2 실리콘 엘라스토머는 서로 다른 물질 또는 동일한 물질로 이루어질 수 있다. 여기서, 상기 제1 및 제2 실리콘 엘라스토머는 예를 들면,　 PDMS(polydimethylsiloxane), PMPS(polymethylphenylsiloxane) 또는 PVS(polyvinylsiloxane)을 포함할 수 있다.　 The first and second silicone elastomers may be made of different materials or the same material. The first and second silicone elastomers may include, for example, polydimethylsiloxane (PDMS), polymethylphenylsiloxane (PMPS), or polyvinylsiloxane (PVS).

상기 액체렌즈 유닛은, 광학 유체로 채워진 유체 챔버가 형성된 프레임; 상기 유체 챔버를 덮도록 상기 프레임의 상면에 마련되는 상기 실리콘 멤브레인; 및 상기 프레임의 하면에 마련되어 상기 유체 챔버의 바닥을 이루는 투명 기판;을 포함할 수 있다. 그리고, 상기 실리콘 멤브레인은 상기 폴리머 액츄에이터가 마련되는 구동부와, 상기 구동부의 내측에 형성되어 초점거리를 변화시키는 가변렌즈부를 포함할 수 있다. The liquid lens unit includes: a frame having a fluid chamber filled with an optical fluid; A silicon membrane provided on an upper surface of the frame to cover the fluid chamber; And a transparent substrate provided on a bottom surface of the frame to form a bottom of the fluid chamber. The silicon membrane may include a driving unit provided with the polymer actuator, and a variable lens unit formed inside the driving unit to change a focal distance.

상기 폴리머 액츄에이터 및 상기 접착성 실리콘층에는 상기 가변렌즈부에 대응하는 관통홀이 형성될 수 있다. The polymer actuator and the adhesive silicon layer may have through holes corresponding to the variable lens portion.

본 발명의 다른 측면에 있어서, In another aspect of the present invention,

제1 실리콘 엘라스토머로 이루어진 실리콘 멤브레인을 포함하는 액체렌즈 유닛을 준비하는 단계; Preparing a liquid lens unit comprising a silicon membrane of a first silicone elastomer;

폴리머 액츄에이터의 일면에 제2 실리콘 엘라스토머로 이루어진 접착성 실리콘층을 형성하는 단계; 및 Forming an adhesive silicone layer of a second silicone elastomer on one side of the polymer actuator; And

상기 실리콘 멤브레인과 상기 접착성 실리콘층을 접합하는 단계;를 포함하는 가변초점 렌즈 구조체의 제조방법이 제공된다. And bonding the silicon membrane and the adhesive silicon layer to each other.

상기 실리콘 멤브레인과 상기 접착성 실리콘층을 접합하기 전에 접합될 상기 실리콘 멤브레인의 표면과 상기 접착성 실리콘층의 표면을 산소 플라즈마 처리하는 단계가 더 포함될 수 있다. And oxygen plasma processing the surface of the silicon membrane and the surface of the adhesive silicon layer to be bonded before bonding the silicon membrane and the adhesive silicon layer to each other.

상기 실리콘 멤브레인과 상기 접착성 실리콘층은 진공 분위기 하에서 가압 접합될 수 있다. The silicon membrane and the adhesive silicon layer may be pressure bonded under a vacuum atmosphere.

상기 접착성 실리콘층을 형성하는 단계는, 폴리머 액츄에이터 물질층 상에 액상의 제2 실리콘 엘라스토머를 도포하는 단계; 상기 액상의 제2 실리콘 엘라스토머를 경화시켜 접착성 실리콘 물질층을 형성하는 단계; 및 상기 폴리머 액츄에이터 물질층 및 접착성 실리콘 물질층에 상기 가변렌즈부에 대응하는 관통공들을 형성함으로써 상기 폴리머 액츄에이터 및 상기 접착성 실리콘층을 형성하는 단계;를 포함할 수 있다.　 Wherein forming the adhesive silicone layer comprises: applying a second silicone elastomer in liquid phase on the polymer actuator material layer; Curing the liquid silicone elastomer to form an adhesive silicone material layer; And forming the polymer actuator and the adhesive silicon layer by forming through holes corresponding to the variable lens portion in the polymer actuator material layer and the adhesive silicone material layer.

상기 액상의 제2 실리콘 엘라스토머를 도포하기 전에, 상기 폴리머 액츄에이터 물질층의 표면을 산소 플라즈마 처리하는 단계가 더 포함될 수 있다. The method may further comprise oxygen plasma treatment of the surface of the polymer actuator material layer prior to applying the second silicone elastomer in liquid phase.

광학 유체를 이용하여 초점 거리를 변화시키는 가변초점 렌즈 구조체; A variable focus lens structure for changing a focal distance using an optical fluid;

상기 가변초점 렌즈 구조체와 이격되게 마련되는 광학 소자; 및 An optical element provided so as to be spaced apart from the variable focus lens structure; And

상기 가변초점 렌즈 구조체와 상기 광학 소자 사이에 마련되는 것으로, 실리콘 엘라스토머로 이루어진 실리콘 스페이서(silicone spacer);를 구비하는 광학 렌즈 모듈이 제공된다. And a silicone spacer provided between the variable focus lens structure and the optical element and made of a silicone elastomer.

상기 실리콘 스페이서가 부착되는 상기 가변초점 렌즈 구조체의 표면 및 상기 광학 소자의 표면은 실리콘 또는 실리콘 산화물을 포함할 수 있다. The surface of the variable focus lens structure to which the silicon spacer is attached and the surface of the optical element may comprise silicon or silicon oxide.

상기 실리콘 스페이서는 상기 가변초점 렌즈 구조체 및 상기 광학 소자의 가장자리를 따라 마련될 수 있다. 상기 실리콘 스페이서에는 적어도 하나의 에어 벤트(air vent)가 형성될 수 있다. The silicon spacer may be provided along edges of the variable focus lens structure and the optical element. At least one air vent may be formed in the silicon spacer.

상기 실리콘 스페이서는 상기 투명 기판에 부착되며, 상기 투명 기판은 글라스로 이루어질 수 있다. 상기 탄성 멤브레인은 실리콘 엘라스토머로 이루어지며, 상기 탄성 멤브레인과 상기 액츄에이터 사이에는 실리콘 엘라스토머로 이루어진 접착성 실리콘층이 마련될 수 있다. 상기 광학 소자는 고정초점 렌즈 구조체를 포함할 수 있다. The silicon spacer may be attached to the transparent substrate, and the transparent substrate may be made of glass. The elastic membrane is made of a silicone elastomer, and an adhesive silicon layer made of a silicone elastomer may be provided between the elastic membrane and the actuator. The optical element may comprise a fixed focus lens structure.

복수의 가변초점 렌즈 구조체가 집적된 가변렌즈 웨이퍼와, 복수의 광학 소자가 집적된 광학 소자 웨이퍼를 준비하는 단계; Preparing a variable lens wafer on which a plurality of variable focus lens structures are integrated and an optical element wafer on which a plurality of optical elements are integrated;

상기 가변렌즈 웨이퍼와 상기 광학 소자 웨이퍼 중 어느 하나에 실리콘 엘라스토머로 이루어진 실리콘 스페이서의 일면을 부착하는 단계; Attaching one surface of a silicon spacer made of a silicone elastomer to either the variable lens wafer or the optical element wafer;

상기 실리콘 스페이서의 타면에 상기 가변렌즈 웨이퍼와 상기 광학 소자 웨이퍼 중 다른 하나를 부착하는 단계; 및 Attaching the variable lens wafer and the other one of the optical element wafers to the other surface of the silicon spacer; And

상기 가변렌즈 웨이퍼 및 상기 광학 소자 웨이퍼를 다이싱(dicing)하는 단계;를 포함하는 광학 렌즈 모듈의 제조방법이 제공된다.　 And dicing the variable lens wafer and the optical element wafer.

상기 실리콘 스페이서에는 적어도 하나의 에어 벤트(air vent)가 형성될 수 있다. At least one air vent may be formed in the silicon spacer.

상기 실리콘 스페이서가 부착되는 상기 가변렌즈 웨이퍼의 표면 및 상기 광학 소자 웨이퍼의 표면은 실리콘 또는 실리콘 산화물을 포함할 수 있다. The surface of the variable lens wafer to which the silicon spacer is attached and the surface of the optical element wafer may comprise silicon or silicon oxide.

　　　　　　　　상기 가변렌즈 웨이퍼의 표면 및 상기 광학 소자 웨이퍼의 표면은 상기 실리콘 스페이서가 부착되기 전에 산소 플라즈마 처리될 수 있다.　 The surface of the variable lens wafer and the surface of the optical element wafer may be oxygen plasma treated before the silicon spacer is attached.

