KR101842541B1 - 비-도전성 액체 검출용 누설 감지 센서 - Google Patents

Abstract

본 발명은 일면에 불연속적으로 상부 도전성 라인이 인쇄된 상부 센서 시트; 일면에 불연속적으로 하부 도전성 라인이 인쇄된 하부 센서 시트; 및 상기 상부 센서 시트와 하부 센서 시트가 서로 포개어진 상태에서 서로 밀착되도록 하는 밀착 수단을 포함하고, 상기 상부 센서 시트와 하부 센서 시트가 밀착될 때 상기 상부 센서 시트의 상부 도전성 라인과 상기 하부 센서 시트의 하부 도전성 라인은 접지되어 연속적인 하나의 도전성 라인을 형성하고, 누설된 비-도전성 액체가 상기 상부 센서 시트와 상기 하부 센서 시트 사이로 침투하여 상기 상부 도전성 라인과 하부 도전성 라인을 이격시킬 때 상기 연속적인 도전성 라인의 전류 흐름이 끊어짐으로써 비-도전성 액체의 누설을 감지하는 것을 특징으로 하는 비-도전성 액체 검출용 누설 감지 센서에 관한 것이다.

Description

비-도전성 액체 검출용 누설 감지 센서{Leak sensor for detecting of non-conducting liquid}

본 발명은 유기액체류 및 오일류 등의 비-도전성 액체의 누설을 감지할 수 있는 누설 감지 센서에 관한 것이다.

일반적으로 반도체 제조 공정에는 많은 화학 물질들이 이용된다. 예를 들면, 웨이퍼의 절단 및 연마 후 세정 공정에 사용되는 세정액, 웨이퍼의 감광 공정에 사용되는 감광액, 웨이퍼의 현상 공정에 사용되는 현상액, 웨이퍼 식각 공정에 사용되는 식각액 등이 반도체 제조 공정에 이용된다.

이러한 화학 물질들은 이송관(배관)을 통해 각 공정이 수행되는 위치까지 내외부에서 이송되는데, 이송관의 불량 및 열화에 의해 화학 물질이 이송관 외부로 누설되는 일이 발생할 수 있다. 누설된 화학 물질은 사람은 물론 반도체 제조 현장의 다른 장치나 부품들에 악영향을 끼치므로, 이송관의 누설을 감지하여 빠르게 조치를 취할 필요가 있다.

특히, 저장 탱크 내부로 누설된 화학 물질은 일정량 이상으로 누설되기 전에 작업자가 조치를 취해야 물적 그리고 인적 피해를 최소화할 수 있다.

이에 따라, 종래의 누설 감지 센서들은 누설된 화학 물질이 센서의 도전성 표면에 접촉함으로써 발생하는 저항을 측정하여 누설 여부를 판별하였다. 예를 들면, 종래의 누설 감지 센서들은 도전성 패턴이 형성된 센서의 표면에 누설된 도전성 액체가 접촉하게 되면, 도전성 패턴이 전기적으로 통전되는 원리를 이용하여 화학 물질의 누설 여부를 감지하였다.

한편, HMDS와 같은 유기액체류, 또는 오일류 등과 같은 비-도전성 액체를 감지하기 위해서는, 비도전성 액체와 반응하는 물질을 도전성 물질과 혼합하여 도전성 패턴을 형성한 누설 감지 센서를 제조해야 한다. 또는, 종래의 비도전성 액체를 검출하기 위해 누설 감지 센서는 광조사장치, 서미스터 등과 같은 별도의 부품을 구비해야 한다.

그러나, 이와 같은 종래의 누설 감지 센서는 검출에 사용된 센서의 재사용이 불가능하거나, 제작이 간단하지 않고 비용이 많이 든다는 단점이 있다.

