KR20190102452A - automatic filter changing device of CHEMICAL LIQUID SUPPLY SYSTEM - Google Patents

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KR20190102452A
KR20190102452A KR1020180022854A KR20180022854A KR20190102452A KR 20190102452 A KR20190102452 A KR 20190102452A KR 1020180022854 A KR1020180022854 A KR 1020180022854A KR 20180022854 A KR20180022854 A KR 20180022854A KR 20190102452 A KR20190102452 A KR 20190102452A
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Abstract

The present invention discloses an automatic filter replacing device for a liquid chemical supply system. The present invention is formed to automatically perform all replacing processes except insertion and collection with respect to a filter or a filter cartridge applied to a liquid chemical supply system by a mechanical mechanism. Accordingly, the present invention prevents accidents caused by mistake of an unskilled operator when replacing the filter or the filter cartridge and life accidents caused by chemical leakage and more safely performs replacing operation of the filter or the filter cartridge.

Description

약액 공급시스템의 필터 자동 교체 장치 {automatic filter changing device of CHEMICAL LIQUID SUPPLY SYSTEM}Automatic filter changing device of CHEMICAL LIQUID SUPPLY SYSTEM}

본 발명은 반도체소자 제조공정의 웨이퍼 표면을 화학기계적으로 연마하는 CMP(Cemichal Mechanical Polishing)공정에 사용되는 약액(예; 케미컬/슬러리(CHEMICAL/SLURRY))을 공급하는 약액 공급시스템에서의 필터 자동 교체 기술에 관한 것으로, 보다 상세하게는 약액의 파티클(PARTICLE)을 최소화시키기 위해 약액 공급시스템에 적용되는 필터 또는 필터 카트리지(FILTER CARTRIDGE)를 수동 작업이 아니라 기계적인 메커니즘으로 자동 교체하여, 필터 또는 필터 카트리지 교체시 작업자의 실수에 의한 사고를 예방하는 약액 공급시스템의 필터 자동 교체장치에 관한 것이다.The present invention automatically replaces a filter in a chemical supply system for supplying a chemical liquid (eg, chemical / slurry) used in a CMP (Cemichal Mechanical Polishing) process that chemically polishes the wafer surface of a semiconductor device manufacturing process. The technology relates to a filter or filter cartridge, in more detail, by automatically replacing a filter or filter cartridge applied to the chemical supply system with a mechanical mechanism, rather than manual operation, to minimize PARTICLE of the chemical. The present invention relates to an automatic filter replacement device for a chemical supply system that prevents an accident due to an operator's mistake during replacement.

일반적으로, 반도체 장치를 제조하기 위한 공정에서 일반적으로 반도체 기판위에 소정의 막질을 증착하고, 노광, 현상, 식각, 증착 등의 공정이 반복적으로 수행되며, 절연막, 금속배선, 절연(Isolation) 및 트렌치(Trench) 구조를 형성하도록 원하는 부위의 평탄화를 위해 화학 기계적 연마공정이 이루어진다.In general, in a process for manufacturing a semiconductor device, a predetermined film quality is generally deposited on a semiconductor substrate, and processes such as exposure, development, etching, and deposition are repeatedly performed, and an insulating film, metal wiring, isolation, and trenches are performed. A chemical mechanical polishing process is performed to planarize the desired area to form a trench structure.

이와 같은 연마 공정을 CMP(Chemical Mechanical Polishing, 이하 'CMP'라 함) 공정이라고 부른다. CMP 공정은 화학액과 연마입자로 구성된 약액의 화학작용과, 연마기의 기계적 작용의 조합에 의해 수행된다.Such a polishing process is called a CMP (Chemical Mechanical Polishing) process. The CMP process is performed by a combination of the chemical action of the chemical liquid and the abrasive particles, and the mechanical action of the polishing machine.

일반적으로 약액은 제거 대상의 종류 및 특성에 따라 다양한 종류를 갖는다. 즉 KOH, NH4OH 등의 알칼리 용액에 80~230㎚의 입경을 갖는 실리카(SiO2), 알루미나(Al2O3), 세리아(CeO2), 다이아몬드 등의 연마입자가 현탁된 것이다.Generally, the chemical liquid has various kinds according to the kind and characteristics of the object to be removed. That is, abrasive particles such as silica (SiO 2), alumina (Al 2 O 3), ceria (CeO 2) and diamond having a particle diameter of 80 to 230 nm are suspended in an alkaline solution such as KOH or NH 4 OH.

절연막이나 배선층의 제거 속도나 표면 품위를 결정하는 약액의 인자로서는 연마입자의 크기, 분포 및 화학 특성, 콜로이달 안정성, 슬러리의 공급속도 등이 있다. 특히 공정이 진행되고 있는 동안 공급되어야 하는 약액의 공급량과 공급속도를 조절하는 것이 연마공정의 성공여부를 결정하기도 한다.Factors of the chemical liquid that determine the removal rate or surface quality of the insulating film and the wiring layer include the size, distribution and chemical properties of the abrasive grains, colloidal stability, and the slurry feed rate. In particular, adjusting the feed rate and supply rate of the chemical liquid to be supplied during the process may determine the success of the polishing process.

한편, 종래의 약액 공급시스템은, 약액 공급원으로부터 반도체소자의 제조공정이 이루어지고 있는 사용처(P.O.U ; POINT OF USE) 사이에 약액내의 불순물 등을 정제하기 위한 복수의 필터를 구성한 상태에서, 상기 필터에는 인렛(INLET)의 라인과, 아웃렛의 라인을 각각 연결하는 한편, 상기 인렛과 아웃렛 라인에는 각각 수동밸브를 구성하도록 하였다.On the other hand, the conventional chemical liquid supply system includes a plurality of filters for purifying impurities and the like in the chemical liquid from a chemical liquid supply source to a point of use (POU) in which a semiconductor device is manufactured. The inlet line and the outlet line were connected to each other, while the inlet and outlet lines were respectively configured with a manual valve.

그리고, 필터의 상단측에는 벤트라인이 연결되면서, 상기 벤트라인에는 질소가스(N2 GAS)의 주입 및 배출을 위한 수동밸브가 구성됨은 물론, 상기 필터의 하단측에는 약액의 드레인을 위한 수동의 드레인밸브가 구성되도록 하였다.And, while the vent line is connected to the upper end of the filter, a manual valve for injecting and discharging nitrogen gas (N2 GAS) is configured at the vent line, and a manual drain valve for draining the chemical liquid is provided at the lower side of the filter. It was configured.

또한, 상기 필터의 상단측에는 상기 벤트라인으로부터 분기되는 벤트분기라인이 연결되면서, 상기 벤트분기라인에는 수동밸브가 구성됨은 물론, 상기 필터 하단측에는 약액의 드레인을 위한 수동의 드레인밸브가 구성되도록 하였다.In addition, while the vent branch line branched from the vent line is connected to the upper end of the filter, a manual valve is configured at the vent branch line, and a manual drain valve for draining the chemical liquid is configured at the lower end of the filter.

여기서, 상기 벤트라인과 상기 벤트분기라인에는 벤드레인밸브가 형성되는 벤트드레인라인이 연결되는 것이고, 상기 필터를 병렬로 구성하는 것은 하나의 필터가 막히거나 고장이 나는 경우 예비용으로 다른 필터를 사용하기 위함인 것이다.Here, the vent line and the vent branch line are connected to the vent drain line in which the vent drain valve is formed, and configuring the filters in parallel uses another filter as a spare when one filter is blocked or malfunctions. To do that.

한편, 종래 약액 공급시스템에서 복수로 이루어진 필터는 물론, 필터내의 카트리지는 사용 연한을 감안하여 사용자에 의해 수동 교체가 이루어지도록 설계되며, 이에따라 약액 공급시스템의 약액 공급을 정지시켜야 하는 것이다.On the other hand, in the conventional chemical solution supply system, as well as a plurality of filters, the cartridge in the filter is designed to be manually replaced by the user in consideration of the age of use, accordingly to stop the chemical solution supply of the chemical supply system.

그러나, 종래의 약액 공급시스템에서 필터 또는 필터 카트리지를 교체시키고자 할 때, 드레인밸브를 통해 약액을 드레인하거나 벤트드레인라인을 통해 질소가스를 드레인시 그 드레인되는 약액과 질소가스에 사용자가 그대로 노출되는 단점을 가지고 있었다.However, when the filter or filter cartridge is to be replaced in the conventional chemical liquid supply system, when the chemical liquid is drained through the drain valve or the nitrogen gas is drained through the vent drain line, the user is exposed to the chemical liquid and nitrogen gas that are drained. Had a downside

이에, 본원출원인은 종래 약액시스템에서 필터 또는 필터 카트리지의 교체시 발생하는 문제를 개선하기 위해 등록특허공보 제10-1769922호(등록일 2017.08.14)와 같은 "약액 공급시스템과 이의 필터 자동 교체방법을 제안하였다.Therefore, the applicant of the present application in order to improve the problem that occurs when replacing the filter or filter cartridge in the conventional chemical solution system, such as "Patent No. 10-1769922 (registration date 2017.08.14)" Suggested.

그러나, 상기와 같은 본원출원인의 등록특허는 필터 또는 필터 카트지리의 교체를 위해 약액 공급 흐름을 제어하는 필터 자동 교체방법을 제시한 것으로, 필터 또는 필터카트리지의 교체작업은 작업자의 수작업에 의해 진행될 수 밖에 없는 것이다.However, the registered patent of the present applicant has proposed an automatic filter replacement method for controlling the chemical liquid supply flow for the replacement of the filter or the filter cartridge, the replacement of the filter or filter cartridge can be carried out by manual operation of the operator. There is only one.

즉, 첨부된 도 1a에서와 같이 교체 주기에 수동으로 필터 교체를 진행시, 첨부된 1b에서와 같이 공구(Filter Bowl Nut Open Tool)(100)를 사용하여 작업자가 너트(Filter Bowl Nut)(200)를 풀어준다.That is, when manually replacing the filter in the replacement cycle, as shown in Figure 1a attached, the operator using the filter (Filter Bowl Nut Open Tool) 100 as shown in 1b (Filter Bowl Nut) (200) Loosen)

다음으로, 첨부된 도 1c에서와 같이, 필터 덮개(Bowl)(300)를 사람이 위로 들어 올려 필터헤드(Filter Head)(400)에서 분리한다.Next, as shown in FIG. 1C, the filter cover 300 is lifted up by a person and separated from the filter head 400.

다음으로, 첨부된 도 1d에서와 같이, 작업자는 상기 필터헤드(400)에서 필터 카트리지(Filter Cartridge)(500)를 분리시킨다.Next, as shown in FIG. 1D, the operator separates the filter cartridge 500 from the filter head 400.

다음으로, 첨부된 도 1e에서와 같이, 새로운 필터 카트리지(500')를 필터헤드(400)에 완벽하게 체결하도록 작업자가 새로운 상기 필터 카트리지(500')를 손으로 잡고 돌리면서 체결한다.Next, as shown in FIG. 1E, the operator fastens the new filter cartridge 500 'by hand while turning it to completely fasten the new filter cartridge 500' to the filter head 400.

다음으로, 첨부된 도 1f에서와 같이, 작업자가 필터 덮개(300)를 필터헤드(400)에 체결하고 나서, 마지막으로 공구(100)를 사용하여 상기 필터 덮개(300)를 회전시켜 완전하게 조임함으로써 교체가 완료되는 것이다.Next, as shown in FIG. 1F, the operator fastens the filter cover 300 to the filter head 400, and finally rotates the filter cover 300 using the tool 100 to completely tighten the filter cover 300. By doing so, the replacement is completed.

그러나, 상기와 같은 수동 방식으로 작업자가 필터 카트리지를 교체시, 약품이 필터 덮개 내부에 남아 있을 경우, 약품 누출에 의한 인명 사고 발생 위험이 있으며, 필터 카트리지 교체의 모든 작업이 작업자에 의해 수작업으로 진행됨에 따라 안전보호구를 반드시 착용하여야 하는 불편함이 있었다.However, when the operator replaces the filter cartridge by the manual method as described above, if the chemical remains inside the filter cover, there is a risk of human accident due to the chemical leak, and all operations of the filter cartridge replacement are performed manually by the operator. In accordance with the inconvenience that must wear safety protective equipment.

또한, 상기와 같은 수작업에 의한 교체작업은 숙련되지 않은 작업자의 부주의 또는 실수로 인한 여러 가지 문제점들이 있으며, 특히 작업자는 작업 중에 수동으로 조작했던 모든 것들, 그리고 다른 필터 쪽의 모든 것들을 정상으로 해 놓았는지 마지막으로 확인해야 하는 불편함이 있었고, 만약 드레인밸브가 개방되어 있거나 개방되어야 할 밸브가 닫혀 있다면 심한 경우 장비의 운전이 정지될 수 있는 등 종래에는 숙련되지 않은 작업자에 의해 필터 또는 카트리지의 교체가 제대로 이루어지지 못하는 단점을 가진 것이다.In addition, the manual replacement work has various problems due to carelessness or mistake by an inexperienced worker. In particular, the worker has normalized everything that was manually operated during the operation and everything on the other filter side. Lastly, it was inconvenient to check, and if the drain valve is open or if the valve to be opened is closed, the operation of the equipment may be severely stopped. It has the disadvantage that it does not work properly.

등록특허공보 제10-0431714호(등록일 2004.05.04)Registered Patent Publication No. 10-0431714 (Registration Date 2004.05.04)

공개특허공보 제10-2010-0005524호(공개일 2010.01.15)Publication No. 10-2010-0005524 (published 2010.01.15)

등록특허공보 제10-1327696호(등록일 2013.11.04)Registered Patent Publication No. 10-1327696 (Registration Date 2013.11.04)

등록특허공보 제10-1769922호(등록일 2017.08.14)Patent Application Publication No. 10-1769922 (Registration Date 2017.08.14)

따라서, 본 발명은 상기와 같은 종래의 문제점을 개선하기 위한 것으로, 약액 공급시스템에 적용되는 필터 또는 필터 카트리지에 대한 투입 및 회수를 제외한 모든 교체 공정이 기계적인 메커니즘에 의해 자동으로 이루어지도록 구성함으로써, 필터 또는 필터 카트리지 교체시 숙련되지 않은 작업자의 실수에 의한 사고는 물론, 약품 누출에 따른 인명 사고를 예방하면서, 필터 또는 필터 카트리지의 교체 작업이 보다 안전하게 이루어질 수 있도록 하는 약액 공급시스템의 필터 자동 교체장치를 제공함에 그 목적이 있는 것이다.Therefore, the present invention is to improve the conventional problems as described above, by configuring so that all replacement processes except the input and recovery of the filter or filter cartridge applied to the chemical liquid supply system is automatically made by a mechanical mechanism, Automatic filter replacement device of chemical supply system to make filter or filter cartridge replacement work more safe while preventing accidental accidents and accidental human accidents when replacing filter or filter cartridge. The purpose is to provide.

상기 목적 달성을 위한 본 발명 약액 공급시스템의 필터 자동 교체장치는, 약액 공급시스템의 필터가 고정되는 필터고정부와 이송레일이 형성되는 본체; 상기 본체의 이송레일을 따라 직선 이동하고 회전하면서, 기존 필터 카트리지의 교체 또는 신규 필터 카트리지의 교체 작업 이후에 필터 덮개를 잡으면서 흔들어주는 한 쌍의 덮개 아암이 포함되는 덮개 고정부; 상기 본체의 상단 외측에서 상기 본체의 내부로 형성되며, 상기 덮개 아암이 필터 덮개를 잡아줄 때, 기존 필터 카트리지의 교체 또는 신규 필터 카트리지의 교체 작업 이후에 고정너트의 잠금상태를 해제 또는 잠금해제된 고정너트를 잠금시키고, 상기 고정너트의 잠금 해제시 상기 필터 덮개를 필터 헤드로부터 분리 또는 결합시키도록 승,하강과 회전이 이루어지는 덮개 분리/결합부; 상기 덮개 고정부의 상부에 형성되고, 상기 덮개 분리/결합부에 의해 필터 덮개가 분리시, 상기 필터 헤드로부터 기존 필터 카트리지를 분리 또는 상기 필터 헤드에 신규 필터 카트리지를 픽업하여 결합시키도록 상기 덮개 고정부에 의해 직선 이동하고 회전하는 한 쌍의 필터 아암이 포함되는 필터 분리/결합부; 및, 상기 본체의 일단 외측에 형성되는 것으로서, 신규 필터 카트리지가 다단 고정되고, 상기 필터 분리/결합부가 픽업할 신규 필터 카트리지를 픽업 위치로 순차 이송시키는 신규 필터 공급부; 를 포함하여 구성하는 것이다.Automatic filter replacement device of the present invention chemical solution supply system for achieving the above object, the filter fixing part and the transport rail is fixed to the filter of the chemical solution supply system is formed; A cover fixing part including a pair of cover arms which move while rotating and linearly moving along the transfer rail of the main body, while holding the filter cover and shaking the filter after replacing the existing filter cartridge or replacing the new filter cartridge; It is formed inside the main body from the upper outer side of the main body, when the cover arm to hold the filter cover, after the replacement of the old filter cartridge or the replacement of the new filter cartridge to unlock or unlock the lock nut A cover separating / coupling portion which locks the fixing nut and moves up, down and rotates to separate or couple the filter cover from the filter head when the fixing nut is unlocked; The cover fixing part is formed on an upper part of the cover fixing part, and separates an existing filter cartridge from the filter head or picks up a new filter cartridge to the filter head when the filter cover is separated by the cover separating / combining part. A filter separating / combining portion including a pair of filter arms which are linearly moved and rotated by the government; And a new filter supply unit which is formed outside one end of the main body, wherein the new filter cartridge is fixed in multiple stages and sequentially transfers the new filter cartridge to be picked up by the filter separating / combining unit to a pickup position. It will be configured to include.

또한, 상기 본체의 저면측에는 필터 헤드로부터 분리된 기존 필터 카트리지가 낙하되는 필터 낙하홀을 형성하고, 상기 본체의 일단 측면에는 신규 필터 카트리지의 픽업을 위한 필터 픽업홀을 형성하며, 상기 본체의 상면 일단에는 필터 덮개의 인출 및 인입을 위한 덮개 통과홀을 형성하는 것이다.In addition, the bottom surface of the main body to form a filter drop hole that the existing filter cartridge separated from the filter head is dropped, one end side of the main body to form a filter pickup hole for pickup of the new filter cartridge, the top end of the main body To form a cover through hole for the extraction and withdrawal of the filter cover.

또한, 상기 본체의 저면측에는 상기 필터 낙하홀을 통해 기존 필터 카트리지가 낙하시 이를 수용하는 제거함이 형성되는 것이다.In addition, the bottom surface side of the main body is formed to remove the existing filter cartridge to receive it when the drop through the filter drop hole is formed.

또한, 상기 덮개 고정부는, 서브모터의 구동으로부터 상기 이송레일을 따라 제 1 방향으로 직선 이동하고 제 1 레일부가 형성되는 제 1 이동체; 서브모터 구동으로부터 상기 제 1 레일부를 따라 상기 제 1 방향과 직교되는 제 2 방향으로 직선 이동하고 제 2 레일부가 형성되는 제 2 이동체; 서브모터의 구동으로부터 상기 제 2 레일부를 따라 상하방향으로 직선 이동하는 제 3 이동체; 상기 제 3 이동체의 전방측에 고정되는 제 1 고정체; 상기 제 1 고정체의 하단에 고정 설치되는 공압실린더; 및, 상기 공압실린더의 저면에 회전 가능하게 축 결합되는 제 1 회전체; 를 포함하여 구성하고, 상기 제 1 회전체의 양측부에는 상기 필터 덮개를 잡아주도록 폭이 조절되는 상기 덮개 아암을 결합 구성하는 것이다.The cover fixing unit may further include: a first moving body linearly moving in a first direction along the transfer rail from the driving of the sub-motor and having a first rail part formed thereon; A second moving body linearly moving from a sub-motor driving in a second direction orthogonal to the first direction along the first rail portion and having a second rail portion formed thereon; A third moving body linearly moving up and down along the second rail from the driving of the sub-motor; A first fixture fixed to the front side of the third movable body; A pneumatic cylinder fixedly installed at a lower end of the first fixture; And a first rotating body rotatably coupled to the bottom of the pneumatic cylinder. And a cover arm having a width adjusted to hold the filter cover on both sides of the first rotating body.

또한, 상기 제 3 이동체에는 상기 필터 분리/결합부에 의해 상기 필터 헤드에 신규 필터 카트리지가 결합시, 상기 신규 필터 카트리지의 상단에 접촉하면서 가압하여 상기 필터 헤드에 결합시키는 가압플레이트를 결합 구성한 것이다.In addition, when the new filter cartridge is coupled to the filter head by the filter separating / coupling portion, the third movable body is configured to couple the pressing plate which is pressed while contacting the upper end of the new filter cartridge to couple to the filter head.

또한, 상기 덮개 분리/결합부는, 본체의 외측 상면에 배치되는 승하강용의 제 1 구동부; 본체의 외측 상면에서 상기 제 1 구동부와 나란하게 배치되는 너트 잠금 및 해제용의 제 2 구동부; 본체의 외측 상면에 배치되는 제 1 프레임; 상기 본체의 내측에서 고정너트에 결합되는 제 2 프레임; 상기 제 1,2 프레임을 연결하는 복수의 연결로드; 상기 제 1,2 프레임을 연결하고, 상기 제 1 구동부의 구동에 따라 회전하여, 상기 제 1,2 프레임을 승하강시키는 회전스크류; 및, 상기 제 1,2 프레임을 연결하고, 상기 제 2 구동부의 구동에 따라 너트결합부를 회전시켜 상기 고정너트를 필터헤드에 잠금시키거나 또는 잠금상태를 해제시키는 록킹부; 를 포함하여 구성하는 것이다.The cover separating / coupling portion may include a first driving part for lifting and lowering disposed on an outer upper surface of the main body; A second driving part for locking and releasing a nut disposed in parallel with the first driving part on an outer upper surface of the main body; A first frame disposed on an outer upper surface of the main body; A second frame coupled to the fixing nut at an inner side of the main body; A plurality of connection rods connecting the first and second frames; A rotating screw connecting the first and second frames and rotating the first and second frames to move the first and second frames up and down; And a locking unit connecting the first and second frames and rotating the nut coupling unit according to the driving of the second driving unit to lock the fixing nut to the filter head or to release the locking state. It will be configured to include.

또한, 상기 제 1 구동부는, 제 1 서브모터; 상기 회전스크류에 결합되고, 상기 회전스크류를 승하강시키도록 회전하는 제 1 회전풀리; 및, 상기 제 1 서브모터와 상기 제 1 회전풀리를 연결하여, 상기 제 1 회전풀리에 구동력을 전달하는 제 1 벨트부; 를 포함하여 구성하는 것이다.The first driving unit may include a first submotor; A first rotating pulley coupled to the rotating screw and rotating to raise and lower the rotating screw; And a first belt unit which connects the first sub-motor to the first rotary pulley and transmits a driving force to the first rotary pulley. It will be configured to include.

또한, 상기 제 2 구동부는, 제 2 서브모터; 상기 록킹부에 결합되어 스플라인을 회전시키는 제 2 회전풀리; 및, 상기 제 2 서브모터와 상기 제 2 회전풀리를 연결하여 구동력을 전달하는 제 2 벨트부; 를 포함하여 구성하는 것이다.The second driving unit may further include: a second submotor; A second rotary pulley coupled to the locking part to rotate a spline; And a second belt unit configured to connect the second sub-motor and the second rotational pulley to transmit a driving force. It will be configured to include.

또한, 상기 록킹부는, 상기 제 1,2 프레임을 연결하는 것으로서 상기 제 2 회전풀리에 의해 회전하는 상기 스플라인; 상기 스플라인의 하부 끝단에 결합되는 제 3 회전풀리; 상기 제 3 회전풀리와 제 3 벨트부로 연결되는 것으로서 상기 제 2 프레임의 저면에서 상기 고정너트에 결합되고, 상기 제 3 회전풀리의 회전 방향에 따라 상기 고정너트의 잠금을 해제시키거나 또는 잠금시키는 상기 너트결합부; 를 포함하여 구성하는 것이다.In addition, the locking unit, the spline to rotate by the second rotary pulley as connecting the first and second frames; A third rotary pulley coupled to the lower end of the spline; The third nut coupled to the third belt part and coupled to the fixing nut at the bottom of the second frame, and unlocking or locking the fixing nut according to the rotation direction of the third rotating pulley. Nut coupling portion; It will be configured to include.

또한, 상기 필터 분리/결합부는, 상기 제 1 고정체의 상면에 회전 가능하게 축 결합되고 제 3 레일부가 형성되는 제 2 고정체; 및 서브모터의 구동으로부터 상기 제 3 레일부를 따라 직선 이동하는 제 4 이동체; 를 포함하여 구성하고, 상기 제 4 이동체의 전방측에는 상기 필터 카트리지를 픽업하도록 폭이 조절되는 상기 필터 아암을 결합 구성하는 것이다.The filter separating / coupling unit may include: a second fixing body rotatably coupled to an upper surface of the first fixing body, and a third rail unit formed thereon; And a fourth moving body linearly moving along the third rail part from driving of the submotor. And a filter arm whose width is adjusted to pick up the filter cartridge on the front side of the fourth movable body.

또한, 상기 신규 필터 공급부는, 이송컨베이어; 상기 이송컨베이어의 상면에 형성되는 이송프레임; 상기 이송프레임의 상면에 돌출 형성되고, 신규 필터 카트리지가 결합되는 카트리지 결합부; 를 포함하여 구성하는 것이다.In addition, the novel filter supply unit, the conveying conveyor; A transfer frame formed on an upper surface of the transfer conveyor; A cartridge coupling part protruding from an upper surface of the transfer frame and to which a new filter cartridge is coupled; It will be configured to include.

이와 같이, 본 발명은 약액 공급시스템에 적용되는 필터 또는 필터 카트리지에 대한 투입 및 회수를 제외한 모든 교체 공정이 기계적인 메커니즘에 의해 자동으로 이루어지도록 구성한 것이며, 이를 통해 필터 또는 필터 카트리지 교체시 숙련되지 않은 작업자의 실수에 의한 사고는 물론, 약품 누출에 따른 인명 사고를 예방하면서, 필터 또는 필터 카트리지의 교체 작업이 보다 안전하게 이루어지는 효과를 기대할 수 있는 것이다.As such, the present invention is configured such that all replacement processes except for the input and recovery of the filter or filter cartridge applied to the chemical liquid supply system are automatically performed by a mechanical mechanism, thereby inexperienced in replacing the filter or filter cartridge. It is possible to expect the effect that the replacement of the filter or filter cartridge is safer, while preventing accidents caused by human error and human accidents caused by chemical leakage.

본 발명의 효과들은 이상에서 언급한 효과들로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 효과들은 청구범위의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.The effects of the present invention are not limited to the above-mentioned effects, and other effects not mentioned will be clearly understood by those skilled in the art from the description of the claims.

도 1은 종래 필터를 수동으로 교체하는 상태를 보인 흐름도.
도 2는 본 발명의 실시예로 필터 자동 교체장치의 구조를 보인 사시도.
도 3은 본 발명의 실시예로 필터 자동 교체장치의 구조를 보인 평면도.
도 4는 본 발명의 실시예로 덮개 고정부에 의해 필터 덮개가 고정되는 상태를 보인 사시도.
도 5는 본 발명의 실시예로 덮개 고정부에 의해 필터 덮개가 고정되는 상태를 보인 측면도.
도 6은 본 발명의 실시예로 덮개 고정부와 덮개 분리/결합부에 대한 구조를 보인 확대사시도.
도 7은 본 발명의 실시예로 고정너트를 해제하는 상태를 보인 덮개 분리/결합부의 상단 확대 사시도.
도 8은 본 발명의 실시예로 고정너트를 해제하는 상태를 보인 덮개 분리/결합부의 하단 확대 사시도.
도 9는 본 발명의 실시예로 도 8에 대한 단면 개략도.
도 10은 본 발명의 실시예로 덮개 분리/결합부를 통해 필터 덮개가 분리되는 상태를 보인 사시도.
도 11은 본 발명의 실시예로 도 10에 대한 확대사시도.
도 12는 본 발명의 실시예로 필터 분리/결합부에 작동 상태를 보인 확대사시도.
도 13은 본 발명의 실시예로 ?터 분리/결합부에 의해 필터 카트리지가 분리되는 상태를 보인 측면도.
도 14는 본 발명의 실시예로 분리된 필터 카트리지를 폐기하는 상태를 보인 확대사시도.
도 15는 본 발명의 실시예로 도 14에 대한 측단면 개략도.
도 16은 본 발명의 실시예로 신규필터 공급부로부터 신규 필터 카트리지를 픽업하는 상태를 보인 측단면 개략도.
도 17은 본 발명의 실시예로 필터 분리/결합부에 의해 필터 헤드에 신규 필터 카트리지가 장착되는 상태를 보인 측단면 개략도.
도 18은 본 발명의 실시예로 덮개 분리/결합부를 통해 신규 필터 카트리지가 결합되는 필터 헤드에 필터 덮개를 결합시키는 상태를 보인 확대사시도.
도 19는 본 발명의 실시예로 덮개 고정부를 통해 필터 헤드에 필터 덮개를 고정시키는 상태를 보인 측단면 개략도.
도 20a 내지 도 20f는 필터 자동 교체 방법을 개략적으로 보인 흐름도.1 is a flow chart showing a state of manually replacing the conventional filter.
Figure 2 is a perspective view showing the structure of the automatic filter replacement device in an embodiment of the present invention.
Figure 3 is a plan view showing the structure of the automatic filter replacement device in an embodiment of the present invention.
Figure 4 is a perspective view showing a state in which the filter cover is fixed by the cover fixing part in an embodiment of the present invention.
Figure 5 is a side view showing a state in which the filter cover is fixed by the cover fixing part in an embodiment of the present invention.
Figure 6 is an enlarged perspective view showing a structure for the cover fixing part and the cover separating / coupling portion in an embodiment of the present invention.
Figure 7 is an enlarged perspective view of the top of the cover separation / coupling portion showing a state to release the fixing nut in the embodiment of the present invention.
Figure 8 is an enlarged bottom perspective view of the cover separation / coupling portion showing a state of releasing the fixing nut in the embodiment of the present invention.
9 is a schematic cross-sectional view of FIG. 8 in an embodiment of the invention.
Figure 10 is a perspective view showing a state in which the filter cover is separated through the cover separation / coupling portion in the embodiment of the present invention.
Figure 11 is an enlarged perspective view of Figure 10 as an embodiment of the present invention.
Figure 12 is an enlarged perspective view showing the operating state of the filter separation / coupling portion in the embodiment of the present invention.
Figure 13 is a side view showing a state in which the filter cartridge is separated by the connector separation / coupling portion in the embodiment of the present invention.
Figure 14 is an enlarged perspective view showing a state of discarding the separated filter cartridge in the embodiment of the present invention.
Figure 15 is a side cross-sectional schematic view of Figure 14 in an embodiment of the present invention.
Fig. 16 is a side sectional schematic view showing a state of picking up a new filter cartridge from a new filter supply unit according to an embodiment of the present invention.
Fig. 17 is a side sectional schematic view showing a state in which a new filter cartridge is mounted to a filter head by a filter separating / coupling portion according to an embodiment of the present invention.
18 is an enlarged perspective view illustrating a state in which a filter cover is coupled to a filter head to which a new filter cartridge is coupled through a cover separating / combining unit according to an embodiment of the present invention.
19 is a side sectional schematic view showing a state in which the filter cover is fixed to the filter head through the cover fixing part according to an embodiment of the present invention.
20A to 20F are flow charts schematically showing a method for automatic filter replacement.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 설명하기로 한다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.

첨부된 도 2 내지 도 19를 참조하면, 본 발명의 실시예에 따른 약액 공급시스템의 필터 자동 교체장치는, 필터헤드(400)에 고정너트(200)를 통해 필터덮개(300)가 결합되어 있는 상태에서, 상기 필터 덮개(300)에 의해 덮혀진 기존 필터 카트리지(500)를 신규 필터 카트리지(500')로 자동 교체하는 것으로, 본체(10), 덮개 고정부(20), 덮개 분리/결합부(30), 필터 분리/결합부(40), 그리고 신규 필터 공급부(50)를 포함하여 구성하는 것이다.2 to 19, the filter automatic replacement device of the chemical solution supply system according to an embodiment of the present invention, the filter cover 300 is coupled to the filter head 400 through a fixing nut 200 In the state, by replacing the existing filter cartridge 500 covered by the filter cover 300 with a new filter cartridge 500 'automatically, the body 10, the cover fixing part 20, the cover separating / coupling part 30, the filter separation / coupling unit 40, and the new filter supply unit 50 are configured.

상기 본체(10)는 약액 공급시스템의 필터가 고정되는 필터고정부(11)와 이송레일(12)을 형성한 것이며, 상기 본체(10)의 저면측에는 필터 헤드(400)로부터 분리된 기존 필터 카트리지(500)가 낙하되는 필터 낙하홀(13)이 형성되는 것이다.The main body 10 is formed with a filter fixing part 11 and a transfer rail 12 to which the filter of the chemical liquid supply system is fixed, and an existing filter cartridge separated from the filter head 400 at the bottom of the main body 10. The filter drop hole 13 in which the 500 is dropped is formed.

그리고, 상기 본체(10)의 일단 측면에는 신규 필터 카트리지(500')의 픽업을 위한 필터 픽업홀(14)이 형성되고, 상기 본체(10)의 상면 일단에는 필터 덮개(300)의 인출 및 인입을 위한 덮개 통과홀(15)이 형성됨은 물론, 상기 본체(10)의 저면측에는 상기 필터 낙하홀(13)을 통해 기존 필터 카트리지(500)가 낙하시 이를 수용하는 제거함(16)을 형성한 것이다.A filter pick-up hole 14 for picking up a new filter cartridge 500 ′ is formed at one end side of the main body 10, and the filter cover 300 is drawn out and drawn in at one end of the upper surface of the main body 10. The cover passage hole 15 for the formation is, of course, formed on the bottom side of the main body 10 to remove the existing filter cartridge 500 to receive it when the drop through the filter drop hole 13 (16). .

상기 덮개 고정부(20)는 상기 본체(10)의 이송레일(12)을 따라 직선 이동하고 회전하면서, 기존 필터 카트리지(500)의 교체 또는 신규 필터 카트리지(500')의 교체 작업 이후에 필터 덮개(300)를 잡으면서 흔들어주는 한 쌍의 덮개 아암(21)가 포함되는 것이다.The cover fixing portion 20 is linearly moved and rotated along the conveyance rail 12 of the main body 10, the filter cover after replacing the existing filter cartridge 500 or the replacement of the new filter cartridge 500 ' A pair of cover arms 21 for shaking while holding 300 are included.

그리고, 상기 덮개 고정부(20)는 제 1,2,3 이동체(22)(23)(24), 제 1 고정체(25), 공압실린더(26), 제 1 회전체(27), 가압플레이트(28)를 더 포함하여 구성되며, 상기 제 1 이동체(22)는 서브모터(미도시)의 구동으로부터 상기 이송레일(12)을 따라 제 1 방향으로 직선 이동하는 것으로 제 1 레일부(22a)를 형성한 것이다.In addition, the cover fixing part 20 is the first, second and third moving bodies 22, 23, 24, the first fixing body 25, the pneumatic cylinder 26, the first rotating body 27, pressurization It further comprises a plate 28, the first movable body 22 is a linear movement in the first direction along the transfer rail 12 from the drive of a sub-motor (not shown) first rail portion (22a) ) Is formed.

상기 제 2 이동체(23)는 서브모터(미도시)의 구동으로부터 상기 제 1 레일부(22a)를 따라 상기 제 1 방향과 직교되는 제 2 방향으로 직선 이동하는 제 2 레일부(23a)를 형성한 것이다.The second moving body 23 forms a second rail portion 23a that linearly moves in a second direction perpendicular to the first direction along the first rail portion 22a from driving of a submotor (not shown). It is.

상기 제 3 이동체(24)는 서브모터(미도시)의 구동으로부터 상기 제 2 레일부(23a)를 따라 상하방향으로 직선 이동하는 것이다.The third movable body 24 linearly moves up and down along the second rail portion 23a from the driving of a submotor (not shown).

상기 제 1 고정체(25)는 제 3 이동체(24)의 전방측에 고정되는 것이다.The first fixture 25 is fixed to the front side of the third movable body 24.

상기 공압실린더(26)는 상기 제 1 고정체(25)의 하단에 고정 설치한 것이다.The pneumatic cylinder 26 is fixed to the lower end of the first fixing body 25.

상기 제 1 회전체(27)는 상기 공압실린더(26)의 저면에 회전 가능하게 축 결합한 것이다.The first rotating body 27 is rotatably coupled to the bottom of the pneumatic cylinder (26).

상기 가압플레이트(28)는 상기 제 3 이동체(24)에 결합한 것으로, 상기 필터 분리/결합부(40)에 의해 상기 필터 헤드(400)에 신규 필터 카트리지(500')가 결합시, 상기 신규 필터 카트리지(500')의 상단에 접촉하면서 가압하여 상기 필터 헤드(400)에 상기 신규 필터 카트리지(500')를 견고하게 결합시키도록 구성한 것이다.The pressure plate 28 is coupled to the third movable body 24, and when the new filter cartridge 500 'is coupled to the filter head 400 by the filter separating / coupling portion 40, the new filter Pressing while contacting the upper end of the cartridge 500 'is configured to firmly couple the new filter cartridge 500' to the filter head 400.

이때, 상기 덮개 아암(21)은 상기 제 1 회전체(27)의 양측부에 형성된 것으로, 상기 덮개 아암(21)은 상기 필터 덮개(300)를 잡아주도록 폭이 조절되는 한 쌍의 구조물인 것이다.In this case, the cover arm 21 is formed on both sides of the first rotating body 27, the cover arm 21 is a pair of structures whose width is adjusted to hold the filter cover 300. .

상기 덮개 분리/결합부(30)는 상기 본체(10)의 상단 외측에서 상기 본체(10)의 내부로 형성되는 것으로, 상기 덮개 아암(21)이 필터 덮개(300)를 잡아줄 때, 기존 필터 카트리지(500)의 교체 또는 신규 필터 카트리지(500')의 교체 작업 이후에 고정너트(200)의 잠금상태를 해제 또는 잠금해제된 고정너트(200)를 잠금시키고, 상기 고정너트(200)의 잠금 해제시 상기 필터 덮개(300)를 필터 헤드(400)로부터 분리 또는 결합시키도록 승,하강과 회전이 가능한 것이다.The cover separating / coupling portion 30 is formed inside the main body 10 from the upper outer side of the main body 10, and when the cover arm 21 holds the filter cover 300, the existing filter After the replacement of the cartridge 500 or the replacement of the new filter cartridge 500 ', the lock nut 200 is released or the lock nut 200 is locked, and the lock nut 200 is locked. When released, the filter cover 300 may be lifted, lowered, and rotated to separate or couple the filter head 400.

그리고, 상기 덮개 분리/결합부(30)는 제 1,2 구동부(31)(32), 제 1,2 프레임(33)(34), 연결로드(35), 회전스크류(36), 록킹부(37)를 포함하여 구성되는데, 상기 제 1 구동부(31)는 본체(10)의 외측 상면에 배치되는 것이다.The cover separating / coupling part 30 includes first and second driving parts 31 and 32, first and second frames 33 and 34, a connecting rod 35, a rotating screw 36 and a locking part. 37, the first drive unit 31 is disposed on the outer upper surface of the main body (10).

이때, 상기 제 1 구동부(31)는 제 1 서브모터(311)와, 상기 회전스크류(36)에 결합되고 상기 회전스크류(36)를 승하강시키도록 회전하는 제 1 회전풀리(312), 그리고 상기 제 1 서브모터(311)와 상기 제 1 회전풀리(312)를 연결하여 상기 제 1 회전풀리(312)에 구동력을 전달하는 제 1 벨트부(313)를 포함하여 구성되는 것이다.At this time, the first driving unit 31 is coupled to the first sub-motor 311, the rotating screw 36, the first rotating pulley 312 to rotate to raise and lower the rotating screw 36, and The first sub-motor 311 and the first rotating pulley 312 is connected to include a first belt portion 313 for transmitting a driving force to the first rotating pulley 312.

상기 제 2 구동부(32)는 본체(10)의 외측 상면에서 상기 제 1 구동부(31)와 나란하게 배치되는 너트 잠금 및 해제용으로서, 제 2 서브모터(321)와, 상기 록킹부(37)에 결합되어 상기 록킹부(36)를 회전시키는 제 2 회전풀리(322), 그리고 상기 제 2 서브모터(321)와 상기 제 2 회전풀리(322)를 연결하여 구동력을 전달하는 제 2 벨트부(323)가 포함되는 것이다.The second driving part 32 is for locking and releasing a nut disposed in parallel with the first driving part 31 on an outer upper surface of the main body 10, and the second sub-motor 321 and the locking part 37. A second rotational pulley 322 coupled to the second rotational pulley 322 to rotate the locking unit 36, and a second belt unit connecting the second sub-motor 321 and the second rotational pulley 322 to transmit a driving force ( 323).

상기 제 1 프레임(33)은 본체(10)의 외측 상면에 배치되는 것이고, 상기 제 2 프레임(34)은 상기 본체(10)의 내측에서 고정너트(200)에 결합되도록 구성한 것이다.The first frame 33 is disposed on the outer upper surface of the main body 10, the second frame 34 is configured to be coupled to the fixing nut 200 inside the main body 10.

상기 연결로드(35)는 상기 제 1,2 프레임(33)(34)을 연결하는 복수의 구조물이고, 상기 회전스크류(36)는 상기 제 1,2 프레임(33)(34)을 연결하고 상기 제 1 구동부(31)의 구동에 따라 회전하여 상기 제 1,2 프레임(33)(34)의 승하강이 가능하도록 구성한 것이다.The connecting rod 35 is a plurality of structures for connecting the first and second frames 33 and 34, and the rotary screw 36 connects the first and second frames 33 and 34 and the It rotates in accordance with the drive of the 1st drive part 31, and it is comprised so that the lifting of the said 1st and 1st frame 33,34 may be possible.

즉, 상기 회전스크류(36)에는 상기 제 1 구동부(31)에 포함되는 제 1 회전풀리(312)가 결합되는 것이고, 상기 제 1 회전풀리(312)가 제 1 벨트부(313)를 통해 전달되어져 오는 상기 제 1 서브모터(311)의 구동력에 따라 상기 회전스크류(36)가 승강 또는 하강하고, 상기 회전스크류(36)의 승하강에 따라 상기 제 1,2 프레임(33)(34)의 승하강이 가능하게 되는 것이다.That is, the first rotating pulley 312 included in the first driving unit 31 is coupled to the rotating screw 36, and the first rotating pulley 312 is transmitted through the first belt part 313. The rotary screw 36 moves up or down according to the driving force of the first sub-motor 311, and the first and second frames 33 and 34 of the rotary screw 36 move up and down. It will be possible to descend.

이때, 상기 제 1,2 프레임(33)(34)의 각 모서리부위에는 복수의 연결로드(35) 및 단수의 회전스크류(36), 그리고 후술하는 단수의 스플라인(371)의 양단이 결합되는 것이다.At this time, a plurality of connecting rods 35, a single rotating screw 36, and both ends of a single spline 371 to be described later are coupled to each corner of the first and second frames 33 and 34. .

상기 록킹부(37)는 상기 제 1,2 프레임(33)(34)을 연결하고, 상기 제 2 구동부(32)의 구동에 따라 너트결합부(374)를 회전시켜 상기 고정너트(200)를 필터헤드(400)에 잠금시키거나 또는 잠금상태를 해제시키도록 구성한 것이며, 이같은 상기 록킹부(37)는 스플라인(371), 제 3 회전풀리(372), 제 3 벨트부(373), 그리고 상기 너트결합부(374)를 포함하는 것이다.The locking part 37 connects the first and second frames 33 and 34, and rotates the nut coupling part 374 according to the driving of the second driving part 32 to rotate the fixing nut 200. It is configured to lock or unlock the filter head 400, the locking portion 37 is a spline 371, the third rotary pulley 372, the third belt portion 373, and It includes a nut coupling portion 374.

상기 스플라인(371)은 상기 제 1,2 프레임(33)(34)을 연결하는 것으로서 상기 제 2 회전풀리(322)에 의해 회전하도록 구성한 것이다.The spline 371 connects the first and second frames 33 and 34 and is configured to rotate by the second rotation pulley 322.

상기 제 3 회전풀리(372)는 상기 스플라인(371)의 하부 끝단에 결합한 것이다.The third rotary pulley 372 is coupled to the lower end of the spline 371.

상기 너트결합부(374)는 제 3 회전풀리(372)와 제 3 벨트부(373)로 연결되는 것으로서 상기 제 2 프레임(34)의 저면에서 상기 고정너트(200)에 결합되고, 상기 제 3 회전풀리(372)의 회전 방향에 따라 상기 고정너트(200)를 필터헤드(400)에 잠금시키거나 또는 또는 잠금상태를 해제시키도록 구성한 것이다.The nut coupling part 374 is connected to the fixing nut 200 at the bottom of the second frame 34 as the third rotational pulley 372 and the third belt part 373. According to the rotation direction of the rotary pulley 372 is configured to lock the lock nut 200 to the filter head 400 or to release the lock state.

상기 필터 분리/결합부(40)는 상기 덮개 고정부(20)의 상부에 형성되는 것으로서, 상기 덮개 분리/결합부(30)에 의해 필터 덮개(300)가 분리시, 상기 필터 헤드(400)로부터 기존 필터 카트리지(500)를 분리 또는 상기 필터 헤드(400)에 신규 필터 카트리지(500')를 픽업하여 결합시키도록 상기 덮개 고정부(20)에 의해 직선 이동하고 회전하는 한 쌍의 필터 아암(41)을 구성한 것이다.The filter separating / coupling part 40 is formed on the cover fixing part 20, and when the filter cover 300 is separated by the cover separating / coupling part 30, the filter head 400 is separated. A pair of filter arms that are linearly moved and rotated by the lid fixing portion 20 to separate the existing filter cartridge 500 from or to pick up and couple the new filter cartridge 500 'to the filter head 400. 41).

이때, 상기 필터 분리/결합부(40)에는 상기 제 1 고정체(25)의 상면에 회전 가능하게 축 결합되고 제 3 레일부(42a)가 형성되는 제 2 고정체(42), 그리고 서브모터(미도시)의 구동으로부터 상기 제 3 레일부(42a)를 따라 직선 이동하는 제 4 이동체(43)가 더 포함되며, 상기 제 4 이동체(43)의 전방측에는 상기 필터 카트리지(500)(500')를 픽업하도록 폭이 조절되는 상기 필터 아암(41)을 결합한 것이다.At this time, the filter separation / coupling portion 40 is rotatably coupled to the upper surface of the first fixing body 25, the second fixing body 42, the third rail portion 42a is formed, and the sub-motor A fourth moving body 43 is further included to linearly move along the third rail portion 42a from driving (not shown), and the filter cartridges 500 and 500 'are disposed at the front side of the fourth moving body 43. Is combined with the filter arm 41, the width of which is adjusted to pick up < RTI ID = 0.0 >

상기 신규 필터 공급부(50)는 상기 본체(10)의 일단 외측에 형성되는 것으로서, 신규 필터 카트리지(500')가 다단 고정되고, 상기 필터 분리/결합부(40)가 픽업할 신규 필터 카트리지(500')를 픽업 위치로 순차 이송시키는 것이며, 이송컨베이어(51), 이송프레임(52), 그리고 카트리지 결합부(53)가 포함되는 것이다.The new filter supply unit 50 is formed at one end of the main body 10, and the new filter cartridge 500 ′ is fixed in multiple stages, and the new filter cartridge 500 to be picked up by the filter separating / combining unit 40. ') Is sequentially transferred to the pick-up position, the conveying conveyor 51, the conveying frame 52, and the cartridge engaging portion 53 is included.

상기 이송프레임(52)은 상기 이송컨베이어(51)의 상면에 형성되는 것이고, 상기 카트리지 결합부(53)는 상기 이송프레임(52)의 상면에 돌출 형성되는 것으로서 신규 필터 카트리지(500')가 결합될 수 있도록 돌출 형성한 것이다.The transfer frame 52 is formed on the upper surface of the transfer conveyor 51, the cartridge coupling portion 53 is formed to protrude on the upper surface of the transfer frame 52, the new filter cartridge 500 'is coupled It will be formed so as to protrude.

이와 같이, 본 발명의 실시예에 따른 약액 공급시스템의 필터 자동 교체장치의 작용에 대하여 첨부된 도 2 내지 도 20을 참조하여 설명하기로 한다.As such, the operation of the automatic filter replacement device of the chemical solution supply system according to the embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 2 to 20.

우선, 첨부된 도 2에서와 같이, PLC 프로그램 인터록(Interlock)에 의해 교체작업이 불가능한 문제 즉, 신규 필터 카트리지(500')의 투입 오류를 방지하기 위해 필터 카트리지의 포장지에 부착된 바코드(Barcode)를 이용하여 지정된 필터 카트리지만 투입 가능하도록 하였다.First, as shown in FIG. 2, a bar code attached to the package of the filter cartridge in order to prevent a problem in which the replacement operation is impossible by the PLC program interlock, that is, an error of loading of the new filter cartridge 500 '. By using only the designated filter cartridge can be added.

이후, 포장지를 제거한 후 신규 필터 카트리지(500')를 본체(10)의 외부 일단에 형성되는 신규 필터 공급부(50)로서, 이송컨베이어(51)의 이송프레임(52)에 돌출 형성된 카트리지 결합부(53)에 신규 필터 카트리지(500')를 각각 결합한다. 그러면, 기존 필터 카트리지(500)에 대한 교체 준비 작업이 완료되는 것이다.Thereafter, after removing the wrapping paper, the new filter cartridge 500 'is a new filter supply part 50 formed at the outer end of the main body 10, and a cartridge coupling part protruding from the transport frame 52 of the transport conveyor 51 ( 53 to each new filter cartridge 500 '. Then, the replacement preparation work for the existing filter cartridge 500 is completed.

다음으로, 첨부된 도 2 내지 도 5에서와 같이, 덮개 고정부(20)에 포함되는 제 1 이동체(22)가 서브모터(미도시)의 구동으로부터 본체(10)에 형성되는 이송레일(12)을 따라 제 1 방향으로 직선 이동시켜, 상기 제 1 이동체(22)가 필터 고정부(11)에 고정되는 기존 필터 카트리지(500)와 마주보도록 한다.Next, as shown in FIGS. 2 to 5, the transfer rail 12 in which the first moving body 22 included in the cover fixing part 20 is formed in the main body 10 from driving of a submotor (not shown). ) Is linearly moved in the first direction so that the first movable body 22 faces the existing filter cartridge 500 that is fixed to the filter fixing part 11.

다음으로, 상기 덮개 고정부(20)에 포함되는 제 3 이동체(24)를 제 2 이동체(23)의 제 2 레일부(23a)를 따라 상승시킨다.Next, the third movable body 24 included in the lid fixing portion 20 is raised along the second rail portion 23a of the second movable body 23.

이후, 첨부된 도 4 및 도 5의 ①→②→③→④의 흐름과 같이, 상기 제 2 이동체(23)가 상기 제 1 이동체(22)의 제 1 레일부(22a)를 따라 제 2 방향 즉, 상기 기존 필터 카트리지(500)의 방향으로 직선 이동하게 되면, 상기 제 3 이동체(24)의 전방측에 고정되는 제 1 고정체(25)에는 공압실린더(26)가 고정 설치되고, 상기 공압실린더(26)의 저면에는 제 1 회전체(27)가 축 결합되어 있으므로, 첨부된 도 6과 같이 상기 제 1 회전체(27)의 양측부에 형성된 한 쌍의 덮개 아암(21)은 폭이 조절되면서 상기 필터 덮개(300)를 잡은 후 흔들어주게 된다.Thereafter, as shown in the flow of ① → ② → ③ → ④ of FIGS. 4 and 5, the second moving body 23 is along the first rail portion 22a of the first moving body 22 in the second direction. That is, when the linear movement in the direction of the existing filter cartridge 500, a pneumatic cylinder 26 is fixed to the first fixed body 25 fixed to the front side of the third moving body 24, the pneumatic Since the first rotating body 27 is axially coupled to the bottom of the cylinder 26, the pair of cover arms 21 formed at both sides of the first rotating body 27 as shown in FIG. While being adjusted, the filter cover 300 is shaken.

여기서, 상기 덮개 아암(21)이 상기 필터 덮개(300)를 흔들어주는 것은, 상기 필터 덮개(300)를 필터 헤드(400)로부터 손쉽게 분리시키도록, 상기 필터 헤드(400)에 결합되어 있는 고정너트(200)의 조임상태를 일정부분 약화시키기 위함인 것이다.Here, the cover arm 21 rocking the filter cover 300, the fixing nut is coupled to the filter head 400 so that the filter cover 300 is easily separated from the filter head 400. This is to weaken the tightening state of the portion 200 in part.

다음으로, 상기 덮개 아암(21)이 필터 덮개(300)를 잡아주고 있을 때, 덮개 분리/결합부(30)는 분리의 동작이 이루어지면서 상기 덮개 헤드(400)로부터 상기 펄티 덮개(300)를 분리시키게 된다.Next, when the cover arm 21 is holding the filter cover 300, the cover detachment / combining portion 30 removes the pearly cover 300 from the cover head 400 while the detachment operation is performed. Will be separated.

즉, 첨부된 도 7 내지 도 9에서와 같이, 상기 덮개 분리/ 결합부(30)에 포함되는 록킹부(37)의 너트결합부(374)는 고정너트(200)에 결합되어 있으므로, 상기 덮개 분리/결합부(30)에 포함되는 제 2 구동부(32)의 제 2 서브모터(321)가 구동시, 제 2 회전풀리(322)는 제 2 벨트부(323)에 의해 전달되는 상기 제 2 서브모터(321)의 구동력에 따라 회전하게 되고, 상기 제 2 회전풀리(322)의 회전에 따라 상하의 제 1,2 프레임(33)(34)을 연결하는 상기 록킹부(37)에 포함되는 스플라인(371)이 회전하게 된다.That is, as shown in FIGS. 7 to 9, the nut coupling part 374 of the locking part 37 included in the cover separating / coupling part 30 is coupled to the fixing nut 200, so that the cover is closed. When the second sub-motor 321 of the second driving unit 32 included in the separating / coupling unit 30 is driven, the second rotary pulley 322 is transferred by the second belt unit 323. The spline is rotated according to the driving force of the sub-motor 321, and is included in the locking portion 37 connecting the first and second frames 33 and 34 to the top and bottom according to the rotation of the second rotary pulley 322. 371 rotates.

그러면, 상기 스플라인(371)의 하단측에 형성되는 제 3 회전풀리(372)가 회전 연동하고, 그 회전력은 제 3 벨트부(373)을 통해 상기 너트결합부(374)에 전달되면서, 상기 너트결합부(374)는 고정너트(200)를 풀림 방향으로 회전시키게 되는 것이다.Then, the third rotary pulley 372 formed on the lower side of the spline 371 rotationally interlocked, the rotational force is transmitted to the nut coupling portion 374 through the third belt portion 373, the nut Coupling portion 374 is to rotate the fixing nut 200 in the release direction.

이후, 첨부된 도 10 및 도 11에서와 같이, 상기 덮개 분리/결합부(30)에 포함되는 제 1 구동부(31)의 제 1 서브모터(311)가 구동하면, 상기 덮개 고정부(20)에 포함되는 덮개 아암(21)은 후진하게 되면서 상기 필터 덮개(300)로부터 분리되며, 상기 제 1 구동부(31)에 포함되는 제 1 회전풀리(312)는 제 1 벨트부(313)에 의해 전달되는 상기 제 1 서브모터(311)의 구동력에 따라 회전하게 됨으로써, 상기 제 1 회전풀리(312)의 회전에 따라 상기 제 1 회전풀리(312)에 결합되는 회전스크류(36)가 상기 제 1 회전풀리(312)를 기준으로 회전하면서 상승하는 이송이 이루어진다.Thereafter, as shown in FIGS. 10 and 11, when the first sub-motor 311 of the first driving unit 31 included in the cover separating / coupling unit 30 is driven, the cover fixing unit 20 is driven. The cover arm 21 included in the rear cover is separated from the filter cover 300 while being backward, and the first rotary pulley 312 included in the first driving unit 31 is transmitted by the first belt unit 313. By rotating according to the driving force of the first sub-motor 311, the rotating screw 36 coupled to the first rotating pulley 312 in accordance with the rotation of the first rotating pulley 312 is the first rotation Ascending transfer is achieved while rotating about the pulley 312.

즉, 상기 제 1 회전풀리(312)에는 도면에는 도시하지 않았지만 다수의 볼이 채워진 볼 부쉬(Ball Bush)가 형성되어 있으므로, 상기 볼 부쉬 안을 채우고 있는 볼 들이 상기 회전스크류(36)의 나선홈을 타고 이동하게 되면서, 상기 회전스크류(36)의 승강 이송이 가능하게 되는 것이다.That is, although not shown in the drawing, the first rotating pulley 312 is formed with a ball bush in which a plurality of balls are filled, so that the balls filling the ball bushes in the spiral groove of the rotating screw 36 are formed. As the ride moves, the lifting and lowering of the rotary screw 36 is enabled.

그러면, 상기 덮개 분리/결합부(30)에 포함되는 제 4 프레임(34)에 상기 필터 덮개(300)가 올려져 있으므로, 상기 회전스크류(36)의 상승 이송에 따라 상기 필터 덮개(300)는 필터 헤드(400)로부터 이탈되어 상승하는 분리 작업이 이루어질 수 있으며, 이에따라 첨부된 도 11에서와 같이 본체(10)의 덮개 통과홀(15)을 통과하게 되는 것이다.Then, since the filter cover 300 is placed on the fourth frame 34 included in the cover separating / combining part 30, the filter cover 300 is moved in accordance with the upward movement of the rotating screw 36. Separation work that is separated from the filter head 400 can be made to rise, thereby passing through the cover passage hole 15 of the main body 10 as shown in FIG.

다음으로, 첨부된 도 12 및 도 13에서와 같이, 상기 덮개 고정부(20)의 상단에 결합 구성되는 필터 분리/결합부(40)는 상기 필터 헤드(400)로부터 기존 필터 카트리지(500)를 분리하는 작업을 수행하게 된다.Next, as shown in FIGS. 12 and 13, the filter separating / coupling portion 40 configured to be coupled to the upper end of the cover fixing portion 20 separates the existing filter cartridge 500 from the filter head 400. It will do the work of separating.

즉, 상기 필터 분리/결합부(40)에 포함되는 한 쌍의 필터 아암(41)은 상기 덮개 고정부(20)에 의해 기존 필터 카트리지(500)의 방향으로 전진 이동한 이후에 회전하게 되면서, 폭이 조절되어 상기 기존 필터 카트리지(500)를 잡고 흔들어, 상기 기존 필터 카트리지(500)를 상기 필터 헤드(400)로부터 분리시킨다.That is, the pair of filter arms 41 included in the filter separating / combining portion 40 are rotated after moving forward in the direction of the existing filter cartridge 500 by the cover fixing portion 20, The width is adjusted to grab and shake the existing filter cartridge 500 to separate the existing filter cartridge 500 from the filter head 400.

다음으로, 상기 필터 아암(41)은 상기 덮개 고정부(20)의 후진 이동에 따라 본체(10)의 필터 낙하홀(13)에 위치할 때, 첨부된 도 14 및 도 15에서와 같이 상기 필터 낙하홀(13)에 기존 필터 카트리지(500)를 낙하시키고, 이에따라 상기 기존 필터 카트리지(500)는 상기 본체(10)의 저면에 형성되는 제거함(16)으로 수거될 수 있는 것이다.Next, when the filter arm 41 is located in the filter drop hole 13 of the main body 10 according to the backward movement of the lid fixing portion 20, the filter as shown in Figs. The existing filter cartridge 500 is dropped into the drop hole 13, and accordingly, the existing filter cartridge 500 may be collected by the removal box 16 formed on the bottom surface of the main body 10.

다음으로, 첨부된 도 16에서와 같이, 상기 필터 분리/결합부(40)에 포함되는 필터 아암(41)은 상기 덮개 고정부(20)의 직선 이동에 따라 상기 본체(10)의 측부에 형성되는 덮개 통과홀(15)에 위치하게 되면서, 신규 필터 공급부(50)에서 픽업 위치로 이동된 새로운 하나의 신규 필터 카트리지(500')를 픽업한 후 이를 첨부된 도 17에서와 같이 필터 헤드(400)에 결합시키면, 상기 덮개 고정부(20)에 포함되는 가압플레이트(28)는 제 3 이동체(24)의 승하강으로부터 상기 신규 필터 카트리지(500')를 가압하게 되는 것이다.Next, as shown in FIG. 16, the filter arm 41 included in the filter separating / coupling part 40 is formed at the side of the main body 10 according to the linear movement of the cover fixing part 20. Being positioned in the cover through-hole 15 to be picked up, a new one of the new filter cartridge 500 'moved to the pick-up position from the new filter supply unit 50 and the filter head 400 as shown in FIG. ), The pressing plate 28 included in the cover fixing part 20 presses the new filter cartridge 500 'from the lowering and lowering of the third movable body 24.

다음으로, 첨부된 도 18에서와 같이, 상기 덮개 분리/결합부(30)에 포함되는 제 1 구동부(31)의 제 1 서브모터(311)가 구동하고 그 구동력이 제 1 벨트부(313)를 통해 제 1 회전풀리(312)에 전달되면, 상기 제 1 회전풀리(312)가 회전하면서 회전스크류(36)를 하강시키므로, 상기 회전스크류(36)의 하강에 따라 제 2 프레임(34)에 올려져 있던 필터 덮개(300)는 필터 헤드(400)의 상부에 위치하게 된다.Next, as shown in FIG. 18, the first sub-motor 311 of the first driving unit 31 included in the cover separating / coupling unit 30 is driven and its driving force is the first belt unit 313. When transmitted to the first rotating pulley 312 through, the first rotating pulley 312 rotates to lower the rotating screw 36, so as to lower the rotating screw 36 to the second frame 34 The raised filter cover 300 is located above the filter head 400.

이후, 상기 덮개 분리/결합부(30)에 포함되는 제 2 구동부(32)의 제 2 서브모터(321)가 구동하고 그 구동력이 제 2 벨트부(323)를 통해 제 2 회전풀리(322)에 전달되면, 상기 제 2 회전풀리(322)가 록킹부(37)에 포함되는 스플라인(371)을 회전시키게 되므로, 상기 스플라인(371)의 회전에 따라 상기 록킹부(37)에 포함되는 제 3 회전풀리(372)는 제 3 벨트부(373)에 의해 전달되어져 오는 회전력으로부터 회전하게 되면서 너트 결합부(374)를 잠금방향으로 회전시키게 된다.Thereafter, the second sub-motor 321 of the second driving unit 32 included in the cover separating / coupling unit 30 is driven, and the driving force of the second rotating pulley 322 is driven by the second belt unit 323. When transmitted to the second rotational pulley 322 to rotate the spline 371 included in the locking portion 37, the third included in the locking portion 37 in accordance with the rotation of the spline 371 The rotary pulley 372 rotates from the rotational force transmitted by the third belt portion 373 to rotate the nut coupling portion 374 in the locking direction.

이때, 첨부된 도 19에서와 같이, 상기 너트 결합부(374)가 잠금방향으로 회전하기 이전에, 상기 덮개 고정부(20)에 포함되는 덮개 아암(21)은 상기 필터 덮개(300)를 잡아주게 되며, 이에따라 상기 너트 결합부(374)의 회전으로부터 고정너트(200)가 잠금방향으로 회전시, 상기 필터 덮개(300)는 상기 고정너트(200)에 의해 필터 헤드(400)에 결합 완료되면서, 본 발명의 실시예가 달성하고자 하는 기존 필터 카트리지(500)를 신규 필터 카트리지(500')로 자동 교체하는 작업이 완료되는 것이다.In this case, as shown in FIG. 19, before the nut coupling part 374 rotates in the locking direction, the cover arm 21 included in the cover fixing part 20 holds the filter cover 300. Accordingly, when the fixing nut 200 is rotated in the locking direction from the rotation of the nut coupling part 374, the filter cover 300 is completed to be coupled to the filter head 400 by the fixing nut 200. In this case, the operation of automatically replacing the existing filter cartridge 500 to be replaced with the new filter cartridge 500 'to be achieved by the embodiment of the present invention is completed.

이상에서 본 발명의 약액 공급시스템의 필터 자동 교체장치에 대한 기술사상을 첨부도면과 함께 서술하였지만, 이는 본 발명의 가장 바람직한 실시예를 예시적으로 설명한 것이지 본 발명을 한정하는 것은 아니다.Although the technical idea of the automatic filter replacement device of the chemical liquid supply system of the present invention has been described with the accompanying drawings, this is illustrative of the most preferred embodiment of the present invention, but not limited to the present invention.

따라서, 본 발명은 상술한 특정의 실시예에 한정되지 아니하며, 청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 다양한 변형 실시가 가능한 것은 물론이고, 그와같은 변경은 청구범위 기재의 범위내에 있게 된다.Therefore, the present invention is not limited to the above-described specific embodiments, and various modifications can be made by those skilled in the art without departing from the gist of the present invention as claimed in the claims. Of course, such changes will fall within the scope of the claims.

10; 본체 11; 필터고정부
12; 이송레일 13; 필터 낙하홀
14; 필터 픽업홀 15; 필터 통과홀
16; 제거함 20; 덮개고정부
21; 덮개 아암 22; 제 1 이동체
22a; 제 2 레일부 23; 제 2 이동체
23a; 제 2 레일부 24; 제 3 이동체
25; 제 1 고정체 26; 공압실린더
27; 제 1 회전체 28; 가압플레이트
30; 덮개 분리/결합부 31; 제 1 구동부
311; 제 1 서브모터 312; 제 1 회전풀리
313; 제 1 벨트부 32; 제 2 구동부
321; 제 2 서브모터 322; 제 2 회전풀리
323; 제 2 벨트부 33; 제 1 프레임
34; 제 2 프레임 35; 연결로드
36; 회전스크류 37; 록킹부
371; 스플라인 372; 제 3 회전풀리
373; 제 3 벨트부 374; 너트결합부
40; 필터 분리/결합부 41; 필터 아암
42; 제 2 고정체 42a; 제 3 레일부
43; 제 4 이동체 50; 신규필터 공급부
51; 이송컨베이어 52; 이송프레임
53; 카트리지 결합부 200; 고정너트
300; 필터 덮개 400; 필터 헤드
500; 기존 필터 카트리지 500'; 신규 필터 카트리지10; Main body 11; Filter
12; Transfer rail 13; Filter drop hole
14; Filter pickup hole 15; Filter through hole
16; Removed 20; Cover
21; Cover arm 22; First moving object
22a; Second rail portion 23; Second moving object
23a; Second rail portion 24; Third moving object
25; First fixture 26; Pneumatic cylinder
27; First rotating body 28; Pressurized Plate
30; Cover removal / engagement section 31; First driving part
311; First submotor 312; First rotating pulley
313; A first belt portion 32; 2nd drive part
321; Second submotor 322; 2nd rotating pulley
323; Second belt portion 33; First frame
34; Second frame 35; Connecting rod
36; Rotating screw 37; Locking section
371; Spline 372; 3rd rotating pulley
373; Third belt portion 374; Nut coupling part
40; Filter separating / combining portion 41; Filter arm
42; Second fixture 42a; 3rd rail part
43; Fourth mobile body 50; New filter supply
51; Transfer conveyor 52; Frame
53; Cartridge coupler 200; Fixing Nut
300; Filter cover 400; Filter head
500; Existing filter cartridge 500 '; New filter cartridge

Claims (11)

약액 공급시스템의 필터가 고정되는 필터고정부와 이송레일이 형성되는 본체;
상기 본체의 이송레일을 따라 직선 이동하고 회전하면서, 기존 필터 카트리지의 교체 또는 신규 필터 카트리지의 교체 작업 이후에 필터 덮개를 잡으면서 흔들어주는 한 쌍의 덮개 아암이 포함되는 덮개 고정부;
상기 본체의 상단 외측에서 상기 본체의 내부로 형성되며, 상기 덮개 아암이 필터 덮개를 잡아줄 때, 기존 필터 카트리지의 교체 또는 신규 필터 카트리지의 교체 작업 이후에 고정너트의 잠금상태를 해제 또는 잠금해제된 고정너트를 잠금시키고, 상기 고정너트의 잠금 해제시 상기 필터 덮개를 필터 헤드로부터 분리 또는 결합시키도록 승,하강과 회전이 이루어지는 덮개 분리/결합부;
상기 덮개 고정부의 상부에 형성되고, 상기 덮개 분리/결합부에 의해 필터 덮개가 분리시, 상기 필터 헤드로부터 기존 필터 카트리지를 분리 또는 상기 필터 헤드에 신규 필터 카트리지를 픽업하여 결합시키도록 상기 덮개 고정부에 의해 직선 이동하고 회전하는 한 쌍의 필터아암이 포함되는 필터 분리/결합부; 및,
상기 본체의 일단 외측에 형성되는 것으로서, 신규 필터 카트리지가 다단 고정되고, 상기 필터 분리/결합부가 픽업할 신규 필터 카트리지를 픽업 위치로 순차 이송시키는 신규 필터 공급부; 를 포함하여 구성하는 것을 특징으로 하는 약액 공급시스템의 필터 자동 교체장치.A main body in which a filter fixing part to which the filter of the chemical liquid supply system is fixed and a transfer rail are formed;
A cover fixing part including a pair of cover arms which move while rotating and linearly moving along the transfer rail of the main body, while holding the filter cover and shaking the filter after replacing the existing filter cartridge or replacing the new filter cartridge;
It is formed inside the main body from the upper outer side of the main body, when the cover arm to hold the filter cover, after the replacement of the old filter cartridge or the replacement of the new filter cartridge to unlock or unlock the lock nut A cover separating / coupling portion which locks the fixing nut and moves up, down and rotates to separate or couple the filter cover from the filter head when the fixing nut is unlocked;
The cover fixing part is formed on an upper part of the cover fixing part, and separates an existing filter cartridge from the filter head or picks up a new filter cartridge to the filter head when the filter cover is separated by the cover separating / combining part. A filter separating / combining unit including a pair of filter arms linearly moving and rotating by the government; And,
A new filter supply unit which is formed at one end of the main body, the new filter cartridge being fixed in multiple stages and sequentially transferring the new filter cartridge to be picked up by the filter separating / combining unit to a pickup position; Automatic filter replacement device of the chemical liquid supply system, characterized in that comprising a. 제 1 항에 있어서,
상기 본체의 저면측에는 필터 헤드로부터 분리된 기존 필터 카트리지가 낙하되는 필터 낙하홀을 형성하고,
상기 본체의 일단 측면에는 신규 필터 카트리지의 픽업을 위한 필터 픽업홀을 형성하며,
상기 본체의 상면 일단에는 필터 덮개의 인출 및 인입을 위한 덮개 통과홀을 형성하는 것을 특징으로 하는 약액 공급시스템의 필터 자동 교체장치.The method of claim 1,
On the bottom side of the main body is formed a filter drop hole in which the existing filter cartridge separated from the filter head falls,
One end side of the main body forms a filter pickup hole for pickup of a new filter cartridge,
One end of the upper surface of the main body of the automatic filter replacement device for a chemical supply system, characterized in that for forming the cover through hole for the withdrawal and withdrawal of the filter cover. 제 2 항에 있어서,
상기 본체의 저면측에는 상기 필터 낙하홀을 통해 기존 필터 카트리지가 낙하시 이를 수용하는 제거함을 형성하는 것을 특징으로 하는 약액 공급시스템의 필터 자동 교체장치.The method of claim 2,
Automatic filter replacement device of the chemical supply system, characterized in that formed on the bottom side of the main body through the filter drop hole to remove the existing filter cartridge to receive it when falling. 제 1 항에 있어서,
상기 덮개 고정부는,
서브모터의 구동으로부터 상기 이송레일을 따라 제 1 방향으로 직선 이동하고 제 1 레일부가 형성되는 제 1 이동체;
서브모터 구동으로부터 상기 제 1 레일부를 따라 상기 제 1 방향과 직교되는 제 2 방향으로 직선 이동하고 제 2 레일부가 형성되는 제 2 이동체;
서브모터의 구동으로부터 상기 제 2 레일부를 따라 상하방향으로 직선 이동하는 제 3 이동체;
상기 제 3 이동체의 전방측에 고정되는 제 1 고정체;
상기 제 1 고정체의 하단에 고정 설치되는 공압실린더; 및,
상기 공압실린더의 저면에 회전 가능하게 축 결합되는 제 1 회전체; 를 포함하여 구성하고,
상기 제 1 회전체의 양측부에는 상기 필터 덮개를 잡아주도록 폭이 조절되는 상기 덮개 아암을 결합 구성하는 것을 특징으로 하는 약액 공급시스템의 필터 자동 교체장치.The method of claim 1,
The cover fixing part,
A first moving body linearly moving in a first direction from the driving of the sub-motor along the conveying rail and having a first rail portion formed thereon;
A second moving body linearly moving from a sub-motor driving in a second direction orthogonal to the first direction along the first rail portion and having a second rail portion formed thereon;
A third moving body linearly moving up and down along the second rail from the driving of the sub-motor;
A first fixture fixed to the front side of the third movable body;
A pneumatic cylinder fixedly installed at a lower end of the first fixture; And,
A first rotating body rotatably coupled to a bottom surface of the pneumatic cylinder; And including
Automatically replacing the filter of the chemical liquid supply system, characterized in that the coupling arm is configured to combine the cover arm on both sides of the first rotating body to hold the filter cover. 제 4 항에 있어서,
상기 제 3 이동체에는 상기 필터 분리/결합부에 의해 상기 필터 헤드에 신규 필터 카트리지가 결합시, 상기 신규 필터 카트리지의 상단에 접촉하면서 가압하여 상기 필터 헤드에 결합시키는 가압플레이트를 결합 구성하는 것을 특징으로 하는 약액 공급시스템의 필터 자동 교체장치.The method of claim 4, wherein
When the new filter cartridge is coupled to the filter head by the filter separating / coupling portion, the third movable body is configured to combine the pressing plate which is pressed while contacting the upper end of the new filter cartridge to be coupled to the filter head. Automatic filter replacement device for chemical supply system. 제 1 항에 있어서,
상기 덮개 분리/결합부는,
본체의 외측 상면에 배치되는 승하강용의 제 1 구동부;
본체의 외측 상면에서 상기 제 1 구동부와 나란하게 배치되는 너트 잠금 및 해제용의 제 2 구동부;
본체의 외측 상면에 배치되는 제 1 프레임;
상기 본체의 내측에서 고정너트에 결합되는 제 2 프레임;
상기 제 1,2 프레임을 연결하는 복수의 연결로드;
상기 제 1,2 프레임을 연결하고, 상기 제 1 구동부의 구동에 따라 회전하여, 상기 제 1,2 프레임을 승하강시키는 회전스크류; 및,
상기 제 1,2 프레임을 연결하고, 상기 제 2 구동부의 구동에 따라 너트결합부를 회전시켜 상기 고정너트를 필터헤드에 잠금시키거나 또는 잠금상태를 해제시키는 록킹부; 를 포함하여 구성하는 것을 특징으로 하는 약액 공급시스템의 필터 자동 교체장치.The method of claim 1,
The cover separation / coupling portion,
A first driving part for lifting and lowering disposed on an outer upper surface of the main body;
A second driving part for locking and releasing a nut disposed in parallel with the first driving part on an outer upper surface of the main body;
A first frame disposed on an outer upper surface of the main body;
A second frame coupled to the fixing nut at an inner side of the main body;
A plurality of connection rods connecting the first and second frames;
A rotating screw connecting the first and second frames and rotating the first and second frames to move the first and second frames up and down; And,
A locking part connecting the first and second frames and rotating the nut coupling part according to the driving of the second driving part to lock the fixing nut to the filter head or to release the locking state; Automatic filter replacement device of the chemical liquid supply system, characterized in that comprising a. 제 6 항에 있어서,
상기 제 1 구동부는, 제 1 서브모터; 상기 회전스크류에 결합되고, 상기 회전스크류를 승하강시키도록 회전하는 제 1 회전풀리; 및, 상기 제 1 서브모터와 상기 제 1 회전풀리를 연결하여, 상기 제 1 회전풀리에 구동력을 전달하는 제 1 벨트부; 를 포함하여 구성하는 것을 특징으로 하는 약액 공급시스템의 필터 자동 교체장치.The method of claim 6,
The first driving unit may include a first submotor; A first rotating pulley coupled to the rotating screw and rotating to raise and lower the rotating screw; And a first belt unit which connects the first sub-motor to the first rotary pulley and transmits a driving force to the first rotary pulley. Automatic filter replacement device of the chemical liquid supply system, characterized in that comprising a. 제 6 항에 있어서,
상기 제 2 구동부는, 제 2 서브모터; 상기 록킹부에 결합되어 스플라인을 회전시키는 제 2 회전풀리; 및, 상기 제 2 서브모터와 상기 제 2 회전풀리를 연결하여 구동력을 전달하는 제 2 벨트부; 를 포함하여 구성하는 것을 특징으로 하는 약액 공급시스템의 필터 자동 교체장치.The method of claim 6,
The second driving unit may include a second submotor; A second rotary pulley coupled to the locking part to rotate a spline; And a second belt unit configured to connect the second sub-motor and the second rotational pulley to transmit a driving force. Automatic filter replacement device of the chemical liquid supply system, characterized in that comprising a. 제 8 항에 있어서,
상기 록킹부는,
상기 제 1,2 프레임을 연결하는 것으로서 상기 제 2 회전풀리에 의해 회전하는 상기 스플라인;
상기 스플라인의 하부 끝단에 결합되는 제 3 회전풀리;
상기 제 3 회전풀리와 제 3 벨트부로 연결되는 것으로서 상기 제 2 프레임의 저면에서 상기 고정너트에 결합되고, 상기 제 3 회전풀리의 회전 방향에 따라 상기 고정너트의 잠금을 해제시키거나 또는 잠금시키는 상기 너트결합부; 를 포함하여 구성하는 것을 특징으로 하는 약액 공급시스템의 필터 자동 교체장치.The method of claim 8,
The locking unit,
The spline that is rotated by the second rotatable pulley as connecting the first and second frames;
A third rotary pulley coupled to the lower end of the spline;
The third nut coupled to the third belt part and coupled to the fixing nut at the bottom of the second frame, and unlocking or locking the fixing nut according to the rotation direction of the third rotating pulley. Nut coupling portion; Automatic filter replacement device of the chemical liquid supply system, characterized in that comprising a. 제 4 항에 있어서,
상기 필터 분리/결합부는,
상기 제 1 고정체의 상면에 회전 가능하게 축 결합되고 제 3 레일부가 형성되는 제 2 고정체; 및, 서브모터의 구동으로부터 상기 제 3 레일부를 따라 직선 이동하는 제 4 이동체; 를 포함하여 구성하고,
상기 제 4 이동체의 전방측에는 상기 필터 카트리지를 픽업하도록 폭이 조절되는 상기 필터 아암을 결합 구성하는 것을 특징으로 하는 약액 공급시스템의 필터 자동 교체장치.The method of claim 4, wherein
The filter separation / coupling portion,
A second fixture rotatably coupled to an upper surface of the first fixture and having a third rail portion formed thereon; And a fourth moving body linearly moving along the third rail unit from the driving of the submotor. And including
And the filter arm of which the width is adjusted to pick up the filter cartridge is coupled to the front side of the fourth movable body. 제 1 항에 있어서,
상기 신규 필터 공급부는, 이송컨베이어; 상기 이송컨베이어의 상면에 형성되는 이송프레임; 상기 이송프레임의 상면에 돌출 형성되고, 신규 필터 카트리지가 결합되는 카트리지 결합부; 를 포함하여 구성하는 것을 특징으로 하는 약액 공급시스템의 필터 자동 교체장치.The method of claim 1,
The new filter supply unit, a conveying conveyor; A transfer frame formed on an upper surface of the transfer conveyor; A cartridge coupling part protruding from an upper surface of the transfer frame and to which a new filter cartridge is coupled; Automatic filter replacement device of the chemical liquid supply system, characterized in that comprising a.
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