본 발명의 실시예들에 의하면, 폴리머 액츄에이터와 실리콘 엘라스토머로 이루어진 실리콘 멤브레인 사이에 실리콘 엘라스토머로 이루어진 접착성 실리콘층을 형성함으로써 폴리머 액츄에이터와 실리콘 멤브레인 사이의 접착력을 증대시킬 수 있는 가변초점 렌즈 구조체를 구현할 수 있다. 또한, 가변렌즈 구조체와 다른 광학 소자 사이에 실리콘 엘라스토머로 이루어진 실리콘 스페이서를 형성함으로써 가변렌즈 구조체와 광학 소자의 접착력을 향상시킬 수 있고, 상기 가변렌즈 구조체와 광학 소자 사이의 간격을 일정하게 유지할 수 있으며, 또한 웨이퍼 레벨 공정시 웨이퍼 구부림(wafer warpage) 현상이 방지될 수 있다. According to embodiments of the present invention, a variable focus lens structure capable of increasing adhesion between a polymer actuator and a silicon membrane can be realized by forming an adhesive silicone layer made of a silicone elastomer between a polymer actuator and a silicone membrane composed of a silicone elastomer . Further, by forming the silicon spacer made of the silicone elastomer between the variable lens structure and the other optical element, the adhesion between the variable lens structure and the optical element can be improved, and the gap between the variable lens structure and the optical element can be kept constant , And a wafer warpage phenomenon can also be prevented in a wafer level process.

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 가변초점 렌즈 구조체의 분해 사시도이다.
도 2는 도 1의 Ⅱ-Ⅱ‘선을 따라 본 단면도이다.
도 3은 본 발명의 다른 실시예에 따른 가변초점 렌즈 구조체의 단면도이다.
도 4 내지 도 8은 본 발명의 다른 실시예에 따른 가변초점 렌즈 구조체의 제조방법을 설명하는 도면들이다.
도 9는 본 발명의 다른 실시예에 따른 광학 렌즈 모듈을 도시한 단면도이다.
도 10은 도 9에 도시된 실리콘 스페이서의 사시도이다.
도 11은 도 9에 도시된 실리콘 스페이서의 변형예를 도시한 것이다.
도 12 내지 도 15는 본 발명의 다른 실시예에 따른 광학 렌즈 모듈의 제조방법을 설명하는 도면들이다.　 1 is an exploded perspective view of a variable focus lens structure according to an embodiment of the present invention.
2 is a cross-sectional view taken along a line II-II 'in FIG.
3 is a cross-sectional view of a variable focus lens structure according to another embodiment of the present invention.
FIGS. 4 to 8 are views illustrating a manufacturing method of a varifocal lens structure according to another embodiment of the present invention.
9 is a cross-sectional view illustrating an optical lens module according to another embodiment of the present invention.
10 is a perspective view of the silicon spacer shown in Fig.
Fig. 11 shows a modification of the silicon spacer shown in Fig.
12 to 15 are views illustrating a method of manufacturing an optical lens module according to another embodiment of the present invention.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 상세히 설명한다. 도면에서 동일한 참조부호는 동일한 구성요소를 지칭하며, 각 구성요소의 크기나 두께는 설명의 명료성을 위하여 과장되어 있을 수 있다. Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. In the drawings, like reference numerals refer to like elements, and the size and thickness of each element may be exaggerated for clarity of explanation.

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 가변초점 렌즈 구조체의 분해 사시도이다. 그리고, 도 2는 도 1의 Ⅱ-Ⅱ‘선을 따라 본 단면도이다. 1 is an exploded perspective view of a variable focus lens structure according to an embodiment of the present invention. 2 is a sectional view taken along the line II-II 'in FIG.

도 1 및 도 2를 참조하면, 본 실시예에 따른 가변초점 렌즈 구조체는 액체렌즈 유닛(100)과, 상기 액체렌즈 유닛(100) 상에 마련되는 폴리머 액츄에이터(150)와, 상기 액체렌즈 유닛(100)과 폴리머 액츄에이터(150) 사이에 형성되는 접착성 실리콘층(adhesive silicone layer,140)을 포함한다. 상기 액체렌즈 유닛(100)은 유체 챔버(160)가 형성된 프레임(110)과, 상기 프레임(110)의 상면에 마련되는 실리콘 멤브레인(silicone membrane,130)과, 상기 프레임(110)의 하면에 마련되는 투명 기판(120)을 포함할 수 있다. 상기 프레임(110)에 형성된 유체 챔버(160) 내에는 렌즈 역할을 수행하는 광학 유체(170)가 채워져 있다. 상기 광학 유체(170)로는 투명한 오일 등이 사용될 수 있으며, 이외에도 다양한 액체 물질이 사용될 수 있다. 상기 프레임(110)은 예를 들면 실리콘(Si) 등으로 이루어질 수 있으며, 이외에도 다양한 물질로 이루어질 수 있다. 도 1 및 도 2에 도시된 프레임(110)의 형상은 단지 예시적인 것으로, 이외에도 상기 프레임(110)은 다양한 형상을 가질 수 있다. 1 and 2, the variable focus lens structure according to the present embodiment includes a liquid lens unit 100, a polymer actuator 150 provided on the liquid lens unit 100, And an adhesive silicone layer 140 formed between the polymer actuator 100 and the polymer actuator 150. The liquid lens unit 100 includes a frame 110 on which a fluid chamber 160 is formed, a silicone membrane 130 provided on a top surface of the frame 110, (Not shown). In the fluid chamber 160 formed in the frame 110, an optical fluid 170 serving as a lens is filled. As the optical fluid 170, a transparent oil or the like may be used. In addition, various liquid materials may be used. The frame 110 may be made of, for example, silicon (Si) or the like. The shape of the frame 110 shown in FIGS. 1 and 2 is merely exemplary, and the frame 110 may have various shapes.

상기 프레임(110)의 하면에는 투명 기판(120)이 마련되어 있다. 이러한 투명 기판(120)은 상기 유체 챔버(160)의 바닥을 이루는 것으로서, 예를 들면 글라스 등으로 이루어질 수 있다. 하지만, 이에 한정되는 것은 아니다. 그리고, 상기 프레임(110)의 상면에는 실리콘 멤브레인(130)이 마련되어 있다. 이러한 실리콘 멤브레인(130)은 상기 유체 챔버(160)를 덮도록 마련되어 있다. 여기서, 상기 실리콘 멤브레인(130)은 제1 실리콘 엘라스토머(silicone elastomer)로 이루어질 수 있다. 상기 제1 실리콘 엘람스토머는 예를 들면,　 PDMS(polydimethylsiloxane), PMPS(polymethylphenylsiloxane) 또는 PVS(polyvinylsiloxane)을 포함할 수 있다. 하지만, 이에 한정되는 것은 아니며 상기 제1 실리콘 엘라스토머는 이외에도 다른 물질을 포함할 수 있다. 이러한 실리콘 멤브레인(130)은 제1 실리콘 엘라스토머로 이루어진 시트(sheet)를 상기 프레임(110)의 상면에 부착함으로써 형성될 수 있다. 여기서, 상기 프레임(110)의 상면을 산소 플라즈마 처리한 후, 상기 시트를 부착시키게 되면 상기 프레임(110)의 상면에 견고하게 부착된 실리콘 멤브레인(130)이 형성될 수 있다.　 A transparent substrate 120 is provided on the lower surface of the frame 110. The transparent substrate 120 forms the bottom of the fluid chamber 160, and may be formed of, for example, glass. However, the present invention is not limited thereto. On the upper surface of the frame 110, a silicon membrane 130 is provided. The silicon membrane 130 is provided to cover the fluid chamber 160. Here, the silicon membrane 130 may be made of a first silicone elastomer. For example, the first silicon elastomer may include polydimethylsiloxane (PDMS), polymethylphenylsiloxane (PMPS), or polyvinylsiloxane (PVS). However, the present invention is not limited thereto, and the first silicone elastomer may include other materials. The silicon membrane 130 may be formed by attaching a sheet made of a first silicone elastomer to an upper surface of the frame 110. Here, when the upper surface of the frame 110 is subjected to oxygen plasma treatment and the sheet is adhered thereto, a silicon membrane 130 firmly adhered to the upper surface of the frame 110 may be formed.

