KR101842992B1 - Device for tool position setting and method for tool position setting using the same - Google Patents

Device for tool position setting and method for tool position setting using the same Download PDF

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김형재
이상직
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정우창
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Abstract

The present invention relates to an apparatus for setting a tool position, and a method for setting the tool position using the same. The apparatus for setting a tool position is formed to be able to automatically set the tool position with respect to a reference surface of a workpiece table. The present invention comprises: a first displacement measurement means for measuring displacement of an object installed to be connected to the workpiece table; a second displacement measurement means for measuring displacement of the object by being coupled to and moved together with a tool installation member in which a tool is installed; a third displacement measurement means for measuring moving displacement of the tool installation member; a first carrier for carrying the tool installation member toward the reference surface; a second carrier for carrying the workpiece table or the tool installation member in the parallel direction to the reference surface; and a controller for obtaining the first displacement measurement means, the second displacement measurement means, and the third displacement measurement to check the tool position.

Description

공구위치 세팅장치 및 그것을 이용한 공구위치 세팅방법{DEVICE FOR TOOL POSITION SETTING AND METHOD FOR TOOL POSITION SETTING USING THE SAME}BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a tool position setting apparatus and a tool position setting method using the tool position setting apparatus.

본 발명은 공구위치 세팅장치 및 그것을 이용한 공구위치 세팅방법에 관한 것이다.The present invention relates to a tool position setting apparatus and a tool position setting method using the tool position setting apparatus.

보다 상세하게는, 공작물테이블의 기준면에 부착되는 공작물을 설정된 두께로 자동가공할 수 있도록, 제어기가 공구의 위치를 자동으로 설정할 수 있는 공구위치 세팅장치 및 그것을 이용한 공구위치 세팅방법에 관한 것이다.More particularly, the present invention relates to a tool position setting apparatus capable of automatically setting a position of a tool so that a workpiece attached to a reference surface of a workpiece table can be automatically machined to a predetermined thickness, and a tool position setting method using the tool position setting apparatus.

종래, 엘이디(LED)칩의 제작을 위해서는 도 1과 같이 기판(substrate)(S)상에 배치된 엘이디(LED)(L)를 인광물질(phosphor)(P)이 덮고, 그 인광물질(P)의 두께를 조절함으로서 엘이디칩의 색상조절이 이루어진다.Conventionally, in order to fabricate an LED chip, a phosphor (P) is covered with an LED (L) arranged on a substrate (S) as shown in FIG. 1 and the phosphor ) To adjust the color of the LED chip.

즉, 엘이디(L)는 청색을 나타내므로 엘이디(L)를 덮는 인광물질(P)의 두께(t)에 따라 다른 종류의 색상을 구현한 엘이디칩이 제작될 수 있다.That is, since the LED L shows a blue color, an LED chip implementing different colors according to the thickness t of the phosphor P covering the LED L can be manufactured.

이에 따라, 엘이디칩의 정확한 색상구현을 위해 도 1의 (b)와 같이 인광물질(P)을 정밀하게 설정된 두께(t)로 절삭하는 과정이 매우 중요하다.Accordingly, it is very important to cut the phosphor (P) to a precisely set thickness t as shown in FIG. 1 (b) for accurate color reproduction of the LED chip.

종래, 그러한 작업을 수행하는 장치에서, 가공물테이블이나 스핀들에 부착된 가공물을 설정두께로 가공하기 위하여 공구 날끝의 위치를 가공물이 부착된 기준면에 대하여 확인할 필요가 있었다.Conventionally, in an apparatus for performing such a work, it has been necessary to confirm the position of the tool edge with respect to the reference surface to which the workpiece is attached in order to process the workpiece attached to the workpiece table or the spindle to a predetermined thickness.

이를 위해, 도 2에서 도시된 바와 같은, 작업자가 툴세터(Tool Setter)(2)를 가공물테이블(1)에서 가공물이 부착되는 기준면(1a)에 올려 두고, 그 기준면(1a)을 향해 접근하는 공구(3a)의 날끝이 툴세터(2)에 접촉하도록 함으로써 공구(3a)날끝의 위치를 확인할 수 있었다.To this end, as shown in Fig. 2, an operator places a tool setter 2 on a reference surface 1a to which a workpiece is attached on the workpiece table 1, and approaches the reference surface 1a The tip of the tool 3a was brought into contact with the tool setter 2 so that the position of the blade tip of the tool 3a could be confirmed.

즉, 툴세터(2)의 높이가 이미 설정되어 입력되어 있으므로, 툴세터(2)에 접촉시의 공구(3a)의 이동변위를 확인하고 그 변위값이 획득됨으로써 공구(3a)의 위치의 확인이 가능하였다.That is, since the height of the tool setter 2 is already set and inputted, the movement displacement of the tool 3a at the time of contact with the tool setter 2 is confirmed, and the position of the tool 3a is confirmed Respectively.

공구(3a)의 위치확인이 이루어지면, 공구(3a)가 가공물을 설정두께로 가공하기 위해 소정거리만큼 이동하는 공구위치의 세팅이 이루어진다.When the positioning of the tool 3a is made, the setting of the tool position in which the tool 3a moves a predetermined distance in order to machine the workpiece to the set thickness is made.

그러나, 가공작업의 진행에 따라, 가공물테이블(1)의 기준면(1a)이 재가공될 수 있고, 공구(3a)의 날끝 마모가 발생하며, 가공물의 가공두께가 기준면(1a)을 기준으로 하는 것이 아니라 그 기준면(1a)에 올려지는 기판(substrate)의 상면을 기준으로 그 기판의 상면에 배치된 가공물을 설정두께로 가공해야 하는 상황 등이 발생한다.However, as the machining operation progresses, the reference surface 1a of the workpiece table 1 can be reprocessed, the edge of the tool 3a is worn, and the machining thickness of the workpiece is based on the reference surface 1a A situation where a workpiece arranged on the upper surface of the substrate is machined to a predetermined thickness on the basis of the upper surface of the substrate raised on the reference surface 1a occurs.

이 때문에, 가공물을 설정두께로 가공하는 작업의 정밀도를 지속적으로 유지하기 위해서는, 수시로 공구(3a) 위치를 세팅하는 작업이 이루어져야 하나, 공구(3a)위치를 세팅하는 전술한 과정은 작업자에 의해 이루어지게 되므로, 그 과정이 번거로울 뿐 아니라, 가공기계에 의한 공정을 전체적으로 자동화함에 있어 장애가 되고 있다.For this reason, in order to continuously maintain the precision of the work for machining the workpiece to the set thickness, it is necessary to set the position of the tool 3a from time to time, but the above-mentioned process of setting the position of the tool 3a is performed by the worker The process is not only complicated, but also hinders the overall automation of the process by the processing machine.

한편, 도 3은 한국등록특허공보 제10-0713678호에 기재된 것으로서, 공구를 세팅하는 장치에 관한 것이다.On the other hand, Fig. 3 is described in Korean Patent Registration No. 10-0713678, and relates to an apparatus for setting a tool.

도 3을 참조하면, 공구세팅 장치를 구성하는 몸체부(6)의 하부로 돌출된 작동봉(6a)의 위치는 공작물과 z3의 거리만큼 이격되고, 이후, 작동봉(6a)을 수직방향으로 내려 작동봉(6a)의 하단이 공작물(7)의 표면과 접촉하도록 하며, 작동봉(6a)의 위치를 조절나사로 고정한다. 3, the position of the working rod 6a protruding to the lower portion of the body portion 6 constituting the tool setting device is spaced by the distance between the workpiece and z3, and thereafter, the working rod 6a is moved in the vertical direction The lower end of the lower operating rod 6a is brought into contact with the surface of the workpiece 7, and the position of the working rod 6a is fixed with the adjusting screw.

이후, 베드(9)를 좌우방향으로 움직여 작동봉(6a)의 하부에 터치 프로브(8)를 위치시키고, 초기위치에 있는 스핀들(5)를 하강시켜 작동봉(6a)의 하부가 터치 프로브(8)와 접촉하여 스핀들(5)의 이동거리, 즉 z5만큼의 길이를 머시닝센터에서 인식하게 된다.Thereafter, the bed 9 is moved in the left-right direction to place the touch probe 8 on the lower portion of the operating rod 6a and lower the spindle 5 in the initial position so that the lower portion of the operating rod 6a is moved to the touch probe 8 to recognize the moving distance of the spindle 5, that is, the length of z5, at the machining center.

이와 같은 z5의 길이는 공작물(7)의 높이에서 터치 프로브(8)의 높이를 뺀 길이와 동일하다. 즉, z5 = z2 - z1이라는 식이 성립되어 측정위치에서의 공작물(7)의 높이를 알 수 있으며, 이로 인해서 공작물(7)과 스핀들(5)의 초기위치와의 거리, 즉 z6 거리를 알 수 있다.The length z5 is equal to the length of the work 7 minus the height of the touch probe 8. That is, the equation z5 = z2-z1 is established so that the height of the workpiece 7 at the measuring position can be known, and thereby the distance between the workpiece 7 and the initial position of the spindle 5, have.

이후, 자동공구교환장치를 통해 공구를 교환하고, 공구가 장착된 스핀들(5)을 하강하여 터치 프로브(8)에서 인식하여 z6거리와 비교한다. 이로써, 공구(3a)가 스핀들(5)에 장착되었을 때, 공작물(7)이 떨어져 있는 거리를 계산할 수 있다.Then, the tool is exchanged through the automatic tool changer, and the spindle 5 on which the tool is mounted is lowered and recognized by the touch probe 8 and compared with the z6 distance. Thereby, when the tool 3a is mounted on the spindle 5, the distance at which the workpiece 7 is separated can be calculated.

그러나, 도 3의 종래기술은 작업자가 작동봉(6a)의 위치를 조절나사로 고정하는 과정이 필요하므로 전체 과정에 대한 자동화가 이루어지기 어렵고, 스핀들(5)의 초기위치에서 베드(9)까지의 거리 z4는 사전에 입력되어야 하므로, 베드(9)의 높이가 달라지는 경우 등에서는 설정값을 재입력해야 하는 문제가 있다.However, since the conventional technique of FIG. 3 requires a process of fixing the position of the operating rod 6a with an adjusting screw by an operator, it is difficult to automate the entire process, and the entire process from the initial position of the spindle 5 to the bed 9 Since the distance z4 must be inputted in advance, there is a problem that the set value needs to be re-entered in the case where the height of the bed 9 changes.

본 발명은 상기와 같은 관점에서 안출된 것으로, 본 발명의 목적은 가공물테이블의 기준면에 대하여 공구의 위치를 자동으로 세팅할 수 있는 구성의 공구위치 세팅장치 및 그것을 이용한 공구위치 세팅방법를 제공하는 것이다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above-mentioned problems, and it is an object of the present invention to provide a tool position setting apparatus and a tool position setting method using the tool position setting apparatus capable of automatically setting a tool position with respect to a reference surface of a workpiece table.

또한, 본 발명의 다른 목적은, 가공물을 설정된 두께로 가공하는 과정에서 기준면이 변경되거나 공구의 마모가 발생하더라도 공구의 위치가 설정되는 작업이 작업자의 개입없이 자동으로 진행될 수 있고 정밀도를 유지할 수 있는 구성의 공구위치 세팅장치 및 그것을 이용한 공구위치 세팅방법를 제공하는 것이다.It is another object of the present invention to provide an apparatus and a method for adjusting the position of a tool even when a reference plane is changed or a tool is worn during a process of processing a workpiece to a predetermined thickness, And a tool position setting method using the tool position setting apparatus.

본 발명은 가공물이 부착되는 기준면을 가진 가공물테이블을 구비하고, 상기 기준면에 수직인 방향으로 공구의 위치를 확인함으로써, 공구의 위치를 설정하기 위한 공구위치 세팅장치에 있어서, 상기 가공물테이블에 설치되어 상기 기준면에 수직인 방향에 대하여 접촉하는 물체의 변위를 측정하는 제1변위측정수단과, 상기 공구가 설치된 공구설치부재와 결합되어 함께 이동하는 것으로서 상기 기준면에 수직인 방향에 대하여 물체의 변위를 측정하는 제2변위측정수단과, 상기 기준면에 대하여 그 기준면에 수직인 방향으로 상기 공구설치부재의 이동변위를 측정하는 제3변위측정수단과, 상기 공구가 기준면에 접근 및 이격되도록 상기 공구설치부재를 이송시키는 제1이송기와, 상기 기준면과 평행한 방향으로 상기 가공물테이블 또는 상기 공구설치부재를 이송시키는 제2이송기, 및 상기 제1이송기와 상기 제2이송기의 작동을 제어하되, 상기 제1변위측정수단과 상기 제2변위측정수단을 상기 기준면에 수직인 방향에서 서로 접촉시키고, 상기 제2변위측정수단을 상기 기준면에 접촉하도록 하며, 상기 제1변위측정수단에 상기 공구의 단부가 상기 기준면에 수직인 방향으로 접촉하도록 하여, 그 각각의 접촉시 상기 제1변위측정수단과 상기 제2변위측정수단과 상기 제3변위측정수단의 측정값을 획득함으로써, 그 측정값을 기초로 상기 기준면에 수직인 방향에서의 상기 공구의 위치를 확인하는 제어기를 포함하는 것을 특징으로 한다.The present invention relates to a tool position setting apparatus for setting the position of a tool by having a workpiece table with a reference surface to which a workpiece is attached and confirming the position of the tool in a direction perpendicular to the reference surface, A first displacement measuring means for measuring a displacement of an object in contact with a direction perpendicular to the reference plane and a second displacement measuring means for measuring a displacement of the object in a direction perpendicular to the reference plane, A third displacement measuring means for measuring the displacement of the tool mounting member in a direction perpendicular to the reference plane with respect to the reference plane, and a second displacement measuring means for measuring the displacement of the tool mounting member A second conveyor for conveying the workpiece table or the tool installation in a direction parallel to the reference plane, A second conveyor for conveying the ashes, and an operation of the first conveyor and the second conveyor, wherein the first displacement measuring means and the second displacement measuring means are brought into contact with each other in a direction perpendicular to the reference plane The second displacement measuring means is brought into contact with the reference surface and the first displacement measuring means is brought into contact with the end of the tool in a direction perpendicular to the reference surface, And a controller for obtaining the measured values of the second displacement measuring means and the third displacement measuring means and confirming the position of the tool in a direction perpendicular to the reference plane based on the measured values.

또한, 본 발명에서 상기 제1변위측정수단은 상기 공구가 위치하는 측을 향해 바형상의 측정자가 돌출되되, 그 측정자가 상기 기준면에 수직인 방향으로 신축하도록 설치된 접촉식프로브이고, 상기 제2변위측정수단은 상기 가공물테이블이 위치하는 측을 향해 바형상의 측정자가돌출되되, 그 측정자가 상기 기준면에 수직인 방향으로 신축하도록 설치된 접촉식프로브인 것을 다른 특징으로 한다.Further, in the present invention, the first displacement measuring means is a contact probe which is provided so that a bar-shaped measurer protrudes toward a side where the tool is located, the measuring probe being arranged to expand and contract in a direction perpendicular to the reference plane, The measuring means is a contact probe which is provided so that a bar-shaped measurer protrudes toward a side where the workpiece table is located, and the measuring probe is arranged to be stretched and contracted in a direction perpendicular to the reference plane.

또한, 본 발명에서 상기 제1변위측정수단은 상기 공구가 위치하는 측을 향해 바형상의 측정자가 돌출되되, 그 측정자가 상기 기준면에 수직인 방향으로 신축하도록 설치된 접촉식프로브이고, 상기 제2변위측정수단은 상기 가공물테이블이 위치하는 측을 향해 상기 기준면에 수직인 방향을 따라 대상물체의 변위를 측정하는 비접촉식 변위측정수단으로서, 초음파, 전자기파, 광 중 어느 하나를 이용하여 비접촉식으로 변위를 측정하는 수단이고, 상기 제1변위측정수단의 상기 측정자의 단부에는 상기 제2변위측정수단에서 발사된 초음파, 전자기파, 광 중 어느 하나가 상기 측정자의 단부에서 반사될 수 있도록 상기 기준면과 평행한 반사면이 형성된 것을 또 다른 특징으로 한다.Further, in the present invention, the first displacement measuring means is a contact probe which is provided so that a bar-shaped measurer protrudes toward a side where the tool is located, the measuring probe being arranged to expand and contract in a direction perpendicular to the reference plane, The measuring means measures the displacement of the object along the direction perpendicular to the reference plane toward the side on which the workpiece table is located. The non-contact displacement measuring means measures the displacement in a non-contact manner using any one of ultrasonic waves, electromagnetic waves and light Wherein a reflecting surface parallel to the reference surface is provided at an end of the measuring device of the first displacement measuring device so that any one of ultrasonic waves, electromagnetic waves, and light emitted from the second measuring device may be reflected at the end of the measuring device Which is formed as a further feature.

