KR101776653B1 - 노광공정용 ｌｅｄ 조명광학장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 노광공정용 LED 조명광학장치에 관한 것으로서, 본 발명에 따른 노광공정용 LED 조명광학장치는 노광장치에 단일 초점으로 빛을 조사하는 LED 모듈어셈블리를 복수개 구비한 LED 모듈집합체를 포함하고, 상기 LED 모듈어셈블리는 기판, 복수의 LED 소자, 상기 각각의 LED 소자에서 발산하는 빛을 평행화하는 렌즈모듈 및 상기 렌즈모듈에서 평행화된 빛을 포커싱하는 포커싱 렌즈를 포함하는 LED 모듈과, 상기 LED 모듈이 전면에 장착되는 지지플레이트와, 상기 지지플레이트의 후면에 구비되는 냉각부를 구비하는 것을 특징으로 한다.

Description

노광공정용 ＬＥＤ 조명광학장치 {LED illumination optical apparatus for exposure process}
본 발명은 노광공정용 LED 조명광학장치에 관한 것으로서, 반도체 기판 및 평판 디스플레이 기판 등의 제조에 사용되는 노광 장치에 빛을 조사하는 노광공정용 LED 조명광학장치에 관한 것이다.
일반적으로, 컴퓨터 및 각종 전자 제품에 적용되는 반도체 소자나, 화상 표시 소자인 액정 표시 소자(LCD: Liquid Crystal Display), 플라즈마 디스플레이 소자(PDP: Plasma Display Panel), 전자 부품이 실장되는 회로기판(PCB) 등의 제조 과정 중에서 미세 패턴을 정밀하게 형성하기 위해 포토 리소그래피(photo-lithography)방법이 널리 이용된다.
포토 리소그래피 방법은 피처리 기판 상에 포토레지스트를 균일하게 도포하여 포토레지스트 막을 형성하는 단계와, 형성된 포토레지스트 막을 선택적으로 노광용 광에 노출시켜 노출된 부분의 포토레지스트의 성질을 변화시키는 단계와, 현상액 등을 이용하여 성질이 변화된 부분을 선택적으로 제거시켜 목적하는 포토레지스트 막 패턴을 형성하는 단계를 포함한다. 전술한 방법에 의해 형성된 포토레지스트 막 패턴을 이용하여 식각(etching) 공정 등을 통해 피처리 기판 상에 대응되는 패턴을 형성시킬 수 있도록 한다.
한편, 전술한 포토 리소그래피 공정에 속하는 노광(exposure) 공정에서는 목적하는 패턴이 디자인된 레티클(reticle) 또는 마스크(mask)를 광원과 피처리 기판 사이에 위치시키고, 광원으로부터 피처리 기판을 향해 광을 조사시켜 조사된 광에 의해 레티클 또는 마스크 상의 패턴에 따라 피처리 기판을 선택적으로 노출시키게 된다.
전술한 노광 공정은 노광 장치를 이용하여 수행되며, 노광 장치에는 노광용 광을 조사할 수 있도록 조명 광학계가 구비된다. 종래에는 노광 장치에 이용되는 조명 광학계로서는 아크등을 이용한 광학계가 주로 이용되었다. 하지만 이러한 아크등을 이용한 광학계는 부피가 커서 설치 공간을 많이 필요로 하며, 수명이 짧아 유지 보수에 비용 및 시간이 많이 소요된다. 특히, 아크등을 이용한 광학계는 열손실이 커서 에너지 효율이 떨어지는 문제점을 수반한다.
본 발명은 종래의 아크등을 LED 조명광학계모듈로 대체하면서도 종래의 노광장치를 그대로 이용함으로써, 저전력을 실현하고 에너지 효율을 증가시킬 수 있는 LED 조명광학장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
또한 본 발명은 기존의 노광 장치에서 아크등을 제거한 후 별다른 구조변경 없이도 곧바로 장착하여 사용이 가능한 노광공정용 LED 조명광학장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
상기와 같은 본 발명의 목적은 노광장치에 단일 초점으로 빛을 조사하는 LED 모듈어셈블리를 복수개 구비한 LED 모듈집합체를 포함하고, 상기 LED 모듈어셈블리는 기판, 복수의 LED 소자, 상기 각각의 LED 소자에서 발산하는 빛을 평행화하는 렌즈모듈 및 상기 렌즈모듈에서 평행화된 빛을 포커싱하는 포커싱 렌즈를 포함하는 LED 모듈과, 상기 LED 모듈이 전면에 장착되는 지지플레이트와, 상기 지지플레이트의 후면에 구비되는 냉각부를 구비하는 것을 특징으로 하는 노광공정용 LED 조명광학장치에 의해 달성된다.
여기서, 상기 LED 모듈어셈블리의 지지플레이트는 이웃하는 LED 모듈어셈블리의 지지플레이트와 미리 결정된 각도를 이루면서 서로 연결되어, 상기 복수개의 LED 모듈어셈블리에서 조사되는 빛이 단일 초점으로 모이게 된다.
이 경우, 상기 지지플레이트를 이웃하는 지지플레이트와 미리 결정된 각도를 이루면서 연결하는 결합부재를 더 구비할 수 있다.
또한, 상기 지지플레이트는 이웃하는 지지플레이트와 미리 결정된 각도를 이루면서 연결되는 경사부를 적어도 일측에 구비할 수 있다.
본 발명은 종래의 아크등을 LED 조명광학계모듈로 대체하여 설치면적이 상대적으로 줄어들어 설치가 용이하며, LED를 이용함으로써 저전력을 실현하고 에너지 효율을 증가시킬 수 있다.
또한 본 발명은 기존의 노광 장치에서 아크등을 제거한 후 별다른 구조변경 없이도 곧바로 장착하여 사용이 가능함으로써, 추가적인 구조변경에 대한 비용 부담 및 설계 변경에 대한 부담이 없다.
특히, 본 발명은 복수개의 LED 모듈을 구비하여 단일 LED 모듈을 사용하는 경우에 노광공정용으로 부족할 수 있는 파워 부족을 극복함으로써, 다양한 요구 조건에 대응할 수 있다.
도 1은 본 발명에 따른 노광공정용 LED 조명광학장치의 전방 사시도,
도 2는 본 발명에 따른 노광공정용 LED 조명광학장치의 후방 사시도,
도 3은 LED 모듈집합체의 사시도,
도 4는 LED 모듈어셈블리의 분해 사시도,
도 5는 LED 모듈의 결합 사시도,
도 6은 도 5의 단면도,
도 7은 도 5의 분해사시도,
도 8은 도 5에서 렌즈모듈의 분해사시도,
도 9는 일 실시예에 따른 LED 모듈집합체의 단면도,
도 10은 다른 실시예에 따른 LED 모듈집합체의 단면도이다.
이하 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 설명한다. 특별한 정의나 언급이 없는 경우에 본 설명에 사용하는 방향을 표시하는 용어는 도면에 표시된 상태를 기준으로 한다. 또한 각 실시예를 통하여 동일한 도면부호는 동일한 부재를 가리킨다. 한편, 도면상에서 표시되는 각 구성은 설명의 편의를 위하여 그 두께나 치수가 과장될 수 있으며, 실제로 해당 치수나 구성간의 비율로 구성되어야 함을 의미하지는 않는다.
도 1은 본 발명에 따른 노광공정용 LED 조명광학장치의 전방 사시도이고, 도 2는 본 발명에 따른 노광공정용 LED 조명광학장치의 후방 사시도이다.
도 1 및 도 2를 참조하면, 본 발명에 따른 노광공정용 LED 조명광학장치(1000)(이하, 'LED 조명광학장치'라 함)는 단일 초점(A)으로 빛을 조사하여 노광장치(900)로 노광용 광을 공급한다. 이때 상기 LED 조명광학장치(1000)는 집광된 빛의 균일도를 향상시키는 노광장치(900)의 플라이아이(fly-eye) 렌즈 상에 단일 초점(A)으로 빛을 조사하도록 구비될 수 있다. 상기 노광장치(900)에 대해서는 본 발명이 속하는 분야에서 널리 알려져 있으므로 구체적인 설명은 생략한다.
상기 LED 조명광학장치(1000)는 단일 초점으로 빛을 조사하는 LED 모듈어셈블리(600)(도 3 참조)를 복수개 구비한 LED 모듈집합체(2000)를 포함한다.
상기 LED 조명광학장치(1000)는 베이스(200), 상기 베이스(200)에 수직하게 구비되는 지지부(210)를 더 포함하고, 상기 LED 모듈어셈블리(600)는 상기 지지부(210)에 구비될 수 있다.
상기 베이스(200)는 상기 노광장치(900)와 연결될 수 있으며, 지지부(210)가 수직하게 구비된다. 상기 베이스(200)와 지지부(210)는 상기 LED 모듈집합체(2000)의 하중을 지지할 수 있는 어떠한 구조라도 가능하다.
상기 지지부(210)에는 후술하는 LED 모듈집합체(2000)가 장착된다. 상기 LED 모듈집합체(2000)는 빛을 조사하는 LED 모듈어셈블리(600)를 복수개 구비하며, 상기 복수개의 LED 모듈어셈블리(600)에서 각각 조사된 빛은 단일 초점(A)으로 모이게 된다.
도 3은 상기 LED 모듈집합체(2000)의 사시도이다.
도 3을 참조하면, 상기 LED 모듈집합체(2000)는 상기 LED 모듈어셈블리(600)가 복수개 모인 집합체로서 상기 복수개의 LED 모듈어셈블리(600)에서 각각 조사된 빛이 단일 초점(A)으로 집중되도록 한다. 도면에서는 7개의 LED 모듈어셈블리(600)를 도시하지만, 상기 LED 모듈어셈블리(600)의 개수는 일예에 불과하며 적절히 조절될 수 있다. 한편, 노광공정용 광원으로 LED 모듈을 채용하는 경우에 파워가 부족할 수 있는데, 본 실시예에서는 LED 모듈어셈블리(600)를 복수개 구비하여 LED 모듈집합체(2000)의 형태로 광원을 제공함으로써 파워 부족을 방지하게 된다.
도 4는 하나의 LED 모듈어셈블리(600)의 분해 사시도이다.
도 4를 참조하면, 상기 LED 모듈어셈블리(600)는 LED 모듈(100), 상기 LED 모듈(100)이 전면에 장착되는 지지플레이트(300)와, 상기 지지플레이트(300)의 후면에 구비되는 냉각부를 구비한다.
상기 LED 모듈(100)은 상기 지지플레이트(300)의 전면에 장착되며, 상기 지지플레이트(300)의 후면에는 상기 LED 모듈(100)에서 발산하는 열을 식히는 냉각부를 구비한다. 상기 냉각부는 예를 들어 방열핀(400)과 냉각팬(500) 중에 적어도 하나를 포함할 수 있다.
한편, 상기 지지플레이트(300)는 상기 LED 모듈(100)과 냉각부를 서로 연결시켜서 하나의 어셈블리를 제공하는 역할과 함께, 이웃하는 LED 모듈어셈블리(600)를 서로 연결시키는 역할을 한다. 나아가, 상기 지지플레이트(300)는 서로 연결된 LED 모듈어셈블리(600)의 각각에서 조사되는 빛이 단일 초점으로 집중되도록 미리 결정된 각도로 연결될 수 있다. 이하, LED 모듈의 구조에 대해서 살펴보고, 이어 상기 지지플레이트(300)에 대해 상세히 살펴본다.
도 5는 상기 LED 모듈(100)의 결합 사시도이고, 도 6은 도 5의 단면도이고, 도 7은 도 5의 분해사시도이다.
도 5 내지 도 7을 참조하면, 상기 LED 모듈(100)은 기판(120), 복수의 LED 소자(140), 렌즈모듈(150) 및 포커싱 렌즈(135)를 포함한다.
상기 복수의 LED 소자(140)는 기판(120) 상에 고정된다. 상기 LED 소자(140)는 전력을 공급받아 발광하며 노광공정을 위한 광원의 역할을 하게 된다. 또한 상기 LED 소자(140)가 발광하는 빛은 노광공정을 위한 자외선일 수 있다.
상기 렌즈모듈(150)은 상기 각각의 LED 소자(140)에서 발산하는 빛을 평행화하며, 상기 포커싱 렌즈(135)는 상기 렌즈모듈(150)에서 평행화된 빛을 전방의 임의의 위치에 포커싱한다.
따라서, 상기 기판(120) 상에 배열된 복수의 상기 LED 소자(140)의 각각에서 불규칙하게 발산하는 빛은 상기 렌즈모듈(150)에 의해 규칙적으로 평행화되고, 이와 같이 팽행화된 빛은 상기 포커싱 렌즈(130)에 의해 상기 LED 모듈(100) 전방의 임의의 위치에 초점을 명확히 구현시킬 수 있게 된다. 도 8에 상기 렌즈모듈(150)의 구성이 상세히 도시된다.
도 8은 상기 렌즈모듈(150)의 분해사시도이다.
도 8을 참조하면, 상기 렌즈모듈(150)은 상기 각각의 LED 소자(140)에서 나오는 빛을 평행화시키기 위하여, 각각의 LED 소자(140)에 대응하여 순차적으로 정렬되는 제1 렌즈(131)와 제2 렌즈(133)를 포함할 수 있다. 제1 렌즈(131)는 상기 각각의 LED 소자(140)에서 발산하는 빛을 1차로 팽행화하는 구성이고, 상기 제2 렌즈(133)은 상기 제1 렌즈(131)에서 평행화된 빛을 2차로 팽행화하는 구성이다.
구체적으로, 상기 렌즈모듈(150)은 복수의 제1 렌즈(131)가 어레이(array)를 이루는 제1 렌즈 어레이(132), 복수의 제2 렌즈(133)가 어레이를 이루는 제2 렌즈 어레이(134), 상기 제1 렌즈 어레이(132)와 제2렌즈 어레이(134)를 상기 LED 소자에 대응하도록 순차적으로 정렬 고정시키기 위한 모듈프레임(110)을 포함할 수 있다.
이와 같이, 다수의 렌즈들로 이루어지는 상기 렌즈모듈(150)은 상기 LED 소자(140)가 장착된 상기 기판(120)에 결합/고정되는데, 이때 다수의 렌즈들 각각이 상기 LED 소자(140)의 각각에 대응하는 정확한 위치에 쉽게 정렬 고정될 수 있도록, 도면에 보이는 바와 같이 하나의 모듈로 이루어지는 것이 바람직하다. 이를 위해 본 발명에 따른 상기 렌즈모듈(150)은 복수의 상기 제1 렌즈(131)와 상기 제2 렌즈(133)를 상기 LED 소자(140)에 대응하여 순차적으로 정렬 고정시키기 위한 모듈프레임(110)을 포함한다.
상기 모듈프레임(110)은 다수의 렌즈들로 이루어지는 상기 렌즈모듈(150)을 일체로 모듈화하여 상기 LED 모듈(100) 조립 시 각각의 상기 LED 소자(140)에 쉽게 정렬 고정시키기 위한 구성으로서, 상기 각각의 LED 소자(140)에 대응하는 위치에 렌즈 고정구멍들이 형성되는 제1 브라켓(111), 제2 브라켓(113) 및 제3 브라켓(115)을 포함할 수 있다. 상기 제2 브라켓(113)은 상기 제1 브라켓(111)에 나사결합될 수 있으며, 상기 제3 브라켓(115)은 상기 제2 브라켓(113)에 나사결합될 수 있다.
상기와 같은 구성을 가지는 경우, 상기 제1 렌즈 어레이(132)는 상기 제1 브라켓(111)과 제2 브라켓(113)의 렌즈 고정구멍들 사이에 개재된 상태로 상기 제1 브라켓(111)과 제2 브라켓(113)의 나사결합에 의해 정렬 고정될 수 있으며, 상기 제2 렌즈 어레이(134)는 상기 제2 브라켓(113)과 상기 제3 브라켓(115)의 렌즈 고정구멍들 사이에 개재된 상태로 상기 제2 브라켓(113)과 제3 브라켓(115)의 나사결합에 의해 정렬 고정될 수 있다.
그리고, 이와 같은 구성을 통해 상기 렌즈모듈(150)은 다수의 렌즈들(131,133)이 각각 정확한 위치에 정렬된 상태로 고정된 일체화된 모듈의 형태로 이루어질 수 있으며, 따라서 상기 LED 모듈(100) 조립시, 일체화된 모듈의 형태인 상기 렌즈모듈(150)을 상기 LED 소자(140)가 장착된 상기 기판(140)에 나사결합 등에 의해 결합고정시키면 되기 때문에, 전체적인 조립성을 향상시킬 수 있으며 또한 다수의 렌즈들의 정확한 위치정렬이 가능해질 수 있다.
한편, 도 7을 참조하면 상기 포커싱 렌즈(135)는 상기 렌즈모듈(150)에서 평행화된 빛을 전방의 임의 위치에 포커싱하는 구성으로서, 하나의 볼록렌즈 형태로 구성될 수 있다.
이 경우, 상기 LED 모듈(100)은 상기 포커싱 렌즈(135)를 상기 렌즈모듈(150)에 정렬 고정시키는 제1 고정브라켓(117)과 제2 고정브라켓(119)을 더 포함할 수 있다.
상기 제1 고정브라켓(117)과 제2 고정브라켓(119)은 그 사이에 상기 포커싱 렌즈(135)가 개재된 상태로 정렬 고정될 수 있도록, 단일의 렌즈 고정구멍이 형성될 수 있다. 상기 제1 고정브라켓(117)은 볼트 및 너트 등의 체결용 부재를 이용하여 상기 렌즈모듈(150)에 고정될 수 있으며, 상기 제2 고정브라켓(119)은 상기 제1 고정브라켓(117)과 나사결합될 수 있다. 이에 의해, 상기 포커싱 렌즈(135)는 상기 제1 고정브라켓(117)과 제2고정브라켓(119)의 단일의 렌즈 고정구멍 사이에 개재된 상태로 상기 제1 고정브라켓(117)과 제2고정브라켓(119)의 나사결합에 의해 정렬 고정될 수 있게 된다.
제2고정브라켓(119)은 원형의 형상으로 형성될 수 있으며, 초점거리를 확보하기 위하여 후술할 미러부재에 근접할 수 있도록 일부가 절개된 형상으로 형성될 수 있다. 즉, 제2고정브라켓(119)는 도 3에 도시된 바와 같이 일부가 절개된 형상으로 이루어져 제2고정브라켓(117)의 하부에 고정될 수 있다.
전술한 바와 같이, 본 발명에 따른 LED 조명광학장치(1000)는 노광공정용 광원으로 LED 모듈을 채용하는 경우에 발생하는 파워부족 문제를 해결하기 위하여 LED 모듈어셈블리(600)를 복수개 구비한 LED 모듈집합체(2000)의 형태로 광원을 제공하는 것인데, 이와 같이 LED 모듈집합체(2000)의 형태로 광원을 제공하게 되면 파워부족을 해결하기 위하여 LED 모듈어셈블리(600)의 크기를 크게 제작할 필요가 없으며, 그에 따라 LED 모듈어셈블리(600)의 크기를 크게 제작할 때 발생하는 문제 즉, 하나의 볼록렌즈 형태로 구성되는 포커싱 렌즈(135)의 크기가 커져야 함에 따라 발생하는 렌즈제작의 어려움과 비용증가 등의 문제를 방지할 수 있다.
이하, 상기와 같은 구성을 가지는 LED 모듈어셈블리(600)가 집합체를 이루면서 하나의 초점으로 광이 집중되는 구성에 대해서 살펴보기로 한다.
도 9는 일 실시예에 따른 LED 모듈집합체(2000)의 단면도이다.
도 9를 참조하면, 상기 LED 모듈집합체(2000)는 서로 연결된 복수개의 LED 모듈어셈블리(600)를 구비하며, 상기 LED 모듈어셈블리(600)의 지지플레이트(300)는 이웃하는 LED 모듈어셈블리의 지지플레이트와 미리 결정된 각도(θ)를 이루면서 서로 연결되어, 상기 복수개의 LED 모듈어셈블리(600)에서 조사되는 빛이 단일 초점(A)으로 모이게 된다.
예를 들어, 도면에 도시된 바와 같이 중앙부에 제1 LED 모듈어셈블리(600B)를 구비하고, 그 상부 및 하부에 각각 제2 LED 모듈어셈블리(600A)와 제3 LED 모듈어셈블리(600C)를 구비하는 경우, 상기 제2 LED 모듈어셈블리(600A)와 제3 LED 모듈어셈블리(600C)는 상기 제1 LED 모듈어셈블리(600B)에 대해 미리 결정된 각도(θ)를 이루면서 경사져서 연결된다. 여기서, 상기 각도(θ)는 상기 LED 모듈어셈블리(600)의 개수와 초점까지의 거리에 따라 적절히 조절될 수 있다.
전술한 바와 같이, 상기 제2 LED 모듈어셈블리(600A)와 상기 제1 LED 모듈어셈블리(600B)가 소정의 각도(θ)를 이루면서 연결되기 위해서는 상기 제2 LED 모듈어셈블리(600A)의 제2 지지플레이트(300A)와 상기 제1 LED 모듈어셈블리(600B)의 제1 지지플레이트(300B)가 상기 각도(θ)를 이루면서 연결되어야 한다.
이를 위하여, 어느 하나의 지지플레이트(300B)를 이웃하는 지지플레이트(300A)와 미리 결정된 각도(θ)를 이루면서 연결시키는 결합부재(610)를 더 구비할 수 있다. 예를 들어, 도면에 도시된 바와 같이 상기 제2 지지플레이트(300A)와 제1 지지플레이트(300B)를 소정의 각도(θ)를 이루면서 연결시키는 결합부재(610)를 더 구비한다. 상기 결합부재(610)는 브라켓(bracket)의 형태로 제공될 수 있으며, 상기 지지플레이트의 연결 각도(θ)에 따라 미리 절곡되어 제작될 수 있다.
그런데, 도 9와 같은 연결구조에서는 서로 이웃하는 지지플레이트를 소정의 각도(θ)로 연결시킬 수 있지만, 그 연결 과정이 복잡할 수 있다. 즉, 결합부재(610)에 의해 연결시키는 경우에 상기 결합부재(610)를 일측 지지플레이트에 연결하고, 다른 지지플레이트를 상기 결합부재(610)에 맞춰 경사지게 고정시키고 연결하게 된다. 이러한 일련의 과정은 매우 복잡하며, 특히 상기 LED 모듈어셈블리(600)의 무거운 하중에 의해 매우 힘든 작업이 될 수 있다.
또한, 상기와 같은 연결구조에서는 이웃하는 지지플레이트 사이에 공극(C)이 발생하게 된다. 이러한 공극(C)은 이웃하는 지지플레이트가 소정의 각도로 경사져서 연결되기 때문에 발생한다. 이러한 공극(C)은 상기 LED 모듈집합체(2000)에 충격이 가해지는 경우에 파손 또는 손상의 원인이 될 수 있다.
도 10은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위한 다른 실시예에 따른 LED 모듈집합체의 단면도이다. 도 10에서는 도시의 편의를 위해 지지플레이트만을 도시하였음을 밝혀둔다.
도 10을 참조하면, 상기 지지플레이트(300)는 이웃하는 지지플레이트와 미리 결정된 각도(θ)를 이루면서 연결되는 경사부(3100)를 적어도 일측에 구비할 수 있다.
도면에 도시된 바와 같이 중앙부의 제1 지지플레이트(3000B)와 상부의 제2 지지플레이트(3000A)를 소정의 각도(θ)로 경사져서 연결하는 경우에 상기 제1 지지플레이트(3000B)의 일측에 경사부(3100)를 구비할 수 있으며, 상기 경사부(3100)의 경사각(θ)은 상기 제1 지지플레이트(3000B)와 상부의 제2 지지플레이트(3000A)의 연결각도(θ)에 대응한다.
따라서, 상기 제2 지지플레이트(3000A)를 상기 제1 지지플레이트(3000B)에 연결시키는 경우에 상기 제2 지지플레이트(3000A)의 단부를 상기 제1 지지플레이트(3000B)의 경사부(3100)에 안착시키면 원하는 연결 각도(θ)로 상기 제1 지지플레이트(3000B)와 상부의 제2 지지플레이트(3000A)를 연결시킬 수 있게 된다. 한편 도면에는 도시되지 않았지만, 도 10에 따른 실시예에서도 전술한 도 9의 실시예와 같이 지지플레이트를 연결시키는 경우에 결합부재(610)를 구비할 수 있다.
결국, 본 실시예에 따른 연결구조에서는 지지플레이트를 서로 연결시키는 경우에 일측 지지플레이트에 이웃하는 지지플레이트를 안착시켜 연결시키면 되므로 매우 용이하게 연결시킬 수 있다. 또한, 상기 경사부(3100)에 의해 상기 이웃하는 지지플레이트 사이에 발생할 수 있는 공극을 메울 수 있으므로, 상기 LED 모듈집합체(2000)의 전체 강도를 향상시킬 수 있다.
이상 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 설명하였으나, 본 발명의 기술적 사상이 상술한 바람직한 실시예에 한정되는 것은 아니며, 특허청구범위에 구체화된 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범주에서 다양하게 구현될 수 있다.
100...LED 모듈
110...모듈프레임
120...기판
131...제1렌즈
133...제2렌즈
135...포커싱 렌즈
140...LED 소자
150...렌즈모듈
600...LED 모듈어셈블리
2000...LED 모듈집합체
1000...LED 조명광학장치

Claims (4)

  1. 노광장치에 단일 초점으로 빛을 조사하는 LED 모듈어셈블리를 복수개 구비한 LED 모듈집합체;를 포함하고,
    상기 LED 모듈어셈블리는 기판, 복수의 LED 소자, 상기 복수의 LED 소자에서 발산하는 빛을 평행화하는 렌즈모듈 및 상기 렌즈모듈에서 평행화된 빛을 포커싱하는 포커싱 렌즈를 포함하는 LED 모듈과, 상기 LED 모듈이 전면에 장착되는 지지플레이트와, 상기 지지플레이트의 후면에 구비되는 냉각부를 구비하고,
    상기 LED 모듈어셈블리의 지지플레이트는 상기 복수개의 LED 모듈어셈블리에서 조사되는 빛이 단일 초점으로 모이도록, 이웃하는 LED 모듈어셈블리의 지지플레이트와 미리 결정된 각도를 이루면서 서로 연결되며,
    상기 지지플레이트는 이웃하는 지지플레이트와 미리 결정된 각도를 이루면서 연결된 경우에 상기 서로 이웃하는 지지플레이트 사이에 공극(C)이 발생하는 것을 방지하는 경사부를 적어도 일측에 구비하며,
    상기 미리 결정된 각도만큼 미리 절곡된 브라켓 형태로 제작되어 상기 경사부에 결합 고정됨에 따라 상기 지지플레이트를 이웃하는 지지플레이트와 상기 미리 결정된 각도를 이룬 상태로 고정하는 결합부재를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 노광공정용 LED 조명광학장치.
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