KR101824326B1 - Photosensitive resin composition, color filter, liquid crystal display device, oxime ester, and photopolymerization initiator - Google Patents

Photosensitive resin composition, color filter, liquid crystal display device, oxime ester, and photopolymerization initiator Download PDF

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Abstract

[과제] 감도가 뛰어나고, 가열에 의한 착색이 생기기 어려운 감광성 수지 조성물 및 그것을 이용한 컬러 필터, 및 표시 장치를 제공하는 것. 전술한 감광성 수지 조성물에서 사용되는 광중합 개시제와 상기 광중합 개시제로서 사용되는 옥심 에스테르 화합물을 제공하는 것.
[해결 수단] (A) 광중합성 화합물 및 (B) 광중합 개시제를 포함하는 감광성 수지 조성물에 있어서, 하기 일반식 (1)로 나타내는 옥심 에스테르 화합물을 (B) 광중합 개시제로서 이용한다. 일반식 (1)에 있어서, R1은 1가의 유기기, 아미노기, 할로겐, 니트로기 및 시아노기로 이루어진 군으로부터 선택되는 기이고, m은 0~4의 정수이며, p는 0 또는 1이고, R2는 치환기를 갖거나 갖지 않는 페닐기 또는 치환기를 갖거나 갖지 않는 카르바졸릴기이며, R3은 수소 원자 또는 탄소수 1~6의 알킬기이다.

Figure 112016077777286-pat00032
[PROBLEMS] To provide a photosensitive resin composition excellent in sensitivity and hardly colored by heating, a color filter using the same, and a display device. A photopolymerization initiator used in the above-mentioned photosensitive resin composition and an oxime ester compound used as the photopolymerization initiator.
[MEANS FOR SOLVING PROBLEMS] In a photosensitive resin composition comprising (A) a photopolymerizable compound and (B) a photopolymerization initiator, an oxime ester compound represented by the following general formula (1) is used as the photopolymerization initiator (B). In the general formula (1), R 1 is a group selected from the group consisting of monovalent organic groups, amino groups, halogens, nitro groups and cyano groups, m is an integer of 0 to 4, p is 0 or 1, R 2 is a phenyl group having or without a substituent, or a carbazolyl group having or without a substituent, and R 3 is a hydrogen atom or an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms.
Figure 112016077777286-pat00032

Description

감광성 수지 조성물, 그것을 이용한 컬러 필터 및 표시 장치, 옥심 에스테르 화합물, 및 광중합 개시제{PHOTOSENSITIVE RESIN COMPOSITION, COLOR FILTER, LIQUID CRYSTAL DISPLAY DEVICE, OXIME ESTER, AND PHOTOPOLYMERIZATION INITIATOR}TECHNICAL FIELD [0001] The present invention relates to a photosensitive resin composition, a color filter and a display device using the same, an oxime ester compound, and a photopolymerization initiator. BACKGROUND ART < RTI ID = 0.0 >

본 발명은 감광성 수지 조성물, 그것을 이용한 컬러 필터 및 표시 장치, 옥심 에스테르 화합물 및 광중합 개시제에 관한 것이다.The present invention relates to a photosensitive resin composition, a color filter and a display device using the same, an oxime ester compound and a photopolymerization initiator.

액정 표시 디스플레이 등의 표시 장치는 서로 대향해 반대가 되는 전극이 형성된 2매의 기판 사이에 액정층을 사이에 두는 구조로 되어 있다. 그리고, 한쪽 기판의 내측에는 적색(R), 녹색(G), 청색(B) 등의 각 색의 화소 영역으로 이루어진 컬러 필터가 형성되어 있다. 이 컬러 필터에 있어서는 통상 적색, 녹색, 청색 등의 각 화소 영역을 구획하도록 블랙 매트릭스가 형성되어 있다.A display device such as a liquid crystal display display has a structure in which a liquid crystal layer is sandwiched between two substrates on opposite sides of which electrodes are formed. A color filter including pixel regions of respective colors of red (R), green (G), and blue (B) is formed on the inner side of one substrate. In this color filter, a black matrix is usually formed so as to divide each pixel region such as red, green, and blue.

일반적으로 컬러 필터는 리소그래피법에 의해 제조된다. 즉, 우선 기판 상에 흑색의 감광성 수지 조성물을 도포, 건조시킨 후, 노광, 현상해 블랙 매트릭스를 형성한다. 다음에, 적색, 녹색, 청색 등의 각 색의 감광성 수지 조성물마다 도포, 건조, 노광 및 현상을 반복해, 각 색의 화소 영역을 특정 위치에 형성해 컬러 필터를 제조한다.Generally, color filters are manufactured by lithography. That is, first, a black photosensitive resin composition is coated on a substrate and dried, followed by exposure and development to form a black matrix. Next, coating, drying, exposure, and development are repeated for each photosensitive resin composition of each color such as red, green, and blue to form a pixel area of each color at a specific position to produce a color filter.

블랙 매트릭스는 차광제를 포함하는 감광성 수지 조성물로 제작되는 패턴이며, 각 화소 영역으로부터의 광 누락을 억제함으로써, 표시 장치에 있어서의 콘트라스트의 향상이나 양호한 발색을 얻는 것에 기여하고 있다. 또, 상기와 같이 컬러 필터 제작의 최초의 단계에서 형성되는 블랙 매트릭스는 그 후에 각 화소 영역을 착색하는 감광성 수지 조성물이 매립되기 위한 오목부를 형성해, 특정 위치에 각 색의 화소 영역을 형성시키는 역할도 담당하고 있다.The black matrix is a pattern made of a photosensitive resin composition containing a light-shielding agent. By suppressing light leakage from each pixel region, the black matrix contributes to improvement of contrast in a display device and good color development. As described above, the black matrix formed in the first stage of the color filter fabrication as described above has a role of forming recesses for embedding the photosensitive resin composition for coloring each pixel region thereafter and forming pixel regions of respective colors at specific positions I am in charge.

근래 액정 표시 디스플레이의 제조에 있어서는 블랙 매트릭스에 의한 차광성을 향상시켜, 액정 표시 디스플레이에 표시시키는 화상의 콘트라스트를 보다 한층 향상시키는 시도가 이루어지고 있다. 이를 위해서는 블랙 매트릭스를 형성시키기 위한 감광성 수지 조성물에 차광제를 다량으로 포함시키는 것이 필요하다. 그러나, 이와 같이 감광성 수지 조성물에 차광제를 다량으로 포함시키면, 기판 상에 도포되어서 이루어지는 감광성 수지 조성물의 막을 노광했을 때에 감광성 수지 조성물을 경화시키기 위한 빛이 막의 저부까지 도달하기 어려워져, 감광성 수지 조성물의 현저한 감도의 저하에 따르는 경화 불량을 초래하는 것으로 이어진다.In recent years, attempts have been made to improve the contrast of an image to be displayed on a liquid crystal display by improving the light shielding property by the black matrix in the manufacture of a liquid crystal display. To this end, it is necessary to incorporate a large amount of a light shielding agent into the photosensitive resin composition for forming the black matrix. However, when a large amount of the light-shielding agent is contained in the photosensitive resin composition, light for curing the photosensitive resin composition hardly reaches the bottom of the film when the film of the photosensitive resin composition coated on the substrate is exposed, Resulting in poor curing due to a remarkable decrease in sensitivity of the cured product.

감광성 수지 조성물은 그 성분의 일부로서 포함되는 광중합 개시제의 작용에 의해 감광성 수지 조성물에 포함되는 광중합성 화합물을 중합시킴으로써 경화된다. 이 때문에, 감광성 수지 조성물의 감도는 거기에 포함되는 광중합 개시제의 종류에 따라 영향을 받는 것으로 알려져 있다. 또, 근래 액정 표시 디스플레이의 생산 대수가 증대하는데 맞추어 컬러 필터의 생산량도 증대하고 있어, 보다 한층 더 생산성 향상의 관점으로부터, 저노광량으로 패턴을 형성할 수 있는 고감도의 감광성 수지 조성물이 요망되고 있다. 이와 같은 상황에 있어서, 감광성 수지 조성물의 감도를 양호하게 할 수 있는 광중합 개시제로서 특허문헌 1에는 옥심 에스테르 화합물 등의 여러 가지 화합물이 개시되어 있다. 구체적으로는 특허문헌 1에 기재된 실시예에서는 하기 구조식 (a)~(d)로 나타내는 화합물이 개시되어 있다.The photosensitive resin composition is cured by polymerizing a photopolymerizable compound contained in the photosensitive resin composition by the action of a photopolymerization initiator contained as a part of the component. Therefore, it is known that the sensitivity of the photosensitive resin composition is influenced by the type of the photopolymerization initiator contained therein. In addition, in recent years, as the number of production of liquid crystal display displays increases, the production amount of color filters also increases. From the viewpoint of further improvement of productivity, a photosensitive resin composition of high sensitivity capable of forming a pattern with a low exposure dose is desired. In such a situation, Patent Document 1 discloses various compounds such as oxime ester compounds as a photopolymerization initiator capable of improving the sensitivity of the photosensitive resin composition. Specifically, in the examples described in Patent Document 1, the compounds represented by the following Structural Formulas (a) to (d) are disclosed.

Figure 112016077777286-pat00001
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일본 특개 2009-134289호 공보Japanese Patent Application Laid-Open No. 2009-134289

상기 구조식 (a)~(d)로 나타내는 화합물을 광중합 개시제로서 이용함으로써 고감도의 감광성 수지 조성물을 제작할 수 있다. 그러나, 액정 표시 디스플레이 등의 생산 대수는 급격하게 증가하고 있어, 특허문헌 1에 기재된 화합물을 이용한 감광성 수지 조성물보다도 더욱 감도가 개량된 감광성 수지 조성물이 요구되고 있다.By using the compounds represented by the structural formulas (a) to (d) as a photopolymerization initiator, a highly sensitive photosensitive resin composition can be produced. However, the number of production of liquid crystal displays and the like is rapidly increasing, and a photosensitive resin composition which is further improved in sensitivity than the photosensitive resin composition using the compound described in Patent Document 1 is required.

본 발명은 이상의 상황을 감안해 이루어진 것으로, 감도가 뛰어난 감광성 수지 조성물을 제공하는 것, 및 그것을 이용한 컬러 필터 및 표시 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다. 또, 본 발명은 전술한 감광성 수지 조성물에서 사용되는 광중합 개시제 및 상기 광중합 개시제로서 사용되는 옥심 에스테르 화합물을 제공하는 것을 목적으로 한다.The present invention has been made in view of the above circumstances, and it is an object of the present invention to provide a photosensitive resin composition excellent in sensitivity, and a color filter and a display device using the same. It is another object of the present invention to provide a photopolymerization initiator used in the above-mentioned photosensitive resin composition and an oxime ester compound used as the photopolymerization initiator.

본 발명자들은 (A) 광중합성 화합물 및 (B) 광중합 개시제를 포함하는 감광성 수지 조성물에 있어서, 특정 구조의 옥심 에스테르 화합물을 (B) 광중합 개시제로서 이용함으로써, 감도가 뛰어난 감광성 수지 조성물을 얻을 수 있다는 것을 알아내어 본 발명을 완성하기에 이르렀다. 구체적으로는 본 발명은 이하의 것을 제공한다.The present inventors have found that a photosensitive resin composition having excellent sensitivity can be obtained by using the oxime ester compound having a specific structure as the photopolymerization initiator (B) in the photosensitive resin composition comprising the photopolymerizable compound (A) and the photopolymerization initiator (B) The present invention has been completed. Specifically, the present invention provides the following.

본 발명의 제 1 태양은 (A) 광중합성 화합물 및 (B) 광중합 개시제를 포함하고, 상기 (B) 광중합 개시제가 하기 일반식 (1)로 나타내는 옥심 에스테르 화합물을 포함하는 감광성 수지 조성물이다.A first aspect of the present invention is a photosensitive resin composition comprising (A) a photopolymerizable compound and (B) a photopolymerization initiator, wherein the photopolymerization initiator (B) comprises an oxime ester compound represented by the following general formula (1).

Figure 112016077777286-pat00002
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(R1은 1가의 유기기, 아미노기, 할로겐, 니트로기 및 시아노기로 이루어진 군으로부터 선택되는 기이고, m은 0~4의 정수이며, p는 0 또는 1이고, R2는 치환기를 갖거나 갖지 않는 페닐기, 또는 치환기를 갖거나 갖지 않는 카르바졸릴기이며, R3은 수소 원자 또는 탄소수 1~6의 알킬기이다.)(Wherein R 1 is a monovalent organic group, an amino group, a halogen, a nitro group and a cyano group, m is an integer of 0 to 4, p is 0 or 1, R 2 is a substituent Or a carbazolyl group having or without a substituent, and R 3 is a hydrogen atom or an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms.

본 발명의 제 2 태양은 제 1 태양과 관련된 감광성 수지 조성물 가운데, 추가로 (C) 착색제를 포함하는 감광성 수지 조성물을 이용해 형성된 컬러 필터이다.A second aspect of the present invention is a color filter formed using a photosensitive resin composition further comprising (C) a colorant among the photosensitive resin compositions related to the first aspect.

본 발명의 제 3 태양은 제 2 태양과 관련된 컬러 필터가 사용된 표시 장치이다.A third aspect of the present invention is a display device in which a color filter related to the second aspect is used.

본 발명의 제 4 태양은 하기 일반식 (1)로 나타내는 옥심 에스테르 화합물이다.A fourth aspect of the present invention is an oxime ester compound represented by the following general formula (1).

Figure 112016077777286-pat00003
Figure 112016077777286-pat00003

(R1은 1가의 유기기, 아미노기, 할로겐, 니트로기 및 시아노기로 이루어진 군으로부터 선택되는 기이고, m은 0~4의 정수이며, p는 0 또는 1이고, R2는 치환기를 갖거나 갖지 않는 페닐기, 또는 치환기를 갖거나 갖지 않는 카르바졸릴기이며, R3은 수소 원자 또는 탄소수 1~6의 알킬기이다.)(Wherein R 1 is a monovalent organic group, an amino group, a halogen, a nitro group and a cyano group, m is an integer of 0 to 4, p is 0 or 1, R 2 is a substituent Or a carbazolyl group having or without a substituent, and R 3 is a hydrogen atom or an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms.

본 발명의 제 5 태양은 제 4 태양과 관련된 옥심 에스테르 화합물로 이루어진 광중합 개시제이다.A fifth aspect of the present invention is a photopolymerization initiator comprising an oxime ester compound according to the fourth aspect.

본 발명에 따르면, 감도가 뛰어난 감광성 수지 조성물 및 그것을 이용한 컬러 필터, 및 표시 장치를 제공할 수 있다. 또 본 발명에 따르면, 전술한 감광성 수지 조성물에서 사용되는 광중합 개시제 및 상기 광중합 개시제로서 사용되는 옥심 에스테르 화합물을 제공할 수 있다.According to the present invention, a photosensitive resin composition having excellent sensitivity, a color filter using the same, and a display device can be provided. According to the present invention, a photopolymerization initiator used in the above-mentioned photosensitive resin composition and an oxime ester compound used as the photopolymerization initiator can be provided.

[감광성 수지 조성물][Photosensitive resin composition]

본 발명에 관한 감광성 수지 조성물은 (A) 광중합성 화합물 및 (B) 광중합 개시제를 적어도 함유한다. 이하, 본 발명의 감광성 수지 조성물에 함유되는 각 성분에 대해서 상세하게 설명한다.The photosensitive resin composition according to the present invention contains at least a photopolymerizable compound (A) and a photopolymerization initiator (B). Hereinafter, each component contained in the photosensitive resin composition of the present invention will be described in detail.

<(A) 광중합성 화합물>≪ (A) Photopolymerizable compound >

본 발명에 관한 감광성 수지 조성물에 함유되는 (A) 광중합성 화합물로는 특별히 한정되지 않고, 종래 공지의 광중합성 화합물을 이용할 수 있다. 그 중에서도, 에틸렌성 불포화기를 가지는 수지 또는 모노머가 바람직하고, 이것들을 조합하는 것이 보다 바람직하다. 에틸렌성 불포화기를 가지는 수지와 에틸렌성 불포화기를 가지는 모노머를 조합함으로써, 감광성 수지 조성물의 경화성을 향상시켜 패턴 형성을 용이하게 할 수 있다.The photopolymerizable compound (A) contained in the photosensitive resin composition according to the present invention is not particularly limited, and conventionally known photopolymerizable compounds can be used. Among them, a resin or monomer having an ethylenic unsaturated group is preferable, and a combination thereof is more preferable. By combining a resin having an ethylenic unsaturated group and a monomer having an ethylenic unsaturated group, it is possible to improve the curability of the photosensitive resin composition and facilitate pattern formation.

[에틸렌성 불포화기를 가지는 수지][Resin Having Ethylenic Unsaturated Group]

에틸렌성 불포화기를 가지는 수지로는 (메타)아크릴산, 푸말산, 말레산, 푸말산 모노메틸, 푸말산 모노에틸, 2-히드록시에틸 (메타)아크릴레이트, 에틸렌글리콜 모노메틸에테르 (메타)아크릴레이트, 에틸렌글리콜 모노에틸에테르 (메타)아크릴레이트, 글리세롤 (메타)아크릴레이트, (메타)아크릴아미드, 아크릴로니트릴, 메타크리로니트릴, 메틸 (메타)아크릴레이트, 에틸 (메타)아크릴레이트, 이소부틸 (메타)아크릴레이트, 2-에틸헥실 (메타)아크릴레이트, 벤질 (메타)아크릴레이트, 에틸렌글리콜 디(메타)아크릴레이트, 디에틸렌글리콜 디(메타)아크릴레이트, 트리에틸렌글리콜 디(메타)아크릴레이트, 테트라에틸렌글리콜 디(메타)아크릴레이트, 부틸렌글리콜 디(메타)아크릴레이트, 프로필렌글리콜 디(메타)아크릴레이트, 트리메틸올프로판 트리(메타)아크릴레이트, 테트라메틸올프로판 테트라(메타)아크릴레이트, 펜타에리트리톨 트리(메타)아크릴레이트, 펜타에리트리톨 테트라(메타)아크릴레이트, 디펜타에리트리톨 펜타(메타)아크릴레이트, 디펜타에리트리톨 헥사(메타)아크릴레이트, 1,6-헥산디올 디(메타)아크릴레이트, 카르도에폭시 디아크릴레이트 등이 중합한 올리고머류;다가 알코올류와 일염기산 또는 다염기산을 축합해 얻어지는 폴리에스테르 프리폴리머에 (메타)아크릴산을 반응시켜 얻어지는 폴리에스테르 (메타)아크릴레이트;폴리올과 2개의 이소시아네이트기를 가지는 화합물을 반응시킨 후 (메타)아크릴산을 반응시켜 얻어지는 폴리우레탄 (메타)아크릴레이트;비스페놀 A형 에폭시 수지, 비스페놀 F형 에폭시 수지, 비스페놀 S형 에폭시 수지, 페놀 또는 크레졸 노볼락형 에폭시 수지, 레졸형 에폭시 수지, 트리페놀메탄형 에폭시 수지, 폴리카르복시산 폴리글리시딜에스테르, 폴리올 폴리글리시딜에스테르, 지방족 또는 지환식 에폭시 수지, 아민에폭시 수지, 디히드록시벤젠형 에폭시 수지 등의 에폭시 수지와 (메타)아크릴산을 반응시켜 얻어지는 에폭시 (메타)아크릴레이트 수지 등을 들 수 있다. 또한, 에폭시 (메타)아크릴레이트 수지에 다염기산 무수물을 반응시킨 수지를 매우 적합하게 이용할 수 있다. 또한, 본 명세서에 있어서, 「(메타)아크릴」은 「아크릴 또는 메타크릴」을 의미한다.Examples of the resin having an ethylenic unsaturated group include (meth) acrylic acid, maleic acid, fumaric acid monomethyl, fumaric acid monoethyl, 2-hydroxyethyl (meth) acrylate, ethylene glycol monomethyl ether (Meth) acrylates such as ethylene glycol monoethyl ether (meth) acrylate, glycerol (meth) acrylate, (meth) acrylamide, acrylonitrile, methacrylonitrile, (Meth) acrylate, diethyleneglycol di (meth) acrylate, triethyleneglycol di (meth) acrylate, diethyleneglycol di (Meth) acrylate, propylene glycol di (meth) acrylate, trimethylolpropane tri (meth) acrylate, propylene glycol di Acrylate, pentaerythritol tetra (meth) acrylate, dipentaerythritol penta (meth) acrylate, dipentaerythritol hexa (meth) acrylate, (Meth) acrylate, 1,6-hexanediol di (meth) acrylate, and cargo epoxy diacrylate; a polyester prepolymer obtained by condensing a polyhydric alcohol with a monobasic acid or a polybasic acid (Meth) acrylate obtained by reacting a polyol with a compound having two isocyanate groups and then reacting with (meth) acrylic acid, a bisphenol A type epoxy resin, a bisphenol A type epoxy resin, F type epoxy resin, bisphenol S type epoxy resin, phenol or cresol novolak type epoxy resin Epoxy resins such as epoxy resins, alicyclic epoxy resins, dihydroxybenzene type epoxy resins, and the like, as well as epoxy resins such as epoxy resins, epoxy resins, epoxy resins, And epoxy (meth) acrylate resins obtained by reacting a resin with (meth) acrylic acid. A resin obtained by reacting an epoxy (meth) acrylate resin with a polybasic acid anhydride can be suitably used. In the present specification, "(meth) acrylic" means "acrylic or methacrylic".

