KR101815949B1 - REGENERATION APPARATUS OF WASTE NOx GAS - Google Patents

REGENERATION APPARATUS OF WASTE NOx GAS Download PDF

Info

Publication number
KR101815949B1
KR101815949B1 KR1020160147647A KR20160147647A KR101815949B1 KR 101815949 B1 KR101815949 B1 KR 101815949B1 KR 1020160147647 A KR1020160147647 A KR 1020160147647A KR 20160147647 A KR20160147647 A KR 20160147647A KR 101815949 B1 KR101815949 B1 KR 101815949B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
sludge
reducing liquid
mixture
nox gas
scrubber
Prior art date
Application number
KR1020160147647A
Other languages
Korean (ko)
Inventor
이경식
Original Assignee
주식회사 홍일화학
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 주식회사 홍일화학 filed Critical 주식회사 홍일화학
Priority to KR1020160147647A priority Critical patent/KR101815949B1/en
Application granted granted Critical
Publication of KR101815949B1 publication Critical patent/KR101815949B1/en

Links

Images

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D47/00—Separating dispersed particles from gases, air or vapours by liquid as separating agent
    • B01D47/06—Spray cleaning
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D47/00—Separating dispersed particles from gases, air or vapours by liquid as separating agent
    • B01D47/14—Packed scrubbers
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D53/00—Separation of gases or vapours; Recovering vapours of volatile solvents from gases; Chemical or biological purification of waste gases, e.g. engine exhaust gases, smoke, fumes, flue gases, aerosols
    • B01D53/34—Chemical or biological purification of waste gases
    • B01D53/46—Removing components of defined structure
    • B01D53/54—Nitrogen compounds
    • B01D53/56—Nitrogen oxides
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D53/00—Separation of gases or vapours; Recovering vapours of volatile solvents from gases; Chemical or biological purification of waste gases, e.g. engine exhaust gases, smoke, fumes, flue gases, aerosols
    • B01D53/34—Chemical or biological purification of waste gases
    • B01D53/74—General processes for purification of waste gases; Apparatus or devices specially adapted therefor
    • B01D53/77—Liquid phase processes
    • B01D53/78—Liquid phase processes with gas-liquid contact
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C02—TREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE
    • C02F—TREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE
    • C02F11/00—Treatment of sludge; Devices therefor
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D2258/00—Sources of waste gases
    • B01D2258/02—Other waste gases
    • B01D2258/0216—Other waste gases from CVD treatment or semi-conductor manufacturing
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02C—CAPTURE, STORAGE, SEQUESTRATION OR DISPOSAL OF GREENHOUSE GASES [GHG]
    • Y02C20/00—Capture or disposal of greenhouse gases
    • Y02C20/30—Capture or disposal of greenhouse gases of perfluorocarbons [PFC], hydrofluorocarbons [HFC] or sulfur hexafluoride [SF6]
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
    • Y02P70/00—Climate change mitigation technologies in the production process for final industrial or consumer products
    • Y02P70/10—Greenhouse gas [GHG] capture, material saving, heat recovery or other energy efficient measures, e.g. motor control, characterised by manufacturing processes, e.g. for rolling metal or metal working

Abstract

The present invention relates to a NOx gas removal apparatus for efficiently removing high concentration NOx gas generated by a mixed treatment of hydrofluoric acid (HF), nitric acid (HNO_3), hydrochloric acid (HCl), or the like used for the surface treatment of a cutting surface of an ingot for processing a semiconductor, or the surface treatment of a metal material in various industries, wherein sludge mixed with a reducing liquid used in the treatment of the NOx gas can be efficiently separated and the reducing liquid can be reused.

Description

NOx 가스 제거장치{REGENERATION APPARATUS OF WASTE NOx GAS}REGENERATION APPARATUS OF WASTE NOx GAS [0002]

본 발명은 반도체를 가공하기 위한 잉곳의 절단면을 표면처리하거나 또는 산업체 등에서 금속 소재의 표면처리 시 사용하는 불산(HF), 질산(HNO3), 염산(HCl) 등의 혼산에 의해 발생하는 고농도의 NOx 가스를 효율적으로 제거하고, NOx 가스의 처리시 사용하는 환원액에 혼합된 슬러지를 효율적으로 분리하여 환원액을 재활용할 수 있는 것을 특징으로 하는 NOx 가스 제거장치에 관한 것이다.(HF), nitric acid (HNO 3 ), hydrochloric acid (HCl), and the like used for surface treatment of a cutting surface of an ingot for processing a semiconductor or a surface treatment of a metal material in an industry or the like. The present invention relates to a NOx removing apparatus capable of effectively removing NOx gas and efficiently separating sludge mixed in a reducing liquid used for treating NOx gas to recycle the reducing liquid.

