KR101801668B1 - Electrochromic apparatus - Google Patents

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Abstract

본 발명은 전기변색장치에 관한 것으로, 이온저장층과 전해질층 및 전기변색층을 포함하는 변색층의 상하부에 각각 전도층을 형성하여 전기변색 유도가 용이한 전기변색장치인 것을 특징으로 한다.The present invention relates to an electrochromic device. The electrochromic device is characterized in that the electrochromic device is an electrochromic device in which a conductive layer is formed on upper and lower portions of an ion storage layer, an electrolyte layer and an electrochromic layer.

Description

전기변색장치{ELECTROCHROMIC APPARATUS}ELECTROCHROMIC APPARATUS

본 발명은 전기변색장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 이온저장층과 전해질층 및 전기변색층을 포함하는 변색층의 상하부에 각각 전도층을 형성하여 전기변색 유도가 용이한 전기변색장치에 관한 것이다.The present invention relates to an electrochromic device, and more particularly, to an electrochromic device in which a conductive layer is formed on each of upper and lower portions of an ion storage layer, an electrolyte layer, and an electrochromic layer, .

전기변색(Electrochromism)이란 전압을 인가하면 전계방향에 의해 가역적으로 색상이 변하는 현상으로서, 이러한 특성을 지닌 전기화학적 산화 환원 반응에 의해서 재료의 광특성이 가역적으로 변할 수 있는 물질을 전기변색물질이라고 한다.Electrochromism is a phenomenon in which the color reversibly changes in the direction of the electric field when a voltage is applied. A substance capable of reversibly changing the optical characteristics of the material by an electrochemical redox reaction having such characteristics is called an electrochromic material .

이러한 전기변색물질은 외부에서 전기적 신호가 인가되지 않는 경우에는 색을 띠지 않고 있다가 전기적 신호가 인가되면 색을 띠게 되거나, 반대로 외부에서 신호가 인가되지 않는 경우에는 색을 띠고 있다가 신호가 인가되면 색이 소멸하는 특성을 갖는다.The electrochromic material may be colored when an external electrical signal is not applied, but may be colored when an electrical signal is applied, or may be colored when the external signal is not applied. And the color disappears.

전기변색 장치는 전압의 인가에 따라 전기적인 산화환원반응에 의해 전기변색 물질의 색상이 변함으로써, 광투과특성이 변하는 장치이다.The electrochromic device changes the color of the electrochromic material due to an electric oxidation-reduction reaction according to the application of a voltage, thereby changing the light transmission characteristic.

현재 다양한 기술 분야에서 선택적으로 빛을 투과시킬 수 있는 전기변색 장치의 수요가 증가하고 있다. 이러한 전기변색 장치는 스마트 윈도우, 스마트 미러, 디스플레이 장치, 위장 장치 등 다양한 분야에 적용될 수 있다.Currently, there is an increasing demand for electrochromic devices capable of selectively transmitting light in various technical fields. Such an electrochromic device can be applied to various fields such as a smart window, a smart mirror, a display device, and a camouflage device.

한국특허공개 제2011-0043595호에는 전기적으로 제어가능한 패널, 특히 창유리를 형성하도록 의도된 제어된 적외선 반사를 갖는 전기변색 디바이스가 기재되어 있고, 미국공개특허 제2007-0058237호에는 이온저장층, 투명 고체전해질층, 전기변색층 및 반사층을 포함하는 다층 시스템의 전기변색 소자가 기재되어 있다.Korean Patent Publication No. 2011-0043595 discloses an electrically controllable panel, in particular an electrochromic device having controlled infrared reflectance intended to form a windowpane. U.S. Patent Publication 2007-0058237 discloses an ion storage layer, a transparent An electrochromic device of a multilayer system including a solid electrolyte layer, an electrochromic layer and a reflective layer is disclosed.

그러나, 한국특허공개 제2011-0043595호에서는 이온저장층의 주원료로서 이리듐이 단독으로 사용될 경우에 이리듐이 UV나 수분에 약해 분해되고, 또한 이리듐이 텅스텐과 직접 접촉시 단락이 발생되는 등의 문제점이 있고, 미국공개특허 제2007-0058237호에서는 물 또는 물분자가 통할 수 있도록 반사층을 반드시 다공성으로 해야 하는 복잡한 공정을 거쳐야 하는 등의 문제점이 있다.However, in Korean Patent Publication No. 2011-0043595, when iridium is used alone as the main ingredient of the ion storage layer, iridium is weakly decomposed by UV or moisture, and iridium is short-circuited upon direct contact with tungsten And US Patent Application Publication No. 2007-0058237 has a problem that a complicated process is required to make the reflective layer necessarily porous so that water or water molecules can pass through it.