다른 관점에서 본 발명은 가공물이 부착되는 기준면을 가진 가공물테이블에 설치되는 것으로서, 상기 기준면에 수직인 방향에 대하여 접촉하는 물체의 변위를 측정하는 제1변위측정수단과, 상기 공구가 설치된 공구설치부재와 결합되어 함께 이동하는 것으로서, 상기 기준면에 수직인 방향에 대하여 물체의 변위를 측정하는 제2변위측정수단과, 상기 기준면에 대하여 그 기준면에 수직인 방향으로 상기 공구설치부재의 이동변위를 측정하는 제3변위측정수단과, 상기 공구가 기준면에 접근 및 이격되도록 상기 공구설치부재를 이송시키는 제1이송기와, 상기 기준면과 평행한 방향으로 상기 가공물테이블 또는 상기 공구설치부재를 이송시키는 제2이송기를 포함하는 장치에서, 공구의 위치를 확인하여 공구의 위치를 자동으로 설정하기 위한 공구위치 세팅방법에 있어서, 상기 제1변위측정수단과 상기 제2변위측정수단을 상기 기준면에 수직인 방향에 대하여 서로 접촉시키는 단계, 상기 제2변위측정수단을 상기 기준면에 수직인 방향으로 상기 기준면에 접촉시키는 단계, 상기 제1변위측정수단에 상기 공구의 단부를 상기 기준면에 수직인 방향에 대하여 접촉시키는 단계를 포함하고, 그 단계들에서 상기 제1변위측정수단과 상기 제2변위측정수단 및 상기 제3변위측정수단의 측정값을 획득함으로써 그 측정값을 기초로 상기 기준면에 수직인 방향에서 상기 공구의 위치를 확인하는 것을 특징으로 한다.In another aspect of the present invention, there is provided a workpiece mounting apparatus comprising a first displacement measuring means installed on a workpiece table having a reference surface to which a workpiece is attached, the first displacement measuring means measuring a displacement of an object contacting a direction perpendicular to the reference surface, A second displacement measuring means for measuring a displacement of an object with respect to a direction perpendicular to the reference plane and a second displacement measuring means for measuring a displacement of the tool mounting member in a direction perpendicular to the reference plane with respect to the reference plane A first conveyor for conveying the tool mounting member such that the tool is moved toward and away from the reference surface and a second conveyor for conveying the work table or the tool mounting member in a direction parallel to the reference surface In the included device, the tool position count for automatically setting the position of the tool by checking the position of the tool Wherein the first displacement measuring means and the second displacement measuring means are brought into contact with each other in a direction perpendicular to the reference plane, and the second displacement measuring means is contacted with the reference plane in a direction perpendicular to the reference plane, Wherein said first displacement measuring means and said second displacement measuring means are arranged such that said first displacement measuring means and said second displacement measuring means are in contact with each other in a direction perpendicular to said reference plane, And the position of the tool is confirmed in a direction perpendicular to the reference plane based on the measured value obtained by obtaining the measured value of the three-dimensional displacement measuring means.

또한, 본 발명에서 상기 제1변위측정수단은 상기 공구가 위치하는 측을 향해 바형상의 측정자가 돌출되되, 그 측정자가 상기 기준면에 수직인 방향으로 신축하도록 설치된 접촉식프로브이고, 상기 제2변위측정수단은 상기 가공물테이블이 위치하는 측을 향해 바형상의 측정자가돌출되되, 그 측정자가 상기 기준면에 수직인 방향으로 신축하도록 설치된 접촉식프로브인 것을 다른 특징으로 한다.Further, in the present invention, the first displacement measuring means is a contact probe which is provided so that a bar-shaped measurer protrudes toward a side where the tool is located, the measuring probe being arranged to expand and contract in a direction perpendicular to the reference plane, The measuring means is a contact probe which is provided so that a bar-shaped measurer protrudes toward a side where the workpiece table is located, and the measuring probe is arranged to be stretched and contracted in a direction perpendicular to the reference plane.

또한, 본 발명에서 상기 제1변위측정수단은 상기 공구가 위치하는 측을 향해 바형상의 측정자가 돌출되되, 그 측정자가 상기 기준면에 수직인 방향으로 신축하도록 설치된 접촉식프로브이고, 상기 제2변위측정수단은 상기 가공물테이블이 위치하는 측을 향해 상기 기준면에 수직인 방향을 따라 대상물체의 변위를 측정하는 비접촉식 변위측정수단으로서, 초음파, 전자기파, 광 중 어느 하나를 이용하여 비접촉식으로 변위를 측정하는 수단이고, 상기 제1변위측정수단의 상기 측정자의 단부에는 상기 제2변위측정수단에서 발사된 초음파, 전자기파, 광 중 어느 하나가 상기 측정자의 단부에서 반사될 수 있도록 상기 기준면과 평행한 반사면이 형성된 것을 다른 특징으로 한다.Further, in the present invention, the first displacement measuring means is a contact probe which is provided so that a bar-shaped measurer protrudes toward a side where the tool is located, the measuring probe being arranged to expand and contract in a direction perpendicular to the reference plane, The measuring means measures the displacement of the object along the direction perpendicular to the reference plane toward the side on which the workpiece table is located. The non-contact displacement measuring means measures the displacement in a non-contact manner using any one of ultrasonic waves, electromagnetic waves and light Wherein a reflecting surface parallel to the reference surface is provided at an end of the measuring device of the first displacement measuring device so that any one of ultrasonic waves, electromagnetic waves, and light emitted from the second measuring device may be reflected at the end of the measuring device And is formed as another feature.

또 다른 관점에서 본 발명은, 가공물이 부착되는 기준면을 가진 가공물테이블을 구비하고, 상기 기준면에 수직인 방향으로 공구의 위치를 확인함으로써, 공구의 위치를 설정하기 위한 공구위치 세팅장치에 있어서, 제1감지점을 구비하고 상기 가공물테이블에 설치되며, 상기 기준면에 수직인 방향으로 접근하는 물체가 상기 제1감지점에 도달했는지 여부에 대한 신호를 발생시키는 제1감지센서와, 제2감지점을 구비하고 상기 공구가 설치된 공구설치부재와 결합되어 함께 이동하며, 상기 기준면에 수직인 방향에 대하여 상기 가공물테이블에 접근시 상기 제2감지점이 물체에 도달했는지 여부에 대한 신호를 발생시키는 제2감지센서와, 상기 기준면에 대하여 그 기준면에 수직인 방향으로 상기 공구설치부재의 이동변위를 측정하는 공구설치부재변위센서와, 상기 공구가 상기 기준면에 접근 및 이격되도록 상기 공구설치부재를 이송시키는 제1이송기와, 상기 기준면과 평행한 방향으로 상기 가공물테이블 또는 상기 공구설치부재를 이송시키는 제2이송기, 및 상기 제1이송기와 상기 제2이송기의 작동을 제어하되, 상기 제1감지점과 상기 제2감지점을 상기 기준면에 수직인 방향에서 서로 접촉시키고, 상기 제2감지점을 상기 기준면에 접촉시키며, 상기 제1감지점에 상기 공구의 단부가 상기 기준면에 수직인 방향으로 접촉하도록 하는 과정을 각각 진행시켜, 그 각각의 접촉시 상기 제1감지센서와 상기 제2감지센서와 상기 공구설치부재변위센서의 감지신호를 획득함으로써, 그 감지신호를 기초로 상기 기준면에 수직인 방향으로 상기 공구의 위치를 확인하는 제어기를 포함하는 것을 특징으로 한다.According to another aspect of the present invention, there is provided a tool position setting apparatus for setting a tool position by confirming a position of a tool in a direction perpendicular to the reference surface, the tool position setting apparatus having a work table having a reference surface to which a workpiece is attached, A first sensing sensor having a first sensing point and provided on the workpiece table for generating a signal as to whether an object approaching the sensing point in a direction perpendicular to the reference surface has reached the first sensing point, A second sensing sensor for generating a signal as to whether the second sensing point has reached the object when approaching the workpiece table with respect to a direction perpendicular to the reference surface, And a tool mounting member for measuring a displacement of the tool mounting member in a direction perpendicular to the reference plane with respect to the reference plane, A first conveyor for conveying the tool mounting member such that the tool approaches and separates from the reference surface, a second conveyor for conveying the work table or the tool mounting member in a direction parallel to the reference surface, 1 conveyor and the second conveyor, wherein the first sensing point and the second sensing point are brought into contact with each other in a direction perpendicular to the reference plane, and the second sensing point is brought into contact with the reference plane, And a step of causing the first sensing point to contact the end portion of the tool in a direction perpendicular to the reference surface, respectively, so that the first sensing sensor, the second sensing sensor, and the tool mounting member displacement sensor And a controller for acquiring a sensing signal to confirm the position of the tool in a direction perpendicular to the reference plane based on the sensing signal.

또한, 본 발명에서 상기 제1감지센서는 상기 공구가 위치하는 측을 향해 측정자가 돌출되되, 그 측정자가 상기 기준면에 수직인 방향으로 신축하도록 설치되고 상기 측정자의 단부가 상기 제1감지점이고, 상기 제2감지센서는 상기 가공물테이블이 위치하는 측을 향해 측정자가 돌출되되, 그 측정자가 상기 기준면에 수직인 방향으로 신축하도록 설치되고 그 측정자의 단부가 상기 제2감지점인 것을 다른 특징으로 한다.In addition, in the present invention, the first sensing sensor may include a measuring sensor protruding toward a side on which the tool is positioned, the measuring device being installed to extend or retract in a direction perpendicular to the reference surface, and an end of the measuring device being the first sensing point, The second sensing sensor is characterized in that the measurer protrudes toward the side on which the workpiece table is located, and the measurer is provided so as to extend and retract in a direction perpendicular to the reference surface, and the end of the measurer is the second sensing point.

또한, 본 발명에서 상기 제1감지센서 또는 상기 제2감지센서는, 초음파, 전자기파, 광 중 어느 하나를 이용하여 물체가 상기 제1감지센서의 상기 제1감지점, 또는 상기 제2감지센서의 상기 제2감지점에 도달했는지 여부에 대한 신호를 발생시키는 비접촉식 감지센서인 것을 또 다른 특징으로 한다.Further, in the present invention, the first sensing sensor or the second sensing sensor may be a sensor that senses an object using the ultrasonic wave, the electromagnetic wave, or the light, based on the first sensing point of the first sensing sensor, And is a non-contact type sensor that generates a signal as to whether or not the second sensing point has been reached.

한편, 또 다른 관점에서 본 발명은, 가공물이 부착되는 기준면을 가진 가공물테이블에 설치되는 것으로서, 제1감지점을 구비하고 상기 기준면에 수직인 방향으로 접근하는 물체가 상기 제1감지점에 도달했는지 여부에 대한 신호를 발생시키는 제1감지센서와, 제2감지점을 구비하고 상기 공구가 설치된 공구설치부재와 결합되어 함께 이동하며, 상기 기준면에 수직인 방향에 대하여 상기 가공물테이블에 접근시 상기 제2감지점이 물체에 도달했는지 여부에 대한 신호를 발생시키는 제2감지센서와, 상기 기준면에 대하여 그 기준면에 수직인 방향으로 상기 공구설치부재의 이동변위를 측정하는 공구설치부재변위센서와, 상기 공구가 상기 기준면에 접근 및 이격되도록 상기 공구설치부재를 이송시키는 제1이송기와, 상기 기준면과 평행한 방향으로 상기 가공물테이블 또는 상기 공구설치부재를 이송시키는 제2이송기를 포함하는 장치에서, 공구의 위치를 확인하여 공구의 위치를 자동으로 설정하기 위한 공구위치 세팅방법에 있어서, 상기 제1감지센서와 상기 제2감지센서를 상기 기준면에 수직인 방향에 대하여 서로 접촉시키는 단계, 상기 제2감지센서를 상기 기준면에 수직인 방향으로 상기 기준면에 접촉시키는 단계, 상기 제1감지센서에 상기 공구의 단부를 상기 기준면에 수직인 방향에 대하여 접촉시키는 단계를 포함하고, 그 단계들에서 상기 제1변위측정수단과 상기 제2변위측정수단 및 상기 제3변위측정수단의 측정값을 획득함으로써 그 측정값을 기초로 상기 기준면에 수직인 방향에서 상기 공구의 위치를 확인하는 것을 특징으로 한다.According to another aspect of the present invention, there is provided a workpiece table having a reference surface to which a workpiece is attached, wherein an object having a first sensing point and approaching a direction perpendicular to the reference surface reaches the first sensing point And a second sensing point which moves together with a tool mounting member having a second sensing point and in which the tool is mounted, and when approaching the work table with respect to a direction perpendicular to the reference plane, A tool mounting member displacement sensor for measuring a displacement of the tool mounting member in a direction perpendicular to the reference surface with respect to the reference surface; A first conveyor for conveying the tool mounting member such that the tool mounting member approaches and separates from the reference surface, A tool position setting method for automatically setting a position of a tool by confirming a position of a tool, in an apparatus including a tributary table or a second feeder for feeding the tool mounting member, the tool position setting method comprising: Contacting the sensing sensor with a reference plane in a direction perpendicular to the reference plane, contacting the second sensing sensor with the reference plane in a direction perpendicular to the reference plane, Wherein the first displacement measurement means, the second displacement measurement means, and the third displacement measurement means are obtained by obtaining the measurement values of the first displacement measurement means, the second displacement measurement means, and the third displacement measurement means in the steps, And the position of the tool is confirmed in a direction perpendicular to the direction of the tool.

또한, 본 발명에서 상기 제1감지센서는 상기 공구가 위치하는 측을 향해 측정자가 돌출되되, 그 측정자가 상기 기준면에 수직인 방향으로 신축하도록 설치되고 상기 측정자의 단부가 상기 제1감지점이고, 상기 제2감지센서는 상기 가공물테이블이 위치하는 측을 향해 측정자가 돌출되되, 그 측정자가 상기 기준면에 수직인 방향으로 신축하도록 설치되고 그 측정자의 단부가 상기 제2감지점인 것을 다른 특징으로 한다.In addition, in the present invention, the first sensing sensor may include a measuring sensor protruding toward a side on which the tool is positioned, the measuring device being installed to extend or retract in a direction perpendicular to the reference surface, and an end of the measuring device being the first sensing point, The second sensing sensor is characterized in that the measurer protrudes toward the side on which the workpiece table is located, and the measurer is provided so as to extend and retract in a direction perpendicular to the reference surface, and the end of the measurer is the second sensing point.

또한, 본 발명에서 상기 제1감지센서 또는 상기 제2감지센서는, 초음파, 전자기파, 광 중 어느 하나를 이용하여 물체가 상기 제1감지센서의 상기 제1감지점, 또는 상기 제2감지센서의 상기 제2감지점에 도달했는지 여부에 대한 신호를 발생시키는 비접촉식 감지센서인 것을 또 다른 특징으로 한다.Further, in the present invention, the first sensing sensor or the second sensing sensor may be a sensor that senses an object using the ultrasonic wave, the electromagnetic wave, or the light, based on the first sensing point of the first sensing sensor, And is a non-contact type sensor that generates a signal as to whether or not the second sensing point has been reached.

전술한 구성에 따른 본 발명의 공구위치 세팅장치 및 공구위치 세팅방법은, 가공물테이블의 기준면에 대하여 공구의 위치를 확인하는 과정을 자동화할 수 있으며, 그 공구의 위치를 자동으로 확인함으로써 가공물을 설정두께로 가공하는 전체 공정이 자동화될 수 있다.The tool position setting apparatus and tool position setting method according to the present invention can automate the process of confirming the position of the tool with respect to the reference surface of the workpiece table and automatically confirm the position of the tool, The entire process of processing into thickness can be automated.

또한, 본 발명은 가공물을 설정된 두께로 가공하는 과정에서 기준면이 변경되거나 공구의 마모가 발생하더라도 공구위치 세팅방법을 재실시함으로써, 공구의 위치(날끝의 위치)를 정확히 확인할 수 있고, 그 확인에 따라 공구의 세팅이 정밀하게 이루어질 수 있다.Further, according to the present invention, the position of the tool (the position of the blade edge) can be accurately confirmed by re-executing the tool position setting method even if the reference surface is changed or the wear of the tool occurs in the course of processing the workpiece to a predetermined thickness The setting of the tool can be performed precisely.

이는 작업자의 개입이 없더라도 자동으로 진행될 수 있는 구성의 공구위치 세팅장치 및 공구위치 세팅방법를 제공하는 것이므로, 가공물을 설정두께로 가공하는 전체 공정의 자동화가 실현될 수 있다.This provides a tool position setting device and tool position setting method of a configuration that can be automatically carried out even without operator intervention, so that automation of the entire process of processing the workpiece to a set thickness can be realized.

