JP4656036B2 - Radiation-sensitive composition for forming colored layer and color filter - Google Patents

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JP4656036B2 JP2006268104A JP2006268104A JP4656036B2 JP 4656036 B2 JP4656036 B2 JP 4656036B2 JP 2006268104 A JP2006268104 A JP 2006268104A JP 2006268104 A JP2006268104 A JP 2006268104A JP 4656036 B2 JP4656036 B2 JP 4656036B2
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Description

本発明は、着色層形成用感放射線性組成物、着色層の形成方法、カラーフィルタおよびカラー液晶表示素子に関わり、より詳しくは、透過型あるいは反射型のカラー液晶表示装置、カラー撮像管素子等に用いられるカラーフィルタの製造に有用な着色層の形成に用いられる感放射線性組成物、当該感放射線性組成物を用いる着色層の形成方法、当該感放射線性組成物から形成された着色層を備えるカラーフィルタ、並びに当該カラーフィルタを具備するカラー液晶表示素子に関する。   The present invention relates to a radiation-sensitive composition for forming a colored layer, a method for forming a colored layer, a color filter, and a color liquid crystal display element, and more specifically, a transmissive or reflective color liquid crystal display device, a color image pickup tube element, and the like. A radiation-sensitive composition used for forming a colored layer useful for the production of a color filter used in the present invention, a method for forming a colored layer using the radiation-sensitive composition, and a colored layer formed from the radiation-sensitive composition The present invention relates to a color filter provided, and a color liquid crystal display element including the color filter.

従来、着色層形成用感放射線性組成物を用いてカラーフィルタを製造するに当たっては、通常、基板上あるいは予め所望のパターンの遮光層を形成した基板上に、着色層形成用感放射線組成物の塗膜を形成し、所望のパターン形状を有するフォトマスクを介して放射線を照射(以下、「露光」という。)したのち、現像して未露光部を溶解除去し、その後クリーンオーブンやホットプレートを用いてポストベークすることにより、各色の画素を得る方法(例えば、特許文献1、特許文献2参照。)が知られている。このような方法によりカラーフィルタを製造する場合、一般にスピン方式により基板上に着色層形成用感放射線性組成物を塗布しているが、基板の大型化に伴い、塗布方式はスリット・アンド・スピン方式やスピンレス方式に移行しつつある。   Conventionally, when producing a color filter using a radiation-sensitive composition for forming a colored layer, the radiation-sensitive composition for forming a colored layer is usually formed on a substrate or a substrate on which a light-shielding layer having a desired pattern has been previously formed. After forming a coating film and irradiating with radiation through a photomask having a desired pattern shape (hereinafter referred to as “exposure”), development is performed to dissolve and remove unexposed portions, and then a clean oven or hot plate is used. A method for obtaining pixels of each color by using and post-baking (see, for example, Patent Document 1 and Patent Document 2) is known. When manufacturing a color filter by such a method, the radiation-sensitive composition for forming a colored layer is generally applied onto a substrate by a spin method, but as the substrate becomes larger, the application method is slit and spin. The system and the spinless system are shifting.

特開平2−144502号公報JP-A-2-144502 特開平3−53201号公報JP-A-3-53201

しかし、スリット・アンド・スピン方式やスピンレス方式では、スリットノズルを用いて塗布をすることから、これに起因する塗布性や歩留まりの問題が生じている。即ち、着色層形成用感放射線性組成物によるスリットノズルの汚れが避けられないため、スリットノズルの洗浄工程が必要となっている。この洗浄工程では着色層形成用感放射線性組成物の主溶媒でスリットノズルを洗浄するのが通常であるが、主溶媒に対する溶解性が低いと、ノズル部分に残留した着色層形成用感放射線性組成物が突起となって残り、基板に着色層形成用感放射線性組成物を塗布した際にノズルの進行方向に対して筋が発生するといった問題や、着色層形成用感放射線性組成物の乾燥物が落下して基板に付着し、欠陥となって歩留まりを低下するといった問題を生じる。したがって、着色層形成用感放射線性組成物の乾燥物の溶媒に対する再溶解性(溶媒再溶解性)が重要になってくる。   However, in the slit-and-spin method and the spinless method, since application is performed using a slit nozzle, there are problems in applicability and yield due to this. That is, since the stain of the slit nozzle due to the radiation-sensitive composition for forming the colored layer is unavoidable, a cleaning process for the slit nozzle is necessary. In this washing step, it is usual to wash the slit nozzle with the main solvent of the colored layer forming radiation-sensitive composition, but if the solubility in the main solvent is low, the radiation sensitivity for forming the colored layer remaining in the nozzle portion The composition remains as a projection, and when the radiation-sensitive composition for forming a colored layer is applied to the substrate, a problem such as generation of streaks in the traveling direction of the nozzle, or the radiation-sensitive composition for forming a colored layer The dry matter falls and adheres to the substrate, resulting in a defect that reduces the yield. Therefore, the re-solubility (solvent re-solubility) in the solvent of the dried product of the colored layer forming radiation-sensitive composition becomes important.

一方、着色層形成用感放射線性組成物に高沸点溶媒を併用することにより乾燥物の発生を抑制することができるが、十分蒸発するのが困難となって、スティッキングの発生や真空ベークの時間が長くなることによる生産性の低下を招く。また、高沸点溶媒の選択や添加量によっては、着色層形成用感放射線性組成物を塗布後の真空ベークの工程で、溶媒の蒸発時に組成物中に含まれる微小な気泡が塗膜表面に現れ、乾燥後もそのままクレーター状の欠陥(以下、「突沸孔」という。)として残ってしまうという問題もある。   On the other hand, by using a high-boiling solvent in combination with the radiation-sensitive composition for forming the colored layer, it is possible to suppress the generation of dry matter, but it becomes difficult to sufficiently evaporate, and the occurrence of sticking and vacuum baking This leads to a decrease in productivity due to an increase in length. In addition, depending on the selection and addition amount of the high-boiling solvent, in the vacuum baking process after applying the radiation-sensitive composition for forming the colored layer, minute bubbles contained in the composition at the time of evaporation of the solvent may appear on the coating film surface. There is a problem that it appears and remains as a crater-like defect (hereinafter referred to as “bump hole”) after drying.

本発明の課題は、上述した問題点を解消し、スリットノズル部分に発生した着色層形成用感放射線性組成物の乾燥物の溶媒再溶解性が高く、かつ突沸孔の発生を抑制でき、また感度の高い着色層形成用感放射線性組成物を提供することにある。   The problem of the present invention is to solve the above-mentioned problems, and the solvent resolubility of the dried material of the radiation-sensitive composition for forming a colored layer generated in the slit nozzle portion is high, and the occurrence of bumps can be suppressed. The object is to provide a radiation-sensitive composition for forming a colored layer with high sensitivity.

本発明者らは前記課題を解決するために鋭意検討を重ねた結果、着色層形成用感放射線性組成物に使用する溶媒として酢酸シクロヘキシルを必須成分とする溶媒を用いることにより、感放射線性組成物の乾燥物の溶媒再溶解性が著しく改良され、かつ突沸孔の形成も顕著に抑制できることを見い出し、また感放射線性ラジカル発生剤として特定のオキシム型化合物を使用することにより、感度が高く、低露光量でも画素パターンにエッジの欠けおよびアンダーカットを生じることがないことを見い出して、本発明を成すに至った。   As a result of intensive studies to solve the above-mentioned problems, the present inventors have used a solvent having cyclohexyl acetate as an essential component as a solvent to be used for the radiation-sensitive composition for forming a colored layer. It is found that the solvent re-solubility of the dried product is remarkably improved and the formation of bumps can be remarkably suppressed, and by using a specific oxime type compound as a radiation-sensitive radical generator, the sensitivity is high, It has been found that even if the exposure amount is low, the pixel pattern is not chipped or undercut, and the present invention has been achieved.

本発明は、第一に、
(A)着色剤、(B)アルカリ可溶性樹脂、(C)多官能性単量体、(D)感放射線性ラジカル発生剤および(E)溶媒を含有する感放射線性樹脂組成物であって、(D)感放射線性ラジカル発生剤が、下記式(1)で表される化合物および/または下記式(2)で表される化合物を必須成分とし、(E)溶媒が、酢酸シクロヘキシルを5〜40重量%含有することを特徴とする着色層形成用感放射線性組成物、からなる。
The present invention, first,
A radiation-sensitive resin composition containing (A) a colorant, (B) an alkali-soluble resin, (C) a polyfunctional monomer, (D) a radiation-sensitive radical generator, and (E) a solvent, (D) The radiation-sensitive radical generator contains a compound represented by the following formula (1) and / or a compound represented by the following formula (2) as an essential component, and (E) the solvent contains cyclohexyl acetate in an amount of 5 to 5. A radiation-sensitive composition for forming a colored layer, comprising 40% by weight.

Figure 0004656036
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Figure 0004656036
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〔式(1)および式(2)において、各R1 は相互に独立に炭素数1〜20のアルキル基、炭素数3〜8のシクロアルキル基またはフェニル基を示し、各R2 および各R3 は相互に独立に水素原子、炭素数1〜20のアルキル基、炭素数3〜8のシクロアルキル基、置換されていてもよいフェニル基または炭素数7〜20の1価の脂環式基(但し、前記シクロアルキル基を除く。)を示し、各R4 は相互に独立に炭素数4〜20の1価の含酸素複素環式基、炭素数4〜20の1価の含窒素複素環式基または炭素数4〜20の1価の含硫黄複素環式基を示し、各R5 は相互に独立に水素原子、炭素数1〜12のアルキル基、炭素数3〜8のシクロアルキル基、炭素数1〜12のアルコキシル基または炭素数3〜8のシクロアルキルオキシ基を示し、各nは相互に独立に1〜5の整数、各mは相互に独立に0〜5の整数で、(n+m)≦5であり、pは0〜6の整数である。〕
本発明でいう「着色層」とは、カラーフィルタに用いられる画素および/またはブラックマトリックスからなる層を意味する。
[In Formula (1) and Formula (2), each R 1 independently represents an alkyl group having 1 to 20 carbon atoms, a cycloalkyl group having 3 to 8 carbon atoms, or a phenyl group, and each R 2 and each R 3 are independently of each other a hydrogen atom, an alkyl group having 1 to 20 carbon atoms, a cycloalkyl group having 3 to 8 carbon atoms, an optionally substituted phenyl group, or a monovalent alicyclic group having 7 to 20 carbon atoms. Wherein R 4 is independently of each other a monovalent oxygen-containing heterocyclic group having 4 to 20 carbon atoms or a monovalent nitrogen-containing complex having 4 to 20 carbon atoms. A cyclic group or a monovalent sulfur-containing heterocyclic group having 4 to 20 carbon atoms, wherein each R 5 is independently a hydrogen atom, an alkyl group having 1 to 12 carbon atoms, or a cycloalkyl group having 3 to 8 carbon atoms. Group, a C1-C12 alkoxyl group or a C3-C8 cycloalkyloxy group, Each n is an integer of 1 to 5 independently of each other, each m is an integer of 0 to 5 independently of each other, (n + m) ≦ 5, and p is an integer of 0 to 6. ]
The “colored layer” in the present invention means a layer composed of pixels and / or a black matrix used for a color filter.

本発明は、第二に、
少なくとも下記(1)〜(4)の工程を含むことを特徴とする着色層の形成方法。
(1)前記着色層形成用感放射線性組成物の塗膜を基板上に形成する工程。
(2)前記塗膜の少なくとも一部に露光する工程。
(3)露光後の塗膜を現像する工程。
(4)現像後の塗膜を熱処理する工程。
The present invention secondly,
A method for forming a colored layer, comprising at least the following steps (1) to (4):
(1) The process of forming the coating film of the said radiation sensitive composition for colored layer formation on a board | substrate.
(2) A step of exposing at least a part of the coating film.
(3) The process of developing the coating film after exposure.
(4) The process of heat-processing the coating film after image development.

本発明は、第三に、
前記着色層形成用感放射線性組成物を用いて形成された着色層を備えてなるカラーフィルタ、からなる。
Third, the present invention
A color filter provided with a colored layer formed using the radiation-sensitive composition for forming the colored layer.

本発明は、第四に、
前記カラーフィルタを具備してなるカラー液晶表示素子、からなる。
The present invention fourthly,
A color liquid crystal display device comprising the color filter;

以下に、本発明について詳細に説明する。
着色層形成用感放射線性組成物
−(A)着色剤−
本発明における着色剤は、色調が特に限定されるものではなく、得られるカラーフィルタの用途に応じて適宜選定され、顔料、染料あるいは天然色素の何れでもよい。
カラーフィルタには高純度で高透過性の発色と耐熱性が求められることから、本発明における着色剤としては、発色性が高く、かつ耐熱分解性の高い着色剤が好ましく、通常、有機顔料あるいは無機顔料、特に好ましくは有機顔料および/またはカーボンブラックが用いられる。
前記有機顔料としては、例えば、カラーインデックス(C.I.;The Society of Dyers
and Colourists 社発行) においてピグメント(Pigment)に分類されている化合物、具体的には、下記のようなカラーインデックス(C.I.)番号が付されているものを挙げることができる。
The present invention is described in detail below.
Radiation-sensitive composition for forming colored layer- (A) Colorant-
The colorant in the present invention is not particularly limited in color tone, and is appropriately selected according to the use of the obtained color filter, and may be any of a pigment, a dye, or a natural pigment.
Since the color filter is required to have high purity and highly transparent color development and heat resistance, the colorant in the present invention is preferably a colorant having high color developability and high heat decomposition resistance. Inorganic pigments, particularly preferably organic pigments and / or carbon black are used.
Examples of the organic pigment include a color index (CI; The Society of Dyers).
and Colorists (published by and Colorists)), specifically, compounds having a color index (CI) number as shown below.

C.I.ピグメントイエロー83、C.I.ピグメントイエロー128、C.I.ピグメントイエロー138、C.I.ピグメントイエロー139、C.I.ピグメントイエロー150、C.I.ピグメントイエロー151、C.I.ピグメントイエロー152、C.I.ピグメントイエロー153、C.I.ピグメントイエロー154、C.I.ピグメントイエロー155、C.I.ピグメントイエロー156、C.I.ピグメントイエロー166、C.I.ピグメントイエロー168、C.I.ピグメントイエロー175、C.I.ピグメントイエロー185;
C.I.ピグメントバイオレット19、C.I.ピグメントバイオレット23、C.I.ピグメントバイオレット29、C.I.ピグメントバイオレット32、C.I.ピグメントバイオレット36、C.I.ピグメントバイオレット38;
CI Pigment Yellow 83, CI Pigment Yellow 128, CI Pigment Yellow 138, CI Pigment Yellow 139, CI Pigment Yellow 150, CI Pigment Yellow 151, CI Pigment Yellow 152, CI Pigment Yellow 153, CI Pigment Yellow 154, CI Pigment Yellow 155, CI Pigment Yellow 156, CI Pigment Yellow 166, CI Pigment Yellow 168, CI Pigment Yellow 175, CI Pigment Yellow 185;
CI Pigment Violet 19, CI Pigment Violet 23, CI Pigment Violet 29, CI Pigment Violet 32, CI Pigment Violet 36, CI Pigment Violet 38;

C.I.ピグメントレッド177、C.I.ピグメントレッド202、C.I.ピグメントレッド206、C.I.ピグメントレッド207、C.I.ピグメントレッド208、C.I.ピグメントレッド209、C.I.ピグメントレッド215、C.I.ピグメントレッド216、C.I.ピグメントレッド220、C.I.ピグメントレッド224、C.I.ピグメントレッド226、C.I.ピグメントレッド242、C.I.ピグメントレッド243、C.I.ピグメントレッド245、C.I.ピグメントレッド254、C.I.ピグメントレッド255、C.I.ピグメントレッド264、C.I.ピグメントレッド265; CI Pigment Red 177, CI Pigment Red 202, CI Pigment Red 206, CI Pigment Red 207, CI Pigment Red 208, CI Pigment Red 209, CI Pigment Red 215, CI Pigment Red 216, CI Pigment Red 220, CI Pigment Red 224, CI Pigment Red 226, CI Pigment Red 242, CI Pigment Red 243, CI Pigment Red 245, CI Pigment Red 254, CI Pigment Red 255, CI Pigment Red 264, CI Pigment Red 265;

C.I.ピグメントブルー15、C.I.ピグメントブルー15:3、C.I.ピグメントブルー15:4、C.I.ピグメントブルー15:6、C.I.ピグメントブルー60;
C.I.ピグメントグリーン7、C.I.ピグメントグリーン36;
C.I.ピグメントブラック1、C.I.ピグメントブラック7。
前記有機顔料は、単独でまたは2種以上を混合して使用することができる。
また、前記有機顔料は、例えば、硫酸再結晶法、溶剤洗浄法や、これらの組み合わせ等により精製して使用することができる。
CI Pigment Blue 15, CI Pigment Blue 15: 3, CI Pigment Blue 15: 4, CI Pigment Blue 15: 6, CI Pigment Blue 60;
CI Pigment Green 7, CI Pigment Green 36;
CI Pigment Black 1, CI Pigment Black 7.
The organic pigments can be used alone or in admixture of two or more.
The organic pigment can be used after being purified by, for example, a sulfuric acid recrystallization method, a solvent washing method, or a combination thereof.

また、前記無機顔料としては、例えば、酸化チタン、硫酸バリウム、炭酸カルシウム、亜鉛華、硫酸鉛、黄色鉛、亜鉛黄、べんがら(赤色酸化鉄(III))、カドミウム赤、群青、紺青、酸化クロム緑、コバルト緑、アンバー、チタンブラック、合成鉄黒、カーボンブラック等を挙げることができる。
これらの無機顔料は、単独でまたは2種以上を混合して使用することができる。
Examples of the inorganic pigment include titanium oxide, barium sulfate, calcium carbonate, zinc white, lead sulfate, yellow lead, zinc yellow, red bean curd (red iron oxide (III)), cadmium red, ultramarine blue, bitumen, and chromium oxide. Examples include green, cobalt green, amber, titanium black, synthetic iron black, and carbon black.
These inorganic pigments can be used alone or in admixture of two or more.

本発明における着色層形成用感放射線性組成物が画素を形成するために用いられる場合には、好ましくは、着色剤として1種以上の有機顔料が使用され、またブラックマトリックスを形成するために用いられる場合には、好ましくは、着色剤として2種以上の有機顔料および/またはカーボンブラックが使用される。   When the radiation-sensitive composition for forming a colored layer in the present invention is used to form a pixel, preferably, one or more organic pigments are used as a colorant, and are used to form a black matrix. If used, preferably two or more organic pigments and / or carbon black are used as colorants.

ブラックマトリックスの形成に使用されるカーボンブラックとしては、例えば、SAF、SAF−HS、ISAF、ISAF−LS、ISAF−HS、HAF、HAF−LS、HAF−HS、NAF、FEF、FEF−HS、SRF、SRF−LM、SRF−LS、GPF、ECF、N−339、N−351等のファーネスブラック;FT、MT等のサーマルブラック;アセチレンブラック等を挙げることができる。
これらのカーボンブラックは、単独でまたは2種以上を混合して使用することができる。
Examples of carbon black used for forming a black matrix include SAF, SAF-HS, ISAF, ISAF-LS, ISAF-HS, HAF, HAF-LS, HAF-HS, NAF, FEF, FEF-HS, and SRF. SRF-LM, SRF-LS, GPF, ECF, N-339, N-351 and other furnace blacks; FT, MT and other thermal blacks; acetylene black and the like.
These carbon blacks can be used alone or in admixture of two or more.

本発明において、前記各顔料は、所望により、その粒子表面をポリマーで改質して使用することができる。顔料の粒子表面を改質するポリマーとしては、例えば、特許文献3等に記載されたポリマーや、市販の各種の顔料分散用のポリマーまたはオリゴマー等を挙げることができる。   In the present invention, each of the pigments can be used by modifying the particle surface with a polymer, if desired. Examples of the polymer that modifies the pigment particle surface include the polymers described in Patent Document 3 and the like, and various commercially available polymers or oligomers for dispersing pigments.

特開平8−259876号公報JP-A-8-259876

また、本発明における着色剤は、所望により、分散剤と共に使用することができる。
前記分散剤としては、例えば、カチオン系、アニオン系、ノニオン系、両性、シリコーン系、フッ素系等の界面活性剤を挙げることができる。
前記界面活性剤の具体例としては、ポリオキシエチレンラウリルエーテル、ポリオキシエチレンステアリルエーテル、ポリオキシエチレンオレイルエーテル等のポリオキシエチレンアルキルエーテル類;ポリオキシエチレン n−オクチルフェニルエーテル、ポリオキシエチレン n−ノニルフェニルエーテル等のポリオキシエチレンアルキルフェニルエーテル類;ポリエチレングリコールジラウレート、ポリエチレングリコールジステアレート等のポリエチレングリコールジエステル類;ソルビタン脂肪酸エステル類;脂肪酸変性ポリエステル類;3級アミン変性ポリウレタン類;ポリエチレンイミン類等のほか、以下商品名で、KP(信越化学工業(株)製)、ポリフロー(共栄社化学(株)製)、エフトップ(トーケムプロダクツ社製)、メガファック(大日本インキ化学工業(株)製)、フロラード(住友スリーエム(株)製)、アサヒガード、サーフロン(以上、旭硝子(株)製)、Disperbyk−101、同103、同107、同110、同111、同115、同130、同160、同161、同162、同163、同164、同165、同166、同170、同180、同182、同2000、同2001(以上、ビックケミー・ジャパン(株)製)、ソルスパースS5000、同S12000、同S13240、同S13940、同S17000、同S20000、同S22000、同S24000、同S24000GR、同S26000、同S27000、同S28000(以上、アビシア(株)製)、EFKA46、同47、同48、同745、同4540、同4550、同6750、EFKA LP4008、同4009、同4010、同4015、同4050、同4055、同4560、同4800、EFKA Polymer400、同401、同402、同403、同450、同451、同453(以上、エフカケミカルズ(株)製)等を挙げることができる。
これらの界面活性剤は、単独でまたは2種以上を混合して使用することができる。
界面活性剤の使用量は、着色剤100重量部に対して、通常、50重量部以下、好ましくは0〜30重量部である。
Further, the colorant in the present invention can be used together with a dispersant as desired.
Examples of the dispersant include cationic, anionic, nonionic, amphoteric, silicone, and fluorine surfactants.
Specific examples of the surfactant include polyoxyethylene alkyl ethers such as polyoxyethylene lauryl ether, polyoxyethylene stearyl ether, polyoxyethylene oleyl ether; polyoxyethylene n-octylphenyl ether, polyoxyethylene n- Polyoxyethylene alkylphenyl ethers such as nonylphenyl ether; polyethylene glycol diesters such as polyethylene glycol dilaurate and polyethylene glycol distearate; sorbitan fatty acid esters; fatty acid-modified polyesters; tertiary amine-modified polyurethanes; In addition, the following trade names are KP (manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.), Polyflow (manufactured by Kyoeisha Chemical Co., Ltd.), F-top (manufactured by Tochem Products) Megafuck (Dainippon Ink Chemical Co., Ltd.), Florard (Sumitomo 3M Co., Ltd.), Asahi Guard, Surflon (manufactured by Asahi Glass Co., Ltd.), Disperbyk-101, 103, 107, 110 111, 115, 130, 160, 160, 161, 162, 163, 164, 165, 166, 170, 180, 182, 2000, 2001 (above, Big Chemie Manufactured by Japan Co., Ltd.), Solsperse S5000, S12000, S13240, S13940, S17000, S20000, S22000, S24000, S24000GR, S26000, S27000, S28000 (above, manufactured by Avicia Co., Ltd.) ), EFKA46, 47, 48, 745, 4540 4550, 6750, EFKA LP4008, 4009, 4010, 4015, 4050, 4055, 4560, 4800, EFKA Polymer400, 401, 402, 403, 450, 451, 453 (manufactured by Fuka Chemicals Co., Ltd.).
These surfactants can be used alone or in admixture of two or more.
The usage-amount of surfactant is 50 parts weight or less normally with respect to 100 weight part of coloring agents, Preferably it is 0-30 weight part.