일반적으로 반도체를 가공하기 위한 잉곳의 절단면을 표면처리하거나 또는 산업체 등에서 금속 소재의 표면처리 시 사용하는 불산(HF), 질산(HNO3), 염산(HCl) 등의 혼산에 의해 발생하는 고농도의 NOx 가스가 발생하며, 이때 발생하는 고농도의 NOx 가스는 작업장 내의 실내 환경을 오염시키고, 작업자가 직접적으로 흡입할 경우 호흡기를 자극하여 염증을 일으켜서 건강을 위협할 뿐만 아니라 공기 중에서 쉽게 산화하여 이산화질소(NO2)로 변하며, 이산화질소(NO2)는 노란색의 황연과 냄새가 발생함으로 환경오염을 발생시키고, 물에 용해되면 질산(HNO3)이 되므로 산성비의 발생원이 되며, 식물에 손상을 주는가 하면, 간접적으로는 광화학 스모그 반응에서 핵심적 역할을 한다.In general, a surface treatment of the cut surface of the ingot for the processing of semiconductor or used for surface treatment of metal materials, etc. Industrial hydrofluoric acid (HF), nitric acid (HNO 3), hydrochloric acid, a high concentration of the NOx generated by the mixed acid such as (HCl) and gas is generated, where a high concentration of NOx gases are polluting the indoor environment of the work area, the operator, as well as threaten the health by producing inflammation by stimulating the respiratory tract if the direct suction to easily oxidized in air, nitrogen dioxide (NO 2 ), And nitrogen dioxide (NO 2 ) generates environmental pollution by yellowing yellow odor and odor. When it is dissolved in water, it becomes nitric acid (HNO 3 ), which is a source of acid rain and damages plants, Plays a key role in the photochemical smog reaction.

이와 같이 유해한 NOx 가스는 발생원에 따라서 NO 및 NO2 성분의 농도비가 크게 변화하고, NO 성분을 어떻게 처리하느냐에 따라서 처리효율이 결정된다. 반도체를 가공하기 위한 잉곳의 절단면을 표면처리하거나 또는 금속가공을 위한 산업체 등에서는 대량의 NOx 가스가 발생하므로 NOx 가스 제거장치 크기의 규모가 커야하고, 이때 NOx 가스를 처리한 처리액의 표면에 부상하는 슬러지를 효율적으로 제거할 수 없는 문제점이 있었다.The concentration ratio of the NO and NO 2 components of the harmful NOx gas varies greatly depending on the source, and the treatment efficiency is determined depending on how the NO component is treated. A large amount of NOx gas is generated in the surface treatment of the cutting surface of the ingot for processing a semiconductor or in a metalworking industry or the like. Therefore, the size of the NOx gas removing device must be large. In this case, There is a problem that the sludge can not be effectively removed.

한편, 상기와 같은 산업체 등에서 발생하는 고농도의 NOx 가스를 제거하기 위한 방안으로 특허문헌 1에 황산 및 과산화수소를 이용한 스테인레스강 혼산 산세시 발생하는 산화질소류 배가스의 제거방법이 공지되어 있지만, 과산화수소는 고가이므로 상기 기술은 경제적 측면에서 큰 부담을 주는 문제점이 있으며, 특허문헌 2에는 도 1에 도시된 바와 같이 스태틱 믹서 및 노즐이 결합된 스태틱 믹서 노즐(30)을 포함하고 상기 스태틱 믹서 노즐은 마이크로 버블을 형성하는 마이크로 버블형 스크러버(14)를 포함하는 것을 특징으로 하는 NOx 가스 제거장치를 이용하여 NOx 가스를 제거하는 방법이 공지되어 있지만 상기 기술은 NOx 가스를 물에 용해시켜 NOx 가스를 질산으로 회수하는 방법에 관한 것이다. On the other hand, as a method for removing NOx gas at a high concentration generated in the above-mentioned industry and the like, there is known a method of removing nitric oxide flue gas generated by the pickling of stainless steel using sulfuric acid and hydrogen peroxide in Patent Document 1. However, 1, a static mixer and a static mixer nozzle 30 combined with a nozzle are included, and the static mixer nozzle includes a micro bubble, A method of removing NOx gas using a NOx gas removing apparatus is known, which includes a micro bubble type scrubber 14 that forms a NOx gas, ≪ / RTI >

본 발명자는 상기의 방법들과는 달리 산업체 현장에서 발생하는 고농도의 NOx 가스를 효율적으로 제거하고, NOx 가스를 제거하기 위해 사용하는 환원액으로부터 슬러지를 효율적으로 분리시켜 환원액을 재활용할 수 있도록 개발함으로써 본 발명을 완성하게 되었다. Unlike the above methods, the present inventor has developed a method for effectively removing high-concentration NOx gas generated at industrial sites and efficiently separating sludge from a reducing solution used for removing NOx gas, Thereby completing the invention.

특허문헌 1 : 대한민국 등록특허공보 제10-0293202호(2001년 9월 17일 공고) 황산 및 과산화수소를 이용한 스테인레스강 혼산 산세시 발생하는 산화질소류 배가스의 제거방법Patent Document 1: Korean Patent Publication No. 10-0293202 (published on September 17, 2001) Removal method of nitric oxide-containing flue gas produced by sulfuric acid and hydrogen peroxide in the pickling of stainless steel 특허문헌 2 : 대한민국 공개특허공보 제10-2015-0020445호(2015년 2월 26일 공개) 마이크로 버블형 스크러버를 이용한 NOx 가스를 질산으로 회수하는 방법Patent Document 2: Korean Patent Laid-Open Publication No. 10-2015-0020445 (published on Feb. 26, 2015) A method of recovering NOx gas by nitric acid using a microbubble-type scrubber

본 발명은 반도체를 가공하기 위한 잉곳의 절단면을 표면처리하거나 또는 산업체 등에서 금속 소재의 표면처리 시 사용하는 불산(HF), 질산(HNO3), 염산(HCl) 등의 혼산에 의해 발생하는 고농도의 NOx 가스를 효율적으로 제거하고, NOx 가스의 처리시 사용하는 환원액에 혼합된 슬러지를 효율적으로 분리하여 환원액을 재활용할 수 있는 것을 특징으로 하는 NOx 가스 제거장치를 제공하는 것을 과제로 한다. (HF), nitric acid (HNO 3 ), hydrochloric acid (HCl), and the like used for surface treatment of a cutting surface of an ingot for processing a semiconductor or a surface treatment of a metal material in an industry or the like. It is an object of the present invention to provide an apparatus for removing NOx which is capable of efficiently removing NOx gas and efficiently separating sludge mixed in a reducing liquid used for treating NOx gas and recycling the reducing liquid.

