KR101758871B1 - Linear Evaporation Deposition Apparatus - Google Patents

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Abstract

본 발명은 선형 증발 증착 장치를 제공한다. 이 선형 증발 증착 장치는 진공 용기; 제1 방향으로 연장되고 상기 진공 용기 내부에 배치되고 증착 물질을 수납하는 도전성 도가니; 상기 도전성 도가니 내부에 배치되고 상기 증착 물질과 접촉 면적을 증가시키는 도전성 격벽; 상기 도전성 도가니에 장착되고 복수의 관통 노즐들을 포함하는 노즐 블록; 상기 도전성 도가니를 감싸도록 배치되어 상기 도전성 도가니를 유도 가열하는 도전성 도가니 유도 가열 코일; 및 상기 노즐 블록을 감싸도록 배치되어 상기 노즐 블록을 유도 가열하는 노즐 블록 유도 가열 코일;을 포함한다. 상기 도전성 격벽은 상기 도전성 도가니의 하부면 및 측면에 접촉하도록 배치되어 상기 증착 물질을 공간적으로 분리하고, 상기 도전성 격벽의 상부 공간은 서로 연결되고, 상기 관통 노즐들은 상기 제1 방향에 수직한 제2 방향으로 연장된다.The present invention provides a linear evaporation deposition apparatus. This linear evaporation deposition apparatus includes a vacuum container; A conductive crucible that extends in a first direction and is disposed inside the vacuum container and accommodates a deposition material; A conductive partition wall disposed inside the conductive crucible and increasing a contact area with the deposition material; A nozzle block mounted on the conductive crucible and including a plurality of through nozzles; A conductive crucible induction heating coil disposed to surround the conductive crucible to induction-heat the conductive crucible; And a nozzle block induction heating coil arranged to surround the nozzle block to induction-heat the nozzle block. Wherein the conductive partition walls are disposed so as to be in contact with a lower surface and a side surface of the conductive crucible to spatially separate the deposition material and the upper spaces of the conductive partition walls are connected to each other, Lt; / RTI >

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Figure 112016126284510-pat00004

Description

선형 증발 증착 장치{Linear Evaporation Deposition Apparatus}[0001] Linear Evaporation Deposition Apparatus [0002]

본 발명은 선형 증발 증착 장치에 관한 것으로, 더 구체적으로, 유도 가열 선형 증발 증착 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a linear evaporation deposition apparatus, and more particularly, to an induction heating linear evaporation deposition apparatus.

유기 발광 다이오드(OLED: Organic Light Emitting Diode)를 제작하는데 있어서, 유기박막을 형성하는 공정 및 도전체 박막 형성 공정이 요구되고, 이러한 박막 형성 공정은 증발 증착이 주로 사용된다.In fabricating an organic light emitting diode (OLED), a process for forming an organic thin film and a process for forming a conductive thin film are required, and evaporation deposition is mainly used for such a thin film forming process.

유기 박막은 저분자 유기 물질을 담은 도가니를 감싼 열선에 전류를 흘려 가열하고 도가니에 전달된 열이 도가니 내의 유기물질의 온도를 상승시키며 유기물질의 온도가 상승됨에 따라 유기물질이 기체의 형태로 도가니를 빠져나가 기판에 증착되는 방식으로 주로 만들어진다. 이러한 열 증착법에 의한 유기 박막의 제작에는 대부분 점 증발원을 사용해왔다.The organic thin film is heated by flowing electric current to the hot wire wrapping the crucible containing the low molecular organic material, and the heat transferred to the crucible raises the temperature of the organic material in the crucible. As the temperature of the organic material increases, the organic material forms a crucible And is deposited mainly on the substrate. Most of the evaporation sources have been used for the production of organic thin films by such thermal evaporation method.

점 증발원은 기판에 유기물질이 증착됨에 있어 점 증발원에 가까운 기판 부분은 두껍게 박막이 형성되고 먼 기판 부분은 얇게 형성되어 박막이 균일하게 만들어지지 못한다. 따라서, 기판 중심으로부터 먼 곳에 점 증발원을 설치하고 기판을 회전하는 방법을 사용한다. 하지만 이 경우, 증착 챔버의 크기가 커지고 기판을 잡고 회전해야 하며 박막의 균일성도 원하는 만큼 얻지 못하고 있다. 그리고 점 증발원의 용량이 작고 기판 중심에서 먼 곳에 설치되기 때문에 점 증발원으로부터 분출된 유기물질 기체의 대부분은 기판이 아닌 증착 챔버에 증착되어 유기물 사용의 효율성이 현저히 떨어지게 되므로 잦은 유기 물질의 재충전이 필요하거나 증착 챔버에 다수의 점 증발원을 넣어 복잡한 제어를 통해 돌려가며 사용하는 등의 문제가 있다. 게다가 대면적 기판의 경우, 이들 문제가 더욱 심해진다.The point evaporation source is an organic material deposited on the substrate. The point near the evaporation source is thick, and the farther substrate is thin, so that the thin film can not be uniformly formed. Therefore, a point evaporation source is provided at a position far from the center of the substrate and a method of rotating the substrate is used. In this case, however, the size of the deposition chamber is increased, the substrate must be held and rotated, and the uniformity of the thin film is not obtained as desired. Since the point evaporation source is installed at a small distance from the center of the substrate, most of the organic material gas ejected from the point evaporation source is deposited in the deposition chamber rather than on the substrate, and the efficiency of using the organic material is remarkably decreased. There is a problem that a plurality of point evaporation sources are placed in the deposition chamber and are used by being rotated by complicated control. In addition, in the case of a large-area substrate, these problems become more serious.

증발원은 분사 홀의 개수 및/또는 배열 등에 따라서 점 소스(point source), 선형 증발원(linear source), 면 증발원(area source) 등으로 구분될 수 있다. 최근에는 기판이 대면적화 됨에 따라서 점 소스보다는 선형 증발원이 주목을 받고 있으며, 선형 증발원의 길이는 점차 증가하고 있다. 선형 증발원은 점 소스에 비하여 증착 재료의 효율이 높을 뿐만 아니라 높은 증착 속도의 구현이 가능하기 때문이다. 다만, 선형 증발원은 통상적으로 증발원을 좌우 또는 상하로 스캔하기 위한 스캔 수단이 필요하다. 그리고 선형 증발원은 증착 온도 및 증착 속도의 제어가 어려울 뿐만 아니라 증착 균일성을 얻기가 어려운 단점이 있다. 특히, 대면적의 기판에 대응할 수 있도록 선형 증발원의 길이가 길어질수록 전체적으로 증착 균일성을 달성하기가 더욱 어려워진다. The evaporation source may be classified into a point source, a linear source, and an area source depending on the number and / or arrangement of the injection holes. In recent years, linear evaporation sources have attracted more attention than point sources due to the large-sized substrates, and the length of linear evaporation sources is gradually increasing. The linear evaporation source not only has higher deposition efficiency but also higher deposition rate than the point source. However, a linear evaporation source usually needs a scanning means for scanning the evaporation source left or right or up and down. In the linear evaporation source, it is difficult to control the deposition temperature and the deposition rate, and it is difficult to obtain the uniformity of the deposition. In particular, as the length of the linear evaporation source becomes longer so as to be able to cope with a large-sized substrate, it becomes more difficult to attain uniform deposition uniformity as a whole.

또한, 점증발원이나 선형 증발원의 교체시에는 고진공의 진공 챔버에서 이루어져야 하므로, 교체 후 다시 고진공으로 배기할 때까지 상당한 시간을 필요로 하게 되어 불합리한 점이 있게 된다. 또한, 점 증발원 또는 선형 증발원 증착 물질을 대량의 수납하는 경우, 증착 물질은 열에 의하여 변성될 수 있다. 빈번한 증착 물질의 교체는 경제적으로 비효율적이다. 따라서, 대용량의 유기물을 수납하고, 유기물 증착을 위한 새로운 구조의 선형 증발 장치가 요구된다. In addition, when the incremental source or the linear evaporation source is replaced, it takes a considerable time until the vacuum is exhausted to the high vacuum after the replacement because the vacuum chamber must be made in a high vacuum. Further, when a spot evaporation source or a linear evaporation source evaporation material is contained in a large amount, the evaporation material can be denatured by heat. Frequent replacement of the deposited material is economically ineffective. Therefore, there is a demand for a linear evaporation apparatus of a new structure for storing a large amount of organic substances and for depositing organic substances.

고증착율을 구현하기 위하여, 대면적 유도 가열 선형 증발 증착 장치는 새로운 도가니 구조가 요구된다.In order to realize a high deposition rate, a large area induction heating linear evaporation apparatus requires a new crucible structure.

본 발명의 해결하고자 하는 일 기술적 과제는 높은 증착률을 제공하는 유도 가열 선형 증발 증착 장치를 제공하는 것이다.SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to provide an induction heating linear evaporation deposition apparatus which provides a high deposition rate.

본 발명의 해결하고자 하는 일 기술적 과제는 높은 직진성을 가지고 대면적 기판을 균일하게 증착할 수 있는 유도 가열 선형 증발 증착 장치를 제공하는 것이다.SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to provide an induction heating linear evaporation deposition apparatus capable of uniformly depositing a large area substrate with high linearity.

본 발명의 해결하고자 하는 일 기술적 과제는 증착막의 균일도를 향상시킴과 동시에 유기 물질의 사용의 효율성을 향상시키기 위한 유기 발광 소자 박막 제작을 위한 선형 증발 장치를 제공하는 것이다.SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to provide a linear evaporation apparatus for manufacturing a thin film of an organic light emitting device for improving the uniformity of a deposited film and improving the efficiency of use of an organic material.

본 발명의 해결하고자 하는 일 기술적 과제는 유도 가열 구조 및 블록 형태의 노즐 구조를 채용하여 유도 가열 및 온도 제어가 용이한 유기 발광 소자 박막 제작을 위한 선형 증발 장치를 제공하는 것이다.SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to provide a linear evaporation apparatus for manufacturing a thin film of an organic light emitting device which employs an induction heating structure and a block type nozzle structure to facilitate induction heating and temperature control.

본 발명의 일 실시예에 따른 선형 증발 증착 장치는 진공 용기; 제1 방향으로 연장되고 상기 진공 용기 내부에 배치되고 증착 물질을 수납하는 도전성 도가니; 상기 도전성 도가니 내부에 배치되고 상기 증착 물질과 접촉 면적을 증가시키는 도전성 격벽; 상기 도전성 도가니에 장착되고 복수의 관통 노즐들을 포함하는 노즐 블록; 상기 도전성 도가니를 감싸도록 배치되어 상기 도전성 도가니를 유도 가열하는 도전성 도가니 유도 가열 코일; 및 상기 노즐 블록을 감싸도록 배치되어 상기 노즐 블록을 유도 가열하는 노즐 블록 유도 가열 코일;을 포함한다. 상기 도전성 격벽은 상기 도전성 도가니의 하부면 및 측면에 접촉하도록 배치되어 상기 증착 물질을 공간적으로 분리하고, 상기 도전성 격벽의 상부 공간은 서로 연결되고, 상기 관통 노즐들은 상기 제1 방향에 수직한 제2 방향으로 연장된다.A linear evaporation apparatus according to an embodiment of the present invention includes a vacuum container; A conductive crucible that extends in a first direction and is disposed inside the vacuum container and accommodates a deposition material; A conductive partition wall disposed inside the conductive crucible and increasing a contact area with the deposition material; A nozzle block mounted on the conductive crucible and including a plurality of through nozzles; A conductive crucible induction heating coil disposed to surround the conductive crucible to induction-heat the conductive crucible; And a nozzle block induction heating coil arranged to surround the nozzle block to induction-heat the nozzle block. Wherein the conductive partition walls are disposed so as to be in contact with a lower surface and a side surface of the conductive crucible to spatially separate the deposition material and the upper spaces of the conductive partition walls are connected to each other, Lt; / RTI >

본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 도전성 격벽은 매트릭스 구조 또는 벌집 구조일 수 있다.In one embodiment of the present invention, the conductive partition wall may have a matrix structure or a honeycomb structure.

본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 노즐 블록은 중력 방향에 반대로 증기를 토출할 수 있다.In an embodiment of the present invention, the nozzle block may discharge steam in the direction opposite to the direction of gravity.

본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 노즐 블록은 상기 도전성 도가니의 상부 측면에 배치되고, 상기 노즐 블록은 중력 방향에 수직하게 증기를 토출할 수 있다.In one embodiment of the present invention, the nozzle block is disposed on the upper side of the conductive crucible, and the nozzle block can discharge the vapor perpendicular to the gravity direction.

본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 노즐 블록은 상기 도전성 도가니의 내부로 삽입되고, 상기 노즐 블록은 중력 방향에 반대로 증기를 토출할 수 있다.In one embodiment of the present invention, the nozzle block is inserted into the conductive crucible, and the nozzle block can discharge steam in the direction opposite to the gravity direction.

본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 도전성 도가니는 상기 제1 방향 및 제2 방향에 수직한 제3 방향으로 이격되어 상기 노즐 블록과 나란히 연장되고, 상기 도전성 도가니와 상기 노즐 블록을 연결하는 연결 블록을 더 포함하고, 상기 노즐 블록은 중력 방향으로 증기를 토출할 수 있다.In one embodiment of the present invention, the conductive crucible is spaced apart in a third direction perpendicular to the first direction and the second direction and extends in parallel with the nozzle block, and a connection block connecting the conductive crucible and the nozzle block Wherein the nozzle block is capable of ejecting steam in a gravitational direction.

