KR100407726B1 - Apparatus and method for detecting a defect in OELD by measuring leakage current between a separator pad and a cathode pad - Google Patents

Apparatus and method for detecting a defect in OELD by measuring leakage current between a separator pad and a cathode pad Download PDF

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Abstract

유기 전계 발광 디스플레이 소자의 제조 공정시, 분리 격벽을 서로 연결하여 격벽 패드(pad)를 만들고, 그 격벽 패드와 캐소드 패드 사이의 저항 값을 측정함으로써, 공정 진행중 불량을 미리 제거하여 캡슐레이션(capsulation) 공정까지 진행하지 않고 중간 공정에서 불량을 제거할 수 있으며, 또한 약한 쇼트(short)인 경우 격벽 패드와 캐소드 패드간에 전원을 공급하여 그 약한 쇼트의 발생 부위가 끊어지게 한 후 다시 리페어(repair)하여 다음 공정을 진행할 수 있도록 한 것이다.In the manufacturing process of the organic electroluminescent display device, by separating the separation barrier ribs to form a partition pad (pad), by measuring the resistance value between the partition pad and the cathode pad, the defect during the process in advance to eliminate the encapsulation (capsulation) The defect can be removed in the intermediate process without going to the process, and in the case of a weak short, power is supplied between the partition pad and the cathode pad to break the site where the weak short occurs, and then repair it again. The next step was to proceed.

따라서, 분리 격벽과 캐소드 패드 사이의 저항 값을 측정하여 불량을 분석하고 수리(repair)하여 수율을 향상시킬 수 있게 된다.Therefore, by measuring the resistance value between the separation barrier and the cathode pad to analyze the defect and repair (repair) it is possible to improve the yield.

Description

유기 전계 발광 디스플레이 소자의 분리 격벽 불량 판단 장치 및 그 방법{Apparatus and method for detecting a defect in OELD by measuring leakage current between a separator pad and a cathode pad}Apparatus and method for detecting a defect in OELD by measuring leakage current between a separator pad and a cathode pad}

본 발명은 차세대 영상표시 장치로 휴대용 단말기, 특수 기기의 표시기기, 모니터 TV에 이르는 많은 분야에서 응용가능한 차세대 디스플레이 패널(Display panel)인 유기 전계 발광 디스플레이(Organic Electro Luminescence Display 이하 OELD 라 칭함) 소자에 관한 것으로, 더 상세하게는 유기 전계 발광 디스플레이 소자의 제조 공정시 분리 격벽과 캐소드 패드 사이의 저항 값을 측정하여 불량을 분석하고 리페어(repair)하여 수율 향상에 도움을 줄 수 있도록 한, 유기 전계 발광 디스플레이 소자의 분리 격벽 불량 판단 장치 및 그 방법에 관한 것이다.The present invention is a next-generation image display device for an organic electroluminescent display (OELD) device, which is a next-generation display panel applicable to many fields such as portable terminals, display devices of special devices, and monitor TVs. More particularly, in the manufacturing process of the organic electroluminescent display device, an organic electroluminescence which measures the resistance value between the separation barrier and the cathode pad to analyze the defect and repair to help improve the yield The present invention relates to a separation barrier failure determining apparatus of a display element and a method thereof.

일반적으로, 평판 디스플레이(Flat Panel Display 이하 FPD 라 칭함) 소자의 종류에는 사용되어지는 물질을 기준으로 하여 유기물을 사용하는 소자와 무기물을 사용하는 소자로 구분되어진다.In general, a type of flat panel display (FPD) device is classified into a device using an organic material and a device using an inorganic material based on the material used.

무기물을 사용하는 소자로는 형광체로부터 포토 루미네선스(Photo Luminescence 이하 PL 이라 칭함)를 이용하는 플라즈마 디스플레이 패널(PlasmaDisplay Panel 이하 PDP 라 칭함)과, 캐소드 루미네선스(Cathode Luminescence 이하 CL 이라 칭함)를 이용한 전계 방출 디스플레이(Field Emission Display 이하 FED 라 칭함) 소자 등이 있다.Devices using inorganic materials include a plasma display panel using a photoluminescence (hereinafter referred to as PL) and a cathode using a photoluminescence (hereinafter referred to as PDP) and cathode luminescence (hereinafter referred to as CL). Field emission display devices (hereinafter referred to as FED) devices.

유기물을 사용하는 디스플레이 소자로는 다양한 분야에 적용되고 있는 액정 디스플레이(Liquid Crystal Display 이하 LCD 라 칭함) 소자와, 유기 전계 발광 디스플레이(Organic Electro Luminescence Display 이하 OELD 라 칭함) 소자 등이 있다.Display devices using organic materials include liquid crystal displays (hereinafter referred to as LCDs) and organic electroluminescent displays (hereinafter referred to as OELDs).

상기 OELD 소자는 현재 널리 사용화되어 있는 LCD 소자에 비하여 약 30,000배 이상의 빠른 응답속도를 가지고 있어 동영상의 구현이 가능하고, 또한 자체적으로 발광하여 시야각이 넓고, 높은 휘도를 낼 수 있는 장점이 있어 차세대의 표시소자로 각광을 받고 있다.The OELD device has a response speed of more than 30,000 times faster than LCD devices which are currently widely used, which enables video to be realized, and also has the advantage of having a wide viewing angle and high luminance by emitting light by itself. The display device of the spotlight.

이러한 OELD 소자는 사용되는 유기물의 종류에 따라 구분되는 것으로, 분자량이 작은 기능성 단분자 유기물을 사용하는 저분자 OELD 소자와, 분자량이 큰 고분자 유기물을 사용하는 고분자 OELD 소자가 있다.Such OELD devices are classified according to the type of organic material used, and there are a low molecular weight OELD device using a functional monomolecular organic material having a small molecular weight, and a high molecular weight OELD device using a high molecular weight organic polymer.

상기 OELD 소자는 통상적으로 양극 전극과 음극 전극 사이에 정공 주입층(Hole Injection Layer 이하 HIL 이라 칭함), 정공 수송층(Hole Transport Layer 이하 HTL 이라 칭함), 발광층(Emission Layer 이하 EML 이라 칭함), 전자 수송층(Electron Transport Layer 이하 ETL 이라 칭함) 등을 포함하는 다층의 유기 박막으로 구성되어 진다.The OELD device typically includes a hole injection layer (hereinafter referred to as HIL), a hole transport layer (hereinafter referred to as HTL), an emission layer (hereinafter referred to as an EML), and an electron transport layer between the anode electrode and the cathode electrode. It is composed of a multilayer organic thin film including (Electron Transport Layer, hereinafter referred to as ETL).

도 1 은 상기 OELD 소자의 기본 구조를 도시한 것으로, 소자를 구성하는 각층의 특징은 다음과 같다.1 shows the basic structure of the OELD device, and the characteristics of each layer constituting the device are as follows.

부호 10은 투명 기판으로 양극과 음극 사이에 가해진 전압에 의하여 유기층에서 발광하는 빛이 투과하여 볼 수 있어야 한다(주로 투명유리를 투명 기판을 사용함).Reference numeral 10 is a transparent substrate, and the light emitted from the organic layer must be visible through the voltage applied between the anode and the cathode (transparent glass is used as the transparent substrate).

부호 20은 정공(Hole)을 공급하여 주는 역할을 하는 양극 전극으로서 유기층에서 발광된 빛이 투과할 수 있는 ITO(Indium Tin Oxide)와 같은 투명전극이 사용된다.Reference numeral 20 denotes an anode electrode that supplies holes, and a transparent electrode such as indium tin oxide (ITO) through which light emitted from the organic layer is transmitted is used.

부호 30은 유기막으로 발광층을 포함하고 있어야만 하고 정공 주입층, 정공 수송층, 전자 수송층 및 전자 주입층 등도 포함할 수 있다.Reference numeral 30 should include an emission layer as an organic layer and may include a hole injection layer, a hole transport layer, an electron transport layer, an electron injection layer, and the like.

부호 40은 전자를 공급하여 주는 음극 전극으로 전자를 원활하게 공급하여 주기 위하여 일함수가 낮은 금속을 사용하여야 한다.Reference numeral 40 is a cathode electrode for supplying electrons. A metal having a low work function should be used to supply electrons smoothly.

이러한 OELD 소자의 발광 원리는 외부의 양극 전극(20)에서 정공(Hole)이 주입되고, 음극 전극(40)에서는 전자(Electron)가 주입되어 주입된 전자와 정공의 재결합(Recombination)에 의하여 빛을 발광하는 것으로, OELD의 발광 과정을 단계별로 살펴보면,The light emitting principle of the OELD device is that holes are injected from the external anode electrode 20, and electrons are injected from the cathode electrode 40 to emit light by recombination of the injected electrons and holes. If you look at the emission process of OELD step by step,

① 양극 전극(20)과 음극 전극(40)으로부터 유기막(30)의 전자 수송층(ETL) 및 정공 수송층(HTL)으로 전하(전자와 정공)가 주입① Charges (electrons and holes) are injected from the anode electrode 20 and the cathode electrode 40 into the electron transport layer ETL and the hole transport layer HTL of the organic layer 30.

② 주입된 전하가 유기막(30)의 발광층(EML)으로 이동② The injected charge moves to the emission layer EML of the organic layer 30

③ 상기 유기막(30)의 발광층(EML)에서 전자와 정공의 재결합으로 여기자(Exition)를 생성③ An exciton is generated by recombination of electrons and holes in the emission layer EML of the organic layer 30.

④ 생성된 여기자가 유기막(30)의 발광층(EML) 내부에서 이동④ The generated excitons move inside the emission layer EML of the organic layer 30.

⑤ 여기자에서 발광되는 현상으로 구성되어 있다.⑤ It consists of the phenomenon of light emission from excitons.

위의 발광 과정에서 전자와 정공이 유기 발광층으로 주입되어 재결합하고, 재결합하지 못한 전자와 정공은 소멸된다.In the above light emission process, electrons and holes are injected into the organic light emitting layer to be recombined, and electrons and holes which are not recombined disappear.

상기 OELD 소자의 제작 공정을 간단히 살펴보면 도 2 에 도시된 바와 같이, 먼저 양극 전극으로 사용될 수 있는 투명 전극(ITO)(21)의 패턴(pattern)을 형성하고, 포토(Photo) 공정에 의해 절연막(Insulator)(22) 및 음극 전극의 패턴 형성용 분리 격벽(Separator)(23)을 형성하며, 유기막을 증착시키기 위하여 금속 마스크(Metal Mask 또는 Shadow Mask 라 칭함)로 마스킹(Masking)을 한 후, 유기물 및 음극 전극을 증발기(evaporator)로 증착하여 형성한다.Referring to the manufacturing process of the OELD device briefly, as shown in FIG. 2, first, a pattern of a transparent electrode (ITO) 21, which may be used as an anode electrode, is formed, and an insulating film is formed by a photo process. Insulator 22 and a separator 23 for pattern formation of the cathode electrode are formed, and after masking with a metal mask (called a metal mask or a shadow mask) to deposit an organic film, an organic material is formed. And a cathode electrode is formed by depositing with an evaporator.

이러한 OELD 소자에 있어서, 유기물 및 음극 전극을 증발기(evaporator)로 증착할 때 기판의 분리 격벽(23)의 불량(A)으로 생기는 패널(panel)이 있으며, 이로 인해 수율 감소가 발생되므로 화면 품질의 품위에도 현저한 문제가 생기게 된다.In such an OELD device, there is a panel that is caused by a failure (A) of the separation partition 23 of the substrate when the organic material and the cathode electrode are deposited by an evaporator. There is also a remarkable problem with dignity.

이러한 원인을 살펴보면 도 3a 내지 도 3c 에 도시된 바와 같이, A부분이 마스크(mask) 불량이나 공정중의 입자(particle), 공정조건의 불량 등으로 인해 한 부분 혹은 그 이상이 있는 경우, 캐소드 라인(Cathod Line)과 분리 격벽(23) 위의 캐소드 재료(cathod material)가 상호간에 접촉되는 쇼트(short)가 발생하여 전류 누설로 인한 화면 품질 저하가 발생되며, 만약 2개 부분 이상이 발생된 경우는 이웃하는 라인끼리 쇼트가 발생된다.3A to 3C, when the portion A has one or more parts due to a mask defect, particles in the process, or a poor process condition, the cathode line (Cathod Line) and the cathode material (cathod material) on the separation barrier 23 is a short (contact) between each other, the screen quality due to current leakage occurs, if more than two parts occurs Short is generated between neighboring lines.

이러한 현상들은 만약 분리 격벽(23)을 망(mesh) 형태로 형성한 경우는 더욱더 많이 발생하게 된다.These phenomena occur more and more if the separation barrier 23 is formed in a mesh (mesh) form.

따라서, 유기 EL 표시소자의 패널의 특정 부위에 쇼트 등의 문제가 발생하여 과도한 전류가 일시적으로 흐를 경우에 발생할 수 있는 드라이버용 집적소자 등의 파괴가 발생할 수 있음은 물론 구동 진행시 변화되는 이상 현상에 대하여 안정하게 동작시킬 수 없는 등의 문제점이 있었다.Therefore, a problem such as a short may occur in a specific portion of the panel of the organic EL display device, and the breakdown of the driver integrated device, which may occur when excessive current flows temporarily, may occur, as well as an abnormal phenomenon that changes during driving. There was a problem such that it could not be operated stably with respect to.

이에 본 발명은 상기한 바와 같은 종래의 문제점을 해소시키기 위하여 창안된 것으로, 분리 격벽을 서로 연결하여 한 부분에 격벽 패드(pad)를 만들고, 그 격벽 패드와 캐소드 패드 사이의 저항을 측정함으로써, 공정 진행중 불량을 미리 제거하여 캡슐레이션(capsulation) 공정까지 진행하지 않고 중간 공정에서 불량을 제거할 수 있도록 한, 유기 전계 발광 디스플레이 소자의 분리 격벽 불량 판단 장치를 제공하는데 그 목적이 있다.Accordingly, the present invention was devised to solve the above-mentioned problems, and by connecting the separating partitions to each other to make partition pads in one portion, and measuring the resistance between the partition pads and the cathode pads, SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide a separation barrier failure determining apparatus of an organic light emitting display device in which defects are removed in advance so that defects can be removed in an intermediate process without proceeding to the encapsulation process.

또한, 본 발명은 약한 쇼트(short)인 경우 격벽 패드와 캐소드 패드간에 전원을 공급하여 쇼트가 발생한 부위로 전류가 흐르면서 발생되는 열로 끊어지게 리페어(repair)한 후 다음 공정을 진행할 수 있도록 한, 유기 전계 발광 디스플레이 소자의 분리 격벽 불량 판단 방법을 제공하는데 그 목적이 있다.In addition, the present invention is to supply power between the partition pad and the cathode pad in the case of a weak short (short) to repair the heat generated by the flow of current to the site where the short occurs (repair) so that the next process can proceed, It is an object of the present invention to provide a method for determining a separation barrier failure of an electroluminescent display device.

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명 유기 전계 발광 디스플레이 소자의 분리 격벽 불량 판단 장치는,The separation barrier failure determination apparatus of the present invention organic electroluminescent display device for achieving the above object,

양극 전극으로 사용될 수 있는 투명 전극(ITO)의 패턴(pattern)을 형성하고, 포토(Photo) 공정에 의해 절연막(Insulator) 및 음극 전극의 패턴 형성용 분리 격벽(Separator)을 형성한 후, 유기막을 증착시키고 음극 전극을 형성하여 제작하는 유기 전계 발광 디스플레이 소자에 있어서,After forming a pattern of a transparent electrode (ITO) that can be used as an anode electrode, and forming a separator for pattern formation of an insulator and a cathode electrode by a photo process, an organic layer is formed. In the organic electroluminescent display device which is formed by depositing and forming a cathode electrode,

상기 분리 격벽(separator)을 전부 연결하여 격벽 패드(pad)를 형성한 후, 상기 격벽 패드와 캐소드 패드 사이의 저항값을 측정할 수 있도록 저항측정용 패널을 형성한 것을 특징으로 한다.After forming all of the separation barrier (separator) to form a partition pad (pad), characterized in that the resistance measuring panel is formed so that the resistance value between the partition pad and the cathode pad can be measured.

또한, 상기 목적을 달성하기 위한 본 발명 유기 전계 발광 디스플레이 소자의 분리 격벽 불량 판단 방법은,In addition, the separation barrier failure determination method of the organic electroluminescent display device of the present invention for achieving the above object,

양극 전극으로 사용될 수 있는 투명 전극(ITO)의 패턴(pattern)을 형성하고, 포토(Photo) 공정에 의해 절연막(Insulator) 및 음극 전극의 패턴 형성용 분리 격벽(Separator)을 형성한 후, 유기막을 증착시키고 음극 전극을 형성하여 제작하는 유기 전계 발광 디스플레이 소자에 있어서,After forming a pattern of a transparent electrode (ITO) that can be used as an anode electrode, and forming a separator for pattern formation of an insulator and a cathode electrode by a photo process, an organic layer is formed. In the organic electroluminescent display device which is formed by depositing and forming a cathode electrode,

상기 분리 격벽(separator)을 전부 연결하여 형성한 격벽 패드와 캐소드 패드 사이의 저항 값을 측정하여,By measuring the resistance value between the partition pad and the cathode pad formed by connecting all the separator (separator),

저항 값이 무한대인 경우에는 정상으로, 저항 값이 측정되는 부분을 쇼트난 부분 즉 불량으로 판단하는 것을 특징으로 한다.When the resistance value is infinity, it is normal, and it is characterized in that the portion in which the resistance value is measured is determined as a shorted portion, i.

도 1 은 일반적인 유기 전계 발광 디스플레이 소자의 기본 구조도,1 is a basic structural diagram of a general organic electroluminescent display device,

도 2 는 종래 제조 공정을 보인 예시도,2 is an exemplary view showing a conventional manufacturing process,

도 3a 내지 도 3c 는 종래 제조 공정에 의한 분리 격벽의 불량 상태를 도시한 예시도로서,3A to 3C are exemplary views illustrating a defective state of a separation partition wall according to a conventional manufacturing process.

도 3a 는 도 2 의 일부분(B-B)을 절개한 단면도,3A is a cross-sectional view of a portion B-B of FIG. 2;

도 3b 는 도 2 의 부분 확대도,3B is an enlarged partial view of FIG. 2;

도 3c 는 격벽의 불량으로 쇼트된 상태를 예시한 단면도,3C is a cross-sectional view illustrating a shorted state due to a failure of a partition wall;

도 4 는 본 발명에 의한 유기 전계 발광 디스플레이 소자의 분리 격벽 불량 판단 장치의 제조 공정을 보인 예시도,Figure 4 is an exemplary view showing a manufacturing process of the separation barrier failure determination device of the organic electroluminescent display device according to the present invention,

도 5 는 본 발명에 의한 유기 전계 발광 디스플레이 소자의 분리 격벽 불량 판단 방법을 보인 예시도이다.5 is an exemplary view illustrating a separation barrier failure determination method of an organic electroluminescent display device according to the present invention.

<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명><Description of Symbols for Main Parts of Drawings>

10 : 투명 기판 20 : 양극 전극10 transparent substrate 20 anode electrode

30 : 유기막 40 : 음극 전극30 organic film 40 cathode electrode

21 : 투명 전극(ITO) 22 : 절연막(Insulator)21: transparent electrode (ITO) 22: insulating film (Insulator)

23 : 분리 격벽 24 : 캐소드 패드23: separation partition 24: cathode pad

25 : 격벽 패드 26 : 저항 측정기25: bulkhead pad 26: resistance meter

A : 불량 부분(쇼트난 부분)A: defective part (shorted part)

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시 예를 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.

본 발명에 따른 유기 전계 발광 디스플레이 소자의 분리 격벽 불량 판단 장치는 도 4 에 도시한 바와 같이, 양극 전극(20)으로 사용될 수 있는 투명 전극(21)의 패턴(pattern)을 형성하고, 포토(Photo) 공정에 의해 절연막(22) 및 음극 전극의 패턴 형성용 분리 격벽(23)을 형성한 후, 유기막(30)을 증착시키고 음극 전극(40)을 형성하여 제작하는 유기 전계 발광 디스플레이 소자에 있어서, 상기 분리 격벽(23)을 전부 연결하여 격벽 패드(25)를 형성한 후, 상기 격벽 패드(25)와 캐소드 패드(24) 사이의 저항값을 측정할 수 있도록 저항측정용 패널을 형성하여 구성한다.The separation barrier failure determination apparatus of the organic electroluminescent display device according to the present invention forms a pattern of the transparent electrode 21 that can be used as the anode electrode 20, as shown in FIG. In the organic electroluminescent display device which forms the insulating film 22 and the isolation | separation partition 23 for pattern formation of a cathode electrode, and forms the cathode film 40 by depositing the organic film 30 by a process), After forming the partition pad 25 by connecting all the separating partitions 23, the resistance measurement panel is formed to measure the resistance value between the partition pad 25 and the cathode pad 24. do.

상기와 같이 구성한 본 발명의 분리 격벽의 불량 판단 장치는, 양극 전극(20)으로 사용될 수 있는 투명 전극(21)의 패턴(pattern)을 형성하고, 포토(Photo) 공정에 의해 절연막(22) 및 음극 전극의 패턴 형성용 분리 격벽(23)을 형성한 후, 상기 분리 격벽(23)의 라인을 전부 연결하여 한 쪽 부분에 격벽 패드(25)를 따로 만들어 캐소드 금속(cathod metal)을 증착시킨다.The failure determination apparatus of the separation partition of the present invention configured as described above forms a pattern of the transparent electrode 21 which can be used as the anode electrode 20, and the insulating film 22 and After forming the separation barrier rib 23 for pattern formation of the cathode electrode, all the lines of the separation barrier rib 23 are connected to each other to form a barrier pad 25 separately to deposit a cathode metal.

상기와 같이 격벽 패드(25)를 형성한 후, 저항 측정기(26)를 이용하여 상기 격벽 패드(25)와 캐소드 패드(24) 사이의 저항 값을 측정한다.After the partition pad 25 is formed as described above, the resistance value between the partition pad 25 and the cathode pad 24 is measured using the resistance measuring device 26.

상기 분리 격벽(23)이 정상인 경우, 즉, 쇼트(short)가 발생하지 않은 경우에 상기 격벽 패드(25)와 캐소드 패드(24)가 개방된 상태로 되어 저항 값을 측정할 수 없는 상태인 무한대의 저항 값이 나타나게 된다.Infinity when the separation barrier 23 is normal, that is, when no short occurs, the barrier pad 25 and the cathode pad 24 are in an open state where resistance values cannot be measured. The resistance value of appears.

반면에 상기 분리 격벽(23)에 쇼트(short)가 난 경우, 상기 격벽 패드(25)와 캐소드 패드(24)가 연결되어 전체적으로 폐회로가 형성되고, 이에 따른 저항 값이 나타나게 되므로 저항 측정기(26)로 상기 저항 값을 측정하여 쇼트가 발생한 부분(A)을 찾을 수 있게 된다.On the other hand, when the short (short) in the separation barrier 23, the barrier pad 25 and the cathode pad 24 is connected to form a closed circuit as a whole, the resistance value is shown so that the resistance meter 26 By measuring the resistance value it is possible to find the portion (A) where the short occurs.

즉, 분리 격벽(23)의 불량 부분(A)을 분석할 수 있다.That is, the defective part A of the separation partition 23 can be analyzed.

한편, 상기와 같이 분리 격벽(23)의 불량 부분(A)이 분석된 경우 도 5 에 도시한 바와 같이, 상기 불량 부분(A)에 전원을 인가하면 인가된 전원에 의해 상기 불량 부분(A)으로 전류가 흐르면서 열이 발생하고, 그 발생한 열에 의해 쇼트난 부분이 끊어지게 된다.Meanwhile, when the defective portion A of the separation partition 23 is analyzed as described above, as shown in FIG. 5, when the power is applied to the defective portion A, the defective portion A is applied by the applied power. As current flows, heat is generated, and the shorted portion is cut off by the generated heat.

따라서, 상기와 같이 불량 부분(A)에 전원을 인가하여 전류가 흐르도록 함으로써 불량 부분(A)을 수리(repair)할 수 있게 된다.Therefore, the defective portion A can be repaired by applying power to the defective portion A as described above to allow a current to flow.

이상에서 상세히 설명한 바와 같이 본 발명에 따른 유기 전계 발광 디스플레이 소자의 분리 격벽 불량 판단 장치 및 그 방법은, 분리 격벽에 쇼트(short)가 난 경우 상기 격벽 패드와 캐소드 패드 사이에 저항 값이 나타나게 되는 것을 이용하여 격벽 패드와 캐소드 패드 사이의 저항 값을 측정함으로써, 쇼트난 부분을 찾아내어 분리 격벽의 불량 부분(A)을 분석할 수 있고, 전원을 인가하여 쇼트난 부분을 끊어줌으로써 불량 부분(A)을 수리(repair)할 수 있으며, 이로 인하여 디스플레이 소자의 제작 공정시 수율을 향상시킬 수 있는 효과가 있다.As described in detail above, in the separation barrier failure determining apparatus and method of the organic light emitting display device according to the present invention, when a short occurs in the separation barrier, a resistance value appears between the barrier pad and the cathode pad. By measuring the resistance value between the bulkhead pad and the cathode pad by using this method, the shortened part can be found and the defective part A of the separating partition can be analyzed, and the shorted part is cut off by applying power. It is possible to repair (repair), thereby improving the yield in the manufacturing process of the display device.

본 발명은 구체적인 예에 대해서만 상세히 설명되었지만 본 발명의 기술사상 범위 내에서 다양한 변형 및 수정이 가능함은 당업자에게 있어서 명백한 것이며, 이러한 변형 및 수정이 첨부된 특허청구범위에 속함은 당연한 것이다.Although the invention has been described in detail only with respect to specific examples, it will be apparent to those skilled in the art that various modifications and variations are possible within the spirit of the invention, and such modifications and variations belong to the appended claims.

Claims (3)

양극 전극으로 사용될 수 있는 투명 전극(ITO)의 패턴(pattern)을 형성하고, 포토(Photo) 공정에 의해 절연막(Insulator) 및 음극 전극의 패턴 형성용 분리 격벽(Separator)을 형성한 후, 유기막을 증착시키고 음극 전극을 형성하여 제작하는 유기 전계 발광 디스플레이 소자에 있어서,After forming a pattern of a transparent electrode (ITO) that can be used as an anode electrode, and forming a separator for pattern formation of an insulator and a cathode electrode by a photo process, an organic layer is formed. In the organic electroluminescent display device which is formed by depositing and forming a cathode electrode, 상기 분리 격벽(separator)을 전부 연결하여 격벽 패드(pad)를 형성한 후, 상기 격벽 패드와 캐소드 패드 사이의 저항 값을 측정할 수 있도록 저항측정용 패널을 형성한 것을 특징으로 하는, 유기 전계 발광 디스플레이 소자의 분리 격벽 불량 판단 장치.After connecting all of the separation barrier (separator) to form a partition pad (pad), the organic electroluminescence, characterized in that the resistance measuring panel is formed to measure the resistance value between the partition pad and the cathode pad Determination of separation barrier failure of the display element. 양극 전극으로 사용될 수 있는 투명 전극(ITO)의 패턴(pattern)을 형성하고, 포토(Photo) 공정에 의해 절연막(Insulator) 및 음극 전극의 패턴 형성용 분리 격벽(Separator)을 형성한 후, 유기막을 증착시키고 음극 전극을 형성하여 제작하는 유기 전계 발광 디스플레이 소자에 있어서,After forming a pattern of a transparent electrode (ITO) that can be used as an anode electrode, and forming a separator for pattern formation of an insulator and a cathode electrode by a photo process, an organic layer is formed. In the organic electroluminescent display device which is formed by depositing and forming a cathode electrode, 상기 분리 격벽(separator)을 전부 연결하여 형성한 격벽 패드와 캐소드 패드 사이의 저항 값을 측정하는 제 1 과정; 및A first step of measuring a resistance value between the partition pad and the cathode pad formed by connecting all of the separators; And 저항 값이 무한대인 경우에는 정상으로 판단하고, 저항 값이 측정되는 부분은 불량으로 판단하는 제 2 과정으로 이루어진 유기 전계 발광 디스플레이 소자의 분리 격벽 불량 판단 방법.When the resistance value is infinite, it is determined that the normal, and the portion of the resistance value is determined by the separation process of the separation barrier failure determination method of the organic electroluminescent display device comprising a second process. 제 2 항에 있어서,The method of claim 2, 상기 제 2 과정에서 불량으로 판단한 부위에 전원을 인가하여 불량 부분이 끊어지게 수리(repair)하는 제 3 과정을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 유기 전계 발광 디스플레이 소자의 분리 격벽 불량 판단 방법.The method of claim 2, further comprising a third process of repairing the defective portion is broken by applying power to a portion determined to be defective in the second process.
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