또한, 본 발명은 가공물이 올려진 기판(또는 판상캐리어)이 가공물테이블의 기준면에 부착되더라도, 기판의 두께를 산출하거나 기판의 상면에 대한 공구의 위치를 정확히 확인할 수 있고, 기판의 상면을 기준으로 가공물을 정확한 두께로 가공하는 공구의 세팅이 자동화될 수 있다.Further, the present invention can accurately calculate the thickness of the substrate or accurately locate the tool with respect to the upper surface of the substrate even if the substrate (or plate-like carrier) on which the workpiece is mounted is attached to the reference surface of the workpiece table, The setting of the tool to machine the workpiece to the correct thickness can be automated.

특히, 종래의 공구위치 세팅장치의 경우, 공구위치를 세팅하기 위해 작업자가 사용하는 장치(예컨대, 툴세터 Tool Setter)가 소정 크기를 가지게 되므로, 반도체처럼 아주 작은 부품이 올려진 기판(또는 판상캐리어)의 표면에서부터 그 반도체 부품의 두께를 설정된 두께로 가공하기 위해 공구위치를 세팅하는 작업이 거의 불가능한 문제가 있었다. 그러나, 본 발명은 반도체부품과 같이 크기가 매우 작은 가공물에 대하여도 그 크기와 상관없이 적용될 수 있고, 정밀한 가공이 가능하다. 즉, 종래의 공구위치 세팅장치에서는 매우 작은 반도체부품이 배치된 기판(또는 판상캐리어)에 툴세터를 올릴 수 없어 그 기판에서부터의 공구위치를 세팅하는 작업이 불가능하나, 본 발명에서는 기판(또는 판상캐리어)의 표면에 제2변위측정수단의 측정자가 접촉 또는 제2감지수단의 레이저 등이 반사될 작은 면적만 확보되면 공구의 세팅작업이 가능한 장점이 있다.Particularly, in the case of a conventional tool position setting apparatus, since the apparatus used by an operator (e.g., a tool setter) for setting the tool position has a predetermined size, a substrate (or a plate- There is a problem in that it is almost impossible to set the tool position in order to process the thickness of the semiconductor component from the surface of the semiconductor component to a predetermined thickness. However, the present invention can be applied to a workpiece having a very small size, such as a semiconductor part, irrespective of its size, and enables precise machining. That is, in the conventional tool position setting apparatus, the tool setter can not be placed on the substrate (or the plate-shaped carrier) on which the very small semiconductor components are disposed, and it is impossible to set the tool position from the substrate. In the present invention, Carrier) is secured to the surface of the second displacement measuring means or the laser or the like of the second sensing means is reflected on the surface of the carrier, the setting of the tool can be performed.

도 1는 종래 엘이디(LED)칩의 구조와 인광물질을 절삭하는 가공을 설명하는 설명도
도 2는 종래 툴세터(Tool Setter)를 이용하여 공구의 위치를 설정하는 과정을 설명하는 설명도
도 3은 종래 공구를 세팅하는 장치 및 방법에 관한 설명도
도 4는 본 발명의 제1실시예에 따른 공구위치 세팅장치의 구성도
도 5 내지 도 7은 본 발명의 제1실시예에 따른 공구위치 세팅장치를 이용하여 공구의 위치를 세팅하는 방법에 관한 설명도
도 8은 본 발명의 제1실시예에 따른 공구위치 세팅장치에서 제2이송기가 공구측테이블을 이송시키도록 변경한 구성도
도 9 내지 도 11은 본 발명의 제2실시예에 따른 공구위치 세팅장치의 구성 및 그 세팅장치를 이용하여 공구의 위치를 세팅하는 방법에 관한 설명도
도 12 및 도 13은 본 발명의 제1실시예에 따른 공구위치 세팅장치에서 가공물테이블에 가공물이 올려진 기판이 부착된 경우, 기판의 상면을 기준으로 공구의 위치를 세팅하는 방법에 관한 설명도
도 14 내지 도 16은 본 발명의 제3실시예에 따른 공구위치 세팅장치의 구성 및 그 세팅장치를 이용하여 공구의 위치를 세팅하는 방법에 관한 설명도
도 17의 (a)는 본 발명의 제1실시예에 따른 공구위치 세팅장치에서, 제1변위측정수단과 제3변위측정수단이 선형변위측정기인 경우, 측정신호의 출력상태를 설명하는 설명도이고, (b)는 본 발명의 제3실시예에 따른 공구위치 세팅장치에서, 제1감지센서가 접점식측정기이고, 공구설치부재변위센서가 선형변위측정기인 경우, 측정신호의 출력상태를 설명하는 설명도
도 18은 본 발명의 제1실시예에 따른 공구위치 세팅장치를 제작하여 가공물테이블에 올려진 가공물을 목표두께로 실제 가공한 일예에 대한 결과도1 is a diagram illustrating a structure of a conventional LED chip and a process of cutting a phosphor.
2 is a diagram illustrating a process of setting a position of a tool using a conventional tool setter
3 is an explanatory diagram of an apparatus and a method for setting a conventional tool;
4 is a schematic diagram of a tool position setting apparatus according to the first embodiment of the present invention
5 to 7 are explanatory views of a method for setting the position of a tool using the tool position setting apparatus according to the first embodiment of the present invention
FIG. 8 is a schematic view of a tool position setting apparatus according to a first embodiment of the present invention, in which a second conveyor is changed to convey a tool-side table;
9 to 11 are views for explaining a configuration of a tool position setting apparatus according to a second embodiment of the present invention and a method for setting a tool position using the setting apparatus
12 and 13 are explanatory views of a method of setting a position of a tool with reference to an upper surface of a substrate when a substrate on which a workpiece is mounted is attached to a workpiece table in a tool position setting apparatus according to the first embodiment of the present invention
Figs. 14 to 16 are explanatory diagrams of a configuration of a tool position setting apparatus according to a third embodiment of the present invention and a method of setting a tool position using the setting apparatus; Fig.
17A is an explanatory diagram for explaining an output state of a measurement signal when the first displacement measuring means and the third displacement measuring means are a linear displacement measuring instrument in the tool position setting apparatus according to the first embodiment of the present invention. (B) shows the output state of the measurement signal in the tool position setting apparatus according to the third embodiment of the present invention when the first sensing sensor is a contact type measuring instrument and the tool mounting member displacement sensor is a linear displacement measuring instrument Explanatory diagram
FIG. 18 is a diagram showing a result of an actual manufacturing process of a workpiece placed on a workpiece table to a target thickness by manufacturing the tool position setting apparatus according to the first embodiment of the present invention

이하, 도면을 참고하여 본 발명의 실시예를 상세히 설명한다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.

본 발명은 가공물(90)이 부착되는 기준면(65)을 가진 가공물테이블(60)을 구비하고, 상기 기준면(65)에 수직인 방향으로 공구(3a)의 위치를 확인함으로써, 공구의 위치를 자동으로 설정하기 위한 공구위치 세팅장치에 관한 것이다.The present invention includes a workpiece table 60 having a reference surface 65 to which a workpiece 90 is attached and by determining the position of the tool 3a in a direction perpendicular to the reference surface 65, To the tool position setting device.

도 4를 참고하면, 본 발명의 제1실시예에 따른 공구위치 세팅장치는, 상기 가공물테이블(60)에 설치되어 기준면(65)에 수직인 방향에 대하여 접촉하는 물체의 변위를 측정하는 제1변위측정수단(10)과, 상기 공구(73)가 설치된 공구설치부재(70)와 결합되어 함께 이동하는 것으로서 기준면(65)에 수직인 방향에 대하여 물체의 변위를 측정하는 제2변위측정수단(20)과, 상기 기준면(65)에 대하여 그 기준면(65)에 수직인 방향으로 공구설치부재(70)의 이동변위를 측정하는 제3변위측정수단(30)과, 상기 공구(73)가 기준면(65)에 접근 및 이격되도록 공구설치부재(70)를 이송시키는 제1이송기(40)와, 상기 기준면(65)과 평행한 방향으로 가공물테이블(60)을 이송시키는 제2이송기(50), 및 상기 제1변위측정수단(10)과 제2변위측정수단(20)과 제3변위측정수단(30)의 측정값을 획득함으로써, 그 측정값을 기초로 기준면(65)에 수직인 방향에서의 공구(73)의 위치를 확인하는 제어기를 포함한다.Referring to FIG. 4, the tool position setting apparatus according to the first embodiment of the present invention includes a first tool position setting device 60 installed in the workpiece table 60 for measuring a displacement of an object contacting a direction perpendicular to the reference surface 65, A second displacement measuring means for measuring the displacement of the object with respect to a direction perpendicular to the reference plane 65 by moving together with the tool mounting member 70 provided with the tool 73 A third displacement measuring means 30 for measuring a displacement of the tool mounting member 70 in a direction perpendicular to the reference plane 65 with respect to the reference plane 65, A second conveyor 50 for conveying the workpiece table 60 in a direction parallel to the reference plane 65 and a second conveyor 40 for conveying the workpiece table 60 in a direction parallel to the reference plane 65. [ ) And the measured values of the first displacement measuring means 10, the second displacement measuring means 20 and the third displacement measuring means 30 By, and a controller to determine the position of the tool 73 in a direction perpendicular to the reference surface (65) on the basis of the measured value.

상기 제1변위측정수단(10)은 가공물테이블(60)에 설치되어 상기 기준면(65)에 수직인 방향에 대하여 접촉하는 물체의 변위를 측정한다.The first displacement measuring means 10 measures the displacement of an object placed on the workpiece table 60 and contacting the direction perpendicular to the reference plane 65.

제1변위측정수단(10)은 공구(73)가 위치하는 측을 향해 바형상의 측정자(13)가 돌출되되, 그 측정자(13)가 기준면(65)에 수직인 방향으로 탄성신축하도록 설치된 접촉식프로브이다.The first displacement measuring means 10 is provided with a bar-shaped measuring device 13 protruding toward the side where the tool 73 is positioned and the measuring device 13 is provided with a contact Type probe.

상기 제2변위측정수단(20)은 공구(73)가 설치된 공구설치부재(70)와 결합되어 함께 이동하는 것으로서 기준면(65)에 수직인 방향에 대하여 물체의 변위를 측정한다. 따라서, 제2변위측정수단(20)은 제1이송기(40)가 공구설치부재(70)를 가공물테이블(60)이 기준면(65)을 향해 이동시키면, 공구설치부재(70) 및 공구(73)와 함께 일체로 이동한다.The second displacement measuring means 20 measures the displacement of the object with respect to the direction perpendicular to the reference plane 65 by being moved together with the tool mounting member 70 provided with the tool 73. The second displacement measuring means 20 is configured such that when the first conveyor 40 moves the tool mounting member 70 toward the reference surface 65 the tool mounting member 70 and the tool 73).

제2변위측정수단(20)은 가공물테이블(60)이 위치하는 측을 향해 바형상의 측정자(23)가 돌출되되, 그 측정자(23)가 기준면(65)에 수직인 방향으로 탄성신축하도록 설치된 접촉식프로브이다.The second displacement measuring means 20 is provided so that the bar-shaped measuring device 23 is protruded toward the side where the workpiece table 60 is located and the measuring device 23 is elastically stretchable and contractible in the direction perpendicular to the reference surface 65 It is a contact probe.

상기 제3변위측정수단(30)은 기준면(65)에 대하여 그 기준면(65)에 수직인 방향으로 공구설치부재(70)의 이동변위를 측정한다. 즉, 제3변위측정수단(30)은 가공물테이블(60)이 고정되는 프레임 등에 설치되어 가공물테이블(60)의 기준면(65)과 제3변위측정수단(30)의 상대적인 설치위치는 기준면(65)에 수직인 방향으로 변하지 않고, 공구설치부재(70)가 기준면(65)에 접근 및 이격될 때, 그 공구설치부재(70)가 이동하는 위치변화에 대한 측정이 이루어진다.The third displacement measuring means 30 measures the displacement of the tool mounting member 70 in the direction perpendicular to the reference plane 65 with respect to the reference plane 65. [ That is, the third displacement measuring means 30 is installed in a frame or the like where the workpiece table 60 is fixed, and the relative mounting position of the reference surface 65 of the workpiece table 60 and the third displacement measuring means 30 is set to the reference surface 65 A measurement is made of a change in the position at which the tool mounting member 70 moves when the tool mounting member 70 approaches and separates from the reference surface 65. [

상기 제2변위측정수단(20)과 비교할 때, 제3변위측정수단(30)의 설치위치는 기준면(65)에 대하여 변하지 않으나, 제2변위측정수단(20)은 기준면(65)에 대하여 그 설치위치가 변하는 차이가 있다. The installation position of the third displacement measuring means 30 does not change with respect to the reference plane 65 as compared with the second displacement measuring means 20 but the second displacement measuring means 20 does not change the mounting position of the third displacement measuring means 30 with respect to the reference plane 65 There is a difference in installation location.

상기 제1이송기(40)는 공구(73)가 기준면(65)에 접근 및 이격되도록 공구설치부재(70)를 이송시킨다. The first conveyor 40 transfers the tool mounting member 70 so that the tool 73 approaches and separates the reference surface 65.

제1이송기(40)가 공구설치부재(70)를 이송시키면, 공구설치부재(70)에 결합되어 있는 공구(73)와 제2변위측정수단(20)이 함께 이송되게 되며, 이에 따라 제2변위측정수단(20)이 가공물테이블(60)의 기준면(65)에 접촉하는 것도 가능해진다.When the first conveyor 40 transfers the tool mounting member 70, the tool 73 and the second displacement measuring means 20 coupled to the tool mounting member 70 are fed together, 2 displacement measuring means 20 can be brought into contact with the reference surface 65 of the work table 60.

상기 제2이송기(50)는 기준면(65)과 평행한 방향으로 가공물테이블(60)을 이송시킨다.The second conveyor 50 conveys the workpiece table 60 in a direction parallel to the reference plane 65.

제2이송기(50)는 가공물테이블(60)을 기준면(65)과 평행한 방향으로 이송시킴으로써, 제1변위측정수단(10)과 제2변위측정수단(20)을 상기 기준면(65)에 수직인 방향에서 서로 접촉시킬 수 있도록 한다.The second conveyor 50 transfers the workpiece table 60 in a direction parallel to the reference surface 65 so that the first displacement measuring means 10 and the second displacement measuring means 20 are located on the reference surface 65 So that they can be brought into contact with each other in the vertical direction.

이에 따라, 제2이송기(50)의 이송에 의해 제1변위측정수단(10)과 제2변위측정수단(20)이 서로 정면으로 마주할 수 있도록 조절될 수 있다.Accordingly, the first displacement measuring means 10 and the second displacement measuring means 20 can be adjusted so as to face each other by the conveyance of the second conveyor 50.

이러한 이유로, 제2이송기(50)에 의해 제1변위측정수단(10)과 제2변위측정수단(20)이 횡방향에서의 상대위치가 조절되면 되므로, 제2이송기(50)는 가공물테이블(60)을 기준면(65)과 평행한 방향으로 이송시키도록 설치할 수도 있고, 도 8과 같이, 공구설치부재(70)를 기준면(65)과 평행한 방향으로 이송시키도록 설치할 수도 있다.For this reason, since the relative position of the first displacement measuring means 10 and the second displacement measuring means 20 in the lateral direction is adjusted by the second conveyor 50, The table 60 may be provided so as to be transferred in a direction parallel to the reference surface 65 or may be provided so as to transfer the tool mounting member 70 in a direction parallel to the reference surface 65 as shown in Fig.

제2이송기(50)가 공구설치부재(70)를 기준면(65)과 평행한 방향으로 이송시키도록 설치하는 경우, 도 8과 같이, 공구설치부재(70)와 제3변위측정수단(30)과 제1이송기(40)가 모두 설치되어 있는 공구측테이블(75)을 이송시키도록 설치하는 것이 구성을 간략화시키는 측면에서 바람직하다. When the second conveyor 50 is installed to transfer the tool mounting member 70 in a direction parallel to the reference surface 65, the tool mounting member 70 and the third displacement measuring means 30 And the first feeder 40 are both provided in the feed side table 75 in terms of simplifying the structure.

상기 제어기는 제1이송기(40)와 제2이송기(50)의 작동을 제어하고, 제1변위측정수단(10)과 제2변위측정수단(20)과 제3변위측정수단(30)의 측정값을 획득함으로써, 그 측정값을 기초로 기준면(65)에 수직인 방향에서의 공구(73)의 위치를 확인한다.The controller controls the operation of the first conveyor 40 and the second conveyor 50 and controls the first displacement measuring means 10, the second displacement measuring means 20 and the third displacement measuring means 30, The position of the tool 73 in the direction perpendicular to the reference plane 65 is confirmed on the basis of the measured value.

