KR101763621B1 - Apparatus for supplying powder - Google Patents

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Abstract

본 발명에 따른 분말공급장치에서는, 분말을 정량으로 일정하게 공급할 수 있는 구성에 대하여 제시한다.In the powder feeder according to the present invention, a configuration capable of constantly supplying powder in a constant amount is presented.

Description

분말공급장치 {APPARATUS FOR SUPPLYING POWDER}{APPARATUS FOR SUPPLYING POWDER}

본 발명은 반도체의 제조과정에서 사용되는 분말을 공급하는 분말공급장치에 관한 것이다.The present invention relates to a powder feeder for supplying powders used in a semiconductor manufacturing process.

일반적으로, 반도체는 제품에 장착되기 이전에 리드프레임(lead frame)상에 반도체칩이 실장된 패키지의 형태로 제조된다. 반도체패키지는, 와이어를 이용하여 리드프레임에 반도체칩을 연결하는 방식으로 리드프레임상에 반도체칩을 실장하고, 리드프레임과 반도체칩을 전기적으로 연결하는 와이어를 보호하기 위한 몰딩공정을 수행한다. 위와 같은 몰딩공정 중 하나의 방법으로 분말형태의 수지를 금형 내로 공급하는 방법이 적용될 수 있는데, 이러한 과정에서 분말을 공급하는 분말공급장치가 사용될 수 있다.In general, a semiconductor is manufactured in the form of a package in which a semiconductor chip is mounted on a lead frame before being mounted on a product. In the semiconductor package, a semiconductor chip is mounted on a lead frame in such a manner that a semiconductor chip is connected to a lead frame using a wire, and a molding process is performed to protect a wire electrically connecting the lead frame and the semiconductor chip. A method of supplying a resin in the form of powder into a mold by one of the molding processes as described above may be applied. In this process, a powder supply device for supplying powder may be used.

또한, 발광다이오드의 제조과정에서 실리콘분말과 형광체분말이 혼합된 분말이 그 제조과정에서 사용되는데, 이러한 분말을 공급하기 위하여 분말공급장치가 사용된다.Also, a powder mixed with a silicon powder and a phosphor powder in the process of manufacturing a light emitting diode is used in the manufacturing process, and a powder supply device is used to supply such powder.

이와 같이, 반도체나 발광다이오드와 같은 전자부품의 제조과정에서는 다양한 형태의 분말을 공급하기 위하여 분말공급장치가 사용되는데, 이러한 분말공급장치의 설계인자 중 가장 중요한 것은 미리 설정된 양과 정확한 양으로 일정하게 분말을 공급하는 데에 있으며, 이를 위한 분말공급장치의 최적의 설계가 요구된다.As described above, in the manufacturing process of electronic parts such as semiconductors and light emitting diodes, a powder supply device is used to supply various types of powder. The most important design factors of the powder supply device are a predetermined amount and a definite amount of powder And optimum design of the powder feeder for this is required.

본 발명은 상기한 종래기술의 요구사항을 해결하기 위한 것으로, 본 발명의 목적은 미리 설정된 양과 정확한 양으로 일정하게 분말을 공급할 수 있는 분말공급장치를 제공하는 데에 있다.It is an object of the present invention to provide a powder feeder capable of uniformly feeding powder in a preset amount and in an accurate amount.

상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 분말공급장치는, 분말이 수용되는 제1수용부재와, 상기 제1수용부재의 출구와 연결되는 제1통로부재와, 상기 제1수용부재에 수용된 분말을 상기 제1통로부재를 통하여 공급하는 제1구동장치를 포함하는 제1공급유닛; 상기 제1통로부재로부터 공급된 분말이 수용되는 제2수용부재와, 상기 제2수용부재의 출구와 연결되는 제2통로부재와, 상기 제2수용부재에 수용된 분말을 상기 제2통로부재를 통하여 공급하는 제2구동장치를 포함하는 제2공급유닛; 및 상기 제1공급유닛과 상기 제2공급유닛 사이에 설치되어 상기 제1공급유닛과 상기 제2공급유닛 사이의 진동전달을 차단하는 방진유닛을 포함하여 구성될 수 있다.According to an aspect of the present invention, there is provided a powder supply device comprising: a first housing member having a powder accommodated therein; a first passage member connected to an outlet of the first housing member; A first supply unit including a first drive device for supplying the first passage unit through the first passage member; A second passage member which is connected to an outlet of the second housing member, and a second passage member which is connected to the outlet of the second housing member through a second passage member A second supply unit including a second drive device for supplying the second drive unit; And a dust-proof unit installed between the first supply unit and the second supply unit and interrupting transmission of vibration between the first supply unit and the second supply unit.

본 발명에 따른 분말공급장치는, 제1공급유닛과 제2공급유닛의 사이에 제1공급유닛과 제2공급유닛 사이의 진동전달을 차단하는 방진유닛을 구비하여 제1공급유닛과 제2공급유닛의 각각에서 발생되는 진동이 서로 간섭되는 것을 차단함으로써, 분말을 정량으로 일정하게 공급할 수 있는 효과가 있다.The powder supply device according to the present invention is provided with a dustproof unit for interrupting transmission of vibration between a first supply unit and a second supply unit between a first supply unit and a second supply unit, The vibrations generated in each of the units are prevented from interfering with each other, whereby the powder can be constantly supplied in a constant amount.

또한, 본 발명에 따른 분말공급장치는, 제1수용부재에 진동을 발생시키는 제1구동장치와, 제2수용부재에 진동을 발생시키는 제2구동장치를 구비하고, 제1수용부재 및 제2수용부재에 수용된 분말을 진동을 이용하여 순차적으로 이동시킴으로써, 분말을 이루는 미세 입자들 사이를 서로 분리시킬 수 있고, 이에 따라, 분말을 정량으로 일정하게 공급할 수 있는 효과가 있다.The powder supply device according to the present invention further includes a first drive device for generating vibration in the first housing member and a second drive device for generating vibration in the second housing member, By sequentially moving the powder contained in the housing member using vibration, the fine particles forming the powder can be separated from each other, and the powder can be uniformly supplied in a constant amount.