본 발명은 NOx 가스를 정화시키기 위한 스크러버(100)와, 상기 스크러버(100) 내로 환원액을 공급하기 위한 환원액 공급조(200)와, 상기 스크러버(100)의 하부로부터 배출되는 슬러지(S)와 환원액(L)의 혼합물을 분리하기 위한 슬러지 분리조(300);를 포함하는 것을 특징으로 하는 NOx 가스 제거장치를 제공하는 것을 과제의 해결 수단으로 한다.The present invention relates to a scrubber for purifying NOx gas, a reducing liquid supply tank 200 for supplying a reducing liquid into the scrubber 100, a sludge S discharged from a lower portion of the scrubber 100, And a sludge separation tank (300) for separating a mixture of the reducing liquid (L) and the reducing liquid (L).

그리고 상기 스크러버(100)는 중간부에 NOx 가스가 유입되는 유입공간(110)과, 상기 유입공간의 NOx 가스가 상부로 이동하면서 환원액(L)과 반응하여 슬러지(S) 상태로 환원되게 하는 충진재가 충진된 충진층(120)과, 상기 충진층의 상부에 하부 방향으로 환원액(L)이 복수 개의 분사공을 통해 분사되는 분사관(130)이 각각 구비되고, The scrubber 100 has an inlet space 110 in which NOx gas flows into the middle portion and a NOx gas in the inlet space that reacts with the reducing liquid L and is returned to the sludge S state A filling layer 120 filled with a filling material and a spraying tube 130 spraying a reducing liquid L through a plurality of spray holes in a downward direction of the filling layer,

상기 유입공간(110)의 하부에 충진층(120)에서 NOx 가스와 환원액이 반응하여 형성된 슬러지(S)와 환원액(L)의 혼합물을 회수하는 침전공간(140)으로 구성되며, And a sedimentation space 140 for collecting a mixture of sludge S and a reducing liquid L formed by reacting NOx gas and a reducing liquid in a filling layer 120 at a lower portion of the inflow space 110,

상기 침전공간(140)은 슬러지(S)와 환원액의 혼합물이 스크러버(100)의 하부에 침전된 슬러지(S)를 흡입하는 흡입관(180a)과, 슬러지(S)와 환원액(L)이 혼합된 혼합물의 수면을 조절하는 조절관(180b)이 구비된 것을 특징으로 한다. The sedimentation space 140 includes a suction pipe 180a through which a mixture of the sludge S and the reducing liquid sucks the sludge S settled in the lower part of the scrubber 100 and a sludge S and a reducing liquid L And a control tube 180b for controlling the water surface of the mixed mixture.

또한, 상기 침전공간(140)에 유입된 수면 상부의 슬러지(S)와 환원액(L)의 혼합물은 제1 저류조(140a) 및 제2 저류조(140b)로 이송되고, 제2 저류조(140b)로 이송된 슬러지(S)와 환원액(L)의 혼합물은 이송관(150)을 통해 슬러지 처리조(300)로 이송되며, 상기 이송관(150)은 슬러지(S)와 환원액(L)의 혼합물을 흡입하는 이송관(150)의 단부가 수면과 수직되게 설치되고, 슬러지(S)와 환원액(L)의 혼합물을 흡입되는 흡입면이 경사지게 형성된 구조인 것을 특징으로 한다.The mixture of the sludge S and the reducing liquid L on the upper surface of the water introduced into the sedimentation space 140 is transferred to the first storage vessel 140a and the second storage vessel 140b and the second storage vessel 140b, The mixture of the sludge S and the reducing liquid L transferred to the sludge S is transferred to the sludge treatment tank 300 through the transfer pipe 150. The transfer pipe 150 is connected to the sludge S and the reducing liquid L, And a suction surface for sucking a mixture of the sludge (S) and the reducing liquid (L) is formed to be inclined.

본 발명은 반도체를 가공하기 위한 잉곳의 절단면을 표면처리하거나 또는 산업체 등에서 금속 소재의 표면처리 시 사용하는 불산(HF), 질산(HNO3), 염산(HCl) 등의 혼산에 의해 발생하는 고농도의 NOx 가스를 효율적으로 제거하고, NOx 가스의 처리시 사용하는 환원액에 혼합된 슬러지를 효율적으로 분리하여 환원액을 재활용할 수 있는 효과가 있다.(HF), nitric acid (HNO 3 ), hydrochloric acid (HCl), and the like used for surface treatment of a cutting surface of an ingot for processing a semiconductor or a surface treatment of a metal material in an industry or the like. There is an effect that the NOx gas can be efficiently removed and the sludge mixed with the reducing liquid used for treating the NOx gas can be efficiently separated and the reducing liquid can be recycled.

도 1은 종래의 황산 및 과산화수소를 이용한 NOx 가스를 질산으로 회수하는 장치의 개략도이고,
도 2는 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 NOx 가스 제거장치의 평면 개략도이며,
도 3은 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 NOx 가스 제거장치의 측면 개략도이고,
도 4는 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 NOx 가스 제거장치에서 발생한 슬러지(S)와 환원액(L)의 혼합물 수위 상태를 나타낸 개략도이며,
도 5는 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 NOx 가스의 제거장치의 충진층에 충진시킨 충진재를 찍은 사진이며,
도 6은 종래의 방법에 의해 슬러지(S)와 환원액(L)의 혼합물을 흡입하기 위한 이송관의 단부를 나타낸 개략도에 관한 것이다. 1 is a schematic view of an apparatus for recovering NOx gas using nitric acid using conventional sulfuric acid and hydrogen peroxide,
2 is a schematic plan view of an apparatus for removing NOx gas according to a preferred embodiment of the present invention,
3 is a side schematic view of a NOx gas removal apparatus according to a preferred embodiment of the present invention,
4 is a schematic diagram showing the state of the water level of the mixture of the sludge S and the reducing liquid L generated in the apparatus for removing NOx gas according to the preferred embodiment of the present invention,
FIG. 5 is a photograph of a filling material filled in a filling layer of a device for removing NOx gas according to a preferred embodiment of the present invention,
6 is a schematic view showing an end portion of a transfer pipe for sucking a mixture of the sludge S and the reducing liquid L by a conventional method.

이하, 본 발명의 바람직한 실시 예를 첨부한 도면인 도 3 내지 5에 의거하여 상세히 설명하고 있다. 한편, 각 도면 및 상세한 설명에서 일반적인 NOx 가스 제거기술 분야의 종사자들이 용이하게 알 수 있는 통상적인 구성인 펌프, 밸브 등에 대한 설명과 도면의 도시는 간략히 하거나 생략하였다. DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to FIGS. 3 to 5 attached hereto. In the drawings and the detailed description, the description of the pumps, valves, and the like, which are common constructions that can be easily understood by those skilled in the art of removing NOx gas, are simplified or omitted.

본 발명에 따른 NOx 가스 제거장치는 첨부된 도면인 도 2에 도시된 바와 같은 구조로서, NOx 가스를 정화시키기 위한 스크러버(100)와, 상기 스크러버(100) 내로 환원액(L)을 공급하기 위한 환원액 공급조(200)와, 상기 스크러버(100)의 하부로부터 배출되는 슬러지(S)와 환원액(L)의 혼합물을 분리하기 위한 슬러지 분리조(300);를 포함하는 것을 특징으로 한다.The apparatus for removing NOx gas according to the present invention comprises a scrubber 100 for purifying NOx gas and a purifier for supplying a reducing liquid L into the scrubber 100, And a sludge separation tank 300 for separating the mixture of the sludge S and the reducing liquid L discharged from the lower portion of the scrubber 100. [

그리고 상기 스크러버(100)는 도 3 및 도 4에 도시된 바와 같이, 스크러버(100)의 상부에는 충진층이 설치된 하부 방향으로 환원액(L)이 복수 개의 분사공을 통해 분사되는 분사관(130)이 구비되고, 스크러버(100)의 중간부에는 충진재가 충진된 충진층(120)이 설치되고, 상기 충진층의 하부에는 NOx 가스가 유입되는 유입공간(110)이 형성되고, 상기 유입공간(110)의 하부에는 상기 충진층(120)으로부터 낙하하는 슬러지(S)와 환원액(L)의 혼합물이 고이는 침전공간(140)으로 이루어진다. 3 and 4, the scrubber 100 includes a spraying tube 130 in which a reducing liquid L is sprayed through a plurality of spray holes in a downward direction in which a filling layer is installed, A filling layer 120 filled with a filler is provided in the middle of the scrubber 100 and an inlet space 110 through which the NOx gas flows is formed in the bottom of the filling layer, 110 and a sedimentation space 140 in which a mixture of sludge S falling from the filling layer 120 and a reducing liquid L is accumulated.

따라서, 상기 스크러버(100)는 중간부에 형성된 유입공간(110)으로 금속 소재의 표면처리시 사용하는 혼산에 의해 발생하는 NOx 가스가 유입되면, NOx 가스는 충진재가 충진된 충진층(120)을 통해 스크러버(100)의 상부로 이동된다. 이때, 충진층(120) 상부에 구비된 분사관(130)에 형성된 복수 개의 분사공을 통해 충진층(12)으로 분사되는 환원액(L)과 NOx 가스가 접촉하면서 반응하여 형성된 질산염이 슬러지(S)와 미반응의 환원액(L)이 중력에 의해 하부의 침전공간(140)으로 낙하하게 된다. Accordingly, when the NOx gas generated by the mixed acid used in the surface treatment of the metal material flows into the inflow space 110 formed in the middle portion of the scrubber 100, the NOx gas is supplied to the filler layer 120 filled with the filler To the top of the scrubber 100. At this time, the nitrate formed by reacting with the reducing liquid (L) injected into the filling layer (12) through the plurality of injection holes formed in the injection pipe (130) provided in the upper part of the filling layer (120) S and the unreacted reducing liquid L fall into the lower sedimentation space 140 due to gravity.

이와 같이, 스크러버(100)의 유입공간(110)으로 유입된 NOx 가스는 충진층(120)에서 환원액(L)과 접촉 반응하여 질산염의 슬러지(S) 형태로 낙하하게 되고, NOx 가스가 제거된 깨끗한 공기는 스크러버(100) 상단의 배출구를 통해 외부로 배기되어진다. The NOx gas introduced into the inflow space 110 of the scrubber 100 reacts with the reducing liquid L in the filler layer 120 to fall into the form of nitrate sludge S, The clean air is exhausted to the outside through the exhaust port on the upper side of the scrubber 100.