제어기는 기준면(65)에 수직인 방향에서의 공구(73)의 위치를 확인한 후에는, 기준면(65)에 부착되는 가공물(90)이 설정두께로 가공될 수 있도록 제1이송기(40)를 제어하여 공구(73)를 위치이동시켜 세팅한다. After confirming the position of the tool 73 in the direction perpendicular to the reference surface 65, the controller controls the first conveyor 40 so that the workpiece 90 attached to the reference surface 65 can be machined to a predetermined thickness And the tool 73 is moved and set.

이하, 제어기가 제1변위측정수단(10)과 제2변위측정수단(20)과 제3변위측정수단(30)의 측정값으로부터 공구(73)의 위치를 확인하고 공구(73)을 세팅하는 과정을 설명한다.Hereinafter, the controller confirms the position of the tool 73 from the measured values of the first displacement measuring means 10, the second displacement measuring means 20 and the third displacement measuring means 30 and sets the tool 73 Describe the process.

본 실시예에서 후술하는 3개의 단계가 진행되고, 그 단계들에서 각각 측정값을 획득하며, 그 획득된 측정값들로부터 현재 공구(73)의 위치를 확인할 수 있다. 이후, 확인된 공구(73)의 현 위치를 기초로 공구(73)를 가공위치로 세팅하는 순으로 진행된다.In this embodiment, three steps to be described below are carried out, in each of which the measured values are obtained, and the position of the current tool 73 can be determined from the obtained measured values. Thereafter, the process proceeds in the order of setting the tool 73 to the machining position based on the present position of the identified tool 73.

먼저, 상기 제1변위측정수단(10)과 제2변위측정수단(20)을 기준면(65)에 수직인 방향에 대하여 서로 접촉시키는 단계가 진행된다.First, the first displacement measuring means 10 and the second displacement measuring means 20 are brought into contact with each other in a direction perpendicular to the reference plane 65.

도 5를 참고하면, 이 단계의 진행을 위해, 제어기는 제2이송기(50)를 작동하여 가공물테이블(60)이 횡방향으로 이송됨으로써, 제1변위측정수단(10)과 제2변위측정수단(20)이 서로 정면으로 대향될 수 있도록 한다.5, for the proceeding of this step, the controller operates the second conveyor 50 to move the workpiece table 60 in the lateral direction so that the first displacement measurement means 10 and the second displacement measurement So that the means 20 can be faced to each other face to face.

이후, 제어기는 제1이송기(40)를 작동시켜 공구설치부재(70)를 기준면(65) 측으로 이송시킴으로써, 제1변위측정수단(10)과 제2변위측정수단(20)을 서로 접촉시킨다.Thereafter, the controller operates the first conveyor 40 to transfer the tool mounting member 70 toward the reference surface 65, thereby bringing the first displacement measurement means 10 and the second displacement measurement means 20 into contact with each other .

그 과정에서 접촉되는 순간에 제1변위측정수단(10)과 제2변위측정수단(20)에 측정값이 발생하여 제어기로 입력될 것이므로, 그 접촉시작시점에 제3변위측정수단(30)의 측정값 Z1을 획득한다. 여기서, Z1은 제3변위측정수단(30)의 기준값인 Z0에 대한 공구설치부재(70)의 변위값을 의미한다.A measurement value is generated in the first displacement measurement means 10 and the second displacement measurement means 20 at the moment of contact in the process and is input to the controller. Obtain the measured value Z1. Here, Z1 means the displacement value of the tool mounting member 70 with respect to Z0, which is the reference value of the third displacement measuring means 30.

만일, 접촉으로 인해 제1변위측정수단(10)의 바형상의 측정자(13)와 제2변위측정수단(20)의 바형상의 측정자(23)가 서로 밀려 수축되었다고 하더라도, 제1변위측정수단(10)에서 측정자(13)의 수축량에 비례하여 측정된 측정값은 제3변위측정수단(30)의 측정값에서 빼주고, 제2변위측정수단(20)에서 측정자(23)의 수축량에 비례하여 측정된 측정값은 제3변위측정수단(30)의 측정값에서 더해주면, 접촉시작시점에 제3변위측정수단(30)의 측정값 Z1이 산출될 수 있다.Even if the bar-shaped measuring device 13 of the first displacement measuring means 10 and the bar-shaped measuring device 23 of the second displacement measuring means 20 are pressed against each other due to the contact, the first displacement measuring means The measurement value measured in proportion to the shrinkage amount of the measurer 13 in the first displacement measuring means 10 is subtracted from the measured value of the third displacement measuring means 30 and the measured value in proportion to the shrinkage amount of the measurer 23 in the second displacement measuring means 20 If the measured value is added to the measured value of the third displacement measuring means 30, the measured value Z1 of the third displacement measuring means 30 can be calculated at the contact start point.

즉, 제1변위측정수단(10)에서 측정자(13)의 수축량에 비례하여 측정된 측정값은, 현 시점에서 측정되는 제3변위측정수단(30)의 측정값(Z)을 증가시킨 요인이고, 제2변위측정수단(20)에서 측정자(23)의 수축량에 비례하여 측정된 측정값은, 현 시점에서 측정되는 제3변위측정수단(30)의 측정값(Z)을 감소시킨 요인이기 때문이다.That is, the measurement value measured in proportion to the shrinkage amount of the measurer 13 in the first displacement measurement means 10 is a factor that increases the measurement value Z of the third displacement measurement means 30 measured at the present point in time , The measurement value measured in proportion to the shrinkage amount of the measurer 23 in the second displacement measurement means 20 is a factor that reduces the measurement value Z of the third displacement measurement means 30 measured at the present time to be.

도 4를 참조하면, Z1 = B 가 된다.Referring to FIG. 4, Z1 = B.

한편, 상기 제2변위측정수단(20)을 기준면(65)에 수직인 방향으로 기준면(65)에 접촉시키는 단계가 진행된다.On the other hand, the step of contacting the second displacement measuring means 20 with the reference plane 65 in a direction perpendicular to the reference plane 65 proceeds.

도 6을 참조하면, 이 단계에서도 제어기는 제2이송기(50)의 동작을 제어하여, 제2변위측정수단(20)이 기준면(65)을 마주할 수 있도록 횡방향으로 가공물테이블(60)을 이송시키고, 제1이송기(40)를 작동시켜 공구설치부재(70)를 기준면(65) 측으로 이송시킴으로써, 제2변위측정수단(20)을 기준면(65)에 접촉시킨다. 6, the controller also controls the operation of the second conveyor 50 to move the workpiece table 60 in the lateral direction so that the second displacement measuring means 20 can face the reference surface 65, And the first feeder 40 is operated to feed the tool mounting member 70 toward the reference surface 65 so that the second displacement measuring means 20 is brought into contact with the reference surface 65.

그 과정에서 접촉되는 순간에 제2변위측정수단(20)에 측정값이 발생하여 제어기로 입력될 것이므로, 그 접촉시작시점에 제3변위측정수단(30)의 측정값 Z2를 획득한다.The measurement value is generated in the second displacement measuring means 20 and input to the controller at the moment of contact in the process, so that the measured value Z2 of the third displacement measuring means 30 is obtained at the contact start point.

만일, 접촉으로 인해 제2변위측정수단(20)의 바형상의 측정자(23)가 밀려 수축되었다고 하더라도, 제2변위측정수단(20)에서 측정자(23)의 수축량에 비례하여 측정된 측정값은 제3변위측정수단(30)의 측정값에서 빼주면, 접촉시작시점에 제3변위측정수단(30)의 측정값 Z2이 산출될 수 있다.Even if the bar-shaped measuring device 23 of the second displacement measuring means 20 is contracted due to the contact, the measured value measured in proportion to the contraction amount of the measuring device 23 in the second displacement measuring means 20 is The measured value Z2 of the third displacement measuring means 30 can be calculated at the starting point of contact by subtracting it from the measured value of the third displacement measuring means 30. [

즉, 제2변위측정수단(20)에서 측정자의 수축량에 비례하여 측정된 측정값은 현 시점에서 측정되는 제3변위측정수단(30)의 측정값(Z)을 증가시킨 요인이기 때문이다.That is, the measurement value measured in proportion to the shrinkage amount of the measurer in the second displacement measurement means 20 is a factor that increases the measurement value Z of the third displacement measurement means 30 measured at the present time.

도 4를 참조하면, Z2 = A 가 된다.Referring to FIG. 4, Z2 = A.

한편, 상기 제1변위측정수단(10)에 공구(73)의 단부를 기준면(65)에 수직인 방향에 대하여 접촉시키는 단계가 진행된다.On the other hand, the step of bringing the end of the tool 73 into contact with the first displacement measuring means 10 in a direction perpendicular to the reference plane 65 is proceeded.

도 7을 참조하면, 이 단계에서도 제어기는 제2이송기(50)의 동작을 제어하여, 제1변위측정수단(10)이 공구(73)를 마주할 수 있도록 횡방향으로 가공물테이블(60)을 이송시키고, 제1이송기(40)를 작동시켜 공구설치부재(70)를 기준면(65) 측으로 이송시킴으로써, 제1변위측정수단(10)에 공구(73)의 단부를 접촉시킨다.7, the controller also controls the operation of the second conveyor 50 so that the first displacement measuring means 10 can move in the lateral direction on the workpiece table 60 so as to face the tool 73, And the first conveyor 40 is operated to transfer the tool mounting member 70 to the reference surface 65 side so that the end of the tool 73 is brought into contact with the first displacement measuring means 10. [

그 과정에서 접촉되는 순간에 제1변위측정수단(10)에 측정값이 발생하여 제어기로 입력될 것이므로, 그 접촉시작시점에 제3변위측정수단(30)의 측정값 Z3를 획득한다.The measured value Z3 of the third displacement measuring means 30 is obtained at the start of the contact because the measured value is generated in the first displacement measuring means 10 and input to the controller at the moment of contact in the process.

만일, 접촉으로 인해 제1변위측정수단(10)의 바형상의 측정자(13)가 밀려 수축되었다고 하더라도, 제1변위측정수단(10)에서 측정자(13)의 수축량에 비례하여 측정된 측정값은 제3변위측정수단(30)의 측정값에서 빼주면, 접촉시작시점에 제3변위측정수단(30)의 측정값 Z3이 산출될 수 있다.Even if the bar-shaped measurer 13 of the first displacement measuring means 10 is contracted due to the contact, the measured value measured in proportion to the contraction amount of the measurer 13 in the first displacement measuring means 10 is The measured value Z3 of the third displacement measuring means 30 can be calculated at the starting point of contact by subtracting it from the measured value of the third displacement measuring means 30. [

즉, 제1변위측정수단(10)에서 측정자(13)의 수축량에 비례하여 측정된 측정값은 현 시점에서 측정되는 제3변위측정수단(30)의 측정값(Z)을 증가시킨 요인이기 때문이다.That is, since the measured value measured in proportion to the shrinkage amount of the measurer 13 in the first displacement measuring means 10 is a factor that increases the measured value Z of the third displacement measuring means 30 measured at the present time to be.

도 4를 참조하면, Z3 = F 가 된다.Referring to FIG. 4, Z3 = F.

참고로, 도 17의 (a)는 제1변위측정수단(10)과 제3변위측정수단(30)이 바형상의 측정자를 가진 선형변위측정기인 경우의 실제적인 측정신호의 출력상태를 예시하고 있다.17A illustrates an output state of an actual measurement signal when the first displacement measuring means 10 and the third displacement measuring means 30 are linear displacement measuring instruments having a bar-shaped measuring device have.

제1변위측정수단(10)에 공구(73)의 단부를 접촉시키기 위해 제1이송기(40)를 작동시켜 전진시키면, 제3변위측정수단(30)의 측정값(Z)이 이송시작시점(t0)에서부터 점차 증가한다.When the first conveyor 40 is operated to advance the first displacement measuring means 10 in order to bring the end of the tool 73 into contact, the measured value Z of the third displacement measuring means 30 reaches the start point (t0).

제1변위측정수단(10)에 공구(73)의 단부가 접촉하는 접촉시작시점(t1)에서 제1변위측정수단(10)의 측정자를 공구가 밀어 수축하게 되므로 제1변위측정수단(10)의 측정값(TG)는 t1시점부터 점차 줄어드는 값으로 나타난다.The first displacement measuring means 10 is provided at the contact starting point t1 at which the end of the tool 73 contacts the first displacement measuring means 10 and the measuring means of the first displacement measuring means 10 is contracted by the tool. (TG) is gradually decreased from t1.

접촉시작시점인 t1시점에서 제3변위측정수단(30)의 측정값 Z3을 구하면 되고, 그렇지 않더라도 제3변위측정수단(30)의 측정값(Z)에서 제1변위측정수단(10)의 측정값(TG)을 빼주면, 접촉시작시점에 제3변위측정수단(30)의 측정값 Z3이 산출될 수 있음을 도 17의 (a)의 Z-TG 출력값에서 보여주고 있다.The measured value Z3 of the third displacement measuring means 30 may be obtained at the time t1 of the contact start timing and the measured value Z3 of the third displacement measuring means 30 may be obtained from the measured value Z of the third displacement measuring means 30, 17A shows that the measured value Z3 of the third displacement measuring means 30 can be calculated at the start of contact by subtracting the value TG from the Z-TG output value shown in Fig. 17A.

한편, 상기에서 순차적으로 실시된 단계들은 측정값 Z1, Z2, Z3를 획득하기 위한 것이므로, 그 시행되는 순서를 변경할 수 있다.Meanwhile, since the steps sequentially performed above are for obtaining the measured values Z1, Z2, and Z3, the order in which they are executed can be changed.

상기 단계들이 시행된 이후, 그 단계들에서 제1변위측정수단(10)과 제2변위측정수단(20) 및 제3변위측정수단(30)의 측정값을 획득함으로써 그 측정값을 기초로 기준면(65)에 수직인 방향에서 공구(73)의 위치를 확인할 수 있다.After the steps are carried out, the measurement values of the first displacement measuring means 10, the second displacement measuring means 20 and the third displacement measuring means 30 are obtained at the steps, The position of the tool 73 in the direction perpendicular to the tool 65 can be confirmed.

제1변위측정수단(10)과 제2변위측정수단(20)은 접촉을 시작하면 변위에 따라 측정값의 크기가 점차 증가하게 되나, 제1변위측정수단(10)과 제2변위측정수단(20)이 접촉을 시작하는 시점과, 제2변위측정수단(20)이 기준면(65)에 접촉을 시작하는 시점에서는, 출력되는 측정값이 0이라 할 수 있으므로, 제어기는 그와 같은 접촉시작시점에서 제3변위측정수단(30)이 출력하는 측정값 Z1, Z2, Z3을 획득하면 별도의 보정계산없이 바로 공구위치를 확인하기 위해 후술하는 계산값으로 활용할 수 있다. When the first displacement measuring means 10 and the second displacement measuring means 20 start to contact, the magnitude of the measured value gradually increases according to the displacement. However, the first displacement measuring means 10 and the second displacement measuring means 20 can start at the point of time when the second displacement measuring means 20 starts to make contact with the reference surface 65 and the measured value output by the second displacement measuring means 20 starts to be zero, Z2, and Z3 output from the third displacement measuring means 30, it can be utilized as a calculation value to be described later for confirming the tool position immediately without performing another correction calculation.

그러나, 제어기가 제1변위측정수단(10)과 제2변위측정수단(20)이 서로 접촉하여 접촉자(13,23)가 수축한 상태에서 소정의 측정값을 획득하고, 제2변위측정수단(20)이 기준면(65)에 접촉을 진행하여 접촉자(23)가 수축한 상태에서 소정의 측정값을 획득하였다고 하더라도, 위에서 설명한 바와 같이 제어기는 Z1, Z2, Z3를 계산에 의해 산출할 수 있다.However, when the controller obtains a predetermined measured value in a state in which the first displacement measuring means 10 and the second displacement measuring means 20 are in contact with each other and the contacts 13 and 23 are contracted, and the second displacement measuring means The controller can calculate Z1, Z2, and Z3 by calculation, as described above, even if the controller 23 proceeds to contact the reference surface 65 to obtain a predetermined measured value while the contactor 23 is contracted.

참고로, 본 명세서 및 청구범위에서 “측정값”이라는 용어를 사용하고 있고, 접촉시작시점에서 제1변위측정수단(10)과 제2변위측정수단(20)이 출력하는 값이 0일지라도 그 출력된 0도 상기 “측정값”의 의미에 포함된다.For reference, the term " measured value " is used in this specification and claims, and even if the value outputted by the first displacement measuring means 10 and the second displacement measuring means 20 at the contact start time is 0, 0 " is included in the meaning of the " measurement value ".