또한, 본 발명에 따른 분말공급장치는, 분말의 공급량을 측정하는 측정유닛 및 측정유닛에서 측정한 분말의 공급량을 이용하여, 제1공급유닛 및 제2공급유닛을 제어하는 제어유닛을 구비함으로써, 정확한 양의 분말을 대상물로 공급할 수 있는 효과가 있다.The powder feeder according to the present invention includes the control unit for controlling the first supply unit and the second supply unit using the measurement unit for measuring the supply amount of the powder and the supply amount of the powder measured in the measurement unit, An accurate amount of powder can be supplied to the object.

도 1은 본 발명의 제1실시예에 따른 분말공급장치가 도시된 개략도이다.
도 2는 도 1의 분말공급장치의 제1공급유닛이 도시된 개략도이다.
도 3은 도 2의 제1공급유닛의 제1통로부재가 도시된 사시도이다.
도 4는 도 1의 분말공급장치의 제2공급유닛이 도시된 개략도이다.
도 5는 도 2의 제2공급유닛의 제2통로부재가 도시된 사시도이다.
도 6은 본 발명의 제2실시예에 따른 분말공급장치가 도시된 개략도이다.
도 7은 도 6의 분말공급장치의 제어블럭도이다.1 is a schematic view showing a powder supply apparatus according to a first embodiment of the present invention.
Fig. 2 is a schematic view showing a first supply unit of the powder supply apparatus of Fig. 1; Fig.
Fig. 3 is a perspective view showing the first passage member of the first supply unit of Fig. 2; Fig.
Fig. 4 is a schematic view showing a second supply unit of the powder supply device of Fig. 1;
Fig. 5 is a perspective view showing the second passage member of the second supply unit of Fig. 2; Fig.
6 is a schematic diagram showing a powder supply apparatus according to a second embodiment of the present invention.
7 is a control block diagram of the powder feeder of Fig.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 분말공급장치에 관한 바람직한 실시예에 대하여 설명한다.Hereinafter, preferred embodiments of the powder supply apparatus according to the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.

도 1에 도시된 바와 같이, 본 발명의 제1실시예에 따른 분말공급장치는, 분말형태의 분말(P)이 수용되는 제1수용부재(11), 제1수용부재(11)의 출구(111)와 연결되는 제1통로부재(12), 제1수용부재에 수용된 분말(P)을 제1통로부재(12)를 통하여 공급하는 제1구동장치(13)를 포함하는 제1공급유닛(10)과, 제1통로부재(12)로부터 공급된 분말(P)이 수용되는 제2수용부재(21), 제2수용부재(21)의 출구(211)와 연결되는 제2통로부재(22), 제2수용부재(21)에 수용된 분말(P)을 제2통로부재(22)를 통하여 공급하는 제2구동장치(23)를 포함하는 제2공급유닛(20)과, 제1공급유닛(10)과 제2공급유닛(20) 사이에 설치되어 제1공급유닛(10)과 제2공급유닛(20) 사이의 진동전달을 차단하는 방진유닛(30)을 포함하여 구성될 수 있다.1, the powder supplying apparatus according to the first embodiment of the present invention includes a first receiving member 11 in which powder P in powder form is accommodated, an outlet (not shown) of the first receiving member 11 And a first drive unit 13 for supplying the powder P contained in the first housing member through the first passage member 12. The first passage unit 12 is connected to the first passage unit 12, And a second passage member 22 connected to the outlet 211 of the second housing member 21 for receiving the powder P supplied from the first passage member 12, A second supply unit 20 including a second drive unit 23 for supplying the powder P contained in the second housing member 21 through the second passage member 22, And a dustproof unit 30 installed between the first supply unit 10 and the second supply unit 20 to block transmission of vibration between the first supply unit 10 and the second supply unit 20. [

도 2에 도시된 바와 같이, 제1수용부재(11)는 내부에 분말(P)이 수용되는 수용공간이 마련되며 수용공간과 연통되는 출구(111)가 형성된다. 제1수용부재(11)의 수용공간은 내경이 일정한 원통형으로 형성될 수 있으며, 수용공간의 내부에 수용된 분말(P)이 그 자중에 의하여 출구(111)를 향하여 원활하게 이동할 수 있도록 제1수용부재(11)의 수용공간은 출구(111)를 향하여 그 폭이 점진적으로 줄어드는 형상으로 형성될 수 있다.As shown in FIG. 2, the first housing member 11 has a receiving space in which the powder P is received, and an outlet 111 communicating with the receiving space is formed. The receiving space of the first housing member 11 can be formed in a cylindrical shape having a constant inner diameter and the first accommodation member 11 can be formed in the first accommodation member 11 so that the powder P accommodated in the accommodation space can smoothly move toward the outlet 111 by its own weight. The accommodation space of the member 11 may be formed in such a shape that its width gradually decreases toward the outlet 111. [