또, 에틸렌성 불포화기를 가지는 수지로는 에폭시 화합물과 불포화기 함유 카르복시산 화합물의 반응물을, 추가로 다염기산 무수물과 반응시킴으로써 얻어지는 수지를 매우 적합하게 이용할 수 있다.As the resin having an ethylenic unsaturated group, a resin obtained by reacting a reaction product of an epoxy compound and an unsaturated group-containing carboxylic acid compound with a polybasic acid anhydride can be suitably used.

그 중에서도, 하기 일반식 (a1)로 나타내는 화합물이 바람직하다. 이 일반식 (a1)로 나타내는 화합물은 그 자체가 광경화성이 높다는 점에서 바람직하다.Among them, a compound represented by the following general formula (a1) is preferable. The compound represented by the general formula (a1) is preferable in view of its high photocurability.

Figure 112016077777286-pat00004
Figure 112016077777286-pat00004

상기 일반식 (a1) 중, X는 하기 일반식 (a2)로 나타내는 기를 나타낸다.In the general formula (a1), X represents a group represented by the following general formula (a2).

Figure 112016077777286-pat00005
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상기 일반식 (a2) 중, R1a는 각각 독립적으로 수소 원자, 탄소수 1~6의 탄화수소기 또는 할로겐 원자를 나타내고, R2a는 각각 독립적으로 수소 원자 또는 메틸기를 나타내며, W는 단결합 또는 하기 구조식 (a3)으로 나타내는 기를 나타낸다. 또한, 일반식 (a2) 및 구조식 (a3)에 있어서, 「*」는 2가의 기의 결합손의 말단을 의미한다.In the general formula (a2), R 1a independently represents a hydrogen atom, a hydrocarbon group of 1 to 6 carbon atoms or a halogen atom, R 2a independently represents a hydrogen atom or a methyl group, W represents a single bond, (a3). In the general formulas (a2) and (a3), " * " means the terminal end of the bond of a divalent group.

Figure 112016077777286-pat00006
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상기 일반식 (a1) 중, Y는 디카르복시산 무수물로부터 산 무수물기(-CO-O-CO-)를 제외한 잔기를 나타낸다. 디카르복시산 무수물의 예로는 무수 말레산, 무수 숙신산, 무수 이타콘산, 무수 프탈산, 무수 테트라히드로프탈산, 무수 헥사히드로프탈산, 무수 메틸 앤드 메틸렌테트라히드로프탈산, 무수 클로렌드산, 메틸테트라히드로 무수 프탈산, 무수 글루타르산 등을 들 수 있다.In the general formula (a1), Y represents a residue other than an acid anhydride group (-CO-O-CO-) from a dicarboxylic acid anhydride. Examples of the dicarboxylic acid anhydride include maleic anhydride, succinic anhydride, itaconic anhydride, phthalic anhydride, tetrahydrophthalic anhydride, hexahydrophthalic anhydride, methyl and methylene tetrahydrophthalic anhydride, chlorendic anhydride, methyltetrahydrophthalic anhydride, And glutaric acid.

또, 상기 일반식 (a1) 중, Z는 테트라카르복시산 2무수물에서 2개의 산 무수물기를 제외한 잔기를 나타낸다. 테트라카르복시산 2무수물의 예로는 무수 피로멜리트산, 벤조페논테트라카르복시산 2무수물, 비페닐테트라카르복시산 2무수물, 비페닐에테르테트라카르복시산 2무수물 등을 들 수 있다. 또한, 상기 일반식 (a1) 중, a는 0~20의 정수를 나타낸다.In the general formula (a1), Z represents a residue other than the two acid anhydride groups in the tetracarboxylic acid dianhydride. Examples of the tetracarboxylic acid dianhydride include pyromellitic anhydride, benzophenonetetracarboxylic dianhydride, biphenyltetracarboxylic dianhydride, biphenyl ether tetracarboxylic dianhydride, and the like. In the general formula (a1), a represents an integer of 0 to 20.

에틸렌성 불포화기를 가지는 수지의 산가는 수지 고형분으로 10~150㎎KOH/g인 것이 바람직하고, 70~110㎎KOH/g인 것이 보다 바람직하다. 산가를 10㎎KOH/g 이상으로 함으로써, 현상액에 대한 충분한 용해성이 얻어지므로 바람직하다. 또, 산가를 150㎎KOH/g 이하로 함으로써, 충분한 경화성을 얻을 수 있고, 표면성을 양호하게 할 수 있으므로 바람직하다.The acid value of the resin having an ethylenic unsaturated group is preferably 10 to 150 mgKOH / g, more preferably 70 to 110 mgKOH / g, in terms of resin solid content. When the acid value is 10 mgKOH / g or more, sufficient solubility in a developing solution can be obtained, which is preferable. The acid value of 150 mgKOH / g or less is preferable because sufficient curability can be obtained and the surface property can be improved.

또, 에틸렌성 불포화기를 가지는 수지의 질량 평균 분자량은 1000~40000인 것이 바람직하고, 2000~30000인 것이 보다 바람직하다. 질량 평균 분자량을 1000 이상으로 함으로써, 양호한 내열성, 막 강도를 얻을 수 있으므로 바람직하다. 또, 질량 평균 분자량을 40000 이하로 함으로써, 양호한 현상성을 얻을 수 있으므로 바람직하다.The mass average molecular weight of the resin having an ethylenic unsaturated group is preferably from 1,000 to 40,000, more preferably from 2,000 to 30,000. By setting the mass average molecular weight to 1000 or more, good heat resistance and film strength can be obtained, which is preferable. The weight average molecular weight is preferably 40,000 or less, because good developability can be obtained.

[에틸렌성 불포화기를 가지는 모노머][Monomer having an ethylenically unsaturated group]

에틸렌성 불포화기를 가지는 모노머에는 단관능 모노머와 다관능 모노머가 있다. 이하, 단관능 모노머 및 다관능 모노머에 대해서 순서대로 설명한다.Monomers having an ethylenic unsaturated group include monofunctional monomers and polyfunctional monomers. Hereinafter, monofunctional monomers and multifunctional monomers will be described in order.

단관능 모노머로는 (메타)아크릴아미드, 메틸올 (메타)아크릴아미드, 메톡시메틸 (메타)아크릴아미드, 에톡시메틸 (메타)아크릴아미드, 프로폭시메틸 (메타)아크릴아미드, 부톡시메톡시메틸 (메타)아크릴아미드, N-메틸올 (메타)아크릴아미드, N-히드록시메틸 (메타)아크릴아미드, (메타)아크릴산, 푸말산, 말레산, 무수 말레산, 이타콘산, 무수 이타콘산, 시트라콘산, 무수 시트라콘산, 크로톤산, 2-아크릴아미드-2-메틸프로판설폰산, tert-부틸아크릴아미드설폰산, 메틸 (메타)아크릴레이트, 에틸 (메타)아크릴레이트, 부틸 (메타)아크릴레이트, 2-에틸헥실 (메타)아크릴레이트, 시클로헥실 (메타)아크릴레이트, 2-히드록시에틸 (메타)아크릴레이트, 2-히드록시프로필 (메타)아크릴레이트, 2-히드록시부틸 (메타)아크릴레이트, 2-페녹시-2-히드록시프로필 (메타)아크릴레이트, 2-(메타)아크릴로일옥시-2-히드록시프로필프탈레이트, 글리세린 모노(메타)아크릴레이트, 테트라히드로푸르푸릴 (메타)아크릴레이트, 디메틸아미노 (메타)아크릴레이트, 글리시딜 (메타)아크릴레이트, 2,2,2-트리플루오로에틸 (메타)아크릴레이트, 2,2,3,3-테트라플루오로프로필 (메타)아크릴레이트, 프탈산 유도체의 하프 (메타)아크릴레이트 등을 들 수 있다. 이들 단관능 모노머는 단독으로 이용해도 되고, 2종 이상을 조합해 이용해도 된다.Examples of the monofunctional monomer include (meth) acrylamide, methylol (meth) acrylamide, methoxymethyl (meth) acrylamide, ethoxymethyl (meth) acrylamide, propoxymethyl (meth) acrylamide, butoxymethoxy (Meth) acrylic acid, maleic acid, maleic anhydride, itaconic acid, itaconic anhydride, maleic anhydride, maleic anhydride, Methyl (meth) acrylate, ethyl (meth) acrylate, butyl (meth) acrylate, isobutyl (meth) acrylate, (Meth) acrylate, 2-ethylhexyl (meth) acrylate, cyclohexyl (meth) acrylate, 2-hydroxyethyl ) Acrylate, 2-phenoxy-2-hydroxypropyl (meth) (Meth) acrylate, glycerin mono (meth) acrylate, tetrahydrofurfuryl (meth) acrylate, dimethylamino (meth) acrylate, glycidyl (Meth) acrylate, 2,2,2-trifluoroethyl (meth) acrylate, 2,2,3,3-tetrafluoropropyl (meth) acrylate, and half . These monofunctional monomers may be used alone, or two or more monofunctional monomers may be used in combination.

다관능 모노머로는 에틸렌글리콜 디(메타)아크릴레이트, 디에틸렌글리콜 디(메타)아크릴레이트, 테트라에틸렌글리콜 디(메타)아크릴레이트, 프로필렌글리콜 디(메타)아크릴레이트, 폴리프로필렌글리콜 디(메타)아크릴레이트, 부틸렌글리콜 디(메타)아크릴레이트, 네오펜틸글리콜 디(메타)아크릴레이트, 1,6-헥산글리콜 디(메타)아크릴레이트, 트리메틸올프로판 트리(메타)아크릴레이트, 글리세린 디(메타)아크릴레이트, 펜타에리트리톨 트리아크릴레이트, 펜타에리트리톨 테트라아크릴레이트, 디펜타에리트리톨 펜타아크릴레이트, 디펜타에리트리톨 헥사아크릴레이트, 펜타에리트리톨 디(메타)아크릴레이트, 펜타에리트리톨 트리(메타)아크릴레이트, 펜타에리트리톨 테트라(메타)아크릴레이트, 디펜타에리트리톨 펜타(메타)아크릴레이트, 디펜타에리트리톨 헥사(메타)아크릴레이트, 2,2-비스(4-(메타)아크릴옥시디에톡시페닐)프로판, 2,2-비스(4-(메타)아크릴옥시폴리에톡시페닐)프로판, 2-히드록시-3-(메타)아크릴로일옥시프로필 (메타)아크릴레이트, 에틸렌글리콜 디글리시딜에테르 디(메타)아크릴레이트, 디에틸렌글리콜 디글리시딜에테르 디(메타)아크릴레이트, 프탈산디글리시딜에스테르 디(메타)아크릴레이트, 글리세린트리아크릴레이트, 글리세린폴리글리시딜에테르 폴리(메타)아크릴레이트, 우레탄 (메타)아크릴레이트(즉, 톨릴렌 디이소시아네이트), 트리메틸헥사메틸렌 디이소시아네이트와 헥사메틸렌 디이소시아네이트와 2-히드록시에틸 (메타)아크릴레이트의 반응물, 메틸렌 비스(메타)아크릴아미드, (메타)아크릴아미드 메틸렌에테르, 다가 알코올과 N-메틸올 (메타)아크릴아미드와의 축합물 등의 다관능 모노머나, 트리아크릴포르말 등을 들 수 있다. 이들 다관능 모노머는 단독으로 이용해도 되고, 2종 이상을 조합해 이용해도 된다.Examples of the polyfunctional monomer include ethylene glycol di (meth) acrylate, diethylene glycol di (meth) acrylate, tetraethylene glycol di (meth) acrylate, propylene glycol di (meth) acrylate, polypropylene glycol di (Meth) acrylate, butylene glycol di (meth) acrylate, neopentyl glycol di (meth) acrylate, 1,6-hexane glycol di (Meth) acrylate, pentaerythritol tetraacrylate, dipentaerythritol pentaacrylate, dipentaerythritol hexaacrylate, pentaerythritol di (meth) acrylate, pentaerythritol tri ) Acrylate, pentaerythritol tetra (meth) acrylate, dipentaerythritol penta (meth) acrylate, dipentaerythritol Bis (4- (meth) acryloxypolyethoxyphenyl) propane, 2,2-bis (4- (meth) acryloxy diethoxyphenyl) propane, (Meth) acrylate, diethylene glycol diglycidyl ether di (meth) acrylate, diethylene glycol diglycidyl ether di (meth) acrylate, diethylene glycol diglycidyl ether di (Meth) acrylate, glycerin triacrylate, glycerin polyglycidyl ether poly (meth) acrylate, urethane (meth) acrylate (i.e., tolylene diisocyanate), trimethylhexamethylene diisocyanate A reaction product of hexamethylene diisocyanate and 2-hydroxyethyl (meth) acrylate, a reaction product of methylene bis (meth) acrylamide, (meth) acrylamide methylene ether, polyhydric alcohol and N-methylol And the like can be a polyfunctional monomer or triacrylate formal and the like. These multifunctional monomers may be used alone, or two or more of them may be used in combination.

(A) 성분인 광중합성 화합물의 함유량은 감광성 수지 조성물의 고형분의 합계 100질량부에 대해서 10~99.9질량부인 것이 바람직하다. (A) 성분의 함유량을 고형분의 합계 100질량부에 대해서 10질량부 이상으로 함으로써, 형성되는 패턴의 충분한 내열성 및 내약품성을 기대할 수 있다.The content of the photopolymerizable compound as the component (A) is preferably 10 to 99.9 parts by mass based on 100 parts by mass of the total solid content of the photosensitive resin composition. When the content of the component (A) is 10 parts by mass or more based on 100 parts by mass of the total amount of the solid components, sufficient heat resistance and chemical resistance of the formed pattern can be expected.

<(B) 광중합 개시제><(B) Photopolymerization initiator>

본 발명에 관한 감광성 수지 조성물은 광중합 개시제로서 하기 구조의 옥심 에스테르 화합물을 함유한다. 광중합 개시제로서 하기 일반식 (1)로 나타내는 구조의 옥심 에스테르 화합물을 이용함으로써, 감광성 수지 조성물을 감도가 뛰어난 것으로 할 수 있다.The photosensitive resin composition according to the present invention contains an oxime ester compound having the following structure as a photopolymerization initiator. By using an oxime ester compound having a structure represented by the following general formula (1) as a photopolymerization initiator, the photosensitive resin composition can be made excellent in sensitivity.

Figure 112016077777286-pat00007
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(R1은 1가의 유기기, 아미노기, 할로겐, 니트로기 및 시아노기로 이루어진 군으로부터 선택되는 기이고, m은 0~4의 정수이며, p는 0 또는 1이고, R2는 치환기를 갖거나 갖지 않는 페닐기 또는 치환기를 갖거나 갖지 않는 카르바졸릴기이며, R3은 수소 원자 또는 탄소수 1~6의 알킬기이다.)(Wherein R 1 is a monovalent organic group, an amino group, a halogen, a nitro group and a cyano group, m is an integer of 0 to 4, p is 0 or 1, R 2 is a substituent A substituted or unsubstituted phenyl group or a substituted or unsubstituted carbazolyl group and R 3 is a hydrogen atom or an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms)

일반식 (1) 중, R1은 본 발명의 목적을 저해하지 않는 범위에서 특별히 한정되지 않고, 여러 가지 유기기로부터 적절히 선택된다. R1이 유기기인 경우의 바람직한 예로는 알킬기, 알콕시기, 시클로알킬기, 시클로알콕시기, 포화 지방족 아실기, 알콕시카르보닐기, 포화 지방족 아실옥시기, 치환기를 갖거나 갖지 않는 페닐기, 치환기를 갖거나 갖지 않는 페녹시기, 치환기를 갖거나 갖지 않는 벤조일기, 치환기를 갖거나 갖지 않는 페녹시카르보닐기, 치환기를 갖거나 갖지 않는 벤조일옥시기, 치환기를 갖거나 갖지 않는 페닐알킬기, 치환기를 갖거나 갖지 않는 나프틸기, 치환기를 갖거나 갖지 않는 나프톡시기, 치환기를 갖거나 갖지 않는 나프토일기, 치환기를 갖거나 갖지 않는 나프톡시카르보닐기, 치환기를 갖거나 갖지 않는 나프토일옥시기, 치환기를 갖거나 갖지 않는 나프틸알킬기, 치환기를 갖거나 갖지 않는 헤테로시크릴기, 아미노기, 1 또는 2의 유기기로 치환된 아미노기, 모르폴린-1-일기 및 피페라진-1-일기, 할로겐, 니트로기 및 시아노기 등을 들 수 있다. m이 2~4의 정수인 경우, R1은 동일해도 상이해도 된다. 또, 치환기의 탄소수에는 치환기를 더 가지는 치환기의 탄소수를 포함시키지 않는다.In the general formula (1), R 1 is not particularly limited within a range that does not inhibit the object of the present invention, it is suitably selected from a variety of organic groups. Preferred examples of the organic group R 1 include an alkyl group, an alkoxy group, a cycloalkyl group, a cycloalkoxy group, a saturated aliphatic acyl group, an alkoxycarbonyl group, a saturated aliphatic acyloxy group, a phenyl group having or without a substituent, A phenoxy group, a benzoyl group having or without a substituent, a phenoxycarbonyl group having a substituent, a benzoyloxy group having a substituent, a phenylalkyl group having a substituent, a naphthyl group having a substituent, A naphthoyl group having or not having a substituent, a naphthoyl group having or not having a substituent, a naphthoxycarbonyl group having a substituent, a naphthoyloxy group having a substituent, a naphthylalkyl group having a substituent , A heterocyclyl group having or without a substituent, an amino group, an amino group substituted with an organic group of 1 or 2, A morpholin-1-yl group, a piperazin-1-yl group, a halogen atom, a nitro group, and a cyano group. When m is an integer of 2 to 4, R 1 may be the same or different. The carbon number of the substituent does not include the carbon number of the substituent having the substituent.

R1이 알킬기인 경우, 탄소수 1~20이 바람직하고, 탄소수 1~6이 보다 바람직하다. 또, R1이 알킬기인 경우, 직쇄여도 분기쇄여도 된다. R1이 알킬기인 경우의 구체적인 예로는 메틸기, 에틸기, n-프로필기, 이소프로필기, n-부틸기, 이소부틸기, sec-부틸기, tert-부틸기, n-펜틸기, 이소펜틸기, sec-펜틸기, tert-펜틸기, n-헥실기, n-헵틸기, n-옥틸기, 이소옥틸기, sec-옥틸기, tert-옥틸기, n-노닐기, 이소노닐기, n-데실기 및 이소데실기 등을 들 수 있다. 또, R1이 알킬기인 경우, 알킬기는 탄소쇄 중에 에테르 결합(-O-)을 포함하고 있어도 된다. 탄소쇄 중에 에테르 결합을 가지는 알킬기의 예로는 메톡시에틸기, 에톡시에틸기, 메톡시에톡시에틸기, 에톡시에톡시에틸기, 프로필옥시에톡시에틸기 및 메톡시프로필기 등을 들 수 있다.When R 1 is an alkyl group, the number of carbon atoms is preferably from 1 to 20, and more preferably from 1 to 6 carbon atoms. When R 1 is an alkyl group, it may be a straight chain or branched chain. Specific examples of when R 1 is an alkyl group include methyl group, ethyl group, n- propyl group, isopropyl group, n- butyl group, isobutyl group, sec- butyl group, tert- butyl group, n- pentyl group, an isopentyl group , n-hexyl, n-heptyl, n-octyl, isooctyl, sec-octyl, tert-octyl, n-nonyl, isononyl, n- Decyl group and isodecyl group. When R 1 is an alkyl group, the alkyl group may contain an ether bond (-O-) in the carbon chain. Examples of the alkyl group having an ether bond in the carbon chain include a methoxyethyl group, an ethoxyethyl group, a methoxyethoxyethyl group, an ethoxyethoxyethyl group, a propyloxyethoxyethyl group, and a methoxypropyl group.

R1이 알콕시기인 경우, 탄소수 1~20이 바람직하고, 탄소수 1~6이 보다 바람직하다. 또, R1이 알콕시기인 경우, 직쇄여도 분기쇄여도 된다. R1이 알콕시기인 경우의 구체적인 예로는 메톡시기, 에톡시기, n-프로필옥시기, 이소프로필옥시기, n-부틸옥시기, 이소부틸옥시기, sec-부틸옥시기, tert-부틸옥시기, n-펜틸옥시기, 이소펜틸옥시기, sec-펜틸옥시기, tert-펜틸옥시기, n-헥실옥시기, n-헵틸옥시기, n-옥틸옥시기, 이소옥틸옥시기, sec-옥틸옥시기, tert-옥틸옥시기, n-노닐옥시기, 이소노닐옥시기, n-데실옥시기 및 이소데실옥시기 등을 들 수 있다. 또, R1이 알콕시기인 경우, 알콕시기는 탄소쇄 중에 에테르 결합(-O-)을 포함하고 있어도 된다. 탄소쇄 중에 에테르 결합을 가지는 알콕시기의 예로는 메톡시에톡시기, 에톡시에톡시기, 메톡시에톡시에톡시기, 에톡시에톡시에톡시기, 프로필옥시에톡시에톡시기 및 메톡시프로필옥시기 등을 들 수 있다.When R 1 is an alkoxy group, the number of carbon atoms is preferably from 1 to 20, and more preferably from 1 to 6 carbon atoms. When R 1 is an alkoxy group, it may be a straight chain or branched chain. Specific examples of when R 1 is an alkoxy group include methoxy, ethoxy, n-propyloxy, isopropyloxy, n-butyloxy, isobutyloxy, sec- n-pentyloxy group, isopentyloxy group, sec-pentyloxy group, tert-pentyloxy group, n-hexyloxy group, n-heptyloxy group, n-octyloxy group, isooctyloxy group, , tert-octyloxy group, n-nonyloxy group, isononyloxy group, n-decyloxy group and isodecyloxy group. When R 1 is an alkoxy group, the alkoxy group may contain an ether bond (-O-) in the carbon chain. Examples of the alkoxy group having an ether bond in the carbon chain include a methoxyethoxy group, an ethoxyethoxy group, a methoxyethoxyethoxy group, an ethoxyethoxyethoxy group, a propoxyoxyethoxyethoxy group and a methoxy Propyloxy group and the like.

R1이 시클로알킬기, 또는 시클로알콕시기인 경우, 탄소수 3~10이 바람직하고, 탄소수 3~6이 보다 바람직하다. R1이 시클로알킬기인 경우의 구체적인 예로는 시클로프로필기, 시클로부틸기, 시클로펜틸기, 시클로헥실기, 시클로헵틸기 및 시클로옥틸기 등을 들 수 있다. R1이 시클로알콕시기인 경우의 구체적인 예로는 시클로프로필옥시기, 시클로부틸옥시기, 시클로펜틸옥시기, 시클로헥실옥시기, 시클로헵틸옥시기 및 시클로옥틸옥시기 등을 들 수 있다.When R 1 is a cycloalkyl group or a cycloalkoxy group, the number of carbon atoms is preferably from 3 to 10, and more preferably from 3 to 6 carbon atoms. Concrete examples of the case where R 1 is a cycloalkyl group include a cyclopropyl group, a cyclobutyl group, a cyclopentyl group, a cyclohexyl group, a cycloheptyl group and a cyclooctyl group. Specific examples of when R 1 is a cycloalkoxy group include a cyclopropyloxy group, a cyclobutyloxy group, a cyclopentyloxy group, a cyclohexyloxy group, a cycloheptyloxy group, and a cyclooctyloxy group.

R1이 포화 지방족 아실기 또는 포화 지방족 아실옥시기인 경우, 탄소수 2~20이 바람직하고, 탄소수 2~7이 보다 바람직하다. R1이 포화 지방족 아실기인 경우의 구체적인 예로는 아세틸기, 프로파노일기, n-부타노일기, 2-메틸프로파노일기, n-펜타노일기, 2,2-디메틸프로파노일기, n-헥사노일기, n-헵타노일기, n-옥타노일기, n-노나노일기, n-데카노일기, n-운데카노일기, n-도데카노일기, n-트리데카노일기, n-테트라데카노일기, n-펜타데카노일기 및 n-헥사데카노일기 등을 들 수 있다. R1이 포화 지방족 아실옥시기인 경우의 구체적인 예로는 아세틸옥시기, 프로파노일옥시기, n-부타노일옥시기, 2-메틸프로파노일옥시기, n-펜타노일옥시기, 2,2-디메틸프로파노일옥시기, n-헥사노일옥시기, n-헵타노일옥시기, n-옥타노일옥시기, n-노나노일옥시기, n-데카노일옥시기, n-운데카노일옥시기, n-도데카노일옥시기, n-트리데카노일옥시기, n-테트라데카노일옥시기, n-펜타데카노일옥시기 및 n-헥사데카노일옥시기 등을 들 수 있다.When R 1 is a saturated aliphatic acyl group or a saturated aliphatic acyloxy group, the number of carbon atoms is preferably from 2 to 20, and more preferably from 2 to 7 carbon atoms. Specific examples of when R 1 is a saturated aliphatic acyl group include acetyl group, propanoyl group, n-butanoyl group, 2-methylpropanoyl group, n-pentanoyl group, heptanoyl group, n-octanoyl group, n-nonanoyl group, n-decanoyl group, n-undecanoyl group, n-dodecanoyl group, Pentadecanoyl group, and n-hexadecanoyl group. Specific examples of when R 1 is a saturated aliphatic acyloxy group include acetyloxy, propanoyloxy, n-butanoyloxy, 2-methylpropanoyloxy, n-pentanoyloxy, N-hexanoyloxy group, n-heptanoyloxy group, n-octanoyloxy group, n-nonanoyloxy group, n-decanoyloxy group, n-undecanoyloxy group, n-dodecanoyloxy group, n -Tridecanoyloxy group, n-tetradecanoyloxy group, n-pentadecanoyloxy group, and n-hexadecanoyloxy group.

R1이 알콕시카르보닐기인 경우, 탄소수 2~20이 바람직하고, 탄소수 2~7이 보다 바람직하다. R1이 알콕시카르보닐기인 경우의 구체적인 예로는 메톡시카르보닐기, 에톡시카르보닐기, n-프로필옥시카르보닐기, 이소프로필옥시카르보닐기, n-부틸옥시카르보닐기, 이소부틸옥시카르보닐기, sec-부틸옥시카르보닐기, tert-부틸옥시카르보닐기, n-펜틸옥시카르보닐기, 이소펜틸옥시카르보닐기, sec-펜틸옥시카르보닐기, tert-펜틸옥시카르보닐기, n-헥실옥시카르보닐기, n-헵틸옥시카르보닐기, n-옥틸옥시카르보닐기, 이소옥틸옥시카르보닐기, sec-옥틸옥시카르보닐기, tert-옥틸옥시카르보닐기, n-노닐옥시카르보닐기, 이소노닐옥시카르보닐기, n-데실옥시카르보닐기 및 이소데실옥시카르보닐기 등을 들 수 있다.When R 1 is an alkoxycarbonyl group, the number of carbon atoms is preferably 2 to 20, and more preferably 2 to 7 carbon atoms. Specific examples of when R 1 is an alkoxycarbonyl group include a methoxycarbonyl group, ethoxycarbonyl group, n-propyloxycarbonyl group, isopropyloxycarbonyl group, n-butyloxycarbonyl group, isobutyloxycarbonyl group, sec-butyloxycarbonyl group, Sec-pentyloxycarbonyl group, tert-pentyloxycarbonyl group, n-hexyloxycarbonyl group, n-heptyloxycarbonyl group, n-octyloxycarbonyl group, isooctyloxycarbonyl group, sec An octyloxycarbonyl group, a tert-octyloxycarbonyl group, an n-nonyloxycarbonyl group, an isononyloxycarbonyl group, a n-decyloxycarbonyl group and an isodecyloxycarbonyl group.

R1이 페닐알킬기인 경우, 탄소수 7~20이 바람직하고, 탄소수 7~10이 보다 바람직하다. 또, R1이 나프틸알킬기인 경우, 탄소수 11~20이 바람직하고, 탄소수 11~14가 보다 바람직하다. R1이 페닐알킬기인 경우의 구체적인 예로는 벤질기, 2-페닐에틸기, 3-페닐프로필기 및 4-페닐부틸기를 들 수 있다. R1이 나프틸알킬기인 경우의 구체적인 예로는 α-나프틸메틸기, β-나프틸메틸기, 2-(α-나프틸)에틸기 및 2-(β-나프틸)에틸기를 들 수 있다. R1이 페닐알킬기 또는 나프틸알킬기인 경우, R1은 페닐기 또는 나프틸기 상에 치환기를 더 가지고 있어도 된다.When R 1 is a phenylalkyl group, the number of carbon atoms is preferably 7 to 20, more preferably 7 to 10 carbon atoms. When R 1 is a naphthylalkyl group, the number of carbon atoms is preferably from 11 to 20, and more preferably from 11 to 14 carbon atoms. Specific examples of when R 1 is a phenylalkyl group include a benzyl group, a 2-phenylethyl group, a 3-phenylpropyl group and a 4-phenylbutyl group. Specific examples of when R 1 is a naphthylalkyl group include? -Naphthylmethyl,? -Naphthylmethyl, 2- (? -Naphthyl) ethyl and 2- (? - naphthyl) ethyl groups. When R 1 is a phenylalkyl group or a naphthylalkyl group, R 1 may further have a substituent on the phenyl or naphthyl group.

R1이 헤테로시크릴기인 경우, 헤테로시크릴기는 1 이상의 N, S, O를 포함하는 5원 또는 6원의 단환이든가, 이러한 단환끼리, 또는 이러한 단환과 벤젠환이 축합한 헤테로시크릴기이다. 헤테로시크릴기가 축합환인 경우는 환수 3까지의 것으로 한다. 이러한 헤테로시크릴기를 구성하는 복소환으로는 푸란, 티오펜, 피롤, 옥사졸, 이소옥사졸, 티아졸, 티아디아졸, 이소티아졸, 이미다졸, 피라졸, 트리아졸, 피리딘, 피라진, 피리미딘, 피리다진, 벤조푸란, 벤조티오펜, 인돌, 이소인돌, 인돌리딘, 벤조이미다졸, 벤조트리아졸, 벤조옥사졸, 벤조티아졸, 카르바졸, 푸린, 퀴놀린, 이소퀴놀린, 퀴나졸린, 프타라진, 신놀린 및 퀴녹살린 등을 들 수 있다. R1이 헤테로시크릴기인 경우, 헤테로시크릴기는 치환기를 더 가지고 있어도 된다.When R 1 is a heterocyclyl group, the heterocyclyl group may be a 5-membered or 6-membered monocyclic ring containing one or more N, S or O, or a heterocyclyl group in which the monocyclic ring is condensed with a benzene ring . And when the heterocyclyl group is a condensed ring, the number of rings is 3. Examples of the heterocycle constituting the heterocyclyl group include furan, thiophene, pyrrole, oxazole, isoxazole, thiazole, thiadiazole, isothiazole, imidazole, pyrazole, triazole, pyridine, pyrazine, Benzothiazole, benzoxazole, benzothiazole, carbazole, purine, quinoline, isoquinoline, quinazoline, triphenylphosphine, benzothiophene, indole, isoindole, indolidine, benzoimidazole, Rhenazine, cinnoline and quinoxaline. When R 1 is a heterocyclyl group, the heterocyclyl group may further have a substituent.

R1이 1 또는 2의 유기기로 치환된 아미노기인 경우, 유기기의 바람직한 예는 탄소수 1~20의 알킬기, 탄소수 3~10의 시클로알킬기, 탄소수 2~20의 포화 지방족 아실기, 치환기를 갖거나 갖지 않는 페닐기, 치환기를 갖거나 갖지 않는 벤조일기, 치환기를 갖거나 갖지 않는 탄소수 7~20의 페닐알킬기, 치환기를 갖거나 갖지 않는 나프틸기, 치환기를 갖거나 갖지 않는 나프토일기, 치환기를 갖거나 갖지 않는 탄소수 11~20의 나프틸알킬기 및 헤테로시크릴기 등을 들 수 있다. 이들 바람직한 유기기의 구체적인 예는 R1과 동일하다. 1 또는 2의 유기기로 치환된 아미노기의 구체적인 예로는 메틸아미노기, 에틸아미노기, 디에틸아미노기, n-프로필아미노기, 디-n-프로필아미노기, 이소프로필아미노기, n-부틸아미노기, 디-n-부틸아미노기, n-펜틸아미노기, n-헥실아미노기, n-헵틸아미노기, n-옥틸아미노기, n-노닐아미노기, n-데실아미노기, 페닐아미노기, 나프틸아미노기, 아세틸아미노기, 프로파노일아미노기, n-부타노일아미노기, n-펜타노일아미노기, n-헥사노일아미노기, n-헵타노일아미노기, n-옥타노일아미노기, n-데카노일아미노기, 벤조일아미노기, α-나프토일아미노기 및 β-나프토일아미노기 등을 들 수 있다.When R 1 is an amino group substituted with 1 or 2 organic groups, preferred examples of the organic group include an alkyl group having 1 to 20 carbon atoms, a cycloalkyl group having 3 to 10 carbon atoms, a saturated aliphatic acyl group having 2 to 20 carbon atoms, A substituted or unsubstituted benzoyl group, a substituted or unsubstituted C 7 -C 20 phenylalkyl group, a substituted or unsubstituted naphthyl group, a substituted or unsubstituted naphthoyl group, a substituted or unsubstituted A naphthylalkyl group having from 11 to 20 carbon atoms and a heterocyclyl group which have no substituent. Specific examples of these preferred organic groups are the same as R &lt; 1 &gt;. Specific examples of the amino group substituted with 1 or 2 organic groups include a methylamino group, ethylamino group, diethylamino group, n-propylamino group, di-n-propylamino group, isopropylamino group, n-butylamino group, , n-pentylamino group, n-hexylamino group, n-heptylamino group, n-octylamino group, n-nonylamino group, n-decylamino group, phenylamino group, naphthylamino group, acetylamino group, N-hexanoylamino group, n-heptanoylamino group, n-octanoylamino group, n-decanoylamino group, benzoylamino group, a-naphthoylamino group and? -Naphthoylamino group have.

R1에 포함되는 페닐기, 나프틸기 및 헤테로시크릴기가 치환기를 더 가지는 경우의 치환기로는 탄소수 1~6의 알킬기, 탄소수 1~6의 알콕시기, 탄소수 2~7의 포화 지방족 아실기, 탄소수 2~7의 알콕시카르보닐기, 탄소수 2~7의 포화 지방족 아실옥시기, 탄소수 1~6의 알킬기를 가지는 모노알킬아미노기, 탄소수 1~6의 알킬기를 가지는 디알킬아미노기, 모르폴린-1-일기, 피페라진-1-일기, 할로겐, 니트로기 및 시아노기 등을 들 수 있다. R1에 포함되는 페닐기, 나프틸기 및 헤테로시크릴기가 치환기를 더 가지는 경우, 그 치환기의 수는 본 발명의 목적을 저해하지 않는 범위에서 한정되지 않지만, 1~4가 바람직하다. R1에 포함되는 페닐기, 나프틸기 및 헤테로시크릴기가 복수의 치환기를 가지는 경우, 복수의 치환기는 동일해도 되고 상이해도 된다.Examples of the substituent in the case where the phenyl group, naphthyl group and heterocyclyl group contained in R 1 have a substituent include an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms, an alkoxy group having 1 to 6 carbon atoms, a saturated aliphatic acyl group having 2 to 7 carbon atoms, A saturated aliphatic acyloxy group having 2 to 7 carbon atoms, a monoalkylamino group having an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms, a dialkylamino group having an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms, a morpholin-1-yl group, -1-yl group, a halogen atom, a nitro group, and a cyano group. When the phenyl group, naphthyl group and heterocyclyl group contained in R 1 further have a substituent, the number of the substituent is not limited within the range not hindering the object of the present invention, but is preferably 1 to 4. When the phenyl group, naphthyl group and heterocyclyl group contained in R 1 have plural substituents, a plurality of substituents may be the same or different.

R1 중에서는 화학적으로 안정한 것이나, 입체적인 장해가 적고, 옥심 에스테르 화합물의 합성이 용이한 것 등으로부터, 탄소수 1~6의 알킬기, 탄소수 1~6의 알콕시기 및 탄소수 2~7의 포화 지방족 아실기로 이루어진 군으로부터 선택되는 기가 바람직하고, 탄소수 1~6의 알킬이 보다 바람직하며, 메틸기가 특히 바람직하다.From the viewpoint that R 1 is chemically stable, the steric hindrance is small, and the oxime ester compound is easy to synthesize, an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms, an alkoxy group having 1 to 6 carbon atoms, and a saturated aliphatic acyl group having 2 to 7 carbon atoms , Alkyl of 1 to 6 carbon atoms is more preferable, and methyl group is particularly preferable.

R1이 페닐기에 결합하는 위치는 R1이 결합하는 페닐기에 대해서, 페닐기와 옥심 에스테르 화합물의 주골격의 결합손의 위치를 1번 위치로 하고, 메틸기의 위치를 2번 위치로 하는 경우에, 4번 위치 또는 5번 위치가 바람직하고, 5번 위치가 보다 바람직하다. 또, m은 0~3의 정수가 바람직하고, 0~2의 정수가 보다 바람직하며, 0 또는 1이 특히 바람직하다.Where the R 1 are bonded to the phenyl group for the phenyl group to the combined R 1, the position of the bond position of the hand in position 1, and the methyl groups of the main skeleton of the phenyl group and the oxime ester compound in the case of a two-position, The fourth position or the fifth position is preferable, and the fifth position is more preferable. M is preferably an integer of 0 to 3, more preferably an integer of 0 to 2, and particularly preferably 0 or 1.

R2는 치환기를 갖거나 갖지 않는 페닐기 또는 치환기를 갖거나 갖지 않는 카르바졸릴기이다. 또, R2가 치환기를 갖거나 갖지 않는 카르바졸릴기인 경우, 카르바졸릴기 상의 질소 원자는 탄소수 1~6의 알킬기로 치환되어 있어도 된다.R 2 is a phenyl group with or without a substituent or a carbazolyl group with or without a substituent. When R 2 is a carbazolyl group having or without a substituent, the nitrogen atom on the carbazolyl group may be substituted with an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms.

R2에 있어서, 페닐기 또는 카르바졸릴기가 가지는 치환기는 본 발명의 목적을 저해하지 않는 범위에서 특별히 한정되지 않는다. 페닐기 또는 카르바졸릴기가 탄소 원자 상에 갖거나 갖지 않는 바람직한 치환기의 예로는 탄소수 1~20의 알킬기, 탄소수 1~20의 알콕시기, 탄소수 3~10의 시클로알킬기, 탄소수 3~10의 시클로알콕시기, 탄소수 2~20의 포화 지방족 아실기, 탄소수 2~20의 알콕시카르보닐기, 탄소수 2~20의 포화 지방족 아실옥시기, 치환기를 갖거나 갖지 않는 페닐기, 치환기를 갖거나 갖지 않는 페녹시기, 치환기를 갖거나 갖지 않는 페닐티오기, 치환기를 갖거나 갖지 않는 벤조일기, 치환기를 갖거나 갖지 않는 페녹시카르보닐기, 치환기를 갖거나 갖지 않는 벤조일옥시기, 치환기를 갖거나 갖지 않는 탄소수 7~20의 페닐알킬기, 치환기를 갖거나 갖지 않는 나프틸기, 치환기를 갖거나 갖지 않는 나프톡시기, 치환기를 갖거나 갖지 않는 나프토일기, 치환기를 갖거나 갖지 않는 나프톡시카르보닐기, 치환기를 갖거나 갖지 않는 나프토일옥시기, 치환기를 갖거나 갖지 않는 탄소수 11~20의 나프틸알킬기, 치환기를 갖거나 갖지 않는 헤테로시크릴기, 치환기를 갖거나 갖지 않는 헤테로시크릴카르보닐기, 아미노기, 1 또는 2의 유기기로 치환된 아미노기, 모르폴린-1-일기 및 피페라진-1-일기, 할로겐, 니트로기 및 시아노기 등을 들 수 있다.In R 2 , the substituent of the phenyl group or carbazolyl group is not particularly limited within the scope of not impairing the object of the present invention. Examples of preferable substituents having a phenyl group or carbazolyl group on the carbon atom include those having 1 to 20 carbon atoms, an alkoxy group having 1 to 20 carbon atoms, a cycloalkyl group having 3 to 10 carbon atoms, a cycloalkoxy group having 3 to 10 carbon atoms , A saturated aliphatic acyl group having 2 to 20 carbon atoms, an alkoxycarbonyl group having 2 to 20 carbon atoms, a saturated aliphatic acyloxy group having 2 to 20 carbon atoms, a phenyl group having or without a substituent, a phenoxy group having a substituent, A phenylthio group having or without a substituent, a benzoyl group having or without a substituent, a phenoxycarbonyl group having a substituent, a benzoyloxy group having a substituent, a phenylalkyl group having 7 to 20 carbon atoms, A naphthyl group having or not having a substituent, a naphtho group having or not having a substituent, a naphthoyl group having a substituent, a naphtho group having or without a substituent A naphthoyloxy group having or without substituent (s), a naphthylalkyl group having or without substituent (s) having 11 to 20 carbon atoms, a heterocyclyl group having or without substituent (s), a heterocyclylcarbonyl group having or without substituent , An amino group, an amino group substituted with an organic group of 1 or 2, a morpholin-1-yl group, a piperazin-1-yl group, a halogen atom, a nitro group and a cyano group.

R2가 카르바졸릴기인 경우, 카르바졸릴기가 질소 원자 상에 갖거나 갖지 않는 바람직한 치환기의 예로는 탄소수 1~20의 알킬기, 탄소수 3~10의 시클로알킬기, 탄소수 2~20의 포화 지방족 아실기, 탄소수 2~20의 알콕시카르보닐기, 치환기를 갖거나 갖지 않는 페닐기, 치환기를 갖거나 갖지 않는 벤조일기, 치환기를 갖거나 갖지 않는 페녹시카르보닐기, 치환기를 갖거나 갖지 않는 탄소수 7~20의 페닐알킬기, 치환기를 갖거나 갖지 않는 나프틸기, 치환기를 갖거나 갖지 않는 나프토일기, 치환기를 갖거나 갖지 않는 나프톡시카르보닐기, 치환기를 갖거나 갖지 않는 탄소수 11~20의 나프틸알킬기, 치환기를 갖거나 갖지 않는 헤테로시크릴기 및 치환기를 갖거나 갖지 않는 헤테로시크릴카르보닐기 등을 들 수 있다. 이들 치환기 중에서는 탄소수 1~20의 알킬기가 바람직하고, 탄소수 1~6의 알킬기가 보다 바람직하며, 에틸기가 특히 바람직하다.When R 2 is a carbazolyl group, examples of preferable substituent groups having or not having a carbazolyl group on a nitrogen atom include an alkyl group having 1 to 20 carbon atoms, a cycloalkyl group having 3 to 10 carbon atoms, a saturated aliphatic acyl group having 2 to 20 carbon atoms , An alkoxycarbonyl group having 2 to 20 carbon atoms, a phenyl group having or without a substituent, a benzoyl group having or without a substituent, a phenoxycarbonyl group having a substituent, a phenylalkyl group having 7 to 20 carbon atoms, A naphthoyl group having or without a substituent, a naphthoyl group having or without a substituent, a naphthocycarbonyl group having a substituent, a naphthylalkyl group having a substituent having or having no substituent, a naphthylalkyl group having a substituent, A heterocyclyl group, and a heterocyclylcarbonyl group having or without a substituent. Among these substituents, an alkyl group having 1 to 20 carbon atoms is preferable, an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms is more preferable, and an ethyl group is particularly preferable.

페닐기 또는 카르바졸릴기가 갖거나 갖지 않는 치환기의 구체적인 예에 대해서, 알킬기, 알콕시기, 시클로알킬기, 시클로알콕시기, 포화 지방족 아실기, 알콕시카르보닐기, 포화 지방족 아실옥시기, 치환기를 갖거나 갖지 않는 페닐알킬기, 치환기를 갖거나 갖지 않는 나프틸알킬기, 치환기를 갖거나 갖지 않는 헤테로시크릴기, 및 1 또는 2의 유기기로 치환된 아미노기에 관해서는 R1과 동일하다.Specific examples of the substituent having or not having a phenyl group or a carbazolyl group include an alkyl group, an alkoxy group, a cycloalkyl group, a cycloalkoxy group, a saturated aliphatic acyl group, an alkoxycarbonyl group, a saturated aliphatic acyloxy group, a phenyl An alkyl group, a naphthylalkyl group with or without a substituent, a heterocyclyl group with or without a substituent, and an amino group substituted with 1 or 2 organic groups are the same as R 1 .

R2에 있어서, 페닐기 또는 카르바졸릴기가 가지는 치환기에 포함되는 페닐기, 나프틸기 및 헤테로시크릴기가 치환기를 더 가지는 경우의 치환기의 예로는 탄소수 1~6의 알킬기;탄소수 1~6의 알콕시기;탄소수 2~7의 포화 지방족 아실기;탄소수 2~7의 알콕시카르보닐기;탄소수 2~7의 포화 지방족 아실옥시기;페닐기;나프틸기;벤조일기;나프토일기;탄소수 1~6의 알킬기, 모르폴린-1-일기, 피페라진-1-일기 및 페닐기로 이루어진 군으로부터 선택되는 기에 의해 치환된 벤조일기;탄소수 1~6의 알킬기를 가지는 모노알킬아미노기;탄소수 1~6의 알킬기를 가지는 디알킬아미노기;모르폴린-1-일기;피페라진-1-일기;할로겐;니트로기;시아노기를 들 수 있다. 페닐기 또는 카르바졸릴기가 가지는 치환기에 포함되는 페닐기, 나프틸기 및 헤테로시크릴기가 치환기를 더 가지는 경우, 그 치환기의 수는 본 발명의 목적을 저해하지 않는 범위에서 한정되지 않지만, 1~4가 바람직하다. 페닐기, 나프틸기 및 헤테로시크릴기가 복수의 치환기를 가지는 경우, 복수의 치환기는 동일해도 되고 상이해도 된다.Examples of the substituent in the case where the phenyl group, naphthyl group and heterocyclyl group contained in the substituent of the phenyl group or the carbazolyl group in R 2 further have a substituent include an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms, an alkoxy group having 1 to 6 carbon atoms, A saturated aliphatic acyl group having 2 to 7 carbon atoms, an alkoxycarbonyl group having 2 to 7 carbon atoms, a saturated aliphatic acyloxy group having 2 to 7 carbon atoms, a phenyl group, a naphthyl group, a benzoyl group, a naphthoyl group, an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms, A monoalkylamino group having an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms, a dialkylamino group having an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms, a dialkylamino group having an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms, a benzoyl group substituted with a group selected from the group consisting of a hydrogen atom, A morpholin-1-yl group, a piperazin-1-yl group, a halogen, a nitro group, and a cyano group. When the phenyl group, the naphthyl group and the heterocyclyl group contained in the substituent of the phenyl group or the carbazolyl group further have a substituent, the number of the substituent is not limited to the range not hindering the object of the present invention, but is preferably 1 to 4 Do. When the phenyl group, the naphthyl group and the heterocyclyl group have a plurality of substituents, the plurality of substituents may be the same or different.

R2 중에서는 감광성 수지 조성물이 감도가 뛰어나다는 점으로부터, 하기 일반식 (2) 또는 (3)으로 나타내는 기가 바람직하고, 하기 일반식 (2)로 나타내는 기가 보다 바람직하며, 하기 일반식 (2)로 나타내는 기로서, A가 S인 기가 특히 바람직하다.Among R 2 , a group represented by the following general formula (2) or (3) is preferable, a group represented by the following general formula (2) is more preferable, and a group represented by the following general formula (2) , A group in which A is S is particularly preferable.

Figure 112016077777286-pat00008
Figure 112016077777286-pat00008

(R4는 1가의 유기기, 아미노기, 할로겐, 니트로기 및 시아노기로 이루어진 군으로부터 선택되는 기이고, A는 S 또는 O이며, n는 0~4의 정수이다.)(R 4 is a group selected from the group consisting of a monovalent organic group, an amino group, a halogen, a nitro group and a cyano group, A is S or O, and n is an integer of 0 to 4)

Figure 112016077777286-pat00009
Figure 112016077777286-pat00009

(R5 및 R6은 각각 1가의 유기기이다.)(R 5 and R 6 are each a monovalent organic group)

감광성 수지 조성물을 이용해 패턴을 형성하는 경우, 패턴 형성시의 포스트베이크 공정에서의 가열에 의해 패턴에 착색이 생기기 쉽다. 그러나, 감광성 수지 조성물에 있어서, (B) 광중합 개시제로서 R2가 상기 일반식 (2)로 나타내는 기로서 A가 S인 기인, 일반식 (1)로 나타내는 옥심 에스테르 화합물을 이용하는 경우, 가열에 의한 패턴의 착색을 억제할 수 있다.In the case of forming a pattern using a photosensitive resin composition, the pattern tends to be colored by heating in a post-baking step at the time of pattern formation. However, in the case where the oxime ester compound represented by the general formula (1) is used as the photopolymerization initiator (B) as the photopolymerization initiator in the photosensitive resin composition, in which R 2 is a group represented by the general formula (2) and A is S, The coloring of the pattern can be suppressed.

일반식 (2)에서의 R4가 유기기인 경우, 본 발명의 목적을 저해하지 않는 범위에서, 여러 가지의 유기기로부터 선택할 수 있다. 일반식 (2)에서 R4가 유기기인 경우의 바람직한 예로는 탄소수 1~6의 알킬기;탄소수 1~6의 알콕시기;탄소수 2~7의 포화 지방족 아실기;탄소수 2~7의 알콕시카르보닐기;탄소수 2~7의 포화 지방족 아실옥시기;페닐기;나프틸기;벤조일기;나프토일기;탄소수 1~6의 알킬기, 모르폴린-1-일기, 피페라진-1-일기 및 페닐기로 이루어진 군으로부터 선택되는 기에 의해 치환된 벤조일기;탄소수 1~6의 알킬기를 가지는 모노알킬아미노기;탄소수 1~6의 알킬기를 가지는 디알킬아미노기;모르폴린-1-일기;피페라진-1-일기;할로겐;니트로기;시아노기를 들 수 있다.When R &lt; 4 &gt; in the general formula (2) is an organic group, various organic groups can be selected within the range not hindering the object of the present invention. In the general formula (2), R 4 is an organic group, and examples thereof include an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms, an alkoxy group having 1 to 6 carbon atoms, a saturated aliphatic acyl group having 2 to 7 carbon atoms, an alkoxycarbonyl group having 2 to 7 carbon atoms, A saturated aliphatic acyloxy group having 2 to 7 carbon atoms, a phenyl group, a naphthyl group, a benzoyl group, a naphthoyl group, an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms, a morpholin-1-yl group, a piperazin- A monoalkylamino group having an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms, a dialkylamino group having an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms, a morpholin-1-yl group, a piperazin-1-yl group, And cyano group.

R4 중에서는 벤조일기;나프토일기;탄소수 1~6의 알킬기, 모르폴린-1-일기, 피페라진-1-일기 및 페닐기로 이루어진 군으로부터 선택되는 기에 의해 치환된 벤조일기;니트로기가 바람직하고, 벤조일기;나프토일기;2-메틸페닐카르보닐기;4-(피페라진-1-일)페닐카르보닐기;4-(페닐)페닐카르보닐기가 보다 바람직하다.R 4 is preferably a benzoyl group substituted by a group selected from the group consisting of a benzoyl group, a naphthoyl group, an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms, a morpholin-1-yl group, a piperazin-1-yl group and a phenyl group; , A benzoyl group, a naphthoyl group, a 2-methylphenylcarbonyl group, a 4- (piperazin-1-yl) phenylcarbonyl group and a 4- (phenyl) phenylcarbonyl group are more preferable.

또, 일반식 (2)에 있어서, n은 0~3의 정수가 바람직하고, 0~2의 정수가 보다 바람직하며, 0 또는 1인 것이 특히 바람직하다. n이 1인 경우, R4의 결합하는 위치는 R4가 결합하는 페닐기가 황 원자와 결합하는 결합손에 대해서 파라 위치인 것이 바람직하다.In the general formula (2), n is preferably an integer of 0 to 3, more preferably an integer of 0 to 2, and particularly preferably 0 or 1. when n is 1, the binding position of R 4 is preferably in the para position relative to the bonding hands of the phenyl group which R 4 is bonded in combination with a sulfur atom.

일반식 (3)에서의 R5는 본 발명의 목적을 저해하지 않는 범위에서, 여러 가지의 유기기로부터 선택할 수 있다. R5의 바람직한 예로는 탄소수 1~20의 알킬기, 탄소수 3~10의 시클로알킬기, 탄소수 2~20의 포화 지방족 아실기, 탄소수 2~20의 알콕시카르보닐기, 치환기를 갖거나 갖지 않는 페닐기, 치환기를 갖거나 갖지 않는 벤조일기, 치환기를 갖거나 갖지 않는 페녹시카르보닐기, 치환기를 갖거나 갖지 않는 탄소수 7~20의 페닐알킬기, 치환기를 갖거나 갖지 않는 나프틸기, 치환기를 갖거나 갖지 않는 나프토일기, 치환기를 갖거나 갖지 않는 나프톡시카르보닐기, 치환기를 갖거나 갖지 않는 탄소수 11~20의 나프틸알킬기, 치환기를 갖거나 갖지 않는 헤테로시크릴기 및 치환기를 갖거나 갖지 않는 헤테로시크릴카르보닐기 등을 들 수 있다.R 5 in the general formula (3) can be selected from various organic groups within the range not hindering the object of the present invention. Preferable examples of R 5 include an alkyl group having 1 to 20 carbon atoms, a cycloalkyl group having 3 to 10 carbon atoms, a saturated aliphatic acyl group having 2 to 20 carbon atoms, an alkoxycarbonyl group having 2 to 20 carbon atoms, a phenyl group having or without a substituent, A phenoxycarbonyl group having or without a substituent, a phenylalkyl group having 7 to 20 carbon atoms having a substituent, a naphthyl group having a substituent, a naphthoyl group having a substituent, a substituent , A naphthylalkyl group having or without substituent (s) having 11 to 20 carbon atoms, a heterocyclyl group having or without substituent (s), and a heterocyclylcarbonyl group having or without substituent .

R5 중에서는 탄소수 1~20의 알킬기가 바람직하고, 탄소수 1~6의 알킬기가 보다 바람직하며, 에틸기가 특히 바람직하다.R 5 is preferably an alkyl group having 1 to 20 carbon atoms, more preferably an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms, and particularly preferably an ethyl group.

일반식 (3)에서의 R6은 본 발명의 목적을 저해하지 않는 범위에서 특별히 한정되지 않고, 여러 가지 유기기로부터 선택할 수 있다. R6으로서 바람직한 기의 구체적인 예로는 탄소수 1~20의 알킬기, 치환기를 갖거나 갖지 않는 페닐기, 치환기를 갖거나 갖지 않는 나프틸기 및 치환기를 갖거나 갖지 않는 헤테로시크릴기를 들 수 있다. R6으로서 이들 기 중에서는 치환기를 갖거나 갖지 않는 페닐기가 보다 바람직하고, 2-메틸페닐기가 특히 바람직하다.R 6 in the general formula (3) is not particularly limited within the range not impairing the object of the present invention, and can be selected from various organic groups. Specific examples of the group represented by R 6 include an alkyl group having 1 to 20 carbon atoms, a phenyl group having or without a substituent, a naphthyl group having or without a substituent, and a heterocyclyl group having a substituent. As R 6 , among these groups, a phenyl group having or without a substituent is more preferable, and a 2-methylphenyl group is particularly preferable.

R4, R5 또는 R6에 포함되는 페닐기, 나프틸기 및 헤테로시크릴기가 치환기를 더 가지는 경우의 치환기로는 탄소수 1~6의 알킬기, 탄소수 1~6의 알콕시기, 탄소수 2~7의 포화 지방족 아실기, 탄소수 2~7의 알콕시카르보닐기, 탄소수 2~7의 포화 지방족 아실옥시기, 탄소수 1~6의 알킬기를 가지는 모노알킬아미노기, 탄소수 1~6의 알킬기를 가지는 디알킬아미노기, 모르폴린-1-일기, 피페라진-1-일기, 할로겐, 니트로기 및 시아노기 등을 들 수 있다. R4, R5 또는 R6에 포함되는 페닐기, 나프틸기 및 헤테로시크릴기가 치환기를 더 가지는 경우, 그 치환기의 수는 본 발명의 목적을 저해하지 않는 범위에서 한정되지 않지만, 1~4가 바람직하다. R4, R5 또는 R6에 포함되는 페닐기, 나프틸기 및 헤테로시크릴기가 복수의 치환기를 가지는 경우, 복수의 치환기는 동일해도 되고 상이해도 된다.When the phenyl group, naphthyl group and heterocyclyl group contained in R 4 , R 5 or R 6 have a substituent, examples of the substituent include an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms, an alkoxy group having 1 to 6 carbon atoms, a saturated group having 2 to 7 carbon atoms An aliphatic acyl group, an alkoxycarbonyl group having 2 to 7 carbon atoms, a saturated aliphatic acyloxy group having 2 to 7 carbon atoms, a monoalkylamino group having an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms, a dialkylamino group having an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms, A 1-yl group, a piperazin-1-yl group, a halogen atom, a nitro group, and a cyano group. When the phenyl group, naphthyl group and heterocyclyl group contained in R 4 , R 5 or R 6 further have a substituent, the number of the substituent is not limited as long as it does not impair the object of the present invention, but is preferably 1 to 4 Do. When the phenyl group, naphthyl group and heterocyclyl group contained in R 4 , R 5 or R 6 have plural substituents, plural substituents may be the same or different.

일반식 (1)에서의 R3은 수소 원자, 또는 탄소수 1~6의 알킬기이다. R3으로는 메틸기 또는 에틸기가 바람직하고, 메틸기가 보다 바람직하다.R 3 in the general formula (1) is a hydrogen atom or an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms. As R 3 , a methyl group or an ethyl group is preferable, and a methyl group is more preferable.

일반식 (1)로 나타내는 옥심 에스테르 화합물은 p가 0인 경우, 예를 들면, 하기 도식 1에 따라서 합성할 수 있다. 구체적으로는 하기 일반식 (1-1)로 나타내는 방향족 화합물을 하기 일반식 (1-2)로 나타내는 할로카르보닐 화합물을 이용하여 프리델크래프츠 반응(Friedel-Crafts reaction)에 의해 아실화하여 하기 일반식 (1-3)으로 나타내는 케톤 화합물을 얻고, 얻어진 케톤 화합물 (1-3)을 히드록실아민에 의해 옥심화해 하기 일반식 (1-4)로 나타내는 옥심 화합물을 얻고, 다음에 일반식 (1-4)의 옥심 화합물과 하기 일반식 (1-5)로 나타내는 산 무수물((R3CO)2O) 또는 하기 일반식 (1-6)으로 나타내는 산 할라이드(R3COHal, Hal는 할로겐.)를 반응시켜 하기 일반식 (1-7)로 나타내는 옥심 에스테르 화합물을 얻을 수 있다. 또한, 하기 일반식 (1-2)에 있어서, Hal는 할로겐이고, 하기 일반식 (1-1), (1-2), (1-3), (1-4) 및 (1-7)에 있어서, R1, R2, R3 및 m은 일반식 (1)과 동일하다.The oxime ester compound represented by the general formula (1) can be synthesized according to the following Scheme 1 when p is 0, for example. Specifically, an aromatic compound represented by the following general formula (1-1) is acylated by a Friedel-Crafts reaction using a halocarbonyl compound represented by the following general formula (1-2) To obtain a ketone compound represented by the formula (1-3), oxime the resulting ketone compound (1-3) with hydroxylamine to obtain an oxime compound represented by the general formula (1-4) -4) and an acid anhydride ((R 3 CO) 2 O) represented by the following general formula (1-5) or an acid halide (R 3 COHal, Hal represented by the general formula (1-6) ) Is reacted to obtain an oxime ester compound represented by the following general formula (1-7). Hal in the general formula (1-2) below is halogen, and the following general formulas (1-1), (1-2), (1-3), (1-4) , R 1 , R 2 , R 3 and m are the same as in the general formula (1).

<도식 1><Scheme 1>

Figure 112016077777286-pat00010
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일반식 (1)로 나타내는 옥심 에스테르 화합물은 p가 1인 경우, 예를 들면 하기 도식 2에 따라서 합성할 수 있다. 구체적으로는 하기 일반식 (2-1)로 나타내는 케톤 화합물에 염산의 존재하에 하기 일반식 (2-2)로 나타내는 아아세트산 에스테르(RONO, R는 탄소수 1~6의 알킬기.)를 반응시켜 하기 일반식 (2-3)으로 나타내는 케토옥심 화합물을 얻고, 다음에 하기 일반식 (2-3)으로 나타내는 케토옥심 화합물과 하기 일반식 (2-4)로 나타내는 산 무수물((R3CO)2O) 또는 하기 일반식 (2-5)로 나타내는 산 할라이드(R3COHal, Hal는 할로겐.)를 반응시켜 하기 일반식 (2-6)로 나타내는 옥심 에스테르 화합물을 얻을 수 있다. 또한, 하기 일반식 (2-1), (2-3), (2-4), (2-5) 및 (2-6)에 있어서, R1, R2, R3 및 m은 일반식 (1)과 동일하다.The oxime ester compound represented by the general formula (1) can be synthesized according to the following scheme 2 when p is 1, for example. Specifically, a ketone compound represented by the following general formula (2-1) is reacted with an acetic acid ester represented by the following general formula (2-2) (RONO, R is an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms) in the presence of hydrochloric acid to obtain The ketooxime compound represented by the following general formula (2-3) and the acid anhydride ((R 3 CO) 2 (2-2)) represented by the following general formula (2-4) O) or an acid halide (R 3 COHal, Hal is halogen) represented by the following general formula (2-5) can be reacted to obtain an oxime ester compound represented by the following general formula (2-6). R 1 , R 2 , R 3 and m in the general formulas (2-1), (2-3), (2-4), (2-5) (1).

<도식 2><Scheme 2>

Figure 112016077777286-pat00011
Figure 112016077777286-pat00011

또, 일반식 (1)로 나타내는 옥심 에스테르 화합물은 p가 1이며, R1이 메틸기로서, R1이 결합하는 벤젠환에 결합하는 메틸기에 대해서 R1이 파라 위치에 결합하는 경우, 예를 들면 하기 일반식 (2-7)로 나타내는 화합물을 도식 1과 동일한 방법으로 옥심화 및 아실화함으로써 합성할 수도 있다. 또한, 하기 일반식 (2-7)에 있어서, R2는 일반식 (1)과 동일하다.When the oxime ester compound represented by the general formula (1) is a compound wherein p is 1, R 1 is a methyl group, and R 1 is bonded to a para position with respect to a methyl group bonded to a benzene ring to which R 1 is bonded, The compound represented by the following general formula (2-7) can also be synthesized by oximation and acylation in the same manner as in Scheme 1. In the following general formula (2-7), R 2 is the same as in the general formula (1).

Figure 112016077777286-pat00012
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일반식 (1)로 나타내는 옥심 에스테르 화합물 중에서도 특히 바람직한 화합물로는 하기의 PI-1 ~ PI-42를 들 수 있다.Among the oxime ester compounds represented by the general formula (1), particularly preferred compounds are the following PI-1 to PI-42.

Figure 112016077777286-pat00013
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Figure 112016077777286-pat00014
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감광성 수지 조성물은 필요에 따라 일반식 (1)로 나타내는 옥심 에스테르 화합물 이외의 다른 광중합 개시제를 포함하고 있어도 된다. 다른 광중합 개시제의 구체적인 예로는 1-히드록시시클로헥실페닐케톤, 2-히드록시-2-메틸-1-페닐프로판-1-온, 1-[4-(2-히드록시에톡시)페닐]-2-히드록시-2-메틸-1-프로판-1-온, 1-(4-이소프로필페닐)-2-히드록시-2-메틸프로판-1-온, 1-(4-도데실페닐)-2-히드록시-2-메틸 프로판-1-온, 2,2-디메톡시-1,2-디페닐에탄-1-온, 비스(4-디메틸아미노페닐)케톤, 2-메틸-1-[4-(메틸티오)페닐]-2-모르폴리노프로판-1-온, 2-벤질-2-디메틸아미노-1-(4-모르폴리노페닐)-부탄-1-온, 에탄온, 1-[9-에틸-6-(2-메틸벤조일)-9H-카르바졸-3-일], 1-(o-아세틸옥심), 2,4,6-트리메틸벤조일디페닐포스핀옥시드, 4-벤조일-4'-메틸디메틸술피드, 4-디메틸아미노벤조산, 4-디메틸아미노벤조산메틸, 4-디메틸아미노벤조산에틸, 4-디메틸아미노벤조산부틸, 4-디메틸아미노-2-에틸헥실벤조산, 4-디메틸아미노-2-이소아밀벤조산, 벤질-β-메톡시에틸아세탈, 벤질디메틸케탈, 1-페닐-1,2-프로판디온-2-(o-에톡시카르보닐)옥심, o-벤조일벤조산메틸, 2,4-디에틸티옥산톤, 2-클로로티옥산톤, 2,4-디메틸티옥산톤, 1-클로로-4-프로폭시티옥산톤, 티옥산텐, 2-클로로티옥산텐, 2,4-디에틸티옥산텐, 2-메틸티옥산텐, 2-이소프로필티옥산텐, 2-에틸안트라퀴논, 옥타메틸안트라퀴논, 1,2-벤즈안트라퀴논, 2,3-디페닐안트라퀴논, 아조비스이소부티로니트릴, 벤조일퍼옥시드, 쿠멘퍼옥시드, 2-메르캅토벤조이미달, 2-메르캅토벤조옥사졸, 2-메르캅토벤조티아졸, 2-(o-클로로페닐)-4,5-디페닐이미다졸 2량체, 2-(o-클로로페닐)-4,5-디(메톡시페닐)이미다졸 2량체, 2-(o-플루오로페닐)-4,5-디페닐이미다졸2량체, 2-(o-메톡시페닐)-4,5-디페닐이미다졸 2량체, 2-(p-메톡시페닐)-4,5-디페닐이미다졸 2량체, 2,4,5-트리아릴이미다졸 2량체, 벤조페논, 2-클로로벤조페논, 4,4'-비스디메틸아미노벤조페논(즉, 미힐러케톤(Michler's ketone)), 4,4'-비스디에틸아미노벤조페논(즉, 에틸미힐러케톤), 4,4'-디클로로벤조페논, 3,3-디메틸-4-메톡시벤조페논, 벤질, 벤조인, 벤조인메틸에테르, 벤조인에틸에테르, 벤조인이소프로필에테르, 벤조인-n-부틸에테르, 벤조인이소부틸에테르, 벤조인부틸에테르, 아세토페논, 2,2-디에톡시아세토페논, p-디메틸아세토페논, p-디메틸아미노프로피오페논, 디클로로아세토페논, 트리클로로아세토페논, p-tert-부틸아세토페논, p-디메틸아미노아세토페논, p-tert-부틸트리클로로아세토페논, p-tert-부틸디클로로아세토페논, α,α-디클로로-4-페녹시아세트페논, 티옥산톤, 2-메틸티옥산톤, 2-이소프로필티옥산톤, 디벤조스베론, 펜틸-4-디메틸아미노벤조에이트, 9-페닐아크리딘, 1,7-비스-(9-아크리디닐)헵탄, 1,5-비스-(9-아크리디닐)펜탄, 1,3-비스-(9-아크리디닐)프로판, p-메톡시트리아진, 2,4,6-트리스(트리클로로메틸)-s-트리아진, 2-메틸-4,6-비스(트리클로로메틸)-s-트리아진, 2-[2-(5-메틸푸란-2-일)에테닐]-4,6-비스(트리클로로메틸)-s-트리아진, 2-[2-(푸란-2-일)에테닐]-4,6-비스(트리클로로메틸)-s-트리아진, 2-[2-(4-디에틸아미노-2-메틸페닐)에테닐]-4,6-비스(트리클로로메틸)-s-트리아진, 2-[2-(3,4-디메톡시페닐)에테닐]-4,6-비스(트리클로로메틸)-s-트리아진, 2-(4-메톡시페닐)-4,6-비스(트리클로로메틸)-s-트리아진, 2-(4-에톡시스티릴)-4,6-비스(트리클로로메틸)-s-트리아진, 2-(4-n-부톡시페닐)-4,6-비스(트리클로로메틸)-s-트리아진, 2,4-비스-트리클로로메틸-6-(3-브로모-4-메톡시)페닐-s-트리아진, 2,4-비스-트리클로로메틸-6-(2-브로모-4-메톡시)페닐-s-트리아진, 2,4-비스-트리클로로메틸-6-(3-브로모-4-메톡시)스티릴페닐-s-트리아진, 2,4-비스-트리클로로메틸-6-(2-브로모-4-메톡시)스티릴페닐-s-트리아진 등을 들 수 있다. 이들 중에서도, 옥심계의 광중합 개시제를 이용하는 것이 감도 면에서 특히 바람직하다. 이들 광중합 개시제는 단독 또는 2종 이상 조합해 이용할 수 있다.The photosensitive resin composition may contain, if necessary, a photopolymerization initiator other than the oxime ester compound represented by the general formula (1). Specific examples of the other photopolymerization initiator include 1-hydroxycyclohexyl phenyl ketone, 2-hydroxy-2-methyl-1-phenylpropan-1-one, 1- [4- (2-hydroxyethoxy) 2-methylpropan-1-one, 1- (4-isopropylphenyl) -2-hydroxy- 2-methylpropan-1-one, 2,2-dimethoxy-1,2-diphenylethan-1-one, bis (4-dimethylaminophenyl) 2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) -butan-1-one, ethanone, 1- (9-ethyl-6- (2-methylbenzoyl) -9H-carbazol-3-yl] Dimethylamino benzoic acid, methyl 4-dimethylaminobenzoate, ethyl 4-dimethylaminobenzoate, butyl 4-dimethylaminobenzoate, 4-dimethylamino-2-ethylhexylbenzoic acid, 4 - Dimethylamino-2-isoamyl Ben Benzyl-β-methoxyethyl acetal, benzyl dimethyl ketal, 1-phenyl-1,2-propanedione-2- (o-ethoxycarbonyl) oxime, methyl o-benzoylbenzoate, 2-chlorothioxanthone, 2,4-dimethylthioxanthone, 1-chloro-4-propoxyoxanthone, thioxanthene, 2-chlorothioxanthene, 2,4- But are not limited to, oxanethene, 2-methylthioxanthene, 2-isopropylthioxanthene, 2-ethyl anthraquinone, octamethylanthraquinone, 1,2-benzanthraquinone, 2,3-diphenylanthraquinone, azobisisobutyl 2-mercaptobenzooxazole, 2-mercaptobenzothiazole, 2- (o-chlorophenyl) -4,5-diphenylsulfone, 2- (O-chlorophenyl) -4,5-di (methoxyphenyl) imidazole dimer, 2- (o-fluorophenyl) -4,5-diphenylimidazole dimer , 2- (o-methoxyphenyl) -4,5-diphenylimidazole dimer, 2- (p-methoxyphenyl) -4,5-diphenylimidazole dimer, 2,4,5 - triaryl (I. E., Michler's ketone), 4,4'-bisdiethylaminobenzophenone (i.e., 4,4'-bisdiethylaminobenzophenone, Ethylhexyl ketone), 4,4'-dichlorobenzophenone, 3,3-dimethyl-4-methoxybenzophenone, benzyl, benzoin, benzoin methyl ether, benzoin ethyl ether, benzoin isopropyl ether, Benzoin isobutyl ether, benzoin butyl ether, acetophenone, 2,2-diethoxyacetophenone, p-dimethylacetophenone, p-dimethylaminopropiophenone, dichloroacetophenone, trichloro Acetophenone, p-tert-butyl acetophenone, p-dimethylaminoacetophenone, p-tert-butyltrichloroacetophenone, p-tert-butyldichloroacetophenone,?,? -Dichloro- Thioxanthone, 2-methylthioxanthone, 2-isopropylthioxanthone, dibenzosuberone, pentyl-4-dimethylaminobenzoate, 9- (9-acridinyl) pentane, 1,3-bis- (9-acridinyl) propane, p- (Trichloromethyl) -s-triazine, 2-methyl-4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2- [2- (Trichloromethyl) -s-triazine, 2- [2- (furan-2-yl) ethenyl] -4,6-bis 2-methylphenyl) ethenyl] -4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2- [2- (Trichloromethyl) -s-triazine, 2- (4-methoxyphenyl) -4,6-bis (trichloromethyl) - (trichloromethyl) -s-triazine, 2- (4-n-butoxyphenyl) -4,6-bis Trichloromethyl) -s-triazine, 2,4-bis-trichloromethyl-6- (3-bromo-4-methoxy) phenyl- 6- (2-bromo-4-methoxy) phenyl-s- 2,4-bis trichloromethyl-6- (3-bromo-4-methoxy) styrylphenyl-s-triazine, 2,4- Bromo-4-methoxy) styrylphenyl-s-triazine. Among them, it is particularly preferable to use a photopolymerization initiator of oxime type in terms of sensitivity. These photopolymerization initiators may be used alone or in combination of two or more.

감광성 수지 조성물이 일반식 (1)로 나타내는 옥심 에스테르 화합물 이외의 다른 광중합 개시제를 포함하는 경우, 다른 광중합성 화합물의 함유량은 본 발명의 목적을 저해하지 않는 범위에서 특별히 한정되지 않는다. 이 경우, 다른 광중합 개시제의 함유량은 전형적으로는 감광성 수지 조성물에 포함되는 광중합 개시제의 총량에 대해서 50질량% 이하가 바람직하고, 30질량% 이하가 보다 바람직하며, 10질량% 이하가 특히 바람직하다.When the photosensitive resin composition contains a photopolymerization initiator other than the oxime ester compound represented by the general formula (1), the content of the other photopolymerizable compound is not particularly limited within the range not hindering the object of the present invention. In this case, the content of the other photopolymerization initiator is typically 50 mass% or less, more preferably 30 mass% or less, and particularly preferably 10 mass% or less, based on the total amount of the photopolymerization initiator contained in the photosensitive resin composition.

(B) 성분인 광중합 개시제의 함유량은 감광성 수지 조성물의 고형분의 합계 100질량부에 대해서 0.1~50질량부인 것이 바람직하고, 1~45질량부인 것이 보다 바람직하다. 상기 범위 내로 함으로써, 충분한 내열성, 내약품성을 얻음과 함께, 도막 형성능을 향상시켜 광경화 불량을 억제할 수 있다.The content of the photopolymerization initiator as the component (B) is preferably from 0.1 to 50 parts by mass, more preferably from 1 to 45 parts by mass, based on 100 parts by mass of the total amount of the solid components of the photosensitive resin composition. Within the above range, sufficient heat resistance and chemical resistance can be obtained, and the coating film forming ability can be improved to suppress the photo-curing failure.

<(C) 착색제>&Lt; (C) Colorant &gt;

본 발명에 관한 감광성 수지 조성물은 추가로 (C) 착색제를 포함해도 된다. 감광성 수지 조성물은 (C) 성분인 착색제를 포함함으로써, 예를 들면 액정 표시 디스플레이의 컬러 필터 형성 용도로서 바람직하게 사용된다. 또, 본 발명에 관한 감광성 수지 조성물은 착색제로서 차광제를 포함함으로써, 예를 들면 표시 장치의 컬러 필터에서의 블랙 매트릭스 형성 용도로서 바람직하게 사용된다.The photosensitive resin composition according to the present invention may further contain (C) a colorant. The photosensitive resin composition is preferably used for forming a color filter of a liquid crystal display, for example, by including a colorant as the component (C). Further, the photosensitive resin composition according to the present invention is preferably used for forming a black matrix in a color filter of a display device, for example, by including a light-shielding agent as a coloring agent.

본 발명에 관한 감광성 수지 조성물에 함유되는 (C) 착색제로는 특별히 한정되지 않지만, 예를 들면, 컬러 인덱스(C.I.;The Society of Dyers and Colourists사 발행)에 있어서, 안료(Pigment)로 분류되고 있는 화합물, 구체적으로는 하기의 같은 컬러 인덱스(C.I.) 번호가 붙여져 있는 것을 이용하는 것이 바람직하다.The colorant (C) contained in the photosensitive resin composition according to the present invention is not particularly limited. For example, a color index (CI) (published by The Society of Dyers and Colourists) is classified into a pigment It is preferable to use a compound, specifically, one having a color index (CI) number given below.

바람직하게 사용할 수 있는 황색 안료의 예로는 C.I. 피그먼트 옐로우 1(이하, 「C.I. 피그먼트 옐로우」는 동일하여 번호만을 기재한다.), 3, 11, 12, 13, 14, 15, 16, 17, 20, 24, 31, 53, 55, 60, 61, 65, 71, 73, 74, 81, 83, 86, 93, 95, 97, 98, 99, 100, 101, 104, 106, 108, 109, 110, 113, 114, 116, 117, 119, 120, 125, 126, 127, 128, 129, 137, 138, 139, 147, 148, 150, 151, 152, 153, 154, 155, 156, 166, 167, 168, 175, 180 및 185를 들 수 있다.Examples of yellow pigments that can be preferably used include C.I. Pigment Yellow 1 (hereinafter referred to as &quot; CI Pigment Yellow &quot; is the same and only the numbers are described below), 3,11,12,13,14,15,16,17,20,24,31,35,55,60 , 61, 65, 71, 73, 74, 81, 83, 86, 93, 95, 97, 98, 99, 100, 101, 104, 106, 108, 109, , 120, 125, 126, 127, 128, 129, 137, 138, 139, 147, 148, 150, 151, 152, 153, 154, 155, 156, 166, 167, 168, .

바람직하게 사용할 수 있는 오렌지색 안료의 예로는 C.I. 피그먼트 오렌지 1(이하, 「C.I. 피그먼트 오렌지」는 동일하여 번호만을 기재한다.), 5, 13, 14, 16, 17, 24, 34, 36, 38, 40, 43, 46, 49, 51, 55, 59, 61, 63, 64, 71 및 73을 들 수 있다.Examples of orange pigments that can be preferably used include C.I. Pigment Orange 1 (hereinafter, &quot; CI Pigment Orange &quot; is the same and only the numbers are described), 5,13,14,16,17,24,34,36,38,40,43,46,49,51 , 55, 59, 61, 63, 64, 71, and 73, respectively.

바람직하게 사용할 수 있는 보라색 안료의 예로는 C.I. 피그먼트 바이올렛 1(이하, 「C.I. 피그먼트 바이올렛」은 동일하여 번호만을 기재한다.), 19, 23, 29, 30, 32, 36, 37, 38, 39, 40 및 50을 들 수 있다.Examples of purple pigments which can be preferably used include C.I. Pigment Violet 1 (hereinafter, "C.I. Pigment Violet" is the same and only the numbers are described below), 19, 23, 29, 30, 32, 36, 37, 38, 39, 40 and 50.

바람직하게 사용할 수 있는 적색 안료의 예로는 C.I. 피그먼트 레드 1(이하, 「C.I. 피그먼트 레드」는 동일하여 번호만을 기재한다.), 2, 3, 4, 5, 6, 7, 8, 9, 10, 11, 12, 14, 15, 16, 17, 18, 19, 21, 22, 23, 30, 31, 32, 37, 38, 40, 41, 42, 48:1, 48:2, 48:3, 48:4, 49:1, 49:2, 50:1, 52:1, 53:1, 57, 57:1, 57:2, 58:2, 58:4, 60:1, 63:1, 63:2, 64:1, 81:1, 83, 88, 90:1, 97, 101, 102, 104, 105, 106, 108, 112, 113, 114, 122, 123, 144, 146, 149, 150, 151, 155, 166, 168, 170, 171, 172, 174, 175, 176, 177, 178, 179, 180, 185, 187, 188, 190, 192, 193, 194, 202, 206, 207, 208, 209, 215, 216, 217, 220, 223, 224, 226, 227, 228, 240, 242, 243, 245, 254, 255, 264 및 265를 들 수 있다.Examples of red pigments which can be preferably used include C.I. 2, 3, 4, 5, 6, 7, 8, 9, 10, 11, 12, 14, 15, 16 (hereinafter, the same reference numerals are used for "CI Pigment Red" 48: 3, 48: 4, 49: 1, 49: 1, 48, : 2, 50: 1, 52: 1, 53: 1, 57, 57: 1, 57: 2, 58: 2, 58: 4, 60: 1, 63: : 1, 83, 88, 90: 1, 97, 101, 102, 104, 105, 106, 108, 112, 113, 114, 122, 123, 144, 146, 149, 150, 151, 155, 166, 168 171, 172, 174, 175, 176, 177, 178, 179, 180, 185, 187, 188, 190, 192, 193, 194, 202, 206, 207, 208, 209, 215, 216, 217 , 220, 223, 224, 226, 227, 228, 240, 242, 243, 245, 254, 255, 264 and 265.

바람직하게 사용할 수 있는 청색 안료의 예로는 C.I. 피그먼트 블루 1(이하, 「C.I. 피그먼트 블루」는 동일하여 번호만을 기재한다.), 2, 15, 15:3, 15:4, 15:6, 16, 22, 60, 64 및 66을 들 수 있다.Examples of blue pigments which can be preferably used include C.I. 15, 15: 3, 15: 6, 16, 22, 60, 64, and 66 (hereinafter, .