도 4를 참고하면, 기준면(65)에 대한 공구(73)의 위치(D)는 D = C+F = (A-B)+F 이고, 상기 단계들에서 B=Z1, A=Z2, F=Z3 가 획득될 수 있으므로, D = (Z2-Z1)+Z3 가 된다.4, the position D of the tool 73 with respect to the reference plane 65 is D = C + F = (AB) + F where B = Z1, A = Z2, F = Z3 Can be obtained, D = (Z2-Z1) + Z3.

따라서, 제3변위측정수단(30)이 측정값 Z0를 출력하는 기준위치에서, 공구(73)의 위치(D)는 기준면(65)에서부터 D = (Z2-Z1)+Z3 가 되므로, 비로소 공구(73)가 기준면(65)에서 떨어져 있는 위치가 확인될 수 있다. Therefore, at the reference position where the third displacement measuring means 30 outputs the measured value Z0, the position D of the tool 73 becomes D = (Z2-Z1) + Z3 from the reference plane 65, The position at which the reference plane 73 is separated from the reference plane 65 can be confirmed.

이 후, 공구(73)가 움직이는 변위는 제3변위측정수단(30)에서 측정되고 있고, 기준면(65)에서 떨어져 있는 공구(65)의 위치가 확인되었으므로, 기준면(65)에 설정치만큼 접근시켜 공구(65)를 세팅시키는 것이 가능하다. 이에 따라, 기준면(65)에 부착된 가공물(90)을 설정두께로 가공할 수 있다.Thereafter, the displacement of the tool 73 is measured by the third displacement measuring means 30, and since the position of the tool 65 distant from the reference surface 65 is confirmed, the displacement is approached to the reference surface 65 by the set value It is possible to set the tool 65. Thus, the workpiece 90 attached to the reference surface 65 can be processed to a predetermined thickness.

다음은 본 발명의 제2실시예에 따른 공구위치 세팅장치 및 그것을 이용한 공구위치 세팅방법을 설명한다.Next, a tool position setting apparatus and a tool position setting method using the same according to a second embodiment of the present invention will be described.

도 9 내지 도 11을 참조하면, 본 실시예에서 제1변위측정수단(10)은 공구(73)가 위치하는 측을 향해 바형상의 측정자(13)가 돌출되되, 그 측정자(13)가 기준면(65)에 수직인 방향으로 탄성신축하도록 설치된 접촉식 프로브로 설치되어 공구(73)의 단부의 터치가 용이하도록 한다. 9 to 11, in this embodiment, the first displacement measuring means 10 is provided with a bar-shaped measurer 13 protruding toward the side where the tool 73 is located, Is provided with a contact probe provided so as to be elastically stretchable and contractible in a direction perpendicular to the axis line 65 so that the end of the tool 73 can be easily touched.

또한, 본 실시예에서 제1변위측정수단(10)은 변위의 측정없이 측정자(13)를 구비한 접촉여부의 감지센서로 구성하여, 공구(73)의 접촉여부에 대한 신호를 제어기로 전송하도록 구성하는 것도 가능하다. In the present embodiment, the first displacement measuring means 10 is constituted by a sensor for detecting whether or not there is a contact with the measurer 13 without measuring the displacement, so that a signal indicating whether or not the tool 73 is contacted is transmitted to the controller .

상기 변위측정수단 및 감지센서는 모두 측정자에 공구(73)의 접촉시작 여부를 확인할 수 있는 작용이 있으므로, 상기 변위측정수단도 위의 감지센서에 포함된다.Since both the displacement measuring means and the sensing sensor have an effect of confirming whether or not the contact of the tool 73 is started to the measurer, the displacement measuring means is also included in the above sensing sensor.

본 실시예에서 제2변위측정수단(25)은 공구설치부재(70)에 설치되고 가공물테이블(60)이 위치하는 측을 향해 기준면(65)에 수직인 방향을 따라 물체의 변위를 측정하는 비접촉식 변위측정수단이다.In this embodiment, the second displacement measuring means 25 is provided on the tool mounting member 70 and is a non-contact type measuring device for measuring the displacement of the object along the direction perpendicular to the reference surface 65 toward the side where the workpiece table 60 is located. Displacement measurement means.

또한, 제3변위측정수단(35)도 비접촉식 변위측정수단으로서, 공구설치부재(70)가 이동하는 변위를 비접촉식으로 측정한다.In addition, the third displacement measuring means 35 also measures non-contact type displacement measuring means in a noncontact manner by which the tool mounting member 70 moves.

비접촉식 변위측정수단은 초음파, 전자기파, 광(레이저) 중 어느 하나를 이용하여 비접촉식으로 물체의 변위를 측정하는 수단이다.The non-contact displacement measurement means is a means for measuring displacement of an object in a non-contact manner using any one of ultrasonic waves, electromagnetic waves, and light (laser).

상기 제1변위측정수단(10)의 측정자(13)의 단부에는 제2변위측정수단(25)에서 발사된 초음파, 전자기파, 광 중 어느 하나가 그 측정자(13)의 단부에서 반사될 수 있도록 측정자(13)의 단부에 기준면(65)과 평행한 반사면(13a)이 형성된다. 이에 따라, 제2변위측정수단(25)이 제1변위측정수단(10)의 측정자의 반사면(13a)을 향하는 위치에서 제2변위측정수단(25)의 단부로부터 거리를 측정할 수 있다.An ultrasonic wave or an electromagnetic wave or light emitted from the second displacement measuring means 25 is reflected by the end of the measuring instrument 13 to the end of the measuring instrument 13 of the first displacement measuring means 10, (13a) parallel to the reference plane (65) is formed at the end of the optical axis (13). The second displacement measuring means 25 can measure the distance from the end of the second displacement measuring means 25 at a position facing the reflecting surface 13a of the measuring person of the first displacement measuring means 10. [

전술한 구성에 따라 공구(73)의 위치를 확인하고 공구(73)를 세팅하는 과정이 도 9 내지 도 11에서 각각 도시한 바와 같이 진행된다.The process of confirming the position of the tool 73 and setting the tool 73 according to the above-described configuration proceeds as shown in Figs. 9 to 11, respectively.

먼저, 도 9를 참고하면, 제어기는 제2이송기(50)를 작동하여 가공물테이블(60)이 횡방향으로 이송됨으로써, 제1변위측정수단(10)과 제2변위측정수단(25)이 서로 정면으로 마주할 수 있도록 한다.9, the controller operates the second conveyor 50 to move the workpiece table 60 in the lateral direction so that the first displacement measurement means 10 and the second displacement measurement means 25 Facing each other face to face.

그와 같이, 상기 제1변위측정수단(10)과 제2변위측정수단(25)을 기준면(65)에 수직인 방향에 대하여 서로 대향시키고 난 후, 제2변위측정수단(25)이 제1변위측정수단(10)의 반사면(13a)에 음파, 레이저 등을 전송하고 반사되는 음파, 레이저에 의해 반사면(13a)까지의 거리를 측정한다. 이때, 공구설치부재(70)는 제3변위측정수단(35)의 기준위치 Z0에 위치시키는 것이 계산을 단순화시키는 측면에서 바람직하다.After the first displacement measuring means 10 and the second displacement measuring means 25 are opposed to each other in the direction perpendicular to the reference plane 65 as described above, A sound wave, a laser or the like is transmitted to the reflection surface 13a of the displacement measuring means 10 and the distance to the reflection surface 13a is measured by a reflected sound wave or laser. At this time, positioning the tool mounting member 70 at the reference position Z0 of the third displacement measuring means 35 is preferable in terms of simplifying the calculation.

그 과정에서 제2변위측정수단(25)에 측정값 Z1이 발생하여 제어기로 입력된다. 여기서, Z1은 제3변위측정수단(35)의 기준값인 Z0에 대하여 공구설치부재(70)가 Z1만큼 이동하면, 제2변위측정수단(25)의 단부가 상기 제1변위측정수단(10)의 반사면(13a)에 접촉함을 의미하는 것이다.In the process, the measured value Z1 is generated in the second displacement measuring means 25 and inputted to the controller. When the tool mounting member 70 is moved by Z1 relative to the reference value Z0 of the third displacement measuring means 35, the end of the second displacement measuring means 25 is displaced by the first displacement measuring means 10, And the reflective surface 13a.

도 4를 참조하면, 상기 Z1 = B 라고 할 수 있다.Referring to FIG. 4, Z1 = B.

한편, 도 10과 같이, 제2변위측정수단(25)을 기준면(65)에 수직인 방향으로 기준면(65)에 대향시키고 제2변위측정수단(25)이 기준면(65)까지의 거리를 측정하는 단계가 진행된다.10, the second displacement measuring means 25 is opposed to the reference plane 65 in the direction perpendicular to the reference plane 65 and the second displacement measuring means 25 measures the distance to the reference plane 65 .

도 10을 참조하면, 제어기는 제2이송기(50)의 동작을 제어하여, 제2변위측정수단(25)이 기준면(65)을 마주할 수 있도록 횡방향으로 가공물테이블(60)을 이송시킨다. 10, the controller controls the operation of the second conveyor 50 to convey the workpiece table 60 in the lateral direction so that the second displacement measuring means 25 can face the reference surface 65 .

이후, 제2변위측정수단(25)이 기준면(65)에 음파, 레이저 등을 전송하고 반사되는 음파, 레이저에 의해 기준면(65)까지의 거리를 측정한다. Thereafter, the second displacement measuring means 25 measures the distance to the reference plane 65 by transmitting a sound wave, a laser or the like to the reference plane 65 and a reflected sound wave or laser.

그 과정에서 제2변위측정수단(25)에 측정값 Z2가 발생하여 제어기로 입력된다. 여기서, Z2는 제3변위측정수단(35)의 기준값인 Z0에 대하여 공구설치부재(70)가 Z2만큼 이동하면, 제2변위측정수단(25)의 단부가 상기 기준면(65)에 접촉함을 의미하는 것이다.In the process, the measured value Z2 is generated in the second displacement measuring means 25 and inputted to the controller. Here, Z2 indicates that when the tool mounting member 70 moves by Z2 relative to the reference value Z0 of the third displacement measuring means 35, the end of the second displacement measuring means 25 contacts the reference surface 65 It means.

도 4를 참조하면, 상기 Z2 = A 라고 할 수 있다.Referring to FIG. 4, Z2 = A.

한편, 도 11과 같이, 상기 제1변위측정수단(10)에 공구(73)의 단부를 기준면(65)에 수직인 방향에 대하여 접촉시키는 단계가 진행된다.On the other hand, as shown in Fig. 11, the step of bringing the end of the tool 73 into contact with the first displacement measuring means 10 in a direction perpendicular to the reference plane 65 is proceeded.

이 단계에서 제어기는 제2이송기(50)의 동작을 제어하여, 제1변위측정수단(10)이 공구(73)를 마주할 수 있도록 횡방향으로 가공물테이블(60)을 이송시키고, 제1이송기(40)를 작동시켜 공구설치부재(70)를 기준면(65) 측으로 이송시킴으로써, 제1변위측정수단(10)의 측정자(13)의 단부, 즉 반사면(13a)에 공구(73)의 단부를 접촉시킨다.In this step, the controller controls the operation of the second conveyor 50 to convey the workpiece table 60 in the lateral direction so that the first displacement measuring means 10 can face the tool 73, The tool 73 is moved to the end of the measuring instrument 13 of the first displacement measuring means 10, that is, the reflecting surface 13a, by operating the feeder 40 to feed the tool mounting member 70 toward the reference surface 65. [ As shown in Fig.

그 접촉되는 순간에 제1변위측정수단(10)에 측정값이 발생하여 제어기로 입력될 것이므로, 그 접촉시작시점에 제3변위측정수단(35)의 측정값 Z3를 획득한다.The measurement value is generated in the first displacement measurement means 10 at the moment of the contact and is input to the controller so that the measurement value Z3 of the third displacement measurement means 35 is obtained at the contact start point.

도 4를 참조하면, Z3 = F 가 된다.Referring to FIG. 4, Z3 = F.

상기의 단계들은 각각 측정값 Z1, Z2, Z3를 획득하기 위한 것이므로, 그 시행되는 순서가 변경될 수 있다. Since the above steps are for obtaining the measured values Z1, Z2 and Z3, respectively, the order in which they are executed can be changed.

상기 단계들이 시행된 이후, 그 단계들에서 제1변위측정수단(10)과 제2변위측정수단(25) 및 제3변위측정수단(35)의 측정값을 획득함으로써 그 측정값을 기초로 기준면(65)에 수직인 방향에서 공구(73)의 위치를 확인할 수 있다.After the steps are performed, the measurement values of the first displacement measuring means 10, the second displacement measuring means 25 and the third displacement measuring means 35 are obtained at the steps, The position of the tool 73 in the direction perpendicular to the tool 65 can be confirmed.

도 4를 참고하면, 기준면(65)에 대한 공구(73)의 위치 D = C+F = (A-B)+F 이고, 상기 단계들에서 B=Z1, A=Z2, F=Z3 가 획득될 수 있으므로, D = (Z2-Z1)+Z3 가 된다.4, the position D = C + F = (AB) + F of the tool 73 with respect to the reference plane 65 and B = Z1, A = Z2, F = Z3 can be obtained in the steps Therefore, D = (Z2-Z1) + Z3.

따라서, 제3변위측정수단(35)이 측정값 Z0를 출력하는 기준위치에서, 공구(73)의 위치(D)는 기준면(65)에서부터 D = (Z2-Z1)+Z3 가 되므로, 제어기는 그 공구(73)의 위치를 자동으로 확인할 수 있다. 이 후, 제어기는 공구(73)를 기준면(65)에 설정치만큼 접근시켜 세팅시킴으로써, 기준면(65)에 부착된 가공물(90)을 설정두께로 가공할 수 있다.Therefore, at the reference position where the third displacement measuring means 35 outputs the measured value Z0, the position D of the tool 73 becomes D = (Z2-Z1) + Z3 from the reference plane 65, The position of the tool 73 can be automatically confirmed. Thereafter, the controller can process the workpiece 90 attached to the reference surface 65 to a preset thickness by setting the tool 73 to approach the reference surface 65 by a set value.

한편, 도 12는 가공물테이블(60)에 기판(또는 판상캐리어)이 구비된 가공물(90)이 부착된 상태를 도시하고 있다.On the other hand, Fig. 12 shows a state in which a workpiece 90 provided with a substrate (or a plate-like carrier) is attached to the workpiece table 60. Fig.

그 경우, 가공물(90)을 설정두께로 가공하기 위해서는 기판(91)의 상면(91a)이 기준이 되어야 하므로, 기판(91)의 상면(91a)을 기준면으로 하여, 전술한 실시예의 세팅방법이 시행될 수 있다.The upper surface 91a of the substrate 91 must be used as a reference in order to process the work 90 to a predetermined thickness so that the upper surface 91a of the substrate 91 is used as the reference surface and the setting method of the above- .

즉, 전술한 실시예의 과정 중, 제2변위측정수단(20)이 가공물테이블(60)의 기준면(65)에 접촉하는 것이 아니라, 그 기준면(65)에 부착된 기판(91)의 상면(91a)에 접촉하여 제2변위측정수단(20)의 측정값을 입력받는 것이다.That is, in the process of the above-described embodiment, the second displacement measuring means 20 does not contact the reference surface 65 of the workpiece table 60 but the upper surface 91a of the substrate 91 attached to the reference surface 65 And receives the measured value of the second displacement measuring means 20. [

이에 따라, 공구(73)의 위치는 가공물테이블(60)의 기준면(65)이 아니라, 기판(91)의 상면(91a)에 대하여 설정될 수 있다.The position of the tool 73 can be set relative to the upper surface 91a of the substrate 91 and not to the reference surface 65 of the workpiece table 60. [

다른 한편으로는, 가공물테이블(60)의 기준면(65)에 대하여 전술한 실시예와 같이 공구(73)의 세팅이 이루어진 후, 가공물테이블(60)의 기준면(65)에서 제2변위측정수단(20)까지의 거리(도 4의 A)가 제어기에 저장되어 있고, 그 상태에서 기판(91)의 상면(91a)을 제2변위측정수단(20)이 접촉하도록 하여 제3변위측정수단(35)의 변위(도 12의 A에 해당하는 변위)를 입력받으면, 그들의 차에 의해 기판(91)의 두께의 산출이 이루어질 수 있다.On the other hand, after the setting of the tool 73 is performed on the reference surface 65 of the workpiece table 60 as in the above-described embodiment, the second displacement measurement means 20) is stored in the controller and the third displacement measurement means 35 (see FIG. 4A) is made to contact the upper surface 91a of the substrate 91 with the second displacement measurement means 20 in this state (The displacement corresponding to A in Fig. 12), the thickness of the substrate 91 can be calculated by the difference between these displacements.

