KR101810497B1 - Purification apparatus of high quality GeH4 - Google Patents

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이경주
서재용
오찬우
윤수형
박성국
남병언
김준형
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오션브릿지 주식회사
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    • C01B6/34—Purification; Stabilisation

Abstract

A high purity germane purification apparatus of the present invention comprises a plurality of columns, a reboiler member, and a condensation member. The purification apparatus has advantages that overhaul time for the columns is reduced by interposing the plurality of columns between the reboiler member and the condensation member such that the columns are separated from each other, productivity can be improved by continuously operating residual columns while sequentially overhauling the plurality of columns. The purification apparatus can actively respond to various requirements for the purification amount by enabling products to be produced from about 10% of the designed purification capacity according to the application of a multicolumn process although the production itself of products has been impossible with a half or less of designed purification capacity in a conventional purification apparatus. Further, the purification apparatus has advantages that work difficulty is lowered during manufacturing or overhauling of the columns, and manufacturing, disassembling and assembling properties can be improved because columns are manufactured with small diameters by applying the multicolumn process.

Description

고순도 저메인 정제 장치{Purification apparatus of high quality GeH4}[0001] Purification apparatus of high quality GeH4 [0002]

본 발명은 고순도 저메인 정제 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a high purity germane purification apparatus.

저메인(GeH4)은 반도체, 엘씨디(LCD) 및 박막형 태양전지의 실리콘게르마늄(SiGe)막 형성을 위해 사용되는 가스로서, 이러한 저메인을 고순도로 정제하는 것이 고순도 저메인 정제 장치이다.GeMe 4 (GeH 4 ) is a gas used to form silicon germanium (SiGe) films in semiconductors, LCDs and thin-film solar cells. It is a high-purity purine refining apparatus that purifies such germene with high purity.

종래의 고순도 저메인 정제 장치의 예로 제시될 수 있는 것이 아래 제시된 특허문헌의 그 것이다.An example of a conventional high-purity germane refinement apparatus is that of the patent document given below.

그러나, 종래의 고순도 저메인 정제 장치에 의하면, 합성기에서 합성된 저메인을 정제시켜 고순도로 변환시킬 때, 그러한 저메인 정제를 위해 이용되는 칼럼(column)이 단수 개 적용되어, 그 단수 개의 칼럼에서 저메인 정제가 이루어지고, 그에 따라 생산성이 떨어짐은 물론, 정제량에 대한 다양한 요구에 능동적으로 대응하지 못하는 문제가 있었다.However, according to the conventional high-purity germane purification apparatus, when a germane synthesized in a synthesizer is purified and converted into a high purity, a single column is used for such a germane purification, The productivity is deteriorated accordingly, and there is a problem in that it can not actively cope with various demands on the refining amount.

등록특허 제 10-1413621호, 등록일자: 2014.06.24., 발명의 명칭: 고순도의 저메인 생산방법 및 그 장치Patent No. 10-1413621, filed on Jun. 24, 2014. Title of the Invention: High purity germene production method and apparatus

본 발명은 생산성이 향상되고 정제량에 대한 다양한 요구에 능동적으로 대응할 수 있는 고순도 저메인 정제 장치를 제공하는 것을 일 목적으로 한다.It is an object of the present invention to provide a high purity purifying gel apparatus capable of improving productivity and actively responding to various demands for purified amount.

본 발명의 일 측면에 따른 고순도 저메인 정제 장치는 상대적인 저순도의 원료 저메인(crude GeH4)이 정제를 위해 유입되는 칼럼(column)과, 상기 원료 저메인에서 수소, 다이저메인(Ge2H6) 및 트리저메인(Ge3H6)을 분리하여 상대적인 고순도의 저메인을 생성할 수 있도록, 상기 칼럼 내의 상기 원료 저메인을 리보일링시키는 리보일러 부재와, 상기 원료 저메인에서 수소, 다이저메인(Ge2H6) 및 트리저메인(Ge3H6)을 분리하여 상대적인 고순도의 저메인을 생성할 수 있도록, 상기 칼럼 내의 상기 원료 저메인을 응축시키는 응축 부재를 포함하고, 상기 칼럼의 하부는 상기 리보일러 부재와 연결되고, 상기 칼럼의 상부는 상기 응축 부재 사이와 연결됨으로써, 상기 칼럼 내의 상기 원료 저메인에 대한 응축과 리보일링이 반복되면서 상기 원료 저메인에서 수소, 다이저메인(Ge2H6) 및 트리저메인(Ge3H6)이 분리되어 상대적인 고순도의 상기 저메인이 형성될 수 있고, 상기 칼럼은 상기 리보일러 부재와 상기 응축 부재 사이에 서로 이격되도록 복수 개가 개재되는 것을 특징으로 하는 것으로서,
상기 고순도 저메인 정제 장치는 복수 개의 상기 칼럼 사이의 간격이 요구되는 간격으로 유지되는지 여부를 감지하는 간격 감지 부재;를 포함하고,
상기 간격 감지 부재는 서로 이웃하는 상기 칼럼 중 어느 하나의 상대적 상측면에 서로 이웃하는 상기 칼럼 중 다른 하나와 대면되도록 배치되는 상측 자석과, 서로 이웃하는 상기 칼럼 중 어느 하나의 상대적 하측면에 서로 이웃하는 상기 칼럼 중 다른 하나와 대면되도록 배치되는 하측 자석과, 서로 이웃하는 상기 칼럼 중 다른 하나의 상대적 상측면에 상기 상측 자석과 마주보도록 배치되어, 상기 상측 자석의 자력을 감지하는 상측 홀 센서와, 서로 이웃하는 상기 칼럼 중 다른 하나의 상대적 하측면에 상기 하측 자석과 마주보도록 배치되어, 상기 하측 자석의 자력을 감지하는 하측 홀 센서를 포함하고,
상기 상측 홀 센서에 의해 감지되는 상기 상측 자석의 자력과 상기 하측 홀 센서에 의해 감지되는 상기 하측 자석의 자력이 동일한 경우, 서로 이웃하는 상기 칼럼들은 서로 동일한 간격으로 유지되고 있는 것으로 판단되고,
상기 상측 홀 센서에 의해 감지되는 상기 상측 자석의 자력과 상기 하측 홀 센서에 의해 감지되는 상기 하측 자석의 자력이 다른 경우, 서로 이웃하는 상기 칼럼들은 서로 동일하지 아니한 간격으로 어긋난 것으로 판단되는 것을 특징으로 한다.Purity Germain purification apparatus Germain materials of relative low purity (crude GeH 4) is the column (column) is introduced to the purification of hydrogen in the raw material Germain, di-Germain (Ge 2 H 6) in accordance with one aspect of the invention, and tree Germain (Ge 3 H 6) a, and the reboiler members which ring the raw Germain in the column reboil, at the raw material Germain hydrogen, di-Germain (Ge 2 H 6 to produce a relative high purity Germain separated And a condensing member for condensing the raw material jermain in the column so as to produce germane of relatively high purity by separating tigermaine (Ge 3 H 6 ), and the lower part of the column is connected to the reboiler member , And the upper part of the column is connected to the space between the condensing members so that the condensation and the reboiling of the raw material jermain in the column are repeated, Cattle, di-Germain (Ge 2 H 6) and tri-Germain (Ge 3 H 6) are separated and can be above Germain of relative high purity form, it said column includes a plurality to be spaced apart from each other between the reboiler member and the condensing member Wherein the first and second support members are interposed,
Wherein the high purity purine refining apparatus comprises an interval sensing member for sensing whether a spacing between the plurality of columns is maintained at a required spacing,
Wherein the gap sensing member comprises: an upper magnet disposed to face another one of the columns adjacent to each other on a relative upper side of one of the adjacent columns; and an upper magnet disposed on a relative lower side of one of the adjacent columns, An upper Hall sensor disposed to face the upper magnet on a relative upper side of the other of the adjacent columns and sensing the magnetic force of the upper magnet, And a lower Hall sensor arranged to face the lower magnet on a relatively lower side of the other of the adjacent columns and sensing the magnetic force of the lower magnet,
When the magnetic force of the upper magnet sensed by the upper Hall sensor and the magnetic force of the lower magnet sensed by the lower Hall sensor are the same, it is determined that the neighboring columns are maintained at the same interval,
When the magnetic force of the upper magnet sensed by the upper hall sensor is different from the magnetic force of the lower magnet sensed by the lower hall sensor, it is determined that the neighboring columns are shifted at an interval which is not equal to each other do.

