KR101818312B1 - 다축 힘센서 보정장치 - Google Patents

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KR101818312B1
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Abstract

본 발명은 다축 힘센서 보정장치에 관한 것으로서, 본 발명에 따른 다축 힘센서 보정장치는 센서 보정을 위한 기준 데이터를 제공하는 레퍼런스 다축 힘센서, 센싱 좌표축의 원점이 레퍼런스 다축 힘센서의 센싱 좌표축의 원점과 일치하도록 레퍼런스 다축 힘센서와 결합되는 피보정 다축 힘센서 및 결합된 레퍼런스 다축 힘센서와 피보정 다축 힘센서에 인가되는 힘에 의해 측정되는 레퍼런스 다축 힘센서의 센서 측정값 및 피보정 다축 힘센서의 센서 측정값을 이용하여 피보정 다축 힘센서의 센서 보정값을 구하는 센서 보정부를 포함하며, 다축에 대한 힘센서 보정을 동시에 수행할 수가 있는 것을 특징으로 한다.

Description

다축 힘센서 보정장치{APPARATUS FOR CALIBRATING MULTI AXIS FORCE SENSOR}
본 발명은 다축 힘센서 보정장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 간단한 구조의 장치를 이용하여 각 축에 대한 센서 보정을 한꺼번에 수행할 수 있는 다축 힘센서 보정장치에 관한 것이다.
로보틱 시스템을 비롯한 대부분의 자동화 시스템에는 힘센서가 필요하다. 이에 다축 방향의 힘을 동시에 측정하는 다축 힘센서가 개발되었고, 이러한 다축 힘센서에 있어서 센서 보정(sensor calibration)은 필수적인 과정이다.
다축 힘센서로부터 측정된 값은 실제 물리량과 동일한 값을 가지지 않으며, 측정값과 실제 물리량 사이에는 소정의 대응관계가 존재한다. 다축 힘센서로부터 측정된 값과 실제 물리양 사이의 대응 관계를 구하는 과정이 필요한데, 이 과정이 센서 보정 과정이다.
종래에 다축 힘센서를 보정하기 위해서는 여러 무게의 추나 로드 셀(load cell) 등을 가지고 센서 보정을 위한 특정축의 방향으로 외력이 가해지도록 장치를 구성하여 센서 보정을 수행하였다. 이 경우 각 축마다 개별적으로 센서 보정이 이루어져야 하기 때문에, 장치 구성이 복잡해지며 센서 보정을 위한 시간도 오래 걸린다는 문제점이 있었다.
공개번호 10-2008-0039624
따라서, 본 발명의 목적은 이와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 센서 보정을 위한 기준 데이터를 제공하는 레퍼런스 다축 힘센서와 피보정 다축 힘센서의 센싱 좌표축의 원점이 일치하도록 두 힘센서를 결합시키고 결합된 두 다축 힘센서에 인가되는 힘에 의해 측정되는 두 다축 힘센서의 센서 측정값을 이용하여 다축의 힘센서 보정을 동시에 수행하는 다축 힘센서 보정장치을 제공함에 있다.
본 발명이 해결하고자 하는 과제들은 이상에서 언급한 과제들로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 과제들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
상기 목적은, 본 발명에 따라, 센서 보정을 위한 기준 데이터를 제공하며, 센싱 좌표축의 원점이 외부면에 형성되는 레퍼런스 다축 힘센서; 외부면에 형성되는 센싱 좌표축의 원점이 상기 레퍼런스 다축 힘센서의 센싱 좌표축의 원점과 일치하도록 상기 레퍼런스 다축 힘센서와 결합되는 피보정 다축 힘센서; 및 상기 결합된 레퍼런스 다축 힘센서와 피보정 다축 힘센서에 인가되는 힘에 의해 측정되는 상기 레퍼런스 다축 힘센서의 센서 측정값 및 상기 피보정 다축 힘센서의 센서 측정값을 이용하여 상기 피보정 다축 힘센서의 센서 보정값을 구하는 센서 보정부를 포함하는 다축 힘센서 보정장치에 의해 달성될 수 있다.