본 발명의 일 실시예에 따른 선형 증발 증착 장치는 진공 용기; 제1 방향으로 연장되고 상기 진공 용기 내부에 배치되고 증착 물질을 수납하는 도전성 도가니; 제1 방향으로 연장되고 상기 도전성 도가니 내부에 배치되고 상기 증착 물질의 상부면을 감싸도록 배치되는 증착 물질 덮개부; 상기 도전성 도가니에 장착되고 복수의 관통 노즐들을 포함하는 노즐 블록; 상기 도전성 도가니를 감싸도록 배치되어 상기 도전성 도가니를 유도 가열하는 도전성 도가니 유도 가열 코일; 및 상기 노즐 블록을 감싸도록 배치되어 상기 노즐 블록을 유도 가열하는 노즐 블록 유도 가열 코일;을 포함한다. 상기 관통 노즐들은 상기 제1 방향에 수직한 제2 방향으로 연장된다.A linear evaporation apparatus according to an embodiment of the present invention includes a vacuum container; A conductive crucible that extends in a first direction and is disposed inside the vacuum container and accommodates a deposition material; A deposition material cover extending in a first direction and disposed inside the conductive crucible and disposed to surround an upper surface of the deposition material; A nozzle block mounted on the conductive crucible and including a plurality of through nozzles; A conductive crucible induction heating coil disposed to surround the conductive crucible to induction-heat the conductive crucible; And a nozzle block induction heating coil arranged to surround the nozzle block to induction-heat the nozzle block. The through nozzles extend in a second direction perpendicular to the first direction.

본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 도전성 도가니의 내부 측면에 복수의 걸림턱을 포함하고, 상기 증착 물질 덮개부는 상기 걸림턱에 고정되고, 상기 증착 물질 덮개부는 일면이 개방된 삼각통, 제1 방향으로 원주의 일부가 개방된 원통, "U"자 형태의 통일 수 있다.In one embodiment of the present invention, the conductive crucible includes a plurality of engagement protrusions on an inner side surface thereof, the deposition material cover part is fixed to the engagement protrusion, and the deposition material cover part has a first A cylinder with a part of the circumference open, and a "U" shape.

본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 도전성 도가니의 모서리에 배치된 복수의 증착 물질 덮개 가이드를 포함하고, 상기 증착 물질 덮개부의 모서리는 상기 증착 물질 덮개 가이드를 따라 이동할 수 있다.In one embodiment of the present invention, a plurality of evaporation material cover guides disposed at corners of the conductive crucible may be disposed, and the edges of the evaporation material cover may be moved along the evaporation material cover guide.

본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 증착 물질 덮개부는 판형이고, 상기 증착 물질 덮개부는 상기 증착 물질 덮개부의 모서리에 고정된 수직 운동 가이드를 포함하고, 상기 수직 운동 가이드는 상기 도전성 도가니의 모서리를 따라 이동할 수 있다.In an embodiment of the present invention, the evaporation material lid is plate-shaped, and the evaporation material lid includes a vertical motion guide fixed to an edge of the evaporation material lid, and the vertical motion guide is formed along the edge of the conductive crucible Can be moved.

본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 도전성 도가니의 내부 측면에 복수의 걸림턱을 포함하고, 상기 증착 물질 덮개부는 상기 걸림턱에 결합하고, 상기 증착 물질 덮개부는 일면이 개방된 삼각통, 제1 방향으로 원주의 일부가 개방된 원통, "U"자 형태의 통이고, 스페이서는 상기 증착 물질 덮개부의 측면과 상기 도전성 도가니의 내측면 사이에 삽입되어 틈을 생성할 수 있다.In one embodiment of the present invention, the conductive crucible includes a plurality of engagement protrusions on the inner side surface thereof, the deposition material cover part is coupled to the engagement protrusion, and the deposition material cover part has a triangular opening, Quot; U "-shaped cylinder with a portion of the circumference being open, and a spacer may be inserted between the side of the deposition material lid and the inner side of the conductive crucible to create a gap.

본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 노즐 블록은 중력 방향에 반대로 증기를 토출할 수 있다.In an embodiment of the present invention, the nozzle block may discharge steam in the direction opposite to the direction of gravity.

본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 노즐 블록은 상기 도전성 도가니의 상부 측면에 배치되고, 상기 노즐 블록은 중력 방향에 수직하게 증기를 토출할 수 있다.In one embodiment of the present invention, the nozzle block is disposed on the upper side of the conductive crucible, and the nozzle block can discharge the vapor perpendicular to the gravity direction.

본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 노즐 블록은 상기 도전성 도가니의 내부로 삽입되고, 상기 노즐 블록은 중력 방향에 반대로 증기를 토출할 수 있다.In one embodiment of the present invention, the nozzle block is inserted into the conductive crucible, and the nozzle block can discharge steam in the direction opposite to the gravity direction.

본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 도전성 도가니는 상기 제1 방향 및 제2 방향에 수직한 제3 방향으로 이격되어 상기 노즐 블록과 나란히 연장되고, 상기 도전성 도가니와 상기 노즐 블록을 연결하는 연결 블록을 더 포함하고, 상기 노즐 블록은 중력 방향으로 증기를 토출할 수 있다.In one embodiment of the present invention, the conductive crucible is spaced apart in a third direction perpendicular to the first direction and the second direction and extends in parallel with the nozzle block, and a connection block connecting the conductive crucible and the nozzle block Wherein the nozzle block is capable of ejecting steam in a gravitational direction.

본 발명의 일 실시예에 따른 선형 증발 증착 장치는 높은 증착률의 박막을 제공할 수 있다.The linear evaporation apparatus according to an embodiment of the present invention can provide a thin film having a high deposition rate.

본 발명의 일 실시예에 따른 선형 증발 증착 장치는 증기의 재증착을 억제하여 증착 물질의 변성을 억제할 수 있다.The linear evaporation deposition apparatus according to an embodiment of the present invention can suppress the redeposition of the vapor and suppress the denaturation of the evaporation material.

도 1a는 본 발명의 일 실시예에 따른 선형 증발 증착 장치를 나타내는 사시도이다.
도 1b는 도 1a의 선형 증발 증착 장치를 길이 방향으로 자른 단면도이다.
도 1c는 도 1a의 선형 증발 증착 장치를 폭 방향으로 자른 단면도이다.
도 1d는 도 1a의 도전성 도가니와 노즐 블록을 나타내는 분해 사시도이다.
도 1e는 도 1d의 길이 방향으로 자른 단면도이다.
도 2a는 본 발명의 다른 실시예에 따른 도전성 도가니를 설명하는 평면도이다.
도 2b는 도 2a의 A-A' 선을 따라 자른 단면도이다.
도 2c는 도 2a의 B-B' 선을 따라 자른 단면도이다.
도 3a는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 선형 증발 증착 장치를 설명하는 사시도이다.
도 3b는 도 3a의 도전성 도가니의 평면도이다.
도 3c는 도 3b의 C-C' 선을 따라 자른 단면도이다.
도 3d는 도 3b의 D-D' 선을 따라 자른 단면도이다.
도 3e 도 3b의 E-E'선을 따라 자른 단면도이다.
도 4a는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 선형 증발 증착 장치를 설명하는 사시도이다.
도 4b는 도 4a의 도전성 도가니의 평면도이다.
도 4c는 도 4b의 F-F' 선을 따라 자른 단면도이다.
도 4d는 도 4b의 G-G' 선을 따라 자른 단면도이다.
도 4e 도 4b의 H-H'선을 따라 자른 단면도이다.
도 5a는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 선형 증발 증착 장치를 설명하는 사시도이다.
도 5b는 도 5a의 도전성 도가니의 평면도이다.
도 5c는 도 5b의 I-I' 선을 따라 자른 단면도이다.
도 5d는 도 5b의 J-J' 선을 따라 자른 단면도이다.
도 5e 도 5b의 K-K'선을 따라 자른 단면도이다.
도 6a는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 도전성 도가니의 평면도이다.
도 6b는 도 6a의 L-L' 선을 따라 자른 단면도이다.
도 6c는 도 6a의 M-M' 선을 따라 자른 단면도이다.
도 6d는 도 6a의 N-N' 선을 따라 자른 단면도이다.
도 7a는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 도전성 도가니의 평면도이다.
도 7b는 도 7a의 O-O' 선을 따라 자른 단면도이다.
도 7c는 도 7a의 P-P' 선을 따라 자른 단면도이다.
도 7d는 도 7a의 Q-Q' 선을 따라 자른 단면도이다.
도 7e는 도 7a의 R-R' 선을 따라 자른 단면도이다.
도 8a는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 측향식 선형 증발 증착 장치를 설명하는 사시도이다.
도 8b는 도 8a의 선형 증발 증착 장치의 폭 방향의 단면도이다.
도 9a는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 상향식 선형 증발 증착 장치를 설명하는 사시도이다.
도 9b는 도 9a의 선형 증발 증착 장치의 폭 방향의 단면도이다.
도 10a는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 하향식 선형 증발 증착 장치를 설명하는 사시도이다.
도 10b는 도 10a의 선형 증발 증착 장치의 폭 방향의 단면도이다.1A is a perspective view illustrating a linear evaporation deposition apparatus according to an embodiment of the present invention.
1B is a longitudinal sectional view of the linear evaporation deposition apparatus of FIG. 1A.
1C is a cross-sectional view of the linear evaporation deposition apparatus of FIG. 1A cut in the width direction.
1D is an exploded perspective view showing the conductive crucible and the nozzle block of FIG. 1A.
Fig. 1E is a sectional view taken along the longitudinal direction of Fig. 1D.
2A is a plan view illustrating a conductive crucible according to another embodiment of the present invention.
FIG. 2B is a cross-sectional view taken along line AA 'of FIG. 2A.
2C is a cross-sectional view taken along line BB 'of FIG. 2A.
3A is a perspective view illustrating a linear evaporation apparatus according to another embodiment of the present invention.
3B is a plan view of the conductive crucible of FIG. 3A.
3C is a cross-sectional view taken along line CC 'of FIG. 3B.
And FIG. 3D is a sectional view taken along line DD 'of FIG. 3B.
3E is a cross-sectional view taken along line E-E 'of FIG. 3B.
4A is a perspective view illustrating a linear evaporation deposition apparatus according to another embodiment of the present invention.
4B is a plan view of the conductive crucible of FIG. 4A.
4C is a cross-sectional view taken along the line FF 'in FIG. 4B.
4D is a cross-sectional view taken along line GG 'of FIG. 4B.
4E is a cross-sectional view taken along line H-H 'in FIG. 4B.
5A is a perspective view illustrating a linear evaporation apparatus according to another embodiment of the present invention.
5B is a plan view of the conductive crucible of FIG. 5A.
5C is a cross-sectional view taken along the line II 'of FIG. 5B.
5D is a cross-sectional view taken along the line JJ 'in FIG. 5B.
5E is a cross-sectional view taken along line K-K 'in FIG. 5B.
6A is a plan view of a conductive crucible according to another embodiment of the present invention.
6B is a cross-sectional view taken along the line LL 'in FIG. 6A.
6C is a cross-sectional view taken along the line MM 'in FIG. 6A.
6D is a cross-sectional view taken along line NN 'of FIG. 6A.
7A is a plan view of a conductive crucible according to another embodiment of the present invention.
7B is a cross-sectional view taken along the line OO 'in FIG. 7A.
7C is a cross-sectional view taken along the line PP 'in FIG. 7A.
7D is a cross-sectional view taken along the line QQ 'in FIG. 7A.
FIG. 7E is a cross-sectional view taken along the line RR 'in FIG. 7A. FIG.
8A is a perspective view illustrating a lateral type linear evaporation deposition apparatus according to another embodiment of the present invention.
8B is a cross-sectional view in the width direction of the linear evaporation deposition apparatus of FIG. 8A.
9A is a perspective view illustrating a bottom-up linear evaporation deposition apparatus according to another embodiment of the present invention.
FIG. 9B is a cross-sectional view in the width direction of the linear evaporation deposition apparatus of FIG. 9A. FIG.
10A is a perspective view illustrating a top-down linear evaporation apparatus according to another embodiment of the present invention.
10B is a cross-sectional view in the width direction of the linear evaporation deposition apparatus of Fig. 10A.

유기 발광 다이오드(organic light-emitting diode; OLED)는 대면적 TV와 같은 표시 소자로 사용되고 있다. 이러한, 대면적 표시 소자 기판의 크기는 수 미터 정도이다. 이러한 대면적 표시 소자 기판에 유기 박막 또는 도전성 박막을 증착하기 위하여 선형 증발 증착 장치가 요구된다.Organic light-emitting diodes (OLEDs) are used as display devices such as large-area TVs. The size of such large-area display element substrate is about several meters. In order to deposit an organic thin film or a conductive thin film on such a large area display element substrate, a linear evaporation deposition apparatus is required.

선형 증발 증착 장치가 유도 가열 코일을 사용하는 경우, 유도 전기장은 도전성 도가니 내부로 침투하여 내부의 도전체를 가열할 수 있다. 한편, 증착 물질은 가열된 도전체로부터 열을 전달받아 증기로 변환된다. When the linear evaporation apparatus uses an induction heating coil, the induction electric field can penetrate into the conductive crucible and heat the conductor inside. On the other hand, the evaporation material is converted into steam by receiving heat from the heated conductor.

도전성 도가니가 박스 형태이고, 내부에 증착 물질이 상기 도전성 도가니 내부에 수납되는 경우, 증착 물질은 박스 형태의 도전성 도가니의 내벽으로부터 열을 전달받아 증기화된다. 유도 가열 방식에서, 고증착률을 달성하기 위하여, 상기 증착 물질과 접촉하는 도전체의 면적이 증가되는 것이 요구된다. 이를 위하여, 상기 도전성 도가니의 내부에 도전성 격벽이 배치된다. 상기 도전성 격벽은 상기 유도 가열 코일에 의하여 상기 도전성 도가니와 동시에 직접 가열될 수 있다. 이에 따라, 증착 물질의 증발률이 증가함에 따라, 관통 노즐을 통하여 토출되는 증기량이 증가할 수 있다.When the conductive crucible is in the form of a box and the deposition material is stored inside the conductive crucible, the deposition material is vaporized by receiving heat from the inner wall of the box-shaped conductive crucible. In the induction heating system, in order to achieve a high deposition rate, it is required that the area of the conductor in contact with the deposition material is increased. For this purpose, a conductive partition wall is disposed inside the conductive crucible. The conductive partition wall may be directly heated simultaneously with the conductive crucible by the induction heating coil. Accordingly, as the evaporation rate of the evaporation material increases, the amount of vapor discharged through the through-hole nozzle may increase.