이에 따라, 기판(91)의 두께에 대한 측정도 자동으로 이루어질 수 있으므로, 기판(91)상의 가공물(90)을 설정두께로 가공하기 위한 공구(73)의 세팅이 제어기에 의해 자동으로 이루어질 수 있다.Thus, the measurement of the thickness of the substrate 91 can be performed automatically. Therefore, the setting of the tool 73 for machining the workpiece 90 on the substrate 91 to the set thickness can be automatically performed by the controller .

다음은 본 발명의 제3실시예에 따른 공구위치 세팅장치 및 그것을 이용한 공구위치 세팅방법을 설명한다.Next, a tool position setting apparatus and a tool position setting method using the same according to a third embodiment of the present invention will be described.

도 14 내지 도 16을 참조하면, 본 실시예에서는 제1감지점(130a)을 구비하고 가공물테이블(60)에 설치되며, 기준면(65)에 수직인 방향으로 접근하는 물체가 제1감지점(130a)에 도달했는지 여부에 대한 신호를 발생시키는 제1감지센서(100)와, 제2감지점(230a)을 구비하고 공구(73)가 설치된 공구설치부재(70)와 결합되어 함께 이동하며, 기준면(65)에 수직인 방향에 대하여 가공물테이블(60)에 접근시 제2감지점(230a)이 물체에 도달했는지 여부에 대한 신호를 발생시키는 제2감지센서(200)와, 상기 기준면(65)에 대하여 그 기준면(65)에 수직인 방향으로 공구설치부재(70)의 이동변위를 측정하는 공구설치부재변위센서(300)와, 공구(73)가 기준면(65)에 접근 및 이격되도록 공구설치부재(70)를 이송시키는 제1이송기(40)와, 상기 기준면(65)과 평행한 방향으로 가공물테이블(60) 또는 공구설치부재(70)를 이송시키는 제2이송기(50)가 설치된다.14 to 16, in this embodiment, an object provided with a first sensing point 130a and installed in the workpiece table 60 and approaching a direction perpendicular to the reference surface 65 is a first sensing point A first sensing sensor 100 for generating a signal as to whether or not the tool 73 has reached the first sensing point 130a and a tool mounting member 70 having the second sensing point 230a and equipped with the tool 73, A second sensing sensor 200 for generating a signal as to whether the second sensing point 230a has reached the object when approaching the workpiece table 60 in a direction perpendicular to the reference plane 65, A tool mounting member displacement sensor 300 for measuring the displacement of the tool mounting member 70 in a direction perpendicular to the reference plane 65 with respect to the reference plane 65, A first conveyor 40 for conveying the installation member 70 and a second conveyor 40 for conveying the workpiece table 60 or A second conveyor 50 for conveying the tool mounting member 70 is provided.

상기 제1감지센서(100)는 제1감지점(130a)을 구비하고 가공물테이블(60)에 설치되며, 기준면(65)에 수직인 방향으로 접근하는 공구(73)가 제1감지점(130a)에 도달했는지 여부에 대한 신호를 발생시킨다.The first sensing sensor 100 includes a first sensing point 130a and a tool 73 installed in the workpiece table 60 and approaching a direction perpendicular to the reference surface 65 at a first sensing point 130a ≪ / RTI > is reached.

상기 제2감지센서(200)는 제2감지점(230a)을 구비하고 상기 공구(73)가 설치된 공구설치부재(70)와 결합되어 함께 이동하며, 기준면(65)에 수직인 방향에 대하여 가공물테이블(60)에 접근시 제2감지점(230a)이 물체에 도달했는지 여부에 대한 신호를 발생시킨다.The second sensing sensor 200 has a second sensing point 230a and is moved together with the tool mounting member 70 provided with the tool 73. The second sensing sensor 230 is movable in the direction perpendicular to the reference surface 65, Upon approaching the table 60, a signal is generated as to whether the second sensing point 230a has reached the object.

상기 제1감지센서(100)와 제2감지센서(200)는 모두 물체가 감지점에 접촉시 그 접촉상태를 전기적 신호로 발생시켜 제어기로 전달하므로, 제어기는 물체의 접촉시점을 각각 확인할 수 있다.When both of the first sensing sensor 100 and the second sensing sensor 200 contact the sensing point, the first sensing sensor 100 and the second sensing sensor 200 generate an electrical signal as an electrical signal and transmit the electrical signal to the controller. .

상기 제1감지센서(100)는 공구(73)가 위치하는 측을 향해 측정자(130)가 돌출되되, 그 측정자(130)가 기준면(65)에 수직인 방향으로 신축하도록 설치되고 측정자(130)의 단부가 상기 제1감지점(130a)이 된다.The first sensing sensor 100 is installed such that the measurer 130 protrudes toward the side where the tool 73 is positioned and the measurer 130 is extended and retracted in the direction perpendicular to the reference plane 65, The end of the first sensing point 130a becomes the first sensing point 130a.

또한, 제2감지센서(200)는 공구설치부재(70)와 결합되어 가공물테이블(60)이 위치하는 측을 향해 측정자(230)가 돌출되되, 그 측정자가 상기 기준면(65)에 수직인 방향으로 신축하도록 설치되고 그 측정자(230)의 단부가 상기 제2감지점(230a)이 된다.The second sensing sensor 200 is coupled to the tool mounting member 70 so that the measurer 230 is protruded toward the side where the workpiece table 60 is located, And the end of the measurer 230 becomes the second sensing point 230a.

본 실시예에서 제1감지센서(100)와 제2감지센서(200)는 각각 제1감지센서(100)와 제2감지센서(200)가 서로 접촉하는 시점의 확인과 제2감지센서(200)가 기준면(65)에 접촉하는 시점을 확인하기 위한 것이다. 따라서, 상기 제1감지센서(100) 및 제2감지센서(200)는, 초음파, 전자기파, 광 중 어느 하나를 이용하여 물체가 제1감지센서(100)의 제1감지점(130a), 또는 상기 제2감지센서(200)의 제2감지점(230a)에 도달했는지 여부에 대한 신호를 발생시키는 비접촉식 감지센서로 구성하는 것도 가능하다.The first sensing sensor 100 and the second sensing sensor 200 may be used to confirm when the first sensing sensor 100 and the second sensing sensor 200 are in contact with each other, ) Is in contact with the reference plane 65. [0064] Accordingly, the first sensing sensor 100 and the second sensing sensor 200 may be configured to sense the object at a first sensing point 130a of the first sensing sensor 100 or a second sensing point 130a of the first sensing sensor 100 using any one of ultrasonic waves, And a non-contact type sensor for generating a signal indicating whether or not the second sensing point (230a) of the second sensing sensor (200) has been reached.

본 실시예의 공구설치부재변위센서(300)는 전술한 제1실시예의 제3변위측정수단(30)과 용어가 상이할 뿐, 제3변위측정수단(30)과 같이 기준면(65)에 대하여 그 기준면(65)에 수직인 방향으로 공구설치부재(70)의 이동변위를 측정하는 수단이다.The tool mounting member displacement sensor 300 of the present embodiment differs from the third displacement measuring means 30 of the first embodiment described above only in that the third displacement measuring means 30 is provided with the reference surface 65, Is a means for measuring the displacement of the tool mounting member 70 in the direction perpendicular to the reference plane 65.

상기 제1이송기(40) 및 제2이송기(50)는 전술한 제1실시예의 제1이송기(40) 및 제2이송기(50)와 동일하다.The first conveyor 40 and the second conveyor 50 are the same as the first conveyor 40 and the second conveyor 50 of the first embodiment described above.

이하, 본 실시예에서 제어기가 제1감지센서(100), 제2감지센서(200), 공구설치부재변위센서(300)의 측정값으로부터 현재 공구(73)의 위치를 확인하는 과정을 설명한다.Hereinafter, a process of confirming the position of the current tool 73 from the measured values of the first sensing sensor 100, the second sensing sensor 200, and the tool mounting member displacement sensor 300 will be described in this embodiment .

도 14와 같이, 상기 제1감지센서(100)와 제2감지센서(200)를 기준면(65)에 수직인 방향에 대하여 서로 접촉시키는 단계가 진행된다.As shown in FIG. 14, the first sensing sensor 100 and the second sensing sensor 200 are in contact with each other in a direction perpendicular to the reference plane 65.

제어기는 제2이송기(50)를 작동하여 제1감지센서(100)와 제2감지센서(200)가 서로 정면으로 대향할 수 있도록 한다.The controller activates the second conveyor 50 to allow the first sensing sensor 100 and the second sensing sensor 200 to face each other face to face.

이후, 제어기는 제1이송기(40)를 작동시켜 공구설치부재(70)를 기준면(65) 측으로 이송시킴으로써, 제1감지센서(100)와 제2감지센서(200)를 서로 접촉시킨다.The controller then operates the first conveyor 40 to transfer the tool mounting member 70 to the reference surface 65 side so that the first sensing sensor 100 and the second sensing sensor 200 are brought into contact with each other.

그 과정에서 접촉되는 순간에 제1감지센서(100)의 제1감지점(130a)과 제2감지센서(200)의 제2감지점(230a)에 물체가 접촉했음을 나타내는 감진신호가 둘중 하나 또는 모두에서 발생하여 제어기로 입력될 것이므로, 그 접촉시작시점에 공구설치부재변위센서(300)의 측정값 Z1을 획득한다. 여기서, Z1은 공구설치부재변위센서(300)의 기준값인 Z0에 대한 공구설치부재(70)의 변위값을 의미한다.A damping signal indicating that the object is in contact with the first sensing point 130a of the first sensing sensor 100 and the second sensing point 230a of the second sensing sensor 200 at the moment of contact in the process, And the measured value Z1 of the tool mounting member displacement sensor 300 is obtained at the start of the contact. Here, Z1 denotes a displacement value of the tool mounting member 70 with respect to Z0, which is a reference value of the tool mounting member displacement sensor 300. [

도 4를 참조하면, 여기서 Z1 = B 라고 볼 수 있다.Referring to FIG. 4, it can be seen that Z1 = B.

한편, 도 15와 같이, 제2감지센서(200)를 기준면(65)에 수직인 방향으로 기준면(65)에 접촉시키는 단계가 진행된다.Meanwhile, as shown in FIG. 15, the step of contacting the second sensing sensor 200 with the reference plane 65 in a direction perpendicular to the reference plane 65 proceeds.

제어기는 제2이송기(50)의 동작을 제어하여, 제2감지센서(200)가 기준면(65)을 마주할 수 있도록 횡방향으로 가공물테이블(60)을 이송시키고, 제1이송기(40)를 작동시켜 공구설치부재(70)를 기준면(65) 측으로 이송시킴으로써, 제2감지센서(200)를 기준면(65)에 접촉시킨다. The controller controls the operation of the second conveyor 50 to convey the workpiece table 60 in the lateral direction so that the second sensing sensor 200 can face the reference plane 65 and the first conveyor 40 The second sensor 200 is brought into contact with the reference surface 65 by driving the tool mounting member 70 to the reference surface 65 side.

그 과정에서 접촉되는 순간에 제2감지센서(200)의 제2감지점(230a)에 물체가 접촉했음을 나타내는 감지신호가 발생하여 제어기로 입력될 것이므로, 그 접촉시작시점에 공구설치부재변위센서(300)의 측정값 Z2를 획득한다.A sensing signal indicating that an object is in contact with the second sensing point 230a of the second sensing sensor 200 is generated and input to the controller at the moment of contact in the process, 300). ≪ / RTI >

도 4를 참조하면, 여기서 Z2 = A 라고 볼 수 있다.Referring to FIG. 4, it can be seen that Z2 = A.

한편, 도 16과 같이, 상기 제1감지센서(100)에 공구(73)의 단부를 기준면(65)에 수직인 방향에 대하여 접촉시키는 단계가 진행된다.On the other hand, as shown in FIG. 16, the step of contacting the end of the tool 73 with the first sensing sensor 100 in a direction perpendicular to the reference plane 65 is proceeded.

제어기는 제2이송기(50)의 동작을 제어하여, 제1감지센서(100)가 공구(73)를 마주할 수 있도록 횡방향으로 가공물테이블(60)을 이송시키고, 제1이송기(40)를 작동시켜 공구설치부재(70)를 기준면(65) 측으로 이송시킴으로써, 제1감지센서(100)에 공구(73)의 단부를 접촉시킨다.The controller controls the operation of the second conveyor 50 to convey the workpiece table 60 in the lateral direction so that the first sensing sensor 100 can face the tool 73 and the first conveyor 40 To move the tool mounting member 70 to the reference surface 65 side, thereby bringing the end of the tool 73 into contact with the first sensing sensor 100. [

그 과정에서 접촉되는 순간에 제1감지센서(100)의 제1감지점(130a)에 물체가 접촉했음을 나타내는 감지신호가 발생하여 제어기로 입력될 것이므로, 그 접촉시작시점에 공구설치부재변위센서(300)의 측정값 Z3를 획득한다.A sensing signal indicating that an object is in contact with the first sensing point 130a of the first sensing sensor 100 is generated and input to the controller at the moment of contact in the process, 300). ≪ / RTI >

도 4를 참조하면, 여기서 Z3 = F 라고 볼 수 있다.Referring to FIG. 4, it can be seen that Z3 = F.

참고로, 도 17의 (b)는 제1감지센서(100)가 접촉시 온/오프되는 접점식측정기이고, 공구설치부재변위센서(300)가 바형상의 측정자를 가진 선형변위측정기인 경우의 실제적인 측정신호의 출력상태를 예시하고 있다.17 (b) is a contact-type measuring instrument in which the first sensing sensor 100 is turned on / off when the first sensing sensor 100 is in contact with the first sensor 100. When the tool mounting member displacement sensor 300 is a linear displacement meter having a bar- The output state of an actual measurement signal is illustrated.

제1감지센서(100)에 공구(73)의 단부를 접촉시키기 위해 제1이송기(40)를 작동시켜 전진시키면, 공구설치부재변위센서(300)의 측정값(Z)이 이송시작시점(t0)에서부터 점차 증가한다.When the first conveyor 40 is operated to advance the first sensing sensor 100 to contact the end of the tool 73, the measured value Z of the tool mounting member displacement sensor 300 becomes the start point t0).

제1감지센서(100)에 공구(73)의 단부가 접촉하는 접촉시작시점(t1)에서 제1감지센서(100)의 측정자를 공구가 밀어 제1감지센서(100)의 신호가 접촉시작시점(t2)에서 온(On)에서 오프(Off)로 변하는 감지신호가 나타난다.The tool is pushed by the tool of the first sensing sensor 100 at the contact start time t1 at which the end of the tool 73 contacts the first sensing sensor 100 so that the signal of the first sensing sensor 100 a detection signal which changes from On to Off at time t2 appears.

접촉시작시점인 t1시점에서 공구설치부재변위센서(300)의 측정값 Z3을 구하면 되고, 그렇지 않더라도 공구설치부재변위센서(300)의 측정값(Z)에서 제1감지센서(100)의 측정값(TG)을 승산하는 연산을 수행하면, 접촉시작시점에 공구설치부재변위센서(300)의 측정값 Z3이 산출될 수 있음을 도 17의 (b)의 Z*TG 출력값에서 보여주고 있다.The measured value Z3 of the tool mounting member displacement sensor 300 may be obtained at the time t1 of the contact start time and the measured value Z3 of the tool mounting member displacement sensor 300 may be calculated (TG), the measured value Z3 of the tool mounting member displacement sensor 300 at the contact start time can be calculated from the Z * TG output value in FIG. 17 (b).

한편, 상기에서 순차적으로 실시된 단계들은 측정값 Z1, Z2, Z3를 획득하기 위한 것이므로, 그 시행되는 순서를 변경하는 것도 가능하다.Meanwhile, since the steps sequentially performed above are for obtaining the measured values Z1, Z2, and Z3, it is also possible to change the order in which they are executed.

도 4를 참고하면, 기준면(65)에 대한 공구(73)의 위치 D = C+F = (A-B)+F 이고, 상기 단계들에서 B=Z1, A=Z2, F=Z3 가 획득될 수 있으므로, D = (Z2-Z1)+Z3 가 된다.4, the position D = C + F = (AB) + F of the tool 73 with respect to the reference plane 65 and B = Z1, A = Z2, F = Z3 can be obtained in the steps Therefore, D = (Z2-Z1) + Z3.

따라서, 공구설치부재변위센서(300)가 측정값 Z0를 출력하는 기준위치에서, 공구(73)의 위치(D)는 기준면(65)에서부터 D = (Z2-Z1)+Z3 가 되므로, 그 공구(73)의 위치를 확인할 수 있다. 이 후, 공구(73)를 기준면(65)에 설정치만큼 접근시켜 세팅시킴으로써, 기준면(65)에 부착된 가공물(90)을 설정두께로 가공할 수 있다.The position D of the tool 73 becomes D = (Z2-Z1) + Z3 from the reference plane 65 at the reference position in which the tool mounting member displacement sensor 300 outputs the measured value Z0, It is possible to confirm the position of the arm 73. The workpiece 90 attached to the reference surface 65 can be processed to a predetermined thickness by setting the tool 73 to approach the reference surface 65 by a set value.

참고로, 본 발명의 공구(73)의 날끝은 탄성신축하는 제1변위측정수단(10) 또는 제1감지센서(100), 또는 비접촉식 측정수단에 접촉함으로써 날끝의 파손이 방지될 수 있으나, 만일 공구(73)를 가공물테이블(60)의 기준면(65)에 직접 접촉시켜, 공구(73) 날끝에서 기준면(65)까지의 거리를 산출하고자 하는 경우, 공구(73)의 날끝이 파손될 수 밖에 없다. For reference, the edge of the tool 73 of the present invention can be prevented from breaking due to contact with the first displacement measuring means 10, the first sensing sensor 100, or the non-contact type measuring means which are elastically stretchable and contractible, When the tool 73 is directly brought into contact with the reference surface 65 of the workpiece table 60 and the distance from the blade tip of the tool 73 to the reference surface 65 is to be calculated, the blade tip of the tool 73 is damaged .

이러한 관점에서, 본 발명에 의해 공구(72)의 위치를 세팅하는 구성 및 방법은 공구(73)의 날끝의 파손을 방지하는 효과를 가지는 것이다.From this viewpoint, the configuration and method of setting the position of the tool 72 by the present invention have the effect of preventing breakage of the blade tip of the tool 73. [

도 18은 본 발명의 실시예에 따른 공구위치 세팅장치를 제작하여 가공물테이블(60)에 올려진 가공물을 목표두께로 실제 가공한 일예에 대한 결과이다.FIG. 18 is a result of an example in which a tool position setting device according to an embodiment of the present invention is manufactured and the workpiece placed on the workpiece table 60 is actually processed to a target thickness.

본 발명의 공구위치 세팅장치와 공구위치 세팅방법을 이용하여 공구(72)의 위치를 세팅한 후, 가공물테이블(60) 상의 가공물을 목표두께로 가공하는 작업을 반복시험한다. After the position of the tool 72 is set by using the tool position setting device and the tool position setting method of the present invention, the operation of machining the workpiece on the workpiece table 60 to the target thickness is repeatedly tested.

그 반복시험하는 과정에서 공구위치의 세팅이 수시로 이루어짐으로써, 가공작업의 진행에 따른 공구마모, 열변형에 기인한 오차가 보정되는 효과를 얻을 수 있다. The setting of the tool position is made at any time during the repeated test, whereby the error due to the tool wear and thermal deformation due to the progress of the machining operation can be corrected.

즉, 도 18의 결과그래프에서는, 가공작업이 반복시험되는 진행과정에서 나타나는 결과치들이 공구마모, 열변형 등에 의해 편차가 발생하다가도 목표두께를 찾아가는 보정이 중간중간에 이루어지고 있음을 알 수 있다. That is, in the result graph of FIG. 18, it can be seen that the correction values for finding the target thickness are in the middle of the process while the results appearing in the process of repeatedly testing the machining operation are deviated due to tool wear and thermal deformation.

이러한 보정은 본 발명에 따른 공구위치 세팅장치와 공구위치 세팅방법을 이용한 자동화에 의해, 가공작업 중 수시로 공구위치의 세팅이 이루어짐으로써 가능한 것이다.This correction is possible by setting the tool position at any time during the machining operation by automation using the tool position setting device and the tool position setting method according to the present invention.

그 보정에 의해, 가공작업이 반복적이고 지속적으로 이루어지더라도 공구마모, 열변형에 기인한 오차가 수시로 제거될 수 있으며, 목표두께에 대한 편차가 ±2㎛ 이내로 매우 정밀한 가공이 이루어질 수 있었다.By the correction, even if the machining operation is repeatedly and continuously performed, the errors caused by the tool wear and thermal deformation can be removed at any time, and a very precise machining can be performed within ± 2 μm of deviation from the target thickness.

이상에서 본 발명의 바람직한 실시예를 설명하였으나, 상기의 실시예는 본 발명의 기술적 사상의 범위 내에 있는 일 실시예에 불과하며, 동업계의 통상의 기술자에 있어서는, 본 발명의 기술적인 사상 내에서 다른 변형된 실시가 가능함은 물론이다.While the present invention has been particularly shown and described with reference to exemplary embodiments thereof, it is clearly understood that the same is by way of illustration and example only and is not to be construed as limited to the particular embodiments set forth herein. It goes without saying that other modified embodiments are possible.

10 ; 제1변위측정수단 13 ; 측정자
20 ; 제2변위측정수단 23 ; 측정자
30 ; 제3변위측정수단 40 ; 제1이송기
50 ; 제2이송기 60 ; 가공물테이블
65 ; 기준면 70 ; 공구설치부재
73 ; 공구 90 ; 가공물
91 ; 기판 91a ; 상면
100 ; 제1감지센서 130a ; 제1감지점
200 ; 제2감지센서 230a ; 제2감지점
300 ; 공구설치부재변위센서10; A first displacement measuring means 13; rater
20; Second displacement measuring means 23; rater
30; Third displacement measuring means 40; The first conveyor
50; A second conveyor 60; Workpiece table
65; Reference plane 70; Tool mounting member
73; Tool 90; Workpiece
91; Substrate 91a; Top surface
100; A first sensing sensor 130a; The first sensing point
200; A second sensing sensor 230a; The second sensing point
300; Tool mounting member displacement sensor

Claims (12)