본 발명의 과제는 상술한 바와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 박막 적층 및 식각에 의해 제조가능하여 제조공정을 단순화할 수 있는 전기변색장치를 제공함에 있다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the above-mentioned problems occurring in the prior art, and it is an object of the present invention to provide an electrochromic device which can be manufactured by thin film deposition and etching, thereby simplifying the manufacturing process.

또한, 전기변색층과 전해질층 및 이온저장층을 포함하는 변색층의 상하부에 제1전도층과 제2전도층이 형성되어 전기변색 유도가 더 용이한 전기변색장치를 제공함에 있다.Another object of the present invention is to provide an electrochromic device in which the first conductive layer and the second conductive layer are formed on upper and lower portions of a color change layer including an electrochromic layer, an electrolyte layer, and an ion storage layer to facilitate the electrochromism.

상기 과제는, 본 발명에 따라, 대향배치되는 제1전도층과 제2전도층; 이온저장층과 전해질층 및 전기변색층을 포함하여, 상기 제1전도층과 상기 제2전도층 사이에 형성되는 변색층; 상기 제2전도층의 외측으로부터 상기 전해질층을 관통하도록 형성되어, 상기 전해질층을 외부영역과 내부영역으로 분리하는 분리홈; 및, 상기 외부영역에 상기 제1전도층의 내측면을 외측으로 노출시키도록 형성되는 배선홈;을 포함하는 전기변색장치에 의해 달성될 수 있다.The above object is solved according to the present invention by providing a semiconductor device comprising: a first conductive layer and a second conductive layer disposed to face each other; A discoloration layer formed between the first conductive layer and the second conductive layer, including an ion storage layer, an electrolyte layer, and an electrochromic layer; An isolation groove formed to penetrate the electrolyte layer from the outside of the second conductive layer and separating the electrolyte layer into an outer region and an inner region; And an interconnection groove formed in the outer region so as to expose the inner surface of the first conductive layer outwardly.

여기서, 상기 배선홈의 적어도 일부를 충진하여 상기 제1전도층의 내측면과 연결되는 연결패턴을 더 포함할 수 있다.The connection pattern may further include at least a part of the wiring groove to connect to the inner surface of the first conductive layer.

또한, 상기 연결패턴은 상기 분리홈에 의해 분리되는 외부영역의 외측면을 덮도록 형성될 수 있다.The connection pattern may be formed to cover the outer surface of the outer region separated by the separation groove.

또한, 상기 이온저장층과 상기 전기변색층은 상기 전해질층을 사이에 두고 위치하도록 형성될 수 있다.In addition, the ion storage layer and the electrochromic layer may be formed so as to be sandwiched by the electrolyte layer.

또한, 상기 제1전도층과 상기 제2전도층은 투명 전극일 수 있다.The first conductive layer and the second conductive layer may be transparent electrodes.

또한, 상기 제1전도층은 투명 전극이고, 상기 제2전도층은 빛을 반사하는 반사막일 수 있다.The first conductive layer may be a transparent electrode, and the second conductive layer may be a reflective layer that reflects light.

한편, 상술한 전기변색장치의 제조방법은, 기판 상에 제1전도층을 형성하는 단계; 상기 제1전도층의 일면에 이온저장층과 전해질층 및 전기변색층으로 구성된 변색층을 형성하는 단계; 상기 제1전도층의 내측면을 외부로 노출시키는 배선홈을 형성하는 단계; 상기 배선홈을 충진하면서 상기 변색층의 외측면을 덮도록 제2전도층을 형성하는 단계; 및, 상기 배선홈의 내측에 형성되며, 상기 제2전도층의 외측으로부터 상기 전해질층을 관통하는 분리홈을 형성하는 단계;를 포함할 수 있다.According to another aspect of the present invention, there is provided a method of manufacturing an electrochromic device including: forming a first conductive layer on a substrate; Forming a color change layer composed of an ion storage layer, an electrolyte layer, and an electrochromic layer on one surface of the first conductive layer; Forming an interconnection groove exposing an inner surface of the first conductive layer to the outside; Forming a second conductive layer so as to cover the outer surface of the color-changing layer while filling the wiring groove; And forming separation grooves formed on the inner side of the wiring groove and passing through the electrolyte layer from the outside of the second conductive layer.

여기서, 상기 변색층은 상기 전해질층을 사이에 두고 상기 이온저장층과 상기 전기변색층이 위치하도록 각각 형성할 수 있다.Here, the color change layer may be formed so that the ion storage layer and the electrochromic layer are positioned with the electrolyte layer interposed therebetween.

또한, 상기 제1전도층과 상기 제2전도층은 투명 재질로 형성할 수 있다.The first conductive layer and the second conductive layer may be formed of a transparent material.

또한, 상기 제1전도층은 반사 재질이고, 상기 제2전도층은 투명 재질로 형성할 수 있다.The first conductive layer may be formed of a reflective material, and the second conductive layer may be formed of a transparent material.

본 발명에 따르면, 박막 적층 및 식각에 의해 제조가능하여 제조공정을 단순화할 수 있는 전기변색장치가 제공된다.According to the present invention, an electrochromic device capable of being manufactured by thin film lamination and etching and simplifying the manufacturing process is provided.

또한, 전기변색층과 전해질층 및 이온저장층을 포함하는 변색층의 상하부에 제1전도층과 제2전도층이 형성되어 전기변색 유도가 더 용이한 전기변색장치가 제공된다.Further, there is provided an electrochromic device in which a first conductive layer and a second conductive layer are formed on upper and lower portions of a color change layer including an electrochromic layer, an electrolyte layer, and an ion storage layer to facilitate the electrochromism induction.

도 1은 본 발명의 제1실시예에 따른 전기변색장치의 개략도,
도 2는 도 1의 Ｉ-Ｉ'을 따라 절단한 단면도,
도 3 내지 도 7은 도 2의 제조공정도이다.1 is a schematic view of an electrochromic device according to a first embodiment of the present invention,
FIG. 2 is a cross-sectional view taken along line I-I 'of FIG. 1,
3 to 7 are the manufacturing process diagrams of Fig.

설명에 앞서, 여러 실시예에 있어서, 동일한 구성을 가지는 구성요소에 대해서는 동일한 부호를 사용하여 대표적으로 제1실시예에서 설명하고, 그 외의 실시예에서는 제1실시예와 다른 구성에 대해서 설명하기로 한다.Prior to the description, components having the same configuration are denoted by the same reference numerals as those in the first embodiment. In other embodiments, configurations different from those of the first embodiment will be described do.

이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 제1실시예에 따른 전기변색장치에 대하여 상세하게 설명한다.Hereinafter, the electrochromic device according to the first embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 1은 본 발명의 제1실시예에 따른 전기변색장치의 개략도이고, 도 2는 도 1의 Ｉ-Ｉ'을 따라 절단한 단면도이다.FIG. 1 is a schematic view of an electrochromic device according to a first embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a cross-sectional view taken along line I-I 'of FIG.

도 1 및 도 2를 참조하면, 본 발명의 제1실시예에 따른 전기변색장치는 제1전도층(10)과 제2전도층(20) 및 변색층(30)을 포함한다.Referring to FIGS. 1 and 2, the electrochromic device according to the first embodiment of the present invention includes a first conductive layer 10, a second conductive layer 20, and a color transfer layer 30.

상기 제1전도층(10)과 상기 제2전도층(20)은 유리 등의 투명 재질로 마련되는 상부기판(미도시)과 하부기판(미도시)의 사이에 위치하고, 서로 대향되도록 형성된다. The first conductive layer 10 and the second conductive layer 20 are disposed between an upper substrate (not shown) and a lower substrate (not shown), which are made of a transparent material such as glass.

여기서, 제1전도층(10)과 제2전도층(20)은 스퍼터링 증착방법 등을 이용하여 형성되며, 전력공급이 가능하고, 전기변색을 유도할 수 있는 박막형 산화물 전도층이다.Here, the first conductive layer 10 and the second conductive layer 20 are formed using a sputtering deposition method or the like, and are thin film oxide conductive layers capable of supplying electric power and inducing electric discoloration.

또한, 제1전도층(10)은 산화인듐주석(ITO), 산화인듐아연(IZO), 알루미늄 도핑된 산화아연(AZO), 붕소 도핑된 산화아연(BZO), 텅스텐 도핑된 산화아연(WZO) 및 텅스텐 도핑된 산화주석(WTO) 등의 투명 재질일 수 있다.The first conductive layer 10 may be formed of indium tin oxide (ITO), indium zinc oxide (IZO), aluminum doped zinc oxide (AZO), boron doped zinc oxide (BZO), tungsten doped zinc oxide (WZO) And tungsten-doped tin oxide (WTO).

제2전도층(20)은 투명전극인 경우에는 제1전도층(10)과 같은 재질일 수 있고, 반사막으로 사용되는 경우에는 알루미늄(Aluminum), 루테늄(Ruthenium), 크롬(Chromium), 은(Ag), 루비듐(Rubidium), 몰리브덴(Molybdenum), 금(Au), 구리(Cu), 니켈(Ni), 납(Pb), 주석(Sn), 인듐(In) 및 아연(Zn) 등의 빛을 반사하는 반사 재질일 수 있다. 즉, 제2전도층(20)은 선택적으로 투명전극이거나 반사막으로 형성될 수 있다.The second conductive layer 20 may be made of the same material as the first conductive layer 10 in the case of a transparent electrode and may be made of aluminum, ruthenium, chromium, silver, (Ag), Rubidium, Molybdenum, Au, Cu, Ni, Pb, Sn, In and Zn As shown in Fig. That is, the second conductive layer 20 may be a transparent electrode or may be formed as a reflective film.

상기 제2전도층(20)이 반사막으로 형성되는 경우, 후술할 변색층(30)의 전기변색층(33)(30)을 통과하여 입사한 빛을 반사하는 반사판 역할과 함께 제1전도층(10)의 상대전극 역할을한다.When the second conductive layer 20 is formed as a reflective layer, the second conductive layer 20 acts as a reflector that reflects incident light passing through the electrochromic layers 33 and 30 of the discolored layer 30, 10).

즉, 종래기술에서 반사층은 다공성으로 만들어 물 또는 물분자가 통과할 수 있어야 하나, 본 발명에서는 이미 후술할 변색층(30)의 이온저장층(32)과 전기변색층(33) 중 적어도 어느 하나에서 수소화 금속산화물을 포함하고 있으므로, 본 발명의 제2전도층(20)은 비다공성의 순수 금속막으로만 이루어질 수 있다.That is, in the prior art, the reflective layer should be made porous to allow water or water molecules to pass therethrough, but in the present invention, at least one of the ion storage layer 32 and the electrochromic layer 33 of the discolored layer 30 The second conductive layer 20 of the present invention can be made of only a non-porous pure metal film.

상기 변색층(30)은 전해질층(31)과 이온저장층(32) 및 전기변색층(33)을 포함하여 구성된다. 먼저, 상기 전해질층(31)은 스퍼터링 증착방법 등을 이용하여 제1전도층(10)과 제2전도층(20)의 사이에 형성되어 이온전달의 역할을 수행한다.The color shift layer 30 includes an electrolyte layer 31, an ion storage layer 32, and an electrochromic layer 33. First, the electrolyte layer 31 is formed between the first conductive layer 10 and the second conductive layer 20 using a sputtering deposition method or the like to perform ion transport.

그 재질은 막의 물리적 성질에 따라서 액상 전해질과 고상 전해질로 구분되고, 이온전달 물질의 종류에 따라서 프로톤 전해질과 알칼리 이온 전해질로 구분될 수 있으며, 상기 전해질층(31)은 탄탈룸, 더욱 바람직하게는 산화탄탈륨(Ta2O5)을 포함할 수 있다.The material may be classified into a liquid electrolyte and a solid electrolyte depending on the physical properties of the membrane, and may be divided into a proton electrolyte and an alkali ion electrolyte depending on the type of the ion transfer material. The electrolyte layer 31 is a tantalum, Tantalum (Ta 2 O 5 ).