또한, 상기 레퍼런스 다축 힘센서와 상기 피보정 다축 힘센서를 결합시키기 위한 결합 지그를 더 포함할 수 있다.
여기서, 상기 레퍼런스 다축 힘센서와 상기 피보정 다축 힘센서는 원통형으로 하부면에 각각 센싱 좌표축의 원점이 형성되고, 상기 결합 지그는 상기 레퍼런스 다축 힘센서와 상기 피보정 다축 힘센서 중 어느 하나의 하부면에 상기 결합 지그를 고정시키도록 하는 제 1 결합구; 상기 레퍼런스 다축 힘센서와 상기 피보정 다축 힘센서 중 상기 제 1 결합구를 통해 고정되지 않는 다축 힘센서를 삽입시키도록 중공이 형성된 삽입구; 및 상기 삽입구에 삽입된 다축 힘센서를 상기 결합 지그에 고정시키도록 하는 제 2 결합구를 포함할 수 있다.
또한, 상기 레퍼런스 다축 힘센서 또는 상기 피보정 다축 힘센서 중 어느 하나에 결합되어 외부의 힘을 전달하는 힘전달 지그를 더 포함할 수 있다.
여기서, 상기 센서 보정부는 AX=Y를 만족하는 행렬식에서 상기 센서 보정값을 나타내는 행렬 A의 값을 구할 수 있는데, 여기서 행렬 X는 상기 피보정 다축 힘센서에서 측정된 다축의 센서 측정값으로 구성되는 행렬이고, Y는 상기 레퍼런스 다축 힘센서에서 측정된 다축의 센서 측정값으로 구성되는 행렬이다.
여기서, 상기 센서 보정부는 AX-Y=Error로 정의하고 Error의 값이 최소가 되도록 하는 행렬 A의 값을 구할 수 있는데, 여기서 행렬 A는 상기 센서 보정값을 나타내는 행렬이고, 행렬 X는 상기 피보정 다축 힘센서에서 측정된 다축의 센서 측정값으로 구성되는 행렬이고, 행렬 Y는 상기 레퍼런스 다축 힘센서에서 측정된 다축의 센서 측정값으로 구성되는 행렬이다.
여기서, 상기 센서 보정부는 선형최소자승법(Linear least square method)으로 상기 Error의 값이 최소가 되도록 하는 행렬 A의 값을 구할 수 있다.
여기서, 상기 레퍼런스 다축 힘센서와 상기 피보정 다축 힘센서는 직교하는 3축에 대한 선형 방향의 세 개의 힘 및 회전 방향의 세 개의 모멘트 힘을 측정하는 6축 힘센서일 수 있다.
본 발명에 따른 다축 힘센서 보정장치는 각 축마다 개별적으로 센서 보정을 수행하는 장치를 구성할 필요 없이 레퍼런스 다축 힘센서와 피보정 다축 힘센서의 센싱 좌표축의 원점이 일치하도록 두 센서를 결합시키고 결합된 두 다축 힘센서에 인가되는 힘에 의해 측정되는 두 다축 힘센서의 센서 측정값을 이용해서 다축의 센서 보정을 동시에 수행할 수 있어서 장치 구성이 간단하다는 장점이 있다.
또한, 다축에 대해서 센서 보정을 위한 값을 한꺼번에 구할 수가 있어서 센서 보정을 위한 시간을 줄일 수 있다는 장점도 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 다축 힘센서 보정장치의 셋업 사진을 도시한다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 다축 힘센서 보정장치의 분리 사시도이다.
도 3은 본 발명에 따라 다축 힘센서 보정을 수행하는 과정의 개략도이다.
실시예들의 구체적인 사항들은 상세한 설명 및 도면들에 포함되어 있다.
본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 수 있으며, 단지 본 실시예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하고, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다. 명세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성 요소를 지칭한다
이하, 본 발명의 실시예들에 의하여 다축 힘센서 보정장치를 설명하기 위한 도면들을 참고하여 본 발명에 대해 설명하도록 한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 다축 힘센서 보정장치의 셋업 사진을 도시하고, 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 다축 힘센서 보정장치의 분리 사시도이고, 도 3은 본 발명에 따라 다축 힘센서 보정을 수행하는 과정의 개략도이다.
