KR101769132B1 - 성막 장치의 클램프 단락 감지 장치 - Google Patents

성막 장치의 클램프 단락 감지 장치 Download PDF

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Abstract

본 발명의 일 실시예는 성막 장치의 클램프 단락 감지 장치에 관한 것으로, 해결하고자 하는 기술적 과제는 클램프와 접지부 사이의 전기 저항을 측정하여, 측정값이 기준치 이하일 경우 알람을 발생시켜 클램프의 유지 보수 여부를 정확하게 결정할 수 있는 성막 장치의 클램프 단락 감지 장치를 제공하는데 있다.
이를 위해 본 발명은 직류 전원을 공급하는 전원 공급부; 상기 전원 공급부에 전기적으로 연결된 기준 저항; 상기 기준 저항에 전기적으로 연결되고, 기판이 안착되는 플라텐에 절연 상태로 고정된 클램프; 상기 기준 저항과 상기 클램프의 사이에 전기적으로 연결되어, 상기 클램프의 전기 저항이 상기 기준 저항보다 작은지 감지하는 감지부로 이루어진 성막 장치의 클램프 단락 감지 장치를 개시한다.

Description

성막 장치의 클램프 단락 감지 장치{Clamp short detection device of film forming apparatus}
본 발명은 성막 장치의 클램프 단락 감지 장치에 관한 것이다.
일반적으로 성막 장치는 평판 디스플레이 장치 또는 태양 전지용 기판(예를 들면, 유리 기판)에 유전층이나 도전층과 같은 코팅층을 일정 두께(예를 들면, 박막 또는 후막)로 형성하는 장치를 의미한다. 성막 장치는 진공 챔버의 내부에 기판을 안착시키고, 성막 재료에 플라즈마 빔을 조사함으로써 성막 재료를 이온화하여 확산시키고, 이온화된 성막 입자를 기판의 표면에 증착시켜 코팅층을 성막시킬 수 있다.
한편, 성막 장치는 진공 챔버 내부에 위치하여 기판이 안착되는 플라텐 및 기판의 가장자리를 고정하기 위하여 플라텐의 외측에 결합되는 다수의 클램프를 포함하여 형성된다. 성막 장치의 내부에서 성막 공정이 진행되면 성막 재료로부터 확산되는 성막 입자는 기판의 표면뿐만 아니라 플라텐의 외측에 위치하는 클램프에도 증착된다. 한편, 클램프와 플라텐은 서로 절연 특성이 유지되어야 하지만, 성막 공정시간이 누적됨에 따라 클램프에 증착되는 성막 입자가 증가되면서 클램프와 플라텐 사이의 절연 특성, 예를 들면, 전기 저항이 감소한다. 또한, 증착되는 성막 입자의 양이 증가됨에 따라 클램프와 기판 사이의 절연 특성이 변경됨에 따라 기판에 증착되는 코팅층의 성막 품질이 변화될 수 있다. 또한, 기판이 유리 기판으로 형성되는 되는 경우에 클램프와 기판 사이에 발생되는 스파크에 의하여 유리 기판이 손상되는 경우도 발생한다. 따라서, 클램프는 성막 공정 시간이 지난 후에는 플라텐으로부터 분리하여 표면에 증착된 코팅층을 제거해 주어야 한다.
그러나, 성막 장치는 공정 중에 진공 상태를 유지하므로 육안으로 성막 입자가 클램프에 어느 정도로 증착되었는지를 확인할 수 없기 때문에, 성막 공정 시간이 설정된 유지 보수 시간을 경과하면 클램프의 상태에 관계없이 유지 보수 공정을 수행함으로써 증착 공정의 효율이 저하되는 측면이 있다. 여기서 유지 보수 공정은 성막 장치로부터 클램프를 분리하여 클램프의 표면에 증착된 성막 입자를 제거하는 공정을 의미한다. 성막 공정 시간이 유지 보수 시간을 경과하지 않았으나 클램프에 증착된 성막 입자가 통상의 경우보다 많은 경우에 적절한 유지 보수 공정이 진행되지 않을 수 있고, 그 반대의 경우에 불필요하게 유지 보수 공정이 진행되는 경우가 있다. 특히, 복수 개의 클램프 중에서 어느 하나의 클램프에서 비정상적으로 증착되는 성막 입자가 증가되는 경우에 적절한 유지 보수가 어려워 증착 공정 중에 성막이 불균일해지거나 유리 기판이 파손되는 경우가 발생한다.