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본 발명의 일 측면에 따른 고순도 저메인 정제 장치에 의하면, 칼럼이 리보일러 부재와 응축 부재 사이에 서로 이격되도록 복수 개가 개재됨으로써, 상기 칼럼에 대한 오버홀(overhaul) 기간이 단축되고 복수 개의 상기 칼럼을 순차적으로 오버홀시키면서 나머지 칼럼은 작동을 지속시킬 수 있으므로, 생산성이 향상될 수 있고, 종래의 정제 장치에서는 설계된 정제 용량의 절반 이하로는 제품 생산 자체가 불가능하였으나 다중 칼럼 방식이 적용됨에 따라 10％ 정도부터 제품 생산이 가능하므로, 정제량에 대한 다양한 요구에 능동적으로 대응할 수 있으며, 다중 칼럼 방식으로 인해 각 칼럼이 소구경화되므로, 그 제작 및 오버홀시 작업 난이도가 낮아지고 제작, 분해 및 조립성이 향상될 수 있게 되는 효과가 있다.According to an aspect of the present invention, a plurality of the columns are interposed between the reboiler member and the condensing member so that the overhaul period for the column is shortened and the plurality of columns are sequentially The productivity can be improved. In a conventional refining apparatus, it is impossible to produce the product at half the designed refining capacity. However, since the multi-column system is applied, Since the product can be produced, it is possible to actively respond to various demands on the refining amount, and since each column is hardened due to the multi-column method, the difficulty in manufacturing and overhauling is lowered and the manufacturing, There is an effect that can be done.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 고순도 저메인 정제 장치를 보이는 도면.
도 2는 도 1에 도시된 A부분에 대한 확대도.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 고순도 저메인 정제 장치에 적용된 균형 감지 부재를 보이는 단면도.
도 4는 도 3에 도시된 균형 감지 부재가 일부 기울어짐을 감지한 모습을 보이는 단면도.
도 5는 도 4에 도시된 균형 감지 부재가 완전 처짐을 감지한 모습을 보이는 단면도.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 고순도 저메인 정제 장치에서 바디 프레임의 기울어짐을 감지하는 부분을 확대한 도면.
도 7은 도 6에 도시된 바디 프레임이 기울어진 것을 감지한 모습을 보이는 도면.1 is a view of a high purity purine gel purification apparatus according to an embodiment of the present invention.
2 is an enlarged view of portion A shown in Fig.
3 is a cross-sectional view of a balance sensing member applied to a high purity purine gel purification apparatus in accordance with an embodiment of the present invention.
FIG. 4 is a sectional view showing a state in which the balance sensing member shown in FIG. 3 senses some tilting.
5 is a sectional view showing a state in which the balance sensing member shown in FIG. 4 senses complete deflection.
FIG. 6 is an enlarged view of a portion of the body frame that detects tilting in a high-purity Germanine refining apparatus according to an embodiment of the present invention. FIG.
FIG. 7 is a view showing a state in which the body frame shown in FIG. 6 is tilted. FIG.

이하에서는 도면을 참조하여 본 발명의 일 실시예에 따른 고순도 저메인 정제 장치에 대하여 설명한다.Hereinafter, a high purity purifying purifier according to an embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 고순도 저메인 정제 장치를 보이는 도면이고, 도 2는 도 1에 도시된 A부분에 대한 확대도이고, 도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 고순도 저메인 정제 장치에 적용된 균형 감지 부재를 보이는 단면도이고, 도 4는 도 3에 도시된 균형 감지 부재가 일부 기울어짐을 감지한 모습을 보이는 단면도이고, 도 5는 도 4에 도시된 균형 감지 부재가 완전 처짐을 감지한 모습을 보이는 단면도이고, 도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 고순도 저메인 정제 장치에서 바디 프레임의 기울어짐을 감지하는 부분을 확대한 도면이고, 도 7은 도 6에 도시된 바디 프레임이 기울어진 것을 감지한 모습을 보이는 도면이다.FIG. 1 is a view showing a high purity purine gel purifying apparatus according to an embodiment of the present invention. FIG. 2 is an enlarged view of part A shown in FIG. 1, FIG. 4 is a cross-sectional view showing a state in which the balance sensing member shown in FIG. 3 is partially tilted, FIG. 5 is a sectional view showing the state in which the balance sensing member shown in FIG. FIG. 6 is an enlarged view of a tilt sensing part of the body frame in the high purity purine gel purifying apparatus according to an embodiment of the present invention, FIG. 7 is an enlarged view of the body frame shown in FIG. 6, Which is a view showing a state in which it is detected.

도 1 내지 도 7을 함께 참조하면, 본 실시예에 따른 고순도 저메인 정제 장치(100)는 칼럼(column)(110)과, 리보일러 부재(106)와, 응축 부재(101)를 포함한다.Referring to FIGS. 1 to 7 together, the high purity Puréman refining apparatus 100 according to the present embodiment includes a column 110, a reboiler member 106, and a condensing member 101.

상기 칼럼(110)은 상대적인 저순도의 원료 저메인(crude GeH4)이 정제를 위해 유입되는 것이다.The column 110 is a relatively low purity source of crude GeH 4 introduced for purification.

상기 리보일러 부재(106)는 상기 원료 저메인에서 수소, 다이저메인(Ge2H6) 및 트리저메인(Ge3H6)을 분리하여 상대적인 고순도의 저메인을 생성할 수 있도록, 상기 칼럼(110) 내의 상기 원료 저메인을 리보일링시키는 것이다.The reboiler member 106 may be formed by separating hydrogen, dimegaine (Ge 2 H 6 ), and tigermaine (Ge 3 H 6 ) from the raw material jemaine to produce germane of relatively high purity. And the raw material jermaine is reboiled.

도면 번호 107은 상기 리보일러 부재(106) 내에 배치되어, 외부에서 공급되는 전기에 의해 발열되는 리보일링 히터이고, 도면 번호 108은 상기 리보일러 부재(106) 내에 모인 다이저메인(Ge2H6) 및 트리저메인(Ge3H6)을 외부로 배출하는 리보일러 배기구이다.Reference numeral 107 denotes a reboiling heater disposed in the reboiler member 106 and externally supplied with electricity; and numeral 108 denotes a diesel particulate (Ge 2 H 6 ) And tigermaine (Ge 3 H 6 ) to the outside.

상기 응축 부재(101)는 상기 원료 저메인에서 수소, 다이저메인(Ge2H6) 및 트리저메인(Ge3H6)을 분리하여 상대적인 고순도의 저메인을 생성할 수 있도록, 상기 칼럼(110) 내의 상기 원료 저메인을 응축시키는 것이다.The condensing member 101 may be formed by separating hydrogen, dimegaine (Ge 2 H 6 ), and tigermaine (Ge 3 H 6 ) from the raw material Jermain to produce germane of relatively high purity. It is to condense the raw material Jermaine.

도면 번호 102는 상기 응축 부재(101)와 연결되는 응축 연결 케이스이고, 도면 번호 105는 외부 냉동 사이클과 연결되어 상기 응축 부재(101) 내부의 유체를 응축시키는 응축용 열교환기이고, 도면 번호 103은 상기 원료 저메인에서 분리된 수소가 외부로 유출되는 수소 배출구이고, 도면 번호 104는 상기 원료 저메인이 고순도로 정제된 상기 저메인이 외부로 배출되는 저메인 배출구이다.Reference numeral 102 denotes a condensing connection case connected to the condensing member 101, reference numeral 105 denotes a condensing heat exchanger connected to an external refrigeration cycle for condensing the fluid inside the condensing member 101, And the hydrogen discharged from the raw material jermain flows out to the outside. Reference numeral 104 denotes a Jermaine outlet through which the above-mentioned raw material jermaine is purified to a high purity and is discharged to the outside.

도면 번호 170은 상기 고순도 저메인 정제 장치(100)의 각 구성요소의 작동을 제어하는 제어 부재이다.Reference numeral 170 is a control member for controlling the operation of each component of the high-purity Puréman refining apparatus 100.

본 실시예에서는, 상기 칼럼(110)의 하부는 상기 리보일러 부재(106)와 연결되고, 상기 칼럼(110)의 상부는 상기 응축 부재(101) 사이와 연결됨으로써, 상기 칼럼(110) 내의 상기 원료 저메인에 대한 응축과 리보일링이 반복되면서 상기 원료 저메인에서 수소, 다이저메인(Ge2H6) 및 트리저메인(Ge3H6)이 분리되어 상대적인 고순도의 상기 저메인이 형성될 수 있고, 상기 칼럼(110)은 상기 리보일러 부재(106)와 상기 응축 부재(101) 사이에 서로 이격되도록 복수 개가 개재된다.The lower portion of the column 110 is connected to the reboiler member 106 and the upper portion of the column 110 is connected to between the condensing members 101, Hydrogen, dimegaine (Ge 2 H 6 ) and tigermaine (Ge 3 H 6 ) are separated from the raw material jermaine as the condensation and reboiling of the raw material germene are repeated, and the germane of relatively high purity can be formed A plurality of columns 110 are interposed between the reboiler member 106 and the condensing member 101 so as to be spaced apart from each other.

상기와 같이, 상기 칼럼(110)은 상기 리보일러 부재(106)와 상기 응축 부재(101) 사이에 서로 이격되도록 복수 개가 개재됨으로써, 상기 칼럼(110)에 대한 오버홀(overhaul) 기간이 단축되고 복수 개의 상기 칼럼(110)을 순차적으로 오버홀시키면서 나머지 칼럼(110)은 작동을 지속시킬 수 있으므로, 생산성이 향상될 수 있고, 종래의 정제 장치에서는 설계된 정제 용량의 절반 이하로는 제품 생산 자체가 불가능하였으나 다중 칼럼(110) 방식이 적용됨에 따라 10％ 정도부터 제품 생산이 가능하므로, 정제량에 대한 다양한 요구에 능동적으로 대응할 수 있으며, 다중 칼럼(110) 방식으로 인해 각 칼럼(110)이 소구경화되므로, 그 제작 및 오버홀시 작업 난이도가 낮아지고 제작, 분해 및 조립성이 향상될 수 있게 된다.As described above, since the column 110 is interposed between the reboiler member 106 and the condensing member 101, the overhaul period for the column 110 is shortened, The remaining columns 110 can be continuously operated while overriding the number of the columns 110, thereby improving the productivity. In the conventional refining apparatus, production of the products is not possible at half or less of the designed refining capacity As the multi-column (110) system is applied, the product can be produced from about 10%, so that it can actively cope with various demands on the amount of purification and each column (110) , It is possible to lower the degree of difficulty in manufacturing and overhauling, and to improve manufacturing, disassembling and assembling performance.

예시적으로, 상기 각 칼럼(110)에는 높이에 따라 상기 원료 저메인을 상기 칼럼(110) 내로 유입시키는 원료 유입관(111)과, 상기 각 칼럼(110) 내로 액화질소를 유입시키는 액화질소 유입관(112)을 포함하고, 상기 각 칼럼(110) 내의 액화질소 양을 조절하기 위하여 액화질소를 유출시킬 수 있는 액화질소 유출관(113)을 포함한다.Illustratively, each of the columns 110 includes a raw material inlet pipe 111 for introducing the raw material jermaine into the column 110 according to the height, a liquefied nitrogen inlet pipe 111 for introducing the liquefied nitrogen into the respective columns 110, And a liquefied nitrogen effluent pipe (113) capable of discharging liquefied nitrogen to regulate the amount of liquefied nitrogen in each of the columns (110).

상기 액화질소 유입관(112)을 통해 상기 각 칼럼(110) 내에 액화질소가 유입되어 상기 각 칼럼(110) 내의 온도가 요구되는 저온, 예를 들어 -80 내지 -120℃로 유지된 상태에서, 반응기에서 반응되어 형성된 상기 원료 저메인이 상기 원료 유입관(111)을 통해 상기 각 칼럼(110)에 유입되고, 이러한 상태에서 상기 고순도 저메인 정제 장치(100)의 하부에서는 상기 리보일러 부재(106)에 의한 상기 각 칼럼(110) 내의 상기 원료 저메인에 대한 리보일링이 수행되고, 상기 고순도 저메인 정제 장치(100)의 상부에서는 상기 응축 부재(101)에 의한 상기 각 칼럼(110) 내의 상기 원료 저메인에 대한 응축이 수행된다. 그러면, 상기 저메인에 비해 상대적으로 비점이 낮은 수소는 증류되어 분리되고, 상기 수소 배출구(103)를 통해 외부로 배출된다. 또한, 다이저메인 및 트리저메인은 상기 리보일러 배기구(108)를 통해 외부로 배출된다.The liquefied nitrogen is introduced into the respective columns 110 through the liquefied nitrogen inlet pipe 112 and the temperature in each of the columns 110 is maintained at a required low temperature, for example, from -80 to -120 ° C., The raw material jermaine reacted in the reactor is introduced into the respective columns 110 through the raw material inlet pipe 111. In this state, in the lower part of the high purity refinery apparatus 100, Wherein the raw material jermain in each of the columns 110 is subjected to reboiling by the condensing member 101 at the upper part of the high purity germane purification apparatus 100, Condensation is carried out for. Then, hydrogen having a relatively low boiling point as compared with the germane is distilled and separated, and is discharged to the outside through the hydrogen outlet 103. In addition, the dighermenes and the tigermaines are discharged to the outside through the reboiler exhaust port 108.

상기와 같은 수소 배출이 완료된 다음, 고순도로 정제된 상기 저메인을 상기 저메인 배출구(104)를 통해 배출한다.After the hydrogen discharge is completed as described above, the germane purified at a high purity is discharged through the germane outlet 104.

한편, 상기 고순도 저메인 정제 장치(100)는 복수 개의 상기 칼럼(110) 사이의 간격이 요구되는 간격으로 유지되는지 여부를 감지하는 간격 감지 부재(150, 155)를 포함한다.The high purity Puréman refining apparatus 100 includes an interval sensing member 150 or 155 for sensing whether the interval between the plurality of columns 110 is maintained at a required interval.

상세히, 상기 간격 감지 부재(150, 155)는 서로 이웃하는 상기 칼럼(110) 중 어느 하나의 상대적 상측면에 서로 이웃하는 상기 칼럼(110) 중 다른 하나와 대면되도록 배치되는 상측 자석(151)과, 서로 이웃하는 상기 칼럼(110) 중 어느 하나의 상대적 하측면에 서로 이웃하는 상기 칼럼(110) 중 다른 하나와 대면되도록 배치되는 하측 자석(152)과, 서로 이웃하는 상기 칼럼(110) 중 다른 하나의 상대적 상측면에 상기 상측 자석(151)과 마주보도록 배치되어 상기 상측 자석(151)의 자력을 감지하는 상측 홀 센서(156)와, 서로 이웃하는 상기 칼럼(110) 중 다른 하나의 상대적 하측면에 상기 하측 자석(152)과 마주보도록 배치되어 상기 하측 자석(152)의 자력을 감지하는 하측 홀 센서(157)를 포함한다.Specifically, the gap sensing member 150, 155 includes an upper magnet 151 and a lower magnet 151, which are disposed to face each other, of the columns 110 adjacent to each other on the relative upper surface of one of the adjacent columns 110 , A lower magnet (152) arranged to face another one of the columns (110) adjacent to each other on a relatively lower side of any one of the adjacent columns (110), and a lower magnet An upper Hall sensor 156 arranged to face the upper magnet 151 on one relative phase side to sense the magnetic force of the upper magnet 151 and a lower Hall sensor 156 to sense the magnetic force of the upper magnet 151 relative to the other one of the adjacent columns 110 And a lower Hall sensor 157 disposed on the side face of the lower magnet 152 to sense the magnetic force of the lower magnet 152.

예를 들어, 서로 이웃하는 상기 칼럼(110) 중 어느 하나의 표면 하부 및 표면 상부에 각각 상기 하측 자석(152) 및 상기 상측 자석(151)이 배치되고, 서로 이웃하는 상기 칼럼(110) 중 다른 하나의 표면 하부 및 표면 상부에 각각 상기 하측 홀 센서(157) 및 상기 상측 홀 센서(156)가 배치된다.For example, the lower magnet 152 and the upper magnet 151 are disposed on the lower surface and the upper surface of one of the adjacent columns 110, respectively, and the other of the adjacent columns 110 The lower hall sensor 157 and the upper hall sensor 156 are disposed on the lower surface and the upper surface of the one surface, respectively.

상기와 같이 배치되면, 상기 상측 홀 센서(156)에 의해 감지되는 상기 상측 자석(151)의 자력과 상기 하측 홀 센서(157)에 의해 감지되는 상기 하측 자석(152)의 자력이 동일한 경우, 상기 제어 부재(170)는 서로 이웃하는 상기 칼럼(110)들은 서로 동일한 간격으로 유지되고 있는 것으로 판단하고, 상기 상측 홀 센서(156)에 의해 감지되는 상기 상측 자석(151)의 자력과 상기 하측 홀 센서(157)에 의해 감지되는 상기 하측 자석(152)의 자력이 다른 경우, 상기 제어 부재(170)는 서로 이웃하는 상기 칼럼(110)들은 서로 동일하지 아니한 간격으로 어긋난 것으로 판단한다. 그러면, 상기 각 칼럼(110)들의 임의적인 간격 변화가 감지될 수 있다.If the magnetic force of the upper magnet 151 sensed by the upper hall sensor 156 and the magnetic force of the lower magnet 152 sensed by the lower hall sensor 157 are equal to each other, The control member 170 determines that the neighboring columns 110 are maintained at the same interval and the magnetic force of the upper magnet 151 sensed by the upper hall sensor 156 and the magnetic force of the upper magnet 151, When the magnetic force of the lower magnet 152 sensed by the control member 157 is different, the control member 170 determines that the neighboring columns 110 are shifted at an interval that is not equal to each other. An arbitrary spacing change of each of the columns 110 may then be sensed.

한편, 상기 고순도 저메인 정제 장치(100)는 상기 각 칼럼(110)에 배치되어, 상기 각 칼럼(110)의 수직도를 감지하는 균형 감지 부재(160)를 포함한다.The high-purity Guerine purification apparatus 100 includes a balance sensing member 160 disposed in each of the columns 110 to sense a verticality of the respective columns 110.

상세히, 상기 균형 감지 부재(160)는 상기 각 칼럼(110)에 부착되고 내부가 빈 원형 실린더 형태로 형성되는 균형 감지 부재 케이스(161)와, 상기 균형 감지 부재 케이스(161) 내부의 상단에서 반구형으로 돌출되는 회동 연결 링(162)과, 상기 회동 연결 링(162)에 회동 가능하게 걸려 중력 방향으로 향하도록 회동될 수 있고 상기 회동 연결 링(162)과 멀어지는 말단부 쪽으로 갈수록 상대적으로 점차 커지도록 형성되는 회동체(163)와, 상기 회동체(163)의 말단부에 배치되는 회동 마그넷(164)과, 상기 균형 감지 부재 케이스(161)의 내부의 저면에 배치되어 상기 회동체(163)에 매달려 회동되는 상기 회동 마그넷(164)의 자력 변화를 감지하는 균형 감지 홀 센서(166)와, 상기 균형 감지 부재 케이스(161)의 내부의 하측면에 배치되어 상기 회동체(163)에 매달려 회동되는 상기 회동 마그넷(164)의 접촉을 감지할 수 있는 압력 감지 센서 등의 균형 감지 접촉 센서(165)를 포함한다.More specifically, the balance sensing member 160 includes a balance sensing member case 161 attached to each of the columns 110 and having an inner hollow cylindrical shape, And a rotation connecting ring 162 protruding from the rotation connecting ring 162. The rotating connecting ring 162 is rotatably attached to the rotating connecting ring 162 so as to be rotated toward the gravity direction, A rotating magnet 163 disposed at a distal end of the rotary body 163 and a rotary magnet 163 disposed on a bottom surface of the inside of the balance sensing member case 161 to pivot on the rotary body 163, A balance sensing hole sensor 166 for sensing a change in the magnetic force of the rotation magnet 164 and a balance sensing sensor 166 disposed on a lower side of the balance sensing member case 161, And a balance sensing contact sensor 165 such as a pressure sensing sensor capable of sensing the contact of the copper magnet 164.

상기 회동체(163)와 상기 회동 마그넷(164)은 자중에 의해 상기 회동 연결 링(162)에 연결된 상태로 항상 중력 방향을 향하게 된다.The pivoting member 163 and the pivoting magnet 164 are always connected to the pivoting connection ring 162 by their own weight and are always oriented in the gravity direction.

감지 효과를 증진하기 위하여, 상기 균형 감지 홀 센서(166)는 상기 균형 감지 부재 케이스(161)의 내부의 저면 상의 중앙과 그 양 측으로 일정 간격 이격되도록 세 개 이상으로 설치된다.In order to enhance the sensing effect, the balance sensing hall sensor 166 is installed at three or more distances from the center on the bottom surface of the inside of the balance sensing member case 161 and on both sides thereof.

상기 각 칼럼(110)이 정상적인 자세를 유지하는 동안, 도 3에 도시된 바와 같이, 상기 회동 마그넷(164)은 상기 균형 감지 홀 센서(166) 중 중앙의 것에 의해 감지되는 상태를 유지한다.As shown in FIG. 3, the rotating magnet 164 maintains a state of being sensed by the center of the balance sensing hall sensor 166 while each column 110 maintains a normal attitude.

그러다가, 상기 각 칼럼(110)이 임의로 기울어지기 시작하면, 도 4에 도시된 바와 같이, 상기 각 칼럼(110)의 기울어지는 정도만큼 상기 회동체(163)가 중력에 의해 회동되면서 상기 회동 마그넷(164)의 위치가 변동됨에 따라 상기 균형 감지 홀 센서(166)에 의해 감지되는 자력이 변화됨으로써, 상기 각 칼럼(110)의 기울어지기 시작함이 감지될 수 있다.4, when the rotary body 163 is rotated by the gravity by the degree of tilting of the respective columns 110, the rotation of the rotary magnet 164 are changed, the magnetic force sensed by the balance sensing hall sensor 166 is changed, so that the start of the tilting of each of the columns 110 can be sensed.

상기 각 칼럼(110)이 최대값으로 기울어지면, 도 5에 도시된 바와 같이, 상기 회동 마그넷(164)의 위치 변동에 따른 자력 변화 최대값이 상기 균형 감지 홀 센서(166)에 의해 감지됨과 함께, 상기 회동 마그넷(164)이 상기 균형 감지 접촉 센서(165)와 접촉됨으로써, 상기 각 칼럼(110)의 최대 기울어짐이 감지될 수 있게 된다.As shown in FIG. 5, when the respective columns 110 are tilted to the maximum value, the maximum change in magnetic force according to the positional change of the rotating magnet 164 is detected by the balance sensing hall sensor 166 The maximum tilting of each of the columns 110 can be detected by contacting the rotating magnet 164 with the balance sensing touch sensor 165.

상기와 같은 상기 각 칼럼(110)의 기울어짐과 그 기울어지는 정도에 대한 정보는 상기 제어 부재(170)로 전달된다.The inclination of each of the columns 110 and the degree of inclination of the columns 110 are transmitted to the control member 170.

상기와 같이 구성됨으로써, 상기 각 칼럼(110)의 임의적인 기울어짐과 그 기울어지는 정도가 신속하게 감지될 수 있게 된다.By configuring as described above, the arbitrary inclination of each column 110 and the degree of inclination thereof can be quickly detected.

한편, 상기 고순도 저메인 정제 장치(100)는 레이저 발신체 걸이부(130)와, 레이저 발신체(120)와, 무게추(135)와, 마그넷 배열 곡면체(132)와, 레이저 발신체 측 마그넷(134)과, 레이저 발신체 측 홀 센서(133)와, 레이저 수신체(140)를 포함한다.The high-purity germane refining apparatus 100 includes a laser emitting body hanger 130, a laser emitting body 120, a weight 135, a magnet array curved body 132, a laser emitting body magnet 134, a laser emitting side-hall sensor 133, and a laser receiving body 140.

상기 레이저 발신체 걸이부(130)는 상기 응축 부재(101) 중 일 측부, 예를 들어 상기 응축 부재(101)의 일 측 상단면에서 일정 길이로 상방으로 돌출되는 것이다.The laser emitting body hanging part 130 protrudes upward by a predetermined length from one side of the condensing member 101, for example, one side upper surface of the condensing member 101.

상기 레이저 발신체(120)는 상기 레이저 발신체 걸이부(130)에 편심 회동축(131)에 의해 회동 가능하게 걸리되, 상기 레이저 발신체(120)의 무게 중심보다 상대적으로 상측부에 상기 편심 회동축(131)이 편심되도록 연결됨으로써, 상기 레이저 발신체(120)가 자중에 의해 항상 중력 방향에 대해 수직으로 레이저를 발사할 수 있게 된다.The laser emitting body 120 is rotatably attached to the laser emitting body hanger 130 by an eccentric rotation axis 131. The eccentric rotating shaft 131 rotates the laser emitting body 120, By connecting the pivot 131 so as to be eccentric, the laser emitting body 120 can always emit laser beams perpendicular to the gravity direction by its own weight.

상기 무게추(135)는 상기 레이저 발신체(120)의 하부에 배치되어, 상기 레이저 발신체(120)가 중력 방향에 대해 수직으로 레이저를 발사할 수 있는 자세를 유지하도록 상기 레이저 발신체(120)에 하중을 부가하되, 상기 무게추(135)의 저면이 곡면 형태로 형성되는 것이다.The weight 135 is disposed at a lower portion of the laser emitting body 120 so that the laser emitting body 120 emits laser beams in a direction perpendicular to the gravity direction, And the bottom of the weight 135 is formed in a curved shape.

상기 마그넷 배열 곡면체(132)는 상기 응축 부재(101) 중 일 측부의 상면 상에 형성되되, 상기 무게추(135)의 곡면과 대면되도록 상기 무게추(135)의 곡면과 일정 간격으로 이격되는 곡면으로 형성되는 것이다.The magnet array curved body 132 is formed on the upper surface of one side of the condensing member 101 and has a curved surface spaced apart from the curved surface of the weight 135 by a predetermined distance, .

상기 레이저 발신체 측 마그넷(134)은 상기 마그넷 배열 곡면체(132) 상에 일정 간격 이격되면서 복수 개 배치되는 것이다.A plurality of the laser-generated body side magnets 134 are arranged on the magnet array curved body 132 while being spaced apart from each other by a predetermined distance.

상기 레이저 발신체 측 홀 센서(133)는 상기 무게추(135)의 저면의 중앙부에 형성되는 것으로, 복수 개의 상기 레이저 발신체 측 마그넷(134) 중 상기 레이저 발신체 측 홀 센서(133)에 인접한 것의 자력을 감지한다.The laser emitting side Hall sensor 133 is formed at the center of the bottom of the weight 135 and is disposed adjacent to the laser emitting side Hall sensor 133 among the plurality of laser emitting side magnets 134 It senses the magnetic force of something.

상기 레이저 수신체(140)는 상기 응축 부재(101) 중 타 측부, 예를 들어 상기 응축 부재(101)의 타 측 상단면에 배치되어, 상기 레이저 발신체(120)에서 발신된 레이저를 수신할 수 있는 것이다.The laser receiving body 140 is disposed on the other side of the condensing member 101, for example, on the other side upper end surface of the condensing member 101, and receives the laser emitted from the laser emitting body 120 You can.

상기 응축 부재(101)가 정상적인 수평 상태를 유지하는 동안에는, 도 6에 도시된 바와 같이, 상기 레이저 발신체(120)가 중력 방향에 대해 수직 방향으로 레이저를 발신하고, 상기 레이저 수신체(140)가 정상적으로 그 레이저를 수신한다.6, the laser emitting body 120 emits laser beams in a direction perpendicular to the gravitational direction while the condensing member 101 is maintained in a normal horizontal state, Normally receives the laser.

그러다가, 도 7에 도시된 바와 같이, 상기 응축 부재(101)가 기울어지면, 상기 레이저 발신체 걸이부(130), 상기 마그넷 배열 곡면체(132), 상기 레이저 발신체 측 마그넷(134) 및 상기 레이저 수신체(140)도 상기 응축 부재(101)와 함께 기울어지지만, 상기 레이저 발신체(120), 상기 무게추(135) 및 상기 레이저 발신체 측 홀 센서(133)는 상기 편심 회동축(131)을 중심으로 중력에 의해 원 자세, 즉 중력 방향에 수직 방향으로 레이저를 발사할 수 있는 자세를 유지한다. 그러면, 상기 레이저 발신체(120)가 중력 방향에 대해 수직 방향으로 레이저를 발신하도록 상기 레이저 발신체(120)가 중력에 의해 기울어지고, 그러한 상기 레이저 발신체(120)의 기울어짐에 따라 복수 개의 상기 레이저 발신체 측 마그넷(134) 중 상기 레이저 발신체 측 홀 센서(133)에 의해 감지되는 것이 변화됨으로써, 상기 응축 부재(101)의 기울어짐이 감지될 수 있고, 이러한 정보는 상기 제어 부재(170)로 전달된다.7, when the condensing member 101 is inclined, the laser emitting body hanger 130, the magnet array curved body 132, the laser-emitting body side magnet 134, and the laser The weight body 135 and the laser-emitting-body-side Hall sensor 133 are coupled to the eccentric rotation shaft 131, while the receiving body 140 is inclined with the condensing member 101. However, That is, in a direction perpendicular to the gravitational direction, by gravitational force around the center of gravity. Then, the laser emitting body 120 is tilted by gravity so that the laser emitting body 120 emits laser beams in a direction perpendicular to the gravitational direction, and as the laser emitting body 120 tilts, The inclination of the condensing member 101 can be sensed by changing the perception of the laser-generated body side magnet 134 by the laser-emitting-body-side hall sensor 133, 170).

상기 레이저 발신체 측 홀 센서(133)에 의해 감지되는 상기 응축 부재(101)의 기울어짐값이 미리 설정된 기울어짐값을 넘었는지에 대한 정보와, 상기 레이저 발신체(120)에서 발신된 레이저가 상기 레이저 수신체(140)에서 수신되지 못하는 페일(fail)에 대한 정보 중 어느 하나가 도출되면, 상기 제어 부재(170)는 상기 응축 부재(101)의 기울어짐이 안전하지 못한 수준이 된 것으로 판단하고, 상기 원료 저메인에 대한 정제가 중지되도록 한다.Information on whether the tilting value of the condensing member 101 sensed by the laser-receiving-body-side hall sensor 133 exceeds a predetermined inclination value, information indicating whether the laser emitted from the laser emitting body 120 is a laser The control member 170 determines that the tilting of the condensing member 101 is at an unsafe level when any one of the information about failures not received by the receiving body 140 is derived, The purification of the raw material jermain is stopped.

상기와 같이 구성됨으로써, 상기 응축 부재(101)의 임의적인 기울어짐과 그 기울어지는 정도가 신속하게 감지될 수 있게 된다.With this configuration, the arbitrary inclination of the condensing member 101 and the degree of inclination of the condensing member 101 can be quickly detected.

이하에서는 도면을 참조하여 본 실시예에 따른 고순도 저메인 정제 장치(100)의 작동에 대하여 간단히 설명한다.Hereinafter, the operation of the high-purity Purémine purifier 100 according to the present embodiment will be briefly described with reference to the drawings.

먼저, 상기 액화질소 유입관(112)을 통해 상기 각 칼럼(110) 내에 액화질소가 유입되어 상기 각 칼럼(110) 내의 온도가 요구되는 저온, 예를 들어 -80 내지 -120℃로 유지된다.First, the liquefied nitrogen flows into the respective columns 110 through the liquefied nitrogen inlet pipe 112, and the temperature in each of the columns 110 is maintained at a required low temperature, for example, -80 to -120 ° C.

이러한 상태에서, 상기 반응기에서 반응되어 형성된 상기 원료 저메인이 상기 원료 유입관(111)을 통해 상기 각 칼럼(110)에 유입된다.In this state, the raw material jermaine reacted in the reactor is introduced into each of the columns 110 through the raw material inlet pipe 111.

이러한 상태에서 상기 고순도 저메인 정제 장치(100)의 하부에서는 상기 리보일러 부재(106)에 의한 상기 각 칼럼(110) 내의 상기 원료 저메인에 대한 리보일링이 수행되고, 상기 고순도 저메인 정제 장치(100)의 상부에서는 상기 응축 부재(101)에 의한 상기 각 칼럼(110) 내의 상기 원료 저메인에 대한 응축이 수행된다. 그러면, 상기 저메인에 비해 상대적으로 비점이 낮은 수소는 증류되어 분리되고, 상기 수소 배출구(103)를 통해 외부로 배출된다.In this state, in the lower part of the high purity germane purification apparatus 100, the reboiler member 106 performs the reboiling of the raw material germane in the respective columns 110, The condensation of the raw material jermain in each of the columns 110 by the condensing member 101 is performed. Then, hydrogen having a relatively low boiling point as compared with the germane is distilled and separated, and is discharged to the outside through the hydrogen outlet 103.

상기와 같은 수소 배출이 완료된 다음, 고순도로 정제된 상기 저메인을 상기 저메인 배출구(104)를 통해 배출한다.After the hydrogen discharge is completed as described above, the germane purified at a high purity is discharged through the germane outlet 104.

상기와 같이, 상기 칼럼(110)이 상기 리보일러 부재(106)와 상기 응축 부재(101) 사이에 서로 이격되도록 복수 개가 개재됨으로써, 상기 칼럼(110)에 대한 오버홀(overhaul) 기간이 단축되고 복수 개의 상기 칼럼(110)을 순차적으로 오버홀시키면서 나머지 칼럼(110)은 작동을 지속시킬 수 있으므로, 생산성이 향상될 수 있고, 종래의 정제 장치에서는 설계된 정제 용량의 절반 이하로는 제품 생산 자체가 불가능하였으나 다중 칼럼(110) 방식이 적용됨에 따라 10％ 정도부터 제품 생산이 가능하므로, 정제량에 대한 다양한 요구에 능동적으로 대응할 수 있으며, 다중 칼럼(110) 방식으로 인해 각 칼럼(110)이 소구경화되므로, 그 제작 및 오버홀시 작업 난이도가 낮아지고 제작, 분해 및 조립성이 향상될 수 있게 된다.As described above, since a plurality of the columns 110 are interposed between the reboiler member 106 and the condensing member 101, the overhaul period for the column 110 is shortened, The remaining columns 110 can be continuously operated while overriding the number of the columns 110, thereby improving the productivity. In the conventional refining apparatus, production of the products is not possible at half or less of the designed refining capacity As the multi-column (110) system is applied, the product can be produced from about 10%, so that it can actively cope with various demands on the amount of purification and each column (110) , It is possible to lower the degree of difficulty in manufacturing and overhauling, and to improve manufacturing, disassembling and assembling performance.

상기에서 본 발명은 특정한 실시예에 관하여 도시되고 설명되었지만, 당업계에서 통상의 지식을 가진 자라면 이하의 특허청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역을 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 알 수 있을 것이다. 그렇지만 이러한 수정 및 변형 구조들은 모두 본 발명의 권리범위 내에 포함되는 것임을 분명하게 밝혀두고자 한다.While the present invention has been particularly shown and described with reference to exemplary embodiments thereof, it will be understood by those of ordinary skill in the art that various changes in form and detail may be made therein without departing from the spirit and scope of the invention as defined by the following claims And can be changed. However, it is intended that the present invention covers the modifications and variations of this invention provided they come within the scope of the appended claims and their equivalents.

본 발명의 일 측면에 따른 고순도 저메인 정제 장치에 의하면, 생산성이 향상되고 정제량에 대한 다양한 요구에 능동적으로 대응할 수 있으므로, 그 산업상 이용가능성이 높다고 하겠다.According to one aspect of the present invention, the high-purity Purémine refining apparatus can be improved in productivity and capable of actively responding to various demands on the amount of refining, so that it is highly likely to be used industrially.

100 : 고순도 저메인 정제 장치
101 : 응축 부재
106 : 리보일러 부재
110 : 칼럼100: High purity germane refinery
101: condensing member
106: reboiler member
110: Column

Claims (5)

상대적인 저순도의 원료 저메인(crude GeH4)이 정제를 위해 유입되는 칼럼(column)과,
상기 원료 저메인에서 수소, 다이저메인(Ge2H6) 및 트리저메인(Ge3H6)을 분리하여 상대적인 고순도의 저메인을 생성할 수 있도록, 상기 칼럼 내의 상기 원료 저메인을 리보일링시키는 리보일러 부재와,
상기 원료 저메인에서 수소, 다이저메인(Ge2H6) 및 트리저메인(Ge3H6)을 분리하여 상대적인 고순도의 저메인을 생성할 수 있도록, 상기 칼럼 내의 상기 원료 저메인을 응축시키는 응축 부재를 포함하고,
상기 칼럼의 하부는 상기 리보일러 부재와 연결되고, 상기 칼럼의 상부는 상기 응축 부재 사이와 연결됨으로써, 상기 칼럼 내의 상기 원료 저메인에 대한 응축과 리보일링이 반복되면서 상기 원료 저메인에서 수소, 다이저메인(Ge2H6) 및 트리저메인(Ge3H6)이 분리되어 상대적인 고순도의 상기 저메인이 형성될 수 있고,
상기 칼럼은 상기 리보일러 부재와 상기 응축 부재 사이에 서로 이격되도록 복수 개가 개재되는 것을 특징으로 하는 고순도 저메인 정제 장치에 있어서,
상기 고순도 저메인 정제 장치는 복수 개의 상기 칼럼 사이의 간격이 요구되는 간격으로 유지되는지 여부를 감지하는 간격 감지 부재;를 포함하고,
상기 간격 감지 부재는
서로 이웃하는 상기 칼럼 중 어느 하나의 상대적 상측면에 서로 이웃하는 상기 칼럼 중 다른 하나와 대면되도록 배치되는 상측 자석과,
서로 이웃하는 상기 칼럼 중 어느 하나의 상대적 하측면에 서로 이웃하는 상기 칼럼 중 다른 하나와 대면되도록 배치되는 하측 자석과,
서로 이웃하는 상기 칼럼 중 다른 하나의 상대적 상측면에 상기 상측 자석과 마주보도록 배치되어, 상기 상측 자석의 자력을 감지하는 상측 홀 센서와,
서로 이웃하는 상기 칼럼 중 다른 하나의 상대적 하측면에 상기 하측 자석과 마주보도록 배치되어, 상기 하측 자석의 자력을 감지하는 하측 홀 센서를 포함하고,
상기 상측 홀 센서에 의해 감지되는 상기 상측 자석의 자력과 상기 하측 홀 센서에 의해 감지되는 상기 하측 자석의 자력이 동일한 경우, 서로 이웃하는 상기 칼럼들은 서로 동일한 간격으로 유지되고 있는 것으로 판단되고,
상기 상측 홀 센서에 의해 감지되는 상기 상측 자석의 자력과 상기 하측 홀 센서에 의해 감지되는 상기 하측 자석의 자력이 다른 경우, 서로 이웃하는 상기 칼럼들은 서로 동일하지 아니한 간격으로 어긋난 것으로 판단되는 것을 특징으로 하는 고순도 저메인 정제 장치.A column in which a crude low purity raw material GeH 4 is introduced for purification,
A reboiler member ( 22 ) for reboiling the raw material jermain in the column so that hydrogen, dimegaine (Ge 2 H 6 ) and tigermene (Ge 3 H 6 ) Wow,
And a condensing member for condensing the raw material jermain in the column so that hydrogen, dimegaine (Ge 2 H 6 ) and tigermene (Ge 3 H 6 ) are separated from the raw material jemaine to produce germane of relatively high purity ,
The lower portion of the column is connected to the reboiler member and the upper portion of the column is connected to between the condensing members so that condensation and reboiling of the raw material jermain in the column are repeated, (Ge 2 H 6 ) and tigermane (Ge 3 H 6 ) can be separated to form the above-mentioned germane of relatively high purity,
Wherein a plurality of said columns are spaced apart from each other between said reboiler member and said condensing member,
Wherein the high purity purine refining apparatus comprises an interval sensing member for sensing whether a spacing between the plurality of columns is maintained at a required spacing,
The gap sensing member
An upper magnet disposed to face another one of the columns adjacent to each other on a relative upper side of any one of the adjacent columns,
A lower magnet disposed so as to face another one of the columns adjacent to each other on a relatively lower side of any one of the adjacent columns,
An upper hall sensor arranged to face the upper magnet on a relative upper side of the other of the adjacent columns and sensing a magnetic force of the upper magnet,
And a lower Hall sensor arranged to face the lower magnet on a relatively lower side of the other of the adjacent columns and sensing the magnetic force of the lower magnet,
When the magnetic force of the upper magnet sensed by the upper Hall sensor and the magnetic force of the lower magnet sensed by the lower Hall sensor are the same, it is determined that the neighboring columns are maintained at the same interval,
When the magnetic force of the upper magnet sensed by the upper hall sensor is different from the magnetic force of the lower magnet sensed by the lower hall sensor, it is determined that the neighboring columns are shifted at an interval which is not equal to each other Purification of high-purity germane. 삭제delete 삭제delete 제 1 항에 있어서,
상기 고순도 저메인 정제 장치는
상기 각 칼럼에 배치되어, 상기 각 칼럼의 수직도를 감지하는 균형 감지 부재;를 포함하고,
상기 균형 감지 부재는
상기 각 칼럼에 부착되고 내부가 빈 원형 실린더 형태로 형성되는 균형 감지 부재 케이스와,
상기 균형 감지 부재 케이스 내부의 상단에서 반구형으로 돌출되는 회동 연결 링과,
상기 회동 연결 링에 회동 가능하게 걸려 중력 방향으로 향하도록 회동될 수 있고, 상기 회동 연결 링과 멀어지는 말단부 쪽으로 갈수록 상대적으로 점차 커지도록 형성되는 회동체와,
상기 회동체의 말단부에 배치되는 회동 마그넷과,
상기 균형 감지 부재 케이스의 내부의 저면에 배치되어, 상기 회동체에 매달려 회동되는 상기 회동 마그넷의 자력 변화를 감지하는 균형 감지 홀 센서와,
상기 균형 감지 부재 케이스의 내부의 하측면에 배치되어, 상기 회동체에 매달려 회동되는 상기 회동 마그넷의 접촉을 감지할 수 있는 균형 감지 접촉 센서를 포함하고,
상기 각 칼럼이 기울어지기 시작하면, 상기 각 칼럼의 기울어지는 정도만큼 상기 회동체가 회동되면서 상기 회동 마그넷의 위치가 변동됨에 따라 상기 균형 감지 홀 센서에 의해 감지되는 자력이 변화됨으로써, 상기 각 칼럼의 기울어지기 시작함이 감지될 수 있고,
상기 각 칼럼이 최대값으로 기울어지면, 상기 회동 마그넷의 위치 변동에 따른 자력 변화가 상기 균형 감지 홀 센서에 의해 감지됨과 함께, 상기 회동 마그넷이 상기 균형 감지 접촉 센서와 접촉됨으로써, 상기 각 칼럼의 최대 기울어짐이 감지될 수 있는 것을 특징으로 하는 고순도 저메인 정제 장치.The method according to claim 1,
The high purity purine-
And a balance sensing member disposed in each of the columns to sense a verticality of each of the columns,
The balance sensing member
A balance sensing member case attached to each of the columns and having an inner hollow cylindrical shape;
A rotation connecting ring protruding hemispherically from an upper end of the inside of the balance sensing member case,
A pivotal member rotatably mounted on the pivoting connection ring so as to be pivotable in a direction of gravity and configured to be relatively gradually larger toward a distal end portion remote from the pivoting connection ring,
A rotating magnet disposed at a distal end of the rotary body,
A balance sensing hole sensor disposed on a bottom surface of the balance sensing member case for sensing a change in magnetic force of the rotating magnet suspended from the pivoting member,
And a balance sensing contact sensor disposed on a lower side of the inside of the balance sensing member case and capable of sensing contact of the rotation magnet that is pivotally suspended from the rotary body,
When each of the columns starts tilting, the rotating body is rotated by the degree of tilting of the respective columns, and the magnetic force sensed by the balance sensing hall sensor changes as the position of the rotating magnet changes, The start of the break can be detected,
When the respective columns are tilted to a maximum value, a change in magnetic force due to a change in the position of the rotation magnet is detected by the balance detection hall sensor, and the rotation magnet is brought into contact with the balance detection contact sensor, And a tilting can be detected. 제 1 항에 있어서,
상기 고순도 저메인 정제 장치는
상기 응축 부재 중 일 측부에서 일정 길이로 돌출되는 레이저 발신체 걸이부;
상기 레이저 발신체 걸이부에 편심 회동축에 의해 회동 가능하게 걸리되, 그 무게 중심보다 상대적으로 상측부에 상기 편심 회동축이 편심되도록 연결됨으로써, 중력 방향에 대해 수직으로 레이저를 발사할 수 있는 레이저 발신체;
상기 레이저 발신체의 하부에 배치되어, 상기 레이저 발신체가 중력 방향에 대해 수직으로 레이저를 발사할 수 있는 자세를 유지하도록 상기 레이저 발신체에 하중을 부가하되, 그 저면이 곡면 형태로 형성되는 무게추;
상기 응축 부재 중 일 측부의 상면 상에 형성되되, 상기 무게추의 곡면과 일정 간격으로 이격되는 곡면으로 형성되는 마그넷 배열 곡면체;
상기 마그넷 배열 곡면체 상에 일정 간격 이격되면서 복수 개 배치되는 레이저 발신체 측 마그넷;
상기 무게추의 저면의 중앙부에 형성되는 레이저 발신체 측 홀 센서; 및
상기 응축 부재 중 타 측부 상에 배치되어, 상기 레이저 발신체에서 발신된 레이저를 수신할 수 있는 레이저 수신체;를 포함하고,
상기 응축 부재가 기울어지면, 상기 레이저 발신체가 중력 방향에 대해 수직 방향으로 레이저를 발신하도록 상기 레이저 발신체가 중력에 의해 기울어지고, 그러한 상기 레이저 발신체의 기울어짐에 따라 복수 개의 상기 레이저 발신체 측 마그넷 중 상기 레이저 발신체 측 홀 센서에 의해 감지되는 것이 변화됨으로써, 상기 응축 부재의 기울어짐이 감지되고,
상기 레이저 발신체 측 홀 센서에 의해 감지되는 상기 응축 부재의 기울어짐값이 미리 설정된 기울어짐값을 넘었는지에 대한 정보와, 상기 레이저 발신체에서 발신된 레이저가 상기 레이저 수신체에서 수신되지 못하는 페일(fail)에 대한 정보 중 어느 하나가 도출되면, 상기 원료 저메인에 대한 정제가 중지되는 것을 특징으로 하는 고순도 저메인 정제 장치.The method according to claim 1,
The high purity purine-
A laser emitting body protruding from the one side of the condensing member at a predetermined length;
A laser beam that can be rotated by the eccentric rotation shaft on the laser emitting body hook portion and is connected to the upper portion relatively to the center of gravity so that the eccentric rotation axis is eccentric, Foot body;
A load is applied to the laser emitting body so as to maintain a posture in which the laser emitting body can emit laser beams perpendicularly to the gravity direction, the load being disposed in a lower portion of the laser emitting body, sinker;
A magnet array curved body formed on a top surface of one side of the condensing member and formed of a curved surface spaced apart from a curved surface of the weight by a predetermined distance;
A plurality of laser-generated body magnets arranged on the magnet array curved body at a predetermined interval;
A laser emitting side Hall sensor formed at the center of the bottom of the weight; And
And a laser receiving body disposed on the other side of the condensing member and capable of receiving a laser emitted from the laser emitting body,
When the condensing member is tilted, the laser emitting body is tilted by gravity so that the laser emitting body emits a laser in a direction perpendicular to the gravitational direction, and in accordance with the tilting of the laser emitting body, The inclination of the condensing member is sensed by the change of the side magnet detected by the laser emitting side Hall sensor,
Information on whether or not a tilting value of the condensing member detected by the laser-emitting-body-side hall sensor has exceeded a predetermined inclination value, information indicating whether a laser emitted from the laser emitting body fails to be received by the laser receiving body ), The purifying of the crude jermain is stopped. ≪ RTI ID = 0.0 > 18. < / RTI >
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN114538499A (en) * 2022-03-02 2022-05-27 沧州华宇特种气体科技有限公司 System and method for preparing monogermane
KR20230021385A (en) * 2021-08-05 2023-02-14 주식회사 에프알디 Diborane synthesis and purification apparatus

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20050191854A1 (en) * 2004-02-26 2005-09-01 Withers Howard P.Jr. Process for purification of germane
KR101413621B1 (en) * 2013-01-14 2014-07-01 대성산업가스 주식회사 Method for generating high quality geh_4 and apparatus for generating high quality geh_4

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20050191854A1 (en) * 2004-02-26 2005-09-01 Withers Howard P.Jr. Process for purification of germane
KR101413621B1 (en) * 2013-01-14 2014-07-01 대성산업가스 주식회사 Method for generating high quality geh_4 and apparatus for generating high quality geh_4

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20230021385A (en) * 2021-08-05 2023-02-14 주식회사 에프알디 Diborane synthesis and purification apparatus
KR102521600B1 (en) 2021-08-05 2023-04-14 주식회사 에프알디 Diborane synthesis and purification apparatus
CN114538499A (en) * 2022-03-02 2022-05-27 沧州华宇特种气体科技有限公司 System and method for preparing monogermane
CN114538499B (en) * 2022-03-02 2023-07-11 沧州华宇特种气体科技有限公司 System for preparing mono-germane and preparation method thereof

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