도 3에 도시된 바와 같이, 제1통로부재(12)는 제1수용부재(11)의 출구(111)와 연결되며 그 길이방향으로 연장된다. 제1통로부재(12)는 제1수용부재(11)의 출구(111)로부터 연장되면서 점차 아래방향으로 경사지게 배치될 수 있다. 또한, 제1통로부재(12)는 그 길이방향을 따라 단면이 삼각형의 형상을 가지는 홈(121)이 형성되는 것이 바람직하다. 이러한 홈(121)은 분말(P)이 제1통로부재(12)를 따라 이동할 때 분말(P)이 제1통로부재(12)의 외부로 유출되는 것을 방지하여 일정한 양의 분말(P)이 제1통로부재(12)를 따라 이동하도록 분말(P)의 이동을 안내하는 역할을 수행한다. 물론, 제1통로부재(12)의 홈(121)은 원형, 사각형 또는 다각형 형상의 단면을 가지도록 형성될 수 있다.As shown in Fig. 3, the first passage member 12 is connected to the outlet 111 of the first housing member 11 and extends in the longitudinal direction thereof. The first passage member 12 may be arranged to be inclined downward gradually from the outlet 111 of the first housing member 11. [ The first passage member 12 is preferably formed with a groove 121 having a triangular cross section along its longitudinal direction. The grooves 121 prevent the powder P from flowing out of the first passage member 12 when the powder P moves along the first passage member 12 so that a certain amount of the powder P And serves to guide the movement of the powder P to move along the first passage member 12. Of course, the groove 121 of the first passage member 12 may be formed to have a circular, square or polygonal cross section.

도 2에 도시된 바와 같이, 제1구동장치(13)는, 제1수용부재(11) 및 제1통로부재(12)와 연결되는 이동부재(131)와, 이동부재(131)를 분말(P)의 공급방향(도 2에서의 A방향) 및 그 반대방향(도 2에서의 B방향)으로 이동이 가능하게 지지하는 지지부재(132)와, 이동부재(131)와 지지부재(132)의 사이를 연결하는 탄성부재(133)와, 이동부재(131)와 지지부재(132)의 사이에서 지지부재(132)에 설치되는 고정자(134)와, 이동부재(131)와 지지부재(132)의 사이에서 고정자(134)에 인접되도록 이동부재(131)에 설치되고, 고정자(134)와의 상호작용에 의하여 고정자(134)에 인접되는 방향 및 고정자(134)로부터 이격되는 방향으로 이동하는 가동자(135)를 포함하여 구성될 수 있다.2, the first driving device 13 includes a moving member 131 connected to the first housing member 11 and the first passage member 12, and a moving member 131 connected to the first passage member 12, A supporting member 132 for supporting the movable member 131 and the supporting member 132 so as to be movable in a feeding direction (direction A in FIG. 2) and an opposite direction (direction B in FIG. 2) A stator 134 provided on the support member 132 between the movable member 131 and the support member 132 and a stator 134 provided between the movable member 131 and the support member 132 Moving in a direction adjacent to the stator 134 and in a direction away from the stator 134 due to the interaction with the stator 134, (135). ≪ / RTI >

이동부재(131)가 지지부재(132)에 이동이 가능하게 설치될 수 있도록 지지부재(132)에는 이동부재(131)와 연결되어 이동부재(132)의 이동을 안내하는 가이드(136)가 구비될 수 있다. 다만, 가이드(136)를 별도로 마련하지 아니하고 이동부재(131)가 탄성부재(133)를 통하여 지지부재(132)에 이동이 가능하게 지지되는 구성이 적용될 수 있다.The supporting member 132 is provided with a guide 136 connected to the moving member 131 to guide the movement of the moving member 132 so that the moving member 131 can be movably installed on the supporting member 132 . However, the guide 136 may not be separately provided, and the movable member 131 may be supported by the support member 132 so as to be movable through the elastic member 133.

탄성부재(133)로는, 코일스프링, 판스프링 등 소정의 탄성계수를 가지는 다양한 부재가 적용될 수 있다.As the elastic member 133, various members having predetermined elastic modulus such as a coil spring and a leaf spring can be applied.

가동자(135)와 고정자(134) 중 어느 하나는 자성을 가지는 부재로 구성되고, 다른 하나는 전자석으로 구성될 수 있다. 물론, 가동자(135)와 고정자(134)가 모두 전자석으로 구성될 수 있다. 이와 같은 구성에 의하여 가동자(135)와 고정자(134) 사이에는 인력 또는 척력이 작용될 수 있다.Either one of the mover 135 and the stator 134 may be constituted by a magnetic member and the other may be constituted by an electromagnet. Of course, both the mover 135 and the stator 134 may be composed of electromagnets. With this structure, attraction force or repulsive force can be applied between the mover 135 and the stator 134.

도 2를 기준으로 설명하면, 가동자(135)는 고정자(134)를 기준으로 분말(P)의 이동방향(이하, A방향)의 전방측에 배치되므로, 가동자(135)와 고정자(134) 사이에 인력이 작용하는 경우, 이동부재(131)는 분말(P)의 이동방향과 반대되는 방향(이하, B방향)으로 이동되며, 가동자(135)와 고정자(134) 사이에 척력이 작용하는 경우, 이동부재(131)는 A방향으로 이동된다. 이와 같이, 가동자(135)와 고정자(134) 사이의 인력 및 척력을 이용하면, 이동부재(131)가 A방향 및 B방향으로 왕복으로 이동될 수 있다. 이때, 탄성부재(133)는 이동부재(131)에 공진이 발생하도록 하는 역할을 수행할 수 있다. 한편, 가동자(135)와 고정자(134) 사이의 인력 및 척력을 모두 이용하지 않고 어느 하나만 이용할 수 있다. 즉, 가동자(135)와 고정자(134) 사이의 인력을 이용하여 이동부재(131)를 B방향으로 이동시킨 후 가동자(135)와 고정자(134) 사이의 인력을 해제하면 탄성부재(133)의 탄성복원력에 의하여 이동부재(131)는 A방향으로 이동될 수 있으며, 가동자(135)와 고정자(134) 사이의 척력을 이용하여 이동부재(131)를 A방향으로 이동시킨 후 가동자(135)와 고정자(134) 사이의 척력을 해제하면 탄성부재(133)의 탄성복원력에 의하여 이동부재(131)는 B방향으로 이동될 수 있다. 이와 같이, 가동자(135)와 고정자(134) 사이의 인력 및 척력을 이용하면, 이동부재(131)가 A방향 및 B방향으로 왕복으로 이동될 수 있다.2, the mover 135 is disposed on the front side in the moving direction of the powder P (hereinafter referred to as A direction) with respect to the stator 134, and therefore, the mover 135 and the stator 134 The movable member 131 is moved in a direction opposite to the direction of movement of the powder P (hereinafter referred to as B direction), and a repulsive force is applied between the movable member 135 and the stator 134 The movable member 131 is moved in the A direction. As described above, by using the attraction force and the repulsive force between the mover 135 and the stator 134, the moving member 131 can be reciprocated in directions A and B. At this time, the elastic member 133 may play a role of causing resonance to occur in the moving member 131. On the other hand, any one of the attraction force and the repulsion force between the mover 135 and the stator 134 can be used without using all of them. That is, when the moving member 131 is moved in the B direction by using the attraction force between the mover 135 and the stator 134 and then the attraction force between the mover 135 and the stator 134 is released, The movable member 131 can be moved in the A direction by the elastic restoring force of the movable member 131 and the movable member 131 is moved in the A direction by using the repulsive force between the movable member 135 and the stator 134, The moving member 131 can be moved in the direction B by the elastic restoring force of the elastic member 133 when the repulsive force between the stator 135 and the stator 134 is released. As described above, by using the attraction force and the repulsive force between the mover 135 and the stator 134, the moving member 131 can be reciprocated in directions A and B.

이와 같이, 가동자(135), 고정자(134), 탄성부재(133)의 상호작용에 의하여 이동부재(131)가 A방향 및 B방향으로 왕복으로 이동될 수 있으며, 이에 따라, 제1수용부재(11) 및 제1통로부재(12)가 A방향 및 B방향으로 왕복으로 진동될 수 있다. 이러한 제1수용부재(11) 및 제1통로부재(12)의 진동에 의하여 제1수용부재(11)의 내부에 수용된 분말(P)은 출구(111)로부터 유출되어 제1통로부재(12)의 홈(121)을 따라 이동될 수 있다.As described above, the movable member 131 can be reciprocated in the directions A and B by the mutual action of the mover 135, the stator 134, and the elastic member 133, The first passage member 11 and the first passage member 12 can vibrate reciprocally in the A direction and the B direction. Powder P received in the first housing member 11 by the vibration of the first housing member 11 and the first passage member 12 flows out of the outlet 111 and flows into the first passage member 12, As shown in FIG.

한편, 본 발명의 제1실시예에서는 제1수용부재(11) 및 제1통로부재(12)에 진동을 발생시키기 위하여 가동자(135), 고정자(134) 및 탄성부재(133)이 적용된 구성에 대하여 설명하였으나, 본 발명은 이에 한정되지 아니하며, 리니어모터, 유압실린더, 공압실린더, 볼스크류장치 등 이동부재(131)를 A방향 및 B방향으로 왕복적으로 이동시킬 수 있는 직선형으로 동력을 발생시킬 수 있는 기구가 다양하게 적용될 수 있다.In the first embodiment of the present invention, the structure in which the mover 135, the stator 134 and the elastic member 133 are applied to generate vibration in the first housing member 11 and the first passage member 12 However, the present invention is not limited to this, and a linear motor capable of reciprocally moving the moving member 131 such as a linear motor, a hydraulic cylinder, a pneumatic cylinder, a ball screw device, There are a variety of mechanisms that can be applied.

도 4에 도시된 바와 같이, 제2수용부재(21)는 내부에 분말(P)이 수용되는 수용공간이 마련되며 수용공간과 연통되는 출구(211)가 형성된다. 제2수용부재(21)의 수용공간은 내경이 일정한 원통형으로 형성될 수 있으며, 수용공간의 내부에 수용된 분말(P)이 그 자중에 의하여 출구(211)를 향하여 원활하게 이동할 수 있도록 제2수용부재(21)의 수용공간은 출구(211)를 향하여 그 폭이 점진적으로 줄어드는 형상으로 형성될 수 있다.As shown in FIG. 4, the second housing member 21 has a receiving space in which the powder P is received, and an outlet 211 communicating with the receiving space is formed. The second accommodation member 21 can be formed in a cylindrical shape having a constant inner diameter and the second accommodation member 21 can be formed in a cylindrical shape having a predetermined length so that the powder P accommodated in the accommodation space can be smoothly moved toward the outlet 211 by its own weight, The accommodation space of the member 21 may be formed in such a shape that its width gradually decreases toward the outlet 211. [

도 5에 도시된 바와 같이, 제2통로부재(22)는 제2수용부재(21)의 출구(211)와 연결되며 그 길이방향으로 연장된다. 제2통로부재(22)는 제2수용부재(21)의 출구(211)로부터 연장되면서 점차 아래방향으로 경사지게 배치될 수 있다. 제2통로부재(22)는 그 길이방향을 따라 단면이 삼각형의 형상을 가지는 홈(221)이 형성되는 것이 바람직하다. 이러한 홈(221)은 분말(P)이 제2통로부재(22)를 따라 이동할 때 분말(P)이 제2통로부재(22)의 외부로 유출되는 것을 방지하여 일정한 양의 분말(P)이 제2통로부재(22)를 따라 이동하도록 분말(P)의 이동을 안내하는 역할을 수행한다. 물론, 제2통로부재(22)의 홈(221)은 원형, 사각형 또는 다각형 형상의 단면을 가지도록 형성될 수 있다.5, the second passage member 22 is connected to the outlet 211 of the second housing member 21 and extends in the longitudinal direction thereof. The second passage member 22 may be arranged to be inclined downward gradually as it extends from the outlet 211 of the second housing member 21. [ The second passage member 22 is preferably formed with a groove 221 having a triangular cross-section along its longitudinal direction. The grooves 221 prevent the powder P from flowing out of the second passage member 22 when the powder P moves along the second passage member 22 so that a certain amount of the powder P And guides the movement of the powder P so as to move along the second passage member 22. Of course, the groove 221 of the second passage member 22 may have a circular, square or polygonal cross section.

도 4에 도시된 바와 같이, 제2구동장치(23)는, 제2수용부재(21) 및 제2통로부재(22)와 연결되는 이동부재(231)와, 이동부재(231)를 분말(P)의 공급방향(도 4에서의 A방향) 및 그 반대방향(도 4에서의 B방향)으로 이동이 가능하게 지지하는 지지부재(232)와, 이동부재(231)와 지지부재(232)의 사이를 연결하는 탄성부재(233)와, 이동부재(231)와 지지부재(232)의 사이에서 지지부재(232)에 설치되는 고정자(234)와, 이동부재(231)와 지지부재(232)의 사이에서 고정자(234)에 인접되도록 이동부재(231)에 설치되고, 고정자(234)와의 상호작용에 의하여 고정자(234)에 인접되는 방향 및 고정자(234)로부터 이격되는 방향으로 이동하는 가동자(235)를 포함하여 구성될 수 있다.4, the second driving device 23 includes a moving member 231 connected to the second accommodating member 21 and the second passage member 22, and a moving member 231 connected to the second accommodating member 21 and the second passage member 22, A supporting member 232 for supporting the movable member 231 and the supporting member 232 movably in the feeding direction (the direction A in FIG. 4) and the opposite direction (the direction B in FIG. 4) A stator 234 provided on the supporting member 232 between the moving member 231 and the supporting member 232 and a stator 234 provided between the moving member 231 and the supporting member 232 The movable member 231 is provided so as to be adjacent to the stator 234 between the stator 234 and the movable member 231 and moves in the direction adjacent to the stator 234 and in the direction away from the stator 234 by the interaction with the stator 234. [ (235). ≪ / RTI >

이동부재(231)가 지지부재(232)에 이동이 가능하게 설치될 수 있도록 지지부재(232)에는 이동부재(231)와 연결되어 이동부재(232)의 이동을 안내하는 가이드(236)가 구비될 수 있다. 다만, 가이드(136)를 별도로 마련하지 아니하고 이동부재(231)가 탄성부재(233)를 통하여 지지부재(232)에 이동이 가능하게 지지되는 구성이 적용될 수 있다.The supporting member 232 is provided with a guide 236 connected to the moving member 231 and guiding the movement of the moving member 232 so that the moving member 231 can be movably installed on the supporting member 232 . However, a structure in which the guide 136 is not separately provided and the moving member 231 is supported by the supporting member 232 so as to be movable through the elastic member 233 can be applied.

탄성부재(233)로는, 코일스프링, 판스프링 등 소정의 탄성계수를 가지는 다양한 부재가 적용될 수 있다.As the elastic member 233, various members having predetermined elastic modulus such as a coil spring and a leaf spring can be applied.

가동자(235)와 고정자(234) 중 어느 하나는 자성을 가지는 부재로 구성되고, 다른 하나는 전자석으로 구성될 수 있다. 물론, 가동자(235)와 고정자(234)가 모두 전자석으로 구성될 수 있다. 이와 같은 구성에 의하여 가동자(235)와 고정자(234) 사이에는 인력 또는 척력이 작용될 수 있다. 가동자(235)와 고정자(234)의 구성 및 작용은 전술한 제1구동장치(13)의 가동자(135)와 고정자(134)의 구성 및 작용과 같다.Either the mover 235 or the stator 234 may be constituted by a magnetic member and the other may be constituted by an electromagnet. Of course, both the mover 235 and the stator 234 can be composed of electromagnets. With this structure, an attractive force or a repulsive force can be applied between the mover 235 and the stator 234. The configuration and operation of the mover 235 and the stator 234 are the same as those of the mover 135 and the stator 134 of the first driving device 13 described above.

가동자(235), 고정자(234), 탄성부재(233)의 상호작용에 의하여 이동부재(231)가 A방향 및 B방향으로 왕복으로 이동될 수 있으며, 이에 따라, 제2수용부재(21) 및 제2통로부재(22)가 A방향 및 B방향으로 왕복으로 진동될 수 있다. 이러한 제2수용부재(21) 및 제2통로부재(22)의 진동에 의하여 제2수용부재(21)의 내부에 수용된 분말(P)은 출구(211)로부터 유출되어 제2통로부재(22)의 홈(221)을 따라 이동될 수 있다.The movable member 231 can be reciprocated in the A direction and the B direction by the interaction of the movable member 235, the stator 234 and the elastic member 233, And the second passage member 22 can vibrate reciprocally in the A direction and the B direction. The powder P contained in the second housing member 21 is discharged from the outlet 211 by the vibration of the second housing member 21 and the second passage member 22 and is discharged from the second passage member 22, As shown in FIG.

본 발명의 제1실시예에서는 제2수용부재(21) 및 제2통로부재(22)에 진동을 발생시키기 위하여 가동자(235), 고정자(234) 및 탄성부재(233)이 적용된 구성에 대하여 설명하였으나, 본 발명은 이에 한정되지 아니하며, 리니어모터, 유압실린더, 공압실린더, 볼스크류장치 등 이동부재(231)를 A방향 및 B방향으로 왕복적으로 이동시킬 수 있는 직선형으로 동력을 발생시킬 수 있는 기구가 다양하게 적용될 수 있다.The stator 234 and the elastic member 233 are applied to generate vibration in the second accommodating member 21 and the second passage member 22 in the first embodiment of the present invention However, the present invention is not limited to this, and it is possible to generate power in a linear form capable of reciprocating the moving member 231 such as a linear motor, a hydraulic cylinder, a pneumatic cylinder, and a ball screw device in directions A and B There are a variety of mechanisms that can be applied.

한편, 제1공급유닛(10)과 제2공급유닛(20)에서는 각각 소정의 진동이 발생될 수 있는데, 제1공급유닛(10)과 제2공급유닛(20) 중 어느 하나에서 발생되는 진동이 다른 하나에 전달되는 경우에는, 분말(P)의 공급과정에서 오류가 발생하여 분말(P)이 정량으로 일정하게 공급될 수 없다. 본 발명은 이러한 현상을 방지하기 위한 것으로, 제1공급유닛(10)과 제2공급유닛(20) 사이의 진동전달을 차단하는 방진유닛(30)이 구비되는 것이 바람직하다.In the meantime, predetermined vibrations may be generated in the first supply unit 10 and the second supply unit 20, respectively, and vibrations generated in any one of the first supply unit 10 and the second supply unit 20 An error occurs in the process of supplying the powder P and the powder P can not be supplied in a constant amount in a constant amount. In order to prevent such a phenomenon, the present invention preferably includes a dustproof unit (30) for blocking transmission of vibration between the first supply unit (10) and the second supply unit (20).

방진유닛(30)으로는, 고무 또는 합성수지와 같은 탄성재질의 부재, 유압식 또는 공압식 댐퍼, 내부에 기체 또는 유체가 수용된 밀폐튜브, 스프링 등을 포함하는 탄성부재 등 제1공급유닛(10)과 제2공급유닛(20) 사이의 진동전달을 차단할 수 있는 다양한 구성이 적용될 수 있다.As the vibration-proof unit 30, a first supply unit 10 such as a member made of an elastic material such as rubber or synthetic resin, a hydraulic or pneumatic damper, a sealing tube in which a gas or fluid is contained, an elastic member including a spring, 2 supply unit 20 can be applied.

한편, 분말(P)은 최초로 제1공급유닛(10)의 제1수용부재(11)의 내부로 공급되는데, 제1수용부재(11)로 공급되는 분말(P)은 분말(P)을 이루는 미세 직경의 입자들이 서로 합쳐진 형태로 될 수 있다. 이러한 형태의 분말(P)은 제1공급유닛(10)의 제1통로부재(12)를 통과하더라도 미세 입자가 합쳐진 형태를 유지할 수 있는데, 이러한 형태는 분말(P)의 불균일한 공급을 초래한다.On the other hand, the powder P is first supplied to the inside of the first housing member 11 of the first supply unit 10, and the powder P supplied to the first housing member 11 is mixed with the powder P Particles of fine diameter may be combined with each other. This type of powder P can maintain the form of aggregation of fine particles even though it passes through the first passage member 12 of the first supply unit 10, which results in a nonuniform supply of the powder P .

본 발명은 이러한 현상을 방지하기 위한 것으로, 본 발명의 제1실시예에 따른 분말공급장치는, 제1공급유닛(10)과 제2공급유닛(20)을 함께 구비함으로써, 분말(P)이 제1공급유닛(10) 및 제2공급유닛(20)을 통과하면서 분말(P)을 이루는 미세 입자들이 서로 분리된 상태를 유지하도록 할 수 있다.The powder feeder according to the first embodiment of the present invention includes the first feed unit 10 and the second feed unit 20 together so that the powder P The fine particles forming the powder P can be kept separated from each other while passing through the first supply unit 10 and the second supply unit 20.

제1수용부재(11)는 분말(P)이 최초로 공급되는 수용공간을 제공하며, 제2수용부재(21)는 제1공급유닛(10)을 통과한 분말(P)이 수용되는 수용공간을 제공한다. 제2수용부재(21)는 분말(P)이 공급되는 중간과정에 배치되는 것이므로, 제2수용부재(21)의 체적은 제1수용부재(11)의 체적에 비하여 작게 형성되는 것이 바람직하다. 제2수용부재(21)의 체적을 제1수용부재(11)의 체적에 비하여 작게 형성하는 경우에는 제2구동장치(23)의 구동력을 제1구동장치(13)의 구동력에 비하여 작게 할 수 있으므로, 불필요한 에너지의 손실을 방지할 수 있다.The first housing member 11 provides a housing space in which the powder P is first supplied and the second housing member 21 houses a housing space in which the powder P having passed through the first supply unit 10 is housed to provide. The volume of the second housing member 21 is preferably smaller than the volume of the first housing member 11 since the second housing member 21 is disposed in an intermediate process in which the powder P is supplied. When the volume of the second housing member 21 is made smaller than the volume of the first housing member 11, the driving force of the second driving device 23 can be made smaller than the driving force of the first driving device 13 Therefore, unnecessary loss of energy can be prevented.

상기한 바와 같은 본 발명의 제1실시예에 따른 분말공급장치는, 제1공급유닛(10)과 제2공급유닛(20)의 사이에 제1공급유닛(10)과 제2공급유닛(20) 사이의 진동전달을 차단하는 방진유닛(30)을 구비함으로써, 분말(P)을 정량으로 일정하게 공급할 수 있는 효과가 있다.The powder supply apparatus according to the first embodiment of the present invention as described above is provided with a first supply unit 10 and a second supply unit 20 The powder P can be constantly supplied in a constant amount.

또한, 본 발명의 제1실시예에 따른 분말공급장치는, 제1수용부재(11)에 진동을 발생시키는 제1구동장치(13)와, 제2수용부재(21)에 진동을 발생시키는 제2구동장치(14)를 구비하고, 제1수용부재(11) 및 제2수용부재(21)에 수용된 분말(P)을 이동시킴으로써, 분말(P)을 이루는 미세 입자들 사이를 서로 분리시킬 수 있고, 이에 따라, 분말(P)을 정량으로 일정하게 공급할 수 있는 효과가 있다.The powder supplying apparatus according to the first embodiment of the present invention includes a first driving device 13 for generating vibration in the first housing member 11 and a second driving device 13 for generating vibration in the second housing member 21 2 drive device 14 and moves the powder P contained in the first housing member 11 and the second housing member 21 to separate the fine particles constituting the powder P from each other Thus, there is an effect that the powder P can be constantly supplied in a constant amount.

이하, 도 6 및 도 7을 참조하여 본 발명의 제2실시예에 따른 분말공급장치에 대하여 설명한다. 전술한 본 발명의 제1실시예에서 설명한 부분과 동일한 부분에 대해서는 동일한 도면부호를 부여하고 이에 대한 상세한 설명은 생략한다.Hereinafter, a powder supplying apparatus according to a second embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 6 and 7. FIG. The same reference numerals are given to the same parts as those described in the first embodiment of the present invention, and a detailed description thereof will be omitted.

도 6에 도시된 바와 같이, 본 발명의 제2실시예에 따른 분말공급장치는, 분말(P)이 공급되는 대상물(40)이 안착되는 스테이지(50)와, 스테이지(50)상에 설치되어 대상물(40)에 공급된 분말(P)의 공급량을 측정하는 측정유닛(60)과, 측정유닛(60)에서 측정된 분말(P)의 공급량으로부터 제1공급유닛(10) 및 제2공급유닛(20)을 제어하는 제어유닛(70)을 포함하여 구성될 수 있다.6, the powder supplying apparatus according to the second embodiment of the present invention includes a stage 50 on which an object 40 to which a powder P is supplied is placed, A measuring unit 60 for measuring the supply amount of the powder P supplied to the object 40 and a measuring unit 60 for measuring the supply amount of the powder P supplied from the measuring unit 60, And a control unit (70) for controlling the control unit (20).

대상물(40)은 실제로 분말(P)이 공급되는 반도체제품이 될 수 있으며, 분말공급장치로부터 공급된 분말(P)을 운반하기 위한 컵 등의 용기가 될 수 있다. 스테이지(50)는 컨베이어 등의 운반장치와 연결될 수 있다.The object 40 may actually be a semiconductor product to which the powder P is supplied and may be a container such as a cup for transporting the powder P supplied from the powder supply device. The stage 50 can be connected to a conveying device such as a conveyor.

측정유닛(60)은, 대상물(40)이 지지되는 스테이지(50)와 연결되어 분말(P)이 공급된 대상물(40)의 무게를 측정하는 무게측정센서를 포함하여 구성될 수 있다. 무게측정센서로는 분말(P)이 공급된 대상물(40)의 하측에 배치되어 가해진 하중에 따른 변형량을 전기신호로 검출하고, 검출된 전기신호를 근거로 가해진 하중을 측정하는 로드셀(load cell)로 구성될 수 있다. 다만, 본 발명은 측정유닛(60)이 로드셀로 구성되는 것에 한정되지 아니하며, 분말(P)이 공급된 대상물(40)의 무게를 측정할 수 있는 기계식, 전기식 또는 전자식 센서 등 다양한 구성이 적용될 수 있다.The measurement unit 60 may be configured to include a weight measurement sensor connected to the stage 50 on which the object 40 is supported to measure the weight of the object 40 to which the powder P is supplied. The weight measuring sensor may be a load cell arranged on the lower side of the object 40 to which the powder P is supplied and detecting a deformation amount according to an applied load as an electric signal and measuring an applied load based on the detected electric signal, ≪ / RTI > However, the present invention is not limited to the case where the measuring unit 60 is composed of a load cell, and various configurations such as a mechanical, electric or electronic sensor capable of measuring the weight of the object 40 to which the powder P is supplied can be applied have.

도 7에 도시된 바와 같이, 제어유닛(70)은 측정유닛(60)에서 측정된 분말(P)이 공급된 대상물(40)의 무게로부터 대상물(40)의 자체의 무게를 감산하고, 감산된 무게로부터 분말(P)의 공급량을 측정할 수 있다. 그리고, 제어유닛(70)은 대상물(40)에 미리 설정된 양으로 분말(P)이 공급된 경우, 제1구동유닛(10)의 제1구동장치(13) 및 제2구동유닛(20)의 제2구동장치(23)의 동작이 중지되도록 제어한다.7, the control unit 70 subtracts the weight of the object 40 itself of the object 40 from the weight of the object 40 supplied with the powder P measured in the measuring unit 60, The supply amount of the powder P can be measured from the weight. When the powder P is supplied in a predetermined amount to the object 40, the control unit 70 controls the first driving unit 13 and the second driving unit 20 of the first driving unit 10, And controls the operation of the second driving device 23 to be stopped.

이와 같이, 본 발명의 제2실시예에 따른 분말공급장치는, 분말(P)의 공급량을 측정하는 측정유닛(60) 및 측정유닛(60)에서 측정한 분말의 공급량을 이용하여, 제1공급유닛(10) 및 제2공급유닛(20)을 제어하는 제어유닛(70)을 구비함으로써, 정확한 양의 분말(P)을 대상물(40)로 공급할 수 있는 효과가 있다.As described above, the powder supplying apparatus according to the second embodiment of the present invention is configured to use the supply amount of the powder measured by the measuring unit 60 for measuring the supply amount of the powder P and the measuring unit 60, It is possible to supply the correct amount of powder P to the object 40 by providing the control unit 70 for controlling the unit 10 and the second supply unit 20. [

10: 제1공급유닛 11: 제1수용부재
12: 제1통로부재 13: 제1구동장치
20: 제2공급유닛 21: 제2수용부재
22: 제2통로부재 23: 제2구동장치
60: 측정유닛 70: 제어유닛10: first supply unit 11: first housing member
12: first passage member 13: first driving device
20: second supply unit 21: second housing member
22: second passage member 23: second driving device
60: Measurement unit 70: Control unit

Claims (7)

분말이 수용되는 제1수용부재와, 상기 제1수용부재의 출구와 연결되는 제1통로부재와, 상기 제1통로부재를 진동시켜 상기 제1수용부재에 수용된 분말을 상기 제1통로부재를 통하여 공급하는 제1구동장치를 포함하는 제1공급유닛;
상기 제1통로부재로부터 공급된 분말이 수용되는 제2수용부재와, 상기 제2수용부재의 출구와 연결되는 제2통로부재와, 상기 제2통로부재를 진동시켜 상기 제2수용부재에 수용된 분말을 상기 제2통로부재를 통하여 공급하는 제2구동장치를 포함하는 제2공급유닛; 및
상기 제1공급유닛과 상기 제2공급유닛 사이에 설치되어 상기 제1공급유닛과 상기 제2공급유닛 사이의 진동전달을 차단하는 방진유닛을 포함하며,
상기 분말은 상기 제1공급유닛 및 상기 제2공급유닛에 의해 순차적으로 공급되는 것을 특징으로 하는 분말공급장치.A first passage member that is connected to an outlet of the first housing member, and a second passage member that vibrates the first passage member to transmit powder contained in the first housing member to the first passage member through the first passage member A first supply unit including a first drive device for supplying the first drive unit;
A second passage member that is connected to an outlet of the second housing member, and a second passage member that vibrates the second passage member to receive the powder contained in the second housing member, And a second drive unit for supplying the second drive unit to the second passage member via the second passage member; And
And a dustproof unit installed between the first supply unit and the second supply unit and interrupting transmission of vibration between the first supply unit and the second supply unit,
Wherein the powder is sequentially supplied by the first supply unit and the second supply unit. 삭제delete 제1항에 있어서,
상기 제1구동장치는,
상기 제1수용부재 및 상기 제1통로부재와 연결되는 이동부재;
상기 이동부재를 분말의 공급방향 및 그 반대방향으로 이동이 가능하게 지지하는 지지부재;
상기 이동부재와 상기 지지부재의 사이를 연결하는 탄성부재;
상기 이동부재와 상기 지지부재의 사이에서 상기 지지부재에 설치되는 고정자; 및
상기 이동부재와 상기 지지부재의 사이에서 상기 고정자에 인접되도록 상기 이동부재에 설치되고, 상기 고정자와의 상호작용에 의하여 상기 고정자에 인접되는 방향 및 상기 고정자로부터 이격되는 방향으로 이동하는 가동자를 포함하는 것을 특징으로 하는 분말공급장치.The method according to claim 1,
The first driving device includes:
A moving member connected to the first housing member and the first passage member;
A support member for supporting the movable member so as to be movable in a powder supply direction and in a direction opposite thereto;
An elastic member connecting between the moving member and the support member;
A stator installed on the supporting member between the moving member and the supporting member; And
And a moving member provided on the moving member so as to be adjacent to the stator between the moving member and the supporting member and moving in a direction adjacent to the stator and in a direction away from the stator by interaction with the stator Wherein the powder feeder is a powder feeder. 삭제delete 제1항에 있어서,
상기 제2구동장치는,
상기 제2수용부재 및 상기 제2통로부재와 연결되는 이동부재;
상기 이동부재를 분말의 공급방향 및 그 반대방향으로 이동이 가능하게 지지하는 지지부재;
상기 이동부재와 상기 지지부재의 사이를 연결하는 탄성부재;
상기 이동부재와 상기 지지부재의 사이에서 상기 지지부재에 설치되는 고정자; 및
상기 이동부재와 상기 지지부재의 사이에서 상기 고정자에 인접되도록 상기 이동부재에 설치되고, 상기 고정자와의 상호작용에 의하여 상기 고정자에 인접되는 방향 및 상기 고정자로부터 이격되는 방향으로 이동하는 가동자를 포함하는 것을 특징으로 하는 분말공급장치.The method according to claim 1,
The second driving device includes:
A moving member connected to the second housing member and the second passage member;
A support member for supporting the movable member so as to be movable in a powder supply direction and in a direction opposite thereto;
An elastic member connecting between the moving member and the support member;
A stator installed on the supporting member between the moving member and the supporting member; And
And a moving member provided on the moving member so as to be adjacent to the stator between the moving member and the supporting member and moving in a direction adjacent to the stator and in a direction away from the stator by interaction with the stator Wherein the powder feeder is a powder feeder. 제1항에 있어서,
상기 제1통로부재 및 상기 제2통로부재의 단면형상은 삼각형, 원형, 다각형의 형상으로 형성되는 것을 특징으로 하는 분말공급장치.The method according to claim 1,
Wherein the cross-sectional shape of the first passage member and the second passage member is formed in a triangular, circular, or polygonal shape. 제1항에 있어서,
분말의 공급량을 측정하는 측정유닛; 및
상기 측정유닛에서 측정한 분말의 공급량을 이용하여, 상기 제1공급유닛 및 상기 제2공급유닛을 제어하는 제어유닛을 더 포함하는 분말공급장치.The method according to claim 1,
A measuring unit for measuring a supply amount of the powder; And
And a control unit for controlling the first supply unit and the second supply unit using the supply amount of the powder measured in the measurement unit.
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JP2006240793A (en) * 2005-03-02 2006-09-14 Shinko Electric Co Ltd Component transfer device

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