상기 이온저장층(32)은 스퍼터링 증착방법 등을 이용하여 제1전도층(10)과 전해질층(31) 사이에 위치하도록 형성된다. 이때, 이온저장층(32)은 이리듐을 20∼38중량% 포함하는 것이 바람직하고, 23∼33중량% 포함하는 것이 더욱 바람직한데, 20중량% 미만이면 전기변색 작용이 일어나지 않아 바람직하지 않고, 38중량%를 초과하면 자외선과 반응하여 열화하여 변색효과가 떨어지거나, 붉은색으로 고착화가 될 수 있고, 또한 내구성에 문제가 생길 수 있어 바람직하지 않다.The ion storage layer 32 is formed to be positioned between the first conductive layer 10 and the electrolyte layer 31 by a sputtering deposition method or the like. In this case, the ion storage layer 32 preferably contains 20 to 38 wt% of iridium, more preferably 23 to 33 wt%. If less than 20 wt%, the electrochromic effect does not occur, If the amount exceeds 10% by weight, it may react with ultraviolet rays to deteriorate to deteriorate the discoloration effect, or may be fixed in a red color, and durability may be deteriorated.

상기 이리듐은 화학식 HaIrO2(여기서, 0＜a＜2)의 수소화 이리듐이고, 상기 탄탈룸은 화학식 HbTa2O5(여기서, 0＜b＜5)의 수소화 탄탈룸일 수 있으며, 상기와 같이 수소화 이리듐 및 탄탈룸을 포함함으로써 산화환원 반응을 위해 수소 이온을 별도의 공정으로 주입할 필요가 없다.Wherein the iridium is hydride iridium of the formula H a IrO 2 wherein 0 <a <2, and the tantalum may be a hydrogenated tantalum of the formula H b Ta 2 O 5 wherein 0 <b <5, By including iridium hydride and tantalum as well, it is not necessary to inject hydrogen ions into a separate process for redox reaction.

상기 전기변색층(33)은 스퍼터링 증착방법 등을 이용하여 제2전도층(20)과 전해질층(31) 사이에 위치하도록 형성되며, 전기 인가에 의해 색의 변화율이 커서 변색을 담당하는 층이다.The electrochromic layer 33 is formed to be positioned between the second conductive layer 20 and the electrolyte layer 31 by a sputtering deposition method or the like and is a layer which is responsible for discoloration due to a large rate of change of color upon application of electricity .

더욱 상세히 설명하면, 상기 전기변색층(33)은 액상 또는 고상의 전기변색물질로 이루어질 수 있고, 이 전기변색물질은 전기화학적 산화, 환원 반응에 의하여 광흡수도가 변화하는 전기변색특성을 갖는 물질로, 전압의 인가 여부 및 전압의 세기에 따라서 가역적으로 전기변색물질의 전기 화학적 산화, 환원 현상이 일어나고, 이에 의하여 전기변색물질의 투명도 및 흡광도가 가역적으로 변경될 수 있다. More specifically, the electrochromic layer 33 may be formed of a liquid or solid electrochromic material, and the electrochromic material may include a substance having an electrochromic property such that its light absorption is changed by an electrochemical oxidation or reduction reaction The electrochemical oxidation and reduction phenomenon of the electrochromic material reversibly occurs depending on whether the voltage is applied or not and the intensity of the voltage, whereby the transparency and the absorbance of the electrochromic material can be reversibly changed.

또한, 상기 전기변색층(33)은 전해질층(31)과 제1전도층(10)사이에 형성되어 제1전도층(10)에서 인가된 전기를 전달받아 산화반응 또는 환원반응을 통해 착색 또는 소색될 수 있다.The electrochromic layer 33 is formed between the electrolyte layer 31 and the first conductive layer 10 and receives electricity applied from the first conductive layer 10 to be colored or colored by an oxidation reaction or a reduction reaction. It can be discolored.

상기 전기변색층(33)은 텅스텐을 포함하는데, 상기 텅스텐은 수소화 텅스텐일 수 있으며, 상기 수소화 텅스텐은 화학식 HcWO3(여기서, 0＜C＜3)로 나타낼 수 있다.The electrochromic layer 33 may include tungsten, which may be tungsten hydride, and the tungsten hydride may be represented by the formula H c WO 3 (where 0 <C <3).

본 발명에서는 전기변색층(33)에 수소화된 텅스텐을 사용할 경우, 전기변색층(33)에서의 산화 환원반응을 위해 이온을 주입할 필요가 없어 바람직하다.In the present invention, when hydrogenated tungsten is used for the electrochromic layer 33, it is not necessary to inject ions for the redox reaction in the electrochromic layer 33, which is preferable.

상술한 본 실시예에서는 전해질층(31)의 상부에 전기변색층(33)이 형성되고, 전해질층(31)의 하부에 이온저장층(32)이 형성되나, 필요에 따라 전해질층(31)의 상부에 이온저장층(32)이 형성되고, 전해질층(31)의 하부에 전기변색층(33)이 형성될 수 있다.The electrochromic layer 33 is formed on the electrolyte layer 31 and the ion storage layer 32 is formed on the lower surface of the electrolyte layer 31. The electrolyte layer 31 may be formed on the electrolyte layer 31, An ion storage layer 32 may be formed on the upper portion of the electrolyte layer 31 and an electrochromic layer 33 may be formed on the lower portion of the electrolyte layer 31.

한편, 제2전도층(20)의 외측으로부터 전해질층(31)을 관통하도록 형성되어, 상기 전해질층(31)을 외부영역과 내부영역으로 분리하는 분리홈(40)이 형성된다.An isolation groove 40 is formed through the electrolyte layer 31 from the outside of the second conductive layer 20 and separates the electrolyte layer 31 into an outer region and an inner region.

이때, 분리홈(40)은 전해질층(31)을 내부와 외부로 분리함으로써, 외부영역으로부터 공급되는 전기가 내부영역으로 전달되는 것을 차단할 수 있다. 즉, 외부영역의 전기로 인해 내부영역에서의 이온 흐름이 방해를 받지 않을 수 있어 정확한 전기변색 효과를 담보할 수 있다.At this time, the separation groove 40 separates the electrolyte layer 31 from the inside and the outside, thereby preventing electricity supplied from the outside region from being transmitted to the inside region. That is, the electric current in the outer region can prevent the ion flow in the inner region from being disturbed, thereby ensuring a correct electrochromic effect.

도시된 바는 분리홈(40)이 전해질층(31)을 관통하여 전기변색층(33) 중 일부까지 형성된 것에 대하여 도시하고 있으며, 분리홈(40)이 전해질층(31)을 관통하도록만 형성하면 되므로 전기변색층(33)까지 형성되지 않을 수도 있다.In the drawing, the separating groove 40 extends through the electrolyte layer 31 to a portion of the electrochromic layer 33, and only the separating groove 40 is formed to penetrate the electrolyte layer 31 The electrochromic layer 33 may not be formed.

그리고, 분리홈(40)에 의해 구획된 외부영역에는 제2전도층(20)의 내측면을 외부로 노출시키는 배선홈(50)이 형성되고, 배선홈(50)의 적어도 일부를 충진하여 제2전도층(20)의 내측면과 연결되는 연결패턴(21)이 형성된다.The wiring groove 50 is formed in the outer region defined by the separation groove 40 to expose the inner surface of the second conductive layer 20 to the outside, 2 conductive layer 20 is formed.

이때, 연결패턴(21)은 분리홈(40)에 의해 분리되는 외부영역의 외측면 즉, 전기변색층(33)의 상부면을 덮도록 형성될 수 있다. 통상적으로 전기 배선의 가장 작은 직경의 크기는 수mm이므로 직접 배선홈(50)에 삽입하여 제1전도층(10)과 배선을 연결하는 것은 실질적으로 불가능하므로, 상기 연결패턴(21)을 통해 제1전도층(10)이 전기적 접속되도록 하는 것이 바람직하다.At this time, the connection pattern 21 may be formed to cover the outer surface of the outer region separated by the separation groove 40, that is, the upper surface of the electrochromic layer 33. Since the smallest diameter of the electric wire is usually several millimeters, it is practically impossible to insert the first conductive layer 10 into the wiring grooves 50 to connect the wires. Therefore, 1 conductive layer 10 are electrically connected to each other.

제2전도층(20)의 상부면에는 제1배선(B)이 연결되고, 연결패턴(21)의 상부면에는 제2배선(A)이 연결되며, 이때 접합방법은 용접 등의 공지된 각종 접합방법이 사용될 수 있다.The first wiring B is connected to the upper surface of the second conductive layer 20 and the second wiring A is connected to the upper surface of the connection pattern 21. The bonding method includes various known methods such as welding A bonding method can be used.

상술한 바와 같은 구조를 가지는 본원발명의 전기변색장치에 의하면, 종래 변색층을 감싸도록 형성되어 적외선 범위에서 투명한 금속 그리드를 구비하지 않아도 되며, 이에 따라 단순히 적층 및 식각에 의해 구조 형성이 가능하여 간편한 공정을 제공한다.According to the electrochromic device of the present invention having the above-described structure, it is unnecessary to provide a transparent metal grid in the infrared range, which is formed so as to surround the conventional color-changing layer. Accordingly, the structure can be formed simply by stacking and etching, Process.

또한, 전기변색을 유도하는 산화물전도층인 제1전도층(10)과 제2전도층(20)이 상하로 배치되어 전기변색유도가 더 쉽게 가능하다.
In addition, the first conductive layer 10 and the second conductive layer 20, which are oxide conductive layers for inducing electrochromism, are vertically arranged, and electrochromic induction is more easily possible.

다음으로, 본 발명의 제1실시예에 따른 전기변색장치의 제조방법에 대하여 설명한다. 도 3 내지 도 7은 도 2의 제조공정도이다. 먼저, 도 3을 참조하면, 투명 재질인 하부기판(미도시) 상에 스퍼터링 등의 방법을 이용하여 제1전도층(10)을 증착하고, 도 4에서와 같이 이온저장층(32), 전해질층(31), 전기변색층(33)을 순차적으로 증착형성한다. 이때, 변색층(30)을 구성하는 각 층은 스퍼터링 등의 방법으로 형성할 수 있다.Next, a method of manufacturing the electrochromic device according to the first embodiment of the present invention will be described. 3 to 7 are the manufacturing process diagrams of Fig. Referring to FIG. 3, a first conductive layer 10 is deposited on a transparent substrate (not shown) by sputtering or the like, and an ion storage layer 32, an electrolyte A layer 31, and a electrochromic layer 33 are sequentially formed by vapor deposition. At this time, each layer constituting the color changing layer 30 can be formed by a method such as sputtering.

그리고, 도 5에서와 같이, 스크라이빙, 레이저 식각 또는 에칭 등의 방법으로 제1전도층(10)의 내측면이 노출되도록 배선홈(50)을 형성한다.5, the wiring trenches 50 are formed such that the inner surface of the first conductive layer 10 is exposed by a method such as scribing, laser etching, or etching.

이어, 도 6에서와 같이, 스퍼터링 등의 방법으로 배선홈(50)을 충진하면서 전기변색층(33)의 외측면을 덮도록 도전층(20A)을 형성한다.6, the conductive layer 20A is formed so as to cover the outer surface of the electrochromic layer 33 while filling the interconnection trenches 50 by a method such as sputtering.

그리고, 도 7에서와 같이, 배선홈(50)의 내측 영역에 제2전도층(20)의 외측으로부터 전해질층(31)을 관통하는 분리홈(40)을 형성한다. 상기 분리홈(40)에 의해 전해질층(31)은 내부영역과 외부영역으로 분리구획되어, 상호 간에 전기 전달이 차단될 수 있다.7, an isolation groove 40 penetrating the electrolyte layer 31 from the outside of the second conductive layer 20 is formed in the inner region of the interconnection trench 50. As shown in Fig. The separation layer 40 separates the electrolyte layer 31 into an inner region and an outer region so that electrical conduction between the inner region and the outer region can be blocked.

또한, 상기 분리홈(40)을 기준으로 도전층(20A)은 내측으로는 제2전도층(20)이 형성되고, 외측으로는 연결패턴(21)이 형성된다.The second conductive layer 20 is formed on the inner side of the conductive layer 20A with respect to the separation groove 40 and the connection pattern 21 is formed on the outer side.

그리고, 도 2에서와 같이, 제2전도층(20)에는 전기 인가가 가능한 제1배선(B)이 연결되고, 연결패턴(21)에는 전기 인가가 가능한 제2배선(A)이 각각 용접 등의 방법으로 연결된다.2, the first wiring B capable of being electrically connected is connected to the second conductive layer 20, and the second wiring A capable of being electrically connected to the connection pattern 21 is connected to the second conductive layer 20, .

상기와 같은 제2전도층(20) 및 연결패턴(21)을 형성한 후, 소정의 방법을 통해 그 상부에 상부기판(미도시)을 적층하여 제조가 완료된다.After the second conductive layer 20 and the connection pattern 21 are formed as described above, an upper substrate (not shown) is stacked on the upper part of the second conductive layer 20 by a predetermined method.

상술한 바와 같은, 본 발명에 따른 전기변색장치는 단순히 적층 및 식각 공정에 의해서 형성이 가능하여 제조공정을 단순화시킬 수 있다.As described above, the electrochromic device according to the present invention can be formed simply by a stacking and etching process, thereby simplifying the manufacturing process.

아울러, 종래와 비교하여 상하로 산화물 전도층인 제1전도층(10)과 제2전도층(20)이 형성되어 전기 변색 유도가 더욱 용이할 수 있다.In addition, the first conductive layer 10 and the second conductive layer 20, which are the oxide conductive layers, are formed above and below the conventional conductive layer 20 to facilitate the electrochromic induction.

본 발명의 권리범위는 상술한 실시예에 한정되는 것이 아니라 첨부된 특허청구범위 내에서 다양한 형태의 실시예로 구현될 수 있다. 특허청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 변형 가능한 다양한 범위까지 본 발명의 청구범위 기재의 범위 내에 있는 것으로 본다.The scope of the present invention is not limited to the above-described embodiments, but may be embodied in various forms of embodiments within the scope of the appended claims. It will be understood by those skilled in the art that various changes in form and details may be made therein without departing from the spirit and scope of the present invention as defined by the appended claims.

※도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명※
10 : 제1전도층 20 : 제2전도층
20A : 도전층 21 : 연결패턴
30 : 변색층 31 : 전해질층
32 : 이온저장층 33 : 전기변색층
40 : 분리홈 50 : 배선홈 [Description of Reference Numerals]
10: first conductive layer 20: second conductive layer
20A: conductive layer 21: connection pattern
30: discoloration layer 31: electrolyte layer
32: ion storage layer 33: electrochromic layer
40: separation groove 50: wiring groove

Claims (10)

삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 전기변색장치의 제조방법에 있어서,
기판 상에 제1전도층을 형성하는 단계;
상기 제1전도층의 일면에 이온저장층과 전해질층 및 전기변색층으로 구성된 변색층을 형성하는 단계;
상기 제1전도층의 내측면을 외부로 노출시키는 배선홈을 형성하는 단계;
상기 배선홈을 충진하면서 상기 변색층의 외측면을 덮도록 도전층을 형성하는 단계;
상기 배선홈의 내측 영역에 상기 도전층의 외측으로부터 상기 전해질층을 관통하는 분리홈을 형성하여 상기 전해질층을 외부영역과 내부영역으로 분리하고, 상기 도전층이 상기 분리홈을 기준으로 내측과 외측에 각각 제2전도층과 연결패턴을 형성하도록 하는 단계; 및
상기 제2전도층의 상부면과 상기 연결패턴의 상부면에 각각 제1배선과 제2배선을 연결하는 단계를 포함하는 전기변색장치의 제조방법.A method of manufacturing an electrochromic device,
Forming a first conductive layer on the substrate;
Forming a color change layer composed of an ion storage layer, an electrolyte layer, and an electrochromic layer on one surface of the first conductive layer;
Forming an interconnection groove exposing an inner surface of the first conductive layer to the outside;
Forming a conductive layer so as to cover the outer surface of the color-changing layer while filling the wiring grooves;
Wherein a separation groove penetrating through the electrolyte layer from the outside of the conductive layer is formed in an inner region of the wiring groove to divide the electrolyte layer into an outer region and an inner region and the conductive layer extends inward and outward Forming a connection pattern with the second conductive layer, respectively; And
And connecting the first wiring and the second wiring to the upper surface of the second conductive layer and the upper surface of the connection pattern, respectively. 제7항에 있어서,
상기 변색층은,
상기 전해질층을 사이에 두고 상기 이온저장층과 상기 전기변색층이 위치하도록 각각 형성하는 전기변색장치의 제조방법.8. The method of claim 7,
The color-
And the ion storage layer and the electrochromic layer are positioned with the electrolyte layer interposed therebetween. 제7항에 있어서,
상기 제1전도층과 상기 제2전도층은 투명 재질로 형성하는 전기변색장치의 제조방법.8. The method of claim 7,
Wherein the first conductive layer and the second conductive layer are formed of a transparent material. 제7항에 있어서,
상기 제1전도층은 반사 재질이고, 상기 제2전도층은 투명 재질로 형성하는 전기변색장치의 제조방법.8. The method of claim 7,
Wherein the first conductive layer is made of a reflective material and the second conductive layer is made of a transparent material.
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