선행기술문헌 1: 대한민국 공개특허공보 제10-1997-0075868호

선행기술문헌 2: 대한민국 공개특허공보 제10-1997-0047942호

본 발명은 상기한 문제점을 해결하기 위해 발명된 것으로서, 비-도전성 액체를 검출하기 위한 별도의 부품들을 구비하지 않아 제작이 간단하고 비용이 적게되는 비-도전성 액체 검출용 누설 감지 센서를 제공하는 것을 목적으로 한다.

상기한 목적을 달성하기 위해, 본 발명은 일면에 불연속적으로 상부 도전성 라인이 인쇄된 상부 센서 시트; 일면에 불연속적으로 하부 도전성 라인이 인쇄된 하부 센서 시트; 및 상기 상부 센서 시트와 하부 센서 시트가 서로 포개어진 상태에서 서로 밀착되도록 하는 밀착 수단을 포함하고, 상기 상부 센서 시트와 하부 센서 시트가 밀착될 때 상기 상부 센서 시트의 상부 도전성 라인과 상기 하부 센서 시트의 하부 도전성 라인은 접지되어 연속적인 하나의 도전성 라인을 형성하고, 누설된 비-도전성 액체가 상기 상부 센서 시트와 상기 하부 센서 시트 사이로 침투하여 상기 상부 도전성 라인과 하부 도전성 라인을 이격시킬 때 상기 연속적인 도전성 라인의 전류 흐름이 끊어짐으로써 비-도전성 액체의 누설을 감지하는 것을 특징으로 한다.

여기서, 상기 상부 도전성 라인은 상기 상부 센서 시트의 폭방향으로 서로 이격되어 배치된 제1 상부 도전성 라인 및 제2 상부 도전성 라인을 포함하고, 상기 하부 도전성 라인은 상기 하부 센서 시트의 폭방향으로 서로 이격되어 배치된 제1 하부 도전성 라인 및 제2 하부 도전성 라인을 포함하고, 제1 상부 도전성 라인과 제2 상부 도전성 라인, 또는 상기 제1 하부 도전성 라인과 제2 하부 도전성 라인을 연결하는 종단 저항을 포함하는 것을 특징으로 한다.

바람직하게는, 상기 밀착 수단은, 상기 상부 센서 시트 및 하부 센서 시트를 관통하여 형성한 고정 구멍; 상기 상부 센서 시트 위에 배치되고, 상기 센서 시트들의 고정 구멍과 대응되는 고정 구멍을 구비한 누름판; 상기 하부 센서 시트 측에서 상기 고정 구멍들에 끼워지는 고정 볼트; 및 상기 상부 센서 시트 측에서 상기 고정 구멍들에 끼워져서 상기 고정 볼트와 체결되는 고정 너트를 포함하고, 상기 고정 볼트와 고정 너트가 체결되면 상기 누름판이 가압되어 상기 상부 센서 시트와 하부 센서 시트가 서로 밀착되는 것을 특징으로 한다.

더 바람직하게는, 상기 상부 센서 시트의 폭은 상기 하부 센서 시트의 폭보다 작게 형성되는 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 상부 센서 시트는 누설 액체가 유입될 수 있는 유입 구멍들을 구비하고, 상기 유입 구멍들은 상기 상부 도전성 라인과 상기 하부 도전성 라인의 접지된 부분에 인접하게 배치되는 것을 특징으로 한다.

한편, 상기 하부 센서 시트는 소정 면적을 갖도록 불연속적으로 형성된 복수의 상부 도전성 라인들을 구비하고, 복수의 상부 센서 시트들이 상기 하부 센서 시트 위에 배치되고, 복수의 상부 센서 시트들은 각각 상기 밀착 수단에 의해 개별적으로 상기 하부 센서 시트에 밀착되는 것을 특징으로 한다.

대안적으로, 상기 밀착 수단은, 상기 하부 센서 시트의 아래에 배치되는 금속 시트; 및 상기 상부 센서 시트 위에 배치되는 자석 판을 포함하는 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 밀착 수단은, 상기 하부 센서 시트의 내부에 삽입되는 금속 시트 또는 금속 편; 및 상기 상부 센서 시트 위에 배치되는 자석 판을 포함할 수 있다.

또한, 상기 밀착 수단은, 상기 하부 센서 시트의 아래에 배치되거나 상기 하부 센서 시트의 내부에 삽입되는 금속 시트 또는 금속 편; 및 상기 상부 센서 시트의 내부에 삽입되는 자석을 포함할 수 있다.

대안적으로, 상기 밀착 수단은, 상기 상부 센서 시트의 상부 도전성 라인에 포함된 금속 가루; 및 상기 하부 센서 시트의 하부 도전성 라인에 포함된 자석 가루를 포함할 수 있다.

또한, 상기 밀착 수단은, 상기 상부 센서 시트의 상부 도전성 라인에 포함된 자석 가루; 및 상기 하부 센서 시트의 하부 도전성 라인에 포함되고, 상기 상부 도전성 라인에 포함된 자석 가루와는 반대 극성을 갖는 자석 가루를 포함할 수 있다.

본 발명에 따른 비-도전성 액체 검출용 누설 감지 센서는 도전성 라인을 불연속적으로 형성한 2장의 센서 시트들을 밀착시키고 누설 액체에 의해 접지된 도전성 라인을 이격시켜서 누설 여부를 감지함으로써, 종래의 광조사장치나 서미스터와 같은 별도의 부품을 구비할 필요가 없고, 이에 따라 센서의 제조가 용이하고 제조 비용이 적게 든다.

도 1은 본 발명의 제1 실시예에 따른 비-도전성 액체 검출용 누설 감지 센서를 개략적으로 분해 사시도,
도 2는 도 1에 따른 비-도전성 액체 검출용 누설 감지 센서를 분해 도시한 측면도,
도 3은 도 1의 제1 센서 시트 및 제2 센서 시트를 개략적으로 도시한 평면도,
도 4a는 도 1의 비-도전성 액체 검출용 누설 감지 센서를 길이방향으로 도시한 측단면도,
도 4b는 도 4a의 비-도전성 액체 검출용 누설 감지 센서에 비-도전성 액체가 침투했을 때 제1 도전성 라인과 제2 도전성 라인이 이격되는 모습을 나타낸 도면,
도 5는 도 1의 제1 센서 시트 및 제2 센서 시트의 다른 형태의 도전성 라인 패턴을 도시한 평면도,
도 6은 본 발명의 제2 실시예에 따른 비-도전성 액체 검출용 누설 감지 센서의 제1 센서 시트 및 제2 센서 시트를 개략적으로 도시한 평면도,
도 7은 본 발명에 따른 비-도전성 액체 검출용 누설 감지 센서의 밀착 수단의 다른 예를 개략적으로 도시한 분해 사시도,
도 8은 도 7의 밀착 수단의 또 다른 예를 도시한 측단면도.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 비-도전성 액체 검출용 누설 감지 센서에 대한 바람직한 실시예를 설명한다. 참고로, 아래에서 본 발명을 설명함에 있어서, 본 발명의 구성요소를 지칭하는 용어들은 각각의 구성 요소들의 기능을 고려하여 명명된 것이므로, 본 발명의 기술적 구성요소를 한정하는 의미로 이해되어서는 안 될 것이다.

도 1 내지 3을 참조하면, 본 발명에 따른 비-도전성 액체 검출용 누설 감지 센서는 HMDS와 같은 유기액체류, 또는 오일류 등과 같은 비-도전성 액체를 감지할 수 있도록 구성된 센서로서, 상부 센서 시트(100), 하부 센서 시트(200) 및 상부 센서 시트(100)와 하부 센서 시트(200)를 밀착시키는 밀착 수단(300)을 포함한다.

상부 센서 시트(100)는 일면에 불연속적으로 상부 도전성 라인(110)이 인쇄된다. 이 상부 도전성 라인(110)은 상부 센서 시트(100)의 길이방향을 따라 일렬로 배열되고, 일정 거리마다 불연속 부분(A)이 생기도록 일정 길이의 도선들이 서로 이격되어 배치된 형태를 갖는다.

하부 센서 시트(100)는 일면에 불연속적으로 하부 도전성 라인(210)이 인쇄된다. 이 하부 도전성 라인(210)은 상부 도전성 라인(110)과 마찬가지로, 하부 센서 시트(200)의 길이방향을 따라 일렬로 배열되고, 일정 거리마다 불연속 부분(B)이 생기도록 일정 길이의 도선들이 서로 이격되어 배치된 형태를 갖는다. 여기서, 하부 도전성 라인(210)의 도선들과 상부 도전성 라인(110)의 도선들은 서로 옵셋(offset)되는 방식으로 배열된다. 즉, 상부 센서 시트(100)와 하부 센서 시트(200)가 포개어지면, 하부 도전성 라인(210)의 도선들과 상부 도전성 라인(110)의 도선들은 단부 부분들만이 서로 맞닿도록 어긋나게 배열된다.

밀착 수단(300)은 상부 센서 시트(100)와 하부 센서 시트(200)가 서로 포개어진 상태에서 서로 밀착되도록 상부 센서 시트(100)와 하부 센서 시트(200)를 가압한다.

밀착 수단(300)에 의해 상부 센서 시트(100)와 하부 센서 시트(200)가 포개어져 서로 밀착되면, 상부 센서 시트(100)의 상부 도전성 라인(110)과 하부 센서 시트(200)의 하부 도전성 라인(210)은 접지되어 연속적인 하나의 도전성 라인을 형성하게 된다. 즉, 상부 센서 시트(100)와 하부 센서 시트(200)가 밀착되면, 상부 센서 시트(100)의 상부 도전성 라인(110)의 양단부는 하부 센서 시트(200)의 하부 도전성 라인(210)의 양단부와 접지되어 연속적인 하나의 도전성 라인을 형성한다. 그러면, 이 연속적인 도전성 라인을 따라서 전류가 흐르게 된다.

이 상태에서, 비-도전성 액체가 누설되어 본 발명에 따른 누설 감지 센서에 접촉하면, 이 누설 액체는 상부 센서 시트(100)와 하부 센서 시트(200) 사이로 침투하게 된다. 이는 상부 센서 시트(100)와 하부 센서 시트(200)가 서로 접착되어 있지 않고, 단지 밀착되어 있기 때문에 가능하다. 상부 센서 시트(100)와 하부 센서 시트(200)로 누설된 비-도전성 액체가 침투하면, 누설 액체가 침투한 부분에서 상부 센서 시트(100)와 하부 센서 시트(200)가 서로 이격되고, 이에 따라 접지되어 있던 상부 도전성 라인(110)과 하부 도전성 라인(210)이 서로 이격된다. 그 결과, 상부 도전성 라인(110)과 하부 도전성 라인(210)의 접지에 의해 형성된 연속적인 하나의 도전성 라인에서는 전류 흐름이 끊어지게 되고, 이와 같은 도전성 라인의 전류 흐름 차단을 통해 비-도전성 액체의 누설을 검출할 수 있게 된다.

이와 같이, 본 발명에 따른 비-도전성 액체 검출용 누설 감지 센서는 도전성 라인들을 불연속적으로 형성한 2장의 센서 시트들(100, 200)을 접착이 아니라 밀착시키고 누설 액체에 의해 접지된 도전성 라인들(110, 210)이 이격되는 원리를 이용한 구성으로서, 종래의 광조사장치나 서미스터와 같은 별도의 부품을 구비할 필요가 없고, 이에 따라 센서의 제조가 용이하고 제조 비용이 적게 든다.

여기서, 상부 센서 시트(100)의 상부 도전성 라인(110)은 상부 센서 시트(100)의 폭방향으로 서로 이격되어 배치된 제1 상부 도전성 라인(111) 및 제2 상부 도전성 라인(112)을 포함한다. 이와 마찬가지로, 하부 센서 시트(200)의 하부 도전성 라인(210)은 하부 센서 시트(200)의 폭방향으로 서로 이격되어 배치된 제1 하부 도전성 라인(211) 및 제2 하부 도전성 라인(212)을 포함한다. 즉, 상부 센서 시트(100)와 하부 센서 시트(200)는 각각 두 줄의 불연속적인 도전성 라인들을 갖는다. 그리고, 제1 상부 도전성 라인(111) 및 제2 상부 도전성 라인(112)은 서로 옵셋(offset)되는 방식으로 어긋나게 배치되며, 마찬가지로 제1 하부 도전성 라인(211) 및 제2 하부 도전성 라인(212)도 서로 옵셋(offset)되는 방식으로 어긋나게 배치된다.

또한, 제1 상부 도전성 라인(111)과 제2 상부 도전성 라인(112) 사이에는 이 둘을 연결하는 종단 저항(120)이 구비되어 폐회로를 구성한다(여기서, 도면에 도시하지는 않았지만, 종단 저항(120)의 반대편 측의 센서 시트에는 각종 전장 부품들이 구비된 제어 모듈이 구비됨). 물론, 종단 저항(120)은 제1 하부 도전성 라인(211)과 제2 하부 도전성 라인(212) 사이에 구비될 수 있다.

한편, 상부 센서 시트(100)와 하부 센서 시트(200)를 서로 밀착시키는 밀착 수단(300)은 상부 센서 시트(100)와 하부 센서 시트(200)를 관통하여 형성한 고정 구멍(310, 320), 상부 센서 시트(100) 위에 배치되는 누름판(330), 누름판(330)을 상부 센서 시트(100)에 가압하는 고정 볼트(340) 및 고정 너트(350)를 포함한다. 여기서, 누름판(330)은 센서 시트들(100, 200)의 고정 구멍들(310, 320)과 대응되는 위치에 형성된 고정 구멍(331)을 구비한다. 또한, 누름판(300)은 소정의 중량을 갖는 막대 형상의 부재로서, 자중에 의해 상부 센서 시트(100)를 하부 센서 시트(200)에 누르기 용이하다. 그리고, 고정 볼트(340)는 하부 센서 시트(200) 측에서 고정 구멍(320)에 끼워지고, 고정 너트(350)는 상부 센서 시트(100) 측에서 고정 구멍들(331, 310)에 끼워져서 서로 체결된다.

고정 볼트(340)와 고정 너트(350)가 체결되면, 누름판(300)이 가압되어 상부 센서 시트(100)와 하부 센서 시트(200)가 서로 밀착된다. 이와 같이, 본 발명에 따른 비-도전성 액체 검출용 누설 감지 센서는 상부 센서 시트(100)와 하부 센서 시트(200)를 서로 접착하지 않고 밀착 수단(300)을 이용하여 간단하게 상부 센서 시트(100)와 하부 센서 시트(200)를 밀착시킬 수 있다.

한편, 상부 센서 시트(100)의 폭은 하부 센서 시트(200)의 폭보다 작게 형성되는 것이 바람직하다. 그 이유는 상부에서 누설되어 떨어지는 액체가 상부 센서 시트(100) 및 하부 센서 시트(200) 사이로 용이하게 침투할 수 있게 하기 위한 것이다.

예를 들면, 상부 센서 시트(100)의 폭이 하부 센서 시트(200)의 폭 이상인 경우, 상부에서 누설되어 떨어지는 액체는 상부 센서 시트(100)를 타고 센서 외부로 흐르게 되므로 센서 시트들의 사이로 침투하기 어렵다. 그러나, 본 발명에 따르면, 하부 센서 시트(200)의 폭이 상부 센서 시트(100)의 폭보다 크기 때문에, 상부 센서 시트(100)에 떨어진 누설 유체는 하부 센서 시트(200)로 흘러서 상부 센서 시트(100)와 하부 센서 시트(200) 사이로 침투할 수 있게 된다.

바람직하게는, 상부 센서 시트(100)는 누설 액체가 유입될 수 있는 복수의 유입 구멍들(130)을 구비한다. 이 유입 구멍들(130)은 상부 센서 시트(100)와 하부 센서 시트(200)가 밀착되어 상부 도전성 라인(110)과 하부 도전성 라인(210)의 접지된 부분에 인접하게 배치된다.

이와 같은 구성의 유입 구멍들(130)에 의해, 유입 구멍들(130)을 통해 상부 센서 시트(100)와 하부 센서 시트(200) 사이로 침투한 누설 액체(F)는 상부 도전성 라인(110)과 하부 도전성 라인(210)의 접지된 부분을 이격시키게 된다(도 4a 및 4b 참조). 따라서, 상부 도전성 라인(110)과 하부 도전성 라인(210)이 접지되어 형성된 연속적인 도전성 라인이 끊어지면서 이 연속적인 도전성 라인에 흐르던 전류가 차단되고, 전류 흐름의 차단에 의해 액체 누설을 검출할 수 있다.

한편, 도 5를 참조하면, 상부 센서 시트(100)와 하부 센서 시트(200)의 제1,2 도전성 라인들(110, 210)은 서로 옵셋되지 않고 나란하게 배치될 수 있다. 이 경우, 상부 센서 시트(100)와 하부 센서 시트(200)의 조립 시에 작업자는 상부 센서 시트(100)와 하부 센서 시트(200)의 서로 포개어지는 방향을 고려할 필요가 없다.

도 6을 참조하면, 본 발명에 따른 비-도전성 액체 검출용 누설 감지 센서는 도 1 내지 5에 도시된 라인형 센서 대신에 면적형 센서로 구성될 수 있다.

이를 위해, 하부 센서 시트(200)는 소정 면적을 갖도록 불연속적으로 형성된 복수의 상부 도전성 라인들(210)을 구비하고, 복수의 상부 센서 시트들(100)이 하부 센서 시트(200)의 위에 배치된다. 여기서, 복수의 상부 센서 시트들(100)은 각각 고정 구멍(310)을 구비하고, 하부 센서 세트(200)는 이 고정 구멍들(310)과 대응되는 고정 구멍들(320)을 구비한다. 그리고 고정 구멍(310)에 각각 전술한 밀착 수단(300)이 체결되어 복수의 상부 센서 시트들(100)을 하부 센서 시트(200)에 밀착시킬 수 있다.

도 7을 참조하면, 전술한 밀착 수단과는 다른 형태를 갖는 밀착 수단이 도시된다. 도 7에 도시된 밀착 수단은 하부 센서 시트(200)의 아래에 배치되는 금속 시트(400) 및 상부 센서 시트(100)의 위에 배치되는 자석 판(500)을 포함한다. 이러한 금속 시트(400)와 자석 판(500)에 의해, 이들 사이에 배치된 상부 센서 시트(100)와 하부 센서 시트(200)는 별도의 체결 수단을 이용하지 않고, 밀착될 수 있다.

또한, 도 8을 참조하면, 밀착 수단은 하부 센서 시트(200)의 내부에 삽입되는 금속 시트 또는 금속 편(600), 그리고 상부 센서 시트(100)의 위에 배치되는 자석 판(500)을 포함할 수 있다.

대안적으로, 도면에 도시하지는 않았지만, 밀착 수단은 하부 센서 시트(200)의 아래에 배치되거나 하부 센서 시트(200)의 내부에 삽입되는 금속 시트 또는 금속 편, 그리고 상부 센서 시트(100)의 내부에 삽입되는 자석을 포함할 수 있다.

이와 같이, 밀착 수단은 금속 및 자석을 이용하여 별도의 체결 수단 없이 상부 센서 시트(100)와 하부 센서 시트(200)를 간단하게 밀착시킬 수 있다.

대안적으로, 도면에 도시하지는 않았지만, 밀착 수단은 도전성 라인을 형성하는데 사용되는 패턴 잉크에 혼합되는 금속 가루와 자석 가루일 수 있다.

예를 들면, 상부 센서 시트(100)의 상부 도전성 라인(110)을 형성할 때 필요한 도전성 잉크에 혼합되는 금속 가루, 그리고 하부 센서 시트(200)의 하부 도전성 라인(210)을 형성할 때 필요한 도전성 잉크에 혼합되는 자석 가루일 수 있다. 또한, 반대로, 금속 가루가 하부 센서 시트(200)의 도전성 잉크에 혼합되고, 자석 가루가 상부 센서 시트(100)의 도전성 잉크에 혼합될 수도 있다.

또한, 밀착 수단은 상부 센서 시트(100)의 상부 도전성 라인(110) 및 하부 센서 시트(200)의 하부 도전성 라인(210)에 혼합되는 자석 가루일 수 있다. 여기서, 상부 도전성 라인(110)에 혼합되는 자석 가루는 하부 도전성 라인(210)에 혼합되는 자석 가루와는 반대 극성을 가져야 한다.

이상에서 설명된 본 발명의 실시예들은 본 발명의 기술 사상을 예시적으로 보여준 것에 불과하며, 본 발명의 보호 범위는 이하 특허청구범위에 의하여 해석되어야 마땅할 것이다. 또한, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 본 발명의 본질적인 특성에서 벗어나지 않는 범위에서 다양한 수정 및 변형이 가능할 것인 바, 본 발명과 동등한 범위 내에 있는 모든 기술 사상은 본 발명의 권리범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.

Claims (11)

1. 일면에 불연속적으로 상부 도전성 라인이 인쇄된 상부 센서 시트;
   일면에 불연속적으로 하부 도전성 라인이 인쇄된 하부 센서 시트; 및
   상기 상부 센서 시트와 하부 센서 시트가 서로 포개어진 상태에서 서로 밀착되도록 하는 밀착 수단을 포함하고,
   상기 상부 도전성 라인과 하부 도전성 라인은 각자의 도선들의 단부 부분들만이 서로 맞닿도록 어긋나게 배열되고, 상기 상부 센서 시트와 하부 센서 시트가 밀착될 때 상기 상부 센서 시트의 상부 도전성 라인과 상기 하부 센서 시트의 하부 도전성 라인은 접지되어 연속적인 하나의 도전성 라인을 형성하고,
   누설된 비-도전성 액체가 상기 상부 센서 시트와 상기 하부 센서 시트 사이로 침투하여 상기 상부 도전성 라인과 하부 도전성 라인을 이격시킬 때 상기 연속적인 도전성 라인의 전류 흐름이 끊어짐으로써 비-도전성 액체의 누설을 감지하는 것을 특징으로 하는 비-도전성 액체 검출용 누설 감지 센서.
   
2. 제1항에 있어서,
   상기 상부 도전성 라인은 상기 상부 센서 시트의 폭방향으로 서로 이격되어 배치된 제1 상부 도전성 라인 및 제2 상부 도전성 라인을 포함하고,
   상기 하부 도전성 라인은 상기 하부 센서 시트의 폭방향으로 서로 이격되어 배치된 제1 하부 도전성 라인 및 제2 하부 도전성 라인을 포함하고,
   제1 상부 도전성 라인과 제2 상부 도전성 라인, 또는 상기 제1 하부 도전성 라인과 제2 하부 도전성 라인을 연결하는 종단 저항을 포함하는 것을 특징으로 하는 비-도전성 액체 검출용 누설 감지 센서.
   
3. 제1항에 있어서,
   상기 밀착 수단은,
   상기 상부 센서 시트 및 하부 센서 시트를 관통하여 형성한 고정 구멍;
   상기 상부 센서 시트 위에 배치되고, 상기 센서 시트들의 고정 구멍과 대응되는 고정 구멍을 구비한 누름판;
   상기 하부 센서 시트 측에서 상기 고정 구멍들에 끼워지는 고정 볼트; 및
   상기 상부 센서 시트 측에서 상기 고정 구멍들에 끼워져서 상기 고정 볼트와 체결되는 고정 너트를 포함하고,
   상기 고정 볼트와 고정 너트가 체결되면 상기 누름판이 가압되어 상기 상부 센서 시트와 하부 센서 시트가 서로 밀착되는 것을 특징으로 하는 비-도전성 액체 검출용 누설 감지 센서.
   
4. 제1항에 있어서,
   상기 상부 센서 시트의 폭은 상기 하부 센서 시트의 폭보다 작게 형성되는 것을 특징으로 하는 비-도전성 액체 검출용 누설 감지 센서.
   
5. 제1항에 있어서,
   상기 상부 센서 시트는 누설 액체가 유입될 수 있는 유입 구멍들을 구비하고, 상기 유입 구멍들은
   상기 상부 도전성 라인과 상기 하부 도전성 라인의 접지된 부분에 인접하게 배치되는 것을 특징으로 하는 비-도전성 액체 검출용 누설 감지 센서.
   
6. 제1항에 있어서,
   상기 하부 센서 시트는 소정 면적을 갖도록 불연속적으로 형성된 복수의 상부 도전성 라인들을 구비하고, 복수의 상부 센서 시트들이 상기 하부 센서 시트 위에 배치되고, 복수의 상부 센서 시트들은 각각 상기 밀착 수단에 의해 개별적으로 상기 하부 센서 시트에 밀착되는 것을 특징으로 하는 비-도전성 액체 검출용 누설 감지 센서.
   
7. 제3항에 있어서,
   상기 밀착 수단은,
   상기 하부 센서 시트의 아래에 배치되는 금속 시트; 및
   상기 상부 센서 시트 위에 배치되는 자석 판을 포함하는 것을 특징으로 하는 비-도전성 액체 검출용 누설 감지 센서.
   
8. 제3항에 있어서,
   상기 밀착 수단은,
   상기 하부 센서 시트의 내부에 삽입되는 금속 시트 또는 금속 편; 및
   상기 상부 센서 시트 위에 배치되는 자석 판을 포함하는 것을 특징으로 하는 비-도전성 액체 검출용 누설 감지 센서.
   
9. 제3항에 있어서,
   상기 밀착 수단은,
   상기 하부 센서 시트의 아래에 배치되거나 상기 하부 센서 시트의 내부에 삽입되는 금속 시트 또는 금속 편; 및
   상기 상부 센서 시트의 내부에 삽입되는 자석을 포함하는 것을 특징으로 하는 비-도전성 액체 검출용 누설 감지 센서.
   
10. 제3항에 있어서,
    상기 밀착 수단은,
    상기 상부 센서 시트의 상부 도전성 라인에 포함된 금속 가루; 및
    상기 하부 센서 시트의 하부 도전성 라인에 포함된 자석 가루를 포함하는 것을 특징으로 하는 비-도전성 액체 검출용 누설 감지 센서.
    
11. 제3항에 있어서,
    상기 밀착 수단은,
    상기 상부 센서 시트의 상부 도전성 라인에 포함된 자석 가루; 및
    상기 하부 센서 시트의 하부 도전성 라인에 포함되고, 상기 상부 도전성 라인에 포함된 자석 가루와는 반대 극성을 갖는 자석 가루를 포함하는 것을 특징으로 하는 비-도전성 액체 검출용 누설 감지 센서.

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