본 발명의 일 실시예에 따른 다축 힘센서 보정장치는 피보정 다축 힘센서(110), 레퍼런스 다축 힘센서(120), 및 센서 보정부(미도시)를 포함하여 구성될 수 있다. 또한, 피보정 다축 힘센서(110)와 레퍼런스 다축 힘센서(120)를 결합시키기 위한 결합 지그(130)를 더 포함할 수 있고, 결합된 다축 힘센서(110, 120)에 외부의 힘이 인가되도록 하는 힘전달 지그(140)를 더 포함할 수 있다.
피보정 다축 힘센서(110)는 센서 보정을 수행할 다축 힘센서로서, 이하 설명에 있어서는 6축의 힘센서에 대한 본 발명에 따른 다축 힘센서 보정장치를 설명하기로 한다. 여기서, 6축의 힘센서라고 하면 xyz 직교좌표축에서 각 축의 선형 방향의 힘 Fx, Fy, Fz와 회전 방향의 모멘트 힘 Mx, My, Mz 를 측정할 수 있는 센서를 의미한다. 본 발명에 따른 다축 힘센서 보정장치는 6축의 힘센서에 한정되지 않고 다른 다축 힘센서(예를 들어, 3축 힘센서)에도 적용하여 센서 보정을 수행할 수도 있다.
다축의 힘센서로는 저항의 변화를 이용한(resistive-based) 힘센서, 정전용량의 변화를 이용한(capacitive-based) 힘센서, 광학을 이용한(optical-based) 힘센서 등이 공지되어 있는데, 도시된 도면에는 외부로부터 인가되는 힘에 의해 센서의 구성 요소 사이의 거리가 변할 때 정전용량 값의 변화를 이용하여 힘을 측정하는 정전용량 변화를 이용한 힘센서가 도시되어 있다. 본 발명에서 사용되는 다축 힘센서는 정전용량 변화를 이용한 힘센서에만 한정되는 것이 아니라 다른 공지된 타입의 다축 힘센서도 적용할 수가 있다.
단, 후술할 내용이지만 본 발명에서는 센싱 좌표축의 원점이 일치하도록 레퍼런스 다축 힘센서(120)와 피보정 다축 힘센서(110)를 결합해야 하기 때문에 센싱 좌표축의 원점이 삼차원 형상의 다축 힘센서 내부에 형성되지 않고 외부면에 형성되는 다축 힘센서를 이용하는 것이 바람직하다. 다축 힘센서의 센싱 좌표축의 원점이 내부에 존재한다면 두 원점이 일치하도록 두 센서를 결합할 수가 없기 때문이다.
레퍼런스 다축 힘센서(120)는 센서 보정을 위한 기준 데이터를 제공하는 6축의 힘센서로서, 전술한 바와 같이 피보정 센서가 3축의 힘을 측정하는 3축 힘센서라면 레퍼런스 다축센서도 3축의 힘센서일 수 있다.
레퍼런스 다축 힘센서(120)는 센서 보정이 수행된 센서로 센서의 측정값으로 실제 물리량을 구할 수 있는 센서가 사용된다. 이때, 레퍼런스 다축 힘센서(120)는 피보정 다축 힘센서(110)에 대한 센서 보정을 수행할 때 기준 데이터값을 제공하게 된다.
본 발명에서 레퍼런스 다축 힘센서(120)와 피보정 다축 힘센서(110)는 상호 결합되는데, 레퍼런스 다축 힘센서(120)의 센싱 좌표축과 피보정 다축 힘센서(110)의 센싱 좌표축의 원점이 일치하도록 결합된다. 도 2의 두 다축 힘센서(110, 120)는 원통형의 센서로 센싱 좌표축이 각각 원통의 하부면(112, 122)의 중심에 형성되기 때문에, 각 다축 힘센서(110, 120)의 센싱 좌표축이 형성된 면(112, 122)의 중심이 일치되도록 결합하면 두 센서의 원점을 일치시킬 수가 있다.