가공물(90)이 부착되는 기준면(65)을 가진 가공물테이블(60)을 구비하고, 상기 기준면(65)에 수직인 방향으로 공구(73)의 위치를 확인함으로써, 공구(73)의 위치를 설정하기 위한 공구위치 세팅장치에 있어서,
상기 가공물테이블(60)에 설치되어 상기 기준면(65)에 수직인 방향에 대하여 접촉하는 물체의 변위를 측정하는 제1변위측정수단(10)과,
상기 공구(73)가 설치된 공구설치부재(70)와 결합되어 함께 이동하는 것으로서 상기 기준면(65)에 수직인 방향에 대하여 물체의 변위를 측정하는 제2변위측정수단(20)과,
상기 기준면(65)에 대하여 그 기준면(65)에 수직인 방향으로 상기 공구설치부재(70)의 이동변위를 측정하는 제3변위측정수단(30)과,
상기 공구(73)가 상기 기준면(65)에 접근 및 이격되도록 상기 공구설치부재(70)를 이송시키는 제1이송기(40)와,
상기 기준면(65)과 평행한 방향으로 상기 가공물테이블(60) 또는 상기 공구설치부재(70)를 이송시키는 제2이송기(50), 및
상기 제1이송기(40)와 상기 제2이송기(50)의 작동을 제어하되, 상기 제1변위측정수단(10)과 상기 제2변위측정수단(20)을 상기 기준면(65)에 수직인 방향에서 서로 접촉시키고, 상기 제2변위측정수단(20)을 상기 기준면(65)에 접촉하도록 하며, 상기 제1변위측정수단(10)에 상기 공구(73)의 단부가 상기 기준면(65)에 수직인 방향으로 접촉하도록 하여, 그 각각의 접촉시 상기 제1변위측정수단(10)과 상기 제2변위측정수단(20)과 상기 제3변위측정수단(30)의 측정값을 획득함으로써, 그 측정값을 기초로 상기 기준면(65)에 수직인 방향에서의 상기 공구(73)의 위치를 확인하는 제어기를 포함하는 것을 특징으로 하는 공구위치 세팅장치The workpiece table 60 having the reference surface 65 to which the workpiece 90 is attached and the position of the tool 73 is determined by checking the position of the tool 73 in a direction perpendicular to the reference surface 65 A tool position setting apparatus for setting a tool position,
A first displacement measuring means (10) installed on the work table (60) for measuring a displacement of an object in contact with a direction perpendicular to the reference plane (65)
A second displacement measurement means 20 for measuring the displacement of an object in a direction perpendicular to the reference plane 65 by being moved together with the tool mounting member 70 provided with the tool 73,
A third displacement measuring means (30) for measuring a displacement of the tool mounting member (70) in a direction perpendicular to the reference plane (65) with respect to the reference plane (65)
A first conveyor 40 for conveying the tool mounting member 70 so that the tool 73 approaches and separates from the reference surface 65,
A second conveyor (50) for conveying the work table (60) or the tool mounting member (70) in a direction parallel to the reference plane (65)
Wherein the control unit controls the operation of the first conveyor 40 and the second conveyor 50 such that the first displacement measuring means 10 and the second displacement measuring means 20 are perpendicular to the reference plane 65 And the second displacement measuring means 20 is brought into contact with the reference surface 65 so that the end of the tool 73 is contacted with the reference surface 65 to the first displacement measuring means 10, So as to obtain the measured values of the first displacement measuring means (10), the second displacement measuring means (20) and the third displacement measuring means (30) at their respective contacts, And a controller for checking the position of the tool (73) in a direction perpendicular to the reference plane (65) based on the measured value, characterized in that the tool position setting device 제1항에 있어서,
상기 제1변위측정수단(10)은 상기 공구(73)가 위치하는 측을 향해 바형상의 측정자가 돌출되되, 그 측정자가 상기 기준면(65)에 수직인 방향으로 신축하도록 설치된 접촉식프로브이고,
상기 제2변위측정수단(20)은 상기 가공물테이블(60)이 위치하는 측을 향해 바형상의 측정자가 돌출되되, 그 측정자가 상기 기준면(65)에 수직인 방향으로 신축하도록 설치된 접촉식프로브인 것을 특징으로 하는 공구위치 세팅장치The method according to claim 1,
The first displacement measuring means 10 is a contact probe which is provided so that a bar-shaped measurer protrudes toward a side where the tool 73 is positioned, and the measurer is arranged to extend and contract in a direction perpendicular to the reference plane 65,
The second displacement measuring means 20 is a contact probe which is provided so that a bar-shaped measurer protrudes toward the side where the workpiece table 60 is located, and whose measurer is stretchable and contractible in a direction perpendicular to the reference plane 65 And a tool position setting device 제1항에 있어서,
상기 제1변위측정수단(10)은 상기 공구(73)가 위치하는 측을 향해 바형상의 측정자가 돌출되되, 그 측정자가 상기 기준면(65)에 수직인 방향으로 신축하도록 설치되고,
상기 제2변위측정수단(20)은 상기 가공물테이블(60)이 위치하는 측을 향해 상기 기준면(65)에 수직인 방향을 따라 대상물체의 변위를 측정하는 비접촉식 변위측정수단으로서, 초음파, 전자기파, 광 중 어느 하나를 이용하여 비접촉식으로 변위를 측정하는 수단이고,
상기 제1변위측정수단(10)의 상기 측정자의 단부에는 상기 제2변위측정수단(20)에서 발사된 초음파, 전자기파, 광 중 어느 하나가 상기 측정자의 단부에서 반사될 수 있도록 상기 기준면(65)과 평행한 반사면이 형성된 것을 특징으로 하는 공구위치 세팅장치The method according to claim 1,
The first displacement measuring means 10 is provided so that a bar-shaped measurer protrudes toward the side where the tool 73 is positioned, and the measuring device is arranged to extend and retract in a direction perpendicular to the reference plane 65,
The second displacement measuring means 20 is a non-contact displacement measuring means for measuring the displacement of the object along a direction perpendicular to the reference plane 65 toward the side where the workpiece table 60 is located, And is a means for measuring a displacement in a non-contact manner using any one of light,
The reference surface 65 is provided at an end of the measurer of the first displacement measuring means 10 so that any one of ultrasonic waves, electromagnetic waves, and light emitted from the second displacement measuring means 20 can be reflected at the end of the measurer. And a reflective surface parallel to the tool position setting device 가공물(90)이 부착되는 기준면(65)을 가진 가공물테이블(60)에 설치되는 것으로서, 상기 기준면(65)에 수직인 방향에 대하여 접촉하는 물체의 변위를 측정하는 제1변위측정수단(10)과,
공구(73)가 설치된 공구설치부재(70)와 결합되어 함께 이동하는 것으로서, 상기 기준면(65)에 수직인 방향에 대하여 물체의 변위를 측정하는 제2변위측정수단(20)과,
상기 기준면(65)에 대하여 그 기준면(65)에 수직인 방향으로 상기 공구설치부재(70)의 이동변위를 측정하는 제3변위측정수단(30)과,
상기 공구(73)가 기준면(65)에 접근 및 이격되도록 상기 공구설치부재(70)를 이송시키는 제1이송기(40)와,
상기 기준면(65)과 평행한 방향으로 상기 가공물테이블(60) 또는 상기 공구설치부재(70)를 이송시키는 제2이송기(50)를 포함하는 장치에서, 공구(73)의 위치를 확인하여 공구(73)의 위치를 자동으로 설정하기 위한 공구위치 세팅방법에 있어서,
상기 제1변위측정수단(10)과 상기 제2변위측정수단(20)을 상기 기준면(65)에 수직인 방향에 대하여 서로 접촉시키는 단계,
상기 제2변위측정수단(20)을 상기 기준면(65)에 수직인 방향으로 상기 기준면(65)에 접촉시키는 단계,
상기 제1변위측정수단(10)에 상기 공구(73)의 단부를 상기 기준면(65)에 수직인 방향에 대하여 접촉시키는 단계를 포함하고,
상기 단계들은 상기 제1이송기(40)와 상기 제2이송기(50)의 작동을 제어함에 의해 이루어지는 것이며,
상기 단계들에서 상기 제1변위측정수단(10)과 상기 제2변위측정수단(20) 및 상기 제3변위측정수단(30)의 측정값을 획득한 후, 그 측정값을 기초로 상기 기준면(65)에 수직인 방향에서 상기 공구(73)의 위치를 확인하는 것을 특징으로 하는 공구위치 세팅방법A first displacement measuring means 10 installed on a workpiece table 60 having a reference surface 65 to which a workpiece 90 is attached and measuring a displacement of an object in contact with a direction perpendicular to the reference surface 65, and,
A second displacement measuring means 20 which is moved together with the tool mounting member 70 provided with the tool 73 and measures the displacement of the object with respect to the direction perpendicular to the reference plane 65,
A third displacement measuring means (30) for measuring a displacement of the tool mounting member (70) in a direction perpendicular to the reference plane (65) with respect to the reference plane (65)
A first conveyor 40 for conveying the tool mounting member 70 so that the tool 73 approaches and separates from the reference surface 65,
And a second feeder (50) for feeding the workpiece table (60) or the tool mounting member (70) in a direction parallel to the reference plane (65) (73) for automatically setting a position of a tool
Contacting the first displacement measuring means (10) and the second displacement measuring means (20) with each other in a direction perpendicular to the reference plane (65)
Contacting the second displacement measuring means (20) with the reference plane (65) in a direction perpendicular to the reference plane (65)
Contacting the end of the tool (73) with the first displacement measuring means (10) in a direction perpendicular to the reference plane (65)
The above steps are performed by controlling the operation of the first conveyor 40 and the second conveyor 50,
Wherein after obtaining the measured values of the first displacement measuring means (10), the second displacement measuring means (20) and the third displacement measuring means (30) in the steps, 65) of the tool (73) in a direction perpendicular to the direction of the tool 제4항에 있어서,
상기 제1변위측정수단(10)은 상기 공구(73)가 위치하는 측을 향해 바형상의 측정자가 돌출되되, 그 측정자가 상기 기준면(65)에 수직인 방향으로 신축하도록 설치된 접촉식프로브이고,
상기 제2변위측정수단(20)은 상기 가공물테이블(60)이 위치하는 측을 향해 바형상의 측정자가 돌출되되, 그 측정자가 상기 기준면(65)에 수직인 방향으로 신축하도록 설치된 접촉식프로브인 것을 특징으로 하는 공구위치 세팅방법5. The method of claim 4,
The first displacement measuring means 10 is a contact probe which is provided so that a bar-shaped measurer protrudes toward a side where the tool 73 is positioned, and the measurer is arranged to extend and contract in a direction perpendicular to the reference plane 65,
The second displacement measuring means 20 is a contact probe which is provided so that a bar-shaped measurer protrudes toward the side where the workpiece table 60 is located, and whose measurer is stretchable and contractible in a direction perpendicular to the reference plane 65 ≪ / RTI > 가공물(90)이 부착되는 기준면(65)을 가진 가공물테이블(60)에 설치되는 것으로서, 상기 기준면(65)에 수직인 방향에 대하여 접촉하는 물체의 접촉여부를 감지하는 제1변위측정수단(10) 또는 제1감지센서와,
공구(73)가 설치된 공구설치부재(70)와 결합되어 함께 이동하는 것으로서, 상기 기준면(65)에 수직인 방향에 대하여 물체의 변위를 측정하는 제2변위측정수단(20)과,
상기 기준면(65)에 대하여 그 기준면(65)에 수직인 방향으로 상기 공구설치부재(70)의 이동변위를 측정하는 제3변위측정수단(30)과,
상기 공구(73)가 기준면(65)에 접근 및 이격되도록 상기 공구설치부재(70)를 이송시키는 제1이송기(40)와,
상기 기준면(65)과 평행한 방향으로 상기 가공물테이블(60) 또는 상기 공구설치부재(70)를 이송시키는 제2이송기(50)를 포함하고,
상기 제1변위측정수단(10) 또는 제1감지센서는 상기 공구(73)가 위치하는 측을 향해 측정자가 돌출되되, 그 측정자가 상기 기준면(65)에 수직인 방향으로 신축하도록 설치되며,
상기 제2변위측정수단(20)은 상기 가공물테이블(60)이 위치하는 측을 향해 상기 기준면(65)에 수직인 방향을 따라 대상물체의 변위를 측정하는 비접촉식 변위측정수단으로서, 초음파, 전자기파, 광 중 어느 하나를 이용하여 비접촉식으로 변위를 측정하는 수단이고,
상기 제1변위측정수단(10) 또는 상기 제1감지센서의 측정자의 단부에는, 상기 제2변위측정수단(20)에서 발사된 초음파, 전자기파, 광 중 어느 하나가 상기 측정자의 단부에서 반사될 수 있도록 상기 기준면(65)과 평행한 반사면이 형성되어 있는 공구위치 세팅장치에서, 공구(73)의 위치를 확인하고 공구(73)의 위치를 자동으로 설정하기 위한 공구위치 세팅방법에 있어서,
상기 제1변위측정수단(10) 또는 상기 제1감지센서와, 상기 제2변위측정수단(20)을 상기 기준면(65)에 수직인 방향에 대하여 서로 대향시키고 상기 제2변위측정수단(20)이 상기 제2변위측정수단(20)의 단부로부터 상기 반사면까지의 거리를 측정하는 단계,
상기 제2변위측정수단(20)을 상기 기준면(65)에 수직인 방향으로 상기 기준면(65)에 대향시키고 상기 제2변위측정수단(20)이 상기 제2변위측정수단(20)의 단부로부터 상기 기준면(65)까지의 거리를 측정하는 단계, 및
상기 제1변위측정수단(10) 또는 상기 제1감지센서에 상기 공구(73)의 단부를 상기 기준면(65)에 수직인 방향으로 접촉시키는 단계를 포함하고,
상기 단계들은 상기 제1이송기(40)와 상기 제2이송기(50)의 작동을 제어함에 의해 이루어지는 것이며,
상기 단계들에서 상기 제1변위측정수단(10) 또는 상기 제1감지센서와, 상기 제2변위측정수단(20)과, 상기 제3변위측정수단(30)의 측정값을 획득한 후, 그 측정값을 기초로 상기 기준면(65)에 수직인 방향에서 상기 공구(73)의 위치를 확인하는 것을 특징으로 하는 공구위치 세팅방법A first displacement measuring means (10) installed on a workpiece table (60) having a reference surface (65) to which a workpiece (90) is attached and sensing whether an object touching a direction perpendicular to the reference surface Or a first sensing sensor,
A second displacement measuring means 20 which is moved together with the tool mounting member 70 provided with the tool 73 and measures the displacement of the object with respect to the direction perpendicular to the reference plane 65,
A third displacement measuring means (30) for measuring a displacement of the tool mounting member (70) in a direction perpendicular to the reference plane (65) with respect to the reference plane (65)
A first conveyor 40 for conveying the tool mounting member 70 so that the tool 73 approaches and separates from the reference surface 65,
And a second conveyor (50) for conveying the work table (60) or the tool mounting member (70) in a direction parallel to the reference plane (65)
The first displacement measuring means (10) or the first detecting sensor is installed so that the measuring person projects toward the side where the tool (73) is located, and the measuring person is stretched and expanded in a direction perpendicular to the reference surface (65)
The second displacement measuring means 20 is a non-contact displacement measuring means for measuring the displacement of the object along a direction perpendicular to the reference plane 65 toward the side where the workpiece table 60 is located, And is a means for measuring a displacement in a non-contact manner using any one of light,
At the end of the first displacement measurement means 10 or the first measurement sensor, one of the ultrasonic waves, electromagnetic waves, and light emitted from the second displacement measurement means 20 may be reflected at the end of the measurement object In a tool position setting apparatus in which a reflecting surface parallel to the reference plane (65) is formed so as to determine a position of the tool (73) and automatically set the position of the tool (73)
The first displacement measuring means 10 or the first sensing sensor and the second displacement measuring means 20 are opposed to each other in a direction perpendicular to the reference plane 65 and the second displacement measuring means 20, Measuring the distance from the end of the second displacement measuring means (20) to the reflecting surface,
The second displacement measuring means 20 is opposed to the reference plane 65 in a direction perpendicular to the reference plane 65 and the second displacement measuring means 20 is located at a distance from the end of the second displacement measuring means 20 Measuring a distance to the reference plane (65), and
And contacting the end of the tool (73) to the first displacement measuring means (10) or the first sensing sensor in a direction perpendicular to the reference plane (65)
The above steps are performed by controlling the operation of the first conveyor 40 and the second conveyor 50,
After obtaining the measured values of the first displacement measuring means (10) or the first sensing sensor, the second displacement measuring means (20) and the third displacement measuring means (30) in the steps And confirms the position of the tool (73) in a direction perpendicular to the reference plane (65) based on the measured value 가공물(90)이 부착되는 기준면(65)을 가진 가공물테이블(60)을 구비하고, 상기 기준면(65)에 수직인 방향으로 공구(73)의 위치를 확인함으로써, 공구(73)의 위치를 설정하기 위한 공구위치 세팅장치에 있어서,
제1감지점(130a)을 구비하고 상기 가공물테이블(60)에 설치되며, 상기 기준면(65)에 수직인 방향으로 접근하는 물체가 상기 제1감지점(130a)에 도달했는지 여부에 대한 신호를 발생시키는 제1감지센서(100)와,
제2감지점(230a)을 구비하고 상기 공구(73)가 설치된 공구설치부재(70)와 결합되어 함께 이동하며, 상기 기준면(65)에 수직인 방향에 대하여 상기 가공물테이블(60)에 접근시 상기 제2감지점(230a)이 물체에 도달했는지 여부에 대한 신호를 발생시키는 제2감지센서(200)와,
상기 기준면(65)에 대하여 그 기준면(65)에 수직인 방향으로 상기 공구설치부재(70)의 이동변위를 측정하는 공구설치부재변위센서(300)와,
상기 공구(73)가 상기 기준면(65)에 접근 및 이격되도록 상기 공구설치부재(70)를 이송시키는 제1이송기(40)와,
상기 기준면(65)과 평행한 방향으로 상기 가공물테이블(60) 또는 상기 공구설치부재(70)를 이송시키는 제2이송기(50), 및
상기 제1이송기(40)와 상기 제2이송기(50)의 작동을 제어하되, 상기 제1감지점(130a)과 상기 제2감지점(230a)을 상기 기준면(65)에 수직인 방향에서 서로 접촉시키고, 상기 제2감지점(230a)을 상기 기준면(65)에 접촉시키며, 상기 제1감지점(130a)에 상기 공구(73)의 단부가 상기 기준면(65)에 수직인 방향으로 접촉하도록 하는 과정을 각각 진행시켜, 그 각각의 접촉시 상기 제1감지센서(100)와 상기 제2감지센서(200)와 상기 공구설치부재변위센서(300)의 출력신호를 획득함으로써, 그 출력신호를 기초로 상기 기준면(65)에 수직인 방향으로 상기 공구(73)의 위치를 확인하는 제어기를 포함하는 것을 특징으로 하는 공구위치 세팅장치The workpiece table 60 having the reference surface 65 to which the workpiece 90 is attached and the position of the tool 73 is determined by checking the position of the tool 73 in a direction perpendicular to the reference surface 65 A tool position setting apparatus for setting a tool position,
A signal indicating whether an object having a first sensing point 130a and installed in the workpiece table 60 and approaching the direction perpendicular to the reference plane 65 has reached the first sensing point 130a A first detection sensor 100 for generating a first detection signal,
And moves together with the tool mounting member 70 having the second sensing point 230a and installed with the tool 73. When approaching the work table 60 with respect to the direction perpendicular to the reference surface 65, A second sensing sensor 200 for generating a signal as to whether the second sensing point 230a has reached the object,
A tool mounting member displacement sensor 300 for measuring the displacement of the tool mounting member 70 in a direction perpendicular to the reference plane 65 with respect to the reference plane 65,
A first conveyor 40 for conveying the tool mounting member 70 so that the tool 73 approaches and separates from the reference surface 65,
A second conveyor (50) for conveying the work table (60) or the tool mounting member (70) in a direction parallel to the reference plane (65)
Wherein the control unit controls operations of the first conveyor 40 and the second conveyor 50 so that the first sensing point 130a and the second sensing point 230a are moved in a direction perpendicular to the reference plane 65 And the second sensing point 230a is brought into contact with the reference surface 65 so that the end of the tool 73 is positioned at the first sensing point 130a in a direction perpendicular to the reference surface 65 The first sensor 100, the second sensor 200, and the tool mounting member displacement sensor 300, respectively, so that the output of the first sensor 100, the second sensor 200, And a controller for determining the position of the tool (73) in a direction perpendicular to the reference plane (65) based on the signal, 제7항에 있어서,
상기 제1감지센서(100)는 상기 공구(73)가 위치하는 측을 향해 측정자가 돌출되되, 그 측정자가 상기 기준면(65)에 수직인 방향으로 신축하도록 설치되고 상기 측정자의 단부가 상기 제1감지점(130a)이고,
상기 제2감지센서(200)는 상기 가공물테이블(60)이 위치하는 측을 향해 측정자가 돌출되되, 그 측정자가 상기 기준면(65)에 수직인 방향으로 신축하도록 설치되고 그 측정자의 단부가 상기 제2감지점(230a)인 것을 특징으로 하는 공구위치 세팅장치8. The method of claim 7,
The first sensing sensor 100 is installed so that the measurer protrudes toward the side where the tool 73 is located and the measurer is arranged to extend and retract in a direction perpendicular to the reference plane 65, Is the sensing point 130a,
The second sensing sensor 200 is provided so that the measuring person is protruded toward the side on which the workpiece table 60 is located and the measuring person is installed so as to extend and retract in a direction perpendicular to the reference surface 65, 2 detection point (230a). ≪ RTI ID = 0.0 > 제7항에 있어서,
상기 제1감지센서(100) 또는 상기 제2감지센서(200)는,
초음파, 전자기파, 광 중 어느 하나를 이용하여 물체가 상기 제1감지점(130a) 또는 상기 제2감지점(230a)에 도달했는지 여부에 대한 신호를 발생시키는 비접촉식 감지센서인 것을 특징으로 하는 공구위치 세팅장치8. The method of claim 7,
The first sensing sensor 100 or the second sensing sensor 200 may be a two-
Contact sensing sensor that generates a signal as to whether an object has reached the first sensing point (130a) or the second sensing point (230a) by using any one of ultrasonic waves, electromagnetic waves, and light. Setting device 가공물(90)이 부착되는 기준면(65)을 가진 가공물테이블(60)에 설치되는 것으로서, 제1감지점(130a)을 구비하고 상기 기준면(65)에 수직인 방향으로 접근하는 물체가 상기 제1감지점(130a)에 도달했는지 여부에 대한 신호를 발생시키는 제1감지센서(100)와,
제2감지점(230a)을 구비하고 공구(73)가 설치된 공구설치부재(70)와 결합되어 함께 이동하며, 상기 기준면(65)에 수직인 방향에 대하여 상기 가공물테이블(60)에 접근시 상기 제2감지점(230a)이 물체에 도달했는지 여부에 대한 신호를 발생시키는 제2감지센서(200)와,
상기 기준면(65)에 대하여 그 기준면(65)에 수직인 방향으로 상기 공구설치부재(70)의 이동변위를 측정하는 공구설치부재변위센서(300)와,
상기 공구(73)가 상기 기준면(65)에 접근 및 이격되도록 상기 공구설치부재(70)를 이송시키는 제1이송기(40)와,
상기 기준면(65)과 평행한 방향으로 상기 가공물테이블(60) 또는 상기 공구설치부재(70)를 이송시키는 제2이송기(50)를 포함하는 장치에서, 공구(73)의 위치를 확인하여 공구(73)의 위치를 자동으로 설정하기 위한 공구위치 세팅방법에 있어서,
상기 제1감지점(130a)과 상기 제2감지점(230a)을 상기 기준면(65)에 수직인 방향에 대하여 서로 접촉시키는 단계,
상기 제2감지점(230a)을 상기 기준면(65)에 수직인 방향으로 상기 기준면(65)에 접촉시키는 단계,
상기 제1감지점(130a)에 상기 공구(73)의 단부를 상기 기준면(65)에 수직인 방향에 대하여 접촉시키는 단계를 포함하고,
상기 단계들은 상기 제1이송기(40)와 상기 제2이송기(50)의 작동을 제어함에 의해 이루어지는 것이며,
상기 단계들에서 상기 제1감지센서(100)와 상기 제2감지센서(200) 및 상기 공구설치부재변위센서(300)의 측정값을 획득한 후, 그 측정값을 기초로 상기 기준면(65)에 수직인 방향에서 상기 공구(73)의 위치를 확인하는 것을 특징으로 하는 공구위치 세팅방법An object mounted on a workpiece table (60) having a reference surface (65) to which a workpiece (90) is attached and having a first sensing point (130a) and approaching in a direction perpendicular to the reference surface (65) A first sensing sensor 100 for generating a signal as to whether or not the sensing point 130a has been reached,
When the workpiece table 60 is approached with respect to a direction perpendicular to the reference surface 65, the first and second detection points 230a and 230a are moved together with the tool mounting member 70 provided with the tool 73, A second sensing sensor 200 for generating a signal as to whether or not the second sensing point 230a has reached the object,
A tool mounting member displacement sensor 300 for measuring the displacement of the tool mounting member 70 in a direction perpendicular to the reference plane 65 with respect to the reference plane 65,
A first conveyor 40 for conveying the tool mounting member 70 so that the tool 73 approaches and separates from the reference surface 65,
And a second feeder (50) for feeding the workpiece table (60) or the tool mounting member (70) in a direction parallel to the reference plane (65) (73) for automatically setting a position of a tool
Contacting the first sensing point 130a and the second sensing point 230a with respect to each other in a direction perpendicular to the reference plane 65,
Contacting the second sensing point (230a) with the reference plane (65) in a direction perpendicular to the reference plane (65)
And contacting the end of the tool (73) to the first sensing point (130a) in a direction perpendicular to the reference plane (65)
The above steps are performed by controlling the operation of the first conveyor 40 and the second conveyor 50,
The measurement values of the first sensing sensor 100, the second sensing sensor 200 and the tool mounting member displacement sensor 300 are acquired in the steps, And the position of the tool (73) in a direction perpendicular to the direction of the tool 제10항에 있어서,
상기 제1감지센서(100)는 상기 공구(73)가 위치하는 측을 향해 측정자가 돌출되되, 그 측정자가 상기 기준면(65)에 수직인 방향으로 신축하도록 설치되고 상기 측정자의 단부가 상기 제1감지점(130a)이고,
상기 제2감지센서(200)는 상기 가공물테이블(60)이 위치하는 측을 향해 측정자가 돌출되되, 그 측정자가 상기 기준면(65)에 수직인 방향으로 신축하도록 설치되고 그 측정자의 단부가 상기 제2감지점(230a)인 것을 특징으로 하는 공구위치 세팅방법11. The method of claim 10,
The first sensing sensor 100 is installed so that the measurer protrudes toward the side where the tool 73 is located and the measurer is arranged to extend and retract in a direction perpendicular to the reference plane 65, Is the sensing point 130a,
The second sensing sensor 200 is provided so that the measuring person is protruded toward the side on which the workpiece table 60 is located and the measuring person is installed so as to extend and retract in a direction perpendicular to the reference surface 65, 2 detection point (230a). 제10항에 있어서,
상기 제1감지센서(100) 또는 상기 제2감지센서(200)는,
초음파, 전자기파, 광 중 어느 하나를 이용하여 물체가 상기 제1감지점(130a) 또는 상기 제2감지점(230a)에 도달했는지 여부에 대한 신호를 발생시키는 비접촉식 감지센서인 것을 특징으로 하는 공구위치 세팅방법11. The method of claim 10,
The first sensing sensor 100 or the second sensing sensor 200 may be a two-
Contact sensing sensor that generates a signal as to whether an object has reached the first sensing point (130a) or the second sensing point (230a) by using any one of ultrasonic waves, electromagnetic waves, and light. Setting method
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