바람직하게 사용할 수 있는 상기의 다른 색상의 안료의 예로는 C.I. 피그먼트 그린 7, C.I. 피그먼트 그린 36, C.I. 피그먼트 그린 37 등의 녹색 안료, C.I. 피그먼트 브라운 23, C.I. 피그먼트 브라운 25, C.I. 피그먼트 브라운 26, C.I. 피그먼트 브라운 28 등의 갈색 안료, C.I. 피그먼트 블랙 1, C.I. 피그먼트 블랙 7 등의 흑색 안료를 들 수 있다.Examples of pigments of other colors which can be preferably used include C.I. Pigment Green 7, C.I. Pigment Green 36, C.I. Green pigments such as Pigment Green 37, C.I. Pigment Brown 23, C.I. Pigment Brown 25, C.I. Pigment Brown 26, C.I. Brown pigments such as Pigment Brown 28, C.I. Pigment Black 1, C.I. Pigment Black 7 and the like.

또, 착색제를 차광제로 하는 경우, 차광제로는 흑색 안료를 이용하는 것이 바람직하다. 흑색 안료로는 카본 블랙, 티탄 블랙, 구리, 철, 망간, 코발트, 크롬, 니켈, 아연, 칼슘, 은 등의 금속 산화물, 복합 산화물, 금속 황화물, 금속 황산염 또는 금속 탄산염 등, 유기물, 무기물을 불문하고 각종 안료를 들 수 있다. 이들 중에서도 높은 차광성을 가지는 카본 블랙을 이용하는 것이 바람직하다.When a colorant is used as the light shielding agent, it is preferable to use a black pigment as the light shielding agent. Examples of the black pigments include carbon black, titanium black, metal oxides such as copper, iron, manganese, cobalt, chromium, nickel, zinc, calcium and silver, complex oxides, metal sulfides, metal sulfates or metal carbonates, And various pigments. Among these, it is preferable to use carbon black having high light shielding properties.

카본 블랙으로는 채널 블랙, 퍼니스 블랙, 서멀 블랙, 램프 블랙 등의 공지의 카본 블랙을 이용할 수 있지만, 차광성이 뛰어난 채널 블랙을 이용하는 것이 바람직하다. 또, 수지 피복 카본 블랙을 사용해도 된다.As the carbon black, known carbon black such as channel black, furnace black, thermal black and lamp black can be used, but it is preferable to use channel black excellent in light shielding property. Resin-coated carbon black may also be used.

수지 피복 카본 블랙은 수지 피복이 없는 카본 블랙에 비해 도전성이 낮다는 점으로부터, 액정 표시 디스플레이와 같은 액정 표시 소자의 블랙 매트릭스로서 사용했을 경우에 전류의 리크가 적고, 신뢰성이 높은 저소비 전력의 디스플레이를 제조할 수 있다.Resin-coated carbon black has a lower electrical conductivity than carbon black without resin coating. Therefore, when the resin-coated carbon black is used as a black matrix of a liquid crystal display element such as a liquid crystal display, it is possible to provide a low- Can be manufactured.

또, 카본 블랙의 색조를 조정하기 위해서, 보조 안료로서 상기의 유기 안료를 적절히 첨가해도 된다.In order to adjust the color tone of the carbon black, the above organic pigment may be suitably added as an auxiliary pigment.

상기의 착색제를 감광성 수지 조성물에서 균일하게 분산시키기 위해서, 추가로 분산제를 사용해도 된다. 이와 같은 분산제로는 폴리에틸렌이민계, 우레탄 수지계, 아크릴 수지계의 고분자 분산제를 이용하는 것이 바람직하다. 특히, 착색제로서 카본 블랙을 이용하는 경우에는 분산제로서 아크릴 수지계의 분산제를 이용하는 것이 바람직하다.In order to uniformly disperse the colorant in the photosensitive resin composition, a dispersant may be further used. As such a dispersing agent, it is preferable to use a polymeric dispersant of a polyethylene imine type, a urethane resin type or an acrylic resin type. Particularly, when carbon black is used as the colorant, it is preferable to use an acrylic resin-based dispersant as the dispersant.

또, 무기 안료와 유기 안료는 각각 단독 또는 2종 이상 병용해도 되지만, 병용하는 경우에는 무기 안료와 유기 안료의 총량 100질량부에 대해서, 유기 안료를 10~80질량부의 범위에서 이용하는 것이 바람직하고, 20~40질량부의 범위에서 이용하는 것이 보다 바람직하다.The inorganic pigments and the organic pigments may be used alone or in combination of two or more. When used in combination, the organic pigments are preferably used in an amount of from 10 to 80 parts by mass per 100 parts by mass of the total amount of the inorganic pigments and the organic pigments, And more preferably in the range of 20 to 40 parts by mass.

감광성 수지 조성물에 있어서의 착색제의 사용량은 감광성 수지 조성물의 용도에 따라 적절히 결정하면 되지만, 일례로서 감광성 수지 조성물의 고형분의 합계 100질량부에 대해서, 5~70질량부가 바람직하고, 25~60질량부가 보다 바람직하다. 상기의 범위로 함으로써, 목적으로 하는 패턴으로 블랙 매트릭스나 각 착색층을 형성할 수 있어 바람직하다.The amount of the coloring agent to be used in the photosensitive resin composition may be appropriately determined depending on the use of the photosensitive resin composition. For example, the amount is preferably 5 to 70 parts by mass, more preferably 25 to 60 parts by mass relative to 100 parts by mass of the total amount of solid components of the photosensitive resin composition More preferable. By setting the thickness within the above range, a black matrix or each colored layer can be formed with a desired pattern, which is preferable.

특히, 감광성 수지 조성물을 사용해 블랙 매트릭스를 형성하는 경우에는 블랙 매트릭스의 피막 1㎛당 OD 값이 4 이상이 되도록 감광성 수지 조성물에 있어서의 차광제의 양을 조정하는 것이 바람직하다. 블랙 매트릭스에 있어서의 피막 1㎛당 OD 값이 4 이상이면, 액정 표시 디스플레이의 블랙 매트릭스에 이용했을 경우에 충분한 표시 콘트라스트를 얻을 수 있다.In particular, when forming a black matrix using a photosensitive resin composition, it is preferable to adjust the amount of the light-shielding agent in the photosensitive resin composition so that the OD value per 1 탆 coat of the black matrix is 4 or more. When the OD value per 1 m of the coating film in the black matrix is 4 or more, sufficient display contrast can be obtained when the black matrix is used for a black matrix of a liquid crystal display.

착색제는 분산제를 이용해 적당한 농도로 분산시킨 분산액으로 한 후, 감광성 수지 조성물에 첨가하는 것이 바람직하다.The colorant is preferably added to the photosensitive resin composition after preparing a dispersion in which the colorant is dispersed at a suitable concentration using a dispersant.

<그 밖의 성분>&Lt; Other components &gt;

본 발명에 관한 감광성 수지 조성물에는 필요에 따라서, 각종 첨가제를 가해도 된다. 구체적으로는 용제, 증감제, 경화촉진제, 광가교제, 광증감제, 분산조제, 충전제, 밀착 촉진제, 산화 방지제, 자외선 흡수제, 응집 방지제, 열중합 금지제, 소포제, 계면활성제 등이 예시된다.Various additives may be added to the photosensitive resin composition according to the present invention as necessary. Specifically, examples thereof include a solvent, a sensitizer, a curing accelerator, a photo-crosslinking agent, a photosensitizer, a dispersing aid, a filler, an adhesion promoter, an antioxidant, an ultraviolet absorber, an aggregation inhibitor, a thermal polymerization inhibitor, a defoaming agent and a surfactant.

본 발명에 관한 감광성 수지 조성물에 사용되는 용제로는 예를 들면, 에틸렌글리콜 모노메틸에테르, 에틸렌글리콜 모노에틸에테르, 에틸렌글리콜-n-프로필에테르, 에틸렌글리콜 모노-n-부틸에테르, 디에틸렌글리콜 모노메틸에테르, 디에틸렌글리콜 모노에틸에테르, 디에틸렌글리콜 모노-n-프로필에테르, 디에틸렌글리콜 모노-n-부틸에테르, 트리에틸렌글리콜 모노메틸에테르, 트리에틸렌글리콜 모노에틸에테르, 프로필렌글리콜 모노메틸에테르, 프로필렌글리콜 모노에틸에테르, 프로필렌글리콜 모노-n-프로필에테르, 프로필렌글리콜 모노-n-부틸에테르, 디프로필렌글리콜 모노메틸에테르, 디프로필렌글리콜 모노에틸에테르, 디프로필렌글리콜 모노-n-프로필에테르, 디프로필렌글리콜 모노-n-부틸에테르, 트리프로필렌글리콜 모노메틸에테르, 트리프로필렌글리콜 모노에틸에테르 등의 (폴리)알킬렌글리콜 모노알킬에테르류;에틸렌글리콜 모노메틸에테르아세테이트, 에틸렌글리콜 모노에틸에테르아세테이트, 디에틸렌글리콜 모노메틸에테르아세테이트, 디에틸렌글리콜 모노에틸에테르아세테이트, 프로필렌글리콜 모노메틸에테르아세테이트, 프로필렌글리콜 모노에틸에테르아세테이트 등의 (폴리)알킬렌글리콜 모노알킬에테르아세테이트류;디에틸렌글리콜 디메틸에테르, 디에틸렌글리콜 메틸에틸에테르, 디에틸렌글리콜 디에틸에테르, 테트라히드로푸란 등의 다른 에테르류;메틸에틸케톤, 시클로헥산온, 2-헵탄온, 3-헵탄온 등의 케톤류;2-히드록시프로피온산 메틸, 2-히드록시프로피온산 에틸 등의 젖산 알킬에스테르류;2-히드록시-2-메틸프로피온산 에틸, 3-메톡시프로피온산 메틸, 3-메톡시프로피온산 에틸, 3-에톡시프로피온산 메틸, 3-에톡시프로피온산 에틸, 에톡시아세트산 에틸, 히드록시아세트산 에틸, 2-히드록시-3-메틸부탄산 메틸, 3-메틸-3-메톡시부틸아세테이트, 3-메틸-3-메톡시부틸프로피오네이트, 아세트산 에틸, 아세트산 n-프로필, 아세트산 이소프로필, 아세트산 n-부틸, 아세트산 이소부틸, 포름산 n-펜틸, 아세트산 이소펜틸, 프로피온산 n-부틸, 부티르산 에틸, 부티르산 n-프로필, 부티르산 이소프로필, 부티르산 n-부틸, 피루브산 메틸, 피루브산 에틸, 피루브산 n-프로필, 아세토아세트산 메틸, 아세토아세트산 에틸, 2-옥소부탄산 에틸 등의 다른 에스테르류;톨루엔, 크실렌 등의 방향족 탄화수소류;N-메틸피롤리돈, N,N-디메틸포름아미드, N,N-디메틸아세트아미드 등의 아미드류 등을 들 수 있다. 이들 용제는 단독으로 이용해도 되고, 2종 이상을 조합해 이용해도 된다.Examples of the solvent used in the photosensitive resin composition according to the present invention include ethylene glycol monomethyl ether, ethylene glycol monoethyl ether, ethylene glycol-n-propyl ether, ethylene glycol mono-n-butyl ether, diethylene glycol mono Methyl ethyl ether, diethylene glycol mono-n-propyl ether, diethylene glycol mono-n-butyl ether, triethylene glycol monomethyl ether, triethylene glycol monoethyl ether, propylene glycol monomethyl ether, Propylene glycol mono-n-propyl ether, propylene glycol mono-n-butyl ether, dipropylene glycol monomethyl ether, dipropylene glycol monoethyl ether, dipropylene glycol mono-n-propyl ether, dipropylene Glycol mono-n-butyl ether, tripropylene glycol monomethyl ether, (Poly) alkylene glycol monoalkyl ethers such as ethylene glycol monomethyl ether acetate, ethylene glycol monoethyl ether acetate, diethylene glycol monomethyl ether acetate, diethylene glycol monoethyl ether acetate, propylene glycol (Poly) alkylene glycol monoalkyl ether acetates such as monomethyl ether acetate and propylene glycol monoethyl ether acetate; and (meth) acrylic acid esters such as diethylene glycol dimethyl ether, diethylene glycol methyl ethyl ether, diethylene glycol diethyl ether and tetrahydrofuran Other ethers include ketones such as methyl ethyl ketone, cyclohexanone, 2-heptanone and 3-heptanone, alkyl lactates such as methyl 2-hydroxypropionate and ethyl 2-hydroxypropionate, Ethyl 2-methylpropionate, methyl 3-methoxypropionate, 3-methoxy Methyl propionate, methyl 3-ethoxypropionate, ethyl 3-ethoxypropionate, ethyl ethoxyacetate, ethyl hydroxyacetate, methyl 2-hydroxy-3-methylbutanoate, 3-methoxybutyl propionate, ethyl acetate, n-propyl acetate, isopropyl acetate, n-butyl acetate, isobutyl acetate, n-pentyl formate, isopentyl acetate, n-butyl propionate, ethyl butyrate Other esters such as ethyl acetate, n-butyl acetate, isopropyl n-butyl acetate, isopropyl n-butyl acetate, isopropyl n-butyl acetate, n-butyl butyrate, methyl pyruvate, ethyl pyruvate, n-propyl pyruvate, methyl acetoacetate, ethyl acetoacetate, Aromatic amines such as N-methylpyrrolidone, N, N-dimethylformamide and N, N-dimethylacetamide. These solvents may be used alone or in combination of two or more.

상기 용제 중에서도, 프로필렌글리콜 모노메틸에테르, 에틸렌글리콜 모노메틸에테르아세테이트, 프로필렌글리콜 모노메틸에테르아세테이트, 프로필렌글리콜 모노에틸에테르아세테이트, 디에틸렌글리콜 디메틸에테르, 디에틸렌글리콜 메틸에틸에테르, 시클로헥산온, 3-메톡시부틸아세테이트는 상술한 (A) 성분 및 (B) 성분에 대해서 뛰어난 용해성을 나타냄과 함께, 상술한 (C) 성분의 분산성을 양호하게 할 수 있기 때문에 바람직하고, 프로필렌글리콜 모노메틸에테르아세테이트, 3-메톡시부틸아세테이트를 이용하는 것이 특히 바람직하다. 용제는 감광성 수지 조성물의 용도에 따라 적절히 결정하면 되지만, 일례로서 감광성 수지 조성물의 고형분의 합계 100질량부에 대해서, 50~900질량부 정도를 들 수 있다.Among these solvents, propylene glycol monomethyl ether, ethylene glycol monomethyl ether acetate, propylene glycol monomethyl ether acetate, propylene glycol monoethyl ether acetate, diethylene glycol dimethyl ether, diethylene glycol methyl ethyl ether, cyclohexanone, 3- Methoxybutyl acetate is preferred because it exhibits excellent solubility in the above-mentioned components (A) and (B), and in that the dispersibility of the aforementioned component (C) can be improved. Propylene glycol monomethyl ether acetate , 3-methoxybutyl acetate is particularly preferred. The solvent may be appropriately determined depending on the use of the photosensitive resin composition, and for example, about 50 to 900 parts by mass relative to 100 parts by mass of the total solid content of the photosensitive resin composition.

본 발명에 관한 감광성 수지 조성물에 사용되는 열중합 금지제로는 예를 들면, 히드로퀴논, 히드로퀴논 모노에틸에테르 등을 들 수 있다. 또, 소포제로는 실리콘계, 불소계 등의 화합물을, 계면활성제로는 음이온계, 양이온계, 비이온 등의 화합물을 각각 예시할 수 있다.Examples of the thermal polymerization inhibitor used in the photosensitive resin composition according to the present invention include hydroquinone, hydroquinone monoethyl ether, and the like. Examples of the antifoaming agent include silicon compounds and fluorine compounds, and surfactants include anionic compounds, cationic compounds, and nonionic compounds.

[감광성 수지 조성물의 조제 방법][Method for preparing photosensitive resin composition]

본 발명에 관한 감광성 수지 조성물은 상기의 각 성분을 모두 교반기로 혼합함으로써 조제된다. 또한, 조제된 감광성 수지 조성물이 균일한 것이 되도록 필터를 이용해 여과해도 된다.The photosensitive resin composition according to the present invention is prepared by mixing all of the above components with a stirrer. Further, it may be filtered using a filter so that the prepared photosensitive resin composition becomes uniform.

[패턴 형성 방법][Pattern formation method]

본 발명의 감광성 수지 조성물을 이용해 패턴을 형성하려면, 우선 롤 코터, 리버스 코터, 바 코터 등의 접촉 전사형 도포 장치나 스피너(회전식 도포 장치), 커텐플로우 코터 등의 비접촉형 도포 장치를 이용하여 기판 상에 감광성 수지 조성물을 도포한다.To form a pattern using the photosensitive resin composition of the present invention, a non-contact type coating device such as a roll coater, a reverse coater, a bar coater, or a contact transfer type coating device or a spinner (rotary coating device) The photosensitive resin composition is applied.

다음에, 도포된 감광성 수지 조성물을 건조시켜 도막을 형성시킨다. 건조 방법은 특별히 한정되지 않고, 예를 들면, (1) 핫 플레이트에서 80~120℃, 바람직하게는 90~100℃의 온도에서 60~120초간 건조시키는 방법, (2) 실온에서 수시간~수일간 방치하는 방법, (3) 온풍 히터나 적외선 히터 중에 수십분간~수시간 넣어 용제를 제거하는 방법 등을 들 수 있다.Next, the applied photosensitive resin composition is dried to form a coating film. The drying method is not particularly limited and includes, for example, (1) a method of drying on a hot plate at a temperature of 80 to 120 ° C, preferably 90 to 100 ° C for 60 to 120 seconds, (2) (3) a method of removing the solvent by putting it in a warm air heater or an infrared heater for several minutes to several hours, and the like.

다음에, 이 도막에 네가티브형의 마스크를 통하여, 자외선, 엑시머 레이저광 등의 활성 에너지선을 조사해 부분적으로 노광한다. 조사하는 에너지선 양은 감광성 수지 조성물의 조성에 따라서도 상이하지만, 예를 들면 30~2000mJ/㎠ 정도가 바람직하다. 이미 설명한 것처럼, 본 발명에 관한 감광성 수지 조성물을 이용하면, 감도가 뛰어나기 때문에 액정 표시 디스플레이 패널의 생산성을 향상시킬 수 있다.Next, the coating film is partially exposed by irradiating active energy rays such as ultraviolet rays and excimer laser rays through a negative type mask. The amount of energy ray to be irradiated varies depending on the composition of the photosensitive resin composition, but is preferably about 30 to 2000 mJ / cm 2, for example. As described above, when the photosensitive resin composition according to the present invention is used, the productivity of the liquid crystal display panel can be improved because the sensitivity is excellent.

다음에, 노광 후의 막을 현상액에 의해 현상함으로써 원하는 형상으로 패터닝한다. 현상 방법은 특별히 한정되지 않고, 예를 들면, 침지법, 스프레이법 등을 이용할 수 있다. 현상액으로는 모노에탄올아민, 디에탄올아민, 트리에탄올아민 등의 유기계의 것이나, 수산화 나트륨, 수산화 칼륨, 탄산 나트륨, 암모니아, 4급 암모늄염 등의 수용액을 들 수 있다.Next, the exposed film is developed with a developing solution to be patterned into a desired shape. The developing method is not particularly limited, and for example, a dipping method, a spraying method, or the like can be used. Examples of the developing solution include organic ones such as monoethanolamine, diethanolamine and triethanolamine, and aqueous solutions such as sodium hydroxide, potassium hydroxide, sodium carbonate, ammonia and quaternary ammonium salts.

다음에, 현상 후의 패턴에 대해서 200~250℃ 정도에서 포스트베이크를 실시하는 것이 바람직하다.Next, post-baking is preferably performed at about 200 to 250 DEG C with respect to the pattern after development.

이와 같이 하여 형성된 패턴은 예를 들면, 액정 표시 디스플레이 등과 같은 표시 장치에서의 컬러 필터의 화소나 블랙 매트릭스로서 매우 적합하게 이용할 수 있다. 이와 같은 컬러 필터나, 상기 컬러 필터가 사용된 표시 장치도 본 발명 중 하나이다.The pattern thus formed can be suitably used, for example, as a pixel or a black matrix of a color filter in a display device such as a liquid crystal display or the like. Such a color filter or a display device using the color filter is also one of the present invention.

실시예Example

이하, 실시예를 나타내어 본 발명을 더욱 구체적으로 설명하지만, 본 발명의 범위는 이들 실시예로 한정되는 것은 아니다.Hereinafter, the present invention will be described in more detail with reference to examples, but the scope of the present invention is not limited to these examples.

감광성 수지 조성물에 관한 실시예 및 비교예에서는 이하의 PI-A ~ PI-O의 화합물을 광중합 개시제로서 이용했다.In the Examples and Comparative Examples relating to the photosensitive resin composition, the following PI-A to PI-O compounds were used as a photopolymerization initiator.

Figure 112016077777286-pat00019
Figure 112016077777286-pat00019

Figure 112016077777286-pat00020
Figure 112016077777286-pat00020

[광중합 개시제(옥심 에스테르 화합물)의 합성][Synthesis of photopolymerization initiator (oxime ester compound)] [

이하, PI-A ~ PI-H의 합성에 대해서, 합성예 1 ~ 합성예 8에 의해 설명한다.Hereinafter, the synthesis of PI-A to PI-H will be described with reference to Synthesis Examples 1 to 8.

[[ 합성예Synthetic example 1] One]

2-(2,5-디메틸페닐)-1-[4-(페닐설파닐)페닐]에탄-1,2-디온 8.00g(23.12mmol)와 히드록실아민 염산염 2.93g(42.16mmol)와 트리에틸아민 4.15g(41.01mmol)을 에탄올 64.00g에 혼합하고 75℃~80℃에서 3시간 반응시켰다. 반응액을 증발시키고, 아세트산 에틸을 가하고 포화 식염수로 세정, 무수 황산 마그네슘으로 건조 후, 증발시켜 2-(2,5-디메틸페닐) 2-(N-히드록시이미노)-1-[4-(페닐설파닐)페닐]에탄-1-온 8.35g을 얻었다. 얻어진 2-(2,5-디메틸페닐)-2-(N-히드록시이미노)-1-[4-(페닐설파닐)페닐]에탄-1-온 8.35g을 아세트산 중에서 무수 아세트산 13.33g(130.57mmol)에 의해 아세틸화해 PI-A의 구조의 옥심 에스테르 화합물 6.30g을 얻었다. 얻어진 PI-A의 구조의 옥심 에스테르 화합물의 H-NMR의 측정 결과는 이하와 같았다.(23.12 mmol) of 2- (2,5-dimethylphenyl) -1- [4- (phenylsulfanyl) phenyl] ethane- 1,2-dione, 2.93 g (42.16 mmol) of hydroxylamine hydrochloride, (41.01 mmol) of the amine were mixed with 64.00 g of ethanol and reacted at 75 DEG C to 80 DEG C for 3 hours. The reaction solution was evaporated, ethyl acetate was added, the mixture was washed with brine, dried over anhydrous magnesium sulfate and evaporated to obtain 2- (2,5-dimethylphenyl) 2- (N-hydroxyimino) -1- [4- Phenylsulfanyl) phenyl] ethan-1-one. 8.35 g of the resulting 2- (2,5-dimethylphenyl) -2- (N-hydroxyimino) -1- [4- (phenylsulfanyl) phenyl] ethan- mmol) to obtain 6.30 g of an oxime ester compound having the structure of PI-A. The measurement results of 1 H-NMR of the oxime ester compound having the structure of the obtained PI-A were as follows.

1H-NMR(600MHz, CDCl3) δ:8.14(d, J=9.0Hz, 3H), 7.58-7.55(m, 2H), 7.46-7.42(m, 3H), 7.26(d, J=6.6Hz, 2H), 7.19-7.15(m, 2H), 7.03(s, 1H), 2.34(s, 3H), 2.27(s, 3H), 2.12(s, 3H) 1 H-NMR (600MHz, CDCl 3) δ: 8.14 (d, J = 9.0Hz, 3H), 7.58-7.55 (m, 2H), 7.46-7.42 (m, 3H), 7.26 (d, J = 6.6Hz 2H), 7.19-7.15 (m, 2H), 7.03 (s, IH), 2.34 (s, 3H)

[[ 합성예Synthetic example 2] 2]

2-(2,5-디메틸페닐)-1-[4-(페닐설파닐)페닐]에탄-1,2-디온 8.00g을 2-(2,5-디메틸페닐)-1-[4-(4-니트로페닐설파닐)페닐]에탄-1,2-디온 10.01g으로 바꾸는 것 이외에는 합성예 1과 동일하게 하여 PI-B의 구조의 옥심 에스테르 화합물 5.40g을 얻었다.8.00 g of 2- (2,5-dimethylphenyl) -1- [4- (phenylsulfanyl) phenyl] ethane- Nitrophenylsulfanyl) phenyl] ethane-1,2-dione was changed to 10.01 g in the same manner as in Synthesis Example 1. 5.40 g of an oxime ester compound having a PI-B structure was obtained.

[[ 합성예Synthetic example 3] 3]

2-(2,5-디메틸페닐)-1-[4-(페닐설파닐)페닐]에탄-1,2-디온 8.00g을 2-(2,5-디메틸페닐)-1-[4-(4-벤조일페닐설파닐)페닐]에탄-1,2-디온 9.85g으로 바꾸는 것 이외에는 합성예 1과 동일하게 하여 PI-C의 구조의 옥심 에스테르 화합물 7.19g을 얻었다.8.00 g of 2- (2,5-dimethylphenyl) -1- [4- (phenylsulfanyl) phenyl] ethane- Benzoylphenylsulfanyl) phenyl] ethane-1,2-dione was changed to 9.85 g in the same manner as in Synthesis Example 1, 7.19 g of an oxime ester compound having a PI-C structure was obtained.

[[ 합성예Synthetic example 4] 4]

2-(2,5-디메틸페닐)-1-[4-(페닐설파닐)페닐]에탄-1,2-디온 8.00g을 2-(2,5-디메틸페닐)-1-[4-(4-β-나프토일페닐설파닐)페닐]에탄-1,2-디온 11.0g으로 바꾸는 것 이외에는 합성예 1과 동일하게 하여 PI-D의 구조의 옥심 에스테르 화합물 6.11g을 얻었다.8.00 g of 2- (2,5-dimethylphenyl) -1- [4- (phenylsulfanyl) phenyl] ethane- 4-β-naphthoylphenylsulfanyl) phenyl] ethane-1,2-dione was changed to 11.0 g, to obtain 6.11 g of oxime ester compound having the structure of PI-D.

[[ 합성예Synthetic example 5] 5]

2-(2,5-디메틸페닐)-1-[4-(페닐설파닐)페닐]에탄-1,2-디온 8.00g을 2-(2,5-디메틸페닐)-1-[4-({4-[2-메틸벤조일]페닐}설파닐)페닐]에탄-1,2-디온 10.17g으로 바꾸는 것 이외에는 합성예 1과 동일하게 하여 PI-E의 구조의 옥심 에스테르 화합물 6.56g을 얻었다.8.00 g of 2- (2,5-dimethylphenyl) -1- [4- (phenylsulfanyl) phenyl] ethane- 6.56 g of an oxime ester compound having the structure of PI-E was obtained in the same manner as in Synthesis Example 1, except that 10.17 g of {4- [2-methylbenzoyl] phenyl} sulfanyl) phenyl] ethane-1,2-dione was used.

[[ 합성예Synthetic example 6] 6]

2-(2,5-디메틸페닐)-1-[4-(페닐설파닐)페닐]에탄-1,2-디온 8.00g을 2-(2,5-디메틸페닐)-1-[4-({4-[4-모르폴린-1-일-벤조일]페닐}설파닐)페닐]에탄-1,2-디온 11.49g으로 바꾸는 것 이외에는 합성예 1과 동일하게 하여 PI-F의 구조의 옥심 에스테르 화합물 4.78g을 얻었다.8.00 g of 2- (2,5-dimethylphenyl) -1- [4- (phenylsulfanyl) phenyl] ethane- The oxime ester of the structure of PI-F was synthesized in the same manner as in Synthesis Example 1, except that 11.49 g of {4- [4-morpholin-1-yl-benzoyl] phenyl} sulfanyl) phenyl] ethane- 4.78 g of a compound was obtained.

[[ 합성예Synthetic example 7] 7]

2-(2,5-디메틸페닐)-1-[4-(페닐설파닐)페닐]에탄-1,2-디온 8.00g을 2-(2,5-디메틸페닐)-1-[4-({4-[4-페닐벤조일]페닐}설파닐)페닐]에탄-1,2-디온 11.60g으로 바꾸는 것 이외에는 합성예 1과 동일하게 하여 PI-G의 구조의 옥심 에스테르 화합물 9.11g을 얻었다.8.00 g of 2- (2,5-dimethylphenyl) -1- [4- (phenylsulfanyl) phenyl] ethane- 9.11 g of an oxime ester compound having the structure of PI-G was obtained in the same manner as in Synthesis Example 1 except that the amount of the compound was changed to 11.60 g of {4- [4-phenylbenzoyl] phenyl} sulfanyl) phenyl] ethane-1,2-dione.

[[ 합성예Synthetic example 8] 8]

2-(2,5-디메틸페닐)-1-[4-(페닐설파닐)페닐]에탄-1,2-디온 8.00g을 2-(2-메틸페닐)-1-[4-(페닐설파닐)페닐]에탄-1,2-디온 7.68g으로 바꾸는 것 이외에는 합성예 1과 동일하게 하여 PI-H의 구조의 옥심 에스테르 화합물 6.25g을 얻었다.8.00 g of 2- (2,5-dimethylphenyl) -1- [4- (phenylsulfanyl) phenyl] ethane- ) Phenyl] ethane-1,2-dione was changed to 7.68 g in the same manner as in Synthesis Example 1. 6.25 g of an oxime ester compound having a PI-H structure was obtained.

[[ 실시예Example 1~13, 및  1 to 13, and 비교예Comparative Example 1~13] 1 to 13]

표 1에 기재된 광중합 개시제 20질량부, 수지 A(고형분 55질량%, 용제:3-메톡시부틸아세테이트) 30질량부, 디펜타에리트리톨 헥사아크릴레이트(일본 화약 주식회사제) 30질량부 및 표 1에 기재된 안료를 포함하는 표 1에 기재된 양의 안료액(도쿄오카고교 주식회사제. 각 안료액의 고형분 함유량은 23질량%이고, 안료의 함유량은 15질량%이다.) 100질량부와 3-메톡시부틸아세테이트(60질량%)와 프로필렌글리콜 모노메틸아세테이트(40질량%)로 이루어진 혼합 용매를 혼합한 후, 구멍 지름 5㎛의 멤브레인 필터에 의해 여과하여 감광성 수지 조성물을 조제했다. 또한, 광중합 개시제 PI-A ~ PI-N의 흡광 계수는 모두 동등했다. 또, 혼합 용매의 양을 조정하여 감광성 수지 조성물 중의 고형분 농도를 15질량%로 조정했다.20 parts by mass of the photopolymerization initiator shown in Table 1, 30 parts by mass of Resin A (solid content: 55% by mass, solvent: 3-methoxybutyl acetate), 30 parts by mass of dipentaerythritol hexaacrylate (manufactured by Nippon Kayaku Co., , 100 parts by mass of a pigment liquid of the amount shown in Table 1 (manufactured by Tokyo Ohka Kogyo Co., Ltd., each solid content of 23% by mass and pigment content of 15% by mass) (60% by mass) and propylene glycol monomethyl acetate (40% by mass) were mixed and then filtered through a membrane filter having a pore diameter of 5 占 퐉 to prepare a photosensitive resin composition. In addition, the extinction coefficients of the photopolymerization initiators PI-A to PI-N were all equal. The solid content concentration in the photosensitive resin composition was adjusted to 15 mass% by adjusting the amount of the mixed solvent.

감광성 수지 조성물의 조제에서 사용한 수지 A는 이하의 처방에 따라서 합성한 것을 이용했다.The resin A used in the preparation of the photosensitive resin composition was prepared in accordance with the following prescription.

우선, 500㎖ 4구 플라스크 중에 비스페놀 플루오렌형 에폭시 수지(에폭시 당량 235) 235g, 테트라메틸암모늄 클로라이드 110㎎, 2,6-디-tert-부틸-4-메틸페놀 100㎎ 및 아크릴산 72.0g을 넣고, 이것에 25㎖/분의 속도로 공기를 불어 넣으면서 90~100℃에서 가열 용해했다. 다음에, 용액이 백탁한 상태인 채로 서서히 승온시켜 120℃로 가열해 완전 용해시켰다. 이때, 용액은 점차 투명 점조가 되었지만, 그대로 교반을 계속했다. 그 동안 산가를 측정해 1.0mgKOH/g 미만이 될 때까지 가열 교반을 계속했다. 산가가 목표치에 이를 때까지 12시간을 필요로 했다. 그리고 실온까지 냉각하여 무색 투명하고 고체상인 하기 구조식 (a4)로 나타내는 비스페놀 플루오렌형 에폭시아크릴레이트를 얻었다. 235 g of bisphenol fluorene type epoxy resin (epoxy equivalent 235), 110 mg of tetramethylammonium chloride, 100 mg of 2,6-di-tert-butyl-4-methylphenol and 72.0 g of acrylic acid were placed in a 500 ml four- , And the mixture was heated and dissolved at 90 to 100 ° C while blowing air at a rate of 25 ml / min. Then, the temperature of the solution was gradually elevated while the solution was cloudy, and the solution was heated to 120 DEG C to be completely dissolved. At this time, the solution gradually became a transparent point group, but stirring was continued. During this time, the acid value was measured and the heating and stirring were continued until the concentration was less than 1.0 mg KOH / g. It took 12 hours to reach the target price. The mixture was then cooled to room temperature to obtain a bisphenol fluorene-type epoxy acrylate represented by the following structural formula (a4) which was colorless transparent and solid.

Figure 112016077777286-pat00021
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다음에, 이와 같이 하여 얻어진 상기의 비스페놀 플루오렌형 에폭시아크릴레이트 307.0g에 3-메톡시부틸아세테이트 600g을 가해 용해한 후, 벤조페논테트라카르복시산 2무수물 80.5g 및 브롬화 테트라에틸암모늄 1g을 혼합하고 서서히 승온하여 110~115℃에서 4시간 반응시켰다. 산 무수물기의 소실을 확인한 후, 1,2,3,6-테트라히드로 무수 프탈산 38.0g을 혼합하고 90℃에서 6시간 반응시켜 수지 A를 얻었다. 산 무수물기의 소실은 IR 스펙트럼에 의해 확인했다. 이 수지 A는 전술한 일반식 (a1)로 나타내는 화합물에 상당한다.Subsequently, 600 g of 3-methoxybutyl acetate was added to 307.0 g of the bisphenol fluorene epoxy acrylate thus obtained, and then 80.5 g of benzophenonetetracarboxylic dianhydride and 1 g of tetraethylammonium bromide were mixed and slowly heated And reacted at 110 to 115 ° C for 4 hours. After confirming disappearance of the acid anhydride group, 38.0 g of 1,2,3,6-tetrahydrophthalic anhydride was mixed and reacted at 90 ° C for 6 hours to obtain a resin A. The disappearance of the acid anhydride group was confirmed by IR spectrum. This resin A corresponds to the compound represented by the aforementioned general formula (a1).

또한, 실시예 1~13 및 비교예 1~13에서는 착색제로서 이하의 안료를 이용했다.In Examples 1 to 13 and Comparative Examples 1 to 13, the following pigments were used as colorants.

R177:C.I. 피그먼트 레드 177 R177: C.I. Pigment Red 177

R242:C.I. 피그먼트 레드 242 R242: C.I. Pigment Red 242

G36:C.I. 피그먼트 그린 36 G36: C.I. Pigment Green 36

B156:C.I. 피그먼트 블루 156 B156: C.I. Pigment Blue 156

Y150:C.I. 피그먼트 옐로우 150 Y150: C.I. Pigment Yellow 150

V23:C.I. 피그먼트 바이올렛 23 V23: C.I. Pigment Violet 23

실시예 1~13 및 비교예 1~13의 감광성 수지 조성물에 대해서, 이하의 방법에 따라서 감도 평가, 포스트베이크에 의한 착색 평가, 콘트라스트 비의 평가 및 현상 택트의 평가를 실시했다. 각 감광성 수지 조성물의 평가 결과를 표 1에 적는다.Photosensitive resin compositions of Examples 1 to 13 and Comparative Examples 1 to 13 were subjected to sensitivity evaluation, post-baking color evaluation, contrast ratio evaluation, and development tact evaluation according to the following methods. Table 1 shows the evaluation results of the respective photosensitive resin compositions.

[감도 평가][Sensitivity evaluation]

실시예 1~13 및 비교예 1~13의 감광성 수지 조성물 각각에 대해서, 이하의 순서로 감도 평가를 실시했다.Sensitivities of the photosensitive resin compositions of Examples 1 to 13 and Comparative Examples 1 to 13 were evaluated in the following procedure.

우선, 감광성 수지 조성물을 유리 기판(10㎝×10㎝)에 스핀 도포하고 90℃에서 120초간 가열함으로써, 유리 기판의 표면에 1.0㎛의 도포막을 형성시켰다. 그 후, 미러 프로젝션 얼라이너(제품명:TME-150RTO, 주식회사 탑콘제)를 사용해 노광량 90, 100, 120, 200, 300 또는 1000mJ/㎠(Gap 200㎛)로 도막을 노광했다. 노광 후의 막을 26℃의 0.04질량% KOH 수용액으로 30~50초간 현상 후, 각 노광량에서의 패터닝부의 치수를 광학 현미경으로 측정하고, 소정의 패턴 치수가 얻어지는 노광량을 측정해 이 값을 감도(mJ/㎠)로 했다. 각 감광성 수지 조성물의 감도(노광량)의 값을 표 1에 적는다.First, the photosensitive resin composition was spin-coated on a glass substrate (10 cm x 10 cm) and heated at 90 占 폚 for 120 seconds to form a 1.0 占 퐉 coating film on the surface of the glass substrate. Thereafter, the coating film was exposed at an exposure amount of 90, 100, 120, 200, 300, or 1000 mJ / cm 2 (Gap 200 μm) using a mirror projection aligner (product name: TME-150RTO, Topcon Co., Ltd.). The exposed film was developed with a 0.04 mass% KOH aqueous solution of 26 占 폚 for 30 to 50 seconds, and then the dimensions of the patterning portion at each exposure amount were measured with an optical microscope, and the exposure amount at which a predetermined pattern size was obtained was measured. Cm &lt; 2 &gt;). The values of the sensitivities (exposure amounts) of the respective photosensitive resin compositions are shown in Table 1.

[착색 평가][Evaluation of coloring]

실시예 1~13 및 비교예 1~13의 감광성 수지 조성물 각각에 대해서, 이하의 순서로 착색 평가를 실시했다.Each of the photosensitive resin compositions of Examples 1 to 13 and Comparative Examples 1 to 13 was subjected to coloring evaluation in the following procedure.

우선, 감광성 수지 조성물을 유리 기판(10㎝×10㎝)에 스핀 도포하고 90℃에서 120초간 가열함으로써, 유리 기판의 표면에 1.0㎛의 도포막을 형성시켰다. 그 후, 미러 프로젝션 얼라이너(제품명:TME-150RTO, 주식회사 탑콘제)를 사용해 상기의 감도 평가에 의해 측정된 표 1에 기재된 감도에 상당하는 노광량(노광량 90~1000mJ/㎠, Gap 200㎛)으로 도막을 노광했다. 노광 후의 막을 26℃의 0.04질량% KOH 수용액으로 30~50초간 현상 후, 230℃에서 30분간 포스트베이크를 실시했다. 포스트베이크 전후의 도포막을 순간 멀티 측광 시스템(MCPD-3000:오오츠카전자 주식회사제)으로 380nm~780nm 파장역의 투과율의 차이를 ΔY로서 측정했다. ΔY의 값을 표 1에 기재한다. ΔY의 절대값이 작을수록 착색되어 있지 않은 것을 의미한다.First, the photosensitive resin composition was spin-coated on a glass substrate (10 cm x 10 cm) and heated at 90 占 폚 for 120 seconds to form a 1.0 占 퐉 coating film on the surface of the glass substrate. Thereafter, using an exposure amount (exposure amount of 90 to 1000 mJ / cm 2, Gap of 200 m) corresponding to the sensitivity shown in Table 1 measured by the above sensitivity evaluation using a mirror projection aligner (product name: TME-150RTO, The coated film was exposed. The exposed film was developed with 0.04 mass% KOH aqueous solution at 26 占 폚 for 30 to 50 seconds, and post-baked at 230 占 폚 for 30 minutes. The coating film before and after the post-baking was measured with an instant multi-photometer system (MCPD-3000, manufactured by Otsuka Electronics Co., Ltd.) as a difference in transmittance in the wavelength region of 380 nm to 780 nm as? Y. The values of? Y are shown in Table 1. The smaller the absolute value of? Y, the less the coloring.

[콘트라스트 비의 평가][Evaluation of contrast ratio]

감도 평가와 동일하게 하여 감광성 수지 조성물을 유리 기판 상에 스핀 도포하고 90℃에서 120초간 가열한 후에, 포스트베이크를 실시해 두께 1.0㎛의 감광성 수지 조성물의 도막을 형성했다. 2매의 편광판 사이에 도막이 형성된 유리 기판을 두고, 편광판이 평행시의 휘도와 직행시의 휘도를 휘도 측정 장치(제품명:CT-1, 호판전기 주식회사제)로 측정해 평행시의 휘도/직행시의 휘도의 값으로 해서 콘트라스트 비(CR)를 구했다.The photosensitive resin composition was spin-coated on a glass substrate in the same manner as in the sensitivity evaluation, heated at 90 占 폚 for 120 seconds, and post-baked to form a coating film of a photosensitive resin composition having a thickness of 1.0 占 퐉. A glass substrate on which a coating film was formed between two polarizing plates was placed so that the luminance of the polarizing plate in parallel with the luminance was measured with a luminance measuring apparatus (product name: CT-1, manufactured by Hoffan Electric Co., Ltd.) The contrast ratio CR was obtained.

[현상 택트(tact)][Development tact]

실시예 1~13 및 비교예 1~13의 감광성 수지 조성물 각각에 대해서, 이하의 순서로 현상 택트 평가를 실시했다.For each of the photosensitive resin compositions of Examples 1 to 13 and Comparative Examples 1 to 13, development tact evaluation was carried out in the following procedure.

우선, 감광성 수지 조성물을 유리 기판(10㎝×10㎝)에 스핀 도포하고 90℃에서 120초간 가열함으로써, 유리 기판의 표면에 1.0㎛의 도포막을 형성시켰다. 그 후, 미러 프로젝션 얼라이너(제품명:TME-150RTO, 주식회사 탑콘제)를 사용해 상기의 감도 평가에 의해 측정된 표 1에 기재된 감도에 상당하는 노광량(노광량 90~1000mJ/㎠, Gap 200㎛)으로 도막을 노광했다. 각 감광성 수지 조성물의 노광량의 값은 표 1에 적는다. 노광 후의 막을 26℃의 0.04질량% KOH 수용액으로 30, 40, 50초간 현상을 실시해, 도포된 감광성 수지 조성물이 30초간 현상으로 용해한 것은 현상 택트 양호, 40~50초간 용해한 것은 현상 택트 불량으로 했다. 양호를 ○, 불량을 ×로 하여 평가 결과를 표 1에 기재했다.First, the photosensitive resin composition was spin-coated on a glass substrate (10 cm x 10 cm) and heated at 90 占 폚 for 120 seconds to form a 1.0 占 퐉 coating film on the surface of the glass substrate. Thereafter, using an exposure amount (exposure amount of 90 to 1000 mJ / cm 2, Gap of 200 m) corresponding to the sensitivity shown in Table 1 measured by the above sensitivity evaluation using a mirror projection aligner (product name: TME-150RTO, The coated film was exposed. The values of the exposure amounts of the respective photosensitive resin compositions are shown in Table 1. The exposed film was developed with a 0.04% by mass KOH aqueous solution of 26 ° C for 30,40, and 50 seconds, and the coated photosensitive resin composition was dissolved in development for 30 seconds in good developing tact and good for 40 to 50 seconds in development tact. Good &quot; was evaluated as &quot; Good &quot;, and defective was evaluated as Good. The evaluation results are shown in Table 1.

Figure 112016077777286-pat00022
Figure 112016077777286-pat00022

표 1에 따르면, 일반식 (1)로 나타내는 옥심 에스테르 화합물을 광중합 개시제로서 포함하는 실시예 1~13의 감광성 수지 조성물은 80~100mJ/㎠2의 저노광량으로 패턴 형성 가능하고, 뛰어난 감도를 가지는 것을 알 수 있다. 또, 안료의 종류에 따라 포스트베이크시의 착색의 용이함은 상이하지만, 실시예와 비교예라는 비교에 따르면, 일반식 (1)로 나타내는 옥심 에스테르 화합물을 광중합 개시제로서 이용함으로써 비교예에서 사용한 광중합 개시제보다도, 포스트베이크시의 가열에 의한 착색을 동등 이하로 억제할 수 있어 콘트라스트 비를 향상시킬 수 있다는 것을 알 수 있다. 나아가, 표 1에 따르면, 일반식 (1)로 나타내는 옥심 에스테르 화합물을 광중합 개시제로서 포함하는 실시예 1~13의 감광성 수지 조성물은 현상 택트가 짧고, 현상성이 뛰어나다는 것을 알 수 있다.According to Table 1, the photosensitive resin compositions of Examples 1 to 13 containing the oxime ester compound represented by the general formula (1) as a photopolymerization initiator can form a pattern at a low exposure amount of 80 to 100 mJ / cm 2, . Although the ease of coloring during post-baking differs depending on the type of pigment, according to the comparison between the examples and the comparative examples, the oxime ester compound represented by the general formula (1) was used as a photopolymerization initiator, It can be seen that the coloring due to the heating at the time of post-baking can be suppressed to be equal to or less than that of the post-baking, so that the contrast ratio can be improved. Further, according to Table 1, it is found that the photosensitive resin compositions of Examples 1 to 13 containing the oxime ester compound represented by the general formula (1) as a photopolymerization initiator have short development tact and excellent developing property.

Claims (10)

(A) 광중합성 화합물 및 (B) 광중합 개시제를 포함하고,
상기 (B) 광중합 개시제가 하기 일반식 (1)로 나타내는 옥심 에스테르 화합물을 포함하는 감광성 수지 조성물을 기판 상에 도포하여 도막을 형성하는 공정과,
상기 도막을 노광하는 공정과,
상기 노광 후의 도막을 현상하는 공정을 포함하는 패턴 형성 방법.
Figure 112016077777286-pat00023

(R1은 1가의 유기기, 아미노기, 할로겐, 니트로기 및 시아노기로 이루어진 군으로부터 선택되는 기이고,
m은 0~4의 정수이며,
p는 0 또는 1이고,
R3은 수소 원자, 또는 탄소수 1~6의 알킬기이며,
p가 0인 경우,
R2는 치환기를 가져도 되는 페닐기, 또는 하기 일반식 (3):
Figure 112016077777286-pat00024

으로 나타내는 기이며,
R5는 1가의 유기기이고,
R6은 탄소수 1~20의 알킬기, 치환기를 가져도 되는 페닐기, 및 치환기를 가져도 되는 헤테로시크릴기로 이루어진 군으로부터 선택되는 기이며,
단, R6은 하기 일반식(4)로 나타내는 기가 아니고,
Figure 112016077777286-pat00025

R21은 수소 원자, 탄소수 1~17의 알킬기, 탄소수 1~8의 알콕시기, 페닐기, 페닐기(탄소수 1~17의 알킬기, 탄소수 1~8의 알콕시기, 아미노기, 탄소수 1~8의 알킬기를 갖는 알킬아미노기 또는 디알킬아미노기에 의해 치환되어 있음), 또는 나프틸기(탄소수 1~17의 알킬기, 탄소수 1~8의 알콕시기, 아미노기, 탄소수 1~8의 알킬기를 갖는 알킬아미노기 또는 디알킬아미노기에 의해 치환되어 있음)을 나타내고,
R22 및 R23은 각각 수소 원자, 탄소수 1~17의 알킬기, 탄소수 1~8의 알콕시기, 할로겐기, 페닐기, 페닐기(탄소수 1~17의 알킬기, 탄소수 1~8의 알콕시기, 아미노기, 탄소수 1~8의 알킬기를 갖는 알킬아미노기 또는 디알킬아미노기에 의해 치환되어 있음), 나프틸기(탄소수 1~17의 알킬기, 탄소수 1~8의 알콕시기, 아미노기, 탄소수 1~8의 알킬기를 갖는 알킬아미노기 또는 디알킬아미노기에 의해 치환되어 있음), 안트릴기, 피리딜기, 벤조푸릴기 또는 벤조티에닐기를 나타내고,
Ar1은 페닐렌, 비페닐렌, 피리딜렌, 나프틸렌, 안트릴렌, 티에닐렌, 푸릴렌, 2,5-피롤-디일, 4,4'-스틸벤-디일 또는 4,2'-스티렌-디일을 나타내며,
n1은 0 또는 1을 나타내고,
단, n1이 0이며, 또한 Ar이 페닐렌, 나프틸렌 또는 티에닐렌인 경우, R21 및 R22가 메틸기 또는 에틸기가 아니며, 또한 R23이 메틸기 또는 페닐기가 아닌 것을 조건으로,
p가 1인 경우,
R2는 치환기를 가져도 되는 페닐기 또는 치환기를 가져도 되는 카르바졸릴기이고,
상기 카르바졸릴기 중의 질소 원자는 하기 일반식 (5)로 나타내는 기에 의해 치환되지 않고,
Figure 112016077777286-pat00026

R10 ~ R14는 각각 독립적으로 수소 원자, 할로겐 원자, 시아노기, 니트로기, 할로알킬기, 치환 또는 미치환 알킬설피닐기, 치환 또는 미치환 아릴설피닐기, 치환 또는 미치환 알킬설포닐기, 치환 또는 미치환 아릴설포닐기, 또는 치환 또는 미치환 아실기를 나타내지만, R10 ~ R14 모두가 동시에 수소 원자로 이루어지는 것은 아니고,
상기 R2는 하기 일반식 (6)로 나타내는 기가 아니며,
Figure 112016077777286-pat00027

R21은 수소 원자, 탄소수 1~17의 알킬기, 탄소수 1~8의 알콕시기, 페닐기, 페닐기(탄소수 1~17의 알킬기, 탄소수 1~8의 알콕시기, 아미노기, 탄소수 1~8의 알킬기를 갖는 알킬아미노기 또는 디알킬아미노기에 의해 치환되어 있음) 또는 나프틸기(탄소수 1~17의 알킬기, 탄소수 1~8의 알콕시기, 아미노기, 탄소수 1~8의 알킬기를 갖는 알킬아미노기 또는 디알킬아미노기에 의해 치환되어 있음)을 나타내고,
R22 및 R23은 각각 수소 원자, 탄소수 1~17의 알킬기, 탄소수 1~8의 알콕시기, 할로겐기, 페닐기, 페닐기(탄소수 1~17의 알킬기, 탄소수 1~8의 알콕시기, 아미노기, 탄소수 1~8의 알킬기를 갖는 알킬아미노기 또는 디알킬아미노기에 의해 치환되어 있음), 나프틸기(탄소수 1~17의 알킬기, 탄소수 1~8의 알콕시기, 아미노기, 탄소수 1~8의 알킬기를 갖는 알킬아미노기 또는 디알킬아미노기에 의해 치환되어 있음), 안트릴기, 피리딜기, 벤조푸릴기 또는 벤조티에닐기를 나타내고,
Ar2는 결합 또는 탄소수 1~10의 알킬렌, 비닐렌, 페닐렌, 비페닐렌, 피리딜렌, 나프틸렌, 안트릴렌, 티에닐렌, 푸릴렌, 2,5-피롤-디일, 4,4'-스틸벤-디일 또는 4,2'-스티렌-디일을 나타내며,
n1은 0 또는 1을 나타내고,
단, n1이 0이며, 또한 Ar2가 결합, 페닐렌, 나프틸렌, 티에닐렌인 경우에는, R21 및 R22가 메틸기 또는 에틸기가 아니며, 또한 R23이 메틸기 또는 페닐기가 아닌 것을 조건으로,
상기 카르바졸릴기는 카르바졸릴기에 결합하는 치환기와 함께 벤조카르바졸릴기를 형성하지 않는다.)
(A) a photopolymerizable compound and (B) a photopolymerization initiator,
(B) a step of coating a photosensitive resin composition containing an oxime ester compound represented by the following general formula (1) on a substrate to form a coating film;
A step of exposing the coating film,
And developing the coated film after the exposure.
Figure 112016077777286-pat00023

(R 1 is a group selected from the group consisting of a monovalent organic group, an amino group, a halogen, a nitro group and a cyano group,
m is an integer of 0 to 4,
p is 0 or 1,
R 3 is a hydrogen atom or an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms,
When p is 0,
R 2 represents a phenyl group which may have a substituent, or a group represented by the following general formula (3):
Figure 112016077777286-pat00024

&Lt; / RTI &gt;
R 5 is a monovalent organic group,
R 6 is a group selected from the group consisting of an alkyl group having 1 to 20 carbon atoms, a phenyl group which may have a substituent, and a heterocyclyl group which may have a substituent,
However, R 6 is not a group represented by the following general formula (4)
Figure 112016077777286-pat00025

R 21 represents a hydrogen atom, an alkyl group having 1 to 17 carbon atoms, an alkoxy group having 1 to 8 carbon atoms, a phenyl group, a phenyl group (having an alkyl group having 1 to 17 carbon atoms, an alkoxy group having 1 to 8 carbon atoms, An alkyl group having 1 to 17 carbon atoms, an alkoxy group having 1 to 8 carbon atoms, an amino group, an alkylamino group having 1 to 8 carbon atoms or a dialkylamino group), or a naphthyl group Substituted &lt; / RTI &gt;
R 22 and R 23 each represent a hydrogen atom, an alkyl group having 1 to 17 carbon atoms, an alkoxy group having 1 to 8 carbon atoms, a halogen group, a phenyl group, a phenyl group (an alkyl group having 1 to 17 carbon atoms, an alkoxy group having 1 to 8 carbon atoms, An alkylamino group having 1 to 8 carbon atoms or a dialkylamino group having 1 to 8 carbon atoms), a naphthyl group (an alkyl group having 1 to 17 carbon atoms, an alkoxy group having 1 to 8 carbon atoms, an amino group, Or a dialkylamino group), an anthryl group, a pyridyl group, a benzofuryl group or a benzothienyl group,
Ar 1 is selected from the group consisting of phenylene, biphenylene, pyridylene, naphthylene, anthrylene, thienylene, furylene, 2,5-pyrrolidiyl, 4,4'- - represents a dill,
n1 represents 0 or 1,
However, under the condition that n1 is zero, and when Ar is phenylene, naphthylene or thienylene a, R 21 and R 22 is not a methyl group or an ethyl group, and R 23 is not a methyl group or a phenyl group,
When p is 1,
R 2 is a phenyl group which may have a substituent or a carbazolyl group which may have a substituent,
The nitrogen atom in the carbazolyl group is not substituted by a group represented by the following general formula (5)
Figure 112016077777286-pat00026

R 10 to R 14 each independently represent a hydrogen atom, a halogen atom, a cyano group, a nitro group, a haloalkyl group, a substituted or unsubstituted alkylsulfinyl group, a substituted or unsubstituted arylsulfinyl group, a substituted or unsubstituted alkylsulfonyl group, An unsubstituted arylsulfonyl group, or a substituted or unsubstituted acyl group, but all of R 10 to R 14 are not simultaneously hydrogen atoms,
R 2 is not a group represented by the following general formula (6)
Figure 112016077777286-pat00027

R 21 represents a hydrogen atom, an alkyl group having 1 to 17 carbon atoms, an alkoxy group having 1 to 8 carbon atoms, a phenyl group, a phenyl group (having an alkyl group having 1 to 17 carbon atoms, an alkoxy group having 1 to 8 carbon atoms, An alkyl group having 1 to 18 carbon atoms, an alkoxy group having 1 to 8 carbon atoms, an amino group, an alkylamino group having 1 to 8 carbon atoms, or a dialkylamino group), or a naphthyl group , &Lt; / RTI &gt;
R 22 and R 23 each represent a hydrogen atom, an alkyl group having 1 to 17 carbon atoms, an alkoxy group having 1 to 8 carbon atoms, a halogen group, a phenyl group, a phenyl group (an alkyl group having 1 to 17 carbon atoms, an alkoxy group having 1 to 8 carbon atoms, An alkylamino group having 1 to 8 carbon atoms or a dialkylamino group having 1 to 8 carbon atoms), a naphthyl group (an alkyl group having 1 to 17 carbon atoms, an alkoxy group having 1 to 8 carbon atoms, an amino group, Or a dialkylamino group), an anthryl group, a pyridyl group, a benzofuryl group or a benzothienyl group,
Ar 2 represents a bond or an alkylene, a vinylene, a phenylene, a biphenylene, a pyridylene, a naphthylene, an anthrylene, a thienylene, a furylene, a 2,5- '-Stilbene-diyl or 4,2'-styrene-diyl,
n1 represents 0 or 1,
Provided that when R 21 and R 22 are not a methyl group or an ethyl group and R 23 is not a methyl group or a phenyl group, when n 1 is 0 and Ar 2 is a bond, phenylene, naphthylene or thienylene,
The carbazolyl group does not form a benzocarbazolyl group together with the substituent which binds to the carbazolyl group.
청구항 1에 있어서,
상기 p가 0인 경우, 상기 R2는 하기 일반식 (2)로 나타내는 기, 또는 상기 화학식 (3)로 나타내는 기이며,
상기 p가 1인 경우, 상기 R2가 하기 일반식 (2)로 나타내는 기 또는 하기 일반식 (7)로 나타내는 기인 패턴 형성 방법.
Figure 112016077777286-pat00028

(R4는 1가의 유기기, 아미노기, 할로겐, 니트로기 및 시아노기로 이루어진 군으로부터 선택되는 기이고, A는 S 또는 O이며, n은 0~4의 정수이다.)
Figure 112016077777286-pat00029

(R7 및 R8은 각각 1가의 유기기이다.)
The method according to claim 1,
When p is 0, R 2 is a group represented by the following general formula (2) or a group represented by the general formula (3)
Wherein when p is 1, R 2 is a group represented by the following general formula (2) or a group represented by the following general formula (7).
Figure 112016077777286-pat00028

(Wherein R 4 is a monovalent organic group, an amino group, a halogen, a nitro group and a cyano group, A is S or O, and n is an integer of 0 to 4)
Figure 112016077777286-pat00029

(R 7 and R 8 are each a monovalent organic group)
청구항 2에 있어서,
상기 R2가 상기 일반식 (2)로 나타내는 기이고, 상기 A가 S인 패턴 형성 방법.
The method of claim 2,
Wherein R 2 is a group represented by the formula (2), and A is S.
(A) 광중합성 화합물 및 (B) 광중합 개시제를 포함하고,
상기 (B) 광중합 개시제가 하기 일반식 (1)로 나타내는 옥심 에스테르 화합물을 포함하는 감광성 수지 조성물을 기판 상에 도포하여 도막을 형성하는 공정과,
상기 도막을 노광하는 공정과,
상기 노광 후의 도막을 현상하는 공정을 포함하는 패턴 형성 방법.
Figure 112016077777286-pat00030

(R1은 1가의 유기기, 아미노기, 할로겐, 니트로기 및 시아노기로 이루어진 군으로부터 선택되는 기이고,
m은 0~4의 정수이며,
p는 0 또는 1이고,
R2는 하기 일반식 (2) :
Figure 112016077777286-pat00031

(R4는 1가의 유기기, 아미노기, 할로겐, 니트로기 및 시아노기로 이루어진 군으로부터 선택되는 기이고, A는 S이며, n은 0~4의 정수이다.)
로 나타내는 기이고,
R3은 수소 원자 또는 탄소수 1~6의 알킬기이다.)
(A) a photopolymerizable compound and (B) a photopolymerization initiator,
(B) a step of coating a photosensitive resin composition containing an oxime ester compound represented by the following general formula (1) on a substrate to form a coating film;
A step of exposing the coating film,
And developing the coated film after the exposure.
Figure 112016077777286-pat00030

(R 1 is a group selected from the group consisting of a monovalent organic group, an amino group, a halogen, a nitro group and a cyano group,
m is an integer of 0 to 4,
p is 0 or 1,
R 2 is a group represented by the following general formula (2):
Figure 112016077777286-pat00031

(R 4 is a monovalent organic group, an amino group, a halogen, a nitro group and a cyano group, A is S, and n is an integer of 0 to 4)
Lt; 2 &gt;
R 3 is a hydrogen atom or an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms.)
청구항 1 내지 청구항 4 중 어느 한 항에 있어서,
(C) 착색제를 더 포함하는 패턴 형성 방법.
The method according to any one of claims 1 to 4,
(C) a colorant.
청구항 5에 있어서,
상기 (C) 착색제가 차광제인 패턴 형성 방법.
The method of claim 5,
Wherein the colorant (C) is a light shielding agent.
청구항 5의 패턴 형성 방법으로 형성된 컬러 필터.A color filter formed by the pattern forming method of claim 5. 청구항 6의 패턴 형성 방법으로 형성된 블랙 매트릭스.A black matrix formed by the pattern forming method of claim 6. 청구항 7의 컬러 필터가 사용된 표시 장치.A display device using the color filter of claim 7. 청구항 8의 블랙 매트릭스가 사용된 표시 장치.A display device according to claim 8, wherein the black matrix is used.
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