상기 실리콘 멤브레인(130)은 그 위에 폴리머 액츄에이터(150)가 마련되는 구동부(130b)와 상기 구동부(130b)의 내측에 형성되는 가변렌즈부(130a)를 포함할 수 있다. 상기 가변렌즈부(130a)는 상기 실리콘 멤브레인의 가운데 부분에 원형으로 형성되어 구동부(130b)를 통해 광학 유체(170)에 가해지는 압력에 따라 변형됨으로써 초점 거리를 변화시키게 된다.　　　 The silicon membrane 130 may include a driving part 130b on which the polymer actuator 150 is provided and a variable lens part 130a formed on the inner side of the driving part 130b. The variable lens unit 130a is formed in a circular shape at the center of the silicon membrane and is deformed according to the pressure applied to the optical fluid 170 through the driving unit 130b, thereby changing the focal distance.

상기 실리콘 멤브레인(130) 상에는 폴리머 액츄에이터(150)가 마련되어 있다. 구체적으로, 상기 폴리머 액츄에이터(150)는 상기 실리콘 멤브레인(130)의 구동부(130b) 상에 마련되어 있다. 이에 따라, 상기 폴리머 액츄에이터(150)의 가운데 부분에는 상기 가변렌즈부(130a)에 대응하는 형상의 관통홀(150a)이 형성되어 있다. 상기 폴리머 액츄에이터(150)가 구동하게 되면, 상기 실리콘 멤브레인(130)의 구동부(130b)를 통해 광학 유체(170)에 압력을 가하게 된다. 그리고, 이렇게 가해진 압력에 따라 상기 실리콘 멤브레인(130)의 가변렌즈부(130a)는 변형되고, 이에 따라 액체 렌즈의 초점거리가 변하게 된다. 상기 폴리머 액츄에이터(150)는 예를 들면, 두께가 얇고 소비 전력이 작은 전기적 능동 폴리머(EAP; electro active polymer)로 이루어질 수 있다. 하지만 이에 한정되는 것은 아니며, 상기 폴리머 액츄에이터(150)는 이외에도 다양한 재질의 폴리머로 이루어질 수 있다. On the silicon membrane 130, a polymer actuator 150 is provided. Specifically, the polymer actuator 150 is provided on the driving part 130b of the silicon membrane 130. [ Accordingly, a through hole 150a having a shape corresponding to the variable lens portion 130a is formed at the center of the polymer actuator 150. [ When the polymer actuator 150 is driven, pressure is applied to the optical fluid 170 through the driving part 130b of the silicon membrane 130. [ The variable lens portion 130a of the silicon membrane 130 is deformed according to the applied pressure, thereby changing the focal length of the liquid lens. The polymer actuator 150 may be made of, for example, an electro active polymer (EAP) having a small thickness and a small power consumption. However, the present invention is not limited thereto, and the polymer actuator 150 may be made of a polymer of various materials.

상기 폴리머 액츄에이터(150)와 상기 실리콘 멤브레인(130) 사이에는 접착성 실리콘층(adhesive silicone layer,140)이 형성되어 있다. 여기서, 상기 접착성 실리콘층(140)은 상기 폴리머 액츄에이터(150)와 상기 실리콘 멤브레인(130) 사이를 견고하게 접합시키는 역할을 한다. 이를 위해, 상기 접착성 실리콘층(140)은 제2 실리콘 엘라스토머로 이루어질 수 있다. 상기 제2 실리콘 엘라스토머는 전술한 제1 실리콘 엘라스토머와 마찬가지로, 예를 들면, PDMS(polydimethylsiloxane), PMPS(polymethylphenylsiloxane) 또는 PVS(polyvinylsiloxane)을 포함할 수 있다. 하지만, 이에 한정되는 것은 아니다. 상기 제2 실리콘 엘라스토머는 상기 제1 실리콘 엘라스토머와는 다른 물질로 이루어질 수 있다. 예를 들면, 상기 제1 실리콘 엘라스토머는 PDMS로 이루어질 수 있으며, 상기 제2 실리콘 엘라스토머는 PMPS로 이루어질 수 있다. 하지만 이는 단지 예시적인 것으로, 이외에도 상기 제1 및 제2 실리콘 엘라스토머는 서로 다양한 물질로 이루어질 수 있다. An adhesive silicone layer 140 is formed between the polymer actuator 150 and the silicon membrane 130. Here, the adhesive silicone layer 140 serves to firmly bond the polymer actuator 150 and the silicon membrane 130. To this end, the adhesive silicone layer 140 may comprise a second silicone elastomer. The second silicone elastomer may include, for example, polydimethylsiloxane (PDMS), polymethylphenylsiloxane (PMPS), or polyvinylsiloxane (PVS), in the same manner as the first silicone elastomer. However, the present invention is not limited thereto. The second silicone elastomer may be made of a material different from the first silicone elastomer. For example, the first silicone elastomer may be made of PDMS, and the second silicone elastomer may be made of PMPS. However, this is merely exemplary, and the first and second silicone elastomers may be made of various materials.

상기 실리콘 멤브레인(130)과 상기 접착성 실리콘층(140)은 산소 플라즈마 표면 처리후 접합하게 되면, 매우 강력한 접합력을 가지는 영구적 본딩이 이루어진다. 구체적으로, 소수성의 실리콘 엘라스토머 표면을 산소 플라즈마 처리하게 되면, 실리콘 엘라스토머의 표면에 수산화기(-OH)가 형성됨으로써 친수성(hydrophilic) 표면으로 개질되고, 일부 수산화기는 사슬(chain)이 끊어짐으로써 표면에너지가 높아지게 된다. 따라서, 산소 플라즈마 표면 처리된 실리콘 엘라스토머들을 소정 시간(예를 들면, 대략 30분) 이내에 서로 접합을 하면 강력한 접착력을 가지는 영구적 본딩이 이루어진다. When the silicon membrane 130 and the adhesive silicon layer 140 are bonded after the oxygen plasma surface treatment, permanent bonding with a very strong bonding force is performed. Specifically, when the surface of the hydrophobic silicone elastomer is subjected to the oxygen plasma treatment, a hydroxyl group (-OH) is formed on the surface of the silicone elastomer to be modified into a hydrophilic surface, and some hydroxyl groups are broken by chain breaking, . Therefore, when oxygen plasma-treated silicon elastomers are bonded to each other within a predetermined time (for example, about 30 minutes), permanent bonding with a strong adhesive force is achieved.

그리고, 상기 폴리머 액츄에이터(150)에 접착성 실리콘층(140)을 부착하기 전에 상기 폴리머 액츄에이터(150)의 표면을 산소 플라즈마 처리하게 되면, 상기 접착성 실리콘층(140)이 상기 폴리머 액츄에이터(150)의 표면에 강력하게 부착될 수 있다. 한편, 상기 실리콘 멤브레인(130) 및 접착성 실리콘(140)을 구성하는 제1 및 제2 실리콘 엘라스토머는 탄성 계수(Young's modulus)가 대략 1.5Mpa 이하인 연한(soft) 재질이므로, 폴리머 액츄에이터(150)로부터 광학 유체(170)로 전달되는 구동력이 손실되는 문제는 발생되지 않는다.　　　 The surface of the polymer actuator 150 is subjected to oxygen plasma treatment before the adhesive silicon layer 140 is attached to the polymer actuator 150 so that the adhesive silicon layer 140 is exposed to the polymer actuator 150. [ As shown in Fig. Since the first and second silicone elastomers constituting the silicon membrane 130 and the adhesive silicone 140 are soft materials having a Young's modulus of about 1.5 Mpa or less, There is no problem that the driving force transmitted to the optical fluid 170 is lost.

이상과 같이, 본 실시예에서는 액체렌즈 유닛(100)에 제1 엘라스토머로 이루어진 실리콘 멤브레인(130)을 마련하고, 이 실리콘 멤브레인(130)과 폴리머 액츄에이터(150) 사이에 제2 엘라스토머로 이루어진 접착성 실리콘층(140)을 형성함으로써 실리콘 멤브레인(130)과 폴리머 액츄에이터(150)가 서로 강력하게 접합될 수 있다. 또한, 실리콘 멤브레인(130)과 접착성 실리콘층(140)을 이루는 제1 및 제2 실리콘 엘라스토머는 발수 특성(water proof)과 내화학 특성이 매우 우수하므로, 수분이나 유해 화학 물질이 침투되는 것을 방지할 수 있다. 또한, 상기 제1 및 제2 실리콘 엘라스토머는 고온 신뢰성이 있기 때문에 고온 공정 적용이 가능하다. As described above, in this embodiment, the liquid lens unit 100 is provided with the silicon membrane 130 made of the first elastomer, and the adhesion between the silicon membrane 130 and the polymer actuator 150 made of the second elastomer By forming the silicon layer 140, the silicon membrane 130 and the polymer actuator 150 can be strongly bonded to each other. The first silicone elastomer and the second silicone elastomer constituting the silicone membrane 130 and the adhesive silicone layer 140 are excellent in water proofing and chemical resistance so that moisture and harmful chemicals are prevented from being infiltrated. can do. In addition, since the first and second silicone elastomers have high-temperature reliability, they can be applied at high temperature.