한편, 증착 물질은 상기 도전성 도가니 내부에 증발된 후 상기 증착 물질의 상부면에 다시 증착될 수 있다. 이에 따라, 상기 다시 증착된 증착 물질은 열에 의하여 변성될 수 있다. 따라서, 상기 증기의 재층착(re-deposition)을 억제하는 방법이 요구된다. 본 발명의 일 실시예에 따른 선형 증발 증착 장치는 상기 증착 물질을 덮는 증착 물질 덮개부를 포함한다. 증기는 상기 증착 물질 덮개부와 상기 도전성 도가니 사이의 측면 공간을 통하여 이동하므로, 상기 증기는 상기 증착 물질에 재증착을 억제할 수 있다.On the other hand, the deposition material may be evaporated in the conductive crucible and then deposited again on the upper surface of the deposition material. Accordingly, the re-deposited evaporation material can be denatured by heat. Therefore, a method for suppressing the re-deposition of the vapor is required. A linear evaporation apparatus according to an embodiment of the present invention includes a deposition material covering part covering the deposition material. As the vapor moves through the side space between the deposition material lid and the conductive crucible, the vapor can suppress redeposition of the deposition material.

이하, 첨부한 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예들을 상세히 설명하기로 한다. 그러나, 본 발명은 여기서 설명되어지는 실시예들에 한정되지 않고 다른 형태로 구체화될 수도 있다. 오히려, 여기서 소개되는 실시예는 개시된 내용이 철저하고 완전해질 수 있도록 그리고 당업자에게 본 발명의 사상이 충분히 전달될 수 있도록 하기 위해 제공되어지는 것이다. 도면들에 있어서, 구성요소는 명확성을 기하기 위하여 과장되어진 것이다. 명세서 전체에 걸쳐서 동일한 참조번호로 표시된 부분들은 동일한 구성요소들을 나타낸다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. However, the present invention is not limited to the embodiments described herein but may be embodied in other forms. Rather, the embodiments disclosed herein are being provided so that this disclosure will be thorough and complete, and will fully convey the concept of the invention to those skilled in the art. In the drawings, the components have been exaggerated for clarity. Like numbers refer to like elements throughout the specification.

도 1a는 본 발명의 일 실시예에 따른 선형 증발 증착 장치를 나타내는 사시도이다.1A is a perspective view illustrating a linear evaporation deposition apparatus according to an embodiment of the present invention.

도 1b는 도 1a의 선형 증발 증착 장치를 길이 방향으로 자른 단면도이다.1B is a longitudinal sectional view of the linear evaporation deposition apparatus of FIG. 1A.

도 1c는 도 1a의 선형 증발 증착 장치를 폭 방향으로 자른 단면도이다.1C is a cross-sectional view of the linear evaporation deposition apparatus of FIG. 1A cut in the width direction.

도 1d는 도 1a의 도전성 도가니와 노즐 블록을 나타내는 분해 사시도이다.1D is an exploded perspective view showing the conductive crucible and the nozzle block of FIG. 1A.

도 1e는 도 1d의 길이 방향으로 자른 단면도이다.Fig. 1E is a sectional view taken along the longitudinal direction of Fig. 1D.

도 1a 내지 도 1e를 참조하면, 상기 선형 증발 증착 장치(100)는 진공 용기(144); 제1 방향으로 연장되고 상기 진공 용기(144) 내부에 배치되고 증착 물질을 수납하는 도전성 도가니(160); 상기 도전성 도가니(160) 내부에 배치되고 상기 증착 물질과 접촉 면적을 증가시키는 도전성 격벽(161); 상기 도전성 도가니(160)에 장착되고 복수의 관통 노즐들을 포함하는 노즐 블록(120); 상기 도전성 도가니를 감싸도록 배치되어 상기 도전성 도가니(160)를 유도 가열하는 도전성 도가니 유도 가열 코일(134); 및 상기 노즐 블록을 감싸도록 배치되어 상기 노즐 블록(120)을 유도 가열하는 노즐 블록 유도 가열 코일(132);을 포함한다. 상기 도전성 격벽(161)은 상기 도전성 도가니(160)의 하부면 및 측면에 접촉하도록 배치되어 상기 증착 물질(10)을 공간적으로 분리한다. 상기 도전성 격벽(161)의 상부 공간은 서로 연결되고, 상기 관통 노즐들(122)은 상기 제1 방향에 수직한 제2 방향으로 연장된다.Referring to FIGS. 1A to 1E, the linear evaporation deposition apparatus 100 includes a vacuum container 144; A conductive crucible 160 extending in a first direction and disposed within the vacuum vessel 144 and containing deposition material; A conductive partition 161 disposed inside the conductive crucible 160 and increasing a contact area with the deposition material; A nozzle block (120) mounted on the conductive crucible (160) and including a plurality of through nozzles; A conductive crucible induction heating coil 134 arranged to surround the conductive crucible and induction-heating the conductive crucible 160; And a nozzle block induction heating coil (132) arranged to surround the nozzle block and induction heating the nozzle block (120). The conductive barrier ribs 161 are disposed in contact with the lower surface and side surfaces of the conductive crucible 160 to spatially separate the deposition material 10. The upper spaces of the conductive partition walls 161 are connected to each other, and the penetration nozzles 122 extend in a second direction perpendicular to the first direction.

선형 증발 증착 장치(100)는 도전성 도가니(160), 노즐 블록(120), 노즐 블록 유도 가열 코일(132), 도전성 도가니 유도 가열 코일 유도 가열 코일(134), 및 교류 전원(136)을 포함한다. 상기 도전성 도가니(160)는 제1 방향(x축 방향)으로 연장되고 진공 용기(144)의 내부에 배치되고 증착 물질 수납 공간(160a) 내에 분말 형태의 증착 물질을 수납하고 상기 증착 물질(10)을 가열하여 증기를 생성한다. 상기 노즐 블록(120)은 상기 진공 용기의 내부에서 상기 제1 방향을 따라 일정한 길이, 상기 제1 방향에 수직한 제2 방향(y축 방향)으로 일정한 높이, 및 상기 제1 방향 및 상기 제2 방향에 수직한 제3 방향(z축 방향)으로 일정한 폭을 가지는 직육면체 형상이고, 복수의 관통 노즐을 포함하고, 상기 도전성 도가니(160)에 장착되고, 그리고 도전체 재질로 형성된다. 상기 노즐 블록 유도 가열 코일(132)은 상기 진공 용기(144)의 내부에서 상기 노즐 블록(120)을 감싸도록 배치되고 상기 노즐 블록(120)을 가열한다. 상기 도전성 도가니 유도 가열 코일(134)은 상기 진공 용기(144)의 내부에서 상기 도전성 도가니(160)을 감싸도록 배치되고 상기 도전성 도가니(160)를 가열한다The linear evaporation deposition apparatus 100 includes a conductive crucible 160, a nozzle block 120, a nozzle block induction heating coil 132, a conductive crucible induction heating coil induction heating coil 134, and an AC power source 136 . The conductive crucible 160 extends in a first direction (x-axis direction) and is disposed inside the vacuum container 144. The conductive crucible 160 receives powdery deposition material in the deposition material storage space 160a, To generate steam. The nozzle block 120 has a predetermined length along the first direction and a predetermined height in a second direction (y-axis direction) perpendicular to the first direction within the vacuum container, (Z-axis direction) perpendicular to the first direction, and includes a plurality of through nozzles, is mounted on the conductive crucible 160, and is formed of a conductive material. The nozzle block induction heating coil 132 is disposed to surround the nozzle block 120 inside the vacuum container 144 and heats the nozzle block 120. The conductive crucible induction heating coil 134 is disposed inside the vacuum vessel 144 so as to surround the conductive crucible 160 and heats the conductive crucible 160

상기 교류 전원(138)은 도전성 도가니 유도 가열 코일 및/또는 노즐 블록 유도 가열 코일(132)에 교류 전력을 제공한다. 상기 복수의 관통 노즐(122)은 상기 도전성 도가니의 증착 물질 수납 공간(160a)과 서로 연통되고 상기 제2 방향(y축 방향)을 따라 각각 형성되고 상기 제1 방향으로 이격되어 서로 나란히 배치되고, 상기 증착 물질 수납 공간의 증기를 토출한다.The AC power supply 138 provides AC power to the conductive crucible induction heating coil and / or the nozzle block induction heating coil 132. The plurality of through nozzles 122 are disposed in parallel with the deposition space 160a of the conductive crucible and are formed along the second direction (y-axis direction) and are spaced apart from each other in the first direction, The vapor in the deposition material storage space is discharged.

증착 물질(10)은 유기 발광 다이오드에 사용되는 유기 물질일 수 있다. 구체적으로, 상기 유기 물질은 Tris(8-hydroxyquinolinato) aluminium (Al(C9H6NO)3)를 포함할 수 있다. 상기 유기 물질(10)은 상온에서 분말 형태의 고체이고, 상기 유기 물질은 섭씨 300도 근처에서 승화 또는 증발될 수 있다. 상기 도전성 도가니(160)가 대용량의 증착 물질을 수납하도록 사용될 수 있다. The deposition material 10 may be an organic material used in an organic light emitting diode. Specifically, the organic material may include Tris (8-hydroxyquinolinato) aluminum (Al (C9H6NO) 3). The organic material 10 is a solid in the form of a powder at room temperature, and the organic material can be sublimed or evaporated near 300 degrees centigrade. The conductive crucible 160 may be used to store a large amount of evaporation material.

종래의 선형 증발 증착 장치에서, 도가니는 증착 물질을 수납하고 가열한다. 선형 노즐들은 상기 도가니에 직접 연통된다. 이 경우, 상기 도가니가 위치에 따른 온도 분포를 가지는 경우, 국부적으로 온도가 높은 특정 위치의 증착 물질은 빨리 소모되고, 소모된 영역에서 압력이 감소한다. 불균일한 온도 분포 또는 압력 분포는 균일한 증착을 저해한다. 특히, 종래의 도가니의 가열 수단은 저항성 열선을 사용하고, 상기 저항성 열선은 도가니와의 접촉 상태에 따라 공간적인 온도 차이를 제공할 수 있다. 상기 저항성 열선은 도가니에 재충전을 위하여 분해 결합하기 어렵다.In a conventional linear evaporation deposition apparatus, the crucible stores and heats the evaporation material. The linear nozzles are in direct communication with the crucible. In this case, when the crucible has a temperature distribution according to the position, the deposition material at a specific location with a locally high temperature is consumed quickly and the pressure is reduced in the consumed area. Uneven temperature distribution or pressure distribution hinders uniform deposition. In particular, the heating means of the conventional crucible uses a resistive heating wire, and the resistive heating wire can provide a spatial temperature difference depending on the state of contact with the crucible. The resistive heating wire is difficult to decompose and bond to the crucible for recharging.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 유도 가열 방식을 이용하고, 노즐 블록 유도 가열 코일은 상기 노즐 블록(120)의 연장 방향(x축 방향)을 따라 연장되면서 상기 노즐 블록(120)을 감싸도록 배치된다. 이에 따라, 상기 노즐 블록 유도 가열 코일(132)은 상기 노즐 블록(120)과 인접하여 배치되어 효율적인 유도 가열을 수행할 수 있다. 상기 노즐 블록 유도 가열 코일(132)이 상기 진공 용기(144) 내부에 배치됨에 따라, 상기 노즐 블록(120)의 효율적인 가열이 가능하다. 또한, 상기 노즐 블록(120) 및 상기 도전성 도가니(160)의 구조는 다양하게 변형될 수 있다. According to an embodiment of the present invention, an induction heating system is used, and a nozzle block induction heating coil is arranged to extend along the extending direction (x-axis direction) of the nozzle block 120 and to surround the nozzle block 120 do. Accordingly, the nozzle block induction heating coil 132 may be disposed adjacent to the nozzle block 120 to perform efficient induction heating. As the nozzle block induction heating coil 132 is disposed inside the vacuum container 144, efficient heating of the nozzle block 120 is possible. In addition, the structure of the nozzle block 120 and the conductive crucible 160 may be variously modified.

상기 노즐 블록 유도 가열 코일(132)은 파이프 형상 또는 띠 형상이고, 상기 노즐 블록 유도 가열 코일의 내부에 냉매가 흐를 수 있다. 또한, 상기 노즐 블록 유도 가열 코일(132)에 의한 유도 전기장은 비접촉식으로 상기 노즐 블록(120)의 외주면을 따라 공간적으로 균일하게 직접 가열한다. 따라서, 접촉에 따른 온도 불균일성이 제거되고, 가열 안정성이 향상되고, 기구적 구성이 간단하다. 상기 노즐 블록 유도 가열 코일(132)은 상기 노즐 블록(120)과 공간적으로 이격되어 배치된다. 지지부(133)는 상기 유도 가열 코일(132,134)을 고정한다. 상기 지지부(133)는 절연체로 형성되고, 상기 지지부(133)는 세라믹 또는 알루미나 재질일 수 있다. 또한, 상기 노즐 블록(120)은 상기 노즐 블록 유도 가열 코일(132)과 비접촉식으로 배치되어, 분해 및 결합이 용이하다. 상기 노즐 블록 유도 가열 코일(132)은 상기 도전성 도가니 유도 가열 코일(134)과 전기적으로 직렬 연결될 수 있다.The nozzle block induction heating coil 132 may have a pipe shape or a band shape, and the coolant may flow into the nozzle block induction heating coil. The induction electric field generated by the nozzle block induction heating coil 132 is directly and spatially uniformly heated directly on the outer peripheral surface of the nozzle block 120 in a non-contact manner. Therefore, temperature non-uniformity due to contact is eliminated, heating stability is improved, and mechanical construction is simple. The nozzle block induction heating coil 132 is spaced apart from the nozzle block 120. The support portion 133 fixes the induction heating coils 132 and 134. The support portion 133 may be formed of an insulator, and the support portion 133 may be formed of ceramic or alumina. In addition, the nozzle block 120 is disposed in a non-contact manner with the nozzle block induction heating coil 132 to facilitate disassembly and coupling. The nozzle block induction heating coil 132 may be electrically connected to the conductive crucible induction heating coil 134 in series.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 노즐 블록(120)은 선형 배열된 복수의 관통 노즐들(122)을 포함할 수 있다. 종래의 선형 노즐은 노즐마다 파이프를 포함한다. 파이프 형상의 노즐은 저항성 가열에 의하여 독립적으로 가열되기 어렵다. 상기 저항성 가열은 접촉에 의한 열전도에 의하여 수행되므로, 종래의 파이프 형상의 노즐은 도가니의 가열에 의하여 열전도를 통하여 간접적으로 가열된다. 따라서, 상기 파이프 형상의 노즐의 독립적인 온도 조절이 어렵다. 이에 따라, 상기 파이프 형상의 노즐은 증착에 의하여 막힐 수 있다.According to one embodiment of the present invention, the nozzle block 120 may include a plurality of through nozzles 122 arranged in a linear array. Conventional linear nozzles include a pipe per nozzle. The pipe-shaped nozzles are difficult to independently heat by resistance heating. Since the resistive heating is performed by thermal conduction by contact, the conventional pipe-shaped nozzle is indirectly heated through heat conduction by heating the crucible. Therefore, independent temperature control of the pipe-shaped nozzle is difficult. Accordingly, the pipe-shaped nozzle can be clogged by vapor deposition.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 노즐 블록(120)은 제1 방향으로 연장되는 직육면체 형태이고, 상기 노즐 블록(120)에 복수의 관통 노즐들(122)이 선형 배열된다. 따라서, 노즐 블록 유도 가열 코일(132)은 상기 노즐 블록(120) 전체를 독립적으로 직접 가열할 수 있다. 상기 노즐 블록 유도 가열 코일(132) 및 상기 도전성 도가니 유도 가열 코일은 상기 노즐 블록(120)과 상기 도전성 도가니(160) 사이에 온도 구배(temperature gradient)를 제공할 수 있다. 이에 따라, 상기 노즐 블록(120)은 증착에 의한 막힘 현상을 해결할 수 있다. 또한, 상기 노즐 블록(120)의 길이 방향의 온도 분포는 노즐 블록 유도 가열 코일(132)과 상기 노즐 블록(120) 사이의 간격을 조절하여 수행될 수 있다. 예를 들어, 상기 노즐 블록의 중심 부위에서 상기 노즐 블록 유도 가열 코일(132)과 상기 노즐 블록(120) 사이의 간격은 상기 노즐 블록(120)의 가장 자리 부위에서 상기 간격보다 크도록 설계될 수 있다.According to an embodiment of the present invention, the nozzle block 120 is in the form of a rectangular parallelepiped extending in a first direction, and a plurality of through nozzles 122 are linearly arranged in the nozzle block 120. Accordingly, the nozzle block induction heating coil 132 can independently heat the entire nozzle block 120 directly. The nozzle block induction heating coil 132 and the conductive crucible induction heating coil may provide a temperature gradient between the nozzle block 120 and the conductive crucible 160. Accordingly, the nozzle block 120 can solve clogging due to vapor deposition. The temperature distribution in the longitudinal direction of the nozzle block 120 may be performed by adjusting the interval between the nozzle block induction heating coil 132 and the nozzle block 120. For example, the gap between the nozzle block induction heating coil 132 and the nozzle block 120 at the central portion of the nozzle block may be designed to be larger than the gap at the edge of the nozzle block 120 have.

상기 공간 온도 조절부(140)는 자성체 재질의 요크일 수 있다. 자성체는 자속을 구속하고, 상기 공간 온도 조절부(140)와 상기 유도 가열 코일(132,134) 사이의 간격을 제어함으로써, 상기 공간 온도 조절부(140)는 유도 전기장의 공간 분포 또는 공간적인 온도 분포를 제어할 수 있다. 상기 공간 온도 조절부(140)는 간격 조절하기 위한 이동 수단을 포함할 수 있다. 상기 공간 온도 조절부(140)는 상기 유도 가열 코일에 대하여 제2 방향으로 이격되어 자속을 구속하도록 배치될 수 있다. The space temperature regulator 140 may be a yoke made of a magnetic material. The magnetic body restricts the magnetic flux and controls the gap between the space temperature regulator 140 and the induction heating coils 132 and 134 so that the space temperature regulator 140 can control the spatial distribution of the induced electric field or the spatial temperature distribution Can be controlled. The space temperature regulator 140 may include a moving means for adjusting the gap. The space temperature regulator 140 may be disposed to restrict the magnetic flux in the second direction relative to the induction heating coil.

상기 진공 용기(144)는 도전성 물질로 형성될 수 있다. 상기 진공 용기(144)는 직육면체 구조의 챔버일 수 있다. 상기 진공 용기(144)는 진공 펌프에 의하여 진공 상태로 배기될 수 있다. 상기 진공 용기(144)는 내부에 기판 홀더(미도시), 및 상기 기판 홀더에 장착된 기판(146)을 포함할 수 있다. 상기 진공 용기(144)는 상기 기판의 앞면에 배치되어 패터닝을 수행하는 새도우 마스크(shadow mask)를 포함할 수 있다.The vacuum container 144 may be formed of a conductive material. The vacuum chamber 144 may be a chamber having a rectangular parallelepiped structure. The vacuum container 144 may be evacuated to a vacuum state by a vacuum pump. The vacuum container 144 may include a substrate holder (not shown) and a substrate 146 mounted on the substrate holder. The vacuum container 144 may include a shadow mask disposed on the front surface of the substrate to perform patterning.

상기 기판(146)은 유기 발광 다이오드를 포함하는 유리 기판 또는 플라스틱 기판일 수 있다. 상기 기판(146)은 사각 기판일 수 있다.The substrate 146 may be a glass substrate or a plastic substrate including an organic light emitting diode. The substrate 146 may be a rectangular substrate.

상기 선형 증발 증착 장치(100)의 노즐 블록(120)은 중력에 반하여 상향식으로 상기 증기를 토출할 수 있다. 구체적으로, 중력 방향(g)은 음의 제2 방향(음의 y축 방향)일 수 있다. 상기 관통 노즐(122)은 중력에 반하여 상기 진공 용기(144)의 내측 상부에 배치된 기판(146)에 증기를 토출할 수 있다. The nozzle block 120 of the linear evaporative deposition apparatus 100 can discharge the steam in a bottom-up manner against gravity. Specifically, the gravitational direction g may be a negative second direction (negative y-axis direction). The penetrating nozzle 122 can discharge the vapor to the substrate 146 disposed on the inner upper side of the vacuum container 144 against gravity.

상향식 증발 증착 장치의 경우, 관통 노즐(122)은 진공 용기의 상부면을 향하여 증기를 토출하고, 하향식 증발 증착 장치의 경우, 관통 노즐(122)은 진공 용기의 하부면을 향하여 증기를 토출하고, 측향식 증발 증착 장치의 경우, 관통 노즐(122)은 진공 용기의 측면을 향하여 증기를 토출할 수 있다.In the case of the bottom-up evaporative deposition apparatus, the through-hole nozzle 122 discharges the vapor toward the upper surface of the vacuum container. In the case of the top-down evaporative deposition apparatus, the through-hole nozzle 122 discharges the vapor toward the lower surface of the vacuum container, In the case of the lateral evaporation deposition apparatus, the through-hole nozzle 122 can discharge the vapor toward the side surface of the vacuum container.

상기 도전성 도가니(160)는 전기 전도도가 높은 금속 물질로 형성될 수 있다. 예를 들어, 상기 도전성 도가니(160)는 스테인레스 스틸, 구리, 탄탈, 타이타늄, 텅스텐, 그래파이트(graphite), 또는 니켈일 수 있다. 상기 도전성 도가니(160)는 상기 제1 방향(x축 방향)으로 연장될 수 있다. 상기 제2 방향(y축 방향)이 중력 방향(g 방향)의 반대 방향일 수 있다. 상기 도전성 도가니(160)는 제1 방향으로 연장되는 직육면체 형상일 수 있다.The conductive crucible 160 may be formed of a metal having a high electrical conductivity. For example, the conductive crucible 160 may be stainless steel, copper, tantalum, titanium, tungsten, graphite, or nickel. The conductive crucible 160 may extend in the first direction (x-axis direction). And the second direction (y-axis direction) may be opposite to the gravity direction (g-direction). The conductive crucible 160 may have a rectangular parallelepiped shape extending in the first direction.

상기 도전성 도가니(160)는 도가니 뚜껑(162)을 포함할 수 있다. 상기 도가니 뚜껑(162)의 상부면에 제1 방향으로 연장되는 정렬 홈(165)이 배치될 수 있다. 상기 정렬 홈(165)의 내부에는 상기 제1 방향으로 연장되는 관통 슬릿(166)이 배치될 수 있다. 상기 노즐 블록(120)은 상기 정렬 홈(165)에 삽입되어 용접 등의 수단에 의하여 고정될 수 있다. 이에 따라, 상기 도전성 도가니(160)의 증착 물질 수납 공간(160a)의 증기는 상기 관통 슬릿(166) 및 상기 관통 노즐들(122)을 통하여 상기 제2 방향으로 토출될 수 있다. 상기 도가니 뚜껑(162)은 상기 증착 물질의 재충전을 위하여 상기 도전성 도가니와 분해될 수 있다.The conductive crucible 160 may include a crucible cap 162. An alignment groove 165 extending in a first direction may be disposed on the upper surface of the crucible cap 162. A through slit 166 extending in the first direction may be disposed in the alignment groove 165. The nozzle block 120 may be inserted into the alignment groove 165 and fixed by welding or the like. Accordingly, the vapor in the deposition material storage space 160a of the conductive crucible 160 can be discharged in the second direction through the through-hole slits 166 and the through-holes 122. The crucible cap 162 may be disassembled with the conductive crucible for recharging the deposition material.

상기 도전성 도가니(160)는 그 내부에 배치된 도전성 격벽(161)을 포함할 수 있다. 상기 도전성 격벽(161)은 상기 도전성 도가니(160)의 하부면 및 측면에 접촉하도록 배치되어 상기 증착 물질(10)을 공간적으로 분리할 수 있다. 이에 따라, 상기 증착 물질은 넓은 면적의 가열된 도전체와 열접촉을 수행할 수 있다. 상기 도전성 격벽(161)은 십자 형태의 매트릭스 형태 또는 서로 밀집하여 배치된 육각통 형태일 수 있다. 상기 도선성 격벽(161)은 상기 도전성 도가니와 용접 등 의하여 일체화될 수 있다. 이웃한 격벽 사이의 간격은 수 밀리미터 내지 수 센치미터일 수 있다. 상기 도전성 격벽(161)은 유도 전기장에 의하여 직접 또는 상기 도전성 도가니(160)의 몸체로부터 열전달을 통하여 가열될 수 있다. 상기 도전성 격벽(161)은 상기 도전성 도가니와 동일한 재질의 판으로 제작될 수 있다. 상기 도전성 격벽은 제1 방향 및 제3 방향에 의하여 정의되는 평면에서 매트릭스 형태이고, 상기 도전성 격벽의 제2 방향의 높이는 상기 도전성 도가니의 높이보다 작을 수 있다. 이에 따라, 상기 도전성 도가니의 상부는 하나의 공간을 형성할 수 있다. The conductive crucible 160 may include a conductive partition 161 disposed therein. The conductive barrier ribs 161 are disposed to contact the lower surface and the side surfaces of the conductive crucible 160 to spatially separate the deposition material 10. Thus, the deposition material can perform thermal contact with a heated conductor of a large area. The conductive barrier ribs 161 may be in the form of a cross-shaped matrix or in the form of a hexagonal barrel closely arranged. The conductive barrier ribs 161 may be integrated with the conductive crucible by welding or the like. The spacing between adjacent barrier ribs may range from a few millimeters to a few centimeters. The conductive barrier ribs 161 may be heated by an induction electric field or through heat transfer from the body of the conductive crucible 160. The conductive barrier ribs 161 may be made of the same material as the conductive crucible. The conductive partition wall may have a matrix shape in a plane defined by the first direction and the third direction, and the height of the conductive partition wall in the second direction may be smaller than the height of the conductive crucible. Accordingly, the upper portion of the conductive crucible can form one space.

상기 노즐 블록의 관통 노즐들(122)의 출구는 상기 제2 방향을 향하여 배치될 수 있다. 상기 노즐 블록(120)은 제1 방향으로 연장되는 직육면체 형상일 수 있다. 상기 노즐 블록(120)의 길이는 수십 센치 미터 수 미터일 수 있다. 상기 노즐 블록(120)의 폭은 수 밀리미터 내지 수 센치미터일 수 있다. 상기 노즐 블록(120)의 높이는 수 밀리미터 내지 수십 밀리미터일 수 있다. 상기 노즐 블록(120)의 폭은 상기 노즐 블록의 높이보다 작을 수 있다. The outlets of the through-holes 122 of the nozzle block may be disposed toward the second direction. The nozzle block 120 may have a rectangular parallelepiped shape extending in the first direction. The length of the nozzle block 120 may be several tens of centimeters and several meters. The width of the nozzle block 120 may be several millimeters to several centimeters. The height of the nozzle block 120 may be several millimeters to several tens of millimeters. The width of the nozzle block 120 may be smaller than the height of the nozzle block.

상기 노즐 블록(120)은 상기 도전성 도가니(160)의 상부면에 배치되고, 상기 도전성 도가니(160)와 상기 노즐 블록(120)은 일체형으로 형성될 수 있다. 제3 방향(z 축 방향)에서 상기 노즐 블록(120)의 폭은 상기 도전성 도가니(160)의 폭보다 작을 수 있다. The nozzle block 120 is disposed on the upper surface of the conductive crucible 160 and the conductive crucible 160 and the nozzle block 120 may be integrally formed. The width of the nozzle block 120 in the third direction (z-axis direction) may be smaller than the width of the conductive crucible 160.

복수의 관통 노즐(122)은 상기 진공 용기 내에서 상부에 배치된 기판(146)에 유기물을 증착하도록 중력 방향에 반하여 상향식으로 상기 증기를 토출할 수 있다. The plurality of through nozzles 122 may discharge the vapor upwards in a direction opposite to the direction of gravity to deposit organic material on the substrate 146 disposed in the upper part of the vacuum container.

바람직하게는, 상기 관통 노즐(122)은 상기 노즐 블록(120)을 관통하는 원기둥 형상일 수 있다. 상기 관통 노즐의 종횡비(aspect ratio)는 5 내지 100일 수 있다. 상기 관통 노즐(122)의 직경은 수백 마이크로미터 내지 수 밀리미터일 수 있다. 상기 관통 노즐(122)의 직경은 증기의 평균 자유 경로보다 작은 것이 바람직할 수 있다. 상기 노즐 블록(120)이 상기 제1 방향으로 연장되는 직육면체 형태인 경우, 상기 노즐 블록(120)은 전체적으로 가열되고, 상기 관통 노즐들은 전체적으로 균일한 온도를 유지할 수 있다. Preferably, the through-hole nozzle 122 may have a cylindrical shape passing through the nozzle block 120. The aspect ratio of the through-hole nozzle may be 5 to 100. The diameter of the penetrating nozzle 122 may be several hundred micrometers to several millimeters. The diameter of the through-nozzle 122 may be less than the average free path of the vapor. When the nozzle block 120 is in the form of a rectangular parallelepiped extending in the first direction, the nozzle block 120 is heated as a whole, and the through nozzles can maintain a uniform temperature as a whole.

상기 관통 노즐들(122)의 단면적의 총합은 상기 도전성 도가니(160)의 폭 방향으로 절단한 단면적보다 작을 수 있다. 이에 따라, 상기 증기는 상기 도전성 도가니 내부에서 공간적으로 일정한 압력을 유지할 수 있다. The total cross-sectional area of the through-holes 122 may be smaller than the cross-sectional area of the conductive crucible 160 in the width direction. Accordingly, the steam can maintain a spatially constant pressure inside the conductive crucible.

상기 복수의 관통 노즐(122)은 상기 도전성 도가니의 증착 물질 수납 공간(160a)과 서로 연통되고 상기 제2 방향(y축 방향)을 따라 각각 형성되고 상기 제1 방향(x축 방향)으로 이격되어 서로 나란히 배치되고, 상기 증착 물질 수납 공간(160a)의 증기를 토출한다.The plurality of through nozzles 122 communicate with the deposition material receiving space 160a of the conductive crucible and are formed along the second direction (y-axis direction) and are spaced apart in the first direction (x-axis direction) And discharges the vapor of the deposition material storage space 160a.

상기 관통 노즐들(122)은 제1 방향으로 정렬되어 배치될 수 있다. 상기 관통 노즐은 한 줄, 두 줄, 또는 세 줄로 배치될 수 있다. 세 줄인 경우, 첫 번째 줄과 세 번째 줄은 두 번째 줄과 상기 제1 방향으로 오프셋되어 배치될 수 있다. The through nozzles 122 may be arranged in a first direction. The through nozzles may be arranged in one line, two lines, or three lines. In the case of three lines, the first and third lines may be offset from the second line in the first direction.

상기 관통 노즐들(122)의 직경은 상기 노즐 블록(120)의 제1 방향의 양단에서 상기 노즐 블록의 중심 부위보다 더 클 수 있다. 이에 따라, 위치에 따라, 균일한 박막이 증착될 수 있다. The diameter of the through-holes 122 may be greater than the center of the nozzle block 120 at both ends of the nozzle block 120 in the first direction. Accordingly, a uniform thin film can be deposited depending on the position.

본 발명의 변형된 실시예에 따르면, 상기 관통 노즐(122)의 밀도는 상기 노즐 블록의 제1 방향의 양단에서 상기 노즐 블록의 중심 부위보다 더 높을 수 있다.According to a modified embodiment of the present invention, the density of the penetration nozzles 122 may be higher than the center portion of the nozzle block at both ends of the nozzle block in the first direction.

상기 노즐 블록(120)은 상기 도전성 도가니(160)와 동일한 재질로 형성될 수 있다. 상기 노즐 블록(120)은 상기 도전성 도가니(160)와 용접 기술들에 의하여 일체형으로 제작될 수 있다. 상기 노즐 블록 및 상기 도전성 도가니에는 온도를 측정하기 위한 온도 측정 수단이 각각 배치될 수 있다. 상기 온도 측정 수단은 열전대일 수 있다. 상기 노즐 블록(120) 및 상기 도전성 도가니(160)는 각각 설정된 온도를 유지하도록 제어될 수 있다.The nozzle block 120 may be formed of the same material as the conductive crucible 160. The nozzle block 120 may be integrally formed with the conductive crucible 160 by welding techniques. The nozzle block and the conductive crucible may be provided with temperature measuring means for measuring the temperature, respectively. The temperature measuring means may be a thermocouple. The nozzle block 120 and the conductive crucible 160 may be controlled to maintain a predetermined temperature.

상기 도전성 도가니(160) 및 상기 노즐 블록(120)을 유도 가열될 수 있다. 유도 가열을 위하여, 유도 가열 코일(132,134) 및 교류 전원(136)이 사용될 수 있다. 상기 교류 전원(136)의 주파수는 수십 kHz 내지 수 MHz일 수 있다. 유도 가열 코일(132,134)은 상기 교류 전원(136)으로부터 전력을 공급받아 상기 도전성 도가니(160) 및 상기 노즐 블록(120)을 유도 가열할 수 있다.The conductive crucible 160 and the nozzle block 120 can be induction-heated. For induction heating, induction heating coils 132 and 134 and ac power supply 136 may be used. The frequency of the AC power source 136 may be several tens of kHz to several MHz. The induction heating coils 132 and 134 can receive the electric power from the AC power source 136 to induction-heat the conductive crucible 160 and the nozzle block 120.

상기 유도 가열 코일(132,134)은 상기 도전성 도가니(160) 및 상기 노즐 블록(120)과 절연될 수 있다. 절연을 위하여, 상기 유도 가열 코일(132,134)은 상기 도전성 도가니 및 상기 노즐 블록과 간격을 유지할 수 있다. 지지부(133)는 상기 유도 가열 코일(132,134)을 지지하고 고정할 수 있다. 상기 지지부(133)는 세라믹 또는 알루미나와 같은 절연체로 형성될 수 있다. 상기 유도 가열 코일은 직사각형 단면을 가지는 파이프 형태, 원형 단면을 가지는 파이프 형태, 또는 띠 형태일 수 있다. 상기 유도 가열 코일과 상기 도전성 도가니 및 상기 노즐 블록 사이의 간격은 온도 조절을 위하여 위치에 따라 다르게 설계될 수 있다. 상기 유도 가열 코일(132,134)은 상기 도전성 도가니(160)를 감싸도록 배치되는 도가니 유도 가열 코일(134) 및 상기 노즐 블록(120)을 감싸도록 배치된 노즐 블록 유도 가열 코일(132)을 포함할 수 있다. 상기 도가니 유도 가열 코일(134) 및 상기 노즐 블록 유도 가열 코일(132)은 직렬 연결될 수 있다. The induction heating coils 132 and 134 may be insulated from the conductive crucible 160 and the nozzle block 120. For insulation, the induction heating coils 132 and 134 may be spaced from the conductive crucible and the nozzle block. The support portion 133 can support and fix the induction heating coils 132 and 134. The support portion 133 may be formed of an insulator such as ceramic or alumina. The induction heating coil may be in the form of a pipe having a rectangular cross section, a pipe having a circular cross section, or a strip. The interval between the induction heating coil, the conductive crucible, and the nozzle block may be designed differently depending on the position for temperature control. The induction heating coils 132 and 134 may include a crucible induction heating coil 134 disposed to surround the conductive crucible 160 and a nozzle block induction heating coil 132 disposed to surround the nozzle block 120 have. The crucible induction heating coil 134 and the nozzle block induction heating coil 132 may be connected in series.

상기 유도 가열 코일(132,134)과 상기 도전성 도가니 사이의 수직 거리 또는 상기 유도 가열 코일(132,134)과 상기 노즐 블록(120) 사이의 수직 거리는 상기 제1 방향을 따라 진행함에 따라 변경될 수 있다.The vertical distance between the induction heating coils 132 and 134 and the conductive crucible or the vertical distance between the induction heating coils 132 and 134 and the nozzle block 120 may be changed as they proceed along the first direction.

열반사부(150)는 상기 노즐 블록(120) 및 상기 도전성 도가니를 감싸도록 배치될 수 있다. 상기 열반사부(150)은 가열된 노즐 블록의 복사 에너지가 외부로 방출되지 않도록 반사시킬 수 있다. 상기 열반사부(150)는 반사효율이 높은 금속 판재를 절곡하여 제작될 수 있다. 상기 열반사부(150)의 외측에는 냉매가 흐르는 냉각 파이프(152)가 설치될 수 있다. The heat reflecting portion 150 may be disposed to surround the nozzle block 120 and the conductive crucible. The heat reflecting portion 150 may reflect the radiant energy of the heated nozzle block so as not to be emitted to the outside. The heat reflecting portion 150 can be manufactured by bending a metal plate having high reflection efficiency. A cooling pipe 152 through which refrigerant flows may be installed outside the heat-reflecting portion 150.

상기 선형 증발 증착 장치(100)는 상기 노즐 블록(120) 및 상기 노즐 블록에 선형 운동을 제공하는 선형 운동부(170)를 포함할 수 있다. 상기 선형 운동부(170)는 상기 노즐 블록 및 상기 도전성 도가니(160)에 직선 운동(z축 방향 직선 운동)을 제공할 수 있다. 이에 따라, 직선 운동하는 상기 노즐 블록(120)은 상기 기판(146)이 고정된 상태에서 상기 기판에 모든 면에 균일한 박막을 증착할 수 있다.The linear evaporation apparatus 100 may include the nozzle block 120 and the linear motion part 170 that provides linear motion to the nozzle block. The linear motion unit 170 may provide linear motion (linear motion in the z-axis direction) to the nozzle block and the conductive crucible 160. Accordingly, the nozzle block 120, which linearly moves, can deposit a uniform thin film on all surfaces of the substrate in a state where the substrate 146 is fixed.

도 2a는 본 발명의 다른 실시예에 따른 도전성 도가니를 설명하는 평면도이다.2A is a plan view illustrating a conductive crucible according to another embodiment of the present invention.

도 2b는 도 2a의 A-A' 선을 따라 자른 단면도이다.And FIG. 2B is a cross-sectional view taken along the line A-A 'in FIG. 2A.

도 2c는 도 2a의 B-B' 선을 따라 자른 단면도이다.2C is a cross-sectional view taken along the line B-B 'in FIG. 2A.

도 2a 내지 도 2c를 참조하면, 도전성 도가니(260)는 도전성 격벽(261)을 포함할 수 있다. 상기 도전성 격벽(261)은 벌집 형태 또는 서로 밀집하여 배치된 육각통 형태일 수 있다. 이웃한 도전성 격벽(261) 사이의 간격은 이웃한 관통 노즐(122)의 간격보다 클 수 있다.Referring to FIGS. 2A to 2C, the conductive crucible 260 may include a conductive partition 261. FIG. The conductive barrier ribs 261 may be in the form of a honeycomb or a hexagonal barrel arranged in close contact with each other. The distance between adjacent conductive barrier ribs 261 may be greater than the distance between neighboring through nozzles 122.

도 3a는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 선형 증발 증착 장치를 설명하는 사시도이다.3A is a perspective view illustrating a linear evaporation apparatus according to another embodiment of the present invention.

도 3b는 도 3a의 도전성 도가니의 평면도이다.3B is a plan view of the conductive crucible of FIG. 3A.

도 3c는 도 3b의 C-C' 선을 따라 자른 단면도이다.3C is a cross-sectional view taken along line C-C 'of FIG. 3B.

도 3d는 도 3b의 D-D' 선을 따라 자른 단면도이다.And FIG. 3D is a sectional view taken along the line D-D 'in FIG. 3B.

도 3e 도 3b의 E-E'선을 따라 자른 단면도이다.3E is a cross-sectional view taken along line E-E 'of FIG. 3B.

도 1 및 도 3a 내지 도 3e를 참조하면, 상기 선형 증발 증착 장치(300)는 진공 용기(144); 제1 방향으로 연장되고 상기 진공 용기 내부에 배치되고 증착 물질을 수납하는 도전성 도가니(360); 제1 방향으로 연장되고 상기 도전성 도가니 내부에 배치되고 상기 증착 물질의 상부면을 감싸도록 배치되는 증착 물질 덮개부(361); 상기 도전성 도가니에 장착되고 복수의 관통 노즐들(122)을 포함하는 노즐 블록(120); 상기 도전성 도가니를 감싸도록 배치되어 상기 도전성 도가니를 유도 가열하는 도전성 도가니 유도 가열 코일(134); 및 상기 노즐 블록(120)을 감싸도록 배치되어 상기 노즐 블록을 유도 가열하는 노즐 블록 유도 가열 코일(132);을 포함한다. 상기 관통 노즐들(122)은 상기 제1 방향에 수직한 제2 방향으로 연장된다.1 and 3A to 3E, the linear evaporation deposition apparatus 300 includes a vacuum container 144; A conductive crucible (360) extending in a first direction and disposed inside the vacuum container and containing a deposition material; A deposition material cover (361) extending in a first direction and disposed within the conductive crucible and disposed to surround an upper surface of the deposition material; A nozzle block (120) mounted on the conductive crucible and including a plurality of through nozzles (122); A conductive crucible induction heating coil 134 disposed to surround the conductive crucible to induction-heat the conductive crucible; And a nozzle block induction heating coil 132 disposed to surround the nozzle block 120 to induction-heat the nozzle block. The through nozzles 122 extend in a second direction perpendicular to the first direction.

상기 도전성 도가니(360)의 내부 측면에 복수의 걸림턱(363)을 포함한다. . 상기 증착 물질 덮개부(361)는 상기 도전성 도가니의 내부에서 돌출된 걸림턱(363)에 결합한다. 상기 증착 물질 덮개부(361)는 상기 걸림턱(363)에 고정되고, 상기 증착 물질 덮개부(361)는 일면이 개방된 삼각통 형상(또는 삼각통 홈)일 수 있다. 상기 증착 물질 덮개부(361)는 판을 절곡하여 형성될 수 있다. 상기 증착 물질 덮개부(361)는 제1 방향을 따라 연장될 수 있다. 복수의 걸림턱(363)은 동일한 평면에 배치될 수 있다. 상기 증착 물질(10)이 상기 도전성 도가니(360)에 채워진 후, 상기 증착 물질 덮개부(361)는 상기 증착 물질을 덮도록 배치될 수 있다. 상기 증착 물질은 증발하여, 상기 증착 물질 덮개부의 양 측면과 상기 도전성 도가니 내측면 사이의 틈을 통하여 이동할 수 있다. 이에 따라, 증발된 증기가 상기 증발 물질에 재증착하는 것이 억제될 수 있다. And a plurality of engagement protrusions 363 on the inner side surface of the conductive crucible 360. . The deposition material lid 361 is coupled to a latching protrusion 363 protruding from the inside of the conductive crucible. The deposition material lid 361 is fixed to the latching jaw 363 and the deposition material lid 361 may have a triangular (or triangular) groove with one side open. The evaporation material lid 361 may be formed by bending a plate. The deposition material cover 361 may extend along the first direction. The plurality of latching jaws 363 can be disposed on the same plane. After the deposition material 10 is filled in the conductive crucible 360, the deposition material covering part 361 may be disposed to cover the deposition material. The evaporation material evaporates and can move through a gap between both sides of the evaporation material lid and the inside surface of the conductive crucible. Thus, evaporated vapor can be suppressed from being re-deposited on the evaporated material.

본 발명의 변형된 실시예에 따르면, 상기 증착 물질 덮개부(361)는 제1 방향으로 원주의 일부가 개방된 원통(또는 원통 홈), 또는 "U"자 형태의 통 ( 또는 타원 통 홈)일 수 있다. According to a modified embodiment of the present invention, the deposition material lid 361 may be a cylinder (or cylindrical groove) or a "U" shaped cylinder (or elliptical cylinder groove) with a part of the circumference open in the first direction, Lt; / RTI >

도 4a는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 선형 증발 증착 장치를 설명하는 사시도이다.4A is a perspective view illustrating a linear evaporation deposition apparatus according to another embodiment of the present invention.

도 4b는 도 4a의 도전성 도가니의 평면도이다.4B is a plan view of the conductive crucible of FIG. 4A.

도 4c는 도 4b의 F-F' 선을 따라 자른 단면도이다.4C is a cross-sectional view taken along the line F-F 'in FIG. 4B.

도 4d는 도 4b의 G-G' 선을 따라 자른 단면도이다.4D is a cross-sectional view taken along the line G-G 'in FIG. 4B.

도 4e 도 4b의 H-H'선을 따라 자른 단면도이다.4E is a cross-sectional view taken along line H-H 'in FIG. 4B.

도 1 및 도 4a 내지 도 4e를 참조하면, 상기 선형 증발 증착 장치(400)는 진공 용기(144); 제1 방향으로 연장되고 상기 진공 용기 내부에 배치되고 증착 물질을 수납하는 도전성 도가니(460); 제1 방향으로 연장되고 상기 도전성 도가니 내부에 배치되고 상기 증착 물질의 상부면을 감싸도록 배치되는 증착 물질 덮개부(461); 상기 도전성 도가니에 장착되고 복수의 관통 노즐들을 포함하는 노즐 블록(120); 상기 도전성 도가니를 감싸도록 배치되어 상기 도전성 도가니를 유도 가열하는 도전성 도가니 유도 가열 코일(134); 및 상기 노즐 블록을 감싸도록 배치되어 상기 노즐 블록을 유도 가열하는 노즐 블록 유도 가열 코일(132);을 포함한다. 상기 관통 노즐들(122)은 상기 제1 방향에 수직한 제2 방향으로 연장된다.1 and 4A to 4E, the linear evaporation deposition apparatus 400 includes a vacuum container 144; A conductive crucible (460) extending in a first direction and disposed within the vacuum vessel and containing deposition material; A deposition material cover (461) extending in a first direction and disposed within the conductive crucible and disposed to surround an upper surface of the deposition material; A nozzle block (120) mounted on the conductive crucible and including a plurality of through nozzles; A conductive crucible induction heating coil 134 disposed to surround the conductive crucible to induction-heat the conductive crucible; And a nozzle block induction heating coil 132 disposed to surround the nozzle block to induction-heat the nozzle block. The through nozzles 122 extend in a second direction perpendicular to the first direction.

복수의 증착 물질 덮개 가이드(463)는 상기 도전성 도가니(460)의 내측 모서리에 배치된다. 상기 증착 물질 덮개부(461)의 모서리는 상기 증착 물질 덮개 가이드(463)를 따라 제2 방향으로 이동할 수 있다. 상기 증착 물질 덮개부(461)의 양 측면과 상기 도전성 도가니(460)의 내측면 사이의 틈으로 증기가 이동할 수 있다. 상기 증착 물질 덮개 가이드(463)는 "L"자 형태의 단면을 가지고 제2 방향으로 연장되는 기둥 형태일 수 있다. 이에 따라, 상기 판 형태의 증착 물질 덮개부(461)는 상기 증착 물질 덮개 가이드를 따라 제2 방향을 따라 이동할 수 있다. 상기 증착 물질이 증발하여, 질량 또는 부피가 감소하는 경우, 상기 증착 물질 덮개부(461)는 제2 방향을 따라 점차 하강할 수 있다. 이에 따라, 상기 증착 물질 덮개부(461)는 증기가 상기 증착 물질에 재증착되는 것을 최소화할 수 있다. 중력 방향은 음의 제2 방향일 수 있다.A plurality of evaporation material cover guides 463 are disposed in the inner edge of the conductive crucible 460. The edge of the deposition material cover 461 may move in the second direction along the deposition material cover guide 463. The vapor can be moved into the gap between both sides of the deposition material cover part 461 and the inner surface of the conductive crucible 460. The deposition material cover guide 463 may be in the form of a column extending in the second direction with an "L" shaped cross section. Accordingly, the plate-shaped evaporation material cover part 461 can move along the evaporation material cover guide along the second direction. When the evaporation material evaporates and the mass or volume decreases, the evaporation material cover part 461 may gradually descend along the second direction. Accordingly, the deposition material cover 461 can minimize the re-deposition of the vapor on the deposition material. The gravitational direction may be a negative second direction.

도 5a는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 선형 증발 증착 장치를 설명하는 사시도이다.5A is a perspective view illustrating a linear evaporation apparatus according to another embodiment of the present invention.

도 5b는 도 5a의 도전성 도가니의 평면도이다.5B is a plan view of the conductive crucible of FIG. 5A.

도 5c는 도 5b의 I-I' 선을 따라 자른 단면도이다.5C is a cross-sectional view taken along line I-I 'of FIG. 5B.

도 5d는 도 5b의 J-J' 선을 따라 자른 단면도이다.5D is a cross-sectional view taken along line J-J 'in FIG. 5B.

도 5e 도 5b의 K-K'선을 따라 자른 단면도이다.5E is a cross-sectional view taken along line K-K 'in FIG. 5B.

도 5a 내지 도 5e를 참조하면, 상기 선형 증발 증착 장치(500)는 진공 용기(144); 제1 방향으로 연장되고 상기 진공 용기 내부에 배치되고 증착 물질을 수납하는 도전성 도가니(560); 제1 방향으로 연장되고 상기 도전성 도가니 내부에 배치되고 상기 증착 물질의 상부면을 감싸도록 배치되는 증착 물질 덮개부(561); 상기 도전성 도가니에 장착되고 복수의 관통 노즐들을 포함하는 노즐 블록(120); 상기 도전성 도가니를 감싸도록 배치되어 상기 도전성 도가니를 유도 가열하는 도전성 도가니 유도 가열 코일(134); 및 상기 노즐 블록을 감싸도록 배치되어 상기 노즐 블록을 유도 가열하는 노즐 블록 유도 가열 코일(132);을 포함한다. 상기 관통 노즐들(122)은 상기 제1 방향에 수직한 제2 방향으로 연장된다.5A to 5E, the linear evaporation deposition apparatus 500 includes a vacuum container 144; A conductive crucible (560) extending in a first direction and disposed within the vacuum vessel and containing deposition material; A deposition material cover (561) extending in a first direction and disposed within the conductive crucible and disposed to surround an upper surface of the deposition material; A nozzle block (120) mounted on the conductive crucible and including a plurality of through nozzles; A conductive crucible induction heating coil 134 disposed to surround the conductive crucible to induction-heat the conductive crucible; And a nozzle block induction heating coil 132 disposed to surround the nozzle block to induction-heat the nozzle block. The through nozzles 122 extend in a second direction perpendicular to the first direction.

상기 증착 물질 덮개부(561)는 판형이고, 상기 증착 물질 덮개부(561)는 상기 증착 물질 덮개부의 모서리에 고정된 수직 운동 가이드(563)를 포함할 수 있다. 상기 수직 운동 가이드(563)는 상기 도전성 도가니(560)의 내측 모서리를 따라 이동할 수 있다.The deposition material lid 561 is plate-shaped, and the deposition material lid 561 may include a vertical movement guide 563 fixed to an edge of the deposition material lid. The vertical motion guide 563 can move along the inner edge of the conductive crucible 560.

도 6a는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 도전성 도가니의 평면도이다.6A is a plan view of a conductive crucible according to another embodiment of the present invention.

도 6b는 도 6a의 L-L' 선을 따라 자른 단면도이다.6B is a cross-sectional view taken along the line L-L 'in FIG. 6A.

도 6c는 도 6a의 M-M' 선을 따라 자른 단면도이다.6C is a cross-sectional view taken along the line M-M 'in FIG. 6A.

도 6d는 도 6a의 N-N' 선을 따라 자른 단면도이다.6D is a cross-sectional view taken along the line N-N 'in FIG. 6A.

도 1 및 도 6a 내지 도 6d를 참조하면, 상기 선형 증발 증착 장치(600)는 진공 용기(144); 제1 방향으로 연장되고 상기 진공 용기 내부에 배치되고 증착 물질을 수납하는 도전성 도가니(660); 제1 방향으로 연장되고 상기 도전성 도가니 내부에 배치되고 상기 증착 물질의 상부면을 감싸도록 배치되는 증착 물질 덮개부(661); 상기 도전성 도가니에 장착되고 복수의 관통 노즐들을 포함하는 노즐 블록(120); 상기 도전성 도가니를 감싸도록 배치되어 상기 도전성 도가니를 유도 가열하는 도전성 도가니 유도 가열 코일(134); 및 상기 노즐 블록을 감싸도록 배치되어 상기 노즐 블록을 유도 가열하는 노즐 블록 유도 가열 코일(132);을 포함한다. 상기 관통 노즐들(122)은 상기 제1 방향에 수직한 제2 방향으로 연장된다.Referring to FIGS. 1 and 6A to 6D, the linear evaporation deposition apparatus 600 includes a vacuum container 144; A conductive crucible (660) extending in a first direction and disposed within the vacuum vessel and containing deposition material; A deposition material cover (661) extending in a first direction and disposed within the conductive crucible and disposed to surround an upper surface of the deposition material; A nozzle block (120) mounted on the conductive crucible and including a plurality of through nozzles; A conductive crucible induction heating coil 134 disposed to surround the conductive crucible to induction-heat the conductive crucible; And a nozzle block induction heating coil 132 disposed to surround the nozzle block to induction-heat the nozzle block. The through nozzles 122 extend in a second direction perpendicular to the first direction.

상기 도전성 도가니의 내부 측면에 복수의 걸림턱(663)이 배치된다. 상기 증착 물질 덮개부(661)는 상기 도전성 도가니의 내부에서 돌출된 걸림턱(663)에 결합한다. 상기 증착 물질 덮개부(661)는 상기 걸림턱(663)에 고정되고, 상기 증착 물질 덮개부(661)는 제1 방향으로 원주의 일부가 개방된 원통, "U"자 형태의 통일 수 있다. 상기 증착 물질 덮개부(661)는 판을 절곡하여 형성될 수 있다. 상기 증착 물질 덮개부(661)는 제1 방향을 따라 연장될 수 있다. 복수의 걸림턱(663)은 동일한 평면에 배치될 수 있다. 상기 증착 물질이 상기 도전성 도가니에 채워진 후, 상기 증착 물질 덮개부(661)는 상기 증착 물질을 덮도록 배치될 수 있다. 상기 증착 물질은 증발하여, 상기 증착 물질 덮개부의 양 측면과 상기 도전성 도가니 내측면 사이의 틈을 통하여 이동할 수 있다. 이에 따라, 증발된 증기가 상기 증발 물질에 재증착이 억제될 수 있다. A plurality of engagement protrusions 663 are disposed on the inner side surface of the conductive crucible. The deposition material lid 661 is coupled to a latching protrusion 663 protruding from the inside of the conductive crucible. The deposition material lid 661 is fixed to the engagement protrusion 663 and the deposition material lid 661 may be a cylindrical, U-shaped union with a part of the circumference opened in the first direction. The deposition material lid 661 may be formed by bending a plate. The deposition material cover 661 may extend along the first direction. The plurality of latching jaws 663 can be disposed on the same plane. After the deposition material is filled in the conductive crucible, the deposition material covering part 661 may be disposed to cover the deposition material. The evaporation material evaporates and can move through a gap between both sides of the evaporation material lid and the inside surface of the conductive crucible. As a result, vaporized vapor can be suppressed from redeposition to the vaporized material.

도 7a는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 도전성 도가니의 평면도이다.7A is a plan view of a conductive crucible according to another embodiment of the present invention.

도 7b는 도 7a의 O-O' 선을 따라 자른 단면도이다.7B is a cross-sectional view taken along the line O-O 'in FIG. 7A.

도 7c는 도 7a의 P-P' 선을 따라 자른 단면도이다.7C is a cross-sectional view taken along the line P-P 'in FIG. 7A.

도 7d는 도 7a의 Q-Q' 선을 따라 자른 단면도이다.7D is a cross-sectional view taken along the line Q-Q 'in FIG. 7A.

도 7e는 도 7a의 R-R' 선을 따라 자른 단면도이다.7E is a cross-sectional view taken along the line R-R 'in FIG. 7A.

도 1 및 도 7a 내지 도 7e를 참조하면, 상기 선형 증발 증착 장치(700)는 진공 용기(144); 제1 방향으로 연장되고 상기 진공 용기 내부에 배치되고 증착 물질을 수납하는 도전성 도가니(760); 제1 방향으로 연장되고 상기 도전성 도가니 내부에 배치되고 상기 증착 물질의 상부면을 감싸도록 배치되는 증착 물질 덮개부(761); 상기 도전성 도가니에 장착되고 복수의 관통 노즐들을 포함하는 노즐 블록(120); 상기 도전성 도가니를 감싸도록 배치되어 상기 도전성 도가니를 유도 가열하는 도전성 도가니 유도 가열 코일(134); 및 상기 노즐 블록을 감싸도록 배치되어 상기 노즐 블록을 유도 가열하는 노즐 블록 유도 가열 코일(132);을 포함한다. 상기 관통 노즐들(122)은 상기 제1 방향에 수직한 제2 방향으로 연장된다.1 and 7A to 7E, the linear evaporation deposition apparatus 700 includes a vacuum container 144; A conductive crucible (760) extending in a first direction and disposed within the vacuum vessel and containing deposition material; A deposition material cover (761) extending in a first direction and disposed within the conductive crucible and disposed to surround an upper surface of the deposition material; A nozzle block (120) mounted on the conductive crucible and including a plurality of through nozzles; A conductive crucible induction heating coil 134 disposed to surround the conductive crucible to induction-heat the conductive crucible; And a nozzle block induction heating coil 132 disposed to surround the nozzle block to induction-heat the nozzle block. The through nozzles 122 extend in a second direction perpendicular to the first direction.

상기 도전성 도가니의 내부 측면에 복수의 걸림턱(763)이 배치되고, 상기 증착 물질 덮개부(761)는 상기 걸림턱(763)에 결합할 수 있다. 상기 증착 물질 덮개부(763)는 일면이 개방된 삼각통(또는 삼각통 홈), 제1 방향으로 원주의 일부가 개방된 원통(원통 홈), "U"자 통(또는 타원 통 홈)일 수 있다. "U"자 통은 상기 증착 물질을 덮도록 뒤집혀 배치될 수 있다. A plurality of engagement protrusions 763 may be disposed on the inner side of the conductive crucible and the deposition material cover 761 may be coupled to the engagement protrusions 763. The evaporation material lid 763 may be a triangular (or triangular) groove with one side open, a cylindrical (cylindrical groove) with a part of the circumference open in the first direction, or a "U" . A "U" barrel can be placed upside down to cover the deposition material.

스페이서(764)는 상기 증착 물질 덮개부(761)의 측면과 상기 도전성 도가니의 내측면 사이에 삽입되어 틈을 생성할 수 있다. 상기 스페이서(764)는 복수 개이고 대칭적으로 배치될 수 있다. 이에 따라, 상기 틈은 일정한 간격을 유지할 수 있다.The spacer 764 may be inserted between the side surface of the deposition material cover portion 761 and the inner surface of the conductive crucible to create a gap. A plurality of the spacers 764 may be arranged symmetrically. Accordingly, the gap can be maintained at a constant interval.

도 1 내지 도 7에서 설명한 도전성 도가니는 상향식, 측향식, 또는 하향식 증발 증착 장치에 적용될 수 있다. 예를 들어, 도 1에서 설명한 도전성 격벽(161)을 가진 도전성 도가니가 상향식, 측향식, 또는 하향식 증발 증착 장치에 적용되는 실시예들이 이하에서 설명된다. The conductive crucible illustrated in FIGS. 1 to 7 can be applied to a bottom-up, side-by-side, or top-down evaporation deposition apparatus. For example, embodiments in which the conductive crucible having the conductive partition 161 described in Fig. 1 is applied to a bottom-up, side-by-side, or top-down evaporation deposition apparatus will be described below.

도 8a는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 측향식 선형 증발 증착 장치를 설명하는 사시도이다.8A is a perspective view illustrating a lateral type linear evaporation deposition apparatus according to another embodiment of the present invention.

도 8b는 도 8a의 선형 증발 증착 장치의 폭 방향의 단면도이다.8B is a cross-sectional view in the width direction of the linear evaporation deposition apparatus of FIG. 8A.

도 8a 및 도 8b를 참조하면, 상기 선형 증발 증착 장치(800)는 진공 용기(144); 제1 방향으로 연장되고 상기 진공 용기(144) 내부에 배치되고 증착 물질을 수납하는 도전성 도가니(860); 상기 도전성 도가니(860) 내부에 배치되고 상기 증착 물질과 접촉 면적을 증가시키는 도전성 격벽(161); 상기 도전성 도가니(860)에 장착되고 복수의 관통 노즐들을 포함하는 노즐 블록(120); 상기 도전성 도가니를 감싸도록 배치되어 상기 도전성 도가니(860)를 유도 가열하는 도전성 도가니 유도 가열 코일(134); 및 상기 노즐 블록을 감싸도록 배치되어 상기 노즐 블록(120)을 유도 가열하는 노즐 블록 유도 가열 코일(132);을 포함한다. 상기 도전성 격벽(161)은 상기 도전성 도가니(860)의 하부면 및 측면에 접촉하도록 배치되어 상기 증착 물질(10)을 공간적으로 분리한다. 상기 도전성 격벽(161)의 상부 공간은 서로 연결되고, 상기 관통 노즐들(122)은 상기 제1 방향에 수직한 제2 방향으로 연장된다.8A and 8B, the linear evaporation deposition apparatus 800 includes a vacuum container 144; A conductive crucible (860) extending in a first direction and disposed within the vacuum vessel (144) and containing deposition material; A conductive partition wall 161 disposed inside the conductive crucible 860 and increasing a contact area with the deposition material; A nozzle block 120 mounted on the conductive crucible 860 and including a plurality of through nozzles; A conductive crucible induction heating coil 134 disposed to surround the conductive crucible to induction-heat the conductive crucible 860; And a nozzle block induction heating coil (132) arranged to surround the nozzle block and induction heating the nozzle block (120). The conductive barrier ribs 161 are disposed to contact the lower surface and side surfaces of the conductive crucible 860 to spatially separate the deposition material 10. The upper spaces of the conductive partition walls 161 are connected to each other, and the penetration nozzles 122 extend in a second direction perpendicular to the first direction.

선형 증발 증착 장치(800)는 측향식일 수 있다. 상기 노즐 블록(120)은 상기 도전성 도가니(860)의 상부 측면에 배치되고, 상기 노즐 블록(120)은 중력 방향에 수직하게 증기를 토출할 수 있다. 중력 방향은 제3 방향일 수 있다. The linear evaporation deposition apparatus 800 may be sideways. The nozzle block 120 is disposed on the upper side of the conductive crucible 860, and the nozzle block 120 can discharge the vapor perpendicular to the gravity direction. The gravity direction may be the third direction.

도 9a는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 상향식 선형 증발 증착 장치를 설명하는 사시도이다.9A is a perspective view illustrating a bottom-up linear evaporation deposition apparatus according to another embodiment of the present invention.

도 9b는 도 9a의 선형 증발 증착 장치의 폭 방향의 단면도이다.FIG. 9B is a cross-sectional view in the width direction of the linear evaporation deposition apparatus of FIG. 9A. FIG.

도1 및 도 9a 및 도 9b를 참조하면, 상기 선형 증발 증착 장치(900)는 진공 용기(144); 제1 방향으로 연장되고 상기 진공 용기(144) 내부에 배치되고 증착 물질을 수납하는 도전성 도가니(960); 상기 도전성 도가니(960) 내부에 배치되고 상기 증착 물질과 접촉 면적을 증가시키는 도전성 격벽(161); 상기 도전성 도가니(960)에 장착되고 복수의 관통 노즐들을 포함하는 노즐 블록(120); 상기 도전성 도가니를 감싸도록 배치되어 상기 도전성 도가니(960)를 유도 가열하는 도전성 도가니 유도 가열 코일(134); 및 상기 노즐 블록을 감싸도록 배치되어 상기 노즐 블록(120)을 유도 가열하는 노즐 블록 유도 가열 코일(132);을 포함한다. 상기 도전성 격벽(161)은 상기 도전성 도가니(960)의 하부면 및 측면에 접촉하도록 배치되어 상기 증착 물질(10)을 공간적으로 분리한다. 상기 도전성 격벽(161)의 상부 공간은 서로 연결되고, 상기 관통 노즐들(122)은 상기 제1 방향에 수직한 제2 방향으로 연장된다.1 and 9A and 9B, the linear evaporation deposition apparatus 900 includes a vacuum container 144; A conductive crucible (960) extending in a first direction and disposed within the vacuum vessel (144) and containing deposition material; A conductive partition 161 disposed inside the conductive crucible 960 and increasing a contact area with the deposition material; A nozzle block 120 mounted on the conductive crucible 960 and including a plurality of through nozzles; A conductive crucible induction heating coil 134 disposed to surround the conductive crucible to induction-heat the conductive crucible 960; And a nozzle block induction heating coil (132) arranged to surround the nozzle block and induction heating the nozzle block (120). The conductive barrier ribs 161 are disposed to contact the lower surface and side surfaces of the conductive crucible 960 to spatially separate the deposition material 10. The upper spaces of the conductive partition walls 161 are connected to each other, and the penetration nozzles 122 extend in a second direction perpendicular to the first direction.

상기 노즐 블록(120)은 상기 도전성 도가니(960)의 내부로 삽입되고, 상기 노즐 블록은 중력 방향에 반대로 증기를 토출할 수 있다. 상기 노즐 블록 유도 가열 코일(132)과 상기 도전성 도가니 유도 가열 코일(134)은 일체화될 수 있다.The nozzle block 120 is inserted into the conductive crucible 960, and the nozzle block can discharge steam in the direction opposite to the gravity direction. The nozzle block induction heating coil 132 and the conductive crucible induction heating coil 134 may be integrated.

도 10a는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 하향식 선형 증발 증착 장치를 설명하는 사시도이다.10A is a perspective view illustrating a top-down linear evaporation apparatus according to another embodiment of the present invention.

도 10b는 도 10a의 선형 증발 증착 장치의 폭 방향의 단면도이다.10B is a cross-sectional view in the width direction of the linear evaporation deposition apparatus of Fig. 10A.

도 10a 및 도 10b를 참조하면, 상기 선형 증발 증착 장치(1000)는 진공 용기(144); 제1 방향으로 연장되고 상기 진공 용기(144) 내부에 배치되고 증착 물질을 수납하는 도전성 도가니(1060); 상기 도전성 도가니(1060) 내부에 배치되고 상기 증착 물질과 접촉 면적을 증가시키는 도전성 격벽(161); 상기 도전성 도가니(1060)에 장착되고 복수의 관통 노즐들을 포함하는 노즐 블록(120); 상기 도전성 도가니를 감싸도록 배치되어 상기 도전성 도가니(1060)를 유도 가열하는 도전성 도가니 유도 가열 코일(134); 및 상기 노즐 블록을 감싸도록 배치되어 상기 노즐 블록(120)을 유도 가열하는 노즐 블록 유도 가열 코일(132);을 포함한다. 상기 도전성 격벽(161)은 상기 도전성 도가니(1060)의 하부면 및 측면에 접촉하도록 배치되어 상기 증착 물질(10)을 공간적으로 분리한다. 상기 도전성 격벽(161)의 상부 공간은 서로 연결되고, 상기 관통 노즐들(122)은 상기 제1 방향에 수직한 제2 방향으로 연장된다.Referring to FIGS. 10A and 10B, the linear evaporation deposition apparatus 1000 includes a vacuum container 144; A conductive crucible (1060) extending in a first direction and disposed within the vacuum vessel (144) and containing deposition material; A conductive partition wall 161 disposed inside the conductive crucible 1060 and increasing a contact area with the deposition material; A nozzle block 120 mounted on the conductive crucible 1060 and including a plurality of through nozzles; A conductive crucible induction heating coil 134 disposed to surround the conductive crucible and induction-heating the conductive crucible 1060; And a nozzle block induction heating coil (132) arranged to surround the nozzle block and induction heating the nozzle block (120). The conductive barrier ribs 161 are disposed to contact the lower surface and side surfaces of the conductive crucible 1060 to spatially separate the deposition material 10. The upper spaces of the conductive partition walls 161 are connected to each other, and the penetration nozzles 122 extend in a second direction perpendicular to the first direction.

상기 선형 증발 증착 장치(1000)는 하향식일 수 있다. 상기 도전성 도가니(1060)는 상기 제1 방향 및 제2 방향에 수직한 제3 방향으로 이격되어 상기 노즐 블록과 나란히 연장되고, 상기 도전성 도가니와 상기 노즐 블록을 연결하는 연결 블록(1062)을 포함할 수 있다. 상기 노즐 블록(120)은 중력 방향으로 증기를 토출할 수 있다. 중력 방향은 제2 방향일 수 있다.The linear evaporation apparatus 1000 may be top-down. The conductive crucible 1060 includes a connection block 1062 that is spaced apart in a third direction perpendicular to the first direction and the second direction and extends in parallel with the nozzle block and connects the conductive crucible to the nozzle block . The nozzle block 120 may discharge steam in the gravity direction. The gravity direction may be a second direction.

상기 노즐 블록 유도 가열 코일(132)은 상기 연결 블록(1062)의 일부를 감싸도록 배치되고, 상기 도전성 도가니 유도 가열 코일(132)은 상기 연결 블록(1062)의 다른 일부를 감싸도록 배치될 수 있다. 상기 노즐 블록 유도 가열 코일(132)은 제1 교류 전원(136)에 연결되고, 상기 도전성 도가니 유도 가열 코일(134)은 제2 교류 전원(1068)에 연결될 수 있다.The nozzle block induction heating coil 132 is arranged to surround a part of the connection block 1062 and the conductive crucible induction heating coil 132 can be arranged to surround another part of the connection block 1062 . The nozzle block induction heating coil 132 may be connected to a first AC power source 136 and the conductive crucible induction heating coil 134 may be connected to a second AC power source 1068.

이상에서는 본 발명을 특정의 바람직한 실시예에 대하여 도시하고 설명하였으나, 본 발명은 이러한 실시예에 한정되지 않으며, 당해 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 특허청구범위에서 청구하는 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 실시할 수 있는 다양한 형태의 실시예들을 모두 포함한다.While the present invention has been particularly shown and described with reference to exemplary embodiments thereof, it is to be understood that the invention is not limited to the disclosed exemplary embodiments, And all of the various forms of embodiments that can be practiced without departing from the technical spirit.

120: 노즐 블록
122: 관통 노즐
132: 노즐블록 유도 가열 코일
134: 도전성 도가니 유도 가열 코일
144: 진공 용기
160: 도전성 도가니
161: 도전성 격벽120: nozzle block
122: Through nozzle
132: nozzle block induction heating coil
134: conductive crucible induction heating coil
144: Vacuum container
160: conductive crucible
161: Conductive barrier

Claims (15)

삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 진공 용기;
제1 방향으로 연장되고 상기 진공 용기 내부에 배치되고 증착 물질을 수납하는 도전성 도가니;
상기 도전성 도가니 내부에 배치되고 상기 증착 물질과 접촉 면적을 증가시키는 도전성 격벽;
상기 도전성 도가니에 장착되고 복수의 관통 노즐들을 포함하는 노즐 블록;
상기 진공 용기 내부에 배치되고 상기 도전성 도가니를 감싸도록 배치되어 상기 도전성 도가니를 비접촉식으로 유도 가열하는 도전성 도가니 유도 가열 코일;
상기 진공 용기 내부에 배치되고 상기 노즐 블록을 감싸도록 배치되어 상기 노즐 블록을 비접촉식으로 유도 가열하는 노즐 블록 유도 가열 코일; 및
절연체로 형성되고 상기 진공 용기 내부에 배치되고 상기 도전성 도가니 유도 가열 코일 및 노즐 블록 유도 가열 코일을 지지하는 지지부를 포함하고,
상기 도전성 격벽은 상기 도전성 도가니의 하부면 및 측면에 접촉하도록 배치되어 상기 증착 물질을 공간적으로 분리하고,
상기 도전성 격벽의 상부 공간은 서로 연결되고,
상기 관통 노즐들은 상기 제1 방향에 수직한 제2 방향으로 연장되고,
상기 도전성 도가니는 상기 제1 방향 및 제2 방향에 수직한 제3 방향으로 이격되어 상기 노즐 블록과 나란히 연장되고,
상기 도전성 도가니와 상기 노즐 블록을 연결하는 연결 블록을 더 포함하고,
상기 노즐 블록은 중력 방향으로 증기를 토출하고,
상기 도전성 도가니 유도 가열 코일 및 노즐 블록 유도 가열 코일은 상기 노즐 블록과 상기 도전성 도가니 사이에 온도 구배를 제공하는 것을 특징으로 하는 선형 증발 증착 장치.A vacuum container;
A conductive crucible that extends in a first direction and is disposed inside the vacuum container and accommodates a deposition material;
A conductive partition wall disposed inside the conductive crucible and increasing a contact area with the deposition material;
A nozzle block mounted on the conductive crucible and including a plurality of through nozzles;
A conductive crucible induction heating coil disposed inside the vacuum container and arranged to surround the conductive crucible to inductively heat the conductive crucible in a non-contact manner;
A nozzle block induction heating coil disposed inside the vacuum container and disposed to surround the nozzle block to induction-heat the nozzle block in a non-contact manner; And
And a support member formed of an insulator and disposed inside the vacuum container and supporting the conductive crucible induction heating coil and the nozzle block induction heating coil,
Wherein the conductive partition wall is disposed in contact with a lower surface and a side surface of the conductive crucible to spatially separate the deposition material,
The upper spaces of the conductive partition walls are connected to each other,
The through nozzles extending in a second direction perpendicular to the first direction,
Wherein the conductive crucible extends in parallel with the nozzle block in a third direction perpendicular to the first direction and the second direction,
Further comprising a connection block connecting the conductive crucible to the nozzle block,
Wherein the nozzle block ejects steam in a gravity direction,
Wherein the conductive crucible induction heating coil and the nozzle block induction heating coil provide a temperature gradient between the nozzle block and the conductive crucible. 진공 용기;
제1 방향으로 연장되고 상기 진공 용기 내부에 배치되고 증착 물질을 수납하는 도전성 도가니;
제1 방향으로 연장되고 상기 도전성 도가니 내부에 배치되고 상기 증착 물질의 상부면을 감싸도록 배치되고 증발하지 않은 증착 물질의 상부면과 직접 접촉하는 증착 물질 덮개부;
상기 도전성 도가니에 장착되고 복수의 관통 노즐들을 포함하는 노즐 블록;
상기 진공 용기 내부에 배치되고 상기 도전성 도가니를 감싸도록 배치되어 상기 도전성 도가니를 비접촉식으로 유도 가열하는 도전성 도가니 유도 가열 코일;
상기 진공 용기 내부에 배치되고 상기 노즐 블록을 감싸도록 배치되어 상기 노즐 블록을 비접촉식으로 유도 가열하는 노즐 블록 유도 가열 코일; 및
절연체로 형성되고 상기 진공 용기 내부에 배치되고 상기 도전성 도가니 유도 가열 코일 및 노즐 블록 유도 가열 코일을 지지하는 지지부를 포함하고,
상기 관통 노즐들은 상기 제1 방향에 수직한 제2 방향으로 연장되고,
상기 도전성 도가니 유도 가열 코일 및 노즐 블록 유도 가열 코일은 상기 노즐 블록과 상기 도전성 도가니 사이에 온도 구배를 제공하는 것을 특징으로 하는 선형 증발 증착 장치.A vacuum container;
A conductive crucible that extends in a first direction and is disposed inside the vacuum container and accommodates a deposition material;
A deposition material lid that extends in a first direction and is disposed inside the conductive crucible and is disposed to surround the upper surface of the deposition material and is in direct contact with the upper surface of the non-evaporated deposition material;
A nozzle block mounted on the conductive crucible and including a plurality of through nozzles;
A conductive crucible induction heating coil disposed inside the vacuum container and arranged to surround the conductive crucible to inductively heat the conductive crucible in a non-contact manner;
A nozzle block induction heating coil disposed inside the vacuum container and disposed to surround the nozzle block to induction-heat the nozzle block in a non-contact manner; And
And a support member formed of an insulator and disposed inside the vacuum container and supporting the conductive crucible induction heating coil and the nozzle block induction heating coil,
The through nozzles extending in a second direction perpendicular to the first direction,
Wherein the conductive crucible induction heating coil and the nozzle block induction heating coil provide a temperature gradient between the nozzle block and the conductive crucible. 제7 항에 있어서,
상기 도전성 도가니의 내부 측면에 복수의 걸림턱을 포함하고,
상기 증착 물질 덮개부는 상기 걸림턱에 고정되고,
상기 증착 물질 덮개부는 일면이 개방된 삼각통, 제1 방향으로 원주의 일부가 개방된 원통, 또는 "U"자 형태의 통인 것을 특징으로 하는 선형 증발 증착 장치.8. The method of claim 7,
And a plurality of engagement protrusions on the inner side surface of the conductive crucible,
Wherein the deposition material lid is fixed to the engagement jaw,
Wherein the evaporation material lid is a cylinder having one side opened, a cylinder partially opened in a first direction, or a cylinder having a "U" shape. 제7 항에 있어서,
상기 도전성 도가니의 모서리에 배치된 복수의 증착 물질 덮개 가이드를 포함하고,
상기 증착 물질 덮개부의 모서리는 상기 증착 물질 덮개 가이드를 따라 이동하는 것을 특징으로 하는 선형 증발 증착 장치.8. The method of claim 7,
And a plurality of evaporation material cover guides disposed at edges of the conductive crucible,
Wherein the edge of the deposition material lid moves along the deposition material lid guide. 제7 항에 있어서,
상기 증착 물질 덮개부는 판형이고,
상기 증착 물질 덮개부는 상기 증착 물질 덮개부의 모서리에 고정된 수직 운동 가이드를 포함하고,
상기 수직 운동 가이드는 상기 도전성 도가니의 모서리를 따라 이동하는 것을 특징으로 하는 선형 증발 증착 장치.8. The method of claim 7,
Wherein the deposition material cover is plate-
Wherein the deposition material lid includes a vertical motion guide fixed to an edge of the deposition material lid,
Wherein the vertical motion guide moves along the edge of the conductive crucible. 제7 항에 있어서,
상기 도전성 도가니의 내부 측면에 복수의 걸림턱을 포함하고,
상기 증착 물질 덮개부는 상기 걸림턱에 결합하고,
상기 증착 물질 덮개부는 일면이 개방된 삼각통, 제1 방향으로 원주의 일부가 개방된 원통, 또는 "U"자 통이고,
스페이서는 상기 증착 물질 덮개부의 측면과 상기 도전성 도가니의 내측면 사이에 삽입되어 틈을 생성하는 것을 특징으로 하는 선형 증발 증착 장치.8. The method of claim 7,
And a plurality of engagement protrusions on the inner side surface of the conductive crucible,
Wherein the deposition material lid is coupled to the latching jaw,
Wherein the deposition material lid is a "U" tubular cylinder having a portion of a circumference open in a first direction,
Wherein the spacer is inserted between the side of the deposition material lid and the inner side of the conductive crucible to create a gap. 제7 항에 있어서,
상기 노즐 블록은 중력 방향에 반대로 증기를 토출하는 것을 특징으로 하는 선형 증발 증착 장치.8. The method of claim 7,
Wherein the nozzle block discharges steam in a direction opposite to the direction of gravity. 제7 항에 있어서,
상기 노즐 블록은 상기 도전성 도가니의 상부 측면에 배치되고,
상기 노즐 블록은 중력 방향에 수직하게 증기를 토출하는 것을 특징으로 하는 선형 증발 증착 장치.8. The method of claim 7,
Wherein the nozzle block is disposed on an upper side of the conductive crucible,
Wherein the nozzle block discharges the vapor perpendicularly to the gravity direction. 제7 항에 있어서,
상기 노즐 블록은 상기 도전성 도가니의 내부로 삽입되고,
상기 노즐 블록은 중력 방향에 반대로 증기를 토출하는 것을 특징으로 하는 선형 증발 증착 장치.8. The method of claim 7,
Wherein the nozzle block is inserted into the conductive crucible,
Wherein the nozzle block discharges steam in a direction opposite to the direction of gravity. 제7 항에 있어서,
상기 도전성 도가니는 상기 제1 방향 및 제2 방향에 수직한 제3 방향으로 이격되어 상기 노즐 블록과 나란히 연장되고,
상기 도전성 도가니와 상기 노즐 블록을 연결하는 연결 블록을 더 포함하고,
상기 노즐 블록은 중력 방향으로 증기를 토출하는 것을 특징으로 하는 선형 증발 증착 장치.
8. The method of claim 7,
Wherein the conductive crucible extends in parallel with the nozzle block in a third direction perpendicular to the first direction and the second direction,
Further comprising a connection block connecting the conductive crucible to the nozzle block,
Wherein the nozzle block discharges steam in a gravitational direction.
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