KR101801150B1 - 초순수 저장탱크용 이산화탄소 스크러버 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 초순수 저장탱크와 연결된 벤트 내에 형성된 유로 상에 설치되며, 가스가 유입되는 유입구가 형성되고, 유입구로부터 유입된 가스가 유출되는 유출구가 형성되며, 내부에 유입구와 유출구를 연통시키는 가스유로가 형성된 챔버 및 카트리지 필터 복수개가 가스유로 상에 일렬로 연결 배치되어 가스가 통과하면서 가스 중에 포함된 이산화탄소를 제거하는 카트리지부와, 카트리지부에 결합하여 유입된 가스 전부가 카트리지부를 통과하도록 하는 기밀부재를 포함하는 필터부를 포함하고, 카트리지 필터는, 설정된 폭을 갖는 플레이트 형상으로 형성되고 내부 수용공간에 가스 중의 이산화탄소가 흡착되는 흡착제가 수용되는 제1필터와 제2필터를 각각 포함하고, 제1필터와 제2필터는 가스가 유입되는 방향의 일측은 서로 연결되고 가스가 토출되는 방향의 타측은 사이공간이 형성되도록 벌어지게 형성되어, 유입된 가스가 제1필터와 제2필터의 폭 방향을 따라 통과하여 사이공간으로 유입되어 제1필터와 제2필터의 타측 사이로 유출되는 초순수 저장탱크용 이산화탄소 스크러버를 제공한다.
상기한 바에 따르면 이산화탄소를 필터링하는 카트리지 필터 복수개를 챔버 내에 착탈 가능하게 장착되는 구조로 되어 있기 때문에 설치가 용이하고 유지 및 보수가 용이하다.

Description

초순수 저장탱크용 이산화탄소 스크러버 {Carbon dioxide scrubber of demineralized water storage tank}
본 발명은 이산화탄소 스크러버에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 플랜트(Plant)에 설치되는 초순수 저장탱크에 설치되어 탱크로 유입되는 공기 중의 이산화탄소를 효과적으로 제거할 수 있으며, 유지보수가 용이한 초순수 저장탱크용 이산화탄소 스크러버에 관한 것이다.
일반적으로 초순수(Demi water)는 불순물이 없는 물로서 발전소에서 설비의 부식과 장애를 방지할 수 있는 깨끗한 증기를 만들기 위하여 이용되고 있다.
한편, 상기한 발전설비에 이용되는 초순수는 이산화탄소의 함유율이 매우 낮아야 하는데, 초순수를 저장하는 초순수 저장탱크와 연결된 벤트(Vent)로 공기가 유입되면서 공기 중의 이산화탄소가 저장탱크 내 초순수에 흡수되면서, 초순수 품질의 저하를 야기시키는 문제점이 발생하였다.
이에, 종래에는 초순수 저장탱크로 유입되는 공기 중의 이산화탄소를 제거하기 위하여 이산화탄소와 반응 또는 흡착하기 위한 흡수제 또는 흡착제를 이용하여 이산화탄소를 제거하고 있다.
그런데, 상기한 바와 같이 흡수제나 흡착제를 이용하여 이산화탄소를 제거하는 종래의 이산화탄소 제거장치는 흡수제와 흡착제를 사용하는데 불편함이 있을 뿐만 아니라 공급 및 처리를 비롯한 유지 및 보수가 용이하지 못하는 문제점이 있었다.
대한민국 공개특허공보 특2001-0076565호
본 발명은, 사용이 간편하며, 유지 보수가 용이하고 경제적이며 효과적으로 이산화탄소를 제거할 수 있는 초순수 저장탱크용 이산화탄소 스크러버를 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명은 초순수 저장탱크와 연결된 벤트(Vent) 내에 형성된 유로 상에 설치되며, 가스가 유입되는 유입구가 형성되고, 상기 유입구로부터 유입된 상기 가스가 유출되는 유출구가 형성되며, 내부에 상기 유입구와 상기 유출구를 연통시키는 가스유로가 형성된 챔버 및 카트리지 필터 복수개가 상기 가스유로 상에 일렬로 연결 배치되어 상기 가스가 통과하면서 상기 가스 중에 포함된 이산화탄소를 제거하는 카트리지부와, 상기 카트리지부에 결합하여 유입된 상기 가스 전부가 상기 카트리지부를 통과하도록 하는 기밀부재를 포함하는 필터부를 포함하고, 상기 카트리지 필터는, 설정된 폭을 갖는 플레이트 형상으로 형성되고 내부 수용공간에 상기 가스 중의 이산화탄소가 흡착되는 흡착제가 수용되는 제1필터와 제2필터를 각각 포함하고, 상기 제1필터와 상기 제2필터는 상기 가스가 유입되는 방향의 일측은 서로 연결되고 상기 가스가 토출되는 방향의 타측은 사이공간이 형성되도록 벌어지게 형성되어, 유입된 상기 가스가 상기 제1필터와 상기 제2필터의 폭 방향을 따라 통과하여 상기 사이공간으로 유입되어 상기 제1필터와 상기 제2필터의 타측 사이로 유출되는 초순수 저장탱크용 이산화탄소 스크러버를 제공한다.
본 발명에 따른 초순수 저장탱크용 이산화탄소 스크러버는 다음과 같은 효과를 제공한다.
첫째, 초순수 저장탱크와 연결된 벤트에 설치되고, 이산화탄소를 필터링하는 카트리지 필터 복수개를 챔버 내에 착탈 가능하게 장착되는 구조로 되어 있기 때문에 설치가 용이하고 유지 및 보수가 용이하다.
둘째, 흡수제 또는 흡착제의 충전이나 이를 유지하기 위한 유지비용을 저감시킬 수 있어 경제적인 효과를 제공할 수 있다.
셋째, 제1필터와 제2필터를 챔버 내에 행방향 및 열방향으로 경사지게 연결하여 챔버 내 가스의 와류를 유도하고 가스의 유동시간을 늘려 흡착제와의 접촉시간(contact time)을 늘려 이산화탄소의 제거효율을 향상시킬 수 있다.
넷째, 카트리지 필터를 챔버 내 설치된 레일부와 지지부를 통하여 챔버 내 설치하는 구조로 되어 있어, 카트리지 필터의 설치가 용이하고 유지보수가 용이하다.
다섯째, 규격화된 상기 카트리지 필터를 통하여 이산화탄소의 처리 용량에 따라 그 개수를 선택적으로 달리하여 설치하면 되기 때문에, 시스템 전체 사양에 대응하여 그 활용도를 향상시킬 수 있으며 모듈화가 가능하다.
여섯째, 제1필터와 제2필터를 '∧'형상으로 경사지게 배치하기 때문에, 유동하는 가스의 유동시간 및 유로길이를 늘려 이산화탄소와의 접촉시간을 늘림으로써 이산화탄소 처리효율을 향상시킬 수 있으며, 챔버 내로 경사지게 촘촘히 배치하여 챔버 내 압력손실을 최소화 시켜주고 효율을 향상시킬 수 있다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 초순수 저장탱크용 이산화탄소 스크러버의 구성을 나타내는 부분절개 정면도이다.
도 2는 도 1의 초순수 저장탱크용 이산화탄소 스크러버의 부분절개 평면도이다.
도 3은 도 1의 초순수 저장탱크용 이산화탄소 스크러버에서 필터부의 구성을 나타내는 정면도이다.
도 4는 도 3의 필터부에서 카트리지부의 구성을 나타내는 정면도이다.
도 5는 도 1의 초순수 저장탱크용 이산화탄소 스크러버에서 프리필터 및 포스트필더와 연결되는 프리필터 레일부와 포스트필터 레일부를 나타내는 정면도이다.
도 6은 도 3의 카트리지 필터에서 제1필터와 제2필터의 구성을 나타내는 정면도이다.
도 7은 도 3의 초순수 저장탱크용 이산화탄소 스크러버를 통한 가스의 유동 흐름을 나타내는 정면도이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명하기로 한다.
먼저, 도 1 및 도 2를 참조하면, 본 발명의 실시예에 따른 초순수 저장탱크용 이산화탄소 스크러버는, 도시하지 않았지만 초순수 저장탱크와 연결된 벤트(Vent) 내에 형성된 유로 상에 설치되어 벤트로 유입되는 공기 중의 이산화탄소를 제거하며, 챔버(100) 및 필터부(200)를 포함한다. 상기 챔버(100)는 상부에 가스가 유입되는 유입구(101)가 형성되고, 하부 일측으로 상기 유입구(101)로부터 유입된 상기 가스가 유출되는 유출구(102)가 형성되며, 내부에 상기 유입구(101)와 상기 유출구(102)를 연통시키는 가스유로(103)가 형성되어 있으며, 하부에는 드레인(104)이 설치되어 있다.
한편, 상기 챔버(100)는 도시하지 않았지만 일측으로 개폐부가 형성되어 카트리지 형태로 형성된 상기 필터부(200)를 상기 챔버(100) 내부에 수납 장착할 수 있도록 되어 있으며, 상기 개폐부는 공지의 개폐도어의 구조를 적용할 수 있다. 도면에서 미설명부호 10은 상기 챔버(100)의 유출구(102)와 연통되어 상기 필터부(200)를 거친 상기 가스가 유출되는 노즐관을 나타낸다.
상기 초순수 저장탱크용 이산화탄소 스크러버는 상기 챔버(100) 내에 슬라이딩 가능하게 설치되는 상기 필터부(200)를 지지하는 지지부(300)를 포함한다. 상기 지지부(300)는 상기 제1필터(221)와 상기 제2필터(222)를 상방 지지하는 제1지지부재(310)와, 상기 제1필터(221)와 상기 제2필터(222)의 상단부에 위치하여 상기 제1필터(221)와 상기 제2필터(222)의 들뜸 또는 흔들림을 방지하도록 지지하는 제2지지부재(320)를 포함한다.
상기 제1지지부재(310)는 가스의 유동흐름에 대한 저항이 생기지 않도록 상기 챔버(100)의 폭 방향에 대하여 복수개가 이격되게 배치되며, 이에 상기 카트리지 필터(220)는 상기 챔버(100)의 폭 방향을 따라 수납 설치된다.
상기 제2지지부재(320)는 상기 제1지지부재(310)와 마찬가지로 가스의 유동흐름에 대한 저항이 생기지 않도록 상기 챔버(100)의 폭 방향에 대하여 복수개가 이격되게 배치되어 상기 카트리지 필터(220)의 상부를 지지한다.
여기서, 상기 제1지지부재(310)와 상기 제2지지부재(320)는 각각 서로 대면하는 내측으로 수직한 방향으로 돌출되게 제3지지부재(330)가 결합되며, 이에 작업자는 상기 제3지지부재(330)를 설치기준으로 하여 상기 제1필터(221)와 상기 제2필터(222)를 하나씩 기울여 순차적으로 용이하게 삽입 설치할 수 있다.
도 3 및 도 4를 참조하면, 상기 필터부(200)는 상기 챔버(100) 내 상기 가스유로(103) 상에 설치되어 가스 중에 포함된 이산화탄소를 흡착하여 제거하는 역할을 하며 카트리지부(210)와 기밀부재(230)를 포함한다.
상기 카트리지부(210)는 카트리지 필터(220) 복수개가 상기 가스유로(103) 상에 일렬로 연결 배치되어 상기 가스가 통과하면서 상기 가스 중에 포함된 이산화탄소를 제거하도록 되어 있다.
상세하게, 상기 카트리지 필터(220)는, 설정된 폭을 갖는 플레이트 형상으로 형성되고 내부 수용공간에 상기 가스 중의 이산화탄소가 흡착되는 흡착제가 수용되며, 정면에서 봤을 때 '∧'형상으로 서로 연결된 제1필터(221)와 제2필터(222)를 각각 포함한다.
상기 제1필터(221)와 상기 제2필터(222)는 각각 동일한 구성으로 되어 있으며, 상기 가스가 유입되는 방향(도면에서 상방향)의 일측 모서리들은 서로 인접하게 연결되고 상기 가스가 토출되는 방향(도면에서 하방향)의 타측은 사이공간(224)이 형성되도록 벌어져 형성되어 있다.
이에, 유입된 상기 가스는 상기 제1필터(221)와 상기 제2필터(222)의 폭 방향을 따라 외측에서 내측으로 통과하여 상기 사이공간(224)으로 유입되고, 상기 사이공간(224)으로 유입된 가스는 모아져 상기 제1필터(221)와 상기 제2필터(222)의 타측 사이로 유출된다(도 7참조).
상기한 바에 따르면, 상기 초순수 저장탱크용 이산화탄소 스크러버는 상기 1필터와 제2필터(222)를 서로 연결하되, 도시된 바와 같이 가스가 유입되는 방향으로 갈수록 좁아지게 연결하여 가스가 상기 제1필터(221)와 제2필터(222)를 통과하면서 유동흐름이 와류가 형성되게 굴곡지도록 유도하고, 이를 통해 가스의 체류시간 증가 및 흡착제와의 접촉시간을 늘려 흡착제와 이산화탄소의 반응시간을 늘려 이산화탄소 흡착효율을 향상시킬 수 있도록 되어 있다.
상기 제1필터(221)와 상기 제2필터(222)의 경사지게 벌어진 각도는 상기 챔버(100)의 구조와 상기 가스의 유동흐름을 고려하여 도시된 바와 같이 45도 이내로 하는 것이 바람직하지만, 이는 바람직한 실시예로 그 각도는 다양하게 설계 변경할 수 있다.
한편, 상기 필터부(200)는, 상기 제1필터(221)와 상기 제2필터(222)의 일측에 위치하여 유입되는 상기 가스의 유동을 가이드하는 가이드부를 포함할 수 있다. 상기한 가이드부는 상기 가스의 유입방향으로 갈수록 좁아지도록 형성되어 유체저항을 최소화함은 물론 상기 가스의 유동을 상기 제1필터(221)와 상기 제2필터(222)로 가이드 하도록 형성될 수 있으나, 이에 한정하지는 않는다.(가이드부에 대한 구성은 경우에 따라 설치할 수도 있고 다양한 실시예가 가능함을 나타내기 위하여 상세한 설명에 기재하는 것이 바람직할 것으로 사료됩니다)
상기 필터부(200)는, 상기 카트리지 필터(220) 복수개를 종방향 및 횡방향을 따라 서로 연결하여 상기 가스유로(103) 상에 일렬로 연결 배치되며, 유입되는 가스 전량이 상기 필터부(200)를 모두 통과할 수 있도록 되어 있다.
나아가, 상기 필터부(200)는, 상기 카트리지부(210)를 이산화탄소의 처리용량 등을 고려하여 상기 가스의 유동방향에 대하여 다단으로 이격되게 배치할 수 있다. 도면에서 상기 카트리지부(210)는 2단으로 설치된 경우를 나타내었으나 이는 일 실시예로 그 설치 단수는 다양하게 변경할 수 있음은 물론이다.
한편, 상기한 바와 같이 카트리지부(210)가 다단으로 배치될 경우 상기 필터부(200)는, 도 7에 나타난 바와 같이 통과하는 가스가 지그재그로 유동하도록 상단에 위치하는 상기 카트리지 필터(220)와 하단에 위치하는 상기 카트리지 필터(220)가 상기 가스의 유동방향으로 일렬로 배치되는 것이 바람직하다. 다시 말해, 상기 필터부(200)는 상단과 하단에 각각 위치하는 상기 제1필터(221)와 상기 제2필터(222)가 서로 상기 챔버(100)의 폭 방향에 대하여 동일한 위치와 동일한 형태로 벌어지게 배치되어, 상단의 상기 제1필터(221)와 상기 제2필터(222)의 일측으로 유입되어 폭 방향을 따라 통과하여 상기 사이공간(225)으로 유입되어 상단의 상기 제1필터(221)와 상기 제2필터(222)의 타측으로 유출되는 상기 가스가 하단의 상기 제1필터(221)와 상기 제2필터(222)의 일측으로 유입되어 폭 방향을 따라 통과하여 상기 사이공간(225)으로 유입되어 하단의 상기 제1필터(221)와 상기 제2필터(222)의 타측으로 유출되도록 하여 상기 가스가 지그재그로 유동하도록 한다.
상기 제1필터(221)와 상기 제2필터(222)에 대하여 상세하게 살펴보기로 한다. 상기 제1필터(221)와 상기 제2필터(222)는 서로 동일한 구성으로 상기 제1필터(221)에 대해서만 예를 들어 살펴보기로 한다.
도 6을 참조하면, 상기 제1필터(221)는 도시된 바와 같이 사각형상의 프레임(2211,2221)과, 필터망(2212,2222)과, 보호망(2213,2223)을 포함한다. 상기 프레임(2211,2221)은 설정된 폭을 갖고 내부에 관통구가 형성되어 있으며, 내구성을 유지하기 위하여 스테인레스(Stainless;SUS)재질로 형성되는 것이 바람직하다.
상기 필터망(2212,2222)은, 상기 프레임(2211,2221)의 관통구에 설치되며 메쉬구조로 상기 흡착제가 수용된다. 여기서, 상기 흡착제는 이산화탄소와 반응하는 흡착성분이 도포된 알갱이 형태로 이루어져 있으며, 상기 필터망(2212,2222) 사이사이에 충진되어 공극 사이로 가스가 통과하면서 상기 이산화탄소와 반응한다.
한편, 상기 필터망(2212,2222)은 허니컴구조로 되어 있어, 공기분산 효과를 얻을 수 있음은 물론, 내구성을 강화하는 효과를 제공할 수 있다. 상기 필터망(2212,2222)은 내열성이 있으며 강도가 높고 무게는 가벼우며 제조가 용이한 PE(polyethylene)재질로 형성되는 것이 바람직하다.
상기 보호망(2213,2223)은 상기 필터망(2212,2222)의 양측에 위치하고 상기 프레임(2211,2221)과 결합하여 상기 흡착제와 상기 필터망(2212,2222)을 보호하는 역할을 한다. 상기 보호망(2213,2223)은 상기 필터망(2212,2222)에 압착되거나 상기 프레임(2211,2221)에 결합할 수 있다.
여기서, 상기 제1필터(221)의 상기 필터망(2212,2222)과 상기 보호망(2213,2223)의 메쉬공극과, 상기 흡착제의 공극의 설계는 압력손실은 낮추면서도 이산화탄소 흡착효율은 높도록 설계할 수 있다.
상기 필터부(200)는, 상기 카트리지부(210)의 전방과 후방에 각각 이격되게 설치되는 프리필터(pre-filter;410)와 포스트필터(post-filter,420)를 더 포함한다. 상기 프리필터(410)는, 플레이트 형상으로 상기 카트리지부(210)의 전방에 이격되도록 상기 가스유로(103) 상에 설치되며, 가스 중의 이물질을 미리 제거하는 역할을 한다.
상기 포스트필터(420)는 플레이트 형상으로 상기 카트리지부(210)의 후방에 이격되도록 상기 가스유로(103) 상에 설치되며, 유출되기 전 가스의 이물질을 제거하는 역할을 한다.
한편, 상기 프리필터(410)와 포스트필터(420)는 상기 챔버(100) 내에 슬라이딩 가능하게 착탈 가능하게 결합할 수 있으며, 이를 위해 상기 챔버(100)는, 도 5에 나타난 바와 같이 상기 프리필터(410)가 설치되는 내측으로 프리필터 레일부(411)를 설치하여 상기 프리필터(410)의 단부가 상기 프리필터 레일부(411)의 레일홈(412,422)에 슬라이딩 가능하게 삽입되게 한다. 이는, 상기 포스트필터(420)도 마찬가지이며, 이에 상기 챔버(100)는 상기 포스트필터(420)가 설치되는 내측으로 포스트필터 레일부(421)를 설치하여 상기 포스트필터(420)의 단부가 상기 포스트필터 레일부(421)의 레일홈(412,422)에 슬라이딩 가능하게 삽입되게 한다.
상기 기밀부재(230)는 상기 카트리지부(210)에 결합하여 유입된 상기 가스 전부가 상기 카트리지부(210)를 통과하도록 하는 역할을 하며, 제1기밀부재(231)와 제2기밀부재(232)를 포함한다. 상기 제1기밀부재(231)는, 상기 제1필터(221)와 상기 제2필터(222)의 외측 모서리를 감싸도록 결합하며, 상기 제1필터(221)와 상기 제2필터(222)의 모서리 형상에 대응하여 절곡되어 있다. 도면에서 상기 제1기밀부재(231)는 상기 제1필터(221)의 상부 외측과 상기 제2필터(222)의 상부 외측에 결합하고, 상기 제1필터(221)의 하부 내측과 상기 제2필터(222)의 하부 내측에 결합되어 있다.
상기 제2기밀부재(232)는 상기 제1필터(221)와 상기 제2필터(222)가 서로 만나는 지점에 위치하여 상기 제1필터(221)와 상기 제2필터(222)사이의 기밀을 유지한다. 상기 제2기밀부재(232)는 상기 제3지지부재(330)의 양측면에 결합하여, 양측면으로 상기 제1필터(221)와 상기 제2필터(222)의 모서리가 밀착된다.
한편, 상기 제1기밀부재(231)와 상기 제2기밀부재(232)는 상기 제1필터(221)와 상기 제2필터(222)의 표면으로 실리콘을 도포하여 형성할 수 있지만, 이는 바람직한 실시예로 고무재질의 패킹을 결합하거나 그 외 상기한 목적을 달성할 수 있는 다양한 구성을 적용할 수 있음은 물론이다.
본 발명은 도면에 도시된 실시예를 참고로 설명되었으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 본 기술 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 다른 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의하여 정해져야 할 것이다.
100... 챔버 101... 유입구
102... 유출구 103... 가스유로
104... 드레인 200... 필터부
210... 카트리지부 220... 카트리지 필터
221... 제1필터 2211,2221... 프레임
2212,2222... 필터망 2213,2223... 보호망
222... 제2필터 224... 사이공간
230... 기밀부재 231... 제1기밀부재
232... 제2기밀부재 300... 지지부
310... 제1지지부재 320... 제2지지부재
330... 제3지지부재 410... 프리필터
411... 프리필터 레일부 412,422... 레일홈
420... 포스트필터 421... 포스트필터 레일부

Claims (12)

  1. 초순수 저장탱크와 연결된 벤트(Vent) 내에 형성된 유로 상에 설치되며, 가스가 유입되는 유입구가 형성되고, 상기 유입구로부터 유입된 상기 가스가 유출되는 유출구가 형성되며, 내부에 상기 유입구와 상기 유출구를 연통시키는 가스유로가 형성된 챔버;
    카트리지 필터 복수개가 상기 가스유로 상에 일렬로 연결 배치되어 상기 가스가 통과하면서 상기 가스 중에 포함된 이산화탄소를 제거하는 카트리지부와, 상기 카트리지부에 결합하여 유입된 상기 가스 전부가 상기 카트리지부를 통과하도록 하는 기밀부재를 포함하는 필터부; 및
    상기 챔버 내에 슬라이딩 가능하게 설치되는 상기 필터부를 지지하는 지지부를 포함하고,
    상기 카트리지 필터는, 설정된 폭을 갖는 플레이트 형상으로 형성되고 내부 수용공간에 상기 가스 중의 이산화탄소가 흡착되는 흡착제가 수용되는 제1필터와 제2필터를 각각 포함하고,
    상기 제1필터와 상기 제2필터는 상기 가스가 유입되는 방향의 일측은 서로 연결되고 상기 가스가 토출되는 방향의 타측은 사이공간이 형성되도록 벌어지게 경사지게 형성되어, 유입된 상기 가스가 상기 제1필터와 상기 제2필터의 폭 방향을 따라 통과하여 상기 사이공간으로 유입되어 상기 제1필터와 상기 제2필터의 타측 사이로 유출되며,
    상기 지지부는,
    상기 제1필터와 상기 제2필터의 하부에 위치하여 상기 제1필터와 상기 제2필터를 상방 지지하는 제1지지부재와, 상기 제1필터와 상기 제2필터의 상단부에 위치하여 상기 제1필터와 상기 제2필터를 지지하는 제2지지부재와, 서로 대면하는 상기 제1지지부재와 상기 제2지지부재 각각의 내측으로 돌출되게 결합되는 제3지지부재를 포함하는 초순수 저장탱크용 이산화탄소 스크러버.
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 필터부는,
    상기 카트리지부의 전방에 이격되도록 상기 가스유로 상에 설치되는 프리필터를 포함하는 초순수 저장탱크용 이산화탄소 스크러버.
  3. 청구항 2에 있어서,
    상기 프리필터는 플레이트 형상으로 형성되고,
    상기 챔버는, 상기 프리필터가 설치되는 내측으로 설치되어 상기 프리필터의 단부가 슬라이딩 가능하게 삽입되는 레일홈이 형성된 프리필터 레일부를 포함하는 초순수 저장탱크용 이산화탄소 스크러버.
  4. 청구항 1에 있어서,
    상기 필터부는,
    상기 카트리지부의 후방에 이격되도록 상기 가스유로 상에 설치되는 포스트필터를 더 포함하는 초순수 저장탱크용 이산화탄소 스크러버.
  5. 청구항 4에 있어
    상기 포스트필터는 플레이트 형상으로 형성되고,
    상기 챔버는, 상기 포스트필터가 설치되는 내측으로 설치되어 상기 포스트필터의 단부가 슬라이딩 가능하게 삽입되는 레일홈이 형성된 포스트필터 레일부를 포함하는 초순수 저장탱크용 이산화탄소 스크러버.
  6. 청구항 1에 있어서,
    상기 필터부는,
    상기 카트리지 필터 복수개를 종방향 및 횡방향을 따라 서로 연결하여 상기 가스유로 상에 일렬로 연결 배치하는 초순수 저장탱크용 이산화탄소 스크러버.
  7. 청구항 6에 있어서,
    상기 필터부는,
    상기 가스의 유동방향에 대하여 다단으로 이격되게 배치하는 초순수 저장탱크용 이산화탄소 스크러버.
  8. 청구항 7에 있어서,
    상기 가스는 상기 챔버의 폭방향을 따라 유동하고,
    상기 필터부는,
    상단과 하단에 각각 위치하는 상기 제1필터와 상기 제2필터가 서로 상기 챔버의 폭 방향에 대하여 동일한 위치와 동일한 형태로 벌어지게 배치되어, 상단의 상기 제1필터와 상기 제2필터의 일측으로 유입되어 폭 방향을 따라 통과하여 상기 사이공간으로 유입되어 상단의 상기 제1필터와 상기 제2필터의 타측으로 유출되는 상기 가스가 하단의 상기 제1필터와 상기 제2필터의 일측으로 유입되어 폭 방향을 따라 통과하여 상기 사이공간으로 유입되어 하단의 상기 제1필터와 상기 제2필터의 타측으로 유출되도록 하여 상기 가스가 지그재그로 유동하도록 하는 초순수 저장탱크용 이산화탄소 스크러버.
  9. 삭제
  10. 청구항 1에 있어서,
    상기 기밀부재는,
    상기 제1필터와 상기 제2필터의 외측 모서리를 감싸도록 결합하는 제1기밀부재와,
    상기 제1필터와 상기 제2필터가 서로 만나는 지점에 위치하여 양측면으로 상기 제1필터와 상기 제2필터의 모서리가 밀착되는 제2기밀부재를 포함하는 초순수 저장탱크용 이산화탄소 스크러버.
  11. 청구항 1에 있어서,
    상기 제1필터와 상기 제2필터는 각각,
    설정된 폭을 갖고 내부에 관통구가 형성된 프레임과,
    상기 프레임의 관통구에 설치되며 메쉬구조로 상기 흡착제가 수용되는 필터망과,
    상기 필터망의 양측에 위치하고 상기 프레임과 결합하여 상기 흡착제와 상기 필터망을 보호하는 보호망을 포함하는 초순수 저장탱크용 이산화탄소 스크러버.
  12. 청구항 11에 있어서,
    상기 필터망은,
    허니컴구조로 형성되는 초순수 저장탱크용 이산화탄소 스크러버.
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