KR101781267B1 - Positive displacement pump - Google Patents

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히데키 후루카와
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헤이신 엘티디.
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Abstract

용적식 펌프(10)이며, 펌프실(예를 들어, 아우터 부재)(30)과, 펌프실(30) 내에서의 운동에 따라 유체를 이송하는 운동 부재(예를 들어, 이너 부재)(20)와, 이상 운전을 검출하는 이상 운전 검출 수단(40)을 구비한다. 이상 운전 검출 수단(40)은, 마이크로파를 운동 부재(20)를 향해서 송신함과 함께 그 반사파를 수신하는 센서부(41)와, 센서부(41)로부터 출력되는 신호에 기초하여 이상 운전을 판정하는 판정부(42)를 구비한다. 센서부(41)는, 센서부(41)와 운동 부재(20)의 사이에 펌프실(30) 내의 유체가 개재되는 상태에서, 마이크로파의 송수신을 행하도록 배치된다. 이에 의해, 이상 운전을 정확하면서도 또한 빠르게 검출할 수 있는 용적식 펌프를 제공한다.(For example, an inner member) 20 for transferring a fluid in accordance with a movement in the pump chamber 30, and a pump , And abnormal operation detecting means (40) for detecting an abnormal operation. The abnormality detection means 40 includes a sensor portion 41 for transmitting a microwave toward the motion member 20 and receiving the reflected wave therefrom and an abnormality detection means 40 for determining an abnormal operation based on a signal output from the sensor portion 41 And a judging section 42 for judging whether or not there is a defect. The sensor unit 41 is arranged to transmit and receive microwaves in a state where the fluid in the pump chamber 30 is interposed between the sensor unit 41 and the moving member 20. [ Thereby, a positive displacement pump capable of detecting an abnormal operation accurately and quickly is provided.

Description

용적식 펌프{POSITIVE DISPLACEMENT PUMP}[0001] POSITIVE DISPLACEMENT PUMP [0002]

본 발명은 이상 운전을 검출하는 것이 가능한 용적식 펌프에 관한 것이다.The present invention relates to a positive displacement pump capable of detecting an abnormal operation.

용적식 펌프에서는, 펌프실 내에서 운동 부재(예를 들어, 피스톤이나 로터)가 운동(예를 들어, 왕복 운동이나 회전 운동)하는데 수반해서 유체가 이송된다. 이송 대상의 유체는, 예를 들어 액체로 할 수 있다. 또한, 이하에서는, 이송 대상의 유체를, 간단히 「유체」라고 한다.In a positive displacement pump, fluid is transported along with movement (e.g., reciprocating motion or rotational movement) of a motion member (e.g., a piston or a rotor) in the pump chamber. The fluid to be transported may be, for example, a liquid. In the following description, the fluid to be transported is simply referred to as " fluid ".

이러한 용적식 펌프에서는, 부재의 마모나 손상 등을 방지하는 관점에서, 이상 운전을 검출하는 것이 요망되고 있다. 이상 운전으로서, 예를 들어 공운전, 준공운전, 폐색 운전, 이물 혼입 등이 있다.In such a positive displacement pump, it is desired to detect an abnormal operation from the viewpoint of preventing wear and damage of the member. Abnormal operations include, for example, a ball operation, a completion operation, a closing operation, and foreign matter contamination.

공운전이란, 용적식 펌프에 유체를 공급하는 탱크 내가 비어 있게 되는 등에 의해 용적식 펌프에의 유체 공급이 정지하여, 펌프실 내에 유체가 거의 또는 완전히 존재하지 않는 상태에서의 운전을 의미한다. 펌프실 내에 유체가 거의 존재하지 않는 상태란, 예를 들어, 펌프실의 용적(ml)에 대하여 펌프실 내에 존재하는 유체의 체적(ml)이 차지하는 비율이, 수% 이하의 상태이다. 이 경우, 펌프실 내에는 유체 대신에 탱크 내의 가스(예를 들어, 공기)가 유입되어, 펌프실 내의 대부분 또는 전부에 가스가 존재하는 경우가 있다. 또한, 펌프실 내에 유체 대신에 가스가 유입될 때 펌프실 내의 일부가 진공 상태로 되고, 잔부에 가스가 존재하는 경우도 있다. 이러한 공운전은, 예를 들어 용적식 펌프의 흡입측과 접속된 배관에 이상이 발생한 경우, 용적식 펌프에 유체를 공급하는 장치에 이상이 발생한 경우 등에도 발생한다.The pneumatic operation means operation in a state in which the supply of fluid to the positive displacement pump is stopped due to the empty of the tank for supplying the fluid to the positive displacement pump and the fluid is almost or completely absent from the pump chamber. The state in which the fluid is hardly present in the pump chamber means, for example, the ratio of the volume (ml) of the fluid present in the pump chamber to the volume (ml) of the pump chamber is not more than several percent. In this case, gas (for example, air) in the tank may be introduced into the pump chamber instead of the fluid, and gas may exist in most or all of the pump chamber. Further, when gas is introduced into the pump chamber instead of the fluid, a part of the pump chamber is in a vacuum state, and the gas is present in the remaining portion. Such an idling operation also occurs when, for example, an abnormality occurs in the piping connected to the suction side of the positive displacement pump, or when an abnormality occurs in the device for supplying the fluid to the positive displacement pump.

준공운전이란, 펌프실 내에 존재하는 유체의 체적이, 정상 운전시와 비교하여 감소한 상태에서의 운전을 의미한다. 예를 들어, 정상 운전에서 공운전에 이르는 과정에서, 펌프실 내에 존재하는 유체의 체적이 서서히 감소하고 있는 경우가 해당된다.Completion operation means operation in a state in which the volume of the fluid present in the pump chamber is reduced compared with that during normal operation. For example, the volume of the fluid in the pump chamber gradually decreases from the normal operation to the open operation.

폐색 운전이란, 용적식 펌프의 토출측과 접속된 노즐이나 배관에 있어서, 유체의 일부가 고화하거나 함으로써, 유로가 좁아진 상태, 또는, 폐색된 상태에서의 운전을 의미한다. 이물 혼입은, 용적식 펌프의 펌프실 내에 유체와 함께 이물이 유입된 상태에서의 운전을 의미한다.The closing operation means a state in which a part of the fluid solidifies in a nozzle or a piping connected to the discharge side of the positive displacement pump and the operation in a state in which the flow path is narrowed or closed. Foreign matter incorporation means operation in a state where foreign matter is introduced into the pump chamber of the positive displacement pump together with the fluid.

용적식 펌프의 이상 운전의 검출에 관하여, 종래부터 다양한 제안이 이루어져 있다. 예를 들어, 특허문헌 1에서는, 1축 편심 나사 펌프에 있어서의 공운전을 검출하는 수단에 대해서 제안되어 있다. 그 공운전 검출 수단은, 제1 및 제2 공운전 검출 수단으로 이루어진다. 제1 공운전 검출 수단은, 스테이터(아우터 부재)의 온도 검출 센서로부터 신호를 받아, 스테이터의 온도가 설정 온도를 초과했을 때, 공운전이라고 판정한다. 또한, 제2 공운전 검출 수단은, 온도 검출 센서로부터 신호를 받아, 스테이터의 온도 상승 구배가 설정 온도 구배를 초과했을 때, 공운전이라고 판정한다.Various proposals have conventionally been made for detection of abnormal operation of the positive displacement pump. For example, Patent Document 1 proposes a means for detecting an idle operation in a single-shaft eccentric screw pump. The cooperative operation detecting means comprises first and second cooperative operation detecting means. The first open-circuit detecting means receives a signal from the temperature detecting sensor of the stator (outer member), and judges that the stator is in the open operation when the temperature of the stator exceeds the set temperature. Further, the second open-circuit detecting means receives a signal from the temperature detecting sensor and judges that the stator is in the open operation when the temperature rise gradient of the stator exceeds the set temperature gradient.

또한, 특허문헌 2에는, 펌프용 이상 검출 장치가 제안되어 있다. 그 이상 검출 장치는, 모터의 회전 토크를 검출해서 일정 주기로 저장하고, 그 평균값인 비교 값, 비교 값에 대한 상한측 허용 범위, 및, 비교 값에 대한 하한측 허용 범위를 산출한다. 또한, 비교 값의 설정수보다도 많은 설정수의 회전 토크로부터 평균값을 산출해서 기준값으로 한다. 또한, 상한측 허용 범위 및 하한측 허용 범위로부터, 기준값에 대한 허용 범위를 결정하고, 비교 값이 허용 범위 내에 있는지 여부에 기초하여, 허용 범위 내에 없는 경우에 펌프가 이상이라고 판정한다. 이에 의해, 스테이터가 마모해서 로터(이너 부재)와의 위치 관계가 변화하여, 로터를 회전시키는 모터에 작용하는 부하가 안정되지 않는 상태를 이상으로서 검출할 수 있다.Further, Patent Document 2 proposes a pump anomaly detection device. The abnormality detecting device detects the rotation torque of the motor and stores the same at regular intervals, calculates a comparison value as an average value, an upper limit allowable range for a comparison value, and a lower limit allowable range for a comparison value. Further, the average value is calculated from the rotation torque of the number of sets larger than the number of sets of the comparison value, and is used as the reference value. The permissible range for the reference value is determined from the upper-limit permissible range and the lower-permissible permissible range, and based on whether the comparison value is within the permissible range, it is determined that the pump is abnormal when the permissible range is not within the permissible range. As a result, the positional relationship between the stator and the rotor (inner member) changes due to wear of the stator, and a state in which the load acting on the motor for rotating the rotor is not stable can be detected abnormally.

일본 특허 제4191857호Japanese Patent No. 4191857 일본 특허 제5424202호Japanese Patent No. 5424202

상술한 바와 같이, 용적식 펌프에서는, 이상 운전을 검출하는 것이 요망되고 있다. 특허문헌 1에서는, 아우터 부재인 스테이터에 온도 센서를 배치하고, 스테이터의 온도 상승에 기초하여 공운전을 판정한다.As described above, in the positive displacement pump, it is desired to detect an abnormal operation. In Patent Document 1, a temperature sensor is disposed on a stator serving as an outer member, and a cooperative operation is determined based on the temperature rise of the stator.

그러나, 스테이터는 고무 등의 탄성체 또는 수지로 이루어지므로, 열전도율이 낮다. 이 때문에, 공운전의 상태로 되고 나서 온도 센서의 측정 온도의 상승까지 시간(예를 들어, 10분 정도)을 필요로 하며, 그 동안에 스테이터의 마모가 진행된다. 또한, 공운전뿐만 아니라, 로터(이너 부재)의 회전수의 상승, 펌프 부하의 상승, 유체의 온도 상승 등에 의해서도, 스테이터의 온도가 상승한다. 이들 공운전 이외의 요인에 의해 스테이터의 온도 상승이 발생한 경우, 공운전이라 오판정된다. 오판정을 저감하기 위해서는, 지연 타이머 등을 설치함으로써 일정 시간에 걸쳐서 온도 상승이 계속된 경우에 공운전이라 판정하는 것을 생각할 수 있다. 그러나, 지연 타이머를 설치하면, 공운전의 검출에 필요로 하는 시간도 증대된다.However, since the stator is made of an elastic material such as rubber or a resin, its thermal conductivity is low. For this reason, it takes a time (for example, about 10 minutes) until the measured temperature of the temperature sensor rises after the state of the coarse operation, and the wear of the stator progresses during this time. Further, the temperature of the stator rises not only by the air operation but also by the increase of the number of revolutions of the rotor (inner member), the increase of the pump load, and the increase of the temperature of the fluid. When the temperature of the stator rises due to factors other than these pneumatic operations, it is judged as a pneumatic operation. In order to reduce the erroneous judgment, it is conceivable that a judgment is made as a cooperative operation when the temperature rise continues for a predetermined time by providing a delay timer or the like. However, if the delay timer is provided, the time required for detection of the empty operation is also increased.

또한, 유체가 윤활성이 우수한 경우, 공운전의 상태이어도 스테이터 내에 잔존하는 약간의 유체가 윤활제로서 작용하여, 스테이터의 온도 상승이 억제되기 쉽다. 이 때문에, 유체가 윤활성이 우수한 경우, 특허문헌 1에 기재된 검출 수단에서는, 공운전의 검출에 시간을 필요로 할 우려가 있다. 또한, 로터의 회전수가 작은 경우, 스테이터에서는, 방열이 로터와의 마찰열보다도 커진다. 이 때문에, 스테이터의 온도가 변화하지 않아, 특허문헌 1에 기재된 검출 수단에서는, 공운전의 검출에 시간을 필요로 할 우려가 있다.Further, when the fluid is excellent in lubrication, even a cooperative operation, some fluid remaining in the stator acts as a lubricant, and the temperature rise of the stator tends to be suppressed. Therefore, in the case where the fluid is excellent in lubricity, there is a fear that the detection means described in Patent Document 1 may require time for detecting the air operation. Further, when the number of revolutions of the rotor is small, the heat radiation becomes larger than the frictional heat with the rotor in the stator. Therefore, the temperature of the stator does not change, and there is a fear that the detection means described in Patent Document 1 may require time for detection of the air operation.

뿐만 아니라, 특허문헌 1에 기재된 검출 수단은, 공운전을 대상으로 하며, 폐색 운전 및 이물 혼입에 대해서는 검토되어 있지 않다.In addition, the detection means disclosed in Patent Document 1 is intended for co-operation, and the clogging operation and foreign matter incorporation are not studied.

한편, 특허문헌 2에 기재된 이상 검출 장치에서는, 공운전이나 폐색 운전, 이물 혼입에 대해서 검토되어 있지 않다. 또한, 특허문헌 2에 기재된 모터의 토크에 기초하여 이상을 검출하는 방법을 공운전의 검출에 적용하는 것도 생각할 수 있다. 여기서, 펌프가 공운전이 되면, 모터의 토크는, 일시적으로 감소한 후에 상승한다. 모터의 토크가 일시적으로 감소하는 것은, 유체로부터의 반력이 감소하는 것에 의한다. 그 상태에서는, 스테이터 내에 잔존하는 약간의 유체가 윤활제로서 작용한다. 그러나, 점차로, 유체의 이송, 마찰열에 의한 유체의 기화 등에 의해 스테이터 내의 유체가 더 감소하므로, 로터와 스테이터의 마찰력에 의해 모터의 토크가 상승으로 전환된다.On the other hand, in the abnormality detecting device described in Patent Document 2, no examination has been made on the cooperative operation, the clogging operation, and foreign matter incorporation. It is also conceivable to apply the method of detecting an abnormality based on the torque of the motor disclosed in Patent Document 2 to the detection of the ball operation. Here, when the pump is idle, the torque of the motor temporarily rises and then rises. Temporarily reducing the torque of the motor is due to the reduction of the reaction force from the fluid. In this state, some of the fluid remaining in the stator acts as a lubricant. However, as the fluid in the stator decreases more and more due to the transfer of the fluid and the vaporization of the fluid due to the frictional heat, the torque of the motor is changed to the upward direction by the frictional force between the rotor and the stator.

이러한 모터의 토크의 변화에 있어서, 토크가 일시적으로 감소하는 단계에서 공운전이라 판정하면, 다른 요인에 의해 토크가 일시적으로 감소한 경우도 공운전으로서 오판정된다. 다른 요인에 의해 토크가 일시적으로 감소한 경우란, 예를 들어 유체의 성질의 변화, 모터의 회전수의 변경, 펌프와 접속하는 배관(경로)의 변경 등에 의해 토크가 일시적으로 감소한 경우가 해당된다. 한편, 모터의 토크가 상승한 단계에서 공운전을 판정하면, 토크가 일시적으로 감소한 후에 상승하므로, 공운전의 검출에 시간을 필요로 하고, 스테이터의 마모가 진행된다.In the change of the torque of such a motor, when it is judged as the idle operation at the step of temporarily reducing the torque, even when the torque temporarily decreases due to other factors, it is judged as an idle operation. The case where the torque temporarily decreases due to other factors includes, for example, a case where the torque temporarily decreases due to a change in the properties of the fluid, a change in the number of revolutions of the motor, and a change in a pipe (path) connected to the pump. On the other hand, when the air operation is judged at the step of increasing the torque of the motor, the torque rises after the torque temporarily decreases, so that it takes time to detect the coarse operation and the stator wear proceeds.

본 발명은 이러한 상황을 감안하여 이루어진 것으로, 이상 운전을 정확하면서도 또한 빠르게 검출할 수 있는 용적식 펌프를 제공하는 것을 목적으로 한다.SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to provide a positive displacement pump capable of detecting an abnormal operation accurately and quickly.

본 발명의 일 실시 형태에 의한 용적식 펌프는, 펌프실과, 상기 펌프실 내에서의 운동에 수반하여 유체를 이송하는 운동 부재와, 이상 운전을 검출하는 이상 운전 검출 수단을 구비한다. 상기 이상 운전 검출 수단은, 마이크로파를 상기 운동 부재를 향해서 송신함과 함께 그 반사파를 수신하는 센서부와, 상기 센서부로부터 출력되는 신호에 기초하여 이상 운전을 판정하는 판정부를 구비한다. 상기 센서부는, 정상 운전에 있어서 상기 센서부와 상기 운동 부재의 사이에 상기 펌프실 내의 상기 유체가 개재되는 상태에서, 상기 마이크로파의 송수신을 행하도록 배치된다.The positive displacement pump according to an embodiment of the present invention includes a pump chamber, a motion member for transferring the fluid in accordance with the movement in the pump chamber, and an abnormal operation detecting means for detecting an abnormal operation. The abnormal operation detecting means includes a sensor portion for transmitting the microwave toward the moving member and for receiving the reflected wave and a judging portion for judging an abnormal operation based on the signal outputted from the sensor portion. The sensor unit is arranged to transmit and receive the microwave in a state in which the fluid in the pump chamber intervenes between the sensor unit and the motion member during normal operation.

상기 판정부는, 상기 센서부로부터 출력되는 상기 신호에 기초하여, 상기 운동 부재의 운동과 함께, 상기 펌프실 내의 상기 유체의 상태를 파악하는 것이 바람직하다.Preferably, the judging section grasps the state of the fluid in the pump chamber together with the motion of the motion member based on the signal output from the sensor section.

상기 센서부는, 상기 유체와 상기 펌프실의 계면과 수직으로 마이크로파를 조사하는 것이 바람직하다. 또한, 상기 센서부는, 항상 상기 운동 부재에 상기 마이크로파를 조사하는 것이 바람직하다.The sensor unit preferably irradiates microwaves perpendicularly to the interface between the fluid and the pump chamber. It is preferable that the sensor unit always irradiate the microwave to the moving member.

상기 판정부는, 상기 이상 운전으로서 공운전 및 준공운전 중 어느 한쪽 또는 양쪽을 판정하는 것이 바람직하다. 상기 판정부는, 상기 신호의 파형의 피크값이 제1 역치를 초과하는 경우에 이상 운전이라 판정하는 구성을 채용할 수 있다. 또한, 상기 판정부는, 상기 신호의 파형이 소정의 패턴과 상이한 경우에 이상 운전이라 판정하는 구성도 채용할 수 있다.It is preferable that the determination section determines either or both of the cooperative operation and the completion operation as the abnormal operation. And the judging section may adopt a configuration in which it is judged that the abnormal operation is performed when the peak value of the waveform of the signal exceeds the first threshold value. The determination unit may also be configured to determine the abnormal operation when the waveform of the signal is different from the predetermined pattern.