이때, 도 2에 도시되어 있는 것과 같이 xy평면의 두 축 중에서 하나의 축도 일치하도록 하는 것이 바람직하다. 도면에서는 x축이 일치하도록 결합됨을 도시하고 있는데, 원통형 힘센서의 하부면(센싱 좌표축이 형성되는 면)의 중심에 각각 센싱 좌표축의 원점이 형성된 두 힘센서(110, 120)를 도시되어 있는 것과 같이 결합을 하면 x축의 방향은 동일하고, y, z축의 방향은 각각 반대 방향을 향하도록 결합될 수가 있다.
도 2에 도시되어 있는 것과 같이 두 다축 힘센서(110, 120)의 원점이 일치하도록 두 센서(110, 120)가 결합되어 있기 때문에, 결합된 두 다축 힘센서(110, 120)에 외부의 힘 또는 토크가 가해지면 동일한 힘 또는 토크가 두 센서(110, 120)에 인가될 수가 있다. 물론, 전술한 바와 같이 좌표축의 방향이 반대로 있는 경우 인가되는 힘의 부호가 반대의 값을 가질 수 있으나, 힘의 크기는 동일한 힘이 인가된다. 예를 들어, 도 2에서 원점이 일치하도록 두 센서(110, 120)가 결합된 상태에서 z방향으로 힘을 가하면 각 센서(110, 120)에 인가되는 Z방향의 힘의 크기는 같고 방향(부호)은 반대의 힘이 인가된다.
이때, 본 발명에서는 레퍼런스 다축 힘센서(120)와 피보정 다축 힘센서(110)를 결합시키기 위해 결합 지그(130)를 이용할 수가 있다. 도시되어 있는 것과 같이 결합 지그(130)는 내부에 원통형 삽입구(132)가 형성된 원통형 튜브 형상으로, 피보정 다축 힘센서(110)의 하부면(112)에 나사 등을 이용하여 결합될 수가 있고, 결합 지그(130)에 형성된 삽입구(132)에는 레퍼런스 다축 힘센서(120)가 삽입되고 삽입된 레퍼런스 다축 힘센서(120)는 나사 등을 이용하여 결합 지그(130)에 결합될 수 가 있다. 이때, 전술한 바와 같이 두 다축 힘센서(110, 120)의 센싱 좌표축의 원점이 일치하도록, 보다 바람직하게는 두 평면좌표 축(도 2에서 xy축) 중에서 어느 하나를 일치시키도록 결합하는 것이 바람직하다.
따라서, 결합 지그(130)에는 피보정 다축 힘센서(110)의 하부면(112)과 나사를 이용하여 결합시킬 수 있도록 제 1 결합구(134)가 형성되고 결합 지그(130)의 측면에는 삽입구(132)에 삽입된 레퍼런스 다축 힘센서(120)를 나사를 이용하여 결합시킬 수 있도록 제 2 결합구(136)가 형성될 수 있다. 이때, 제 1 결합구(134)에 대응되도록 피보정 다축 힘센서(110)에도 결합구(114)가 형성된다. 또한, 제 2 결합구(136)를 통해 나사 등을 이용하여 레퍼런스 다축 힘센서(120)를 가압하는 방식으로 레퍼런스 다축 힘센서(120)를 결합 지그(130)에 고정시킬 때 결합 지그(130)에 의해 레퍼런스 다축 힘센서(120)의 센싱 능력에 영향을 미치지 않도록 가압하는 위치와 결합 지그(130)의 높이를 적절하게 고려하는 것이 중요하다.
또한, 도면에서는 피보정 다축 힘센서(110)가 레퍼런스 다축 힘센서(120)의 아래에 형성되어 있으나, 상호 위치가 바뀔 수도 있고, 이때 결합 지그(130)의 삽입구(132)에는 피보정 다축 힘센서(110)가 삽입되도록 할 수도 있다. 두 다축 힘센서(110, 120)의 형상에 따라서 결합 지그(130)의 형상도 다양하게 변형될 수 있음은 물론이다.
또한, 레퍼런스 다축 힘센서(120) 또는 피보정 다축 힘센서(110) 중 어느 하나에 결합되어 외부의 힘 발생 장치(미도시)로부터 인가되는 힘을 결합된 두 다축 힘센서(110, 120)에 전달하는 힘전달 지그(140)가 형성될 수 있다. 도면에서는 레퍼런스 다축 힘센서(120)의 상부면(124)에 힘전달 지그(140)가 형성되어 있는데, 이에 한정되지 않고 피보정 다축 힘센서(110)의 상부면(116)에 형성될 수도 있다.
센서 보정부(미도시)는 결합된 레퍼런스 다축 힘센서(120)와 피보정 다축 힘센서(110)에 인가되는 힘에 의해 측정되는 레퍼런스 다축 힘센서(120)의 센서 측정값 및 피보정 다축 힘센서(110)의 센서 측정값을 이용하여 피보정 다축 힘센서(110)의 센서 보정값을 구한다.
이하의 설명에서는 도 1 및 도 2를 참조로 설명한 장치를 이용하여 센서 보정부(미도시)에서 센서 보정을 위한 값을 구하는 과정을 설명하기로 한다.
전술한 바와 같이 두 다축 힘센서(110, 120)의 원점이 일치하도록 결합한 상태에서 외부에서 힘을 인가하면, 동일한 크기의 힘이 두 힘센서(110, 120)에 동시에 인가될 수가 있다. 물론, 전술한 바와 같이 축의 위치에 따라서 힘의 방향은 바뀔 수가 있기 때문에 연산을 수행할 때 이를 고려하는 것이 필요하다.
이때 각각의 다축 힘센서(110, 120)로부터 6축에 대한 측정값을 획득할 수가 있다. 정전용량을 이용한 피보정 다축 힘센서(110)로부터는 6축의 정전용량값 또는 이를 대표하는 값을 측정할 수가 있고 레퍼런스 다축 힘센서(120)로부터는 6축에 대한 실제 물리량을 측정할 수가 있다.
이때, 두 다축 힘센서(110, 120)로부터 측정된 값 사이의 연산식은 하나의 보정 행렬 A로 나타내어질 수 있는데, AX=Y의 관계 행렬식을 가지게 된다. 여기서, A는 보정 행렬이고, X는 피보정 다축 힘센서(110)로부터 측정한 6축의 측정값으로 구성되는 행렬이고, Y는 레퍼런스 다축 힘센서(120)로부터 구한 6축의 물리량에 대한 행렬이다.
보다 자세히 나타내면 다음의 행렬식을 가지게 된다.
Figure 112015122710351-pat00001
여기서, C1~C6은 피보정 다축 힘센서(110)로부터 획득하는 6축의 센서 측정값이고, Fx~Mz는 레퍼런스 다축 힘센서(120)로부터 측정한 6축의 실제 물리량값이고, a11~a66은 보정 행렬 A를 구성하는 행렬원소이다.
힘전달 지그(140)를 통해 힘의 크기와 방향을 달리하는 복수의 힘에 대해서 피보정 다축 힘센서(110)와 레퍼런스 다축 힘센서(120)로부터 6측의 센서 측정값을 각각 구하고, 이를 이용하여 센서 보정부(미도시)는 상기 행렬식을 만족시키는 행렬 A를 구하게 된다.
이때 상기 행렬식을 변형한 다음의 식에서 Error의 값을 최소로 하는 행렬 A를 구할 수가 있는데, 이때 본 발명에서는 선형최소자승법(Linear least square method)으로 상기 Error의 값이 최소가 되도록 하는 행렬 A의 값을 구할 수 있다.
Figure 112015122710351-pat00002
본 발명의 권리범위는 상술한 실시예에 한정되는 것이 아니라 첨부된 특허청구범위 내에서 다양한 형태의 실시예로 구현될 수 있다. 특허청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 변형 가능한 다양한 범위까지 본 발명의 청구범위 기재의 범위 내에 있는 것으로 본다.
110: 피보정 다축 힘센서 120: 레퍼런스 다축 힘센서
130: 결합 지그 132: 삽입구
134: 제 1 결합구 136: 제 2 결합구
140: 힘전달 지그

Claims (8)

  1. 센서 보정을 위한 기준 데이터를 제공하며, 센싱 좌표축의 원점이 외부면에 형성되는 레퍼런스 다축 힘센서(120);
    외부면에 형성되는 센싱 좌표축의 원점이 상기 레퍼런스 다축 힘센서(120)의 센싱 좌표축의 원점과 일치하도록 상기 레퍼런스 다축 힘센서(120)와 결합되는 피보정 다축 힘센서(110); 및
    상기 결합된 레퍼런스 다축 힘센서(120)와 피보정 다축 힘센서(110)에 인가되는 힘에 의해 측정되는 상기 레퍼런스 다축 힘센서(120)의 센서 측정값 및 상기 피보정 다축 힘센서(110)의 센서 측정값을 이용하여 상기 피보정 다축 힘센서(110)의 센서 보정값을 구하는 센서 보정부를 포함하는 다축 힘센서 보정장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 레퍼런스 다축 힘센서(120)와 상기 피보정 다축 힘센서(110)를 결합시키기 위한 결합 지그(130)를 더 포함하는 다축 힘센서 보정장치.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 레퍼런스 다축 힘센서(120)와 상기 피보정 다축 힘센서(110)는 원통형으로 상부면 또는 하부면 중 어느 하나의 면에 각각 센싱 좌표축의 원점이 형성되고,
    상기 결합 지그(130)는
    상기 레퍼런스 다축 힘센서(120)와 상기 피보정 다축 힘센서(110) 중 어느 하나의 상기 센싱 좌표축이 형성된 면에 상기 결합 지그(130)를 고정시키도록 하는 제 1 결합구(134);
    상기 레퍼런스 다축 힘센서(120)와 상기 피보정 다축 힘센서(110) 중 상기 제 1 결합구(134)를 통해 고정되지 않는 다축 힘센서를 삽입시키도록 중공이 형성된 삽입구(132); 및
    상기 삽입구(132)에 삽입된 다축 힘센서를 상기 결합 지그(130)에 고정시키도록 하는 제 2 결합구(136)를 포함하는 다축 힘센서 보정장치.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 레퍼런스 다축 힘센서(120) 또는 상기 피보정 다축 힘센서(110) 중 어느 하나에 결합되어 외부의 힘을 전달하는 힘전달 지그(140)를 더 포함하는 다축 힘센서 보정장치.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 센서 보정부는 AX=Y를 만족하는 행렬식에서 상기 센서 보정값을 나타내는 행렬 A의 값을 구하는데, 여기서 행렬 X는 상기 피보정 다축 힘센서(110)에서 측정된 다축의 센서 측정값으로 구성되는 행렬이고, 행렬 Y는 상기 레퍼런스 다축 힘센서(120)에서 측정된 다축의 센서 측정값으로 구성되는 행렬인, 다축 힘센서 보정장치.
  6. 제 1 항에 있어서,
    상기 센서 보정부는 AX-Y=Error로 정의하고 Error의 값이 최소가 되도록 하는 행렬 A의 값을 구하는데, 여기서 행렬 A는 상기 센서 보정값을 나타내는 행렬이고, 행렬 X는 상기 피보정 다축 힘센서(110)에서 측정된 다축의 센서 측정값으로 구성되는 행렬이고, 행렬 Y는 상기 레퍼런스 다축 힘센서(120)에서 측정된 다축의 센서 측정값으로 구성되는 행렬인 다축 힘센서 보정장치.
  7. 제 6 항에 있어서,
    상기 센서 보정부는 선형최소자승법(Linear least square method)으로 상기 Error의 값이 최소가 되도록 하는 행렬 A의 값을 구하는 다축 힘센서 보정장치.
  8. 제 1 항에 있어서,
    상기 레퍼런스 다축 힘센서(120)와 상기 피보정 다축 힘센서(110)는 직교하는 3축에 대한 선형 방향의 세 개의 힘 및 회전 방향의 세 개의 모멘트 힘을 측정하는 6축 힘센서인 다축 힘센서 보정장치.
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