본 발명에서 사용하는 환원액(L)은 NOx 가스를 산화시킬 수 있는 화합물은 모두 사용되어 질 수 있으며, 구체적으로는 황화수소나트륨(NaSH), 티오황산나트륨(Na2S2O3) 등이 있으나, 여기에서 한정하는 환원액이 이외에도 NOx를 산화시킬 수 있는 화합물은 모두 사용되어 질 수 있다. 참고로 본 발명에서 사용하는 환원액은 화합물의 종류에 따라 화합물의 순도가 10~30 중량%의 범위 내가 되도록 절절히 희석하여 사용하면 되지만, 상기에서 열거한 농도의 범위에만 반드시 한정되지 아니하고 필요에 따라서는 상기에서 한정한 농도 범위 이외의 용액으로 희석시켜 사용할 수도 있다. As the reducing liquid L used in the present invention, any compound capable of oxidizing NOx gas may be used. Specific examples thereof include sodium hydrogen sulfide (NaSH) and sodium thiosulfate (Na 2 S 2 O 3 ) In addition to the reducing liquid defined here, any compound capable of oxidizing NOx can be used. For reference, the reducing solution used in the present invention may be diluted so that the purity of the compound is in the range of 10 to 30% by weight depending on the kind of the compound. However, the reducing solution is not necessarily limited to the concentration ranges listed above, May be diluted with a solution other than the concentration range defined above.

본 발명에서 충진층(120)에 충진시키는 충진재는 도 5에 도시된 바와 같이, 스크러버(100)의 유입공간(110)으로 유입된 NOx 가스가 스크러버(100)의 상부로 이동하기가 용이하고, 충진층(120)의 상부에 위치한 분사관(130)으로부터 분사되는 환원액(L)이 스크러버(100)의 하부로 유출되기가 용이하며, 충진재 내에서 NOx 가스와 환원액(L)이 접촉하여 형성된 질산염의 슬러지(S)가 하부로 낙하하기 쉽게 원통형 충진재의 내벽에 복수 개의 지지대가 일체형으로 결합되고, 원통벽에 원주 방향을 따라 일정간격으로 절개된 관통구가 형성된 구조인 것이 바람직하다. As shown in FIG. 5, the filling material to be filled in the filling layer 120 of the present invention is such that the NOx gas introduced into the inflow space 110 of the scrubber 100 is easily moved to the upper portion of the scrubber 100, The reducing liquid L injected from the injection pipe 130 located above the filling layer 120 can easily flow out to the lower portion of the scrubber 100 and the NOx gas and the reducing liquid L come into contact with each other in the filling material It is preferable that a plurality of support rods are integrally coupled to the inner wall of the cylindrical filling material so that the sludge S of the formed nitrate is easily dropped to the bottom and the through holes are formed in the cylindrical wall at regular intervals along the circumferential direction.

그리고 침전공간(140)은 첨부된 도면인 도 4에 도시된 바와 같이, 슬러지(S)와 환원액(L)의 혼합물이 스크러버(100)의 하부에 침전된 슬러지(S)를 흡입하는 흡입관(180a)과, 슬러지(S)와 환원액(L)이 혼합된 혼합물의 수면을 조절하는 조절관(180b)이 구비된다. 4, the mixture of the sludge S and the reducing liquid L absorbs the sludge S precipitated in the lower portion of the scrubber 100, And a control tube 180b for controlling the water surface of the mixture in which the sludge S and the reducing liquid L are mixed.

침전공간(140)의 하부에 위치한 흡입관(180a)은 스크러버(100)의 하부에 침전된 슬러지(S)를 흡입하기 위하여 슬러지(S)를 흡입하는 관의 입구가 스크러버(100)의 바닥면으로부터 조금 떨어지게 이격된 구조로서, 스크러버(100)의 바닥면에 침전된 슬러지(S)는 흡입관(180a)과 슬러지 배출관(180)을 통해 외부의 슬러지 처리장으로 이송된다. The suction pipe 180a located in the lower part of the sedimentation space 140 is connected to the bottom of the scrubber 100 through an inlet of the pipe for sucking the sludge S for sucking the sludge S precipitated in the lower part of the scrubber 100 The sludge S settled on the bottom surface of the scrubber 100 is transferred to the external sludge treatment plant through the suction pipe 180a and the sludge discharge pipe 180. [

그리고 침전공간(140)의 상부에 위치한 조절관(180b)은 슬러지(S)와 환원액(L)이 혼합된 혼합물의 수면이 안전수위를 유지하는 위치에 혼합물을 흡입하기 위한 관의 입구가 위치하며, 침전공간(140)의 수면 높이가 제1 저류조(140a)의 수면 높이와 일치하게 하여 안전수위를 유지시키는 역할을 한다. 즉, 슬러지(S)와 환원액(L)이 혼합된 혼합물의 수면 높이가 스크러버(100)에 침전된 혼합물을 제1 저류조(140a)로 이송하기 위한 이송구(부호 미표시)의 높이보다 낮아져 위험수위의 높이에 도달할 경우에는 스크러버(100)의 유입공간(110) 내에 유입된 미정제된 NOx 가스가 침전공간(140)의 이송구(부호 미표시)를 통해 외부로 방출되어 작업장의 실내공기를 오염시킬 우려가 있다. The control tube 180b located at the upper part of the sedimentation space 140 is located at a position where the water level of the mixture of the sludge S and the reducing liquid L is maintained at the safe water level, And the water level of the sedimentation space 140 coincides with the water level of the first storage vessel 140a to maintain the safe water level. That is, the height of the water surface of the mixture in which the sludge S and the reducing liquid L are mixed becomes lower than the height of the transfer port (not shown) for transferring the mixture precipitated in the scrubber 100 to the first storage vessel 140a, The untreated NOx gas introduced into the inflow space 110 of the scrubber 100 is discharged to the outside through a transfer port (not shown) of the settling space 140, There is a risk of contamination.