상기 센서부는, 도플러 방식의 센서로 이루어지는 것이 바람직하다. 이 경우, 상기 판정부는, 상기 신호의 파형에 포함되는 정현파의 산 및 골짜기 중 어느 한쪽 또는 양쪽의 출현 횟수를 계수하여, 소정의 시간 내에 계수된 상기 출현 횟수가 제2 역치를 초과하는 경우에 이상 운전이라 판정하는 구성을 채용할 수 있다. 상기 출현 횟수를 판정에 사용하는 경우, 상기 판정부는, 상기 신호의 강도가 제3 역치를 초과하고 나서 다시 상기 신호의 강도가 상기 제3 역치를 초과할 때까지의 동안의 상기 출현 횟수를 계수함과 함께, 상기 신호의 강도가 제4 역치를 초과하는 경우에 상기 출현 횟수를 증가시키는 것이 바람직하다. 상기 제3 역치는, 상기 운동 부재가 상기 센서부에 가장 근접할 때 출력되는 상기 정현파의 상기 산 또는 상기 골짜기만을 검출하도록 설정하면 된다.Preferably, the sensor unit comprises a Doppler type sensor. In this case, the judgment unit counts the number of occurrences of one or both of the mountains and valleys of the sinusoidal waves contained in the waveform of the signal, and when the number of occurrences counted within a predetermined time exceeds the second threshold value, It is possible to adopt a configuration in which it is determined that the operation is an operation. When the appearance frequency is used for the determination, the determination unit counts the frequency of appearance of the signal until the intensity of the signal exceeds the third threshold value and again until the intensity of the signal exceeds the third threshold value And increases the frequency of occurrence when the intensity of the signal exceeds the fourth threshold value. The third threshold may be set so as to detect only the peak or the valley of the sinusoidal wave outputted when the motion member is closest to the sensor unit.

상기 센서부가, 도플러 방식의 센서로 이루어지는 경우, 상기 판정부는, 소정의 시간분의 상기 신호의 파형을 적분 처리함으로써 적분값을 산출하고, 상기 적분값에 기초하여 이상 운전을 판정하는 구성도 채용할 수 있다.In the case where the sensor unit is composed of a Doppler type sensor, the determination unit also adopts a configuration for calculating an integral value by integrating the waveform of the signal for a predetermined time and determining an abnormal operation based on the integral value .

상기 이상 운전 검출 수단은, 상기 센서부로부터 출력되는 신호에, 고역 통과 필터, 저역 통과 필터, 전파 정류 및 증폭 중 어느 1개 이상의 처리를 실시하여, 상기 판정부에 송출하는 신호 처리부와, 상기 판정부의 판정 결과를 출력하는 출력부를 더 구비하는 것이 바람직하다.Wherein the abnormal operation detecting means comprises: a signal processing unit for performing at least one of a high-pass filter, a low-pass filter, a full-wave rectification and an amplification to a signal output from the sensor unit, And an output unit for outputting a determination result of the determination unit.

상기 펌프실은, 내주면이 암 나사형으로 형성된 아우터 부재로 이루어지고, 상기 운동 부재는, 상기 아우터 부재에 대하여 상대적으로 편심 회전하는 수 나사형의 이너 부재인 것이 바람직하다. 이 경우, 상기 아우터 부재는, 횡단면에서의 상기 내주면의 형상이 대략 타원 형상이며, 상기 센서부는, 상기 대략 타원 형상의 타원 방향과 평행한 대칭선 상의 위치로부터 타원 방향을 따라서 상기 마이크로파를 송신하는 것이 바람직하다. 또한, 상기 센서부는, 상기 이너 부재 중에서 상기 아우터 부재와 함께 항상 폐공간을 형성하는 부위에 상기 마이크로파를 송신하는 것이 바람직하다.It is preferable that the pump chamber is formed of an outer member whose inner circumferential surface is formed in an arm-threaded shape, and the motion member is an inner member of a screw thread type which relatively eccentrically rotates with respect to the outer member. In this case, the inner member of the outer member has a substantially elliptical shape in the transverse section, and the sensor unit transmits the microwave along a direction of the ellipse from a position on the symmetry line parallel to the elliptical direction of the substantially elliptical shape desirable. It is preferable that the sensor unit transmits the microwave to a portion of the inner member that always forms a closed space with the outer member.

본 발명에 있어서, 「대략 타원 형상」은, 후술하는 도 2의 (a)에 도시한 바와 같은 제1 호 형상부(30c)와 제2 호 형상부(30d)가 직선 형상부(30b)로 이어지는 타원 형상에 한하지 않고, 후술하는 도 9의 (a)에 도시한 바와 같은 제1 호 형상부(30c)와 제2 호 형상부(30d)가 곡선 형상부(30g)로 연결되는 형상, 및 도 9의 (b)에 도시한 바와 같은 타원 형상을 포함한다.In the present invention, the "approximately elliptical shape" is a shape in which the first arc-shaped portion 30c and the second arc-shaped portion 30d as shown in FIG. 2 (a) The shape is not limited to the following elliptical shape but may be a shape in which the first arc-shaped portion 30c and the second arc-shaped portion 30d as shown in FIG. 9A to be described later are connected to the curved portion 30g, And an elliptical shape as shown in Fig. 9 (b).

본 발명의 용적식 펌프는, 마이크로파를 송수신하는 센서부에 의해, 펌프실 내의 상태를 직접 파악한다. 이에 의해, 이상 운전 시에, 센서부로부터의 출력 신호가 즉시 변화하므로, 이상 운전을 빠르게 검출할 수 있다. 또한, 유체의 온도 상승이 발생한 경우 등을 이상 운전이라 오판정하지 않아, 이상 운전을 정확하게 검출할 수 있다. The positive displacement pump of the present invention directly grasps the state in the pump chamber by a sensor section that transmits and receives a microwave. Thereby, during abnormal operation, the output signal from the sensor section changes instantly, so that the abnormal operation can be detected quickly. In addition, when the fluid temperature rises, the abnormal operation is not erroneously determined, so that the abnormal operation can be accurately detected.

도 1은 본 발명의 용적식 펌프의 구성예를 모식적으로 도시하는 단면도이다.
도 2는 스테이터의 횡단면에 있어서의 로터의 운동을 모식적으로 도시하는 단면도이며, 도 2의 (a)는 개시 시, 도 2의 (b)는 회전 각도가 90°일 때, 도 2의 (c)는 회전 각도가 180°일 때, 도 2의 (d)는 회전 각도가 270°일 때를 각각 나타낸다.
도 3은 도플러 방식의 센서로부터 출력되는 신호의 파형예를 도시하는 모식도이다.
도 4는 정상 운전에 있어서의 스테이터 내의 상태를 모식적으로 도시하는 단면도이며, 도 4의 (a)는 상기 도 1의 A-A 위치, 도 4의 (b)는 B-B 위치, 도 4의 (c)는 C-C 위치에서의 상태를 각각 나타낸다.
도 5는 공운전에 있어서의 스테이터 내의 상태의 일례를 모식적으로 도시하는 단면도이며, 도 5의 (a)는 상기 도 1의 A-A 위치, 도 5의 (b)는 B-B 위치, 도 5의 (c)는 C-C 위치에서의 상태를 각각 나타낸다.
도 6은 펄스 레이더 방식 및 FMCW 방식의 센서로부터 출력되는 신호의 파형예를 도시하는 모식도이다.
도 7은 용적식 펌프를 로터리 펌프로 한 경우의 구성예를 모식적으로 도시하는 단면도이다.
도 8은 용적식 펌프를 1축 편심 나사 펌프로 한 경우의 센서의 배치 예를 모식적으로 도시하는 단면도이며, 도 8의 (a)는 센서부의 마이크로파의 송신 방향이 유체와 스테이터의 계면과 수직인 경우를 나타내고, 도 8의 (b)는 그 송신 방향이 그 계면과 비수직인 경우를 나타낸다.
도 9는 아우터 부재의 내주면의 횡단면 형상 예를 도시하는 모식도이며, 도 9의 (a)는 곡선 형상부를 갖는 경우, 도 9의 (b)는 타원 형상인 경우를 나타낸다.
도 10은 아우터 부재가 회전 가능한 1축 편심 나사 펌프에 있어서의 구성예를 모식적으로 도시하는 단면도이며, 도 10의 (a)는 아우터 로터 케이싱에 센서부를 배치하는 경우, 도 10의 (b)는 아우터 로터에 센서부를 배치하는 경우를 나타낸다.
도 11은 도플러 방식의 센서를 사용하는 경우의, 정현파의 산 및 골짜기를 포함하는 신호의 파형예를 도시하는 모식도이며, 도 11의 (a)는 공운전시, 도 11의 (b)는 정상 운전시를 각각 나타낸다.
1 is a cross-sectional view schematically showing a configuration example of a positive displacement pump of the present invention.
Fig. 2 is a cross-sectional view schematically showing the movement of the rotor in the transverse section of the stator. Fig. 2 (a) c) shows a case where the rotation angle is 180 °, and Fig. 2 (d) shows when the rotation angle is 270 °.
3 is a schematic diagram showing an example of a waveform of a signal output from a Doppler type sensor.
Fig. 4 is a cross-sectional view schematically showing the state in the stator during normal operation. Fig. 4 (a) is the AA position of Fig. 1, Fig. 4 (b) is the BB position, Represents the state at the CC position.
Fig. 5 is a cross-sectional view schematically showing an example of a state in the stator in a cooperative operation. Fig. 5 (a) is the AA position in Fig. 1, and c) represents the state at the CC position, respectively.
6 is a schematic diagram showing a waveform example of a signal output from the pulse radar system and the FMCW system sensor.
Fig. 7 is a sectional view schematically showing a configuration example in the case where the positive displacement pump is a rotary pump.
8 is a cross-sectional view schematically showing an arrangement example of a sensor when the positive displacement pump is a single-shaft eccentric screw pump. FIG. 8 (a) And Fig. 8 (b) shows a case where the transmission direction is not perpendicular to the interface.
Fig. 9 is a schematic view showing an example of the cross-sectional shape of the inner circumferential surface of the outer member, Fig. 9 (a) showing a curved portion and Fig. 9 (b) showing an elliptical shape.
10 (a) is a cross-sectional view schematically showing a configuration example of a single-shaft eccentric screw pump in which an outer member is rotatable, FIG. 10 (a) Shows a case where the sensor unit is arranged in the outer rotor.
Fig. 11 is a schematic diagram showing an example of waveforms of signals including sine waves and valleys when a Doppler type sensor is used. Fig. 11 (a) Respectively.

이하에, 본 실시 형태의 용적식 펌프에 대해서 도면을 참조하면서 설명한다.Hereinafter, the positive displacement pump of the present embodiment will be described with reference to the drawings.

도 1은, 본 발명의 용적식 펌프의 구성예를 모식적으로 도시하는 단면도이다. 도 1에 도시하는 용적식 펌프는, 1축 편심 나사 펌프(10)이다. 1축 편심 나사 펌프(10)는, 펌프실이 되는 아우터 부재(30)(이하, 「스테이터」라고도 함)와, 운동 부재인 이너 부재(20)(이하, 「이너 로터」라고도 하며, 간단히 「로터」라고도 함)를 구비한다. 스테이터(30)는, 아우터 부재이며, 그 내주면(30a)이 암 나사형으로 형성되어 있다. 로터(20)는, 수 나사형이며, 동력을 받아서 편심 회전한다. 이러한 로터(20) 및 스테이터(30)는, 케이싱(11)의 내부에 수용되어 있다. 그 케이싱(11)은, 금속제의 통 형상 부재이며, 길이 방향의 선단에 제1 개구부(11a)가 형성되어 있다. 이 제1 개구부(11a)는, 1축 편심 나사 펌프(10)의 토출구로서 기능하고, 그 토출구에는, 노즐, 배관 등이 장착된다.1 is a cross-sectional view schematically showing a configuration example of a positive displacement pump of the present invention. The positive displacement pump shown in Fig. 1 is a single axis eccentric screw pump 10. The single axis eccentric screw pump 10 includes an outer member 30 (hereinafter also referred to as a "stator") to be a pump chamber and an inner member 20 (hereinafter also referred to as an "inner rotor" Quot;). The stator 30 is an outer member, and the inner circumferential surface 30a thereof is formed in an arm thread shape. The rotor 20 is of a male thread type, receives power and eccentrically rotates. The rotor (20) and the stator (30) are housed in the casing (11). The casing (11) is a metal cylindrical member, and a first opening (11a) is formed at the tip end in the longitudinal direction. The first opening 11a functions as a discharge port of the single axis eccentric screw pump 10, and a nozzle, a pipe, and the like are mounted on the discharge port.

또한, 케이싱(11)의 외주에는, 제2 개구부(11b)가 형성되어 있다. 제2 개구부(11b)는, 케이싱(11)의 길이 방향의 중간에서 케이싱(11)의 내부 공간과 연결된다. 이러한 제2 개구부(11b)는, 1축 편심 나사 펌프(10)의 흡입구로서 기능하고, 예를 들어 유체가 저류된 탱크와 배관을 통해서 접속된다.A second opening portion 11b is formed on the outer periphery of the casing 11. As shown in Fig. The second opening 11b is connected to the inner space of the casing 11 in the middle of the casing 11 in the longitudinal direction. The second opening 11b functions as a suction port of the single-shaft eccentric screw pump 10, and is connected to the tank through which the fluid is stored, for example, through a pipe.

스테이터(30)는, 예를 들어 고무 등의 탄성체 또는 수지로 이루어진다. 스테이터(30)의 내주면(30a)은, n조의 암나사 형상이며, 1개 또는 복수의 나사산을 갖는다. 이에 반해, 로터(20)는, 금속제의 축체이다. 그 로터(20)는, n-1조의 수나사 형상이며, 1개 또는 복수의 나사산을 갖는다.The stator 30 is made of, for example, an elastic body such as rubber or a resin. The inner circumferential surface 30a of the stator 30 is n-thread female type and has one or a plurality of threads. On the other hand, the rotor 20 is a metal shaft. The rotor 20 is in the form of (n-1) male threads and has one or a plurality of threads.

도 1에 도시하는 1축 편심 나사 펌프(10)에 있어서, 스테이터(30)의 내주면은, 2조의 암나사 형상이며, 복수의 나사산을 갖는다. 그 스테이터(30)의 내주면의 단면 형상은, 길이 방향의 어느 위치에서도 타원 형상이 된다. 한편, 로터(20)는, 1조로 편심된 수나사 형상이며, 그 로터(20)의 단면은, 길이 방향의 어느 위치에서도 진원 형상이 된다. 로터(20)는, 스테이터(30)의 내주면(30a)에 의해 형성되는 공간에 삽입 관통된 상태에서, 편심 회전 가능하게 되어 있다.In the single-shaft eccentric screw pump 10 shown in Fig. 1, the inner circumferential surface of the stator 30 has two sets of female threads, and has a plurality of threads. The cross-sectional shape of the inner peripheral surface of the stator 30 becomes an elliptical shape at any position in the longitudinal direction. On the other hand, the rotor 20 is in the form of a male screw eccentrically formed in a single set, and the cross section of the rotor 20 has a round shape at any position in the longitudinal direction. The rotor 20 is eccentrically rotatable in a state of being inserted into a space formed by the inner peripheral surface 30a of the stator 30.

로터(20)를 편심 회전 가능하게 하기 위해서, 로터(20)는 제1 자재 조인트(12)를 통해서 로드(13)와 연결되고, 그 로드(13)는 제2 자재 조인트(14)를 통해서 드라이브 샤프트(15)와 연결되어 있다. 드라이브 샤프트(15)는, 상세한 설명은 생략하지만, 케이싱(11)과의 간극을 시일한 상태에서 케이싱(11)에 회전 가능하게 유지되어 있다. 이러한 드라이브 샤프트(15)는, 모터(16)의 주축(16a)과 연결되어 있다. 이 때문에, 모터(16)의 동작에 의해 주축(16a)이 회전하는데 수반하여, 드라이브 샤프트(15)가 회전하고, 자재 조인트(12, 14) 및 로드(13)를 통해서 연결되어 있는 로터(20)가 편심 회전한다.The rotor 20 is connected to the rod 13 via the first material joint 12 and the rod 13 is connected to the second material joint 14 via the second material joint 14. In order to enable the rotor 20 to eccentrically rotate, And is connected to the shaft 15. Although not described in detail, the drive shaft 15 is rotatably held in the casing 11 in a state in which the gap with the casing 11 is sealed. The drive shaft 15 is connected to the main shaft 16a of the motor 16. As the main shaft 16a rotates by the operation of the motor 16, the drive shaft 15 rotates and rotates through the material joints 12 and 14 and the rotor 13 ) Eccentrically rotates.

이렇게 로터(20)를 편심 회전시키면, 로터(20) 및 스테이터(30)의 내주면(30a)에 의해 구획된 공간이, 스테이터(30) 내를 회전하면서 스테이터(30)의 길이 방향으로 진행한다. 이 때문에, 스테이터(30)의 일단부측으로부터 유체를 흡입함과 함께, 흡입한 유체를 스테이터(30)의 타단부측을 향해서 이송해서 토출시키는 것이 가능하다. 도 1에 도시하는 1축 편심 나사 펌프(10)는, 로터(20)를 정 방향으로 회전시킴으로써, 제2 개구부(11b)로부터 흡입한 유체를 이송하여, 제1 개구부(11a)로부터 토출할 수 있다.When the rotor 20 is eccentrically rotated in this manner, the space defined by the rotor 20 and the inner circumferential surface 30a of the stator 30 advances in the longitudinal direction of the stator 30 while rotating within the stator 30. [ Therefore, it is possible to suck the fluid from the one end side of the stator 30 and to transfer the sucked fluid toward the other end side of the stator 30 for discharge. The uniaxial eccentric screw pump 10 shown in Fig. 1 can transfer the fluid sucked from the second opening portion 11b by rotating the rotor 20 in the forward direction to be discharged from the first opening portion 11a have.

계속해서, 로터의 편심 회전 운동에 수반하는, 스테이터의 횡단면에 있어서의 로터의 운동에 대해서, 도면을 참조하면서 설명한다.Next, the motion of the rotor in the transverse section of the stator due to the eccentric rotational motion of the rotor will be described with reference to the drawings.

도 2는, 스테이터의 횡단면에 있어서의 로터의 운동을 모식적으로 도시하는 단면도이며, 도 2의 (a)는 개시 시, 도 2의 (b)는 회전 각도가 90°일 때, 도 2의 (c)는 회전 각도가 180°일 때, 도 2의 (d)는 회전 각도가 270°일 때를 각각 나타낸다. 도 2는, 상기 도 1의 A-A 위치에서의 단면도에 상당한다. 또한, 도 2의 (a)의 파선 화살표는, 센서부(41)가 마이크로파를 송신하는 방향을 나타낸다.Fig. 2 is a cross-sectional view schematically showing the movement of the rotor in the cross-section of the stator. Fig. 2 (a) (c) shows the case where the rotational angle is 180 °, and FIG. 2 (d) shows the case when the rotational angle is 270 °. Fig. 2 is a sectional view taken along the line A-A in Fig. 2 (a) indicates the direction in which the sensor unit 41 transmits microwaves.

도 2에 도시한 바와 같이, 로터(20)는, 단면 형상이 원 형상이다. 또한, 스테이터(30)는, 그 내주면의 단면 형상이 타원 형상이며, 외주면의 형상이 원 형상이다. 스테이터(30)의 내주면의 단면 형상은, 대향하는 직선 형상부(30b)와, 그것들의 단부점을 연결하는 반원의 호 형상부(30c, 30d)를 갖는다. 이러한 내주면의 단면 형상은, 타원 방향(직선 형상부(30b)을 따르는 방향, 도 2의 (a)의 해칭을 실시한 화살표 참조)에 평행한 대칭 선(30e)과, 타원 방향과 수직인 대칭 선(30f)을 갖는다(도 2의 (a) 참조).As shown in Fig. 2, the rotor 20 has a circular cross-sectional shape. The inner peripheral surface of the stator 30 has an elliptical cross-sectional shape, and the outer peripheral surface has a circular shape. The cross-sectional shape of the inner circumferential surface of the stator 30 has semicircular arcuate portions 30c and 30d connecting the opposite linear portions 30b and their end points. The cross-sectional shape of the inner circumferential surface has a symmetry line 30e parallel to the ellipse direction (the direction along the straight line portion 30b, see the hatched hatched portion in FIG. 2A) and a symmetry line 30e perpendicular to the ellipse direction. (See Fig. 2 (a)).

개시 시(회전 각도가 0°일 때), 로터(20)는, 도 2의 (a)에 도시한 바와 같이, 2개의 호 형상부(30c, 30d) 중에서 제1 호 형상부(30c)와 접하는 상태이다. 이하에서는, 이 상태를 「우측 스트로크 엔드」라고도 한다. 이 경우, 로터(20)가 편심 회전을 개시하면, 스테이터(30)의 횡단면에 있어서, 로터(20)는 타원 방향을 따라서, 내주면(타원)의 제2 호 형상부(30d)를 향해 이동한다. 회전 각도가 90°에 달했을 때, 도 2의 (b)에 도시한 바와 같이, 내주면(타원)의 제1 및 제2 호 형상부의 중앙에 위치한다. 또한, 회전 각도가 180°에 달했을 때, 도 2의 (c)에 도시한 바와 같이, 내주면(타원)의 제2 호 형상부(30d)와 접하는 상태가 된다. 이하에서는, 이 상태를 「좌측 스트로크 엔드」라고도 한다.2 (a), the rotor 20 has a first arc-shaped portion 30c and a second arc-shaped portion 30c among the two arc-shaped portions 30c and 30d at the start (when the rotation angle is 0 °) It is in a tangible state. Hereinafter, this state is also referred to as " right stroke end ". In this case, when the rotor 20 starts eccentric rotation, the rotor 20 moves in the transverse section of the stator 30 toward the second arc-shaped portion 30d of the inner peripheral surface (ellipse) along the ellipse direction . When the rotation angle reaches 90 degrees, the first and second arc-shaped portions of the inner peripheral surface (ellipse) are located at the center of the arc-shaped portion as shown in Fig. 2 (b). When the rotational angle reaches 180 degrees, the second contact portion 30d comes into contact with the second arc portion 30d of the inner circumferential surface (ellipse) as shown in Fig. 2 (c). Hereinafter, this state is also referred to as " left stroke end ".

회전 각도가 180°에 달했을 때 로터(20)의 이동 방향이 반전되고, 그 후에는 로터(20)는 타원 방향을 따라서, 내주면(타원)의 제1 호 형상부(30c)를 향해 이동한다. 회전 각도가 270°에 달했을 때, 도 2의 (d)에 도시한 바와 같이, 내주면(타원)의 제1 및 제2 호 형상부의 중앙에 위치한다. 또한, 회전 각도가 360°에 달했을 때, 개시 시(도 2의 (a))와 마찬가지로, 내주면(타원)의 제1 호 형상부(30c)와 접하는 상태가 된다.When the rotational angle reaches 180, the direction of movement of the rotor 20 is reversed. Thereafter, the rotor 20 moves toward the first arc-shaped portion 30c of the inner circumferential surface (oval) along the oval direction. When the rotation angle reaches 270 degrees, the first and second arc-shaped portions of the inner circumferential surface (ellipse) are positioned at the center of the arc-shaped portion as shown in Fig. 2 (d). When the rotation angle reaches 360 degrees, it is brought into a state of being in contact with the first arc-shaped portion 30c of the inner peripheral surface (ellipse) at the time of starting (Fig. 2 (a)).

이렇게 로터(20)는, 횡단면에 있어서, 스테이터(30)의 타원 형상의 내주면에 의해 형성되는 공간 내를 왕복 운동한다. 또한, 왕복 운동의 방향은, 도 2에 도시한 바와 같은 좌우 방향(수평 방향)에 한하지 않고, 펌프의 배치 방향에 따라 변화한다. 또한, 동일한 펌프라도, 스테이터의 길이 방향의 위치(횡단면의 위치)에 따라 왕복 운동의 방향이 변화한다.Thus, the rotor 20 reciprocates in the space defined by the inner circumferential surface of the elliptical shape of the stator 30 in the transverse section. Further, the direction of the reciprocating motion is not limited to the left and right direction (horizontal direction) as shown in Fig. 2, but changes according to the arrangement direction of the pump. Further, even in the case of the same pump, the direction of the reciprocating motion changes in accordance with the position of the stator in the longitudinal direction (position in the transverse section).

본 실시 형태의 용적식 펌프는, 상기 도 1에 도시한 바와 같이, 이상 운전을 검출하는 수단(40)을 더 구비한다. 그 이상 운전 검출 수단(40)은, 센서부(41)와, 판정부(42)를 포함한다. 센서부(41)는, 마이크로파를 운동 부재(로터)(20)를 향해서 송신함과 함께 그 반사파를 수신한다. 센서부(41)에 의한 마이크로파의 송수신은, 정상 운전에 있어서, 센서부(41)와 운동 부재(로터)(20)의 사이에, 펌프실(스테이터)(30) 내의 유체가 개재되는 상태에서 행한다. 즉, 마이크로파는, 정상 운전 시에, 센서부(41)로부터 운동 부재(로터)(20)를 향하는 도중에, 펌프실(스테이터)(30) 내의 유체를 경유한다.The positive displacement pump of the present embodiment further includes means 40 for detecting an abnormal operation as shown in Fig. The abnormality detection means 40 includes a sensor unit 41 and a determination unit 42. The sensor unit 41 transmits the microwave toward the motion member (rotor) 20 and receives the reflected wave. The transmission and reception of the microwave by the sensor unit 41 is performed in a state in which the fluid in the pump chamber (stator) 30 is interposed between the sensor unit 41 and the moving member (rotor) 20 during normal operation . That is, the microwave passes through the fluid in the pump chamber (stator) 30 during the normal operation from the sensor portion 41 toward the motion member (rotor) 20.

판정부(42)는, 센서부(41)로부터 출력되는 신호에 기초하여 이상 운전을 판정한다. 동 도면에 나타내는 판정부(42)는, 센서부(41)로부터 출력되는 신호를 수신하기 위해서, 센서부(41)와 케이블을 통해서 접속된다. 또한, 예를 들어 센서부(41)를 무선 발신기와 접속함과 함께, 판정부(42)를 무선 수신기와 접속함으로써, 판정부(42)가, 센서부(41)로부터 출력되는 신호를 무선 통신으로 수신해도 된다.The judging unit 42 judges abnormal operation based on the signal outputted from the sensor unit 41. [ The determination unit 42 shown in the figure is connected to the sensor unit 41 through a cable in order to receive a signal output from the sensor unit 41. [ The judging unit 42 judges whether or not the signal output from the sensor unit 41 is a radio communication signal by connecting the judging unit 42 to the radio receiver, .

마이크로파는, 금속제의 부재에서 반사하는 성질을 갖고, 고무나 수지 등에 대해서는 투과율이 크다. 따라서, 마이크로파를 운동 부재로 반사시키고, 그 반사파를 센서부(41)에서 수신하기 위해서, 금속제의 케이싱(11)에만 구멍을 뚫으면, 고무 등으로 이루어지는 스테이터(30)에 구멍을 뚫을 필요는 없다. 이 때문에, 도 1에 도시한 바와 같이, 센서부(41)는, 케이싱(11)에 형성된 관통 구멍에 배치해도 된다.Microwaves have a property of being reflected by a metal member, and transmittance is high for rubber, resin and the like. Therefore, it is not necessary to drill a hole in the stator 30 made of rubber or the like if the hole is made only in the casing 11 made of metal so as to reflect the microwave to the moving member and receive the reflected wave by the sensor unit 41 . Therefore, as shown in Fig. 1, the sensor portion 41 may be disposed in the through-hole formed in the casing 11. Fig.

단, 고무 등으로 이루어지는 스테이터(30)의 재질이나, 그 두께에 따라서는, 스테이터(30)에서 마이크로파가 감쇠된다. 이 경우에는, 예를 들어 스테이터(30)에 적당한 깊이의 구멍을 뚫고, 그 구멍에 센서부(41)를 배치하는 등의 처치를 행하면 된다. 이에 의해, 마이크로파를 운동 부재로 반사시키고, 그 반사파를 센서부(41)에서 수신할 수 있다.However, depending on the material and the thickness of the stator 30 made of rubber or the like, the microwave is attenuated in the stator 30. In this case, for example, a hole having an appropriate depth may be formed in the stator 30 and the sensor portion 41 may be disposed in the hole. Thereby, the microwave can be reflected by the moving member, and the reflected wave can be received by the sensor unit 41.

또한, 무선 통신에 의해 판정부(42)가 센서부(41)로부터 출력되는 신호를 수신하는 경우 등은, 후술하는 도 10의 구성예와 같이, 스테이터(30)(아우터 부재)의 내부나 그 외측에 배치되는 부재의 내부에, 센서부(41)를 배치해도 된다.In the case where the judging unit 42 receives a signal outputted from the sensor unit 41 by radio communication or the like, as in the configuration example of Fig. 10 to be described later, the inside of the stator 30 (outer member) The sensor portion 41 may be disposed inside the member disposed outside.

센서부(41)에는, 도플러 방식의 센서, 펄스 레이더 방식의 센서, 또는, FMCW 방식(연속파 주파수 변조 방식)의 센서를 채용할 수 있다. 이하에, 각 방식의 센서를 사용하는 경우의 이상 운전의 검출에 대해서 각각 설명한다.A Doppler type sensor, a pulse radar type sensor, or an FMCW type (continuous wave frequency modulation type) sensor may be employed as the sensor unit 41. [ Hereinafter, the detection of the abnormal operation in the case of using the sensors of the respective methods will be described.

도 3은, 도플러 방식의 센서로부터 출력되는 신호의 파형예를 도시하는 모식도이다. 도 3은, 종축이 신호 강도, 횡축이 경과 시간이다. 도 3에는, 정상 운전에서의 신호 강도의 파형과, 공운전(이상 운전)에서의 신호 강도의 파형을 나타낸다. 또한, 도 3에 도시하는 출력 신호의 파형예는, 상기 도 1에 도시하는 구성예에 있어서, 도플러 방식의 센서를 사용한 경우의 출력 신호의 파형이다. 또한, 도 3에 도시하는 신호의 파형예는, 도플러 방식의 센서로부터 출력된 신호에, 고역 통과 필터의 처리(직류 성분을 커트하는 처리)와, 전파 정류의 처리를 그 순서대로 실시한 것이다.3 is a schematic diagram showing a waveform example of a signal output from a Doppler type sensor. 3 shows the signal intensity on the vertical axis and the elapsed time on the horizontal axis. Fig. 3 shows the waveform of the signal intensity in the normal operation and the waveform of the signal intensity in the open operation (abnormal operation). An example of the waveform of the output signal shown in Fig. 3 is a waveform of the output signal when the Doppler type sensor is used in the configuration example shown in Fig. In the waveform example of the signal shown in Fig. 3, the signal outputted from the Doppler type sensor is subjected to the processing of the high-pass filter (the process of cutting the direct current component) and the process of the full wave rectification in that order.

도 3에 도시하는 신호를 출력하는 도플러 방식의 센서는, 마이크로파를 송수신하여, 도플러 주파수에 따른 신호를 출력한다. 여기서, 도플러 주파수는, 송신한 마이크로파의 주파수와 수신한 마이크로파의 주파수의 차이다. 보다 구체적으로는, 도플러 방식의 센서는, 도플러 주파수에 따라, 정현파의 신호를 출력하고, 그 신호의 주파수는 도플러 주파수에 따라서 변화한다. 또한, 신호의 강도(진폭)는 원칙적으로, 반사파의 에너지에 따라서 변화한다. 단, 도플러 주파수가 0(제로)인 경우, 반사파의 에너지와 무관하게, 신호의 강도(진폭)는 0(제로)이 된다.A Doppler sensor for outputting a signal shown in Fig. 3 transmits and receives a microwave, and outputs a signal corresponding to a Doppler frequency. Here, the Doppler frequency is the difference between the frequency of the transmitted microwave and the frequency of the received microwave. More specifically, the Doppler sensor outputs a sinusoidal signal in accordance with the Doppler frequency, and the frequency of the signal changes in accordance with the Doppler frequency. In addition, the intensity (amplitude) of the signal changes in principle according to the energy of the reflected wave. However, when the Doppler frequency is 0 (zero), the intensity (amplitude) of the signal becomes 0 (zero) irrespective of the energy of the reflected wave.

이러한 도플러 방식의 센서를 사용하는 경우, 정상 운전에서는, 신호 강도가 0으로 평탄한 부분과, 샤프한 산형의 부분 S가 주기적으로 교대로 출현한다. 신호 강도가 0으로 평탄한 부분은, 도플러 방식의 센서가 동체를 검출하지 않은 것을 나타내고, 즉, 마이크로파가 스테이터(펌프실) 내의 유체에 흡수되어 있는 것을 나타낸다. 보다 구체적으로는, 로터(운동 부재)가 우측 스트로크 엔드 이외에 위치하고 있는 것을 나타내고, 상기 도 2의 (b) 내지 (d)에 도시한 바와 같은 상태인 것을 나타낸다. 이것은, 스테이터 내(펌프실 내)의 유체에 진입해서 전진할 때 마이크로파가 유체에 의해 흡수되어, 로터(운동 부재)에의 도달이나 로터(운동 부재)에서의 반사를 방해할 수 있는 것에 의한다.In the case of using such a Doppler type sensor, in a normal operation, a portion with a signal strength of 0 and a portion with a sharp mountain-like shape appear alternately periodically. The portion where the signal intensity is flat and 0 indicates that the Doppler type sensor does not detect the moving body, that is, the microwave is absorbed by the fluid in the stator (pump chamber). More specifically, it indicates that the rotor (motion member) is located at a position other than the right stroke end, and shows a state as shown in (b) to (d) of FIG. This is because the microwaves are absorbed by the fluid as they enter the fluid in the stator (in the pump chamber) and advance, and can interfere with reaching the rotor (motion member) or reflections from the rotor (motion member).

샤프한 산형의 부분 S는, 도플러 방식의 센서가 동체를 검출하고 있는 것을 나타내고, 즉, 마이크로파가 스테이터(펌프실) 내의 유체에 흡수되지 않고, 운동 부재에서 반사되고 있는 것을 나타낸다. 보다 구체적으로는, 상기 도 2의 (a)에 도시한 바와 같이 로터가 우측 스트로크 엔드를 통과하고 있는 것을 나타낸다. 이것은, 우측 스트로크 엔드에서는, 로터(운동 부재)와 스테이터(펌프실)가 접하고 있으므로, 마이크로파가 스테이터 내(펌프실 내)의 유체에서 흡수되지 않아, 로터(운동 부재)에 도달해서 반사되는 것에 의한다. 또한, 우측 스트로크 엔드의 전후에도, 센서부와 로터(운동 부재)의 사이에 개재되는 유체가 박막 형상이므로, 마이크로파가 스테이터 내(펌프실 내)의 유체를 투과하여, 로터(운동 부재)에 도달해서 반사되는 것에 의한다.The sharp mountain-shaped portion S indicates that the Doppler type sensor detects the moving body, that is, the microwave is reflected by the moving member without being absorbed by the fluid in the stator (pump chamber). More specifically, it indicates that the rotor is passing through the right stroke end as shown in Fig. 2 (a). This is because microwaves are not absorbed by the fluid in the stator (the pump chamber) and reach the rotor (motion member) because the rotor (motion member) and the stator (pump chamber) are in contact with each other at the right stroke end. Further, since the fluid interposed between the sensor portion and the rotor (moving member) is in a thin film shape both before and after the right stroke end, the microwave permeates the fluid in the stator (the pump chamber) to reach the rotor It is caused by being reflected.

이렇게 도플러 방식의 센서를 사용하는 경우, 정상 운전에서는, 신호 강도가 0으로 평탄한 부분에 기초하여 펌프실 내의 유체의 상태, 즉, 펌프실 내에 유체가 충만되어 있는 것을 파악할 수 있다. 또한, 샤프한 산형의 부분 S에 기초하여 운동 부재의 운동(동작)을 파악할 수 있다.In the case of using the Doppler type sensor, it is possible to grasp the state of the fluid in the pump chamber, that is, the fluid is filled in the pump chamber, based on the flat portion with the signal intensity of 0 in normal operation. Further, the motion (operation) of the motion member can be grasped based on the sharp mountain-shaped portion S.

또한, 신호 강도가 0으로 평탄한 부분에서는, 송신한 마이크로파의 일부가 유체와 스테이터(펌프실)의 계면에서 반사하여, 그 반사파가 수신된다. 이 반사파의 주파수는, 송신한 마이크로파의 주파수와 같으므로, 이 반사파는 출력 신호에 반영되지 않는다.Further, in a portion where the signal intensity is flat, a part of the transmitted microwave is reflected at the interface between the fluid and the stator (pump chamber), and the reflected wave is received. Since the frequency of the reflected wave is the same as the frequency of the transmitted microwave, the reflected wave is not reflected in the output signal.

이에 반해, 공운전에서는, 신호의 파형이 변화된다. 도 3에 도시한 바와 같이, 신호의 파형은, 신호 강도가 0으로 평탄한 부분이 없다. 즉, 도플러 방식의 센서가 항상 동체(로터)를 검출한다. 도 3에 도시하는 신호의 파형에서는, 브로드한 산형의 부분 B가 주기적으로 출현하고, 이 산형의 부분 B의 피크는, 로터가 우측 스트로크 엔드를 통과하고 있는 것을 나타낸다.On the other hand, in the open operation, the waveform of the signal changes. As shown in Fig. 3, the waveform of the signal has no portion where the signal intensity is zero and flat. That is, the Doppler sensor always detects the moving body (rotor). In the waveform of the signal shown in Fig. 3, a broad-acid-shaped portion B periodically appears, and a peak of the mountain-shaped portion B indicates that the rotor passes the right stroke end.

또한, 공운전에서의 브로드한 산형의 부분 B의 피크값은, 정상 운전에서의 샤프한 산형의 부분 S의 피크값에 비해 크다. 이것은, 센서에 의한 마이크로파의 송수신이, 면적을 갖지 않는 점에서 행하여지는 것이 아니라, 일정한 면적을 갖는 영역 내에서 행하여지는 것에 의한다.In addition, the peak value of the broad mountain-like portion B in the ball operation is larger than the peak value of the sharp mountain-shaped portion S in the normal operation. This is because the transmission and reception of the microwave by the sensor are not performed on the point that they do not have an area but are performed in a region having a constant area.

도 4는, 정상 운전에 있어서의 스테이터 내의 상태를 모식적으로 도시하는 단면도이며, 도 4의 (a)는 상기 도 1의 A-A 위치, 도 4의 (b)는 B-B 위치, 도 4의 (c)는 C-C 위치에서의 상태를 각각 나타낸다. B-B 위치 및 C-C 위치는, 상기 도 1에 도시한 바와 같이, A-A 위치로부터 로터(20)의 길이 방향으로 약간 어긋나고 있고, B-B 위치는 제1 개구부(11a)측(토출측), C-C 위치는 제2 개구부(11b)측(흡입측)으로 각각 어긋나 있다.Fig. 4 is a sectional view schematically showing the state in the stator during normal operation. Fig. 4 (a) is the AA position in Fig. 1, Fig. 4 (b) is the BB position, ) Represents the state at the CC position, respectively. 1, the BB position and the CC position are slightly shifted from the AA position in the longitudinal direction of the rotor 20, the BB position is the first opening 11a side (discharge side), the CC position is the second (Suction side) on the side of the opening 11b.

도 4의 (a)에 도시한 바와 같이 로터(20)가 우측 스트로크 엔드에 위치하면, 로터(20)와 스테이터(30)의 사이에 유체(60)가 개재되지 않고, 로터(20)와 스테이터(30)가 직접 접촉한다. 이 경우, 마이크로파는 로터(20)에 도달해서 반사되고, 그 반사파는 센서부(41)에서 수신된다. 한편, 위치가 로터(20)의 길이 방향으로 약간 어긋나면, 도 4의 (b) 및 (c)에 도시한 바와 같이, 로터(20)와 스테이터(30)의 사이에 유체가 개재된다. 이러한 경우, 마이크로파는, 유체(60) 내를 전진할 때 흡수되어, 로터(20)에의 마이크로파의 도달이나 로터(20)에서의 마이크로파의 반사를 방해할 수 있다. 그 결과, A-A 위치의 반사파만이 센서부에서 수신되게 되어, 반사파의 에너지가 약해진다.4 (a), when the rotor 20 is positioned at the right stroke end, the fluid 60 is not interposed between the rotor 20 and the stator 30, (30) are in direct contact with each other. In this case, the microwave arrives at the rotor 20 and is reflected, and the reflected wave is received at the sensor unit 41. On the other hand, when the position is slightly shifted in the longitudinal direction of the rotor 20, a fluid intervenes between the rotor 20 and the stator 30 as shown in Figs. 4 (b) and 4 (c). In this case, the microwave is absorbed when advancing in the fluid 60, and it is possible to prevent the arrival of the microwave to the rotor 20 or the reflection of the microwave in the rotor 20. As a result, only the reflection wave at the A-A position is received by the sensor unit, and the energy of the reflected wave is weakened.

도 5는, 공운전에 있어서의 스테이터 내의 상태의 일례를 모식적으로 도시하는 단면도이며, 도 5의 (a)는 상기 도 1의 A-A 위치, 도 5의 (b)는 B-B 위치, 도 5의 (c)는 C-C 위치에서의 상태를 각각 나타낸다. 공운전에서는, 어느 위치에서도, 도 5의 (a) 내지 (c)에 도시한 바와 같이, 스테이터(30) 내에 유체가 존재하지 않는다. 이 때문에, 로터(20)의 길이 방향의 위치에 무관하게, 마이크로파는 로터(20)에 도달해서 반사되고, 그 반사파는 센서부(41)에서 수신된다. 그 결과, 반사파의 에너지가 강해진다.Fig. 5 is a cross-sectional view schematically showing an example of the state in the stator in the cooperative operation. Fig. 5 (a) is the AA position in Fig. 1, (c) show the state at the CC position, respectively. 5 (a) to 5 (c), no fluid is present in the stator 30 at any position. Therefore, regardless of the position in the longitudinal direction of the rotor 20, the microwave arrives at the rotor 20 and is reflected, and the reflected wave is received by the sensor unit 41. As a result, the energy of the reflected wave becomes strong.

이렇게 도플러 방식의 센서를 사용하는 경우, 공운전에서는, 신호 강도가 0이며 평탄한 부분이 존재하지 않는 것에 기초하여, 펌프실 내의 유체의 상태, 즉, 펌프실 내에 유체가 대부분 또는 완전히 존재하지 않는 것을 파악할 수 있다. 또한, 브로드한 산형의 부분에 기초하여 운동 부재의 운동(동작)을 파악할 수 있다.In the case of using the Doppler type sensor, it is possible to grasp the state of the fluid in the pump chamber, that is, whether the fluid is mostly or completely not present in the pump chamber, based on the fact that the signal strength is 0 and the flat portion does not exist have. Further, the movement (motion) of the motion member can be grasped based on the broad mountain-shaped portion.

준공운전에서는, 펌프실 내에 존재하는 유체의 체적이 감소한다. 이 때문에, 정상 운전과 비교하여, 신호 강도가 0이며 평탄한 부분의 비율이 감소하고, 샤프한 산형의 부분의 비율이 증가한다. 또한, 샤프한 산형의 부분에서의 피크값이 커진다. 이것들에 기초하여, 준공운전에서도, 운동 부재의 운동과 함께, 펌프실 내의 유체의 상태를 파악할 수 있다.In the completion operation, the volume of fluid present in the pump chamber decreases. Therefore, as compared with the normal operation, the signal intensity is zero, the ratio of the flat portion decreases, and the ratio of the sharp-angled portion increases. Also, the peak value in the sharp mountain-shaped portion becomes large. Based on these, it is possible to grasp the state of the fluid in the pump chamber together with the motion of the motion member even in the completion operation.

폐색 운전에서는, 스테이터(펌프실 내)에 과잉으로 유체가 유입된 상태가 된다. 이 때문에, 우측 스트로크 엔드에서, 스테이터와 로터의 사이에 유체가 개재되는 영역의 면적이 증가한다. 반대로 말하면, 마이크로파를 반사 가능한 영역의 면적이 감소한다. 따라서, 신호 파형이 변화하여, 정상 운전에 비해, 샤프한 산형의 부분에서의 피크값이 작아진다. 이것에 기초하여, 폐색 운전에서도, 운동 부재의 운동과 함께, 펌프실 내의 유체의 상태를 파악할 수 있다.In the closing operation, the fluid is excessively introduced into the stator (pump chamber). Therefore, in the right stroke end, the area of the region where the fluid intervenes between the stator and the rotor increases. Conversely, the area of the microwave-reflective area decreases. Therefore, the signal waveform changes and the peak value in the sharp mountain-shaped portion becomes smaller as compared with the normal operation. Based on this, it is possible to grasp the state of the fluid in the pump chamber together with the motion of the motion member even in the occlusion operation.

이물 혼입에서는, 이물로서, 유체와는 유전율이나 표면에서의 반사율이 상이한 물질(예를 들어, 금속)이 혼입되면, 신호 파형이 변화한다. 이물로서, 예를 들어 유전율이 유체와 비교해서 작은 액체가 혼입된 경우, 마이크로파의 흡수율이 감소함으로써, 신호 파형이 변화한다. 이것에 기초하여, 이물 혼입에서도, 운동 부재의 운동과 함께, 펌프실 내의 유체의 상태를 파악할 수 있다.In the foreign matter incorporation, when a substance (for example, a metal) having a dielectric constant different from that of a fluid or a reflectance at the surface is mixed as a foreign matter, the signal waveform changes. As a foreign matter, for example, when a liquid having a dielectric constant smaller than that of a fluid is mixed, the absorption rate of the microwave decreases, thereby changing the signal waveform. Based on this, it is possible to grasp the state of the fluid in the pump chamber together with the motion of the moving member even in the presence of foreign matter.

도 6은, 펄스 레이더 방식 및 FMCW 방식의 센서로부터 출력되는 신호의 파형예를 도시하는 모식도이다. 도 6은, 종축이 펄스 레이더 방식 또는 FMCW 방식의 센서로부터 출력되는 신호의 강도, 횡축이 경과 시간이다. 도 6에는, 정상 운전에서의 신호 강도의 파형과, 공운전(이상 운전)에서의 신호 강도의 파형을 나타낸다. 또한, 도 6에 나타내는 출력 신호의 파형예는, 상기 도 1에 도시하는 구성예에서, 펄스 레이더 방식 또는 FMCW 방식의 센서를 사용한 경우의 출력 신호의 파형이다.6 is a schematic diagram showing an example of the waveform of a signal output from the pulse radar system and the FMCW system sensor. 6 shows the intensity of the signal output from the pulse radar system or the FMCW system sensor on the ordinate, and the elapsed time on the abscissa. Fig. 6 shows the waveform of the signal intensity in the normal operation and the waveform of the signal intensity in the open operation (abnormal operation). The waveform example of the output signal shown in Fig. 6 is a waveform of the output signal when the pulse radar system or the FMCW system sensor is used in the configuration example shown in Fig.

도 6에 도시하는 신호를 출력 가능한 펄스 레이더 방식의 센서는, 마이크로파 펄스를 송수신하고, 마이크로파 펄스의 송신부터 수신까지 필요한 시간에 따른 신호를 출력한다. 이 출력 신호로부터, 센서와 로터(운동 부재)의 거리를 산출할 수 있다.The pulse radar type sensor capable of outputting the signal shown in Fig. 6 transmits and receives microwave pulses and outputs signals corresponding to the time required from transmission to reception of microwave pulses. From this output signal, the distance between the sensor and the rotor (motion member) can be calculated.

FMCW 방식의 센서는, 마이크로파의 연속파를 송수신하고, 그 연속파는 주파수가 소정의 주기 및 형상으로 변화한다. 또한, FMCW 방식의 센서는, 수신 신호와 송신 신호를 혼합한 비트 신호를 생성한다. 이 출력 신호로부터, 센서와 로터(운동 부재)의 거리를 산출할 수 있다.The FMCW sensor transmits and receives a continuous wave of a microwave, and the frequency of the continuous wave changes in a predetermined period and shape. The FMCW sensor generates a bit signal obtained by mixing a reception signal and a transmission signal. From this output signal, the distance between the sensor and the rotor (motion member) can be calculated.

이러한 펄스 레이더 방식 및 FMCW 방식의 센서를 사용하는 경우, 정상 운전에서는, 도 6에 도시한 바와 같이, 신호 강도가 변화하는 부분 C와, 신호 강도가 일정한 부분이 교대로 출현한다. 이하에, 그 이유를 설명한다.When such a pulse radar system and an FMCW system sensor are used, in a normal operation, as shown in Fig. 6, a portion C where the signal intensity changes and a portion where the signal intensity is constant appear alternately. The reason for this will be described below.

센서부(41)와 운동 부재(로터)(20)의 사이에 스테이터(펌프실) 내의 유체가 개재되지 않고, 운동 부재에서 반사하는 경우, 구체적으로는, 상기 도 2의 (a)에 도시한 바와 같은 우측 스트로크 엔드의 경우, 로터(운동 부재)에서의 반사파에 기초하여 센서부와 로터(운동 부재)의 거리에 따른 신호가 센서부로부터 출력된다. 또한, 센서부(41)와 로터(운동 부재)(20)의 사이에 박막 형상의 유체가 개재되는 경우, 구체적으로는, 우측 스트로크 엔드의 전후인 경우, 마이크로파가 스테이터 내(펌프실 내)의 유체를 투과하여, 로터에 도달한다. 로터에 도달한 마이크로파는, 반사해서 센서부에 도달한다. 이 때문에, 로터에서의 반사파에 기초하여, 센서부와 로터의 거리에 따른 신호가 센서부로부터 출력된다. 이러한 우측 스트로크 엔드나 그 전후에 있어서의 출력 신호에 의해, 신호 강도가 변화하는 부분 C가 출현한다. 또한, 신호 강도가 변화하는 부분 C의 파형은, 반사파의 에너지가 미약하므로, 불명료해지기 쉽다.When the fluid in the stator (pump chamber) is not interposed between the sensor unit 41 and the motion member (rotor) 20 and is reflected by the motion member, specifically, as shown in Fig. 2 (a) In the case of the same right stroke end, a signal corresponding to the distance between the sensor portion and the rotor (motion member) is output from the sensor portion based on the reflected wave from the rotor (motion member). In the case where a thin-film fluid intervenes between the sensor unit 41 and the rotor (motion member) 20, specifically, in the case where the fluid is in front of or behind the right stroke end, And reaches the rotor. The microwave arriving at the rotor is reflected and reaches the sensor part. Therefore, based on the reflected wave from the rotor, a signal corresponding to the distance between the sensor part and the rotor is outputted from the sensor part. By this output signal at the right stroke end and before and after the right stroke end, a portion C in which the signal intensity changes appears. In addition, the waveform of the portion C in which the signal intensity varies is weak in the energy of the reflected wave, and it is likely to become unclear.

센서부(41)와 로터(운동 부재)(20)의 사이에 소정의 두께 이상의 유체가 개재되는 경우, 구체적으로는, 상기 도 2의 (b) 내지 (d)에 도시한 바와 같이, 센서부(41)와 로터(운동 부재)(20)의 거리가 소정의 거리 이상인 경우, 센서부(41)와 로터(운동 부재)(20)의 사이에 개재되는 유체에 의해, 마이크로파의 로터(운동 부재)에의 도달이나 로터(운동 부재)에서의 반사를 방해할 수 있다. 이 때문에, 유체와 스테이터(펌프실)의 계면에서의 반사파에 기초하여 센서와 유체의 거리에 따른 신호가 센서로부터 출력된다. 이 출력 신호에 의해, 신호 강도가 일정한 부분이 출현한다.When a fluid having a predetermined thickness or more is interposed between the sensor part 41 and the rotor 20 (motion member), specifically, as shown in Figs. 2 (b) to 2 (d) When the distance between the rotor 41 and the rotor 20 is equal to or greater than a predetermined distance, the rotor is rotated by the fluid interposed between the sensor unit 41 and the rotor (the moving member) 20, ) Or reflection from the rotor (motion member). Therefore, a signal corresponding to the distance between the sensor and the fluid is outputted from the sensor based on the reflected wave at the interface between the fluid and the stator (pump chamber). By this output signal, a portion where the signal intensity is constant appears.

이렇게 펄스 레이더 방식 및 FMCW 방식의 센서를 사용하는 경우, 정상 운전에서는, 신호 강도가 일정한 부분이 존재하는 것에 기초하여, 펌프실 내의 유체의 상태, 즉, 펌프실 내에 유체가 충만되어 있는 것을 파악할 수 있다. 또한, 우측 스트로크 엔드나 그 전후에서 마이크로파가 로터에 도달해서 반사되고, 그 반사파에 기초하는 신호가 센서로부터 출력되므로, 운동 부재의 운동(동작)을 파악할 수 있다.When the pulse radar system and the FMCW system sensor are used as described above, it is possible to grasp the state of the fluid in the pump chamber, that is, the fluid is filled in the pump chamber, based on the presence of the portion where the signal strength is constant. In addition, since the microwave arrives at the rotor at the right stroke end or before and after it, is reflected, and a signal based on the reflected wave is output from the sensor, the motion (operation) of the motion member can be grasped.

이에 반해, 공운전에서는, 스테이터 내(펌프실 내)에 가스가 유입되어 있으므로, 유체와 스테이터(펌프실)의 계면에서의 반사가 발생하지 않는다. 또한, 유체에 의한 마이크로파의 흡수도 발생하지 않는다. 이들로부터, 로터(운동 부재)의 위치에 무관하게, 로터(운동 부재)에서 반사한 마이크로파에 기초하는 신호가 출력된다. 즉, 센서와 로터(운동 부재)의 거리에 따른 신호가 출력된다. 이 때문에, 신호의 파형이 변화하고, 도 6에 도시한 바와 같이, 산부와 골짜기부가 교대로 출현한다.On the other hand, in the air operation, since gas is introduced into the stator (inside the pump chamber), no reflection occurs at the interface between the fluid and the stator (pump chamber). In addition, absorption of microwave by the fluid does not occur. From these, a signal based on the microwave reflected by the rotor (motion member) is outputted irrespective of the position of the rotor (motion member). That is, a signal corresponding to the distance between the sensor and the rotor (motion member) is output. Therefore, the waveform of the signal changes, and as shown in Fig. 6, the hill part and the valley part alternately appear.

이렇게 펄스 레이더 방식 및 FMCW 방식의 센서를 사용하는 경우, 공운전에서는, 신호 강도가 일정한 부분이 존재하지 않는 것에 기초하여, 펌프실 내의 유체의 상태, 즉, 펌프실 내에 유체가 대부분 또는 완전히 존재하지 않는 것을 파악할 수 있다. 또한, 교대로 출현하는 산부 및 골짜기부에 기초하여, 운동 부재의 운동(동작)을 파악할 수 있다.When the pulse radar system and the FMCW system sensor are used in this way, the state of the fluid in the pump chamber, that is, the fluid in the pump chamber is mostly or completely absent . Further, the motion (motion) of the motion member can be grasped based on the alternate appearance of the hill and the valley.

준공운전에서는, 펌프실 내에 존재하는 유체의 체적이 감소한다. 이 때문에, 정상 운전과 비교하여, 신호 강도가 일정한 부분의 비율이 감소하고, 신호 강도가 변화하는 부분의 비율이 증가한다. 또한, 신호 강도가 변화하는 부분에서의 피크값이 커진다. 이것들에 기초하여, 준공운전에서도, 운동 부재의 운동과 함께, 펌프실 내의 유체의 상태를 파악할 수 있다.In the completion operation, the volume of fluid present in the pump chamber decreases. Therefore, as compared with the normal operation, the ratio of the portion where the signal intensity is constant decreases, and the ratio of the portion where the signal intensity changes is increased. In addition, the peak value at the portion where the signal intensity changes is large. Based on these, it is possible to grasp the state of the fluid in the pump chamber together with the motion of the motion member even in the completion operation.

이러한 이상 운전에 의한 파형의 변화를, 본 실시 형태의 용적식 펌프에서는, 판정부에서, 센서부로부터 출력되는 신호에 기초해서 검지하여, 이상 운전에 대해 판정한다.In the positive displacement pump of the present embodiment, the change of the waveform due to the abnormal operation is detected based on the signal output from the sensor unit in the determination unit, and the abnormal operation is determined.

여기서, 종래의 스테이터의 온도에 기초하는 공운전의 검출에서는, 펌프실 내의 유체의 상태를 직접 파악하지 않고, 스테이터의 온도에 기초하여 펌프실 내의 상태를 간접적으로 파악한다. 또한, 종래의 모터 토크에 기초하는 이상 운전의 검출도, 펌프실 내의 유체의 상태를 직접 파악하지 않고, 모터의 토크에 기초하여 펌프실 내의 상태를 간접적으로 파악한다.Here, in the detection of the air operation based on the conventional temperature of the stator, the state in the pump chamber is indirectly grasped based on the temperature of the stator without directly grasping the state of the fluid in the pump chamber. Further, the detection of the abnormal operation based on the conventional motor torque indirectly grasps the state in the pump chamber based on the torque of the motor without directly grasping the state of the fluid in the pump chamber.

이에 반해, 본 실시 형태의 용적식 펌프는, 센서부(41)에 의해 펌프실 내의 유체의 상태를 직접 파악할 수 있다. 이에 의해, 이상 운전 시에, 상기 도 3 및 도 6에 도시한 바와 같이, 센서부에서의 출력 신호가 즉시 변화한다. 이 때문에, 이상 운전을 빠르게 검출할 수 있고, 예를 들어 5초 이내에 검출할 수 있다.On the other hand, in the positive displacement pump of the present embodiment, the state of the fluid in the pump chamber can be directly grasped by the sensor unit 41. [ As a result, at the time of abnormal operation, as shown in Figs. 3 and 6, the output signal from the sensor unit changes immediately. Therefore, the abnormal operation can be detected quickly and can be detected within 5 seconds, for example.

또한, 이상 운전을 검출할 때 스테이터(펌프실)의 온도를 사용하지 않으므로, 유체의 온도 상승이 발생한 경우에, 이상 운전이라 오판정하는 일이 없다. 또한, 이상 운전을 검출할 때 모터의 토크(구동 장치의 부하)를 사용하지 않으므로, 유체의 성질 변화나, 모터의 회전수의 변경, 펌프와 접속하는 배관(경로)의 변경 등의 경우에, 이상 운전이라 오판정하는 일이 없다. 따라서, 본 실시 형태의 용적식 펌프는, 이상 운전을 정확하게 검출할 수 있다.Further, since the temperature of the stator (pump chamber) is not used when detecting the abnormal operation, when the fluid temperature rises, the abnormal operation is not erroneously determined. In addition, since the torque of the motor (the load of the drive unit) is not used when the abnormal operation is detected, in the case of a change in properties of the fluid, a change in the number of revolutions of the motor, There is no mistake because it is abnormal operation. Therefore, the positive displacement pump of the present embodiment can accurately detect the abnormal operation.

본 실시 형태의 용적식 펌프는, 센서부(41)에, 상술한 도플러 방식의 센서, 펄스 레이더 방식의 센서, 또는, FMCW 방식(연속파 주파수 변조 방식)의 센서를 채용할 수 있다. 또한, 센서부(41)가 송신하는 마이크로파의 주파수는, 예를 들어 0.3GHz 내지 3THz로 할 수 있다.In the positive displacement pump of the present embodiment, the Doppler type sensor, the pulse radar type sensor, or the FMCW type (continuous wave frequency modulation type) sensor can be employed for the sensor portion 41. The frequency of the microwave transmitted by the sensor unit 41 may be, for example, 0.3 GHz to 3 THz.

판정부(42)는, 센서부(41)로부터 출력되는 신호에 기초하여, 운동 부재(20)의 운동과 함께, 펌프실(30) 내의 유체 상태를 파악하는 것이 바람직하다. 운동 부재(20)의 운동을 파악하면, 예를 들어 이상 운전시뿐만 아니라, 정상 운전 시에도, 운동 부재의 회전수 등을 구해서 활용할 수 있다. 또한, 운동 부재(20)의 운동을 파악함으로써, 운동 부재(20)의 동작이 정상 또는 이상인지를 검출할 수도 있다. 운동 부재(20)의 동작이 이상이라는 것은, 예를 들어 조인트의 파손, 모터의 불량, 컨트롤러의 불량 등에 의한 운동 부재의 이상 동작이 해당된다.The determination section 42 preferably grasps the fluid state in the pump chamber 30 along with the motion of the motion member 20 based on the signal output from the sensor section 41. [ When the motion of the motion member 20 is grasped, the number of revolutions and the like of the motion member can be obtained not only during abnormal operation but also during normal operation, for example. It is also possible to detect whether the motion of the motion member 20 is normal or abnormal by grasping the motion of the motion member 20. [ The abnormal operation of the motion member 20 corresponds to abnormal operation of the motion member due to, for example, breakage of the joint, defective motor, defective controller, or the like.

또한, 운동 부재(로터)나 펌프실(스테이터)의 마모에 의해 스트로크 엔드에서 센서부와 운동 부재(로터)의 위치 관계가 변화하면, 그에 따라 신호가 변화하는 경우가 있다. 구체적으로는, 산형의 피크값이 작아지거나, 피크값을 검출할 수 없게 되거나 하는 것을 생각할 수 있다. 이 신호의 변화를 이용하면, 운동 부재(로터)나 펌프실(스테이터)의 마모의 검출도 가능하게 된다. 뿐만 아니라, 펌프 정지 시에 있어서의 운동 부재(20)의 위치 제어에 이용할 수도 있고, 예를 들어 펌프 정지 시에 있어서의 로터의 회전 각도를 일정하게 제어할 수도 있다.Further, when the positional relationship between the sensor portion and the motion member (rotor) changes at the stroke end due to abrasion of the motion member (rotor) or the pump chamber (stator), the signal may change accordingly. Concretely, it is conceivable that the peak value of the acid type becomes small, or the peak value can not be detected. By using this change in the signal, it is possible to detect wear of the motion member (rotor) or the pump chamber (stator). In addition, the present invention can be used for controlling the position of the moving member 20 at the time of stopping the pump. For example, the rotation angle of the rotor at the time of stopping the pump can be controlled to be constant.

상기 도 2에 도시하는 스테이터(30)(아우터 부재)의 외주면의 횡단면 형상은 원 형상이었지만, 아우터 부재의 외주면의 횡단면 형상을 다각형 형상으로 해도 된다. 또한, 상기 도 2에 도시하는 스테이터(30)(아우터 부재)의 내주면의 횡단면 형상은, 타원 형상이었지만, 아우터 부재의 내주면의 횡단면 형상을, 후술하는 도 9에 도시한 바와 같은 형상으로 해도 된다.Although the outer peripheral surface of the stator 30 (outer member) shown in Fig. 2 has a circular cross-sectional shape, the outer peripheral surface of the outer member may have a polygonal cross-sectional shape. Although the cross-sectional shape of the inner peripheral surface of the stator 30 (outer member) shown in Fig. 2 is an elliptical shape, the cross-sectional shape of the inner peripheral surface of the outer member may be a shape shown in Fig. 9 described later.

도 9는, 아우터 부재의 내주면의 횡단면 형상 예를 도시하는 모식도이며, 도 9의 (a)는 곡선 형상부를 갖는 경우, 도 9의 (b)는 타원 형상인 경우를 나타낸다. 도 9의 (a)에 도시하는 아우터 부재의 내주면의 횡단면 형상은, 상기 도 2에 도시하는 아우터 부재와 마찬가지로, 제1 및 제2 반원의 호 형상부(30c, 30d)를 갖는다. 도 9의 (a)에 도시하는 아우터 부재의 내주면의 횡단면 형상은, 상기 도 2에 도시하는 아우터 부재와 달리, 제1 호 형상부(30c)와 제2 호 형상부(30d)가 2개의 곡선 형상부(30g)로 연결된다. 그 곡선 형상부(30g)는, 모두 내측으로 볼록한 형상이며, 타원 방향과 수직인 대칭 선(30f)에 근접함에 수반하고, 내주면의 폭(W)이 좁아진다. 또한, 곡선 형상부(30g)는, 모두 내측으로 오목한 형상으로 해도 된다. 이 경우, 타원 방향과 수직인 대칭 선(30f)에 근접함에 수반하여, 내주면의 폭(W)이 넓어진다.Fig. 9 is a schematic view showing an example of the cross-sectional shape of the inner peripheral surface of the outer member, Fig. 9 (a) showing a curved portion, and Fig. 9 (b) showing an elliptical shape. The cross-sectional shape of the inner peripheral surface of the outer member shown in Fig. 9A has the arc-shaped portions 30c and 30d of the first and second semicircular members similarly to the outer member shown in Fig. The cross-sectional shape of the inner circumferential surface of the outer member shown in Fig. 9A differs from that of the outer member shown in Fig. 2 in that the first arc-shaped portion 30c and the second arc- Shaped portion 30g. All of the curved portions 30g are convex inward, and the width W of the inner circumferential surface is narrowed along with the symmetry line 30f perpendicular to the elliptical direction. The curved portions 30g may be concave inward. In this case, the width W of the inner circumferential surface widens in the vicinity of the symmetry line 30f perpendicular to the elliptical direction.

도 9의 (b)에 도시하는 아우터 부재의 내주면의 횡단면 형상은, 타원 형상이다. 이렇게 횡단면 형상이 타원 형상인 경우, 타원 방향은 장축(30h)과 평행한 방향으로 하고, 타원 방향과 평행한 대칭 선은 장축(30h)으로 한다.The cross-sectional shape of the inner peripheral surface of the outer member shown in Fig. 9 (b) is an elliptical shape. When the cross-sectional shape is an elliptical shape, the elliptical direction is parallel to the long axis 30h, and the symmetrical line parallel to the elliptical direction is the long axis 30h.

상기 도 1에 도시하는 구성예에서는, 용적식 펌프를 아우터 부재가 회전 불가능한 1축 편심 나사 펌프로 했지만, 본 실시 형태의 용적식 펌프는, 이 타입의 1축 편심 나사 펌프에 한정되지 않는다. 즉, 펌프실 및 마이크로파를 반사 가능한 운동 부재를 구비하는 용적식 펌프라면 적용할 수 있다. 예를 들어, 아우터 부재가 회전 가능한 1축 편심 나사 펌프, 로터리 펌프, 피스톤 펌프 등에 적용할 수도 있다.1, the positive displacement pump is a single-axis eccentric screw pump in which the outer member is not rotatable. However, the positive displacement pump of the present embodiment is not limited to this type of single-axis eccentric screw pump. That is, the present invention can be applied to any displacement type pump having a pump chamber and a motion member capable of reflecting microwaves. For example, the outer member may be applied to a rotatable single-shaft eccentric screw pump, a rotary pump, a piston pump, or the like.

아우터 부재가 회전 가능한 1축 편심 나사 펌프에서는, 아우터 부재로서 스테이터 대신에 아우터 로터가 사용된다. 아우터 로터는, 상기 도 1에 도시하는 스테이터와 마찬가지로, 고무 등의 탄성체 또는 수지로 이루어지고, 아우터 로터의 내주면은, n조의 암나사 형상이다. 이 아우터 로터는, 상기 도 1에 도시하는 스테이터와 달리, 예를 들어 미끄럼 베어링, 구름 베어링 등에 의해 회전 가능하게 유지된다. 보다 구체적으로는, 아우터 로터는, 금속제의 아우터 로터 케이싱에 고정되고, 그 아우터 로터 케이싱이 베어링 등에 의해 회전 가능하게 유지된다. 이 경우, 아우터 로터와 아우터 로터 케이싱은, 일체가 되어서 회전한다.In the single-shaft eccentric screw pump in which the outer member is rotatable, an outer rotor is used instead of the stator as the outer member. Like the stator shown in Fig. 1, the outer rotor is made of an elastic material such as rubber or a resin, and the inner peripheral surface of the outer rotor has n pairs of female threads. Unlike the stator shown in Fig. 1, the outer rotor is rotatably held by, for example, a sliding bearing, a rolling bearing, or the like. More specifically, the outer rotor is fixed to an outer rotor casing made of metal, and the outer rotor casing is rotatably held by a bearing or the like. In this case, the outer rotor and the outer rotor casing rotate integrally.

또한, 이너 로터는, 상기 도 1에 도시하는 이너 로터(20)와 마찬가지로, 금속제의 축체이며, 수나사 형상이다. 이너 로터는, 상기 도 1에 도시하는 이너 로터(20)와 달리, 예를 들어 자재 조인트 및 로드를 개재되지 않고 모터의 주축과 직접 연결함으로써 회전 가능하다. 또한, 이너 로터를 아우터 로터에 대하여 상대적으로 편심 회전시키기 위해서, 이너 로터의 회전축은, 아우터 로터의 회전축과 소정의 거리를 두고 배치된다.Like the inner rotor 20 shown in Fig. 1, the inner rotor is a metal shaft, and is in the shape of male thread. Unlike the inner rotor 20 shown in Fig. 1, the inner rotor is rotatable, for example, by connecting the material joint and the rod directly to the main shaft of the motor without interposition. Further, in order to eccentrically rotate the inner rotor relative to the outer rotor, the rotation axis of the inner rotor is disposed at a predetermined distance from the rotation axis of the outer rotor.

이러한 아우터 부재가 회전 가능한 1축 편심 나사 펌프에서는, 모터의 회전에 의해, 그것과 연결된 이너 로터가 회전한다. 그 이너 로터의 회전에 연동하여, 아우터 로터의 회전축과 이너 로터의 회전축이 편심된 상태에서 아우터 로터가 이너 로터의 1/2의 회전수로 회전한다. 이와 같이 하여 이너 로터가, 아우터 로터에 대하여 상대적으로 편심 회전한다. 아우터 부재가 회전 가능한 1축 편심 나사 펌프에서는, 이너 로터(모터)가 720° 회전(2회전)하는 동안에, 아우터 로터의 횡단면의 대략 타원 형상의 공간을 이너 로터가 1 왕복한다.In the single-shaft eccentric screw pump in which the outer member is rotatable, the inner rotor connected thereto is rotated by the rotation of the motor. The outer rotor rotates at half the number of revolutions of the inner rotor in a state in which the rotating shaft of the outer rotor and the rotating shaft of the inner rotor are eccentrically interlocked with the rotation of the inner rotor. In this way, the inner rotor rotates eccentrically relative to the outer rotor. In the single-shaft eccentric screw pump in which the outer member is rotatable, the inner rotor makes one round of the space of the substantially elliptical shape of the cross section of the outer rotor while the inner rotor (motor) rotates 720 degrees (two rotations).

도 10은, 아우터 부재가 회전 가능한 1축 편심 나사 펌프에 있어서의 구성예를 모식적으로 도시하는 단면도이며, 도 10의 (a)는 아우터 로터 케이싱에 센서부를 배치하는 경우, 도 10의 (b)는 아우터 로터에 센서부를 배치하는 경우를 나타낸다. 도 10의 (a) 및 도 10의 (b)에 도시하는 1축 편심 나사 펌프는, 케이싱(11)과, 미끄럼 베어링(18)과, 아우터 로터 케이싱(17)과, 아우터 로터(31)와, 이너 로터(20)를 구비한다. 이러한 아우터 부재가 회전 가능한 1축 편심 나사 펌프에서는, 아우터 부재가 회전 불가능한 1축 편심 나사 펌프와 마찬가지로, 아우터 로터(31)(아우터 부재)가 펌프실이 되고, 아우터 로터(31)에 대하여 상대적으로 편심 회전하는 이너 로터(20)가 운동 부재가 된다.Fig. 10 is a sectional view schematically showing a configuration example of a single-shaft eccentric screw pump in which an outer member is rotatable. Fig. 10 (a) shows a case in which the sensor unit is arranged in the outer rotor casing, ) Shows a case where the sensor unit is arranged in the outer rotor. The uniaxial eccentric screw pump shown in Figs. 10 (a) and 10 (b) includes a casing 11, a sliding bearing 18, an outer rotor casing 17, an outer rotor 31 , And an inner rotor (20). In the single-shaft eccentric screw pump in which the outer member is rotatable, the outer rotor 31 (outer member) becomes the pump chamber and the eccentricity of the outer rotor 31 relative to the outer rotor 31 The rotating inner rotor 20 becomes a moving member.

도 10의 (a) 및 도 10의 (b)에 도시하는 1축 편심 나사 펌프는, 상기 도 1에 도시하는 구성예와 마찬가지로, 이상 운전 검출 수단(40)을 더 구비한다. 그 이상 운전 검출 수단(40)은, 센서부(41)와, 판정부(42)를 구비한다. 판정부(42)는, 센서부(41)로부터 출력되는 신호를 무선 통신으로 수신한다.The uniaxial eccentric screw pump shown in Figs. 10 (a) and 10 (b) further includes an abnormal operation detecting means 40, similarly to the configuration example shown in Fig. The abnormality detection means 40 includes a sensor portion 41 and a determination portion 42. [ The judging unit 42 receives the signal outputted from the sensor unit 41 by wireless communication.

도 10의 (a)에 도시하는 구성예에서는, 센서부(41)는, 아우터 로터 케이싱(17)의 내부에 배치되고, 보다 구체적으로는, 아우터 로터 케이싱(17)에 형성된 관통 구멍에 배치된다. 한편, 도 10의 (b)에 도시하는 구성예에서는, 센서부(41)는, 아우터 로터(31)의 내부에 배치되고, 보다 구체적으로는, 아우터 로터(31)에 형성된 비관통 구멍에 배치된다. 이러한 센서부(41)는, 도 10의 (a) 및 도 10의 (b)에 도시하는 어떤 구성예에서도, 아우터 로터(31) 및 아우터 로터 케이싱(17)과 함께 일체로 회전한다.10 (a), the sensor portion 41 is disposed inside the outer rotor casing 17, more specifically, in the through hole formed in the outer rotor casing 17 . 10 (b), the sensor portion 41 is disposed inside the outer rotor 31, and more specifically, disposed in the non-through hole formed in the outer rotor 31 do. The sensor unit 41 integrally rotates with the outer rotor 31 and the outer rotor casing 17 in any of the configuration examples shown in Figs. 10 (a) and 10 (b).

도 7은, 용적식 펌프를 로터리 펌프로 한 경우의 구성예를 모식적으로 도시하는 단면도이다. 도 7에 도시하는 로터리 펌프(50)는, 케이싱(51)과, 회전 방향이 상이한 2개의 로터(52)를 구비한다. 이러한 로터리 펌프(50)는, 케이싱(51)이 펌프실이 되고, 회전 운동하는 금속제의 로터(52)가 운동 부재가 된다.7 is a cross-sectional view schematically showing a configuration example in the case where the positive displacement pump is a rotary pump. The rotary pump 50 shown in Fig. 7 includes a casing 51 and two rotors 52 having different rotational directions. In the rotary pump 50, the casing 51 serves as a pump chamber, and a metal-made rotor 52 that rotates becomes a moving member.

도 7에 도시하는 로터리 펌프(50)는, 상기 도 1에 도시하는 구성예와 마찬가지로, 이상 운전 검출 수단(40)을 더 구비한다. 그 이상 운전 검출 수단(40)은, 센서부(41)와, 판정부(42)를 구비한다. 또한, 센서부(41)에 의해 마이크로파를 송수신하기 위해서, 금속제의 케이싱(51)에 관통 구멍(51a)이 형성된다. 로터리 펌프(50)는, 관통 구멍(51a)을 밀봉하는 시일 부재(53), 및, 그 시일 부재(53)를 케이싱(51)에 가압하는 누름판(54)을 구비한다. 시일 부재(53)는, 예를 들어 마이크로파를 투과 가능한 고무로 이루어진다.The rotary pump 50 shown in Fig. 7 further includes an abnormal operation detecting means 40, similarly to the configuration example shown in Fig. The abnormality detection means 40 includes a sensor portion 41 and a determination portion 42. [ In order to transmit and receive the microwave by the sensor unit 41, a through hole 51a is formed in the casing 51 made of metal. The rotary pump 50 has a seal member 53 for sealing the through hole 51a and a pressure plate 54 for pressing the seal member 53 against the casing 51. [ The seal member 53 is made of, for example, rubber permeable to microwaves.

피스톤 펌프는, 예를 들어 원통 형상의 실린더와, 피스톤을 구비한다. 이러한 피스톤 펌프는, 실린더가 펌프실이 되고, 그 실린더 내를 왕복 운동하는 피스톤이 운동 부재가 된다.The piston pump has, for example, a cylindrical cylinder and a piston. In such a piston pump, the cylinder serves as a pump chamber, and a piston reciprocating in the cylinder serves as a moving member.

운동 부재는, 편심 회전 운동이나 회전 운동, 왕복 운동한다. 그 운동 과정의 적어도 일부에서, 센서부가 운동 부재를 향해 마이크로파를 송신할 수 있으면 된다.The moving member is eccentrically rotated, rotated, or reciprocated. In at least a part of the movement process, the sensor unit can transmit the microwave toward the motion member.

도 8은, 용적식 펌프를 1축 편심 나사 펌프로 한 경우의 센서의 배치 예를 모식적으로 도시하는 단면도이며, 도 8의 (a)는 센서부의 마이크로파의 송신 방향이 유체와 스테이터의 계면과 수직인 경우를 나타내고, 도 8의 (b)는 그 송신 방향이 그 계면과 비수직인 경우를 나타낸다. 도 8은, 상기 도 1의 A-A 위치에서의 단면도에 상당한다. 또한, 도 8의 파선 화살표는, 센서부가 마이크로파를 송신하는 방향을 나타낸다.8 is a cross-sectional view schematically showing an example of the arrangement of the sensor when the positive displacement pump is a single axis eccentric screw pump. FIG. 8 (a) is a view showing the transmission direction of the microwave of the sensor unit, And FIG. 8 (b) shows a case where the transmission direction is non-perpendicular to the interface. Fig. 8 corresponds to a cross-sectional view taken along the line A-A in Fig. 8 indicates the direction in which the sensor unit transmits microwaves.

센서부는, 예를 들어 도 8의 (a) 및 (b)에 도시한 바와 같이 배치할 수 있다. 또한, 로터리 펌프의 경우에는, 상기 도 7에 화살표 A로 지시하는 위치에 센서부를 배치할 수 있다. 이러한 경우, 운동 과정의 일부에서, 센서부가 운동 부재를 향해 마이크로파를 송신할 수 없다. 그러나, 운동 부재의 운동에 수반하여, 센서부와 운동 부재의 사이에 펌프실 내의 유체가 개재되지 않고, 마이크로파가 운동 부재에서 반사하는 상태가 주기적으로 발생한다. 그때, 정상 운전과 이상 운전에서, 상기 도 3 및 도 6을 사용해서 설명한 바와 같이, 출력 신호의 파형이 변화하므로, 이상 운전을 검출할 수 있다.The sensor unit can be arranged, for example, as shown in Figs. 8 (a) and 8 (b). In the case of the rotary pump, the sensor unit can be disposed at the position indicated by the arrow A in Fig. In this case, in a part of the movement process, the sensor unit can not transmit the microwave toward the motion member. However, with the motion of the moving member, a state in which the microwave is reflected by the moving member occurs periodically without intervening the fluid in the pump chamber between the sensor portion and the moving member. At that time, in the normal operation and the abnormal operation, the waveform of the output signal changes as described with reference to Figs. 3 and 6, so that the abnormal operation can be detected.

이상 운전의 검출 효율을 향상시키는 관점에서, 운동 부재의 운동 과정에서 항상, 센서부가 운동 부재를 향해 마이크로파를 조사하는 것이 바람직하다. 즉, 센서부와 운동 부재의 사이에 운동 부재 내의 유체가 개재되지 않는 상태에서 운동 부재가 마이크로파를 항상 반사하는 위치에 센서부를 배치하는 것이 바람직하다. 구체적으로는, 상기 도 1 및 도 2에 도시한 바와 같은 1축 편심 나사 펌프라면, 제1 및 제2 호 형상부(30c, 30d) 중에서 어느 한쪽의 호 형상부측에 배치하는 것이 바람직하다(상기 도 2 참조). 또한, 상기 도 7에 도시한 바와 같은 로터리 펌프라면, 로터(52)의 회전 중심을 향해서 배치하는 것이 바람직하다.From the viewpoint of improving the detection efficiency of the abnormal operation, it is preferable that the sensor unit irradiates the microwave toward the motion member always during the motion process of the motion member. That is, it is preferable to dispose the sensor unit at a position where the motion member always reflects the microwave in a state in which the fluid in the motion member is not interposed between the sensor unit and the motion member. Concretely, it is preferable that the single-shaft eccentric screw pump as shown in Figs. 1 and 2 is disposed on one of the first and second arc-shaped portions 30c and 30d 2). It is preferable that the rotary pump as shown in FIG. 7 is disposed toward the rotation center of the rotor 52.

또한, 도 8의 (b)에 도시한 바와 같이, 센서부에 의해 유체와 스테이터(펌프실)의 계면과 비수직으로 마이크로파를 조사할 수 있지만, 도 2의 (a) 또는 도 8의 (a)에 도시한 바와 같이, 센서부가 유체와 스테이터(펌프실)의 계면과 수직으로 마이크로파를 조사하는 것이 바람직하다. 이렇게 센서부를 배치하면, 센서부의 마이크로파의 송신 방향이 유체와 펌프실의 계면과 수직이 되어, 펌프실과 그 펌프실 내의 가스나 유체와의 계면에서 마이크로파의 일부가 굴절되는 것을 방지할 수 있고, 센서부에서 고강도의 반사파를 수신할 수 있다. 또한, 펌프실과 그 펌프실 내의 가스나 유체와의 계면에서 마이크로파의 일부가 반사하는 것을 저감할 수 있고, 이것에 의해서도 센서부에서 고강도의 반사파를 수신할 수 있다.8 (b), microwaves can be irradiated to the interface between the fluid and the stator (pump chamber) in a direction not perpendicular to the interface between the fluid and the stator (pump chamber). However, as shown in Fig. 8 (a) , It is preferable that the microwave is irradiated perpendicularly to the interface between the sensor portion fluid and the stator (pump chamber). By arranging the sensor unit in this way, the transmission direction of the microwave of the sensor unit becomes perpendicular to the interface between the fluid and the pump chamber, and it is possible to prevent a part of the microwave from being refracted at the interface between the pump chamber and the gas or fluid in the pump chamber. High-intensity reflected waves can be received. In addition, it is possible to reduce the reflection of a part of the microwave at the interface between the pump chamber and the gas or fluid in the pump chamber, and thereby the high-intensity reflected wave can be received by the sensor unit.

보다 구체적으로는, 상기 도 1 및 도 2에 도시한 바와 같은 1축 편심 나사 펌프에 있어서, 센서부를 호 형상부(30c, 30d)측에 배치하는 것이라면, 센서부의 마이크로파의 송신 방향을 호 형상부(30c, 30d)의 중심을 향하도록 배치하는 것이 바람직하다. 또한, 센서부를 직선 형상부(30b)측에 배치하는 것이라면, 센서부의 마이크로파의 송신 방향을 타원 방향과 수직인 대칭 선(30f)과 평행하게 배치하는 것이 바람직하다.More specifically, in the uniaxial eccentric screw pump as shown in Figs. 1 and 2, if the sensor portion is disposed on the side of the arc portions 30c and 30d, (30c, 30d). Further, if the sensor portion is disposed on the linear portion 30b side, it is preferable that the transmission direction of the microwave of the sensor portion is arranged parallel to the symmetry line 30f perpendicular to the elliptical direction.

센서부는, 상기 도 2의 (a) 및 상기 도 7에 도시한 바와 같이, 운동 부재가 마이크로파를 항상 반사하는 위치이며, 센서부의 마이크로파의 송신 방향이 유체와 펌프실의 계면과 수직이 되는 위치에 배치되는 것이 보다 바람직하다. 이에 의해, 이상 운전의 검출 효율을 향상시킬 수 있음과 함께, 센서부에서 고강도의 반사파를 수신할 수 있다.The sensor unit is disposed at a position where the motion member always reflects the microwave, and the transmission direction of the microwave of the sensor unit is perpendicular to the interface between the fluid and the pump chamber, as shown in FIG. 2 (a) . Thereby, the detection efficiency of the abnormal operation can be improved, and the sensor unit can receive the high-intensity reflected wave.

판정부(42)는, 이상 운전으로서 공운전, 준공운전, 폐색 운전 및 이물 혼입 중 1개 이상을 검출한다. 공운전을 검출하는 경우, 종단부 검지 제어에 응용할 수도 있다. 여기서, 종단부 검지 제어란, 유체의 이송 완료 시에, 펌프를 정지시키는 제어이다. 공운전을 검출하는 경우, 공운전의 검출시를 유체의 이송 완료시라 판정하고, 펌프를 정지시키면, 종단부 검지 제어를 실현할 수 있다. 또한, 준공운전을 검출하면, 정상 운전에서 준공운전을 거쳐서 공운전에 이르는 경우에, 공운전을 미연에 방지할 수 있다.The judging unit 42 detects at least one of an open operation, a completion operation, a closing operation, and foreign matter contamination as an abnormal operation. In the case of detecting an open operation, it may be applied to the end detection control. Here, the termination detection control is a control for stopping the pump when the delivery of the fluid is completed. When the air operation is detected, it is possible to realize the end portion detection control when it is determined that the delivery of the fluid is completed when the air operation is detected, and the pump is stopped. Further, when the completion operation is detected, the air operation can be prevented in advance in the case of reaching the air operation through the completion operation in the normal operation.

이상 운전의 판정은, 예를 들어 출력 신호의 파형 피크값을 구하는 처리와, 그 피크값이 역치를 초과하는 경우를 이상 운전이라 판정하는 처리로 구성할 수 있다. 출력 신호의 강도는, 예를 들어 스테이터 또는 시일 부재의 재질이나 그 두께, 이송해야 할 유체의 조성에 따라 변화한다. 이러한 조건에 따라, 역치는 적절히 설정할 수 있다.The determination of the abnormal operation can include, for example, a process of obtaining a waveform peak value of an output signal and a process of determining that the peak value exceeds an upper threshold value as an abnormal operation. The intensity of the output signal varies depending on, for example, the material of the stator or the seal member, its thickness, and the composition of the fluid to be conveyed. According to these conditions, the threshold value can be appropriately set.

역치를 사용하는 판정에는, 피크값이 역치를 상회하는 경우에 이상 운전이라 판정하는 형태, 및, 피크값이 역치를 하회하는 경우에 이상 운전이라 판정하는 형태가 있다. 어떤 형태를 채용할지는, 출력 신호의 처리 방식에 따라 적절히 설정할 수 있다. 피크값이 역치를 상회하는 경우에 이상 운전이라 판정하는 형태는, 예를 들어 상기 도 3에 도시하는 파형예와 같이, 고역 통과 필터의 처리(직류 성분을 커트하는 처리)와, 전파 정류의 처리를 그 순서대로 실시하는 출력 신호의 처리 방식에 채용할 수 있다. 또한, 고역 통과 필터, 전파 정류, 저역 통과 필터 및 비반전 증폭의 처리를 그 순서대로 행하는 방식에도 채용할 수 있다. 한편, 피크값이 역치를 하회하는 경우에 이상 운전이라 판정하는 형태는, 예를 들어 고역 통과 필터, 전파 정류, 저역 통과 필터 및 반전 증폭의 처리를 그 순서대로 행하는 방식에 채용할 수 있다.The determination using the threshold value includes a mode in which the abnormality operation is determined when the peak value exceeds the threshold value and a mode in which the abnormality determination is made when the peak value is below the threshold value. Which type is employed can be appropriately set in accordance with the processing method of the output signal. In the case where the peak value exceeds the threshold value, the form of judging the abnormal operation is, for example, as shown in the waveform example shown in Fig. 3, by the processing of the high-pass filter (processing for cutting off the direct current component) Can be employed for the processing method of the output signal to be performed in that order. It is also possible to employ a method of performing the processing of the high-pass filter, the full-wave rectification, the low-pass filter, and the noninverting amplification in that order. On the other hand, when the peak value is less than the threshold value, the determination of the abnormal operation can be adopted, for example, in a method of performing the high-pass filter, the full-wave rectification, the low-

또한, 판정부(42)는, 출력 신호의 파형이 소정의 패턴과 상이한 경우에 이상 운전이라 판정해도 된다. 이 경우, 사전에 정상 운전의 출력 신호의 파형 패턴을 준비한다. 이상 운전의 판정 시에는, 출력 신호의 일부를 소정의 패턴과 마찬가지의 주기로 발취하는 처리와, 발취한 파형과 패턴 파형을 화상 해석 소프트에 의해 비교하여, 상이한 경우에 이상 운전이라 판정하는 처리를 행하면 된다. 발취한 파형과 패턴 파형을 비교해서 판정하는 처리에서는, 예를 들어 출력 신호의 파형 형상이나 면적을 기준으로 할 수 있다. 또한, 패턴 파형을 사용하는 형태와, 상술한 역치를 사용하는 형태를 병행해서 실시해도 된다.Further, the judging section 42 may judge the abnormal operation when the waveform of the output signal is different from the predetermined pattern. In this case, a waveform pattern of an output signal of normal operation is prepared in advance. When the abnormal operation is determined, a process of extracting a part of the output signal at a cycle similar to that of the predetermined pattern, a process of comparing the extracted waveform and the pattern waveform by the image analysis software, do. In the process of comparing and comparing the extracted waveform and the pattern waveform, for example, the waveform shape and area of the output signal can be used as a reference. The pattern using the pattern waveform and the pattern using the above-described threshold value may be performed in parallel.

여기서, 고점도의 유체(예를 들어, 페이스트, 탈수 케이크, 간 고기 등)를 이송하는 경우, 정상 운전이라도 유체의 흡입량이 부족하고, 펌프실 내의 일부에 가스가 유입되는 경우나, 펌프실 내의 일부가 진공이 되는 경우가 있다. 이러한 경우, 가스 또는 진공의 부분이 마이크로파의 경로 상에 우연히 위치하면, 마이크로파가 거의 감쇠되지 않으므로, 피크값이 일시적으로 변화한다. 피크값이 역치를 초과하는 경우를 이상 운전이라 판정하는 형태에서는, 그 변화를 이상 운전이라고 잘못 판정할 우려가 있다.Here, when feeding a fluid having a high viscosity (for example, paste, dehydrated cake, liver meat or the like), even if the pump is in a normal operation, the suction amount of the fluid is insufficient, . In this case, if the gas or vacuum portion is accidentally located on the path of the microwave, the microwave is hardly attenuated, so that the peak value temporarily changes. In a mode in which the peak value exceeds the threshold value is determined to be an abnormal operation, there is a possibility that the change is erroneously determined to be an abnormal operation.

또한, 기포를 포함하는 유체(예를 들어, 휘핑크림)를 이송하는 경우, 정상 운전이라도 기포의 부분이 마이크로파의 경로 상에 우연히 위치하면, 마이크로파가 거의 감쇠되지 않으므로, 피크값이 일시적으로 변화한다. 피크값이 역치를 초과하는 경우를 이상 운전이라 판정하는 형태에서는, 그 변화를 이상 운전이라고 잘못 판정할 우려가 있다.Further, when a fluid (for example, a whipping cream) containing bubbles is fed, even if the bubbles are inadvertently positioned on the path of the microwave even in a normal operation, since the microwave is hardly attenuated, the peak value temporarily changes . In a mode in which the peak value exceeds the threshold value is determined to be an abnormal operation, there is a possibility that the change is erroneously determined to be an abnormal operation.

그런데, 도플러 방식의 센서는, 상술한 바와 같이, 도플러 주파수에 따른 정현파의 신호를 출력하므로, 실제의 신호 파형은, 정현파의 산 및 골짜기를 포함하고 있다. 그 정현파의 주기는, 운동 부재(로터)의 왕복 운동의 주기보다도 짧다. 또한, 상기 도 3에 도시하는 도플러 방식의 센서로부터 출력되는 신호의 파형예에서는, 주기가 짧은(미시적인) 정현파의 산 및 골짜기를 생략하고, 운동 부재(로터)의 왕복 운동의 주기와 동일 정도인(거시적인) 신호 강도의 변화만을 추출해서 나타내고 있다.Incidentally, the Doppler sensor outputs a sinusoidal wave signal in accordance with the Doppler frequency as described above, so that the actual signal waveform includes the sine and valley of the sinusoidal wave. The cycle of the sinusoidal wave is shorter than the cycle of the reciprocating motion of the motion member (rotor). In the waveform example of the signal output from the Doppler sensor shown in FIG. 3, the sine and valley of the sinusoidal wave having a short cycle (microscopic) is omitted, and the cycle (Macroscopic) signal intensities are extracted and represented.

도 11은, 도플러 방식의 센서를 사용하는 경우의, 정현파의 산 및 골짜기를 포함하는 신호의 파형예를 도시하는 모식도이며, 도 11의 (a)는 공운전시, 도 11의 (b)는 정상 운전시를 각각 나타낸다. 도 11에 도시하는 출력 신호의 파형예는, 상기 도 1에 도시하는 구성예에 있어서, 도플러 방식의 센서를 사용한 경우의 출력 신호의 파형이다. 또한, 도 11에 도시하는 신호의 파형예는, 도플러 방식의 센서로부터 출력된 신호에, 고역 통과 필터의 처리(직류 성분을 커트하는 처리)와, 증폭의 처리와, 저역 통과 필터의 처리를 그 순서대로 실시한 것이다.Fig. 11 is a schematic diagram showing an example of waveforms of signals including sine waves and valleys when a Doppler sensor is used. Fig. 11 (a) Respectively. The waveform example of the output signal shown in Fig. 11 is a waveform of the output signal when the Doppler type sensor is used in the example shown in Fig. The waveform example of the signal shown in Fig. 11 is a waveform of the signal outputted from the Doppler type sensor, in which the processing of the high-pass filter (processing for cutting off the direct current component), the processing for amplification and the processing for the low- In order.

정상 운전에서는, 상기 도 3을 사용해서 설명한 바와 같이, 거시적으로는, 동체(로터)를 검출하지 않은 평탄한 부분과, 동체를 검출한 산형의 부분 S가 주기적으로 교대로 출현한다. 또한, 동체를 검출한 산형의 부분 S는, 로터가 우측 스트로크 엔드를 통과하고 있는 것을 나타낸다. 도플러 방식의 센서는, 정현파의 신호를 출력하므로, 도 11의 (b)에 도시한 바와 같이, 동체를 검출한 산형의 부분 S는, 미시적으로는, 정현파의 산(P1, P2) 및 골짜기(T1)에 의해 형성된다. 도 11의 (b)에서는, 동체를 검출한 산형의 부분 S가, 2개가 미시적인 산(P1, P2)과, 1개의 미시적인 골짜기(T1)에 의해 형성된다.In the normal operation, as described with reference to Fig. 3, a macroscopically flat portion where the body (rotor) is not detected and a mountain-shaped portion S that detects the body are alternately and periodically appear. The mountain-shaped portion S that detects the moving body indicates that the rotor is passing through the right stroke end. As shown in Fig. 11 (b), the mountain-shaped portion S that detects the moving body microscopically has the sine wave peaks P1 and P2 and the valleys T1. In Fig. 11 (b), the mountain-shaped portion S detecting the moving body is formed by two microscopic mountains P1 and P2 and one microscopic valley T1.

공운전에서는, 상기 도 3을 사용해서 설명한 바와 같이, 도플러 방식의 센서가 항상 동체를 검출하므로, 거시적으로는, 브로드한 산형의 부분 B가 주기적으로 출현한다. 또한, 브로드한 산형의 부분 B의 피크는, 로터가 우측 스트로크 엔드를 통과하고 있는 것을 나타낸다. 도플러 방식의 센서는, 정현파의 신호를 출력하므로, 도 11의 (a)에 도시한 바와 같이, 동체를 검출한 브로드한 산형의 부분 B는, 미시적으로는, 주기가 짧은 복수의 정현파의 산(P1 내지 P7) 및 골짜기(T1 내지 T7)로 형성된다. 도 11의 (a)에서는, 동체를 검출한 브로드한 산형의 부분 B가, 7개의 미시적인 산(P1 내지 P7) 및 골짜기(T1 내지 T7)로 형성된다.In the ball operation, as described with reference to Fig. 3, the Doppler type sensor always detects the moving body, so that a broad, mountain-shaped portion B periodically appears. The peak of the broad-acid-shaped portion B indicates that the rotor is passing through the right stroke end. The Doppler type sensor outputs a sinusoidal wave signal, and therefore, as shown in Fig. 11 (a), the broadband-shaped part B that detects the moving body is microscopically composed of a plurality of sinusoidal waves of a short period P1 to P7 and valleys T1 to T7. In Fig. 11A, a broad-acid-shaped portion B which detects a moving body is formed of seven microscopic acids P1 to P7 and valleys T1 to T7.

준공운전에서는, 도시를 생략하지만, 펌프실 내의 유체량이 감소하므로, 정상 운전과 비교하여, 로터를 검출 가능한 범위가 넓어진다(거리가 길어진다). 이 때문에, 준공운전의 신호 파형은, 도 11의 (b)에 도시하는 정상 운전의 신호 파형과 비교하여, 동체를 검출하지 않은 평탄한 부분이 출현하는 시간이 짧아짐과 함께, 동체를 검출한 산형의 부분 S가 출현하는 시간이 길어진다. 이에 따라, 미시적으로는, 동체를 검출한 산형의 부분 S에 포함되는 산 및 골짜기의 수가 각각 증가하고, 상기 도 11에 도시하는 케이스라면, 산 및 골짜기의 수가 3개 또는 4개 정도로 각각 증가한다.In the completion operation, although the illustration is omitted, the amount of fluid in the pump chamber is reduced, so that the range in which the rotor can be detected is wider (the distance becomes longer) as compared with the normal operation. Therefore, compared with the signal waveform of the normal operation shown in Fig. 11 (b), the signal waveform of the completion operation becomes shorter in the time when the flat portion without detecting the moving body appears, The time for appearance of the part S becomes long. Accordingly, microscopically, the number of mountains and valleys included in the mountain-shaped portion S detecting the moving body increases, and in the case shown in Fig. 11, the number of mountains and valleys increases to three or four, respectively .

이 정현파의 산과 골짜기가 신호의 파형에 포함되는 수를 이상 운전의 판정에 사용해도 된다. 이 형태는, 예를 들어 소정의 시간 범위 내의 신호 파형을 해석해서 정현파의 산 및 골짜기 중 어느 한쪽 또는 양쪽의 출현 횟수를 계수하는 처리와, 구한 출현 횟수가 역치(이하, 특히 「판정용 역치」라고도 함)를 초과하는 경우를 이상 운전이라 판정하는 처리로 구성할 수 있다.The number of the waveforms of the signal including the sine and valleys of the sinusoidal wave may be used for the determination of abnormal operation. In this form, for example, a process of interpreting a signal waveform within a predetermined time range and counting the number of occurrences of one or both of the crests and valleys of the sinusoidal waves, and a process of counting the number of occurrences (hereinafter, ) Is judged to be an abnormal operation.

여기서, 출현 횟수를 계수해야 할 소정의 시간(이하, 「평가 시간」이라고도 함), 및, 판정용 역치의 설정 방법에 대해서, 상기 도 1에 도시하는 아우터 부재가 회전 불가능한 1축 편심 나사 펌프를 예로 들어 설명한다. 상술한 바와 같이, 도플러 방식의 센서는, 도플러 주파수에 따른 정현파의 신호를 출력하고, 그 도플러 주파수(fd(Hz))는 일반적으로 하기 (1)식에 의해 근사할 수 있다.Here, as to a predetermined time (hereinafter also referred to as " evaluation time ") for setting the number of times of occurrence and a method of setting the threshold value for judgment, the single-shaft eccentric screw pump For example, As described above, the Doppler type sensor outputs a sinusoidal signal according to the Doppler frequency, and the Doppler frequency fd (Hz) can be approximated generally by the following expression (1).

fd=2×v×fs/c … (1)fd = 2 x v x fs / c ... (One)

단, v는 동체의 속도(m/s), c는 광속(약 3×108m/s), fs는 송신되는 마이크로파의 주파수(단위: Hz, 이하, 「송신 주파수」라고도 함)이다.Where v is the speed of the moving body (m / s), c is the speed of light (about 3 x 10 8 m / s), and fs is the frequency of the microwave transmitted (unit: Hz, hereinafter also referred to as "transmission frequency").

아우터 부재가 회전 불가능한 1축 편심 나사 펌프에서는, 상기 도 2를 사용해서 설명한 바와 같이, 로터(20)(모터)가 360° 회전(1 회전)하는데 수반하여, 스테이터(30)의 횡단면의 대략 타원 형상의 공간을 1 왕복한다. 그때의 로터(20)의 평균 속도(vr(m/s))는 하기 (2)식에 의해 산출할 수 있다.As described above with reference to Fig. 2, in the single-shaft eccentric screw pump in which the outer member is not rotatable, the rotor 20 (motor) rotates 360 degrees (one rotation) The space of the shape is made one round trip. The average velocity vr (m / s) of the rotor 20 at that time can be calculated by the following equation (2).

vr=2×s×N/60 … (2)vr = 2 x s x N / 60 ... (2)

단, s는 로터의 스트로크량(상기 도 2의 (a) 참조), N은 모터의 회전수(min-1)이다.Here, s is the amount of stroke of the rotor (see Fig. 2 (a)), and N is the number of revolutions (min -1 ) of the motor.

또한, 도플러 방식의 센서가 출력하는 신호의 파형에 있어서, 운동 부재가 1 사이클의 운동에 필요로 하는 시간 내의 산 또는 골짜기의 출현 횟수(A)(이하, 「1 사이클당 출현 횟수」라고도 함)는 하기 (3)식에 의해 산출할 수 있다. 또한, 마이크로파의 감쇠가 없는 것으로 하고, 즉, 공운전의 상태로 한다. 여기서, 1 사이클의 운동에 필요로 하는 시간이란, 1축 편심 나사 펌프와 같이 운동 부재가 왕복 운동하는 경우, 1 왕복에 필요로 하는 시간을 의미하고, 상술한 로터리 펌프와 같이 운동 부재가 회전 운동하는 경우, 1 회전에 필요로 하는 시간을 의미한다.In the waveform of the signal output by the Doppler type sensor, the number of occurrences A of the mountains or valleys (hereinafter also referred to as " the number of occurrences per cycle " hereinafter) Can be calculated by the following expression (3). Further, it is assumed that there is no attenuation of the microwave, that is, in a state of cooperative operation. Here, the time required for one cycle of movement means the time required for one reciprocation when the moving member reciprocates like a single axis eccentric screw pump, , It means the time required for one rotation.

A=60×fd/N … (3)A = 60 x fd / N ... (3)

단, fd는 도플러 주파수(Hz), N은 모터의 회전수(min-1)이다.Here, fd is the Doppler frequency (Hz), and N is the number of rotations of the motor (min -1 ).

상기 (3)식의 도플러 주파수(fd)를 상기 (1)식으로 치환하고, 또한 상기 (1)식의 동체 속도(v)를 상기 (2)식의 로터 평균 속도로 치환하면, 하기 (4)식이 유도된다.If the Doppler frequency fd of the above equation (3) is substituted by the above equation (1) and the velocity v of the above equation (1) is replaced by the average velocity of the rotor of the equation (2) ) Is induced.

A=4×fs×s/c … (4)A = 4 x fs x s / c ... (4)

상기 (4)식 중에서 로터의 스트로크량(s)은, 펌프의 고유값이며, 광속(c)은 상수이다. 이 때문에, 송신 주파수를 일정하게 하면, 1 사이클당 출현 횟수(A)는, 모터의 회전수 등에 영향받지 않고 일정하다. 공운전과 마찬가지로, 정상 운전의 경우도, 1 사이클당 출현 횟수(A)는, 모터의 회전수 등에 영향받지 않고 일정해진다.In the equation (4), the stroke amount s of the rotor is an intrinsic value of the pump, and the light flux c is a constant. Therefore, when the transmission frequency is kept constant, the frequency of occurrence (A) per cycle is constant without being affected by the number of revolutions of the motor. As in the case of the normal operation, the number of occurrences A per cycle is constant without being influenced by the number of revolutions of the motor or the like.

따라서, 평가 시간은, 예를 들어 로터(20)와 같은 운동 부재가 1 사이클의 운동에 필요로 하는 시간에 따라서 적절히 설정하면 되고, 보다 구체적으로는, 1 사이클의 운동에 필요로 하는 시간에 정수를 곱한 시간으로 하면 된다. 이상 운전을 조기에 검출하는 관점에서는, 평가 시간은, 짧은 것이 바람직하기 때문에, 1 사이클의 운동에 필요로 하는 시간으로 하는 것이 바람직하다.Therefore, the evaluation time may be appropriately set in accordance with the time required for the motion of one cycle of the motion member, such as the rotor 20, and more specifically, As shown in FIG. From the viewpoint of early detection of abnormal operation, the evaluation time is preferably short, and therefore, it is preferable to set the time necessary for one cycle of motion.

상기 (4)식에 나타낸 바와 같이, 1 사이클당 출현 횟수(A)는, 스트로크량(펌프 사이즈)이나 송신 주파수에 따라서 변화한다. 또한, 평가 시간당 출현 횟수는, 평가 시간의 길이에 따라서도 변화한다. 이것들에 따라서 판정용 역치는, 적절히 설정하면 된다.As shown in the above equation (4), the number of occurrences A per one cycle varies depending on the stroke amount (pump size) and the transmission frequency. The number of times of occurrence per evaluation time also varies according to the length of the evaluation time. According to these, the judgment threshold value may be appropriately set.

예를 들어, 상기 도 11에 도시하는 신호 파형의 조건(s=24mm, fs=24.2GHz)에서는, 상기 (4)식에 의하면, 1 사이클당 출현 횟수(A)가 약 7.7이 된다. 실제의 신호 파형에서는, 상기 도 11의 (a)에 도시한 바와 같이, 모터가 1 회전하는 시간 내에 7개의 산(P1 내지 P7) 및 골짜기(T1 내지 T7)가 확인되었다. 이 경우, 1 사이클의 운동에 필요로 하는 시간을 평가 시간으로서 설정하고, 산 및 골짜기 중 어느 한쪽의 출현 횟수를 계수하는 것이라면, 판정용 역치를 3 내지 6의 임의의 값으로 설정하면 된다. 예를 들어, 이송해야 할 유체가 고점도의 유체나 기포를 포함하는 유체라면, 정상 운전의 상태에서 계수되는 출현 횟수가 증가하므로, 판정용 역치를 큰 값 A(예를 들어 6)로 설정하면 된다. 유체가 중점도 또는 저점도이며, 기포를 포함하지 않는 유체라면, 판정용 역치를 값 A보다도 작은 값 B(예를 들어 5)로 설정하면 된다.For example, according to the condition (s = 24 mm, fs = 24.2 GHz) of the signal waveform shown in FIG. 11, the number of times of occurrence A per one cycle becomes about 7.7 according to the expression (4). In the actual signal waveform, as shown in Fig. 11A, seven mountains (P1 to P7) and valleys (T1 to T7) were confirmed within one rotation time of the motor. In this case, if the time required for one cycle of motion is set as the evaluation time and the number of occurrences of either the acid or the valley is counted, the determination threshold may be set to any value between 3 and 6. [ For example, if the fluid to be conveyed is a fluid containing a high viscosity fluid or bubbles, the number of occurrences to be counted in the normal operation state increases, so that the determination threshold value may be set to a large value A (for example, 6) . If the fluid is a medium viscosity or low viscosity fluid and does not contain bubbles, the threshold for determination may be set to a value B (for example, 5) smaller than the value A.

또한, 준공운전을 검출하고 싶다면, 판정용 역치를 공운전의 값 A 또는 값 B보다 작은 값 C(예를 들어 3 또는 4)로 설정하면 된다. 이렇게 준공운전을 검출하면, 정상 운전에서 준공운전을 거쳐서 공운전에 이르는 경우에, 공운전을 미연에 방지할 수 있다. 또한, 판정용 역치를 복수 설정해도 된다. 예를 들어, 판정용 역치를, 공운전의 값 A 또는 값 B와 준공운전의 값 C의 2단계로 설정하면, 복수의 이상 운전, 즉 준공운전과 공운전을 검출하는 것이 가능하다.If it is desired to detect the completion operation, the threshold value for judgment may be set to a value A or a value C (for example, 3 or 4) smaller than the value B for the open operation. When the completion operation is detected in this manner, the ball operation can be prevented in advance in the case of reaching the ball operation through the completion operation in the normal operation. A plurality of determination threshold values may be set. For example, it is possible to detect a plurality of abnormal operations, that is, a completion operation and a cooperative operation, by setting the threshold for determination to two levels of the value A or the value B of the cooperative operation and the value C of the completion operation.

또한, 계수되는 출현 횟수에 기초하여, 펌프실 내의 유체량을 파악할 수도 있다. 예를 들어, 계수된 출현 횟수를, 공운전의 상태에서 계수되는 출현 횟수 또는 정상 운전의 상태에서 계수되는 출현 횟수와 비교함으로써, 펌프실 내의 유체량을 추정하면 된다.Further, the amount of fluid in the pump chamber can be grasped based on the number of occurrences counted. For example, it is possible to estimate the amount of fluid in the pump chamber by comparing the counted number of occurrences with the number of occurrences counted in the open operation or the number of occurrences counted in the normal operation.

출현 횟수의 계수는, 예를 들어 신호의 강도가 역치(V1)(이하, 특히 「계수용 역치」라고도 함)를 초과하는 경우에 출현 횟수를 증가시킴으로써 행하면 된다.The coefficient of the occurrence count may be performed by increasing the number of occurrences when, for example, the intensity of the signal exceeds the threshold value V1 (hereinafter also referred to as " counting threshold value " in particular).

평가 시간은, 모터의 회전수로부터 산출해도 된다. 예를 들어, 아우터 부재가 회전 불능인 1축 편심 나사 펌프라면, 모터가 1 회전하는 시간을 평가 시간으로서 설정할 수 있다. 또한, 아우터 부재가 회전 가능한 1축 편심 나사 펌프라면, 모터가 2 회전하는 시간을 평가 시간으로서 설정할 수 있다.The evaluation time may be calculated from the number of revolutions of the motor. For example, if the outer member is a non-rotatable uniaxial eccentric screw pump, the time during which the motor makes one revolution can be set as the evaluation time. Further, when the outer member is a rotatable single-axis eccentric screw pump, the time for which the motor makes two revolutions can be set as the evaluation time.

또는, 신호의 파형에 기초하여 계수를 개시 및 종료함으로써 평가 시간을 규정해도 된다. 신호의 파형에 기초하여 계수를 개시 및 종료하는 형태에서는, 운동 부재가 센서부에 가장 근접할 때 출력되는 정현파에 있어서, 산이 가장 높아짐과 함께 골짜기가 가장 깊어지는 현상을 이용하면 된다.Alternatively, the evaluation time may be defined by starting and ending the coefficient based on the waveform of the signal. In the mode of starting and ending the counting based on the waveform of the signal, a phenomenon in which the peak is deepest in the sine wave output when the moving member is the closest to the sensor portion is obtained.

이 형태에서는, 예를 들어 사전에, 운동 부재가 센서부에 가장 가까워질 때 출력되는 정현파의 산 또는 골짜기만을 검출하도록, 역치(V2)(이하, 특히 「리셋용 역치」라고도 함)를 설정한다. 또한, 신호의 강도가 리셋용 역치(V2)를 초과한 경우에 출현 횟수를 0(제로)으로 치환하는 처리와, 신호의 강도가 계수용 역치(V1)를 초과한 경우에 출현 횟수를 증가시키는 처리와, 출현 횟수가 판정용 역치를 초과하는 경우에 이상 운전이라 판정하는 처리를 반복해서 행하면 된다. 이러한 신호의 파형에 기초하여 계수를 개시 및 종료하는 형태에서는, 1 사이클의 운동에 필요로 하는 시간을 보다 정확하게 파악하여, 이상 운전의 검출 정밀도를 높일 수 있다.In this embodiment, for example, a threshold value V2 (hereinafter, also referred to as a "threshold value for resetting") is set so as to detect only a peak or valley of a sinusoidal wave outputted when the motion member comes closest to the sensor unit . The process of replacing the number of occurrences by 0 (zero) when the intensity of the signal exceeds the reset threshold V2 and the process of increasing the number of occurrences when the intensity of the signal exceeds the count threshold V1 And a process of determining that the vehicle is in an abnormal operation when the number of occurrences exceeds the threshold for judgment. In the mode of starting and ending the counting based on the waveform of such a signal, the time required for one cycle of movement can be grasped more accurately and the detection accuracy of the abnormal operation can be increased.

정상 운전에서 공운전에 이르는 과정에서, 신호 파형에 포함되는 정현파의 산 및 골짜기의 수가 변화함에 수반하여, 신호 파형의 적분값도 변화한다. 여기서, 신호 파형의 적분값이란, 신호 파형을 적분 처리함으로써 구해지고, 상기 도 11에 도시하는 신호 파형이라면, 횡축과 신호 파형(곡선) 사이에 끼워진 영역의 면적이 해당된다. 이러한 적분값에 기초하여 이상 운전을 검출할 수도 있다.In the process from normal operation to open operation, the integral value of the signal waveform changes as the number of sine waves and valleys included in the signal waveform changes. Here, the integral value of the signal waveform is obtained by integrating the signal waveform, and if it is the signal waveform shown in FIG. 11, the area of the region sandwiched between the horizontal axis and the signal waveform (curve) corresponds. The abnormal operation can also be detected based on the integral value.

이 형태에서는, 예를 들어 적분값이 역치를 초과하는 경우에 이상 운전이라 판정하면 된다. 보다 구체적으로는, 이상 운전의 판정 처리를, 신호 파형 중에서 소정의 시간 범위 내를 적분해서 적분값을 산출하는 처리와, 정상 운전 시보다 적분값이 작은 경우를 폐색 운전이라 판정하는 처리와, 정상 운전 시보다 약간 적분값이 큰 경우를 준공운전이라 판정하는 처리와, 준공운전 시보다 적분값이 큰 경우를 공운전이라 판정하는 처리로 구성할 수 있다. 이렇게 이상 운전의 판정에 적분값을 사용하면, 폐색 운전도 검출할 수 있다. 또한, 이 판정의 기준이 되는 적분값(역치)은, 예를 들어 유체의 조성 등의 조건에 따라 적절히 설정할 수 있다. 또한, 상기의 구성예에서는, 폐색 운전, 준공운전 및 공운전의 전부를 판정했지만, 그들 중 1개 이상을 판정해도 된다.In this embodiment, for example, when the integral value exceeds the threshold value, it is judged as an abnormal operation. More specifically, the abnormality determination process is performed by integrating the signal waveform within a predetermined time range to calculate an integral value, a process of determining that the integral value is smaller than that during normal operation as an obstruction operation, A process of determining that the operation is a completion operation when the integration value is slightly larger than that during the operation and a process of determining that the integration value is larger than that when the completion operation is performed is a common operation. When the integral value is used for the determination of the abnormal operation, the closing operation can be detected. In addition, the integral value (threshold value) serving as a reference of this determination can be appropriately set in accordance with conditions such as fluid composition, for example. In the above-described configuration example, all of the closing operation, the completion operation, and the air operation are determined, but one or more of them may be determined.

적분값에 기초하여 이상 운전을 검출하는 형태에서는, 적분값이 불규칙하게 변동되는 경우를 이물 혼입이라 판정해도 된다. 이 이물 혼입을 판정하는 처리는, 상술한 폐색 운전, 준공운전 및 공운전을 판정하는 처리와 함께 행해도 된다. 이물 혼입을 판정하는 처리에서는, 예를 들어 소정 개수의 아주 가까운 적분값을 사용해서 표준 편차를 산출하고, 그 표준 편차가 역치를 초과하는 경우에 이물 혼입이라 판정하면 된다. 보다 구체적으로는, 이물 혼입을 판정하는 처리를, 산출된 적분값을 순차 기억하는 처리와, 기억된 적분값으로부터 아주 가까운 적분값을 소정 개수 불러내어, 표준 편차를 산출하는 처리와, 그 표준 편차가 역치를 초과하는 경우에 이물 혼입이라 판정하는 처리로 구성할 수 있다. 이렇게 이상 운전의 판정에 적분값을 사용하면, 이물 혼입도 검출할 수 있다. 또한, 이 판정의 기준이 되는 역치는, 예를 들어 유체의 조성 등의 조건에 따라 적절히 설정할 수 있다.In a mode in which the abnormal operation is detected based on the integral value, the case where the integral value fluctuates irregularly may be determined as foreign matter incorporation. The process for determining the foreign matter incorporation may be performed together with the process for determining the closing operation, the completion operation, and the air operation described above. In the process for determining foreign matter incorporation, for example, a standard deviation may be calculated using a predetermined number of very close integration values, and when the standard deviation exceeds a threshold value, it may be determined as foreign matter incorporation. More specifically, the process of judging the foreign matter incorporation includes a process of sequentially storing the calculated integral values, a process of calculating a standard deviation by calling up a predetermined number of integration values very close to the stored integration value, It is judged that the foreign matter is foreign matter mixed. If an integral value is used in the determination of the abnormal operation, foreign matter contamination can be detected. The threshold value serving as a criterion for this determination can be appropriately set in accordance with conditions such as the composition of the fluid.

신호 파형의 적분값을 사용하는 형태에서는, 소정의 시간분의 신호 파형을 적분 처리함으로써 적분값을 산출한다. 이 소정의 시간(이하, 「적분 처리 시간」이라고도 함)은 출현 횟수를 판정에 사용하는 형태의 평가 시간과 마찬가지로, 1 사이클의 운동에 필요로 하는 시간에 정수를 곱한 시간으로 할 수 있다. 이상 운전을 조기에 검출하는 관점에서는, 적분 처리 시간은, 짧은 것이 바람직하며, 1 사이클의 운동에 필요로 하는 시간으로 하는 것이 바람직하다. 이 경우, 적분 처리 시간은, 평가 시간과 마찬가지로, 모터의 회전수로부터 산출해도 되고, 신호의 파형에 기초하여 개시점 및 종료점을 결정함으로써 적분 처리 시간을 규정해도 된다.In the form of using the integral value of the signal waveform, the integral value is calculated by integrating the signal waveform for the predetermined time. This predetermined time (hereinafter also referred to as " integral processing time ") can be a time obtained by multiplying the time required for one cycle of motion by an integer, like the evaluation time of the form in which the number of times of occurrence is used for determination. From the viewpoint of early detection of the abnormal operation, the integral processing time is preferably short, and preferably is the time required for one cycle of motion. In this case, the integral processing time may be calculated from the number of revolutions of the motor, like the evaluation time, or the integral processing time may be defined by determining the starting point and the ending point based on the waveform of the signal.

적분 처리 시간은, 1 사이클의 운동에 필요로 하는 시간보다도 짧게 설정할 수도 있다. 즉, 1 사이클의 운동에 따라 출력되는 신호의 파형으로부터 일부를 발취해서 적분값을 산출해도 된다. 예를 들어, 적분 처리 시간을, 1 사이클의 운동에 필요로 하는 시간의 1/n 등으로 설정해도 된다. 이 경우, 발취의 개시 위치를, 1 사이클의 운동에 필요로 하는 시간에 정수를 곱한 시간마다 설정한다. 또는, 상기 도 11의 신호 파형이라면, 도 11의 (b)의 P1 및 P2의 산 부분만 발취해서 적분값을 산출함과 함께, 거기에 대응하는 도 11의 (a)의 P1 및 P7의 산 부분만 발취해서 적분값을 산출해도 된다. 이 형태는, 폐색 운전이나 이물 혼입의 검지 정밀도의 향상을 기대할 수 있다. 또한, 적분값을 사용하는 형태를, 상술한 출현 횟수를 사용하는 형태와 병행해서 실시해도 된다.The integral processing time may be set to be shorter than the time required for one cycle of motion. In other words, the integral value may be calculated by extracting a part from the waveform of the signal outputted in accordance with the motion of one cycle. For example, the integration processing time may be set to 1 / n of the time required for one cycle of motion. In this case, the starting position of the dispensing is set for each time when the time required for one cycle of motion is multiplied by an integer. Alternatively, if the signal waveform of FIG. 11 is used, only the peak of P1 and P2 in FIG. 11 (b) is sampled to calculate an integral value, and the integral of P1 and P7 in FIG. The integral value may be calculated by extracting only the part. This configuration can be expected to improve the detection accuracy of the clogging operation and foreign matter contamination. Further, the form using the integral value may be performed in parallel with the form using the above-described occurrence count.

이상 운전 검출 수단은, 신호 처리부(43)와, 출력부(44)를 더 구비하고, 판정부(42)는, 신호 처리부(43)에서 처리된 신호에 기초하여 이상 운전을 판정하는 것이 바람직하다. 여기서, 신호 처리부(43)는, 고역 통과 필터, 저역 통과 필터, 전파 정류 및 증폭 중 어느 1개 이상의 처리를, 센서부(41)로부터 출력되는 신호에 실시한다. 또한, 출력부(44)는, 판정부의 판정 결과를 표시 또는 출력한다. 판정부(42), 신호 처리부(43) 및 출력부(44)는, 각각 케이블을 통해서 신호를 송수신해도 되고, 무선 통신에 의해 신호를 송수신해도 된다.It is preferable that the abnormal operation detecting means further includes a signal processing section 43 and an output section 44 and the judging section 42 judges abnormal operation based on the signal processed by the signal processing section 43 . Here, the signal processing unit 43 performs one or more processes of a high-pass filter, a low-pass filter, a full-wave rectification and an amplification on a signal output from the sensor unit 41. Further, the output unit 44 displays or outputs the determination result of the determination unit. The determination section 42, the signal processing section 43, and the output section 44 may transmit and receive signals via cables, respectively, and may transmit and receive signals by wireless communication.

출력부(44)는, 예를 들어 판정 결과를 용적식 펌프의 컨트롤러에 출력하고, 그 컨트롤러는 이상 운전이라 판정된 경우에 용적식 펌프를 정지함과 함께 메시지를 디스플레이에 표시한다. 또는, 출력부(44)는, 이상 운전이라 판정된 경우에 회전 등을 동작시킴으로써, 이상 운전의 발생을 출력해도 된다. 출력부(44)는, 이상 운전이라 판정된 경우에 경고음을 발함으로써, 이상 운전의 발생을 출력해도 된다. 이러한 출력부(44)에 의해, 검출한 이상 운전의 정보를 유효하게 활용할 수 있다.The output unit 44 outputs, for example, the determination result to the controller of the positive displacement pump, and when the controller determines that the negative operation is performed, the positive displacement pump is stopped and a message is displayed on the display. Alternatively, the output section 44 may output the occurrence of the abnormal operation by operating the rotation or the like in the case of the abnormal operation. The output unit 44 may output a warning sound when it is determined that the operation is abnormal, thereby outputting the occurrence of an abnormal operation. With this output unit 44, the information of the detected abnormal operation can be utilized effectively.

출력 신호의 강도는, 상술한 바와 같이, 아우터 부재 또는 시일 부재의 재질이나 그 두께, 이송해야 할 유체의 조성에 따라 변화한다. 신호 처리부(43)를 구비하면, 출력 신호의 강도의 변화를 흡수할 수 있어, 안정되게 이상 운전을 검출할 수 있다. 또한, 역치를 사용해서 판정하는 경우, 역치의 조정을 불필요하게 할 수 있다.The strength of the output signal varies depending on the material and thickness of the outer member or the seal member and the composition of the fluid to be conveyed as described above. By providing the signal processing unit 43, it is possible to absorb the change in the intensity of the output signal, and thus the abnormal operation can be stably detected. In addition, when the determination is made using a threshold value, the adjustment of the threshold value can be made unnecessary.

용적식 펌프는, 아우터 부재가 회전 불가능 또는 회전 가능한 1축 편심 나사 펌프로 하는 것이 바람직하다. 이 경우, 펌프실은, 내주면이 암 나사형으로 형성된 아우터 부재(스테이터 또는 아우터 로터)로 이루어지고, 운동 부재는, 아우터 부재에 대하여 상대적으로 편심 회전하는 수 나사형의 이너 부재(로터)로 이루어진다. 1축 편심 나사 펌프라면, 아우터 부재가 고무 등의 탄성체 또는 수지로 이루어지기 때문에, 공운전 시에 마모되기 쉽고, 또한 아우터 부재의 내주면이 타서 눌러붙는 경우가 있다. 이 마모나 눌러붙음을, 본 실시 형태의 용적식 펌프에 의해 효과적으로 방지할 수 있다.Preferably, the positive displacement pump is a single-shaft eccentric screw pump in which the outer member is non-rotatable or rotatable. In this case, the pump chamber is made up of an outer member (stator or outer rotor) having an inner peripheral surface formed in an arm-threaded shape, and the moving member is made of an inner member (rotor) of a screw thread type which eccentrically rotates relative to the outer member. In the case of a uniaxial eccentric screw pump, since the outer member is made of an elastic material such as rubber or a resin, it tends to wear during pneumatic operation, and the inner peripheral surface of the outer member may be pushed. This abrasion and pressing can be effectively prevented by the positive displacement pump of the present embodiment.

용적식 펌프가 회전 가능 또는 회전 불능인 아우터 부재를 구비하는 1축 편심 나사 펌프이며, 아우터 부재(30)의 내주면의 횡단면 형상이 대략 타원 형상인 경우, 상기 도 2에 도시한 바와 같이, 센서부(41)는, 타원 방향과 평행한 대칭 선(30e) 상의 위치로부터, 타원 방향을 따라서 마이크로파를 송신하는 것이 바람직하다. 이에 의해, 센서부(41)와 로터(20)의 사이에 아우터 부재(30) 내의 유체가 개재되지 않는 상태에서, 운동 부재의 로터(20)가 마이크로파를 항상 반사할 수 있고, 이상 운전의 검출 효율을 향상시킬 수 있다.When the transverse sectional shape of the inner peripheral surface of the outer member 30 is substantially elliptic, as shown in FIG. 2, the sensor unit is a single-axis eccentric screw pump having an outer member in which the positive displacement pump is rotatable or non- It is preferable to transmit the microwave along the ellipse direction from the position on the symmetry line 30e parallel to the ellipse direction. This enables the rotor 20 of the motion member to always reflect the microwave while the fluid in the outer member 30 is not interposed between the sensor unit 41 and the rotor 20, The efficiency can be improved.

또한, 아우터 부재(30)와 내주면의 유체의 계면에서 마이크로파의 일부가 굴절되는 것을 방지할 수 있어, 센서부(41)에서 반사파를 안정되게 수신할 수 있다. 또한, 아우터 부재(30)와 아우터 부재(30) 내의 가스 또는 유체와의 계면에서 마이크로파의 일부가 반사하는 것을 저감할 수 있고, 이것에 의해서도 센서부(41)에서 반사파를 안정되게 수신할 수 있다.Further, it is possible to prevent a part of the microwave from being refracted at the interface between the outer member 30 and the fluid on the inner circumferential surface, and the reflected wave can be stably received by the sensor unit 41. Also, it is possible to reduce the reflection of a part of the microwave at the interface between the outer member 30 and the gas or the fluid in the outer member 30, whereby the sensor unit 41 can receive the reflected wave stably .

여기서, 아우터 부재(30)의 두께는 주위 방향에서 변화하여, 타원 방향과 평행한 대칭 선(30e) 상의 부위가 가장 얇아진다. 이 때문에, 센서부(41)를 타원 방향과 평행한 대칭 선(30e) 상에 배치하면, 스테이터(30)에 센서부(41)를 매립하기 위한 구멍 등을 형성하지 않고, 센서부(41)를 간편하게 설치할 수 있다.Here, the thickness of the outer member 30 changes in the circumferential direction, and the portion on the symmetry line 30e parallel to the elliptical direction becomes the thinnest. Therefore, if the sensor portion 41 is disposed on the symmetry line 30e parallel to the ellipse direction, the sensor portion 41 can be formed without forming a hole or the like for filling the sensor portion 41 in the stator 30, Can be easily installed.

센서부(41)는, 로터(20) 중에서 아우터 부재(30)와 함께 항상 폐공간을 형성하는 부위에 마이크로파를 송신하는 것이 바람직하다. 즉, 로터(20) 중에서 아우터 부재(30)와 함께 형성하는 공간이 로터(20)의 편심 회전 운동의 과정에서 일시적으로 개방 공간이 되는 부위를 제외하고 마이크로파를 송신하는 것이 바람직하다. 상기 도 1에 도시하는 1축 편심 나사 펌프에서는, 로터(20)의 양단으로부터 나사산 수(단수)가 1.5인 위치까지의 부위가 형성하는 공간은, 로터(20)의 회전 운동의 과정에서 일시적으로 개방 공간이 된다. 이 양단의 부위를 제외하고, 로터(20)의 길이 방향의 중간 부위에 마이크로파를 송신하면, 항상 폐공간을 형성하는 부위에 마이크로파를 송신하게 된다.It is preferable that the sensor unit 41 transmits the microwave to the portion where the closed space is always formed together with the outer member 30 in the rotor 20. [ That is, it is preferable that a space formed together with the outer member 30 in the rotor 20 is a microwave, except for a portion where the rotor 20 is temporarily opened in the eccentric rotational movement of the rotor 20. In the uniaxial eccentric screw pump shown in Fig. 1, the space formed by the portion from the both ends of the rotor 20 to the position where the thread number (number of stages) is 1.5 is temporarily set in the course of the rotation motion of the rotor 20 It becomes an open space. When the microwave is transmitted to the intermediate portion in the longitudinal direction of the rotor 20 except for the portions at both ends, the microwave is always transmitted to the portion forming the closed space.

로터(20)의 양단 부위에서는, 그 상류측이나 하류측의 상황에 따라 부위 내의 유체의 상태가 변화되기 쉬운 것에 반해, 로터(20)의 중간 부위에서는, 그 상류측이나 하류측의 상황에 의한 부위 내의 유체의 상태 변화가 완화되는 경향이 된다. 이 때문에, 이상 운전을 적확하게 판정할 수 있다.The state of the fluid in the region tends to change depending on the situation of the upstream side and the downstream side of the rotor 20 at both end portions thereof and the state of the upstream side and the downstream side at the intermediate portion of the rotor 20 The change in the state of the fluid in the region tends to be mitigated. Therefore, the abnormal operation can be judged accurately.

본 발명의 용적식 펌프는, 이상 운전을 정확하면서도 또한 빠르게 검출할 수 있다. 이 때문에, 이상 운전에 의한 고장을 방지할 수 있고, 그 결과, 고장 발생률의 삭감이나 가동률 향상에 크게 기여할 수 있다. 또한, 빠르게 이상을 통지할 수 있으므로, 예를 들어 용적식 펌프를 제조 라인에서의 유체 도포에 사용하는 경우에, 이상이 발생했을 때의 후속 공정의 불량률을 저감하여, 품질 향상에 기여할 수 있다.INDUSTRIAL APPLICABILITY The positive displacement pump of the present invention can detect an abnormal operation accurately and quickly. Therefore, failure due to abnormal operation can be prevented, and as a result, the failure rate can be reduced and the operation rate can be greatly improved. Further, since the abnormality can be quickly notified, for example, when the positive displacement pump is used for applying the fluid in the production line, the defective rate of the subsequent process when the abnormality occurs can be reduced and the quality can be improved.

10 : 1축 편심 나사 펌프(용적식 펌프) 11 : 케이싱
11a : 제1 개구부 11b : 제2 개구부
12 : 제1 자재 조인트 13 : 로드
14 : 제2 자재 조인트 15 : 드라이브 샤프트
16 : 모터(구동 수단) 16a : 모터의 주축
17 : 아우터 로터 케이싱 18 : 미끄럼 베어링
20 : 이너 로터(운동 부재)
30 : 스테이터(아우터 부재, 펌프실)
30a : 내주면 30b : 직선 형상부
30c : 제1 호 형상부 30d : 제2 호 형상부
30e : 타원 방향과 평행한 대칭 선
30f : 타원 방향과 수직한 대칭 선 30g : 곡선 형상부
30h : 장축 31 : 아우터 로터(아우터 부재)
40 : 이상 운전 검출 수단 41 : 센서부
42 : 판정부 43 : 신호 처리부
44 : 출력부 50 : 로터리 펌프
51 : 케이싱(펌프실) 51a : 관통 구멍
52 : 로터(운동 부재) 53 : 시일 부재
54 : 누름판 60 : 유체
10: 1 axis eccentric screw pump (positive displacement pump) 11: casing
11a: first opening portion 11b: second opening portion
12: first material joint 13: rod
14: second material joint 15: drive shaft
16: motor (driving means) 16a: motor main shaft
17: outer rotor casing 18: sliding bearing
20: inner rotor (motion member)
30: stator (outer member, pump chamber)
30a: inner peripheral surface 30b: linear portion
30c: first shape portion 30d: second shape portion
30e: Symmetrical line parallel to the ellipse direction
30f: a line of symmetry perpendicular to the direction of the ellipse 30g:
30h: Long shaft 31: Outer rotor (outer member)
40: abnormal operation detecting means 41:
42: Judgment section 43: Signal processing section
44: output section 50: rotary pump
51: casing (pump chamber) 51a: through hole
52: rotor (motion member) 53: seal member
54: presser plate 60: fluid

Claims (15)

용적식 펌프이며,
펌프실과,
상기 펌프실 내에서의 운동에 따라 유체를 이송하는 운동 부재와,
이상 운전을 검출하는 이상 운전 검출 수단을 구비하고,
상기 이상 운전 검출 수단은, 마이크로파를 상기 운동 부재를 향해서 송신함과 함께 그 반사파를 수신하는 센서부와,
상기 센서부로부터 출력되는 신호에 기초하여 이상 운전을 판정하는 판정부를 구비하고,
상기 센서부는, 정상 운전에 있어서 상기 센서부와 상기 운동 부재와의 사이에 상기 펌프실 내의 상기 유체가 개재되는 상태에서, 상기 마이크로파의 송수신을 행하도록 배치되는, 용적식 펌프.
A positive displacement pump,
A pump chamber,
A motion member for transferring the fluid in accordance with the motion in the pump chamber,
And abnormal operation detecting means for detecting abnormal operation,
Wherein the abnormal operation detecting means comprises a sensor portion for transmitting a microwave toward the moving member and for receiving the reflected wave,
And a determination unit that determines an abnormal operation based on a signal output from the sensor unit,
Wherein the sensor unit is arranged to transmit and receive the microwave in a state in which the fluid in the pump chamber intervenes between the sensor unit and the moving member in normal operation.
제1항에 있어서,
상기 판정부는, 상기 센서부로부터 출력되는 상기 신호에 기초하여, 상기 운동 부재의 운동과 함께, 상기 펌프실 내의 상기 유체의 상태를 파악하는, 용적식 펌프.
The method according to claim 1,
Wherein the determination unit grasps the state of the fluid in the pump chamber together with the motion of the motion member based on the signal output from the sensor unit.
제1항 또는 제2항에 있어서,
상기 센서부는, 상기 유체와 상기 펌프실의 계면과 수직으로 마이크로파를 조사하는, 용적식 펌프.
3. The method according to claim 1 or 2,
Wherein the sensor unit irradiates the microwave perpendicularly to the interface between the fluid and the pump chamber.
제1항 또는 제2항에 있어서,
상기 센서부는, 항상 상기 운동 부재에 상기 마이크로파를 조사하는, 용적식 펌프.
3. The method according to claim 1 or 2,
Wherein the sensor unit always irradiates the microwave to the moving member.
제1항 또는 제2항에 있어서,
상기 판정부는, 상기 이상 운전으로서 공운전 및 준공운전 중 어느 한쪽 또는 양쪽을 판정하는, 용적식 펌프.
3. The method according to claim 1 or 2,
Wherein the determination unit determines either or both of the cooperative operation and the completion operation as the abnormal operation.
제1항 또는 제2항에 있어서,
상기 판정부는, 상기 신호의 파형의 피크값이 제1 역치를 초과하는 경우에 이상 운전이라 판정하는, 용적식 펌프.
3. The method according to claim 1 or 2,
Wherein the determination section determines that the abnormal operation is performed when the peak value of the waveform of the signal exceeds the first threshold value.
제1항 또는 제2항에 있어서,
상기 판정부는, 상기 신호의 파형이 소정의 패턴과 상이한 경우에 이상 운전이라 판정하는, 용적식 펌프.
3. The method according to claim 1 or 2,
Wherein the judging section judges that the signal is abnormal when the waveform of the signal is different from a predetermined pattern.
제1항 또는 제2항에 있어서,
상기 센서부는, 도플러 방식의 센서로 이루어지는, 용적식 펌프.
3. The method according to claim 1 or 2,
Wherein the sensor unit is a Doppler type sensor.
제8항에 있어서,
상기 판정부는, 상기 신호의 파형에 포함되는 정현파의 산 및 골짜기 중 어느 한쪽 또는 양쪽의 출현 횟수를 계수하고, 소정의 시간 내에 계수된 상기 출현 횟수가 제2 역치를 초과하는 경우에 이상 운전이라 판정하는, 용적식 펌프.
9. The method of claim 8,
Wherein the judging section counts the number of occurrences of one or both of the crests and valleys of sinusoidal waves included in the waveform of the signal and judges that the abnormal operation is performed when the number of occurrences counted within a predetermined time exceeds the second threshold value A positive displacement pump.
제9항에 있어서,
상기 판정부는, 상기 신호의 강도가 제3 역치를 초과하고 나서 다시 상기 신호의 강도가 상기 제3 역치를 초과할 때까지의 동안의 상기 출현 횟수를 계수함과 함께, 상기 신호의 강도가 제4 역치를 초과하는 경우에 상기 출현 횟수를 증가시키고,
상기 제3 역치는, 상기 운동 부재가 상기 센서부에 가장 근접할 때 출력되는 상기 정현파의 상기 산 또는 상기 골짜기만을 검출하도록 설정되는, 용적식 펌프.
10. The method of claim 9,
Wherein the judging unit counts the number of times the intensity of the signal exceeds the third threshold and again until the intensity of the signal exceeds the third threshold, Increasing the number of occurrences when the threshold value is exceeded,
And the third threshold value is set to detect only the mountain or valley of the sinusoidal wave outputted when the motion member is closest to the sensor unit.
제8항에 있어서,
상기 판정부는, 소정의 시간분의 상기 신호의 파형을 적분 처리함으로써 적분값을 산출하고, 상기 적분값에 기초하여 이상 운전을 판정하는, 용적식 펌프.
9. The method of claim 8,
Wherein the determination unit calculates an integral value by integrating the waveform of the signal for a predetermined period of time and determines an abnormal operation based on the integral value.
제1항 또는 제2항에 있어서,
상기 이상 운전 검출 수단은, 상기 센서부로부터 출력되는 신호에, 고역 통과 필터, 저역 통과 필터, 전파 정류 및 증폭 중 어느 1개 이상의 처리를 실시하여, 상기 판정부에 송출하는 신호 처리부와,
상기 판정부의 판정 결과를 출력하는 출력부를 더 구비하는, 용적식 펌프.
3. The method according to claim 1 or 2,
Wherein the abnormal operation detecting means comprises: a signal processing section for performing at least one of a high-pass filter, a low-pass filter, a full-wave rectification and an amplification to a signal output from the sensor section,
And an output section for outputting a determination result of the determination section.
제1항 또는 제2항에 있어서,
상기 펌프실은, 내주면이 암 나사형으로 형성된 아우터 부재로 이루어지고,
상기 운동 부재는, 상기 아우터 부재에 대하여 상대적으로 편심 회전하는 수 나사형의 이너 부재인, 용적식 펌프.
3. The method according to claim 1 or 2,
Wherein the pump chamber comprises an outer member whose inner circumferential surface is formed in a female screw shape,
Wherein the moving member is an inner member of a screw thread type that eccentrically rotates relative to the outer member.
제13항에 있어서,
상기 아우터 부재는, 횡단면에서의 상기 내주면의 형상이 타원 형상이며,
상기 센서부는, 상기 타원 형상의 타원 방향과 평행한 대칭 선 상의 위치로부터 타원 방향을 따라서 상기 마이크로파를 송신하는, 용적식 펌프.
14. The method of claim 13,
Wherein the outer member has an elliptical shape in its inner peripheral surface in a transverse section,
Wherein the sensor unit transmits the microwave along a direction of an ellipse from a position on a symmetry line parallel to the elliptical direction of the elliptical shape.
제13항에 있어서,
상기 센서부는, 상기 이너 부재 중에서 상기 아우터 부재와 함께 항상 폐공간을 형성하는 부위에 상기 마이크로파를 송신하는, 용적식 펌프.
14. The method of claim 13,
Wherein the sensor unit transmits the microwave to a portion of the inner member that always forms a closed space together with the outer member.
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