KR101735155B1 - Photosensitive resin composition, organic film manufactured by using the same and liquid crystal display device comprising the same - Google Patents

Photosensitive resin composition, organic film manufactured by using the same and liquid crystal display device comprising the same Download PDF

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Abstract

본 출원은 고분자 화합물; 중합성 화합물; 광중합 개시제; 180℃ 이상의 온도에서 분해되는 광흡수제; 및 용매를 포함하는 감광성 수지 조성물, 이를 이용하여 제조된 컬러필터 및 이를 포함하는 액정표시소자에 관한 것이다.The present application relates to polymeric compounds; Polymerizable compounds; A photopolymerization initiator; A light absorber decomposed at a temperature of 180 캜 or more; And a solvent, a color filter manufactured using the same, and a liquid crystal display device including the same.

Description

감광성 수지 조성물, 이를 이용하여 제조된 유기막 및 이를 포함하는 액정표시소자{PHOTOSENSITIVE RESIN COMPOSITION, ORGANIC FILM MANUFACTURED BY USING THE SAME AND LIQUID CRYSTAL DISPLAY DEVICE COMPRISING THE SAME}TECHNICAL FIELD [0001] The present invention relates to a photosensitive resin composition, an organic film made using the same, and a liquid crystal display device including the same. BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention [0002]

본 출원은 2013년 6월 18일에 한국특허청에 제출된 한국 특허 출원 제10-2013-0069939호의 출원일의 이익을 주장하며, 그 내용 전부는 본 명세서에 포함된다.This application claims the benefit of Korean Patent Application No. 10-2013-0069939 filed on June 18, 2013 with the Korean Intellectual Property Office, the entire contents of which are incorporated herein by reference.

본 출원은 감광성 수지 조성물, 이를 이용하여 제조된 유기막 및 이를 포함하는 액정표시소자에 관한 것이다.The present invention relates to a photosensitive resin composition, an organic film produced using the same, and a liquid crystal display device including the same.

최근 소비 전력의 감소와 표시 화면의 품질을 향상시키기 위해 액정 표시 소자의 개구율을 증가시키기 위한 시도가 지속되고 있다. 개구율을 효과적으로 향상시키기 위하여 액정 표시 소자에 사용되는 박막 트랜지스터의 크기가 축소되며 ITO와 같은 투명 전극으로 형성되는 픽셀 구동 전극(Pixel electrode)의 면적은 증가하게 된다. 이때 박막 트랜지스터의 전극과 픽셀 구동 전극 사이의 단락(Shot) 또는 신호 간섭(Cross-talk)을 방지하기 위해 절연성의 유기막이 이용된다. 이 때 픽셀 구동 전극에 전압을 인가하거나 커패시턴스를 부가하기 위해 유기막에 홀 패턴을 형성해 해당 전극 사이를 연결한다.Recently, attempts have been made to increase the aperture ratio of liquid crystal display elements in order to reduce the power consumption and improve the quality of the display screen. In order to effectively improve the aperture ratio, the size of a thin film transistor used in a liquid crystal display device is reduced and the area of a pixel electrode formed of a transparent electrode such as ITO is increased. At this time, an insulating organic film is used to prevent a short-circuit (Shot) or a signal cross-talk between the electrode of the thin-film transistor and the pixel driving electrode. At this time, a hole pattern is formed in the organic film to apply a voltage or a capacitance to the pixel driving electrode and connect the electrodes.

유기막은 박막 트랜지스터와 픽셀 구동 전극 사이에 위치하게 된다. 일반적으로는 건식 식각(Dry etching)을 이용해 유기막 하부의 패시베이션 층을 제거한 후 화학 또는 물리적인 증착법을 사용하여 픽셀 전극 또는 커패시턴스의 전극을 형성한다. 대면적에서 일정한 크기의 홀을 형성시키기 위하여 유기막은 통상적으로 광식각법에 의해 제조되는 박막으로 이루어져 있다. 형성되는 홀의 크기가 작아질수록 소자의 개구율이 증가하기 때문에, 작은 홀의 제조가 요구된다. 그러나 작은 홀을 대면적에 형성할 때, 빛의 회절 등에 의한 홀 막힘 등의 문제로 인하여 불량률이 높아질 수 있다.  The organic film is positioned between the thin film transistor and the pixel driving electrode. Generally, dry etching is used to remove the passivation layer under the organic layer, and then a chemical or physical vapor deposition method is used to form an electrode of a pixel electrode or a capacitance. In order to form a hole of a certain size in a large area, an organic film is usually composed of a thin film produced by an optical etching method. Since the aperture ratio of the device increases as the size of the hole formed becomes smaller, it is required to manufacture a small hole. However, when a small hole is formed in a large area, the defective rate may be increased due to problems such as hole clogging due to diffraction of light or the like.

대면적에서 작은 크기의 홀을 가진 유기막을 제조할 때 불량률을 낮추기 위해서는 광식각법 공정에서 홀이 막히지 않아야 하고, 균일한 형태의 홀을 형성시켜야 한다.When manufacturing an organic film having a small-sized hole in a large area, in order to lower the defect rate, the hole should not be blocked in the optical etching process, and a hole of a uniform shape should be formed.

한국 공개특허공보 2011-0073261호Korean Laid-Open Patent Publication No. 2011-0073261

본 출원이 해결하고자 하는 과제는 미세 홀 패턴을 포함하는 유기 막을 제조할 때 홀 막힘이 잘 발생하지 않고 일정한 형태의 홀 패턴의 구현이 가능하게 하는 감광성 수지 조성물, 이를 이용하여 제조된 컬러필터 및 이를 포함하는 액정표시소자를 제공하는 것이다.The present invention is directed to a photosensitive resin composition capable of realizing a uniform pattern of holes without causing clogging of holes when an organic film including a fine hole pattern is produced, a color filter manufactured using the same, And a liquid crystal display element.

본 출원의 일 실시상태는 고분자 화합물; 중합성 화합물; 광중합 개시제; 180℃ 이상의 온도에서 분해되는 광흡수제; 및 용매를 포함하는 감광성 수지 조성물을 제공한다. One embodiment of the present application includes a polymeric compound; Polymerizable compounds; A photopolymerization initiator; A light absorber decomposed at a temperature of 180 캜 or more; And a solvent.

본 출원의 일 실시상태는 상기 감광성 수지 조성물을 이용하여 제조된 유기막을 제공한다.One embodiment of the present application provides an organic film produced using the photosensitive resin composition.

본 출원의 일 실시상태는 상기 유기막을 포함하는 액정표시소자를 제공한다One embodiment of the present application provides a liquid crystal display device comprising the organic film

본 출원의 일 실시상태는 상기 감광성 수지 조성물을 이용하여 제조된 감광재를 제공한다.One embodiment of the present application provides a photosensitive material produced using the photosensitive resin composition.

본 출원을 통해 제공되는 감광성 수지 조성물은 광식각법에 의해 홀 패턴을 포함하는 작은 크기의 유기막을 제조할 때 홀 막힘이 잘 발생하지 않고 일정한 형태의 홀 패턴을 구현하기에 유리하다. 또한, 각종 감광재의 개발에 있어서도 유리하다.The photosensitive resin composition provided through the present application is advantageous for realizing a certain type of hole pattern without causing a lot of hole clogging when a small size organic film including a hole pattern is manufactured by the optical etching method. It is also advantageous in the development of various photosensitive materials.

도 1은 실시예 1~3의 홀 패턴 형상의 전자주사 현미경을 이용한 확대 이미지를 나타낸 것이다.
도 2는 실시예 4~5 및 비교예 1의 홀 패턴 형상의 전자주사 현미경을 이용한 확대 이미지를 나타낸 것이다.
도 3은 실시예 1~5 및 비교예 1의 전열처리 후 투과도를 나타낸 것이다.
도 4는 실시예 1~5 및 비교예 1의 후열처리 후 투과도를 나타낸 것이다.
Fig. 1 shows an enlarged image using electron scanning microscopes of the hole pattern shapes of Examples 1 to 3.
Fig. 2 is an enlarged image obtained by using electron scanning microscopes of the hole pattern shapes of Examples 4 to 5 and Comparative Example 1. Fig.
Fig. 3 shows the transmittance after the pre-heat treatment in Examples 1 to 5 and Comparative Example 1. Fig.
Fig. 4 shows the transmittances after the post-heat treatment in Examples 1 to 5 and Comparative Example 1. Fig.

본 출원의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 상세하게 후술되어 있는 실시상태들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나, 본 출원은 이하에서 개시되는 실시상태들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 것이며, 단지 본 실시상태들은 본 출원의 개시가 완전하도록 하며, 본 출원이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 출원은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다. The advantages and features of the present application, and how to accomplish them, will become apparent with reference to the embodiments described below in detail. It should be understood, however, that the present application is not limited to the illustrated embodiments but is to be accorded the widest scope consistent with the teachings of the present application. To fully disclose the scope of the invention to those skilled in the art, and this application is only defined by the scope of the claims.

다른 정의가 없다면, 본 명세서에서 사용되는 모든 용어(기술 및 과학적 용어를 포함)는 본 출원이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 공통적으로 이해될 수 있는 의미로 사용될 수 있을 것이다. 또한, 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 용어들은 명백하게 특별히 정의되어 있지 않는 한 이상적으로 또는 과도하게 해석되지 않는다.Unless defined otherwise, all terms (including technical and scientific terms) used herein may be used in a sense commonly understood by one of ordinary skill in the art to which this application belongs. In addition, commonly used predefined terms are not ideally or excessively interpreted unless explicitly defined otherwise.

이하, 본 출원을 상세히 설명한다.Hereinafter, the present application will be described in detail.

본 출원의 일 실시상태에 따른 감광성 수지 조성물은 고분자 화합물; 중합성 화합물; 광중합 개시제; 180℃ 이상의 온도에서 분해되는 광흡수제; 및 용매를 포함한다. The photosensitive resin composition according to one embodiment of the present application includes a polymer compound; Polymerizable compounds; A photopolymerization initiator; A light absorber decomposed at a temperature of 180 캜 or more; And a solvent.

본 출원의 일 실시상태에 따른 감광성 수지 조성물은 광식각법에 의해 홀 패턴을 포함하는 작은 크기의 유기막을 제조할 때 홀 막힘이 잘 발생하지 않고 일정한 형태의 홀 패턴을 구현하기에 유리하다. 작은 크기의 홀을 제조할 때 홀이 막히는 주요 원인에는 빛의 회절이 있다. 노광기에서 방출되는 빛은 주로 365 nm 파장의 i-line이 이용되지만, 436 nm의 g-line과 405 nm의 h-line 또한 많이 발생하게 된다. 장파장의 g-line과 h-line은 마스크 경계부에서 일부 회절하여 비노광부 내부로 침투하여 광개시제에 닿게 된다. 이때 광개시제가 라디칼을 발생하게 되면 홀의 형태를 불규칙하게 하거나, 심한 경우에는 홀을 막게 된다. 본 출원의 일 실시상태에 따른 감광성 수지 조성물을 사용하면 회절되는 장파장의 빛을 흡수하여 작은 크기의 홀 형성시킬 때 발생할 수 있는 홀 막힘 등을 막을 수 있어서, 바람직한 상태의 홀 패턴의 제조가 가능해진다. The photosensitive resin composition according to one embodiment of the present application is advantageous for realizing a certain type of hole pattern without occurrence of hole clogging when a small-sized organic film including a hole pattern is manufactured by the optical etching method. Diffraction of light is a major cause of hole clogging when manufacturing small size holes. The light emitted from the exposer mainly uses an i-line with a wavelength of 365 nm, but a g-line at 436 nm and an h-line at 405 nm are also generated. The g-line and the h-line of long wavelength are partially diffracted at the boundary of the mask, penetrate into the non-visible portion, and contact the photoinitiator. At this time, when the photoinitiator generates radicals, the shape of the holes is irregular, and in severe cases, the holes are blocked. When the photosensitive resin composition according to one embodiment of the present application is used, it is possible to prevent hole clogging or the like, which may occur when light having a long wavelength is diffracted to absorb light of a small size, thereby making it possible to manufacture a hole pattern in a desired state .

상기 광흡수제는 180℃ 이상의 온도에서 분해되어 쉽게 제거되어야 한다. 180℃ 이상의 온도에서 분해되지 않는 광흡수제를 사용하는 경우 리소그래피 공정 이후에도 투명 막에 광흡수제가 남아있어서 가시광선 영역인 405 nm 및 436 nm 파장의 빛을 흡수하여 투명막이 색을 띄게 되고 특히 황색을 띄게 되어 색의 왜곡을 초래한다는 문제점이 있다. 180℃ 이상의 온도에서 분해되는 광흡수제는 노광 단계까지는 빛을 흡수하여 회절되는 장파장의 빛을 막는 한편, 후열 처리 단계에서는 광흡수제가 분해 제거되어서 유기막을 투명하게 하는 역할을 한다. The light absorber should decompose and be easily removed at a temperature of 180 ° C or higher. When a light absorber that is not decomposed at a temperature of 180 ° C or higher is used, the light absorber remains in the transparent film even after the lithography process, so that the transparent film absorbs light of wavelengths of 405 nm and 436 nm, Thereby causing color distortion. The light absorber decomposed at a temperature of 180 ° C or higher absorbs light until the exposure step to prevent light of a long wavelength to be diffracted, and in the post-heating step, the light absorber is decomposed and removed to make the organic film transparent.

상기 광흡수제는 300 - 500 nm 사이의 영역에서 흡광도를 가지는 것일 수 있다. 광식각법에 이용되는 노광기에서 방출되는 빛의 영역이 300 nm에서 500 nm 이기 때문에 300 nm에서 500 nm 가 광흡수 영역이고, 광흡수제의 흡광 영역이 광개시제와의 흡광 영역과 겹치지 않거나 혹은 작은 범위만 겹치는 것이 바람직하다.The light absorbing agent may have an absorbance in a region between 300 and 500 nm. Since the region of light emitted from the exposure apparatus used in the photolithography method is 300 nm to 500 nm, it is preferable that the light absorbing region of 300 nm to 500 nm is not overlapped with the light absorbing region of the light absorbing agent, .

상기 광흡수제는 구체적으로 2-((9-(2-에틸헥실)-9H-카바졸-3-릴)메틸렌)말로니트릴, 2-시아노-3-(9-(2-에틸헥실)-9H-카바졸-3-릴)아크릴산 및 2-((2-시아노-3-(4-(디메틸아미노)페닐)아크릴로일)옥시)프로판-1,3-디메틸 에테르로 이루어지는 군에서 선택되는 1종 또는 2종 이상일 수 있다. The light absorber specifically includes 2 - ((9- (2-ethylhexyl) -9H-carbazol-3-yl) methylene) malononitrile, 2- Acrylate and 2 - ((2-cyano-3- (4- (dimethylamino) phenyl) acryloyl) oxy) propane-1,3-dimethyl ether Or more.

상기 광흡수제의 함량은 조성물 총 중량 기준으로 0.02 내지 2 중량%일 수 있다. 또는, 상기 광흡수제의 함량은 조성물에서 용매를 제외한 고형분 기준으로 0.05 내지 5 중량%일 수 있다. 광흡수제의 함량이 조성물 총 중량 기준으로 0.02 중량% 미만인 경우에는 광흡수제 첨가의 효과가 미미하며 2 중량%를 초과하면 광흡수제에 의한 노광량이 줄어들어서, 패턴 형성에 필요한 노광량이 많아져서 수율이 떨어질 수 있으며, 후열 처리 공정 시 분해된 광흡수제 부산물이 후열 공정의 가열 챔버를 오염시킬 수 있는 문제가 있다. The content of the light absorbent may be 0.02 to 2% by weight based on the total weight of the composition. Alternatively, the content of the light absorbing agent may be 0.05 to 5% by weight, based on the solid content excluding the solvent in the composition. If the content of the light absorbent is less than 0.02 wt% based on the total weight of the composition, the effect of adding the light absorbent is insignificant. If the content of the light absorbent is more than 2 wt%, the amount of light exposure by the light absorbent is reduced, And there is a problem that the decomposed light absorbent byproducts in the post heat treatment process can contaminate the heating chamber of the post heat process.

본 출원의 일 실시상태에서 상기 고분자 화합물은 투명 감광성 수지 조성물에 사용되는 고분자 화합물로서, 아크릴레이트 모노머, 메타크릴레이트 모노머, 스티렌 모노머 및 에폭시 모노머로 이루어진 군에서 선택된 2종 이상의 공중합체일 수 있다. 또한, 불포화 에테르 모노머, N-비닐 삼차아민 모노머, 불포화 이미드 모노머, 무수 말레인산 모노머 및 불포화 글리시딜 화합물 모노머로 이루어진 군에서 선택된 2종 이상의 모노머를 더 포함하는 공중합체일 수 있다. 이들 모노머는 유기막의 물성 조절을 위해 각각 벤젠기, 탄화수소기, 다환고리기 등을 포함할 수 있다. In one embodiment of the present application, the polymer compound is a polymer compound used in a transparent photosensitive resin composition, and may be at least two kinds of copolymers selected from the group consisting of an acrylate monomer, a methacrylate monomer, a styrene monomer, and an epoxy monomer. Further, it may be a copolymer further comprising at least two monomers selected from the group consisting of unsaturated ether monomers, N-vinyl tertiary amine monomers, unsaturated imide monomers, maleic anhydride monomers and unsaturated glycidyl compound monomers. These monomers may include a benzene group, a hydrocarbon group, a polycyclic group, and the like to control the physical properties of the organic layer.

상기 고분자 화합물의 중량평균 분자량은 1,000 내지 100,000의 범위일 수 있다. 고분자 화합물의 중량평균분자량이 1,000 미만인 경우 내열성 및 내화학성이 악화되며, 또한 100,000을 초과하는 경우 현상액에 대한 용해도가 낮아져 현상이 되지 않으며 용액의 점도가 지나치게 증가하여 균일한 도포가 어려워 바람직하지 못하다.The weight average molecular weight of the polymer compound may range from 1,000 to 100,000. When the weight average molecular weight of the polymer compound is less than 1,000, heat resistance and chemical resistance deteriorate. When the weight average molecular weight exceeds 100,000, the solubility of the polymer compound in the developer is lowered, and the viscosity of the solution is excessively increased.

상기 메타크릴레이트 모노머 또는 아크릴레이트 모노머의 예로는, 벤질(메타)아크릴레이트, 메틸(메타)아크릴레이트, 에틸(메타)아크릴레이트, 부틸(메타)아크릴레이트, 디메틸아미노에틸(메타)아크릴레이트, 이소부틸(메타)아크릴레이트, t-부틸(메타)아크릴레이트, 시클로헥실(메타)아크릴레이트, 이소보닐(메타)아크릴레이트, 에틸헥실(메타)아크릴레이트, 2-페녹시에틸(메타)아크릴레이트, 테트라히드로퍼프릴(메타)아크릴레이트, 히드록시에틸(메타)아크릴레이트, 2-히드록시프로필(메타)아크릴레이트, 2-히드록시-3-클로로프로필(메타)아크릴레이트, 4-히드록시부틸(메타)아크릴레이트, 아실옥틸옥시-2-히드록시프로필(메타)아크릴레이트, 글리세롤(메타)아크릴레이트, 2-메톡시에틸(메타)아크릴레이트, 3-메톡시부틸(메타)아크릴레이트, 에톡시디에틸렌글리콜(메타)아크릴레이트, 메톡시트리에틸렌글리콜(메타)아크릴레이트, 메톡시트리프로필렌글리콜(메타)아크릴레이트, 폴리(에틸렌 글리콜) 메틸에테르(메타)아크릴레이트, 페녹시디에틸렌글리콜(메타)아크릴레이트, p-노닐페녹시폴리에틸렌글리콜(메타)아크릴레이트, p-노닐페녹시폴리프로필렌글리콜(메타)아크릴레이트, 테트라플루오로프로필(메타)아크릴레이트, 1,1,1,3,3,3-헥사플루오로이소프로필(메타)아크릴레이트, 옥타플루오로펜틸(메타)아크릴레이트, 헵타데카플루오로데실(메타)아크릴레이트, 트리브로모페닐(메타)아크릴레이트, 메틸 α-히드록시메틸 아크릴레이트, 에틸 α-히드록시메틸 아크릴레이트, 프로필 α-히드록시메틸 아크릴레이트, 부틸 α-히드록시메틸 아크릴레이트, 디시클로펜타닐 (메타)아크릴레이트, 디시클로펜테닐 (메타)아크릴레이트, 디시클로펜타닐 옥시에틸 (메타)아크릴레이트, 디시클로펜테닐 옥시에틸 (메타)아크릴레이트 등이 있다.Examples of the methacrylate monomer or acrylate monomer include benzyl (meth) acrylate, methyl (meth) acrylate, ethyl (meth) acrylate, butyl (meth) acrylate, dimethylaminoethyl (Meth) acrylate, isobutyl (meth) acrylate, t-butyl (meth) acrylate, cyclohexyl Hydroxypropyl (meth) acrylate, hydroxyethyl (meth) acrylate, 2-hydroxypropyl (meth) acrylate, 2- Methoxybutyl (meth) acrylate, acyloctyloxy-2-hydroxypropyl (meth) acrylate, glycerol (meth) acrylate, 2- Late, ethoxydiene (Meth) acrylate, methoxytriethylene glycol (meth) acrylate, methoxytripropylene glycol (meth) acrylate, poly (ethylene glycol) methyl ether (meth) acrylate, phenoxydiethylene glycol Acrylate, p-nonylphenoxypolyethylene glycol (meth) acrylate, p-nonylphenoxypolypropylene glycol (meth) acrylate, tetrafluoropropyl (meth) acrylate, (Meth) acrylate, hexafluoroisopropyl (meth) acrylate, octafluoropentyl (meth) acrylate, heptadecafluorodecyl (meth) acrylate, tribromophenyl Acrylate, ethyl? -Hydroxymethylacrylate, propyl? -Hydroxymethylacrylate, butyl? -Hydroxymethylacrylate, dicyclopentanyl (meth) acrylate, dicyclopentenyl And the like other) acrylate, dicyclopentanyl oxyethyl (meth) acrylate, dicyclopentenyl oxyethyl (meth) acrylate.

상기 스티렌 모노머의 예로는 스티렌, α-메틸스티렌, (o,m,p)-비닐 톨루엔, (o,m,p)-메톡시 스티렌, (o,m,p)-클로로 스티렌과 같은 방향족 비닐류가 있다. Examples of the styrene monomer include aromatic vinyls such as styrene,? -Methylstyrene, (o, m, p) -vinyltoluene, (o, m, p) -methoxystyrene, .

상기 에폭시 모노머의 예로는, 알릴 글리시딜 에테르, 글리시딜 (메타)아크릴레이트, 3,4-에폭시시클로헥실메틸 (메타)아크릴레이트, 글리시딜 5-노보넨-2-메틸-2-카복실레이트(엔도, 엑소 혼합물), 1,2-에폭시-5-헥센, 또는 1,2-에폭시-9-데센 등이 있다.Examples of the epoxy monomer include allyl glycidyl ether, glycidyl (meth) acrylate, 3,4-epoxycyclohexylmethyl (meth) acrylate, glycidyl 5-norbornene- Carboxylate (endo, exo mixture), 1,2-epoxy-5-hexene, or 1,2-epoxy-9-decene.

그 외 모노머의 예로는 비닐 메틸 에테르, 비닐 에틸 에테르, 알릴 글리시딜 에테르와 같은 불포화 에테르 모노머; N-비닐 피롤리돈, N-비닐 카바졸, N-비닐 모폴린과 같은 N-비닐 삼차아민 모노머; N-페닐 말레이미드, N-(4-클로로페닐) 말레이미드, N-(4-히드록시페닐) 말레이미드, N-시클로헥실 말레이미드와 같은 불포화 이미드류; 무수 말레인산, 무수 메틸 말레인산과 같은 무수 말레인산 모노머; 또는 알릴 글리시딜 에테르, 글리시딜 (메타)아크릴레이트, 3,4-에폭시시클로헥실메틸 (메타)아크릴레이트와 같은 불포화 글리시딜 화합물 모노머 또는 이들의 혼합물 등이 있다.Examples of other monomers include unsaturated ether monomers such as vinyl methyl ether, vinyl ethyl ether, and allyl glycidyl ether; N-vinyl tertiary amine monomers such as N-vinyl pyrrolidone, N-vinyl carbazole, N-vinyl morpholine; Unsaturated imides such as N-phenylmaleimide, N- (4-chlorophenyl) maleimide, N- (4-hydroxyphenyl) maleimide and N-cyclohexylmaleimide; Maleic anhydride monomers such as maleic anhydride and methyl maleic anhydride; Or unsaturated glycidyl compound monomers such as allyl glycidyl ether, glycidyl (meth) acrylate and 3,4-epoxycyclohexylmethyl (meth) acrylate, or mixtures thereof.

상기 고분자 화합물은 본 발명의 효과를 저해하지 않는 한 목적에 따라 알칼리 가용성 바인더 수지 등 당업계에서 일반적으로 사용되는 것들과 혼합하여 사용할 수 있다. 알칼리 가용성 바인더 수지를 포함함으로써, 점도를 조절하는 효과가 있고, 알칼리 현상액을 이용한 패터닝을 가능하게 하는 효과가 있다. 본 출원에서 사용된 알칼리 가용성 바인더 수지는 산가가 30 내지 300 KOH mg/g 정도일 수 있다. 산가가 30 KOH mg/g 미만인 경우 현상이 잘 이루어지지 않아 깨끗한 패턴을 얻을 수 없고, 또한 300 KOH mg/g을 초과하는 경우는 씻김 특성이 과도하게 향상되어 패턴이 떨어져 나갈 수 있다. The polymer compound may be used in admixture with those generally used in the art, such as an alkali-soluble binder resin, depending on the purpose, so long as the effect of the present invention is not impaired. By including an alkali-soluble binder resin, there is an effect of controlling the viscosity and effecting patterning using an alkaline developer. The alkali-soluble binder resin used in the present application may have an acid value of about 30 to 300 KOH mg / g. When the acid value is less than 30 KOH mg / g, the development is not performed well and a clear pattern can not be obtained. When the acid value is more than 300 KOH mg / g, the washing property is excessively improved and the pattern may be detached.

이러한 알칼리 가용성 바인더 수지의 예로는 알칼리 가용성으로서 카르복실기를 함유하는 아크릴계 바인더 수지를 들 수 있다. 더욱 구체적으로, 산기(acid functional group)를 포함하는 모노머와 이 모노머와 공중합 가능한 필름강도를 주는 모노머의 공중합체일 수 있다. An example of such an alkali-soluble binder resin is an acrylic binder resin containing a carboxyl group as an alkali-soluble. More specifically, it may be a copolymer of a monomer containing an acid functional group and a monomer giving a film strength copolymerizable with the monomer.

상기 고분자 화합물은 아크릴레이트 모노머, 메타크릴레이트 모노머, 스티렌 모노머, 에폭시 모노머, 불포화 에테르 모노머, N-비닐 삼차아민 모노머, 불포화 이미드 모노머, 무수 말레인산 모노머, 불포화 글리시딜 화합물 모노머 및 산기를 포함하는 모노머로 이루어진 군에서 선택된 1종 또는 2종 이상의 중합체일 수 있다. The polymer compound may be at least one selected from the group consisting of an acrylate monomer, a methacrylate monomer, a styrene monomer, an epoxy monomer, an unsaturated ether monomer, an N-vinyl tertiary amine monomer, an unsaturated imide monomer, a maleic anhydride monomer, an unsaturated glycidyl compound monomer, Monomers, and mixtures thereof.

산기를 포함하는 모노머의 예로는 (메타)아크릴산, 크로톤산, 이타콘산, 말레인산, 푸마르산, 모노메틸 말레인산, 이소프렌 술폰산, 스티렌 술폰산, 5-노보넨-2-카르복실산, 모노-2-((메타)아크릴로일옥시)에틸 프탈레이트, 모노-2-((메타)아크릴로일옥시)에틸 숙시네이트, ω-카르복시 폴리카프로락톤 모노(메타)아크릴레이트 또는 이들의 혼합물 등이 있다.Examples of the monomer containing an acid group include (meth) acrylic acid, crotonic acid, itaconic acid, maleic acid, fumaric acid, monomethyl maleic acid, isoprenesulfonic acid, styrenesulfonic acid, (Meth) acryloyloxy) ethyl phthalate, mono-2 - ((meth) acryloyloxy) ethyl succinate, omega -carboxylic polycaprolactone mono (meth) acrylate or mixtures thereof.

본 출원의 일 실시상태에 따른 감광성 수지 조성물에 있어서, 상기 고분자 화합물의 함량은 감광성 수지 조성물 총 중량을 기준으로 8 ~ 32 중량%일 수 있다. 또는, 상기 고분자 화합물의 함량은 조성물에서 용매를 제외한 고형분 기준으로 20 내지 80 중량%일 수 있다. 광흡수제의 함량이 조성물 총 중량 기준으로 8 중량% 이상이면 알칼리 수용액을 이용한 패터닝이 잘 되는 효과가 있고, 현상성이 저하되어 바닥까지 홀 패턴이 형성되지 않을 수 있는 문제를 방지할 수 있으며, 32 중량% 이하면 박막 표면이 손상되어 거칠기가 증가할 수 있는 문제를 방지할 수 있는 효과가 있다.In the photosensitive resin composition according to one embodiment of the present application, the content of the polymer compound may be 8 to 32% by weight based on the total weight of the photosensitive resin composition. Alternatively, the content of the polymer compound may be 20 to 80% by weight based on the solid content excluding the solvent in the composition. When the content of the light absorbent is 8% by weight or more based on the total weight of the composition, patterning using an alkaline aqueous solution is effective, and the problem that the hole pattern is not formed to the bottom can be prevented, If the content is below% by weight, the problem that the surface of the thin film is damaged and the roughness is increased can be prevented.

본 출원의 일 실시상태에 따른 감광성 수지 조성물은 중합성 화합물을 포함할 수 있다. 상기 중합성 화합물은 가교제로서의 역할을 한다. 구체적으로, 에틸렌성 불포화기를 포함하는 중합성 화합물을 사용할 수 있다. 더욱 구체적으로, 두 개 이상의 불포화 아크릴기를 포함하는 중합성 화합물, 세 개 이상의 불포화 아크릴기를 포함하는 중합성 화합물을 사용할 수 있다. 구체적인 예로서, 에틸렌글리콜 디(메타)아크릴레이트, 에틸렌기의 수가 2 내지 14인 폴리에틸렌 글리콜 디(메타)아크릴레이트, 트리메틸올프로판 디(메타)아크릴레이트, 트리메틸올프로판 트리(메타)아크릴레이트, 펜타에리스리톨 트리(메타)아크릴레이트, 펜타에리스리톨 테트라(메타)아크릴레이트, 2-트리스아크릴로일옥시메틸에틸프탈산, 프로필렌기의 수가 2 내지 14인 프로필렌 글리콜 디(메타)아크릴레이트, 디펜타에리스리톨 펜타(메타)아크릴레이트, 디펜타에리스리톨 헥사(메타)아크릴레이트, 디펜타에리스리톨 펜타(메타)아크릴레이트의 산성 변형물과 디펜타에리스리톨 헥사(메타)아크릴레이트의 혼합물(상품명으로 일본 동아합성사의 TO-2348, TO-2349) 등의 다가 알콜을 α,β-불포화 카르복실산으로 에스테르화하여 얻어지는 화합물; 트리메틸올프로판 트리글리시딜에테르아크릴산 부가물, 비스페놀 A 디글리시딜에테르아크릴산 부가물 등의 글리시딜기를 함유하는 화합물에 (메타)아크릴산을 부가하여 얻어지는 화합물; β-히드록시에틸(메타)아크릴레이트의 프탈산디에스테르, β-히드록시에틸 (메타)아크릴레이트의 톨루엔 디이소시아네이트 부가물 등의 수산기 또는 에틸렌성 불포화 결합을 갖는 화합물과 다가 카르복실산과의 에스테르 화합물, 또는 폴리이소시아네이트와의 부가물; 메틸(메타)아크릴레이트, 에틸(메타)아크릴레이트, 부틸(메타)아크릴레이트, 2-에틸헥실(메타)아크릴레이트 등의 (메타)아크릴산 알킬에스테르; 및 9,9'-비스[4-(2-아크릴로일옥시에톡시)페닐]플루오렌으로 이루어지는 군으로부터 선택되는 1종 이상을 포함할 수 있으며, 이들로만 한정되지 않고 당 기술 분야에 알려져 있는 화합물들을 사용할 수 있다. 또한 경우에 따라서는 이들 화합물에 실리카 분산체를 사용할 수 있는데, 예를 들면 Hanse Chemie 社제 Nanocryl XP series(0596, 1045, 21/1364)와 Nanopox XP series(0516, 0525) 등이 있다.The photosensitive resin composition according to one embodiment of the present application may contain a polymerizable compound. The polymerizable compound serves as a crosslinking agent. Specifically, a polymerizable compound containing an ethylenic unsaturated group can be used. More specifically, a polymerizable compound containing two or more unsaturated acrylic groups and a polymerizable compound containing three or more unsaturated acrylic groups can be used. As a specific example, ethylene glycol di (meth) acrylate, an ethylene group having 2 to 14 polyethylene glycol di (meth) acrylate, trimethylolpropane di (meth) acrylate, trimethylolpropane tri (meth) acrylate, Pentaerythritol tri (meth) acrylate, pentaerythritol tetra (meth) acrylate, 2-trisacryloyloxymethyl ethyl phthalic acid, propylene glycol di (meth) acrylate having 2 to 14 propylene groups, dipentaerythritol penta A mixture of an acidic modification of dipentaerythritol hexa (meth) acrylate, dipentaerythritol hexa (meth) acrylate, dipentaerythritol penta (meth) acrylate and dipentaerythritol hexa (meth) acrylate (trade name TO- 2348, TO-2349), which is obtained by esterifying a polyhydric alcohol with an?,? - unsaturated carboxylic acid; A compound obtained by adding (meth) acrylic acid to a compound containing a glycidyl group such as trimethylol propane triglycidyl ether acrylic acid adduct and bisphenol A diglycidyl ether acrylic acid adduct; ester compounds of a compound having a hydroxyl group or an ethylenically unsaturated bond such as a phthalic acid diester of? -hydroxyethyl (meth) acrylate and a toluene diisocyanate adduct of? -hydroxyethyl (meth) acrylate with a polyvalent carboxylic acid , Or adducts with polyisocyanates; Alkyl (meth) acrylates such as methyl (meth) acrylate, ethyl (meth) acrylate, butyl (meth) acrylate and 2-ethylhexyl (meth) acrylate; And 9,9'-bis [4- (2-acryloyloxyethoxy) phenyl] fluorene, and it is not limited to these, and any of those known in the art Compounds may be used. In some cases, silica dispersions can be used for these compounds, for example, Nanocryl XP series (0596, 1045, 21/1364) and Nanopox XP series (0516, 0525) manufactured by Hanse Chemie.

본 출원의 일 실시상태에 따른 감광성 수지 조성물에 있어서, 상기 중합성 화합물의 함량은 감광성 수지 조성물 총 중량을 기준으로 8 내지 32 중량% 일 수 또는, 상기 중합성 화합물의 함량은 조성물에서 용매를 제외한 고형분 기준으로 20 내지 80 중량%일 수 있다. 광흡수제의 함량이 조성물 총 중량 기준으로 8 중량% 이상이면 빛에 의한 가교반응이 진행되지 않을 수 있는 문제를 방지할 수 있고, 32% 중량% 이하면 알칼리에 대한 가용성이 떨어져 패턴 형성이 어렵게 될 수 있는 문제를 방지할 수 있는 장점이 있다.In the photosensitive resin composition according to one embodiment of the present application, the content of the polymerizable compound may be 8 to 32% by weight based on the total weight of the photosensitive resin composition, or the content of the polymerizable compound may be And may be 20 to 80% by weight on a solid basis. If the content of the light absorbent is 8 wt% or more based on the total weight of the composition, the problem that the crosslinking reaction due to light may not proceed can be prevented. When the content of the light absorbent is less than 32 wt%, the alkali becomes insoluble and the pattern formation becomes difficult There is an advantage to be able to avoid problems.

본 출원의 일 실시상태에 따른 감광성 수지 조성물에 있어서, 상기 광중합 개시제는 구체적으로, 트리아진계 화합물, 비이미다졸계 화합물, 아세토페논계 화합물, O-아실옥심계 화합물, 벤조페논계 화합물, 티옥산톤계 화합물, 포스핀 옥사이드계 화합물 및 쿠마린계 화합물로 이루어진 군에서 선택되는 1종 또는 2종 이상의 혼합물일 수 있다. 상기 광중합 개시제는 더욱 구체적으로 2,4-트리클로로메틸-(4'-메톡시페닐)-6-트리아진, 2,4-트리클로로메틸-(4'-메톡시스티릴)-6-트리아진, 2,4-트리클로로메틸-(피플로닐)-6-트리아진, 2,4-트리클로로메틸-(3',4'-디메톡시페닐)-6-트리아진, 3-{4-[2,4-비스(트리클로로메틸)-s-트리아진-6-일]페닐티오} 프로판산, 2,4-트리클로로메틸-(4'-에틸비페닐)-6-트리아진, 2,4-트리클로로메틸-(4'-메틸비페닐)-6-트리아진 등의 트리아진계 화합물; In the photosensitive resin composition according to one embodiment of the present application, the photopolymerization initiator specifically includes a triazine-based compound, a nonimidazole-based compound, an acetophenone-based compound, an O-acyloxime-based compound, a benzophenone- A phosphazene compound, a phosphazene compound, a phosphazene compound, a phosphazene compound, a phosphazene compound, a phosphazene compound, a phosphazene compound, a phosphazene compound, a phosphazene compound, More specifically, the photopolymerization initiator may be 2,4-trichloromethyl- (4'-methoxyphenyl) -6-triazine, 2,4-trichloromethyl- (4'- methoxystyryl) Azine, 2,4-trichloromethyl- (triphenyl) -6-triazine, 2,4-trichloromethyl- (3 ', 4'-dimethoxyphenyl) - [2,4-bis (trichloromethyl) -s-triazin-6-yl] phenylthio} propanoic acid, 2,4-trichloromethyl- (4'-ethylbiphenyl) Triazine-based compounds such as 2,4-trichloromethyl- (4'-methylbiphenyl) -6-triazine;

2,2'-비스(2-클로로페닐)-4,4',5,5'-테트라페닐 비이미다졸, 2,2'-비스(2,3-디클로로페닐)-4,4',5,5'-테트라페닐비이미다졸 등의 비이미다졸 화합물; Bis (2-chlorophenyl) -4,4 ', 5,5'-tetraphenylbiimidazole, 2,2'-bis (2,3- , 5'-tetraphenylbiimidazole;

2-히드록시-2-메틸-1-페닐프로판-1-온, 1-(4-이소프로필페닐)-2-하이드록시-2-메틸프로판-1-온, 4-(2-히드록시에톡시)-페닐 (2-히드록시)프로필 케톤, 1-히드록시시클로헥실 페닐 케톤, 2,2-디메톡시-2-페닐 아세토페논, 2-메틸-(4-메틸티오페닐)-2-몰폴리노-1-프로판-1-온(Irgacure-907), 2-벤질-2-디메틸아미노-1-(4-몰폴리노페닐)-부탄-1-온(Irgacure-369) 등의 아세토페논계 화합물; 2-methyl-1-phenylpropan-1-one, 1- (4-isopropylphenyl) -2-hydroxy- (4-methylthiophenyl) -2-morpholinocyclohexyl phenyl ketone, 2,2-dimethoxy-2-phenylacetophenone, 1-one (Irgacure-907) such as polymethyl-1-propanol, Nonnary compounds;

BASF 社의 Irgacure OXE 01, Irgacure OXE 02, ADEKA 社의 N-1919, NCI-831, NCI-930과 같은 O-아실옥심계 화합물;O-acyloxime compounds such as Irgacure OXE 01, Irgacure OXE 02 from BASF, N-1919, NCI-831 and NCI-930 from ADEKA;

4,4'-비스(디메틸아미노)벤조페논, 4,4'-비스(디에틸아미노)벤조페논 등의 벤조페논계 화합물; 2,4-디에틸 티옥산톤, 2-클로로 티옥산톤, 이소프로필 티옥산톤, 디이소프로필 티옥산톤 등의 티옥산톤계 화합물; 2,4,6-트리메틸벤조일 디페닐포스핀 옥사이드, 비스(2,6-디메톡시벤조일)-2,4,4-트리메틸펜틸 포스핀 옥사이드, 비스(2,6-디클로로벤조일) 프로필 포스핀 옥사이드 등의 포스핀 옥사이드계 화합물; Benzophenone compounds such as 4,4'-bis (dimethylamino) benzophenone and 4,4'-bis (diethylamino) benzophenone; Thioxanthone compounds such as 2,4-diethylthioxanthone, 2-chlorothioxanthone, isopropylthioxanthone and diisopropylthioxanthone; 2,4,6-trimethylbenzoyldiphenylphosphine oxide, bis (2,6-dimethoxybenzoyl) -2,4,4-trimethylpentylphosphine oxide, bis (2,6-dichlorobenzoyl) propylphosphine oxide Phosphine oxide-based compounds;

3,3'-카르보닐비닐-7-(디에틸아미노)쿠마린, 3-(2-벤조티아졸일)-7-(디에틸아미노)쿠마린, 3-벤조일-7-(디에틸아미노)쿠마린, 3-벤조일-7-메톡시-쿠마린, 10,10'-카르보닐비스[1,1,7,7-테트라메틸-2,3,6,7-테트라하이드로-1H,5H,11H-Cl]-벤조피라노[6,7,8-ij]-퀴놀리진-11-온 등의 쿠마린계 화합물 등이 있다.(Diethylamino) coumarin, 3- (2-benzothiazolyl) -7- (diethylamino) coumarin, 3-benzoyl- Benzoyl-7-methoxy-coumarin, 10,10'-carbonylbis [1,1,7,7-tetramethyl-2,3,6,7-tetrahydro-1H, 5H, 11H- -Benzopyrano [6,7,8-ij] -quinolizine-11-one, and the like.

본 출원의 일 실시상태에서 상기 광중합 개시제는 0.04 내지 2 중량%로 함유되는 것이 바람직하다. 또는, 상기 광중합 개시제의 함량은 조성물에서 용매를 제외한 고형분 기준으로 0.1 내지 5 중량%일 수 있다.In one embodiment of the present application, the photopolymerization initiator is preferably contained in an amount of 0.04 to 2% by weight. Alternatively, the content of the photopolymerization initiator may be 0.1 to 5% by weight based on the solids content of the composition excluding the solvent.

본 출원의 일 실시상태에 따른 감광성 수지 조성물에서, 상기 용매의 예로는 메틸 에틸 케톤, 메틸셀로솔브, 에틸셀로솔브, 에틸렌글리콜 디메틸 에테르, 에틸렌글리콜 디에틸 에테르, 프로필렌글리콜 디메틸 에테르, 프로필렌글리콜 디에틸 에테르, 디에틸렌글리콜 디메틸에테르, 디에틸렌글리콜 디에틸에테르, 디에틸렌글리콜 메틸 에틸에테르, 2-에톡시 프로판올, 2-메톡시 프로판올, 3-메톡시 부탄올, 시클로헥사논, 시클로펜타논, 프로필렌글리콜 메틸 에테르 아세테이트, 프로필렌글리콜 에틸 에테르 아세테이트, 3-메톡시부틸 아세테이트, 에틸 3-에톡시 프로피오네이트, 에틸 셀로솔브아세테이트, 메틸 셀로솔브아세테이트, 부틸 아세테이트, 및 디프로필렌글리콜 모노메틸 에테르로 이루어진 군으로부터 선택된 1종 또는 2종 이상의 혼합물일 수 있다.In the photosensitive resin composition according to one embodiment of the present application, examples of the solvent include methyl ethyl ketone, methyl cellosolve, ethyl cellosolve, ethylene glycol dimethyl ether, ethylene glycol diethyl ether, propylene glycol dimethyl ether, propylene glycol Diethylene glycol dimethyl ether, diethylene glycol diethyl ether, diethylene glycol methyl ethyl ether, 2-ethoxypropanol, 2-methoxypropanol, 3-methoxybutanol, cyclohexanone, cyclopentanone, Propyleneglycol methyl ether acetate, propylene glycol ethyl ether acetate, 3-methoxybutyl acetate, ethyl 3-ethoxypropionate, ethyl cellosolve acetate, methyl cellosolve acetate, butyl acetate, and dipropylene glycol monomethyl ether May be one or a mixture of two or more selected from the group The.

본 출원의 일 실시상태에 따른 감광성 수지 조성물에 있어서, 상기 용매의 함량은 감광성 수지 조성물 총 중량을 기준으로 40 내지 80 중량% 일 수 있다.In the photosensitive resin composition according to one embodiment of the present application, the content of the solvent may be 40 to 80% by weight based on the total weight of the photosensitive resin composition.

본 출원의 일 실시상태에 따른 감광성 수지 조성물은 고분자 화합물 8 내지 32 중량%, 중합성 화합물 8 내지 32 중량%, 광흡수제 0.02 내지 2 중량%, 광중합 개시제 0.04 내지 2 중량% 및 용매 40 내지 80 중량%을 포함할 수 있다.The photosensitive resin composition according to one embodiment of the present application comprises 8 to 32% by weight of a polymer compound, 8 to 32% by weight of a polymerizable compound, 0.02 to 2% by weight of a light absorber, 0.04 to 2% by weight of a photopolymerization initiator, %. ≪ / RTI >

본 출원의 일 실시상태에 따른 감광성 수지 조성물은 착색제를 더 포함할 수 있다. The photosensitive resin composition according to one embodiment of the present application may further comprise a colorant.

상기 착색제로는 1종 이상의 안료, 염료 또는 이들의 혼합물을 사용할 수 있다. 색깔을 띄는 착색제의 예로는 카민 6B(C.I.12490), 프탈로시아닌 그린(C.I. 74260), 프탈로시아닌 블루(C.I. 74160), 페릴렌 블랙(BASF K0084. K0086), 시아닌 블랙, 리놀옐로우(C.I.21090), 리놀 옐로우GRO(C.I. 21090), 벤지딘 옐로우4T-564D, 빅토리아 퓨어 블루(C.I.42595), C.I. PIGMENT RED 3, 23, 97, 108, 122, 139, 140, 141, 142, 143, 144, 149, 166, 168, 175, 177, 180, 185, 189, 190, 192, 202, 214, 215, 220, 221, 224, 230, 235, 242, 254, 255, 260, 262, 264, 272; C.I. PIGMENT GREEN 7, 36, 58; C.I. PIGMENT blue 15:1, 15:3, 15:4, 15:6, 16, 22, 28, 36, 60, 64; C.I. PIGMENT yellow 13, 14, 35, 53, 83, 93, 95, 110, 120, 138, 139, 150, 151, 154, 175, 180, 181, 185, 194, 213; C.I. PIGMENT VIOLET 15, 19, 23, 29, 32, 37 등이 있고, 이 밖에 백색 안료, 형광 안료 등도 이용할 수 있다. 안료로 사용되는 프탈로시아닌 계 착화합물로는 구리 외에 아연을 중심 금속으로 하는 물질도 사용 가능하다.As the colorant, one or more pigments, dyes, or mixtures thereof may be used. Examples of coloring agents which are colored include carmine 6B (CI12490), phthalocyanine green (CI 74260), phthalocyanine blue (CI 74160), perylene black (BASF K0084.K0086), cyanine black, linool yellow (CI 21090) GRO (CI 21090), Benzidine Yellow 4T-564D, Victoria Pure Blue (CI42595), CI PIGMENT RED 3, 23, 97, 108, 122, 139, 140, 141, 142, 143, 144, 149, 166, 168, 175, 177, 180, 185, 189, 190, 192, 220, 221, 224, 230, 235, 242, 254, 255, 260, 262, 264, 272; C.I. PIGMENT GREEN 7, 36, 58; C.I. PIGMENT blue 15: 1, 15: 3, 15: 4, 15: 6, 16, 22, 28, 36, 60, 64; C.I. PIGMENT yellow 13, 14, 35, 53, 83, 93, 95, 110, 120, 138, 139, 150, 151, 154, 175, 180, 181, 185, 194, 213; C.I. PIGMENT VIOLET 15, 19, 23, 29, 32, 37, etc. In addition, white pigments and fluorescent pigments can be used. As the phthalocyanine-based complex compound used as the pigment, a material having zinc as a central metal in addition to copper may be used.

흑색 안료로는 카본 블랙, 흑연, 티탄 블랙 등과 같은 금속산화물 등을 사용할 수 있다. 카본 블랙의 예로는 시스토 5HIISAF-HS, 시스토 KH, 시스토 3HHAF-HS, 시스토 NH, 시스토 3M, 시스토 300HAF-LS, 시스토 116HMMAF-HS, 시스토 116MAF, 시스토 FMFEF-HS, 시스토 SOFEF, 시스토 VGPF, 시스토 SVHSRF-HS 및 시스토 SSRF(동해카본 ㈜) ; 다이어그램 블랙 II, 다이어그램 블랙 N339, 다이어그램 블랙 SH, 다이어그램 블랙 H, 다이어그램 LH, 다이어그램 HA, 다이어그램 SF, 다이어그램 N550M, 다이어그램 M, 다이어그램 E, 다이어그램 G, 다이어그램 R, 다이어그램 N760M, 다이어그램 LR, #2700, #2600, #2400, #2350, #2300, #2200, #1000, #980, #900, MCF88, #52, #50, #47, #45, #45L, #25, #CF9, #95, #3030, #3050, MA7, MA77, MA8, MA11, MA100, MA40, OIL7B, OIL9B, OIL11B, OIL30B 및 OIL31B(미쯔비시화학㈜) ; PRINTEX-U, PRINTEX-V, PRINTEX-140U, PRINTEX-140V, PRINTEX-95, PRINTEX-85, PRINTEX-75, PRINTEX-55, PRINTEX-45, PRINTEX-300, PRINTEX-35, PRINTEX-25, PRINTEX-200, PRINTEX-40, PRINTEX-30, PRINTEX-3, PRINTEX-A, SPECIAL BLACK-550, SPECIAL BLACK-350, SPECIAL BLACK-250, SPECIAL BLACK-100, 및 LAMP BLACK-101(대구사㈜); RAVEN-1100ULTRA, RAVEN-1080ULTRA, RAVEN-1060ULTRA, RAVEN-1040, RAVEN-1035, RAVEN-1020, RAVEN-1000, RAVEN-890H, RAVEN-890, RAVEN-880ULTRA, RAVEN-860ULTRA, RAVEN-850, RAVEN-820, RAVEN-790ULTRA, RAVEN-780ULTRA, RAVEN-760ULTRA, RAVEN-520, RAVEN-500, RAVEN-460, RAVEN-450, RAVEN-430ULTRA, RAVEN-420, RAVEN-410, RAVEN-2500ULTRA, RAVEN-2000, RAVEN-1500, RAVEN-1255, RAVEN-1250, RAVEN-1200, RAVEN-1190ULTRA, RAVEN-1170(콜롬비아 카본㈜) 또는 이들의 혼합물 등이 있다. As the black pigment, metal oxides such as carbon black, graphite, titanium black and the like can be used. Examples of carbon blacks are cysteine 5HIISAF-HS, cysto KH, cysteo 3HHAF-HS, cysteo NH, cysto 3M, cysto 300HAF-LS, cysto 116HMMAF-HS, , SISTO SOFEF, SISTO VGPF, SISTO SVHSRF-HS and SISTO SSRF (Donghae Carbon Co., Ltd.); Diagram Black II, Diagram Black N339, Diagram Black SH, Diagram Black H, Diagram LH, Diagram HA, Diagram SF, Diagram N550M, Diagram M, Diagram E Diagram G Diagram R Diagram N760M Diagram LR, # 2700, # 25, # 45, # 45, # 45, # 45, # 45, # 25, # CF9, # 95, # 20, # 2300, # 2350, # 2300, # 2200, # 1000, # 980, # 900, 3030, # 3050, MA7, MA77, MA8, MA11, MA100, MA40, OIL7B, OIL9B, OIL11B, OIL30B and OIL31B (Mitsubishi Chemical); PRINTEX-25, PRINTEX-25, PRINTEX-55, PRINTEX-55, PRINTEX-45, PRINTEX-35, PRINTEX- 200, PRINTEX-40, PRINTEX-30, PRINTEX-3, PRINTEX-A, SPECIAL BLACK-550, SPECIAL BLACK-350, SPECIAL BLACK-250, SPECIAL BLACK-100 and LAMP BLACK-101 (Daegu; 890, RAVEN-880ULTRA, RAVEN-880ULTRA, RAVEN-850R, RAVEN-1080ULTRA, RAVEN-1080ULTRA, RAVEN-1080ULTRA, RAVEN-1080ULTRA, RAVEN-1040ULTRA, RAVEN-1040, RAVEN-1035, RAVEN-1020, RAVEN- 820, RAVEN-790ULTRA, RAVEN-780ULTRA, RAVEN-760ULTRA, RAVEN-520, RAVEN-500, RAVEN-460, RAVEN-450, RAVEN-430ULTRA, RAVEN- RAVEN-1500, RAVEN-1255, RAVEN-1250, RAVEN-1200, RAVEN-1190ULTRA, RAVEN-1170 (Colombia Carbon) or mixtures thereof.

본 출원의 일 실시상태에 따른 감광성 수지 조성물에 있어서, 상기 착색제의 함량은 감광성 수지 조성물 총 중량을 기준으로 0.4 내지 32 중량%일 수 있다. 또는, 상기 착색제의 함량은 조성물에서 용매를 제외한 고형분 기준으로 1 내지 80 중량%일 수 있다.In the photosensitive resin composition according to one embodiment of the present application, the content of the coloring agent may be 0.4 to 32% by weight based on the total weight of the photosensitive resin composition. Alternatively, the content of the coloring agent may be 1 to 80% by weight based on the solid content excluding the solvent in the composition.

본 출원의 일 실시상태에 따른 감광성 수지 조성물은 고분자 화합물 8 내지 32 중량%, 중합성 화합물 8 내지 32 중량%, 광흡수제 0.02 내지 2 중량%, 광중합 개시제 0.04 내지 2 중량%, 용매 40 내지 80 중량% 및 착색제 0.4 내지 32 중량%을 포함할 수 있다.The photosensitive resin composition according to one embodiment of the present application comprises 8 to 32% by weight of a polymer compound, 8 to 32% by weight of a polymerizable compound, 0.02 to 2% by weight of a light absorbent, 0.04 to 2% by weight of a photopolymerization initiator, % And 0.4 to 32% by weight of a coloring agent.

본 출원의 일 실시상태에 따른 감광성 수지 조성물은, 상기 구성성분 외에 필요에 따라 경화촉진제, 열 중합억제제, 분산제, 산화방지제, 자외선흡수제, 가소제, 접착 촉진제, 충전제, 광증감제, 또는 계면활성제 등의 첨가제를 하나 또는 둘 이상 추가로 포함할 수 있다. 또한, 다른 아크릴레이트 화합물을 더 포함할 수 있다.The photosensitive resin composition according to one embodiment of the present application may further contain a curing accelerator, a thermal polymerization inhibitor, a dispersant, an antioxidant, an ultraviolet absorber, a plasticizer, an adhesion promoter, a filler, a photosensitizer, May further include one or two or more additives. In addition, other acrylate compounds may be further included.

본 출원의 일 실시상태에서 상기 첨가제를 첨가할 경우, 조성물 총 중량을 기준으로 각각 0.004 내지 8 중량%로 함유되는 것이 바람직하다. 또는 상기 첨가제의 함량은 조성물에서 용매를 제외한 고형분 기준으로 각각 0.01 내지 20 중량%일 수 있다. 본 출원의 일 실시상태에서 다른 아크릴레이트 화합물을 더 포함할 경우 그 함량은 조성물 총 중량을 기준으로 2 내지 20 중량%, 또는 조성물에서 용매를 제외한 고형분 기준으로 5 내지 50 중량%일 수 있다. When the additive is added in one embodiment of the present application, it is preferably contained in an amount of 0.004 to 8% by weight based on the total weight of the composition. Or the content of the additive may be 0.01 to 20% by weight, respectively, based on the solids content of the composition excluding the solvent. In an embodiment of the present application, the content of the other acrylate compound may be 2 to 20 wt% based on the total weight of the composition, or 5 to 50 wt% based on the solids content of the composition excluding the solvent.

본 출원의 일 실시상태에 따른 감광성 수지 조성물에 있어서, 상기 경화촉진제의 예로는, 2-머캡토벤조이미다졸, 2-머캡토벤조티아졸, 2-머캡토벤조옥사졸, 2,5-디머캡토-1,3,4-티아디아졸, 2-머캡토-4,6-디메틸아미노피리딘, 펜타에리스리톨 테트라키스(3-머캡토프로피오네이트), 펜타에리스리톨 트리스(3-머캡토프로피오네이트), 펜타에리스리톨 테트라키스(2-머캡토아세테이트), 펜타에리스리톨 트리스(2-머캡토아세테이트), 트리메틸올프로판 트리스(2-머캡토아세테이트), 트리메틸올프로판 트리스(3-머캡토프로피오네이트), 트리메틸올에탄 트리스(2-머캡토아세테이트), 및 트리메틸올에탄 트리스(3-머캡토프로피오네이트)로 이루어진 군으로부터 선택된 1 종 또는 2종 이상의 혼합물을 포함할 수 있으나, 이들로만 한정되는 것은 아니며 당 기술 분야에 알려져 있는 것들을 포함할 수 있다.In the photosensitive resin composition according to one embodiment of the present application, examples of the curing accelerator include 2-mercaptobenzoimidazole, 2-mercaptobenzothiazole, 2-mercaptobenzoxazole, 2,5-dimer (3-mercaptopropionate), pentaerythritol tris (3-mercaptopropionate (3-mercaptopropionate), pentaerythritol tetrakis ), Pentaerythritol tetrakis (2-mercaptoacetate), pentaerythritol tris (2-mercaptoacetate), trimethylolpropane tris (2-mercaptoacetate), trimethylolpropane tris (3-mercaptopropionate) , Trimethylol ethane tris (2-mercaptoacetate), and trimethylol ethane tris (3-mercaptopropionate). However, the present invention is not limited thereto. It is not known in the art Which can include things turned.

본 출원의 일 실시상태에 따른 감광성 수지 조성물에 있어서, 상기 열 중합 억제제로는, p-아니솔, 히드로퀴논, 피로카테콜(pyrocatechol), t-부틸카테콜(t-butylcatechol), N-니트로소페닐히드록시아민 암모늄염, N-니트로소페닐히드록시아민 알루미늄염 및 페노티아진(phenothiazine)으로 이루어진 군으로부터 선택된 1종 또는 2종 이상의 혼합물을 포함할 수 있으나, 이들로만 한정되는 것은 아니며 당 기술 분야에 알려져 있는 것들을 포함할 수 있다.In the photosensitive resin composition according to one embodiment of the present application, the thermal polymerization inhibitor includes p-anisole, hydroquinone, pyrocatechol, t-butylcatechol, But are not limited to, a mixture of one or more selected from the group consisting of phenylhydroxyamine ammonium salt, N-nitrosophenylhydroxyamine aluminum salt, and phenothiazine, , ≪ / RTI >

본 출원의 일 실시상태에 따른 감광성 수지 조성물에 있어서, 상기 분산제로는 고분자형, 비이온성, 음이온성, 또는 양이온성 분산제를 사용할 수 있다. 이러한 분산제의 비제한적인 예로는 폴리알킬렌글리콜 및 이의 에스테르, 폴리옥시알킬렌 다가알콜, 에스테르알킬렌 옥사이드 부가물, 알코올알킬렌옥사이드 부가물, 설폰산 에스테르, 설폰산염, 카르복실산에스테르, 카르복실산염, 알킬아미드 알킬렌옥사이드 부가물, 알킬아민 등을 포함할 수 있으며, 이들 중에서 선택된 1종 또는 2종 이상의 혼합물을 사용할 수 있으나, 이들에만 한정하는 것은 아니다.In the photosensitive resin composition according to one embodiment of the present application, a polymer type, nonionic, anionic, or cationic dispersing agent may be used as the dispersing agent. Non-limiting examples of such dispersants include polyalkylene glycols and esters thereof, polyoxyalkylene polyhydric alcohols, ester alkylene oxide adducts, alcohol alkylene oxide adducts, sulfonic acid esters, sulfonates, carboxylic acid esters, Alkyl amide alkylene oxide adducts, alkyl amines, and the like, and may be used alone or in admixture of two or more selected from them, but is not limited thereto.

본 출원의 일 실시상태에 따른 감광성 수지 조성물에 있어서, 상기 산화방지제의 비제한적인 예로는 2,2-티오비스(4-메틸-6-t-부틸페놀) 및 2,6-g,t-부틸페놀 중에서 선택된 1종 이상을 포함할 수 있으나, 이들에만 한정하는 것은 아니다.In the photosensitive resin composition according to one embodiment of the present application, non-limiting examples of the antioxidant include 2,2-thiobis (4-methyl-6-t-butylphenol) and 2,6- And butyl phenol, but are not limited thereto.

본 출원의 일 실시상태에 따른 감광성 수지 조성물에 있어서, 상기 자외선흡수제의 비제한적인 예로는 2-(3-t-부틸-5-메틸-2-히드록시페닐)-5-클로로-벤조트리아졸 및 알콕시 벤조페논 중에서 선택된 1종 이상을 포함할 수 있으나, 이들에만 한정하는 것은 아니다.In the photosensitive resin composition according to one embodiment of the present application, a non-limiting example of the ultraviolet absorber is 2- (3-t-butyl-5-methyl-2-hydroxyphenyl) And alkoxybenzophenone, but is not limited thereto.

본 출원의 일 실시상태에 따른 감광성 수지 조성물에 있어서, 상기 계면 활성제로는 MCF 350SF, F-475, F-488, F-552(이하 DIC 사)등을 포함할 수 있으나, 이들에만 한정하는 것은 아니다.In the photosensitive resin composition according to one embodiment of the present application, the surfactant may include MCF 350SF, F-475, F-488 and F-552 (hereinafter referred to as DIC) no.

기타 가소제, 접착 촉진제 또는 충전제 등도 종래의 감광성 수지 조성물에 포함될 수 있는 모든 화합물이 사용될 수 있다.Other plasticizers, adhesion promoters, fillers, and the like can be used as well as any compounds that can be included in conventional photosensitive resin compositions.

본 출원의 일 실시상태에 있어서, 상기 감광성 수지 조성물은 유기막용 감광성 수지 조성물일 수 있다. 구체적으로 박막 트랜지스터 액정표시소자의 포토 아크릴 유기막용일 수 있다. In one embodiment of the present application, the photosensitive resin composition may be a photosensitive resin composition for an organic film. Specifically, it may be for a photo-acryl organic film of a thin film transistor liquid crystal display element.

본 출원의 일 실시상태는 상기 감광성 수지 조성물을 이용하여 제조된 유기막을 제공한다.One embodiment of the present application provides an organic film produced using the photosensitive resin composition.

본 출원에 있어서, 상기 유기막은 상기 감광성 수지 조성물을 이용하여 소정의 패턴을 형성할 수 있다. In the present application, the organic film can form a predetermined pattern using the photosensitive resin composition.

본 출원의 일 구현예에 따른 감광성 수지 조성물을 사용하여 유기막을 제조하는 경우, 상기 감광성 수지 조성물을 사용하여 막을 형성한 후 노광 및 현상하여 패턴을 형성한다. 구체적으로 감광성 수지 조성물을 기판 위에 도포하여 막을 형성시키고 나서, 광에 노출시킨 후, 현상시킨다. 현상 이후에 가열 과정을 더 실시할 수도 있다. When a photosensitive resin composition according to an embodiment of the present invention is used to produce an organic film, the photosensitive resin composition is used to form a film, followed by exposure and development to form a pattern. Specifically, the photosensitive resin composition is coated on the substrate to form a film, and then exposed to light and developed. The heating process may be further performed after the development.

상기 감광성 수지 조성물은 롤 코터(roll coater), 커튼 코터(curtain coater), 스핀 코터(spin coater), 슬롯 다이 코터, 각종 인쇄, 침적 등의 방법을 사용하여 기판 등의 지지체 상에 적용될 수 있다. 상기 기판은 유리, 플라스틱, 실리콘계를 사용할 수 있다. The photosensitive resin composition may be applied on a support such as a substrate using a roll coater, a curtain coater, a spin coater, a slot die coater, various printing, or a deposition method. The substrate may be glass, plastic, or silicon.

또한 필름 등의 지지체 상에 도포한 후 기타 지지체 상에 전사하거나 제1의 지지체에 도포한 후 블랭킷 등에 전사하고, 다시 제2의 지지체에 전사하는 것도 가능하며, 그 적용 방법은 특별히 한정되지 않는다.It is also possible to apply it onto a support such as a film and then transfer it onto another support or coat it on a first support, transfer it to a blanket or the like, and transfer it to the second support again, and its application method is not particularly limited.

본 출원의 감광성 수지 조성물을 경화시키기 위한 광원으로는, 예컨대 파장이 250 내지 450 ㎚의 광을 발산하는 수은 증기 아크(arc), 탄소 아크 또는 Xe 아크 등을 사용할 수 있다. As a light source for curing the photosensitive resin composition of the present application, for example, a mercury vapor arc, carbon arc or Xe arc, which emits light having a wavelength of 250 to 450 nm, may be used.

광에 노출되어 경화된 감광성 수지 조성물 막은 스프레이법이나 담금 방식으로 현상하여 패턴을 형성할 수 있다. 상기 현상이 완료된 패턴은 세정 후에 경화 단계를 추가로 실시할 수 있다. The photosensitive resin composition film exposed to light and cured may be patterned by a developing method using a spraying method or a dipping method. The pattern in which the development is completed can further perform a curing step after cleaning.

본 출원의 일 실시상태는 감광성 수지 조성물을 이용하여 제조한 유기막을 포함하는 액정표시장치를 제공한다. One embodiment of the present application provides a liquid crystal display device comprising an organic film produced using a photosensitive resin composition.

상기 액정 표시장치는 구체적으로 박막트랜지스터 액정표시장치일 수 있고, 상기 유기막은 절연성인 포토 아크릴로 사용되는 것일 수 있다. The liquid crystal display device may be a thin film transistor liquid crystal display device, and the organic film may be an insulating photo-acryl.

본 출원의 일 실시상태는 상기 감광성 수지 조성물을 포함하는 감광재를 제공한다. One embodiment of the present application provides a photosensitive material comprising the photosensitive resin composition.

본 출원의 일 실시상태는 상기 감광성 수지 조성물을 이용하여 제조된 감광재를 제공한다. One embodiment of the present application provides a photosensitive material produced using the photosensitive resin composition.

상기 감광성 수지 조성물은 감광재에서 건조 및/또는 경화에 의하여 용매의 적어도 일부가 제거된 상태 또는 광경화된 상태로 존재한다. The photosensitive resin composition is present in a state in which at least part of the solvent is removed or cured by drying and / or curing in the photosensitive material.

본 출원의 일 실시상태에 따른 감광성 수지 조성물은 TFT LCD 컬러필터 형성용 안료분산형 감광재, TFT LCD 또는 유기발광다이오드의 블랙 매트릭스 형성용 감광재, 오버코트층 형성용 감광재, 컬럼 스페이서 감광재, 인쇄배선반용 감광재, 기타 투명 감광재에 사용되는 것이 바람직하나, 광경화성 도료, 광경화성 잉크, 광경화성 접착제, 인쇄판, 및 PDP 제조 등에도 사용할 수 있으며, 그 용도에 특별히 제한을 두지는 않는다.The photosensitive resin composition according to one embodiment of the present application can be applied to various applications such as a pigment dispersing type photosensitive material for forming a TFT LCD color filter, a photosensitive material for forming a black matrix of a TFT LCD or an organic light emitting diode, a photosensitive material for forming an overcoat layer, It is preferably used for photosensitive materials for printing and wiring boards and other transparent photosensitive materials. However, it can be used for photo-curable paints, photo-curable inks, photo-curing adhesives, printing plates, and PDP production.

본 출원의 일 실시상태는 상기 감광성 수지 조성물을 이용하여 제조된 전자소자를 제공한다. One embodiment of the present application provides an electronic device manufactured using the photosensitive resin composition.

<합성예 1> 고분자 화합물의 합성Synthesis Example 1 Synthesis of polymer compound

글리시딜 메타크릴레이트, 메타크릴 산, 스티렌, 벤질 메타크릴레이트, 시클로헥실 메타크릴레이트를 각각 36.5g, 21.9g, 36.5g, 2.5g, 2.5g을 과량의 MMP(methyl-3-methoxy propionate)에 녹인 후 60℃까지 승온시킨다. 개시제로서 V65(2,2`-Azobis(2,4-dimethyl valeronitrile, Wako 社) 12g을 소량의 MMP에 녹인 후 승온한 모노머 혼합 용액에 주입한다. 16시간 동안 60℃에서 질소 분위기 하에서 중합시킨 후 BHT 0.5g를 소량의 MMP에 희석시켜 주입하고 공기 분위기 하에서 1시간 추가 반응시켜 고분자 화합물을 제조하였다. 이때 제조된 고분자 화합물의 분자량은 7300 이었다.
36.5 g, 21.9 g, 36.5 g, 2.5 g and 2.5 g of glycidyl methacrylate, methacrylic acid, styrene, benzyl methacrylate and cyclohexyl methacrylate were dissolved in an excess amount of methyl-3-methoxy propionate ), And the temperature is raised to 60 ° C. 12 g of 2,6'-azobis (2,4-dimethyl valeronitrile, Wako) as an initiator was dissolved in a small amount of MMP and then injected into a monomer mixture solution heated at 60 ° C. for 16 hours under nitrogen atmosphere 0.5 g of BHT was diluted in a small amount of MMP, and the resultant mixture was further reacted under air atmosphere for 1 hour to prepare a polymer compound. The molecular weight of the prepared polymer compound was 7300.

<실시예 1>&Lt; Example 1 >

합성예 1에서 얻어진 고분자 화합물 20 중량부(고형분을 기준으로 50%), 중합성 화합물로서 디펜타에리스리톨 헥사아크릴레이트(dipentaerythritol hexaacrylate) 18 중량부(고형분을 기준으로 45%), 광중합 개시제로 BASF사의 OXE-022 중량부(고형분을 기준으로 5%), 광흡수제로 2-((9-(2-에틸헥실)-9H-카바졸-3-릴)메틸렌)말로니트릴 1 중량부를 유기용매인 MMP를 넣어 전체 총합이 100 중량부가 되도록 한 뒤 쉐이커를 이용하여 3시간 동안 혼합시킨 용액을 5마이크론 필터로 수득하여 사용하였다.20 parts by weight (50% based on the solid content) of the polymer compound obtained in Synthesis Example 1, 18 parts by weight (45% based on the solid content) of dipentaerythritol hexaacrylate as a polymerizable compound, 1 part by weight of 2 - ((9- (2-ethylhexyl) -9H-carbazol-3-yl) methylene) malononitrile as a light absorber was dissolved in an organic solvent MMP And the mixture was stirred for 3 hours using a shaker to obtain a 5-micron filter.

상기 감광성 수지 조성물을 이용하여 스핀코팅 방법으로 도포하여 균일한 박막을 형성한 후 100℃ 에서 200초 동안 프리베이크 공정을 수행하여 용매를 휘발시킨다. 건조된 박막의 두께는 약 2μm 였다. 이후 폭 10 μm의 정사각형 차광 패턴을 가진 포토 마스크를 이용하여 고압수은 램프 하에서 노광 시켰다. 상기 노광 된 기판을 25℃의 온도에서 2.35%의 TMAH(수산화테트라메틸암모늄) 수용액에서 ㄷ디핑(Dipping) 방식으로 현상한 후, 순수로 세정하고 에어 블로잉에 의해 건조시켰다. 이후 220℃의 컨벡션 오븐에서 20분간 방치하여 홀 패턴이 형성된 박막을 얻었다.The photosensitive resin composition is applied by a spin coating method to form a uniform thin film, followed by pre-baking at 100 ° C for 200 seconds to volatilize the solvent. The thickness of the dried thin film was about 2 탆. Thereafter, a photomask having a square shielding pattern with a width of 10 mu m was used to expose under a high-pressure mercury lamp. The exposed substrate was developed with a 2.35% aqueous solution of TMAH (tetramethylammonium hydroxide) at a temperature of 25 캜 by dipping, washed with pure water, and dried by air blowing. Thereafter, the film was left in a convection oven at 220 캜 for 20 minutes to obtain a thin film having a hole pattern.

상기 실험에서 얻어진 박막의 표면 상태와 홀 패턴의 형상을 관찰하기 위해 전자주사 현미경을 이용해 확대 이미지를 획득했다. 또한 자외선, 가시광선 분광계를 이용하여 가시광선 영역에서의 투과도를 측정하였다.
In order to observe the surface state of the thin film and the shape of the hole pattern obtained in the above experiment, an enlarged image was obtained using a scanning electron microscope. Also, the transmittance in the visible region was measured using an ultraviolet ray and a visible ray spectrometer.

<실시예 2>&Lt; Example 2 >

상기 <실시예 1>에서 2-((9-(2-에틸헥실)-9H-카바졸-3-릴)메틸렌)말로니트릴 대신 같은 중량부의 2-시아노-3-(9-(2-에틸헥실)-9H-카바졸-3-릴)아크릴산을 이용한 것을 제외하고는 <실시예 1>과 동일하다.
The same amount of 2-cyano-3- (9- (2-ethylhexyl) -9H-carbazol-3-yl) methylene) malononitrile was used in place of 2 - Ethylhexyl) -9H-carbazol-3-yl) acrylic acid was used as the initiator.

<실시예 3>&Lt; Example 3 >

상기 <실시예 1>에서 2-((9-(2-에틸헥실)-9H-카바졸-3-릴)메틸렌)말로니트릴 대신 같은 중량부의 2-((2-시아노-3-(4-(디메틸아미노)페닐)아크릴로일)옥시)프로판-1,3-디메틸 에테르를 이용한 것을 제외하고는 <실시예 1>과 동일하다.
The same parts by weight of 2 - ((2-cyano-3- (4 (methylsulfanyl) - (dimethylamino) phenyl) acryloyl) oxy) propane-1,3-dimethyl ether.

<실시예 4><Example 4>

상기 <실시예 1>에서 2-((9-(2-에틸헥실)-9H-카바졸-3-릴)메틸렌)말로니트릴 를 1 중량부 대신 0.5 중량부를 이용한 것을 제외하고는 <실시예 1>과 동일하다.
Except that 0.5 part by weight of 2 - ((9- (2-ethylhexyl) -9H-carbazol-3-yl) methylene) malononitrile was used instead of 1 part by weight in Example 1, &Gt;.

<실시예 5>&Lt; Example 5 >

상기 <실시예 1>에서 2-((9-(2-에틸헥실)-9H-카바졸-3-릴)메틸렌)말로니트릴 를 1 중량부 대신 0.2 중량부를 이용한 것을 제외하고는 <실시예 1>과 동일하다.
Except that 0.2 part by weight of 2 - ((9- (2-ethylhexyl) -9H-carbazol-3-yl) methylene) malononitrile was used instead of 1 part by weight in Example 1, &Gt;.

<비교예 1>&Lt; Comparative Example 1 &

비교 평가를 위하여 상기 <실시예 1>에서 광흡수제를 이용하지 않은 것을 제외하고는 <실시예 1>과 동일하다.
Example 1 is the same as Example 1 except that the light absorber is not used in the <Example 1> for the comparative evaluation.

<실험예 1> 홀 형상 비교<Experimental Example 1> Comparison of hole shapes

상기 실시예 1~5 및 비교예 1의 홀 패턴 형상의 전자주사 현미경을 이용한 확대 이미지를 도 1 및 도 2에 나타내었다. 1 and 2 show an enlarged image of the hole pattern shape electron microscope of Examples 1 to 5 and Comparative Example 1, respectively.

도 1 및 도 2에서 볼 수 있듯이 본 출원의 일 실시상태에 따른 광흡수제를 포함하는 감광성 수지 조성물은 광흡수제를 포함하지 않은 조성물에 비해서 작은 크기의 홀도 잘 형성되었으며, 빛의 회절 무늬를 갖지 않음을 알 수 있다. 또한 광흡수제의 양에 따라서 홀의 형상의 뚜렷함과 회절 무늬의 정도가 영향을 받음을 알 수 있다.
As shown in FIGS. 1 and 2, the photosensitive resin composition containing the light absorber according to one embodiment of the present application has a hole with a smaller size than that of the composition not containing the light absorber, and has a diffraction pattern of light . It can be seen that the sharpness of the shape of the hole and the degree of the diffraction pattern are influenced by the amount of the light absorbing agent.

이는 본 발명에 따른 광흡수제의 사용 유무에 따라서 미세 패턴의 형성 능력이 달라짐을 확인할 것이다. 도 1 및 도 2를 보면, 실시예 1 내지 4의 경우는 미세홀이 잘 형성되었고, 실시예 5의 경우에는 광흡수제의 양이 적어서 회절이 발생하여 홀이 작게 형성되었지만, 광흡수제를 전혀 사용하지 않은 비교예 1의 경우에는 미세 패턴이 잘 형성되지 않는다.
It is confirmed that the capability of forming a fine pattern varies depending on the use of the light absorbent according to the present invention. 1 and 2, the fine holes were well formed in Examples 1 to 4, and the amount of the light absorber was small in Example 5, so that diffraction occurred to form small holes. However, In the case of Comparative Example 1, which is not provided, a fine pattern is not formed well.

<실험예 2> 투과도 비교&Lt; Experimental Example 2 >

상기 실시예 1~5 및 비교예 1의 투과도를 측정하여 하기 표 1에 나타내었다. 또한, 전열처리 후 투과도를 도 3에, 후열처리 후 투과도를 도 4에 나타내었다. The transmittances of Examples 1 to 5 and Comparative Example 1 were measured and are shown in Table 1 below. The permeability after the pre-heat treatment is shown in FIG. 3, and the transmittance after the post-heat treatment is shown in FIG.

상기 투과도의 측정은 자외선-적외선 분광기(UV-Vis spectroscopy)를 이용하였으며, 0.45 mm 투명 유리에 후열 처리 공정 이후 조건으로 2 μm의 막을 형성하여 측정하였다.
The transmittance was measured using a UV-Vis spectroscopy and a 2 μm film was formed on a 0.45 mm transparent glass after the post-heat treatment.

[표 1][Table 1]

Figure 112014057046898-pat00001
Figure 112014057046898-pat00001

또한 상기 [표 1]과 도 3 및 도 4에서 볼 수 있듯이 본 출원의 일 실시상태에 따른 감광성 수지 조성물은 광식각 공정 후에 투명하기 때문에, 투명 유기막 재료로 이용될 수 있다. 본 출원의 감광성 수지 조성물은 가시광선 영역의 흡광도를 가지는 광흡수제를 포함하기 때문에 노광 전, 경우에 따라서는 노광 후에도 가시 광선 영역에서 투과도가 낮다. 특히 380 내지 450 nm 영역에서 흡광도를 지니기 때문에 황색 계통의 색을 지닌다. 그러나 일반적인 230 ℃ 에서의 후열처리 공정에서 광흡수제가 쉽게 분해되기 때문에 광 흡수가 없어져서 투명성을 가지게 되고, 투명 재료로서 이용될 수 있다. 재료의 전체적인 투명도는 98% 이상으로서 광흡수제를 포함하지 않은 샘플과 상이하지 않다.
Further, as shown in [Table 1], FIG. 3 and FIG. 4, the photosensitive resin composition according to one embodiment of the present application is transparent after the photolithography process and can be used as a transparent organic film material. Since the photosensitive resin composition of the present application contains a light absorber having an absorbance in the visible light region, the transmittance in the visible light region is low before and sometimes after exposure. Especially, it has yellowish color because it has absorbance in the range of 380 to 450 nm. However, since the light absorber is easily decomposed in a post-heat treatment process at 230 deg. C, light absorption is lost and transparency is obtained, and the material can be used as a transparent material. The overall transparency of the material is at least 98% and is not different from the sample without the light absorber.

본 발명은 최종 공정인 후열처리 이후 투명한 것이 바람직하다. 본 발명에 따르면, 광흡수제를 넣어주었는데도 패턴 형성 공정 중에 광흡수제가 분해되므로 최종 제품의 투과도에는 문제가 없음을 확인하였다.
It is preferable that the present invention is transparent after the post-heat treatment which is the final process. According to the present invention, it was confirmed that the light absorber was decomposed during the pattern formation process even though the light absorber was added, so that there was no problem in the transparency of the final product.

본 출원이 속한 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 상기 내용을 바탕으로 본 출원의 범주 내에서 다양한 응용 및 변형을 행하는 것이 가능할 것이다.It will be understood by those skilled in the art that various changes in form and details may be made therein without departing from the spirit and scope of the invention as defined by the appended claims.

이상으로 본 출원의 특정한 부분을 상세히 기술하였는 바, 당업계의 통상의 지식을 가진 자에게 있어서 이러한 구체적인 기술은 단지 바람직한 실시상태일 뿐이며, 이에 본 출원의 범위가 제한되는 것이 아닌 점은 명백하다. 따라서, 본 출원의 실질적인 범위는 첨부된 청구항과 그의 등가물에 의하여 정의된다고 할 것이다.
Having described specific portions of the present application in detail, it will be apparent to those skilled in the art that such specific embodiments are merely preferred embodiments and that the scope of the present application is not limited thereto. Accordingly, the actual scope of the present application will be defined by the appended claims and their equivalents.

Claims (19)

고분자 화합물;
중합성 화합물;
광중합 개시제;
180℃ 이상의 온도에서 분해되는 광흡수제; 및
용매를 포함하며,
상기 광흡수제는 2-((9-(2-에틸헥실)-9H-카바졸-3-릴)메틸렌)말로니트릴, 2-시아노-3-(9-(2-에틸헥실)-9H-카바졸-3-릴)아크릴산 및 2-((2-시아노-3-(4-(디메틸아미노)페닐)아크릴로일)옥시)프로판-1,3-디메틸 에테르로 이루어지는 군에서 선택되는 1종 또는 2종 이상인 것인 투명 유기막 형성용 감광성 수지 조성물.
Polymer compound;
Polymerizable compounds;
A photopolymerization initiator;
A light absorber decomposed at a temperature of 180 캜 or more; And
A solvent,
The light absorber may be selected from the group consisting of 2 - ((9- (2-ethylhexyl) -9H-carbazol-3-yl) methylene) Acrylate and 2 - ((2-cyano-3- (4- (dimethylamino) phenyl) acryloyl chloride in the presence of 2-cyano- 1) oxy) propane-1,3-dimethyl ether. The photosensitive resin composition for forming a transparent organic film according to claim 1,
청구항 1에 있어서,
상기 광흡수제는 300~500nm에서 흡광도를 가지는 것을 특징으로 하는 투명 유기막 형성용 감광성 수지 조성물.
The method according to claim 1,
Wherein the light absorbing agent has an absorbance at 300 to 500 nm.
삭제delete 청구항 1에 있어서,
상기 광흡수제의 함량은 조성물 총 중량 기준으로 0.02 중량% 내지 2 중량%인 것을 특징으로 하는 투명 유기막 형성용 감광성 수지 조성물.
The method according to claim 1,
Wherein the content of the light absorbing agent is 0.02 wt% to 2 wt% based on the total weight of the composition.
청구항 1에 있어서,
상기 고분자 화합물은 아크릴레이트 모노머, 메타크릴레이트 모노머, 스티렌 모노머 및 에폭시 모노머로 이루어진 군에서 선택된 1종 또는 2종 이상의 중합체인 것을 특징으로 하는 투명 유기막 형성용 감광성 수지 조성물.
The method according to claim 1,
Wherein the polymer compound is at least one polymer selected from the group consisting of acrylate monomers, methacrylate monomers, styrene monomers and epoxy monomers.
청구항 1에 있어서,
상기 고분자 화합물의 중량평균 분자량은 4,000 내지 100,000인 것을 특징으로 하는 투명 유기막 형성용 감광성 수지 조성물.
The method according to claim 1,
Wherein the weight average molecular weight of the polymer compound is 4,000 to 100,000.
청구항 1에 있어서,
상기 고분자 화합물의 함량은 감광성 수지 조성물 총 중량을 기준으로 8 중량% 내지 32 중량% 인 것을 특징으로 하는 투명 유기막 형성용 감광성 수지 조성물.
The method according to claim 1,
Wherein the content of the polymer compound is 8 wt% to 32 wt% based on the total weight of the photosensitive resin composition.
청구항 1에 있어서,
상기 중합성 화합물의 함량은 감광성 수지 조성물 총 중량을 기준으로 8 중량% 내지 32 중량% 인 것을 특징으로 하는 투명 유기막 형성용 감광성 수지 조성물.
The method according to claim 1,
Wherein the content of the polymerizable compound is 8 wt% to 32 wt% based on the total weight of the photosensitive resin composition.
청구항 1에 있어서,
상기 광중합 개시제의 함량은 감광성 수지 조성물 총 중량을 기준으로 0.04 중량% 내지 2 중량% 인 것을 특징으로 하는 투명 유기막 형성용 감광성 수지 조성물.
The method according to claim 1,
Wherein the content of the photopolymerization initiator is 0.04 wt% to 2 wt% based on the total weight of the photosensitive resin composition.
청구항 1에 있어서,
상기 용매의 함량은 감광성 수지 조성물 총 중량을 기준으로 40 중량% 내지 80 중량% 인 것을 특징으로 하는 투명 유기막 형성용 감광성 수지 조성물.
The method according to claim 1,
Wherein the content of the solvent is 40 wt% to 80 wt% based on the total weight of the photosensitive resin composition.
청구항 1에 있어서,
상기 감광성 수지 조성물은 착색제를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 투명 유기막 형성용 감광성 수지 조성물.
The method according to claim 1,
The photosensitive resin composition for forming a transparent organic film according to claim 1, wherein the photosensitive resin composition further comprises a colorant.
청구항 11에 있어서,
상기 착색제의 함량은 감광성 수지 조성물 총 중량을 기준으로 0.4 중량% 내지 32 중량% 인 것을 특징으로 하는 투명 유기막 형성용 감광성 수지 조성물.
The method of claim 11,
Wherein the content of the coloring agent is 0.4 wt% to 32 wt% based on the total weight of the photosensitive resin composition.
청구항 1에 있어서,
상기 감광성 수지 조성물은 경화촉진제, 열 중합 억제제, 분산제, 산화방지제, 자외선흡수제, 접착촉진제, 광증감제, 가소제, 충전제 및 계면활성제로 이루어진 군에서 선택되는 하나 또는 둘 이상의 첨가제를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 투명 유기막 형성용 감광성 수지 조성물.
The method according to claim 1,
The photosensitive resin composition further comprises one or two or more additives selected from the group consisting of a curing accelerator, a thermal polymerization inhibitor, a dispersant, an antioxidant, an ultraviolet absorber, an adhesion promoter, a photosensitizer, a plasticizer, a filler and a surfactant By weight based on the total weight of the photosensitive resin composition.
청구항 13에 있어서,
상기 첨가제는 감광성 수지 조성물 총 중량을 기준으로 각각 0.004 중량% 내지 8 중량% 포함되는 것을 특징으로 하는 투명 유기막 형성용 감광성 수지 조성물.
14. The method of claim 13,
Wherein the additive is contained in an amount of 0.004 wt% to 8 wt% based on the total weight of the photosensitive resin composition.
삭제delete 청구항 1, 2 및 4 내지 14 중 어느 한 항의 투명 유기막 형성용 감광성 수지 조성물을 이용하여 제조된 유기막.An organic film produced by using the photosensitive resin composition for forming a transparent organic film according to any one of claims 1, 2 and 4 to 14. 청구항 16의 유기막을 포함하는 액정 표시 소자. A liquid crystal display element comprising the organic film of claim 16. 청구항 1, 2 및 4 내지 14 중 어느 한 항의 투명 유기막 형성용 감광성 수지 조성물을 이용하여 제조된 감광재.A photosensitive material produced by using the photosensitive resin composition for forming a transparent organic film according to any one of claims 1, 2 and 4 to 14. 청구항 18에 있어서,
상기 감광재는 박막 트랜지스터 액정표시장치의 컬러필터 형성용 안료분산형 감광재, 박막 트랜지스터 액정표시장치 또는 유기발광다이오드의 블랙 매트릭스 형성용 감광재, 오버코트층 형성용 감광재, 컬럼 스페이서 감광재 및 인쇄배선반용 감광재로 이루어진 군으로부터 선택되는 것을 특징으로 하는 감광재.
19. The method of claim 18,
The light-sensitive material may be a pigment-dispersed photosensitive material for forming a color filter of a thin film transistor liquid crystal display, a photosensitive material for forming a black matrix of a thin film transistor liquid crystal display or an organic light emitting diode, a photosensitive material for forming an overcoat layer, And a light-sensitive material for a light-sensitive material.
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