한편, 이상의 실시예에서는 상기 실리콘 멤브레인(130)을 구성하는 제1 실리콘 엘라스토머와 상기 접착성 실리콘층(140)을 구성하는 제2 실리콘 엘라스토머가 서로 다른 물질로 이루어진 경우가 설명되었다. 그러나, 도 3에 도시된 바와 같이, 상기 실리콘 멤브레인(131)을 구성하는 제1 실리콘 엘라스토머와 상기 접착성 실리콘층(141)을 구성하는 제2 실리콘 엘라스토머가 서로 동일한 물질로 이루어질 수도 있다. 여기서, 상기 제1 및 제2 실리콘 엘라스토머는 모두 예를 들면, PDMS로 이루어질 수 있다. 또한 여기서, 상기 제1 및 제2 실리콘 엘라스토머는 모두 PMPS로 이루어질 수도 있다. 이와 같이, 상기 제1 및 제2 실리콘 엘라스토머가 동일한 물질로 이루어진 경우에는 상기 실리콘 멤브레인(131)과 상기 접착성 실리콘층(141)은 전술한 바와 같은 영구적 본딩에 의해 동일한 물질로 이루어진 일체의 형상을 가질 수 있다. In the above embodiments, the first silicone elastomer constituting the silicon membrane 130 and the second silicone elastomer constituting the adhesive silicone layer 140 are made of different materials. However, as shown in FIG. 3, the first silicone elastomer constituting the silicon membrane 131 and the second silicone elastomer constituting the adhesive silicone layer 141 may be made of the same material. Here, the first and second silicone elastomers may all be made of PDMS, for example. Also, the first and second silicone elastomers may be made of PMPS. When the first and second silicone elastomers are made of the same material, the silicon membrane 131 and the adhesive silicon layer 141 are formed by the above-described permanent bonding to form an integral shape of the same material Lt; / RTI >

이하에서는 전술한 가변초점 렌즈 구조체를 제조하는 방법에 대해서 설명한다. 도 4 내지 도 8은 본 발명의 다른 실시예에 따른 가변초점 렌즈 구조체의 제조방법을 설명하는 도면들이다. Hereinafter, a method of manufacturing the variable focus lens structure will be described. FIGS. 4 to 8 are views illustrating a manufacturing method of a varifocal lens structure according to another embodiment of the present invention.

도 4를 참조하면, 액체렌즈 유닛(100)을 준비한다. 상기 액체렌즈 유닛(100)은 유체 챔버(160)가 형성된 프레임(110)과, 상기 프레임(110)의 상면에 마련되는 실리콘 멤브레인(silicone membrane,130)과, 상기 프레임(110)의 하면에 마련되는 투명 기판(120)을 포함할 수 있다. 상기 프레임(110)에 형성된 유체 챔버(160) 내에는 광학 유체(170)가 채워져 있다. 상기 프레임(110)은 예를 들면 실리콘(Si) 등으로 이루이질 수 있다. 그리고, 상기 광학 유체(170)로는 투명한 오일 등이 사용될 수 있으며, 상기 투명 기판(120)으로는 예를 들면 글라스 기판이 사용될 수 있다. 하지만 이에 한정되는 것은 아니다. 이러한 액체렌즈 유닛(100)은 상기 프레임(110)의 하면에 투명 기판(120)을 부착한 다음, 상기 유체 챔버(160) 내에 광학 유체(170)를 채우고, 상기 프레임(110)의 상면에 상기 유체 챔버(160)를 덮도록 실리콘 멤브레인(130)을 형성함으로써 제작될 수 있다. Referring to Fig. 4, a liquid lens unit 100 is prepared. The liquid lens unit 100 includes a frame 110 on which a fluid chamber 160 is formed, a silicone membrane 130 provided on a top surface of the frame 110, (Not shown). An optical fluid (170) is filled in the fluid chamber (160) formed in the frame (110). The frame 110 may be made of, for example, silicon (Si) or the like. As the optical fluid 170, a transparent oil or the like may be used. As the transparent substrate 120, for example, a glass substrate may be used. However, the present invention is not limited thereto. The liquid lens unit 100 has a structure in which a transparent substrate 120 is attached to the lower surface of the frame 110 and then the optical fluid 170 is filled in the fluid chamber 160, And forming the silicon membrane 130 to cover the fluid chamber 160.

상기 실리콘 멤브레인(130)은 제1 실리콘 엘라스토머로 이루어질 수 있다. 상기 제1 실리콘 엘라스토머는 예를 들면, PDMS, PMPS 또는 PVS을 포함할 수 있다. 하지만, 이에 한정되는 것은 아니다. 상기 실리콘 멤브레인(130)은 제1 실리콘 엘라스토머로 이루어진 시트를 상기 프레임의 상면에 부착함으로써 형성될 수 있다. 여기서, 상기 프레임(110)의 상면을 산소 플라즈마 처리한 후, 상기 시트를 부착시키게 되면 상기 프레임(110)의 상면에 견고하게 부착된 실리콘 멤브레인(130)이 형성될 수 있다. 여기서, 상기 실리콘 멤브레인(130)은 그 위에 폴리머 액츄에이터(150)가 마련되는 구동부(130b)와 상기 구동부(130b)의 내측에 마련되어 초점거리를 변화시키는 가변렌즈부(130a)를 포함할 수 있다. The silicon membrane 130 may comprise a first silicone elastomer. The first silicone elastomer may comprise, for example, PDMS, PMPS or PVS. However, the present invention is not limited thereto. The silicone membrane 130 may be formed by attaching a sheet of the first silicone elastomer to the upper surface of the frame. Here, when the upper surface of the frame 110 is subjected to oxygen plasma treatment and the sheet is adhered thereto, a silicon membrane 130 firmly adhered to the upper surface of the frame 110 may be formed. The silicon membrane 130 may include a driving unit 130b on which the polymer actuator 150 is mounted and a variable lens unit 130a provided on the inner side of the driving unit 130b to change the focal distance.

도 5를 참조하면, 폴리머 액츄에이터(도 6의 150)의 형성을 위한 폴리머 액츄에이터 물질층(150‘)을 마련한다. 여기서, 상기 폴리머 액츄에이터 물질층(150’)은 예를 들면, 전기적 능동 폴리머(EAP)로 이루어질 수 있으며, 이외에도 다양한 재질의 폴리머로 이루어질 수 있다. 이어서, 상기 폴리머 액츄에이터 물질층(150‘)의 표면은 후술하는 액상의 제2 실리콘 엘라스토머가 잘 부착될 수 있도록 산소 플라즈마 처리될 수 있다. 한편, 상기 산소 플라즈마 처리 대신에 상기 폴리머 액츄에이터 물질층(150’)의 표면에 접착 향상제(adhesion promotor)가 형성될 수도 있다. 다음으로, 상기 폴리머 액츄에이터 물질층(150‘)의 하면에 제2 실리콘 엘라스토머로 이루어진 접착성 실리콘 물질층(140’)을 형성한다. 여기서, 상기 제2 실리콘 엘라스토머는 제1 실리콘 엘라스토머와 마찬가지로, 예를 들면, PDMS, PMPS 또는 PVS을 포함할 수 있다. 하지만, 이에 한정되는 것은 아니다. 상기 제2 실리콘 엘라스토머는 상기 제1 실리콘 엘라스토머와 다른 물질로 이루어지거나 또는 동일한 물질로 이루어질 수 있다. Referring to FIG. 5, a polymer actuator material layer 150 'is provided for forming a polymer actuator (150 in FIG. 6). Here, the polymer actuator material layer 150 'may be made of, for example, an electrically active polymer (EAP), or may be made of polymers of various materials. The surface of the polymer actuator material layer 150 'may then be oxygen plasma treated so that the second silicone elastomer in the liquid phase, described below, is well adhered. In place of the oxygen plasma treatment, an adhesion promoter may be formed on the surface of the polymer actuator material layer 150 '. Next, an adhesive silicone material layer 140 'of a second silicone elastomer is formed on the bottom surface of the polymer actuator material layer 150'. Here, the second silicone elastomer may include, for example, PDMS, PMPS or PVS, as well as the first silicone elastomer. However, the present invention is not limited thereto. The second silicone elastomer may be made of the same material as or different from the first silicone elastomer.

상기 접착성 실리콘 물질층(140‘)은 산소 플라즈마 처리된 상기 폴리머 액츄에이터 물질층(150’)의 하면에 액상의 제2 실리콘 엘라스토머를 도포한 다음, 이를 경화시킴으로써 형성될 수 있다. 이에 따라, 상기 접착성 실리콘 물질층(140‘)은 폴리머 액츄에이터 물질층(150’)의 하면에 강한 접착력을 가지고 부착될 수 있다. The layer of adhesive silicone material 140 'can be formed by applying a liquid second silicone elastomer to the lower surface of the oxygen plasma treated polymer actuator material layer 150' and then curing it. Accordingly, the adhesive silicone material layer 140 'may be attached with a strong adhesive force to the lower surface of the polymer actuator material layer 150'.

도 6을 참조하면, 상기 폴리머 액츄에이터 물질층(150‘)에 상기 가변렌즈부(130a)에 대응하는 관통공(150a)을 형성함으로써 폴리머 액츄에이터(150)를 형성한다. 그리고, 상기 접착성 실리콘 물질층(140')을 가공(예를 들면, 레이저 가공 등)하여 상기 가변렌즈부(130a)에 대응하는 관통공(140a)을 형성함으로써 접착성 실리콘층(140)을 형성한다. Referring to FIG. 6, the polymer actuator 150 is formed by forming a through-hole 150a corresponding to the variable lens portion 130a in the polymer actuator material layer 150 '. The adhesive silicon layer 140 is formed by forming the through hole 140a corresponding to the variable lens portion 130a by processing the adhesive silicone material layer 140 ' .

도 7을 참조하면, 상기 실리콘 멤브레인(130)의 상면 및 상기 접착성 실리콘층(140)의 하면을 산소 플라즈마 처리한 다음, 상기 실리콘 멤브레인(130)과 상기 접착성 실리콘층(140)을 진공 분위기 하에서 가압 접합한다. 전술한 바와 같이, 상기 실리콘 멤브레인(130)과 상기 접착성 실리콘층(140)은 산소 플라즈마 표면 처리후 접합하게 되면, 매우 강력한 접합력을 가지는 영구적 본딩이 이루어진다. 즉, 소수성의 실리콘 엘라스토머 표면을 산소 플라즈마 처리하게 되면, 실리콘 엘라스토머의 표면에 수산화기(-OH)가 형성됨으로써 친수성(hydrophilic) 표면으로 개질되고, 일부 수산화기는 사슬(chain)이 끊어짐으로써 표면에너지가 높아지게 된다. 따라서, 산소 플라즈마 표면 처리된 실리콘 엘라스토머들을 소정 시간(예를 들면, 대략 30분) 이내에 서로 접합을 하게 되면 강력한 접착력을 가지는 영구적 본딩이 이루어진다. 7, the upper surface of the silicon membrane 130 and the lower surface of the adhesive silicon layer 140 are subjected to oxygen plasma treatment, and then the silicon membrane 130 and the adhesive silicon layer 140 are vacuum- Lt; / RTI > As described above, when the silicon membrane 130 and the adhesive silicon layer 140 are bonded after the oxygen plasma surface treatment, permanent bonding with a very strong bonding force is performed. That is, when the surface of the hydrophobic silicone elastomer is subjected to the oxygen plasma treatment, a hydroxyl group (-OH) is formed on the surface of the silicone elastomer to be modified into a hydrophilic surface, and a part of the hydroxyl groups breaks the chain, do. Therefore, if the oxygen plasma-treated silicon elastomers are bonded together within a predetermined time (e.g., about 30 minutes), permanent bonding with strong adhesive force is achieved.

이에 따라, 도 8에 도시된 바와 같이, 실리콘 멤브레인(130)과 접착성 실리콘층(140)이 서로 강력하게 접합된 가변렌즈 구조체가 완성된다. 한편, 상기 실리콘 멤브레인(130)과 접착성 실리콘층(140)의 접합될 표면들에 굴곡(warpage)나 결함이 있더라도 상기 실리콘 멤브레인(130)과 접착성 실리콘층(140)이 진공분위기 하에서 가압 접합되므로, 접합된 면들 사이에는 빈공간(void)이 없는 강력한 접합이 이루어질 수 있다.　　 Accordingly, as shown in FIG. 8, the variable lens structure in which the silicon membrane 130 and the adhesive silicon layer 140 are strongly bonded to each other is completed. Although the silicon membrane 130 and the adhesive silicon layer 140 are warped or defected on surfaces to be bonded to each other, the silicon membrane 130 and the adhesive silicon layer 140 are bonded together in a vacuum atmosphere, A strong bonding without voids can be achieved between the bonded surfaces.

이하에서는 가변초점 렌즈 구조체와 다른 광학소자(예를 들면, 고정초점 렌즈 구조체 등)가 접합된 광학 렌즈 모듈에 대해서 설명한다. Hereinafter, an optical lens module in which a variable focus lens structure and another optical element (e.g., a fixed focus lens structure) are joined will be described.

도 9는 본 발명의 다른 실시예에 따른 광학 렌즈 모듈을 도시한 단면도이다. 9 is a cross-sectional view illustrating an optical lens module according to another embodiment of the present invention.

도 9를 참조하면, 본 실시예에 따른 광학 렌즈 모듈은 광학 유체(270)를 이용하여 초점 거리를 변화시키는 가변초점 렌즈 구조체(200)와, 상기 가변초점 렌즈 구조체(200)와 이격되게 마련되는 광학 소자(300)와, 상기 가변렌즈 구조체(200)와 상기 광학 소자(300) 사이에 마련되는 것으로 실리콘 엘라스토머로 이루어진 실리콘 스페이서(silicone spacer,400)를 포함한다. 9, the optical lens module according to the present embodiment includes a variable focus lens structure 200 that changes a focal distance using an optical fluid 270, and a variable focus lens structure 200 that is spaced apart from the variable focus lens structure 200 An optical element 300 and a silicone spacer 400 formed of a silicone elastomer and provided between the variable lens structure 200 and the optical element 300.

상기 가변초점 렌즈 구조체(200)는 광학 유체(270)로 채워진 유체 챔버(260)가 형성된 프레임(210)과, 상기 프레임(210)의 하면에 마련되는 투명 기판(220)과, 상기 프레임(210)의 상면에 마련되는 탄성 멤브레인(230)과, 상기 탄성 멤브레인(230) 상에 마련되는 액츄에이터(250)를 포함할 수 있다. 상기 탄성 멤브레인(230)과 액츄에이터(250) 사이에는 접착층(240)이 더 마련될 수 있다. 상기 프레임(210)은 예를 들면 실리콘(Si) 등으로 이루어질 수 있지만 이에 한정되는 것은 아니다. 그리고, 상기 광학 유체(270)로는 투명한 오일 등이 사용될 수 있다. 상기 투명 기판(220)의 하면은 실리콘 스페이서(400)와의 강력한 접합을 위하여, 실리콘 또는 실리콘 산화물을　 포함할 수 있다. 예를 들면, 상기 투명 기판(220)으로는 글라스 기판이 사용될 수 있다. The variable focus lens structure 200 includes a frame 210 having a fluid chamber 260 filled with an optical fluid 270, a transparent substrate 220 provided on a lower surface of the frame 210, An elastic membrane 230 provided on the upper surface of the elastic membrane 230 and an actuator 250 provided on the elastic membrane 230. An adhesive layer 240 may be further provided between the elastic membrane 230 and the actuator 250. The frame 210 may be made of, for example, silicon (Si) or the like, but is not limited thereto. As the optical fluid 270, a transparent oil or the like may be used. The lower surface of the transparent substrate 220 may include silicon or silicon oxide for strong bonding with the silicon spacer 400. For example, a glass substrate may be used as the transparent substrate 220.

상기 탄성 멤브레인(230)은 그 위에 상기 액츄에이터(250)가 마련되는 구동부(230b)와, 상기 구동부(230b)의 내측에 위치하여 초점 거리를 변화시키는 가변렌즈부(203a)를 포함할 수 있다. 이러한 탄성 멤브레인(230)은 전술한 바와 같이 실리콘 엘라스토머(silicone elastomer)로 이루어질 수 있다. 여기서, 상기 실리콘 엘라스토머는 예를 들면, PDMS(polydimethylsiloxane), PMPS(polymethylphenylsiloxane) 또는 PVS(polyvinylsiloxane)을 포함할 수 있다. 한편, 본 실시예에서는 상기 탄성 멤브레인(230)이 실리콘 엘라스토머 외에 다른 물질로 이루어지는 것도 가능하다. 상기 탄성 멤브레인(230)의 구동부(230b) 상에는 액츄에이터(250)가 마련되어 있다. 상기 액츄에이터(250)로는 일반적으로 폴리머 액츄에이터가 사용되지만, 이외에 다른 유형의 액츄에이터도 사용될 수 있다. 한편, 상기 액츄에이터(250)의 가운데 부분에는 상기 가변렌즈부(230a)에 대응하는 관통공(250a)이 형성되어 있다. The elastic membrane 230 may include a driving unit 230b on which the actuator 250 is provided and a variable lens unit 203a disposed on the inner side of the driving unit 230b to change the focal distance. The elastic membrane 230 may be made of a silicone elastomer as described above. The silicone elastomer may include, for example, polydimethylsiloxane (PDMS), polymethylphenylsiloxane (PMPS), or polyvinylsiloxane (PVS). Meanwhile, in the present embodiment, the elastic membrane 230 may be made of a material other than the silicone elastomer. An actuator 250 is provided on the driving part 230b of the elastic membrane 230. [ The actuator 250 is generally a polymer actuator, but other types of actuators may be used. A through hole 250a corresponding to the variable lens unit 230a is formed in the center of the actuator 250. [

상기 탄성 멤브레인(230)과 상기 액츄에이터(250) 사이에는 접착층(240)이 마련될 수 있다. 여기서, 상기 접착층(240)은 전술한 바와 같이 실리콘 엘라스토머로 이루어질 수 있다. 여기서, 상기 접착층(240)을 이루는 실리콘 엘라스토머와 상기 탄성 멤브레인(230)을 이루는 실리콘 엘라스토머는 서로 다른 물질을 포함하거나 또는 동일한 물질을 포함할 수 있다. 이에 따라, 상기 탄성 멤브레인(230)과 접착층(240)은 강력한 접착력으로 접합될 수 있다. 이에 대한 상세한 설명은 전술하였으므로, 이에 대한 설명은 생략한다. 한편, 본 실시예에서는 상기 접착층(240)이 실리콘 엘라스토머 외에 다른 물질로 이루어지는 것도 가능하다. 한편, 상기 접착층(240)의 가운데 부분에는 상기 가변렌즈부(230a)에 대응하는 관통공(240a)이 형성되어 있다. An adhesive layer 240 may be provided between the elastic membrane 230 and the actuator 250. Here, the adhesive layer 240 may be made of a silicone elastomer as described above. The silicone elastomer constituting the adhesive layer 240 and the silicone elastomer constituting the elastic membrane 230 may include different materials or may include the same materials. Accordingly, the elastic membrane 230 and the adhesive layer 240 can be bonded with strong adhesive force. A detailed description thereof has been given above, and a description thereof will be omitted. Meanwhile, in the present embodiment, the adhesive layer 240 may be made of a material other than the silicone elastomer. Meanwhile, a through hole 240a corresponding to the variable lens portion 230a is formed in the center of the adhesive layer 240. [

상기 광학 소자(300)는 상기 가변초점 렌즈 구조체(200)의 투명 기판(200) 하부에 소정 간격을 두고 마련되어 있다. 이러한 광학 소자(300)는 예를 들면 고정초점 렌즈 구조체가 될 수 있으나, 이에 한정되는 것은 아니다. 상기 실리콘 스페이서(400)가 부착되는 상기 광학 소자(300)의 표면, 즉 상기 광학 소자(300)의 상면(300a)은 실리콘 스페이서(400)와의 강력한 접합을 위하여 실리콘 또는 실리콘 산화물을 포함할 수 있다. 한편, 상기 실리콘 스페이서(400)가 부착되는 광학 소자(300)의 상면(300a)이 실리콘이나 실리콘 산화물을 포함하지 않는 경우에는 상기 광학 소자(300)의 상면(300a)에 얇은 실리콘 엘라스토머층이 마련될 수 있다. The optical element 300 is provided below the transparent substrate 200 of the variable focus lens structure 200 at a predetermined interval. The optical element 300 may be, for example, a fixed focus lens structure, but is not limited thereto. The surface of the optical element 300 to which the silicon spacer 400 is attached or the top surface 300a of the optical element 300 may include silicon or silicon oxide for strong bonding with the silicon spacer 400 . On the other hand, when the top surface 300a of the optical element 300 to which the silicon spacer 400 is attached does not contain silicon or silicon oxide, a thin silicon elastomer layer is formed on the top surface 300a of the optical element 300 .

상기 가변초점 렌즈 구조체(200)와 상기 광학 소자(300) 사이에는 실리콘 스페이서(silicone spacer,400)가 마련되어 있다. 상기 실리콘 스페이서(400)는 실리콘 엘라스토머로 이루어질 수 있다. 상기 실리콘 엘라스토머는 예를 들면, PDMS, PMPS 또는 PVS 등을 포함할 수 있으나, 이에 한정되지는 않는다. 도 10에는 상기 실리콘 스페이서(400)의 사시도가 도시되어 있다. 도 10을 참조하면, 상기 실리콘 스페이서(400)는 상기 가변초점 렌즈 구조체(200) 및 상기 광학 소자(300)의 가장자리를 따라 마련되는 형상을 가질 수 있다. 본 실시에에서, 상기 실리콘 엘라스토머는 대략 80% ~ 100% 정도의 높은 신장율(elongation)을 가지는 탄성 물질이므로, 이러한 실리콘 엘라스토머로 이루어진 실리콘 스페이서(400)를 가변초점 렌즈 구조체(200)와 광학 소자(300) 사이에 마련하게 되면 가변초점 렌즈 구조체(200)와 광학 소자(300)를 일정한 간격으로 유지할 수 있게 된다. A silicone spacer (400) is provided between the variable focus lens structure (200) and the optical element (300). The silicon spacer 400 may be made of a silicone elastomer. The silicone elastomer may include, but is not limited to, PDMS, PMPS or PVS. FIG. 10 is a perspective view of the silicon spacer 400. FIG. Referring to FIG. 10, the silicon spacer 400 may have a shape provided along edges of the variable focus lens structure 200 and the optical element 300. Since the silicone elastomer is an elastic material having a high elongation of about 80% to about 100%, the silicon spacer 400 made of such a silicone elastomer is used as the variable focus lens structure 200 and the optical element 300, the variable focus lens structure 200 and the optical element 300 can be maintained at a constant interval.

그리고, 상기 실리콘 스페이서(400)는 상기 가변초점 렌즈 구조체(200) 및 상기 광학 소자(300)에 강력한 접착력을 가지고 부착될 수 있다. 구체적으로, 상기 가변초점 렌즈 구조체(200)의 접합면, 즉 투명 기판(220)의 하면과 상기 실리콘 스페이서(400)의 접합면, 즉 실리콘 스페이서(400)의 상면을 산소 플라즈마 처리한 다음, 상기 가변초점 렌즈 구조체(200)와 상기 실리콘 스페이서(400)를 진공 분위기 하에서 가압 본딩하게 되면 상기 실리콘 스페이서(400)의 상면은 상기 투명 기판(220)의 하면에 강한 접착력으로 부착될 수 있다. 또한, 광학 소자(300)의 접합면, 즉 광학 소자(300)의 상면(300a)과 상기 실리콘 스페이서(400)의 접합면, 즉 실리콘 스페이서(400)의 하면을 산소 플라즈마 처리한 다음, 상기 광학 소자(300)와 상기 실리콘 스페이서(400)를 진공 분위기 하에서 가압 본딩하게 되면 상기 실리콘 스페이서(400)의 하면은 상기 광학 소자(300)의 상면(300a)에 강한 접착력으로 부착될 수 있다. 도 11에는 도 10에 도시된 실리콘 스페이서의 변형예가 도시되어 있다. 도 11을 참조하면, 실리콘 스페이서(400‘)의 측면에는 적어도 하나의 에어 벤트(air vent,400’a)가 형성되어 있다. 이러한 에어 벤트(400'a)는 후술하는 광학 렌즈 모듈의 제조공정에서 실리콘 스페이서(400‘)의 내측 공간을 상기 에어 벤트(400’a)를 통하여 외부와 동일한 기압 분위기로 형성함으로써 가변초점 렌즈 구조체(200)나 광학 소자(300)가 변형되는 것을 방지한다. The silicon spacer 400 may be attached to the variable focus lens structure 200 and the optical element 300 with strong adhesive force. Specifically, oxygen plasma treatment is applied to the junction surface of the variable focus lens structure 200, that is, the lower surface of the transparent substrate 220 and the junction surface of the silicon spacer 400, that is, the upper surface of the silicon spacer 400, When the variable focus lens structure 200 and the silicon spacer 400 are pressure bonded under vacuum, the upper surface of the silicon spacer 400 can be attached to the lower surface of the transparent substrate 220 with a strong adhesive force. The surface of the optical element 300 to be bonded, that is, the upper surface 300a of the optical element 300 and the bonding surface of the silicon spacer 400, that is, the lower surface of the silicon spacer 400 are subjected to oxygen plasma treatment, The lower surface of the silicon spacer 400 may be attached to the upper surface 300a of the optical element 300 with a strong adhesive force by press bonding the element 300 and the silicon spacer 400 under a vacuum atmosphere. Fig. 11 shows a modified example of the silicon spacer shown in Fig. Referring to FIG. 11, at least one air vent 400'a is formed on a side surface of the silicon spacer 400 '. The air vent 400'a may be formed by forming the inner space of the silicon spacer 400 'through the air vent 400'a in the same atmosphere as the outside in the manufacturing process of the optical lens module described later, Thereby preventing the optical element 200 and the optical element 300 from being deformed.

도 12 내지 도 15는 본 발명의 다른 실시예에 따른 광학 렌즈 모듈을 웨이퍼 레벨(wafer-level)로 제조하는 공정을 설명하는 도면들이다. 12 to 15 are views illustrating a process of manufacturing an optical lens module according to another embodiment of the present invention at a wafer level.

도 12를 참조하면, 복수의 가변렌즈 구조체(501)가 집적된 가변렌즈 웨이퍼(500)와 복수의 광학 소자(701)가 집적된 광학 소자 웨이퍼(700)를 준비한다. 상기 가변렌즈 웨이퍼(500)는 광학 유체(570)로 채워진 복수의 유체 챔버(560)가 형성된 프레임(530)과, 상기 프레임(530)의 하면에 마련되는 투명 기판(520)과, 상기 프레임(510)의 상면에 마련되는 탄성 멤브레인(530)과, 상기 탄성 멤브레인(530) 상에 마련되는 복수의 액츄에이터(550)를 포함한다. 상기 탄성 멤브레인(530)과 액츄에이터들(550) 사이에는 접착층(540)이 형성될 수 있다. 여기서, 후술하는 공정에서 실리콘 스페이서(600)가 부착되는 접합면, 즉 상기 투명 기판(520)의 하면(520a)은 실리콘 또는 실리콘 산화물을 포함할 수 있다. 예를 들면, 상기 투명 기판(520)으로는 글라스 기판이 사용될 수 있다. 상기 광학 소자 웨이퍼(700)에는 예를 들면, 복수의 고정초점 렌즈 구조체가 집적될 수 있다. 여기서, 후술하는 공정에서 실리콘 스페이서(600)가 부착되는 접합면, 즉 상기 광학 소자 웨이퍼(700)의 상면(700a)은 실리콘 또는 실리콘 산화물을 포함할 수 있다. 상기 광학 소자 웨이퍼(700)의 상면(700a)이 실리콘 또는 실리콘 산화물을 포함하지 않는 경우에는 상기 광학 소자 웨이퍼(700)의 상면에 얇은 실리콘 엘라스토머층(미도시)을 형성하는 단계가 더 포함될 수 있다. 이 경우, 상기 실리콘 엘라스토머층은 상기 광학 소자 웨이퍼(700)의 상면을 산소 플라즈마 처리한 후, 상기 광학 소자 웨이퍼(700)의 상면(700a)에 액상의 실리콘 엘라스토머를 도포한 다음, 이를 경화시킴으로써 형성될 수 있다.　 12, a variable lens wafer 500 on which a plurality of variable lens structures 501 are integrated and an optical element wafer 700 on which a plurality of optical elements 701 are integrated are prepared. The variable lens wafer 500 includes a frame 530 having a plurality of fluid chambers 560 filled with an optical fluid 570, a transparent substrate 520 provided on a lower surface of the frame 530, And a plurality of actuators 550 provided on the elastic membrane 530. The elastic membrane 530 is provided on the upper surface of the elastic membrane 530, An adhesive layer 540 may be formed between the elastic membrane 530 and the actuators 550. Here, the bonding surface to which the silicon spacer 600 is attached, that is, the lower surface 520a of the transparent substrate 520 in the process described below, may include silicon or silicon oxide. For example, a glass substrate may be used as the transparent substrate 520. In the optical element wafer 700, for example, a plurality of fixed focus lens structures may be integrated. Here, the bonding surface to which the silicon spacer 600 is attached, that is, the upper surface 700a of the optical element wafer 700 in the process described below, may include silicon or silicon oxide. If the upper surface 700a of the optical element wafer 700 does not contain silicon or silicon oxide, a step of forming a thin silicon elastomer layer (not shown) on the optical element wafer 700 may be further included . In this case, the silicon elastomer layer is formed by applying oxygen plasma treatment to the upper surface of the optical element wafer 700, applying a liquid silicone elastomer to the upper surface 700a of the optical element wafer 700, .

도 13을 참조하면, 실리콘 엘라스토머로 이루어진 실리콘 스페이서(600)를 준비한 다음, 상기 실리콘 스페이서(600)의 상면을 상기 투명 기판(520)의 하면(520a)에 부착한다. 구체적으로, 상기 투명 기판(520)의 하면(520a)과 상기 실리콘 스페이서(600)의 상면을 먼저 산소 플라즈마 처리한 다음, 진공 분위기 하에서 상기 투명 기판(520)과 실리콘 스페이서(600)을 가압 본딩하게 되면, 상기 실리콘 스페이서(600)의 상면이 상기 투명 기판(520)의 하면(520a)에 강한 접착력으로 접합될 수 있다.　　　　　　　　 Referring to FIG. 13, a silicon spacer 600 made of a silicone elastomer is prepared, and an upper surface of the silicon spacer 600 is attached to a lower surface 520a of the transparent substrate 520. Specifically, the lower surface 520a of the transparent substrate 520 and the upper surface of the silicon spacer 600 are first subjected to oxygen plasma treatment, and then the transparent substrate 520 and the silicon spacer 600 are pressure bonded to each other in a vacuum atmosphere The upper surface of the silicon spacer 600 may be bonded to the lower surface 520a of the transparent substrate 520 with a strong adhesive force.

도 14를 참조하면, 상기 실리콘 스페이서(600)의 하면에 상기 광학 소자 웨이퍼(700)의 상면(700a)을 부착한다. 구체적으로, 상기 실리콘 스페이서(600)의 하면과 상기 광학 소자 웨이퍼(700)의 상면(700a)을 먼저 산소 플라즈마 처리한 다음, 진공 분위기 하에서 실리콘 스페이서(600)과 상기 광학 소자 웨이퍼(700)을 가압 본딩하게 되면, 상기 실리콘 스페이서(600)의 하면이 상기 광학 소자 웨이퍼(700)의 상면(700a)에 강한 접착력으로 접합될 수 있다. 여기서, 상기 실리콘 스페이서(600)는 상기 가변초점 렌즈 구조체들(501) 및 광학 소자들(701)의 가장자리를 따라 마련되는 형상을 가질 수 있다. 한편, 상기 실리콘 스페이서(600)의 측벽에는 도 11에 도시된 바와 같은 에어 벤트(air vent,400‘a)가 형성될 수 있다. 이러한 에어 벤트(400'a)는 실리콘 스페이서(600)가 가변렌즈 웨이퍼(500) 및 광학 소자 웨이퍼(700)와 접합되는 과정에서, 실리콘 스페이서(600) 내측 공간의 기압 분위기를 외부와 동일한 기압 분위기로 형성함으로써 가변초점 렌즈 웨이퍼(500)나 광학 소자 웨이퍼(700)가 변형되는 것을 방지한다. Referring to FIG. 14, the upper surface 700a of the optical element wafer 700 is attached to the lower surface of the silicon spacer 600. More specifically, the lower surface of the silicon spacer 600 and the upper surface 700a of the optical device wafer 700 are oxygen plasma treated first, and then the silicon spacer 600 and the optical device wafer 700 are pressed The lower surface of the silicon spacer 600 can be bonded to the upper surface 700a of the optical device wafer 700 with a strong adhesive force. Here, the silicon spacer 600 may have a shape along the edges of the variable focus lens structures 501 and the optical elements 701. On the other hand, an air vent (400'a) as shown in FIG. 11 may be formed on the side wall of the silicon spacer 600. The air vent 400'a is formed in such a manner that the air pressure atmosphere in the inner space of the silicon spacer 600 is the same as that of the outside in the process of bonding the silicon spacer 600 to the variable lens wafer 500 and the optical device wafer 700 Thereby preventing the variable focus lens wafer 500 and the optical element wafer 700 from being deformed.

도 15를 참조하면, 상기 실리콘 스페이서(600)에 의해 접합된 가변렌즈 웨이퍼(500) 및 광학 소자 웨이퍼(700)를 소정 패턴으로 다이싱(dicing)하게 되면 가변렌즈 구조체(501)와 광학 소자(701)가 결합된 복수의 광학 렌즈 모듈이 완성된다. 한편, 이상에서는 실리콘 스페이서(600)의 상면을 가변렌즈 웨이퍼(500)에 먼저 부착한 다음, 상기 실리콘 스페이서(600)의 하면을 광학 소자 웨이퍼(700)에 부착하는 경우가 설명되었다. 그러나, 상기 실리콘 스페이서(600)의 상면을 광학 소자 웨이퍼(700)에 먼저 부착한 다음, 상기 실리콘 스페이서(600)의 하면을 가변렌즈 웨이퍼(500)에 부착하는 것도 얼마든지 가능하다. 15, when the variable lens wafer 500 and the optical element wafer 700 bonded by the silicon spacer 600 are diced into a predetermined pattern, the variable lens structure 501 and the optical element 701 are combined with each other. The case where the upper surface of the silicon spacer 600 is first attached to the variable lens wafer 500 and the lower surface of the silicon spacer 600 is attached to the optical device wafer 700 has been described above. However, it is also possible to attach the upper surface of the silicon spacer 600 to the optical element wafer 700 first, and attach the lower surface of the silicon spacer 600 to the variable lens wafer 500.

이상과 같이, 본 실시예에서는 가변렌즈 웨이퍼(500)와 광학 소자 웨이퍼(700) 사이를 높은 신장율(elongation)을 가지는 실리콘 엘라스토머로 이루어진 실리콘 스페이서(600)로 접합함으로써 가변렌즈 구조체(501)와 광학 소자(701) 사이에 일정한 간격을 유지할 수 있는 광학 렌즈 모듈을 제작할 수 있다. 또한, 가변렌즈 웨이퍼(500) 및 광학 소자 웨이퍼(700)의 접합면들과 실리콘 스페이서(600)의 접합면들을 산소 플라즈마 처리 후 진공 분위기 하에서 가압 본딩 공정을 수행함으로서 상기 실리콘 스페이서(600)가 상기 가변렌즈 웨이퍼(500) 및 광학 소자 웨이퍼(700)에 강한 접착력으로 접합될 수 있다. 그리고, 가변렌즈 웨이퍼(500)와 광학 소자 웨이퍼(700) 중 적어도 하나가 본딩 공정 전에 변형되었거나 본딩 공정 중에 변형되어 웨이퍼 구부림(warpage)이 발생된 경우에도 상기 실리콘 스페이서(600)는 높은 신장율을 가지는 실리콘 엘라스토머로 이루어져 있기 때문에 빈 공간과 같은 결함이 발생됨이 없이 진공 분위기하에서 용이하게 가압 본딩될 수 있다. 또한, 본딩 공정 중 수축 또는 팽창에 의해 실리콘 스페이서(600)의 높이가 변화된 경우에도 다이싱 공정 후에는 상기 실리콘 스페이서(600)는 원래 높이로 탄성 변형됨으로써 다이싱 이후 제작된 광학 렌즈 모듈의 가변렌즈 구조체(501)와 광학 소자(701) 사이의 간격이 일정하게 유지될 수 있다. As described above, in the present embodiment, the variable lens structure 501 and the optical element wafer 700 are bonded by the silicone spacer 600 made of a silicone elastomer having a high elongation, by joining the variable lens wafer 500 and the optical element wafer 700, It is possible to manufacture an optical lens module capable of maintaining a constant gap between the elements 701. [ In addition, the bonding surfaces of the variable lens wafer 500 and the optical device wafer 700 and the bonding surfaces of the silicon spacer 600 are subjected to an oxygen plasma treatment, followed by a pressure bonding process in a vacuum atmosphere, The variable lens wafer 500 and the optical element wafer 700 with strong adhesive force. Also, even if at least one of the variable lens wafer 500 and the optical element wafer 700 is deformed before the bonding process or deformed during the bonding process to cause wafer bending, the silicon spacer 600 has a high elongation Since it is made of a silicone elastomer, it can be easily pressure-bonded under a vacuum atmosphere without generating defects such as voids. Also, even if the height of the silicon spacer 600 is changed due to shrinkage or expansion during the bonding process, after the dicing process, the silicon spacer 600 is elastically deformed to its original height, The interval between the structure 501 and the optical element 701 can be kept constant.

이상에서 본 발명의 실시예가 설명되었으나, 이는 예시적인 것에 불과하며, 당해 분야에서 통상적 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. While the invention has been shown and described with reference to certain preferred embodiments thereof, it will be understood by those skilled in the art that various changes and modifications may be made without departing from the scope of the invention as defined by the appended claims.

100... 액체렌즈 유닛　　　　　　　　　　　 110,210,510... 프레임
120,220,520... 투명 기판　　　　　　　 130... 실리콘 멤브레인
130a,230a... 가변렌즈부　　　　　　　　 130b,230b... 구동부
140... 접착성 실리콘층　　　　　　　　　 140‘... 접착성 실리콘 물질층
150... 폴리머 액츄에이터　　　　　　　 150‘... 폴리머 액츄에이터 물질층
140a,150a,240a,250a... 관통공　　 160... 유체 챔버
170... 광학 유체　　　　　　　　　　　　　　　 200,501... 가변렌즈 구조체
230,530... 탄성 멤브레인　　　　　　　 230a... 가변렌즈부
230b... 구동부　　　　　　　　　　　　　　　　　 240,540... 접착층
250,550... 액츄에이터　　　　　　　　　　 300,701... 광학 소자
400,400‘,600... 실리콘 스페이서
400‘a... 에어 벤트(air vent) 100 ... liquid lens unit 110, 210, 510 ... frame
120,220,520 ... Transparent substrate 130 ... Silicon membrane
130a, 230a ... variable lens units 130b, 230b, ...,
140 ... adhesive silicone layer 140 '... adhesive silicone material layer
150 ... polymer actuator 150 '... polymer actuator material layer
140a, 150a, 240a, 250a ... through hole 160 ... fluid chamber
170 ... optical fluid 200,501 ... variable lens structure
230, 530 ... elastic membrane 230a ... variable lens section
230b ... Driving parts 240, 540 ... Adhesive layer
250,550 ... actuator 300,701 ... optical element
400, 400 ', 600 ... silicon spacer
400'a ... air vent

Claims

A variable focus lens structure for changing a focal distance using an optical fluid;
An optical element provided so as to be spaced apart from the variable focus lens structure; And
And a silicone spacer provided between the variable focus lens structure and the optical element, the silicone spacer being made of a silicone elastomer.

The method according to claim 1,
Wherein the surface of the variable focus lens structure to which the silicon spacer is attached and the surface of the optical element comprise silicon or silicon oxide.

The method according to claim 1,
Wherein the silicon spacer comprises PDMS, PMPS or PVS.

The method according to claim 1,
Wherein the silicon spacer is provided along an edge of the variable focus lens structure and the optical element.

The method according to claim 1,
Wherein at least one air vent is formed in the silicon spacer.

The method according to claim 1,
The variable focus lens structure includes a frame having a fluid chamber filled with an optical fluid; An elastic membrane provided on an upper surface of the frame to cover the fluid chamber; A transparent substrate provided on a lower surface of the frame to form a bottom of the fluid chamber; And an actuator provided on the elastic membrane.

The method according to claim 6,
Wherein the silicon spacer is attached to the transparent substrate, and the transparent substrate is made of glass.

The method according to claim 6,
Wherein the elastic membrane is made of a silicone elastomer and an adhesive silicon layer made of a silicone elastomer is provided between the elastic membrane and the actuator.

The method according to claim 1,
Wherein the optical element comprises a fixed focus lens structure.

Preparing a variable lens wafer on which a plurality of variable focus lens structures are integrated and an optical element wafer on which a plurality of optical elements are integrated;
Attaching one surface of a silicon spacer made of a silicone elastomer to either the variable lens wafer or the optical element wafer;
Attaching the variable lens wafer and the other one of the optical element wafers to the other surface of the silicon spacer; And
And dicing the variable lens wafer and the optical element wafer.

11. The method of claim 10,
Wherein the silicon spacer is provided along the edges of the variable focus lens structures and the optical element.

11. The method of claim 10,
Wherein at least one air vent is formed in the silicon spacer.

11. The method of claim 10,
Wherein the surface of the variable lens wafer to which the silicon spacer is attached and the surface of the optical element wafer comprise silicon or silicon oxide.

14. The method of claim 13,
Wherein the surface of the variable lens wafer and the surface of the optical element wafer are subjected to oxygen plasma treatment before the silicon spacer is attached.

15. The method of claim 14,
Wherein the silicon spacer is pressure bonded to the surface of the variable lens wafer and the surface of the optical element wafer under a vacuum atmosphere.