KR101758393B1 - Photosensitive resin composition, method of forming pattern, color filter, and display device - Google Patents

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KR101758393B1 KR1020120104624A KR20120104624A KR101758393B1 KR 101758393 B1 KR101758393 B1 KR 101758393B1 KR 1020120104624 A KR1020120104624 A KR 1020120104624A KR 20120104624 A KR20120104624 A KR 20120104624A KR 101758393 B1 KR101758393 B1 KR 101758393B1
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Abstract

과제
차광제를 함유하면서도, 저노광량으로 직진성·밀착성이 뛰어난 패턴을 형성 가능한 감광성 수지 조성물, 이 감광성 수지 조성물을 이용한 패턴 형성 방법, 이 감광성 수지 조성물을 이용해 형성된 컬러 필터 및 이 컬러 필터가 사용된 표시 장치를 제공한다.
해결 수단
본 발명에 관한 감광성 수지 조성물은 광중합성 화합물, 광중합 개시제, 하기 식 (1)로 나타내는 화합물 및 차광제를 함유한다.

Figure 112012076458456-pat00028

식 중, R1 및 R2는 각각 독립적으로 수소 원자 또는 유기기를 나타내지만, 적어도 한쪽은 유기기를 나타낸다. R1 및 R2는 이것들이 결합해 환상 구조를 형성하고 있어도 되고, 헤테로 원자의 결합을 포함하고 있어도 된다. R3은 단결합 또는 유기기를 나타낸다. R4~R9는 각각 독립적으로 수소 원자, 유기기 등을 나타내지만, R6 및 R7이 수산기가 되는 경우는 없다. R10은 수소 원자 또는 유기기를 나타낸다. assignment
A pattern forming method using the photosensitive resin composition, a color filter formed by using the photosensitive resin composition, and a display device using the color filter. The present invention provides a photosensitive resin composition capable of forming a pattern having excellent light- Lt; / RTI >
Solution
The photosensitive resin composition according to the present invention contains a photopolymerizable compound, a photopolymerization initiator, a compound represented by the following formula (1), and a light shielding agent.
Figure 112012076458456-pat00028

In the formulas, R 1 and R 2 each independently represent a hydrogen atom or an organic group, but at least one of them represents an organic group. R 1 and R 2 may combine with each other to form a cyclic structure or may contain a heteroatom bond. R 3 represents a single bond or an organic group. R 4 to R 9 each independently represent a hydrogen atom, an organic group or the like, but R 6 and R 7 do not form a hydroxyl group. R 10 represents a hydrogen atom or an organic group.

Description

감광성 수지 조성물, 패턴 형성 방법, 컬러 필터 및 표시 장치{PHOTOSENSITIVE RESIN COMPOSITION, METHOD OF FORMING PATTERN, COLOR FILTER, AND DISPLAY DEVICE}TECHNICAL FIELD [0001] The present invention relates to a photosensitive resin composition, a pattern forming method, a color filter, and a display device.

본 발명은 감광성 수지 조성물, 이 감광성 수지 조성물을 이용한 패턴 형성 방법, 이 감광성 수지 조성물을 이용해 형성된 컬러 필터 및 이 컬러 필터가 사용된 표시 장치에 관한 것이다.
The present invention relates to a photosensitive resin composition, a pattern forming method using the photosensitive resin composition, a color filter formed using the photosensitive resin composition, and a display device using the color filter.

네가티브형의 감광성 수지 조성물은 자외선 등의 전자파의 조사에 의해 경화되는 특성을 가진다. 이 감광성 수지 조성물은 전자파를 조사한 부분을 경화시킴으로써 원하는 형상의 패턴을 얻을 수 있기 때문에, 표시 장치, 반도체 장치, 전자 부품, 미소 전기 기계 시스템(MEMS) 등의 여러 가지의 용도에 널리 이용되고 있다. 예를 들면, 표시 장치에서는 액정 표시 디스플레이나 유기 EL 디스플레이 등에서의 컬러 필터, 블랙 매트릭스 등의 재료로서 이용되고 있다.The negative-type photosensitive resin composition has properties of being cured by irradiation with electromagnetic waves such as ultraviolet rays. This photosensitive resin composition is widely used for various applications such as display devices, semiconductor devices, electronic parts, and microelectromechanical systems (MEMS) because it can obtain patterns of desired shapes by curing portions irradiated with electromagnetic waves. For example, the display device is used as a material such as a color filter or a black matrix in a liquid crystal display or an organic EL display.

그런데, 최근 액정 표시 디스플레이나 유기 EL 디스플레이의 제조에 있어서는 블랙 매트릭스에 의한 차광성을 향상시키고, 표시 콘트라스트를 보다 한층 향상시키는 시도가 이루어지고 있다. 이 때문에 블랙 매트릭스를 형성시키기 위한 감광성 수지 조성물에 차광제를 다량으로 포함시키는 것이 필요하다.In recent years, attempts have been made to improve the light-shielding property by the black matrix and further improve the display contrast in the manufacture of a liquid crystal display or an organic EL display. For this reason, it is necessary to incorporate a large amount of a light shielding agent into the photosensitive resin composition for forming the black matrix.

그러나, 이와 같이 감광성 수지 조성물에 차광제를 다량으로 포함시키면, 감도가 저하되어 패턴 형성에 필요한 노광량이 증가해 버린다는 문제가 있었다. 또, 기판에 가까운 부분일수록 경화가 진행되기 어렵기 때문에, 현상 중에 패턴이 기판으로부터 벗겨져 떨어져 버리거나, 엣지 부분이 침식되어 패턴의 직진성이 저하되거나 하는 문제가 있었다.
However, when a large amount of the light-shielding agent is contained in the photosensitive resin composition as described above, there is a problem that the sensitivity is lowered and the amount of exposure necessary for pattern formation is increased. Further, since hardening is less likely to occur in a portion closer to the substrate, there is a problem that the pattern is peeled off from the substrate during development, or the edge portion is eroded to lower the linearity of the pattern.

일본 특개 2011-052214호 공보Japanese Patent Laid-Open No. 2011-052214

이에, 본 발명은 차광제를 함유하면서도, 저노광량으로 직진성·밀착성이 뛰어난 패턴을 형성 가능한 감광성 수지 조성물, 이 감광성 수지 조성물을 이용한 패턴 형성 방법, 이 감광성 수지 조성물을 이용해 형성된 컬러 필터 및 이 컬러 필터가 사용된 표시 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
Accordingly, it is an object of the present invention to provide a photosensitive resin composition capable of forming a pattern that contains a light shielding agent and has excellent linearity and adhesion at a low exposure dose, a pattern forming method using the photosensitive resin composition, a color filter formed using the photosensitive resin composition, And a display device using the same.

본 발명자들은 상기 목적을 달성하기 위해 열심히 연구를 거듭했다. 그 결과, 특정 화합물을 감광성 수지 조성물에 함유시킴으로써 상기 과제를 해결할 수 있다는 것을 알아내어 본 발명을 완성하기에 이르렀다. 구체적으로는 본 발명은 이하와 같은 것을 제공한다.The present inventors have studied hard to achieve the above object. As a result, they have found that the above problems can be solved by containing a specific compound in a photosensitive resin composition, and have accomplished the present invention. Specifically, the present invention provides the following.

본 발명의 제1의 태양은 광중합성 화합물, 광중합 개시제, 하기 식 (1)로 나타내는 화합물 및 차광제를 함유하는 감광성 수지 조성물이다.A first aspect of the present invention is a photosensitive resin composition containing a photopolymerizable compound, a photopolymerization initiator, a compound represented by the following formula (1), and a light shielding agent.

Figure 112012076458456-pat00001
Figure 112012076458456-pat00001

(식 중, R1 및 R2는 각각 독립적으로 수소 원자 또는 유기기를 나타낸다. 단, R1 및 R2 중 적어도 한쪽은 유기기를 나타낸다. R1 및 R2는 이것들이 결합해 환상 구조를 형성하고 있어도 되고, 헤테로 원자의 결합을 포함하고 있어도 된다. R3은 단결합 또는 유기기를 나타낸다. R4 및 R5는 각각 독립적으로 수소 원자, 할로겐 원자, 수산기, 메르캅토기, 술피드기, 실릴기, 실라놀기, 니트로기, 니트로소기, 술피노기, 술포기, 술포네이트기, 포스피노기, 포스피닐기, 포스포노기, 포스포네이트기 또는 유기기를 나타낸다. R6, R7, R8 및 R9는 각각 독립적으로 수소 원자, 할로겐 원자, 수산기, 메르캅토기, 술피드기, 실릴기, 실라놀기, 니트로기, 니트로소기, 술피노기, 술포기, 술포네이트기, 포스피노기, 포스피닐기, 포스포노기, 포스포네이트기, 아미노기, 암모니오기 또는 유기기를 나타낸다. 단, R6 및 R7이 수산기가 되는 경우는 없다. R6, R7, R8 및 R9는 이들 2 이상이 결합해 환상 구조를 형성하고 있어도 되고, 헤테로 원자의 결합을 포함하고 있어도 된다. R10은 수소 원자 또는 유기기를 나타낸다.)(Shown in, R 1 and R 2 are a hydrogen atom or an organic each independently formula: provided that at least one of R 1 and R 2 represents an organic group. R 1 and R 2 form a cyclic structure by these binding It may be, or may include a combination of the hetero atom. R 3 represents a single bond or an organic. R 4 and R 5 are each independently a hydrogen atom, a halogen atom, a hydroxyl group, a mercapto group, a sulfide group, a silyl group , A silanol group, a nitro group, a nitroso group, a sulfino group, a sulfo group, a sulfonate group, a phosphino group, a phosphinyl group, a phosphono group, a phosphonate group or an organic group R 6 , R 7 , R 8 And R 9 each independently represent a hydrogen atom, a halogen atom, a hydroxyl group, a mercapto group, a sulfide group, a silyl group, a silanol group, a nitro group, a nitroso group, a sulfino group, a sulfo group, a sulfonate group, A phosphonyl group, a phosphono group, a phosphonate group, an amino group Represents ammonia coming or an organic group. However, R 6, and there is no case R 7 is where the hydroxyl group. R 6, R 7, R 8 and R 9 is may form a ring structure by combining more than these two, hetero And R 10 represents a hydrogen atom or an organic group.

상기 식 (1)로 나타내는 화합물과 유사한 구조의 화합물로서 특허문헌 1에는 하기 식으로 나타내는 염기 발생제가 개시되어 있다. 이 염기 발생제는 전자파 조사 및 가열에 의해 고리화되어 염기(NHR21R22)를 생성한다.As a compound having a structure similar to the compound represented by the above formula (1), Patent Document 1 discloses a base generator represented by the following formula. The base generator is cyclized by irradiation with electromagnetic waves and heating to produce a base (NHR 21 R 22 ).

Figure 112012076458456-pat00002
Figure 112012076458456-pat00002

(식 중, R21 및 R22는 각각 독립적으로 수소 원자 또는 유기기이며, 동일해도 상이해도 된다. R21 및 R22는 이것들이 결합해 환상 구조를 형성하고 있어도 되고, 헤테로 원자의 결합을 포함하고 있어도 된다. 단, R21 및 R22 중 적어도 1개는 유기기이다. R23 및 R24는 각각 독립적으로 수소 원자, 할로겐 원자, 수산기, 메르캅토기, 술피드기, 실릴기, 실라놀기, 니트로기, 니트로소기, 술피노기, 술포기, 술포네이트기, 포스피노기, 포스피닐기, 포스포노기, 포스포네이트기 또는 유기기이며, 동일해도 상이해도 된다. 단, R23 및 R24 중 적어도 1개는 할로겐 원자, 수산기, 메르캅토기, 술피드기, 실릴기, 실라놀기, 니트로기, 니트로소기, 술피노기, 술포기, 술포네이트기, 포스피노기, 포스피닐기, 포스포노기, 포스포네이트기 또는 유기기이다. R25, R26, R27 및 R28은 수소 원자, 할로겐 원자, 수산기, 메르캅토기, 술피드기, 실릴기, 실라놀기, 니트로기, 니트로소기, 술피노기, 술포기, 술포네이트기, 포스피노기, 포스피닐기, 포스포노기, 포스포네이트기, 아미노기, 암모니오기 또는 유기기이며, 동일해도 상이해도 된다. R25, R26, R27 및 R28은 이들 2 이상이 결합해 환상 구조를 형성하고 있어도 되고, 헤테로 원자의 결합을 포함하고 있어도 된다.)(Wherein R 21 and R 22 are each independently a hydrogen atom or an organic group and may be the same or different), and R 21 and R 22 may be bonded to form a cyclic structure, or it may, and except, R 21 and the R 22 of the at least one is an organic group. R 23 and R 24 are playing each independently represent a hydrogen atom, a halogen atom, a hydroxyl group, a mercapto group, a sulfide group, a silyl group, a silanol , a nitro group, alcohol is pinot group, sulfo group, sulfonate group, phosphino group, a phosphine P group, a phosphono group, phosphonate group or an organic group, may be the same or different. However, R 23, and At least one of R 24 is a halogen atom, a hydroxyl group, a mercapto group, a sulfide group, a silyl group, a silanol group, a nitro group, a nitroso group, a sulfino group, a sulfo group, a sulfonate group, a phosphino group, , A phosphono group, a phosphonate group or an organic group R 25 , R 26 , R 27 and R 28 represents a hydrogen atom, a halogen atom, a hydroxyl group, a mercapto group, a sulfide group, a silyl group, a silanol group, a nitro group, a nitroso group, a sulfino group, a sulfo group, a sulfonate group, a phosphino group, A phosphono group, a phosphonate group, an amino group, an ammonium group or an organic group and may be the same or different from each other. R 25 , R 26 , R 27 and R 28 may combine with each other to form a cyclic structure, And may contain a bond of a hetero atom.)

그러나, 본 발명자들이 확인한 바로는, 특허문헌 1에 기재된 염기 발생제를 감광성 수지 조성물에 함유시켜도, 광 에너지가 고리화를 위해서 소비되기 때문에 양호한 미소 패터닝 특성은 얻어지지 않았다.However, the present inventors have found that good micropatterning characteristics can not be obtained because light energy is consumed for cyclization even when the base generator described in Patent Document 1 is contained in the photosensitive resin composition.

이것에 대해서, 상기 식 (1)로 나타내는 화합물은 R6 및 R7이 수산기가 되는 경우가 없기 때문에, 고리화 반응은 생기지 않아 양호한 미소 패터닝 특성을 얻는 것이 가능하다.On the other hand, in the compound represented by the above formula (1), since R 6 and R 7 do not form a hydroxyl group, cyclization reaction does not occur and good fine patterning characteristics can be obtained.

또한, 상기 식 (1)로 나타내는 화합물은 전자파 조사 또는 가열에 의해 염기를 발생시키기 때문에, 염기 발생제로도 기능한다. 또, 상기 식 (1)로 나타내는 화합물은 감광성 수지 조성물 중에 배합되면 기판에 대한 밀착성을 높이는 효과를 나타내기 때문에 밀착 증강제로도 기능한다.Further, since the compound represented by the above formula (1) generates a base by irradiation with electromagnetic waves or heating, it also functions as a base generator. When the compound represented by the formula (1) is incorporated into the photosensitive resin composition, the compound exhibits an effect of enhancing the adhesion to the substrate and thus also functions as an adhesion enhancer.

본 발명의 제2 태양은 본 발명에 관한 감광성 수지 조성물을 이용해 도막 또는 성형체를 형성하고, 이 도막 또는 성형체에 대해서 소정 패턴 모양으로 전자파를 조사해 현상하는 패턴 형성 방법이다.A second aspect of the present invention is a pattern forming method for forming a coating film or a molded body using the photosensitive resin composition according to the present invention, and irradiating the coating film or the molded body with electromagnetic waves in a predetermined pattern shape for development.

본 발명의 제3 태양은 본 발명에 관한 감광성 수지 조성물을 이용해 형성된 컬러 필터이며, 본 발명의 제4 태양은 본 발명에 관한 컬러 필터가 사용된 표시 장치이다.
A third aspect of the present invention is a color filter formed using the photosensitive resin composition according to the present invention, and the fourth aspect of the present invention is a display device using the color filter according to the present invention.

본 발명에 의하면, 차광제를 함유하면서도, 저노광량으로 직진성·밀착성이 뛰어난 패턴을 형성 가능한 감광성 수지 조성물, 이 감광성 수지 조성물을 이용한 패턴 형성 방법, 이 감광성 수지 조성물을 이용해 형성된 컬러 필터 및 이 컬러 필터가 사용된 표시 장치를 제공할 수 있다.
According to the present invention, there can be provided a photosensitive resin composition capable of forming a pattern having excellent light-shielding property and high linearity and adhesion at a low exposure amount, a pattern forming method using the photosensitive resin composition, a color filter formed using the photosensitive resin composition, Can be provided.

≪감광성 수지 조성물≫&Quot; Photosensitive resin composition &

본 발명에 관한 감광성 수지 조성물은 광중합성 화합물, 광중합 개시제, 후술하는 식 (1)로 나타내는 화합물 및 차광제를 적어도 함유하는 것이다. 이하, 감광성 수지 조성물에 함유되는 각 성분에 대해서 상세하게 설명한다.The photosensitive resin composition according to the present invention contains at least a photopolymerizable compound, a photopolymerization initiator, a compound represented by the following formula (1), and a light shielding agent. Hereinafter, each component contained in the photosensitive resin composition will be described in detail.

<광중합성 화합물>≪ Photopolymerizable compound >

광중합성 화합물로는 특별히 한정되지 않고, 종래 공지의 광중합성 화합물을 이용할 수 있다. 그 중에서도, 에틸렌성 불포화기를 가지는 수지 또는 모노머가 바람직하고, 이것들을 조합하는 것이 보다 바람직하다. 에틸렌성 불포화기를 가지는 수지와 에틸렌성 불포화기를 가지는 모노머를 조합함으로써, 감광성 수지 조성물의 경화성을 향상시켜 패턴 형성을 용이하게 할 수 있다.The photopolymerizable compound is not particularly limited, and conventionally known photopolymerizable compounds can be used. Among them, a resin or monomer having an ethylenic unsaturated group is preferable, and a combination thereof is more preferable. By combining a resin having an ethylenic unsaturated group and a monomer having an ethylenic unsaturated group, it is possible to improve the curability of the photosensitive resin composition and facilitate pattern formation.

[에틸렌성 불포화기를 가지는 수지][Resin Having Ethylenic Unsaturated Group]

에틸렌성 불포화기를 가지는 수지로는 예를 들면, 에폭시 화합물과 불포화 카르복시산의 반응물을 추가로 다염기산 무수물과 반응시킴으로써 얻어지는 수지를 이용할 수 있다.As the resin having an ethylenic unsaturated group, for example, a resin obtained by reacting a reaction product of an epoxy compound and an unsaturated carboxylic acid with a polybasic acid anhydride can be used.

그 중에서도, 카르도(cardo) 구조를 가지는 수지가 바람직하고, 하기 식 (a-1)로 나타내는 수지가 보다 바람직하다. 이 식 (a-1)로 나타내는 수지는 그 자체가 광경화성이 높다는 점에서 바람직하다.Among them, a resin having a cardo structure is preferable, and a resin represented by the following formula (a-1) is more preferable. The resin represented by the formula (a-1) is preferable in view of its high photocurability.

Figure 112012076458456-pat00003
Figure 112012076458456-pat00003

상기 식 (a-1) 중, Xa는 하기 식 (a-2)로 나타내는 기를 나타낸다.In the above formula (a-1), X a represents a group represented by the following formula (a-2).

Figure 112012076458456-pat00004
Figure 112012076458456-pat00004

상기 식 (a-2) 중, Ra1은 각각 독립적으로 수소 원자, 탄소수 1~6의 탄화수소기 또는 할로겐 원자를 나타내고, Ra2는 각각 독립적으로 수소 원자 또는 메틸기를 나타내며, Wa는 단결합 또는 하기 식 (a-3)으로 나타내는 기를 나타낸다.In formula (a-2), R a1 independently represents a hydrogen atom, a hydrocarbon group of 1 to 6 carbon atoms or a halogen atom, R a2 each independently represents a hydrogen atom or a methyl group, and W a represents a single bond or Represents a group represented by the following formula (a-3).

Figure 112012076458456-pat00005
Figure 112012076458456-pat00005

또, 상기 식 (a-1) 중, Ya는 디카르복시산 무수물로부터 산 무수물기(-CO-O-CO-)를 제외한 잔기를 나타낸다. 디카르복시산 무수물의 예로는 무수 말레산, 무수 숙신산, 무수 이타콘산, 무수 프탈산, 무수 테트라히드로프탈산, 무수 헥사히드로프탈산, 무수 메틸 엔드 메틸렌테트라히드로프탈산, 무수 클로렌드산, 메틸테트라히드로 무수 프탈산, 무수 글루타르산 등을 들 수 있다.In the formula (a-1), Y a represents a residue other than an acid anhydride group (-CO-O-CO-) from a dicarboxylic acid anhydride. Examples of the dicarboxylic acid anhydride include maleic anhydride, succinic anhydride, itaconic anhydride, phthalic anhydride, tetrahydrophthalic anhydride, hexahydrophthalic anhydride, methyl endmethylenetetrahydrophthalic anhydride, chlorodic anhydride, methyltetrahydrophthalic anhydride, And glutaric acid.

또, 상기 식 (a-1) 중, Za는 테트라카르복시산 2무수물로부터 2개의 산 무수물기를 제외한 잔기를 나타낸다. 테트라카르복시산 2무수물의 예로는 피로멜리트산 2무수물, 벤조페논테트라카르복시산 2무수물, 비페닐테트라카르복시산 2무수물, 비페닐에테르테트라카르복시산 2무수물 등을 들 수 있다.In the above formula (a-1), Z a represents a residue other than the two acid anhydride groups from the tetracarboxylic acid dianhydride. Examples of the tetracarboxylic acid dianhydride include pyromellitic dianhydride, benzophenonetetracarboxylic dianhydride, biphenyltetracarboxylic dianhydride, and biphenyl ether tetracarboxylic dianhydride.

또, 상기 식 (a-1) 중, m은 0~20의 정수를 나타낸다.In the above formula (a-1), m represents an integer of 0 to 20.

또, 에틸렌성 불포화기를 가지는 수지로는 다가 알코올류와 1염기산 또는 다염기산을 축합해 얻어지는 폴리에스테르 프리폴리머에 (메타)아크릴산을 반응시켜 얻어지는 폴리에스테르 (메타)아크릴레이트;폴리올과 2개의 이소시아네이트기를 가지는 화합물을 반응시킨 후, (메타)아크릴산을 반응시켜 얻어지는 폴리우레탄 (메타)아크릴레이트;비스페놀 A형 에폭시 수지, 비스페놀 F형 에폭시 수지, 비스페놀 S형 에폭시 수지, 페놀 또는 크레졸노볼락형 에폭시 수지, 레졸형 에폭시 수지, 트리페놀메탄형 에폭시 수지, 폴리카르복시산 폴리글리시딜에스테르, 폴리올폴리글리시딜에스테르, 지방족 또는 지환식 에폭시 수지, 아민 에폭시 수지, 디히드록시벤젠형 에폭시 수지 등의 에폭시 수지와 (메타)아크릴산을 반응시켜 얻어지는 에폭시 (메타)아크릴레이트 수지 등을 이용할 수도 있다.Examples of the resin having an ethylenic unsaturated group include a polyester (meth) acrylate obtained by reacting a (meth) acrylic acid with a polyester prepolymer obtained by condensing a polyhydric alcohol with a monobasic acid or a polybasic acid; (Meth) acrylate obtained by reacting a compound with a (meth) acrylic acid and then reacting with the (meth) acrylic acid; a bisphenol A type epoxy resin, a bisphenol F type epoxy resin, a bisphenol S type epoxy resin, a phenol or cresol novolak type epoxy resin, An epoxy resin such as a sol-type epoxy resin, a triphenolmethane-type epoxy resin, a polycarboxylic acid polyglycidyl ester, a polyol polyglycidyl ester, an aliphatic or alicyclic epoxy resin, an amine epoxy resin and a dihydroxybenzene- (Meth) acrylic acid obtained by reacting an epoxy (meth) Sites may use a resin, or the like.

또한, 본 명세서에서, 「(메타)아크릴산」은 아크릴산과 메타크릴산 양쪽 모두를 의미한다. 마찬가지로, 「(메타)아크릴레이트」는 아크릴레이트와 메타크릴레이트 양쪽 모두를 의미한다.In the present specification, "(meth) acrylic acid" means both acrylic acid and methacrylic acid. Likewise, "(meth) acrylate" means both acrylate and methacrylate.

에틸렌성 불포화기를 가지는 수지의 산가는 수지 고형분으로 10~150㎎KOH/g인 것이 바람직하고, 70~110㎎KOH/g인 것이 보다 바람직하다. 상기의 범위로 함으로써, 양호한 현상성을 얻으면서, 충분한 경화성을 얻을 수 있다.The acid value of the resin having an ethylenic unsaturated group is preferably 10 to 150 mgKOH / g, more preferably 70 to 110 mgKOH / g, in terms of resin solid content. Within the above range, sufficient curability can be obtained while achieving good developability.

또, 에틸렌성 불포화기를 가지는 수지의 중량 평균 분자량은 1000~40000인 것이 바람직하고, 2000~30000인 것이 보다 바람직하다. 상기의 범위로 함으로써, 양호한 현상성을 얻으면서, 충분한 내열성, 막 강도를 얻을 수 있다.The weight average molecular weight of the resin having an ethylenic unsaturated group is preferably from 1,000 to 40,000, more preferably from 2,000 to 30,000. Within the above range, sufficient heat resistance and film strength can be obtained while satisfactory developability is obtained.

에틸렌성 불포화기를 가지는 수지의 함유량은 감광성 수지 조성물의 고형분에 대해서 5~80중량%인 것이 바람직하고, 15~50중량%인 것이 보다 바람직하다. 상기의 범위로 함으로써, 현상성의 밸런스를 취하기 쉬운 경향이 있다.The content of the resin having an ethylenic unsaturated group is preferably 5 to 80% by weight, more preferably 15 to 50% by weight, based on the solid content of the photosensitive resin composition. When the amount is in the above range, there is a tendency that balance of developability is easily obtained.

[에틸렌성 불포화기를 가지는 모노머][Monomer having an ethylenically unsaturated group]

에틸렌성 불포화기를 가지는 모노머에는 단관능 모노머와 다관능 모노머가 있다.Monomers having an ethylenic unsaturated group include monofunctional monomers and polyfunctional monomers.

단관능 모노머로는 (메타)아크릴아미드, 메틸올 (메타)아크릴아미드, 메톡시메틸 (메타)아크릴아미드, 에톡시메틸 (메타)아크릴아미드, 프로폭시메틸 (메타)아크릴아미드, 부톡시메톡시메틸 (메타)아크릴아미드, N-메틸올 (메타)아크릴아미드, N-히드록시메틸 (메타)아크릴아미드, (메타)아크릴산, 푸말산, 말레산, 무수 말레산, 이타콘산, 무수 이타콘산, 시트라콘산, 무수 시트라콘산, 크로톤산, 2-아크릴아미드-2-메틸프로판 설폰산, tert-부틸아크릴아미드 설폰산, 메틸 (메타)아크릴레이트, 에틸 (메타)아크릴레이트, 부틸 (메타)아크릴레이트, 2-에틸헥실 (메타)아크릴레이트, 시클로헥실 (메타)아크릴레이트, 2-히드록시에틸 (메타)아크릴레이트, 2-히드록시프로필 (메타)아크릴레이트, 2-히드록시부틸 (메타)아크릴레이트, 2-페녹시-2-히드록시프로필 (메타)아크릴레이트, 2-(메타)아크릴로일옥시-2-히드록시프로필프탈레이트, 글리세린 모노(메타)아크릴레이트, 테트라히드로푸르푸릴 (메타)아크릴레이트, 디메틸아미노 (메타)아크릴레이트, 글리시딜 (메타)아크릴레이트, 2,2,2-트리플루오로에틸 (메타)아크릴레이트, 2,2,3,3-테트라플루오로프로필 (메타)아크릴레이트, 프탈산 유도체의 하프 (메타)아크릴레이트 등을 들 수 있다. 이들 단관능 모노머는 단독 또는 2종 이상 조합해 이용할 수 있다.Examples of the monofunctional monomer include (meth) acrylamide, methylol (meth) acrylamide, methoxymethyl (meth) acrylamide, ethoxymethyl (meth) acrylamide, propoxymethyl (meth) acrylamide, butoxymethoxy (Meth) acrylic acid, maleic acid, maleic anhydride, itaconic acid, itaconic anhydride, maleic anhydride, maleic anhydride, Methyl (meth) acrylate, ethyl (meth) acrylate, butyl (meth) acrylate, isobutyl (meth) acrylate, (Meth) acrylate, 2-ethylhexyl (meth) acrylate, cyclohexyl (meth) acrylate, 2-hydroxyethyl ) Acrylate, 2-phenoxy-2-hydroxypropyl (meth) (Meth) acrylate, glycidyl (meth) acrylate, trimethylolpropyl (meth) acrylate, dimethylamino (Meth) acrylate, 2,2,2-trifluoroethyl (meth) acrylate, 2,2,3,3-tetrafluoropropyl (meth) acrylate, and half . These monofunctional monomers may be used alone or in combination of two or more.

한편, 다관능 모노머로는 에틸렌글리콜 디(메타)아크릴레이트, 디에틸렌글리콜 디(메타)아크릴레이트, 테트라에틸렌글리콜 디(메타)아크릴레이트, 프로필렌글리콜 디(메타)아크릴레이트, 폴리프로필렌글리콜 디(메타)아크릴레이트, 부틸렌글리콜 디(메타)아크릴레이트, 네오펜틸글리콜 디(메타)아크릴레이트, 1,6-헥산글리콜 디(메타)아크릴레이트, 트리메틸올프로판 트리(메타)아크릴레이트, 글리세린 디(메타)아크릴레이트, 펜타에리트리톨 트리아크릴레이트, 펜타에리트리톨 테트라아크릴레이트, 디펜타에리트리톨 펜타아크릴레이트, 디펜타에리트리톨 헥사아크릴레이트, 펜타에리트리톨 디(메타)아크릴레이트, 펜타에리트리톨 트리(메타)아크릴레이트, 펜타에리트리톨 테트라(메타)아크릴레이트, 디펜타에리트리톨 펜타(메타)아크릴레이트, 디펜타에리트리톨 헥사(메타)아크릴레이트, 2,2-비스(4-(메타)아크릴옥시디에톡시페닐)프로판, 2,2-비스(4-(메타)아크릴옥시폴리에톡시페닐)프로판, 2-히드록시-3-(메타)아크릴로일옥시프로필 (메타)아크릴레이트, 에틸렌글리콜디글리시딜에테르 디(메타)아크릴레이트, 디에틸렌글리콜디글리시딜에테르 디(메타)아크릴레이트, 프탈산 디글리시딜에스테르 디(메타)아크릴레이트, 글리세린 트리아크릴레이트, 글리세린 폴리글리시딜에테르 폴리(메타)아크릴레이트, 우레탄 (메타)아크릴레이트(즉, 톨릴렌 디이소시아네이트), 트리메틸헥사메틸렌 디이소시아네이트와 헥사메틸렌 디이소시아네이트와 2-히드록시에틸 (메타)아크릴레이트의 반응물, 메틸렌 비스(메타)아크릴아미드, (메타)아크릴아미드메틸렌에테르, 다가 알코올과 N-메틸올 (메타)아크릴아미드의 축합물 등의 다관능 모노머나, 트리아크릴프로말 등을 들 수 있다. 이들 다관능 모노머는 단독 또는 2종 이상 조합해 이용할 수 있다.Examples of the polyfunctional monomer include ethylene glycol di (meth) acrylate, diethylene glycol di (meth) acrylate, tetraethylene glycol di (meth) acrylate, propylene glycol di (meth) acrylate, polypropylene glycol di (Meth) acrylate, trimethylolpropane tri (meth) acrylate, glycerin di (meth) acrylate, butyleneglycol di (meth) acrylate, neopentyl glycol di (Meth) acrylate, pentaerythritol triacrylate, pentaerythritol tetraacrylate, dipentaerythritol pentaacrylate, dipentaerythritol hexaacrylate, pentaerythritol di (meth) acrylate, pentaerythritol tri (Meth) acrylate, pentaerythritol tetra (meth) acrylate, dipentaerythritol penta (meth) acrylate, dipentaerythritol penta (Meth) acryloxypolyethoxyphenyl) propane, 2,2-bis (4- (meth) acryloxy diethoxyphenyl) propane, (Meth) acrylate, diethylene glycol diglycidyl ether di (meth) acrylate, diethylene glycol diglycidyl ether di (meth) acrylate, diethylene glycol diglycidyl ether di (Meth) acrylate, glycerin triacrylate, glycerin polyglycidyl ether poly (meth) acrylate, urethane (meth) acrylate (i.e., tolylene diisocyanate), trimethylhexamethylene diisocyanate (Meth) acrylamide, (meth) acrylamide methylene ether, a reaction product of a polyhydric alcohol and N-methylol (meth) acrylamide, a reaction product of hexamethylene diisocyanate and 2-hydroxyethyl There may be mentioned polyfunctional monomer and, triacrylate Pro words such compounds and the like. These multifunctional monomers may be used alone or in combination of two or more.

에틸렌성 불포화기를 가지는 모노머의 함유량은 감광성 수지 조성물의 고형분에 대해서 1~30중량%인 것이 바람직하고, 5~20중량%인 것이 보다 바람직하다. 상기의 범위로 함으로써, 감도, 현상성, 해상성의 밸런스를 취하기 쉬운 경향이 있다.The content of the monomer having an ethylenic unsaturated group is preferably 1 to 30% by weight, more preferably 5 to 20% by weight, based on the solid content of the photosensitive resin composition. When the content is in the above range, there is a tendency to balance the sensitivity, developability and resolution.

<광중합 개시제><Photopolymerization initiator>

광중합 개시제로는 특별히 한정되지 않고, 종래 공지의 광중합 개시제를 이용할 수 있다.The photopolymerization initiator is not particularly limited and conventionally known photopolymerization initiators can be used.

광중합 개시제로서 구체적으로는 1-히드록시시클로헥실페닐케톤, 2-히드록시-2-메틸-1-페닐프로판-1-온, 1-[4-(2-히드록시에톡시)페닐]-2-히드록시-2-메틸-1-프로판-1-온, 1-(4-이소프로필페닐)-2-히드록시-2-메틸프로판-1-온, 1-(4-도데실페닐)-2-히드록시-2-메틸프로판-1-온, 비스(4-디메틸아미노페닐)케톤, 2,4,6-트리메틸벤조일디페닐포스핀옥시드, 4-벤조일-4'-메틸디메틸술피드, 4-디메틸아미노벤조산, 4-디메틸아미노벤조산메틸, 4-디메틸아미노벤조산에틸, 4-디메틸아미노벤조산부틸, 4-디메틸아미노-2-에틸헥실벤조산, 4-디메틸아미노-2-이소아밀벤조산, 벤질-β-메톡시에틸아세탈, 벤질디메틸케탈, 1-페닐-1,2-프로판디온-2-(o-에톡시카르보닐)옥심, o-벤조일벤조산메틸, 2,4-디에틸티옥산톤, 2-클로로티옥산톤, 2,4-디메틸티옥산톤, 1-클로로-4-프로폭시티옥산톤, 티옥산텐, 2-클로로티옥산텐, 2,4-디에틸티옥산텐, 2-메틸티옥산텐, 2-이소프로필티옥산텐, 2-에틸안트라퀴논, 옥타메틸안트라퀴논, 1,2-벤즈안트라퀴논, 2,3-디페닐안트라퀴논, 아조비스이소부티로니트릴, 벤조일퍼옥사이드, 쿠멘퍼옥사이드, 2-메르캅토벤조이미달, 2-메르캅토벤조옥사졸, 2-메르캅토벤조티아졸, 2-(o-클로로페닐)-4,5-디페닐이미다졸 2량체, 2-(o-클로로페닐)-4,5-디(메톡시페닐)이미다졸 2량체, 2-(o-플루오로페닐)-4,5-디페닐이미다졸 2량체, 2-(o-메톡시페닐)-4,5-디페닐이미다졸 2량체, 2-(p-메톡시페닐)-4,5-디페닐이미다졸 2량체, 2,4,5-트리아릴이미다졸 2량체, 벤조페논, 2-클로로벤조페논, 4,4'-비스디메틸아미노벤조페논(즉, 미힐러케톤), 4,4'-비스디에틸아미노벤조페논(즉, 에틸미힐러케톤), 4,4'-디클로로벤조페논, 3,3-디메틸-4-메톡시벤조페논, 벤질, 벤조인, 벤조인메틸에테르, 벤조인에틸에테르, 벤조인이소프로필에테르, 벤조인-n-부틸에테르, 벤조인이소부틸에테르, 벤조인부틸에테르, 아세토페논, 2,2-디에톡시아세토페논, p-디메틸아세토페논, p-디메틸아미노프로피오페논, 디클로로아세토페논, 트리클로로아세토페논, p-tert-부틸아세토페논, p-디메틸아미노아세토페논, p-tert-부틸트리클로로아세토페논, p-tert-부틸디클로로아세토페논,α,α-디클로로-4-페녹시아세토페논, 티옥산톤, 2-메틸티옥산톤, 2-이소프로필티옥산톤, 디벤조스베론, 펜틸-4-디메틸아미노벤조에이트, 9-페닐아크리딘, 1,7-비스-(9-아크리디닐)헵탄, 1,5-비스-(9-아크리디닐)펜탄, 1,3-비스-(9-아크리디닐)프로판, p-메톡시트리아진, 2,4,6-트리스(트리클로로메틸)-s-트리아진, 2-메틸-4,6-비스(트리클로로메틸)-s-트리아진, 2-[2-(5-메틸푸란-2-일)에테닐]-4,6-비스(트리클로로메틸)-s-트리아진, 2-[2-(푸란-2-일)에테닐]-4,6-비스(트리클로로메틸)-s-트리아진, 2-[2-(4-디에틸아미노-2-메틸페닐)에테닐]-4,6-비스(트리클로로메틸)-s-트리아진, 2-[2-(3,4-디메톡시페닐)에테닐]-4,6-비스(트리클로로메틸)-s-트리아진, 2-(4-메톡시페닐)-4,6-비스(트리클로로메틸)-s-트리아진, 2-(4-에톡시스티릴)-4,6-비스(트리클로로메틸)-s-트리아진, 2-(4-n-부톡시페닐)-4,6-비스(트리클로로메틸)-s-트리아진, 2,4-비스-트리클로로메틸-6-(3-브로모-4-메톡시)페닐-s-트리아진, 2,4-비스-트리클로로메틸-6-(2-브로모-4-메톡시)페닐-s-트리아진, 2,4-비스-트리클로로메틸-6-(3-브로모-4-메톡시)스티릴페닐-s-트리아진, 2,4-비스-트리클로로메틸-6-(2-브로모-4-메톡시)스티릴페닐-s-트리아진, 「IRGACURE OXE02」, 「IRGACURE OXE01」, 「IRGACURE 369」, 「IRGACURE 651」, 「IRGACURE 907」(상품명:BASF제), 「NCI-831」(상품명:ADEKA제) 등을 들 수 있다. 이들 광중합 개시제는 단독 또는 2종 이상 조합해 이용할 수 있다.Specific examples of the photopolymerization initiator include 1-hydroxycyclohexyl phenyl ketone, 2-hydroxy-2-methyl-1-phenylpropan-1-one, 1- [4- (2- hydroxyethoxy) Methyl-1-propan-1-one, 1- (4-isopropylphenyl) -2-hydroxy- (4-dimethylaminophenyl) ketone, 2,4,6-trimethylbenzoyldiphenylphosphine oxide, 4-benzoyl-4'-methyldimethylsulfide, 2- Dimethylaminobenzoic acid, 4-dimethylaminobenzoic acid, methyl 4-dimethylaminobenzoate, ethyl 4-dimethylaminobenzoate, butyl 4-dimethylaminobenzoate, 4-dimethylamino- benzyldimethylketal, 1-phenyl-1,2-propanedione-2- (o-ethoxycarbonyl) oxime, methyl o-benzoylbenzoate, 2,4- , 2-chlorothioxanthone, 2,4-dimethylthioxanthone, 1-chloro-4-propoxythioxanthone, 2-isopropylanthraquinone, octamethylanthraquinone, 1,2-benzoyl peroxide, 2-ethylhexanoic acid, 2-chlorothioxanthone, Anthraquinone, 2,3-diphenylanthraquinone, azobisisobutyronitrile, benzoyl peroxide, cumene peroxide, 2-mercaptobenzoimidal, 2-mercaptobenzooxazole, 2-mercaptobenzothiazole, 2- (o-chlorophenyl) -4,5-di (methoxyphenyl) imidazole dimer, 2- (o- (O-methoxyphenyl) -4,5-diphenylimidazole dimer, 2- (p-methoxyphenyl) -4,5-diphenylimidazole dimer, 2- , 5-diphenylimidazole dimer, 2,4,5-triarylimidazole dimer, benzophenone, 2-chlorobenzophenone, 4,4'-bisdimethylaminobenzophenone (that is, ), 4,4'-bisdiethylaminobenzophenone (i.e., ethylhexyl ketone), 4,4'-dichlorobenzophenone, 3,3-dimethyl-4-methoxybenzophenone, benzyl, benzo Benzoin ethyl ether, benzoin isopropyl ether, benzoin-n-butyl ether, benzoin isobutyl ether, benzoin butyl ether, acetophenone, 2,2-diethoxyacetophenone, p- P-tert-butyltrichloroacetophenone, p-tert-butylacetophenone, p-dimethylaminoacetophenone, p- Butyldichloroacetophenone,?,? -Dichloro-4-phenoxyacetophenone, thioxanthone, 2-methylthioxanthone, 2-isopropylthioxanthone, dibenzosuberone, pentyl-4-dimethylaminobenzoate , 9-phenylacridine, 1,7-bis- (9-acridinyl) heptane, 1,5-bis- (9-acridinyl) pentane, (Trichloromethyl) -s-triazine, 2,4,6-tris (trichloromethyl) -s-triazine, 2-methyl- [2- (5-methylfuran-2-yl) ether (Trichloromethyl) -s-triazine, 2- [2- (furan-2-yl) ethenyl] -4,6-bis (Trichloromethyl) -s-triazine, 2- [2- (3,4-dimethoxyphenyl) ethyl] (Trichloromethyl) -s-triazine, 2- (4-methoxyphenyl) -4,6-bis (Trichloromethyl) -s-triazine, 2- (4-n-butoxyphenyl) -4,6-bis , 2,4-bis-trichloromethyl-6- (3-bromo-4-methoxy) phenyl- -Triazine, 2,4-bis-trichloromethyl-6- (3-bromo-4-methoxy) styrylphenyl- IRGACURE OXE02 "," IRGACURE OXE01 "," IRGACURE 369 "," IRGACURE 651 "," IRGACURE 907 ", and" IRGACURE 907 " (Trade name, manufactured by BASF) and "NCI-831" (trade name, manufactured by ADEKA). These photopolymerization initiators may be used alone or in combination of two or more.

이들 중에서도, 옥심계 광중합 개시제를 이용하는 것이 감도의 면에서 특히 바람직하고, 카르바졸 골격을 가지는 옥심계 광중합 개시제를 이용하는 것이 특히 바람직하다.Among them, it is particularly preferable to use an oxime-based photopolymerization initiator in terms of sensitivity, and it is particularly preferable to use a oxime-based photopolymerization initiator having a carbazole skeleton.

옥심계 광중합 개시제의 바람직한 예로는 하기 식 (b-1)로 나타내는 광중합 개시제를 들 수 있다.A preferred example of the oxime-based photopolymerization initiator is a photopolymerization initiator represented by the following formula (b-1).

Figure 112012076458456-pat00006
Figure 112012076458456-pat00006

상기 식 (b-1) 중, Rb1은 치환기를 가지고 있어도 되는 복소환기, 축합환식 방향족기 또는 방향족기를 나타낸다. Rb2~Rb4는 각각 독립적으로 1가의 유기기를 나타낸다.In the above formula (b-1), R b1 represents a heterocyclic group, a condensed cyclic aromatic group or an aromatic group which may have a substituent. R b2 to R b4 each independently represent a monovalent organic group.

Rb1에서의 복소환기로는 질소 원자, 황 원자 및 산소 원자 중 적어도 1개의 원자를 포함하는 5원환 이상, 바람직하게는 5원환 또는 6원환의 복소환기를 들 수 있다. 복소환기의 예로는 피롤릴기, 이미다졸릴기, 피라졸릴기 등의 함질소 5원환기;피리딜기, 피라디닐기, 피리미딜기, 피리다디닐기 등의 함질소 6원환기;티아졸릴기, 이소티아졸릴기 등의 함질소 함황기;옥사졸릴기, 이소옥사졸릴기 등의 함질소 함산소기;티에닐기, 티오피라닐기 등의 함황기;푸릴기, 피라닐기 등의 함산소기;등을 들 수 있다. 이 중에서도, 질소 원자 또는 황 원자를 1개 포함하는 것이 바람직하다. 이 복소환에는 축합환이 포함되어 있어도 된다. 축합환이 포함되는 복소환기의 예로는 벤조티에닐기 등을 들 수 있다.The heterocyclic group for R &lt; b1 &gt; includes a heterocyclic group having 5 or more ring members, preferably a 5-membered ring or 6-membered ring including at least one atom selected from a nitrogen atom, a sulfur atom and an oxygen atom. Examples of the heterocyclic group include a nitrogen-containing five-membered ring group such as a pyrrolyl group, an imidazolyl group and a pyrazolyl group, a nitrogen-containing six-membered ring group such as pyridyl group, pyridinyl group, pyrimidyl group, and pyridadinyl group, A nitrogen-containing heterocyclic group such as an isothiazolyl group, a nitrogen-containing oxygen group such as an oxazolyl group and an isoxazolyl group, a heterocyclic group such as a thienyl group and a thiopyranyl group, an oxygen atom such as a furyl group and a pyranyl group, . Among them, it is preferable to include one nitrogen atom or sulfur atom. The heterocyclic ring may contain a condensed ring. Examples of the heterocyclic group containing a condensed ring include a benzothienyl group and the like.

Rb1에서의 축합환식 방향족기로는 나프틸기, 안트릴기, 페난트릴기 등을 들 수 있다. 또, Rb1에서의 방향족기로는 페닐기를 들 수 있다. Examples of the condensed cyclic aromatic group in R b1 include a naphthyl group, an anthryl group, and a phenanthryl group. The aromatic group in R b1 includes a phenyl group.

복소환기, 축합환식 방향족기 또는 방향족기는 치환기를 가지고 있어도 된다. 특히 Rb1가 방향족기인 경우에는 치환기를 가지고 있는 것이 바람직하다. 이와 같은 치환기로는 -NO2, -CN, -SO2Rb5, -CORb5, -NRb6Rb7, -Rb8, -ORb8, -O-Rb9-O-Rb10 등을 들 수 있다.The heterocyclic group, the condensed ring aromatic group or the aromatic group may have a substituent. Particularly, when R b1 is an aromatic group, it is preferable to have a substituent. Examples of such substituents include -NO 2 , -CN, -SO 2 R b5 , -COR b5 , -NR b6 R b7 , -R b8 , -OR b8 , -OR b9 -OR b10 and the like.

Rb5는 각각 독립적으로 알킬기를 나타내고, 이것들은 할로겐 원자로 치환되어 있어도 되고, 에테르 결합, 티오에테르 결합, 에스테르 결합에 의해 중단되어 있어도 된다. Rb5에서의 알킬기는 탄소수 1~5인 것이 바람직하고, 예를 들면, 메틸기, 에틸기, 프로필기, 이소프로필기, 부틸기, 이소부틸기 등을 들 수 있다.R b5 each independently represents an alkyl group, which may be substituted with a halogen atom, or may be interrupted by an ether bond, a thioether bond or an ester bond. The alkyl group in R b5 preferably has 1 to 5 carbon atoms, and examples thereof include a methyl group, an ethyl group, a propyl group, an isopropyl group, a butyl group, and an isobutyl group.

Rb6 및 Rb7는 각각 독립적으로 수소 원자, 알킬기 또는 알콕시기를 나타내고, 이것들은 할로겐 원자로 치환되어 있어도 되며, 이들 중 알킬기 및 알콕시기의 알킬렌 부분은 에테르 결합, 티오에테르 결합 또는 에스테르 결합에 의해 중단되어 있어도 된다. 또, Rb6과 Rb7이 결합해 고리 구조를 형성하고 있어도 된다. Rb6 및 Rb7에서의 알킬기 또는 알콕시기는 탄소수 1~5인 것이 바람직하고, 예를 들면, 메틸기, 에틸기, 프로필기, 이소프로필기, 부틸기, 이소부틸기, 메톡시기, 에톡시기, 프로폭시기 등을 들 수 있다.R b6 and R b7 each independently represent a hydrogen atom, an alkyl group or an alkoxy group, which may be substituted with a halogen atom, and the alkylene moiety of the alkyl group and the alkoxy group may be interrupted by an ether bond, a thioether bond or an ester bond, . R b6 and R b7 may combine to form a ring structure. The alkyl group or the alkoxy group in R b6 and R b7 preferably has 1 to 5 carbon atoms, and examples thereof include a methyl group, ethyl group, propyl group, isopropyl group, butyl group, isobutyl group, methoxy group, ethoxy group, Time and so on.

Rb6과 Rb7이 결합해 형성할 수 있는 고리 구조로는 복소환을 들 수 있다. 이 복소환으로는 적어도 질소 원자를 포함하는 5원환 이상, 바람직하게는 5~7원환의 복소환을 들 수 있다. 이 복소환에는 축합환이 포함되어 있어도 된다. 복소환의 예로는 피페리딘환, 모르폴린환, 티오모르폴린환 등을 들 수 있다. 이들 중에서도 모르폴린환이 바람직하다.The ring structure that R b6 and R b7 can combine to form is a heterocycle. The heterocyclic ring may be a 5-membered ring or more, preferably a 5- to 7-membered heterocyclic ring containing at least a nitrogen atom. The heterocyclic ring may contain a condensed ring. Examples of the heterocycle include a piperidine ring, a morpholine ring, and a thiomorpholine ring. Among them, a morpholine ring is preferable.

Rb8은 수소 원자의 일부 또는 전부가 할로겐 원자로 치환되어 있어도 되는 알킬기를 나타낸다. Rb8에서의 알킬기는 탄소수 1~6인 것이 바람직하고, 예를 들면, 메틸기, 에틸기, 프로필기, 이소프로필기, 부틸기, 이소부틸기 등을 들 수 있다.R b8 represents an alkyl group in which some or all of the hydrogen atoms may be substituted with a halogen atom. The alkyl group in R b8 preferably has 1 to 6 carbon atoms, and examples thereof include a methyl group, an ethyl group, a propyl group, an isopropyl group, a butyl group and an isobutyl group.

Rb9 및 Rb10은 각각 독립적으로 알킬기를 나타내고, 이것들은 할로겐 원자로 치환되어 있어도 되고, 에테르 결합, 티오에테르 결합, 에스테르 결합에 의해 중단되어 있어도 된다. 바람직한 탄소수나 그 구체적인 예는 상기 Rb1의 설명과 동일하다.R b9 and R b10 each independently represent an alkyl group, which may be substituted with a halogen atom, or may be interrupted by an ether bond, a thioether bond or an ester bond. The preferred number of carbon atoms or a specific example thereof is the same as that of R b1 .

이들 중에서도, Rb1로는 피롤릴기 피리딜기, 티에닐기, 티오피라릴기, 벤조티에닐기, 나프틸기, 치환기를 가지는 페닐기가 바람직한 예로서 들 수 있다.Among them, preferable examples of R b1 include a pyrrolyl group pyridyl group, a thienyl group, a thiopyraryl group, a benzothienyl group, a naphthyl group and a phenyl group having a substituent group.

상기 식 (b-1) 중, Rb2는 1가의 유기기를 나타낸다. 이 유기기로는 -Rb11, -ORb11, -CORb11, -SRb11, -NRb11Rb12로 나타내는 기가 바람직하다. Rb11 및 Rb12는 각각 독립적으로 알킬기, 알케닐기, 아릴기, 아랄킬기 또는 복소환기를 나타내고, 이것들은 할로겐 원자, 알킬기 또는 복소환기로 치환되어 있어도 되며, 이들 중 알킬기 및 아랄킬기의 알킬렌 부분은 불포화 결합, 에테르 결합, 티오에테르 결합, 에스테르 결합에 의해 중단되어 있어도 된다. 또, Rb11과 Rb12가 결합해 질소 원자와 함께 고리 구조를 형성하고 있어도 된다.In the above formula (b-1), R b2 represents a monovalent organic group. The organic group is preferably a group represented by -R b11 , -OR b11 , -COR b11 , -SR b11 , or -NR b11 R b12 . R b11 and R b12 each independently represent an alkyl group, an alkenyl group, an aryl group, an aralkyl group or a heterocyclic group, which may be substituted with a halogen atom, an alkyl group or a heterocyclic group, May be interrupted by an unsaturated bond, an ether bond, a thioether bond, or an ester bond. R b11 and R b12 may combine with each other to form a ring structure together with the nitrogen atom.

Rb11 및 Rb12에서의 알킬기로는 탄소수 1~20의 것이 바람직하고, 탄소수 1~5의 것이 보다 바람직하다. 알킬기의 예로는 메틸기, 에틸기, n-프로필기, 이소프로필기, n-부틸기, 이소부틸기, sec-부틸기, tert-부틸기, n-펜틸기, 이소펜틸기, sec-펜틸기, tert-펜틸기, n-헥실기, n-헵틸기, n-옥틸기, 이소옥틸기, sec-옥틸기, tert-옥틸기, n-노닐기, 이소노닐기, n-데실기, 이소데실기 등의 직쇄상 또는 분지쇄상의 기를 들 수 있다. 또, 이 알킬기는 치환기를 가지고 있어도 된다. 치환기를 가지는 것의 예로는 메톡시에톡시에틸기, 에톡시에톡시에틸기, 프로폭시에톡시에틸기, 메톡시프로필기 등을 들 수 있다.The alkyl group for R b11 and R b12 preferably has 1 to 20 carbon atoms, more preferably 1 to 5 carbon atoms. Examples of the alkyl group include a methyl group, an ethyl group, an n-propyl group, an isopropyl group, an n-butyl group, an isobutyl group, a sec- n-hexyl group, n-heptyl group, n-octyl group, isooxyl group, sec-octyl group, tert-octyl group, n-nonyl group, isononyl group, , And the like. The alkyl group may have a substituent. Examples of the substituent include a methoxyethoxyethyl group, an ethoxyethoxyethyl group, a propoxyethoxyethyl group, and a methoxypropyl group.

Rb11 및 Rb12에서의 알케닐기로는 탄소수 1~20의 것이 바람직하고, 탄소수 1~5의 것이 보다 바람직하다. 알케닐기의 예로는 비닐기, 알릴기, 부테닐기, 에테닐기, 프로피닐기 등의 직쇄상 또는 분지쇄상의 기를 들 수 있다. 또, 이 알케닐기는 치환기를 가지고 있어도 된다. 치환기를 가지는 것의 예로는 2-(벤조옥사졸-2-일)에테닐기 등을 들 수 있다.The alkenyl group in R b11 and R b12 preferably has 1 to 20 carbon atoms, more preferably 1 to 5 carbon atoms. Examples of the alkenyl group include a linear or branched group such as a vinyl group, an allyl group, a butenyl group, an ethenyl group, and a propynyl group. The alkenyl group may have a substituent. Examples of the substituent include a 2- (benzoxazol-2-yl) ethenyl group and the like.

Rb11 및 Rb12에서의 아릴기로는 탄소수 6~20의 것이 바람직하고, 탄소수 6~10의 것이 보다 바람직하다. 아릴기의 예로는 페닐기, 톨릴기, 크실릴기, 에틸페닐기, 나프틸기, 안트릴기, 페난트릴기 등을 들 수 있다.The aryl group in R b11 and R b12 preferably has 6 to 20 carbon atoms, more preferably 6 to 10 carbon atoms. Examples of the aryl group include phenyl, tolyl, xylyl, ethylphenyl, naphthyl, anthryl and phenanthryl groups.

Rb11 및 Rb12에서의 아랄킬기로는 탄소수 7~20의 것이 바람직하고, 탄소수 7~12의 것이 보다 바람직하다. 아랄킬기의 예로는 벤질기, α-메틸벤질기, α,α-디메틸벤질기, 페닐에틸기, 페닐에테닐기 등을 들 수 있다.The aralkyl group in R b11 and R b12 preferably has 7 to 20 carbon atoms, more preferably 7 to 12 carbon atoms. Examples of the aralkyl group include benzyl group,? -Methylbenzyl group,?,? - dimethylbenzyl group, phenylethyl group, phenylethenyl group and the like.

Rb11 및 Rb12에서의 복소환기로는 질소 원자, 황 원자 및 산소 원자 중 적어도 1개의 원자를 포함하는 5원환 이상, 바람직하게는 5~7원환의 복소환기를 들 수 있다. 이 복소환기로는 축합환이 포함되어 있어도 된다. 복소환기의 예로는 피롤릴기 피리딜기, 피리미딜기, 푸릴기, 티에닐기 등을 들 수 있다.As the heterocyclic group for R b11 and R b12 , a heterocyclic group having 5 or more members, preferably 5 to 7 member rings, containing at least one atom of a nitrogen atom, a sulfur atom and an oxygen atom can be mentioned. The heterocyclic group may contain a condensed ring. Examples of the heterocyclic group include a pyrrolyl group pyridyl group, a pyrimidyl group, a furyl group, and a thienyl group.

이들 Rb11 및 Rb12 가운데, 알킬기 및 아랄킬기의 알킬렌 부분은 불포화 결합, 에테르 결합, 티오에테르 결합, 에스테르 결합에 의해 중단되어 있어도 된다.Among these R b11 and R b12 , the alkylene moiety of the alkyl group and the aralkyl group may be interrupted by an unsaturated bond, an ether bond, a thioether bond, or an ester bond.

또, Rb11과 Rb12가 결합해 형성할 수 있는 고리 구조로는 복소환을 들 수 있다. 이 복소환으로는 적어도 질소 원자를 포함하는 5원환 이상, 바람직하게는 5~7원환의 복소환을 들 수 있다. 이 복소환에는 축합환이 포함되어 있어도 된다. 복소환의 예로는 피페리딘환, 모르폴린환, 티오모르폴린환 등을 들 수 있다.The ring structure that R b11 and R b12 may combine to form may include a heterocyclic ring. The heterocyclic ring may be a 5-membered ring or more, preferably a 5- to 7-membered heterocyclic ring containing at least a nitrogen atom. The heterocyclic ring may contain a condensed ring. Examples of the heterocycle include a piperidine ring, a morpholine ring, and a thiomorpholine ring.

이들 중에서도, Rb2로는 메틸기, 에틸기, 프로필기, 페닐기인 것이 가장 바람직하다.Among them, R b2 is most preferably a methyl group, an ethyl group, a propyl group or a phenyl group.

상기 식 (b-1) 중, Rb3은 1가의 유기기를 나타낸다. 이 유기기로는 탄소수 1~6의 알킬기, 치환기를 가지고 있어도 되는 탄소수 6~12의 아릴기, 하기 식 (b-2)로 나타내는 기 또는 치환기를 가지고 있어도 되는 복소환기가 바람직하다. 치환기로는 상기 Rb1의 경우와 동일한 기를 들 수 있다. 탄소수 6~12의 아릴기로는 페닐기, 나프틸기, 안트릴기, 페난트릴기 등을 들 수 있다.In the above formula (b-1), R b3 represents a monovalent organic group. The organic group is preferably an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms, an aryl group having 6 to 12 carbon atoms which may have a substituent, a group represented by the following formula (b-2) or a heterocyclic group optionally having a substituent. Examples of the substituent include the same groups as those in the case of R b1 . Examples of the aryl group having 6 to 12 carbon atoms include a phenyl group, a naphthyl group, an anthryl group, and a phenanthryl group.

Figure 112012076458456-pat00007
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상기 식 (b-2) 중, Rb13은 산소 원자로 중단되어 있어도 되는 탄소수 1~5의 알킬렌기를 나타낸다. 이와 같은 알킬렌기로는 메틸렌기, 에틸렌기, n-프로필렌기, 이소프로필렌기, n-부틸렌기, 이소부틸렌기, sec-부틸렌기, n-펜틸렌기, 이소펜틸렌기, sec-펜틸렌기 등의 직쇄상 또는 분지쇄상의 기를 들 수 있다. 이들 중에서도, Rb13은 이소프로필렌기인 것이 가장 바람직하다.In the formula (b-2), R b13 represents an alkylene group having 1 to 5 carbon atoms which may be interrupted by an oxygen atom. Examples of such alkylene groups include methylene, ethylene, n-propylene, isopropylene, n-butylene, isobutylene, sec-butylene, n-pentylene, A straight chain or branched chain group. Among them, R b13 is most preferably an isopropylene group.

상기 식 (b-2) 중, Rb14는 -NRb15Rb16으로 나타내는 1가의 유기기를 나타낸다(Rb15 및 Rb16는 각각 독립적으로 1가의 유기기를 나타낸다). 이러한 유기기 중에서도, Rb14의 구조가 하기 식 (b-3)으로 나타내는 것이면 광중합 개시제의 용해성을 향상시킬 수 있다는 점에서 바람직하다.In the formula (b-2), R b14 represents a monovalent organic group represented by -NR b15 R b16 (R b15 and R b16 each independently represent a monovalent organic group). Among these organic groups , it is preferable that the structure of R b14 is represented by the following formula (b-3) in that the solubility of the photopolymerization initiator can be improved.

Figure 112012076458456-pat00008
Figure 112012076458456-pat00008

상기 식 (b-3) 중, Rb17 및 Rb18은 각각 독립적으로 탄소수 1~5의 알킬기를 나타낸다. 이와 같은 알킬기로는 메틸기, 에틸기, n-프로필기, 이소프로필기, n-부틸기, 이소부틸기, sec-부틸기, tert-부틸기, n-펜틸기, 이소펜틸기, sec-펜틸기, tert-펜틸기 등을 들 수 있다. 이들 중에서도, Rb17 및 Rb18은 메틸기인 것이 가장 바람직하다.In the formula (b-3), R b17 and R b18 each independently represent an alkyl group having 1 to 5 carbon atoms. Examples of such alkyl groups include methyl, ethyl, n-propyl, isopropyl, n-butyl, isobutyl, sec-butyl, , tert-pentyl group, and the like. Among them, R b17 and R b18 are most preferably a methyl group.

Rb3에서의 복소환기로는 질소 원자, 황 원자 및 산소 원자 중 적어도 1개의 원자를 포함하는 5원환 이상, 바람직하게는 5원환 또는 6원환의 복소환기를 들 수 있다. 복소환기의 예로는 피롤릴기, 이미다졸릴기, 피라졸릴기 등의 함질소 5원환기;피리딜기, 피라디닐기, 피리미딜기, 피리다디닐기 등의 함질소 6원환기;티아졸릴기, 이소티아졸릴기 등의 함질소 함황기;옥사졸릴기, 이소옥사졸릴기 등의 함질소 함산소기;티에닐기, 티오피라닐기 등의 함황기;푸릴기, 피라닐기 등의 함산소기; 등을 들 수 있다. 이 중에서도, 질소 원자 또는 황 원자를 1개 포함하는 것이 바람직하다. 이 복소환에는 축합환이 포함되어 있어도 된다. 축합환이 포함되는 복소환기의 예로는 벤조티에닐기 등을 들 수 있다.The heterocyclic group in R b3 includes a heterocyclic group having 5 or more members, preferably a 5-membered ring or 6-membered ring containing at least one atom selected from a nitrogen atom, a sulfur atom and an oxygen atom. Examples of the heterocyclic group include a nitrogen-containing five-membered ring group such as a pyrrolyl group, an imidazolyl group and a pyrazolyl group, a nitrogen-containing six-membered ring group such as pyridyl group, pyridinyl group, pyrimidyl group, and pyridadinyl group, A nitrogen-containing heterocyclic group such as an isothiazolyl group, a nitrogen-containing oxygen group such as an oxazolyl group and an isoxazolyl group, a heterocyclic group such as a thienyl group and a thiopyranyl group, an oxygen atom such as a furyl group and a pyranyl group, . Among them, it is preferable to include one nitrogen atom or sulfur atom. The heterocyclic ring may contain a condensed ring. Examples of the heterocyclic group containing a condensed ring include a benzothienyl group and the like.

또, 복소환기는 치환기를 가지고 있어도 된다. 치환기로는 상기 Rb1의 경우와 동일한 기를 들 수 있다.The heterocyclic group may have a substituent. Examples of the substituent include the same groups as those in the case of R b1 .

상기 식 (b-1) 중, Rb4는 1가의 유기기를 나타낸다. 이 중에서도, 탄소수 1~5의 알킬기인 것이 바람직하다. 이와 같은 알킬기로는 메틸기, 에틸기, n-프로필기, 이소프로필기, n-부틸기, 이소부틸기, sec-부틸기, tert-부틸기, n-펜틸기, 이소펜틸기, sec-펜틸기, tert-펜틸기 등을 들 수 있다. 이들 중에서도, Rb4는 메틸기인 것이 가장 바람직하다.In the above formula (b-1), R b4 represents a monovalent organic group. Among them, an alkyl group having 1 to 5 carbon atoms is preferable. Examples of such alkyl groups include methyl, ethyl, n-propyl, isopropyl, n-butyl, isobutyl, sec-butyl, , tert-pentyl group, and the like. Among them, R b4 is most preferably a methyl group.

또, 옥심계 광중합 개시제의 바람직한 다른 예로는 일본 특개 2010-15025호 공보에서 제안되고 있는 하기 식 (c-1)로 나타내는 광중합 개시제를 들 수 있다.Another preferable example of the oxime-based photopolymerization initiator is a photopolymerization initiator represented by the following formula (c-1) proposed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 2010-15025.

Figure 112012076458456-pat00009
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상기 식 (c-1) 중, Rc1 및 Rc2는 각각 독립적으로 Rc11, ORc11, CORc11, SRc11, CONRc12Rc13 또는 CN을 나타낸다.In the formula (c-1), R c1 and R c2 each independently represent R c11 , OR c11 , COR c11 , SR c11 , CONR c12 R c13 or CN.

Rc11, Rc12 및 Rc13은 각각 독립적으로 수소 원자, 탄소수 1~20의 알킬기, 탄소수 6~30의 아릴기, 탄소수 7~30의 아릴알킬기 또는 탄소수 2~20의 복소환기를 나타낸다. 알킬기, 아릴기, 아릴알킬기 및 복소환기의 수소 원자는 또한 ORc21, CORc21, SRc21, NRc22Rc23, CONRc22Rc23, -NRc22-ORc23, -NCORc22-OCORc23, -C(=N-ORc21)-Rc22, -C(=N-OCORc21)-Rc22, CN, 할로겐 원자, -CRc21=CRc21Rc23, -CO-CRc21=CRc22Rc23, 카르복실기 또는 에폭시기로 치환되어 있어도 된다. Rc21, Rc22 및 Rc23은 각각 독립적으로 수소 원자, 탄소수 1~20의 알킬기, 탄소수 6~30의 아릴기, 탄소수 7~30의 아릴알킬기 또는 탄소수 2~20의 복소환기를 나타낸다.R c11 , R c12 and R c13 each independently represent a hydrogen atom, an alkyl group having 1 to 20 carbon atoms, an aryl group having 6 to 30 carbon atoms, an arylalkyl group having 7 to 30 carbon atoms, or a heterocyclic group having 2 to 20 carbon atoms. Hydrogen atoms of the alkyl group, aryl group, arylalkyl group and heterocyclic group may also c21 OR, COR c21, c21 SR, NR c22 R c23, CONR c22 R c23, -NR c22 c23 -OR, -OCOR -NCOR c22 c23, -C (= N-OR c21 ) -R c22 , -C (= N-OCOR c21 ) -R c22 , CN, a halogen atom, -CR c21 = CR c21 R c23 , -CO-CR c21 = CR c22 R c23 , Or an epoxy group. R c21 , R c22 and R c23 each independently represent a hydrogen atom, an alkyl group having 1 to 20 carbon atoms, an aryl group having 6 to 30 carbon atoms, an arylalkyl group having 7 to 30 carbon atoms, or a heterocyclic group having 2 to 20 carbon atoms.

상기 Rc11, Rc12, Rc13, Rc21, Rc22 및 Rc23에서의 치환기의 알킬렌 부분의 메틸렌기는 불포화 결합, 에테르 결합, 티오에테르 결합, 에스테르 결합, 티오에스테르 결합, 아미드 결합 또는 우레탄 결합에 의해 1~5회 중단되어 있어도 되고, 상기 치환기의 알킬 부분은 분기쇄가 있어도 되며, 환상 알킬이어도 되고, 상기 치환기의 알킬 말단은 불포화 결합이어도 되며, 또 Rc12와 Rc13, 및 Rc22와 Rc23은 각각 결합해 고리 구조를 형성하고 있어도 된다.Wherein R c11, R c12, R c13, R c21, R methylene groups are unsaturated bond of the alkylene portion of the substituent in the c22 and R c23, an ether bond, a thioether bond, an ester bond, a thioester bond, an amide bond or a urethane bond , The alkyl moiety of the substituent may be branched or cyclic, the alkyl terminus of the substituent may be an unsaturated bond, and R c12 and R c13 and R c22 and R c23 may be bonded to each other to form a ring structure.

상기 식 (c-1) 중, Rc3 및 Rc4는 각각 독립적으로 Rc11, ORc11, CORc11, SRc11, CONRc12Rc13, NRc11CORc12, OCORc11, COORc11, SCORc11, OCSRc11, COSRc11, CSORc11, CN, 할로겐 원자 또는 수산기를 나타낸다. a 및 b는 각각 독립적으로 0~4의 정수를 나타낸다. R c3 and R c4 are each independently selected from the group consisting of R c11 , OR c11 , COR c11 , SR c11 , CONR c12 R c13 , NR c11 COR c12 , OCOR c11 , COOR c11 , SCOR c11 , OCSR c11 , COSR c11 , CSOR c11 , CN, a halogen atom or a hydroxyl group. a and b each independently represent an integer of 0 to 4;

Rc3은 -Xc2-를 통하여 인접하는 벤젠환의 탄소 원자의 하나로 결합해 고리 구조를 형성하고 있어도 되고, Rc3과 Rc4가 결합해 고리 구조를 형성하고 있어도 된다.R c3 may be bonded to one of the carbon atoms of adjacent benzene rings through -X c2 - to form a ring structure, or R c3 and R c4 may be combined to form a ring structure.

상기 식 (c-1) 중, Xc1은 단결합 또는 CO를 나타낸다.In the formula (c-1), X c1 represents a single bond or CO.

상기 식 (c-1) 중, Xc2는 산소 원자, 황 원자, 셀렌 원자, CRc31Rc32, CO, NRc33 또는 PRc34를 나타낸다. Rc31, Rc32, Rc33 및 Rc34는 각각 독립적으로 Rc11, ORc11, CORc11, SRc11, CONRc12Rc13 또는 CN을 나타낸다. Rc31, Rc33 및 Rc34는 각각 독립적으로 인접하는 어느 쪽인가의 벤젠환과 함께 이루어져 고리 구조를 형성하고 있어도 된다.In the formula (c-1), X c2 represents an oxygen atom, a sulfur atom, a selenium atom, CR c31 R c32 , CO, NR c33 or PR c34 . R c31 , R c32 , R c33 and R c34 each independently represent R c11 , OR c11 , COR c11 , SR c11 , CONR c12 R c13 or CN. R c31 , R c33 and R c34 may independently be bonded to any adjacent benzene ring to form a ring structure.

상기 식 (c-1) 중, Rc11, Rc12, Rc13, Rc21, Rc22 및 Rc23에서의 알킬기로는 메틸기, 에틸기, n-프로필기, 이소프로필기, n-부틸기, 이소부틸기, sec-부틸기, tert-부틸기, n-펜틸기, 이소펜틸기, sec-펜틸기, tert-펜틸기 등을 들 수 있다.Examples of the alkyl group in R c11 , R c12 , R c13 , R c21 , R c22 and R c23 in the formula (c-1) include a methyl group, ethyl group, n-propyl group, isopropyl group, Butyl group, sec-butyl group, tert-butyl group, n-pentyl group, isopentyl group, sec-pentyl group and tert-pentyl group.

상기 식 (c-1) 중, Rc11, Rc12, Rc13, Rc21, Rc22 및 Rc23에서의 아릴기로는 페닐기, 톨릴기, 크실릴기, 에틸페닐기, 클로로페닐기, 나프틸기, 안트릴기, 페난트레닐기 등을 들 수 있다.The aryl group in R c11 , R c12 , R c13 , R c21 , R c22 and R c23 in the formula (c-1) is preferably a phenyl group, a tolyl group, a xylyl group, an ethylphenyl group, a chlorophenyl group, A trityl group, a phenanthrenyl group and the like.

상기 식 (c-1) 중, Rc11, Rc12, Rc13, Rc21, Rc22 및 Rc23에서의 아릴알킬기로는 벤질기, 클로로벤질기, α-메틸벤질기, α,α-디메틸벤질기, 페닐에틸기, 페닐에테닐기 등을 들 수 있다.Examples of the arylalkyl group in R c11 , R c12 , R c13 , R c21 , R c22 and R c23 in the formula (c-1) include a benzyl group, a chlorobenzyl group, A benzyl group, a phenylethyl group, and a phenylethenyl group.

상기 식 (c-1) 중, Rc11, Rc12, Rc13, Rc21, Rc22 및 Rc23에서의 복소환기로는 피리딜기, 피리미딜기, 푸릴기, 티에닐기, 테트라히드로푸릴기, 디옥소라닐기, 벤조옥사졸-2-일기, 테트라히드로피라닐기, 피롤리딜기, 이미다졸리딜기, 피라졸리딜기, 티아졸리딜기, 이소티아졸리딜기, 옥사졸리딜기, 이소옥사졸리딜기, 피페리딜기, 피페라질기, 모르폴리닐기 등의 5~7원환을 바람직하게 들 수 있다.The heterocyclic group in R c11 , R c12 , R c13 , R c21 , R c22 and R c23 in the formula (c-1) includes a pyridyl group, a pyrimidyl group, a furyl group, a thienyl group, a tetrahydrofuryl group, A thiazolyl group, an isoxazolyl group, an isoxazolyl group, an isoxazolyl group, a piperazino group, a benzooxazol-2-yl group, a tetrahydropyranyl group, a pyrrolidyl group, an imidazolididyl group, A 5- to 7-membered ring such as a furanyl group, a furfuryl group, a furfuryl group, a furfuryl group, a furfuryl group,

상기 식 (c-1) 중, Rc12와 Rc13이 결합해 형성할 수 있는 고리, Rc22와 Rc23이 결합해 형성할 수 있는 고리 및 Rc3이 인접하는 벤젠환과 함께 이루어져 형성할 수 있는 고리로는, 시클로펜탄환, 시클로헥산환, 시클로펜텐환, 벤젠환, 피페리딘환, 모르폴린환, 락톤환, 락탐환 등의 5~7원환을 들 수 있다.In the formula (c-1), a ring which R c12 and R c13 can bond together to form a ring, a ring which R c22 and R c23 can bond to form, and R c3 can be formed with an adjacent benzene ring, Examples of the ring include 5- to 7-membered rings such as a cyclopentane ring, cyclohexane ring, cyclopentene ring, benzene ring, piperidine ring, morpholine ring, lactone ring, and lactam ring.

또한, Xc2가 NRc33이며, Rc3이 인접하는 벤젠환의 탄소 원자의 하나와 결합하여 Xc2와 함께 5원환 구조를 형성하는 경우, 광중합 개시제는 카르바졸 골격을 가지게 된다.When X c2 is NR c33 and R c3 is bonded to one of the carbon atoms of the adjacent benzene ring to form a 5-membered ring structure together with X c2 , the photopolymerization initiator has a carbazole skeleton.

상기 식 (c-1) 중, Rc11, Rc12, Rc13, Rc21, Rc22 및 Rc23을 치환해도 되는 할로겐 원자 및 Rc4, Rc5에서의 할로겐 원자로는 불소 원자, 염소 원자, 브롬 원자, 요오드 원자를 들 수 있다.In the formula (c-1), the halogen atom which may be substituted for R c11 , R c12 , R c13 , R c21 , R c22 and R c23 and the halogen atom for R c4 and R c5 include fluorine, chlorine, bromine Atoms, and iodine atoms.

상기 치환기의 알킬렌 부분의 메틸렌기는 불포화 결합, 에테르 결합, 티오에테르 결합, 에스테르 결합, 티오에스테르 결합, 아미드 결합 또는 우레탄 결합에 의해 1~5회 중단되어 있어도 된다. 이 경우, 중단하는 결합기는 1종 또는 2종 이상의 기여도 되고, 연속해서 중단할 수 있는 기인 경우에는 2개 이상 연속해 중단해도 된다. 또, 상기 치환기의 알킬 부분은 분기쇄가 있어도 되고, 환상 알킬이어도 되며, 상기 치환기의 알킬 말단은 불포화 결합이어도 된다.The methylene group of the alkylene moiety of the substituent may be interrupted one to five times by an unsaturated bond, an ether bond, a thioether bond, an ester bond, a thioester bond, an amide bond or a urethane bond. In this case, the coupler to be stopped may be one kind or two or more kinds of contributing units, and in the case of a group capable of being continuously stopped, two or more of them may be continuously discontinued. The alkyl moiety of the substituent may be branched or cyclic alkyl, and the alkyl terminus of the substituent may be an unsaturated bond.

광중합 개시제의 함유량은 감광성 수지 조성물의 고형분 100중량부에 대해서 0.5~20중량부인 것이 바람직하다. 상기의 범위로 함으로써, 충분한 내열성, 내약품성을 얻을 수 있으며, 또 도막 형성능을 향상시켜, 경화 불량을 억제할 수 있다.The content of the photopolymerization initiator is preferably 0.5 to 20 parts by weight based on 100 parts by weight of the solid content of the photosensitive resin composition. When the content is in the above range, sufficient heat resistance and chemical resistance can be obtained, and coating film forming ability can be improved, and curing defects can be suppressed.

<식 (1)로 나타내는 화합물>&Lt; Compound represented by formula (1) &gt;

본 발명에 관한 감광성 수지 조성물은 하기 식 (1)로 나타내는 화합물을 함유한다.The photosensitive resin composition according to the present invention contains a compound represented by the following formula (1).

Figure 112012076458456-pat00010
Figure 112012076458456-pat00010

상기 식 (1) 중, R1 및 R2는 각각 독립적으로 수소 원자 또는 유기기를 나타내지만, R1 및 R2 중 적어도 한쪽은 유기기를 나타낸다. In the formula (1), R 1 and R 2 each independently represent a hydrogen atom or an organic group, but at least one of R 1 and R 2 represents an organic group.

R1 및 R2에서의 유기기로는 알킬기, 알케닐기, 시클로알킬기, 시클로알케닐기, 아릴기, 아랄킬기 등을 들 수 있다. 이 유기기는 이 유기기 중에 헤테로 원자 등의 탄화수소기 이외의 결합이나 치환기를 포함하고 있어도 된다. 또, 이 유기기는 직쇄상, 분기쇄상, 환상 중 어느 하나여도 된다.Examples of the organic group for R 1 and R 2 include an alkyl group, an alkenyl group, a cycloalkyl group, a cycloalkenyl group, an aryl group, and an aralkyl group. This organic group may contain a bond or a substituent other than a hydrocarbon group such as a hetero atom in the organic group. The organic group may be any of linear, branched and cyclic.

이 유기기는 통상은 1가이지만, 환상 구조를 형성하는 경우 등에는 2가 이상의 유기기가 될 수 있다.This organic group is usually monovalent, but in the case of forming a cyclic structure, it may be a divalent or higher-valent organic group.

R1 및 R2는 이것들이 결합해 환상 구조를 형성하고 있어도 되고, 헤테로 원자의 결합을 더 포함하고 있어도 된다. 환상 구조로는 헤테로시클로알킬기, 헤테로아릴기 등을 들 수 있으며, 축합환이어도 된다.R 1 and R 2 may combine with each other to form a cyclic structure or may further include a bond of a heteroatom. Examples of the cyclic structure include a heterocycloalkyl group and a heteroaryl group, and condensed rings may be used.

R1 및 R2의 유기기 중의 탄화수소기 이외의 결합으로는 본 발명의 효과가 손상되지 않는 한 특별히 한정되지 않고, 산소 원자, 질소 원자, 규소 원자 등의 헤테로 원자를 포함하는 결합을 들 수 있다. 구체적인 예로는 에테르 결합, 티오에테르 결합, 카르보닐 결합, 티오카르보닐 결합, 에스테르 결합, 아미드 결합, 우레탄 결합, 이미노 결합(-N=C(-R)-, -C(=NR)-:R는 수소 원자 또는 유기기를 나타낸다), 카보네이트 결합, 술포닐 결합, 술피닐 결합, 아조 결합 등을 들 수 있다.The bond other than the hydrocarbon group in the organic group of R 1 and R 2 is not particularly limited as long as the effect of the present invention is not impaired and includes a bond including a hetero atom such as an oxygen atom, a nitrogen atom or a silicon atom . Specific examples thereof include an ether bond, a thioether bond, a carbonyl bond, a thiocarbonyl bond, an ester bond, an amide bond, a urethane bond, an imino bond (-N═C (-R) R represents a hydrogen atom or an organic group), a carbonate bond, a sulfonyl bond, a sulfinyl bond, and an azo bond.

내열성의 관점으로부터, R1 및 R2의 유기기 중의 탄화수소기 이외의 결합으로는 에테르 결합, 티오에테르 결합, 카르보닐 결합, 티오카르보닐 결합, 에스테르 결합, 아미드 결합, 우레탄 결합, 이미노 결합(-N=C(-R)-, -C(=NR)-:R는 수소 원자 또는 1가의 유기기를 나타낸다), 카보네이트 결합, 술포닐 결합, 술피닐 결합이 바람직하다.From the viewpoint of heat resistance, examples of the bond other than the hydrocarbon group in the organic group of R 1 and R 2 include an ether bond, a thioether bond, a carbonyl bond, a thiocarbonyl bond, an ester bond, an amide bond, a urethane bond, -N═C (-R) -, -C (═NR) -: R represents a hydrogen atom or a monovalent organic group), a carbonate bond, a sulfonyl bond and a sulfinyl bond are preferable.

R1 및 R2의 유기기 중의 탄화수소기 이외의 치환기로는 본 발명의 효과가 손상되지 않는 한 특별히 한정되지 않고, 할로겐 원자, 수산기, 메르캅토기, 술피드기, 시아노기, 이소시아노기, 시아네이트기, 이소시아네이트기, 티오시아네이트기, 이소티오시아네이트기, 실릴기, 실라놀기, 알콕시기, 알콕시카르보닐기, 카르바모일기, 티오카르바모일기, 니트로기, 니트로소기, 카르복실기, 카르복실레이트기, 아실기, 아실옥시기, 술피노기, 술포기, 술포네이트기, 포스피노기, 포스피닐기, 포스포노기, 포스포네이트기, 히드록시이미노기, 알킬에테르기, 알케닐에테르기, 알킬티오에테르기, 알케닐티오에테르기, 아릴에테르기, 아릴티오에테르기, 아미노기(-NH2, -NHR, -NRR':R 및 R'는 각각 독립적으로 탄화수소기를 나타낸다) 등을 들 수 있다. 상기 치환기에 포함되는 수소 원자는 탄화수소기에 의해 치환되어 있어도 된다. 또, 상기 치환기에 포함되는 탄화수소기는 직쇄상, 분기쇄상 및 환상 중 어느 하나여도 된다.Substituents other than the hydrocarbon group in the organic group of R 1 and R 2 are not particularly limited as long as the effect of the present invention is not impaired, and examples thereof include a halogen atom, a hydroxyl group, a mercapto group, a sulfide group, a cyano group, A silanol group, an alkoxy group, an alkoxycarbonyl group, a carbamoyl group, a thiocarbamoyl group, a nitro group, a nitroso group, a carboxyl group, a carboxylate group, a carboxylate group, an isocyanate group, a thiocyanate group, an isothiocyanate group, An acyl group, an acyloxy group, a sulfino group, a sulfo group, a sulfonate group, a phosphino group, a phosphinyl group, a phosphono group, a phosphonate group, a hydroxyimino group, an alkyl ether group, an alkenyl ether group , An alkylthioether group, an alkenylthioether group, an arylether group, an arylthioether group, an amino group (-NH 2 , -NHR, -NRR ': R and R' each independently represents a hydrocarbon group) have. The hydrogen atom contained in the substituent may be substituted by a hydrocarbon group. The hydrocarbon group contained in the substituent may be any of straight chain, branched chain and cyclic.

R1 및 R2의 유기기 중의 탄화수소기 이외의 치환기로는 할로겐 원자, 수산기, 메르캅토기, 술피드기, 시아노기, 이소시아노기, 시아네이트기, 이소시아네이트기, 티오시아네이트기, 이소티오시아네이트기, 실릴기, 실라놀기, 알콕시기, 알콕시카르보닐기, 카르바모일기, 티오카르바모일기, 니트로기, 니트로소기, 카르복실기, 카르복실레이트기, 아실기, 아실옥시기, 술피노기, 술포기, 술포네이트기, 포스피노기, 포스피닐기, 포스포노기, 포스포네이트기, 히드록시이미노기, 알킬에테르기, 알케닐에테르기, 알킬티오에테르기, 알케닐티오에테르기, 아릴에테르기, 아릴티오에테르기가 바람직하다.Examples of substituents other than the hydrocarbon group in the organic group of R 1 and R 2 include a halogen atom, a hydroxyl group, a mercapto group, a sulfide group, a cyano group, an isocyanato group, a cyanate group, an isocyanate group, a thiocyanate group, A carbamoyl group, a nitrocarbamoyl group, a nitro group, a carboxyl group, a carboxylate group, an acyl group, an acyloxy group, a sulfino group, a sulfo group, a sulfonyl group, a sulfonyl group, A sulfonate group, a phosphono group, a phosphonyl group, a phosphono group, a phosphonate group, a hydroxyimino group, an alkyl ether group, an alkenyl ether group, an alkylthioether group, an alkenylthioether group, Group and an arylthioether group are preferable.

이상의 것 중에서도, R1 및 R2로는 적어도 한쪽이 탄소수 1~12의 알킬기 혹은 탄소수 1~12의 아릴기이든가, 서로 결합해 탄소수 2~20의 헤테로시클로알킬기 혹은 헤테로아릴기를 형성하는 것인 것이 바람직하다. 헤테로시클로알킬기로는 피페리디노기, 모르폴리노기 등을 들 수 있으며, 헤테로아릴기로는 이미다졸릴기, 피라졸릴기 등을 들 수 있다.Of these, at least one of R 1 and R 2 is preferably an alkyl group having 1 to 12 carbon atoms or an aryl group having 1 to 12 carbon atoms, or may be bonded to each other to form a heterocycloalkyl group or a heteroaryl group having 2 to 20 carbon atoms Do. Examples of the heterocycloalkyl group include a piperidino group and a morpholino group. Examples of the heteroaryl group include an imidazolyl group and a pyrazolyl group.

상기 식 (1) 중, R3은 단결합 또는 유기기를 나타낸다.In the above formula (1), R 3 represents a single bond or an organic group.

R3에서의 유기기로는 알킬기, 알케닐기, 시클로알킬기, 시클로알케닐기, 아릴기, 아랄킬기 등으로부터 1개의 수소 원자를 제외한 기를 들 수 있다. 이 유기기는 이 유기기 중에 치환기를 포함하고 있어도 된다. 치환기로는 R1 및 R2에서 예시한 것을 들 수 있다. 또, 이 유기기는 직쇄상, 분기쇄상 중 어느 하나여도 된다.Examples of the organic group for R 3 include a group excluding one hydrogen atom from an alkyl group, an alkenyl group, a cycloalkyl group, a cycloalkenyl group, an aryl group or an aralkyl group. This organic group may contain a substituent in the organic group. Examples of the substituent include those exemplified as R 1 and R 2 . The organic group may be either straight chain or branched chain.

이상의 것 중에서도, R3으로는 단결합 또는 탄소수 1~12의 알킬기 혹은 탄소수 1~12의 아릴기로부터 1개의 수소 원자를 제외한 기인 것이 바람직하다.Among them, R 3 is preferably a single bond, an alkyl group having 1 to 12 carbon atoms, or an aryl group having 1 to 12 carbon atoms, which is a group excluding one hydrogen atom.

상기 식 (1) 중, R4 및 R5는 각각 독립적으로 수소 원자, 할로겐 원자, 수산기, 메르캅토기, 술피드기, 실릴기, 실라놀기, 니트로기, 니트로소기, 술피노기, 술포기, 술포네이트기, 포스피노기, 포스피닐기, 포스포노기, 포스포네이트기 또는 유기기를 나타낸다.Wherein R 4 and R 5 each independently represent a hydrogen atom, a halogen atom, a hydroxyl group, a mercapto group, a sulfide group, a silyl group, a silanol group, a nitro group, a nitroso group, a sulfino group, , A sulfonate group, a phosphino group, a phosphinyl group, a phosphono group, a phosphonate group or an organic group.

R4 및 R5에서의 유기기로는 R1 및 R2에서 예시한 것을 들 수 있다. 이 유기기는 R1 및 R2의 경우와 마찬가지로, 이 유기기 중에 헤테로 원자 등의 탄화수소기 이외의 결합이나 치환기를 포함하고 있어도 된다. 또, 이 유기기는 직쇄상, 분기쇄상, 환상 중 어느 하나여도 된다.The organic groups in R 4 and R 5 include those exemplified as R 1 and R 2 . As in the case of R 1 and R 2 , this organic group may contain a bond or a substituent other than a hydrocarbon group such as a hetero atom in the organic group. The organic group may be any of linear, branched and cyclic.

이상의 것 중에서도, R4 및 R5로는 각각 독립적으로 수소 원자, 탄소수 1~10의 알킬기, 탄소수 4~13의 시클로알킬기, 탄소수 4~13의 시클로알케닐기, 탄소수 7~16의 아릴옥시알킬기, 탄소수 7~20의 아랄킬기, 시아노기를 가지는 탄소수 2~11의 알킬기, 수산기를 가지는 탄소수 1~10의 알킬기, 탄소수 1~10의 알콕시기, 탄소수 2~11의 아미드기, 탄소수 1~10의 알킬티오기, 탄소수 1~10의 아실기, 탄소수 2~11의 에스테르기(-COOR, -OCOR:R는 탄화수소기를 나타낸다), 탄소수 6~20의 아릴기, 전자 공여성기 및/또는 전자 흡인성기가 치환된 탄소수 6~20의 아릴기, 전자 공여성기 및/또는 전자 흡인성기가 치환된 벤질기, 시아노기, 메틸티오기인 것이 바람직하다. 보다 바람직하게는 R4 및 R5 양쪽 모두가 수소 원자이든지, 또는 R4가 메틸기이며, R5가 수소 원자이다.Among them, R 4 and R 5 each independently represent a hydrogen atom, an alkyl group having 1 to 10 carbon atoms, a cycloalkyl group having 4 to 13 carbon atoms, a cycloalkenyl group having 4 to 13 carbon atoms, an aryloxyalkyl group having 7 to 16 carbon atoms, An aralkyl group having 7 to 20 carbon atoms, an alkyl group having 2 to 11 carbon atoms having a cyano group, an alkyl group having 1 to 10 carbon atoms having a hydroxyl group, an alkoxy group having 1 to 10 carbon atoms, an amide group having 2 to 11 carbon atoms, An acyl group having from 1 to 10 carbon atoms, an ester group having from 2 to 11 carbon atoms (-COOR, -OCOR: R representing a hydrocarbon group), an aryl group having from 6 to 20 carbon atoms, an electron donating group and / An aryl group having 6 to 20 carbon atoms which is substituted, a benzyl group substituted with an electron-donating group and / or an electron-withdrawing group, a cyano group, or a methylthio group. More preferably R &lt; 4 &gt; And R 5 are both hydrogen atoms, or R 4 is a methyl group and R 5 is a hydrogen atom.

상기 식 (1) 중, R6, R7, R8 및 R9는 각각 독립적으로 수소 원자, 할로겐 원자, 수산기, 메르캅토기, 술피드기, 실릴기, 실라놀기, 니트로기, 니트로소기, 술피노기, 술포기, 술포네이트기, 포스피노기, 포스피닐기, 포스포노기, 포스포네이트기, 아미노기, 암모니오기 또는 유기기를 나타낸다.R 6 , R 7 , R 8 and R 9 each independently represent a hydrogen atom, a halogen atom, a hydroxyl group, a mercapto group, a sulfide group, a silyl group, a silanol group, a nitro group, A sulfonyl group, a phosphino group, a phosphinyl group, a phosphono group, a phosphonate group, an amino group, an ammonium group or an organic group.

R6, R7, R8 및 R9에서의 유기기로는 R1 및 R2에서 예시한 것을 들 수 있다. 이 유기기는 R1 및 R2의 경우와 마찬가지로, 이 유기기 중에 헤테로 원자 등의 탄화수소기 이외의 결합이나 치환기를 포함하고 있어도 된다. 또, 이 유기기는 직쇄상, 분기쇄상, 환상 중 어느 하나여도 된다.Examples of the organic group at R 6 , R 7 , R 8 and R 9 include those exemplified as R 1 and R 2 . As in the case of R 1 and R 2 , this organic group may contain a bond or a substituent other than a hydrocarbon group such as a hetero atom in the organic group. The organic group may be any of linear, branched and cyclic.

또한, 상기 식 (1) 중, R6 및 R7이 수산기가 되는 경우는 없다. R6 또는 R7이 수산기인 경우, 특허문헌 1에 기재되어 있는 대로, 전자파 조사 및 가열에 의해 고리화 반응이 발생한다. 이 때문에, 이와 같은 화합물을 감광성 수지 조성물에 함유시켜도, 광 에너지가 고리화를 위해서 소비되어 양호한 미소 패터닝 특성을 얻을 수 없다. 이것에 대해서, 상기 식 (1)로 나타내는 화합물은 R6 및 R7이 수산기가 되는 경우는 없기 때문에, 고리화 반응은 생기지 않고, 감광성 수지 조성물에 함유시켰을 때에 양호한 미소 패터닝 특성을 얻는 것이 가능하다.In the above formula (1), R 6 and R 7 do not form a hydroxyl group. When R 6 or R 7 is a hydroxyl group, a cyclization reaction occurs by electromagnetic wave irradiation and heating as described in Patent Document 1. Therefore, even when such a compound is contained in the photosensitive resin composition, the light energy is consumed for cyclization and good fine patterning characteristics can not be obtained. In contrast, the compound represented by the above formula (1) does not cause a cyclization reaction because R 6 and R 7 do not form a hydroxyl group, and it is possible to obtain good minute patterning characteristics when contained in the photosensitive resin composition .

R6, R7, R8 및 R9는 이들 2 이상이 결합해 환상 구조를 형성하고 있어도 되고, 헤테로 원자의 결합을 포함하고 있어도 된다. 환상 구조로는 헤테로시클로알킬기, 헤테로아릴기 등을 들 수 있고, 축합환이어도 된다. 예를 들면, R6, R7, R8 및 R9는 이들 2 이상이 결합하여, R6, R7, R8 및 R9가 결합하고 있는 벤젠환의 원자를 공유해 나프탈렌, 안트라센, 페난트렌, 인덴 등의 축합환을 형성해도 좋다.R 6 , R 7 , R 8 and R 9 may combine with each other to form a cyclic structure or may contain a heteroatom bond. Examples of the cyclic structure include a heterocycloalkyl group and a heteroaryl group, and condensed rings may be used. For example, R 6 , R 7 , R 8, and R 9 may be bonded to each other to form a bond between the benzene ring atoms to which R 6 , R 7 , R 8, and R 9 are bound to form naphthalene, anthracene, phenanthrene, Condensed rings such as indene may be formed.

이상의 것 중에서도, R6, R7, R8 및 R9로는 각각 독립적으로 수소 원자, 탄소수 1~10의 알킬기, 탄소수 4~13의 시클로알킬기, 탄소수 4~13의 시클로알케닐기, 탄소수 7~16의 아릴 옥시 알킬기, 탄소수 7~20의 아랄킬기, 시아노기를 가지는 탄소수 2~11의 알킬기, 수산기를 가지는 탄소수 1~10의 알킬기, 탄소수 1~10의 알콕시기, 탄소수 2~11의 아미드기, 탄소수 1~10의 알킬티오기, 탄소수 1~10의 아실기, 탄소수 2~11의 에스테르기, 탄소수 6~20의 아릴기, 전자 공여성기 및/또는 전자 흡인성기가 치환된 탄소수 6~20의 아릴기, 전자 공여성기 및/또는 전자 흡인성기가 치환된 벤질기, 시아노기, 메틸티오기, 니트로기인 것이 바람직하다.Of the above groups, R 6 , R 7 , R 8 and R 9 each independently represent a hydrogen atom, an alkyl group having 1 to 10 carbon atoms, a cycloalkyl group having 4 to 13 carbon atoms, a cycloalkenyl group having 4 to 13 carbon atoms, An aralkyl group having 7 to 20 carbon atoms, an alkyl group having 2 to 11 carbon atoms having a cyano group, an alkyl group having 1 to 10 carbon atoms having a hydroxyl group, an alkoxy group having 1 to 10 carbon atoms, an amide group having 2 to 11 carbon atoms, An alkyl group having 1 to 10 carbon atoms, an acyl group having 1 to 10 carbon atoms, an ester group having 2 to 11 carbon atoms, an aryl group having 6 to 20 carbon atoms, an electron donating group and / An aryl group, an electron-donating group and / or a benzyl group substituted with an electron-withdrawing group, cyano group, methylthio group or nitro group.

또, R6, R7, R8 및 R9로는 이들 2 이상이 결합하여, R6, R7, R8 및 R9가 결합하고 있는 벤젠환의 원자를 공유해 나프탈렌, 안트라센, 페난트렌, 인덴 등의 축합환을 형성하고 있는 경우도, 흡수 파장이 장파장화되는 점으로부터 바람직하다.In addition, R 6, R 7, R 8 and R 9 roneun combination of these 2 or more, R 6, R 7, R 8 and R 9 are sharing a benzene ring atom bonded naphthalene, anthracene, phenanthrene, indene, etc. Condensed ring is also formed from the viewpoint that the absorption wavelength becomes long.

보다 바람직하게는 R6, R7, R8 및 R9 모두가 수소 원자이든지, 또는 R6, R7, R8 및 R9 중 어느 하나가 니트로기이며, 나머지 3개가 수소 원자이다.More preferably, all of R 6 , R 7 , R 8 and R 9 are hydrogen atoms, or any one of R 6 , R 7 , R 8 and R 9 is a nitro group, and the remaining three are hydrogen atoms.

상기 식 (1) 중, R10은 수소 원자 또는 유기기를 나타낸다.In the above formula (1), R 10 represents a hydrogen atom or an organic group.

R10에서의 유기기로는 R1 및 R2에서 예시한 것을 들 수 있다. 이 유기기는 R1 및 R2의 경우와 마찬가지로, 이 유기기 중에 헤테로 원자 등의 탄화수소기 이외의 결합이나 치환기를 포함하고 있어도 된다. 또, 이 유기기는 직쇄상, 분기쇄상, 환상 중 어느 하나여도 된다.Examples of the organic group at R 10 include those exemplified as R 1 and R 2 . As in the case of R 1 and R 2 , this organic group may contain a bond or a substituent other than a hydrocarbon group such as a hetero atom in the organic group. The organic group may be any of linear, branched and cyclic.

상기 식 (1)로 나타내는 화합물은 벤젠환의 파라 위치에 -OR10기를 가지기 때문에, 유기용제에 대한 용해성이 양호하다.The compound represented by the above formula (1) has a -OR 10 group at the para position of the benzene ring, and therefore has good solubility in an organic solvent.

이상의 것 중에서도, R10으로는 수소 원자 또는 탄소수 1~12의 알킬기인 것이 바람직하고, 메틸기인 것이 보다 바람직하다.Among them, R 10 is preferably a hydrogen atom or an alkyl group having 1 to 12 carbon atoms, more preferably a methyl group.

상기 식 (1)로 나타내는 화합물 가운데, 특히 바람직한 구체적인 예로는 하기 식으로 나타내는 화합물을 들 수 있다.Particularly preferred specific examples among the compounds represented by the above formula (1) include compounds represented by the following formulas.

Figure 112012076458456-pat00011
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Figure 112012076458456-pat00012
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Figure 112012076458456-pat00013
Figure 112012076458456-pat00013

이와 같은 상기 식 (1)로 나타내는 화합물은 유기용제에 대한 용해성이 양호하고, 또 감광성 수지 조성물에 함유시켰을 때에 양호한 미소 패터닝 특성을 얻는 것이 가능하다. 또한, 이 화합물은 후술하는 실시예와 같이 하여 합성하는 것이 가능하다.The compound represented by the above formula (1) has good solubility in an organic solvent and can obtain good fine patterning characteristics when contained in a photosensitive resin composition. Further, this compound can be synthesized in the same manner as in Examples described later.

상기 식 (1)로 나타내는 화합물의 함유량은 상기 광중합 개시제 100중량부에 대해서 35~200중량부인 것이 바람직하고, 50~150중량부인 것이 보다 바람직하며, 50~100중량부인 것이 더욱 바람직하다. 상기의 범위로 함으로써, 양호한 현상성을 얻으면서, 양호한 미소 패터닝 특성을 얻을 수 있다.The content of the compound represented by the formula (1) is preferably 35 to 200 parts by weight, more preferably 50 to 150 parts by weight, and still more preferably 50 to 100 parts by weight based on 100 parts by weight of the photopolymerization initiator. By setting the thickness within the above range, good fine patterning characteristics can be obtained while satisfactory developability is obtained.

<차광제><Shading agent>

차광제로는 흑색 안료를 이용하는 것이 바람직하다. 흑색 안료로는 카본 블랙, 티탄 블랙, 구리, 철, 망간, 코발트, 크롬, 니켈, 아연, 칼슘, 은 등의 금속 산화물, 복합 산화물, 금속 황화물, 금속 황산염, 금속 탄산염 등, 유기물, 무기물을 불문하고 각종의 안료를 들 수 있다. 이들 중에서도, 높은 차광성을 가지는 카본 블랙을 이용하는 것이 바람직하다.As the light shielding agent, it is preferable to use a black pigment. Examples of the black pigments include carbon black, titanium black, metal oxides such as copper, iron, manganese, cobalt, chromium, nickel, zinc, calcium and silver, complex oxides, metal sulfides, metal sulfates, metal carbonates, And various pigments. Among these, it is preferable to use carbon black having high light shielding properties.

카본 블랙으로는 채널 블랙, 퍼니스 블랙, 서멀 블랙, 램프 블랙 등의 공지의 카본 블랙을 이용할 수 있지만, 차광성이 뛰어난 채널 블랙을 이용하는 것이 바람직하다. 또, 수지 피복 카본 블랙을 사용해도 된다.As the carbon black, known carbon black such as channel black, furnace black, thermal black and lamp black can be used, but it is preferable to use channel black excellent in light shielding property. Resin-coated carbon black may also be used.

수지 피복 카본 블랙은 수지 피복이 없는 카본 블랙에 비해 도전성이 낮기 때문에, 블랙 매트릭스 형성용의 감광성 수지 조성물에 사용했을 경우에 전류의 리크가 적고, 신뢰성이 높은 저소비 전력의 디스플레이를 제조할 수 있다.Since the resin-coated carbon black has a lower conductivity than carbon black having no resin coating, a display with low power consumption and high reliability can be manufactured with less current leakage when used in a photosensitive resin composition for forming a black matrix.

또, 카본 블랙의 색조를 조정하기 위해서, 보조 안료로서 유기 안료를 적절히 첨가해도 된다.In order to adjust the color tone of the carbon black, an organic pigment may be appropriately added as an auxiliary pigment.

또, 착색제를 네가티브형 감광성 수지 조성물에서 균일하게 분산시키기 위해서, 추가로 분산제를 사용해도 된다. 이와 같은 분산제로는 폴리에틸렌이민계, 우레탄 수지계, 아크릴 수지계의 고분자 분산제를 이용하는 것이 바람직하다. 특히, 차광제로서 카본 블랙을 이용하는 경우에는 분산제로서 아크릴 수지계의 분산제를 이용하는 것이 바람직하다.In order to uniformly disperse the colorant in the negative-type photosensitive resin composition, a dispersant may be further used. As such a dispersing agent, it is preferable to use a polymeric dispersant of a polyethylene imine type, a urethane resin type or an acrylic resin type. Particularly when carbon black is used as a light-shielding agent, it is preferable to use an acrylic resin-based dispersant as a dispersant.

차광제의 함유량은 감광성 수지 조성물의 용도에 따라 적절히 결정하면 되지만, 일례로서 감광성 수지 조성물의 고형분 100중량부에 대해서, 5~70중량부가 바람직하고, 25~60중량부가 보다 바람직하다.The content of the light-shielding agent may be appropriately determined depending on the use of the photosensitive resin composition, but is preferably 5 to 70 parts by weight, more preferably 25 to 60 parts by weight, based on 100 parts by weight of the solid content of the photosensitive resin composition.

특히, 감광성 수지 조성물을 사용해 블랙 매트릭스를 형성하는 경우에는 블랙 매트릭스의 막 두께 1㎛당 OD 값이 4 이상이 되도록, 감광성 수지 조성물에서의 차광제의 양을 조정하는 것이 바람직하다. 블랙 매트릭스에서의 막 두께 1㎛당 OD 값이 4 이상이면, 블랙 매트릭스에 이용했을 경우에 충분한 표시 콘트라스트를 얻을 수 있다.Particularly, in the case of forming a black matrix using a photosensitive resin composition, it is preferable to adjust the amount of the light-shielding agent in the photosensitive resin composition so that the OD value per 1 m of the thickness of the black matrix is 4 or more. When the OD value per 1 m of the film thickness in the black matrix is 4 or more, sufficient display contrast can be obtained when the black matrix is used for a black matrix.

또한, 차광제는 분산제를 이용해 적당한 농도로 분산시킨 분산액으로 한 후, 감광성 수지 조성물에 첨가하는 것이 바람직하다.It is preferable that the light-shielding agent is added to the photosensitive resin composition after preparing a dispersion in which the light-shielding agent is dispersed at a suitable concentration using a dispersant.

<유기용제><Organic solvents>

본 발명에 관한 감광성 수지 조성물은 희석을 위한 유기용제를 함유하는 것이 바람직하다. 유기용제로는 예를 들면, 에틸렌글리콜모노메틸에테르, 에틸렌글리콜모노에틸에테르, 에틸렌글리콜-n-프로필에테르, 에틸렌글리콜모노-n-부틸에테르, 디에틸렌글리콜모노메틸에테르, 디에틸렌글리콜모노에틸에테르, 디에틸렌글리콜모노-n-프로필에테르, 디에틸렌글리콜모노-n-부틸 에테르, 트리에틸렌글리콜모노메틸에테르, 트리에틸렌글리콜모노에틸에테르, 프로필렌글리콜모노메틸에테르, 프로필렌글리콜모노에틸에테르, 프로필렌글리콜모노-n-프로필에테르, 프로필렌글리콜모노-n-부틸에테르, 디프로필렌글리콜모노메틸에테르, 디프로필렌글리콜모노에틸에테르, 디프로필렌글리콜모노-n-프로필에테르, 디프로필렌글리콜모노-n-부틸에테르, 트리프로필렌글리콜모노메틸에테르, 트리프로필렌글리콜모노에틸에테르 등의 (폴리)알킬렌글리콜모노알킬에테르류;에틸렌글리콜모노메틸에테르아세테이트, 에틸렌글리콜모노에틸에테르아세테이트, 디에틸렌글리콜모노메틸에테르아세테이트, 디에틸렌글리콜모노에틸에테르아세테이트, 프로필렌글리콜모노메틸에테르아세테이트, 프로필렌글리콜모노에틸에테르아세테이트 등의 (폴리)알킬렌글리콜모노알킬에테르아세테이트류; 디에틸렌글리콜디메틸에테르, 디에틸렌글리콜메틸에틸에테르, 디에틸렌글리콜디에틸에테르, 테트라히드로푸란 등의 다른 에테르류;메틸에틸케톤, 시클로헥산온, 2-헵탄온, 3-헵탄온 등의 케톤류;2-히드록시프로피온산메틸, 2-히드록시프로피온산에틸 등의 젖산알킬에스테르류;2-히드록시-2-메틸프로피온산에틸, 3-메톡시프로피온산메틸, 3-메톡시프로피온산에틸, 3-에톡시프로피온산메틸, 3-에톡시프로피온산에틸, 에톡시아세트산에틸, 히드록시아세트산에틸, 2-히드록시-3-메틸탄산메틸, 3-메틸-3-메톡시부틸아세테이트, 3-메틸-3-메톡시부틸프로피오네이트, 아세트산에틸, 아세트산n-프로필, 아세트산이소프로필, 아세트산n-부틸, 아세트산이소부틸, 포름산n-펜틸, 아세트산이소펜틸, 프로피온산n-부틸, 부티르산에틸, 부티르산n-프로필, 부티르산이소프로필, 부티르산n-부틸, 피루브산메틸, 피루브산에틸, 피루브산n-프로필, 아세토아세트산메틸, 아세토아세트산에틸, 2-옥소부탄산에틸 등의 다른 에스테르류;톨루엔, 크실렌 등의 방향족 탄화수소류;N-메틸피롤리돈, N,N-디메틸포름아미드, N,N-디메틸아세트아미드 등의 아미드류 등을 들 수 있다. 이들 유기용제는 단독 또는 2종 이상 조합해 이용할 수 있다.The photosensitive resin composition according to the present invention preferably contains an organic solvent for dilution. Examples of the organic solvent include ethylene glycol monomethyl ether, ethylene glycol monoethyl ether, ethylene glycol-n-propyl ether, ethylene glycol mono-n-butyl ether, diethylene glycol monomethyl ether, diethylene glycol monoethyl ether Diethylene glycol mono-n-propyl ether, diethylene glycol mono-n-butyl ether, triethylene glycol monomethyl ether, triethylene glycol monoethyl ether, propylene glycol monomethyl ether, propylene glycol monoethyl ether, propylene glycol mono propyl ether, dipropylene glycol mono-n-butyl ether, dipropylene glycol mono-n-butyl ether, dipropylene glycol monomethyl ether, dipropylene glycol monoethyl ether, dipropylene glycol mono- (Poly) alkylene glycol moiety such as propylene glycol monomethyl ether, tripropylene glycol monoethyl ether and the like Alkyl ethers such as ethylene glycol monomethyl ether acetate, ethylene glycol monoethyl ether acetate, diethylene glycol monomethyl ether acetate, diethylene glycol monoethyl ether acetate, propylene glycol monomethyl ether acetate, propylene glycol monoethyl ether acetate and the like Diethylene glycol dimethyl ether, diethylene glycol diethyl ether, tetrahydrofuran and the like; alcohols such as methyl ethyl ketone, cyclohexanone, 2- Methyl propionate, methyl 3-methoxypropionate, methyl 3-methoxypropionate, ethyl 3-methoxypropionate, ethyl 2-hydroxypropionate, Ethyl methoxypropionate, methyl 3-ethoxypropionate, ethyl 3-ethoxypropionate, 3-methoxybutyl acetate, 3-methyl-3-methoxybutyl propionate, ethyl acetate, acetic acid n &lt; RTI ID = 0.0 & Butyl, isobutyl acetate, n-pentyl acetate, isopentyl acetate, n-butyl propionate, ethyl butyrate, n-propyl butyrate, isopropyl butyrate, n-butyl butyrate, methyl pyruvate, Methyl ethyl ketone, ethyl lactate, ethyl lactate, ethyl lactate, ethyl lactate, n-propyl pyruvate, methyl acetoacetate, ethyl acetoacetate and ethyl 2-oxobutanoate; aromatic hydrocarbons such as toluene and xylene; Amides such as amide and N, N-dimethylacetamide, and the like. These organic solvents may be used alone or in combination of two or more.

상기 유기용제 중에서도, 프로필렌글리콜모노메틸에테르, 에틸렌글리콜모노메틸에테르아세테이트, 프로필렌글리콜모노메틸에테르아세테이트, 프로필렌글리콜모노에틸에테르아세테이트, 디에틸렌글리콜디메틸에테르, 디에틸렌글리콜메틸에틸에테르, 시클로헥산온, 3-메톡시부틸아세테이트는 상기 광중합성 화합물, 상기 광중합 개시제 및 상기 식 (1)로 나타내는 화합물에 대해서 뛰어난 용해성을 나타내는 동시에, 상기 차광제의 분산성을 양호하게 할 수 있기 때문에 바람직하고, 프로필렌글리콜모노메틸에테르아세테이트, 3-메톡시부틸아세테이트를 이용하는 것이 특히 바람직하다.Among the organic solvents, propylene glycol monomethyl ether, ethylene glycol monomethyl ether acetate, propylene glycol monomethyl ether acetate, propylene glycol monoethyl ether acetate, diethylene glycol dimethyl ether, diethylene glycol methyl ethyl ether, cyclohexanone, 3 -Methoxybutyl acetate is preferable because it exhibits excellent solubility in the above photopolymerizable compound, the photopolymerization initiator and the compound represented by the formula (1), and the dispersibility of the light-shielding agent can be improved, and propylene glycol mono It is particularly preferable to use methyl ether acetate, 3-methoxybutyl acetate.

유기용제의 함유량은 감광성 수지 조성물의 고형분 농도가 1~50중량%이 되는 양이 바람직하고, 5~30중량%이 되는 양이 보다 바람직하다.The content of the organic solvent is preferably such that the solid concentration of the photosensitive resin composition is 1 to 50% by weight, more preferably 5 to 30% by weight.

<그 밖의 성분>&Lt; Other components &gt;

본 발명에 관한 감광성 수지 조성물은 필요에 따라서, 각종 첨가제를 함유하고 있어도 된다. 첨가제로는 증감제, 경화 촉진제, 충전제, 밀착 촉진제, 산화 방지제, 자외선 흡수제, 응집 방지제, 열중합 금지제, 소포제, 계면활성제 등을 들 수 있다.The photosensitive resin composition according to the present invention may contain various additives as required. Examples of the additive include a sensitizer, a curing accelerator, a filler, an adhesion promoter, an antioxidant, an ultraviolet absorber, an aggregation inhibitor, a thermal polymerization inhibitor, a defoaming agent, and a surfactant.

<감광성 수지 조성물의 조제 방법>&Lt; Preparation method of photosensitive resin composition &gt;

본 발명에 관한 감광성 수지 조성물은 상기의 각 성분을 교반기로 혼합함으로써 조제된다. 또한, 조제된 감광성 수지 조성물이 균일한 것이 되도록, 멤브레인 필터 등을 이용해 여과해도 된다.The photosensitive resin composition according to the present invention is prepared by mixing each of the above components with a stirrer. Further, it may be filtered using a membrane filter or the like so that the prepared photosensitive resin composition becomes uniform.

≪패턴 형성 방법≫«Pattern formation method»

본 발명에 관한 패턴 형성 방법은 본 발명에 관한 감광성 수지 조성물을 이용해 도막 또는 성형체를 형성하고, 이 도막 또는 성형체에 대해서 소정 패턴 모양으로 전자파를 조사해 현상하는 것이다.The pattern forming method according to the present invention forms a coating film or a molded product using the photosensitive resin composition according to the present invention and irradiates the coated film or the molded product with electromagnetic waves in a predetermined pattern shape to develop the coated film or the molded product.

보다 구체적으로는 우선, 적절한 도포 방법 또는 성형 방법에 의해, 도막 또는 성형체를 형성한다. 예를 들면, 롤 코터, 리버스 코터, 바 코터 등의 접촉 전사형 도포 장치나 스피너(회전식 도포 장치), 커텐플로우 코터 등의 비접촉형 도포 장치를 이용해 기판 상에 감광성 수지 조성물을 도포하고 건조시킴으로써 도막을 형성할 수 있다. 건조 방법은 특별히 한정되지 않고, 예를 들면, (1) 핫 플레이트에서 80~120℃, 바람직하게는 90~100℃의 온도에서 60~120초간, 프리베이크를 실시하는 방법, (2) 실온에서 수시간~몇일간 방치하는 방법, (3) 온풍 히터나 적외선 히터 중에 수십 분간~수 시간 넣어 용제를 제거하는 방법 등을 들 수 있다.More specifically, first, a coating film or a molded product is formed by an appropriate coating method or molding method. For example, a photosensitive resin composition is applied on a substrate using a non-contact type coating device such as a roll coater, a reverse coater, a bar coater, or the like, a spinner (rotary coating device), or a curtain flow coater, . The drying method is not particularly limited and includes, for example, (1) a method of performing prebaking on a hot plate at a temperature of 80 to 120 ° C, preferably 90 to 100 ° C for 60 to 120 seconds, (2) And (3) a method of removing the solvent by putting it in a warm air heater or an infrared heater for several minutes to several hours, and the like.

다음에, 도막 또는 성형체에 대해서 소정 패턴 모양으로 전자파를 조사하여 노광한다. 전자파는 네가티브형의 마스크를 통하여 조사해도 되고, 직접 조사해도 된다. 노광량은 감광성 수지 조성물의 조성에 따라서도 상이하지만, 예를 들면 5~500mJ/㎠ 정도가 바람직하다.Next, the coated film or the molded product is exposed by irradiating electromagnetic waves in a predetermined pattern shape. The electromagnetic wave may be irradiated through a negative type mask or directly irradiated. The exposure dose varies depending on the composition of the photosensitive resin composition but is preferably, for example, about 5 to 500 mJ / cm 2.

다음에, 노광 후의 도막 또는 성형체를 현상액에 의해 현상함으로써 원하는 형상으로 패터닝한다. 현상 방법은 특별히 한정되지 않고, 예를 들면, 침지법, 스프레이법 등을 이용할 수 있다. 현상액으로는 모노에탄올아민, 디에탄올아민, 트리에탄올아민 등의 유기계의 것이나, 수산화나트륨, 수산화칼륨, 탄산나트륨, 암모니아, 4급 암모늄염 등의 수용액을 들 수 있다.Next, the coated film or the molded product after exposure is developed with a developing solution to be patterned into a desired shape. The developing method is not particularly limited, and for example, a dipping method, a spraying method, or the like can be used. Examples of the developing solution include organic ones such as monoethanolamine, diethanolamine and triethanolamine, and aqueous solutions such as sodium hydroxide, potassium hydroxide, sodium carbonate, ammonia and quaternary ammonium salts.

현상 후의 패턴에 대해서는 200~250℃ 정도에서 포스트베이크를 실시하는 것이 바람직하다.Post-baking is preferably performed at about 200 to 250 ° C for the pattern after development.

≪컬러 필터, 표시 장치≫«Color filter, display device»

본 발명에 관한 컬러 필터는 본 발명에 관한 감광성 수지 조성물을 이용해 형성된 것이다.The color filter according to the present invention is formed using the photosensitive resin composition according to the present invention.

예를 들면, 본 발명에 관한 감광성 수지 조성물을 이용해 도막을 형성하고, 이 도막에 대해서 소정 패턴 모양으로 전자파를 조사해 현상함으로써, 액정 표시 디스플레이나 유기 EL 디스플레이의 컬러 필터에서의 블랙 매트릭스를 형성할 수 있다.For example, a black matrix in a color filter of a liquid crystal display or an organic EL display can be formed by forming a coating film using the photosensitive resin composition according to the present invention and irradiating the coating film with electromagnetic waves in a predetermined pattern shape have.

본 발명에 관한 표시 장치는 이와 같은 컬러 필터를 구비하는 것이다. 표시 장치로는 액정 표시 디스플레이나 유기 EL 디스플레이 등을 들 수 있다.
The display device according to the present invention includes such a color filter. Examples of the display device include a liquid crystal display and an organic EL display.

실시예Example

이하, 실시예를 나타내 본 발명을 더욱 구체적으로 설명하지만, 본 발명의 범위는 이들 실시예로 한정되는 것은 아니다.Hereinafter, the present invention will be described in more detail with reference to Examples, but the scope of the present invention is not limited to these Examples.

<상기 식 (1)로 나타내는 화합물 및 비교 화합물><Compounds represented by the above formula (1) and comparative compounds>

상기 식 (1)로 나타내는 화합물로는 하기 식으로 나타내는 화합물 1~20을 준비했다. 이 화합물 1~20의 합성법을 하기에 나타낸다. 또, 비교를 위해, 하기 식으로 나타내는 비교 화합물 1~10을 준비했다.As the compound represented by the above formula (1), compounds 1 to 20 represented by the following formulas were prepared. The synthesis methods of the compounds 1 to 20 are shown below. For comparison, comparative compounds 1 to 10 represented by the following formulas were prepared.

Figure 112012076458456-pat00014
Figure 112012076458456-pat00014

Figure 112012076458456-pat00015
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[화합물 1의 합성법][Synthesis method of Compound 1]

3-(4-메톡시페닐)아크릴산 클로라이드 5.90g(30mmol)을 50㎖의 건조한 에테르에 용해하고, 트리에틸아민 4.59㎖(당량비 1.1), 디에틸아민 2.41㎖(당량비 1.1)을 가해 실온에서 1시간 교반했다. 물 50㎖, 포화 NaHCO3 수용액 50㎖ 및 1N 염산으로 세정 후, 황산마그네슘으로 건조하고, 감압 하에서 농축했다. 헥산-아세트산 에틸을 전개 용매로 하고, 실리카 겔을 지지 담체로 하여 컬럼 크로마토그래피에 의해 정제를 실시해, 대응하는 화합물 1(4.65g, 20mmol)을 얻었다. 아크릴산 클로라이드 기준의 수율은 67%였다.5.90 g (30 mmol) of 3- (4-methoxyphenyl) acrylic acid chloride were dissolved in 50 ml of dry ether, 4.59 ml (equivalent ratio 1.1) of triethylamine and 2.41 ml (equivalent ratio 1.1) Stirring time. Washed with 50 ml of water, 50 ml of a saturated aqueous solution of NaHCO 3 and 1N hydrochloric acid, dried over magnesium sulfate, and concentrated under reduced pressure. Purification was carried out by column chromatography using ethyl hexane-ethyl acetate as a developing solvent and silica gel as a support carrier to obtain the corresponding compound 1 (4.65 g, 20 mmol). The yield based on acrylic acid chloride was 67%.

[화합물 2의 합성법][Synthesis method of Compound 2]

3-(4-메톡시페닐)아크릴산 클로라이드 5.90g(30mmol)을 50㎖의 건조한 에테르에 용해하고, 트리에틸아민 4.59㎖(당량비 1.1), 아닐린 3.07㎖(당량비 1.1)을 가해 실온에서 1시간 교반했다. 물 50㎖, 포화 NaHCO3 수용액 50㎖ 및 1N 염산으로 세정 후, 황산마그네슘으로 건조하고, 감압 하에서 농축했다. 헥산-아세트산 에틸을 전개 용매로 하고, 실리카 겔을 지지 담체로 하여 컬럼 크로마토그래피에 의해 정제를 실시해, 대응하는 화합물 2(6.31g, 25mmol)를 얻었다. 아크릴산 클로라이드 기준의 수율은 83%였다.5.90 g (30 mmol) of 3- (4-methoxyphenyl) acrylic acid chloride were dissolved in 50 ml of dry ether, 4.59 ml (equivalent ratio 1.1) of triethylamine and 3.07 ml (an equivalent ratio 1.1) of aniline were added thereto and stirred at room temperature for 1 hour did. Washed with 50 ml of water, 50 ml of a saturated aqueous solution of NaHCO 3 and 1N hydrochloric acid, dried over magnesium sulfate, and concentrated under reduced pressure. Purification was carried out by column chromatography using hexane-ethyl acetate as a developing solvent and silica gel as a support carrier to obtain the corresponding compound 2 (6.31 g, 25 mmol). The yield based on acrylic acid chloride was 83%.

[화합물 3의 합성법][Synthesis method of Compound 3]

3-(4-메톡시페닐)아크릴산 클로라이드 5.90g(30mmol)을 50㎖의 건조한 에테르에 용해하고, 트리에틸아민 4.59㎖(당량비 1.1), 이미다졸 2.25㎖(당량비 1.1)을 가해 실온에서 1시간 교반했다. 물 50㎖, 포화 NaHCO3 수용액 50㎖ 및 1N 염산으로 세정 후, 황산마그네슘으로 건조하고, 감압 하에서 농축했다. 헥산-아세트산 에틸을 전개 용매로 하고, 실리카 겔을 지지 담체로 하여 컬럼 크로마토그래피에 의해 정제를 실시해, 대응하는 화합물 3(3.41g, 15mmol)을 얻었다. 아크릴산 클로라이드 기준의 수율은 50%였다.5.90 g (30 mmol) of 3- (4-methoxyphenyl) acrylic acid chloride were dissolved in 50 ml of dry ether, 4.59 ml (equivalent ratio 1.1) of triethylamine and 2.25 ml (equivalent ratio 1.1) Lt; / RTI &gt; Washed with 50 ml of water, 50 ml of a saturated aqueous solution of NaHCO 3 and 1N hydrochloric acid, dried over magnesium sulfate, and concentrated under reduced pressure. Purification was carried out by column chromatography using ethyl hexane-ethyl acetate as a developing solvent and silica gel as a support carrier to obtain the corresponding compound 3 (3.41 g, 15 mmol). The yield based on acrylic acid chloride was 50%.

[화합물 4의 합성법][Synthesis method of Compound 4]

3-(4-메톡시페닐)아크릴산 클로라이드 5.90g(30mmol)을 50㎖의 건조한 에테르에 용해하고, 트리에틸아민 4.59㎖(당량비 1.1), 모르폴린 2.25㎖(당량비 1.1)을 가해 실온에서 1시간 교반했다. 물 50㎖, 포화 NaHCO3 수용액 50㎖ 및 1N 염산으로 세정 후, 황산마그네슘으로 건조하고, 감압 하에서 농축했다. 헥산-아세트산 에틸을 전개 용매로 하고, 실리카 겔을 지지 담체로 하여 컬럼 크로마토그래피에 의해 정제를 실시해, 대응하는 화합물 4(3.41g, 15mmol)를 얻었다. 아크릴산 클로라이드 기준의 수율은 50%였다.5.90 g (30 mmol) of 3- (4-methoxyphenyl) acrylic acid chloride were dissolved in 50 ml of dry ether, 4.59 ml (equivalent ratio 1.1) of triethylamine and 2.25 ml (morpholine ratio 1.1) Lt; / RTI &gt; Washed with 50 ml of water, 50 ml of a saturated aqueous solution of NaHCO 3 and 1N hydrochloric acid, dried over magnesium sulfate, and concentrated under reduced pressure. Purification was carried out by column chromatography using hexane-ethyl acetate as a developing solvent and silica gel as a support carrier to obtain the corresponding compound 4 (3.41 g, 15 mmol). The yield based on acrylic acid chloride was 50%.

[화합물 5의 합성법][Synthesis method of Compound 5]

3-(2-니트로-4-메톡시페닐)아크릴산 클로라이드 7.25g(30mmol)을 50㎖의 건조한 에테르에 용해하고, 트리에틸아민 4.59㎖(당량비 1.1), 이미다졸 2.25㎖(당량비 1.1)을 가해 실온에서 1시간 교반했다. 물 50㎖, 포화 NaHCO3 수용액 50㎖ 및 1N 염산으로 세정 후, 황산마그네슘으로 건조하고, 감압 하에서 농축했다. 헥산-아세트산 에틸을 전개 용매로 하고, 실리카 겔을 지지 담체로 하여 컬럼 크로마토그래피에 의해 정제를 실시해, 대응하는 화합물 5(4.08g, 15mmol)를 얻었다. 아크릴산 클로라이드 기준의 수율은 50%였다.7.25 g (30 mmol) of 3- (2-nitro-4-methoxyphenyl) acrylic acid chloride were dissolved in 50 ml of dry ether, 4.59 ml (equivalent ratio 1.1) of triethylamine and 2.25 ml (equivalent ratio 1.1) And the mixture was stirred at room temperature for 1 hour. Washed with 50 ml of water, 50 ml of a saturated aqueous solution of NaHCO 3 and 1N hydrochloric acid, dried over magnesium sulfate, and concentrated under reduced pressure. Purification was carried out by column chromatography using hexane-ethyl acetate as a developing solvent and silica gel as a support carrier to obtain the corresponding compound 5 (4.08 g, 15 mmol). The yield based on acrylic acid chloride was 50%.

[화합물 6의 합성법][Synthesis method of Compound 6]

3-(3-니트로-4-메톡시페닐)아크릴산 클로라이드 7.25g(30mmol)을 50㎖의 건조한 에테르에 용해하고, 트리에틸아민 4.59㎖(당량비 1.1), 이미다졸 2.25㎖(당량비 1.1)을 가해 실온에서 1시간 교반했다. 물 50㎖, 포화 NaHCO3 수용액 50㎖ 및 1N 염산으로 세정 후, 황산마그네슘으로 건조하고, 감압 하에서 농축했다. 헥산-아세트산 에틸을 전개 용매로 하고, 실리카 겔을 지지 담체로 하여 컬럼 크로마토그래피에 의해 정제를 실시해, 대응하는 화합물 6(4.08g, 15mmol)을 얻었다. 아크릴산 클로라이드 기준의 수율은 50%였다.(30 mmol) of 3- (3-nitro-4-methoxyphenyl) acrylic acid chloride were dissolved in 50 ml of dry ether, 4.59 ml (equivalent ratio 1.1) of triethylamine and 2.25 ml (equivalent ratio 1.1) And the mixture was stirred at room temperature for 1 hour. Washed with 50 ml of water, 50 ml of a saturated aqueous solution of NaHCO 3 and 1N hydrochloric acid, dried over magnesium sulfate, and concentrated under reduced pressure. Purification was performed by column chromatography using hexane-ethyl acetate as a developing solvent and silica gel as a support carrier to obtain the corresponding compound 6 (4.08 g, 15 mmol). The yield based on acrylic acid chloride was 50%.

[화합물 7의 합성법][Synthesis method of Compound 7]

2-메틸-3-(2-니트로-4-메톡시페닐)아크릴산 클로라이드 7.67g(30mmol)을 50㎖의 건조한 에테르에 용해하고, 트리에틸아민 4.59㎖(당량비 1.1), 이미다졸 2.25㎖(당량비 1.1)을 가해 실온에서 1시간 교반했다. 물 50㎖, 포화 NaHCO3 수용액 50㎖ 및 1N 염산으로 세정 후, 황산마그네슘으로 건조하고, 감압 하에서 농축했다. 헥산-아세트산 에틸을 전개 용매로 하고, 실리카 겔을 지지 담체로 하여 컬럼 크로마토그래피에 의해 정제를 실시해, 대응하는 화합물 7(4.29g, 15mmol)을 얻었다. 아크릴산 클로라이드 기준의 수율은 50%였다.(30 mmol) of 2-methyl-3- (2-nitro-4-methoxyphenyl) acrylic acid chloride was dissolved in 50 ml of dry ether. 4.59 ml (equivalent ratio 1.1) of triethylamine and 2.25 ml 1.1), which was stirred for 1 hour at room temperature. Washed with 50 ml of water, 50 ml of a saturated aqueous solution of NaHCO 3 and 1N hydrochloric acid, dried over magnesium sulfate, and concentrated under reduced pressure. Purification was carried out by column chromatography using ethyl hexane-ethyl acetate as a developing solvent and silica gel as a support carrier to obtain the corresponding compound 7 (4.29 g, 15 mmol). The yield based on acrylic acid chloride was 50%.

[화합물 8의 합성법][Synthesis method of Compound 8]

2-메틸-3-(3-니트로-4-메톡시페닐)아크릴산 클로라이드 7.67g(30mmol)을 50㎖의 건조한 에테르에 용해하고, 트리에틸아민 4.59㎖(당량비 1.1), 이미다졸 2.25㎖(당량비 1.1)을 가해 실온에서 1시간 교반했다. 물 50㎖, 포화 NaHCO3 수용액 50㎖ 및 1N 염산으로 세정 후, 황산마그네슘으로 건조하고, 감압 하에서 농축했다. 헥산-아세트산 에틸을 전개 용매로 하고, 실리카 겔을 지지 담체로 하여 컬럼 크로마토그래피에 의해 정제를 실시해, 대응하는 화합물 8(3.41g, 15mmol)을 얻었다. 아크릴산 클로라이드 기준의 수율은 50%였다.7.67 g (30 mmol) of 2-methyl-3- (3-nitro-4-methoxyphenyl) acrylic acid chloride was dissolved in 50 ml of dry ether. 4.59 ml (equivalent ratio 1.1) of triethylamine and 2.25 ml 1.1), which was stirred for 1 hour at room temperature. Washed with 50 ml of water, 50 ml of a saturated aqueous solution of NaHCO 3 and 1N hydrochloric acid, dried over magnesium sulfate, and concentrated under reduced pressure. Purification was carried out by column chromatography using hexane-ethyl acetate as a developing solvent and silica gel as a support carrier to obtain the corresponding compound 8 (3.41 g, 15 mmol). The yield based on acrylic acid chloride was 50%.

[화합물 9의 합성법][Synthesis method of Compound 9]

3-(2-니트로-4-메톡시페닐)아크릴산 클로라이드 7.25g(30mmol)을 50㎖의 건조한 에테르에 용해하고, 트리에틸아민 4.59㎖(당량비 1.1), 디에틸아민 2.41㎖(당량비 1.1)을 가해 실온에서 1시간 교반했다. 물 50㎖, 포화 NaHCO3 수용액 50㎖ 및 1N 염산으로 세정 후, 황산마그네슘으로 건조하고, 감압 하에서 농축했다. 헥산-아세트산 에틸을 전개 용매로 하고, 실리카 겔을 지지 담체로 하여 컬럼 크로마토그래피에 의해 정제를 실시해, 대응하는 화합물 9(5.55g, 20mmol)를 얻었다. 아크릴산 클로라이드 기준의 수율은 67%였다.(30 mmol) of 3- (2-nitro-4-methoxyphenyl) acrylic acid chloride were dissolved in 50 ml of dry ether. 4.59 ml (equivalent ratio 1.1) of diethylamine and 2.41 ml (equivalent ratio 1.1) And the mixture was stirred at room temperature for 1 hour. Washed with 50 ml of water, 50 ml of a saturated aqueous solution of NaHCO 3 and 1N hydrochloric acid, dried over magnesium sulfate, and concentrated under reduced pressure. Purification was carried out by column chromatography using ethyl hexane-ethyl acetate as a developing solvent and silica gel as a support carrier to obtain the corresponding compound 9 (5.55 g, 20 mmol). The yield based on acrylic acid chloride was 67%.

[화합물 10의 합성법][Synthesis method of Compound 10]

3-(3-니트로-4-메톡시페닐)아크릴산 클로라이드 7.25g(30mmol)을 50㎖의 건조한 에테르에 용해하고, 트리에틸아민 4.59㎖(당량비 1.1), 디에틸아민 2.41㎖(당량비 1.1)을 가해 실온에서 1시간 교반했다. 물 50㎖, 포화 NaHCO3 수용액 50㎖ 및 1N 염산으로 세정 후, 황산마그네슘으로 건조하고, 감압 하에서 농축했다. 헥산-아세트산 에틸을 전개 용매로 하고, 실리카 겔을 지지 담체로 하여 컬럼 크로마토그래피에 의해 정제를 실시해, 대응하는 화합물 9(5.55g, 20mmol)를 얻었다. 아크릴산 클로라이드 기준의 수율은 67%였다.(30 mmol) of 3- (3-nitro-4-methoxyphenyl) acrylic acid chloride was dissolved in 50 ml of dry ether. 4.59 ml (equivalent ratio 1.1) of diethylamine and 2.41 ml (equivalent ratio 1.1) And the mixture was stirred at room temperature for 1 hour. Washed with 50 ml of water, 50 ml of a saturated aqueous solution of NaHCO 3 and 1N hydrochloric acid, dried over magnesium sulfate, and concentrated under reduced pressure. Purification was carried out by column chromatography using ethyl hexane-ethyl acetate as a developing solvent and silica gel as a support carrier to obtain the corresponding compound 9 (5.55 g, 20 mmol). The yield based on acrylic acid chloride was 67%.

[화합물 11의 합성법][Synthesis method of Compound 11]

2-메틸-3-(2-니트로-4-메톡시페닐)아크릴산 클로라이드 7.67g(30mmol)을 50㎖의 건조한 에테르에 용해하고, 트리에틸아민 4.59㎖(당량비 1.1), 디에틸아민 2.41㎖(당량비 1.1)을 가해 실온에서 1시간 교반했다. 물 50㎖, 포화 NaHCO3 수용액 50㎖ 및 1N 염산으로 세정 후, 황산마그네슘으로 건조하고, 감압 하에서 농축했다. 헥산-아세트산 에틸을 전개 용매로 하고, 실리카 겔을 지지 담체로 하여 컬럼 크로마토그래피에 의해 정제를 실시해, 대응하는 화합물 11(5.83g, 20mmol)을 얻었다. 아크릴산 클로라이드 기준의 수율은 67%였다.7.67 g (30 mmol) of 2-methyl-3- (2-nitro-4-methoxyphenyl) acrylic acid chloride was dissolved in 50 ml of dry ether. 4.59 ml (equivalent ratio: 1.1) of triethylamine and 2.41 ml Equivalent ratio 1.1) was added and the mixture was stirred at room temperature for 1 hour. Washed with 50 ml of water, 50 ml of a saturated aqueous solution of NaHCO 3 and 1N hydrochloric acid, dried over magnesium sulfate, and concentrated under reduced pressure. Purification was carried out by column chromatography using hexane-ethyl acetate as a developing solvent and silica gel as a support carrier to obtain the corresponding compound 11 (5.83 g, 20 mmol). The yield based on acrylic acid chloride was 67%.

[화합물 12의 합성법][Synthesis method of Compound 12]

2-메틸-3-(3-니트로-4-메톡시페닐)아크릴산 클로라이드 7.67g(30mmol)을 50㎖의 건조한 에테르에 용해하고, 트리에틸아민 4.59㎖(당량비 1.1), 디에틸아민 2.41㎖(당량비 1.1)을 가해 실온에서 1시간 교반했다. 물 50㎖, 포화 NaHCO3 수용액 50㎖ 및 1N 염산으로 세정 후, 황산마그네슘으로 건조하고, 감압 하에서 농축했다. 헥산-아세트산 에틸을 전개 용매로 하고, 실리카 겔을 지지 담체로 하여 컬럼 크로마토그래피에 의해 정제를 실시해, 대응하는 화합물 12(5.83g, 20mmol)를 얻었다. 아크릴산 클로라이드 기준의 수율은 67%였다.7.67 g (30 mmol) of 2-methyl-3- (3-nitro-4-methoxyphenyl) acrylic acid chloride was dissolved in 50 ml of dry ether. 4.59 ml (equivalent ratio: 1.1) of triethylamine and 2.41 ml Equivalent ratio 1.1) was added and the mixture was stirred at room temperature for 1 hour. Washed with 50 ml of water, 50 ml of a saturated aqueous solution of NaHCO 3 and 1N hydrochloric acid, dried over magnesium sulfate, and concentrated under reduced pressure. Purification was carried out by column chromatography using hexane-ethyl acetate as a developing solvent and silica gel as a support carrier to obtain the corresponding compound 12 (5.83 g, 20 mmol). The yield based on acrylic acid chloride was 67%.

[화합물 13의 합성법][Synthesis method of Compound 13]

3-(2-니트로-4-메톡시페닐)아크릴산 클로라이드 7.25g(30mmol)을 50㎖의 건조한 에테르에 용해하고, 트리에틸아민 4.59㎖(당량비 1.1), 피페리딘 2.81㎖(당량비 1.1)을 가해 실온에서 1시간 교반했다. 물 50㎖, 포화 NaHCO3 수용액 50㎖ 및 1N 염산으로 세정 후, 황산마그네슘으로 건조하고, 감압 하에서 농축했다. 헥산-아세트산 에틸을 전개 용매로 하고, 실리카 겔을 지지 담체로 하여 컬럼 크로마토그래피에 의해 정제를 실시해, 대응하는 화합물 13(5.62g, 23mmol)을 얻었다. 아크릴산 클로라이드 기준의 수율은 77%였다.(30 mmol) of 3- (2-nitro-4-methoxyphenyl) acrylic acid chloride were dissolved in 50 ml of dry ether, 4.59 ml (equivalent ratio 1.1) of triethylamine and 2.81 ml (equivalent ratio 1.1) And the mixture was stirred at room temperature for 1 hour. Washed with 50 ml of water, 50 ml of a saturated aqueous solution of NaHCO 3 and 1N hydrochloric acid, dried over magnesium sulfate, and concentrated under reduced pressure. Purification was carried out by column chromatography using hexane-ethyl acetate as a developing solvent and silica gel as a support carrier to obtain the corresponding compound 13 (5.62 g, 23 mmol). The yield based on acrylic acid chloride was 77%.

[화합물 14의 합성법][Synthesis method of Compound 14]

3-(3-니트로-4-메톡시페닐)아크릴산 클로라이드 7.25g(30mmol)을 50㎖의 건조한 에테르에 용해하고, 트리에틸아민 4.59㎖(당량비 1.1), 피페리딘 2.81㎖(당량비 1.1)을 가해 실온에서 1시간 교반했다. 물 50㎖, 포화 NaHCO3 수용액 50㎖ 및 1N 염산으로 세정 후, 황산마그네슘으로 건조하고, 감압 하에서 농축했다. 헥산-아세트산 에틸을 전개 용매로 하고, 실리카 겔을 지지 담체로 하여 컬럼 크로마토그래피에 의해 정제를 실시해, 대응하는 화합물 14(5.62g, 23mmol)를 얻었다. 아크릴산 클로라이드 기준의 수율은 67%였다.(30 mmol) of 3- (3-nitro-4-methoxyphenyl) acrylic acid chloride were dissolved in 50 ml of dry ether. 4.59 ml (equivalent ratio 1.1) of triethylamine and 2.81 ml (equivalent ratio 1.1) And the mixture was stirred at room temperature for 1 hour. Washed with 50 ml of water, 50 ml of a saturated aqueous solution of NaHCO 3 and 1N hydrochloric acid, dried over magnesium sulfate, and concentrated under reduced pressure. Purification was carried out by column chromatography using hexane-ethyl acetate as a developing solvent and silica gel as a support carrier to obtain the corresponding compound 14 (5.62 g, 23 mmol). The yield based on acrylic acid chloride was 67%.

[화합물 15의 합성법][Synthesis method of Compound 15]

2-메틸-3-(2-니트로-4-메톡시페닐)아크릴산 클로라이드 7.67g(30mmol)을 50㎖의 건조한 에테르에 용해하고, 트리에틸아민 4.59㎖(당량비 1.1), 피페리딘 2.81㎖(당량비 1.1)을 가해 실온에서 1시간 교반했다. 물 50㎖, 포화 NaHCO3 수용액 50㎖ 및 1N 염산으로 세정 후, 황산마그네슘으로 건조하고, 감압 하에서 농축했다. 헥산-아세트산 에틸을 전개 용매로 하고, 실리카 겔을 지지 담체로 하여 컬럼 크로마토그래피에 의해 정제를 실시해, 대응하는 화합물 15(5.83g, 23mmol)를 얻었다. 아크릴산 클로라이드 기준의 수율은 67%였다.7.67 g (30 mmol) of 2-methyl-3- (2-nitro-4-methoxyphenyl) acrylic acid chloride was dissolved in 50 ml of dry ether. 4.59 ml (equivalent ratio 1.1) of triethylamine and 2.81 ml Equivalent ratio 1.1) was added and the mixture was stirred at room temperature for 1 hour. Washed with 50 ml of water, 50 ml of a saturated aqueous solution of NaHCO 3 and 1N hydrochloric acid, dried over magnesium sulfate, and concentrated under reduced pressure. Purification was carried out by column chromatography using hexane-ethyl acetate as a developing solvent and silica gel as a support carrier to obtain the corresponding compound 15 (5.83 g, 23 mmol). The yield based on acrylic acid chloride was 67%.

[화합물 16의 합성법][Synthesis method of Compound 16]

2-메틸-3-(3-니트로-4-메톡시페닐)아크릴산 클로라이드 7.67g(30mmol)을 50㎖의 건조한 에테르에 용해하고, 트리에틸아민 4.59㎖(당량비 1.1), 피페리딘 2.81㎖(당량비 1.1)을 가해 실온에서 1시간 교반했다. 물 50㎖, 포화 NaHCO3 수용액 50㎖ 및 1N 염산으로 세정 후, 황산마그네슘으로 건조하고, 감압 하에서 농축했다. 헥산-아세트산 에틸을 전개 용매로 하고, 실리카 겔을 지지 담체로 하여 컬럼 크로마토그래피에 의해 정제를 실시해, 대응하는 화합물 16(5.83g, 23mmol)을 얻었다. 아크릴산 클로라이드 기준의 수율은 67%였다.7.67 g (30 mmol) of 2-methyl-3- (3-nitro-4-methoxyphenyl) acrylic acid chloride was dissolved in 50 ml of dry ether. 4.59 ml (equivalent ratio 1.1) of triethylamine and 2.81 ml Equivalent ratio 1.1) was added and the mixture was stirred at room temperature for 1 hour. Washed with 50 ml of water, 50 ml of a saturated aqueous solution of NaHCO 3 and 1N hydrochloric acid, dried over magnesium sulfate, and concentrated under reduced pressure. Purification was carried out by column chromatography using hexane-ethyl acetate as a developing solvent and silica gel as a support carrier to obtain the corresponding compound 16 (5.83 g, 23 mmol). The yield based on acrylic acid chloride was 67%.

[화합물 17의 합성법][Synthesis method of compound 17]

3-(4-메톡시페닐)아크릴산 클로라이드 5.90g(30mmol)을 50㎖의 건조한 에테르에 용해하고, 트리에틸아민 4.59㎖(당량비 1.1), 피페리딘 2.81㎖(당량비 1.1)을 가해 실온에서 1시간 교반했다. 물 50㎖, 포화 NaHCO3 수용액 50㎖ 및 1N 염산으로 세정 후, 황산마그네슘으로 건조하고, 감압 하에서 농축했다. 헥산-아세트산 에틸을 전개 용매로 하고, 실리카 겔을 지지 담체로 하여 컬럼 크로마토그래피에 의해 정제를 실시해, 대응하는 화합물 17(3.41g, 15mmol)을 얻었다. 아크릴산 클로라이드 기준의 수율은 50%였다.5.90 g (30 mmol) of 3- (4-methoxyphenyl) acrylic acid chloride was dissolved in 50 ml of dry ether, 4.59 ml (equivalent ratio 1.1) of triethylamine and 2.81 ml (equivalent ratio 1.1) Stirring time. Washed with 50 ml of water, 50 ml of a saturated aqueous solution of NaHCO 3 and 1N hydrochloric acid, dried over magnesium sulfate, and concentrated under reduced pressure. Purification was performed by column chromatography using hexane-ethyl acetate as a developing solvent and silica gel as a support carrier to obtain the corresponding compound 17 (3.41 g, 15 mmol). The yield based on acrylic acid chloride was 50%.

[화합물 18의 합성법][Synthesis method of Compound 18]

2-메틸-3-(4-메톡시페닐)아크릴산 클로라이드 6.32g(30mmol)을 50㎖의 건조한 에테르에 용해하고, 트리에틸아민 4.59㎖(당량비 1.1), 이미다졸 2.25㎖(당량비 1.1)을 가해 실온에서 1시간 교반했다. 물 50㎖, 포화 NaHCO3 수용액 50㎖ 및 1N 염산으로 세정 후, 황산마그네슘으로 건조하고, 감압 하에서 농축했다. 헥산-아세트산 에틸을 전개 용매로 하고, 실리카 겔을 지지 담체로 하여 컬럼 크로마토그래피에 의해 정제를 실시해, 대응하는 화합물 18(3.62g, 15mmol)을 얻었다. 아크릴산 클로라이드 기준의 수율은 50%였다.(30 mmol) of 2-methyl-3- (4-methoxyphenyl) acrylic acid chloride was dissolved in 50 ml of dry ether, 4.59 ml (equivalent ratio 1.1) of triethylamine and 2.25 ml (equivalent ratio 1.1) And the mixture was stirred at room temperature for 1 hour. Washed with 50 ml of water, 50 ml of a saturated aqueous solution of NaHCO 3 and 1N hydrochloric acid, dried over magnesium sulfate, and concentrated under reduced pressure. Purification was carried out by column chromatography using hexane-ethyl acetate as a developing solvent and silica gel as a support carrier to obtain the corresponding compound 18 (3.62 g, 15 mmol). The yield based on acrylic acid chloride was 50%.

[화합물 19의 합성법][Synthesis method of Compound 19]

2-메틸-3-(4-메톡시페닐)아크릴산 클로라이드 6.32g(30mmol)을 50㎖의 건조한 에테르에 용해하고, 트리에틸아민 4.59㎖(당량비 1.1), 디에틸아민 2.41㎖(당량비 1.1)을 가해 실온에서 1시간 교반했다. 물 50㎖, 포화 NaHCO3 수용액 50㎖ 및 1N 염산으로 세정 후, 황산마그네슘으로 건조하고, 감압 하에서 농축했다. 헥산-아세트산 에틸을 전개 용매로 하고, 실리카 겔을 지지 담체로 하여 컬럼 크로마토그래피에 의해 정제를 실시해, 대응하는 화합물 19(4.93g, 20mmol)를 얻었다. 아크릴산 클로라이드 기준의 수율은 67%였다.(30 mmol) of 2-methyl-3- (4-methoxyphenyl) acrylic acid chloride was dissolved in 50 ml of dry ether, 4.59 ml (equivalent ratio 1.1) of diethylamine and 2.41 ml (equivalent ratio 1.1) And the mixture was stirred at room temperature for 1 hour. Washed with 50 ml of water, 50 ml of a saturated aqueous solution of NaHCO 3 and 1N hydrochloric acid, dried over magnesium sulfate, and concentrated under reduced pressure. Purification was carried out by column chromatography using hexane-ethyl acetate as a developing solvent and silica gel as a support carrier to obtain the corresponding compound 19 (4.93 g, 20 mmol). The yield based on acrylic acid chloride was 67%.

[화합물 20의 합성법][Synthesis method of Compound 20]

2-메틸-3-(4-메톡시페닐)아크릴산 클로라이드 6.32g(30mmol)을 50㎖의 건조한 에테르에 용해하고, 트리에틸아민 4.59㎖(당량비 1.1), 아닐린 3.07㎖(당량비 1.1)을 가해 실온에서 1시간 교반했다. 물 50㎖, 포화 NaHCO3 수용액 50㎖ 및 1N 염산으로 세정 후, 황산마그네슘으로 건조하고, 감압 하에서 농축했다. 헥산-아세트산 에틸을 전개 용매로 하고, 실리카 겔을 지지 담체로 하여 컬럼 크로마토그래피에 의해 정제를 실시해, 대응하는 화합물 20(4.29g, 25mmol)을다. 아크릴산 클로라이드 기준의 수율은 83%였다.
(30 mmol) of 2-methyl-3- (4-methoxyphenyl) acrylic acid chloride was dissolved in 50 ml of dry ether, 4.59 ml of triethylamine (equivalent ratio 1.1) and 3.07 ml of aniline (equivalent ratio 1.1) Lt; / RTI &gt; for 1 hour. Washed with 50 ml of water, 50 ml of a saturated aqueous solution of NaHCO 3 and 1N hydrochloric acid, dried over magnesium sulfate, and concentrated under reduced pressure. Purification was carried out by column chromatography using ethyl hexane-ethyl acetate as a developing solvent and silica gel as a support carrier to obtain the corresponding compound 20 (4.29 g, 25 mmol). The yield based on acrylic acid chloride was 83%.

<감광성 수지 조성물의 조제>&Lt; Preparation of Photosensitive Resin Composition &gt;

[[ 실시예Example 1] One]

이하의 각 성분을 3-메톡시부틸아세테이트(MA)/프로필렌글리콜모노메틸에테르아세테이트(PM)/시클로헥산온(AN)=60/20/20(중량비)의 혼합 용제에 용해하고, 교반기로 2시간 혼합한 후, 구멍 지름 5㎛의 멤브레인 필터로 여과함으로써, 고형분 농도 15중량%의 감광성 수지 조성물을 조제했다.The following components were dissolved in a mixed solvent of 3-methoxybutyl acetate (MA) / propylene glycol monomethyl ether acetate (PM) / cyclohexanone (AN) = 60/20/20 (weight ratio) The mixture was filtered through a membrane filter having a pore diameter of 5 탆 to prepare a photosensitive resin composition having a solid concentration of 15% by weight.

·에틸렌성 불포화기를 가지는 수지· Resin having ethylenic unsaturated group

수지 (A-1)(고형분 55%, 용제:3-메톡시부틸아세테이트)···310중량부Resin (A-1) (solid content 55%, solvent: 3-methoxybutyl acetate) 310 parts by weight

·에틸렌성 불포화기를 가지는 모노머· Monomers having an ethylenic unsaturated group

디펜타에리트리톨헥사아크릴레이트(DPHA)···175중량부Dipentaerythritol hexaacrylate (DPHA) 175 parts by weight

·광중합 개시제· Photopolymerization initiator

에탄온, 1-[9-에틸-6-(2-메틸벤조일)-9H-카르바졸-3-일]-, 1-(O-아세틸옥심)「IRGACURE OXE02」(상품명:BASF제)···100중량부Ethanone, 1- [9-ethyl-6- (2-methylbenzoyl) -9H-carbazol-3-yl] -, 1- (O-acetyloxime) "IRGACURE OXE02" 100 parts by weight

·상기 식 (1)로 나타내는 화합물The compound represented by the above formula (1)

상기 화합물 3···100중량부Compound 3 ... 100 parts by weight

·착색제·coloring agent

카본 분산액 「CF 블랙」(상품명:미쿠니색소제, 고형분 25%, 용제:3-메톡시부틸아세테이트)···450중량부Carbon dispersion "CF Black" (trade name: Mikuni Color, solid content 25%, solvent: 3-methoxybutyl acetate) 450 parts by weight

상기 수지 (A-1)의 합성법은 하기와 같다.The synthesis method of the resin (A-1) is as follows.

우선, 500㎖ 4구 플라스크 중에 비스페놀플루오렌형 에폭시 수지(에폭시 당량 235) 235g, 테트라메틸암모늄 클로라이드 110㎎, 2,6-디-tert-부틸-4-메틸페놀 100㎎ 및 아크릴산 72.0g을 넣고, 이것에 25㎖/분의 속도로 공기를 불어넣으면서 90~100℃에서 가열 용해했다. 다음에, 용액을 백탁한 상태인 채 서서히 승온하고, 120℃로 가열해 완전 용해시켰다. 이때, 용액은 점차 투명 점조가 되었지만, 그대로 교반을 계속했다. 그 동안, 산가를 측정해 1.0㎎KOH/g 미만이 될 때까지 가열 교반을 계속했다. 산가가 목표값에 이를 때까지 12시간을 필요로 했다. 그리고, 실온까지 냉각해, 무색 투명하고 고체상인 하기 식 (a-4)로 나타내는 비스페놀플루오렌형 에폭시아크릴레이트를 얻었다.235 g of bisphenol fluorene type epoxy resin (epoxy equivalent 235), 110 mg of tetramethylammonium chloride, 100 mg of 2,6-di-tert-butyl-4-methylphenol and 72.0 g of acrylic acid were placed in a 500 ml four- , And the mixture was heated and dissolved at 90 to 100 ° C while blowing air at a rate of 25 ml / min. Then, the solution was gradually warmed to a cloudy state and heated to 120 DEG C to be completely dissolved. At this time, the solution gradually became a transparent point group, but stirring was continued. In the meantime, the acid value was measured, and the heating and stirring were continued until it was less than 1.0 mg KOH / g. It took 12 hours until the acid value reached the target value. Then, the mixture was cooled to room temperature to obtain a bisphenol fluorene-type epoxy acrylate represented by the following formula (a-4) which was colorless transparent and solid.

Figure 112012076458456-pat00017
Figure 112012076458456-pat00017

다음에, 이와 같이 하여 얻어진 상기의 비스페놀플루오렌형 에폭시아크릴레이트 307.0g에 3-메톡시부틸아세테이트 600g를 가해 용해한 후, 벤조페논테트라카르복시산 2무수물 80.5g 및 브롬화 테트라에틸암모늄 1g를 혼합하고, 서서히 승온해 110~115℃에서 4시간 반응시켰다. 산 무수물기의 소실을 확인한 후, 1,2,3,6-테트라히드로 무수 프탈산 38.0g를 혼합해 90℃에서 6시간 반응시켜 수지 (A-1)를 얻었다. 산 무수물기의 소실은 IR 스펙트럼에 의해 확인했다.Then, 600 g of 3-methoxybutyl acetate was added and dissolved in 307.0 g of the bisphenol fluorene-type epoxy acrylate thus obtained, and then 80.5 g of benzophenonetetracarboxylic dianhydride and 1 g of tetraethylammonium bromide were mixed, The reaction was allowed to proceed at 110 to 115 ° C for 4 hours. After disappearance of the acid anhydride group was confirmed, 38.0 g of 1,2,3,6-tetrahydrophthalic anhydride was mixed and reacted at 90 DEG C for 6 hours to obtain a resin (A-1). The disappearance of the acid anhydride group was confirmed by IR spectrum.

또한, 이 수지(A-1)는 상기 식 (a-1)로 나타내는 수지에 상당한다.
The resin (A-1) corresponds to the resin represented by the above formula (a-1).

[[ 실시예Example 2~6] 2-6]

하기 표 1에 나타내는 대로, 광중합 개시제로서의 「IRGACURE OXE02」 대신에 각각 「IRGACURE OXE01」(상품명:BASF사제), 「NCI-831」(상품명:ADEKA제), 「IRGACURE 369」, 「IRGACURE 651」, 「IRGACURE 907」(상품명:모두 BASF제)를 이용한 것 이외에는 실시예 1과 동일하게 하여 감광성 수지 조성물을 조제했다. 이용한 광중합 개시제의 상세한 사항은 하기와 같다.IRGACURE OXE01 "(product name: manufactured by BASF)," NCI-831 "(product name: manufactured by ADEKA)," IRGACURE 369 "," IRGACURE 651 "," IRGACURE OXE02 " A photosensitive resin composition was prepared in the same manner as in Example 1 except that &quot; IRGACURE 907 &quot; (trade name, all manufactured by BASF) was used. Details of the photopolymerization initiator used are as follows.

·「IRGACURE OXE01」:1,2-옥탄디온, 1-[4-(페닐티오)-, 2-(O-벤조일옥심)]IRGACURE OXE01: 1,2-octanedione, 1- [4- (phenylthio) -, 2- (O-benzoyloxime)]

·「NCI-831」: 하기 식 참조· "NCI-831": See the following formula

Figure 112012076458456-pat00018
Figure 112012076458456-pat00018

·「IRGACURE 369」:2-벤질-2-디메틸아미노-1-(4-모르폴리노페닐)-부탄온- 1IRGACURE 369: 2-Benzyl-2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) -butanone-1

·「IRGACURE 651」:2,2-디메톡시-1,2-디페닐에탄-1-온
IRGACURE 651: 2,2-dimethoxy-1,2-diphenylethan-1-one

[[ 실시예Example 7~12] 7-12]

하기 표 1에 나타내는 대로, 상기 화합물 3 대신에 상기 화합물 1을 이용한 것 이외에는 실시예 1~6과 동일하게 하여 감광성 수지 조성물을 조제했다.
As shown in the following Table 1, a photosensitive resin composition was prepared in the same manner as in Examples 1 to 6 except that Compound 1 was used instead of Compound 3.

[[ 실시예Example 13~24] 13-24]

하기 표 2에 나타내는 대로, 식 (1)로 나타내는 화합물의 함유량을 50중량부로 한 것 이외에는 실시예 1~12와 동일하게 하여 감광성 수지 조성물을 조제했다.
As shown in the following Table 2, a photosensitive resin composition was prepared in the same manner as in Examples 1 to 12 except that the content of the compound represented by the formula (1) was changed to 50 parts by weight.

[[ 실시예Example 25~42] 25 ~ 42]

하기 표 3에 나타내는 대로, 상기 화합물 3 대신에 각각 상기 화합물 2, 4~20을 이용한 것 이외에는 실시예 1과 동일하게 하여 감광성 수지 조성물을 조제했다.
As shown in the following Table 3, a photosensitive resin composition was prepared in the same manner as in Example 1 except that Compound 2, 4 to 20 were used in place of Compound 3, respectively.

[[ 비교예Comparative Example 1~6] 1-6]

하기 표 4에 나타내는 대로, 상기 화합물 3을 이용하지 않았던 것 이외에는 실시예 1과 동일하게 하여 감광성 수지 조성물을 조제했다.
As shown in the following Table 4, a photosensitive resin composition was prepared in the same manner as in Example 1, except that Compound 3 was not used.

[[ 비교예Comparative Example 7~14] 7 ~ 14]

하기 표 4에 나타내는 대로, 상기 화합물 3 대신에 각각 상기 비교 화합물 1~8을 이용한 것 이외에는 실시예 1과 동일하게 하여 감광성 수지 조성물을 조제했다.As shown in the following Table 4, a photosensitive resin composition was prepared in the same manner as in Example 1 except that the above-mentioned Comparative Compounds 1 to 8 were used instead of the above-mentioned Compound 3.

Figure 112012076458456-pat00019
Figure 112012076458456-pat00019

Figure 112012076458456-pat00020
Figure 112012076458456-pat00020

Figure 112012076458456-pat00021
Figure 112012076458456-pat00021

Figure 112012076458456-pat00022
Figure 112012076458456-pat00022

[평가][evaluation]

실시예 1~42, 비교예 1~14의 감광성 수지 조성물을 유리 기판(100㎜×100㎜) 상에 스핀 코터를 이용해 도포하고, 90℃에서 120초간 프리베이크를 실시해 막 두께 1.0㎛의 도막을 형성했다. 다음에, 미러 프로젝션 얼라이너(제품명:TME-150RTO, 주식회사 탑콘제)를 사용해, 노광 갭을 50㎛로 하여 20㎛의 라인 패턴이 형성된 네가티브 마스크를 통해 도막에 자외선을 조사했다. 노광량은 20, 40, 60, 120mJ/㎠의 4단계로 했다. 노광 후의 도막을 26℃의 0.04중량% KOH 수용액으로 40초간 현상 후, 230℃에서 30분간 포스트베이크를 실시함으로써 라인 패턴을 형성했다.The photosensitive resin compositions of Examples 1 to 42 and Comparative Examples 1 to 14 were coated on a glass substrate (100 mm x 100 mm) using a spin coater and prebaked at 90 캜 for 120 seconds to give a coating film having a thickness of 1.0 탆 . Next, the coating film was irradiated with ultraviolet rays through a negative mask in which a line pattern of 20 mu m was formed with an exposure gap of 50 mu m using a mirror projection aligner (product name: TME-150RTO, Topcon Co., Ltd.). The exposure amounts were 20, 40, 60, and 120 mJ / cm &lt; 2 &gt; After the exposure, the coated film was developed with a 0.04 wt% KOH aqueous solution at 26 DEG C for 40 seconds and post-baked at 230 DEG C for 30 minutes to form a line pattern.

마찬가지로, 2, 5, 10, 20㎛의 라인 패턴이 형성된 네가티브 마스크를 통해 노광 갭 50㎛로 도막에 자외선을 조사했다. 노광량은 10mJ/㎠로 했다. 노광 후의 도막을 26℃의 0.04중량% KOH 수용액으로 40초간 현상 후, 230℃에서 30분간 포스트베이크를 실시함으로써 라인 패턴을 형성했다.Similarly, ultraviolet rays were irradiated to the coating film with an exposure gap of 50 占 퐉 through a negative mask in which line patterns of 2, 5, 10 and 20 占 퐉 were formed. The exposure dose was 10 mJ / cm 2. After the exposure, the coated film was developed with a 0.04 wt% KOH aqueous solution at 26 DEG C for 40 seconds and post-baked at 230 DEG C for 30 minutes to form a line pattern.

형성된 라인 패턴에 대해서, OD 측정 장치 D-200II(그레타그마크베스사제)를 사용하여 막 두께 1㎛당 OD 값을 측정했다.With respect to the formed line pattern, the OD value per 1 mu m of the film thickness was measured using an OD measuring apparatus D-200II (manufactured by GretagMarkbeth).

또, 라인 패턴을 광학 현미경에 의해 관찰해 패턴 직진성을 평가했다. 패턴 직진성은 라인의 엣지에 흔들림이 없는 것을 「양호」, 흔들림이 있는 것을 「불량」으로서 평가했다.In addition, the line pattern was observed with an optical microscope to evaluate the pattern straightness. The pattern straightness was evaluated as &quot; good &quot; with no shaking at the edge of the line, and &quot; defective &quot; with shaking.

또, 라인 패턴을 광학 현미경에 의해 관찰해, 패턴 밀착성을 평가했다. 패턴 밀착성은 기판으로부터 벗겨지지 않고 라인 패턴이 형성된 것을 「양호」, 라인 패턴은 형성되고 있지만 패턴 결함이 발생하고 있는 것을 「불량」, 기판으로부터 벗겨져 라인 패턴이 형성되지 않았던 것을 「없음」으로서 평가했다.Further, the line pattern was observed by an optical microscope, and the pattern adhesion was evaluated. The pattern adhesion was evaluated as &quot; good &quot; when the line pattern was not peeled off the substrate, &quot; poor &quot; when the line pattern was formed but the pattern defect occurred, and &quot; .

또한, 현상 후의 미노광부에서의 잔사의 유무에 대해서 평가했다.The presence or absence of the residue in the unexposed portion after development was evaluated.

결과를 하기 표 5~8에 나타낸다.The results are shown in Tables 5 to 8 below.

Figure 112012076458456-pat00023
Figure 112012076458456-pat00023

Figure 112012076458456-pat00024
Figure 112012076458456-pat00024

Figure 112012076458456-pat00025
Figure 112012076458456-pat00025

Figure 112012076458456-pat00026
Figure 112012076458456-pat00026

이 표로부터 알 수 있는 바와 같이, 광중합 개시제에 더해 상기 식 (1)로 나타내는 화합물을 함유하는 실시예 1~24의 감광성 수지 조성물을 이용했을 경우에는 상기 식 (1)로 나타내는 화합물을 함유하지 않는 비교예 1~6의 감광성 수지 조성물을 이용했을 경우보다도 패턴 직진성, 패턴 밀착성이 큰 폭으로 향상되었다. 특히, 실시예 25~42로부터 알 수 있는 바와 같이, 광중합 개시제로서 「IRGACURE OXE02」를 이용했을 경우에는 20mJ/㎠라는 저노광량이어도 직진성이 뛰어난 라인 패턴을 형성할 수 있으며, 10mJ/㎠라는 저노광량이어도 5㎛의 라인 패턴이 기판에 밀착되었다. 또한, 실시예 1~42의 감광성 수지 조성물을 이용했을 경우에는 현상 잔사도 존재하지 않았다.As can be seen from the table, when the photosensitive resin compositions of Examples 1 to 24 containing the compound represented by the above formula (1) were used in addition to the photopolymerization initiator, the photosensitive resin composition containing no compound represented by the formula (1) The pattern straightness and the pattern adhesion were significantly improved as compared with the case of using the photosensitive resin compositions of Comparative Examples 1 to 6. In particular, as can be seen from Examples 25 to 42, when "IRGACURE OXE02" is used as a photopolymerization initiator, a line pattern excellent in straightness can be formed even at a low exposure dose of 20 mJ / A line pattern of 5 mu m was adhered to the substrate. Further, when the photosensitive resin compositions of Examples 1 to 42 were used, there was no development residue.

이것에 대해서, 상기 식 (1)로 나타내는 화합물 대신에 비교 화합물 1~8을 함유하는 비교예 7~14의 감광성 수지 조성물을 이용했을 경우에는 패턴 직진성, 패턴 밀착성 모두 실시예 1, 7, 13, 19, 25~42보다 뒤떨어지고 있으며, 양호한 미소 패터닝 특성을 얻을 수 없었다.On the other hand, when the photosensitive resin compositions of Comparative Examples 7 to 14 containing Comparative Compounds 1 to 8 were used instead of the compound represented by the formula (1), pattern straightness and pattern adhesion were evaluated in Examples 1, 7, 13, 19 and 25 to 42, and good fine patterning characteristics could not be obtained.

Claims (6)

광중합성 화합물, 광중합 개시제, 하기 식 (1)로 나타내는 화합물 및 차광제를 함유하는 감광성 수지 조성물.
Figure 112017014614244-pat00029

(식 중, R1 및 R2는 각각 독립적으로 수소 원자 또는 유기기를 나타낸다. 단, R1 및 R2 중 적어도 한쪽은 유기기를 나타낸다. R1 및 R2는 이것들이 결합해 환상 구조를 형성하고 있어도 되고, 헤테로 원자의 결합을 포함하고 있어도 된다. R3은 단결합을 나타낸다. R4 및 R5는 각각 독립적으로 수소 원자, 할로겐 원자, 수산기, 메르캅토기, 술피드기, 실릴기, 실라놀기, 니트로기, 니트로소기, 술피노기, 술포기, 술포네이트기, 포스피노기, 포스피닐기, 포스포노기, 포스포네이트기 또는 유기기를 나타낸다. R6, R7, R8 및 R9는 각각 독립적으로 수소 원자, 할로겐 원자, 수산기, 메르캅토기, 술피드기, 실릴기, 실라놀기, 니트로기, 니트로소기, 술피노기, 술포기, 술포네이트기, 포스피노기, 포스피닐기, 포스포노기, 포스포네이트기, 아미노기, 암모니오기 또는 유기기를 나타낸다. 단, R6 및 R7이 수산기가 되는 경우는 없다. R6, R7, R8 및 R9는 이들 2 이상이 결합해 환상 구조를 형성하고 있어도 되고, 헤테로 원자의 결합을 포함하고 있어도 된다. R10은 수소 원자 또는 유기기를 나타낸다.)
A photosensitive resin composition comprising a photopolymerizable compound, a photopolymerization initiator, a compound represented by the following formula (1), and a light-shielding agent.
Figure 112017014614244-pat00029

(Shown in, R 1 and R 2 are a hydrogen atom or an organic each independently formula: provided that at least one of R 1 and R 2 represents an organic group. R 1 and R 2 form a cyclic structure by these binding It may be, or may include a combination of the hetero atom. R 3 represents a single bond. R 4 and R 5 are each independently a hydrogen atom, a halogen atom, a hydroxyl group, a mercapto group, a sulfide group, a silyl group, a silanol A nitro group, a nitro group, a sulfino group, a sulfo group, a sulfonate group, a phosphino group, a phosphinyl group, a phosphono group, a phosphonate group or an organic group, R 6 , R 7 , R 8 and R 9 each independently represent a hydrogen atom, a halogen atom, a hydroxyl group, a mercapto group, a sulfide group, a silyl group, a silanol group, a nitro group, a nitroso group, a sulfino group, a sulfo group, a sulfonate group, A phosphono group, a phosphonate group, an amino group, an ammonia group Or it represents an organic group. However, R 6, and there is no case R 7 is where the hydroxyl group. R 6, R 7, R 8 and R 9 is may form a ring structure by combining more than these two, a combination of heteroatoms And R 10 represents a hydrogen atom or an organic group.
청구항 1에 있어서,
상기 식 (1)로 나타내는 화합물의 함유량이 상기 광중합 개시제 100중량부에 대해서 35~200중량부인 감광성 수지 조성물.
The method according to claim 1,
Wherein the content of the compound represented by the formula (1) is 35 to 200 parts by weight based on 100 parts by weight of the photopolymerization initiator.
청구항 1에 있어서,
상기 광중합성 화합물이 카르도(cardo) 구조를 가지는 수지를 함유하는 감광성 수지 조성물.
The method according to claim 1,
Wherein the photopolymerizable compound contains a resin having a cardo structure.
청구항 1 내지 청구항 3 중 어느 한 항에 기재된 감광성 수지 조성물을 이용해 도막 또는 성형체를 형성하고, 이 도막 또는 성형체에 대해서 소정 패턴 모양으로 전자파를 조사해 현상하는 패턴 형성 방법.A pattern forming method for forming a coating film or a molded body by using the photosensitive resin composition according to any one of claims 1 to 3 and irradiating the coating film or the molded body with electromagnetic waves in a predetermined pattern shape for development. 청구항 1 내지 청구항 3 중 어느 한 항에 기재된 감광성 수지 조성물을 이용해 형성된 컬러 필터.A color filter formed using the photosensitive resin composition according to any one of claims 1 to 3. 청구항 5에 기재된 컬러 필터가 사용된 표시 장치.A display device using the color filter according to claim 5.
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