즉, 침전공간(140)에서는 슬러지(S)를 흡입하기 위한 흡입관(180a)의 제1 밸브(Va)를 열고 모터를 가동하여 슬러지(S)를 흡입시 슬러지(S)와 환원액(L)이 혼합된 혼합물의 수면 높이에 따라 조절관(180b)의 제2 밸브(Vb)의 개폐를 조절하여 혼합물의 수면 높이를 조절한다. 평상시에는 제1 밸브(Va)만 열고 모터를 가동시키다가 NOx 가스의 처리량이 많아질 경우 슬러지(S)와 환원액(L)이 혼합된 혼합물의 수면 높이가 높아지게 되므로 제2 밸브(Vb)를 열어 혼합물을 흡입하여 혼합물의 수면이 안전수위를 유지할수 있도록 한다. That is, in the sedimentation space 140, the first valve Va of the suction pipe 180a for sucking the sludge S is opened and the motor is operated to move the sludge S and the reducing liquid L when sucking the sludge S, The water level of the mixture is adjusted by controlling the opening and closing of the second valve (Vb) of the control pipe (180b) according to the water surface height of the mixed mixture. Since the water level of the mixture in which the sludge S and the reducing liquid L are mixed becomes higher when the processing amount of the NOx gas is increased after the first valve Va is normally opened and the motor is operated, the second valve Vb Open the mixture so that the water level of the mixture is maintained at a safe level.

그리고 슬러지(S)와 환원액(L)이 혼합된 혼합물의 수면 높이가 위험수위에 도달할 경우에는 조절관(180b)에 공기가 흡입되므로 다이아후램 펌프의 작동이 중지하게 된다. When the water level of the mixture of the sludge S and the reducing liquid L reaches the danger level, the air is sucked into the control pipe 180b, thereby stopping the operation of the diaphragm pump.

NOx 가스의 처리량이 많아져서 제1 밸브(Va)와 제2 밸브(Vb)를 동시에 열어둘 경우에는 흡입대상량에 대하여 제1 밸브(Va)에서 흡입량의 90부피% 정도를 흡입하고, 제2 밸브(Vb)에서 흡입량의 10부피% 정도를 흡입하는 것이 바람직하지만, 가동상태에 따라 각 밸브의 흡입량은 적절히 조정되어질 수 있다. When the first valve (Va) and the second valve (Vb) are opened at the same time due to an increase in the amount of NOx gas to be processed, about 90% by volume of the suction amount is sucked by the first valve (Va) It is preferable to suck about 10% by volume of the suction amount in the valve Vb, but the suction amount of each valve can be appropriately adjusted according to the operating state.

따라서, 침전공간(140)에서는 제1 밸브(Va)에 의해 흡입량이 조절되는 흡입관(180a)과 제2 밸브(Vb)에 의해 흡입량이 조절되는 조절관(180b)을 적절히 사용하여 슬러지(S)를 흡입하므로서 슬러지(S)와 환원액(L)이 혼합된 혼합물의 수면 높이가 안전수위를 유지하도록 조정하고, 위험수위에 도달하지 않도록 하여 스크러버(100)의 유입공간(110) 내에 유입된 미정제된 NOx 가스가 침전공간(140)의 이송구(부호 미표시)를 통해 외부로 방출되는 것을 방지할 수 있다. Therefore, in the sedimentation space 140, the sludge S is appropriately used by the suction pipe 180a whose suction amount is adjusted by the first valve Va and the adjustment pipe 180b whose suction amount is adjusted by the second valve Vb, The height of the water surface of the mixture in which the sludge S and the reducing liquid L are mixed is adjusted so as to maintain the safe water level so as not to reach the danger water level, It is possible to prevent the released NOx gas from being discharged to the outside through the transfer port (not shown) of the sedimentation space 140.

또한, 상기 침전공간(140)에 유입된 수면 상부의 슬러지(S)와 환원액(L)의 혼합물은 제1 저류조(140a) 및 제2 저류조(140b)로 이송되고, 제2 저류조(140b)로 이송된 슬러지(S)와 환원액(L)의 혼합물은 이송관(150)을 통해 슬러지 처리조(300)로 이송된다.The mixture of the sludge S and the reducing liquid L on the upper surface of the water introduced into the sedimentation space 140 is transferred to the first storage vessel 140a and the second storage vessel 140b and the second storage vessel 140b, The mixture of the sludge S and the reducing liquid L transferred to the sludge treatment tank 300 is transferred through the transfer pipe 150 to the sludge treatment tank 300.

상기 이송관(150)은 슬러지(S)와 환원액(L)의 혼합물을 흡입하는 입구가 도 3의 원 내에 도시된 도면의 구조와 같이, 슬러지(S)와 환원액(L)의 혼합물을 흡입하는 이송관(150)의 단부가 수면과 수직되게 설치되고, 슬러지(S)와 환원액(L)의 혼합물을 용이하게 흡입할 수 있도록 흡입면이 경사지게 형성된 구조이다. The transfer pipe 150 is connected to the inlet of the transfer pipe 150 so that the inlet for sucking the mixture of the sludge S and the reducing liquid L is a mixture of the sludge S and the reducing liquid L, The end of the suction pipe 150 is installed perpendicular to the water surface and the suction surface is inclined so that the mixture of the sludge S and the reducing liquid L can be easily sucked.

슬러지(S)와 환원액(L)의 혼합물을 흡입하는 입구가 도 6에 도시된 도면의 구조와 같이, 평면으로 형성된 구조일 경우에는 슬러지(S)를 계속적으로 흡입할 경우 슬러지(S)에 의해 이송관(150)의 흡입면이 막히는 경우가 종종 발생하는 문제점이 있으나, 본 발명은 흡입면이 경사지게 형성된 구조로서 이와 같은 문제점들을 예방할 수 있는 것이 특징이다.  When the inlet for sucking the mixture of the sludge S and the reducing liquid L is a flat structure like the structure shown in Fig. 6, when the sludge S is continuously sucked, the sludge S There is a problem that the suction surface of the transfer pipe 150 is often clogged. However, the present invention is characterized in that the suction surface is formed with an inclined structure to prevent such problems.

그리고 본 발명은 도 2에 도시된 바와 같이, 침전공간(140)에 유입된 수면 상부의 슬러지(S)와 환원액(L)의 혼합물로부터 회수한 NOx 가스와 미반응한 환원액(L)을 제1 저류조(140a)에서 재순환관(190a)를 통해 분사관(130)으로 이송시켜 재사용한다. 2, the NOx gas recovered from the mixture of the sludge S and the reducing liquid L in the upper part of the water introduced into the sedimentation space 140 and the unreacted reducing liquid L Is transferred from the first storage vessel 140a to the injection pipe 130 through the recycle pipe 190a to be reused.

본 발명의 첨부된 도면에서 미설명한 부호인 160은 슬러지 처리조(300)의 환원액(L)을 제1 저류조(140a)로 이송하기 위한 환송관이고, 180은 슬러지를 외부 처리장으로 배출하기 위한 배출관이며, 190은 환원액 저장조(200)의 환원액(L)을 스크러버(100)로 공급하기 위한 환원액 공급관이다.Reference numeral 160 in the accompanying drawings denotes a transfer pipe for transferring the reducing liquid L of the sludge treatment tank 300 to the first storage tank 140a and 180 is a discharge pipe for discharging the sludge to the external treatment plant And reference numeral 190 denotes a reducing liquid supply pipe for supplying the reducing liquid L of the reducing liquid reservoir 200 to the scrubber 100.

상술한 바와 같은, 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 NOx 가스 제거장치를 설명하였지만, 이는 예를 들어 설명한 것에 불과하며 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 다양한 변화 및 변경이 가능하다는 것을 이 분야의 통상적인 기술자들은 잘 이해할 수 있을 것이다.Although the apparatus for removing NOx gas according to the preferred embodiment of the present invention has been described above, it is to be understood that the present invention is not limited to the above-described embodiment, and various changes and modifications may be made without departing from the technical spirit of the present invention. Will be well understood by those of ordinary skill in the art.

100 : 스크러버 110 : 유입공간
120 : 충진층 130 : 분사관
140 : 침전공간 150 : 이송관
140a : 제1 저류조 140b : 제2 저류조
200 : 환원액 공급조 300 : 슬러지 분리조
L : 환원액 S : 슬러지100: scrubber 110: inflow space
120: filling layer 130:
140: settling space 150: transfer pipe
140a: first storage vessel 140b: second storage vessel
200: Reducing liquid supply tank 300: Sludge separation tank
L: Reducing liquid S: Sludge

Claims (6)

중간부에 NOx 가스가 유입되는 유입공간(110)과, 상기 유입공간의 NOx 가스가 상부로 이동하면서 환원액(L)과 반응하여 슬러지(S) 상태로 환원되게 하는 충진재가 충진된 충진층(120)과, 상기 충진층의 상부에 하부 방향으로 환원액(L)이 복수 개의 분사공을 통해 분사되는 분사관(130)이 각각 구비되어 NOx 가스를 정화시키기 위한 스크러버(100)와,
상기 스크러버(100) 내로 환원액을 공급하기 위한 환원액 공급조(200)와,
상기 스크러버(100)의 하부로부터 배출되는 슬러지(S)와 환원액(L)의 혼합물을 분리하기 위한 슬러지 분리조(300);를 포함하되,
상기 스크러버(100)는, 상기 유입공간(110)의 하부에 충진층(120)에서 NOx 가스와 환원액(L)이 반응하여 형성된 슬러지(S)와 환원액(L)의 혼합물을 회수하는 침전공간(140)으로 구성되고,
상기 침전공간(140)은 슬러지(S)와 환원액(L)의 혼합물로부터 스크러버(100)의 하부에 침전된 슬러지(S)를 흡입하는 흡입관(180a)과, 슬러지(S)와 환원액(L)이 혼합된 혼합물의 수면을 조절하는 조절관(180b)이 구비된 것을 특징으로 하는 NOx 가스 제거장치.
A filling space 110 filled with a filling material for causing the NOx gas in the inflow space to react with the reducing liquid L to be reduced to the sludge S state, A scrubber 100 for purifying the NOx gas by being provided at the upper part of the packing layer with a spray pipe 130 through which a reducing liquid L is injected through a plurality of spray holes,
A reducing liquid supply tank 200 for supplying a reducing liquid into the scrubber 100,
And a sludge separation tank 300 for separating a mixture of the sludge S and the reducing liquid L discharged from the lower portion of the scrubber 100,
The scrubber 100 is provided with a sedimentation recovery unit 130 for recovering a mixture of the sludge S and the reducing liquid L formed by the reaction of the NOx gas and the reducing liquid L in the lower part of the inflow space 110, Space 140,
The sedimentation space 140 includes a suction pipe 180a for sucking the sludge S precipitated in the lower portion of the scrubber 100 from a mixture of the sludge S and the reducing liquid L, And a control tube (180b) for controlling the water level of the mixture in which the mixture is mixed.
삭제delete 삭제delete 삭제delete 제1항에 있어서,
상기 침전공간(140)에 유입된 수면 상부의 슬러지(S)와 환원액(L)의 슬러지(S)의 혼합물은 제1 저류조(140a) 및 제2 저류조(140b)로 이송되고,
제2 저류조(140b)로 이송된 슬러지(S)와 환원액(L)의 혼합물은 이송관(150)을 통해 슬러지 처리조(300)로 이송되는 것을 특징으로 하는 NOx 가스 제거장치.
The method according to claim 1,
The mixture of the sludge S on the upper surface of the water and the sludge S of the reducing liquid L introduced into the sedimentation space 140 is transferred to the first storage vessel 140a and the second storage vessel 140b,
Wherein the mixture of the sludge (S) and the reducing liquid (L) transferred to the second storage tank (140b) is transferred to the sludge treatment tank (300) through the transfer pipe (150).
제5항에 있어서,
상기 이송관(150)은 슬러지(S)와 환원액(L)의 혼합물을 흡입하는 이송관(150)의 단부가 수면과 수직되게 설치되고, 슬러지(S)와 환원액(L)의 혼합물을 흡입되는 흡입면이 경사지게 형성된 구조인 것을 특징으로 하는 NOx 가스 제거장치. 6. The method of claim 5,
The transfer pipe 150 is provided with an end portion of the transfer pipe 150 for sucking the mixture of the sludge S and the reducing liquid L perpendicularly to the water surface and a mixture of the sludge S and the reducing liquid L And the intake surface to be sucked is inclined.
KR1020160147647A 2016-11-07 2016-11-07 REGENERATION APPARATUS OF WASTE NOx GAS KR101815949B1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020160147647A KR101815949B1 (en) 2016-11-07 2016-11-07 REGENERATION APPARATUS OF WASTE NOx GAS

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020160147647A KR101815949B1 (en) 2016-11-07 2016-11-07 REGENERATION APPARATUS OF WASTE NOx GAS

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR101815949B1 true KR101815949B1 (en) 2018-01-11

Family

ID=61004129

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020160147647A KR101815949B1 (en) 2016-11-07 2016-11-07 REGENERATION APPARATUS OF WASTE NOx GAS

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR101815949B1 (en)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN111745701A (en) * 2020-07-06 2020-10-09 刘承彦 Two meshbelt guillootines that pull are used in dacron silk processing

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100613264B1 (en) * 2005-03-29 2006-08-21 (주)대성공영환경 Wet type scrubber for exhaust gas
KR101462376B1 (en) * 2014-03-07 2014-11-17 (주)덕성그린텍 Apparatus for removing harmful gas containing sulfur oxides and nitrogen oxides
JP2014233671A (en) 2013-05-31 2014-12-15 バブコック日立株式会社 Denitration equipment

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100613264B1 (en) * 2005-03-29 2006-08-21 (주)대성공영환경 Wet type scrubber for exhaust gas
JP2014233671A (en) 2013-05-31 2014-12-15 バブコック日立株式会社 Denitration equipment
KR101462376B1 (en) * 2014-03-07 2014-11-17 (주)덕성그린텍 Apparatus for removing harmful gas containing sulfur oxides and nitrogen oxides

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN111745701A (en) * 2020-07-06 2020-10-09 刘承彦 Two meshbelt guillootines that pull are used in dacron silk processing
CN111745701B (en) * 2020-07-06 2021-10-22 浙江金农化纤有限公司 Two meshbelt guillootines that pull are used in dacron silk processing

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP4211227B2 (en) Perfluoride treatment method and treatment apparatus
US20070022958A1 (en) Abatement of fluorine gas from effluent
CN205760582U (en) Limestone-plaster wet desulfurizing system
KR101571093B1 (en) Waste gas scrubber
CN101155625A (en) Wet type scrubber for exhaust gas
US8308146B2 (en) Gaseous effluent treatment apparatus
CN107029532B (en) Desulfurization and denitrification integrated device and method for flue gas
KR20150128589A (en) Antifoam device and method of use for seawater foam control
WO2008134613A1 (en) Process and system for removing hydrogen sulfide and mercaptans in ammonia-based desulfurization systems
CN106731610B (en) Venturi reactor type smoke dust purifying system
KR101815949B1 (en) REGENERATION APPARATUS OF WASTE NOx GAS
KR20080082639A (en) Emission control system utilizing chlorine dioxide and hydrogen peroxide
CN109621646A (en) A kind of kiln gas defluorinate desulfurization and dust-removal method and equipment
US9498745B2 (en) System for recovering and recycling acid mist generated in electrolytic cells for electrowinning or electrorefining non-ferrous
KR20140073280A (en) Exhausy gas purifying apparatus for a ship
JP5005920B2 (en) Toxic gas removal device
JP3223688U (en) Wet scrubber
JP6082339B2 (en) Etching reaction gas removal method and scrubber apparatus
KR101076140B1 (en) Liquid carbon dioxide produced by reaction of calcium hydroxide and calcium carbonate using rigid exhaust gas to remove sulfur compounds and the device
CN116920647A (en) Micro-nano bubble generator and treatment method of gas-liquid pollutants
KR102452117B1 (en) Mixed gas purifying apparatus using microbubble and method of purifying mixed gas using same
JPS6359337A (en) Method and apparatus for treating exhaust gas
EP0941756A1 (en) Stack device capable of removing dust particles, sulfur oxides and nitrogen oxides
CA2625052A1 (en) High volume, low back-pressure gas scrubber
JPH0356123A (en) Removal of mercury and nox in gas

Legal Events

Date Code Title Description
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant