KR101769922B1 - Chemical liquid supply system - Google Patents

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Abstract

A system for supplying a liquid agent and a method for automatically replacing a filter thereof are disclosed. While pneumatic valves opened and closed by an electric signal are installed on a plurality of supply lines constituting a plurality of filters, an auto-interlock function of determining whether to replace a filter and to automatically open or close pneumatic valves through a pressure difference of pressure sensors provided at front and rear ends of the filters is implemented. Therefore, the system for supplying a liquid agent can allow a user to easily replace a filter or a filter cartridge even if the user is not skilled and increase efficiency of equipment operation for a liquid agent supply system, can increase yield through timely replacement of the filter or cartridge, can minimize a pressure drop at a point of use (P.O.U) after a replacement work of the filter or cartridge and flow rate hunting of a liquid agent, and can prevent a danger caused by skin contact to the liquid agent.

Description

약액 공급시스템과 이의 필터 자동 교체 방법 {CHEMICAL LIQUID SUPPLY SYSTEM}Technical Field [0001] The present invention relates to a chemical liquid supply system,

본 발명은 반도체소자 제조공정의 웨이퍼 표면을 화학기계적으로 연마하는 CMP(Cemichal Mechanical Polishing)공정에 사용되는 약액(예; 케미컬/슬러리(CHEMICAL/SLURRY))을 공급하는 약액 공급시스템의 필터에 관한 것으로, 보다 상세하게는 약액의 파티클(PARTICLE)을 최소화시키기 위해 약액 공급시스템에 적용되는 필터 또는 필터 카트리지(FILTER CARTRIDGE)에 대한 교체 주기가 도달시 밸브들이 자동 개폐되도록 하는 자동 인터록(AUTO INTERLOCK) 기능을 구현하여, 약액 공급시스템에 대한 장비 운영의 효율성을 증대시키면서도 필터 또는 필터 카트리지 교체시 작업자의 실수에 의한 사고를 예방하고, 필터 차압 설정을 통한 필터 또는 필터 카트리지의 교체가 적기에 이루어지도록 하면서 그 교체에 따른 수율을 향상시키고, 사용처(P.O.U ; POINT OF USE)측의 압력 드롭(DROP)과 약액의 유량 헌팅(HUNTING) 현상을 최소화시킬 수 있도록 하는 유체 공급시스템과 이의 필터 자동 교체방법에 관한 것이다.TECHNICAL FIELD The present invention relates to a filter of a chemical liquid supply system for supplying a chemical solution (e.g., chemical / slurry) used in a CMP (CEMICHAL MECHANICAL POLISHING) process for chemically mechanically polishing a wafer surface in a semiconductor device manufacturing process And more particularly to an automatic interlock function for automatically opening and closing valves when a replacement cycle for a filter or filter cartridge applied to a chemical liquid supply system is minimized to minimize particles of chemical fluids Thereby improving the efficiency of the operation of the apparatus for the chemical liquid supply system, preventing accident caused by operator's mistake when replacing the filter or the filter cartridge, replacing the filter or the filter cartridge with the filter differential pressure setting, And the pressure drop (DROP) at the point of use (POU; POINT OF USE) To a fluid supply system that minimizes the phenomenon of fluid hunting, and a method for automatically replacing the fluid supply system.

반도체 장치를 제조하기 위한 공정에서 일반적으로 반도체 기판위에 소정의 막질을 증착하고, 노광, 현상, 식각, 증착 등의 공정이 반복적으로 수행되며, 절연막, 금속배선, 절연(Isolation) 및 트렌치(Trench) 구조를 형성하도록 원하는 부위의 평탄화를 위해 화학 기계적 연마공정이 이루어진다.In the process for manufacturing a semiconductor device, a predetermined film quality is generally deposited on a semiconductor substrate, and processes such as exposure, development, etching, and deposition are repeatedly performed, and insulation films, metal wiring, isolation and trenches, A chemical mechanical polishing process is performed for planarization of the desired region to form the structure.

이와 같은 연마 공정을 CMP(Chemical Mechanical Polishing, 이하 'CMP'라 함) 공정이라고 부른다. CMP 공정은 화학액과 연마입자로 구성된 약액의 화학작용과, 연마기의 기계적 작용의 조합에 의해 수행된다.This polishing step is called CMP (Chemical Mechanical Polishing). The CMP process is performed by a combination of the chemical action of the chemical liquid composed of the chemical liquid and the abrasive particles and the mechanical action of the abrasive machine.

일반적으로 약액은 제거 대상의 종류 및 특성에 따라 다양한 종류를 갖는다. 즉 KOH, NH4OH 등의 알칼리 용액에 80~230㎚의 입경을 갖는 실리카(SiO2), 알루미나(Al2O3), 세리아(CeO2), 다이아몬드 등의 연마입자가 현탁된 것이다.Generally, the chemical liquids have various kinds depending on the kind and characteristics of the object to be removed. (SiO 2 ), alumina (Al 2 O 3 ), ceria (CeO 2 ), diamond and the like having a particle diameter of 80 to 230 nm is suspended in an alkali solution such as KOH or NH 4 OH.

절연막이나 배선층의 제거 속도나 표면 품위를 결정하는 약액의 인자로서는 연마입자의 크기, 분포 및 화학특성, 콜로이달 안정성, 슬러리의 공급속도 등이 있다. 특히 공정이 진행되고 있는 동안 공급되어야 하는 약액의 공급량과 공급속도를 조절하는 것이 연마공정의 성공여부를 결정하기도 한다.The size, distribution and chemical characteristics of the abrasive particles, the colloidal stability, and the feed rate of the slurry are the factors of the chemical liquid which determines the removal rate and surface quality of the insulating film and the wiring layer. In particular, adjusting the supply rate and feed rate of the chemical liquid to be supplied during the process may determine the success of the polishing process.

한편, 종래의 약액 공급시스템은 첨부된 도 1에서와 같이, 약액 공급원(미도시)으로부터 반도체소자의 제조공정이 이루어지고 있는 사용처(P.O.U ; POINT OF USE)의 사이에 약액내의 불순물 등을 정제하기 위한 복수의 제 1,2 필터(F1,F2)를 구성한 상태에서, 복수의 상기 제 1,2 필터(F1,F2)에는 인렛(INLET)의 제 1,2 라인(L1)(L2)과, 아웃렛(OUTLET)의 제 3,4 라인(L3)(L4)을 각각 연결하는 한편, 상기 제 1,2 라인(L1,L2)에는 제 1,2 수동밸브(V1,V2)를 각각 구성하고, 상기 제 3,4 라인(L3,L4)에는 제 3,4 수동밸브(V3,V4)를 각각 구성하도록 하였다.Meanwhile, as shown in FIG. 1, the conventional chemical liquid supply system is configured to purify impurities and the like in a chemical solution during a point of use (POU) where a semiconductor device is manufactured from a chemical liquid supply source (not shown) The first and second lines L1 and L2 of the inlet INLET are connected to the first and second filters F1 and F2 and the first and second lines L1 and L2 of the inlet INLET are connected to the first and second filters F1 and F2, The first and second passages V1 and V2 are connected to the first and second lines L1 and L2 while the third and fourth lines L3 and L4 of the outlet OUTLET are connected to each other. And the third and fourth manual valves V3 and V4 are formed in the third and fourth lines L3 and L4, respectively.

그리고, 상기 제 1 필터(F1)의 상단측에는 벤트라인(L5)이 연결되면서, 상기 벤트라인(L5)에는 질소가스(N2 GAS)의 주입 및 배출을 위한 제 5,6,7 수동밸브(V5,V6,V7)가 구성됨은 물론, 상기 제 1 필터(F1)의 하단측에는 약액의 드레인을 위한 수동의 제 1 드레인밸브(DV1)가 구성되도록 하였다.And, the 5,6,7 manual valves for injection and outlet of the first while the vent line (L5) in the upper side of the filter (F1) connected to the vent line (L5), the nitrogen gas (N 2 GAS) ( V5, V6, and V7, and a manual first drain valve DV1 for the drain of the chemical solution is formed at the lower end of the first filter F1.

또한, 상기 제 2 필터(F2)의 상단측에는 상기 벤트라인(L5)으로부터 분기되는 벤트분기라인(L6)이 연결되면서, 상기 벤트분기라인(L6)에는 제 8,9 수동밸브(V8,V9)가 구성됨은 물론, 상기 제 2 필터(F2)의 하단측에는 약액의 드레인을 위한 수동의 제 2 드레인밸브(DV2)가 구성되도록 하였다.A vent branch line L6 branched from the vent line L5 is connected to the upper end of the second filter F2 while eight and 9 passages V8 and V9 are connected to the vent branch line L6. And a manual second drain valve DV2 for the drain of the chemical solution is formed at the lower end of the second filter F2.

여기서, 상기 벤트라인(L5)과 상기 벤트분기라인(L6)에는 벤드레인밸브(DV3)가 형성되는 벤트드레인라인(L7)이 연결되는 것이고, 상기 제 1,2 필터(F1,F2)를 병렬로 구성하는 것은 하나의 필터가 막히거나 고장이 나는 경우 예비용으로 다른 필터를 사용하기 위함인 것이다.The vent line L5 is connected to the vent line L5 and the vent branch line L6 is connected to the vent drain line L7 and the first and second filters F1 and F2 are connected in parallel Is to use another filter for redundancy if one filter is clogged or fails.

한편, 종래 약액 공급시스템에서 복수로 이루어진 제 1,2 필터(F1,F2)는 물론, 필터내의 카트리지는 사용연한을 감안하여 사용자에 의해 수동으로 교체가 이루어지도록 설계된 것이다.Meanwhile, in the conventional chemical liquid supply system, the cartridge in the filter as well as the first and second filters F1 and F2 made up of a plurality of filters are designed to be manually replaced by the user in consideration of the use life.

일예로, 첨부된 도 1 및 도 2에서와 같이, 제 1 필터(F1, 도 2의 'FILTER B') 또는 카트리지에 대한 교체 주기가 도달시, 종래에는 제 1,3 라인(L1,L3)에 형성되는 제 1,3 수동밸브(V1,V3)를 작업자가 수동으로 닫힘시킨 상태에서, 제 2,4 라인(L2,L4)에 형성되는 제 2,4 수동밸브(V2,V4)는 수동 개방시켜, 교체하고자 하는 제 1 필터(F1)에 약액 공급이 이루어지지 않도록 하는 한편, 제 2 필터(F2)를 통해서는 사용처(P.O.U)에 약액이 끊김없이 공급되도록 하는 것이다.For example, as shown in FIGS. 1 and 2, when the replacement period for the first filter (F1, FIG. 2 'FILTER B') or the cartridge is reached, conventionally the first and third lines L1 and L3 The second and fourth manual valves V2 and V4 formed on the second and fourth lines L2 and L4 are manually operated in the state in which the operator manually closes the first and third manual valves V1 and V3, So that the chemical solution is not supplied to the first filter F1 to be replaced and the chemical solution is supplied to the point of use (POU) without interruption through the second filter F2.

이후, 상기 제 1 필터(F1)의 하부에 마련되는 제 1 드레인밸브(DV1)를 수동 개방시킨 상태에서, 상기 제 1 필터(F1)의 상부에 형성되는 벤트라인(L5)에 마련되는 제 5,6 수동밸브(V5,V6)를 수동 개방시킨다.The first drain valve DV1 provided in the lower portion of the first filter F1 is manually opened and the fifth valve F1 provided in the fifth line F1 , 6 Manually open the manual valve (V5, V6).

그러면, 상기 제 1 필터(F1)에는 벤트라인(L5)를 통해 질소가스(N2 Gas)가 유입되면서, 상기 질소가스의 유입 압력에 의해 상기 제 1 필터(F1)내의 약액은 수동 개방이 이루어진 상기 제 1 드레인밸브(DV1)를 통해 드레인되면서, 상기 제 1 필터(F1)내의 약액을 모두 제거할 수 있는 것이며, 약액이 모두 제거 되었다면 상기 제 5,6 수동밸브(V5,V6)를 수동으로 잠그고, 상기 벤트라인(L5)에 마련되는 제 7 수동밸브(V7)를 수동 개방시켜, 상기 제 1 필터(F1)에 유입되는 질소가스는 벤트드레인라인(L7)을 통해 외부로 드레인되며, 이에따라 상기 제 1 필터(F1) 또는 상기 제 1 필터(F1)내의 카트리지를 분리한 후 새로운 필터(도 2의 'FILTER A') 또는 필터 카트리지를 끼움으로서, 상기 제 1 필터(F1) 또는 상기 제 1 필터(F1)내의 카트리지에 대한 교체가 완료될 수 있는 것이다.Then, nitrogen gas (N 2 gas) flows into the first filter (F1) through the vent line (L5), and the chemical solution in the first filter (F1) is manually opened by the inflow pressure of the nitrogen gas The fifth and sixth manual valves V5 and V6 may be manually operated to remove the chemical solution from the first filter F1 when the chemical solution is completely removed. And the seventh passive valve V7 provided in the vent line L5 is manually opened so that the nitrogen gas introduced into the first filter F1 is drained to the outside through the vent drain line L7, After the cartridge in the first filter F1 or the first filter F1 is separated and the new filter (FILTER A 'in FIG. 2) or the filter cartridge is inserted, the first filter F1 or the first The replacement for the cartridge in the filter F1 can be completed.

한편, 제 2 필터(F2) 또는 카트리지에 대한 교체 주기가 도달시, 종래에는 제 2,4 라인(L2,L4)에 형성되는 제 2,4 수동밸브(V2,V4)를 작업자가 수동으로 닫힘시킨 상태에서, 제 1,3 라인(L1,L3)에 형성되는 제 1,3 수동밸브(V1,V3)는 수동 개방시켜, 교체하고자 하는 제 2 필터(F2)에 약액 공급이 이루어지지 않도록 하는 한편, 제 2 필터(F1)를 통해서는 사용처(P.O.U)에 약액이 끊김없이 공급되도록 하는 것이다.On the other hand, when the replacement period for the second filter F2 or the cartridge is reached, the operator manually closes the second and fourth manual valves V2 and V4 conventionally formed in the second and fourth lines L2 and L4 The first and third manual valves V1 and V3 formed in the first and third lines L1 and L3 are manually opened to prevent the chemical solution from being supplied to the second filter F2 to be replaced On the other hand, the chemical solution is supplied to the point of use (POU) seamlessly through the second filter F1.

이후, 상기 제 2 필터(F2)의 하단측에 마련되는 제 2 드레인밸브(DV2)를 수동 개방시킨 상태에서, 상기 제 1 필터(F1)의 상부에 형성되는 벤트라인(L5)에 제 5 수동밸브(V5)를 수동 개방시키는 한편, 상기 제 2 필터(F2)의 하부에 마련되는 상기 벤트라인(L5)으로부터 분기되는 벤트분기라인(L6)에 마련되는 제 8 수동밸브(V8)를 수동 개방시킨다.Thereafter, in a state in which the second drain valve DV2 provided on the lower end side of the second filter F2 is manually opened, a fifth passive valve L5 is formed on the vent line L5 formed above the first filter F1, The manual valve V5 is manually opened while the eighth manual valve V8 provided in the vent branch line L6 branched from the vent line L5 provided below the second filter F2 is manually opened .

그러면, 상기 제 2 필터(F2)에는 벤트라인(L5)과 벤트분기라인(L6)을 통해 질소가스(N2 Gas)가 유입되면서, 상기 질소가스의 유입 압력에 의해 상기 제 2 필터(F2)내의 약액은 수동 개방이 이루어진 상기 제 2 드레인밸브(DV2)를 통해 드레인되면서, 상기 제 2 필터(F2)내의 약액을 모두 제거할 수 있는 것이며, 약액이 모두 제거 되었다면 상기 제 5,8 수동밸브(V5,V8)를 수동으로 잠그고, 상기 벤트분기라인(L6)에 마련되는 제 9 수동밸브(V9)를 수동 개방시켜, 상기 제 2 필터(F2)에 유입되는 질소가스는 벤트드레인라인(L7)을 통해 외부로 드레인되며, 이에따라 상기 제 2 필터(F2) 또는 상기 제 2 필터(F2)내의 카트리지를 분리한 후 새로운 필터 또는 필터 카트리지를 끼움으로서, 상기 제 2 필터(F2) 또는 상기 제 1 필터(F2)내의 카트리지에 대한 교체가 완료될 수 있는 것이다.Then, the second filter (F2), the vent line (L5) and a vent branch while through a line (L6) is introduced a nitrogen gas (N 2 Gas), said second filter (F2) by the inlet pressure of the nitrogen gas The chemical solution in the second filter F2 is drained through the second drain valve DV2 in which the manual opening is made so that all of the chemical solution in the second filter F2 can be removed, The nitrogen gas introduced into the second filter F2 is discharged to the vent drain line L7 by manually closing the ninth manual valve V9 provided in the vent branching line L6, So that the second filter (F2) or the first filter (F2) is detached and then the new filter (F2) or the first filter The replacement of the cartridge in the cartridge F2 can be completed.

그러나, 종래의 약액 공급시스템은 제 1,2 드레인밸브(DV1)(DV2)를 통해 약액을 드레인하거나 벤트드레인라인(L6)을 통해 질소가스를 드레인시 그 드레인되는 약액과 질소가스에 사용자가 그대로 노출되는 단점을 가지고 있었다.However, in the conventional chemical liquid supply system, the chemical liquid and the nitrogen gas, which drain the chemical liquid through the first and second drain valves DV1 and DV2 or drain the nitrogen gas through the vent drain line L6, Had exposure disadvantages.

즉, 상기 제 5 수동밸브(V5)는 개방되고 다른 제 1,3 수동밸브(V1,V3) 또는 제 2,4 수동밸브(V2,V4)가 닫혀 있는 상태에서 제 1 필터(F1) 또는 제 2 필터(F2)와 그 내부의 카트리지를 분리 작업시, 상기 제 1 필터(F1) 또는 제 2 필터(F2)의 내부 압력이 높아지게 되면서, 상기 제 1 드레인밸브(DV1) 또는 제 2 드레인밸브(DV2)를 통해 드레인되는 약액이 드레인되면서 외부로 튀어 인접한 사용자의 피부에 접촉하게 되는 위험을 초래하는 등 작업자의 안정성 확보가 제대로 이루어지지 못하였다.That is, when the fifth manual valve V5 is open and the first and second manual valves V1 and V3 or the second and fourth manual valves V2 and V4 are closed, The first drain valve DV1 or the second drain valve DV2 or the first drain valve DV1 or the second drain valve D2 may be opened while the internal pressure of the first filter F1 or the second filter F2 becomes high, DV2) is drained out, it is liable to come into contact with the skin of the adjacent user, and thus the stability of the operator is not secured properly.

또한, 종래의 약액 공급시스템에서는 필터 또는 필터 카트리지를 교체시, 중간중간에 숙련되지 않은 사용자의 부주의 또는 실수로 인한 여러 가지 문제점들이 있으며, 특히 사용자는 작업 중에 수동으로 조작했던 모든 것들, 그리고 다른 필터 쪽의 모든 것들을 정상으로 해 놓았는지 마지막으로 확인해야 하는 불편함이 있었고, 만약 드레인밸브가 개방되어 있거나 개방되어야 할 밸브가 닫혀 있다면 심한 경우 장비의 운전이 정지될 수 있는 등 종래에는 숙련되지 않은 사용자에 의해 필터 또는 카트리지의 교체가 제대로 이루어지지 못하는 단점을 가진 것이다.In addition, in the conventional chemical liquid supply system, when the filter or the filter cartridge is replaced, there are various problems caused by carelessness or mistake of an untrained user in the middle, and in particular, If the drain valve is open or the valve to be opened is closed, the operation of the equipment may be stopped in severe cases. In the past, untrained users The filter or the cartridge can not be replaced properly.

한편, 종래의 약액 공급시스템에 있어, 약액의 사용량과 약액 컨디션(Condition)에 따라 필터 또는 필터 카트리지의 사용 기한을 바뀔 수 있는데, 현재의 공급시스템에 대한 운영상으로는 각 약액의 사용량 및 약액 종류에 따라 필터 교체 주기를 일괄적으로 정해 놓고 그에 따라 교체를 실시하게 되므로, 일단 사용자의 손이 많이 가는 작업이기 때문에 일괄적으로 하지 않고 수시로 교체를 한다면 다른 일에 영향을 미치게 되면서 작업 효율성이 좋지 않았다.Meanwhile, in the conventional chemical liquid supply system, the filter or filter cartridge may be changed in accordance with the amount of the chemical liquid and the chemical condition. In the present operation system for the supply system, depending on the amount of each chemical liquid and the type of chemical liquid Since the filter replacement period is set in a lump and the replacement is performed accordingly, since the user's hand is a lot of work, the operation efficiency is not good because it affects other things if the replacement is performed all at once instead of collectively.

또한, 종래의 약액 공급시스템에서는 필터 또는 카트리지의 상태가 양호한데도 불구하고 자주 교체하는 단점을 가지고 있다.Further, in the conventional chemical liquid supply system, there is a disadvantage that the filter or the cartridge is frequently replaced even though the state is good.

한편, 필터 또는 카트리지 상태는 이미 교체를 해야 마땅하지만 운영상의 교체 주기가 남아 있는 경우에는 약액의 유량이 저하되고, 입자가 굵은 약액이 걸러지지 않고 공급될 수도 있으며, 이러한 경우에는 파티클(Particle)의 유입으로서 반도체 공정의 수율에도 엄청난 영향을 초래하는 문제점을 가지고 있었다.On the other hand, if the state of the filter or cartridge has already been changed, the flow rate of the chemical solution may be lowered and the chemical solution may be supplied without being filtered. In this case, But also has a great influence on the yield of the semiconductor process as an influent.

한편, 필터 또는 필터 카트리지의 교체 과정에서 카트리지 교체가 끝나고 약액을 채우게 되는데, 이 과정에서 교체되지 않은 필터에서는 계속하여 약액을 공급하고 있으므로, 교체된 필터에 약액을 채우려고 수동밸브를 선택적으로 개방시키게 되면 교체되지 필터로 흐르고 있던 약액이 교체된 필터로 나뉘어지고 그 압력 또한 나뉘어지게 되면서, 교체된 필터내의 약액에 대한 압력과 유량이 정상으로 복귀되는 도중에 압력과 유량의 헌팅(Hunting) 현상이 발생하여 CMP 설비에 일정한 압력과 유량으로 약액을 공급하지 못하였으며, 이는 CMP 공정의 수율을 저하시키는 요인으로 작용하게 되는 것이다.On the other hand, in the replacement process of the filter or the filter cartridge, the cartridge is replaced and the chemical solution is filled. In this process, since the chemical solution is continuously supplied in the unchanged filter, the manual valve is selectively opened to fill the replaced filter The chemical solution flowing into the unfiltered filter is divided into the replaced filter and the pressure thereof is also divided, so that the pressure and flow rate of the chemical and the flow of the chemical solution in the replaced filter are returned to normal, The chemical liquid can not be supplied to the CMP apparatus at a constant pressure and flow rate, which causes the yield of the CMP process to be lowered.

등록특허공보 제10-0431714호(등록일 2004.05.04)Patent Registration No. 10-0431714 (filed on May 4, 2004)

공개특허공보 제10-2010-0005524호(공개일 2010.01.15)Published Patent Application No. 10-2010-0005524 (published January 15, 2010)

등록특허공보 제10-1327696호(등록일 2013.11.04)Patent Registration No. 10-1327696 (Registered on April 11, 2013)

따라서, 본 발명은 상기와 같은 종래의 문제점을 개선하기 위한 것으로, 복수의 필터를 구성하는 복수의 공급라인에 전기적 신호에 의해 개폐되는 공압밸브들을 구성한 상태에서, 필터의 교체 여부 및 공압밸브들의 자동 개폐 여부를 필터의 전후단에 마련되는 압력센서의 차압을 통해 결정하는 자동 인터록(AUTO INTERLOCK) 기능을 구현함으로써, 약액 공급시스템에 대한 장비 운영의 효율성을 증대시키면서도 필터 또는 필터 카트리지를 숙련자가 아니더라도 손쉽게 교체할 수 있도록 하고, 필터 또는 카트리지의 교체가 적기에 이루어지도록 하면서 그 교체에 따른 수율을 향상시키고, 필터 또는 카트리지의 교체 작업 후 사용처(P.O.U)측의 압력 드롭(DROP)과 약액의 유량 헌팅(HUNTING) 현상을 최소화시킬 수 있도록 하는 약액 공급시스템과 이의 필터 자동 교체방법을 제공하려는데 그 주된 목적이 있는 것이다.SUMMARY OF THE INVENTION Accordingly, the present invention has been made keeping in mind the above problems occurring in the prior art, and it is an object of the present invention to provide an air conditioner, By implementing the AUTO INTERLOCK function that determines the opening / closing status of the filter by the pressure difference of the pressure sensor provided at the front and rear ends of the filter, it is possible to increase the efficiency of operation of the apparatus for the chemical liquid supply system, (DROP) of the point of use (POU) side and the flow rate hunting (DROP) of the chemical solution after the replacement operation of the filter or the cartridge is performed HUNTING) phenomenon can be minimized. Haryeoneunde will provide a way that its main purpose.

상기 목적 달성을 위한 본 발명의 약액 공급시스템은, 약액 공급원으로부터 반도체소자의 제조공정이 이루어지는 사용처(P.O.U) 사이에 병렬로 설치되어 인렛(INLET)의 제 1,2 라인을 통해 공급이 이루어지는 약액내의 불순물을 정제한 후 아웃렛(OUTLET)의 제 3,4 라인으로 각각 배출하는 복수의 제 1,2 필터; 상기 제 1,2 필터의 전단 및 후단측 공급 및 배출의 라인에 각각 설치되며, 상기 제 1,2 필터의 전후단측 차압을 검출하는 제 1,2 압력센서; 상기 제 1,2 압력센서에 의해 검출된 차압이 설정값을 벗어나면 상기 제 1 필터 또는 제 2 필터의 교체주기로 판단하고 그 판단에 따른 제어신호를 출력하는 제어부; 상기 제 1,3 라인에 각각 형성되고, 상기 제 1 필터의 교체시 상기 제어부로부터 출력하는 제어신호에 따라 닫힘 제어되는 인렛의 제 1,2 공압밸브; 상기 제 2,4 라인에 각각 형성되고, 상기 제 2 필터의 교체시 상기 제어부로부터 출력하는 제어신호에 따라 닫힘 제어되는 아웃렛의 제 3,4 공압밸브; 를 포함하여 구성하고, 상기 제 1,2 라인에는 상기 제 1,2 필터의 드레인라인으로 분기되는 분기라인을 구성하며, 상기 분기라인에는 상기 제어부로부터 출력되는 제어신호에 따라 교체된 제 1 필터 또는 제 2 필터로의 약액 공급을 결정하도록 개폐되는 제 5,6 공압밸브를 형성하는 것이다.The above and other objects, features, aspects and advantages of the present invention will become more apparent from the following detailed description of the present invention when taken in conjunction with the accompanying drawings. A plurality of first and second filters for purifying the impurities and then discharging them to the third and fourth lines of the outlet OUTLET, respectively; First and second pressure sensors respectively installed on the lines for supplying and discharging the front and rear ends of the first and second filters, respectively, and detecting the differential pressure between the front and rear ends of the first and second filters; A control unit for determining a replacement period of the first filter or the second filter when the differential pressure detected by the first and second pressure sensors is out of a set value and outputting a control signal according to the determination; The first and second pneumatic valves of the inlet formed in the first and third lines, respectively, which are closed and controlled in accordance with a control signal output from the control unit when the first filter is replaced; Third and fourth pneumatic valves of the outlets respectively formed in the second and fourth lines and being closed-closed in response to a control signal output from the control unit when the second filter is replaced; The first and second filters constitute a branch line branched to the drain line of the first and second filters. The branch line is connected to a first filter or a second filter, which is replaced according to a control signal output from the control unit. And the fifth and sixth pneumatic valves which are opened and closed to determine the supply of the chemical solution to the second filter.

또한, 상기 제 1 필터의 하단측에는 복수의 드레인라인을 형성하고, 복수의 상기 드레인라인에는 각각 상기 제어부로부터 출력되는 제어신호에 따라 개폐 제어되는 제 7,8 공압밸브를 형성하며, 상기 제 8 공압밸브가 형성되는 드레인라인에 상기 분기라인을 연결 구성하는 것이다.A plurality of drain lines are formed on the lower end of the first filter, and a seventh and eighth pneumatic valves, which are opened and closed, are formed in the plurality of drain lines, respectively, in accordance with a control signal output from the control unit. And the branch line is connected to the drain line where the valve is formed.

또한, 상기 제 2 필터의 하단측에는 복수의 드레인라인을 형성하고, 복수의 상기 드레인라인에는 각각 상기 제어부로부터 출력되는 제어신호에 따라 개폐 제어되는 제 9,10 공압밸브를 형성하며, 상기 제 10 공압밸브가 형성되는 드레인라인에 상기 분기라인을 연결 구성하는 것이다.A plurality of drain lines are formed on the lower end of the second filter, and a plurality of drain lines are formed with ninth and tenth pneumatic valves that are controlled to be opened and closed in accordance with a control signal output from the control unit, And the branch line is connected to the drain line where the valve is formed.

또한, 상기 제 1 필터와 상기 2 필터의 하단측에 각각 마련되는 복수의 드레인라인은 배출라인으로 연결 구성하고, 상기 배출라인에는 상기 제 1 필터 또는 상기 제 2 필터로부터 드레인되는 약액의 흐름을 제어하도록 상기 제어부로부터 출력되는 제어신호에 따라 개폐되는 제 11 공압밸브와 제 12 공압밸브를 형성하는 것이다.The plurality of drain lines provided at the lower ends of the first filter and the second filter are connected to each other through a discharge line, and the discharge line is controlled to control the flow of the chemical liquid drained from the first filter or the second filter And a twelfth pneumatic valve and a twelfth pneumatic valve which are opened or closed in accordance with a control signal outputted from the control unit.

또한, 상기 배출라인에는 상기 배출라인의 유체 배출 시간을 검출하는 감지센서를 연결 구성하는 것이다.Further, the discharge line is connected to a detection sensor for detecting the fluid discharge time of the discharge line.

또한, 상기 제 1,2 필터의 상단측에는 세정라인을 연결 구성하고, 상기 세정라인에는 상기 제 1 필터 또는 상기 제 2 필터로 질소가스의 주입을 제어하도록 상기 제어부로부터 출력되는 제어신호에 따라 개폐되는 복수의 제 13 공압밸브와, 상기 제 1 필터 또는 상기 제 2 필터로 탈이온수(DIW)의 주입을 제어하도록 상기 제어부로부터 출력되는 제어신호에 따라 개폐되는 복수의 제 14 공압밸브를 형성하는 것이다.A cleaning line is connected to the upper end of the first and second filters, and the cleaning line is opened and closed in accordance with a control signal output from the control unit to control the injection of nitrogen gas into the first filter or the second filter A plurality of thirteenth pneumatic valves and a plurality of fourteenth pneumatic valves that are opened or closed in accordance with control signals output from the control unit to control the injection of deionized water into the first filter or the second filter.

또한, 상기 세정라인은 상기 제 2 필터의 상단에서 상기 배출라인과 연결 구성하는 것이다.The cleaning line is connected to the discharge line at the upper end of the second filter.

다른 일면에 따라, 상기 약액 공급시스템에서의 필터 자동 교체 방법은, (a) 복수로 이루어진 제 1,2 필터의 인렛측 병렬 라인과 아웃렛 병렬 라인의 차압을 검출한 후 이를 설정값과 비교하는 공정; (b) 상기 (a)공정의 비교결과 인렛측 병렬 라인과 아웃렛측 병렬 라인의 차압이 설정값을 벗어나면, 교체할 제 1 필터의 인렛측 라인과 아웃렛측 라인의 공압밸브를 닫힘 제어하는 한편, 교체되지 않은 제 2 필터의 인렛측 및 아웃렛측 라인의 공압밸브를 개방하여 사용처(P.O.U)에 약액이 끊김없이 공급되도록 하는 상태에서, 제 1 필터의 하단측에 마련되는 복수의 드레인용 공압밸브를 개방시킨 후 개방된 세정라인을 통해 상기 제 1 필터에 질소가스를 주입하여 필터내 약액을 배출라인으로 드레인시키는 공정; (c) 상기 (b)공정으로부터 배출라인으로 약액이 드레인된 제 1 필터를 개방된 세정라인을 통해 제 1 필터에 탈이온수를 주입하여 상기 제 1 필터를 세정하는 공정; (d) 상기 (c)공정으로부터 제 1 필터를 개방된 세정라인을 통해 상기 제 1 필터에 질소가스를 주입하여 필터내 탈이온수를 배출라인으로 드레인시키는 공정; 및, (e) 상기 (d)공정으로부터 배출라인으로 탈이온수가 드레인된 제 1 필터를 분리 후 이에 새로운 제 1 필터를 교체 장착한 상태에서 교체 장착된 제 1 필터로의 약액 채움시 압력 및 유량의 헌팅 현상이 발생되지 않도록 복수로 이루어진 필터들의 드레인라인에 연결되는 배출라인의 공압밸브를 개방시켜 교체 장착된 제 1 필터로 약액을 분기 공급하여 필터의 교체 장착을 완료하는 공정; 을 포함하여 진행하는 것이다.According to another aspect of the present invention, there is provided a method for automatically replacing a filter in a chemical liquid supply system, comprising the steps of: (a) detecting a pressure difference between an inlet- side parallel line and an outlet- ; (b) when the differential pressure between the inlet-side parallel line and the outlet-side parallel line is out of the set value as a result of the comparison in the step (a), the inlet-side line and the outlet- , A plurality of draining pneumatic valves (2) provided on the lower end side of the first filter are provided in a state in which the pneumatic valves of the inlet and outlet lines of the second filter that have not been replaced are opened and the chemical solution is supplied to the point of use And injecting nitrogen gas into the first filter through the opened cleaning line to drain the chemical solution in the filter to the discharge line; (c) cleaning the first filter by injecting deionized water into the first filter through an open cleaning line, the first filter having the chemical solution drained from the step (b) to the discharge line; (d) injecting nitrogen gas into the first filter through the clean line from the step (c) through the first filter to drain the deionized water in the filter to the discharge line; And (e) separating the first filter from which the deionized water has been drained from the step (d) into the discharge line, replacing the first filter with the new filter, Closing the pneumatic valve of the discharge line connected to the drain line of the plurality of filters so as not to cause the hunting phenomenon of the filter, .

또한, 상기 (e)공정에는, 배출라인을 통해 약액이 분기되어 교체 장착된 제 1 필터에 약액 채움시, 상기 배출라인의 유체를 체크하고 그 체크된 유체의 검출시간이 기준시간을 벗어나면 제 1 필터 교체 시간이 설정된 시간을 초과한 것으로 판단하여 경보음을 출력하는 공정; 을 더 포함하여 진행하는 것이다.In the step (e), the fluid in the discharge line is checked when the chemical solution is filled in the first filter, which is branched and replaced through the discharge line. When the detection time of the checked fluid is out of the reference time, A step of outputting an alarm sound when it is determined that one filter replacement time has exceeded the set time; As shown in FIG.

또한, 상기 (b)공정과 상기 (d)공정에서 약액 드레인을 위한 질소가스는 설정된 압력값에 따라 그 주입이 이루어지도록 구성하는 것이다.In the steps (b) and (d), the nitrogen gas for the chemical liquid drain is injected in accordance with the set pressure value.

또한, 상기 (c)공정에서 교체 장착된 제 1 필터로의 탈이온수는 설정된 압력값에 따라 그 주입이 이루어지도록 구성하는 것이다.In the step (c), the deionized water into the first filter, which is installed and replaced, is injected in accordance with the set pressure value.

이와 같이, 본 발명은 복수의 필터를 구성하는 복수의 공급라인에 전기적 신호에 의해 개폐되는 공압밸브들을 구성한 상태에서, 필터의 교체 여부 및 공압밸브들의 자동 개폐 여부를 필터의 전후단에 마련되는 압력센서의 차압을 통해 결정하는 자동 인터록(AUTO INTERLOCK) 기능을 구현한 것이며, 이를 통해 약액 공급시스템에 대한 장비 운영의 효율성을 증대시키면서도 필터 또는 필터 카트리지를 숙련자가 아니더라도 손쉽게 교체할 수 있도록 하고, 필터 또는 카트리지의 교체가 적기에 이루어지도록 하면서 그 교체에 따른 수율을 향상시키고, 필터 또는 카트리지의 교체 작업 후 사용처(P.O.U)측의 압력 드롭(DROP)과 약액의 유량 헌팅(HUNTING) 현상을 최소화시키는 한편, 약액의 피부 접촉에 따른 위험성을 방지하는 효과를 기대할 수 있는 것이다.As described above, according to the present invention, whether or not the filter is replaced and whether the automatic opening and closing of the pneumatic valves are opened or closed is controlled by the pressure provided on the front and rear ends of the filter This is an automatic interlock function that determines the differential pressure of the sensor. This makes it possible to easily replace the filter or filter cartridge even if it is not a skilled person, while increasing the efficiency of operation of the chemical liquid supply system, It is possible to improve the yield of the replacement while minimizing the phenomenon of the pressure drop (DROP) of the point of use (POU) and the flow hunting (HUNTING) of the chemical liquid after the replacement operation of the filter or the cartridge, It is possible to expect an effect of preventing the danger due to the skin contact of the chemical liquid.

도 1은 종래 약액 공급시스템의 구조도.
도 2는 종래 필터 교체 방법을 보인 흐름도.
도 3은 본 발명의 실시예로 약액 공급시스템의 구조도.
도 4는 본 발명의 실시예로 필터 자동 교체 방법을 보인 흐름도.1 is a structural view of a conventional chemical liquid supply system;
2 is a flow chart illustrating a conventional filter replacement method;
3 is a structural view of a chemical liquid supply system according to an embodiment of the present invention.
4 is a flowchart illustrating an automatic filter replacement method according to an embodiment of the present invention.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 설명하기로 한다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.

도 3은 본 발명의 실시예로 약액 공급시스템의 구조도를 도시한 것이다.3 is a structural diagram of a chemical liquid supply system according to an embodiment of the present invention.

첨부된 도 3을 참조하면, 본 발명의 실시예에 따른 약액 공급시스템은, 복수의 제 1,2 필터(10)(20), 복수의 제 1,2 압력센서(30)(40), 제어부(50), 그리고 공압밸브들을 포함하여 구성하는 것이다.3, a chemical liquid supply system according to an embodiment of the present invention includes a plurality of first and second filters 10 and 20, a plurality of first and second pressure sensors 30 and 40, (50), and pneumatic valves.

상기 제 1,2 필터(10)(20)는 약액 공급원(미도시)으로부터 반도체소자의 제조공정이 이루어지는 사용처(P.O.U) 사이에 병렬로 설치되는 것으로서, 상기 제 1,2 필터(10)(20)는 각각 인렛(INLET)의 제 1 라인(L1)과 제 2 라인(L2)이 연결되어 약액을 공급받은 후 그 약액내의 불순물을 정제하게 되며, 정제된 약액은 아웃렛(OUTLET)의 제 3 라인(L3)과 제 4 라인(L4)을 통해 상기 사용처에 배출시키도록 구성한 것이다.The first and second filters 10 and 20 are installed in parallel between POUs for manufacturing semiconductor devices from a chemical solution source (not shown), and the first and second filters 10 and 20 The first line L1 and the second line L2 of the inlet INLET are connected to each other to receive the chemical liquid and purify the impurities in the chemical liquid. The purified chemical liquid is supplied to the third line (L3) and the fourth line (L4).

여기서, 복수로 이루어진 상기 제 1,2 필터(10)(20)는 어느 하나의 교체작업이 이루어질 때, 다른 하나는 상기 사용처에 지속적으로 약액을 공급하도록 구성한 것이다.Here, the plurality of first and second filters 10 and 20 are configured to continuously supply the chemical solution to the use place when one of the replacement operations is performed.

한편, 상기 제 1 필터(10)의 하단측에는 복수의 드레인라인이 형성되며, 복수의 상기 드레인라인에는 각각 상기 제어부(50)로부터 출력되는 제어신호에 따라 개폐 제어되는 제 7,8 공압밸브(V17)(V18)를 형성한 것이다.A plurality of drain lines are formed on the lower end of the first filter 10. A plurality of drain lines are connected to the seventh and eighth pneumatic valves V17 ) V18.

그리고, 상기 제 2 필터(20)의 하단측에는 복수의 드레인라인이 형성되며, 복수의 상기 드레인라인에는 각각 상기 제어부(50)로부터 출력되는 제어신호에 따라 개폐 제어되는 제 9,10 공압밸브(V19)(V20)를 형성한 것이다.A plurality of drain lines are formed at the lower end of the second filter 20. A plurality of drain lines are connected to the ninth and tenth pneumatic valves V19 ) V20.

이때, 인렛측인 상기 제 1,3 라인(L1,L3)에는 각각 제 1,2 공압밸브(V11,V12)가 형성되며, 상기 제 1 공압밸브(V11)와 상기 제 2 공압밸브(V12)는 상기 제 1 필터(10) 또는 상기 제 2 필터(20)의 교체시 상기 제어부(50)로부터 출력하는 제어신호에 따라 닫힘 제어되도록 구성한 것이다.At this time, first and second pneumatic valves V11 and V12 are formed in the first and third lines L1 and L3 which are the inlet side, respectively, and the first and second pneumatic valves V11 and V12, Is closed when the first filter (10) or the second filter (20) is replaced, in accordance with a control signal output from the controller (50).

그리고, 아웃렛측인 상기 제 2,4 라인(L2,L4)에는 각각 제 3,4 공압밸브(V13,V14)가 형성되며, 상기 제 3 공압밸브(V13)와 상기 제 4 공압밸브(V14)는 상기 제 1 필터(10) 또는 상기 제 2 필터(20)의 교체시 상기 제어부(50)로부터 출력하는 제어신호에 따라 닫힘 제어되도록 구성한 것이다.Third and fourth pneumatic valves V13 and V14 are formed in the second and fourth lines L2 and L4 which are the outlet side and the third and fourth pneumatic valves V13 and V14, Is closed when the first filter (10) or the second filter (20) is replaced, in accordance with a control signal output from the controller (50).

즉, 상기 제 1,3 공압밸브(V11,V13)은 상기 제어부(50)의 제어신호에 따라 연동하여 닫힘 또는 열림이 이루어지는 것이고, 상기 제 2,4 공압밸브(V12,V14) 또한 상기 제어부(50)의 제어신호에 따라 연동하여 닫힘 또는 열림이 이루어지는 것이다.That is, the first and third pneumatic valves V11 and V13 are closed or opened in conjunction with the control signal of the controller 50. The second and fourth pneumatic valves V12 and V14 are also connected to the controller 50) in accordance with the control signal.

이때, 인렛측인 상기 제 1,2 라인(L1,L2)에는 상기 제 1,2 필터(10)(20)의 드레인라인으로 분기되는 분기라인(L11)이 연결되며, 상기 분기라인(L11)에는 상기 제어부(50)로부터 출력되는 제어신호에 따라 교체된 제 1 필터(10) 또는 제 2 필터(20)로의 약액 공급을 결정하도록 개폐되는 제 5,6 공압밸브(V15)(V16)를 형성한 것이다.At this time, a branch line L11 branched to the drain line of the first and second filters 10 and 20 is connected to the first and second lines L1 and L2 which are the inlet side, A fifth and sixth pneumatic valves V15 and V16 are opened and closed to determine the supply of the chemical solution to the first filter 10 or the second filter 20 replaced according to the control signal output from the controller 50 It is.

그리고, 상기 분기라인(L11)은 상기 제 1 필터(10)의 하단측 복수의 드레인라인 중 상기 제 8 공압밸브(V18)가 형성되는 드레인라인과, 상기 제 2 필터(20)의 하단측 복수의 드레인라인 중 상기 제 10 공압밸브(V20)가 형성되는 드레인라인에 연결 구성하는 것이다.The branch line L11 is connected to a drain line where the eighth pneumatic valve V18 is formed among a plurality of drain lines at the lower end of the first filter 10 and a drain line To the drain line in which the tenth pneumatic valve (V20) is formed.

여기서, 상기 분기라인(L11)을 구성하는 것은, 상기 제 1 필터(10) 또는 상기 제 2 필터(20)의 교체가 선택적으로 이루어진 상태에서, 교체 장착된 새로운 필터로 약액을 주입시, 그 주입되는 약액의 압력과 유량으로 인해 헌팅 현상이 발생하는 것을 방지하기 위함인 것이다.Here, the branch line L11 is configured such that, when the first filter 10 or the second filter 20 is selectively replaced, when the chemical solution is injected into the replacement filter, And to prevent the hunting phenomenon from occurring due to the pressure and flow rate of the chemical liquid.

더불어, 상기 제 1 필터(10)와 상기 2 필터(20)의 하단측에 각각 마련되는 복수의 드레인라인은 배출라인(L12)으로 연결 구성되며, 상기 배출라인(L12)에는 상기 제 1 필터(10) 또는 상기 제 2 필터(20)로부터 드레인되는 약액의 흐름을 제어하도록 상기 제어부(50)로부터 출력되는 제어신호에 따라 개폐되는 제 11 공압밸브(V21)와 제 12 공압밸브(V22)를 형성한 것이고, 상기 배출라인(L12)에는 상기 배출라인(L12)의 배출 유체를 검출하는 감지센서(S11)를 연결 구성한 것이다.A plurality of drain lines provided at the lower ends of the first filter 10 and the second filter 20 are connected to a discharge line L12 and the discharge line L12 is connected to the first filter 10, And a twelfth pneumatic valve V22 and a twelfth pneumatic valve V22 which are opened or closed in accordance with a control signal outputted from the control unit 50 to control the flow of the chemical solution drained from the first filter 20 or the second filter 20 And the discharge line L12 is connected to a detection sensor S11 for detecting discharge fluid of the discharge line L12.

즉, 상기 제 1,2 필터(10)(20)의 복수의 드레인라인을 상기 배출라인(L12)으로 연결 구성하는 것은, 상기 필터(10)(20)로부터 약액의 드레인이 이루어질 때 그 드레인되는 약액이 튀어 사용자의 신체에 접촉하는 것을 방지시키는 것이다.That is, a plurality of drain lines of the first and second filters 10 and 20 are connected to the discharge line L12 when the drain of the chemical liquid is made from the filters 10 and 20, Thereby preventing the chemical liquid from splashing into contact with the user's body.

한편, 상기 제 1,2 필터(10)의 상단측에는 세정라인(L13)이 연결 구성되며, 상기 세정라인(L13)에는 상기 제 1 필터(10) 또는 상기 제 2 필터(20)로 질소가스의 주입을 제어하도록 상기 제어부(50)로부터 출력되는 제어신호에 따라 개폐되는 복수의 제 12 및 제 13 공압밸브(V22)(V23)(V23a)와, 상기 제 1 필터(10) 또는 상기 제 2 필터(20)로 탈이온수(DIW)의 주입을 제어하도록 상기 제어부(50)로부터 출력되는 제어신호에 따라 개폐되는 복수의 제 14 공압밸브(V24)(V24a)를 형성되며, 상기 세정라인(L13)은 상기 제 2 필터(20)의 상단에서 상기 배출라인(L12)과 연결 구성한다.A cleaning line L13 is connected to the upper end of the first and second filters 10 and 10 and a nitrogen gas is supplied to the cleaning line L13 through the first filter 10 or the second filter 20. [ A plurality of twelfth and thirteenth pneumatic valves V22, V23 and V23a which are opened and closed in accordance with a control signal outputted from the control unit 50 to control the injection of the first and second filters 10 and 20, (14) are opened and closed in accordance with a control signal output from the controller (50) to control the injection of deionized water (DIW) into the washing line (L13) Is connected to the discharge line (L12) at the upper end of the second filter (20).

상기 제 1,2 압력센서(30)(40)는 상기 제 1,2 필터(10)(20)의 인렛측과 아웃렛측의 라인(L1,L2)(L3,L4)에 각각 설치되는 것으로서, 상기 제 1,2 필터(10)(20)의 전후단측 차압을 검출한 후 이를 상기 제어부(50)에 출력하도록 구성한 것이다.The first and second pressure sensors 30 and 40 are installed in the inlet and outlet lines L1 and L2 of the first and second filters 10 and 20, respectively, And detects the pressure difference between the front and rear ends of the first and second filters 10 and 20, and outputs the differential pressure to the controller 50.

즉, 상기 제 1 압력센서(30)는 상기 제 1,2 필터(10)(20)로 약액이 공급시 그 공급 압력을 측정한 후 이를 상기 제어부(50)에 출력하는 것이고, 상기 제 2 압력센서(40)는 상기 제 1,2 필터(10)(20)에서 배출되는 약액의 배출 압력을 측정한 후 이를 상기 제어부(50)에 출력하도록 구성한 것이다.That is, the first pressure sensor 30 measures the supply pressure when the chemical solution is supplied to the first and second filters 10 and 20, and outputs the measured supply pressure to the control unit 50, The sensor 40 measures the discharge pressure of the chemical liquid discharged from the first and second filters 10 and 20 and outputs the measured discharge pressure to the controller 50.

상기 제어부(50)는 상기 제 1,2 압력센서(30)(40)에 의해 검출된 차압이 설정된 차압 범위를 벗어날 때, 상기 제 1 필터(10) 또는 제 2 필터(20)의 교체주기로 판단하고 그 판단에 따른 제어신호를 상기 공압밸브들(V11, V12, V13, V14, V15, V16, V17, V18, V19, V20, V21, V22, V23, V23a, V24, V24a)에 출력하면서, 상기 공압밸브들(V11, V12, V13, V14, V15, V16, V17, V18, V19, V20, V21, V22, V23, V23a, V24, V24a)의 닫힘 또는 개방을 선택적으로 제어하도록 PLC 제어프로그램을 탑재한 것이다.The control unit 50 determines that the first filter 10 or the second filter 20 is replaced at a period of time when the differential pressure detected by the first and second pressure sensors 30 and 40 exceeds a set differential pressure range And outputs a control signal according to the determination to the pneumatic valves V11, V12, V13, V14, V18, V19, V20, V21, V22, V23, V23a, V24, V24a, PLC control program to selectively control closing or opening of pneumatic valves (V11, V12, V13, V14, V15, V16, V17, V18, V19, V20, V21, V22, V23, V23a, V24, V24a) It is.

이와 같이 구성되는 본 발명의 실시예에 따른 약액 공급시스템에서의 필터 자동 교체 방법에 대하여 첨부된 도 3 및 도 4를 참조하여 살펴보면, 우선 사용자의 터치패널을 조작하여 사용처(P.O.U)로의 약액 공급을 결정하면, 약액 공급시스템의 제어부(50)는 인렛측의 병렬라인인 제 1,2 라인(L1,L2)과 아웃렛측의 병렬라인인 제 3,4 라인(L3,L4)에 마련되는 공압밸브들 즉, 인렛측의 제 1,2 공압밸브(V11,V12)와 아웃렛측의 제 3,4 공압밸브(V13,V14)를 개방 제어하는 한편, 분기라인(L11)과 배출라인(L12)은 물론 세정라인(L13), 그리고 제 1,2 필터(10)(20)의 하단측에 마련되는 복수의 드레인라인에 각각 형성되는 공압밸브들은 닫힘 제어하게 된다.Referring to FIGS. 3 and 4, a method for automatically replacing a filter in a chemical solution supply system according to an embodiment of the present invention will be described. First, a chemical liquid is supplied to a point of use (POU) The control unit 50 of the chemical liquid supply system determines that the first and second lines L1 and L2 which are the parallel lines on the inlet side and the air pressure valves 61 and 62 provided on the third and fourth lines L3 and L4 which are the parallel lines on the outlet side, The first and second pneumatic valves V11 and V12 on the inlet side and the third and fourth pneumatic valves V13 and V14 on the outlet side are opened and the branch line L11 and the discharge line L12 are opened Of course, the pneumatic valves respectively formed in the cleaning line L13 and the plurality of drain lines provided at the lower ends of the first and second filters 10 and 20 are closed-controlled.

그러면, 약액 공급원으로부터 공급되는 약액은 인렛측인 상기 제 1,2 라인(L1,L2)을 통해 각각 제 1,2 필터(10)(20)로 공급되어 상기 약액내의 불순물이 정제되고, 이렇게 불순물이 정제된 약액은 제 3,4 라인(L3,L4)을 통해 반도체소자의 제조공정이 이루어지는 사용처(P.O.U)에 공급될 수 있게 되는 것이다.Then, the chemical liquid supplied from the chemical liquid supply source is supplied to the first and second filters 10 and 20 through the first and second lines L1 and L2 which are the inlet side, and the impurities in the chemical liquid are purified, This purified chemical solution can be supplied to the point of use (POU) where the semiconductor device manufacturing process is performed through the third and fourth lines L3 and L4.

이때, 인렛측인 상기 제 1,2 라인(L1,L2)에 형성되는 제 1 압력센서(30)는 상기 약액의 공급 압력을 체크한 후 이를 상기 제어부(50)에 출력하고, 아울렛측인 상기 제 3,4 라인(L3,L4)에 형성되는 제 2 압력센서(40)는 상기 사용처로 공급이 이루어지는 약액의 공급 압력을 체크한 후 이를 상기 제어부(50)에 출력하게 되므로, 상기 제어부(50)는 상기 인렛측과 상기 아웃렛측의 약액에 대한 공급압력의 차압을 검출한 후 그 검출된 차압이 설정된 차압 범위를 벗어났는지를 판단하여 사용자가 인지하도록 알람을 발생시키게 되는 것이다.At this time, the first pressure sensor 30 formed on the first and second lines L1 and L2 on the inlet side checks the supply pressure of the chemical liquid and outputs it to the control unit 50, The second pressure sensor 40 formed on the third and fourth lines L3 and L4 checks the supply pressure of the chemical liquid supplied to the use site and outputs the supply pressure to the control unit 50, Detects a differential pressure of the supply pressure to the chemical solution on the inlet side and the outlet side and then determines whether the detected differential pressure is out of the set differential pressure range and generates an alarm for the user to recognize.

이후, 상기 제어부(50)는 상기 제 1 필터(10)의 교체를 위해, 상기 제 1 필터(10)의 하단측에 마련되는 복수의 드레인용 제 7,8 공압밸브(V17,V18)를 개방시키는 제어동작을 수행하는 한편, 상기 제 1 필터(10)의 상단에 마련되는 세정라인(L13)에 형성되는 복수의 제 13 및 제 14 공압밸브(V23,V23a)(V24a)를 개방시키는 제어신호를 출력한다.The control unit 50 then opens the seventh and eighth pneumatic valves V17 and V18 provided at the lower end of the first filter 10 to replace the first filter 10 A control signal for opening a plurality of thirteenth and fourteenth pneumatic valves V23, V23a, V24a formed in the cleaning line L13 provided at the upper end of the first filter 10, .

다음으로, 복수의 제 13 및 제 14 공압밸브(V23,V23a)(V24a)가 개방된 상기 세정라인(L13)을 통해 교체할 상기 제 1 필터(10)에 질소가스(N2)를 주입하면, 주입되는 상기 질소가스(N2)로부터 상기 제 1 필터(10)내의 약액은 복수의 공압밸브(V17,V18)가 개방된 드레인라인에서 배출라인(L12)으로 드레인되는 것이다.Next, when nitrogen gas (N 2 ) is injected into the first filter 10 to be replaced through the cleaning line L13 in which a plurality of thirteenth and fourteenth air pressure valves V23, V23a, V24a are opened And the chemical liquid in the first filter 10 from the injected nitrogen gas N 2 is drained from the drain line from which the plurality of pneumatic valves V17 and V18 are opened to the discharge line L12.

여기서, 상기 약액 드레인을 위해 주입되는 질소가스(N2)는 설정된 압력값에 따라 그 주입이 이루어지는 것이다.Here, the nitrogen gas (N 2 ) injected for the chemical liquid drain is injected in accordance with the set pressure value.

이때, 상기 배출라인(L12)에 형성되는 제 11 공압밸브(V21)는 상기 제어부(50)에 의해 개방이 이루어지므로, 상기 배출라인(L12)으로 드레인된 약액은 제 2 필터(20)로 떨어지지 않고, 상기 배출라인(L12)을 따라 드레인되면서 사용자의 신체에 접촉되지 않게 되는 것이다.At this time, since the eleventh pneumatic valve V21 formed in the discharge line L12 is opened by the control unit 50, the chemical liquid drained to the discharge line L12 is discharged to the second filter 20 And is drained along the discharge line L12, so that it is not in contact with the user's body.

다음으로, 사용자가 터치패널 조작을 통해 교체할 제 1 필터에 대한 세정작업을 진행하게 되면, 제어부(50)는 세정라인(L13)에 형성되는 제 13 공압밸브(V23)를 닫힘 제어하는 한편, 다른 제 13 및 제 14 공압밸브(V23a)(V24,V24a)를 개방 제어한다.Next, when the user carries out the cleaning operation for the first filter to be replaced through the touch panel operation, the control unit 50 performs the closing control of the thirteenth pneumatic valve V23 formed in the cleaning line L13, And controls the other thirteenth and fourteenth air valve V23a (V24, V24a).

그러면, 상기 제 13 및 제 14 공압밸브(V23a)(V24,V24a)의 개방으로부터 세정라인을 통해 제 1 필터에는 탈이온수의 주입이 가능하게 되면서, 주입되는 상기 탈이온수에 의해 제 1 필터의 세정이 이루어질 수 있는 것이다.Then, deionized water can be injected into the first filter through the cleaning line from the opening of the thirteenth and fourteenth pneumatic valves V23a (V24, V24a), and the cleaning of the first filter Can be achieved.

여기서, 상기 제 1 필터로 탈이온수를 주입시, 상기 제어부(50)는 상기 제 1 필터의 하단측에 형성되는 드레인라인의 제 7,8 공압밸브(V17,V18)를 닫힘 제어하게 되면서, 주입된 상기 탈이온수가 상기 드레인라인을 통해 드레인되는 것을 방지시키도록 하였다.Here, when the deionized water is injected into the first filter, the control unit 50 closes the seventh and eighth pneumatic valves V17 and V18 of the drain line formed at the lower end of the first filter, Thereby preventing the deionized water from being drained through the drain line.

여기서, 상기 탈이온수에 의해 세정작업이 완료시, 상기 제 7,8 공압밸브(V17,V18)는 제어부(50)의 제어신호에 따라 개방되며, 이에따라 복수의 제 13 및 제 14 공압밸브(V23,V23a)(V24a)가 개방된 상기 세정라인(L13)을 통해 교체할 상기 제 1 필터(10)에 재차 질소가스(N2)를 주입하면, 주입되는 상기 질소가스(N2)로부터 세정작업을 완료한 상기 제 1 필터(10)내의 탈이온수는 복수의 공압밸브(V17,V18)가 개방된 드레인라인에서 배출라인(L12)으로 드레인시키도록 하였다.When the cleaning operation is completed by the deionized water, the seventh and eighth pneumatic valves V17 and V18 are opened in accordance with the control signal of the control unit 50. Thus, a plurality of thirteenth and fourteenth pneumatic valves V23 , V23a) (V24a) is when open, the cleaning line (L13) again to the first filter 10 is replaced by the injection of nitrogen gas (N 2), washed from the nitrogen gas (N 2) is injected work The deionized water in the first filter 10 is drained from the drain line from which the plurality of pneumatic valves V17 and V18 are opened to the drain line L12.

그리고, 상기 제 1 필터로의 탈이온수 주입은 설정된 압력값에 따라 그 주입이 이루어지도록 하는 것이다.The deionized water injection into the first filter is performed in accordance with the set pressure value.

또한, 상기 제어부(50)는 상기 제 1 필터의 하단측에 형성되는 인렛측의 드레인라인에 형성되는 제 7,8 공압밸브(V17,V18)를 닫힘 제어하게 되면서, 상기 제 1 필터에 주입된 질소가스(N2)가 상기 드레인라인을 통해 드레인되는 것을 방지시키도록 하였지만, 상기 제 7,8 공압밸브(V17,V18)는 제어부(50)의 제어신호에 따라 개방시, 상기 질소가스(N2)는 상기 드레인라인을 통해 드레인되면서 배출라인(L12)으로 배출되어 제거될 수 있도록 하였다.In addition, the controller 50 controls closing of the seventh and eighth pneumatic valves V17 and V18 formed on the drain line on the inlet side formed at the lower end of the first filter, The seventh and eighth pneumatic valves V17 and V18 are controlled by the control unit 50 so as to prevent the nitrogen gas N (N 2 ) from being drained through the drain line, 2 are drained through the drain line and discharged to the discharge line L12 so as to be removed.

다음으로, 사용자가 약액이 드레인 완료된 상기 제 1 필터(10) 또는 상기 제 1 필터(10)내의 카트리지를 약액 공급시스템에서 분리시킨 후 새로운 필터(이하, '새로운 제 1 필터' 라함)를 교체 장착한다.Next, after the user separates the cartridge in the first filter 10 or the cartridge in the first filter 10 from which the chemical solution has been drained from the chemical supply system, a new filter (hereinafter referred to as a "new first filter" do.

그러면, 상기 제어부(50)는 교체된 제 1 필터(50, 도 4의 'FILTER A' 로 표시)의 인렛측 제 1 라인(L1)과 아웃렛측 제 3 라인(L3)에 형성되는 제 1 공압밸브(V11)와 제 3 공압밸브(V13)를 닫힘 제어하는 한편, 교체되지 않은 제 2 필터(20)의 인렛측 및 아웃렛측 제 2,4 라인(L2,L4)에 형성되는 제 2,4 공압밸브(V12,V14)는 그대로 개방상태를 유지시켜, 상기 제 2 필터(20)를 통해 사용처(P.O.U)에 약액이 끊김없이 공급되도록 한다.The control unit 50 then controls the first pneumatic pressure Pm formed on the inlet-side first line L1 and the outlet-side third line L3 of the replaced first filter 50 (indicated as 'FILTER A' The valve V11 and the third pneumatic valve V13 are closed and the second and fourth lines L2 and L4 formed on the inlet side and outlet side second and third lines L2 and L4 of the second filter 20, The pneumatic valves V12 and V14 are maintained in the open state to allow the chemical solution to be supplied to the point of use (POU) without interruption through the second filter 20.

한편, 상기와 같이 교체 장착이 완료되면, 제어부(50)는 닫힘 제어된 인렛측 제 1 라인(L1)의 제 1 공압밸브(V11)와, 아웃렛측 제 3 라인(L3)의 제 3 공압밸브(V13)를 개방시키는 제어신호를 출력하는 한편, 인렛측 라인에서 분기되는 분기라인(L11)에 형성되는 제 5,6 공압밸브(V15,V16)을 개방시키는 제어신호를 출력하게 된다.On the other hand, when the replacement is completed as described above, the control unit 50 controls the first pneumatic valve V11 of the first line L1 on the inlet-controlled inlet side and the third pneumatic valve V11 of the third line L3 of the outlet- And outputs a control signal for opening the fifth and sixth pneumatic valves V15 and V16 formed on the branch line L11 branched from the inlet side line.

그러면, 교체 장착된 새로운 제 1 필터에 약액을 채우는 작업을 진행시, 상기 약액은 상기 제 1 라인(L1)을 통해 새로운 제 1 필터로 공급되는 제 1 공급라인, 그리고 상기 인렛측 라인으로부터 분기되는 분기라인(L11)을 통해, 새로운 제 1 필터의 하단측에 마련되는 복수의 드레인라인 중 어느 하나의 드레인라인과, 교체가 이루어지지 않은 제 2 필터(20)의 하단측에 마련되는 복수의 드레인라인 중 어느 하나의 드레인라인을 통해 새로운 제 1 필터는 물론 교체되지 않은 제 2 필터(20)에는 약액이 분기되어 공급될 수 있는 것이다.Then, in the process of filling the new first filter with the chemical solution, the chemical solution is supplied to the first filter through the first line (L1), and the first supply line branched from the inlet side line A drain line of a plurality of drain lines provided on the lower end side of the new first filter and a drain line of a plurality of drains provided on the lower end side of the second filter 20, The chemical solution can be branched and supplied to the second filter 20 which is not replaced as well as the new first filter through any one of the drain lines.

여기서, 상기 제 2 필터(20)에서는 사용처로 계속하여 약액을 공급하고 있므므로, 상기 제 2 필터(20)로 분기되어 공급되는 약액의 유량은 새로운 제 1 필터로 분기되어 공급되는 약액의 유량보다는 작을 수 밖에 없으며, 이에따라 교체 장착된 새로운 제 1 필터에는 제 1 라인(L1)을 통해 약액이 공급됨과 동시에 드레인라인을 통해서도 약액 공급이 이루어지면서, 그 공급되는 약액의 압력 및 유량에 따른 헌팅 현상은 발생하지 않게 되면서, 상기 제 1 필터(10)는 새로운 제 1 필터로의 교체작업이 완료될 수 있는 것이다.Since the chemical solution is continuously supplied to the second filter 20, the flow rate of the chemical solution branched to the second filter 20 is larger than the flow rate of the chemical solution branched to the new first filter The chemical solution is supplied through the first line L1 and the chemical solution is supplied through the drain line, so that the hunting phenomenon according to the pressure and the flow rate of the chemical solution to be supplied is The first filter 10 can be replaced with a new first filter.

한편, 상기와 같이 새로운 제 1 필터로의 약액 채움이 이루어질 때, 상기 필터의 하단측 드레인라인에 연결되는 배출라인(L12)에는 감지센서(S11)가 형성되어 있으므로, 상기 감지센서(S11)는 상기 배출라인(L12)의 유체를 검출한 후 이를 상기 제어부(50)에 출력하게 되며, 이에따라 상기 제어부(50)는 검출된 상기 배출라인(L12)의 감지시간이 벗어난 경우 상기 제 1 필터에 대한 교체 시간이 설정된 시간을 초과한 것으로 판단하여 사용자가 인지하도록 경보음을 출력하게 되는 것이다.When the chemical solution is filled in the first filter as described above, the detection sensor S11 is formed on the discharge line L12 connected to the lower drain line of the filter, The control unit 50 detects the fluid in the discharge line L12 and outputs the fluid to the control unit 50. When the detection time of the detected discharge line L12 is out of control, It is determined that the replacement time has exceeded the set time, and the alarm sound is output so that the user can recognize it.

즉, 제 1 필터(10)를 교체시 그 교체시간이 정해진 시간을 초과하게 되면, 약액의 공급라인(L1,L2,L3,L4)은 물론 분기라인(L11)과 배출라인(L12)으로 공기 유입이 이루어지면서, 유입된 상기 공기가 약액의 공급을 방해하는 요소로 작용하기 때문인 것이다.That is, when the replacement time of the first filter 10 is exceeded for a predetermined time, the chemical liquid supply lines L1, L2, L3, and L4, as well as the branch line L11 and the discharge line L12, The influxed air acts as an obstacle to the supply of the chemical liquid.

이상에서 본 발명의 약액 공급시스템과 이의 필터 자동 교체방법에 대한 기술사상을 첨부도면과 함께 서술하였지만, 이는 본 발명의 가장 양호한 실시예를 예시적으로 설명한 것이지 본 발명을 한정하는 것은 아니다.While the present invention has been described with reference to the accompanying drawings, it is to be understood that the invention is not limited to the disclosed embodiments, but, on the contrary, is intended to cover various modifications and equivalent arrangements included within the spirit and scope of the invention.

따라서, 본 발명은 상술한 특정의 바람직한 실시예에 한정되지 아니하며, 청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 다양한 변형 실시가 가능한 것은 물론이고, 그와같은 변경은 청구범위 기재의 범위내에 있게 된다.It will be apparent to those skilled in the art that various modifications and variations can be made in the present invention without departing from the spirit and scope of the invention as defined by the appended claims. It is to be understood that such changes and modifications are within the scope of the claims.

10; 제 1 필터 20; 제 2 필터
30; 제 1 압력센서 40; 제 2 압력센서
50; 제어부 S11; 감지센서10; A first filter 20; The second filter
30; A first pressure sensor 40; The second pressure sensor
50; A control unit S11; Detection sensor

Claims (11)

약액 공급원으로부터 반도체소자의 제조공정이 이루어지는 사용처(P.O.U) 사이에 병렬로 설치되어 인렛(INLET)의 제 1,2 라인을 통해 공급이 이루어지는 약액내의 불순물을 정제한 후 아웃렛(OUTLET)의 제 3,4 라인으로 각각 배출하는 복수의 제 1,2 필터;
상기 제 1,2 필터의 전단 및 후단측 공급 및 배출의 라인에 각각 설치되며, 상기 제 1,2 필터의 전후단측 차압을 검출하는 제 1,2 압력센서;
상기 제 1,2 압력센서에 의해 검출된 차압이 설정값을 벗어나면 제 1 필터 또는 제 2 필터의 교체주기로 판단하고 그 판단에 따른 제어신호를 출력하는 제어부;
상기 제 1,3 라인에 각각 형성되고, 상기 제 1 필터의 교체시 상기 제어부로부터 출력하는 제어신호에 따라 닫힘 제어되는 인렛의 제 1,2 공압밸브;
상기 제 2,4 라인에 각각 형성되고, 상기 제 2 필터의 교체시 상기 제어부로부터 출력하는 제어신호에 따라 닫힘 제어되는 아웃렛의 제 3,4 공압밸브; 를 포함하여 구성하고,
상기 제 1,2 라인에는 상기 제 1,2 필터의 드레인라인으로 분기되는 분기라인을 구성하며, 상기 분기라인에는 상기 제어부로부터 출력되는 제어신호에 따라 교체된 제 1 필터 또는 제 2 필터로의 약액 공급을 결정하도록 개폐되는 제 5,6 공압밸브를 형성하는 것을 특징으로 하는 약액 공급시스템.(POU) from which the semiconductor device manufacturing process is performed, purifies the impurities in the chemical liquid supplied through the first and second lines of the inlet INLET, 4 lines, respectively;
First and second pressure sensors respectively installed on the lines for supplying and discharging the front and rear ends of the first and second filters, respectively, and detecting the differential pressure between the front and rear ends of the first and second filters;
A control unit for determining a replacement period of the first filter or the second filter when the differential pressure detected by the first and second pressure sensors is out of a set value and outputting a control signal according to the determination;
The first and second pneumatic valves of the inlet formed in the first and third lines, respectively, which are closed and controlled in accordance with a control signal output from the control unit when the first filter is replaced;
Third and fourth pneumatic valves of the outlets respectively formed in the second and fourth lines and being closed-closed in response to a control signal output from the control unit when the second filter is replaced; And,
The first and second lines constitute a branch line branched to the drain line of the first and second filters, and the branch line is connected to the first filter or the second filter, which is replaced according to a control signal output from the control unit, Wherein the fifth and sixth pneumatic valves are opened and closed to determine the supply of the chemical liquid. 제 1 항에 있어서,
상기 제 1 필터의 하단측에는 복수의 드레인라인을 형성하고,
복수의 상기 드레인라인에는 각각 상기 제어부로부터 출력되는 제어신호에 따라 개폐 제어되는 제 7,8 공압밸브를 형성하며,
상기 제 8 공압밸브가 형성되는 드레인라인에 상기 분기라인을 연결 구성하는 것을 특징으로 하는 약액 공급시스템.The method according to claim 1,
A plurality of drain lines are formed on the lower end side of the first filter,
The seventh and eighth pneumatic valves being opened and closed in accordance with a control signal output from the controller,
And the branch line is connected to the drain line where the eighth pneumatic valve is formed. 제 2 항에 있어서,
상기 제 2 필터의 하단측에는 복수의 드레인라인을 형성하고,
복수의 상기 드레인라인에는 각각 상기 제어부로부터 출력되는 제어신호에 따라 개폐 제어되는 제 9,10 공압밸브를 형성하며,
상기 제 10 공압밸브가 형성되는 드레인라인에 상기 분기라인을 연결 구성하는 것을 특징으로 하는 약액 공급시스템.3. The method of claim 2,
A plurality of drain lines are formed on the lower end side of the second filter,
And a plurality of drain lines are respectively provided with ninth and tenth pneumatic valves which are controlled to be opened and closed in accordance with a control signal output from the controller,
And the branch line is connected to a drain line in which the tenth pneumatic valve is formed. 제 3 항에 있어서,
상기 제 1 필터와 상기 2 필터의 하단측에 각각 마련되는 복수의 드레인라인은 배출라인으로 연결 구성하고,
상기 배출라인에는 상기 제 1 필터 또는 상기 제 2 필터로부터 드레인되는 약액의 흐름을 제어하도록 상기 제어부로부터 출력되는 제어신호에 따라 개폐되는 제 11 공압밸브와 제 12 공압밸브를 형성하는 것을 특징으로 하는 약액 공급시스템.The method of claim 3,
A plurality of drain lines provided at the lower ends of the first filter and the second filter are connected to a discharge line,
And the discharge line is provided with a eleventh pneumatic valve and a twelfth pneumatic valve which are opened or closed in accordance with a control signal outputted from the control unit to control the flow of the chemical liquid drained from the first filter or the second filter. Supply system. 제 4 항에 있어서,
상기 배출라인에는 상기 배출라인의 유체 배출시간을 검출하는 감지센서를 연결 구성하는 것을 특징으로 하는 약액 공급시스템.5. The method of claim 4,
Wherein the discharge line is connected to a detection sensor for detecting a fluid discharge time of the discharge line. 제 1 항에 있어서,
상기 제 1,2 필터의 상단측에는 세정라인을 연결 구성하고,
상기 세정라인에는 상기 제 1 필터 또는 상기 제 2 필터로 질소가스의 주입을 제어하도록 상기 제어부로부터 출력되는 제어신호에 따라 개폐되는 복수의 제 13 공압밸브와, 상기 제 1 필터 또는 상기 제 2 필터로 탈이온수(DIW)의 주입을 제어하도록 상기 제어부로부터 출력되는 제어신호에 따라 개폐되는 복수의 제 14 공압밸브를 형성하는 것을 특징으로 하는 약액 공급시스템.The method according to claim 1,
A cleaning line is connected to the upper side of the first and second filters,
The cleaning line is provided with a plurality of thirteenth pneumatic valves that are opened or closed in accordance with a control signal outputted from the control unit to control injection of nitrogen gas into the first filter or the second filter, And a plurality of fourteenth pneumatic valves that are opened and closed in accordance with a control signal output from the control unit to control the injection of deionized water (DIW). 제 6 항에 있어서,
상기 세정라인은 상기 제 2 필터의 상단에서 상기 배출라인과 연결 구성하는 것을 특징으로 하는 약액 공급시스템.The method according to claim 6,
Wherein the cleaning line is connected to the discharge line at an upper end of the second filter. (a) 복수로 이루어진 제 1,2 필터의 인렛측 병렬 라인과 아웃렛 병렬 라인의 차압을 검출한 후 이를 설정값과 비교하는 공정;
(b) 상기 (a)공정의 비교결과 인렛측 병렬 라인과 아웃렛측 병렬 라인의 차압이 설정값을 벗어나면, 교체할 제 1 필터의 인렛측 라인과 아웃렛측 라인의 공압밸브를 닫힘 제어하는 한편, 교체되지 않은 제 2 필터의 인렛측 및 아웃렛측 라인의 공압밸브를 개방하여 사용처(P.O.U)에 약액이 끊김없이 공급되도록 하는 상태에서, 제 1 필터의 하단측에 마련되는 복수의 드레인용 공압밸브를 개방시킨 후 개방된 세정라인을 통해 상기 제 1 필터에 질소가스를 주입하여 필터내 약액을 배출라인으로 드레인시키는 공정;
(c) 상기 (b)공정으로부터 배출라인으로 약액이 드레인된 제 1 필터를 개방된 세정라인을 통해 제 1 필터에 탈이온수를 주입하여 상기 제 1 필터를 세정하는 공정;
(d) 상기 (c)공정으로부터 제 1 필터를 개방된 세정라인을 통해 상기 제 1 필터에 질소가스를 주입하여 필터내 탈이온수를 배출라인으로 드레인시키는 공정; 및,
(e) 상기 (d)공정으로부터 배출라인으로 탈이온수가 드레인된 제 1 필터를 분리 후 이에 새로운 제 1 필터를 교체 장착한 상태에서 교체 장착된 제 1 필터로의 약액 채움시 압력 및 유량의 헌팅 현상이 발생되지 않도록 복수로 이루어진 필터들의 드레인라인에 연결되는 배출라인의 공압밸브를 개방시켜 교체 장착된 제 1 필터로 약액을 분기 공급하여 필터의 교체 장착을 완료하는 공정; 을 포함하여 진행하는 것을 특징으로 하는 필터 자동 교체 방법.(a) detecting a differential pressure between an inlet-side parallel line and an outlet parallel line of the first and second filters, and comparing the differential pressure with a set value;
(b) when the differential pressure between the inlet-side parallel line and the outlet-side parallel line is out of the set value as a result of the comparison in the step (a), the inlet-side line and the outlet- , A plurality of draining pneumatic valves (2) provided on the lower end side of the first filter are provided in a state in which the pneumatic valves of the inlet and outlet lines of the second filter that have not been replaced are opened and the chemical solution is supplied to the point of use And injecting nitrogen gas into the first filter through the opened cleaning line to drain the chemical solution in the filter to the discharge line;
(c) cleaning the first filter by injecting deionized water into the first filter through an open cleaning line, the first filter having the chemical solution drained from the step (b) to the discharge line;
(d) injecting nitrogen gas into the first filter through the clean line from the step (c) through the first filter to drain the deionized water in the filter to the discharge line; And
(e) a step of separating the first filter from which the deionized water has been drained from the step (d) into the discharge line and then replacing the first filter with the new filter, Closing the pneumatic valve of the discharge line connected to the drain line of the plurality of filters so as to prevent the phenomenon from occurring, and completing the replacement mounting of the filter by branching and supplying the chemical solution to the first filter installed and replaced; Wherein the step of performing the automatic filter replacement comprises the steps of: 제 8 항에 있어서,
상기 (e)공정에는, 배출라인을 통해 약액이 분기되어 교체 장착된 제 1 필터에 약액 채움시, 상기 배출라인의 유체를 체크하고 그 체크된 유체의 검출시간이 기준시간을 벗어나면 제 1 필터 교체 시간이 설정된 시간을 초과한 것으로 판단하여 경보음을 출력하는 공정; 을 더 포함하여 진행하는 것을 특징으로 하는 필터 자동 교체 방법.9. The method of claim 8,
In the step (e), the fluid of the discharge line is checked when the chemical solution is filled in the first filter, which is branched and replaced through the discharge line. When the detection time of the checked fluid is out of the reference time, Determining that the replacement time exceeds the set time, and outputting an alarm sound; Further comprising the steps of: 제 8 항에 있어서, 상기 (b)공정과 상기 (d)공정에서 약액 드레인을 위한 질소가스는 설정된 압력값에 따라 그 주입이 이루어지도록 구성하는 것을 특징으로 하는 필터 자동 교체 방법.The method of claim 8, wherein the nitrogen gas for the chemical solution drain is injected according to a set pressure value in the steps (b) and (d). 제 8 항에 있어서, 상기 (c)공정에서 교체 장착된 제 1 필터로의 탈이온수는 설정된 압력값에 따라 그 주입이 이루어지도록 구성하는 것을 특징으로 하는 필터 자동 교체 방법.[9] The method of claim 8, wherein the deionized water to the first filter installed in the step (c) is injected according to the set pressure value.
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