本発明において、感放射線性樹脂組成物は、適宜の方法により調製することができるが、着色剤として顔料を用いる場合、該顔料を溶媒中、分散剤の存在下で、場合により、後述する(B)アルカリ可溶性樹脂と共に、例えばビーズミル、ロールミル等を用いて、粉砕しつつ混合・分散して顔料分散液とし、これを、後述する(B)〜(E)成分等と混合することにより調製することが好ましい。   In the present invention, the radiation-sensitive resin composition can be prepared by an appropriate method. However, when a pigment is used as a colorant, the pigment is used in a solvent in the presence of a dispersant, as will be described later. B) Along with an alkali-soluble resin, for example, a bead mill, a roll mill or the like is mixed and dispersed while being pulverized to obtain a pigment dispersion, which is prepared by mixing with components (B) to (E) described later. It is preferable.

顔料分散液を調製する際の分散剤の使用量は、顔料100重量部に対して、通常、100重量部以下、好ましくは0.5〜100重量部、さらに好ましくは1〜70重量部、特に好ましくは10〜50重量部である。この場合、分散剤の使用量が100重量部を超えると、現像性等が損なわれるおそれがある。
また、顔料分散液を調製する際に使用される溶媒としては、例えば、後述する(E)溶媒と同様のものを挙げることができ、顔料分散液の調製に使用される溶媒は、最終の着色層形成用感放射線性組成物の調製段階で該顔料分散液に添加される溶媒と同一でも異なってもよい。
顔料分散液を調製する際の溶媒の使用量は、顔料100重量部に対して、通常、500〜1,000重量部、好ましくは700〜900重量部である。
The amount of the dispersant used in preparing the pigment dispersion is usually 100 parts by weight or less, preferably 0.5 to 100 parts by weight, more preferably 1 to 70 parts by weight, particularly 100 parts by weight of pigment. Preferably it is 10-50 weight part. In this case, if the amount of the dispersant used exceeds 100 parts by weight, developability and the like may be impaired.
Moreover, as a solvent used when preparing a pigment dispersion liquid, the thing similar to the (E) solvent mentioned later can be mentioned, for example, The solvent used for preparation of a pigment dispersion liquid is the last coloring. The solvent may be the same as or different from the solvent added to the pigment dispersion in the step of preparing the radiation-sensitive composition for layer formation.
The amount of the solvent used in preparing the pigment dispersion is usually 500 to 1,000 parts by weight, preferably 700 to 900 parts by weight with respect to 100 parts by weight of the pigment.

顔料分散液の調製に際し、ビーズミルを用いて調製する際には、例えば、直径0.5〜10mm程度のガラスビーズやチタニアビーズ等を使用し、顔料、溶媒および分散剤からなる顔料混合液を、好ましくは冷却水等で冷却しながら混合・分散することにより実施することができる。
この場合、ビーズの充填率は、通常、ミル容量の50〜80%であり、顔料混合液の注入量は、通常、ミル容量の20〜50%程度である。また処理時間は、通常、2〜50時間、好ましくは2〜25時間である。
また、ロールミルを用いて調製する際には、例えば、3本ロールミルや2本ロールミル等を使用し、顔料混合液を、好ましくは冷却水等で冷却しながら処理することにより実施することができる。
この場合、ロール間隔は10μm以下であることが好ましく、剪断力は、通常、108 dyn/秒程度である。また処理時間は、通常、2〜50時間、好ましくは2〜25時間である。
When preparing a pigment dispersion using a bead mill, for example, glass beads or titania beads having a diameter of about 0.5 to 10 mm are used, and a pigment mixture composed of a pigment, a solvent and a dispersant is used. Preferably, it can be carried out by mixing and dispersing while cooling with cooling water or the like.
In this case, the filling rate of the beads is usually 50 to 80% of the mill capacity, and the injection amount of the pigment mixture is usually about 20 to 50% of the mill capacity. The treatment time is usually 2 to 50 hours, preferably 2 to 25 hours.
Moreover, when preparing using a roll mill, it can carry out by processing, for example, using a 3 roll mill, a 2 roll mill, etc., preferably cooling a pigment liquid mixture with cooling water etc.
In this case, the roll interval is preferably 10 μm or less, and the shearing force is usually about 10 8 dyn / sec. The treatment time is usually 2 to 50 hours, preferably 2 to 25 hours.

−(B)アルカリ可溶性樹脂−
本発明におけるアルカリ可溶性樹脂としては、(A)着色剤に対してバインダーとして作用し、かつカラーフィルタを製造する際に、その現像処理工程において用いられる現像液、特に好ましくはアルカリ現像液に対して可溶性を有するものであれば、特に限定されるものではないが、例えば、カルボキシル基、フェノール性水酸基、スルホン酸等の酸性官能基を有する重合性不飽和単量体と他の共重合可能な不飽和単量体(以下、「共重合性不飽和単量体」という。)との共重合体を挙げることができる。
-(B) Alkali-soluble resin-
As the alkali-soluble resin in the present invention, (A) acts as a binder for the colorant, and when producing a color filter, it is preferably used for the developer used in the development processing step, particularly preferably for the alkali developer. Although it is not particularly limited as long as it has solubility, for example, a polymerizable unsaturated monomer having an acidic functional group such as a carboxyl group, a phenolic hydroxyl group, and a sulfonic acid and other copolymerizable monomers. Examples thereof include copolymers with saturated monomers (hereinafter referred to as “copolymerizable unsaturated monomers”).

カルボキシル基を有する重合性不飽和単量体(以下、「カルボキシル基含有不飽和単量体」という。)としては、例えば、
(メタ)アクリル酸、クロトン酸、α−クロルアクリル酸、けい皮酸等の不飽和モノカルボン酸類;
マレイン酸、無水マレイン酸、フマル酸、イタコン酸、無水イタコン酸、シトラコン酸、無水シトラコン酸、メサコン酸等の不飽和ジカルボン酸またはその無水物類;
3価以上の不飽和多価カルボン酸またはその無水物類;
こはく酸モノ〔2−(メタ)アクリロイルオキシエチル〕、フタル酸モノ〔2−(メタ)アクリロイルオキシエチル〕等の2価以上の多価カルボン酸のモノ〔(メタ)アクリロイルオキシアルキル〕エステル類;
ω−カルボキシポリカプロラクトンモノ(メタ)アクリレート等の両末端にカルボキシル基と水酸基とを有するポリマーのモノ(メタ)アクリレート類
等を挙げることができる。
Examples of the polymerizable unsaturated monomer having a carboxyl group (hereinafter referred to as “carboxyl group-containing unsaturated monomer”) include:
Unsaturated monocarboxylic acids such as (meth) acrylic acid, crotonic acid, α-chloroacrylic acid, cinnamic acid;
Unsaturated dicarboxylic acids such as maleic acid, maleic anhydride, fumaric acid, itaconic acid, itaconic anhydride, citraconic acid, citraconic anhydride, mesaconic acid or the like;
A trivalent or higher unsaturated polycarboxylic acid or anhydride thereof;
Mono [(meth) acryloyloxyalkyl] esters of divalent or higher polyvalent carboxylic acids such as succinic acid mono [2- (meth) acryloyloxyethyl] and phthalic acid mono [2- (meth) acryloyloxyethyl];
Examples thereof include mono (meth) acrylates of polymers having a carboxyl group and a hydroxyl group at both ends, such as ω-carboxypolycaprolactone mono (meth) acrylate.

これらのカルボキシル基含有不飽和単量体のうち、特に、(メタ)アクリル酸、こはく酸モノ〔2−(メタ)アクリロイルオキシエチル〕、ω−カルボキシポリカプロラクトンモノ(メタ)アクリレート等が好ましい。
前記カルボキシル基含有不飽和単量体は、単独でまたは2種以上を混合して使用することができる。
Among these carboxyl group-containing unsaturated monomers, (meth) acrylic acid, succinic acid mono [2- (meth) acryloyloxyethyl], ω-carboxypolycaprolactone mono (meth) acrylate and the like are particularly preferable.
The said carboxyl group-containing unsaturated monomer can be used individually or in mixture of 2 or more types.

また、フェノール性水酸基を有する重合性不飽和単量体としては、例えば、o−ヒドロキシスチレン、m−ヒドロキシスチレン、p−ヒドロキシスチレン、o−ヒドロキシ−α−メチルスチレン、m−ヒドロキシ−α−メチルスチレン、p−ヒドロキシ−α−メチルスチレン、N−o−ヒドロキシフェニルマレイミド、N−m−ヒドロキシフェニルマレイミド、N−p−ヒドロキシフェニルマレイミド等を挙げることができる。
これらのフェノール性水酸基を有する重合性不飽和単量体は、単独でまたは2種以上を混合して使用することができる。
また、スルホン酸基を有する重合性不飽和単量体としては、例えば、イソプレンスルホン酸、p−スチレンスルホン酸等を挙げることができる。
これらのスルホン酸基を有する重合性不飽和単量体は、単独でまたは2種以上を混合して使用することができる。
Examples of the polymerizable unsaturated monomer having a phenolic hydroxyl group include o-hydroxystyrene, m-hydroxystyrene, p-hydroxystyrene, o-hydroxy-α-methylstyrene, m-hydroxy-α-methyl. Examples thereof include styrene, p-hydroxy-α-methylstyrene, N-o-hydroxyphenylmaleimide, Nm-hydroxyphenylmaleimide, Np-hydroxyphenylmaleimide and the like.
These polymerizable unsaturated monomers having a phenolic hydroxyl group can be used alone or in admixture of two or more.
Examples of the polymerizable unsaturated monomer having a sulfonic acid group include isoprene sulfonic acid and p-styrene sulfonic acid.
These polymerizable unsaturated monomers having a sulfonic acid group can be used alone or in admixture of two or more.

次に、共重合性不飽和単量体としては、例えば、
ポリスチレン、ポリメチル(メタ)アクリレート、ポリ−n−ブチル(メタ)アクリレート、ポリシロキサン等の重合体分子鎖の末端にモノ(メタ)アクリロイル基を有するマクロモノマー(以下、単に「マクロモノマー」という。)類:
N−フェニルマレイミド、N−o−メチルフェニルマレイミド、N−m−メチルフェニルマレイミド、N−p−メチルフェニルマレイミド、N−o−メトキシフェニルマレイミド、N−m−メトキシフェニルマレイミド、N−p−メトキシフェニルマレイミド等のN−(置換)アリールマレイミドや、N−シクロヘキシルマレイミド等のN−位置換マレイミド類;
スチレン、α−メチルスチレン、o−ビニルトルエン、m−ビニルトルエン、p−ビニルトルエン、p−クロルスチレン、o−メトキシスチレン、m−メトキシスチレン、p−メトキシスチレン、o−ビニルベンジルメチルエーテル、m−ビニルベンジルメチルエーテル、p−ビニルベンジルメチルエーテル、o−ビニルベンジルグリシジルエーテル、m−ビニルベンジルグリシジルエーテル、p−ビニルベンジルグリシジルエーテル等の芳香族ビニル化合物;
インデン、1−メチルインデン等のインデン類;
Next, as the copolymerizable unsaturated monomer, for example,
A macromonomer having a mono (meth) acryloyl group at the end of a polymer molecular chain such as polystyrene, polymethyl (meth) acrylate, poly-n-butyl (meth) acrylate, polysiloxane or the like (hereinafter simply referred to as “macromonomer”). Class:
N-phenylmaleimide, N-o-methylphenylmaleimide, Nm-methylphenylmaleimide, Np-methylphenylmaleimide, N-o-methoxyphenylmaleimide, Nm-methoxyphenylmaleimide, Np-methoxy N- (substituted) arylmaleimide such as phenylmaleimide and N-substituted maleimides such as N-cyclohexylmaleimide;
Styrene, α-methylstyrene, o-vinyltoluene, m-vinyltoluene, p-vinyltoluene, p-chlorostyrene, o-methoxystyrene, m-methoxystyrene, p-methoxystyrene, o-vinylbenzylmethyl ether, m -Aromatic vinyl compounds such as vinyl benzyl methyl ether, p-vinyl benzyl methyl ether, o-vinyl benzyl glycidyl ether, m-vinyl benzyl glycidyl ether, p-vinyl benzyl glycidyl ether;
Indenes such as indene and 1-methylindene;

メチル(メタ)アクリレート、エチル(メタ)アクリレート、n−プロピル(メタ)アクリレート、i−プロピル(メタ)アクリレート、n−ブチル(メタ)アクリレート、i−ブチル(メタ)アクリレート、sec−ブチル(メタ)アクリレート、t−ブチル(メタ)アクリレート、2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート、2−ヒドロキシプロピル(メタ)アクリレート、3−ヒドロキシプロピル(メタ)アクリレート、2−ヒドロキシブチル(メタ)アクリレート、3−ヒドロキシブチル(メタ)アクリレート、4−ヒドロキシブチル(メタ)アクリレート、アリル(メタ)アクリレート、ベンジル(メタ)アクリレート、シクロヘキシル(メタ)アクリレート、フェニル(メタ)アクリレート、2−メトキシエチル(メタ)アクリレート、2−フェノキシエチル(メタ)アクリレート、メトキシジエチレングルコール(メタ)アクリレート、メトキシトリエチレングルコール(メタ)アクリレート、メトキシプロピレングルコール(メタ)アクリレート、メトキシジプロピレングルコール(メタ)アクリレート、イソボルニル(メタ)アクリレート、ジシクロペンタジエニル(メタ)アクリレート、2−ヒドロキシ−3−フェノキシプロピル(メタ)アクリレート、グリセロールモノ(メタ)アクリレート等の不飽和カルボン酸エステル類; Methyl (meth) acrylate, ethyl (meth) acrylate, n-propyl (meth) acrylate, i-propyl (meth) acrylate, n-butyl (meth) acrylate, i-butyl (meth) acrylate, sec-butyl (meth) Acrylate, t-butyl (meth) acrylate, 2-hydroxyethyl (meth) acrylate, 2-hydroxypropyl (meth) acrylate, 3-hydroxypropyl (meth) acrylate, 2-hydroxybutyl (meth) acrylate, 3-hydroxybutyl (Meth) acrylate, 4-hydroxybutyl (meth) acrylate, allyl (meth) acrylate, benzyl (meth) acrylate, cyclohexyl (meth) acrylate, phenyl (meth) acrylate, 2-methoxyethyl (meth) acrylate Rate, 2-phenoxyethyl (meth) acrylate, methoxydiethylene glycol (meth) acrylate, methoxytriethylene glycol (meth) acrylate, methoxypropylene glycol (meth) acrylate, methoxydipropylene glycol (meth) acrylate, isobornyl Unsaturated carboxylic esters such as (meth) acrylate, dicyclopentadienyl (meth) acrylate, 2-hydroxy-3-phenoxypropyl (meth) acrylate, glycerol mono (meth) acrylate;

2−アミノエチル(メタ)アクリレート、2−ジメチルアミノエチル(メタ)アクリレート、2−アミノプロピル(メタ)アクリレート、2−ジメチルアミノプロピルアクリレート、3−アミノプロピル(メタ)アクリレート、3−ジメチルアミノプロピル(メタ)アクリレート等の不飽和カルボン酸アミノアルキルエステル類;
グリシジル(メタ)アクリレート等の不飽和カルボン酸グリシジルエステル類;
酢酸ビニル、プロピオン酸ビニル、酪酸ビニル、安息香酸ビニル等のカルボン酸ビニルエステル類;
ビニルメチルエーテル、ビニルエチルエーテル、アリルグリシジルエーテル等の不飽和エーテル類;
(メタ)アクリロニトリル、α−クロロアクリロニトリル、シアン化ビニリデン等のシアン化ビニル化合物;
(メタ)アクリルアミド、α−クロロアクリルアミド、N−2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリルアミド等の不飽和アミド類;
1,3−ブタジエン、イソプレン、クロロプレン等の脂肪族共役ジエン類
等を挙げることができる。
2-aminoethyl (meth) acrylate, 2-dimethylaminoethyl (meth) acrylate, 2-aminopropyl (meth) acrylate, 2-dimethylaminopropyl acrylate, 3-aminopropyl (meth) acrylate, 3-dimethylaminopropyl ( Unsaturated carboxylic acid aminoalkyl esters such as (meth) acrylate;
Unsaturated carboxylic acid glycidyl esters such as glycidyl (meth) acrylate;
Carboxylic acid vinyl esters such as vinyl acetate, vinyl propionate, vinyl butyrate, vinyl benzoate;
Unsaturated ethers such as vinyl methyl ether, vinyl ethyl ether, and allyl glycidyl ether;
Vinyl cyanide compounds such as (meth) acrylonitrile, α-chloroacrylonitrile, vinylidene cyanide;
Unsaturated amides such as (meth) acrylamide, α-chloroacrylamide, N-2-hydroxyethyl (meth) acrylamide;
Examples thereof include aliphatic conjugated dienes such as 1,3-butadiene, isoprene and chloroprene.

これらの共重合性不飽和単量体のうち、マクロモノマー類、N−位置換マレイミド類、2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート、ベンジル(メタ)アクリレート、グリセロールモノ(メタ)アクリレート等が好ましい。また、マクロモノマー類の中ではポリスチレンマクロモノマー、ポリメチル(メタ)アクリレートマクロモノマーが特に好ましく、N−位置換マレイミド類の中ではN−フェニルマレイミド、N−シクロヘキシルマレイミドが特に好ましい。
前記共重合性不飽和単量体は、単独でまたは2種以上を混合して使用することができる。
Of these copolymerizable unsaturated monomers, macromonomers, N-substituted maleimides, 2-hydroxyethyl (meth) acrylate, benzyl (meth) acrylate, glycerol mono (meth) acrylate and the like are preferable. Among the macromonomers, polystyrene macromonomers and polymethyl (meth) acrylate macromonomers are particularly preferable, and among the N-substituted maleimides, N-phenylmaleimide and N-cyclohexylmaleimide are particularly preferable.
The said copolymerizable unsaturated monomer can be used individually or in mixture of 2 or more types.

本発明における好ましいアルカリ可溶性樹脂としては、例えば、カルボキシル基含有不飽和単量体と共重合性不飽和単量体との共重合体(以下、単に「カルボキシル基含有共重合体」という。)を挙げることができる。
カルボキシル基含有共重合体としては、(a)カルボキシル基含有不飽和単量体と、(b)ポリスチレンマクロモノマー、ポリメチル(メタ)アクリレートマクロモノマー、N−フェニルマレイミド、N−シクロヘキシルマレイミド、2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート、ベンジル(メタ)アクリレートおよびグリセロール(メタ)アクリレートの群から選ばれる少なくとも1種とを含有し、(c)場合によりスチレン、α−メチルスチレン、メチル(メタ)アクリレート、アリル(メタ)アクリレートおよびフェニル(メタ)アクリレートの群から選ばれる少なくとも1種をさらに含有する単量体混合物の共重合体(以下、「カルボキシル基含有共重合体(I)」という。)が好ましく、特に、(a)(メタ)アクリル酸を必須成分とし、場合により、こはく酸モノ〔2−(メタ)アクリロイルオキシエチル〕および/またはω−カルボキシポリカプロラクトンモノ(メタ)アクリレートをさらに含有するカルボキシル基含有不飽和単量体と、(b)ポリスチレンマクロモノマー、ポリメチル(メタ)アクリレートマクロモノマー、N−フェニルマレイミド、N−シクロヘキシルマレイミド、2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート、ベンジル(メタ)アクリレートおよびグリセロール(メタ)アクリレートの群から選ばれる少なくとも1種とを含有し、(c)場合によりスチレン、α−メチルスチレン、メチル(メタ)アクリレート、アリル(メタ)アクリレートおよびフェニル(メタ)アクリレートの群から選ばれる少なくとも1種をさらに含有する単量体混合物の共重合体(以下、「カルボキシル基含有共重合体(II)」という。)が好ましい。
As a preferable alkali-soluble resin in the present invention, for example, a copolymer of a carboxyl group-containing unsaturated monomer and a copolymerizable unsaturated monomer (hereinafter simply referred to as “carboxyl group-containing copolymer”). Can be mentioned.
As the carboxyl group-containing copolymer, (a) a carboxyl group-containing unsaturated monomer, (b) a polystyrene macromonomer, a polymethyl (meth) acrylate macromonomer, N-phenylmaleimide, N-cyclohexylmaleimide, 2-hydroxy And at least one selected from the group consisting of ethyl (meth) acrylate, benzyl (meth) acrylate, and glycerol (meth) acrylate, and (c) optionally styrene, α-methylstyrene, methyl (meth) acrylate, allyl ( A copolymer of a monomer mixture further containing at least one selected from the group of (meth) acrylate and phenyl (meth) acrylate (hereinafter referred to as “carboxyl group-containing copolymer (I)”) is particularly preferable. , (A) (meth) acrylic acid is an essential component Optionally, a carboxyl group-containing unsaturated monomer further containing succinic acid mono [2- (meth) acryloyloxyethyl] and / or ω-carboxypolycaprolactone mono (meth) acrylate, and (b) polystyrene macro Monomer, polymethyl (meth) acrylate macromonomer, N-phenylmaleimide, N-cyclohexylmaleimide, 2-hydroxyethyl (meth) acrylate, benzyl (meth) acrylate and glycerol (meth) acrylate And (c) a monomer mixture further containing at least one selected from the group of styrene, α-methylstyrene, methyl (meth) acrylate, allyl (meth) acrylate and phenyl (meth) acrylate. Copolymer (hereinafter, referred to as "carboxyl group-containing copolymer (II)".) Are preferred.

カルボキシル基含有共重合体(II)の具体例としては、
(メタ)アクリル酸/2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート共重合体、
(メタ)アクリル酸/スチレン/2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート共重合体、(メタ)アクリル酸/2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート/ベンジル(メタ)アクリレート共重合体、
(メタ)アクリル酸/2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート/フェニル(メタ)アクリレート共重合体、
(メタ)アクリル酸/ベンジル(メタ)アクリレート/グリセロールモノ(メタ)アクリレート共重合体、
(メタ)アクリル酸/ベンジル(メタ)アクリレート/ポリスチレンマクロモノマー共重合体、
(メタ)アクリル酸/ベンジル(メタ)アクリレート/ポリメチル(メタ)アクリレートマクロモノマー共重合体、
As specific examples of the carboxyl group-containing copolymer (II),
(Meth) acrylic acid / 2-hydroxyethyl (meth) acrylate copolymer,
(Meth) acrylic acid / styrene / 2-hydroxyethyl (meth) acrylate copolymer, (meth) acrylic acid / 2-hydroxyethyl (meth) acrylate / benzyl (meth) acrylate copolymer,
(Meth) acrylic acid / 2-hydroxyethyl (meth) acrylate / phenyl (meth) acrylate copolymer,
(Meth) acrylic acid / benzyl (meth) acrylate / glycerol mono (meth) acrylate copolymer,
(Meth) acrylic acid / benzyl (meth) acrylate / polystyrene macromonomer copolymer,
(Meth) acrylic acid / benzyl (meth) acrylate / polymethyl (meth) acrylate macromonomer copolymer,

(メタ)アクリル酸/N−フェニルマレイミド/スチレン/ベンジル(メタ)アクリレート共重合体、
(メタ)アクリル酸/N−フェニルマレイミド/α−メチルスチレン/ベンジル(メタ)アクリレート、
(メタ)アクリル酸/N−シクロヘキシルマレイミド/スチレン/ベンジル(メタ)アクリレート共重合体、
(メタ)アクリル酸/N−シクロヘキシルマレイミド/α−メチルスチレン/ベンジル(メタ)アクリレート共重合体、
(メタ)アクリル酸/2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート/ベンジル(メタ)アクリレート/ポリスチレンマクロモノマー共重合体、
(メタ)アクリル酸/2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート/ベンジル(メタ)アクリレート/ポリメチル(メタ)アクリレートマクロモノマー共重合体、
(メタ)アクリル酸/N−フェニルマレイミド/スチレン/ベンジル(メタ)アクリレート/グリセロールモノ(メタ)アクリレート共重合体、
(メタ)アクリル酸/N−フェニルマレイミド/スチレン/2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート/フェニル(メタ)アクリレート/ポリスチレンマクロモノマー共重合体、
(メタ)アクリル酸/N−フェニルマレイミド/スチレン/2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート/フェニル(メタ)アクリレート/ポリメチルメタクリレートマクロモノマー共重合体、
(Meth) acrylic acid / N-phenylmaleimide / styrene / benzyl (meth) acrylate copolymer,
(Meth) acrylic acid / N-phenylmaleimide / α-methylstyrene / benzyl (meth) acrylate,
(Meth) acrylic acid / N-cyclohexylmaleimide / styrene / benzyl (meth) acrylate copolymer,
(Meth) acrylic acid / N-cyclohexylmaleimide / α-methylstyrene / benzyl (meth) acrylate copolymer,
(Meth) acrylic acid / 2-hydroxyethyl (meth) acrylate / benzyl (meth) acrylate / polystyrene macromonomer copolymer,
(Meth) acrylic acid / 2-hydroxyethyl (meth) acrylate / benzyl (meth) acrylate / polymethyl (meth) acrylate macromonomer copolymer,
(Meth) acrylic acid / N-phenylmaleimide / styrene / benzyl (meth) acrylate / glycerol mono (meth) acrylate copolymer,
(Meth) acrylic acid / N-phenylmaleimide / styrene / 2-hydroxyethyl (meth) acrylate / phenyl (meth) acrylate / polystyrene macromonomer copolymer,
(Meth) acrylic acid / N-phenylmaleimide / styrene / 2-hydroxyethyl (meth) acrylate / phenyl (meth) acrylate / polymethylmethacrylate macromonomer copolymer,

(メタ)アクリル酸/こはく酸モノ〔2−(メタ)アクリロイルオキシエチル〕/ベンジル(メタ)アクリレート/グリセロールモノ(メタ)アクリレート共重合体、
(メタ)アクリル酸/こはく酸モノ〔2−(メタ)アクリロイルオキシエチル〕/N−フェニルマレイミド/スチレン/アリル(メタ)アクリレート共重合体、
(メタ)アクリル酸/こはく酸モノ〔2−(メタ)アクリロイルオキシエチル〕/N−フェニルマレイミド/スチレン/ベンジル(メタ)アクリレート共重合体、
(メタ)アクリル酸/こはく酸モノ〔2−(メタ)アクリロイルオキシエチル〕/N−シクロヘキシルマレイミド/スチレン/アリル(メタ)アクリレート共重合体、
(メタ)アクリル酸/こはく酸モノ〔2−(メタ)アクリロイルオキシエチル〕/N−シクロヘキシルマレイミド/スチレン/ベンジル(メタ)アクリレート共重合体、
(メタ)アクリル酸/ω−カルボキシポリカプロラクトンモノ(メタ)アクリレート/N−フェニルマレイミド/スチレン/ベンジル(メタ)アクリレート/グリセロールモノ(メタ)アクリレート共重合体
等を挙げることができる。
(Meth) acrylic acid / succinic acid mono [2- (meth) acryloyloxyethyl] / benzyl (meth) acrylate / glycerol mono (meth) acrylate copolymer,
(Meth) acrylic acid / succinic acid mono [2- (meth) acryloyloxyethyl] / N-phenylmaleimide / styrene / allyl (meth) acrylate copolymer,
(Meth) acrylic acid / succinic acid mono [2- (meth) acryloyloxyethyl] / N-phenylmaleimide / styrene / benzyl (meth) acrylate copolymer,
(Meth) acrylic acid / succinic acid mono [2- (meth) acryloyloxyethyl] / N-cyclohexylmaleimide / styrene / allyl (meth) acrylate copolymer,
(Meth) acrylic acid / succinic acid mono [2- (meth) acryloyloxyethyl] / N-cyclohexylmaleimide / styrene / benzyl (meth) acrylate copolymer,
(Meth) acrylic acid / ω-carboxypolycaprolactone mono (meth) acrylate / N-phenylmaleimide / styrene / benzyl (meth) acrylate / glycerol mono (meth) acrylate copolymer and the like.

カルボキシル基含有共重合体におけるカルボキシル基含有不飽和単量体の共重合割合は、通常、5〜50重量%、好ましくは10〜40重量%である。この場合、カルボキシル基含有不飽和単量体の共重合割合が5重量%未満では、得られる感放射線性組成物のアルカリ現像液に対する溶解性が低下する傾向があり、一方50重量%を超えると、アルカリ現像液に対する溶解性が過大となり、アルカリ現像液により現像する際に、着色層の基板からの脱落や着色層表面の膜荒れを来たしやすくなる傾向がある。   The copolymerization ratio of the carboxyl group-containing unsaturated monomer in the carboxyl group-containing copolymer is usually 5 to 50% by weight, preferably 10 to 40% by weight. In this case, if the copolymerization ratio of the carboxyl group-containing unsaturated monomer is less than 5% by weight, the solubility of the resulting radiation-sensitive composition in an alkaline developer tends to decrease, whereas if it exceeds 50% by weight. In addition, the solubility in an alkali developer becomes excessive, and when developing with an alkali developer, the colored layer tends to drop off from the substrate and the surface of the colored layer tends to be rough.

本発明におけるアルカリ可溶性樹脂のゲルパーミエーションクロマトグラフィー(GPC、溶出溶媒:テトラヒドロフラン)で測定したポリスチレン換算重量平均分子量(以下、「Mw」という。)は、好ましくは3,000〜300,000、さらに好ましくは3,000〜100,000である。
また、本発明におけるアルカリ可溶性樹脂のゲルパーミエーションクロマトグラフィー(GPC、溶出溶媒:テトラヒドロフラン)で測定したポリスチレン換算数平均分子量(以下、「Mn」という。)は、好ましくは3,000〜60,000、さらに好ましくは3,000〜25,000である。
また、本発明におけるアルカリ可溶性樹脂のMwとMnの比(Mw/Mn)は、通常、1〜5、好ましくは1〜4である。
このような特定のMwあるいはMnを有するアルカリ可溶性樹脂を使用することによって、現像性に優れた着色層形成用感放射線性組成物が得られ、それによりシャープなパターンエッジを有する着色層を形成することができるとともに、現像時に未露光部の基板上および遮光層上に残渣、地汚れ、膜残り等が発生し難くなる。
本発明において、アルカリ可溶性樹脂は、単独でまたは2種以上を混合して使用することができる。
The polystyrene-converted weight average molecular weight (hereinafter referred to as “Mw”) measured by gel permeation chromatography (GPC, elution solvent: tetrahydrofuran) of the alkali-soluble resin in the present invention is preferably 3,000 to 300,000, and more preferably Preferably it is 3,000-100,000.
The polystyrene-equivalent number average molecular weight (hereinafter referred to as “Mn”) measured by gel permeation chromatography (GPC, elution solvent: tetrahydrofuran) of the alkali-soluble resin in the present invention is preferably 3,000 to 60,000. More preferably, it is 3,000 to 25,000.
Moreover, the ratio (Mw / Mn) of Mw and Mn of the alkali-soluble resin in the present invention is usually 1 to 5, preferably 1 to 4.
By using such an alkali-soluble resin having a specific Mw or Mn, a radiation-sensitive composition for forming a colored layer having excellent developability can be obtained, thereby forming a colored layer having sharp pattern edges. In addition, residues, background stains, film residues, and the like are less likely to occur on the unexposed substrate and the light shielding layer during development.
In this invention, alkali-soluble resin can be used individually or in mixture of 2 or more types.

本発明におけるアルカリ可溶性樹脂の使用量は、(A)着色剤100重量部に対して、通常、10〜1,000重量部、好ましくは20〜500重量部である。この場合、アルカリ可溶性樹脂の使用量が10重量部未満では、例えば、得られる感放射線性組成物のアルカリ現像性が低下したり、未露光部の基板上あるいは遮光層上に地汚れや膜残りが発生するおそれがあり、一方1,000重量部を超えると、相対的に着色剤濃度が低下するため、薄膜として目的とする色濃度を達成することが困難となるおそれがある。   The usage-amount of the alkali-soluble resin in this invention is 10-1,000 weight part normally with respect to 100 weight part of (A) coloring agents, Preferably it is 20-500 weight part. In this case, when the amount of the alkali-soluble resin used is less than 10 parts by weight, for example, the alkali developability of the resulting radiation-sensitive composition is reduced, or background stains or film residues are left on the unexposed substrate or the light shielding layer. On the other hand, when the amount exceeds 1,000 parts by weight, the colorant concentration is relatively lowered, and it may be difficult to achieve the target color density as a thin film.

−(C)多官能性単量体−
本発明における多官能性単量体は、2個以上の重合性不飽和結合を有する単量体である。
多官能性単量体としては、例えば、
エチレングリコール、プロピレングリコール等のアルキレングリコールのジ(メタ)アクリレート類;
ポリエチレングリコール、ポリプロピレングリコール等のポリアルキレングリコールのジ(メタ)アクリレート類;
グリセリン、トリメチロールプロパン、ペンタエリスリトール、ジペンタエリスリトール等の3価以上の多価アルコールのポリ(メタ)アクリレート類やそれらのジカルボン酸変性物;
ポリエステル、エポキシ樹脂、ウレタン樹脂、アルキド樹脂、シリコーン樹脂、スピラン樹脂等のオリゴ(メタ)アクリレート類;
両末端ヒドロキシポリ−1,3−ブタジエン、両末端ヒドロキシポリイソプレン、両末端ヒドロキシポリカプロラクトン等の両末端ヒドロキシル化重合体のジ(メタ)アクリレート類や、
トリス〔2−(メタ)アクリロイルオキシエチル〕フォスフェート
等を挙げることができる。
-(C) polyfunctional monomer-
The polyfunctional monomer in the present invention is a monomer having two or more polymerizable unsaturated bonds.
As the multifunctional monomer, for example,
Di (meth) acrylates of alkylene glycols such as ethylene glycol and propylene glycol;
Di (meth) acrylates of polyalkylene glycols such as polyethylene glycol and polypropylene glycol;
Poly (meth) acrylates of trihydric or higher polyhydric alcohols such as glycerin, trimethylolpropane, pentaerythritol, dipentaerythritol, etc. and their dicarboxylic acid-modified products;
Oligo (meth) acrylates such as polyester, epoxy resin, urethane resin, alkyd resin, silicone resin, spirane resin;
Di (meth) acrylates of hydroxylated polymers at both ends such as both ends hydroxypoly-1,3-butadiene, both ends hydroxypolyisoprene, both ends hydroxypolycaprolactone,
And tris [2- (meth) acryloyloxyethyl] phosphate.

これらの多官能性単量体のうち、3価以上の多価アルコールのポリ(メタ)アクリレート類やこれらのジカルボン酸変性物、具体的には、トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート等が好ましく、特に、トリメチロールプロパントリアクリレート、ペンタエリスリトールトリアクリレートおよびジペンタエリスリトールヘキサアクリレートが、着色層強度が高く、着色層表面の平滑性に優れ、かつ未露光部の基板上および遮光層上に地汚れ、膜残り等を発生し難い点で好ましい。
本発明において、多官能性単量体は、単独でまたは2種以上を混合して使用することができる。
Among these polyfunctional monomers, poly (meth) acrylates of trihydric or higher polyhydric alcohols and their dicarboxylic acid modified products, specifically, trimethylolpropane tri (meth) acrylate, pentaerythritol tris. (Meth) acrylate, pentaerythritol tetra (meth) acrylate, dipentaerythritol penta (meth) acrylate, dipentaerythritol hexa (meth) acrylate and the like are preferable, and trimethylolpropane triacrylate, pentaerythritol triacrylate and dipentaerythritol are particularly preferable. Hexaacrylate is preferred because it has high strength of the colored layer, excellent smoothness of the surface of the colored layer, and hardly causes scumming or film residue on the unexposed substrate and the light shielding layer.
In this invention, a polyfunctional monomer can be used individually or in mixture of 2 or more types.

本発明における多官能性単量体の使用量は、(B)アルカリ可溶性樹脂100重量部に対して、通常、5〜500重量部、好ましくは20〜300重量部である。この場合、多官能性単量体の使用量が5重量部未満では、着色層の強度や表面平滑性が低下する傾向があり、一方500重量部を超えると、例えば、得られる感放射線性組成物のアルカリ現像性が低下したり、未露光部の基板上あるいは遮光層上に地汚れ、膜残り等が発生しやすくなる傾向がある。   The usage-amount of the polyfunctional monomer in this invention is 5-500 weight part normally with respect to 100 weight part of (B) alkali-soluble resin, Preferably it is 20-300 weight part. In this case, if the amount of the polyfunctional monomer used is less than 5 parts by weight, the strength and surface smoothness of the colored layer tend to be reduced. On the other hand, if it exceeds 500 parts by weight, for example, the resulting radiation-sensitive composition There is a tendency that the alkali developability of the product is lowered, and background stains, film residue, etc. are likely to occur on the substrate in the unexposed area or on the light shielding layer.

本発明においては、多官能性単量体の一部を、1個の重合性不飽和結合を有する単官能性単量体で置き換えることもできる。
前記単官能性単量体としては、例えば、前記(B)アルカリ可溶性樹脂について例示したカルボキシル基含有不飽和単量体、共重合性不飽和単量体や、N−ビニルサクシンイミド、N−ビニルピロリドン、N−ビニルフタルイミド、N−ビニル−2−ピペリドン、N−ビニル−ε−カプロラクタム、N−ビニルピロール、N−ビニルピロリジン、N−ビニルイミダゾール、N−ビニルイミダゾリジン、N−ビニルインドール、N−ビニルインドリン、N−ビニルベンズイミダゾ−ル、N−ビニルカルバゾール、N−ビニルピペリジン、N−ビニルピペラジン、N−ビニルモルホリン、N−ビニルフェノキサジン等のN−ビニル誘導体類;N−(メタ)アクリロイルモルフォリンのほか、市販品として、商品名で、M−5300、M−5400、M−5600(以上、東亞合成(株)製)等を挙げることができる。
これらの単官能性単量体は、単独でまたは2種以上を混合して使用することができる。 単官能性単量体の使用割合は、多官能性単量体と単官能性単量体の合計に対して、通常、90重量%以下、好ましくは50重量%以下である。この場合、単官能性単量体の使用割合が90重量%を超えると、着色層の強度や表面平滑性が低下する傾向がある。
In the present invention, a part of the polyfunctional monomer can be replaced with a monofunctional monomer having one polymerizable unsaturated bond.
Examples of the monofunctional monomer include the carboxyl group-containing unsaturated monomer, copolymerizable unsaturated monomer, N-vinyl succinimide, and N-vinyl exemplified for the (B) alkali-soluble resin. Pyrrolidone, N-vinylphthalimide, N-vinyl-2-piperidone, N-vinyl-ε-caprolactam, N-vinylpyrrole, N-vinylpyrrolidine, N-vinylimidazole, N-vinylimidazolidine, N-vinylindole, N N-vinyl derivatives such as vinylindoline, N-vinylbenzimidazole, N-vinylcarbazole, N-vinylpiperidine, N-vinylpiperazine, N-vinylmorpholine, N-vinylphenoxazine; N- (meth) In addition to acryloylmorpholine, as commercial products, the trade names are M-5300 and M-5400. M-5600 (manufactured by Toagosei Co., Ltd.), and the like can be given.
These monofunctional monomers can be used alone or in admixture of two or more. The proportion of the monofunctional monomer used is usually 90% by weight or less, preferably 50% by weight or less, based on the total of the polyfunctional monomer and the monofunctional monomer. In this case, if the use ratio of the monofunctional monomer exceeds 90% by weight, the strength and surface smoothness of the colored layer tend to be lowered.

−(D)感放射線性ラジカル発生剤−
本発明における感放射線性ラジカル発生剤(以下、「(D)ラジカル発生剤」という。)は、前記式(1)で表される化合物(以下、「オキシム型ラジカル発生剤(1)」という。)および/または前記式(2)で表される化合物(以下、「オキシム型ラジカル発生剤(2)」という。)を必須成分とし、可視光線、紫外線、遠紫外線、電子線、X線等の放射線の露光により、前記(C)多官能性単量体および場合により使用される単官能性単量体の重合を開始しうるラジカルを発生する成分である。
-(D) Radiation sensitive radical generator-
The radiation-sensitive radical generator (hereinafter referred to as “(D) radical generator”) in the present invention is referred to as a compound represented by the above formula (1) (hereinafter referred to as “oxime type radical generator (1)”). ) And / or a compound represented by the above formula (2) (hereinafter referred to as “oxime type radical generator (2)”) as an essential component, such as visible light, ultraviolet light, far ultraviolet light, electron beam, X-ray, etc. It is a component that generates radicals capable of initiating polymerization of the (C) polyfunctional monomer and optionally used monofunctional monomer by exposure to radiation.

式(1)および式(2)において、R1 の炭素数1〜20のアルキル基としては、例えば、メチル基、エチル基、n−プロピル基、i−プロピル基、n−ブチル基、sec−ブチル基、t−ブチル基、n−ペンチル基、n−ヘキシル基、n−ヘプチル基、n−オクチ基、n−ノニル基、n−デシル基、n−ウンデシル基、n−ドデシル基等を挙げることができる。
また、R1 の炭素数3〜8のシクロアルキル基としては、例えば、シクロペンチル基、シクロヘキシル基等を挙げることができる。
In Formula (1) and Formula (2), examples of the alkyl group having 1 to 20 carbon atoms of R 1 include a methyl group, an ethyl group, an n-propyl group, an i-propyl group, an n-butyl group, sec- Examples include butyl group, t-butyl group, n-pentyl group, n-hexyl group, n-heptyl group, n-octyl group, n-nonyl group, n-decyl group, n-undecyl group, n-dodecyl group, etc. be able to.
Further, the cycloalkyl group having a carbon number of R 1 3 to 8, and examples thereof include a cyclopentyl group, a cyclohexyl group.

式(1)および式(2)において、R1 としては、例えば、メチル基、エチル基等が好ましい。 In Formula (1) and Formula (2), R 1 is preferably, for example, a methyl group, an ethyl group, or the like.

式(1)および式(2)において、R2 およびR3 の炭素数1〜20のアルキル基としては、例えば、メチル基、エチル基、n−プロピル基、i−プロピル基、n−ブチル基、sec−ブチル基、t−ブチル基、n−ペンチル基、n−ヘキシル基、n−ヘプチル基、n−オクチ基、n−ノニル基、n−デシル基、n−ウンデシル基、n−ドデシル基等を挙げることができる。
また、R2 およびR3 の炭素数3〜8のシクロアルキル基としては、例えば、シクロペンチル基、シクロヘキシル基等を挙げることができる。
In formula (1) and formula (2), examples of the alkyl group having 1 to 20 carbon atoms of R 2 and R 3 include a methyl group, an ethyl group, an n-propyl group, an i-propyl group, and an n-butyl group. , Sec-butyl group, t-butyl group, n-pentyl group, n-hexyl group, n-heptyl group, n-octyl group, n-nonyl group, n-decyl group, n-undecyl group, n-dodecyl group Etc.
Further, the cycloalkyl group having 3 to 8 carbon atoms R 2 and R 3, examples thereof include a cyclopentyl group, a cyclohexyl group.

2 およびR3 のフェニル基に対する置換基としては、例えば、メチル基、エチル基、n−プロピル基、i−プロピル基、n−ブチル基、sec−ブチル基、t−ブチル基、n−ペンチル基、n−ヘキシル基等の炭素数1〜6のアルキル基;シクロペンチル基、シクロヘキシル基等の炭素数3〜6のシクロアルキル基:メトキシ基、エトキシ基、n−プロポキシ基、i−プロポキシ基、n−ブトキシ基、t−ブトキシ基等の炭素数1〜6のアルコキシル基;シクロペンチルオキシ基、シクロヘキシルオキシ基等の炭素数3〜6のシクロアルキルオキシ基:フェニル基;フッ素原子、塩素原子等のハロゲン原子等を挙げることができる。 Examples of the substituent for the phenyl group of R 2 and R 3 include methyl group, ethyl group, n-propyl group, i-propyl group, n-butyl group, sec-butyl group, t-butyl group, and n-pentyl. Group, an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms such as n-hexyl group; a cycloalkyl group having 3 to 6 carbon atoms such as cyclopentyl group and cyclohexyl group: methoxy group, ethoxy group, n-propoxy group, i-propoxy group, an alkoxyl group having 1 to 6 carbon atoms such as an n-butoxy group and a t-butoxy group; a cycloalkyloxy group having 3 to 6 carbon atoms such as a cyclopentyloxy group and a cyclohexyloxy group: a phenyl group; a fluorine atom, a chlorine atom, etc. A halogen atom etc. can be mentioned.

また、R2 およびR3 の炭素数7〜20の1価の脂環式基(但し、前記シクロアルキル基を除く。)としては、例えば、1−アルキルシクロアルカン骨格を有する基、ビシクロアルカン骨格を有する基、トリシクロアルカン骨格を有する基、スピロアルカン骨格を有する基、テルペン骨格を有する基、アダマンタン骨格を有する基等を挙げることができる。 Examples of the monovalent alicyclic group having 7 to 20 carbon atoms of R 2 and R 3 (excluding the cycloalkyl group) include, for example, a group having a 1-alkylcycloalkane skeleton and a bicycloalkane skeleton. A group having a tricycloalkane skeleton, a group having a spiroalkane skeleton, a group having a terpene skeleton, a group having an adamantane skeleton, and the like.

式(1)および式(2)において、R2 およびR3 としては、水素原子、メチル基、エチル基等が好ましい。 In Formula (1) and Formula (2), R 2 and R 3 are preferably a hydrogen atom, a methyl group, an ethyl group, or the like.

式(1)および式(2)において、R4 の炭素数4〜20の炭素数4〜20の1価の含酸素複素環式基、炭素数4〜20の1価の含窒素複素環式基または炭素数4〜20の1価の含硫黄複素環式基としては、例えば、チオラニル基、アゼピニル基、ジヒドロアゼピニル基、ジオキソラニル基、トリアジニル基、オキサチアニル基、チアゾーリル基、オキサジアジニル基、ジオキサインダニイル基、ジヒアナフタレニル基、フラニル基、チオフェニル基、ピロリル基、オキサゾリル基、イソオキサゾリル基、チアゾリル基、イソチアゾリル基、ピラゾリル基、フラザニル基、ピラニル基、ピリジニル基、ピリダジニル基、ピリミジル基、ピラジニル基、ピロリニル基、モルホニル基、ピペラジニル基、キヌクリジニル基、インドーリル基、イソインドーリル基、ベンゾフラニル基、ベンゾチオフェニル基、インドリジニル基、クロメニル基、キノリニル基、イソキノリニル基、プリニル基、キナゾリニル基、シンノリニル基、フタラジニル基、プテリジニル基、カルバゾーリル基、アクリジニル基、フェナントリジニル基、チオキサンテニル基、フェナジニル基、フェノチアジニル基、フェノキサチイニル基、フェノキサジニル基、チアントレニル基、テトラヒドロフラニル基、テトラヒドロピラニル基等を挙げることができる。 In formula (1) and formula (2), R 4 is a monovalent oxygen-containing heterocyclic group having 4 to 20 carbon atoms and a monovalent oxygen-containing heterocyclic group having 4 to 20 carbon atoms. Examples of the group or monovalent sulfur-containing heterocyclic group having 4 to 20 carbon atoms include thiolanyl group, azepinyl group, dihydroazepinyl group, dioxolanyl group, triazinyl group, oxathianyl group, thiazolyl group, oxadiazinyl group, Xidodanyl group, dihyanaphthalenyl group, furanyl group, thiophenyl group, pyrrolyl group, oxazolyl group, isoxazolyl group, thiazolyl group, isothiazolyl group, pyrazolyl group, furazanyl group, pyranyl group, pyridinyl group, pyridazinyl group, pyrimidyl group, Pyrazinyl group, pyrrolinyl group, morpholinyl group, piperazinyl group, quinuclidinyl group, indolyl group, iso Ndryl, benzofuranyl, benzothiophenyl, indolizinyl, chromenyl, quinolinyl, isoquinolinyl, purinyl, quinazolinyl, cinnolinyl, phthalazinyl, pteridinyl, carbazolyl, acridinyl, phenanthridinyl, Examples thereof include a thioxanthenyl group, a phenazinyl group, a phenothiazinyl group, a phenoxathinyl group, a phenoxazinyl group, a thianthenyl group, a tetrahydrofuranyl group, and a tetrahydropyranyl group.

式(1)および式(2)において、R4 としては、テトラヒドロフラニル基、テトラヒドロピラニル基等が好ましい。 In Formula (1) and Formula (2), R 4 is preferably a tetrahydrofuranyl group, a tetrahydropyranyl group, or the like.

式(1)および式(2)において、R5 の炭素数1〜12のアルキル基としては、例えば、メチル基、エチル基、n−プロピル基、i−プロピル基、n−ブチル基、sec−ブチル基、t−ブチル基、n−ペンチル基、n−ヘキシル基、n−ヘプチル基、n−オクチ基、n−ノニル基、n−デシル基、n−ウンデシル基、n−ドデシル基等を挙げることができる。
また、R5 の炭素数3〜8のシクロアルキル基としては、例えば、シクロペンチル基、シクロヘキシル基等を挙げることができる。
In Formula (1) and Formula (2), examples of the alkyl group having 1 to 12 carbon atoms of R 5 include a methyl group, an ethyl group, an n-propyl group, an i-propyl group, an n-butyl group, sec- Examples include butyl group, t-butyl group, n-pentyl group, n-hexyl group, n-heptyl group, n-octyl group, n-nonyl group, n-decyl group, n-undecyl group, n-dodecyl group, etc. be able to.
Further, the cycloalkyl group having a carbon number of R 5 3 to 8, and examples thereof include a cyclopentyl group, a cyclohexyl group.

また、R5 の炭素数1〜12のアルコキシル基としては、例えば、メトキシ基、エトキシ基、n−プロポキシ基、i−プロポキシ基、n−ブトキシ基、t−ブトキシ基、n−ペンチルオキシ基、n−ヘキシルオキシ基、n−ヘプチルオキシ基、n−オクチルオキシ基、n−ノニルオキシ基、n−デシルオキシ基、n−ウンデシルオキシ基、n−ドデシルオキシ基等を挙げることができる。
また、R5 の炭素数3〜8のシクロアルキルオキシ基としては、例えば、シクロペンチルオキシ基、シクロヘキシルオキシ基等を挙げることができる。
As the alkoxyl group having 1 to 12 carbon atoms of R 5, for example, a methoxy group, an ethoxy group, n- propoxy group, i- propoxy, n- butoxy, t-butoxy group, n- pentyloxy group, Examples include n-hexyloxy group, n-heptyloxy group, n-octyloxy group, n-nonyloxy group, n-decyloxy group, n-undecyloxy group, n-dodecyloxy group and the like.
Moreover, as a C3-C8 cycloalkyloxy group of R < 5 >, a cyclopentyloxy group, a cyclohexyloxy group, etc. can be mentioned, for example.

式(1)および式(2)において、R5 としては、メチル基、エチル基、n−プロピル基、i−プロピル基、n−ブチル基、メトキシ基、エトキシ基等が好ましい。 In Formula (1) and Formula (2), R 5 is preferably a methyl group, an ethyl group, an n-propyl group, an i-propyl group, an n-butyl group, a methoxy group, an ethoxy group, or the like.

式(1)および式(2)において、nは1が好ましく、mは0、1または2が好ましく、特に1であることが好ましく、pは0、1または2が好ましく、特に1であることが好ましい。   In the formulas (1) and (2), n is preferably 1, m is preferably 0, 1 or 2, particularly preferably 1, and p is preferably 0, 1 or 2, particularly 1. Is preferred.

オキシム型ラジカル発生剤(1)の具体例としては、
エタノン−1−[9−エチル−6−(2−メチル−2−テトラヒドロフラニルベンゾイル)−9.H.−カルバゾール−3−イル]−1−(O−アセチルオキシム)、
エタノン−1−[9−エチル−6−(2−メチル−2−テトラヒドロピラニルベンゾイル)−9.H.−カルバゾール−3−イル]−1−(O−アセチルオキシム)、
エタノン−1−[9−エチル−6−(2−メチル−3−テトラヒドロフラニルベンゾイル)−9.H.−カルバゾール−3−イル]−1−(O−アセチルオキシム)、
エタノン−1−[9−エチル−6−(2−メチル−3−テトラヒドロピラニルベンゾイル)−9.H.−カルバゾール−3−イル]−1−(O−アセチルオキシム)、
As a specific example of the oxime type radical generator (1),
Ethanone-1- [9-ethyl-6- (2-methyl-2-tetrahydrofuranylbenzoyl) -9. H. -Carbazol-3-yl] -1- (O-acetyloxime),
Ethanone-1- [9-ethyl-6- (2-methyl-2-tetrahydropyranylbenzoyl) -9. H. -Carbazol-3-yl] -1- (O-acetyloxime),
Ethanone-1- [9-ethyl-6- (2-methyl-3-tetrahydrofuranylbenzoyl) -9. H. -Carbazol-3-yl] -1- (O-acetyloxime),
Ethanone-1- [9-ethyl-6- (2-methyl-3-tetrahydropyranylbenzoyl) -9. H. -Carbazol-3-yl] -1- (O-acetyloxime),

エタノン−1−[9−エチル−6−(2−メチル−4−テトラヒドロフラニルベンゾイル)−9.H.−カルバゾール−3−イル]−1−(O−アセチルオキシム)、
エタノン−1−[9−エチル−6−(2−メチル−4−テトラヒドロピラニルベンゾイル)−9.H.−カルバゾール−3−イル]−1−(O−アセチルオキシム)、
エタノン−1−[9−エチル−6−(2−メチル−5−テトラヒドロフラニルベンゾイル)−9.H.−カルバゾール−3−イル]−1−(O−アセチルオキシム)、
エタノン1−[9−エチル−6−(2−メチル−5−テトラヒドロピラニルベンゾイル)−9.H.−カルバゾール−3−イル]−1−(O−アセチルオキシム)、
Ethanone-1- [9-ethyl-6- (2-methyl-4-tetrahydrofuranylbenzoyl) -9. H. -Carbazol-3-yl] -1- (O-acetyloxime),
Ethanone-1- [9-ethyl-6- (2-methyl-4-tetrahydropyranylbenzoyl) -9. H. -Carbazol-3-yl] -1- (O-acetyloxime),
Ethanone-1- [9-ethyl-6- (2-methyl-5-tetrahydrofuranylbenzoyl) -9. H. -Carbazol-3-yl] -1- (O-acetyloxime),
Ethanone 1- [9-ethyl-6- (2-methyl-5-tetrahydropyranylbenzoyl) -9. H. -Carbazol-3-yl] -1- (O-acetyloxime),

エタノン−1−[9−エチル−6−(2−メチル−2−テトラヒドロフラニルベンゾイル)−9.H.−カルバゾール−3−イル]−1−(O−アセチルオキシム)、
エタノン−1−[9−エチル−6−(2−メチル−2−テトラヒドロピラニルベンゾイル)−9.H.−カルバゾール−3−イル]−1−(O−ベンゾイルアセチルオキシム)、エタノン−1−[9−エチル−6−(2−メチル−3−テトラヒドロフラニルベンゾイル)−9.H.−カルバゾール−3−イル]−1−(O−ベンゾイルアセチルオキシム)、エタノン−1−[9−エチル−6−(2−メチル−3−テトラヒドロピラニルベンゾイル)−9.H.−カルバゾール−3−イル]−1−(O−ベンゾイルアセチルオキシム)、
Ethanone-1- [9-ethyl-6- (2-methyl-2-tetrahydrofuranylbenzoyl) -9. H. -Carbazol-3-yl] -1- (O-acetyloxime),
Ethanone-1- [9-ethyl-6- (2-methyl-2-tetrahydropyranylbenzoyl) -9. H. -Carbazol-3-yl] -1- (O-benzoylacetyloxime), ethanone-1- [9-ethyl-6- (2-methyl-3-tetrahydrofuranylbenzoyl) -9. H. -Carbazol-3-yl] -1- (O-benzoylacetyloxime), ethanone-1- [9-ethyl-6- (2-methyl-3-tetrahydropyranylbenzoyl) -9. H. -Carbazol-3-yl] -1- (O-benzoylacetyloxime),

エタノン−1−[9−エチル−6−(2−メチル−4−テトラヒドロフラニルベンゾイル)−9.H.−カルバゾール−3−イル]−1−(O−ベンゾイルアセチルオキシム)、エタノン−1−[9−エチル−6−(2−メチル−4−テトラヒドロピラニルベンゾイル)−9.H.−カルバゾール−3−イル]−1−(O−ベンゾイルアセチルオキシム)、エタノン−1−[9−エチル−6−(2−メチル−5−テトラヒドロフラニルベンゾイル)−9.H.−カルバゾール−3−イル]−1−(O−ベンゾイルアセチルオキシム)、エタノン−1−[9−エチル−6−(2−メチル−5−テトラヒドロピラニルベンゾイル)−9.H.−カルバゾール−3−イル]−1−(O−ベンゾイルアセチルオキシム)、エタノン−1−[9−エチル−6−[2−メチル−4−(2,2−ジメチル−1,3−ジオキソラニル)ベンゾイル]−9.H.−カルバゾール−3−イル]−1−(O−アセチルオキシム)
等を挙げることができる。
これらのオキシム型ラジカル発生剤(1)は、単独でまたは2種以上を混合して使用することができる。
Ethanone-1- [9-ethyl-6- (2-methyl-4-tetrahydrofuranylbenzoyl) -9. H. -Carbazol-3-yl] -1- (O-benzoylacetyloxime), ethanone-1- [9-ethyl-6- (2-methyl-4-tetrahydropyranylbenzoyl) -9. H. -Carbazol-3-yl] -1- (O-benzoylacetyloxime), ethanone-1- [9-ethyl-6- (2-methyl-5-tetrahydrofuranylbenzoyl) -9. H. -Carbazol-3-yl] -1- (O-benzoylacetyloxime), ethanone-1- [9-ethyl-6- (2-methyl-5-tetrahydropyranylbenzoyl) -9. H. -Carbazol-3-yl] -1- (O-benzoylacetyloxime), ethanone-1- [9-ethyl-6- [2-methyl-4- (2,2-dimethyl-1,3-dioxolanyl) benzoyl ] -9. H. -Carbazol-3-yl] -1- (O-acetyloxime)
Etc.
These oxime type radical generators (1) can be used alone or in admixture of two or more.

また、オキシム型ラジカル発生剤(2)の具体例としては、
エタノン−1−[9−エチル−6−(2−メチル−2−テトラヒドロフラニルオキシベンゾイル)−9.H.−カルバゾール−3−イル]−1−(O−アセチルオキシム)、
エタノン−1−[9−エチル−6−(2−メチル−2−テトラヒドロピラニルオキシベンゾイル)−9.H.−カルバゾール−3−イル]−1−(O−アセチルオキシム)、
エタノン−1−[9−エチル−6−(2−メチル−2−テトラヒドロフラニルメトキシベンゾイル)−9.H.−カルバゾール−3−イル]−1−(O−アセチルオキシム)、
エタノン−1−[9−エチル−6−(2−メチル−2−テトラヒドロピラニルメトキシベンゾイル)−9.H.−カルバゾール−3−イル]−1−(O−アセチルオキシム)、
エタノン−1−[9−エチル−6−(2−メチル−3−テトラヒドロフラニルオキシベンゾイル)−9.H.−カルバゾール−3−イル]−1−(O−アセチルオキシム)、
エタノン−1−[9−エチル−6−(2−メチル−3−テトラヒドロピラニルオキシベンゾイル)−9.H.−カルバゾール−3−イル]−1−(O−アセチルオキシム)、
エタノン−1−[9−エチル−6−(2−メチル−3−テトラヒドロフラニルメトキシベンゾイル)−9.H.−カルバゾール−3−イル]−1−(O−アセチルオキシム)、
エタノン−1−[9−エチル−6−(2−メチル−3−テトラヒドロピラニルメトキシベンゾイル)−9.H.−カルバゾール−3−イル]−1−(O−アセチルオキシム)、
Moreover, as a specific example of the oxime type radical generator (2),
Ethanone-1- [9-ethyl-6- (2-methyl-2-tetrahydrofuranyloxybenzoyl) -9. H. -Carbazol-3-yl] -1- (O-acetyloxime),
Ethanone-1- [9-ethyl-6- (2-methyl-2-tetrahydropyranyloxybenzoyl) -9. H. -Carbazol-3-yl] -1- (O-acetyloxime),
Ethanone-1- [9-ethyl-6- (2-methyl-2-tetrahydrofuranylmethoxybenzoyl) -9. H. -Carbazol-3-yl] -1- (O-acetyloxime),
Ethanone-1- [9-ethyl-6- (2-methyl-2-tetrahydropyranylmethoxybenzoyl) -9. H. -Carbazol-3-yl] -1- (O-acetyloxime),
Ethanone-1- [9-ethyl-6- (2-methyl-3-tetrahydrofuranyloxybenzoyl) -9. H. -Carbazol-3-yl] -1- (O-acetyloxime),
Ethanone-1- [9-ethyl-6- (2-methyl-3-tetrahydropyranyloxybenzoyl) -9. H. -Carbazol-3-yl] -1- (O-acetyloxime),
Ethanone-1- [9-ethyl-6- (2-methyl-3-tetrahydrofuranylmethoxybenzoyl) -9. H. -Carbazol-3-yl] -1- (O-acetyloxime),
Ethanone-1- [9-ethyl-6- (2-methyl-3-tetrahydropyranylmethoxybenzoyl) -9. H. -Carbazol-3-yl] -1- (O-acetyloxime),

エタノン−1−[9−エチル−6−(2−メチル−4−テトラヒドロフラニルオキシベンゾイル)−9.H.−カルバゾール−3−イル]−1−(O−アセチルオキシム)、
エタノン−1−[9−エチル−6−(2−メチル−4−テトラヒドロピラニルオキシベンゾイル)−9.H.−カルバゾール−3−イル]−1−(O−アセチルオキシム)、
エタノン−1−[9−エチル−6−(2−メチル−4−テトラヒドロフラニルメトキシベンゾイル)−9.H.−カルバゾール−3−イル]−1−(O−アセチルオキシム)、
エタノン−1−[9−エチル−6−(2−メチル−4−テトラヒドロピラニルメトキシベンゾイル)−9.H.−カルバゾール−3−イル]−1−(O−アセチルオキシム)、
エタノン−1−[9−エチル−6−(2−メチル−5−テトラヒドロフラニルオキシベンゾイル)−9.H.−カルバゾール−3−イル]−1−(O−アセチルオキシム)、
エタノン1−[9−エチル−6−(2−メチル−5−テトラヒドロピラニルオキシベンゾイル)−9.H.−カルバゾール−3−イル]−1−(O−アセチルオキシム)、
エタノン−1−[9−エチル−6−(2−メチル−5−テトラヒドロフラニルメトキシベンゾイル)−9.H.−カルバゾール−3−イル]−1−(O−アセチルオキシム)、
エタノン−1−[9−エチル−6−(2−メチル−5−テトラヒドロピラニルメトキシベンゾイル)−9.H.−カルバゾール−3−イル]−1−(O−アセチルオキシム)、
Ethanone-1- [9-ethyl-6- (2-methyl-4-tetrahydrofuranyloxybenzoyl) -9. H. -Carbazol-3-yl] -1- (O-acetyloxime),
Ethanone-1- [9-ethyl-6- (2-methyl-4-tetrahydropyranyloxybenzoyl) -9. H. -Carbazol-3-yl] -1- (O-acetyloxime),
Ethanone-1- [9-ethyl-6- (2-methyl-4-tetrahydrofuranylmethoxybenzoyl) -9. H. -Carbazol-3-yl] -1- (O-acetyloxime),
Ethanone-1- [9-ethyl-6- (2-methyl-4-tetrahydropyranylmethoxybenzoyl) -9. H. -Carbazol-3-yl] -1- (O-acetyloxime),
Ethanone-1- [9-ethyl-6- (2-methyl-5-tetrahydrofuranyloxybenzoyl) -9. H. -Carbazol-3-yl] -1- (O-acetyloxime),
Ethanone 1- [9-ethyl-6- (2-methyl-5-tetrahydropyranyloxybenzoyl) -9. H. -Carbazol-3-yl] -1- (O-acetyloxime),
Ethanone-1- [9-ethyl-6- (2-methyl-5-tetrahydrofuranylmethoxybenzoyl) -9. H. -Carbazol-3-yl] -1- (O-acetyloxime),
Ethanone-1- [9-ethyl-6- (2-methyl-5-tetrahydropyranylmethoxybenzoyl) -9. H. -Carbazol-3-yl] -1- (O-acetyloxime),

エタノン−1−[9−エチル−6−(2−メチル−2−テトラヒドロフラニルオキシベンゾイル)−9.H.−カルバゾール−3−イル]−1−(O−アセチルオキシム)、
エタノン−1−[9−エチル−6−(2−メチル−2−テトラヒドロピラニルオキシベンゾイル)−9.H.−カルバゾール−3−イル]−1−(O−ベンゾイルアセチルオキシム)、
エタノン−1−[9−エチル−6−(2−メチル−2−テトラヒドロフラニルメトキシベンゾイル)−9.H.−カルバゾール−3−イル]−1−(O−ベンゾイルアセチルオキシム)、
エタノン−1−[9−エチル−6−(2−メチル−2−テトラヒドロピラニルメトキシベンゾイル)−9.H.−カルバゾール−3−イル]−1−(O−ベンゾイルアセチルオキシム)、
エタノン−1−[9−エチル−6−(2−メチル−3−テトラヒドロフラニルオキシベンゾイル)−9.H.−カルバゾール−3−イル]−1−(O−ベンゾイルアセチルオキシム)、
エタノン−1−[9−エチル−6−(2−メチル−3−テトラヒドロピラニルオキシベンゾイル)−9.H.−カルバゾール−3−イル]−1−(O−ベンゾイルアセチルオキシム)、
エタノン−1−[9−エチル−6−(2−メチル−3−テトラヒドロフラニルメトキシベンゾイル)−9.H.−カルバゾール−3−イル]−1−(O−ベンゾイルアセチルオキシム)、
エタノン−1−[9−エチル−6−(2−メチル−3−テトラヒドロピラニルメトキシベンゾイル)−9.H.−カルバゾール−3−イル]−1−(O−ベンゾイルアセチルオキシム)、
Ethanone-1- [9-ethyl-6- (2-methyl-2-tetrahydrofuranyloxybenzoyl) -9. H. -Carbazol-3-yl] -1- (O-acetyloxime),
Ethanone-1- [9-ethyl-6- (2-methyl-2-tetrahydropyranyloxybenzoyl) -9. H. -Carbazol-3-yl] -1- (O-benzoylacetyloxime),
Ethanone-1- [9-ethyl-6- (2-methyl-2-tetrahydrofuranylmethoxybenzoyl) -9. H. -Carbazol-3-yl] -1- (O-benzoylacetyloxime),
Ethanone-1- [9-ethyl-6- (2-methyl-2-tetrahydropyranylmethoxybenzoyl) -9. H. -Carbazol-3-yl] -1- (O-benzoylacetyloxime),
Ethanone-1- [9-ethyl-6- (2-methyl-3-tetrahydrofuranyloxybenzoyl) -9. H. -Carbazol-3-yl] -1- (O-benzoylacetyloxime),
Ethanone-1- [9-ethyl-6- (2-methyl-3-tetrahydropyranyloxybenzoyl) -9. H. -Carbazol-3-yl] -1- (O-benzoylacetyloxime),
Ethanone-1- [9-ethyl-6- (2-methyl-3-tetrahydrofuranylmethoxybenzoyl) -9. H. -Carbazol-3-yl] -1- (O-benzoylacetyloxime),
Ethanone-1- [9-ethyl-6- (2-methyl-3-tetrahydropyranylmethoxybenzoyl) -9. H. -Carbazol-3-yl] -1- (O-benzoylacetyloxime),

エタノン−1−[9−エチル−6−(2−メチル−4−テトラヒドロフラニルオキシベンゾイル)−9.H.−カルバゾール−3−イル]−1−(O−ベンゾイルアセチルオキシム)、
エタノン−1−[9−エチル−6−(2−メチル−4−テトラヒドロピラニルオキシベンゾイル)−9.H.−カルバゾール−3−イル]−1−(O−ベンゾイルアセチルオキシム)、
エタノン−1−[9−エチル−6−(2−メチル−4−テトラヒドロフラニルメトキシベンゾイル)−9.H.−カルバゾール−3−イル]−1−(O−ベンゾイルアセチルオキシム)、
エタノン−1−[9−エチル−6−(2−メチル−4−テトラヒドロピラニルメトキシベンゾイル)−9.H.−カルバゾール−3−イル]−1−(O−ベンゾイルアセチルオキシム)、
エタノン−1−[9−エチル−6−(2−メチル−5−テトラヒドロフラニルオキシベンゾイル)−9.H.−カルバゾール−3−イル]−1−(O−ベンゾイルアセチルオキシム)、
エタノン−1−[9−エチル−6−(2−メチル−5−テトラヒドロピラニルオキシベンゾイル)−9.H.−カルバゾール−3−イル]−1−(O−ベンゾイルアセチルオキシム)、
エタノン−1−[9−エチル−6−(2−メチル−5−テトラヒドロフラニルメトキシベンゾイル)−9.H.−カルバゾール−3−イル]−1−(O−ベンゾイルアセチルオキシム)、
エタノン−1−[9−エチル−6−(2−メチル−5−テトラヒドロピラニルメトキシベンゾイル)−9.H.−カルバゾール−3−イル]−1−(O−ベンゾイルアセチルオキシム)、
エタノン−1−[9−エチル−6−[2−メチル−4−(2,2−ジメチル−1,3−ジオキソラニル)メトキシベンゾイル]−9.H.−カルバゾール−3−イル]−1−(O−アセチルオキシム)
等を挙げることができる。
これらのオキシム型ラジカル発生剤(2)は、単独でまたは2種以上を混合して使用することができる。
Ethanone-1- [9-ethyl-6- (2-methyl-4-tetrahydrofuranyloxybenzoyl) -9. H. -Carbazol-3-yl] -1- (O-benzoylacetyloxime),
Ethanone-1- [9-ethyl-6- (2-methyl-4-tetrahydropyranyloxybenzoyl) -9. H. -Carbazol-3-yl] -1- (O-benzoylacetyloxime),
Ethanone-1- [9-ethyl-6- (2-methyl-4-tetrahydrofuranylmethoxybenzoyl) -9. H. -Carbazol-3-yl] -1- (O-benzoylacetyloxime),
Ethanone-1- [9-ethyl-6- (2-methyl-4-tetrahydropyranylmethoxybenzoyl) -9. H. -Carbazol-3-yl] -1- (O-benzoylacetyloxime),
Ethanone-1- [9-ethyl-6- (2-methyl-5-tetrahydrofuranyloxybenzoyl) -9. H. -Carbazol-3-yl] -1- (O-benzoylacetyloxime),
Ethanone-1- [9-ethyl-6- (2-methyl-5-tetrahydropyranyloxybenzoyl) -9. H. -Carbazol-3-yl] -1- (O-benzoylacetyloxime),
Ethanone-1- [9-ethyl-6- (2-methyl-5-tetrahydrofuranylmethoxybenzoyl) -9. H. -Carbazol-3-yl] -1- (O-benzoylacetyloxime),
Ethanone-1- [9-ethyl-6- (2-methyl-5-tetrahydropyranylmethoxybenzoyl) -9. H. -Carbazol-3-yl] -1- (O-benzoylacetyloxime),
Ethanone-1- [9-ethyl-6- [2-methyl-4- (2,2-dimethyl-1,3-dioxolanyl) methoxybenzoyl] -9. H. -Carbazol-3-yl] -1- (O-acetyloxime)
Etc.
These oxime type radical generators (2) can be used alone or in admixture of two or more.

本発明における(D)ラジカル発生剤としては、少なくともオキシム型ラジカル発生剤(2)を含むものが好ましく、特に、エタノン−1−[9−エチル−6−(2−メチル−4−テトラヒドロフラニルメトキシベンゾイル)−9.H.−カルバゾール−3−イル]−1−(O−アセチルオキシム)、エタノン−1−[9−エチル−6−(2−メチル−4−テトラヒドロピラニルメトキシベンゾイル)−9.H.−カルバゾール−3−イル]−1−(O−アセチルオキシム)、エタノン−1−[9−エチル−6−(2−メチル−5−テトラヒドロフラニルメトキシベンゾイル)−9.H.−カルバゾール−3−イル]−1−(O−アセチルオキシム)、エタノン−1−[9−エチル−6−(2−メチル−5−テトラヒドロピラニルメトキシベンゾイル)−9.H.−カルバゾール−3−イル]−1−(O−アセチルオキシム)、およびエタノン−1−[9−エチル−6−[2−メチル−4−(2,2−ジメチル−1,3−ジオキソラニル)メトキシベンゾイル]−9.H.−カルバゾール−3−イル]−1−(O−アセチルオキシム)の群から選ばれる少なくとも1種を含むものが好ましい。   The radical generator (D) in the present invention preferably contains at least the oxime radical generator (2), and in particular, ethanone-1- [9-ethyl-6- (2-methyl-4-tetrahydrofuranylmethoxy). Benzoyl) -9. H. -Carbazol-3-yl] -1- (O-acetyloxime), ethanone-1- [9-ethyl-6- (2-methyl-4-tetrahydropyranylmethoxybenzoyl) -9. H. -Carbazol-3-yl] -1- (O-acetyloxime), ethanone-1- [9-ethyl-6- (2-methyl-5-tetrahydrofuranylmethoxybenzoyl) -9. H. -Carbazol-3-yl] -1- (O-acetyloxime), ethanone-1- [9-ethyl-6- (2-methyl-5-tetrahydropyranylmethoxybenzoyl) -9. H. -Carbazol-3-yl] -1- (O-acetyloxime), and ethanone-1- [9-ethyl-6- [2-methyl-4- (2,2-dimethyl-1,3-dioxolanyl) methoxy Benzoyl] -9. H. Those containing at least one selected from the group of -carbazol-3-yl] -1- (O-acetyloxime) are preferred.

本発明においては、(D)ラジカル発生剤として、オキシム型ラジカル発生剤(1)およびオキシム型ラジカル発生剤(2)と共に、他のラジカル発生剤を併用することもできる。
前記他のラジカル発生剤としては、オキシム型ラジカル発生剤(1)およびオキシム型ラジカル発生剤(2)以外のオキシム型ラジカル発生剤(以下、「他のオキシム型ラジカル発生剤」という。)を挙げることができる。
他のオキシム型ラジカル発生剤の具体例としては、1,2−オクタジオン−1−[4−(フェニルチオ)フェニル]−2−(O−ベンゾイルオキシム)、1,2−ブタンジオン−1−[4−(フェニルチオ)フェニル]−2−(O−ベンゾイルオキシム)、1,2−ブタンジオン−1−[4−(フェニルチオ)フェニル]−2−(O−アセチルオキシム)、1,2−オクタジオン−1−[4−(メチルチオ)フェニル]−2−(O−ベンゾイルオキシム)、1,2−オクタジオン−1−[4−(フェニルチオ)フェニル]−2−(O−(4―メチルベンゾイルオキシム))等を挙げることができる。
これらのうち特に、1,2−オクタジオン−1−[4−(フェニルチオ)フェニル]−2−(O−ベンゾイルオキシム)が好ましい。
In the present invention, as the radical generator (D), other radical generators can be used in combination with the oxime radical generator (1) and the oxime radical generator (2).
Examples of the other radical generator include an oxime radical generator (1) and an oxime radical generator other than the oxime radical generator (2) (hereinafter referred to as “other oxime radical generator”). be able to.
Specific examples of the other oxime type radical generator include 1,2-octadion-1- [4- (phenylthio) phenyl] -2- (O-benzoyloxime), 1,2-butanedione-1- [4- (Phenylthio) phenyl] -2- (O-benzoyloxime), 1,2-butanedione-1- [4- (phenylthio) phenyl] -2- (O-acetyloxime), 1,2-octadion-1- [ 4- (methylthio) phenyl] -2- (O-benzoyloxime), 1,2-octadion-1- [4- (phenylthio) phenyl] -2- (O- (4-methylbenzoyloxime)) and the like be able to.
Of these, 1,2-octadion-1- [4- (phenylthio) phenyl] -2- (O-benzoyloxime) is particularly preferable.

他のオキシム型ラジカル発生剤以外の他のラジカル発生剤としては、例えば、下記式(3−1)、式(3−2)または式(3−3)で表される主要骨格を少なくとも1種有するビイミダゾール系化合物、ベンゾイン系化合物、アセトフェノン系化合物、ベンゾフェノン系化合物、α−ジケトン系化合物、多核キノン系化合物、キサントン系化合物、ホスフィン系化合物、トリアジン系化合物等を挙げることができる。   As other radical generators other than the oxime type radical generator, for example, at least one main skeleton represented by the following formula (3-1), formula (3-2) or formula (3-3) is used. Examples thereof include biimidazole compounds, benzoin compounds, acetophenone compounds, benzophenone compounds, α-diketone compounds, polynuclear quinone compounds, xanthone compounds, phosphine compounds, and triazine compounds.

Figure 0004656036
Figure 0004656036

前記ビイミダゾール系化合物としては、例えば、2,2’−ビス(2−クロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラキス(4−エトキシカルボニルフェニル)−1,2’−ビイミダゾール、2,2’−ビス(2−ブロモフェニル)−4,4’,5,5’−テトラキス(4−エトキシカルボニルフェニル)−1,2’−ビイミダゾール、2,2’−ビス(2−クロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニル−1,2’−ビイミダゾール、2,2’−ビス(2,4−ジクロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニル−1,2’−ビイミダゾール、2,2’−ビス(2,4,6−トリクロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニル−1,2’−ビイミダゾール、2,2’−ビス(2−ブロモフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニル−1,2’−ビイミダゾール、2,2’−ビス(2,4−ジブロモフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニル−1,2’−ビイミダゾール、2,2’−ビス(2,4,6−トリブロモフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニル−1,2’−ビイミダゾール等を挙げることができる。   Examples of the biimidazole compound include 2,2′-bis (2-chlorophenyl) -4,4 ′, 5,5′-tetrakis (4-ethoxycarbonylphenyl) -1,2′-biimidazole, 2 , 2′-bis (2-bromophenyl) -4,4 ′, 5,5′-tetrakis (4-ethoxycarbonylphenyl) -1,2′-biimidazole, 2,2′-bis (2-chlorophenyl) -4,4 ', 5,5'-tetraphenyl-1,2'-biimidazole, 2,2'-bis (2,4-dichlorophenyl) -4,4', 5,5'-tetraphenyl-1 2,2′-biimidazole, 2,2′-bis (2,4,6-trichlorophenyl) -4,4 ′, 5,5′-tetraphenyl-1,2′-biimidazole, 2,2′- Bis (2-bromophenyl) -4,4 , 5,5′-tetraphenyl-1,2′-biimidazole, 2,2′-bis (2,4-dibromophenyl) -4,4 ′, 5,5′-tetraphenyl-1,2′- Biimidazole, 2,2′-bis (2,4,6-tribromophenyl) -4,4 ′, 5,5′-tetraphenyl-1,2′-biimidazole and the like can be mentioned.

−水素供与体−
また、本発明においては、(D)ラジカル発生剤としてビイミダゾール系化合物を併用する場合、下記する水素供与体と組み合わせて使用することが、感度をさらに改良することができる点で好ましい。
ここでいう「水素供与体」とは、露光によりビイミダゾール系化合物から発生したラジカルに対して、水素原子を供与することができる化合物を意味する。
このような水素供与体としては、下記で定義するメルカプタン系化合物、下記で定義するアミン系化合物等が好ましい。
前記メルカプタン系化合物は、ベンゼン環あるいは複素環を母核とし、該母核に直接結合したメルカプト基を1個以上、好ましくは1〜3個、さらに好ましくは1〜2個有する化合物(以下「メルカプタン系水素供与体」という。)からなる。
また、前記アミン系化合物は、ベンゼン環あるいは複素環を母核とし、該母核に直接結合したアミノ基を1個以上、好ましくは1〜3個、さらに好ましくは1〜2個有する化合物(以下「アミン系水素供与体」という。)からなる。
なお、これらの水素供与体は、メルカプト基とアミノ基とを同時に有することもできる。
-Hydrogen donor-
Moreover, in this invention, when using a biimidazole type compound together as (D) radical generator, using in combination with the hydrogen donor mentioned below is preferable at the point which can improve a sensitivity further.
The “hydrogen donor” as used herein means a compound that can donate a hydrogen atom to a radical generated from a biimidazole compound by exposure.
As such a hydrogen donor, a mercaptan compound defined below, an amine compound defined below, and the like are preferable.
The mercaptan-based compound is a compound having a benzene ring or a heterocyclic ring as a mother nucleus and having one or more, preferably 1 to 3, more preferably 1 to 2, mercapto groups directly bonded to the mother nucleus (hereinafter referred to as “mercaptan”). It is referred to as “system hydrogen donor”).
The amine compound is a compound having a benzene ring or a heterocyclic ring as a mother nucleus and having 1 or more, preferably 1 to 3, more preferably 1 to 2 amino groups directly bonded to the mother nucleus (hereinafter referred to as “the amine compound”). "Amine-based hydrogen donor").
These hydrogen donors can also have a mercapto group and an amino group at the same time.

以下、水素供与体について、より具体的に説明する。
メルカプタン系水素供与体は、ベンゼン環あるいは複素環をそれぞれ1個以上有することができ、またベンゼン環と複素環との両者を有することができ、これらの環を2個以上有する場合、縮合環を形成しても形成しなくてもよい。
また、メルカプタン系水素供与体は、メルカプト基を2個以上有する場合、少なくとも1個の遊離メルカプト基が残存する限りでは、残りのメルカプト基の1個以上がアルキル、アラルキルまたはアリール基で置換されていてもよく、さらには少なくとも1個の遊離メルカプト基が残存する限りでは、2個の硫黄原子がアルキレン基等の2価の有機基を介在して結合した構造単位、あるいは2個の硫黄原子がジスルフィドの形で結合した構造単位を有することができる。
さらに、メルカプタン系水素供与体は、メルカプト基以外の箇所で、カルボキシル基、置換もしくは非置換のアルコキシカルボニル基、置換もしくは非置換のフェノキシカルボニル基、ニトリル基等によって置換されていてもよい。
Hereinafter, the hydrogen donor will be described more specifically.
The mercaptan-based hydrogen donor can have one or more benzene rings or heterocyclic rings, and can have both a benzene ring and a heterocyclic ring. When two or more of these rings are present, It may or may not be formed.
In addition, when the mercaptan hydrogen donor has two or more mercapto groups, at least one of the remaining mercapto groups is substituted with an alkyl, aralkyl or aryl group as long as at least one free mercapto group remains. Furthermore, as long as at least one free mercapto group remains, a structural unit in which two sulfur atoms are bonded via a divalent organic group such as an alkylene group, or two sulfur atoms are It can have structural units linked in the form of disulfides.
Furthermore, the mercaptan-based hydrogen donor may be substituted with a carboxyl group, a substituted or unsubstituted alkoxycarbonyl group, a substituted or unsubstituted phenoxycarbonyl group, a nitrile group, or the like at a place other than the mercapto group.

このようなメルカプタン系水素供与体の具体例としては、2−メルカプトベンゾチアゾール、2−メルカプトベンゾオキサゾール、2−メルカプトベンゾイミダゾール、2,5−ジメルカプト−1,3,4−チアジアゾール、2−メルカプト−2,5−ジメチルアミノピリジン等が挙げることができる。
これらのメルカプタン系水素供与体のうち、2−メルカプトベンゾチアゾール、2−メルカプトベンゾオキサゾールが好ましく、特に、2−メルカプトベンゾチアゾールが好ましい。
Specific examples of such mercaptan hydrogen donors include 2-mercaptobenzothiazole, 2-mercaptobenzoxazole, 2-mercaptobenzoimidazole, 2,5-dimercapto-1,3,4-thiadiazole, 2-mercapto- 2,5-dimethylaminopyridine and the like can be mentioned.
Of these mercaptan-based hydrogen donors, 2-mercaptobenzothiazole and 2-mercaptobenzoxazole are preferable, and 2-mercaptobenzothiazole is particularly preferable.

次に、アミン系水素供与体は、ベンゼン環あるいは複素環をそれぞれ1個以上有することができ、またベンゼン環と複素環との両者を有することができ、これらの環を2個以上有する場合、縮合環を形成しても形成しなくてもよい。
また、アミン系水素供与体は、アミノ基の1個以上がアルキル基または置換アルキル基で置換されてもよく、またアミノ基以外の箇所で、カルボキシル基、置換もしくは非置換のアルコキシカルボニル基、置換もしくは非置換のフェノキシカルボニル基、ニトリル基等によって置換されていてもよい。
Next, the amine-based hydrogen donor can have one or more benzene rings or heterocyclic rings, and can have both a benzene ring and a heterocyclic ring. When these two or more rings are present, A condensed ring may or may not be formed.
In the amine-based hydrogen donor, at least one of the amino groups may be substituted with an alkyl group or a substituted alkyl group, and a carboxyl group, a substituted or unsubstituted alkoxycarbonyl group, a substituted group may be substituted at a position other than the amino group. Alternatively, it may be substituted with an unsubstituted phenoxycarbonyl group, nitrile group or the like.

このようなアミン系水素供与体の具体例としては、4,4’−ビス(ジメチルアミノ)ベンゾフェノン、4,4’−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン、4−ジエチルアミノアセトフェノン、4−ジメチルアミノプロピオフェノン、4−ジメチルアミノ安息香酸エチル、4−ジメチルアミノ安息香酸i−アミル、4−ジメチルアミノ安息香酸、4−ジメチルアミノベンゾニトリル等が挙げることができる。
これらのアミン系水素供与体のうち、4,4’−ビス(ジメチルアミノ)ベンゾフェノン、4,4’−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノンが好ましく、特に、4,4’−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノンが好ましい。なお、4,4’−ビス(ジメチルアミノ)ベンゾフェノンや4,4’−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノンは、ビイミダゾール系化合物が存在しない場合でも、それ単独で光ラジカル開始剤として作用しうるものである。
Specific examples of such amine-based hydrogen donors include 4,4′-bis (dimethylamino) benzophenone, 4,4′-bis (diethylamino) benzophenone, 4-diethylaminoacetophenone, 4-dimethylaminopropiophenone, Examples include ethyl 4-dimethylaminobenzoate, i-amyl 4-dimethylaminobenzoate, 4-dimethylaminobenzoic acid, 4-dimethylaminobenzonitrile and the like.
Among these amine-based hydrogen donors, 4,4′-bis (dimethylamino) benzophenone and 4,4′-bis (diethylamino) benzophenone are preferable, and 4,4′-bis (diethylamino) benzophenone is particularly preferable. In addition, 4,4′-bis (dimethylamino) benzophenone and 4,4′-bis (diethylamino) benzophenone can act as a photoradical initiator alone even in the absence of a biimidazole compound. .

本発明において、水素供与体は、単独でまたは2種以上を混合して使用することができるが、1種以上のメルカプタン系水素供与体と1種以上のアミン系水素供与体とを組み合わせて使用することが、形成された着色層が現像時に基板から脱落し難く、また着色層の強度および感度も高い点で好ましい。
メルカプタン系水素供与体とアミン系水素供与体との好ましい組み合わせの具体例としては、2−メルカプトベンゾチアゾール/4,4’−ビス(ジメチルアミノ)ベンゾフェノン、2−メルカプトベンゾチアゾール/4,4’−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン、2−メルカプトベンゾオキサゾール/4,4’−ビス(ジメチルアミノ)ベンゾフェノン、2−メルカプトベンゾオキサゾール/4,4’−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン等を挙げることができ、さらに好ましい組み合わせは、2−メルカプトベンゾチアゾール/4,4’−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン、2−メルカプトベンゾオキサゾール/4,4’−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノンであり、特に好ましい組み合わせは、2−メルカプトベンゾチアゾール/4,4’−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノンである。
メルカプタン系水素供与体とアミン系水素供与体との組み合わせにおけるメルカプタン系水素供与体とアミン系水素供与体との重量比は、通常、1:1〜1:4、好ましくは1:1〜1:3である。
In the present invention, the hydrogen donor can be used alone or in admixture of two or more. However, one or more mercaptan hydrogen donors and one or more amine hydrogen donors are used in combination. It is preferable that the formed colored layer does not easily fall off the substrate during development, and the strength and sensitivity of the colored layer are high.
Specific examples of a preferred combination of a mercaptan hydrogen donor and an amine hydrogen donor include 2-mercaptobenzothiazole / 4,4′-bis (dimethylamino) benzophenone, 2-mercaptobenzothiazole / 4,4′-. Bis (diethylamino) benzophenone, 2-mercaptobenzoxazole / 4,4′-bis (dimethylamino) benzophenone, 2-mercaptobenzoxazole / 4,4′-bis (diethylamino) benzophenone, and the like are further preferable combinations. Are 2-mercaptobenzothiazole / 4,4′-bis (diethylamino) benzophenone and 2-mercaptobenzoxazole / 4,4′-bis (diethylamino) benzophenone, and a particularly preferred combination is 2-mercaptobenzothia A Lumpur / 4,4'-bis (diethylamino) benzophenone.
The weight ratio of mercaptan hydrogen donor to amine hydrogen donor in the combination of mercaptan hydrogen donor and amine hydrogen donor is usually 1: 1 to 1: 4, preferably 1: 1 to 1: 3.

また、前記ベンゾイン系化合物としては、例えば、ベンゾイン、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテル、ベンゾインイソブチルエーテル、2−ベンゾイル安息香酸メチル等を挙げることができる。
また、前記アセトフェノン系化合物としては、例えば、2,2−ジメトキシアセトフェノン、2,2−ジエトキシアセトフェノン、2,2−ジメトキシ−2−フェニルアセトフェノン、2−ヒドロキシ−2−メチル−1−フェニルプロパン−1−オン、1−(4−i−プロピルフェニル)−2−ヒドロキシ−2−メチルプロパン−1−オン、2−メチル−(4−メチルチオフェニル)−2−モルフォリノ−1−プロパン−1−オン、4−(2−ヒドロキシエトキシ)フェニル−(2−ヒドロキシ−2−プロピル)ケトン、2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルフォリノフェニル)ブタン−1−オン、1−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン、2,2−ジメトキシ−1,2−ジフェニルエタン−1−オン等を挙げることができる。
Examples of the benzoin compounds include benzoin, benzoin methyl ether, benzoin ethyl ether, benzoin isopropyl ether, benzoin isobutyl ether, and methyl 2-benzoylbenzoate.
Examples of the acetophenone compound include 2,2-dimethoxyacetophenone, 2,2-diethoxyacetophenone, 2,2-dimethoxy-2-phenylacetophenone, 2-hydroxy-2-methyl-1-phenylpropane- 1-one, 1- (4-i-propylphenyl) -2-hydroxy-2-methylpropan-1-one, 2-methyl- (4-methylthiophenyl) -2-morpholino-1-propan-1-one 4- (2-hydroxyethoxy) phenyl- (2-hydroxy-2-propyl) ketone, 2-benzyl-2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) butan-1-one, 1-hydroxycyclohexyl Examples include phenyl ketone and 2,2-dimethoxy-1,2-diphenylethane-1-one. Kill.

また、前記ベンゾフェノン系化合物としては、例えば、4,4’−ビス(ジメチルアミノ)ベンゾフェノン、4,4’−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン等を挙げることができる。
また、前記α−ジケトン系化合物としては、例えば、ジアセチル、ジベンゾイル、メチルベンゾイルホルメート等を挙げることができる。
また、前記多核キノン系化合物としては、例えば、アントラキノン、2−エチルアントラキノン、2−t−ブチルアントラキノン、1,4−ナフトキノン等を挙げることができる。
また、前記キサントン系化合物としては、例えば、キサントン、チオキサントン、2−クロロチオキサントン等を挙げることができる。
また、前記ホスフィン系化合物としては、例えば、ビス(2,4,6−トリメチルベンゾイル)フェニルホスフィンオキサイド、2,4,6−トリメチルベンゾイルジフェニルホスフィンオキサイド等を挙げることができる。
Examples of the benzophenone compound include 4,4′-bis (dimethylamino) benzophenone and 4,4′-bis (diethylamino) benzophenone.
Examples of the α-diketone compound include diacetyl, dibenzoyl, methylbenzoylformate, and the like.
Examples of the polynuclear quinone compound include anthraquinone, 2-ethylanthraquinone, 2-t-butylanthraquinone, 1,4-naphthoquinone, and the like.
Examples of the xanthone compound include xanthone, thioxanthone, and 2-chlorothioxanthone.
Examples of the phosphine compound include bis (2,4,6-trimethylbenzoyl) phenylphosphine oxide and 2,4,6-trimethylbenzoyldiphenylphosphine oxide.

また、前記トリアジン系化合物としては、例えば、2,4,6−トリス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−メチル−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−〔2−(フラン−2−イル)エテニル〕−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−〔2−(5−メチルフラン−2−イル)エテニル〕−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−〔2−(4−ジエチルアミノ−2−メチルフェニル)エテニル〕−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−〔2−(3,4−ジメトキシフェニル)エテニル〕−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−(4−メトキシフェニル)−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−(4−エトキシスチリル)−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−(4−n−ブトキシフェニル)−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、   Examples of the triazine compound include 2,4,6-tris (trichloromethyl) -s-triazine, 2-methyl-4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2- [2- (Furan-2-yl) ethenyl] -4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2- [2- (5-methylfuran-2-yl) ethenyl] -4,6-bis (trichloromethyl) ) -S-triazine, 2- [2- (4-diethylamino-2-methylphenyl) ethenyl] -4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2- [2- (3,4-dimethoxyphenyl) Ethenyl] -4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2- (4-methoxyphenyl) -4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2- (4- Kishisuchiriru) -4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2-(4-n-butoxyphenyl) -4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine,

下記式(4)で表される化合物

Figure 0004656036
Compound represented by the following formula (4)
Figure 0004656036

、下記式(5)で表される化合物

Figure 0004656036
等のハロメチル基を有する化合物等を挙げることができる。
前記他のラジカル発生剤は、単独でまたは2種以上を混合して使用することができる。 And a compound represented by the following formula (5):
Figure 0004656036
Examples thereof include compounds having a halomethyl group.
The other radical generators can be used alone or in admixture of two or more.

本発明において、他のラジカル発生剤の使用割合は、(D)ラジカル発生剤全体の、好ましくは50重量%以下、さらに好ましくは1〜30重量%である。この場合、他のラジカル発生剤の使用割合が50重量%を超えると、本発明の所期の効果が損なわれるおそれがある。   In the present invention, the use ratio of the other radical generator is preferably 50% by weight or less, more preferably 1 to 30% by weight, based on the total amount of the (D) radical generator. In this case, if the use ratio of the other radical generator exceeds 50% by weight, the intended effect of the present invention may be impaired.

本発明において、(D)ラジカル発生剤の使用量は、(C)多官能性単量体と場合により使用される単官能性単量体との合計100重量部に対して、通常、0.01〜200重量部、好ましくは1〜120重量部、特に好ましくは1〜100重量部である。この場合、(D)ラジカル発生剤の使用量が0.01重量部未満では、露光による硬化が不十分となり、画素パターンあるいはブラックマトリックスパターンが所定の配列に従って配置されたパターンアレイを得ることが困難となるおそれがあり、一方200重量部を超えると、形成された着色層が現像時に基板から脱落しやすくなり、また未露光部の基板上あるいは遮光層上に地汚れ、膜残り等を生じやすくなる。
さらに、本発明においては、(D)ラジカル発生剤と共に、必要に応じて、増感剤、硬化促進剤あるいは高分子光架橋・増感剤の1種以上を併用することもできる。
In the present invention, the amount of the (D) radical generator used is usually 0.1% relative to a total of 100 parts by weight of the (C) polyfunctional monomer and the monofunctional monomer optionally used. The amount is from 01 to 200 parts by weight, preferably from 1 to 120 parts by weight, particularly preferably from 1 to 100 parts by weight. In this case, if the amount of the radical generator (D) used is less than 0.01 parts by weight, curing by exposure becomes insufficient, and it is difficult to obtain a pattern array in which pixel patterns or black matrix patterns are arranged according to a predetermined arrangement. On the other hand, if the amount exceeds 200 parts by weight, the formed colored layer tends to fall off from the substrate during development, and background stains, film residue, etc. are likely to occur on the unexposed portion of the substrate or on the light shielding layer. Become.
Furthermore, in the present invention, one or more of a sensitizer, a curing accelerator or a polymer photocrosslinking / sensitizer can be used in combination with the radical generator (D) as necessary.

−(E)溶媒−
本発明における溶媒は、酢酸シクロヘキシルを必須成分とするものである。
溶媒中の酢酸シクロヘキシルの含有割合は、5〜40重量%であり、好ましくは15〜35重量%、特に好ましくは20〜30重量%である。この場合、酢酸シクロヘキシルの含有割合が少なすぎると、感放射線性組成物の乾燥物や突沸孔の発生の抑制効果が低下するおそれがあり、一方多すぎると、溶媒としての溶解力が低下して、不溶物が析出しやすくなるおそれがある。
-(E) Solvent-
The solvent in the present invention contains cyclohexyl acetate as an essential component.
The content ratio of cyclohexyl acetate in the solvent is 5 to 40% by weight, preferably 15 to 35% by weight, and particularly preferably 20 to 30% by weight. In this case, if the content of cyclohexyl acetate is too small, the effect of suppressing the generation of dry matter and bumps in the radiation-sensitive composition may be reduced. On the other hand, if the content is too large, the dissolving power as a solvent is reduced. There is a risk that insoluble matter is likely to precipitate.

本発明における溶媒は、酢酸シクロヘキシル以外の溶媒(以下、「他の溶媒」という。)を、60〜95重量%、好ましくは65〜85重量%、特に好ましくは70〜80重量%含有している。
他の溶媒としては、着色層形成用感放射線性組成物を構成する(A)〜(D)成分や添加剤成分を分散または溶解し、かつこれらの成分と反応せず、適度の揮発性を有するものである限り、適宜に選択して使用することができるが、沸点150℃未満、好ましくは130℃以上150℃未満の溶媒(以下、「低沸点溶媒」という。)を含むものが望ましい。本発明でいう「沸点」とは、1気圧における値を意味する。
The solvent in the present invention contains a solvent other than cyclohexyl acetate (hereinafter referred to as “other solvent”) in an amount of 60 to 95% by weight, preferably 65 to 85% by weight, particularly preferably 70 to 80% by weight. .
As other solvents, the components (A) to (D) and additive components constituting the radiation-sensitive composition for forming the colored layer are dispersed or dissolved, and do not react with these components and have appropriate volatility. As long as it has, it can be appropriately selected and used, but it preferably contains a solvent having a boiling point of less than 150 ° C., preferably 130 ° C. or more and less than 150 ° C. (hereinafter referred to as “low boiling solvent”). The “boiling point” in the present invention means a value at 1 atmosphere.

低沸点溶媒の具体例としては、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノエチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、2−ペプタノン、酢酸n−ブチル、酢酸i−ブチル、酢酸i−ペンチル、酪酸エチル、酪酸n−プロピル、酪酸i−プロピル、ピルビン酸エチル等を挙げることができる。   Specific examples of the low boiling point solvent include propylene glycol monomethyl ether, propylene glycol monoethyl ether, propylene glycol monomethyl ether acetate, 2-peptanone, n-butyl acetate, i-butyl acetate, i-pentyl acetate, ethyl butyrate, n-butyrate -Propyl, i-propyl butyrate, ethyl pyruvate and the like.

これらの低沸点溶媒のうち、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノエチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、2−ペプタノン、酢酸i−ペンチル、ピルビン酸エチル等が好ましく、特に、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノエチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートが好ましい。
前記低沸点溶媒は、単独でまたは2種以上を混合して使用することができる。
Of these low-boiling solvents, propylene glycol monomethyl ether, propylene glycol monoethyl ether, propylene glycol monomethyl ether acetate, 2-peptanone, i-pentyl acetate, ethyl pyruvate, and the like are preferable. Particularly, propylene glycol monomethyl ether, propylene glycol Monoethyl ether and propylene glycol monomethyl ether acetate are preferred.
The low boiling point solvents can be used alone or in admixture of two or more.

溶媒中の低沸点溶媒の含有割合は、好ましくは10〜60重量%、さらに好ましくは20〜50重量%、特に好ましくは20〜45重量%である。この場合、低沸点溶媒の含有割合が少なすぎると、スティッキングの発生や真空ベーク時間が長くなることによる生産性の低下を招くおそれがあり、一方多すぎると、感放射線性組成物の乾燥物の発生の抑制効果が不十分となるおそれがある。   The content of the low boiling point solvent in the solvent is preferably 10 to 60% by weight, more preferably 20 to 50% by weight, and particularly preferably 20 to 45% by weight. In this case, if the content of the low-boiling solvent is too small, there is a risk of causing a reduction in productivity due to the occurrence of sticking or a long vacuum baking time, while if too high, the content of the dried radiation-sensitive composition is reduced. There is a possibility that the effect of suppressing the occurrence is insufficient.

本発明において、他の溶媒は、さらに、沸点150℃以上180℃未満、好ましくは155℃以上180℃未満の溶媒(但し、酢酸シクロヘキシルを除く。)(以下、「中沸点溶媒」という。)を含むことが望ましい。
中沸点溶媒の具体例としては、エチレングリコールモノ−n−ブチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート、3−メトキシブチルアセテート、ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールメチルエチルエーテル、シクロヘキサノン、3−エトキシプロピオン酸エチル、酪酸n−ブチル、アセト酢酸メチル等を挙げることができる。
In the present invention, the other solvent is a solvent having a boiling point of 150 ° C. or higher and lower than 180 ° C., preferably 155 ° C. or higher and lower than 180 ° C. (excluding cyclohexyl acetate) (hereinafter referred to as “medium boiling solvent”). It is desirable to include.
Specific examples of the medium boiling point solvent include ethylene glycol mono-n-butyl ether, ethylene glycol monoethyl ether acetate, propylene glycol monoethyl ether acetate, 3-methoxybutyl acetate, diethylene glycol dimethyl ether, diethylene glycol methyl ethyl ether, cyclohexanone, and 3-ethoxy. Examples include ethyl propionate, n-butyl butyrate, and methyl acetoacetate.

これらの中沸点溶媒のうち、エチレングリコールモノ−n−ブチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート、3−メトキシブチルアセテート、ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールメチルエチルエーテル、シクロヘキサノン、3−エトキシプロピオン酸エチル等が好ましく、特に、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート、3−メトキシブチルアセテート、ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールメチルエチルエーテル、シクロヘキサノン、3−エトキシプロピオン酸エチルが好ましい。
前記中沸点溶媒は、単独でまたは2種以上を混合して使用することができる。
Among these medium boiling solvents, ethylene glycol mono-n-butyl ether, ethylene glycol monoethyl ether acetate, propylene glycol monoethyl ether acetate, 3-methoxybutyl acetate, diethylene glycol dimethyl ether, diethylene glycol methyl ethyl ether, cyclohexanone, 3-ethoxypropion Ethyl acid is preferred, and propylene glycol monoethyl ether acetate, 3-methoxybutyl acetate, diethylene glycol dimethyl ether, diethylene glycol methyl ethyl ether, cyclohexanone, and ethyl 3-ethoxypropionate are particularly preferred.
The medium boiling solvents can be used alone or in admixture of two or more.

溶媒中の中沸点溶媒の含有割合は、好ましくは30〜70重量%、さらに好ましくは30〜60重量%、特に好ましくは30〜50重量%である。この場合、中沸点溶媒の含有割合が少なすぎると、感放射線性組成物の乾燥物の発生の抑制効果が不十分となるおそれがあり、一方多すぎると、スティッキングの発生や真空ベーク時間が長くなることによる生産性の低下を招くおそれがある。   The content of the medium boiling point solvent in the solvent is preferably 30 to 70% by weight, more preferably 30 to 60% by weight, and particularly preferably 30 to 50% by weight. In this case, if the content of the medium-boiling solvent is too small, the effect of suppressing the generation of the dried product of the radiation-sensitive composition may be insufficient. On the other hand, if it is too large, the occurrence of sticking and the vacuum baking time will be long. This may lead to a decrease in productivity.

さらに、本発明においては、前記各溶媒と共に、沸点が180℃を越える溶媒(以下、「高沸点溶媒」という。)を併用することもできる。
高沸点溶媒の具体例としては、ベンジルエチルエーテル、ジヘキシルエーテル、アセトニルアセトン、イソホロン、カプロン酸、カプリル酸、1−オクタノール、1−ノナノール、ベンジルアルコール、酢酸ベンジル、安息香酸エチル、しゅう酸ジエチル、マレイン酸ジエチル、γ−ブチロラクトン、炭酸エチレン、炭酸プロピレン、エチレングリコールモノフェニルエーテルアセテート等を挙げることができる。
前記高沸点溶媒は、単独でまたは2種以上を混合して使用することができる。
Furthermore, in the present invention, a solvent having a boiling point exceeding 180 ° C. (hereinafter referred to as “high boiling point solvent”) can be used in combination with each of the solvents.
Specific examples of the high boiling point solvent include benzyl ethyl ether, dihexyl ether, acetonyl acetone, isophorone, caproic acid, caprylic acid, 1-octanol, 1-nonanol, benzyl alcohol, benzyl acetate, ethyl benzoate, diethyl oxalate, Mention may be made of diethyl maleate, γ-butyrolactone, ethylene carbonate, propylene carbonate, ethylene glycol monophenyl ether acetate and the like.
The high boiling point solvents can be used alone or in admixture of two or more.

本発明における溶媒中の各溶媒の含有割合をより具体的に示すと、好ましくは、酢酸シクロヘキシルが5〜40重量%、低沸点溶媒が10〜60重量%、中沸点溶媒が30〜70重量%、高沸点溶媒が20重量%以下であり、さらに好ましくは、酢酸シクロヘキシルが15〜35重量%、低沸点溶媒が20〜50重量%、中沸点溶媒が30〜60重量%、高沸点溶媒が20重量%以下であり、特に好ましくは、酢酸シクロヘキシルが20〜30重量%、低沸点溶媒が20〜45重量%、中沸点溶媒が30〜50重量%、高沸点溶媒が20重量%以下である。このような混合溶媒を使用することにより、感放射線性組成物の乾燥物および突沸孔の発生が著しく抑制され、スティッキングの発生や真空ベーク時間が長くなることによる生産性の低下を来たすことがなく、かつ感放射線性組成物の乾燥物の溶媒再溶解性に優れ、また不溶物が析出することもない、良好な着色層形成用感放射線性組成物を得ることができる。   More specifically, the content ratio of each solvent in the solvent in the present invention is preferably 5 to 40% by weight of cyclohexyl acetate, 10 to 60% by weight of low boiling point solvent, and 30 to 70% by weight of medium boiling point solvent. The high-boiling solvent is 20% by weight or less, more preferably 15 to 35% by weight of cyclohexyl acetate, 20 to 50% by weight of low-boiling solvent, 30 to 60% by weight of medium-boiling solvent, and 20 to 20% of high-boiling solvent. The cyclohexyl acetate is 20 to 30% by weight, the low boiling point solvent is 20 to 45% by weight, the medium boiling point solvent is 30 to 50% by weight, and the high boiling point solvent is 20% by weight or less. By using such a mixed solvent, the generation of dry matter and bumps in the radiation-sensitive composition is remarkably suppressed, and there is no decrease in productivity due to the occurrence of sticking or a long vacuum baking time. In addition, a good radiation-sensitive composition for forming a colored layer can be obtained in which the dried product of the radiation-sensitive composition is excellent in solvent re-solubility and insoluble matter does not precipitate.

本発明の着色層形成用感放射線性組成物における溶媒の合計使用量は、特に限定されるものではないが、得られる組成物の塗布性、安定性等の観点から、当該組成物の溶媒を除いた各成分の合計濃度が、好ましくは5〜50重量%、特に好ましくは10〜40重量%となる量が望ましい。   The total amount of the solvent used in the radiation-sensitive composition for forming a colored layer of the present invention is not particularly limited, but from the viewpoints of applicability and stability of the resulting composition, the solvent of the composition is used. The total concentration of the removed components is preferably 5 to 50% by weight, particularly preferably 10 to 40% by weight.

−他の添加剤−
本発明の着色層形成用感放射線性組成物は、前記(A)〜(E)成分を含有するものであるが、必要に応じて他の添加剤を含有することもできる。
前記他の添加剤としては、例えば、ガラス、アルミナ等の充填剤;ポリビニルアルコール、ポリ(フロロアルキルアクリレート)類等の高分子化合物;ノニオン系界面活性剤、カチオン系界面活性剤、アニオン系界面活性剤等の界面活性剤;ビニルトリメトキシシラン、ビニルトリエトキシシラン、ビニルトリ(2−メトキシエトキシ)シラン、N−(2−アミノエチル)−3−アミノプロピルメチルジメトキシシラン、N−(2−アミノエチル)−3−アミノプロピルトリメトキシシラン、3−アミノプロピルトリエトキシシラン、3−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、3−グリシドキシプロピルメチルジメトキシシラン、2−(3,4−エポキシシクロヘキシル)エチルトリメトキシシラン、3−クロロプロピルメチルジメトキシシラン、3−クロロプロピルトリメトキシシラン、3−メタクリロイルオキシプロピルトリメトキシシラン、3−メルカプトプロピルトリメトキシシラン等の密着促進剤;2,2−チオビス(4−メチル−6−t−ブチルフェノール)、2,6−ジ−t−ブチルフェノール等の酸化防止剤;2−(3−t−ブチル−5−メチル−2−ヒドロキシフェニル)−5−クロロベンゾトリアゾール、アルコキシベンゾフェノン類等の紫外線吸収剤;ポリアクリル酸ナトリウム等の凝集防止剤等を挙げることができる。
-Other additives-
Although the radiation sensitive composition for colored layer formation of this invention contains the said (A)-(E) component, it can also contain another additive as needed.
Examples of the other additives include fillers such as glass and alumina; polymer compounds such as polyvinyl alcohol and poly (fluoroalkyl acrylate); nonionic surfactants, cationic surfactants, anionic surfactants Surfactant such as an agent; vinyltrimethoxysilane, vinyltriethoxysilane, vinyltri (2-methoxyethoxy) silane, N- (2-aminoethyl) -3-aminopropylmethyldimethoxysilane, N- (2-aminoethyl) ) -3-Aminopropyltrimethoxysilane, 3-aminopropyltriethoxysilane, 3-glycidoxypropyltrimethoxysilane, 3-glycidoxypropylmethyldimethoxysilane, 2- (3,4-epoxycyclohexyl) ethyltri Methoxysilane, 3-chloropropylmethyldimeth Adhesion promoters such as silane, 3-chloropropyltrimethoxysilane, 3-methacryloyloxypropyltrimethoxysilane, 3-mercaptopropyltrimethoxysilane; 2,2-thiobis (4-methyl-6-tert-butylphenol), 2 Antioxidants such as 1,6-di-t-butylphenol; UV absorbers such as 2- (3-tert-butyl-5-methyl-2-hydroxyphenyl) -5-chlorobenzotriazole and alkoxybenzophenones; polyacryl An aggregation inhibitor such as sodium acid can be used.

着色層の形成方法
次に、本発明の着色層形成用感放射線性組成物(以下、単に「着色層形成用組成物」ともいう。)を用いる着色層の形成方法について説明する。
本発明の着色層の形成方法は、少なくとも下記(1)〜(4)の工程を含んでいる。
(1)着色層形成用組成物の塗膜を基板上に形成する工程。
(2)前記塗膜の少なくとも一部に露光する工程。
(3)露光後の塗膜を現像する工程。
(4)現像後の塗膜を熱処理する工程。
Method for Forming Colored Layer Next, a method for forming a colored layer using the radiation-sensitive composition for forming a colored layer of the present invention (hereinafter also simply referred to as “colored layer forming composition”) will be described.
The colored layer forming method of the present invention includes at least the following steps (1) to (4).
(1) The process of forming the coating film of the composition for colored layer formation on a board | substrate.
(2) A step of exposing at least a part of the coating film.
(3) The process of developing the coating film after exposure.
(4) The process of heat-processing the coating film after image development.

以下、これらの工程について順次説明する。
−(1)の工程−
先ず、基板の表面上に、必要に応じて、画素を形成する部分を区画するように遮光層を形成し、この基板上に、着色層形成用組成物を塗布したのち、減圧下で真空ベークを行い溶媒を蒸発除去して、塗膜を形成する。
この工程で使用される基板としては、例えば、ガラス、シリコン、ポリカーボネート、ポリエステル、芳香族ポリアミド、ポリアミドイミド、ポリイミド、ポリエーテルスルホンのほか、環状オレフィンの開環重合体やその水素添加物等を挙げることができる。
また、これらの基板には、所望により、シランカップリング剤等による薬品処理、プラズマ処理、イオンプレーティング、スパッタリング、気相反応法、真空蒸着等の適宜の前処理を施しておくこともできる。
Hereinafter, these steps will be sequentially described.
-Step (1)-
First, on the surface of the substrate, if necessary, a light-shielding layer is formed so as to partition a pixel forming portion, and after applying a colored layer forming composition on the substrate, vacuum baking is performed under reduced pressure. To remove the solvent by evaporation to form a coating film.
Examples of the substrate used in this step include glass, silicon, polycarbonate, polyester, aromatic polyamide, polyamideimide, polyimide, polyethersulfone, cyclic olefin ring-opening polymer, and hydrogenated products thereof. be able to.
In addition, these substrates may be subjected to appropriate pretreatment such as chemical treatment with a silane coupling agent or the like, plasma treatment, ion plating, sputtering, gas phase reaction method, vacuum deposition, etc., if desired.

着色層形成用組成物を基板に塗布する方法としては、特に限定されるものでないが、スリット・アンド・スピン塗布法、スピンレス塗布法等の、スリットノズルを用いる方法(以下、「スリットノズル塗布法」という。)が好ましい。
スリットノズル塗布法における塗布条件は、スリット・アンド・スピン塗布法とスピンレス塗布法、塗布基板の大きさなどによって異なるが、例えば、スピンレス塗布法により第5世代のガラス基板(1100mm×1250mm)に塗布する場合、スリットノズルからの着色層形成用組成物の吐出量は、通常、500〜2,000マイクロリットル/秒、好ましくは800〜1,500マイクロリットル/秒であり、また塗工速度は、通常、500〜1,500mm/秒、好ましくは700〜1,200mm/秒である。
スリットノズル塗布法に使用する着色層形成用組成物の固形分濃度は、通常、10〜20重量%、好ましくは13〜18重量%である。
真空ベークの条件は、真空度が、通常、0.1〜1.0torr、好ましくは0.2〜0.5torr程度であり、温度が、通常、60〜120℃、好ましくは70〜110℃程度であり、ベーク時間が、通常、1〜5分、好ましくは2〜4分程度である。
形成される塗膜の厚さは、溶媒除去後の膜厚として、通常、0.1〜10μm、好ましくは0.2〜8.0μm、特に好ましくは0.2〜6.0μmである。
A method for applying the colored layer forming composition to the substrate is not particularly limited, but a method using a slit nozzle such as a slit-and-spin coating method or a spinless coating method (hereinafter referred to as “slit nozzle coating method”). ") Is preferred.
The coating conditions in the slit nozzle coating method differ depending on the slit-and-spin coating method, the spinless coating method, the size of the coated substrate, etc., but for example, the coating is applied to the fifth generation glass substrate (1100 mm × 1250 mm) by the spinless coating method. In this case, the discharge amount of the colored layer forming composition from the slit nozzle is usually 500 to 2,000 microliters / second, preferably 800 to 1,500 microliters / second, and the coating speed is Usually, it is 500 to 1,500 mm / second, preferably 700 to 1,200 mm / second.
The solid content concentration of the colored layer forming composition used for the slit nozzle coating method is usually 10 to 20% by weight, preferably 13 to 18% by weight.
The vacuum baking conditions are such that the degree of vacuum is usually about 0.1 to 1.0 torr, preferably about 0.2 to 0.5 torr, and the temperature is usually about 60 to 120 ° C., preferably about 70 to 110 ° C. The baking time is usually about 1 to 5 minutes, preferably about 2 to 4 minutes.
The thickness of the coating film to be formed is usually 0.1 to 10 μm, preferably 0.2 to 8.0 μm, particularly preferably 0.2 to 6.0 μm as the film thickness after removal of the solvent.

−(2)の工程−
その後、形成された塗膜の少なくとも一部に露光する。塗膜の一部に露光する際には、通常、適当なパターンを有するフォトマスクを介して露光する。
露光に使用される放射線としては、例えば、可視光線、紫外線、遠紫外線、電子線、X線等を使用することができるが、波長が190〜450nmの範囲にある放射線が好ましい。
放射線の露光量は、通常、10〜10,000J/m2 程度である。
-Step (2)-
Thereafter, at least a part of the formed coating film is exposed. When exposing a part of the coating film, it is usually exposed through a photomask having an appropriate pattern.
As the radiation used for the exposure, for example, visible light, ultraviolet light, far ultraviolet light, electron beam, X-ray or the like can be used, and radiation having a wavelength in the range of 190 to 450 nm is preferable.
Exposure of radiation is usually, 10~10,000J / m 2 approximately.

−(3)の工程−
その後、現像液を用いて現像して、塗膜の未露光部を溶解除去する。
前記現像液としては、例えば、炭酸ナトリウム、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、テトラメチルアンモニウムハイドロオキサイド、コリン、1,8−ジアザビシクロ−[5.4.0]−7−ウンデセン、1,5−ジアザビシクロ−[4.3.0]−5−ノネン等の水溶液からなるアルカリ現像液が好ましい。
前記アルカリ現像液には、例えば、メタノール、エタノール等の水溶性有機溶剤や界面活性剤等を適量添加することもできる。なお、アルカリ現像後は、通常、水洗する。
現像処理法としては、シャワー現像法、スプレー現像法、ディップ(浸漬)現像法、パドル(液盛り)現像法等を採用することができる。
現像条件は、常温で5〜300秒程度が好ましい。
-Step (3)-
Then, it develops using a developing solution and melt | dissolves and removes the unexposed part of a coating film.
Examples of the developer include sodium carbonate, sodium hydroxide, potassium hydroxide, tetramethylammonium hydroxide, choline, 1,8-diazabicyclo- [5.4.0] -7-undecene, 1,5-diazabicyclo. -An alkaline developer composed of an aqueous solution such as [4.3.0] -5-nonene is preferable.
For example, an appropriate amount of a water-soluble organic solvent such as methanol or ethanol, a surfactant or the like can be added to the alkaline developer. In addition, it is usually washed with water after alkali development.
As a development processing method, a shower development method, a spray development method, a dip (immersion) development method, a paddle (liquid accumulation) development method, or the like can be employed.
The development conditions are preferably about 5 to 300 seconds at room temperature.

−(4)の工程−
その後、加熱処理(以下、「ポストベーク」という。)することにより、基板上に着色層を形成することができる。
ポストベークの条件は、180〜230℃で20〜40分程度が好ましい。
-Step (4)-
Then, a colored layer can be formed on the substrate by heat treatment (hereinafter referred to as “post-bake”).
The post-baking conditions are preferably 180 to 230 ° C. and about 20 to 40 minutes.

本発明の着色層の形成方法においては、前記(1)〜(4)工程を、赤色、緑色または青色の顔料が分散された各着色層形成用組成物を用いて繰り返して、赤色の画素パターン、緑色の画素パターンおよび青色の画素パターンを同一基板上に形成することにより、赤色、緑色および青色の三原色の画素パターンが所定の配列で配置された基板を得ることができる。但し、本発明においては、各色の画素パターンの形成順は特に限定されるものではない。
また、黒色の顔料が分散された着色層形成用組成物を用いて前記(1)〜(4)工程を順次行うことにより、ブラックマトリックスパターンが所定の配列で配置された基板を得ることができる。
このようにして形成された着色層の膜厚は、通常、0.5〜5.0μm、好ましくは1.5〜3.0μmである。
In the method for forming a colored layer of the present invention, the steps (1) to (4) are repeated using each colored layer forming composition in which a red, green or blue pigment is dispersed. By forming the green pixel pattern and the blue pixel pattern on the same substrate, it is possible to obtain a substrate on which the three primary color pixel patterns of red, green, and blue are arranged in a predetermined arrangement. However, in the present invention, the order of forming the pixel patterns of the respective colors is not particularly limited.
Further, by sequentially performing the steps (1) to (4) using a colored layer forming composition in which a black pigment is dispersed, a substrate on which a black matrix pattern is arranged in a predetermined arrangement can be obtained. .
The thickness of the colored layer thus formed is usually 0.5 to 5.0 μm, preferably 1.5 to 3.0 μm.

カラーフィルタ
本発明のカラーフィルタは、前記のようにして形成された着色層を備えるものである。カラー液晶表示素子
本発明のカラー液晶表示素子は、本発明のカラーフィルタを具備するものである。
また、本発明のカラー液晶表示素子の1つの形態として、本発明の着色層形成用感放射線性組成物を用いて、薄膜トランジスタ基板アレイ上に、前述したようにして画素および/またはブラックマトリックスを形成することにより、特に優れた特性を有するカラー液晶表示素子を作製することができる。
Color filter The color filter of the present invention comprises a colored layer formed as described above. Color liquid crystal display element The color liquid crystal display element of the present invention comprises the color filter of the present invention.
Further, as one form of the color liquid crystal display element of the present invention, a pixel and / or a black matrix is formed as described above on the thin film transistor substrate array using the radiation-sensitive composition for forming a colored layer of the present invention. By doing so, a color liquid crystal display element having particularly excellent characteristics can be produced.

発明の好ましい実施の形態
本発明の着色層形成用感放射線性組成物は、(A)着色剤、(B)アルカリ可溶性樹脂、(C)多官能性単量体、(D)ラジカル発生剤および(E)溶媒を必須成分として含有し、(D)ラジカル発生剤がオキシム型ラジカル発生剤(1)および/またはオキシム型ラジカル発生剤(2)を必須成分とし、(E)溶媒が酢酸シクロヘキシルを5〜40重量%含有するが、特に好ましい組成物を具体的に例示すると、下記(ア)〜(ケ)のとおりである。
Preferred Embodiments of the Invention The radiation-sensitive composition for forming a colored layer of the present invention comprises (A) a colorant, (B) an alkali-soluble resin, (C) a polyfunctional monomer, (D) a radical generator, and (E) a solvent is contained as an essential component, (D) the radical generator is an oxime radical generator (1) and / or an oxime radical generator (2) as an essential component, and (E) the solvent is cyclohexyl acetate. Although it contains 5 to 40 weight%, when a particularly preferable composition is illustrated concretely, it is as follows (a)-(ke).

(ア) (B)成分がカルボキシル基含有共重合体(II)を含み、(D)成分が少なくともオキシム型ラジカル発生剤(2)を含む着色層形成用感放射線性組成物。
(イ) (B)成分がカルボキシル基含有共重合体(II)を含み、(D)成分がエタノン−1−[9−エチル−6−(2−メチル−4−テトラヒドロフラニルメトキシベンゾイル)−9.H.−カルバゾール−3−イル]−1−(O−アセチルオキシム)、エタノン−1−[9−エチル−6−(2−メチル−4−テトラヒドロピラニルメトキシベンゾイル)−9.H.−カルバゾール−3−イル]−1−(O−アセチルオキシム)、エタノン−1−[9−エチル−6−(2−メチル−5−テトラヒドロフラニルメトキシベンゾイル)−9.H.−カルバゾール−3−イル]−1−(O−アセチルオキシム)、エタノン−1−[9−エチル−6−(2−メチル−5−テトラヒドロピラニルメトキシベンゾイル)−9.H.−カルバゾール−3−イル]−1−(O−アセチルオキシム)、およびエタノン−1−[9−エチル−6−[2−メチル−4−(2,2−ジメチル−1,3−ジオキソラニル)メトキシベンゾイル]−9.H.−カルバゾール−3−イル]−1−(O−アセチルオキシム)の群から選ばれる少なくとも1種を含む、前記(ア)の着色層形成用感放射線性組成物。
(A) A radiation-sensitive composition for forming a colored layer, wherein the component (B) contains a carboxyl group-containing copolymer (II), and the component (D) contains at least an oxime type radical generator (2).
(A) The component (B) contains the carboxyl group-containing copolymer (II), and the component (D) is ethanone-1- [9-ethyl-6- (2-methyl-4-tetrahydrofuranylmethoxybenzoyl) -9. . H. -Carbazol-3-yl] -1- (O-acetyloxime), ethanone-1- [9-ethyl-6- (2-methyl-4-tetrahydropyranylmethoxybenzoyl) -9. H. -Carbazol-3-yl] -1- (O-acetyloxime), ethanone-1- [9-ethyl-6- (2-methyl-5-tetrahydrofuranylmethoxybenzoyl) -9. H. -Carbazol-3-yl] -1- (O-acetyloxime), ethanone-1- [9-ethyl-6- (2-methyl-5-tetrahydropyranylmethoxybenzoyl) -9. H. -Carbazol-3-yl] -1- (O-acetyloxime), and ethanone-1- [9-ethyl-6- [2-methyl-4- (2,2-dimethyl-1,3-dioxolanyl) methoxy Benzoyl] -9. H. -Carbazol-3-yl] -1- (O-acetyloxime) The radiation sensitive composition for colored layer formation of said (a) containing at least 1 sort (s) chosen from the group.

(ウ) (B)成分中のカルボキシル基含有共重合体(II)が、(メタ)アクリル酸/2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート共重合体、(メタ)アクリル酸/スチレン/2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート共重合体、(メタ)アクリル酸/2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート/ベンジル(メタ)アクリレート共重合体、(メタ)アクリル酸/2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート/フェニル(メタ)アクリレート共重合体、(メタ)アクリル酸/ベンジル(メタ)アクリレート/グリセロールモノ(メタ)アクリレート共重合体、(メタ)アクリル酸/ベンジル(メタ)アクリレート/ポリスチレンマクロモノマー共重合体、(メタ)アクリル酸/ベンジル(メタ)アクリレート/ポリメチル(メタ)アクリレートマクロモノマー共重合体、(メタ)アクリル酸/N−フェニルマレイミド/スチレン/ベンジル(メタ)アクリレート共重合体、(メタ)アクリル酸/N−フェニルマレイミド/α−メチルスチレン/ベンジル(メタ)アクリレート、(メタ)アクリル酸/N−シクロヘキシルマレイミド/スチレン/ベンジル(メタ)アクリレート共重合体、(メタ)アクリル酸/N−シクロヘキシルマレイミド/α−メチルスチレン/ベンジル(メタ)アクリレート共重合体、(メタ)アクリル酸/2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート/ベンジル(メタ)アクリレート/ポリスチレンマクロモノマー共重合体、(メタ)アクリル酸/2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート/ベンジル(メタ)アクリレート/ポリメチル(メタ)アクリレートマクロモノマー共重合体、(メタ)アクリル酸/N−フェニルマレイミド/スチレン/ベンジル(メタ)アクリレート/グリセロールモノ(メタ)アクリレート共重合体、(メタ)アクリル酸/N−フェニルマレイミド/スチレン/2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート/フェニル(メタ)アクリレート/ポリスチレンマクロモノマー共重合体、(メタ)アクリル酸/N−フェニルマレイミド/スチレン/2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート/フェニル(メタ)アクリレート/ポリメチルメタクリレートマクロモノマー共重合体、(メタ)アクリル酸/こはく酸モノ〔2−(メタ)アクリロイルオキシエチル〕/ベンジル(メタ)アクリレート/グリセロールモノ(メタ)アクリレート共重合体、(メタ)アクリル酸/こはく酸モノ〔2−(メタ)アクリロイルオキシエチル〕/N−フェニルマレイミド/スチレン/アリル(メタ)アクリレート共重合体、(メタ)アクリル酸/こはく酸モノ〔2−(メタ)アクリロイルオキシエチル〕/N−フェニルマレイミド/スチレン/ベンジル(メタ)アクリレート共重合体、(メタ)アクリル酸/こはく酸モノ〔2−(メタ)アクリロイルオキシエチル〕/N−シクロヘキシルマレイミド/スチレン/アリル(メタ)アクリレート共重合体、(メタ)アクリル酸/こはく酸モノ〔2−(メタ)アクリロイルオキシエチル〕/N−シクロヘキシルマレイミド/スチレン/ベンジル(メタ)アクリレート共重合体および(メタ)アクリル酸/ω−カルボキシポリカプロラクトンモノ(メタ)アクリレート/N−フェニルマレイミド/スチレン/ベンジル(メタ)アクリレート/グリセロールモノ(メタ)アクリレート共重合体の群から選ばれる少なくとも1種を含む、前記(ア)または(イ)の着色層形成用感放射線性組成物。 (C) The carboxyl group-containing copolymer (II) in the component (B) is a (meth) acrylic acid / 2-hydroxyethyl (meth) acrylate copolymer, (meth) acrylic acid / styrene / 2-hydroxyethyl (Meth) acrylate copolymer, (meth) acrylic acid / 2-hydroxyethyl (meth) acrylate / benzyl (meth) acrylate copolymer, (meth) acrylic acid / 2-hydroxyethyl (meth) acrylate / phenyl (meta ) Acrylate copolymer, (meth) acrylic acid / benzyl (meth) acrylate / glycerol mono (meth) acrylate copolymer, (meth) acrylic acid / benzyl (meth) acrylate / polystyrene macromonomer copolymer, (meth) Acrylic acid / benzyl (meth) acrylate / polymethyl (meth) acrylate Tomacromonomer copolymer, (meth) acrylic acid / N-phenylmaleimide / styrene / benzyl (meth) acrylate copolymer, (meth) acrylic acid / N-phenylmaleimide / α-methylstyrene / benzyl (meth) acrylate (Meth) acrylic acid / N-cyclohexylmaleimide / styrene / benzyl (meth) acrylate copolymer, (meth) acrylic acid / N-cyclohexylmaleimide / α-methylstyrene / benzyl (meth) acrylate copolymer, (meta ) Acrylic acid / 2-hydroxyethyl (meth) acrylate / benzyl (meth) acrylate / polystyrene macromonomer copolymer, (meth) acrylic acid / 2-hydroxyethyl (meth) acrylate / benzyl (meth) acrylate / polymethyl (meth) Acrylate Macromonomer copolymer, (meth) acrylic acid / N-phenylmaleimide / styrene / benzyl (meth) acrylate / glycerol mono (meth) acrylate copolymer, (meth) acrylic acid / N-phenylmaleimide / styrene / 2- Hydroxyethyl (meth) acrylate / phenyl (meth) acrylate / polystyrene macromonomer copolymer, (meth) acrylic acid / N-phenylmaleimide / styrene / 2-hydroxyethyl (meth) acrylate / phenyl (meth) acrylate / polymethyl Methacrylate macromonomer copolymer, (meth) acrylic acid / succinic acid mono [2- (meth) acryloyloxyethyl] / benzyl (meth) acrylate / glycerol mono (meth) acrylate copolymer, (meth) acrylic acid / succinic acid Mono [2- (meth) acryloyloxyethyl] / N-phenylmaleimide / styrene / allyl (meth) acrylate copolymer, (meth) acrylic acid / succinic acid mono [2- (meth) acryloyloxyethyl] / N- Phenylmaleimide / styrene / benzyl (meth) acrylate copolymer, (meth) acrylic acid / succinic acid mono [2- (meth) acryloyloxyethyl] / N-cyclohexylmaleimide / styrene / allyl (meth) acrylate copolymer, (Meth) acrylic acid / succinic acid mono [2- (meth) acryloyloxyethyl] / N-cyclohexylmaleimide / styrene / benzyl (meth) acrylate copolymer and (meth) acrylic acid / ω-carboxypolycaprolactone mono (meta ) Acrylate / N-phenylmaleimi The radiation-sensitive composition for forming a colored layer according to (a) or (b), comprising at least one selected from the group consisting of copolymer / styrene / benzyl (meth) acrylate / glycerol mono (meth) acrylate copolymer.

(エ) (C)成分がトリメチロールプロパントリアクリレート、ペンタエリスリトールトリアクリレートおよびジペンタエリスリトールヘキサアクリレートの群から選ばれる少なくとも1種を含む、前記(ア)、(イ)または(ウ)の着色層形成用感放射線性組成物。
(オ) (A)成分が有機顔料および/またはカーボンブラックを含む、前記(ア)、(イ)、(ウ)または(エ)の着色層形成用感放射線性組成物。
(D) The colored layer of (A), (I) or (U), wherein the component (C) contains at least one selected from the group of trimethylolpropane triacrylate, pentaerythritol triacrylate, and dipentaerythritol hexaacrylate. Radiation sensitive composition for forming.
(E) The radiation-sensitive composition for forming a colored layer according to (a), (b), (c) or (d), wherein the component (A) contains an organic pigment and / or carbon black.

(カ) (E)成分が低沸点溶媒を10〜60重量%含有する、前記(ア)、(イ)、(ウ)、(エ)または(オ)の着色層形成用感放射線性組成物。
(キ) 低沸点溶媒がプロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノエチルエーテルおよびプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートの群から選ばれる少なくとも1種を含む、前記(カ)の着色層形成用感放射線性組成物。
(ク) (E)成分がさらに中沸点溶媒を30〜70重量%含有する、前記(カ)または(キ)の着色層形成用感放射線性組成物。
(ケ) 中沸点溶媒がプロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート、3−メトキシブチルアセテート、ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールメチルエチルエーテル、シクロヘキサノンおよび3−エトキシプロピオン酸エチルの群から選ばれる少なくとも1種を含む、前記(ク)の着色層形成用感放射線性組成物。
(F) The radiation-sensitive composition for forming a colored layer according to (a), (b), (c), (e) or (e), wherein the component (E) contains 10 to 60% by weight of a low-boiling solvent. .
(G) The radiation sensitive composition for forming a colored layer according to (f), wherein the low boiling point solvent contains at least one selected from the group consisting of propylene glycol monomethyl ether, propylene glycol monoethyl ether and propylene glycol monomethyl ether acetate.
(H) The radiation-sensitive composition for forming a colored layer according to (f) or (g), wherein the component (E) further contains 30 to 70% by weight of a medium-boiling solvent.
(G) The medium (boiling point) containing at least one selected from the group consisting of propylene glycol monoethyl ether acetate, 3-methoxybutyl acetate, diethylene glycol dimethyl ether, diethylene glycol methyl ethyl ether, cyclohexanone and ethyl 3-ethoxypropionate. ) For forming a colored layer.

また、本発明の好ましいカラーフィルタは、
(コ) 前記(ア)、(イ)、(ウ)、(エ)、(オ)、(カ)、(キ)、(ク)または(ケ)の着色層形成用感放射線性組成物を用いて形成された画素および/またはブラックマトリックスを備えている。
Further, the preferred color filter of the present invention is
(K) The radiation-sensitive composition for forming a colored layer according to (a), (b), (c), (d), (e), (f), (g), (g) or (g). A pixel and / or a black matrix formed using the same.

また、本発明の好ましいカラー液晶表示素子は、
(サ) 前記(コ)のカラーフィルタを具備し、
本発明のさらに好ましいカラー液晶表示素子は、
(シ) 薄膜トランジスタ基板アレイ上に、前記(コ)のカラーフィルタを具備している。
The preferred color liquid crystal display element of the present invention is
(Sa) The color filter of (co) is provided,
Further preferred color liquid crystal display elements of the present invention are:
(F) The color filter of (v) is provided on the thin film transistor substrate array.

本発明の着色層形成用感放射線性組成物は、スリットノズル部分に発生した着色層形成用感放射線性組成物の乾燥物の溶媒再溶解性が高く、かつ突沸孔の発生を顕著に抑制することができ、また感度が高く、低露光量でも画素パターンにエッジの欠けおよびアンダーカットを生じることがないことから、特に、スリットノズル塗布法を用いる着色層の形成に極めて好適に適用することができる。   The radiation-sensitive composition for forming a colored layer of the present invention has a high solvent re-dissolvability in the dried product of the radiation-sensitive composition for forming a colored layer generated in the slit nozzle portion, and significantly suppresses the occurrence of bump holes. In particular, it can be applied to the formation of a colored layer using a slit nozzle coating method because it has high sensitivity and does not cause chipping or undercutting in the pixel pattern even at low exposure. it can.

以下、実施例を挙げて、本発明をさらに具体的に説明する。但し、本発明は、下記実施例に限定されるものではない。
実施例1
(A)着色剤としてC.I.ピグメントレッド254/C.I.ピグメントレッド177=80/20(重量比)混合物15重量部、分散剤としてDisperbyk−2001を4重量部(固形分換算)、(B)アルカリ可溶性樹脂としてメタクリル酸/N−フェニルマレイミド/スチレン/ベンジルメタクリレート共重合体(共重合重量比=20/30/20/30、Mw=9,500、Mn=5,000)6重量部、(E)溶媒としてプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート75重量部を、ビーズミルにより処理して、顔料分散液(R1)を調製した。
Hereinafter, the present invention will be described more specifically with reference to examples. However, the present invention is not limited to the following examples.
Example 1
(A) CI Pigment Red 254 / CI Pigment Red 177 = 80/20 (weight ratio) mixture 15 parts by weight as a colorant, Disperbyk-2001 4 parts by weight (in terms of solid content) as a dispersant, (B) Alkali-soluble resin Methacrylic acid / N-phenylmaleimide / styrene / benzyl methacrylate copolymer (copolymerization weight ratio = 20/30/20/30, Mw = 9,500, Mn = 5,000) 6 parts by weight, (E) solvent As a result, 75 parts by weight of propylene glycol monomethyl ether acetate was treated with a bead mill to prepare a pigment dispersion (R1).

次いで、顔料分散液(R1)100重量部、(B)アルカリ可溶性樹脂としてメタクリル酸/こはく酸モノ(2−メタクリロイルオキシエチル)/N−フェニルマレイミド/スチレン/ベンジルメタクリレート共重合体(共重合重量比=25/10/30/20/15、Mw=12,000、Mn=6,500)5重量部、(C)多官能性単量体としてジペンタエリスリトールヘキサアクリレート10重量部、(D)ラジカル発生剤としてエタノン−1−〔9−エチル−6−[ 2−メチル−4−(2,2−ジメチル−1,3−ジオキソラニル)メトキシベンゾイル ]−9.H.−カルバゾール−3−イル〕−1−(O−アセチルオキシム)1重量部、(E)溶媒として酢酸シクロヘキシル25重量部(10重量%)、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート25重量部(40重量%)、3−メトキシブチルアセテート75重量部(30重量%)およびシクロヘキサノン50重量部(20重量%)を混合して、着色層形成用組成物(R1−1)を調製した。但し、各溶媒の含有割合(重量%)は、顔料分散液中の溶媒も含めた値である(以下同様。)。   Next, 100 parts by weight of pigment dispersion (R1), (B) methacrylic acid / succinic acid mono (2-methacryloyloxyethyl) / N-phenylmaleimide / styrene / benzyl methacrylate copolymer (copolymerization weight ratio) as alkali-soluble resin = 25/10/30/20/15, Mw = 12,000, Mn = 6,500) 5 parts by weight, (C) 10 parts by weight of dipentaerythritol hexaacrylate as a polyfunctional monomer, (D) radical Ethanone-1- [9-ethyl-6- [2-methyl-4- (2,2-dimethyl-1,3-dioxolanyl) methoxybenzoyl] -9. H. -Carbazol-3-yl] -1- (O-acetyloxime) 1 part by weight, (E) 25 parts by weight (10% by weight) of cyclohexyl acetate as solvent, 25 parts by weight (40% by weight) of propylene glycol monomethyl ether acetate, A colored layer forming composition (R1-1) was prepared by mixing 75 parts by weight (30% by weight) of 3-methoxybutyl acetate and 50 parts by weight (20% by weight) of cyclohexanone. However, the content ratio (% by weight) of each solvent is a value including the solvent in the pigment dispersion (the same applies hereinafter).

得られた着色層形成用組成物(R1−1)について、下記の手順にしたがって評価を行った。評価結果を表1に示す。
乾燥物の溶媒再溶解性の評価
ガラス基板に着色層形成用組成物(R1−1)を塗布し、23℃、湿度50%の条件下で30分風乾したのち、乾燥塗膜が付着したガラス基板をプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート中に10分間浸漬した。このとき、乾燥塗膜の再溶解状態により、下記の3段階で評価した。
○:浸漬中に乾燥塗膜が全て溶解する、
△:10分間浸漬後も乾燥塗膜の一部が残る、
×:10分間浸漬後も乾燥塗膜が殆どもしくは全く溶解しない。
The obtained colored layer forming composition (R1-1) was evaluated according to the following procedure. The evaluation results are shown in Table 1.
Evaluation of solvent re-solubility of dried product Glass coated with a dry coating film after coating the colored layer forming composition (R1-1) on a glass substrate and air-drying at 23 ° C. and 50% humidity for 30 minutes. The substrate was immersed in propylene glycol monomethyl ether acetate for 10 minutes. At this time, it evaluated in the following three steps by the redissolved state of the dry coating film.
○: All the dried coating film dissolves during immersion.
Δ: A part of the dried coating film remains after immersion for 10 minutes.
X: The dried coating film hardly or not dissolves after immersion for 10 minutes.

突沸孔の評価
表面にナトリウムイオンの溶出を防止するSiO2 膜が形成されたソーダガラス基板(300mm×400mm)に、着色層形成用組成物(R1−1)をスピンコーターを用いて塗布したのち、真空度が0.3torrに到達するまで真空ベークを行って、膜厚2.5μmの塗膜を形成した。
その後、得られた基板を光学顕微鏡で観察して、塗膜の5mm×400mm四方の規定領域内に発生する突沸孔の数を数え、下記の3段階で評価した。
○:突沸孔が500個未満、
△:突沸孔が500個以上1,000個未満、
×:突沸孔が1,000個以上。
After applying a colored layer forming composition (R1-1) to a soda glass substrate (300 mm × 400 mm) on which a SiO 2 film for preventing sodium ions from eluting is formed on the evaluation surface of the bump hole using a spin coater Then, vacuum baking was performed until the degree of vacuum reached 0.3 torr to form a coating film having a thickness of 2.5 μm.
Then, the obtained board | substrate was observed with the optical microscope, the number of bump holes which generate | occur | produce in the 5 mm x 400 mm square prescribed area | region of a coating film was counted, and the following three steps evaluated.
○: bump holes less than 500,
Δ: 500 or more bump holes and less than 1,000 holes,
X: 1,000 or more bump holes.

感度の評価
液状組成物(R1−1)を、表面にナトリウムイオンの溶出を防止するSiO2 膜が形成されたソーダガラス基板に、スピンコーターを用いて塗布したのち、90℃のホットプレート上で2分間プレベークを行って、膜厚1.7μmの塗膜を形成した。
次いで、基板を室温に冷却したのち、高圧水銀ランプを用い、フォトマスク(スリット幅30μm)を介して、塗膜に365nm、405nmおよび436nmの各波長を含む紫外線を露光した。このときの露光量は400J/m2 であった。その後、基板を23℃の0.04重量%水酸化カリウム水溶液に1分間浸漬して、現像したのち、超純水で洗浄して、風乾した。その後、220℃のクリーンオーブン内で30分間ポストベークを行なって、基板上に赤色のストライプ状画素パターンが配列された画素アレイを形成した。このとき、基板上の画素アレイを光学顕微鏡にて観察し、画素パターンのエッジに欠けが認められるかどうか、また画素パターンの断面を走査型電子顕微鏡(SEM)にて観察し、アンダーカットが認められるかどうか、下記の3段階で評価した。
<画素パターンエッジの欠け(表1では、「エッジの欠け」と表記。)>
○:欠けが認められない、
△:欠けが少し認められる、
×:欠けが多数認められる。
<画素パターンの断面のアンダーカット(表1では、「アンダーカット」と表記。)>
○:アンダーカットが認められない、
△:アンダーカットが少し認められる、
×:アンダーカットが多数認められる。
Evaluation of sensitivity The liquid composition (R1-1) was applied to a soda glass substrate on which a SiO 2 film for preventing elution of sodium ions was formed on the surface using a spin coater, and then on a hot plate at 90 ° C. Pre-baking was performed for 2 minutes to form a coating film having a film thickness of 1.7 μm.
Next, after cooling the substrate to room temperature, the coating film was exposed to ultraviolet rays containing wavelengths of 365 nm, 405 nm, and 436 nm through a photomask (slit width 30 μm) using a high-pressure mercury lamp. The exposure amount at this time was 400 J / m 2 . Thereafter, the substrate was immersed in a 0.04 wt% potassium hydroxide aqueous solution at 23 ° C. for 1 minute, developed, washed with ultrapure water, and air-dried. Thereafter, post-baking was performed in a clean oven at 220 ° C. for 30 minutes to form a pixel array in which red stripe pixel patterns were arranged on the substrate. At this time, the pixel array on the substrate is observed with an optical microscope, the chip edge of the pixel pattern is observed, and the cross section of the pixel pattern is observed with a scanning electron microscope (SEM). The following three levels were evaluated.
<Pixel pattern edge missing (in Table 1, expressed as “edge missing”)>
○: No chipping is observed,
Δ: Some chipping is observed,
X: Many cracks are recognized.
<Undercut of the cross section of the pixel pattern (indicated as “undercut” in Table 1)>
○: Undercut is not recognized,
Δ: A little undercut is recognized,
X: Many undercuts are recognized.

実施例2
実施例1において、顔料分散液(R1)100重量部に対して添加する(E)溶媒を、酢酸シクロヘキシル50重量部(20重量%)および3−エトキシプロピオン酸エチル125重量部(50重量%)に変更した以外は、実施例1と同様にして、着色層形成用組成物(R1−2)を調製して評価を行った。なお、着色層形成用組成物(R1−2)中の(E)溶媒はプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート75重量部(30重量%)も含んでいる。評価結果を表1に示す。
Example 2
In Example 1, (E) the solvent added to 100 parts by weight of the pigment dispersion (R1) was mixed with 50 parts by weight (20% by weight) of cyclohexyl acetate and 125 parts by weight (50% by weight) of ethyl 3-ethoxypropionate. A colored layer-forming composition (R1-2) was prepared and evaluated in the same manner as in Example 1 except that the change was made. The (E) solvent in the colored layer forming composition (R1-2) also contains 75 parts by weight (30% by weight) of propylene glycol monomethyl ether acetate. The evaluation results are shown in Table 1.

実施例3
実施例1において、顔料分散液(R1)100重量部に対して添加する(E)溶媒を、酢酸シクロヘキシル50重量部(20重量%)、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート50重量部(50重量%)、ジエチレングリコールメチルエチルエーテル25重量部(10重量%)および3−メトキシブチルアセテート50重量部(20重量%)に変更した以外は、実施例1と同様にして、着色層形成用組成物(R1−3)を調製して評価を行った。評価結果を表1に示す。
Example 3
In Example 1, the solvent (E) added to 100 parts by weight of the pigment dispersion (R1) was 50 parts by weight (20% by weight) of cyclohexyl acetate, 50 parts by weight (50% by weight) of propylene glycol monomethyl ether acetate, A colored layer forming composition (R1-3) was prepared in the same manner as in Example 1 except that 25 parts by weight (10% by weight) of diethylene glycol methyl ethyl ether and 50 parts by weight (20% by weight) of 3-methoxybutyl acetate were used. ) Was prepared and evaluated. The evaluation results are shown in Table 1.

実施例4
実施例1において、顔料分散液(R1)100重量部に対して添加する(E)溶媒を、酢酸シクロヘキシル37重量部(20重量%)、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート17重量部(約49.7重量%)、ジエチレングリコールメチルエチルエーテル19重量部(約10.3重量%)および3−メトキシブチルアセテート37重量部(20重量%)に変更した以外は、実施例1と同様にして、着色層形成用組成物(R1−4)を調製して評価を行った。評価結果を表1に示す。
Example 4
In Example 1, the solvent (E) added to 100 parts by weight of the pigment dispersion (R1) was 37 parts by weight (20% by weight) of cyclohexyl acetate and 17 parts by weight of propylene glycol monomethyl ether acetate (about 49.7 parts by weight). %), Diethylene glycol methyl ethyl ether 19 parts by weight (about 10.3% by weight) and 3-methoxybutyl acetate 37 parts by weight (20% by weight). A composition (R1-4) was prepared and evaluated. The evaluation results are shown in Table 1.

比較例1
実施例1において、顔料分散液(R1)100重量部に対して添加する溶媒を、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート25重量部、3−メトキシブチルアセテート75重量部およびシクロヘキサノン75重量部に変更した以外は、実施例1と同様にして、着色層形成用組成物(R1−5)を調製して評価を行った。評価結果を表1に示す。
Comparative Example 1
In Example 1, except that the solvent added to 100 parts by weight of the pigment dispersion (R1) was changed to 25 parts by weight of propylene glycol monomethyl ether acetate, 75 parts by weight of 3-methoxybutyl acetate and 75 parts by weight of cyclohexanone, In the same manner as in Example 1, a colored layer forming composition (R1-5) was prepared and evaluated. The evaluation results are shown in Table 1.

比較例2
実施例1において、顔料分散液(R1)100重量部に対して添加する溶媒を、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート50重量部、3−エトキシプロピオン酸エチル75重量部およびジエチレングリコールメチルエチルエーテル50重量部に変更した以外は、実施例1と同様にして、着色層形成用組成物(R1−6)を調製して評価を行った。評価結果を表1に示す。
Comparative Example 2
In Example 1, the solvent added to 100 parts by weight of the pigment dispersion (R1) was changed to 50 parts by weight of propylene glycol monomethyl ether acetate, 75 parts by weight of ethyl 3-ethoxypropionate and 50 parts by weight of diethylene glycol methyl ethyl ether. A colored layer forming composition (R1-6) was prepared and evaluated in the same manner as in Example 1 except that. The evaluation results are shown in Table 1.

比較例3
実施例1において、顔料分散液(R1)100重量部に対して添加する溶媒を、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート25重量部、3−メトキシブチルアセテート75重量部、シクロヘキサノン75重量部に変更し、また(D)ラジカル発生剤を2−メチル−(4−メチルチオフェニル)−2−モルフォリノ−1−プロパン−1−オン5重量部に変更した以外は、実施例1と同様にして、着色層形成用組成物(R1−7)を調製して評価を行った。評価結果を表1に示す。
Comparative Example 3
In Example 1, the solvent added to 100 parts by weight of the pigment dispersion (R1) was changed to 25 parts by weight of propylene glycol monomethyl ether acetate, 75 parts by weight of 3-methoxybutyl acetate, and 75 parts by weight of cyclohexanone. D) Colored layer forming composition in the same manner as in Example 1 except that the radical generator was changed to 5 parts by weight of 2-methyl- (4-methylthiophenyl) -2-morpholino-1-propan-1-one. A product (R1-7) was prepared and evaluated. The evaluation results are shown in Table 1.

ここでは、赤色の顔料を用いた感放射線性樹脂組成物について評価したが、青色、緑色、黄色や黒色の顔料を用いた感放射線性樹脂組成物の場合にも同様の結果が得られた。   Here, although the radiation sensitive resin composition using a red pigment was evaluated, similar results were obtained in the case of a radiation sensitive resin composition using a blue, green, yellow or black pigment.

Figure 0004656036
Figure 0004656036

Claims (7)

(A)着色剤、(B)アルカリ可溶性樹脂、(C)多官能性単量体、(D)感放射線性ラジカル発生剤および(E)溶媒を含有する感放射線性樹脂組成物であって、(D)感放射線性ラジカル発生剤が、下記式(1)で表される化合物および/または下記式(2)で表される化合物を必須成分とし、(E)溶媒が、酢酸シクロヘキシルを5〜40重量%含有することを特徴とする着色層形成用感放射線性組成物。
Figure 0004656036
Figure 0004656036
〔式(1)および式(2)において、各R1 は相互に独立に炭素数1〜20のアルキル基、炭素数3〜8のシクロアルキル基またはフェニル基を示し、各R2 および各R3 は相互に独立に水素原子、炭素数1〜20のアルキル基、炭素数3〜8のシクロアルキル基、置換されていてもよいフェニル基または炭素数7〜20の1価の脂環式基(但し、前記シクロアルキル基を除く。)を示し、各R4 は相互に独立に炭素数4〜20の1価の含酸素複素環式基、炭素数4〜20の1価の含窒素複素環式基または炭素数4〜20の1価の含硫黄複素環式基を示し、各R5 は相互に独立に水素原子、炭素数1〜12のアルキル基、炭素数3〜8のシクロアルキル基、炭素数1〜12のアルコキシル基または炭素数3〜8のシクロアルキルオキシ基を示し、各nは相互に独立に1〜5の整数、各mは相互に独立に0〜5の整数で、(n+m)≦5であり、pは0〜6の整数である。〕
A radiation-sensitive resin composition containing (A) a colorant, (B) an alkali-soluble resin, (C) a polyfunctional monomer, (D) a radiation-sensitive radical generator, and (E) a solvent, (D) The radiation-sensitive radical generator contains a compound represented by the following formula (1) and / or a compound represented by the following formula (2) as essential components, and (E) the solvent contains cyclohexyl acetate in an amount of 5 to 5. A radiation-sensitive composition for forming a colored layer, comprising 40% by weight.
Figure 0004656036
Figure 0004656036
[In Formula (1) and Formula (2), each R 1 independently represents an alkyl group having 1 to 20 carbon atoms, a cycloalkyl group having 3 to 8 carbon atoms, or a phenyl group, and each R 2 and each R 3 are independently of each other a hydrogen atom, an alkyl group having 1 to 20 carbon atoms, a cycloalkyl group having 3 to 8 carbon atoms, an optionally substituted phenyl group, or a monovalent alicyclic group having 7 to 20 carbon atoms. Wherein R 4 is independently of each other a monovalent oxygen-containing heterocyclic group having 4 to 20 carbon atoms or a monovalent nitrogen-containing complex having 4 to 20 carbon atoms. A cyclic group or a monovalent sulfur-containing heterocyclic group having 4 to 20 carbon atoms, wherein each R 5 is independently a hydrogen atom, an alkyl group having 1 to 12 carbon atoms, or a cycloalkyl group having 3 to 8 carbon atoms. Group, a C1-C12 alkoxyl group or a C3-C8 cycloalkyloxy group, Each n is an integer of 1 to 5 independently of each other, each m is an integer of 0 to 5 independently of each other, (n + m) ≦ 5, and p is an integer of 0 to 6. ]
(E)溶媒が沸点150℃未満の溶媒を10〜60重量%含有することを特徴とする、請求項1に記載の着色層形成用感放射線性組成物。   (E) The radiation-sensitive composition for forming a colored layer according to claim 1, wherein the solvent contains 10 to 60% by weight of a solvent having a boiling point of less than 150 ° C. (E)溶媒がさらに沸点150℃以上180℃未満の溶媒(但し、酢酸シクロヘシルを除く。)を30〜70重量%含有することを特徴とする、請求項2に記載の着色層形成用感放射線性組成物。   The radiation sensitive material for forming a colored layer according to claim 2, wherein the solvent further comprises 30 to 70% by weight of a solvent having a boiling point of 150 ° C or higher and lower than 180 ° C (excluding cyclohexyl acetate). Sex composition. 少なくとも下記(1)〜(4)の工程を含むことを特徴とする着色層の形成方法。
(1)請求項1〜3のいずれかに記載の着色層形成用感放射線性組成物の塗膜を基板上に形成する工程。
(2)前記塗膜の少なくとも一部に露光する工程。
(3)露光後の塗膜を現像する工程。
(4)現像後の塗膜を熱処理する工程。
A method for forming a colored layer, comprising at least the following steps (1) to (4):
(1) The process of forming the coating film of the radiation sensitive composition for colored layer formation in any one of Claims 1-3 on a board | substrate.
(2) A step of exposing at least a part of the coating film.
(3) The process of developing the coating film after exposure.
(4) The process of heat-processing the coating film after image development.
(1)の工程において、着色層形成用感放射線性組成物をスリットノズルを用いて基板上に塗布することを特徴とする、請求項4に記載の着色層の形成方法。   The method for forming a colored layer according to claim 4, wherein in the step (1), the radiation-sensitive composition for forming a colored layer is applied onto a substrate using a slit nozzle. 請求項1〜3のいずれかに記載の着色層形成用感放射線性組成物を用いて形成された着色層を備えてなるカラーフィルタ。   The color filter provided with the colored layer formed using the radiation sensitive composition for colored layer formation in any one of Claims 1-3. 請求項6に記載のカラーフィルタを具備するカラー液晶表示素子。   A color liquid crystal display device comprising the color filter according to claim 6.
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