한편, 이러한 발명의 배경이 되는 기술에 개시된 상술한 정보는 본 발명의 배경에 대한 이해도를 향상시키기 위한 것뿐이며, 따라서 종래 기술을 구성하지 않는 정보를 포함할 수도 있다.
본 발명의 해결하고자 하는 과제는 클램프와 접지부 사이의 전기 저항을 측정하여, 측정값이 기준치 이하일 경우 알람을 발생시켜 클램프의 유지 보수 여부를 적정하게 결정할 수 있는 성막 장치의 클램프 단락 감지 장치를 제공하는데 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 성막 장치의 클램프 단락 감지 장치는 직류 전원을 공급하는 전원 공급부; 상기 전원 공급부에 전기적으로 연결된 기준 저항; 상기 기준 저항에 전기적으로 연결되고, 기판이 안착되는 플라텐에 절연 상태로 고정된 클램프; 상기 기준 저항과 상기 클램프의 사이에 전기적으로 연결되어, 상기 클램프의 전기 저항이 상기 기준 저항보다 작은지 감지하는 감지부를 포함한다.
또한, 상기 감지부에는 상기 전기 저항이 상기 기준 저항보다 작은 경우 알람 신호를 출력하는 알람부가 더 연결될 수 있다.
또한, 상기 전원 공급부와 상기 기준 저항 사이에는 스위치가 더 연결될 수 있다.
또한, 상기 기준 저항은 가변 저항일 수 있다.
또한, 상기 플라텐은 접지부에 접지되고, 상기 클램프의 전기 저항은 상기 클램프와 상기 접지부 사이의 전기 저항일 수 있다.
또한, 상기 클램프는 상기 플라텐의 둘레를 따라 복수 개가 설치될 수 있다.
또한, 상기 감지부는 복수 개의 상기 클램프의 저항 값을 각각 측정하도록 형성될 수 있다.
또한, 상기 감지부는 복수 개의 상기 클램프의 저항 값의 합산 저항을 상기 기준 저항과 비교하여 상기 기준 저항보다 작은지 여부를 감지하도록 형성될 수 있다.
본 발명에 따른 클램프 단락 감지 장치는 클램프와 접지부 사이의 전기 저항을 측정하여, 측정값이 기준치 이하일 경우 알람을 발생시켜 클램프의 유지 보수 시기를 정확하게 결정할 수 있는 효과가 있다.
또한, 본 발명에 따른 클램프 단락 감지 장치는 플라텐에 설치되는 복수 개의 클램프의 전기 저항을 각각 독립적으로 감지하고, 어느 하나의 클램프에서의 전기 저항이 감소되는 경우에 알람을 발생시킴으로써 성막 장치에서 클램프의 정확한 유지 보수 시기를 결정할 수 있도록 하는 효과가 있다.
도 1a는 성막 장치 중 플라텐에 설치된 클램프의 예를 도시한 도면이고, 도 1b 내지 도 1c는 클램프의 예를 도시한 사시도이고, 도 1d는 클램프에서 성막 입자가 증착되는 영역을 도시한 사시도이다.
도 2a 내지 도 2c는 본 발명의 일 실시예에 따른 성막 장치의 클램프 단락 감지 장치의 전기적 구성을 도시한 단면도이다.
도 3a 내지 도 3c는 본 발명의 일 실시예에 따른 성막 장치의 클램프 단락 감지 장치를 이용한 단락 감지 방법을 도시한 사진이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명하기로 한다.
본 발명의 실시예들은 당해 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 본 발명을 더욱 완전하게 설명하기 위하여 제공되는 것이며, 하기 실시예는 여러 가지 다른 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 하기 실시예에 한정되는 것은 아니다. 오히려, 이들 실시예는 본 개시를 더욱 충실하고 완전하게 하고, 당업자에게 본 발명의 사상을 완전하게 전달하기 위하여 제공되는 것이다.
또한, 이하의 도면에서 각 층의 두께나 크기는 설명의 편의 및 명확성을 위하여 과장된 것이며, 도면상에서 동일 부호는 동일한 요소를 지칭한다. 본 명세서에서 사용된 바와 같이, 용어 "및/또는"은 해당 열거된 항목 중 어느 하나 및 하나 이상의 모든 조합을 포함한다. 또한, 본 명세서에서 "연결된다"라는 의미는 A 부재와 B 부재가 직접 연결되는 경우뿐만 아니라, A 부재와 B 부재의 사이에 C 부재가 개재되어 A 부재와 B 부재가 간접 연결되는 경우도 의미한다.
본 명세서에서 사용된 용어는 특정 실시예를 설명하기 위하여 사용되며, 본 발명을 제한하기 위한 것이 아니다. 본 명세서에서 사용된 바와 같이, 단수 형태는 문맥상 다른 경우를 분명히 지적하는 것이 아니라면, 복수의 형태를 포함할 수 있다. 또한, 본 명세서에서 사용되는 경우 "포함한다(comprise, include)" 및/또는 "포함하는(comprising, including)"은 언급한 형상들, 숫자, 단계, 동작, 부재, 요소 및/또는 이들 그룹의 존재를 특정하는 것이며, 하나 이상의 다른 형상, 숫자, 동작, 부재, 요소 및 /또는 그룹들의 존재 또는 부가를 배제하는 것이 아니다.
본 명세서에서 제1, 제2 등의 용어가 다양한 부재, 부품, 영역, 층들 및/또는 부분들을 설명하기 위하여 사용되지만, 이들 부재, 부품, 영역, 층들 및/또는 부분들은 이들 용어에 의해 한정되어서는 안 됨은 자명하다. 이들 용어는 하나의 부재, 부품, 영역, 층 또는 부분을 다른 영역, 층 또는 부분과 구별하기 위하여만 사용된다. 따라서, 이하 상술할 제1부재, 부품, 영역, 층 또는 부분은 본 발명의 가르침으로부터 벗어나지 않고서도 제2부재, 부품, 영역, 층 또는 부분을 지칭할 수 있다.
"하부(beneath)", "아래(below)", "낮은(lower)", "상부(above)", "위(upper)"와 같은 공간에 관련된 용어가 도면에 도시된 한 요소 또는 특징과 다른 요소 또는 특징의 용이한 이해를 위해 이용될 수 있다. 이러한 공간에 관련된 용어는 본 발명의 다양한 공정 상태 또는 사용 상태에 따라 본 발명의 용이한 이해를 위한 것이며, 본 발명을 한정하기 위한 것은 아니다. 예를 들어, 도면의 요소 또는 특징이 뒤집어지면, "하부" 또는 "아래"로 설명된 요소 또는 특징은 "상부" 또는 "위에"로 된다.
먼저, 본 발명의 일 실시예에 따른 성막 장치의 클램프 단락 감지 장치가 적용되는 플라텐과 클램프의 구성에 대하여 설명한다.
도 1a는 성막 장치 중 플라텐에 설치된 클램프의 예를 도시한 도면이고, 도 1b 내지 도 1c는 클램프의 예를 도시한 사시도이고, 도 1d는 클램프에서 성막 입자가 증착되는 영역을 도시한 사시도이다.
도 1a에 도시된 바와 같이, 성막 장치를 구성하는 플라텐(160)은 대략 사각 평판 형태로 형성될 수 있으며, 상면에 성막되는 기판, 예를 들면, 유리 기판이 안착된다. 또한, 상기 플라텐(160)의 상면에서 유리 기판을 안정적으로 지지할 수 있도록, 플라텐(160)의 둘레에는 복수 개의 클램프(170)가 플라텐(160)과 절연된 상태로 결합된다.
상기 플라텐(160)은 성막 장치의 접지부를 통하여 접지될 수 있고, 클램프(170)는 플라텐(160)에 전기적으로 절연되면서 기구/기계적으로만 결합될 수 있다. 한편, 도 1a에 도시된 바와 같이, 상기 클램프(170)는 플라텐(160)의 한변당 3개 또는 4개로 결합되고 있으며, 유리 기판 및 플라텐(160)의 크기가 커질수록 설치 개수가 증가될 수 있다.
도 1b 내지 도 1d에 도시된 바와 같이, 상기 클램프(170)는 일부 영역(예를 들면, 상부 영역)이 플라텐(160)의 상부로 돌출되어 플라텐(160)의 상면에 안착되는 유리 기판의 가장자리를 지지한다. 또한, 상기 클램프(170)는 다른 일부 영역(예를 들면, 하부 영역)이 플라텐(160)의 측면을 통해 돌출 및/또는 노출될 수 있다. 따라서, 상기 클램프는 도 1d에서 원으로 표시된 영역에 유리 기판의 성막 공정 중에 성막 입자가 함께 증착될 수 있다. 특히, 상기 클램프(170)에 증착되는 성막 입자가 전기 도전성을 갖는 경우에 클램프(170)와 플라텐(160)의 사이에 전기 저항을 현저히 저하시킴으로써, 성막 품질을 저하시킬 뿐만 아니라 경우에 따라 유리 기판과 클램프(170) 사이에 불필요한 스파크, 아크 또는 불꽃을 발생시키기도 한다. 상기 유리 기판과 클램프(170) 사이에 스파크가 발생되는 경우에 유리 기판은 그 충격으로 파손될 수 있다.
한편, 도 1b 내지 도 1d에 도시된 바와 같이, 상기 플라텐(160)은 다수의 플레이트 및 프레임 등을 더 포함하고, 클램프(170)도 다수의 부품으로 이루어질 수 있으며, 이는 본 발명의 핵심이 아니므로 이에 대한 설명은 생략한다.
다음은 본 발명의 일 실시예에 따른 성막 장치의 클램프 단락 감지 장치에 대하여 설명한다.
도 2a 내지 도 2c는 본 발명의 일 실시예에 따른 성막 장치의 클램프 단락 감지 장치(100)의 전기적 구성을 도시한 단면도이다.
도 2a 및 도 2b에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 성막 장치의 클램프 단락 감지 장치(100)는 전원 공급부(110)와, 스위치(120)와, 기준 저항(130)과, 감지부(140) 및 알람부(150)를 포함하여 형성된다.
상기 클램프(170)는 플라텐(160)에 절연된 상태로 설치되고, 기준 저항(130) 및 감지부(140)는 클램프(170)에 전기적으로 연결되며, 플라텐(160)은 접지부(180)에 접지된다. 또한, 상기 전원 공급부(110) 및 감지부(140)는 접지부(180)에 접지되어 플라텐(160)과 공통 접지 전위를 갖는다.
상기 전원 공급부(110)는 스위치(120)를 통하여 기준 저항(130)에 직류 전원 전압을 공급한다. 예를 들면, 상기 전원 공급부(110)는 스위치 모드 파워 서플라이일 수 있으며, 24V 직류 전원 전압을 출력할 수 있다.
상기 스위치(120)는 전원 공급부(110)와 기준 저항(130) 사이에 전기적으로 연결되어, 전원 공급부(110)의 직류 전원 전압이 기준 저항(130)에 공급되도록 하거나 또는 공급되지 않도록 한다. 즉, 상기 스위치(120)가 턴온되면 기준 저항(130)에 직류 전원 전압이 공급되어 클램프 단락 감지 장치(100)가 동작하며, 스위치(120)가 턴오프되면 기준 저항(130)에 직류 전원 전압이 공급되지 않아 클램프 단락 감지 장치(100)가 동작하지 않는다. 상기 스위치(120)는 통상의 2단자 토글 스위치, 2단자 푸시 버튼 스위치 및 그 등가물 중에서 선택된 하나일 수 있으나, 본 발명에서 그 종류가 한정되지 않는다.
상기 기준 저항(130)은 스위치(120)와 감지부(140) 및 클램프(170) 사이에 전기적으로 연결된다. 상기 기준 저항(130)은 고정 저항 또는 가변 저항으로 형성될 수 있다. 즉, 상기 기준 저항(130)은 클램프와 접지부 사이의 발생되는 전기 저항에 따라 적정한 저항 값을 갖는 고정 저항으로 형성되거나, 저항 값이 가변되는 가변 저항으로 형성될 수 있다. 상기 가변 저항(130)은 1회전형 가변 저항, 반고정 저항, 직동형 가변 저항 및 그 등가물 중에서 선택된 하나일 수 있으나, 본 발명에서 그 종류가 한정되지 않는다.
상기 감지부(140)는 기준 저항(130)과 클램프(170) 사이에 전기적으로 연결되고, 클램프(170)와 접지부(180) 사이의 전기 저항을 측정하여 측정된 저항 값이 기준 저항(130)보다 큰지 작은지 여부를 판단한다. 또한, 상기 감지부(140)는 측정된 저항 값이 기준 저항(130)보다 작은 경우 사용자에게 알람 신호를 출력하여 클램프(170)의 유지 보수가 필요함을 안내한다. 또한, 상기 감지부(140)는 측정된 저항 값이 기준 저항(130)보다 큰 경우 알람 신호를 출력하지 않음은 당연하다. 한편, 상기 감지부(140)는 표시부(141)를 더 포함할 수 있으며, 이를 통해서 감지된 전압 및 알람 여부 등이 표시될 수 있다.
상기 알람부(150)는 감지부(140)와 전기적으로 연결되며, 감지부(140)로부터 알람 신호를 수신한다. 상기 알람부(150)는 감지부(140)로부터 알람 신호가 출력되면, 이를 사용자에게 시각적으로 및/또는 청각적으로 출력한다. 따라서, 상기 알람부(150)는 사용자가 클램프(170)의 유지 보수가 필요한지 아닌지를 즉각적으로 파악할 수 있도록 한다. 상기 알람부(150)는, 예를 들면, 스피커 또는 발광다이오드 등일 수 있으나, 이로서 본 발명이 한정되지 않는다. 또한, 상술한 바와 같이, 상기 표시부(141)는 자체가 시각적으로 알람부(150)의 기능을 수행할 수도 있다.
한편, 상기 클램프(170)는 도전성 재질로 형성되는 플라텐(160)에 절연 상태로 결합되며, 플라텐(160)은 접지부(180)에 전기적으로 접지된다. 따라서, 상기 성막 공정 중 도전성 성막 재료가 유리 기판에 형성되는 과정에서, 클램프(170)의 표면에도 함께 형성됨으로써, 성막 공정 시간이 늘어남에 따라 클램프(170)와 플라텐(160) 사이의 전기 저항이 낮아진다.
상기 클램프(170)는, 예를 들면, 볼트 등과 같은 고정 수단과 절연판에 의하여 플라텐(160)과 전기적으로 절연 상태로 플라텐(160)에 고정될 수 있다. 또한, 상기 클램프(170)는 유리 기판을 고정하기 위하여 필요한 강도를 위하여 스테인리스 스틸로 형성될 수 있다. 그러나, 여기서, 상기 클램프(170)의 고정 형태 및 재질을 한정하는 것은 아니며, 다양한 고정 형태 및 재질을 포함할 수 있다.
또한, 상기 감지부(140)는 하나의 반도체 집적 회로를 포함할 수 있다. 예를 들어, 반도체 집적 회로는 전원 입력 단자인 A1 및 A2 단자, 저전압 알람 신호 출력 단자인 C2 및 C3 단자, 고전압 알람 신호 출력 단자인 C5 및 C6 단자, 가변 저항과 클램프 사이의 분압 전압 입력 단자인 E2 단자, 그리고 접지 단자인 E6 단자를 포함할 수 있다. 그러나, 상기 반도체 집적 회로는 본 발명의 이해를 위한 일례에 불과하며, 본 발명은 이러한 반도체 집적 회로 외에도 통상의 아날로그 회로나 또는 다른 디지털 회로에 의해 구현될 수 있다.
본 발명의 클램프 단락 감지 장치(100)는 클램프(170)와 플라텐(160) 사이의 전기 저항이 기준 저항(130)보다 낮아지는 시기를 간단하게 파악하도록 함으로써, 클램프(170)의 유지 보수 여부를 결정할 수 있도록 한다. 또한, 상기 클램프 단락 감지 장치는 클램프(170)가 플라텐(160)에 복수 개로 설치되어 있으며, 클램프(170) 중에서 적어도 어느 하나의 전기 저항이 기준 저항(130)보다 작은 경우 유지 보수 공정이 진행될 수 있다.
도 2c는 본 발명에 따른 성막 장치의 클램프 단락 감지 장치(100)를 등가 회로로 나타낸 것이다. 도 2c에 도시된 바와 같이, 상기 클램프 단락 감지 장치(100)는 24V 직류 전원 전압을 출력하는 전원 공급부(110)의 양극 단자에 스위치(120)의 일단이 연결되고, 스위치(120)의 타단이 기준 저항(130)의 일단에 연결된다. 또한, 상기 기준 저항(130)의 타단에 감지부(140)의 일단이 연결되고, 감지부(140)의 타단이 전원 공급부(110)의 음극 단자(접지부(180))에 연결된다. 여기서, 상기 다수의 클램프(170)는 다수의 저항(R11 내지 R17)으로 등가화될 수 있는데, 이러한 다수의 저항은 양단이 감지부(140)의 양단에 대략 병렬로 연결된 형태를 한다.
상기 전원 공급부(110)는 기준 저항(130)과 클램프(170)(저항 R11 내지 R17)의 합성 저항에 직렬로 연결되어 전원 전압 24V를 공급하며, 감지부(140)는 두 저항값의 크기에 비례하는 전압을 감지하게 된다.
예를 들면, 상기 기준 저항(130)은 최초의 클램프의 합성 저항과 동일한 저항 값으로 설정되어 감지부(140)가 대략 12V의 전압을 감지하도록 한다. 이후, 성막 공정이 진행되면서 클램프(170)의 전기 저항이 대략 8V의 전압(클램프(170)의 전기 저항이 최초 대비 50% 감소된 것임)에 대응되도록 낮아지면, 감지부(140)는 기준 저항보다 낮은 저항 값을 측정하며 알람 신호를 알람부(150)로 전송한다. 따라서, 상기 클램프 단락 감지 장치는 클램프(170)의 유지 보수가 필요하다는 것을 알리게 된다. 예를 들어, 상기 클램프(170)의 각각에 대응되는 R11 내지 R17의 저항 값이 대략 9㏁일 경우, 클램프(170)의 총 저항은 대략 1.3㏁이다. 그런데, 상기 R11 내지 R17 중 어느 하나의 저항 값이 대략 200㏀일 경우, 클램프(170)의 총 저항은 대략 180㏀이 될 수 있다. 또한, 상기 R11 내지 R17 중 하나의 저항 값이 대략 1㏁일 경우, 클램프(170)의 총 저항은 대략 142㏀이 될 수 있다. 따라서, 상기 감지부(140)는 기준 저항(130)과, 전기 저항이 변하는 R11 내지 R17의 합성 저항에 따른 전압 변화를 정확하게 감지할 수 있게 된다.
다음은 본 발명의 일 실시예에 따른 성막 장치의 클램프 단락 감지 장치의 단락 감지 방법에 대하여 설명한다.
도 3a 내지 도 3c는 본 발명의 일 실시예에 따른 성막 장치의 클램프 단락 감지 장치를 이용한 단락 감지 방법을 도시한 사진이다. 여기서, 사진에 표시된 CSD(Clamp Short Detector)는 감지부를 의미한다.
먼저, 도 3a에 도시된 바와 같이, 상기 기준 저항(130)의 저항 값이 선정되는데, 예를 들면 기준 저항(130)의 저항 값을 가변시키다가 감지부(140)의 표시부(141)를 통해 대략 12V가 표시되는 시점에서의 저항 값을 측정한다. 상기 감지부(140)에서 측정되는 저항 값은 대략 1㏁으로 측정될 수 있다.
이어서, 도 3b에 도시된 바와 같이, 상기 감지부(140)의 일측 단자를 클램프(170)에 접속하고, 감지부(140)의 타측 단자를 접지부(180)에 접속한다. 즉, 상기 감지부(140)의 일측 단자를 성막 입자가 증착되는 클램프(170)의 표면에 접속하고, 감지부(140)의 타측 단자를 성막 장치의 접지부 또는 플라텐(160)에 직접 접속한다.
이어서, 도 3c에 도시된 바와 같이, 상기 감지부(140)의 표시부(141)를 통해 표시되는 전압을 확인한다. 상기 감지부(140)의 표시부(141)를 통해 대략 3.4V의 전압이 표시되는 동시에, 알람이 발생할 수 있다. 따라서, 사용자는 클램프(141)의 유지 보수가 필요함을 판단할 수 있다.
여기서, 실제로, 클램프(170)와 접지부(180) 사이의 전기 저항을 측정하였더니, 대략 290㏀으로 측정되었고, 이에 따라 표시부(141)를 통해 대략 3.4V의 전압이 표시되고, 알람부(150)를 통해 알람이 출력되었다. 즉, 상술한 바와 같이, 초기에 기준 저항(130)을 1㏁로 설정하였는데, 클램프(170)의 저항값이 기준 저항(130)보다 작아졌으므로, 알람이 출력된 것이다.
본 발명의 일 실시예에 따른 성막 장치의 클램프 단락 감지 장치는 성막 장치에 초기부터 설치되며, 성막 공정이 진행됨에 따라 실시간으로 클램프의 저항 값을 측정하도록 형성될 수 있다. 따라서, 상기 클램프 단락 감지 장치는 성막 공정 중 성막 입자가 증착되는 클램프의 전기 저항을 신속 정확하게 감지하고, 감지된 클램프의 전기 저항이 미리 설정된 기준 저항보다 작을 경우, 이를 시청각적으로 사용자에게 즉각 알려줌으로써, 사용자 또는 관리자는 성막 장치에서 클램프의 정확한 유지 보수 시기를 결정할 수 있도록 한다. 따라서, 본 발명은 종래와 같이 클램프의 유지 보수 타이밍이 너무 늦거나 또는 너무 빠르지 않은 적절한 시기에 유지 보수가 수행되도록 한다.
이상에서 설명한 것은 본 발명에 따른 성막 장치의 클램프 단락 감지 장치를 실시하기 위한 하나의 실시예에 불과한 것으로서, 본 발명은 상기한 실시예에 한정되지 않고, 이하의 특허청구범위에서 청구하는 바와 같이 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 다양한 변경 실시가 가능한 범위까지 본 발명의 기술적 정신이 있다고 할 것이다.
100; 본 발명에 따른 성막 장치의 클램프 단락 감지 장치
110; 전원 공급부 120; 스위치
130; 기준 저항 140; 감지부
141; 표시부 150; 알람부
160; 플라텐 170; 클램프
180; 접지부

Claims (8)

  1. 직류 전원을 공급하는 전원 공급부;
    상기 전원 공급부에 전기적으로 연결되며, 가변 저항으로 형성된 기준 저항;
    상기 기준 저항에 전기적으로 연결되고, 기판이 안착되는 플라텐에 절연 상태로 고정된 클램프;
    상기 기준 저항과 상기 클램프의 사이에 전기적으로 연결되어 상기 클램프의 전기 저항을 측정하며, 측정된 상기 클램프의 전기 저항이 상기 기준 저항보다 낮아지는지 여부를 감지하는 감지부를 포함하며,
    상기 플라텐은 접지부에 접지되고,
    상기 클램프의 전기 저항은 상기 클램프와 상기 접지부 사이의 전기 저항인 것을 특징으로 하는 성막 장치의 클램프 단락 감지 장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 감지부에 상기 전기 저항이 상기 기준 저항보다 작은 경우 알람 신호를 출력하는 알람부가 더 연결되는 것을 특징으로 하는 성막 장치의 클램프 단락 감지 장치.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 전원 공급부와 상기 기준 저항 사이에는 스위치가 더 연결되는 것을 특징으로 하는 성막 장치의 클램프 단락 감지 장치.
  4. 삭제
  5. 삭제
  6. 제 1 항에 있어서,
    상기 클램프는 상기 플라텐의 둘레를 따라 복수 개로 설치되는 것을 특징으로 하는 성막 장치의 클램프 단락 감지 장치.
  7. 제 6 항에 있어서,
    상기 감지부는 복수 개의 상기 클램프의 저항 값을 각각 측정하도록 형성되는 것을 특징으로 하는 성막 장치의 클램프 단락 감지 장치.
  8. 제 7 항에 있어서,
    상기 감지부는 복수 개의 상기 클램프의 저항 값의 합산 저항을 상기 기준 저항과 비교하여 상기 기준 저항보다 작은지 여부를 감지하도록 형성되는 것을 특징으로 하는 성막 장치의 클램프 단락 감지 장치.
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