KR101779162B1 - Method for testing an organic light emitting diode panel - Google Patents

Method for testing an organic light emitting diode panel Download PDF

Info

Publication number
KR101779162B1
KR101779162B1 KR1020100139876A KR20100139876A KR101779162B1 KR 101779162 B1 KR101779162 B1 KR 101779162B1 KR 1020100139876 A KR1020100139876 A KR 1020100139876A KR 20100139876 A KR20100139876 A KR 20100139876A KR 101779162 B1 KR101779162 B1 KR 101779162B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
light emitting
emitting diode
organic light
noise
diode panel
Prior art date
Application number
KR1020100139876A
Other languages
Korean (ko)
Other versions
KR20120077791A (en
Inventor
박성희
김규태
장도영
강필수
Original Assignee
엘지디스플레이 주식회사
고려대학교 산학협력단
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 엘지디스플레이 주식회사, 고려대학교 산학협력단 filed Critical 엘지디스플레이 주식회사
Priority to KR1020100139876A priority Critical patent/KR101779162B1/en
Publication of KR20120077791A publication Critical patent/KR20120077791A/en
Application granted granted Critical
Publication of KR101779162B1 publication Critical patent/KR101779162B1/en

Links

Images

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10KORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K71/00Manufacture or treatment specially adapted for the organic devices covered by this subclass
    • GPHYSICS
    • G09EDUCATION; CRYPTOGRAPHY; DISPLAY; ADVERTISING; SEALS
    • G09GARRANGEMENTS OR CIRCUITS FOR CONTROL OF INDICATING DEVICES USING STATIC MEANS TO PRESENT VARIABLE INFORMATION
    • G09G3/00Control arrangements or circuits, of interest only in connection with visual indicators other than cathode-ray tubes
    • G09G3/006Electronic inspection or testing of displays and display drivers, e.g. of LED or LCD displays
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10KORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K71/00Manufacture or treatment specially adapted for the organic devices covered by this subclass
    • H10K71/80Manufacture or treatment specially adapted for the organic devices covered by this subclass using temporary substrates
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10KORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K71/00Manufacture or treatment specially adapted for the organic devices covered by this subclass
    • H10K71/831Aging
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10KORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K71/00Manufacture or treatment specially adapted for the organic devices covered by this subclass
    • H10K71/861Repairing

Abstract

본 발명은 유기발광다이오드 패널의 품질을 검사하는 방법에 관한 것으로서, 증착공정을 마친 유기발광다이오드 패널에 대한 봉지 공정 수행 전 또는 그 이후에, 노이즈 측정 방법을 이용한 유기발광다이오드 패널에 대한 검사공정을 수행하여, 유기발광다이오드 패널의 품질을 검사할 수 있는, 유기발광다이오드 패널 검사 방법을 제공하는 것을 기술적 과제로 한다. 이를 위해, 본 발명에 따른 유기발광다이오드 패널 검사 방법은, 유기발광다이오드 패널의 노이즈 특성과 수명과의 상관관계에 대한 정보를 포함하는 룩업테이블을 저장하는 단계; 및 증착 공정이 수행된 유기발광다이오드 패널에 대하여 노이즈를 측정하며, 그 결과를 상기 룩업테이블과 비교하여, 상기 유기발광다이오드 패널의 불량 여부를 판단하는 단계를 포함한다.The present invention relates to a method of inspecting the quality of an organic light emitting diode panel, and more particularly, to a method of inspecting an organic light emitting diode panel using a noise measurement method, before or after an encapsulating process for an organic light emitting diode The present invention also provides an organic light emitting diode panel inspection method capable of checking the quality of an organic light emitting diode panel. To this end, a method of inspecting an organic light emitting diode panel according to the present invention includes: storing a lookup table including information on a correlation between a noise characteristic and a life span of the organic light emitting diode panel; And measuring the noise of the organic light emitting diode panel on which the deposition process has been performed and comparing the result with the lookup table to determine whether the organic light emitting diode panel is defective.

Description

유기발광다이오드 패널 검사 방법{METHOD FOR TESTING AN ORGANIC LIGHT EMITTING DIODE PANEL}TECHNICAL FIELD [0001] The present invention relates to an organic light emitting diode (OLED) panel,

본 발명은 유기발광다이오드 패널의 품질을 검사하는 방법에 관한 것이다.The present invention relates to a method for checking the quality of an organic light emitting diode panel.

최근, 음극선관(Cathode Ray Tube)의 단점인 무게와 부피를 줄일 수 있는 각종 평판 표시장치들(Flat Panel Display, FPD)이 개발되고 있다. 이러한 평판 표시장치는 액정 표시장치(Liquid Crystal Display : LCD), 전계 방출 표시장치(Field Emission Display : FED), 플라즈마 디스플레이 패널(Plasma Display Panel : PDP) 및 전계발광소자(Electroluminescence Device) 등이 있다.2. Description of the Related Art In recent years, various flat panel displays (FPDs) have been developed to reduce weight and volume, which are disadvantages of cathode ray tubes. Such flat panel display devices include a liquid crystal display (LCD), a field emission display (FED), a plasma display panel (PDP), and an electroluminescence device.

이중, 전계발광소자는 발광층의 재료에 따라 무기발광다이오드 표시장치와 유기발광다이오드 표시장치로 대별되며 특히, 유기발광다이오드 표시장치는 스스로 발광하는 자발광소자를 이용함으로써 응답속도가 빠르고 발광효율, 휘도 및 시야각이 큰 장점이 있다.In particular, the organic light emitting diode display device uses a self-luminous element which emits light by itself, and thus has a high response speed and a high luminous efficiency and luminance And a large viewing angle.

도 1은 일반적인 유기발광다이오드 표시장치의 발광원리를 설명하는 다이어그램이다.1 is a diagram for explaining the principle of light emission of a general organic light emitting diode display device.

유기발광다이오드 표시장치는 도 1에 도시된 바와 같은 유기발광다이오드(OLED)를 가진다. 유기발광다이오드는 애노드전극, 캐소드전극 및 양 전극들 사이에 형성된 유기 화합물층(HIL, HTL, EML, ETL, EIL)을 구비한다.The organic light emitting diode display has an organic light emitting diode (OLED) as shown in FIG. The organic light emitting diode includes an anode electrode, a cathode electrode, and organic compound layers (HIL, HTL, EML, ETL, EIL) formed between the electrodes.

즉, 유기발광다이오드 표시장치는 상기한 바와 같은 유기발광다이오드가 포함된 복수의 서브 픽셀들을 매트릭스 형태로 배열하고, 스캔펄스를 통해 능동소자인 TFT를 선택적으로 턴-온시켜 서브 픽셀들을 선택한 후, 선택된 서브 픽셀들의 밝기를 디지털 비디오 데이터의 계조에 따라 제어한다.That is, the organic light emitting diode display device arranges a plurality of subpixels including the organic light emitting diode as described above in a matrix form, selects the subpixels by selectively turning on the TFT as the active device through the scan pulse, And controls the brightness of the selected subpixels according to the gradation of the digital video data.

한편, 상기한 바와 같은 유기발광다이오드로 구성된 OLED 패널은 제작 과정 중 전극 표면의 변화, 박막들의 두께 및 도핑량 변화에 따라 소자의 특성이 다르게 나타나게 되며 이는 Current density-Voltage-Light(이하, 간단히 'JVL'이라 함) 특성 변화로 반영된다. 따라서, 종래에는 유기발광다이오드 표시장치의 양산과정 중, JVL 특성 변화를 이용하여 OLED 패널에 대한 소자평가공정을 수행하였다.In the OLED panel having the above-described organic light emitting diode, the characteristics of the OLED panel are different according to the change of the electrode surface, the thickness of the thin films, and the doping amount during the fabrication process. This is because the current density- JVL ') characteristics. Therefore, in the past, during the mass production process of the organic light emitting diode display device, the device evaluation process for the OLED panel was performed using the JVL characteristic change.

그러나, JVL의 특성 변화가 매우 작을 경우에는, JVL 특성 변화를 이용하여 OLED 패널의 정상동작 여부를 평가하는 것이 어려우며, 특히, 사용되는 유기물이 불순물을 함유하고 있거나, 증기압이 매우 낮은 불순물에 의해 진공 챔버가 오염되어 있을 경우는, JVL의 큰 변화 없이도 수명의 급격한 감소가 발생한다. 따라서, 양산 공정이 진행되고 있는 OLED 패널의 품질관리항목으로 JVL 측정과 더불어 수명 측정이 병행되어야 한다. However, when the characteristics of the JVL are very small, it is difficult to evaluate the normal operation of the OLED panel using the change in the JVL characteristics. Especially, when the organic material used contains impurities or has a very low vapor pressure, If the chamber is contaminated, a drastic reduction in service life occurs without significant changes in JVL. Therefore, quality control items of OLED panels under mass production process should be combined with JVL measurement and life measurement.

그러나, 현재 사용되는 수명 측정법은 측정시간이 상당히 오래 걸리기 때문에(보통 수시간에서 수백 시간이 소요됨), 큰 업무부담이 되며, 양산 공정 중 빠른 대응(Feedback)이 불가능하여 큰 문제가 되고 있다. However, the present lifetime measuring method takes a considerable time (usually several hours to several hundred hours) because of the long measuring time, which is a great problem because it is impossible to quickly respond to feedback during the mass production process.

즉, OLED의 음극과 양극 사이의 전체 유기막 두께는 일반적으로 1000 ~ 2000Å로 매우 얇고 발광에 참여하는 Dopant도 200~400Å 두께의 발광층에 약 1~10wt% 정도만이 도핑되어 있으므로 증착 공정 중에 발생할 수 있는 불순물의 함침은 실제 소자의 수명에 크게 영향을 미칠 수 있다. 이러한 현상은 보통 JVL특성으로는 나타나지가 않으며 제작된 시편의 수명을 측정해야 하는데, 이러한 수명의 측정은 초기 밝기에 따라 보통 수시간에서 수백 시간이 소요된다는 문제점을 가지고 있다. That is, the total organic film thickness between the anode and the cathode of the OLED is generally as thin as 1000 to 2000 Å, and the dopant participating in luminescence is doped to only about 1 to 10 wt% in the light emitting layer having a thickness of 200 to 400 Å. Impregnation of impurities can significantly affect the lifetime of the actual device. This phenomenon does not usually appear as a JVL characteristic, and it is necessary to measure the lifetime of the manufactured specimen. However, this lifetime measurement usually takes several hours to several hundred hours depending on the initial brightness.

또한, 증착 공정 중의 박막 두께의 변화는 사용하는 진동자의 주파수(Frequency) 변화에 따라 미세하게 변화될 수 있으며, 플라즈마를 이용하는 ITO의 표면 처리 조건도 조금씩 변화가 일어나게 되는데 이러한 변화는 소자의 JVL특성에 변화를 가져올 수도 있다. 따라서, 이러한 물리적인 변화량들을 양산 공정 중에 실시간으로 측정하는 일은 매우 어려운 일이다.In addition, the change in the thickness of the thin film during the deposition process can be finely changed according to the frequency of the oscillator used, and the surface treatment conditions of the ITO using the plasma are also slightly changed. It can also lead to change. Therefore, it is very difficult to measure these physical changes in real time during the mass production process.

본 발명은 상술한 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 증착공정을 마친 유기발광다이오드 패널에 대한 봉지 공정 수행 전 또는 그 이후에, 노이즈 측정 방법을 이용한 유기발광다이오드 패널에 대한 검사공정을 수행하여, 유기발광다이오드 패널의 품질을 검사할 수 있는, 유기발광다이오드 패널 검사 방법을 제공하는 것을 기술적 과제로 한다. SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the above problems and it is an object of the present invention to provide a method of inspecting an organic light emitting diode panel using a noise measurement method before or after an encapsulating process for an organic light emitting diode panel, The present invention provides an organic light emitting diode panel inspection method capable of inspecting the quality of a diode panel.

상술한 기술적 과제를 달성하기 위한 본 발명에 따른 유기발광다이오드 패널 검사 방법은, 유기발광다이오드 패널의 노이즈 특성과 수명과의 상관관계에 대한 정보를 포함하는 룩업테이블을 저장하는 단계; 및 증착 공정이 수행된 유기발광다이오드 패널에 대하여 노이즈를 측정하며, 그 결과를 상기 룩업테이블과 비교하여, 상기 유기발광다이오드 패널의 불량 여부를 판단하는 단계를 포함한다.According to another aspect of the present invention, there is provided a method of inspecting an organic light emitting diode panel, comprising: storing a lookup table including information on a correlation between noise characteristics and lifetime of the organic light emitting diode panel; And measuring the noise of the organic light emitting diode panel on which the deposition process has been performed and comparing the result with the lookup table to determine whether the organic light emitting diode panel is defective.

상술한 해결 수단에 따라 본 발명은 다음과 같은 효과를 제공한다. According to the above-mentioned solution, the present invention provides the following effects.

즉, 본 발명은 증착공정을 마친 유기발광다이오드 패널에 대한 봉지 공정 수행 전 또는 그 후에, 노이즈 측정 방법을 이용한 유기발광다이오드 패널에 대한 검사공정을 수행하여, 유기발광다이오드 패널의 품질을 검사함으로써, OLED 패널의 품질을 실시간 모니터링 할 수 있으며, 이로 인해, 양산 공정 및 양산품 관리를 신속하게 처리하여 안정된 OLED 패널을 공급할 수 있다는 효과를 제공한다.That is, according to the present invention, an inspection process of the organic light emitting diode panel using the noise measurement method is performed before or after the sealing process of the organic light emitting diode panel after the deposition process, and the quality of the organic light emitting diode panel is inspected, It is possible to monitor the quality of the OLED panel in real time, thereby providing a stable OLED panel by rapidly processing the mass production process and mass production management.

또한, 본 발명은 OLED 패널의 품질저하(degradation) 원인을 분석하는 용도로 활용될 수도 있다. Further, the present invention may be utilized for analyzing the cause of the degradation of the OLED panel.

도 1은 일반적인 유기발광다이오드 표시장치의 발광원리를 설명하는 다이어그램.
도 2는 본 발명에 따른 유기발광다이오드 패널 검사 방법이 적용되는 유기발광다이오드 패널의 제조 라인의 일실시예 구성도.
도 3은 본 발명에 따른 유기발광다이오드 패널 검사 방법이 적용되는 유기발광다이오드 패널의 제조 방법의 일실시예 흐름도.
도 4는 본 발명에 따른 유기발광다이오드 패널 검사 방법이 적용되는 유기발광다이오드 패널을 나타낸 일예시도.
도 5는 본 발명에 따른 유기발광다이오드 패널 검사 방법에 적용되는 N-F 특성 변화 분석을 위한 일실시예 회로도.
도 6 내지 도 10은 본 발명에 따른 유기발광다이오드 패널 검사 방법에 의해 유기발광다이오드 패널의 각 색상별로 수명 특성을 검사한 결과를 나타낸 예시도.
BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS FIG. 1 is a diagram for explaining the principle of light emission of a general organic light emitting diode display device. FIG.
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention [0001] The present invention relates to an organic light emitting diode (OLED) panel.
FIG. 3 is a flowchart illustrating a method of manufacturing an organic light emitting diode panel to which the organic light emitting diode panel inspection method according to the present invention is applied.
4 is a view illustrating an organic light emitting diode panel to which the organic light emitting diode panel inspection method according to the present invention is applied.
5 is a circuit diagram for analyzing NF characteristic change applied to the organic light emitting diode panel inspection method according to the present invention.
FIGS. 6 to 10 are diagrams illustrating the results of examining lifetime characteristics of each color of the organic light emitting diode panel by the organic light emitting diode panel inspection method according to the present invention. FIG.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시 예에 대해 상세히 설명한다. Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 2는 본 발명에 따른 유기발광다이오드 패널 검사 방법이 적용되는 유기발광다이오드 패널의 제조 라인의 일실시예 구성도이다. 또한, 도 3은 본 발명에 따른 유기발광다이오드 패널 검사 방법이 적용되는 유기발광다이오드 패널의 제조 방법의 일실시예 흐름도이다. 또한, 도 4는 본 발명에 따른 유기발광다이오드 패널 검사 방법이 적용되는 유기발광다이오드 패널을 나타낸 일예시도이다. 또한, 도 5는 본 발명에 따른 유기발광다이오드 패널 검사 방법에 적용되는 N-F 특성 변화 분석을 위한 일실시예 회로도이다. 2 is a block diagram of a manufacturing line of an organic light emitting diode panel to which an organic light emitting diode panel inspection method according to the present invention is applied. 3 is a flowchart illustrating a method of manufacturing an organic light emitting diode (OLED) panel according to an exemplary embodiment of the present invention. Referring to FIG. 4 is a view illustrating an organic light emitting diode panel to which the organic light emitting diode panel inspection method according to the present invention is applied. 5 is a circuit diagram for analyzing N-F characteristic change applied to the organic light emitting diode panel inspection method according to the present invention.

유기발광다이오드(ORGANIC LIGHT EMITTING DIODE)(이하, 간단히 'OLED'라 함)는 전하가 이동함에 있어 주파수(Frequency)에 따라 특정한 노이즈 레벨(Noise Level) 즉, 노이즈 파워 스펙트럼 밀도(Noise Power Spectral Density) 분포를 보이며, 이는 OLED 내부의 여러 원인에 따라 민감하게 변하므로, 본 발명은 이러한 노이즈와 주파수의 상관관계를 이용하여, 유기발광다이오드 패널을 검사하는 방법(이하, 간단히 '노이즈 측정 방법'이라 함)에 관한 것이다. 한편, 이하에서는 설명의 편의상 OLED 패널이 검사 대상으로 설명되나, 구체적으로는 OLED 소자 하나를 말하며, 보다 구체적으로는 도 4에 도시된 테스트 OLED(200)가 검사 대상이 된다. 즉, 노이즈 측정 방법은 샘플로 추출된 OLED에 대하여 수행되는 것으로서, 그러한 샘플이 복수 개가 있다면, 결국 OLED 패널 전체에 대하여 노이즈 측정 방법이 이루어졌다고 볼 수 있는 것이다. An organic light emitting diode (hereinafter, simply referred to as 'OLED') has a specific noise level, that is, a noise power spectral density, in accordance with a frequency, The present invention relates to a method of inspecting an organic light emitting diode panel using a correlation between noise and frequency (hereinafter, simply referred to as a 'noise measurement method'). ). Hereinafter, an OLED panel will be described as an object of inspection for the sake of convenience of description, but specifically, it means one OLED element. More specifically, the test OLED 200 shown in FIG. That is, the noise measurement method is performed on the OLED extracted as the sample. If there are a plurality of such samples, the noise measurement method is performed for the entire OLED panel.

OLED는 두 개의 전극 사이에 유기발광재료를 삽입하고 각 전극에 전압을 인가하면, 양극과 음극에서 주입된 정공(Hole)과 전자(Electron)가 전하 수송층을 지나 발광층에서 여기자(exciton)를 형성하고, 이후 재결합 과정을 통해 스스로 빛을 내는 자발광 소자이다. 이때, 발광층에 사용되는 유기물질에 따라 적색(Red), 녹색(Green), 청색(Blue)의 빛을 내어 컬러필터(Color Filter) 없이도 풀컬러(Full Color) 구현을 가능하게 한다.In the OLED, when an organic light emitting material is inserted between two electrodes and a voltage is applied to each electrode, holes and electrons injected from the anode and the cathode form an exciton in the light emitting layer through the charge transport layer , And then self-emit light by self-recombination process. At this time, depending on the organic material used in the light emitting layer, red, green, and blue light can be emitted to realize a full color without a color filter.

이러한 OLED는, 200nm 이내의 얇은 유기 박막으로 형성되고, 사용되는 전극의 구성에 따라 단일 방향 또는 양방향의 초박형 디스플레이 구현이 가능하다. Such an OLED is formed of a thin organic thin film within 200 nm, and it is possible to realize a monolithic or bidirectional ultra thin display depending on the configuration of the electrode used.

또한, 응답속도가 LCD에 비해 1000배 이상 빠르며, 넓은 시야각과 잔상이 남지 않는다는 특징을 가지고 있어 많은 연구가 활발히 진행되고 있다. In addition, since the response speed is 1000 times faster than that of the LCD, and a wide viewing angle and afterimage are left, many studies are being actively conducted.

특히, 인광 재료의 개발과 전하 이동도가 높은 물질들의 개발을 통하여 소비전력이 급격히 낮아지고 있어, OLED를 이용한 유기발광다이오드 표시장치는 액정표시장치(LCD)를 대체할 차세대 디스플레이로서 많은 관심의 대상이 되고 있으며, 실제 모바일(Mobile)용 소형 디스플레이에서는 이미 많은 LCD를 대체하고 있는 중이다.
Particularly, the development of phosphorescent materials and the development of materials with high charge mobility have drastically lowered the power consumption, and organic light emitting diode (OLED) display devices using OLEDs are the next generation displays to replace liquid crystal displays And it is already replacing many LCDs in small displays for mobile.

이하에서는, 도 2 내지 5를 참조하여 본 발명에 따른 유기발광다이오드 패널 검사 방법이 상세히 설명된다.Hereinafter, an organic light emitting diode panel inspection method according to the present invention will be described in detail with reference to FIGS.

유기발광다이오드 패널을 양산하기 위한 제조 라인의 양산 장비들은, 도 2에 도시된 바와 같이, 크게 기판전처리 Unit, 복수개의 증착(Evaporation) Unit 및 봉지(Encapsulation) Unit으로 구성되며, 각 유닛 사이에는 버퍼 챔버(Buffer chamber)를 두어 다음 공정을 위한 기판이 대기하도록 구성되어 있다. As shown in FIG. 2, the mass production equipments of the production line for mass production of the organic light emitting diode panel are roughly composed of a substrate preprocessing unit, a plurality of evaporation units and an encapsulation unit, A buffer chamber is provided to allow the substrate for the next process to wait.

우선, 유기발광다이오드 패널을 제작하기 위해서는 기판전처리 유닛을 통해 기판전처리 공정이 수행된다(302).First, in order to manufacture an organic light emitting diode panel, a substrate pretreatment process is performed through a substrate pretreatment unit (302).

즉, 투명기판 위에 양극 물질을 입힌다. 양극 물질로는 흔히 ITO(indium tin oxide)가 널리 사용되고 있다. 일반적으로 양극물질의 표면 개질을 위해 UV-오존세정이나 O2 , N2 , Ar 가스 Plasma treatment가 실시된다. 이는 용매처리로 제거되지 않은 ITO 표면층의 유기물을 분해하여 세정하는 역할을 할 뿐만 아니라 일함수를 크게 하여 ITO로부터 유기층으로 정공 주입 장벽을 낮추어 주는 역할을 한다.That is, the transparent substrate is coated with a positive electrode material. Indium tin oxide (ITO) is widely used as an anode material. In general, UV-ozone cleaning, O 2 , N 2 , and Ar gas plasma treatment are performed for the surface modification of the cathode material. This not only decomposes and cleans organic materials in the ITO surface layer that have not been removed by the solvent treatment, but also functions to lower the hole injection barrier from ITO to the organic layer by increasing the work function.

상기와 같이 준비된 기판은 증착유닛에 투입되어 증착공정이 수행된다(304). 즉, 전처리공정을 마친 기판 위에 정공주입층(HIL : Hole Injection Layer)을 증착한다. The substrate prepared as described above is put into a deposition unit and a deposition process is performed (304). That is, a HIL (Hole Injection Layer) is deposited on the substrate after the pretreatment process.

정공주입층으로는 주로 구리프탈로시아닌(copperphthalocyanine (CuPc))이 10nm ~ 30nm 정도 증착된다.As the hole injection layer, copper phthalocyanine (CuPc) is mainly deposited to a thickness of about 10 nm to 30 nm.

이후 정공수송층(HTL : Hole Transport Layer)을 증착한다. 정공수송층으로는 4,4'-비스[N-(1-나프틸)-N-펜틸아미노]바이페닐(4,4'-bis[N-(1-naphthyl)-N-henthylamino]-biphenyl, NPB)이 30nm 내지 100nm 정도 증착된다.Then, a hole transport layer (HTL) is deposited. As the hole transport layer, 4,4'-bis [N- (1-naphthyl) -N-pentylamino] biphenyl (4,4'- NPB) is deposited to a thickness of about 30 nm to 100 nm.

그 위에 발광층(EML : Emission Layer)이 형성된다. 이때, 불순물(Dopant)로 사용되는 유기물에 따라 적색(Red), 녹색(Green), 청색(Blue)을 띠게 된다. Alq3(8-droxyquinolatealuminum)에 MQD(N-Methylquinacridone) 1 내지 3wt% 도핑한 것은 녹색 발광층의 한 예이다.And an emission layer (EML) is formed thereon. At this time, depending on the organic material used as the dopant, red, green, and blue are formed. Alq 3 (8-hydroxyquinolatealuminum) doped with 1 to 3 wt% of MQD (N-methylquinacridone) is an example of a green light emitting layer.

그 다음, 전자수송층(ETL : Electron Transport Layer) 및 전자주입층(EI L : Electron Injection Layer)이 연속적으로 증착된다.Then, an electron transport layer (ETL) and an electron injection layer (EIL) are continuously deposited.

그 다음, Al과 같은 금속(metal)을 증착하여 음극(Cathode)을 만든다.Next, a metal such as Al is deposited to form a cathode.

다음으로, 봉지유닛에서 봉지(Encapsulation) 공정을 거쳐 유기발광다이오드 표시장치의 OLED 패널이 완성된다(306). 이때, 완성된 OLED 패널은 도 4에 도시된 바와 같이, 영상이 표시되는 표시영역(140)과 영상이 표시되지 않는 비표시영역(130)으로 구분된다.Next, an encapsulation process is performed in the encapsulation unit to complete the OLED panel of the organic light emitting diode display device (306). At this time, the completed OLED panel is divided into a display area 140 in which an image is displayed and a non-display area 130 in which no image is displayed, as shown in FIG.

즉, OLED 패널은 복수의 유기발광다이오드(100)가 형성되어 있는 하부기판(110)이 상부기판(120)과 함께 봉지처리되어 형성되는 것으로서, 표시영역(140)은 이러한 유기발광다이오드가 형성되어 있는 영역을 말한다.That is, the OLED panel is formed by sealing the lower substrate 110 with the plurality of organic light emitting diodes 100 sealed together with the upper substrate 120, and the organic light emitting diode is formed in the display region 140 It is an area.

한편, 비표시영역(130)은 데이터 드라이버 IC 또는 게이트 드라이버 IC들과 OLED 패널이 전기적으로 연결될 수 있도록 복수의 패드(미도시)들이 형성되어 있다.The non-display area 130 is formed with a plurality of pads (not shown) so that the data driver IC or the gate driver ICs can be electrically connected to the OLED panel.

또한, 비표시영역(130)에는 표시영역에 형성되어 있는 OLED와 동일한 공정을 통해 형성된 테스트용 OLED(200)가 적어도 두 개 이상 형성되어 있다. 이러한 테스트용 OLED는 표시영역에 형성되어 있는 OLED의 특성을 검사하기 위한 테스트용으로 형성된 것으로서, 표시영역에 형성된 OLED와 동일한 공정을 통해 형성된 것이다. 한편, 이러한 테스트용 OLED는 본 발명에 따른 검사 공정 이외에도, OLED 패널의 특성 검사를 위한 다양한 검사 공정에서 이용될 수 있다.At least two test OLEDs 200 formed through the same process as the OLEDs formed in the display region are formed in the non-display region 130. Such a test OLED is formed for the test for inspecting the characteristics of the OLED formed in the display region and formed through the same process as the OLED formed in the display region. In addition to the inspection process according to the present invention, such a test OLED can be used in various inspection processes for inspection of characteristics of an OLED panel.

즉, 상기한 바와 같은 공정들(302 내지 306)을 통해 제작된 OLED 패널은 검사유닛을 통해 검사공정이 수행된다. 이러한 검사공정은 상기한 바와 같은 노이즈 측정 방법을 통해 이루어진다. That is, the inspection process is performed through the inspection unit of the OLED panel fabricated through the processes 302 to 306 as described above. This inspection process is performed by the noise measurement method as described above.

그러나, 노이즈 측정 방법(검사공정)은, 반드시 봉지(encapsulation) 공정(306)을 마치기 전에 수행되어야 하는 것은 아니며, 봉지 공정 이후에도 수행될 수 있다. 즉, 노이즈 측정 방법은, 봉지(encapsulation) 공정(306)을 마치기 전 또는 이후에, OLED 패널에 대하여 간단하게 노이즈(N-F)를 측정함으로써, 실시간으로 제작되고 있는 적층된 소자 구조의 이상 유무를 모니터링할 수 있다.However, the noise measurement method (inspection process) is not necessarily performed before the encapsulation process 306 is completed, but may be performed after the sealing process. That is, the noise measurement method monitors the presence or absence of a stacked device structure being fabricated in real time by simply measuring the noise (NF) with respect to the OLED panel before or after the encapsulation process 306 is completed can do.

따라서, 노이즈 측정 방법(검사공정)은 OLED 패널 제작 후, 봉지 과정 이전 또는 이후, 스크라이빙 & 브레이킹(Scribing & Breaking) 공정 이전 또는 이후에 수행될 수 있다.Therefore, the noise measurement method (inspection process) can be performed before or after the OLED panel fabrication, before or after the sealing process, or after the scribing & breaking process.

한편, 이하에서 설명될 검사공정에서 검사될 수 있는 OLED 패널의 이상은 다음과 같은 것들이 있을 수 있다. 즉, OLED 패널의 이상 발생은 주로 기판에서 오는 경우와 증착 공정 중에 발생하는 경우로 나눌 수 있다. On the other hand, the anomaly of the OLED panel that can be inspected in the inspection process to be described below may be as follows. That is, the occurrence of an anomaly in an OLED panel can be divided into a case of coming from a substrate and a case occurring during a deposition process.

우선, 기판에서 오는 경우는 증착 전 ITO의 표면에 이 물질이 있거나 ITO의 표면 거칠기가 클 경우, 이러한 이물질이 누설 전류 소스(Leakage current source)로 작용하여 소자의 효율 및 수명에 영향을 미치게 되고, ITO 표면 처리 조건의 변화 또한 ITO의 일함수(Work function)의 변화를 일으킴으로 OLED 패널의 특성에 영향을 미친다. First, in the case of coming from the substrate, when the material exists on the surface of the ITO before the deposition or when the surface roughness of the ITO is large, the foreign material acts as a leakage current source, which affects the efficiency and lifetime of the device, Changes in the ITO surface treatment conditions also affect the properties of the OLED panel by causing changes in the work function of ITO.

반면, 증착 공정 중에 발생할 수 있는 문제는, 주로 불순물의 함침으로 유기물 자체에 불순물이 처음부터 포함되어 있는 경우, 유기물의 연속 증착 과정 중 소스(Source) 내부의 유기물 잔량이 감소함에 따라 일정 속도를 맞추기 위하여 소스(Source) 온도를 높일 경우, 유기물 분해에 의해 발생하는 경우, 그리고 증착 챔버 내부의 오염에 의한 경우가 있을 수 있다. On the other hand, a problem that may arise during the deposition process is that if the impurities are initially contained in the organic material by mainly impurity impregnation, the organic material remains in the source during the continuous deposition process of the organic material, May be caused by increased source temperature, by organic decomposition, and by contamination inside the deposition chamber.

OLED의 음극과 양극 사이의 전체 유기막 두께는 일반적으로 1000~2000Å로 매우 얇고 발광에 참여하는 불순물(Dopant)도 200~400Å 두께의 발광층에 약 1~10wt% 정도만이 도핑되어 있으므로 발광층 주위에 이러한 불순물의 존재는 비록 그 양이 매우 작다 할지라도 발광 안정성에 큰 영향을 미치게 된다. The total organic film thickness between the anode and the cathode of the OLED is generally as thin as 1000 to 2000 Å and dopants participating in luminescence are doped to only about 1 to 10 wt% in the light emitting layer having a thickness of 200 to 400 Å. The presence of impurities has a significant effect on the luminescence stability, even if the amount is very small.

불순물 이외에도 소자특성에 영향을 미치는 인자로는, 각 유기막층의 두께 변화가 있으나 보통 소자 제작 이전에 각 유기막 층에서 각각 단일 유기막을 증착하여 두께를 측정한 후 미리 보정하고, 증착 과정 중에 진동자를 통하여 계속적으로 두께를 모니터링함으로 큰 문제가 되지는 않는다. In addition to the impurities, there are variations in the thickness of each organic film layer, but usually a single organic film is deposited on each organic film layer before the device is fabricated, the thickness is measured and corrected in advance, It is not a big problem to monitor the thickness continuously.

그러나, 진동자에 유기물이 증착됨에 따라 주파수가 변화함으로 발생하는 미세한 두께 변화가 발생할 수는 있다. 반면, 대면적 패널의 경우는 기판의 중심부와 에지(Edge)의 OLED 소자 특성이 조금씩 다르게 나타나는 데 이는 유기막의 두께 유니포머티(Uniformity)에서 오는 경우가 대부분으로, 소스(Source) 부위를 잘 설계하여 전체적으로 유니폼(uniform)한 박막을 얻도록 하고 있다. However, as the organic material is deposited on the vibrator, a minute thickness change may occur due to the frequency change. On the other hand, in the case of a large-area panel, the characteristics of the OLED device at the center and the edge of the substrate are slightly different from each other. This is because most of the organic film comes from the uniformity of the organic film, Thereby obtaining a uniform thin film as a whole.

주로 두께 보정을 하는 데 있어서는 AFM(Atomic Force Microscopy), α-step, 엘립소미트리(ellipsometry) 등이 사용되며 SEM(Scanning Electron Microscope)을 사용하기도 한다.AFM (Atomic Force Microscopy), α-step, ellipsometry, etc. are mainly used for thickness correction and SEM (Scanning Electron Microscope) is also used.

한편, 본 발명은 상기한 바와 같은 검사공정(308) 중에 노이즈(N-F) 측정 방법을 이용하여 OLED 패널의 품질을 검사하고 있다는 특징을 가지고 있다. Meanwhile, the present invention is characterized in that the quality of the OLED panel is inspected using the noise (N-F) measurement method during the inspection step 308 as described above.

즉, 노이즈(N-F) 측정 방법은, OLED 패널이 표면 및 계면의 디펙트 사이트(Defect sites), Non-uniformity, Velocity Fluctuation 등에 대단히 민감하기 때문에 도입된 것으로서, 소자의 내부 메커니즘을 연구할 수 있는 매우 민감한 방법(Sensitive method) 이다.That is, the method of measuring the noise (NF) is introduced because the OLED panel is very sensitive to the defect sites, non-uniformity, and velocity fluctuation of the surface and the interface, and it is very possible to study the internal mechanism of the device It is a sensitive method.

본 발명에 적용되는 노이즈(N-F) 측정 방법은, 측정용 소자(테스트 OLED(200))에 정전류(또는 정전압)를 인가하여, 시간에 따른 전류의 변화량을 측정한다. 이후, 측정을 통해 얻어진 시간에 관한 함수(전류의 변화량)는, 푸리에 변환(Fourier transform)을 통해 주파수에 관한 함수로 표현된다. 이때 Noise Level, 즉, The noise power spectral density는 아래의 [수학식 1]과 같이 표현되며 각 부분의 의미는 다음과 같다.In the noise (N-F) measuring method applied to the present invention, a constant current (or a constant voltage) is applied to a measuring device (test OLED 200) to measure a change amount of current with time. Then, a function (change amount of current) about the time obtained through the measurement is expressed as a function relating to frequency through a Fourier transform. At this time, the noise level, i.e., the noise power spectral density, is expressed by Equation (1) below, and the meaning of each portion is as follows.

Figure 112010087926973-pat00001
Figure 112010087926973-pat00001

[수학식 1]에서 1/f Gaussian noise는 소자의 bulk 특성을 나타낸다. 이는 전하의 mobility와 관련이 있으며 Degradation이 진행됨에 따라 물질 내부적으로 증가하는 결함 등으로 인해 Scattering이 발생하고, 이는 전하 흐름에 보다 많은 fluctuation을 유도하여 소자 수명에 영향을 미치게 된다.In Equation (1), 1 / f Gaussian noise represents the bulk characteristic of the device. This is related to the mobility of the charge. Scattering occurs due to defects that increase internally as the degradation progresses. This causes more fluctuation in the charge flow and affects the lifetime of the device.

또한, Excessive frequency noise는 소자 내부 전하 개수(Carrier numbers)의 변화와 관련되어 진다. 이는 계면의 붕괴(deterioration), 트랩의 Generation & Furnish, 표면 및 계면의 결함(Defects) 등으로부터 기인한다. 이 노이즈는 소자에 스트레스를 가함에 따라 더 빠르게 증가한다.Excessive frequency noise is also related to changes in carrier numbers. This is due to deterioration of the interface, Generation & Furnish of the trap, defects of the surface and interface, and the like. This noise increases more rapidly as the device is stressed.

이와 같은 노이즈는 일반적으로 그 형태 및 특성에 따라 화이트 노이즈(White noise), 핑크 노이즈(Pink noise), 레드 노이즈(Red noise)(Brownian noise), 서멀 노이즈(Thermal noise), 샷노이즈(Shot noise) 등으로 구별한다.Generally, such noise may include a white noise, a pink noise, a red noise, a brown noise, a thermal noise, a shot noise, .

즉, 노이즈 측정 방법은, OLED에 전하가 이동함에 있어 내부의 미세한 변화에도 N-F(Noise Power Spectral Density-Frequency) 특성 변화가 나타남을 이용하여 N-F를 OLED 패널의 특성 평가 수단으로 사용하고 있는 것이다.
That is, in the noise measurement method, NF is used as a characteristic evaluation means of the OLED panel by using the fact that the charge is moved to the OLED and the NF (Noise Power Spectral Density-Frequency) characteristic changes even in the minute change inside.

상기한 바와 같은 노이즈 측정 방법을 보다 구체적으로 설명하면 다음과 같다. 즉, 노이즈 측정 방법을 이용하여 OLED 패널의 품질을 검사하기 위해서는, 우선, 품질 검사에 이용될 N-F 특성에 대한 룩업테이블을 생성하여 확보하고 있어야 한다. The noise measuring method as described above will be described in more detail as follows. That is, in order to check the quality of the OLED panel using the noise measurement method, a look-up table for the N-F characteristic to be used for the quality inspection must first be generated and secured.

따라서, 봉지 공정의 전 또는 후에, 증착 챔버의 진공도와 유기물의 상태가 모두 안정화된 상태에서 효율 및 수명에 있어 제품에 요구되어지는 소자 구조를 확보한다. 즉, 룩업테이블 생성을 위해 테스트될 양질의 OLED가 형성된 OLED 패널을 확보한다.Therefore, the device structure required for the product in terms of efficiency and lifetime is secured in a state where both the vacuum degree of the deposition chamber and the state of the organic material are stabilized before or after the sealing process. That is, an OLED panel in which a high-quality OLED is formed to be tested for generation of a look-up table is obtained.

상기에서 확보된 OLED 패널(또는 OLED)에 대한, 플라즈마(Plasma) 표면 처리시 가스 유량, 처리 시간, 인가 전력에 따른 N-F 특성 변화 경향성에 대한 라이브러리(Library)를 확보한다.A library for the N-F characteristic variation tendency according to the gas flow rate, the processing time, and the applied power at the time of the plasma surface treatment for the OLED panel (or OLED)

또한, 상기에서 확보된 OLED 패널에 있어서, 각각 층의 두께를 조금씩 변화시켜 각 층들의 두께 변화에 따른 N-F 특성 변화 경향성에 대한 라이브러리를 확보한다. Further, in the OLED panel obtained above, the thickness of each layer is slightly changed to secure a library for the N-F characteristic change tendency according to the thickness variation of each layer.

또한, 상기에서 확보된 OLED 패널에 있어서, 발광층의 도핑량 변화에 따른 N-F 특성 변화 경향성에 대한 라이브러리를 확보한다. Further, in the OLED panel obtained above, a library for the N-F characteristic change tendency according to the doping amount change of the light emitting layer is secured.

또한, 상기 과정들을 통하여 허용되는 N-F 값에 대한 기준을 확정한다. Also, a criterion for the allowable N-F value is determined through the above processes.

즉, 본 발명은 N-F 특성을 통해, 양산 과정 중의 OLED 패널의 품질을 검사하기 위한 것으로서, 양산 과정 중의 OLED 패널과 비교될 수 있는 이상적인 상태의 OLED 패널을 확보한 후, 그에 대한 다양한 조건에서의 기준값들을 룩업테이블로 저장한다.That is, the present invention is to inspect the quality of the OLED panel during the mass production process through the NF characteristic. After securing the OLED panel in an ideal state that can be compared with the OLED panel during the mass production process, Are stored in a look-up table.

이후, 실제의 양산 과정에서, 상기한 바와 같은 공정(302 내지 306)들을 거친 OLED 패널에 대하여 이루어진 노이즈 측정 결과를, 상기에서 저장되어 있는 룩업테이블과 비교함으로써, 양산 과정 중의 OLED 패널에 대하여 품질 검사를 모니터링할 수 있다. 이때, 노이즈 측정 방법은 매우 짧은 시간 안에 이루어질 수 있기 때문에, 전체 OLED 패널 제조 공정의 택타임(Tack time)에 영향을 주지 않는다.Thereafter, in the actual mass production process, by comparing the noise measurement result made with respect to the OLED panel through the processes 302 to 306 as described above with the lookup table stored in the above, the quality inspection Can be monitored. At this time, since the noise measurement method can be performed in a very short time, it does not affect the tack time of the entire OLED panel manufacturing process.

즉, 상기한 바와 같은 노이즈 측정 방법은, 검사 유닛으로 양산 과정 중의 OLED 패널이 입고되면, 입고된 OLED 패널에 대하여 N-F 측정이 이루어지며, 검사 유닛은 측정된 N-F 결과와 룩업테이블에 저장되어 있는 데이터들을 비교하여, 측정된 값들이 기 설정된 기준값을 넘었을 경우에는 이를 불량으로 판단할 수 있다. 불량으로 판단된 OLED 패널이 발생되면, 관리자 또는 검사 유닛은 OLED 패널의 제조 공정을 중지하고 그에 따른 조치를 수행함으로써, OLED 패널의 불량 발생을 실시간 또는 미연에 방지할 수 있다. That is, in the noise measuring method as described above, when the OLED panel is in mass production in the inspection unit, the NF measurement is performed on the incoming OLED panel, and the inspection unit compares the measured NF result and the data stored in the lookup table If the measured values exceed the predetermined reference value, it can be judged to be defective. When an OLED panel judged to be defective is generated, the manager or the inspection unit stops the manufacturing process of the OLED panel and performs the action accordingly, thereby preventing the occurrence of defect of the OLED panel in real time or in advance.

한편, OLED 패널의 N-F 특성은 박막의 두께뿐만 아니라 사용되는 물질이 변화하게 되어도 크게 변하므로, 노이즈 측정 방법이 새로운 OLED 패널에 적용되기 위해서는, 상기한 바와 같은 룩업테이블 생성을 위한 과정들이 반복적으로 수행되어 해당 OLED 패널에 적합한 룩업테이블이 생성되어 있어야 한다.
Meanwhile, in order to apply the noise measurement method to a new OLED panel, the NF characteristics of the OLED panel are repeatedly changed as the thickness of the thin film is changed, And a lookup table suitable for the OLED panel should be created.

즉, 본 발명은 OLED 소자를 전하가 이동함에 있어 내부의 미세한 변화에도 N-F(Noise Power Spectral Density-Frequency) 특성 변화가 나타남을 이용하여 N-F 를 OLED 소자의 특성 평가 수단으로 사용하고자 하는 것으로서, 노이즈 측정 방법의 수행 전 점검 사항 및 노이즈 측정 절차는 다음과 같다.That is, the present invention uses NF as a characteristic evaluation means of an OLED device by using a change in NF (Noise Power Spectral Density-Frequency) characteristic even in a minute change of an internal charge in an OLED element. The checks before the method and the noise measurement procedure are as follows.

우선, 도 5에 도시된 바와 같이, DC Source를 DUT(Metal Shield 내 측정 소자, 즉, 테스트 OLED)에 연결하고, DUT를 전류-전압 증폭기에 연결하며, 전류-전압 증폭기(Current-Voltage Amplifier)를 신호 분석기(Signal Analyzer)에 연결한다.5, a DC source is connected to a DUT (a measurement element in a metal shield, that is, a test OLED), a DUT is connected to a current-voltage amplifier, a current-voltage amplifier (current- To a signal analyzer.

다음으로, DUT의 연결을 제거하고, 증폭기(Amplifier) 단을 포함한 회로 자체의 화이트 노이즈 레벨(White noise level)을 측정한다.Next, the DUT is disconnected and the white noise level of the circuit itself, including the amplifier stage, is measured.

다음으로, 민감도(Sensitivity)에 따른 화이트 노이즈 레벨(White noise level)을 측정하고, 소자의 노이즈(Noise)가 회로 자체의 노이즈(Noise) 보다 큰 값을 유지하도록 증폭률을 조절한다.Next, the white noise level according to the sensitivity is measured, and the amplification factor is adjusted so that the noise of the device is kept larger than the noise of the circuit itself.

다음으로, DUT에 저항을 연결하여 서멀 화이트 노이즈 레벨(Thermal white noise level)이 일반적인 기준 값에 맞는지 확인한다. 이때, 기준 값은 아래의 [수학식 2]와 같다.Next, connect a resistor to the DUT to make sure that the thermal white noise level meets the general reference value. At this time, the reference value is expressed by the following equation (2).

Figure 112010087926973-pat00002
Figure 112010087926973-pat00002

Figure 112010087926973-pat00003
Figure 112010087926973-pat00003

다음으로, 소자의 N-F(Noise Power Spectral Density-Frequency)를 측정하고 분석한다.
Next, the NF (Noise Power Spectral Density-Frequency) of the device is measured and analyzed.

도 6 내지 도 10은 본 발명에 따른 유기발광다이오드 패널 검사 방법에 의해 유기발광다이오드 패널의 각 색상별로 수명 특성을 검사한 결과를 나타낸 예시도들이다. FIGS. 6 to 10 are views illustrating life characteristics of each color of the organic light emitting diode panel according to an exemplary embodiment of the present invention.

즉, 본 발명이 OLED 패널의 수명을 소자의 노이즈-주파수 특성을 이용하여 검사하고 있는바, OLED 패널의 수명과 소자의 노이즈-주파수 특성간의 상관관계를 알아보기 위한 시험결과가 도 6 내지 도 10에 도시되어 있다. 부연하여 설명하면, 도 6 내지 도 10에 도시된 각종 그래프 및 그 결과는 상기한 바와 같은 룩업테이블의 생성에 적용될 수 있다. 따라서, 도 6 내지 도 10에 대한 결과를 이용하여 룩업테이블이 형성된 후, 실제 양산 과정 중의 OLED 패널에 대하여 상기 룩업테이블과의 비교를 통해 품질의 불량 여부 등이 판단될 수 있다.That is, the present invention examines the lifetime of the OLED panel using the noise-frequency characteristics of the device, and test results for examining the correlation between the lifetime of the OLED panel and the noise-frequency characteristics of the device are shown in FIGS. 6 to 10 Respectively. To be more specific, the various graphs and the results shown in Figs. 6 to 10 can be applied to the generation of the lookup table as described above. Therefore, after the lookup table is formed using the results of FIGS. 6 to 10, the quality of the OLED panel during the actual mass production process may be determined through comparison with the lookup table.

한편, 상기한 바와 같이 노이즈 측정 방법은 OLED 패널에 대하여 이루어지는 것이나, 구체적으로는 하나의 OLED에 대하여 수행되는 것인바, 이하에서는 RGB 별로 노이즈 측정의 타당성을 검토해 보도록 한다.Meanwhile, as described above, the noise measurement method is performed for an OLED panel, specifically, for one OLED. In the following, the validity of the noise measurement for each RGB will be examined.

우선, 제1실시예로 OLED 중 Red 소자의 수명에 따른 N-F특성 변화를 조사하기 위하여 동일한 구조의 Device1, Device2를 제작한다. 이때, Device1은 불량에 속하는 OLED이며, Device2는 양질의 OLED로 가정한다.First, Device 1 and Device 2 having the same structure are fabricated to investigate the change of N-F characteristic according to the lifetime of the Red element in the OLED according to the first embodiment. At this time, Device1 is a defective OLED and Device2 is a good OLED.

이하의 시험에서는, 먼저, 2mm X 2mm 크기의 ITO위에 O2 plasma 처리 이후 전자주입층(HIL), 전자수송층(HTL), 발광층(EML), 전자수송층(ETL), 전자주입층(EIL)을 차례대로 증착 한 뒤 Al을 Cathode로 사용하였다.In the examination of the following, first, a 2mm X 2mm in size of ITO over O 2 after the plasma treatment the electron injection layer (HIL), an electron transport layer (HTL), emitting layer (EML), an electron transport layer (ETL), an electron injection layer (EIL) Al was deposited as Cathode after deposition.

이렇게 제작된 동일한 구조의 소자에 정전류 2mA를 인가하였다. 이때 Current-Voltage Amplifier의 민감도(Sensitivity)는 20 μA/V로 하였다. A constant current of 2 mA was applied to the fabricated device of the same structure. At this time, the sensitivity of the Current-Voltage Amplifier was set to 20 μA / V.

실험 결과 수명이 좋지 않은 소자(Device1)가 노이즈 레벨이 높은 결과를 보였으며, System noise는 대략 5.0E-21[A2/Hz]로 전체 주파수 영역에서 비슷한 결과를 보였다. 이는 일반적인 System noise가 White noise의 결과를 보이는 것과 일치한다. 이때의 결과는 각각 도 6의 (a), (b) 및 도 9에 도시되어 있다.
Experimental results show that the device with poor lifetime (Device1) has a high noise level, and the system noise is about 5.0E-21 [A 2 / Hz]. This is consistent with the result that the normal system noise results in white noise. The results at this time are shown in FIGS. 6 (a), 6 (b) and 9, respectively.

다음으로, 제 2 실시 예로 Green 소자의 수명에 따른 N-F특성 변화를 조사하기 위하여 동일한 구조의 Device 3, Device 4를 제작하였다. 소자의 제작 방법 및 제작 조건은 제 1 실시 예와 동일하였다.Next, Device 3 and Device 4 having the same structure were fabricated to investigate the change of N-F characteristic according to the lifetime of Green device in the second embodiment. The manufacturing method and manufacturing conditions of the device were the same as those of the first embodiment.

이렇게 제작된 동일한 구조의 소자에 정전류 2mA를 인가하였다. 이때 Current-Voltage Amplifier의 Sensitivity는 100μA/V로 하였다. 제 1 실시 예와 마찬가지로 수명이 좋지 않은 소자(Device 3)가 노이즈 레벨이 높은 결과를 보였으며, System noise는 대략 5.0E-21[A2/Hz]로 전체 주파수 영역에서 비슷한 결과를 보였다. 이때의 결과는 각각 도 7의 (a), (b) 및 도 10에 도시되어 있다.
A constant current of 2 mA was applied to the fabricated device of the same structure. At this time, the sensitivity of the Current-Voltage Amplifier was set to 100 μA / V. As in the first embodiment, the device 3 having a poor lifetime has a high noise level, and the system noise is about 5.0E-21 [A 2 / Hz], which is similar in the entire frequency range. The results at this time are shown in Figs. 7 (a), (b) and 10, respectively.

마지막으로, 제 3 실시 예로 Blue 소자의 수명에 따른 N-F특성 변화를 조사하기 위하여 동일한 구조의 Device 5, Device 6를 제작하였다. 소자의 제작 방법 및 제작 조건은 1 실시 예와 동일하였다.Finally, Device 5 and Device 6 having the same structure were fabricated in order to investigate the change of N-F characteristic according to the lifetime of Blue device in the third embodiment. The manufacturing method and manufacturing conditions of the device were the same as those of the first embodiment.

이렇게 제작된 동일한 구조의 소자에 정전류 2mA를 인가하였다. 이때 Current-Voltage Amplifier의 Sensitivity는 20μA/V로 하였다. 제 1 실시 예와 마찬가지로 수명이 좋지 않은 소자(Device5)가 노이즈 레벨이 높은 결과를 보였으며, System noise는 대략 5.0E-21[A2/Hz]로 전체 주파수 영역에서 비슷한 결과를 보였다. 이때의 결과는 각각 도 8의 (a), (b) 및 도 9에 도시되어 있다.
A constant current of 2 mA was applied to the fabricated device of the same structure. At this time, the sensitivity of the Current-Voltage Amplifier was set to 20 μA / V. As in the case of the first embodiment, the device 5 having a poor lifetime has a high noise level, and the system noise is about 5.0E-21 [A 2 / Hz], which is similar in the entire frequency range. The results at this time are shown in Figs. 8 (a), 8 (b) and 9, respectively.

한편, 상기 예제 들의 수명에 따른 N-F특성 변화를 조사하기 위해 노이즈 측정 시, 모두 정전류 2mA를 인가하였고, 실험 결과 Red, Green, Blue 모든 소자에서 수명이 좋지 않은 소자(Devce1,3,5)일 수록 노이즈 레벨이 높은 경향성을 보였다. 따라서, 본 발명은 상기한 바와 같은 N-F 측정을 통해 확보된 룩업테이블을 이용하여, 양산 OLED 패널 제작 시, OLED 패널의 특성변화를 실시간으로 검출함으로써 그 이상유무를 모니터링 하는 것을 특징으로 하고 있다.In order to investigate the change of NF characteristics according to the lifetime of the above examples, a constant current of 2 mA was applied to the noise measurement. As a result, it was found that devices having poor lifespan (Devce 1, 3, 5) Noise level showed high tendency. Therefore, the present invention is characterized by monitoring the change of the characteristics of the OLED panel in real time when manufacturing the OLED panel using the look-up table secured by the N-F measurement as described above.

즉, 상기한 바와 같은 시험 결과를 통해, 수명이 좋지 않은 소자, 즉, 불량일 가능성이 많은 OLED 일 수록, 노이즈 레벨이 높게 나타나고 있는바, 본 발명은 이러한 상관관계를 이용하여 양산 과정 중에 있는 OLED 패널을 검사하여 해당 OLED 패널의 품질을 검사하는 방법을 이용하고 있다. That is, as a result of the above-described test results, noise levels are higher in OLEDs having poor lifetimes, that is, OLEDs having a high probability of being defective. As a result, The panel is inspected to check the quality of the OLED panel.

따라서, 상기한 바와 같은 노이즈 측정 방법을 통한 검사를 수행한 후, 이상이 발생했다고 판단되는 경우에는 즉시 생산을 멈추며, 그에 따른 조치를 신속하게 수행할 수 있다.
Therefore, if it is determined that an abnormality has occurred after performing the inspection through the noise measurement method as described above, the production can be stopped immediately and the measure can be quickly performed.

상기한 바와 같은 본 발명의 특징을 정리하면 다음과 같다. The features of the present invention as described above can be summarized as follows.

즉, 본 발명은 봉지(encapsulation) 공정을 마치기 전 또는 이 후에 OLED 패널에 대하여 간단하게 노이즈(N-F)를 측정함으로써, 실시간으로 제작되고 있는 적층된 소자 구조의 이상 유무를 모니터링 할 수 있는 방법을 제공하는 것이다. That is, the present invention provides a method of monitoring the presence or absence of a stacked element structure fabricated in real time by simply measuring the noise (NF) with respect to the OLED panel before or after the completion of the encapsulation process .

부연하여 설명하면, 본 발명은 OLED 패널의 생산에 있어 증착 중에 발생하는 OLED의 특성 변화를 노이즈(N-F, Noise Power Spectral Density - Frequency) 측정을 통해 모니터링 하는 것이다.In other words, the present invention monitors the change in the characteristics of the OLED that occurs during the deposition in the production of the OLED panel through noise (N-F, noise power spectral density-frequency) measurement.

상기에서 노이즈 측정은 정전압 또는 정전류를 인가하여 그 변화 비율을 측정할 수 있다.In the above, noise measurement can measure the rate of change by applying a constant voltage or a constant current.

상기 과정을 위하여, 본 발명은 증착 챔버와 유기물의 조건이 모두 안정화된 상태에서 먼저 효율 및 수명에 있어 제품에 요구되어지는 소자 구조를 확보하고, OLED 소자에 있어 각 층들의 두께 변화, 도핑량의 변화, 표면처리 변화(Plasma 표면 처리시 가스 유량, 처리 시간, 인가 전력)에 따른 N-F변화에 대한 Library(룩업 테이블)를 확보한 후 제품 요구 수준에 부합하는 N-F 범위를 설정해 놓는다. For the above process, the present invention firstly secures the element structure required for the product in terms of efficiency and lifetime in a state where both the conditions of the deposition chamber and the organic material are stabilized. In the OLED device, (Look-up table) for changes in NF according to changes in surface treatment (gas flow rate, treatment time, and applied power during plasma treatment), and then sets the NF range corresponding to the product demand level.

이후, 상기 양산 공정을 진행함에 있어, 상기에서 설정된 N-F값을 관리 항목으로 설정하여, 그 값과 실제로 측정된 노이즈 값을 비교하여 OLED 패널의 불량 여부를 판단함으로써, 양산 중의 OLED 패널의 제품을 관리할 수 있다.Thereafter, the NF value set in the above-described mass production process is set as a management item, and the value is compared with the actually measured noise value to judge whether the OLED panel is defective or not, can do.

상기 룩업 테이블의 기준 값 확보를 위한 N-F 측정 조건은 정전압(-50V ~ 50V 구간) 또는 정전류(-10A ~10A 구간)의 값을 이용하며, 미소 전류의 증폭을 위한 민감도(Sensitivity)는 1pA/V 이상이 사용될 수 있다. The NF measurement condition for securing the reference value of the lookup table uses values of a constant voltage (-50 V to 50 V range) or a constant current (-10 A to 10 A range), and a sensitivity for amplifying a minute current is 1 pA / V Or more can be used.

한편, OLED 패널의 N-F 측정은 캐소드(Cathode) 증착 이후의 어느 공정에서도 이루어질 수 있다.On the other hand, the N-F measurement of the OLED panel can be performed in any process after the cathode deposition.

이때, N-F 측정은 전체 패널을 모두 측정할 수도 있으며, 선택적으로 측정할 수도 있다.At this time, the N-F measurement can measure all of the entire panel or can selectively measure it.

또한, OLED 패널의 특성 변화를 N-F를 측정하여 모니터링 함에 있어, OLED 패널에 일정 시간 전류를 인가하여 소자를 에이징(Aging) 시킨 후, 전류 인가 전 후의 N-F 변화를 통하여 소자 특성을 모니터링 할 수도 있다.Further, in monitoring the change in the characteristics of the OLED panel by measuring N-F, it is possible to agitate the OLED panel by applying a current to the OLED panel for a predetermined time, and then to monitor the device characteristics through the N-F change after the current application.

상기에서 소자 에이징(Aging)을 위한 인가 전류는, AC와 DC가 모두 가능하며 0.1mA/cm2이상의 전류가 인가될 수 있다.In the above, the applied current for the device aging is both AC and DC, and a current of 0.1 mA / cm 2 or more can be applied.

상기에서 소자 에이징(Aging)을 위한 전류 인가 시간은 10초 이상일 수 있다.The current application time for aging the device may be 10 seconds or more.

상기에서 N-F 측정 조건은 정전압(-50V ~ 50V 구간) 또는 정전류(-10A ~10A 구간)의 값이 이용될 수 있으며, 미소 전류의 증폭을 위한 Sensitivity는 1pA/V 이상이 사용될 수 있다. The N-F measuring condition may be a value of a constant voltage (-50 V to 50 V) or a constant current (-10 A to 10 A), and a sensitivity of 1 pA / V or more may be used for amplifying a minute current.

상기와 같은 N-F 측정은 장비 유지보수(Maintenance) 후 장비 상태를 검증하는 방법으로 사용될 수도 있다. 즉, 양질의 품질로 판단된 OLED 패널에 대하여 유지보수가 끝난 장비로 노이즈를 측정하여, 그 결과가 양질로 나왔다면, 해당 장비의 성능이 정상적인 것으로 판단될 수 있으나, 그 결과가 양호하지 않은 것으로 나왔다면, 결국, 장비에 결함이 있는 것임으로, 이를 통해 장비의 성능이 테스트될 수도 있다. The N-F measurement as described above may be used as a method of verifying the equipment state after maintenance of the equipment. That is, if the noise is measured by the equipment that has been maintained for the OLED panel judged to be of good quality and the result is good quality, the performance of the equipment may be judged to be normal, but the result is not good If so, then the equipment may be tested for performance because it is defective.

한편, 본 발명은 실제 패널에 주파수별로 인가하는 것은 아니며, 상기한 바와 같이, 정전류(또는 정전압)를 인가한 뒤, 측정을 통해 얻어진 시간에 관한 함수(전류의 변화량)가, 푸리에 변환(Fourier transform)을 통해 주파수에 관한 함수로 표현되는 것이다. In the meantime, the present invention is not applied to an actual panel on a frequency basis. As described above, after applying a constant current (or a constant voltage), a function (a change amount of a current) concerning a time obtained through measurement is converted into a Fourier transform ) As a function of frequency.

본 발명이 속하는 기술분야의 당업자는 본 발명이 그 기술적 사상이나 필수적 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다.  그러므로, 이상에서 기술한 실시 예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적인 것이 아닌 것으로 이해해야만 한다. 본 발명의 범위는 상기 상세한 설명보다는 후술하는 특허청구범위에 의하여 나타내어지며, 특허청구범위의 의미 및 범위 그리고 그 등가 개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다. It will be understood by those skilled in the art that the present invention may be embodied in other specific forms without departing from the spirit or essential characteristics thereof. It is therefore to be understood that the above-described embodiments are illustrative in all aspects and not restrictive. The scope of the present invention is defined by the appended claims rather than the detailed description and all changes or modifications derived from the meaning and scope of the claims and their equivalents are to be construed as being included within the scope of the present invention do.

100 : OLED 110 : 하부기판
120 : 상부기판 130 : 비표시영역
140 : 표시영역 200 : 테스트 OLED
100: OLED 110: Lower substrate
120: upper substrate 130: non-display area
140: Display area 200: Test OLED

Claims (9)

유기발광다이오드 패널의 노이즈 특성과 수명과의 상관관계에 대한 정보를 포함하는 룩업테이블을 저장하는 단계; 및
증착 공정이 수행된 유기발광다이오드 패널에 대하여 노이즈를 측정하며, 그 결과를 상기 룩업테이블과 비교하여, 상기 유기발광다이오드 패널의 불량 여부를 판단하는 단계를 포함하고,
상기 룩업테이블은, 양질로 판단된 유기발광다이오드 패널에 형성된 유기발광다이오드 층의 두께 변화, 도핑량의 변화, 표면 처리시 가스 유량 변화, 표면 처리 시간 변화, 표면 처리에 인가된 전력 변화 중 적어도 어느 하나에 대한 노이즈와 주파수와의 관계를 이용하여 설정되는, 유기발광다이오드 패널 검사 방법.
Storing a lookup table including information on a correlation between noise characteristics and lifetime of the organic light emitting diode panel; And
Measuring the noise of the organic light emitting diode panel on which the deposition process has been performed and comparing the result with the lookup table to determine whether the organic light emitting diode panel is defective,
The look-up table may include at least one of a change in thickness of the organic light emitting diode layer formed on the organic light emitting diode panel, a change in doping amount, a change in gas flow rate in the surface treatment, Wherein the organic light emitting diode panel is set by using a relationship between noise and frequency for one.
제 1 항에 있어서,
상기 노이즈 측정을 위해 상기 유기발광다이오드 패널에 정전압 또는 정전류를 인가하여 시간에 따른 그 변화 비율을 측정하는, 유기발광다이오드 패널 검사 방법.
The method according to claim 1,
And applying a constant voltage or a constant current to the organic light emitting diode panel for measuring the noise to measure the change ratio with time.
제 1 항에 있어서,
상기 노이즈 측정은, 상기 유기발광다이오드 패널에 대한 시간에 관한 변화율을 주파수에 관한 변화율로 변환하는, 유기발광다이오드 패널 검사 방법.
The method according to claim 1,
Wherein the noise measurement converts a rate of change with respect to time of the organic light emitting diode panel to a rate of change with respect to frequency.
삭제delete 제 1 항에 있어서,
상기 노이즈 측정은,
상기 증착 공정에 의해 상기 유기발광다이오드 패널에 캐소드(Cathode) 증착이 이루어진 후에 이루어지는, 유기발광다이오드 패널 검사 방법.
The method according to claim 1,
In the noise measurement,
Wherein a cathode is deposited on the organic light emitting diode panel by the deposition process.
제 1 항에 있어서,
상기 노이즈 측정 과정 전에, 상기 유기발광다이오드 패널에 일정 시간 전류를 인가하여 상기 유기발광다이오드 패널을 에이징(Aging) 시키는 단계를 더 포함하는, 유기발광다이오드 패널 검사 방법.
The method according to claim 1,
Further comprising the step of aging the organic light emitting diode panel by applying a current to the organic light emitting diode panel for a predetermined period of time before the noise measurement process.
제 6 항에 있어서,
상기 유기발광다이오드 패널을 에이징(Aging)시 인가되는 전류는, AC 또는 DC일 수 있으며, 0.1mA/cm2 이상의 전류가 10초 이상 인가되는, 유기발광다이오드 패널 검사 방법.
The method according to claim 6,
Wherein the current applied when the organic light emitting diode panel is aged may be AC or DC and a current of 0.1 mA / cm 2 or more is applied for 10 seconds or more.
제 1 항에 있어서,
상기 노이즈 측정에 이용되는 정전압은 -50V 내지 50V 인, 유기발광다이오드 패널 검사 방법.
The method according to claim 1,
Wherein the constant voltage used for the noise measurement is -50V to 50V.
제 1 항에 있어서,
상기 노이즈 측정에 이용되는 정전류는 -10A 내지 10A 인, 유기발광다이오드 패널 검사 방법.
The method according to claim 1,
Wherein the constant current used for the noise measurement is -10A to 10A.
KR1020100139876A 2010-12-31 2010-12-31 Method for testing an organic light emitting diode panel KR101779162B1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020100139876A KR101779162B1 (en) 2010-12-31 2010-12-31 Method for testing an organic light emitting diode panel

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020100139876A KR101779162B1 (en) 2010-12-31 2010-12-31 Method for testing an organic light emitting diode panel

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20120077791A KR20120077791A (en) 2012-07-10
KR101779162B1 true KR101779162B1 (en) 2017-09-19

Family

ID=46711234

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020100139876A KR101779162B1 (en) 2010-12-31 2010-12-31 Method for testing an organic light emitting diode panel

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR101779162B1 (en)

Families Citing this family (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR102015357B1 (en) 2018-05-18 2019-09-03 주식회사 이엔씨 테크놀로지 Inspection apparatus for inspecting flat panel display device and stage therefor
KR102015356B1 (en) 2019-01-31 2019-09-03 주식회사 이엔씨 테크놀로지 Inspection equipment for inspecting flexible display device and stage apparatus used therein
KR102071353B1 (en) 2019-02-13 2020-01-30 주식회사 이엔씨 테크놀로지 Inspection equipment for inspecting flexible display device and stage apparatus used therein
KR102071357B1 (en) 2019-02-20 2020-01-30 주식회사 이엔씨 테크놀로지 Inspection equipment for inspecting flexible display device and stage apparatus used therein

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2010137452A1 (en) * 2009-05-28 2010-12-02 コニカミノルタホールディングス株式会社 Organic el panel inspection method, organic el panel inspection device, and organic el panel

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2010137452A1 (en) * 2009-05-28 2010-12-02 コニカミノルタホールディングス株式会社 Organic el panel inspection method, organic el panel inspection device, and organic el panel

Also Published As

Publication number Publication date
KR20120077791A (en) 2012-07-10

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5384590B2 (en) Organic electroluminescent device
KR101779162B1 (en) Method for testing an organic light emitting diode panel
Gardonio et al. Degradation of organic light-emitting diodes under different environment at high drive conditions
KR102276188B1 (en) Display panel aging test system and method
US6816255B2 (en) Method and apparatus for leak-testing an electroluminescent device
JP2007042498A (en) Repairing method of organic el by laser and repairing device by laser
JP2003282253A (en) Manufacturing method of organic el element
US20060087327A1 (en) Probe device and display substrate testing apparatus using same
US7095170B2 (en) Method of manufacturing an organic electroluminescent device and resulting device
KR100407726B1 (en) Apparatus and method for detecting a defect in OELD by measuring leakage current between a separator pad and a cathode pad
US10868085B2 (en) Display panel with a fluorescent probe layer between a first electrode layer and light emitting layer
Sandrez et al. Impact of pixel surface topography onto thin-film encapsulated top-emitting organic light-emitting diodes performances
Giorgetti et al. A study of the degradation of poly (3-octylthiophene)-based light emitting diodes by Surface Enhanced Raman Scattering
Nie et al. Real-time interface investigation on degradation mechanism of organic light-emitting diode by in-operando X-ray spectroscopies
Liu et al. 11.2: The Effect of Doping Distribution on the Property of Green Phosphorescent Organic Light‐Emitting Diodes
KR101066516B1 (en) Test unit of organic light-emitting diode display
JP2011198666A (en) Method of evaluating deterioration of organic el element
KR20060061151A (en) Method for testing organic electro luminescence display device
Chen et al. Optical and electrical characterization of reverse bias luminescence in InGaN light emitting diodes
KR100705823B1 (en) Aging method of organic light emitting diode
Liu et al. 17.4: The Role of Dopant Materials on Current Efficiency Roll‐off in Organic Light‐Emitting Diodes
JP2005083951A (en) Inspection method of organic el element by emission microscope method
Niu et al. The effect of Al2O3 nanolayers on the efficiency of organic light-emitting devices
CN118038775A (en) Detection method, pretreatment method and display device of light-emitting diode display panel
KR101716784B1 (en) Characteristic measuring method of organic electro-luminescence device

Legal Events

Date Code Title Description
N231 Notification of change of applicant
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant